WO2005124274A3 - Kalibrierverfahren, messverfahren, optische messvorrichtung und betriebsverfahren für eine senderanordnung - Google Patents

Kalibrierverfahren, messverfahren, optische messvorrichtung und betriebsverfahren für eine senderanordnung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibrierung einer Messvorrichtung, die eine Senderanordnung mit mehreren Senderelementen zum Aussenden von Messsignalen zu Feldelementen des Prüflings und eine Empfängeranordnung mit mehreren Empfängerelementen zum Empfangen von Messsignalen von den Feldelementen des Prüflings umfasst, auf ein zugehöriges Verfahren zur Messung an einem Prüfling, auf eine damit kalibrierbare optische Messvorrichtung zur Passeprüfung und auf ein Verfahren zum Betrieb der optischen Messvorrichtung. Bei einem erfindungsgemäßen Kalibrierverfahren wird eine erste Zuordnung von Empfängerelementen, Senderelementen und Prüflingsfeldelementen eingestellt und ein erster Messvorgang zur Gewinnung eines ersten Satzes von Messwerten durchgeführt, dann eine neue Zuordnung eingestellt und ein erneuter Messvorgang durchgeführt, bis eine vorgebbare Anzahl von Messwertsätzen vorliegt, wonach rechnerisch Kalibrierdaten der Senderelemente und/oder der Empfängerelemente aus einem vorgebbaren Gleichungssystem bestimmt werden. Verwendung z.B. zur Kalibrierung einer Wellenfrontvermessungsvorrichtung für ein Projektionsobjektiv einer Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage und zur Kalibrierung einer optischen Messvorrichtung zur Passeprüfung.
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