TW202301035A - 照明光學系統、曝光裝置及平板顯示器之製造方法 - Google Patents

Abstract

照明形成有既定圖案之光罩之照明光學系統，其具備光學系統與照明系統，該光學系統具有射出脈衝光的複數個光源、將從複數個該光源分別射出之該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成並將合成之該脈衝光分割後射出的合成分割部，該照明系統將從該光學系統射出之該脈衝光之各個導向該光罩以照明該光罩。

Description

照明光學系統、曝光裝置及平板顯示器之製造方法

本發明係關於照明光學系統、曝光裝置及平板顯示器之製造方法。  本申請案主張2021年4月27日申請之日本國特願2021－075408號、2021年4月27日申請之日本國特願2021－075409號、及2021年4月27日申請之日本國特願2021－075410號之優先權，將該等之內容援用於此。

一直以來，於製造液晶顯示元件、半導體元件（積體電路等）等電子元件（微元件）之微影製程，主要係使用步進重複（step & repeat）方式之投影曝光裝置（所謂之步進機）、或步進掃描（step & scan）方式之投影曝光裝置（所謂之掃描步進機（亦稱掃描機））等。

此種曝光裝置中，作為曝光對象物於表面塗佈有感光劑之玻璃板、或晶圓等之基板（以下，統稱為基板），係被載置於基板載台裝置上。接著，對形成有電路圖案之空間光調變元件照射脈衝光，將透過該空間光調變元件之脈衝光經由投影透鏡等之光學系統照射於基板，據以將電路圖案轉印至基板上（例如，參照專利文獻1）。 先行技術文獻

[專利文獻1] 特開2006－171426號公報

本發明第1態樣係提供一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備：複數個光源，係射出脈衝光；光學系統，具有將從複數個該光源分別射出之該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成並分割合成之該脈衝光後射出的合成分割部；以及照明系統，係將從該光學系統射出之該脈衝光之各個導向該光罩，以照明該光罩。

本發明第2態樣係提供一種曝光裝置，其具備：上述照明光學系統；投影光學系統，係使被該脈衝光照明而從該光罩射出之光照射於曝光對象，據以對曝光對象進行分割曝光；以及載台，其能載置曝光對象。

本發明第3態樣係提供一種平板顯示器製造方法，其包含：使用上述曝光裝置使曝光對象曝光的動作；以及使該曝光後之曝光對象顯影的動作。

本發明第4態樣係提供一種照明光學系統，係照明以既定時間間隔個別控制複數個元件之空間光調變器，其具備：第1光源，係在第1時間射出第1脈衝光；第2光源，係在與該第1時間不同之第2時間射出第2脈衝光；以及照明系統，係將該第1及第2脈衝光分別導向該空間光調變器，以照明該空間光調變器；該第2光源，係在與該第1時間之時間間隔較該既定時間間隔短之該第2時間，射出該第2脈衝光。

本發明第5態樣係提供一種曝光裝置，其具備：上述照明光學系統；以及投影光學系統，係將從被該第1及第2脈衝光照明之複數個該空間光調變器分別射出之光照射於基板，據以對該基板進行分割曝光。

本發明第6態樣係提供一種平板顯示器之製造方法，其包含使用上述曝光裝置使平板顯示器用基板曝光的動作；以及使該曝光後之基板顯影的動作。

本發明第7態樣係提供一種照明方法，係在照明以既定時間間隔個別控制複數個元件之空間光調變器的照明光學系統，包含：第1光源在第1時間射出第1脈衝光的動作；第2光源在與該第1時間之時間間隔較該既定時間間隔短且與該第1時間不同之第2時間射出第2脈衝光的動作；以及照明系統將該第1及第2脈衝光分別導向該空間光調變器，以照明該空間光調變器的動作。

本發明第8態樣係提供一種元件製造方法，其包含：將以上述照明方法照明之該空間光調變器之像曝光至基板上的動作；以及使曝光後之該基板顯影的動作。

本發明第9態樣係提供一種平板顯示器之製造方法，其包含：將以上述照明方法照明之該空間光調變器之像曝光至基板上的動作；以及使曝光後之該基板顯影的動作。

本發明第10態樣係提供一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備：光源，係射出脈衝光；光學系統，具有將該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成的合成部；以及照明系統，係將以該合成部合成之該第1及第2脈衝光導向該光罩，以照明該光罩；該延遲光學系統，具有反射該第2脈衝光的反射部、與使被反射之該第2脈衝光再次射入該反射部的光學構件。

本發明第11態樣係提供一種曝光裝置，其具備：上述照明光學系統；投影光學系統，係藉由將從被該脈衝光照明之該光罩射出之光照射於曝光對象，據以對曝光對象行分割曝光；以及載台，其能載置曝光對象。

本發明第12態樣係提供一種平板顯示器之製造方法，其包含：使用上述曝光裝置使曝光對象曝光的動作，以及使該曝光後之曝光對象顯影的動作。

以下，參照圖式說明本發明之實施形態。本發明以下之詳細說明，僅係例示性，並非用於限定。就圖式及以下詳細說明之整體，使用相同或同樣的參照符號。

［曝光裝置之構成］ 圖1係顯示本實施形態之曝光裝置1之外觀構成概要的圖。曝光裝置1，係對曝光對象物照射調變光之裝置。於特定之實施形態，曝光裝置1係以用於液晶顯示裝置（平板顯示器）等之矩形（方型）玻璃基板作為曝光對象物之步進掃描（step & scan）方式之投影曝光裝置，所謂的掃描機。曝光對象物之玻璃基板，其至少一邊之長度、或對角長為500mm以上，亦可以是平板顯示器用之基板。經曝光裝置1而曝光之曝光對象物（例如，平板顯示器用之基板），經由顯影而被提供為製品。 曝光裝置1之裝置本體，係與例如美國專利申請公開第2008／0030702號說明書所揭示之裝置本體同樣構成。

曝光裝置1，具被基座11、防振台12、主機架13、載台14、光學平台15、照明模組16、投影模組17、光源單元18、光纖19、以及光調變部20（未圖示）。 以下，視需要使用以和經光調變部20調變之光照射於曝光對象物之投影模組17之光軸方向平行之方向為Z軸方向、以和Z軸正交之既定平面之方向為X軸方向、Y軸方向的三維正交座標系統來進行說明。X軸方向與Y軸方向係彼此正交（交叉）之方向。

基座11係曝光裝置1之基台，設置在防振台12上。基座11將載置曝光對象物之載台14，支承為能往X軸方向及Y軸方向移動。

載台14係支承曝光對象物之物，用以在掃描曝光中，相對經由投影模組17投影之電路圖案之複數個部分像，以高精度定位曝光對象物之物，將曝光對象物驅動於6自由度方向（上述X軸、Y軸及Z軸方向以及相對各個軸之旋轉方向的θx、θy及θz方向）。又，載台14，在掃描曝光時往X軸方向移動，在變更曝光對象物上之曝光對象區域時則往Y軸方向移動。此外，曝光對象物，形成有複數個曝光對象區域。曝光裝置1可對1片曝光對象物上之複數個曝光對象區域分別進行曝光。載台14之構成，無特別限定，可使用美國專利申請公開第2012／0057140號說明書等所揭示之包含龍門式之2維粗動載台、與相對該2維粗動載台微幅驅動之微動載台的所謂的粗微動構成的載台裝置。於此情形，可藉由粗動載台使曝光對象物於水平面內之3自由度方向移動，且可藉由微動載台使曝光對象物於6自由度方向微動。

主機架13於載台14之上部（Z軸正方向）支承光學平台15。光學平台15支承照明模組16與投影模組17與光調變部20。

圖2係顯示本實施形態之照明模組16與投影模組17與光調變部20之構成概要的圖。 照明模組16配置在光學平台15之上部，經由光纖19而連接於光源單元18。本實施形態之一例中，於照明模組16包含第1照明模組16A、第2照明模組16B、第3照明模組16C及第4照明模組16D。以下之說明中，在未區別第1照明模組16A～第4照明模組16D之情形時，係總稱而記載為照明模組16。 第1照明模組16A～第4照明模組16D之各個，將從光源單元18透過光纖19射出之光，導向第1光調變部20A、第2光調變部20B、第3光調變部20C及第4光調變部20D之各個。照明模組16照明光調變部20。

光調變部20，在後續說明中會詳述，係根據待轉印至曝光對象物之電路圖案加以控制，調變來自照明模組之照明光。經光調變部20調變之調變光，被導向投影模組17。第1光調變部20A～第4光調變部20D係在XY平面上內配置在互異之位置。以下說明中，在未區別第1光調變部20A～第4光調變部20D之情形時，係總稱而記載為光調變部20。

投影模組17配置在光學平台15之下部，將經空間光調變器201調變之調變光照射在被載置於載台14上之曝光對象物。投影模組使經光調變部20調變之光成像在曝光對象物上，使曝光對象物曝光。換言之，投影模組係將光調變部20上之圖案投影至曝光對象物。本實施形態之一例中，投影模組17包含與上述之第1照明模組16A～第4照明模組16D、以及第1光調變部20A～第4光調變部20D對應之第1投影模組17A～第4投影模組17D。以下之說明中，在未區別第1投影模組17A～第4投影模組17D之情形時，係總稱而記載為投影模組17。

將由第1照明模組16A、第1光調變部20A與第1投影模組17A構成之單元稱為第1曝光模組。同樣的，將由第2照明模組16B、第2光調變部20B與第2投影模組17B構成之單元稱為第2曝光模組。各曝光模組在XY平面上設置於互異之位置，可在被載置於載台14之曝光對象物之不同位置，曝光出圖案。載台14可藉由相對曝光模組往掃描方向之X軸方向相對移動，對曝光對象物之全面或曝光對象區域之全面進行掃描曝光。

又，投影模組17亦稱為投影部。投影模組17（投影部）可以是將光調變部20上之圖案之像以等倍加以投影的等倍系統，亦可以是放大系統或縮小系統。此外，投影模組17以由單一或2種玻璃材料（尤其是石英或螢石）構成者較佳。

曝光裝置1，除上述各部外，亦具備由干涉儀或編碼器等構成之位置測量部（未圖示），以測量載台14相對於光學平台15之相對位置。曝光裝置1，除上述各部外，亦具備測量載台14或載台14上之曝光對象物之Z軸方向位置的AF（Auto Focus：自動對焦）部（未圖示）。進一步地，曝光裝置1亦具備在對曝光對象物上已曝光出之圖案重疊另一圖案進行曝光時，測量各個圖案之相對位置的對準部（未圖示）。AF部及／或對準部，可以是經由投影模組進行測量之TTL（Through the lens：鏡後測光）之構成。

圖3係顯示本實施形態之曝光模組之構成概要的圖。以第1曝光模組為一例，說明照明模組16、光調變部20與投影模組17之具體構成例。

照明模組16具備模組光圈161與照明光學系統162。模組光圈161係切換是否將從光纖19供應之脈衝光導至照明光學系統162。

照明光學系統162將從光纖19供應之脈衝光，經由準直透鏡、複眼透鏡、聚光透鏡等射出至光調變部20，據以將光調變部20大致均勻地加以照明。複眼透鏡係對射入複眼透鏡之脈衝光進行波面分割，聚光透鏡使被波面分割之光重疊在光調變部上。又，照明光學系統162，亦可取代複眼透鏡而具備棒狀積分器。

光調變部20具備光罩。光罩（mask）可以是光掩膜（photomask），亦可以是空間光調變器（SLM：Spatial Light Modulator）。以下，說明光罩為空間光調變器之情形。

光調變部20具備空間光調變器201與off光吸收板202。空間光調變器201，包含液晶元件、數位反射鏡元件（數位微反射鏡元件、DMD）、磁光學空間光調變器（Magneto Optic Spatial Light Modulator、MOSLM）等。空間光調變器201可以是反射來自照明光學系統162之照明光的反射型、使照明光穿透的穿透型、或使照明光繞射的繞射型。空間光調變器201，可將照明光在空間上且時間上進行調變。以下，以空間光調變器201係由數位微反射鏡元件（DMD）構成之情形為例加以說明之。

圖4係顯示本實施形態之空間光調變器201之構成概要的圖。該圖中，係使用Xm軸・Ym軸・Zm軸之三維正交座標系統進行說明。空間光調變器201具備排列於XmYm平面之複數個微反射鏡。微反射鏡構成空間光調變器201之元素（像素）。空間光調變器201可分別變更繞Xm軸及繞Ym軸之傾斜角。空間光調變器201係藉由例如繞Ym軸傾斜而成為on狀態，繞Xm軸傾斜而成為off狀態。

