ATA80098A - Dünne elektretschichten und ein verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Dünne elektretschichten und ein verfahren zu ihrer herstellung

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ATA80098A
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thin
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Siegfried Dr Bauer
Simona Dr Bauer-Gogonea
Enno Dr Arenholz
Johannes Dr Heitz
Reinhard Schwoediauer
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Johannes Dr Heitz
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • H01G7/021Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric
    • H01G7/023Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric of macromolecular compounds

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