TWI480697B - 感光性樹脂組成物及其應用 - Google Patents

感光性樹脂組成物及其應用 Download PDF

Info

Publication number
TWI480697B
TWI480697B TW102120555A TW102120555A TWI480697B TW I480697 B TWI480697 B TW I480697B TW 102120555 A TW102120555 A TW 102120555A TW 102120555 A TW102120555 A TW 102120555A TW I480697 B TWI480697 B TW I480697B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
compound
group
ethylenically unsaturated
parts
weight
Prior art date
Application number
TW102120555A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201447488A (zh
Inventor
Yu Jie Tsai
Original Assignee
Chi Mei Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chi Mei Corp filed Critical Chi Mei Corp
Priority to TW102120555A priority Critical patent/TWI480697B/zh
Priority to CN201410228070.2A priority patent/CN104238265A/zh
Publication of TW201447488A publication Critical patent/TW201447488A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI480697B publication Critical patent/TWI480697B/zh

Links

Description

感光性樹脂組成物及其應用
本發明是有關於一種感光性樹脂組成物,特別是指一種包含具有乙烯性不飽和基的化合物的感光性樹脂組成物,其中,該具有乙烯性不飽和基的化合物包括具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物。
在液晶顯示裝置或有機電激發光顯示裝置的領域中,在該等裝置中設置保護膜為一重要的步驟。該保護膜可保護液晶顯示裝置或有機電激發光顯示裝置中的元件避免於酸性處理步驟、鹼性處理步驟或高溫處理步驟時受損,同時,該保護膜需與元件具有密著性,且於高溫處理步驟時具有耐熱性。
日本專利特開2004-240241號揭示一感光性樹脂組成物,其中,由該感光性樹脂組成物所形成的保護膜具有耐熱性,且與元件具有較佳密著性。該感光性樹脂組成物包含共聚合物、乙烯性不飽合基之聚合物及光起始劑,其中,該共聚合物是由乙烯性不飽合羧酸化合物及/或乙烯性不飽合羧酸酐化合物、具環氧基的乙烯性不飽和化合 物,及其它乙烯性不飽和化合物所製得,且該光起始劑例如2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(氧-肟醋酸鹽)、1,2-丁二酮-1-(4-嗎啉基苯基)-2-(氧-苯甲醯肟),或1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[氧-(4-甲基苯甲醯)肟]等。然而,該感光性樹脂組成物雖可製得具有較佳耐熱性的保護膜,但該保護膜的硬度不佳,且與元件間的密著性仍不足。
經上述說明可知,改良感光性樹脂組成物以為該保護膜提供更佳的密著性及硬度,繼而使得信賴性得以提升,是此技術領域相關技術人員可再突破的課題。
因此,本發明之第一目的,即在提供一種感光性樹脂組成物。由該感光性樹脂組成物所形成的薄膜具有較佳的密著性及硬度。
於是本發明感光性樹脂組成物,包含:鹼可溶性樹脂;具有乙烯性不飽和基的化合物,包括具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(dioxaheterocyclic-based compound having vinyl unsaturated group)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(urethane-based compound having vinyl unsaturated group);光起始劑;及溶劑;其中,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物包括至少一種由下列群組所組成的具有乙烯性不飽和基的二氧 雜環烷化合物:式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物及式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物; R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 、R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 各自表示氫、烴基或具有乙烯性不飽和基的基團,但條件是R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團,且R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團;該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值範圍為0.1至10。
本發明之第二目的,即在提供一種形成薄膜的方法。
於是本發明形成薄膜的方法,包含以下步驟:將上述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而形成。
本發明之第三目的,即在提供一種具有較佳的密著性及硬度的薄膜。
於是本發明薄膜,是由上述的形成薄膜的方法所製得。
本發明之第四目的,即在提供一種使用薄膜的 方法。
於是本發明使用薄膜的方法,做為液晶顯示元件或有機電激發光顯示器中的平坦化膜、層間絕緣膜或保護膜。
本發明之第五目的,即在提供一種顯示裝置。
於是本發明顯示裝置,包含一顯示裝置本體及一位於該顯示裝置本體中上述的薄膜。
本發明之功效在於:該感光性樹脂組成物透過使用該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物,並且調控該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值,可使得由其所形成的薄膜具有較佳的密著性及硬度。
在本文中,該(甲基)丙烯酸酯[(metha)acrylate]表示丙烯酸酯(acrylate)及/或甲基丙烯酸酯(methacrylate)。
本發明感光性樹脂組成物,包含:鹼可溶性樹脂(A);具有乙烯性不飽和基的化合物(B),包括具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2); 光起始劑(C);及溶劑(D);其中,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)包括至少一種由下列群組所組成的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物(B-1-1):式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物及式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物; R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 、R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 各自表示氫、烴基或具有乙烯性不飽和基的基團,但條件是R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團,且R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團;該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值範圍為0.1至10。
該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值小於0.1,由其所形成的薄膜的密著性不佳;該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值大於10,由其所形成的薄膜的硬度不佳;較佳地,該具有乙烯 性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值範圍為0.3至8。更佳地,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值範圍為0.5至6。
較佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)的使用量範圍為10重量份至200重量份,且該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的使用量範圍為20重量份至200重量份。
較佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)的使用量範圍為15重量份至150重量份,且該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的使用量範圍為25重量份至150重量份。
更佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)的使用量範圍為20重量份至100重量份,且該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的使用量範圍為30重量份至100重量份。
[感光性樹脂組成物及其製備]
本發明感光性樹脂組成物可採用一般的混合方式(如使用混合機或分散機)將鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D),及必要 時添加的添加劑(E)均勻混合成溶液狀態,即可獲得本發明感光性樹脂組成物。上述的混合方式為本技術領域者所周知,因此不再多加贅述。
基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量範圍為30重量份至300重量份,且該溶劑(D)的使用量範圍為300重量份至2,000重量份。
較佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量範圍為40重量份至300重量份,且該溶劑(D)的使用量範圍為400重量份至1,800重量份。
更佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的使用量範圍為50重量份至200重量份,且該溶劑(D)的使用量範圍為500重量份至1,500重量份。
以下將逐一對該鹼可溶性樹脂(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D)及添加劑(E)進行詳細說明。
<<鹼可溶性樹脂(A)>>
該鹼可溶性樹脂(A)並無特別限制,只要可溶於鹼性水溶液中即可。該鹼可溶性樹脂(A)的重量平均分子量範圍為3,000至100,000;較佳地,為4,000至80,000;更佳地,為5,000至60,000。
該鹼可溶性樹脂(A)包括一第一鹼可溶性樹脂 (A-1)。該鹼可溶性樹脂(A)還包括一第二鹼可溶性樹脂(A-2)。
<第一鹼可溶性樹脂(A-1)>
基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該第一鹼可溶性樹脂(A-1)的使用量範圍為30重量份至100重量份。
較佳地,該第一鹼可溶性樹脂(A-1)是由一包括不飽和羧酸化合物或不飽和羧酸酐化合物(a-1-1)、具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2),與其它不飽和化合物(a-1-3)的混合物(a-1)經聚合反應所製得。
基於該混合物(a-1)的總量為100重量份,該不飽和羧酸化合物及不飽和羧酸酐化合物(a-1-1)的總使用量範圍為5重量份至40重量份;較佳地,該不飽和羧酸化合物及不飽和羧酸酐化合物(a-1-1)的總使用量範圍為8重量份至35重量份;更佳地,該不飽和羧酸化合物及不飽和羧酸酐化合物(a-1-1)的總使用量範圍為10重量份至30重量份。
該不飽和羧酸化合物可單獨或混合使用,且該不飽和羧酸化合物例如但不限於不飽和單羧酸化合物、不飽和多羧酸化合物、具有不飽和基及一個羧基的多環化合物,或具有不飽和基及多個羧基的多環化合物。
該不飽和單羧酸化合物例如但不限於(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯醯乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester)、2-(甲基)丙烯醯乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯醯乙氧基苯二甲酸酯,或omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯等。該omega-羧基聚己內酯多元醇單丙烯酸酯例如東亞合成製商品名ARONIX M-5300。該不飽和多羧酸化合物例如但不限於馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸,或檸康酸等。該具有不飽和基及一個羧基的多環化合物例如但不限於5-羧基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2.2.1]庚-2-烯,或5-羧基-6-乙基雙環[2.2.1]庚-2-烯等。該具有不飽和基及多個羧基的多環化合物例如但不限於5,6-二羧基二環[2.2.1]庚-2-烯等。
較佳地,該不飽和羧酸化合物是擇自於丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯醯基乙氧基六氫化苯二甲酸酯,或此等一組合。
該不飽和羧酸酐化合物可單獨或混合使用,且該不飽和羧酸酐化合物例如但不限於不飽和羧酸酐化合物或具有不飽和基及羧酸酐的多環化合物。
該不飽和羧酸酐化合物例如但不限於馬來酸酐、富馬酸酐、甲基富馬酸酐、衣康酸酐,或檸康酸酐等。該具有不飽和基及羧酸酐的多環化合物例如但不限於5,6-二羧酸酐二環[2.2.1]庚-2-烯等。
較佳地,該不飽和羧酸酐化合物為馬來酸酐。
該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2)可單獨或 混合使用,且該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2)例如但不限於具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物,或環氧丙醚化合物等。
該具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物例如但不限於(甲基)丙烯酸環氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯,或(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯等。
該具有環氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物例如但不限於α-乙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環氧丙酯,或α-乙基丙烯酸6,7-環氧庚酯等。
該環氧丙醚化合物例如但不限於鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether),或對-乙烯基苯甲基環氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)等。
較佳地,該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2)是擇自於甲基丙烯酸環氧丙酯、甲基丙烯酸3,4-環氧環己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-環氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環氧丙醚、對-乙烯基苯甲基環氧丙醚,或此等一組合。
基於該混合物(a-1)的總量為100重量份,該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2)的使用量範圍為10重量份至40重量份;較佳地,該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2) 的使用量範圍為12重量份至35重量份;更佳地,該具有環氧基的不飽和化合物(a-1-2)的使用量範圍為15重量份至30重量份。
該其它不飽和化合物(a-1-3)可單獨或混合使用,且該其它不飽和化合物(a-1-3)例如但不限於(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚、苯乙烯系化合物,或上述化合物外的不飽和化合物。
該(甲基)丙烯酸烷基酯例如但不限於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁基酯,或(甲基)丙烯酸第三丁基酯等。
該(甲基)丙烯酸脂環族酯例如但不限於(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環己酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯{或稱三環[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯}、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯,或(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯等。
該(甲基)丙烯酸芳基酯例如但不限於(甲基)丙烯酸苯基酯,或甲基丙烯酸苯甲酯等。
該不飽和二羧酸酯例如但不限於馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯,或衣康酸二乙酯等。
該(甲基)丙烯酸羥烷酯例如但不限於(甲基)丙 烯酸-2-羥基乙酯,或(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯等。
該具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚例如但不限於聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯,或聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯等。
該苯乙烯系化合物例如但不限於苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯,對-甲基苯乙烯,或對-甲氧基苯乙烯等。
該上述化合物外的不飽和化合物例如但不限於丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-環己基馬來醯亞胺、N-苯基馬來醯亞胺、N-芐基馬來醯亞胺、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺苯甲酸酯、N-丁二醯亞胺基-4-馬來醯亞胺丁酸酯、N-丁二醯亞胺基-6-馬來醯亞胺己酸酯、N-丁二醯亞胺基-3-馬來醯亞胺丙酸酯,或N-(9-吖啶基)馬來醯亞胺等。
較佳地,該其它不飽和化合物(a-1-3)是擇自於(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸第三丁基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環戊酯、甲基丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯,或此等一組合。
基於該混合物(a-1)的總量為100重量份,該其它不飽和化合物(a-1-3)的使用量範圍為20重量份至85重量份;較佳地,該其它不飽和化合物(a-1-3)的使用量範圍 為30重量份至80重量份;更佳地,該其它不飽和化合物(a-1-3)的使用量範圍為30重量份至75重量份。
在製造該鹼可溶性樹脂(A-1)時,可在該混合物(a-1)中加入溶劑(a-1-4)。該溶劑(a-1-4)可單獨或混合使用,且該溶劑(a-1-4)例如但不限於醇類化合物、醚類化合物、二醇醚類化合物、乙二醇烷基醚醋酸酯類化合物、二乙二醇類化合物、二丙二醇類化合物、丙二醇單烷基醚類化合物、丙二醇烷基醚醋酸酯類化合物、丙二醇烷基醚丙酸酯類化合物、芳香烴類化合物、酮類化合物,或酯類化合物等。