空間光調變器201係就各微反射鏡切換微反射鏡之傾斜方向，據以就各元素控制射入光被反射之方向。舉一例而言，空間光調變器201之數位微反射鏡元件具有4Mpixel程度之像素數，可以10kHz程度之週期切換微反射鏡之on狀態與off狀態。 空間光調變器201，其複數個元素係以既定時間間隔被個別控制。空間光調變器201係DMD之情形時，元素係微反射鏡，既定時間間隔係指切換微反射鏡之on狀態與off狀態之週期（例如、週期10kHz）。

回到圖3，off光吸收板202係吸收在空間光調變器201之off狀態下從元素射出（反射）之光（off光）。在空間光調變器201之on狀態下從元素射出之光，被導至投影模組17。

投影模組17將空間光調變器201之on狀態下從元素射出之光投影至曝光對象物上。投影模組17具備倍率調整部171與焦點調整部172。於倍率調整部171，射入經空間光調變器201調變之光（調變光）。 倍率調整部171藉由將一部分透鏡驅動於光軸方向，據以調整在從空間光調變器201射出之調變光之焦點面163、亦即在曝光對象物表面之像的倍率。 焦點調整部172，藉由將透鏡群全體驅動於光軸方向，以使從空間光調變器201射出之調變光成像在前述以AF部測量之曝光對象物表面之方式，調整成像位置、亦即調整焦點。 投影模組17，僅將在空間光調變器之on狀態下從元素射出之光之像，投影至曝光對象物表面。因此，投影模組17可將以空間光調變器201之on元素形成之圖案之像，投影曝光至曝光對象物表面。也就是說，投影模組17可將經空間上調變之調變光，形成在曝光對象物表面。又，空間光調變器201，由於如前所述的能以既定週期（頻率）切換微反射鏡之on狀態與off狀態，因此，投影模組17能將經時間上調變之調變光，形成在曝光對象物表面。 亦即，曝光裝置1，能在任意曝光位置使實質的光瞳之狀態變化來進行曝光。

照明模組16亦稱為照明系統。照明模組16（照明系統），係以分配部184所分配之脈衝光照明空間光調變器201（空間光調變元件）。

一直以來，使用高可干涉性之單脈衝雷射以積分器（例如，複眼透鏡）照明空間光調變元件時會產生斑點，而有對轉印至基板由空間光調變元件形成之電路圖案之品質產生影響之情形。此外，所謂高可干涉性雷射光源，係指在射出之光、以1脈衝構成之光學積分器照明空間光調變元件，以空間光調變元素圖案曝光之情形時，會產生斑點成為問題之面內或作為光瞳強度分布超過20％之不均現象的脈衝光。 本實施形態之曝光裝置1，具備能降低斑點，提升轉印至基板之電路圖案品質的光源單元18。以下，說明本實施形態之光源單元18。

［光源單元之構成］ 圖5係顯示本實施形態之光源單元18之構成概要的圖。光源單元18，具備光源部181、合成部182、減速器（Retarder）183及分配部184。

光源部181射出既定波長之光。光源部181射出之光可以是連續光、亦可以是脈衝光。以下，說明光源部181係射出脈衝光之情形。 另外，在光源部181係射出連續光之情形時，可藉由透過光圈之（未圖示）切換、透過聲光調變器（未圖示）之調變等將連續光切換為脈衝光，使從光源部181射出之光為實質的脈衝光。

光源部181包含第1光源部181A～第8光源部181H。第1光源部181A～第8光源部181H分別具備種光源，射出既定波長之脈衝光。 舉一例而言，光源部181具備光纖、激勵雷射二極體（LD）及波長轉換結晶（皆未圖示）。光源部181，使透過光纖及激勵LD增強之雷射射入波長轉換結晶，以產生3倍諧波之脈衝光。

此外，光源部181具備之光源，可以是高可干涉性之雷射光源（例如光纖雷射），亦可以是UV－LD。又，光源部181亦可以是射出之光之波長在360nm以下之雷射光源。

合成部182，係將從光源部181中所含之複數個雷射光源之各個射出之脈衝光加以合成。合成部182，藉由將脈衝光加以合成，據以生成強度大（能量大）的脈衝光。合成部182，將合成之脈衝光射出至減速器183。 減速器183，反覆進行從合成部182射出之脈衝光之分割與合成，並藉由將延遲時間互異之脈衝光彼此加以組合，據以使脈衝光之時間軸分布變化。減速器183，將時間軸分布已變化之脈衝光射出至分配部184。

又，減速器183亦稱為延遲光學系統。減速器183（延遲光學系統）係使脈衝光之一部分延遲。此外，減速器183（延遲光學系統）將脈衝光之一部分加以分割後導至延遲光路，將導至延遲光路之脈衝光之一部分與分割之脈衝光之另一部分加以合成，據以使脈衝光之時間特性變化。

分配部184，將從減速器183射出之脈衝光分配至複數個光纖19之各個。亦即，分配部184係將脈衝光分配至複數個曝光模組。分配部184，例如將從減速器183射出之第1脈衝之脈衝光導至第1曝光模組，將第2脈衝之脈衝光導至第2曝光模組。分配部184由於是就每一脈衝變更引導之曝光模組，因此亦可稱之為切換部。

圖6係顯示本實施形態之光源單元18之詳細構成的圖。於該圖中，第1光源部181A～第8光源部181H中、顯示了第1光源部181A～第4光源部181D之部分。第5光源部181E～第8光源部181H之部分，由於係與第1光源部181A～第4光源部181D之部分同樣之構成，因此省略說明。

合成部182，具備稜鏡（prism mirror）1821、偏光分束器1822、波長板1823、波長板1824、稜鏡1825、偏光分束器1826及稜鏡1827。稜鏡1821，將第1光源部181A射出之脈衝光（s偏光）導至偏光分束器1822。波長板1823，係使第2光源部181B射出之脈衝光（s偏光）之偏光狀態變化，將脈衝光（p偏光）導至偏光分束器1822。

圖7係顯示本實施形態之偏光分束器1822之一例的圖。偏光分束器1822，在射入之脈衝光為p偏光之情形時，使脈衝光穿透。偏光分束器1822，在射入之脈衝光為s偏光之情形時，反射脈衝光。

回到圖6，偏光分束器1822反射被稜鏡1821反射之脈衝光（s偏光），導至波長板1824。此外，偏光分束器1822，使穿透過波長板1823之脈衝光（p偏光）穿透，導至波長板1824。亦即，於波長板1824，第1光源部181A射出之脈衝光作為s偏光（0度直線偏光）、第2光源部181B射出之脈衝光作為p偏光（90度直線偏光）而分別射入。也就是說，偏光方向互為正交之2種類脈衝光以各50％之比率合成後，分別射入波長板1824。

波長板1824使射入之脈衝光之偏光方向旋轉。波長板1824使射入之s偏光（0度直線偏光）之偏光方向旋轉而成為＋45度直線偏光，使射入之p偏光（90度直線偏光）之偏光方向旋轉而成為－45度直線偏光。 從波長板1824射出＋45度直線偏光、與－45度直線偏光之2種脈衝光。從波長板1824射出之2種脈衝光，被稜鏡1825反射後被導至偏光分束器1826。

偏光分束器1826，將射入之脈衝光射出至減速器183。此處，於偏光分束器1826，係射入上述來自第1光源部181A之＋45度直線偏光、與來自第2光源部181B之－45度直線偏光。偏光分束器1826反射射入之脈衝光中之s偏光成分，也就是說，反射＋45度直線偏光之s偏光與－45度直線偏光之s偏光，射出至減速器183。偏光分束器1826使射入之脈衝光中之p偏光成分，也就是說，使＋45度直線偏光之p偏光與－45度直線偏光之p偏光穿透，經由稜鏡1827射出至減速器183。

也就是說，偏光分束器1822將第1光源部181A射出之脈衝光與第2光源部181B射出之脈衝光合成於同軸上，射出至減速器183。又，偏光分束器1822雖係將第1光源部181A射出之脈衝光與第2光源部181B射出之脈衝光合成於同軸上，但亦可以是將各個之光軸些微錯開之狀態下，也就是說以近軸加以合成。偏光分束器1822為板片型之情形時，當p偏光之脈衝光穿過偏光分束器1822時，其光軸會些微地平行移動。此係由於通過PBS內之脈衝光因PBS之折射率而些微地折射而產生，從射入時之光軸些微平行移動之光軸之光從PBS射出。藉由近軸合成，可分散碰到光學元件之脈衝光每單位面積之能量（功率）、亦即可分散能量密度。其結果，能抑制包含光學元件變形等之劣化。 同樣地，合成部182將第3光源部181C射出之脈衝光與第4光源部181D射出之脈衝光合成在同軸上後，射出至減速器183。

換言之，光源單元18具備合成裝置。上述合成部182係合成裝置之一例。合成裝置，將從複數個光源分別射出之脈衝光加以合成。

以下之說明中，將從偏光分束器1826射出至減速器183之脈衝光，亦稱為減速器射入光183LI。減速器射入光183LI中，將從偏光分束器1826不經由稜鏡1827而射出至減速器183之脈衝光亦稱為第1減速器射入光183LI1，將從偏光分束器1826經由稜鏡1827射出至減速器183之脈衝光亦稱為第2減速器射入光183LI2。 也就是說，於減速器183，會射入從互異之光源部181射出之第1減速器射入光183LI1及第2減速器射入光183LI2的2種脈衝光。如上所述，第1減速器射入光183LI1及第2減速器射入光183LI2皆係從第1光源部181A到第4光源部184D之各光源射出之脈衝光被合成在同軸上（或大致同軸上）之光。

此外，雖說明係於減速器183射入第1減速器射入光183LI1及第2減速器射入光183LI2，但不限於此。射入減速器183之脈衝光可以僅是第1減速器射入光183LI1。

減速器183，如圖11等所示，具備輸入段分束器1834A。輸入段分束器1834A係將第1減速器射入光183LI1與第2減速器射入光183LI2加以合成及分割。被分割之脈衝光分別射入延遲段1832。 又，光束之合成及分割雖係記載為由使用偏光之分束器來進行，但不限於此，亦可以是使用半反射鏡或半稜鏡等。

延遲段1832具備延遲光路，針對第1減速器射入光183LI1與第2減速器射入光183LI2，分別使時間軸之分布變化。延遲段1832，將變化了時間軸之分布的脈衝光作為第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2，射出至分配部184。

換言之，減速器183（延遲光學系統），係以第2脈衝光通過較第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路之方式加以引導。減速器183（延遲光學系統），將以合成部182（合成裝置）合成之前述脈衝光之一部分加以分割後導至第2光路。

圖8係顯示本實施形態之分配部184之一構成例的圖。分配部184具備旋轉開關1841與分配器（distributor）1842。又，該圖中，係針對第1減速器射出光183LO1加以說明，省略了針對第2減速器射出光183LO2之說明。此外，該圖中，省略了旋轉開關1841之圖示。

分配器1842，從複數個光纖19中選擇使脈衝光射入之光纖19。具體而言，分配器1842具備以既定轉速旋轉之多面鏡元件。多面鏡元件將從減速器183射入之脈衝光反射向對應旋轉角速度之方向。

