AT303904B - Verfahren zur Behandlung von Werkstücken mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Behandlung von Werkstücken mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number
AT303904B
AT303904B AT105871A AT105871A AT303904B AT 303904 B AT303904 B AT 303904B AT 105871 A AT105871 A AT 105871A AT 105871 A AT105871 A AT 105871A AT 303904 B AT303904 B AT 303904B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
carrying
glow discharge
treating workpieces
workpieces
treating
Prior art date
Application number
AT105871A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Berghaus Elektrophysik Anst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Berghaus Elektrophysik Anst filed Critical Berghaus Elektrophysik Anst
Application granted granted Critical
Publication of AT303904B publication Critical patent/AT303904B/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32697Electrostatic control

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
AT105871A 1970-02-13 1971-02-09 Verfahren zur Behandlung von Werkstücken mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens AT303904B (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH209370A CH519588A (de) 1970-02-13 1970-02-13 Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens
CH4271A CH555898A (de) 1970-02-13 1971-01-05 Verfahren zur bearbeitung eines werkstueckes mittels einer glimmentladung und apparatur zur durchfuehrung des verfahrens.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
AT303904B true AT303904B (de) 1972-12-11

Family

ID=25683336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT105871A AT303904B (de) 1970-02-13 1971-02-09 Verfahren zur Behandlung von Werkstücken mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens

Country Status (11)

Country Link
US (1) US3730863A (de)
JP (1) JPS5118895B1 (de)
AT (1) AT303904B (de)
BE (1) BE762430A (de)
CA (1) CA970327A (de)
CH (2) CH519588A (de)
DE (1) DE2106850C3 (de)
FR (1) FR2078067A5 (de)
LU (1) LU62593A1 (de)
NL (1) NL7101947A (de)
SE (1) SE358907B (de)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH551496A (de) * 1970-09-21 1974-07-15 Berghaus Bernhard Elektrophysi Verfahren zur verfestigung der oberflaeche von werkstuecken aus eisen und stahl.
US3863074A (en) * 1972-08-30 1975-01-28 Ibm Low temperature plasma anodization apparatus
FR2264891B1 (de) * 1974-03-19 1977-10-07 Michel Henri
GB1447219A (en) * 1974-04-27 1976-08-25 Softal Elektronik Gmbh Apparatus for the treatment of thin sheet with a corona discharge
JPS527337A (en) * 1975-07-08 1977-01-20 Fuji Electronics Co Ltd Ion surface treatment of metal
DE2657078C2 (de) * 1975-12-29 1984-08-16 Kawasaki Jukogyo K.K., Kobe, Hyogo Einrichtung zur Gleichstrom-Ionennitrierung von Werkstücken
CH621714A5 (de) * 1976-06-08 1981-02-27 Balzers Hochvakuum
US4193825A (en) * 1977-06-28 1980-03-18 Kayaba Industry Co., Ltd. Method of carbon nitriding a metal workpiece
US4124199A (en) * 1977-07-11 1978-11-07 Abar Corporation Process and apparatus for case hardening of ferrous metal work pieces
DE2803331C3 (de) * 1978-01-26 1981-09-03 Klöckner Ionon GmbH, 5000 Köln Anlage zum teilweisen Behandeln von langgestreckten Werkstücken durch stromstarke Glimmentladung
JPS5514839A (en) * 1978-07-14 1980-02-01 Kawasaki Heavy Ind Ltd Treating method for ion nitriding
FR2439824A1 (fr) * 1978-10-25 1980-05-23 Creusot Loire Perfectionnement dans la chromisation des aciers par voie gazeuse
JPS5591968A (en) * 1978-12-28 1980-07-11 Canon Inc Film forming method by glow discharge
US4394234A (en) * 1979-02-02 1983-07-19 Hitachi, Ltd. Method of processing electrically conductive material by glow discharge
JPS5845177B2 (ja) * 1979-03-09 1983-10-07 富士通株式会社 半導体表面絶縁膜の形成法
FR2483468A2 (fr) * 1980-05-29 1981-12-04 Creusot Loire Perfectionnement dans la chromisation des aciers par voie gazeuse
US4349403A (en) * 1981-01-16 1982-09-14 Lord Corporation Method for bonding elastomers to steel
DE19601436A1 (de) * 1996-01-17 1997-07-24 Siegfried Dr Ing Straemke Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken
DE69726834T2 (de) * 1997-04-18 2004-11-04 Plasma Metal S.A. Verfahren und Ofen zum Nitrieren
JP6354149B2 (ja) * 2013-12-18 2018-07-11 株式会社Ihi プラズマ窒化装置
CN105115801B (zh) * 2015-09-11 2019-01-22 贵州省分析测试研究院 一种金属材料分析前处理器

Also Published As

Publication number Publication date
US3730863A (en) 1973-05-01
SE358907B (de) 1973-08-13
FR2078067A5 (de) 1971-11-05
DE2106850A1 (de) 1971-12-16
DE2106850B2 (de) 1973-07-05
CA970327A (en) 1975-07-01
BE762430A (fr) 1971-07-16
CH519588A (de) 1972-02-29
LU62593A1 (de) 1971-08-19
JPS5118895B1 (de) 1976-06-14
NL7101947A (de) 1971-08-17
DE2106850C3 (de) 1974-01-31
CH555898A (de) 1974-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT303904B (de) Verfahren zur Behandlung von Werkstücken mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens
AT337623B (de) Verfahren zum entwassern von schlamm und vorrichtung zur durchfuhrung des verfahrens
AT309468B (de) Verfahren zum Reinigen von durchlässigen Filtern und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH438073A (de) Verfahren zum Schleifen von Nockenprofilen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
AT329467B (de) Verfahren und vorrichtung zum behandeln von abfallmaterialien
CH441089A (de) Verfahren zum Herstellen von Zigarettenfilterspitzen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH479042A (de) Verfahren zum Kondensieren von Dampf und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
AT282930B (de) Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Herstellen von formfesten Rohren
AT363577B (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen von reduzierendem gas
CH473004A (de) Verfahren zum kontinuierlichen Herstellen von Schlauchpackungen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH424665A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Unterhalt von sanitären Apparaten
DD128007A5 (de) Verfahren zum kokillengiessen von formgussteilen und kokillensatz zur durchfuehrung des verfahrens
ATA952576A (de) Verfahren zum kristallisieren und trocknen von polyaethylenterephthalat und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
CH464813A (de) Verfahren zur Behandlung von Klärschlamm sowie Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
AT330383B (de) Verfahren zum giessen von kolbenrohlingen und kokille zur durchfuhrung des verfahrens
CH421825A (de) Verfahren zum Ausräumen von Vertikal-Zentrifugen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
AT322319B (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von werkstücken
CH543489A (de) Verfahren zum kontinuierlichen Sulfonieren von organischen Stoffen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH532944A (de) Verfahren zur Trennung von Emulsionen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
AT310213B (de) Verfahren zum Herstellen von unberuhigtem Stahl und Mittel zur Durchführung des Verfahrens
ATA785174A (de) Verfahren zur satzweisen behandlung von zumindest teilweise biologisch abbaubarem abfall und vorrichtung zur durchfuhrung des verfahrens
CH518785A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Holzwolle
AT328368B (de) Verfahren zum verpacken von zylindrischen korpern und vorrichtung zur durchfuhrung des verfahrens
CH533470A (de) Verfahren zum Herstellen von Einnahtformrohren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
AT323524B (de) Verfahren und vorrichtung zum zurichten von drehlingen

Legal Events

Date Code Title Description
ELJ Ceased due to non-payment of the annual fee