該醇類化合物例如但不限於甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇,或3-苯基-1-丙醇等。該醚類化合物例如但不限於四氫呋喃等。該二醇醚類化合物例如但不限於乙二醇單丙基醚、乙二醇單甲基醚,或乙二醇單乙基醚等。該乙二醇烷基醚醋酸酯類化合物例如但不限於乙二醇丁基醚醋酸酯、乙二醇乙基醚醋酸酯,或乙二醇甲基醚醋酸酯等。該二乙二醇類化合物例如但不限於二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚,或二乙二醇甲基乙基醚等。該二丙二醇類化合物例如但不限於二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚,或二丙二醇甲基乙基醚等。該丙二醇單烷基醚類化合物例如但不限於丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚,或丙二醇單丁基醚等。該丙二醇烷基醚醋酸酯類化 合物例如但不限於丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇丙基醚醋酸酯,或丙二醇丁基醚醋酸酯等。該丙二醇烷基醚丙酸酯類化合物例如但不限於丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯,或丙二醇丁基醚丙酸酯等。該芳香烴類化合物例如但不限於甲苯,或二甲苯等。該酮類化合物例如但不限於甲乙酮、環己酮,或二丙酮醇等。該酯類化合物例如但不限於乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥乙酸甲酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸 丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯,或3-丁氧基丙酸丁酯等。
較佳地,該溶劑(a-1-4)是擇自於二乙二醇二甲基醚、丙二醇甲基醚醋酸酯,或此等一組合。
在製造該鹼可溶性樹脂(A-1)時,可在該混合物(a-1)中加入聚合起始劑(a-1-5)。該聚合起始劑(a-1-5)可單獨或混合使用,且該聚合起始劑(a-1-5)例如但不限於偶氮化合物,或過氧化物等。
該偶氮化合物例如但不限於2,2’-偶氮雙異丁腈、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙-2-甲基丁腈、4,4’-偶氮雙(4-氰基戊酸)、二甲基2,2’-偶氮雙(2-甲基丙酸酯),或2,2’-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等。較佳地,該偶氮化合物是擇自於2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙-2-甲基丁腈,或此等一組合。
該過氧化物例如但不限於過氧化二苯甲醯、過氧化十二醯、叔丁基過氧化叔戊酸酯、1,1-雙(叔丁基過氧化)環己烷,或過氧化氫等。
<第二鹼可溶性樹脂(A-2)>
基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該第二鹼可溶性樹脂(A-2)的使用量範圍為0重量份至70重量份。
該第二鹼可溶性樹脂(A-2)可單獨或混合使用,且該第二鹼可溶性樹脂(A-2)例如但不限於芴(fluorene)系樹脂、尿烷(urethane)系樹脂,或酚醛清漆(novolac)型樹脂等。
該芴系樹脂例如但不限於新日鐵化學製商品名V259ME、V259MEGTS或V500MEGT等。該尿烷系樹脂例如但不限於根上工業株式会社製商品名UN-904、UN-952、UN-333或UN1255等。該酚醛清漆型樹脂例如但不限於旭有機材工業株式会社製商品名EP4020G、EP4080G、TR40B45G或EP30B50等。
<<具有乙烯性不飽和基的化合物(B)>>
該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)包括具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)。
該感光性樹脂組成物中未使用具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1),使得由其所形成的薄膜的密著性不佳。
該感光性樹脂組成物中未使用具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2),使得由其所形成的薄膜的硬度不佳。
<具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)>
該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)包括至少一種由下列群組所組成的具有乙烯性不飽和 基的二氧雜環烷化合物(B-1-1):式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物及式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物; R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 、R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 各自表示氫、烴基或具有乙烯性不飽和基的基團,但條件是R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團,且R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團。
該烴基例如但不限於烷基、芳基、芳烷基(aralkyl)、烯基,或環烷基等。較佳地,該烴基為具有1至18個碳原子的烴基。較佳地,該烴基為烷基。
較佳地,該R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 各自表示具有1至8個碳原子的直鏈烷基,或具有1至8個碳原子的支鏈烷基。更佳地,該R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 各自表示具有1至4個碳原子的直鏈烷基。又更佳地,R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 各自表示甲基或乙基。
較佳地,R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 中至少兩者具有乙烯性不飽和基的基團。
較佳地,R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 中至少兩者具有乙烯性不飽和基的基團。
該具有乙烯性不飽和基的基團例如但不限於具有乙烯基的基團、具有(甲基)丙烯醯氧基(acryloxy)的基團,或具有(甲基)丙烯醯胺基(acrylamide)的基團等。
該式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物可單獨或混合使用,且該式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物例如但不限於 (I-11),或等。
該式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物可單獨或混合使用,且該式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物例如但不限於 (II-7)、 ,或等。
較佳地,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物(B-1-1)是擇自於式(I-2)、式(I-5)、式(I-6)、式(II-1)、式(II-2),或此等一組合。
<具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)>
該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)可由具有羥基的(甲基)丙烯酸酯類化合物與異氰酸酯類化合物反應而製得。該具有羥基的(甲基)丙烯酸酯類化合 物例如但不限於季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯,或二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等。該異氰酸酯類化合物例如但不限於聚亞甲基二異氰酸酯類化合物(polymethylene diisocyanate)、亞環烷基二異氰酸酯類化合物(arylene diisocyanate),或亞芳香基二異氰酸酯類化合物(cycloalkylene diisocyanate)等。該聚亞甲基二異氰酸酯類化合物例如不限於六亞甲基二異氰酸酯等。該亞環烷基二異氰酸酯類化合物例如不限於甲苯二異氰酸酯等。該亞芳香基二異氰酸酯類化合物例如不限於異佛爾酮二異氰酸酯(isophorone diisocyanate)等。
該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)可單獨或混合使用,且該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)例如但不限於式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-1),或其它具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-2); R15 表示;R16 及R17 各自表示;R18 、R19 、R20 、R21 、R22 、R23 、R24 及R25 各自表示氫或,條件 是R18 、R19 及R20 中至少兩者表示,且R21 、R22 及R23 中至少兩者表示,R24 及R25 不 可同時為氫;R26 表示氫或甲基;n表示2至8的整數。
為使所形成的薄膜具有更佳的硬度,較佳地,該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)包括式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-1)。
較佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的使用量範圍為20重量份至150重量份;較佳地,該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的使用量範圍為25重量份至125重量份;更佳地,該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的使用量範圍為30重量份至100重量份。
該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-1)可單獨或混合使用,且該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-1)例如 但不限於 (III-2),或式(III-3)等。