藉由多面鏡元件之旋轉，多面鏡元件之反射面之相對於從減速器183射入之脈衝光之角度變化（改變）。因此，從減速器183射入而被多面鏡元件之反射面反射之脈衝光之目的地，會隨著時間變化。 多面鏡元件之旋轉角速度係視脈衝光發光時序之時間間隔而決定。例如，在脈衝光是依第1脈衝PL1、第2脈衝PL2、第3脈衝PL3之順序射入多面鏡元件之情形時，第1脈衝PL1射入第1光纖19A，第2脈衝PL2射入第2光纖19B，第3脈衝PL3射入第3光纖19C。 亦即，分配部184將從減速器183射出之脈衝光，分配至複數個光纖19之各個。也就是說，分配部184可就每一時間切換從減速器183射出之脈衝光所射入之光纖19。 旋轉開關1841，圖8中雖未圖示，但係設在減速器183與分配器1842之間。旋轉開關1841，於時間間隔T1（例如，從時間t1到時間t2之期間）將從減速器183射出之脈衝光導至多面鏡元件之第1面，於時間間隔T2（例如，從時間t2到t3之期間）將脈衝光導至多面鏡元件之第2面。於時間間隔T3（例如，從時間t3到t4之期間），由於旋轉開關1841係始終在旋轉，因此多面鏡元件之第3面會移動到原本第1面所在之處。於時間間隔T4（例如，從時間t4到t5之期間），同樣地，多面鏡元件之第4面會移動到第2面所在之處。也就是說，在時間間隔T1之第1面與在時間間隔T3之第3面，相對於從減速器183射出之脈衝光之角度是相等的。又，在時間間隔T2之第2面與在時間間隔T4之第4面，相對於從減速器183射出之脈衝光之角度是相等的。也就是說，旋轉開關1841，係就某一時間間隔，變更引導脈衝光之多面鏡上之面。在時間間隔T1中被第1面反射之脈衝光，例如係從第1光纖19A到第5光纖19E之順序射入。在時間間隔T2中被第2面反射之脈衝光，例如係從未圖示之第6光纖19F到第10光纖19J之順序射入。在時間間隔T3中被第3面反射之脈衝光，係從第1光纖19A到第5光纖19E之順序射入。在時間間隔T4中被第4面反射之脈衝光，例如係從未圖示之第6光纖19F到第10光纖19J之順序射入。如以上所述，旋轉開關1841係就某一時間間隔，變更引導脈衝光之多面鏡上之面之物。

又，分配部184，可以是在脈衝光從光路切換部（例如多面鏡元件）射出之射出位置、與導光部（例如光纖19）之脈衝光射入位置在光學上大致共軛之位置，設置光路切換部與導光部。 此外，分配部184，亦可具備使多面鏡元件反射之脈衝光聚光在各光纖19之射入端位置的透鏡1843，進一步地，亦可使用中繼透鏡以使多面鏡元件之反射面與光纖19之射入面成為共軛。換言之，光源單元18，可在光路切換部（例如多面鏡元件）與導光部（例如光纖19）之間，具備使脈衝光從光路切換部射出之射出位置與導光部之前述脈衝光射入位置在光學上大致共軛的中繼透鏡。 又，分配部184，亦可取代多面鏡元件，而利用透過使脈衝光之射出方向些微振動之檢流反射鏡（galvano mirror）或聲光調變器（AOM）形成的光路變化。

光纖19，將被分配器1842分配之脈衝光，供應至照明模組16。

複數個光纖19，可以說是將從不同光源部181射出之第1脈衝光與第2脈衝光導向1個空間光調變器201之構成。 複數個光傳輸部中之第1光傳輸部，將第1脈衝光與第2脈衝光導向設置複數個之空間光調變器201中之第1空間光調變器。 複數個光傳輸部中之第2光傳輸部，將第1脈衝光與第2脈衝光導向設置複數個之空間光調變器201中之第2空間光調變器。

又，光源單元18，可在光源（例如光源部181）之脈衝光射出位置與脈衝光射入光路切換部（例如分配器1842）之射入位置光學上大致共軛之位置，設置光源與光路切換部。 根據以此方式構成之光源單元18，由於光源部181之脈衝光射出位置與脈衝光射入分配器1842之射入位置共軛，因此藉由調整光源部181之脈衝光射出位置，即能容易地調整脈衝光射入分配器1842之射入位置。因此，根據以此方式構成之光源單元18，於光源部181之更換作業或位置調整作業，可容易地調整脈衝光射入分配器1842之射入位置。

回到圖6，控制部21控制光源部181射出之脈衝光之狀態。以下，參照圖9說明光源部181射出之脈衝光之一例。

［光源單元18之動作］ 圖9係顯示本實施形態之光源部181射出之脈衝光之狀態之一例的圖。該圖［A］中，顯示了習知的光源部射出之脈衝光之狀態之一例。習知的光源部，射出脈衝寬度20ns、週期200kHz之脈衝光。

該圖［B］中，顯示了本實施形態之光源部181射出之脈衝光之狀態之一例。本實施形態之光源部181，射出脈衝寬度2ns、脈衝間隔20ns、脈衝數10、週期200kHz之群脈衝光。

此處，本實施形態之光源部181，複數個光源部181以互異之時序射出群脈衝光。例如，第1光源部181A及第2光源部181B皆係射出脈衝寬度2ns、脈衝間隔20ns、脈衝數10、週期200kHz之群脈衝光。第2光源部181B，在第1光源部181A射出之群脈衝光之脈衝間隔20ns之期間，射出脈衝光。 也就是說，第1光源部181A之脈衝光射出時序與第2光源部181B之脈衝光射出時序是彼此錯開的。 作為一例，雖係針對第1光源部181A與第2光源部181B做了說明，但亦可以是第1光源部181A～第4光源部181D之射出時序分別彼此錯開。

亦即，光源單元18，係使複數個脈衝光之發光時序互異，據以使分配部184分配之脈衝光之狀態互異。 具體而言，如該圖［B］所示，第1光源部181A在第1時間射出第1脈衝光。第2光源部181B在與第1時間不同之第2時間射出第2脈衝光。 如以上所述，照明模組16（照明系統）將第1脈衝光及第2脈衝光導向空間光調變器201，照明空間光調變器201。 第2光源部181B，在與第1時間之時間間隔較既定時間間隔短之第2時間射出第2脈衝光。所謂既定時間間隔，在空間光調變器201為DMD之情形時，係切換微反射鏡之on狀態與off狀態之週期。

第1光源部181A以既定週期連續地射出第1脈衝光。第2光源部181B以既定週期連續地射出第2脈衝光。既定週期，係圖［B］所示之群脈衝光之週期（例如週期200kHz）。連續地射出，係指作為既定脈衝寬度（例如脈衝寬度2ns）、既定脈衝間隔（例如脈衝間隔20ns）、既定脈衝數（例如脈衝數10）之群脈衝光射出之狀態。

第2光源部181B，在連續之第1脈衝光從第1光源部181A射出期間之時間，射出第2脈衝光。連續之第1脈衝光從第1光源部181A射出期間之時間，係指第1脈衝光之1個群脈衝光射出期間之時間（例如200ns）。

第1光源部181A及第2光源部181B，係以較空間光調變器201之元素受控制之既定時間間隔短之時間間隔的既定週期，分別連續地射出第1脈衝光與第2脈衝光。亦即，群脈衝光之振盪時間間隔（前述既定週期，例如週期200kHz），係較空間光調變器201之複數個元素個別受控制之既定時間間隔（例如10kHz）短之時間間隔。

根據以此方式構成之光源單元18，複數個脈衝光之射出時序成為互異，而降低脈衝光之可干涉性，因此能抑制斑點（Speckle）之發生。

又，上述脈衝光之射出時序，亦可藉由控制部21控制光源部181來加以調整。前述第1光源部181A～第8光源部181H，分別具備種光源，控制部可藉由分別控制此各種光源，而就每一光源控制脈衝光之振盪時序。控制部21，藉由使複數個脈衝光之發光時序互異，據以使脈衝光在空間光調變器201上之狀態互異。控制部21係狀態變更部之一例。 又，上述脈衝光之射出時序，亦可不依據控制部21之控制，而於光源部181預先設定發光時序。

本實施形態之光源部181，複數個光源部181射出之脈衝光之波長可以互異。例如，可使複數個光源部181之脈衝光之中心波長有從數皮米到數十皮米程度之差異。使每一光源部181不同之中心波長之錯開量容許值，例如係根據因該錯開量而在投影模組產生之色像差來決定。容許值為例如100pm、光源數為5台的話，使每一光源均等地各錯開20pm。又，錯開之量可以不是均等。換言之，係在不會因色像差而產生曝光不良之程度，就每一光源部181錯開中心波長。例如，光源部181會因動作環境溫度之變化，而使射出之脈衝光之波長變化。複數個光源部181，藉由使彼此之動作環境溫度不同，而使彼此之脈衝光之波長不同。 又，設第1脈衝光與第2脈衝光之中心波長之波長差為λ、因波長差λ而產生之投影光學系統之色像差為Δ、投影光學系統之數值孔徑為NA時，滿足λ＞Δ×（NA^2）。

此外，光源單元18，亦可具備使光源部181之動作環境溫度變化的溫度控制元件（加溫元件或冷却元件。皆未圖示）。又，溫度控制元件可以是依據控制部21之控制，來使光源部181之動作環境溫度變化之構成。於此情形，控制部21，係藉由分別控制複數個光源部181之動作環境溫度，以控制從複數個光源部181分別射出之脈衝光之波長互異。 光源單元18，亦可積極地使種光之溫度週期性地變動據以使波長週期性地可變，在某一範圍內，週期性地變更波長。

光源單元18，亦可具備使光源部181射出之脈衝光之波長帶中之部分波長帶可穿透之波長濾波器元件（未圖示）。又，波長濾波器元件可以是依據控制部21之控制，使穿透之脈衝光之波長變化之構成。於此情形，控制部21，係以使穿透波長濾波器元件之波長帶，就複數個光源部181互異之方式進行控制，據以控制從複數個光源部181分別射出之脈衝光之波長互異。

光源單元18係狀態變更部之一例。光源單元18（狀態變更部），藉由使複數個脈衝光之波長互異，據以使分配部184分配之脈衝光之狀態互異。 例如，第1光源部181A射出之脈衝光之波長與第2光源部181B射出之脈衝光之波長互異。第1光源部181A，射出與從第2光源部181B射出之第2脈衝光之波長不同之第1脈衝光。

光源單元18，亦可具備測量射出之脈衝光之波長的波長測量元件（未圖示）。控制部21，根據波長測量元件對脈衝光之波長之測定結果，控制從光源部181射出之脈衝光之波長。換言之，控制部21，係藉由使複數個脈衝光之波長互異，據以使脈衝光在空間光調變器201上之狀態互異。控制部21係狀態變更部之一例。

根據以此方式構成之光源單元18，複數個脈衝光之波長成為互異，降低了脈衝光之可干涉性，因此能抑制斑點之發生。

以上，雖係針對第1脈衝光之波長與第2脈衝光之波長互異之情形做了說明，但不限於此。亦可以是第1脈衝光之相位狀態與第2脈衝光之相位狀態互異之構成。於此情形，照明系統可具有使第1脈衝光或第2脈衝光之至少一方之相位狀態變化的相位變化部。

回到圖6，控制部21藉由控制分配部184，據以控制脈衝光射入光纖19之位置。接著，參照圖10說明脈衝光射入光纖19之位置之一控制例。

圖10係顯示本實施形態之脈衝光射入光纖19之位置之一例的圖。如以上所述，於分配器1842（例如多面鏡元件）從減速器183射入脈衝光（例如第1減速器射出光183LO1）。射入分配器1842之第1減速器射出光183LO1，被反射向基於對多面鏡元件之射入角度與在射入時序之反射鏡之角度的方向。在射入時序之反射鏡之角度，係隨著多面鏡元件之旋轉速度（角速度）之變化而變化。 例如，若分配器1842之旋轉速度為既定角速度的話，被分配器1842反射之第1減速器射出光183LO1，射入光纖19之位置P1。在分配器1842之旋轉速度較既定角速度慢時，被分配器1842反射之第1減速器射出光183LO1，射入光纖19之位置P2。在分配器1842之旋轉速度較既定角速度快時，被分配器1842反射之第1減速器射出光183LO1，射入光纖19之位置P3。

此處，雖係記載射入光纖之位置變化，但亦可例如透過透鏡使多面鏡元件之反射面與光纖射入口為共軛。換言之，分配部184，可在脈衝光從光路切換部（例如多面鏡元件）射出之射出位置與脈衝光射入導光部（例如光纖19）之射入位置為光學上大致共軛之位置，設置光路切換部與導光部。根據以此方式構成之光源單元18，雖然光纖之射入位置大致不會變，但亦可使對光纖之射入角度變化。 也就是說，由於多面鏡元件之旋轉速度（角速度）變化，脈衝光對光纖19之射入位置及射入角亦變化。當脈衝光對光纖19之射入位置及射入角變化時，在光纖19內被引導之脈衝光之路徑會變化，脈衝光之時間特性會變化。

控制部21，藉由使多面鏡元件之旋轉速度變化，以使在光纖19內被引導之脈衝光之路徑變化，據以使從照明模組16射出之脈衝光之時間特性變化。亦即，光源單元18，藉由使分配部184進行之脈衝光之分配時序分別不同，據以使分配部184分配之脈衝光之狀態互異。

