ATE238535T1 - Shack-hartmann wellenfrontsensor mit einem höheren als durch die linsenanordnung vorgegebenen räumlichem auflösungsvermögen - Google Patents

Shack-hartmann wellenfrontsensor mit einem höheren als durch die linsenanordnung vorgegebenen räumlichem auflösungsvermögen

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ATE238535T1
ATE238535T1 AT00947095T AT00947095T ATE238535T1 AT E238535 T1 ATE238535 T1 AT E238535T1 AT 00947095 T AT00947095 T AT 00947095T AT 00947095 T AT00947095 T AT 00947095T AT E238535 T1 ATE238535 T1 AT E238535T1
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shack
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Justin D Mansell
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Wavefront Sciences Inc
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1194755B1 (de) * 1999-07-09 2003-04-23 Wavefront Sciences Inc. Shack-hartmann wellenfrontsensor mit einem höheren als durch die linsenanordnung vorgegebenen räumlichem auflösungsvermögen
DE19938203A1 (de) 1999-08-11 2001-02-15 Aesculap Meditec Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Korrektur von Sehfehlern des menschlichen Auges
FR2827380B1 (fr) * 2001-07-12 2003-11-07 Imagine Optic Dispositif d'analyse d'un front d'onde a resolution amelioree
US8911086B2 (en) 2002-12-06 2014-12-16 Amo Manufacturing Usa, Llc Compound modulation transfer function for laser surgery and other optical applications
US8596787B2 (en) 2003-06-20 2013-12-03 Amo Manufacturing Usa, Llc Systems and methods for prediction of objective visual acuity based on wavefront measurements
WO2004112576A2 (en) 2003-06-20 2004-12-29 Visx, Incorporated Systems and methods for prediction of objective visual acuity based on wavefront measurements
CN100451577C (zh) * 2003-10-15 2009-01-14 中国科学院光电技术研究所 基于微棱镜阵列的脉冲光光束质量检测哈特曼波前传感器
DE102005042496A1 (de) * 2005-09-05 2007-03-08 Carl Zeiss Sms Gmbh Verfahren zur Korrektur der Apodisierung in mikroskopischen Abbildungssystemen
US8158917B2 (en) 2005-12-13 2012-04-17 Agency For Science Technology And Research Optical wavefront sensor and optical wavefront sensing method
US7681172B2 (en) * 2007-01-29 2010-03-16 Synopsys, Inc. Method and apparatus for modeling an apodization effect in an optical lithography system
US9176069B2 (en) * 2012-02-10 2015-11-03 Kla-Tencor Corporation System and method for apodization in a semiconductor device inspection system
CN102818640B (zh) * 2012-09-20 2014-10-29 重庆大学 用包含4f系统误差的图像频谱确定哈特曼阵列数的方法
JP6494205B2 (ja) * 2013-07-31 2019-04-03 キヤノン株式会社 波面計測方法、形状計測方法、光学素子の製造方法、光学機器の製造方法、プログラム、波面計測装置
CN103887157B (zh) * 2014-03-12 2021-08-27 京东方科技集团股份有限公司 光学掩膜板和激光剥离装置
CN105842761B (zh) * 2016-06-08 2018-02-27 重庆邮电大学 井字堆叠型太赫兹波光学聚焦透镜
DE102016119880A1 (de) * 2016-10-19 2018-04-19 HELLA GmbH & Co. KGaA Beleuchtungsvorrichtung für Fahrzeuge
CN106324727B (zh) * 2016-11-03 2017-12-12 山东师范大学 自聚焦微透镜阵列的制作系统及制作方法
GB201712739D0 (en) * 2017-08-09 2017-09-20 Renishaw Plc Laser processing
CN108415108A (zh) * 2018-01-30 2018-08-17 北京理工大学 一种基于纳米孔和表面沟槽结构的平板超透镜

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3808035A (en) * 1970-12-09 1974-04-30 M Stelter Deposition of single or multiple layers on substrates from dilute gas sweep to produce optical components, electro-optical components, and the like
DE2449123C3 (de) * 1974-10-16 1978-08-10 Messerschmitt-Boelkow-Blohm Gmbh, 8000 Muenchen Auskoppelspiegel für astabile Laserresonatoren
FR2665955B1 (fr) * 1985-11-20 1993-04-23 Onera (Off Nat Aerospatiale) Analyseur opto electronique de surfaces d'onde a mosauique de micro-lentilles.
US5186975A (en) * 1987-10-14 1993-02-16 Enichem S.P.A. Process and machinery for step-and-repeat vacuum-deposition of large-area thin-film-electronics matrix-circuits on monolithic glass panes through small perforated metal masks
US5367588A (en) * 1992-10-29 1994-11-22 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Communications Method of fabricating Bragg gratings using a silica glass phase grating mask and mask used by same
US5460908A (en) * 1991-08-02 1995-10-24 Micron Technology, Inc. Phase shifting retical fabrication method
US5233174A (en) * 1992-03-11 1993-08-03 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Wavefront sensor having a lenslet array as a null corrector
US5563709A (en) * 1994-09-13 1996-10-08 Integrated Process Equipment Corp. Apparatus for measuring, thinning and flattening silicon structures
US5534312A (en) * 1994-11-14 1996-07-09 Simon Fraser University Method for directly depositing metal containing patterned films
US5509556A (en) * 1994-11-17 1996-04-23 International Business Machines Corporation Process for forming apertures in a metallic sheet
US5814803A (en) * 1994-12-23 1998-09-29 Spectra-Physics Scanning Systems, Inc. Image reader with multi-focus lens
US5605783A (en) * 1995-01-06 1997-02-25 Eastman Kodak Company Pattern transfer techniques for fabrication of lenslet arrays for solid state imagers
US5864381A (en) * 1996-07-10 1999-01-26 Sandia Corporation Automated pupil remapping with binary optics
JPH10260523A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Nikon Corp シリコンステンシルマスクの製造方法
US5853960A (en) 1998-03-18 1998-12-29 Trw Inc. Method for producing a micro optical semiconductor lens
EP1194755B1 (de) * 1999-07-09 2003-04-23 Wavefront Sciences Inc. Shack-hartmann wellenfrontsensor mit einem höheren als durch die linsenanordnung vorgegebenen räumlichem auflösungsvermögen

Also Published As

Publication number Publication date
US6656373B1 (en) 2003-12-02
WO2001004590A9 (en) 2002-05-02
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US6864043B2 (en) 2005-03-08
DE60002330D1 (de) 2003-05-28
WO2001004590A1 (en) 2001-01-18
US20040060903A1 (en) 2004-04-01
WO2001004591A1 (en) 2001-01-18
EP1194755B1 (de) 2003-04-23

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