該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-1)例如但不限於共榮社化學製(商品名UA-306H、UA-306T、UA-306I、或UA-510H)、新中村化學製(商品名U-4HA、UA-32P、U-6H、U-4H),或日本化藥製(商品名DPHA-40H)等。
該其它具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2-2)例如但不限於共榮社化學製(商品名AH-600、AT-600)、第一工業製藥社製R-1000系列(商品名R-1301、R-1302、R-1303、R-1304、R-1306、R-1308、R-1204、R-1211、R-1213),或東亞合成製(商品名Aronix M-1100、M-1200、M-1210、M-1310、M-1600)等。
<其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-3)>
該其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-3)可單獨或混合使用,且該其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-3)例如但不限於具有一個乙烯性不飽和基的化合物(B-3-1),或具有至少兩個乙烯性不飽和基的化合物(B-3-2)等。
該具有一個乙烯性不飽和基的化合物(B-3-1)例如但不限於丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯嗎啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸異冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯醯胺、二丙酮(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸二甲胺基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2- 三溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丙酯、乙烯基己內醯胺、N-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚單(甲基)丙烯酸甘醇酯、聚單(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸冰片酯、二乙二醇單乙基醚(甲基)丙烯酸酯、3-甲氧基(甲基)丙烯酸丁酯、2-(甲基)丙烯醯氧乙基-2-羥丙基酞酸酯、omega-羧基聚己內酯單丙烯酸酯、東亞合成製(商品名ARONIX M-101、M-111、M-114、M-5300)、日本化藥製(商品名KAYARAD TC-110S、TC-120S),或大阪有機化學工業製(商品名Viscoat 158、2311)等。
該具有至少兩個乙烯性不飽和基的化合物(B-3-2)例如但不限於二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、乙氧基(oxyethylene)改質的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、丙氧基(oxypropylene)改質的三(甲基)丙烯酸三羥甲基丙酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙(乙醇基苯氧基)芴二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚甘醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內酯改質的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內 酯改質的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羥甲基丙酯、乙氧基改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基改質的雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基改質的氫化雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基改質的甘油三丙酸酯、乙氧基改質的雙酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛聚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、三[2-(甲基)丙烯醯氧乙基]磷酸酯、東亞合成製(商品名ARONIX M-210、M-240、M-6200、M-309、M-400、M-405、M-450、M-7100、M-8030、M-8060;TO-1450)、日本化藥製(商品名KAYARAD HDDA、HX-220、KAYARAD DPHA、TMPTA、DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120),或大阪有機化學工業製(商品名Viscoat 260、312、335H.P.、295、300、360、GPT、3PA、400)等。
較佳地,該其它具有乙烯性不飽和基的化合物(B-3)是擇自於三丙烯酸三羥甲基丙酯、乙氧基改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、丙氧基改質的三丙烯酸三羥甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己內酯改質的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羥甲基丙酯、丙氧基改質的甘油三丙酸酯,或此等一組合。
<<光起始劑(C)>>
較佳地,基於該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的總量為100重量份,該光起始劑(C)的使用量範圍為5 重量份至80重量份;較佳地,該光起始劑(C)的使用量範圍為8重量份至75重量份;更佳地,該光起始劑(C)的使用量範圍為10重量份至70重量份。
該光起始劑(C)可單獨或混合使用,且該光起始劑(C)例如但不限於氧-醯基肟類化合物(O-acyloxime)(C-1)或其它光起始劑(C-2)。
為使所形成的薄膜具有更佳的密著性,較佳地,該光起始劑(C)包括氧-醯基肟類化合物(C-1)。
較佳地,基於該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的總量為100重量份,該氧-醯基肟類化合物(C-1)的使用量範圍為5重量份至70重量份;較佳地,該氧-醯基肟類化合物(C-1)的使用量範圍為8重量份至65重量份;更佳地,該氧-醯基肟類化合物(C-1)的使用量範圍為10重量份至60重量份。
該氧-醯基肟類化合物(C-1)可單獨或混合使用,且該氧-醯基肟類化合物(C-1)例如但不限於式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1),或其它氧-醯基肟類化合物(C-1-2)等,其中,該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1): X1 、X2 、X3 、X4 、X5 、X6 、X7 、X8 及X9 各自表示氫、 鹵素、具有1至12個碳原子的烷基、環戊基、環己基、苯基、芐基、苯甲醯基、具有2至12個碳原子的烷醯基、具有2至12個碳原子的烷氧羰基、或苯氧基羰基;X10 及X11 各自表示氫、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的環烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的環烷基、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的直鏈烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的直鏈烷基、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的支鏈烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的支鏈烷基、未被取代基取代的芳基、被取代基取代的芳基,其中,該取代基是擇自於鹵素原子、具有1至6個碳原子數的烷氧基或芳基。
為使所形成的薄膜具有更佳的密著性,較佳地,該氧-醯基肟類化合物(C-1)包括式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1)。
該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1)可單獨或混合使用,且該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1)例如但不限於1-[4-(苯基硫代)苯基]-丙烷-3-環戊烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟),或1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟)等。該1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟)例如但不限於Ciba Specialty Chemicals製的OXE01。
較佳地,基於該具有乙烯性不飽和基的化合物(B)的總量為100重量份,該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物 (C-1-1)的使用量範圍為5重量份至60重量份;較佳地,該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1)的使用量範圍為8重量份至55重量份;更佳地,該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物(C-1-1)的使用量範圍為10重量份至50重量份。
該其它氧-醯基肟類化合物(C-1-2)可單獨或混合使用,且該其它氧-醯基肟類化合物(C-1-2)例如但不限於1-[4-(苯醯基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫呋喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二 甲基-1,3-二氧雜戊環基)苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟),或乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)等。該1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙醯基肟)例如Ciba Specialty Chemicals製的OXE 02。