例如，照明系統具備將第1脈衝光與第2脈衝光導向空間光調變器201之光傳輸部。上述光纖19係光傳輸部之一例。相位變化部，調整射向光傳輸部（例如，光纖19）之第1脈衝光及第2脈衝光之射入角度。上述旋轉速度（角速度）會變化之多面鏡元件，係相位變化部之一例。

換言之，照明系統具備光路切換部。光路切換部切換被合成之脈衝光之光路，依序導至設有複數個之光罩。多面鏡元件係光路切換部之一例。又，如上所述，光罩可以是光掩膜，亦可以是空間光調變器。 在照明系統具有切換被合成之脈衝光之光路，依序導向設有複數個之光罩的光路切換部之情形時，控制部21藉由使透過光路切換部進行之脈衝光分配時序分別不同，來使脈衝光在空間光調變器201上之狀態互異。由控制部21進行之透過光路切換部之脈衝光分配時序控制，係狀態變更部之一例。

亦即，照明系統，具有切換從第1光源部181A及第2光源部181B依序振盪出之第1脈衝光及第2脈衝光之光路，依序導至設有複數個之光傳輸部（例如光纖19）的光路切換機。上述多面鏡元件，係光路切換機之一例。

光路切換機，具有反射第1脈衝光及第2脈衝光之反射面，變更對第1脈衝光及第2脈衝光之反射面射入角度以切換光路。相位變化部，控制光路切換機，以調整射入光傳輸部之第1脈衝光及第2脈衝光之射入角度。

又，相位變化部亦可具有使射入空間光調變器201之光擴散的擴散板，此外，相位變化部亦可藉由使光纖19本身擺動，以引起相位變化。

如上所述，曝光裝置1，具備將從被第1脈衝光及第2脈衝光照明之複數個空間光調變器201分別射出之光照射於基板，據以對前述基板進行分割曝光之投影光學系統。

根據以此方式構成之光源單元18，複數個脈衝光之時間特性成為互異，而降低了脈衝光之可干涉性，因此能抑制斑點之產生。

此外，亦可緊挨著各光纖19之射入端前方配置擴散板。由於擴散板可使脈衝光擴散，使脈衝光射入光纖之射入位置、射入角度變化，因此可變更脈衝光之相位或波面。經擴散之脈衝光彼此重疊而均勻化。因此，可就射入相同光纖19之每一脈衝光變更相位、波面、強度等。 又，擴散板亦可具備產生旋轉移動及／或併進移動之機構。此機構可藉由變更在擴散板上脈衝光通過之位置，變更脈衝光之擴散狀態，以變更脈衝光對光纖之射入位置或射入角度。此機構，在第1個脈衝通過後、第2個脈衝通過前，使擴散板移動，即能變更脈衝光彼此之相位或波面。此種每一脈衝光之相位或波面擴散板之移動，可就每一脈衝進行，亦可就每複數個脈衝進行。此外，擴散板可以不是就每一光纖19，而是就複數個光纖設置1個。

又，以上雖係使多面鏡元件之旋轉速度（角速度）變化，以使脈衝光射入光纖19之射入位置變化，但不限於此。亦可以是使多面鏡元件之旋轉速度固定，使光纖19之射入端移動，以錯開脈衝光之射入位置。此外，亦可一邊使多面鏡元件之旋轉速度變化、一邊使光纖19之射入端移動。

又，擴散板亦可設在光纖19之射出端。此外，擴散板亦可設在各光源之射出端。

［減速器183之構成］ 如上所述，減速器183係藉由對減速器射入光183LI進行分割、合成，據以射出脈衝光之狀態經變化之減速器射出光183LO。具體而言，減速器183將射入之脈衝光分割為複數（例如2條），並藉由使分割後之一脈衝光之光路長度較另一脈衝光之光路長度長，據以使脈衝光產生相當於脈衝寬度之延遲。減速器183藉由將被分割之脈衝光彼此加以合成，據以射出其狀態相對於射入之脈衝光產生了變化之脈衝光。以下，參照圖11說明減速器183之具體構成。

圖11係顯示本實施形態之減速器183之構成概要的圖。舉一例而言，該圖中，顯示了9個分束器（例如半稜鏡）串聯配置成為8段構成之減速器183。減速器183具備輸入段1831與延遲段1832。輸入段1831具備輸入段分束器1834A。

輸入段分束器1834A，係上述9個分束器中，從合成部182射出之脈衝光（減速器射入光183LI）最先射入之分束器。輸入段分束器1834A將射入之脈衝光加以分割，將其中一方射出至輸入段反射鏡1835，將另一方射出至第2段分束器。被輸入段反射鏡1835反射之脈衝光射入第2段分束器。又，以下說明中，亦將經由稜鏡（例如輸入段反射鏡1835）之光路稱為延遲光路，不經由稜鏡之光路稱為非延遲光路。

於第2段分束器，分別射入從輸入段分束器1834A射出之脈衝光（也就是經由非延遲光路、未延遲之脈衝光）、與被輸入段反射鏡1835反射之脈衝光（也就是經由延遲光路、延遲之脈衝光）。於第2段分束器，未延遲之脈衝光與延遲之脈衝光被合成，並進一步被分割為延遲光路與非延遲光路。

如上所述，減速器183所具備之分束器，係藉由使脈衝光之一部分穿透，並反射另一部分，據以進行脈衝光之合成或分割。亦即，減速器183（延遲光學系統）使脈衝光之一部分穿透，反射另一部分，據以合成或分割脈衝光。又，分束器（例如半稜鏡）不受脈衝光之偏光狀態（例如p偏光與s偏光）影響，使脈衝光穿透或反射。減速器183，藉由分束器將脈衝光加以合成或分割。

減速器183（延遲光學系統）將合成部182合成之脈衝光加以分割，使分割之各個脈衝光之一部分延遲。亦即，減速器183（延遲光學系統）使合成部182所合成之脈衝光之一部分延遲。更具體而言，減速器183（延遲光學系統）將脈衝光之一部分加以分割後導至延遲光路，將被導至延遲光路之脈衝光之一部分與分割後之脈衝光之另一部分加以合成，據以使脈衝光之時間特性變化。減速器183（延遲光學系統）將從複數個光源分別射出之脈衝光加以合成，並將合成之脈衝光之一部分加以分割後導至延遲光路。

當重複脈衝光之分割與合成直到減速器183之第8段為止時，1個脈衝光（參照該圖11［B］）即被轉換成2之8次方（也就是說，256）個的群脈衝光（參照該圖11［C］）。

亦即，照明系統，具備將第1脈衝光及第2脈衝光之各個分割為2個脈衝光的分割部、與將經過分割部之一脈衝光沿著第1光路加以引導並將經過分割部之另一脈衝光沿著較第1光路長之第2光路加以引導的導光光學系統。

光學系統，具備將脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將第2脈衝光導向較第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將第1脈衝光與通過延遲光學系統之第2脈衝光加以合成的合成部。照明系統，將在合成部合成之第1脈衝光及第2脈衝光導向光罩，照明光罩。又，如上所述，光罩可以是光掩膜，亦可以是空間光調變器。

根據以此方式構成之光源單元18，複數個脈衝光之時間特性成為互異，而降低脈衝光之可干涉性，因此能抑制斑點之發生。

又，該圖11［A］中，雖係例示將從第1段到第3段以稜鏡構成延遲光路、將從第4段到第8段以穿透率較高之光纖1835A構成延遲光路的減速器183，但不限於此。

此外，該圖11［A］中，雖係針對於減速器183射入1種脈衝光之情形做了說明，但不限於此。關於射入2種脈衝光之減速器183，以下，參照圖12加以說明之。

圖12係顯示本實施形態之減速器183之構成之第1變形例的圖。該圖中，係顯示例如6個分束器（例如半稜鏡）串聯配置之5段構成的減速器183。本變形例之減速器183，係第1減速器射入光183LI1與第2減速器射入光183LI2之2種脈衝光射入至輸入段分束器1834A。最終段分束器1834B，分別射出第1減速器射出光183LO1與第2減速器射出光183LO2。

如上所述，減速器183（延遲光學系統），例如係以第1減速器射出光183LO1與第2減速器射出光183LO2之複數個路徑射出脈衝光。減速器183（延遲光學系統），係對與路徑對應之複數個分配部184分別射出脈衝光。亦即，本變形例之減速器183係2輸入－2輸出。 換言之，減速器183（延遲光學系統）具備之最終段分束器1834B係以複數個路徑射出脈衝光。脈衝光被導至與各個路徑對應之複數個分配部184（光路切換部）。亦即，延遲光學系統係以複數個路徑射出脈衝光，對與路徑對應之複數個光路切換部分別射出前述脈衝光。又，複數個光路切換部可以複數個分配器1842構成，亦可以1個分配器1842之互異反射面構成。

圖13係顯示本實施形態之減速器183之構成之第2變形例的圖。該圖中，顯示了6個分束器串聯配置之5段構成之減速器183之一例。本變形例之減速器183，第5段延遲光路係以在反射鏡間迴旋之方式構成。具體而言，本變形例之減速器183，具備第1迴旋反射鏡1835A、第2迴旋反射鏡1835B、第3迴旋反射鏡1835C及第4迴旋反射鏡1835D。第1迴旋反射鏡1835A～第4迴旋反射鏡1835D構成第5段延遲光路。

如該圖所示，減速器183，具有反射第2脈衝光之反射部（例如第1迴旋反射鏡1835A）與使反射之第2脈衝光再次射入反射部之光學構件。 光學構件具有反射構件（例如第2迴旋反射鏡1835B～第4迴旋反射鏡1835D）。反射構件（例如第2迴旋反射鏡1835B～第4迴旋反射鏡1835D）反射被反射部（例如第1迴旋反射鏡1835A）反射之第2脈衝光，使第2脈衝光射入反射部。 也就是說，減速器183具備將反射部所反射之脈衝光再導至反射部之光學構件。減速器183藉由此等反射部與光學構件，使脈衝光之光路在反射部與光學構件之間迴旋（例如以漩渦狀迴旋）。

根據以此方式構成之減速器183，能在使延遲光路之光路長更長之同時（也就是說，在提升斑點降低性能之同時），抑制裝置之大型化。

又，減速器183亦可具備分束器1834C。分束器1834C，係配置在由第1迴旋反射鏡1835A～第4迴旋反射鏡1835D形成之脈衝光之迴旋光路，將迴旋之脈衝光之一部分導至迴旋光路，將另一部分導至最終段分束器1834B。根據以此方式構成之減速器183，由於能進一步增加光路長互異之複數個脈衝光之種類，因此能在抑制裝置大型化之同時，進一步提升斑點降低性能。

圖14係顯示本實施形態之減速器183之構成之第3變形例的圖。該圖中，顯示了5個分束器串聯配置之4段構成之減速器183之一例。本變形例之減速器183，具備中繼透鏡1836與聚光鏡1837，延遲光路使用戴森（Dyson）光學系統構成。 更具體而言，於第1段減速器183A，被輸入段分束器1834A反射之脈衝光，透過中繼透鏡1836被聚光鏡1837反射，再次透過中繼透鏡1836射入第2段分束器1834－2。於第2段減速器183B～第5段減速器183E中，藉由與第1段減速器183A同樣地重複聚光與反射，據以構成延遲光路。 輸入段分束器1834A之功能在於，作為將第1脈衝光與第2脈衝光加以分割的分割部。中繼透鏡1836與聚光鏡1837之功能在於，做為將第2脈衝光導向較第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統。第2段分束器1834－2之功能在於，作為將第1脈衝光與通過延遲光學系統（中繼透鏡1836及聚光鏡1837）之第2脈衝光加以合成的合成部。

如上所述，中繼透鏡1836係以聚光鏡1837之表面之位置作為後焦點。此後焦點，係從第1段減速器183A射入之脈衝光之焦點，亦是射出至第2段減速器183B之脈衝光之焦點。也就是說，中繼透鏡1836，係將從第1段減速器183A射入之脈衝光與射出至第2段減速器183B之脈衝光，以共通之焦點加以導光。也就是說，就中繼透鏡1836而言，第1段減速器183A之分割面與第2段減速器183B之分割面為共軛。此處，亦稱第1段減速器183A為第1分割合成部。又，亦稱第2段減速器183B為第2分割合成部。 亦即，減速器183（延遲光學系統），其複數個分束器（分割合成部）中，將脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光並將第1脈衝光導至延遲光路之第1段減速器183A（第1分割合成部）的分割面、與將從延遲光路射出之第1脈衝光與第2脈衝光加以合成之第2段減速器183B（第2分割合成部）的分割面，係共軛。 又，在可將兩脈衝光視為大致平行之光之情形時，尤其是在光路長差短之情形時，第1段減速器183A（第1分割合成部）之分割面與第2段減速器183B（第2分割合成部）之分割面，無需為嚴密的共軛關係。於此情形，只要是配置成針對一方之脈衝光使既定距離延遲即可。