較佳地,該其它氧-醯基肟類化合物(C-1-2)是擇自於1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃甲氧基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧雜戊環基)甲氧基苯醯基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟),或此等一組合。
該其它光起始劑(C-2)可單獨或混合使用,且該其它光起始劑(C-2)例如但不限於三氮雜苯類化合物、苯乙烷酮類化合物、二咪唑類化合物、二苯甲酮類化合物、α-二酮類化合物、酮醇類化合物、酮醇醚類化合物、醯膦氧化物類化合物、醌類化合物、含鹵素類化合物,或過氧化物等。
該三氮雜苯類化合物例如但不限於乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物,或4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物等。
該乙烯基-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物例如但不限於2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-3-(1-對-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮雜苯,或2-三氯甲基-3-胺基-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯等。
該2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物例如但不限於2-(萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯,或2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-雙-三氯甲基-s-三氮雜苯等。
該4-(對-胺基苯基)-2,6-二-鹵代甲基-s-三氮雜苯化合物例如但不限於4-[對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺 基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-甲基-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(對-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[對-N-(對-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[鄰-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-溴-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯 甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氯-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-[間-氟-對-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(間-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-溴-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氯-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、4-(鄰-氟-對-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯,或2,4-雙(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-雙(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮雜苯等。
較佳地,該三氮雜苯類化合物是擇自於4-[間-溴-對-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮雜苯、2,4-雙(三氯甲基)-6-對-甲氧基苯乙烯基-s-三氮雜苯,或此等一組合。
該苯乙烷酮類化合物可單獨或混合使用,且該 苯乙烷酮類化合物例如但不限於對二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、對-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮(Ciba Specialty Chemicals製商品名IRGACURE 907),或2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮(Ciba Specialty Chemicals製商品名IRGACURE 369)等。該2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮例如Ciba Specialty Chemicals製商品名IRGACURE 907。該2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮例如Ciba Specialty Chemicals製商品名IRGACURE 369。較佳地,該苯乙烷酮類化合物是擇自於2-甲基-1-(4-甲基硫代苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮,或此等一組合。
該二咪唑類化合物可單獨或混合使用,且該二咪唑類化合物例如但不限於2,2’-雙(鄰-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(鄰-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(對-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑,或2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。較佳地,該二咪唑類化合物為2,2’-雙(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’- 四苯基二咪唑。
該二苯甲酮類化合物可單獨或混合使用,且該二苯甲酮類化合物例如但不限於噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-碸、二苯甲酮、4,4’-雙(二甲胺)二苯甲酮,或4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮等。較佳地,該二苯甲酮類化合物為4,4’-雙(二乙胺)二苯甲酮。
該α-二酮類化合物可單獨或混合使用,且該α-二酮類化合物例如但不限於苯偶醯或雙乙醯等。
該酮醇類化合物可單獨或混合使用,且該酮醇類化合物例如但不限於二苯乙醇酮。
該酮醇醚類化合物可單獨或混合使用,且該酮醇醯類化合物例如但不限於二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚,或二苯乙醇酮異丙醚等。
該醯膦氧化物類化合物可單獨或混合使用,且該醯膦氧化物類化合物例如但不限於2,4,6-三甲基苯醯二苯基膦氧化物,或雙-(2,6-二甲氧基苯醯)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。
該醌類化合物可單獨或混合使用,且該醌類化合物例如但不限於蒽醌或1,4-萘醌等。
該含鹵素類化合物可單獨或混合使用,且該含鹵素類化合物例如但不限於苯醯甲基氯、三溴甲基苯碸,或三(三氯甲基)-s-三氮雜苯等。
該過氧化物可單獨或混合使用,且該過氧化物例如但不限於二-第三丁基過氧化物等。
<<溶劑(D)>>
該溶劑(D)可單獨或混合使用,且該溶劑(D)例如但不限於芳香族系化合物、醇系化合物、醚系化合物、酯系化合物,或酮系化合物等。
該芳香族系化合物例如但不限於苯、甲苯,或二甲苯等。該醇系化合物例如但不限於甲醇,或乙醇等。該醚類系化合物例如但不限於乙二醇單丙基醚、二乙二醇二甲基醚、四氫呋喃、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚,或二乙二醇丁基醚等。該酯系化合物例如但不限於乙二醇甲基醚醋酸酯、乙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇甲基醚醋酸酯、丙二醇乙基醚醋酸酯、丙二醇丙基醚醋酸酯,或3-乙氧基丙酸乙酯等。該酮系化合物例如但不限於甲乙酮,或丙酮等。
較佳地,該溶劑(D)是擇自於二乙二醇二甲基醚、丙二醇甲基醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯,或此等一組合。
<<添加劑(E)>>
該添加劑(E)可單獨或混合使用,且該添加劑(E)例如但不限於填充劑、鹼可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物、紫外線吸收劑、防凝集劑、界面活性劑、密著促進劑、保存安定劑,或耐熱性促進劑等。
該填充劑例如但不限於玻璃,或鋁等。該鹼可溶性樹脂(A)以外的高分子化合物例如但不限於聚乙烯醇、聚乙二醇單烷基醚,或聚氟丙烯酸烷酯等。該紫外線吸 收劑例如但不限於2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯基疊氮,或烷氧基苯酮等。該防凝集劑例如但不限於聚丙烯酸鈉等。該界面活性劑例如但不限於含氟界面活性劑、有機矽界面活性劑、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯二烷基酯,或非離子界面活性劑等。
該含氟界面活性劑可單獨或混合使用,且該含氟界面活性劑例如但不限於1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸鈉、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸鈉、氟烷磷酸鈉、氟烷羧酸鈉、氟烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷銨碘、氟烷甜菜鹼、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷基烷醇、BM CHEMIE製(商品名BM-1000、BM-1100)、大日本墨水及化學工業製(商品名Megafac F142D、F172、F173、F183、F178、F191、F471、F476)、住友化學製(商品名Fluorad FC 170C、FC-171、FC-430、FC-431)、旭硝子製(商品名氯氟碳S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106)、新秋田化成製(商品名F Top EF301、303、352)、NEOSU製(商品名Ftergent FT-100、FT-110、FT-140A、FT-150、FT-250、FT-251、FTX-251、FTX-218、FT-300、FT-310、FT-400S),或DIC製(商品名F-410、 F-444、F-445、F-552、F-553、F-554)等。
該有機矽界面活性劑可單獨或混合使用,且該有機矽界面活性劑例如但不限於Dow Corning Toray Silicone製(商品名TORE有機矽DC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8427、SF-8428、DC-57、DC-190),或GE東芝有機矽製(商品名TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452)等。
該聚氧乙烯烷基醚例如但不限於月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚,或聚氧乙烯油基醚等。該聚氧乙烯芳基醚例如但不限於聚氧乙烯正辛基苯醚,或聚氧乙烯正壬基苯酚醚等。該聚氧乙烯二烷基酯例如但不限於聚氧乙烯二月桂酸,或聚氧乙烯二硬脂酸等。該非離子界面活性劑例如但不限於信越化學製商品名KP341,或共榮社油脂化學工業製(商品名poly flow No.57、95)等。
該密著促進劑例如但不限於具有反應基團的矽烷交聯劑等。較佳地,該具有反應基團的矽烷交聯劑中的反應基團是擇自於羧基、烯基、異氰酸酯基、環氧基、胺基、巰基,或鹵素。該具有反應基團的矽烷交聯劑可單獨或混合使用,且該具有反應基團的矽烷交聯劑例如但不限於對-羥基苯基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯三乙醯氧基矽烷、乙烯三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)矽烷、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、3-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽 烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷、3-環氧丙氧基二甲基甲氧基矽烷、3-胺丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、3-巰丙基三甲氧基矽烷、3-氯丙基三甲氧基矽烷,或3-氯丙基甲基二甲氧基矽烷等。該3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷例如信越化學製商品名KBM403。
該保存安定劑為具有硫的化合物、具有醌的化合物、具有氫醌的化合物、聚氧化物、具有胺基的化合物、具有亞硝基的化合物或具有硝基的化合物。該保存安定劑可單獨或混合使用,且該保存安定劑例如但不限於4-甲氧基苯酚、(N-亞硝基-N-苯基)羥胺鋁、2,2-硫代雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚),或2,6-二-第三丁基苯酚等。
該耐熱性促進劑可單獨或混合使用,且該耐熱性促進劑例如但不限於N-(烷氧基甲基)甘脲化合物,或N-(烷氧基甲基)三聚氰胺等。
該N-(烷氧基甲基)甘脲化合物例如但不限於N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(異丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丁氧基甲基)甘脲,或N,N,N',N'-四(第三丁氧基甲基)甘脲等。較佳地,該N-(烷氧基甲基)甘脲化合物為N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲。該N-(烷氧基甲基)三聚氰胺例如但不限於N,N,N',N',N",N"-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、 N,N,N',N',N",N"-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(異丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N",N"-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺,或N,N,N',N',N",N"-六(第三丁氧基甲基)三聚氰胺等。較佳地,該N-(烷氧基甲基)三聚氰胺為N,N,N',N',N",N"-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。該耐熱性促進劑市售品例如三和化學製(商品名NIKARAKKU N-2702、MW-30M)。
較佳地,基於該鹼可溶性樹脂(A)的總量為100重量份,該添加劑的使用量範圍為0重量份至10重量份;更佳地,為0重量份至6重量份;又更佳地,為0重量份至3重量份。
本發明形成薄膜的方法,包含以下步驟:將上述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而形成。
該預烤處理目的在於使溶劑揮發。較佳地,該預烤處理的操作溫度範圍為70℃至120℃。
該曝光處理可採以往的方式即可。該曝光處理的操作光源例如但不限於可見光、紫外光或遠紅外光等。該光源的波長範圍為250nm至550nm。較佳地,該光源的波長範圍為365nm。該曝光處理的曝光量範圍為100 J/m2 至5,000 J/m2 。較佳地,該曝光處理的曝光量範圍為200 J/m2 至3,000 J/m2
該顯影處理可採以往的方式即可。該顯影處理 所使用的顯影劑,可採用以往所使用的顯影劑即可。該顯影劑例如但不限於無機鹼、第一級脂肪胺、第二級脂肪胺、第三級脂肪胺、第三級脂肪環酸、第三級芳香胺,或第四級銨鹽鹼性化合物等。進一步地視需要可添加水溶性有機溶劑或表面活性劑至顯影劑中。
該無機鹼例如但不限於氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、矽酸鈉、偏矽酸酸鈉,或氨等。該第一級脂肪胺例如但不限於乙胺或正丙胺等。第二級脂肪胺例如但不限於二乙胺或正丙胺等。第三級脂肪胺例如但不限於三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺,或三乙胺等。第三級脂肪環酸例如但不限於吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯,或1,5-二氮雜雙環[4.3.0]-5-壬烯等。第三級芳香胺例如但不限於吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶,或喹啉等。第四級銨鹽鹼性化合物例如但不限於四甲基氫氧化銨,或四乙基氫氧化銨等。水溶性有機溶劑例如但不限於甲醇,或乙醇等。
該後烤處理可採以往的方式即可。該後烤處理的設備例如但不限於加熱板或烘箱。該後烤處理的操作溫度範圍為100℃至250℃。該後烤處理的操作時間範圍為30鐘至180分鐘。
本發明薄膜是由上述的形成薄膜的方法所製得。
本發明使用薄膜的方法,做為液晶顯示元件或有機電激發光顯示器中的平坦化膜、層間絕緣膜或保護膜 。該液晶顯示元件或有機電激發光顯示器並無特別的限制,且可採用所屬領域所使用的即可,故不再贅述。
本發明顯示裝置包含一顯示裝置本體及一位於該顯示裝置本體中上述的薄膜。該顯示裝置本體並無特別的限制,且可採用所屬領域所使用的即可,故不再贅述。
本發明將就以下實施例來作進一步說明,但應瞭解的是,該等實施例僅為例示說明之用,而不應被解釋為本發明實施之限制。
<<實施例>>
<<合成例1>>
在一容積為1000毫升的四頸錐瓶上設置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計,並導入氮氣,且依表1所示加入一混合物。該混合物包括10.0重量份的甲基丙烯酸(以下簡稱MAA)、5.0重量份的2-甲基丙烯醯乙氧基丁二酸酯(以下簡稱HOMS)、40.0重量份的甲基丙烯酸環氧丙酯(以下簡稱GMA)、30.0重量份的甲基丙烯酸雙環戊酯(以下簡稱FA-513M)、15.0重量份的甲基丙烯酸異冰片酯(以下簡稱IBOMA),以及300重量份的二乙二醇二甲基醚(以下簡稱diglyme),其中,混合物中的各成份的入料方式為同時且一次全部添加。攪拌該混合物時,將油浴的溫度提升至70℃,然後,將一包含2.0重量份的2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)(以下簡稱ADVN)及20重量份的diglyme的溶液分為五等份,並每隔一小時添加至四頸錐瓶中。聚合過程的反應溫度維持在70℃,且聚合時間為6.0小時。 完成聚合後,將聚合產物自四頸錐瓶中取出置於濃縮瓶中,使用濃縮機將溶劑移除,可得鹼可溶性樹脂(A-1-1)。
<<合成例2至5>>
合成例2至5是以與合成例1相同的步驟來製備該鹼可溶性樹脂(A-1-2至A-1-5),不同的地方在於:改變原料的種類、使用量及合成條件,如表1所示。
<<實施例1>> 感光性樹脂組成物
將100重量份的A-1-1、10重量份的式(I-2)的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物、20重量份的式(III)的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(共榮社化學社製商品名UA-306H)、5重量份的1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(氧-苯醯基肟),及300重量份的丙二醇甲基醚醋酸酯於室溫下攪拌混合均勻,即可獲得本發明感光性樹脂組成物。
<<應用例1>> 薄膜
將實施例1的感光性樹脂組成物以旋轉塗佈的方式塗佈在100x100x0.7mm3 大小的素玻璃基板上,得到厚度約2μm的預塗膜,接著,以110℃預烤2分鐘後,在曝光機與預塗膜間置入適用的光罩,且以100mJ/cm2 能量的紫外光照射該預塗膜,接著,浸漬於23℃且2.38 wt%的氫氧化四甲銨的顯影液中60秒,除去曝光的部分。以清水清洗後,再以曝光機直接照射顯影後的塗膜,其能量為200mJ/cm2 。接著以230℃的溫度進行1小時的後烤處理,即可獲得本發明薄膜。