中繼透鏡1836亦稱光學構件。聚光鏡1837亦稱反射部。亦即，減速器183（延遲光學系統）具備中繼透鏡1836（光學構件）與聚光鏡1837（反射部）。聚光鏡1837（反射部），將從第1段減速器183A（第1分割合成部）射出之第1脈衝光反射向第2段減速器183B（第2分割合成部）之方向。 中繼透鏡1836（光學構件），係配置在第1段減速器183A（第1分割合成部）及第2段減速器183B（第2分割合成部）之間之光路上，使從第1段減速器183A（第1分割合成部）射出之第1脈衝光射入聚光鏡1837（反射部），使被聚光鏡1837（反射部）反射之第1脈衝光射入第2段減速器183B（第2分割合成部）。

換言之，減速器183（延遲光學系統）具備反射部（例如聚光鏡1837）與光學構件（例如中繼透鏡1836）。反射部反射第2脈衝光將之導至合成部（例如第2段分束器1834－2）。光學構件配置在分割部（例如輸入段分束器1834A）與反射部之間、且反射部與合成部之間，使第2脈衝光射入反射部，使被反射部反射之第2脈衝光射入合成部。 減速器183（延遲光學系統），在將脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光之分割部（例如輸入段分束器1834A）的分割面，與將通過第1光路之第1脈衝光與通過第2光路之第2脈衝光加以合成之合成部（例如第2段分束器1834－2）的合成面為光學共軛之位置，設置分割部與合成部。

如上所述，減速器183（延遲光學系統）係第1段減速器183A與第2段減速器183B之至少2段構成。換言之，減速器183（延遲光學系統），在以第2脈衝光之行進方向為軸之對向位置，配置至少2個中繼透鏡1836（光學構件）。此等複數個光學構件中，一光學構件之光軸與另一光學構件之光軸係在軸方向分離。 亦即，反射部具有第1反射部與第2反射部。光學構件，具有使在分割部分割之第2脈衝光射入第1反射部的第1光學構件、與使被第1反射部反射之第2脈衝光射入第2反射部的第2光學構件。第1光學構件及第2光學構件係以彼此之光軸分離之方式配置。

如圖14所示，反射部（例如聚光鏡1837），係設置在光學構件（例如中繼透鏡1836）之焦點位置為反射第2脈衝光之反射面的位置。反射部（例如聚光鏡1837），係在與射入反射部之第2脈衝光通過之光學構件內之位置不同之位置，以使第2脈衝光射入之方式反射第2脈衝光。亦即，第2反射部反射第2脈衝光，經由第2光學系統，將第2脈衝光再次導向第1反射部。反射部具有第3反射部。光學構件具有第3光學構件。第2反射部反射第2脈衝光，經由第2光學系統及第3光學系統，將第2脈衝光導向第3反射部。

減速器183之第2段分束器1834－2，兼具脈衝光之分割部之功能與合成部之功能。第2段分束器1834－2（合成部），將第1脈衝光分割為第3脈衝光與第4脈衝光，將第2脈衝光分割為第5脈衝光與第6脈衝光。

圖15係顯示本實施形態之減速器183之構成之第4變形例的圖。該圖中，顯示了6個分束器串聯配置之5段構成之減速器183之一例。本變形例之減速器183，包含第1段減速器183A～第5段減速器183E。第1段減速器183A～第5段減速器183E，分別具備中繼透鏡1836與聚光鏡1837，使用戴森光學系統構成。 更具體而言，於第1段減速器183A中，被輸入段分束器1834A反射之脈衝光，透過中繼透鏡1836被聚光鏡1837反射，再次透過中繼透鏡1836射入第2段分束器1834－2。於第2段減速器183B～第5段減速器183E中，亦與第1段減速器183A同樣地藉由重複聚光與反射，構成延遲光路。

延遲光路之光路長，在每次經過減速器183之段數時成指數性增加。本變形例之減速器183，在第3段減速器183C後之段中，具備複數個中繼透鏡1836與聚光鏡1837，具有將光路在減速器寬度183W之方向折返之構成。根據以此方式構成之減速器183，能在抑制減速器寬度183W方向之尺寸增加之同時，構成更長之光路長之延遲光路。

圖15中，係顯示減速器183之各段使用戴森光學系統構成之情形。亦即，減速器183，具有將通過分束器1834（分割部）之第2脈衝光聚光於反射部（相當於圖14之聚光鏡1837）之透鏡（相當於圖14之中繼透鏡1836）。此透鏡將被聚光鏡（反射構件）反射之第2脈衝光導向次一段反射鏡（反射構件）。

又，減速器183之各段可以不是使用戴森光學系統構成。減速器183，可就每一段，交互使用圖14等所示之由戴森光學系統形成之延遲光路、與圖12等所示之由稜鏡形成之延遲光路來構成。於此情形，減速器183，具有將通過分束器（分割部）之第2脈衝光聚光於聚光鏡之中繼透鏡（透鏡部）。中繼透鏡將被聚光鏡反射之第2脈衝光導向次一段分束器。次一段分束器將第2脈衝光導向稜鏡（反射部）。

又，光路之折返數增加之後段減速器183（例如第5段減速器183E），可以做成為如圖16所示之構成。

圖16係顯示本實施形態之減速器183之構成之第5變形例的圖。圖中，顯示了取代圖15所示之第5段減速器183E而採用以戴森光學系統構成之延遲光路之一例。本變形例之第5段減速器183E，具備第1中繼透鏡1836A、第1聚光鏡1837A、第2中繼透鏡1836B及第2聚光鏡1837B。 第1聚光鏡1837A配置在第1中繼透鏡1836A之後焦點位置。射入第1中繼透鏡1836A之第1光L1被第1聚光鏡1837A反射，作為第2光L2再次射入第1中繼透鏡1836A。射入第1中繼透鏡1836A之第2光L2，射入第2中繼透鏡1836B。 第2聚光鏡1837B配置在第2中繼透鏡1836B之後焦點位置。射入第2中繼透鏡1836B之第2光L2被第2聚光鏡1837B反射，作為第3光L3再次射入第2中繼透鏡1836B。射入第2中繼透鏡1836B之第3光L3，射入第1中繼透鏡1836A。射入第1中繼透鏡1836A之第3光L3被第1聚光鏡1837A反射，作為第4光L4再次射入第1中繼透鏡1836A。

第2中繼透鏡1836B之光軸AX2係相對第1中繼透鏡1836A之光軸AX1，於分束器1834之排列方向（圖15及圖16所示之方向D1）偏置（offset）。第3光L3射入第1中繼透鏡1836A之位置，相對第1光L1射入第1中繼透鏡1836A之位置，於方向D1偏移上述偏置量。因此，第1光L1射入第1聚光鏡1837A之射入角與第3光L3射入第1聚光鏡1837A之射入角互異。從而，被第1聚光鏡1837A反射之第2光L2之光路與第4光L4之光路互異，而能將第2光L2與第4光L4予以幾何學上分離。因此，第5段減速器183E可將第4光L4作為減速器射出光183LO加以取出。

換言之，中繼透鏡1836係以其光軸與透鏡部之光軸分離之方式配置。

根據以此方式構成之減速器183，能在抑制中繼透鏡1836及聚光鏡1837之零件數量增加之同時，構成更長之光路長之延遲光路。此外，本變形例中，雖係針對重複3次聚光與反射之構成之延遲光路做了說明，但聚光與反射之重複次數不限於此，亦可以更多重複次數之方式構成。

此處，亦將方向D1稱為第2脈衝光之行進方向。減速器183（延遲光學系統），在以第2脈衝光之行進方向（方向D1）為軸之對向位置，具備中繼透鏡1836（光學構件）與聚光鏡1837（反射部）之組以作為延遲光路。中繼透鏡1836與聚光鏡1837之組，例如係「第1中繼透鏡1836A與第1聚光鏡1837A」之組、及「第2中繼透鏡1836B與第2聚光鏡1837B」之組。「第1中繼透鏡1836A與第1聚光鏡1837A」之組所構成之延遲光路亦稱為第1延遲光路，「第2中繼透鏡1836B與第2聚光鏡1837B」之組所構成之延遲光路亦稱為第2延遲光路。 減速器183（延遲光學系統）之延遲光路中，構成第1延遲光路之光學構件（例如第1中繼透鏡1836A）之光軸、與構成第2延遲光路之光學構件（例如第2中繼透鏡1836B）之光軸，係於方向D1偏置（也就是說，於軸方向分離）。

圖17係顯示本實施形態之減速器183之構成之第6變形例的圖。圖中，顯示了4個分束器串聯配置之3段構成之減速器183之一例。本變形例之減速器183，係使用以分束器1834之排列方向（圖中之方向D1）為對象軸而對向配置之2組戴森光學系統構成。 根據以此方式構成之減速器183，能在抑制中繼透鏡1836及聚光鏡1837之零件數量增加之同時，構成更長之光路長之延遲光路。又，在射入光可視為大致平行之情形時，凹面鏡（例如第1聚光鏡1837A或第2聚光鏡）之光束變小若是高功率之雷射等會有受損之情形，但如本實施例般，於射入側之半稜鏡藉由透鏡使其聚光，即能使在凹面鏡上之光束徑加大。於此情形，最好是能使非延遲部與延遲部之光束成為相同直徑，並最好是錯開稜鏡位置彼此之共軛關係。圖14、圖15中雖然亦是同樣地以錯開較佳，但在如雷射般可視為大致平行之光束之情形時，不會特別成為問題。 又，延遲光學系統雖係透過分束器（例如半稜鏡）進行光之分割及合成，但考量薄膜之穿透率、反射率之特性不均等，亦可做成波長板與偏光分束器之構成，藉由波長板之旋轉來調整穿透、反射光。

［分配部之變形例］ 圖18係顯示分配部184之變形例的圖。本變形例之分配部184，具備2個分配器1842（第1分配器1842A及第2分配器1842B）。第1分配器1842A，係分配從最終段分束器1834B射出之第1減速器射出光183LO1。第2分配器1842B，係分配從最終段分束器1834B射出之第2減速器射出光183LO2。

亦即，上述圖6所示之分配部184之構成，係藉由1個分配器1842之互異的2個反射面中，藉第1反射面分割第1減速器射出光183LO1，藉第2反射面分割第2減速器射出光183LO2。另一方面，本變形例之分配部184，則係在具備分割第1減速器射出光183LO1之第1分配器1842A、與分割第2減速器射出光183LO2之第2分配器1842B之方面上，與上述圖6所示之分配部184之構成不同。

根據如本變形例構成之分配部184，可分別控制2個分配器1842之旋轉速度。因此，根據以本變形例之方式構成之分配部184，可使2個分配器1842之旋轉速度互異，而降低脈衝光之可干涉性，進一步提高斑點降低性能。

［分配器與照明模組之對應關係之變形例］ 又，上述例中，雖係針對引導脈衝光至1個照明模組16之分配器1842為1個之情形做了說明，但不限於此。引導脈衝光至1個照明模組16之分配器1842可以是複數個。以下，針對分配器1842與照明模組16之對應關係之變形例，參照圖19說明之。

圖19係顯示本實施形態之光源單元18與照明模組16之對應關係之變形例的圖。本變形例中，分配器1842包含第1分配器1842A與第2分配器1842B。複數個照明模組16之各個，經由第1光纖19A從第1分配器1842A引導光，經由第2光纖19B從第2分配器1842B引導光。也就是說，於本變形例中，分配器1842與照明模組16係以n對1（n為自然數。此例中，n＝2）之方式設置。

根據以本變形例之方式構成之曝光裝置1，可將由n個（例如2個）分配器1842分配之狀態互異之脈衝光，導至照明模組16。因此，根據以本變形例之方式構成之曝光裝置1，可使從照明模組16射出之脈衝光之狀態更為多樣，而降低脈衝光之可干涉性，更為提高斑點降低性能。