<<實施例2至10及比較例1至6>>
實施例2至10及比較例1至6是以與實施例1相同的步驟來製備該感光性樹脂組成物,不同的地方在於:改變原料的種類及其使用量,如表2及表3所示。
<<應用例2至10及比較應用例1至6>>
應用例2至10及比較應用例1至6是以與應用例1相同的步驟來製備薄膜,不同的地方在於:改變感光性樹脂組成物,如表4所示。
<<檢測項目>>
密著性:將應用例1至10及比較應用例1至6的薄膜分別根據JIS.5400(1900)8.5密著性試驗法中的8.5.2的基盤目法測定,以小刀割成100個基盤目,再以膠帶沾黏後撕下,觀察基盤目殘留的情形,並以下述基準作為評價:◎:5B;○:4B;△:3B~2B;及X:1B~0B;5B:無任何基盤目脫落;4B:0%<脫落的基盤目數量≦5%;3B:5%<脫落的基盤目數量≦15%;2B:15%<脫落的基盤目數量≦35%;1B:35%<脫落的基盤目數量≦65%;0B:65%<脫落的基盤目數量≦100%。
硬度:將應用例1至10及比較應用例1至6的薄膜分別以鉛筆硬度計(Mitsubishi/P-247)分析。使用500克的砝碼重進行測量,且使用鉛筆分別在薄膜的60度、120 度、180度、240度、300度及360度的六個角度以0.5mm/s的移動速率各劃1公分長,當六條線中有兩條以上(包含兩條)畫出刻痕,即判不合格。
◎:≧4H;○:3H;△:2H;X:<2H。
-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟);C-1-2b:1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟);C-1-2c:1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟);C-2-1:IRGACURE 369;C-2-2:IRGACURE 907;D-1:丙二醇甲基醚醋酸酯;D-2:二乙二醇二甲基醚;E-1:F-554;E-2:KBM403。
-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(氧-乙醯基肟);C-1-2b:1-[9-乙基-6-苯醯基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟);C-1-2c:1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(氧-乙醯基肟);C-2-1:IRGACURE 369;C-2-2:IRGACURE 907;D-1:丙二醇甲基醚醋酸酯;D-2:二乙二醇二甲基醚;E-1:F-554;E-2:KBM403。
由表3的實驗數據可知,應用例1至10的薄膜使用本發明的感光性樹脂組成物,透過使用該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1),並且該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2)的重量比值範圍為0.1至10,確實可使得由其所形成的薄膜具有較佳的密著性及硬度。
應用比較例1及應用比較例6的薄膜所使用的感光性樹脂組成物中未使用具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1),使得由其所形成的薄膜的密著性不佳。
應用比較例2的薄膜所使用的感光性樹脂組成物中未使用具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2),使得由其所形成的薄膜的硬度不佳。
應用比較例3的薄膜所使用的感光性樹脂組成物中未使用具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2),使得由其所形成的薄膜的密著性及硬度不佳。
應用比較例4的薄膜所使用的感光性樹脂組成物中雖使用具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2),但其重量比值為0.05,使得由其所形成的薄膜的密著性不佳。
應用比較例5的薄膜所使用的感光性樹脂組成物中雖使用具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物(B-1)及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物(B-2),但其重量比值為11.1,使得由其所形成的薄膜的硬度不佳。
綜上所述,本發明該感光性樹脂組成物透過使用該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物,並且調控該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值,可使得由其所形成的薄膜具有較佳的密著性及硬度,故確實能達成本發明之目的。
惟以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,當不能以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims (17)

  1. 一種感光性樹脂組成物,包含:鹼可溶性樹脂;具有乙烯性不飽和基的化合物,包括具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物;光起始劑;及溶劑;其中,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物包括至少一種由下列群組所組成的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物:式(I)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物及式(II)所示的具有乙烯性不飽和基的二氧雜環烷化合物; R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 、R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 各自表示氫、烴基或具有乙烯性不飽和基的基團,但條件是R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 及R8 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團,且R9 、R10 、R11 、R12 、R13 及R14 中至少一者具有乙烯性不飽和基的基團;該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值範 圍為0.1至10。
  2. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值範圍為0.3至8。
  3. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物及具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的重量比值範圍為0.5至6。
  4. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,該鹼可溶性樹脂包括第一鹼可溶性樹脂;該第一鹼可溶性樹脂是由一包括不飽和羧酸化合物或不飽和羧酸酐化合物、具有環氧基的不飽和化合物,與其它不飽和化合物的混合物經聚合反應所製得。
  5. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物包括式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物; R15 表示;R16 及R17 各自表示;R18 、R19 、R20 、R21 、R22 、R23 、R24 及R25 各自表示氫或條件是R18 、R19 及R20 中至少兩者表示且R21 、R22 及R23 中至少兩者表示,R24 及R25 不可同時為氫;R26 表示氫或甲基;n表示2至8的整數。
  6. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該鹼可溶性樹脂的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的化合物的使用量範圍為30重量份至300重量份,且該溶劑的使用量範圍為300重量份至2,000重量份。
  7. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該鹼可溶性樹脂的總量為100重量份,該具有乙烯性不飽和基的二氧雜環類化合物的使用量範圍為10重量份至200重量份,且該具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的使用量範圍為20重量份至200重量份。
  8. 如請求項5所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該鹼可溶性樹脂的總量為100重量份,該式(III)所示的具有乙烯性不飽和基的胺基甲酸酯類化合物的使用量範圍為20重量份至150重量份。
  9. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該具有乙烯性不飽和基的化合物的總量為100重量份,該光起始劑的使用量範圍為5重量份至80重量份。
  10. 如請求項1所述的感光性樹脂組成物,其中,該光起始劑包括氧-醯基肟類化合物。
  11. 如請求項10所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該具有乙烯性不飽和基的化合物的總量為100重量份,該氧-醯基肟類化合物的使用量範圍為5重量份至70重量份。
  12. 如請求項10所述的感光性樹脂組成物,其中,該氧-醯基肟類化合物包括式(IV)所示的氧-醯基肟化合物; X1 、X2 、X3 、X4 、X5 、X6 、X7 、X8 及X9 各自表示氫、鹵素、具有1至12個碳原子的烷基、環戊基、環己基、苯基、芐基、苯甲醯基、具有2至12個碳原子的烷醯基、具有2至12個碳原子的烷氧羰基、或苯氧基羰基;X10 及X11 各自表示氫、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的環烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的環烷基、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的直鏈烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的直鏈烷基、未被取代基取代的具有1至12個碳原子的支鏈烷基、被取代基取代的具有1至12個碳原子的支鏈烷基、未被取代基取代的芳基、被取代基取代的芳基,其中,該取代基是擇自於鹵素原子、具有1至 6個碳原子數的烷氧基或芳基。