圖20係顯示本實施形態之光源單元18之第1變形例的圖。本變形例之光源單元18，例如具備4個光源部181（第1光源部181A～第4光源部181D）。又，本變形例之光源單元18，係從減速器183對分配器1842射出2個減速器射出光183LO（第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2）。亦即，本變形例之光源單元18係4輸入－2輸出之構成。

合成部182，針對第1光源部181A及第2光源部181B，具備稜鏡1821、稜鏡1821A、稜鏡1821B、偏光分束器1822、波長板1823、稜鏡1825、半稜鏡1826A及稜鏡1827。稜鏡1821，將第1光源部181A射出之脈衝光（s偏光）導至偏光分束器1822。稜鏡1821A及稜鏡1821B，將第2光源部181B射出之脈衝光（s偏光）導至波長板1823。波長板1823，使第2光源部181B射出之脈衝光（s偏光）偏光狀態變化，將脈衝光（p偏光）導至偏光分束器1822。

合成部182，針對第3光源部181C及第4光源部181D，亦具有與第1光源部181A及第2光源部181B之構成對應之構成。亦即，合成部182，將來自第3光源部181C及第4光源部181D之脈衝光分別導至偏光分束器1822。

於半稜鏡1826A，射入來自第1光源部181A及第2光源部181B之第1光與來自第3光源部181C及第4光源部181D之第2光。半稜鏡1826A，使第1光之一部分反射，使第2光之一部分穿透，將該等光加以合成，使第1減速器射入光183LI1射入減速器183所具備之輸入段分束器183。又，半稜鏡1826A，使第1光之另一部分穿透，使第2光之另一部分反射，將該等光加以合成。被合成之光，作為第2減速器射入光183LI2被稜鏡1827反射，射向輸入段分束器183。

減速器183，藉由輸入段分束器1834A與最終段分束器1834B之間之延遲光路，使脈衝光之時間軸分布變化。減速器183，將時間軸分布變化後之脈衝光作為第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2射出至分配部184。

本變形例之分配部184，具備2個分配器1842（第1分配器1842A及第2分配器1842B）。第1分配器1842A分配從最終段分束器1834B射出之第1減速器射出光183LO1。第2分配器1842B分配從最終段分束器1834B射出之第2減速器射出光183LO2。

又，合成部182不包含稜鏡1827作為其構成，亦即，針對第1光源部181A及第2光源部181B，可具備稜鏡1821、稜鏡1821A、稜鏡1821B、偏光分束器1822、波長板1823、稜鏡1825及半稜鏡1826A。合成部為此種構成之情形時，減速器183，在前述構成外亦包含半稜鏡1826A與稜鏡1827作為其構成。當考慮此情形時，半稜鏡1826A可以說是合成部182之一部分，為減速器183之輸入段分束器。射入圖20所示之輸入段分束器1834A之第1光、與被稜鏡反射而射入輸入段分束器1834A之第2光，在射入輸入段分束器1834A前之光路產生差，可知半稜鏡1826A與稜鏡1827係減速器183之一部分。此構成，不限於僅本變形例，於其他實施例、後述之其他變形例中亦同。

亦即，本變形例之光源單元18，具備複數個光源、光學系統及照明系統。光學系統，具有分割部、延遲光學系統及合成分割部（例如最終段分束器1834B）。分割部，將從複數個光源分別射出之脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光。延遲光學系統，將第2脈衝光導向較第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路。合成部，將第1脈衝光與通過延遲光學系統之前述第2脈衝光加以合成。光學系統，將合成部所合成之脈衝光以光源數（例如4個）為上限之數（例如第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2之2個）射出。

又，光學系統亦可構成為將合成分割部所合成之脈衝光分割為至少2個後射出。於此情形，照明系統藉由將被分割之脈衝光分別導向互異之光罩，以至少照明2個光罩。

亦即，合成分割部係根據從複數個光源射出之脈衝光之偏光特性將脈衝光加以合成。

根據以此方式構成之光源單元18，由於複數個脈衝光之時間軸分布成為互異，而降低脈衝光之可干涉性，因此能抑制斑點之發生。此外，根據以射出較光源部181之數（例如4個）少之數（例如2個）之脈衝光之方式構成之光源單元18，可在藉由具備複數個光源部181以加強脈衝光之功率之同時，射出降低了可干涉性之脈衝光。

又，光源單元18，亦可在被分割部分割之延遲光路上之既定位置、與在合成部脈衝光被合成之合成面光學上大致共軛之位置，設置分割部與合成部。具體而言，光源單元18，可在從分束器1834C射出至非延遲側光路之脈衝光射入次一段分束器（例如最終段分束器1834B）後被合成、分割之位置，與從分束器1834C射出至延遲側光路之脈衝光之既定位置（例如圖20所示之位置P5）在光學上大致共軛之位置，設置分割部與合成部。 又，光源單元18，亦可在延遲光路上具備使被分割部分割之延遲光路上之既定位置（例如圖20所示之位置P5）與在合成部脈衝光被合成之合成面（例如圖20所示之位置P4）成為光學上大致共軛之未圖示的中繼透鏡。此係由於透過減速器而延遲光路變長，例如分束器1834C之分割面與最終段分束器1834B之分割面間之距離變長，因此藉由在分割面彼此之間設置一次共軛點，以易於對光進行中繼（relay）之故。 根據以此方式構成之光源單元18，被分割部分割而被導至延遲光路之脈衝光與被導至非延遲光路之脈衝光，於合成面易於被合成，而能更為降低斑點。

又，光源單元18，亦可以使從複數個光源部181將脈衝光分別射入輸入段分束器1834A之各光路之光路長，彼此大致相等。根據以此方式構成之光源單元18，可使從複數個光源部181分別射出之脈衝光之時間軸條件一致，而讓用以降低斑點之脈衝光之調整變得容易。

又，光源單元18，亦可以使從複數個光源部181將脈衝光分別射入輸入段分束器1834A之各光路之光路長互異。根據以此方式構成之光源單元18，即使是在從複數個光源部181同時射出脈衝光之情形時，亦能使射出之脈衝光彼此之時間軸條件產生不均，而讓用以降低斑點之脈衝光之調整變得容易。

圖21係顯示本實施形態之光源單元18之第2變形例的圖。本變形例之光源單元18，例如具備4個光源部181（第1光源部181A～第4光源部181D）。又，本變形例之光源單元18，係從減速器183對分配器1842射出2個減速器射出光183LO（第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2）。亦即，本變形例之光源單元18係4輸入－2輸出之構成。

本變形例之光源單元18，係取代上述第1變形例之偏光分束器1822及波長板1823，而具備三角稜鏡1828。合成部182，針對第1光源部181A及第2光源部181B，具備稜鏡1821C、稜鏡1821D、三角稜鏡1828、稜鏡1825、半稜鏡1826A及稜鏡1827。稜鏡1821C，將第1光源部181A射出之脈衝光（s偏光）導至三角稜鏡1828。稜鏡1821D，將第2光源部181B射出之脈衝光（s偏光）導至三角稜鏡1828。三角稜鏡1828，將第1光源部181A射出之脈衝光與第2光源部181B射出之脈衝光，經由稜鏡1825導至半稜鏡1826A。

合成部182，針對第3光源部181C及第4光源部181D，亦具有與第1光源部181A及第2光源部181B之構成對應之構成。亦即，合成部182，將來自第3光源部181C及第4光源部181D之脈衝光，經由三角稜鏡導至半稜鏡1826A。

於半稜鏡1826A，射入來自第1光源部181A及第2光源部181B之第1光、與來自第3光源部181C及第4光源部181D之第2光。半稜鏡1826A，使第1光之一部分反射，使第2光之一部分穿透，將該等光加以合成，使第1減速器射入光183LI1射入減速器183所具備之輸入段分束器183。又，半稜鏡1826A，使第1光之另一部分穿透，使第2光之另一部分反射，將該等光加以合成。被合成之光，作為第2減速器射入光183LI2被稜鏡1827反射，射入輸入段分束器183。 亦即，本變形例中，三角稜鏡1828將來自複數個光源部181之脈衝光加以視野合成後，使之射入半稜鏡1826A。此處，所謂視野合成，係指使脈衝光之各光路彼此，換言之使光軸彼此接近，據以將脈衝光加以合成。又，所謂視野合成，亦可以說是使脈衝光之各光路彼此接近至能以單一光學系統進行中繼。

亦即，本變形例之光源單元18，具備包含三角稜鏡1828之導光部。導光部，使從複數個光源（例如第1光源部181A及第2光源部181B）分別射出之脈衝光之光路彼此接近至可射入分割部（例如半稜鏡1826A）之範圍內，將脈衝光導至分割部。

根據以此方式構成之光源單元18，複數個脈衝光之時間軸分布成為互異，脈衝光之可干涉性降低，因此能抑制斑點之發生。又，根據構成為射出較光源部181之數（例如4個）少之數（例如2個）之脈衝光的光源單元18，能在藉由具備複數個光源部181而加強脈衝光功率之同時，射出降低了可干涉性之脈衝光。 又，根據以此方式構成之光源單元18，考量光學零件之耐雷射性或壽命，可藉由三角稜鏡1828積極地使脈衝光之光路彼此錯開。藉由脈衝光之光路彼此錯開（例如脈衝光之光路間距離變大），可於例如半稜鏡1826A等之光學零件中，降低複數個脈衝光之功率的集中程度，能延長光學零件之壽命。

圖22係顯示本實施形態之光源單元18之第3變形例的圖。本變形例之光源單元18，例如具備8個光源部181（第1光源部181A～第8光源部181H）。又，本變形例之光源單元18，從減速器183對分配器1842射出2個減速器射出光183LO（第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2）。亦即，本變形例之光源單元18，係8輸入－2輸出之構成。

本變形例之光源單元18，係藉由上述第1變形例中之基於使用偏光分束器1822之脈衝光之偏光特性的合成、與第2變形例中之使用三角稜鏡1828的視野合成之組合，合成脈衝光。

根據以此方式構成之光源單元18，由於能合成來自更多（例如8個）光源部181之脈衝光，因此能使脈衝光之可干涉性更為降低，而能抑制斑點之發生。

圖23係顯示本實施形態之光源單元18之第4變形例的圖。本變形例之光源單元18，例如具備8個光源部181（第1光源部181A～第8光源部181H）。又，本變形例之光源單元18，係從減速器183對分配器1842射出2個減速器射出光183LO（第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2）。亦即，本變形例之光源單元18係8輸入－2輸出之構成。本變形例之光源單元18，係藉由上述第2變形例中使用三角稜鏡1828之視野合成，據以將8個脈衝光加以合成。

本變形例之減速器183，取代上述第2變形例中之減速器183之半稜鏡1826B，具備偏光分束器1826C、偏光分束器1826D、波長板1823A及波長板1823B。 波長板1823A，係使從延遲光路射入偏光分束器1826C之脈衝光之偏光狀態變化。於偏光分束器1826C，從非延遲光路射入之脈衝光與從波長板1823A射入之脈衝光被合成，被合成之脈衝光射出至圖23所示之位置P6。波長板1823B，係使從位置P6射入之脈衝光（也就是說，在偏光分束器1826C中被合成之脈衝光）之偏光狀態變化。偏光分束器1826D，根據從波長板1823B射入之脈衝光之偏光狀態，將脈衝光分割為第1減速器射出光183LO1及第2減速器射出光183LO2後射出。

又，本變形例中，亦可以是不具備波長板1823B及偏光分束器1826D，而將位置P6之脈衝光（也就是說，在偏光分束器1826C中被合成之脈衝光）射出至分配器1842之構成。於此構成之情形，光源單元18係8輸入－1輸出之構成。

此外，於上述實施形態及其變形例中，雖係說明藉由三角稜鏡1828來實現視野合成，但不限於此。例如，亦可藉由上述偏光分束器來實現視野合成。又，亦可例如於偏光分束器或非偏光型之半稜鏡中，藉由錯開脈衝光對分割脈衝光之分割面之射入位置，據以實現視野合成。

又，上述降低脈衝光之可干涉性之手法，可能會有招致進行掃描曝光時之累積像之對比降低之情形。此進行掃描曝光時之累積像之對比降低，係在進行曝光之期間因像之行進而發生之像之流動（模糊）。該像之流動量，最好是能控制在解析度之約1／3～1／4程度。 例如，將招致進行掃描曝光時之累積像之對比降低的像之流動量控制在解析度之1／4之情形時之脈衝光之容許延遲時間Δt，在設解析度為2μm、掃描速度為1000mm／s時，為Δt＝2／4／1000＝0.5μsec。此處，若設脈衝發光寬度為4ns時，最大可分割為125（≒128）脈衝。 又，例如，將招致進行掃描曝光時之累積像之對比降低控制在解析度之1／3之情形時之脈衝光之容許延遲時間Δt，在設解析度為2μm、掃描速度為1000mm／s時，為Δt＝2／3／1000＝0.67μsec。 如以上所述，由減速器183之延遲光學系統延遲之脈衝光被合成之群脈衝光之脈衝寬度，最好是能設定在因曝光裝置1之掃描速度造成之像之流動之積為解析度之1／3以下。

例如，於曝光裝置1，載台14相對投影模組17（投影光學系統）以既定速度相對移動之情形時，將第1脈衝光之發光時序即第1時間、與第2脈衝光之發光時序即第2時間之時間差設為δ、既定速度設為V、解析度設為R時，滿足R／3＜V・δ。

又，第1光源部181A及第2光源部181B，射出滿足λ＞Δ×（NA^2）之第1脈衝光及第2脈衝光。此處，λ代表第1脈衝光與第2脈衝光之波長差、Δ代表因第1脈衝光與第2脈衝光之波長差而產生之投影光學系統之色像差、NA代表投影光學系統之數值孔徑。^2係表示平方之意。

又，援用上述實施形態所引用之關於曝光裝置等之所有美國專利申請公開說明書及美國專利說明書之揭示，作為本說明書記載之一部分。

如以上之說明，本發明之照明裝置、曝光裝置非常適於在微影製程中對物體照射照明光以使其曝光。此外，本發明之平板顯示器製造方法適於平板顯示器之生產。

1:曝光裝置 11:基座 12:防振台 13:主機架 14:載台 15:光學平台 16:照明模組 161:模組光圈 162:照明光學系統 163:焦點面 16A～16D:第1～第4照明模組 17:投影模組 17A～17D:第1～第4投影模組 171:倍率調整部 172:焦點調整部 18:光源單元 18L:光源單元L 18R:光源單元R 181:光源部 181A～181H:第1光源部～第8光源部 182:合成部 1821、1821A～1821D、1825、1827:稜鏡 1822、1826、1826C、1826D:偏光分束器 1823、1823A、1823B、1824:波長板 1828:三角稜鏡 1826A、1826B:半稜鏡 183:減速器 1831:輸入段 1832:延遲段 1834－2:第2段分束器 1834A:輸入段分束器 1834B:最終段分束器 1834C:分束器 1835:輸入段反射鏡 1835A～1835D:第1～第4迴旋反射鏡 1836:中繼透鏡 1836A、1836B:第1、第2中繼透鏡 1837:聚光鏡 1837A、1837B:第1、第2聚光鏡 183A～183E:第1～第5段減速器 183LI:減速器射入光 183LI1:第1減速器射入光 183LI2:第2減速器射入光 183LO:減速器射出光 183LO1:第1減速器射出光 183LO2:第2減速器射出光 183W:減速器寬度 184:分配部 1841:旋轉開關 1842:分配器 1842A、1842B:第1、第2分配器 1843:透鏡 19:光纖 19A～19C:第1～第3光纖 20:光調變部 20A～20D:第1～第4光調變部 201:空間光調變器 202:off光吸收板 21:控制部 AX1:第1中繼透鏡之光軸 AX2:第2中繼透鏡之光軸 D1:方向 L1～L4:光 P1～P6:位置 PL1～PL3:第1～第3脈衝光

[圖1]係顯示本實施形態之曝光裝置之外觀構成概要的圖。 [圖2]係顯示本實施形態之照明模組及投影模組之構成概要的圖。 [圖3]係顯示本實施形態之照明模組之構成概要的圖。 [圖4]係顯示本實施形態之光調變部之構成概要的圖。 [圖5]係顯示本實施形態之光源單元之構成概要的圖。 [圖6]係顯示本實施形態之光源單元之詳細構成的圖。 [圖7]係顯示本實施形態之偏光分束器之一例的圖。 [圖8]係顯示本實施形態之分配部構成之一例的圖。 [圖9]係顯示本實施形態之光源部射出之脈衝光狀態之一例的圖。 [圖10]係顯示本實施形態之脈衝光射入光纖之位置之一例的圖。 [圖11]係顯示本實施形態之減速器之構成概要的圖。 [圖12]係顯示本實施形態之減速器之構成之第1變形例的圖。 [圖13]係顯示本實施形態之減速器之構成之第2變形例的圖。 [圖14]係顯示本實施形態之減速器之構成之第3變形例的圖。 [圖15]係顯示本實施形態之減速器之構成之第4變形例的圖。 [圖16]係顯示本實施形態之減速器之構成之第5變形例的圖。 [圖17]係顯示本實施形態之減速器之構成之第6變形例的圖。 [圖18]係顯示本實施形態之分配部之變形例的圖。 [圖19]係顯示本實施形態之光源單元與照明模組之對應關係之變形例的圖。 [圖20]係顯示本實施形態之光源單元之第1變形例的圖。 [圖21]係顯示本實施形態之光源單元之第2變形例的圖。 [圖22]係顯示本實施形態之光源單元之第3變形例的圖。 [圖23]係顯示本實施形態之光源單元之第4變形例的圖。

21:控制部

181:光源部

181A~181D:第1光源部~第4光源部

182:合成部

1821、1825、1827:稜鏡

1822、1826:偏光分束器

1823、1824:波長板

183:減速器

183LI1:第1減速器射入光

183LI2:第2減速器射入光

183LO1:第1減速器射出光

183LO2:第2減速器射出光

184:分配部

1842:分配器

Claims (80)

1. 一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備： 複數個光源，係射出脈衝光；  光學系統，具有將從複數個該光源分別射出之該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成並分割合成之該脈衝光後射出的合成分割部；以及  照明系統，係將從該光學系統射出之該脈衝光之各個導向該光罩，以照明該光罩。
2. 一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備：  複數個光源，係射出脈衝光；  光學系統，其具有將從複數個該光源分別射出之該脈衝光加以合成，並分割合成之該脈衝光後射出之合成分割部；以及  照明系統，係將從該光學系統射出之該脈衝光之各個導向該光罩，以照明該光罩。
3. 如請求項1或2所述之照明光學系統，其中，該合成分割部將合成之該脈衝光分割為至少2個後射出；  該照明系統藉由將分割之該脈衝光分別導向互異之該光罩，照明至少2個之該光罩。
4. 如請求項1或2項所述之照明光學系統，其中，該合成分割部將合成之該脈衝光分割成以該光源之數為上限之數後射出。
5. 如請求項1至4中任一項所述之照明光學系統，其中，該光學系統具備導光部，該導光部使從複數個該光源分別射出之該脈衝光之光路彼此在可射入該光學系統之範圍內相互接近，將該脈衝光導向該光學系統。
6. 如請求項5所述之照明光學系統，其中，該導光部係在能使複數個該脈衝光射入該照明系統所具備之導光構件中之同一該導光構件的範圍內，使該脈衝光彼此接近。
7. 如請求項6所述之照明光學系統，其中，該導光部使該脈衝光彼此接近，以使複數個該脈衝光之射出位置之間隔較該導光構件之直徑窄。
8. 如請求項5至7中任一項所述之照明光學系統，其中，該導光部具備藉由反射射入之該脈衝光以改變光路之方向，使該脈衝光之光路彼此接近的反射構件。
9. 如請求項5至8中任一項所述之照明光學系統，其中，該導光部具備根據從複數個該光源射出之該脈衝光之偏光特性，使該脈衝光之光路彼此接近的偏光構件。
10. 如請求項1至9中任一項所述之照明光學系統，其中，該照明系統具有切換從該光學系統射出之該脈衝光之光路，依序導至設置複數個之該光罩的光路切換部；  在該光源之該脈衝光之射出位置與該脈衝光射入該光路切換部之射入位置光學上大致共軛之位置，設置該光源與該光路切換部。
11. 如請求項10所述之照明光學系統，其中，該照明系統具有將從該光路切換部射出之該脈衝光導向該光罩的導光部；  在該脈衝光從該光路切換部射出之射出位置與該導光部之該脈衝光之射入位置光學上大致共軛之位置，設置該光路切換部與該導光部。
12. 如請求項11所述之照明光學系統，其中，該照明系統具備在該光路切換部與該導光部之間，使從該光路切換部射出該脈衝光之射出位置、與該導光部之該脈衝光之射入位置成為光學上大致共軛的中繼透鏡。
13. 如請求項1至12中任一項所述之照明光學系統，其中，在該光學系統具備複數段之該合成分割部之情形時，在以前段之該合成分割部分割之該延遲光路上之既定位置、與在後段之該合成分割部中脈衝光被合成之合成面成為光學上大致共軛之位置，設置前段及後段之該合成分割部。
14. 如請求項1至13中任一項所述之照明光學系統，其中，在該光學系統具備複數段之該合成分割部之情形時，在該延遲光路上具備使以前段之該合成分割部分割之該延遲光路上之既定位置、與在後段之該合成分割部中脈衝光被合成之合成面成為光學上大致共軛的中繼透鏡。
15. 如請求項1至14中任一項所述之照明光學系統，其中，從複數個該光源射入該光學系統之該脈衝光之各光路之光路長彼此大致相等。
16. 如請求項1至15中任一項所述之照明光學系統，其中，從複數個該光源射入該光學系統之該脈衝光之各光路之光路長互異。
17. 一種曝光裝置，其具備：  請求項1至16中任一項所述之照明光學系統；  投影光學系統，係使被該脈衝光照明而從該光罩射出之光照射於曝光對象，據以對曝光對象進行分割曝光；以及  載台，其能載置曝光對象。
18. 如請求項17所述之曝光裝置，其中，該光源係射出之光之波長為360nm以下之雷射光源；  該投影光學系統係由單一或2種玻璃材料構成。
19. 如請求項18所述之曝光裝置，其中，該玻璃材料係石英或螢石。
20. 如請求項17至19中任一項所述之曝光裝置，其中，因該光學系統之延遲光學系統而被延遲之該脈衝光經合成後之群脈衝光之脈衝寬度，係設定為因該曝光裝置之掃描速度而造成之像流動之積為解析度之1／3以下。
21. 如請求項17至20中任一項所述之曝光裝置，其中，曝光對象係至少一邊之長度、或對角長為500mm以上，且平板顯示器用之基板。
22. 如請求項17至21中任一項所述之曝光裝置，其中，該光罩係空間光調變器。
23. 一種平板顯示器之製造方法，其包含：  使用請求項17至22中任一項所述之曝光裝置使曝光對象曝光的動作；以及  使該曝光後之曝光對象顯影的動作。
24. 一種照明光學系統，係照明以既定時間間隔個別控制複數個元件之空間光調變器，其具備：  第1光源，係在第1時間射出第1脈衝光；  第2光源，係在與該第1時間不同之第2時間射出第2脈衝光；以及  照明系統，係將該第1及第2脈衝光分別導向該空間光調變器，以照明該空間光調變器；  該第2光源，係在與該第1時間之時間間隔較該既定時間間隔短之該第2時間，射出該第2脈衝光。
25. 如請求項24所述之照明光學系統，其中，該第1光源，係以既定週期連續地射出該第1脈衝光；  該第2光源，係以該既定週期連續地射出該第2脈衝光。
26. 如請求項25所述之照明光學系統，其中，該第2光源，係在連續之該第1脈衝光從該第1光源射出之期間之時間，射出該第2脈衝光。
27. 如請求項25或26所述之照明光學系統，其中，該第1及第2光源，係以較控制該元件之該既定時間間隔短之時間間隔的該既定週期，分別連續地射出該第1脈衝光與該第2脈衝光。
28. 如請求項24至27中任一項所述之照明光學系統，其中，該第1光源具有第1種光源；  該第2光源，具有與該第1種光源不同之第2種光源，控制該第2種光源，在該第2時間射出該第2脈衝光。
29. 如請求項24至28中任一項所述之照明光學系統，其中，該第1光源，係射出與從該第2光源射出之該第2脈衝光之波長不同之該第1脈衝光。
30. 如請求項24至29中任一項所述之照明光學系統，其中，該照明系統，具有使該第1脈衝光及該第2脈衝光中至少一方之相位狀態時間性地變化的相位變化部。
31. 如請求項30所述之照明光學系統，其中，該照明系統，具備將該第1脈衝光與該第2脈衝光導向該空間光調變器的光傳輸部；  該相位變化部，係調整射入該光傳輸部之該第1及第2脈衝光之射入角度或射入位置中之至少一方。
32. 如請求項31所述之照明光學系統，其中，該照明系統，具有切換從該第1及第2光源依序振盪出之該第1及第2脈衝光之光路，依序導向設有複數個之該光傳輸部的光路切換機。
33. 如請求項32所述之照明光學系統，其中，該光路切換機具有反射該第1及第2脈衝光之反射面，變更該反射面對該第1及第2脈衝光之射入角度以切換該光路；  該相位變化部，係以調整射入該光傳輸部之該第1及第2脈衝光之射入角度的方式，控制該光路切換機。
34. 如請求項31至33中任一項所述之照明光學系統，其中，複數個該光傳輸部，係將該第1脈衝光與該第2脈衝光導向1個該空間光調變器。
35. 如請求項31至33中任一項所述之照明光學系統，其中，複數個該光傳輸部中之第1光傳輸部，係將該第1脈衝光與該第2脈衝光導向設有複數個之該空間光調變器中之第1空間光調變器；  複數個該光傳輸部中之第2光傳輸部，係將該第1脈衝光與該第2脈衝光導向設有複數個之該空間光調變器中之第2空間光調變器。
36. 如請求項30至35中任一項所述之照明光學系統，其中，該相位變化部，具有使射入該空間光調變器之光擴散的擴散板。
37. 如請求項24至36中任一項所述之照明光學系統，其中，該照明系統具有延遲光學系統，此延遲光學系統，具有將該第1脈衝光及該第2脈衝光之各個分割為2條脈衝光的分割構件、以及將經過該分割構件之一脈衝光沿著第1光路加以引導並將經過該分割構件之另一脈衝光沿著較該第1光路長之第2光路加以引導的導光光學系統。
38. 如請求項37所述之照明光學系統，其中，係使該第1光路、第2光路中至少一方之光路為可變。
39. 一種曝光裝置，具備：  請求項24至38中任一項所述之照明光學系統；以及  投影光學系統，係將從被該第1及第2脈衝光照明之複數個該空間光調變器分別射出之光照射於基板，據以對該基板進行分割曝光。
40. 如請求項39所述之曝光裝置，其中，在任意之曝光位置係變化實質性照明光對光瞳之亮度狀態來進行曝光。
41. 一種曝光裝置，其具備：  請求項24至27中任一項所述之照明光學系統；  投影光學系統，係將以該照明光學系統照明之該空間光調變器之像投影至基板上；以及  基板載台，係在將該空間光調變器之像曝光至該基板時，支承該基板，使之相對該投影光學系統以既定速度相對移動；  設該第1時間與該第2時間之時間差為δ、該既定速度為V、該像之解析度為R時，滿足R／3＜V・δ。
42. 一種曝光裝置，具備：  請求項29所述之照明光學系統；以及  投影光學系統，係將以該照明光學系統照明之該空間光調變器之像投影至基板上；  該第1及第2光源，在設該第1脈衝光與該第2脈衝光之波長差為λ、因該第1脈衝光與該第2脈衝光之該波長差而產生之該投影光學系統之色像差為Δ、該投影光學系統之數值孔徑為NA時，分別射出滿足λ＞Δ×（NA^2）之該第1脈衝光與該第2脈衝光。
43. 如請求項39至42中任一項所述之曝光裝置，其中，該第1光源與該第2光源，係射出之光之波長為360nm以下之雷射光源；  該投影光學系統，係由單一或2種玻璃材料構成。
44. 如請求項43所述之曝光裝置，其中，該玻璃材料係石英或螢石。
45. 一種元件製造方法，其包含：  使用請求項39至44中任一項所述之曝光裝置使該基板曝光的動作；以及  使曝光後之該基板顯影的動作。
46. 一種平板顯示器之製造方法，其包含：  使用請求項39至44中任一項所述之曝光裝置使平板顯示器用之基板曝光的動作：以及  使曝光後之該基板顯影的動作。
47. 一種照明方法，係在照明以既定時間間隔個別控制複數個元件之空間光調變器的照明光學系統，包含：  第1光源在第1時間射出第1脈衝光的動作；  第2光源在與該第1時間之時間間隔較該既定時間間隔短且與該第1時間不同之第2時間射出第2脈衝光的動作；以及  照明系統將該第1及第2脈衝光分別導向該空間光調變器，以照明該空間光調變器的動作。
48. 一種元件製造方法，其包含：  將以請求項47所述之照明方法照明之該空間光調變器之像曝光至基板上的動作；以及  使曝光後之該基板顯影的動作。
49. 一種平板顯示器之製造方法，其包含：  將以請求項47所述之照明方法照明之該空間光調變器之像曝光至基板上的動作；以及  使曝光後之該基板顯影的動作。
50. 一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備：  光源，係射出脈衝光；  光學系統，具有將該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成的合成部；以及  照明系統，係將以該合成部合成之該第1及第2脈衝光導向該光罩，以照明該光罩；  該延遲光學系統，具有反射該第2脈衝光的反射部、與使被反射之該第2脈衝光再次射入該反射部的光學構件。
51. 如請求項50所述之照明光學系統，其中，該光學構件，具有反射被該反射部反射之該第2脈衝光，使該第2脈衝光射入該反射部的反射構件。
52. 如請求項51所述之照明光學系統，其中，該延遲光學系統具有使通過該分割部之該第2脈衝光聚光於該反射部的透鏡；  該透鏡，將被該反射部反射之該第2脈衝光導向該反射構件。
53. 如請求項52所述之照明光學系統，其中，該光學構件，具有使被該反射部反射之該第2脈衝光聚光於該反射構件的透鏡部；  該透鏡部，將被該反射構件反射之該第2脈衝光導向該反射部。
54. 如請求項53所述之照明光學系統，其中，該透鏡，係以其光軸與該透鏡部之光軸分離之方式配置。
55. 如請求項51所述之照明光學系統，其中，該光學構件，具有使被該反射部反射之該第2脈衝光聚光於該反射構件的透鏡部；  該透鏡部，將被該反射構件反射之該第2脈衝光導向該反射部。
56. 一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩的照明光學系統，其具備：  光源，係射出脈衝光；  光學系統，其具有將該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、將該第2脈衝光導向較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路的延遲光學系統、以及將該第1脈衝光與通過該延遲光學系統之該第2脈衝光加以合成的合成部；以及  照明系統，係將以該合成部合成之該第1及第2脈衝光導向該光罩，以照明該光罩；  該延遲光學系統，具有反射該第2脈衝光並導至該合成部的反射部，與配置在該分割部與該反射部之間、且該反射部與該合成部之間，使該第2脈衝光射入該反射部並使被該反射部反射之該第2脈衝光射入該合成部的光學構件；  該延遲光學系統，係將該分割部與該合成部，設置在將該脈衝光分割為該第1脈衝光與該第2脈衝光之該分割部的分割面、與將通過該第1光路之該第1脈衝光與通過該第2光路之該第2脈衝光加以合成之該合成部的合成面光學上成大致共軛之位置。
57. 如請求項56所述之照明光學系統，其中，該反射部，具有第1反射部與第2反射部；  該光學構件，具有使被該分割部分割之該第2脈衝光射入該第1反射部的第1光學構件、與使被該第1反射部反射之該第2脈衝光射入該第2反射部的第2光學構件；  該第1及第2光學構件，係配置成彼此之光軸分離。
58. 如請求項57所述之照明光學系統，其中，該第2反射部，使該第2脈衝光反射，透過該第2光學構件，將該第2脈衝光再次導向該第1反射部。
59. 如請求項57所述之照明光學系統，其中，該反射部，具有第3反射部；  該光學構件，具有第3光學構件；  該第2反射部，使該第2脈衝光反射，透過該第2光學構件及該第3光學構件，將該第2脈衝光導向該第3反射部。
60. 如請求項56至59中任一項所述之照明光學系統，其中，該反射部，係在該光學構件之焦點位置反射該第2脈衝光。
61. 如請求項56至60中任一項所述之照明光學系統，其中，該反射部，係以下述方式反射該第2脈衝光，亦即使該第2脈衝光射入至與射入該反射部之該第2脈衝光所通過之該光學構件內之位置不同之位置。
62. 如請求項56至61中任一項所述之照明光學系統，其中，該合成部，係將該第1脈衝光分割為第3脈衝光與第4脈衝光，將該第2脈衝光分割為第5脈衝光與第6脈衝光，將該第3脈衝光與該第5脈衝光加以合成，將該第4脈衝光與該第6脈衝光加以合成。
63. 如請求項56至62中任一項所述之照明光學系統，其中，該照明系統，具有切換被合成之該脈衝光之光路，將之依序導向設有複數個之該光罩的光路切換部。
64. 一種照明光學系統，係照明形成有既定圖案之光罩，其具備：  光源，係射出脈衝光；  光學系統，具有將該脈衝光分割為第1脈衝光與第2脈衝光的分割部、使該第2脈衝光通過較該第1脈衝光通過之第1光路長之第2光路之方式加以引導的延遲光學系統、以及將通過該延遲光學系統之該第1及第2脈衝光加以合成的合成部；以及  照明系統，將被該合成部合成之脈衝光導向該光罩，以照明該光罩；  該照明系統，具有切換被合成之該脈衝光之光路，將之依序導向設有複數個之該光罩的光路切換部。
65. 如請求項63或64所述之照明光學系統，其具備將從複數個該光源分別射出之該脈衝光加以合成的合成裝置；  該延遲光學系統，將以該合成裝置合成之該脈衝光之一部分加以分割後導至該第2光路。
66. 如請求項63至65中任一項所述之照明光學系統，其中，該延遲光學系統，係以複數個路徑射出該脈衝光之物，對與該路徑對應之複數個該光路切換部分別射出該脈衝光。
67. 如請求項50至66中任一項所述之照明光學系統，其中，該延遲光學系統，係藉由使該脈衝光之一部分穿透、並反射另一部分，據以合成或分割該脈衝光。
68. 如請求項50至67中任一項所述之照明光學系統，其中，該延遲光學系統，係根據該脈衝光之偏光狀態，合成或分割該脈衝光。
69. 如請求項50至68中任一項所述之照明光學系統，其進一步具備使該脈衝光在該空間光調變元件上之狀態互異的狀態變更部。
70. 如請求項69所述之照明光學系統，其中，該狀態變更部，係藉由使複數個該脈衝光之波長互異，據以使該脈衝光在該空間光調變元件上之狀態互異。
71. 如請求項69或70所述之照明光學系統，其中，該狀態變更部，係藉由使複數個該脈衝光之發光時序互異，據以使該脈衝光在該空間光調變元件上之狀態互異。
72. 如請求項69至71中任一項所述之照明光學系統，其中，在該照明系統具有切換被合成之該脈衝光之光路，將之依序導向設有複數個之該光罩之光路切換部的情形時，  該狀態變更部，係使該光路切換部對該脈衝光之分配時序分別互異，據以使該脈衝光在該空間光調變元件上之狀態互異。
73. 如請求項50至72中任一項所述之照明光學系統，其中，該光罩係空間光調變器。
74. 一種曝光裝置，其具備：  請求項50至73中任一項所述之照明光學系統；  投影光學系統，係藉由將從被該脈衝光照明之該光罩射出之光照射於曝光對象，據以對曝光對象進行分割曝光；以及  載台，其能載置曝光對象。
75. 如請求項74所述之曝光裝置，其中，該光源，係射出之光之波長為360nm以下之雷射光源；  該投影光學系統，係由單一或2種玻璃材料構成。
76. 如請求項75所述之曝光裝置，其中，該玻璃材料係石英或螢石。
77. 如請求項74至76中任一項所述之曝光裝置，其中，因該延遲光學系統而被延遲之該脈衝光經合成之群脈衝光之脈衝寬度，係設定為因該曝光裝置之掃描速度而造成之像流動之積為解析度之1／3以下。
78. 如請求項74至77中任一項所述之曝光裝置，其中，曝光對象係至少一邊之長度或對角長為500mm以上，且平板顯示器用之基板。
79. 如請求項74至78中任一項所述之曝光裝置，其中，該光罩係空間光調變器。
80. 一種平板顯示器之製造方法，其包含：  使用請求項74至79中任一項所述之曝光裝置使曝光對象曝光的動作；以及  使該曝光後之曝光對象顯影的動作。

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