  13. 如請求項12所述的感光性樹脂組成物,其中,基於該含乙烯性不飽和基的化合物的總量為100重量份,該式(IV)所示的氧-醯基肟化合物的使用量範圍為5重量份至60重量份。
  14. 一種形成薄膜的方法,包含以下步驟:將請求項1所述的感光性樹脂組成物依序施予預烤處理、曝光處理、顯影處理及後烤處理而形成。
  15. 一種薄膜,是由請求項14所述的形成薄膜的方法所製得。
  16. 一種使用薄膜的方法,將請求項15所述的薄膜做為液晶顯示元件或有機電激發光顯示器中的平坦化膜、層間絕緣膜或保護膜。
  17. 一種顯示裝置,包含一顯示裝置本體及一位於該顯示裝置本體中的如請求項15所述的薄膜。
TW102120555A 2013-06-10 2013-06-10 感光性樹脂組成物及其應用 TWI480697B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102120555A TWI480697B (zh) 2013-06-10 2013-06-10 感光性樹脂組成物及其應用
CN201410228070.2A CN104238265A (zh) 2013-06-10 2014-05-27 感光性树脂组成物及其应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW102120555A TWI480697B (zh) 2013-06-10 2013-06-10 感光性樹脂組成物及其應用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201447488A TW201447488A (zh) 2014-12-16
TWI480697B true TWI480697B (zh) 2015-04-11

Family

ID=52226642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102120555A TWI480697B (zh) 2013-06-10 2013-06-10 感光性樹脂組成物及其應用

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN104238265A (zh)
TW (1) TWI480697B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102001710B1 (ko) * 2015-03-12 2019-07-18 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물
TWI564658B (zh) * 2015-03-30 2017-01-01 奇美實業股份有限公司 彩色濾光片用之感光性樹脂組成物及其應用
TWI539235B (zh) * 2015-05-29 2016-06-21 奇美實業股份有限公司 感光性樹脂組成物、彩色濾光片及其製備方法、液晶顯示裝置
JP6569466B2 (ja) * 2015-10-27 2019-09-04 信越化学工業株式会社 化学増幅ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62190201A (ja) * 1986-02-17 1987-08-20 Yokohama Rubber Co Ltd:The 紫外線硬化型樹脂組成物
JP2005068331A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Mitsubishi Rayon Co Ltd 活性エネルギー線硬化性組成物及びその硬化物層を有する物品
US20120149797A1 (en) * 2005-12-28 2012-06-14 Fujifilm Corporation Ink composition, inkjet recording method, printed material, method for producing planographic printing plate, and planographic printing plate
CN102792227A (zh) * 2010-03-11 2012-11-21 富士胶片株式会社 正型感光性树脂组合物、固化膜的形成方法、固化膜、液晶显示装置、以及有机el显示装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000011863A (ja) * 1998-06-19 2000-01-14 Hitachi Ltd Cr/Cu/Cr配線構造体の製造方法並びにそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法並びにそれを用いた画像表示装置
JP2004240241A (ja) * 2003-02-07 2004-08-26 Jsr Corp 感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネル
JP5404028B2 (ja) * 2008-12-25 2014-01-29 東京応化工業株式会社 被エッチング基体の製造方法
US20120077896A1 (en) * 2009-06-05 2012-03-29 Dnp Fine Chemicals Co Ltd Active energy ray curable-type inkjet recording ink composition
CN102385254B (zh) * 2010-09-01 2013-03-06 达兴材料股份有限公司 感光树脂组合物

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62190201A (ja) * 1986-02-17 1987-08-20 Yokohama Rubber Co Ltd:The 紫外線硬化型樹脂組成物
JP2005068331A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Mitsubishi Rayon Co Ltd 活性エネルギー線硬化性組成物及びその硬化物層を有する物品
US20120149797A1 (en) * 2005-12-28 2012-06-14 Fujifilm Corporation Ink composition, inkjet recording method, printed material, method for producing planographic printing plate, and planographic printing plate
CN102792227A (zh) * 2010-03-11 2012-11-21 富士胶片株式会社 正型感光性树脂组合物、固化膜的形成方法、固化膜、液晶显示装置、以及有机el显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW201447488A (zh) 2014-12-16
CN104238265A (zh) 2014-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI475321B (zh) 感光性樹脂組成物及其應用
TWI468860B (zh) 感光性樹脂組成物及其應用
JP5617476B2 (ja) シロキサンポリマー組成物、硬化膜及び硬化膜の形成方法
KR101748881B1 (ko) 신규 화합물, 그것을 함유하는 감방사선성 조성물, 및 경화막
TWI410750B (zh) A radiation-sensitive resin composition, a spacer for a liquid crystal display panel, a method for forming a spacer for a liquid crystal display panel, and a liquid crystal display panel
KR101169474B1 (ko) 감방사선성 수지 조성물, 스페이서 및 그의 형성 방법 및 액정 표시 소자
TWI474112B (zh) 感光性樹脂組成物、保護膜及具有保護膜的元件
JP4766235B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー
TWI470359B (zh) 感光性樹脂組成物、保護膜及具有保護膜的元件
TWI444766B (zh) 感光性樹脂組成物及其應用
CN100576075C (zh) 隔片形成用放射线敏感性树脂组合物、隔片及其形成方法和液晶显示元件
JP2008077067A (ja) 感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネル
TWI480697B (zh) 感光性樹脂組成物及其應用
JP5640978B2 (ja) 新規化合物、その製造方法、この新規化合物を含有する感放射線性組成物及び硬化膜
TWI514073B (zh) Photosensitive resin composition and its application
TWI377445B (zh)
JP2007056221A (ja) 重合体、感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー
TWI597574B (zh) 感光性樹脂組成物及其應用
JP5821282B2 (ja) 新規化合物、新規化合物の製造方法、新規化合物を含有する感放射線性組成物及び硬化膜
TWI383253B (zh) Sensitive linear resin composition and spacers for liquid crystal display elements
JP2006184841A (ja) 感光性樹脂組成物、表示パネル用スペーサーおよび表示パネル
JP4835835B2 (ja) 側鎖不飽和重合体、感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー
TWI411877B (zh) A photosensitive resin composition, a display panel spacer, and a display panel
TWI388581B (zh) Side-chain unsaturated polymers, radiation-sensitive resin compositions, and spacers for liquid crystal display elements
JP4666163B2 (ja) 感放射線性樹脂組成物、スペーサーおよび液晶表示素子

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees