KR20180073058A - Evaporation source and apparatus for deposition having the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 증발원 및 이를 구비한 증착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 증착 물질을 증착시키도록 분사하는 증발원의 노즐의 하부에 연통되는 확산관을 상하폭이 좁은 박스 형태로 이루어지도록 하여 도가니의 대폭적인 증착 물질 용량 증가에 부응하면서도 패스 라인(Pass-line)을 대폭 단축시킬 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an evaporation source and a deposition apparatus having the evaporation source. More particularly, the present invention relates to a diffusion tube communicating with a lower portion of a nozzle of an evaporation source for spraying an evaporation material on a substrate, To an evaporation source capable of drastically shortening a pass-line and a deposition apparatus equipped with the evaporation source.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착 방법으로 기판상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >
상기 진공열 증착 방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증착 물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발입자를 기판상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라 대면적 기판에 유기 박막을 균일하게 증착하기 위해 증발원이 사용되고 있다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is placed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, As shown in FIG. In recent years, an evaporation source has been used to uniformly deposit an organic thin film on a large-sized substrate as the substrate becomes large-sized.
상기 증발원은 통상, 증착 물질이 수용되는 용기 도가니(Crucible), 도가니의 상단에 연결되는 이송관, 상기 이송관과 연통되는 튜브 형태의 확산관, 확산관에 연통되어 증착 물질을 기판으로 분사는 노즐부로 이루어진다.The evaporation source usually includes a crucible in which a deposition material is accommodated, a transfer tube connected to the top of the crucible, a diffusion tube in the form of a tube communicating with the transfer tube, a nozzle communicating with the diffusion tube, Part.
그러나 종래와 같은 증발원 구조의 경우, 즐발 물질의 대용량화를 위해서는 도가니의 상하 길이와 튜브 형태의 확산관의 직경을 증가시킬 필요가 있는데, 이 경우 전체적인 증발원의 패스 라인(Pass-line)이 증가되는 등 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.However, in the case of the conventional evaporation source structure, it is necessary to increase the length of the crucible and the diameter of the tube-type diffuser in order to increase the capacity of the excitable material. In this case, the pass- There is a problem that the efficiency is lowered.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 기판에 증착 물질을 증착시키도록 분사하는 증발원의 노즐의 하부에 연통되는 확산관을 상하폭이 좁은 박스 형태로 이루어지도록 함으로서 도가니의 용량을 대폭 증가시키고 동시에 전체적인 패스 라인(Pass-line)을 대폭 단축시킬 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a diffusion tube communicating with a lower portion of a nozzle of an evaporation source for spraying an evaporation material on a substrate, And an evaporation source capable of drastically increasing the capacity of the crucible and greatly reducing the overall pass-line, and a deposition apparatus having the evaporation source.
본 발명의 다른 목적은 박스형상의 확산관의 상하폭을 노즐부의 직경 대비 1.5∼2 배를 유지하도록 함으로써, 내부 압력이 높아져 증착 물질이 변질될 우려가 없으면서도, 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 단축되고 분사 효율성을 높일 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to maintain the upper and lower width of the box-shaped diffusion tube at 1.5 to 2 times the diameter of the nozzle portion, thereby making it possible to prevent the deposition material from deteriorating due to an increase in internal pressure, And to provide a vapor deposition source and a vapor deposition apparatus having the evaporation source capable of improving the jetting efficiency.
본 발명의 또 다른 목적은 박스형상의 확산관의 하면으로는 이송관과 서로 연통되어 결합되어지되, 그 측면에는 상방향으로 절곡형성되는 노즐부와 연결되도록 하여 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 단축되면서도 노즐부의 절곡 형성에 의해 기판에 대한 증착 물질의 커버 영역을 대폭 증가시킬 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a box-shaped diffusion tube which is connected to a lower surface of a diffusion tube by being connected to a transfer tube and has a pass-line as a whole, And an evaporation source capable of greatly increasing the coverage area of the evaporation material with respect to the substrate by forming the nozzle part by bending, and a deposition apparatus having the evaporation source.
본 발명의 또 다른 목적은, 박스 형태의 확산관 및 이의 측면에 연결되는 노즐부 외주연을 따라 단일 존(zone) 형태의 히터부 형성이 가능한 증발원 및 이를 구비한 증착 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an evaporation source capable of forming a single zone type heater portion along the outer periphery of a box-shaped diffusion tube and a nozzle portion connected to the side thereof, and a deposition apparatus having the evaporation source.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 증발원은, 기판에 증착 물질을 증착시키는 증발원으로서, 상기 증착 물질이 수용되어 가열에 따라 상기 증착 물질이 분사되는 도가니; 일단이 상기 도가니의 상단에 연결되는 이송관; 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 일단에 횡방향으로 결합되는 박스 형상의 확산관; 및 상기 박스 형상의 확산관에 연통되며, 상기 증착 물질을 상기 기판으로 안내하는 노즐부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an evaporation source for evaporating an evaporation material on a substrate, the evaporation source including: a crucible in which the evaporation material is accommodated and the evaporation material is injected upon heating; A conveying pipe having one end connected to an upper end of the crucible; A box-shaped diffusion tube coupled to one end of the transfer tube so as to communicate with the transfer tube in a lateral direction; And a nozzle part communicating with the box-shaped diffusion tube and guiding the evaporation material to the substrate.
여기서, 상기 박스형상의 확산관은 횡방향으로의 좌우폭이 그 상하폭보다 크게 형성된 직사각 형상의 유기 물질 공간부를 이루는 것이 바람직하다.Preferably, the box-shaped diffusion tube has a rectangular organic material space having a width in the transverse direction larger than a width of the upper and lower sides thereof.
또한, 상기 박스형상의 확산관의 상하폭은 상기 노즐부의 직경과 비교하여 1.5∼2 배인 것이 바람직하다.The upper and lower widths of the box-shaped diffusion tube are preferably 1.5 to 2 times larger than the diameter of the nozzle portion.
또한, 상기 노즐부는 상기 박스형상의 확산관의 측면에 결합됨이 바람직하다.Preferably, the nozzle unit is coupled to a side surface of the box-shaped diffusion tube.
또한, 상기 노즐부는 상기 박스형상의 확산관에 측면에서 상방향으로 절곡형성됨이 바람직하다.In addition, it is preferable that the nozzle portion is formed to be bent upward from the side surface of the box-shaped diffusion tube.
또한, 상기 도가니의 외측에 위치하여 상기 도가니 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 1 히터; 및 상기 확산관과 상기 노즐부의 외측에 위치하여 상기 확산관과 상기 노즐부 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 2 히터를 더 포함하여 이루어짐이 바람직하다.A first heater positioned outside the crucible for heating the evaporation material in the crucible; And a second heater positioned on the outer side of the diffusion tube and the nozzle unit for heating the diffusion tube and the evaporation material in the nozzle unit.
또한, 기판에 증착 물질을 증착시키는 증착장치로서, 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 기판 안착부; 상기 기판에 대향하여 상기 증착 물질을 분출하는 상술한 구성을 갖는 증발원을 포함하는 증착 장치를 제공한다.Also, there is provided a deposition apparatus for depositing a deposition material on a substrate, comprising: a vacuum chamber; A substrate seating part disposed inside the vacuum chamber and on which the substrate is placed; And an evaporation source having the above-described configuration for ejecting the evaporation material against the substrate.
수정 진동자가 구비되며, 상기 수정 진동자에 대한 증착 물질의 증착에 따른 진동수의 변화에 따라 증착량을 측정하는 센서부; 상기 센서부 일측에 형성되며, 회전에 따라 상기 수정 진동자를 향하는 상기 증착 물질의 유동을 단속하는 초퍼; 일측으로 상기 센서부와 상기 초퍼가 노출되도록 상기 센서부 및 상기 초퍼를 커버하는 하우징; 상기 하우징의 타측에 형성되어 상기 센서부를 구동하기 위한 센서 구동부; 상기 하우징의 타측에 형성되어지되 상기 센서 구 A sensor unit having a crystal oscillator and measuring the deposition amount according to a change in the frequency of deposition of the deposition material with respect to the crystal oscillator; A chopper formed at one side of the sensor unit and controlling the flow of the evaporation material toward the quartz crystal according to the rotation; A housing for covering the sensor unit and the chopper such that the sensor unit and the chopper are exposed on one side; A sensor driving unit formed on the other side of the housing to drive the sensor unit; Wherein the sensor housing is formed on the other side of the housing,
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 증발원 및 이를 구비한 증착 장치에 의하면, 기판에 증착 물질을 증착시키도록 분사하는 증발원의 노즐의 하부에 연통되는 확산관을 상하폭이 좁은 박스 형태로 이루어져 도가니의 대폭적인 증착 물질 용량 증가에 부응하면서도 패스 라인(Pass-line)을 대폭 단축시킬 수 있는 효과가 있다.According to the evaporation source and the deposition apparatus having the above structure, the diffusion tube communicating with the lower part of the nozzle of the evaporation source for spraying the evaporation material on the substrate is formed in a box shape having a narrow vertical width, There is an effect that the pass-line can be greatly shortened while meeting the increase of the capacity of the deposition material considerably.
또한, 박스형상의 확산관의 상하폭을 노즐부의 직경 대배 1.5∼2 배를 유지하도록 함으로써, 내부 압력이 높아져 증착 물질이 변질될 우려가 없으면서도, 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 단축되고 분사 효율성을 높일 수 있는 효과도 있다.In addition, by maintaining the vertical width of the box-shaped diffusion tube at 1.5 to 2 times the diameter of the nozzle portion, the pass-line is shortened as a whole, There is also an effect of increasing efficiency.
또한, 박스형상의 확산관의 하면으로는 이송관과 서로 연통되도록 결합되어지되, 그 측면에 상방향으로 절곡형성되는 노즐부와 연결되도록 하여 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 단축되면서도 노즐부의 절곡 형성에 따라 기판에 대한 증착 물질의 커버 영역을 대폭 증가시킬 수 있는 장점도 있다.The bottom surface of the box-shaped diffusion tube is connected to the conveyance pipe so as to be communicated with the conveyance pipe, and is connected to a nozzle unit formed on the side surface thereof so as to be bent upward. Thus, the pass- There is an advantage that the coverage area of the deposition material with respect to the substrate can be greatly increased according to the formation.
또한, 박스 형태의 확산관 및 이의 측면에 연결되는 노즐부 외주연을 따라 단일 존(zone) 형태의 히터부 형성도 가능한 장점도 있다.Also, it is possible to form a single zone type heater section along the outer periphery of the nozzle section connected to the box-shaped diffusion tube and the side surface thereof.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 개략 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착 장치의 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic perspective view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view of a deposition apparatus having an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안된다.The present invention may be embodied in many other forms without departing from its spirit or essential characteristics. Accordingly, the embodiments of the present invention are to be considered in all respects as merely illustrative and not restrictive.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms.
상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, .
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "구비하다", "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises", "having", "having", and the like are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, components, Steps, operations, elements, components, or combinations of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that the present invention may be easily understood by those skilled in the art. .
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 개략 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착 장치의 개략적인 단면도이다. FIG. 1 is a schematic perspective view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a deposition apparatus having an evaporation source according to an embodiment of the present invention. Fig.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원(1)은, 기판(2)에 증착 물질을 증착시키는 증발원으로서, 상기 증착 물질이 수용되어 가열에 따라 상기 증착 물질가 분사되는 도가니(10); 일단이 상기 도가니(10)의 상단에 연결되는 이송관(20); 상기 이송관(20)과 연통되도록 상기 이송관의 일단에 횡방향으로 결합되는 박스 형상의 확산관(30); 및 상기 박스 형상의 확산관(30)에 연통되며, 상기 증착 물질을 상기 기판(2)으로 안내하는 노즐부(40)를 포함하여 이루어진다.1, an
본 발명의 일 실시예에 따른 증발원(1)은, 상기 도가니(10)의 외측에 위치하여 상기 도가니 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 1 히터(50); 및 상기 확산관(30)과 상기 노즐부(40)의 외측에 위치하여 상기 확산관(30)과 상기 노즐부(40) 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 2 히터(60)를 더 포함하여 이루어진다.The
상기 도가니(10)는, 내부에 증착 물질이 수용되며, 증착 물질의 용량를 대폭 증가시키기 위하여 대략 육각통 형태의 용기 형상을 갖는다. The
상기 도가니(10) 내부에 수용되는 증착 물질은 유기 물질이며, 상기 제 1 히터(50)를 통한 도가니(10)의 가열에 의하여 내부에 수용된 증착 물질이 기화되어 상향 이동하게 된다. The evaporation material contained in the
상기 도가니(10) 상단은 개방되어 있으며, 상기 도가니(10)의 하단은 밀봉되어 있다.The upper end of the
상기 이송관(20)은 일단(하단)이 상기 도가니(10)의 상단과 연결될 수 있다. 상기 이송관(20)은 증착 물질에서 증발되어 기화되는 유기 물질이 후술하는 확산관(30)을 거쳐 노즐부(40)에서 기판(2) 방향으로 분사될 수 있도록 증착 물질을 가이드하는 역할을 한다. One end (lower end) of the
상기 이송관(20)은 상향 연장되는 튜브 형상일 수 있다.The
상기 확산관(30)은, 대략 상하폭이 좁은 대략 육면체 형상의 박스형이며, 내부에 유기 물질의 확산을 위하여 좌우폭이 상하폭보다 매우 커서 전체적으로 횡방향으로 넓게 형성되어 상기 도가니(10)의 대폭적인 증착 물질 용량 증가에 부응하면서도 패스 라인(Pass-line)은 단축시킬 수 있는 직사각 유기 물질 확산 공간부를 이룬다.The
상기 박스형상의 확산관(30)의 하면으로는 상기 이송관(20)과 서로 연통되도록 결합되며, 측면에는 상방향으로 절곡형성되는 노즐부(40)와 연결되어 진다.The bottom surface of the box-
상기 노즐부(40)은 박스형상의 확산관(30)의 측면에 다수개가 형성되어, 기판(2)에 증착 물질을 분사한다.A plurality of
상기 노즐부(40)는 확산관(30)의 측면에 상측 방향으로 소정 각도로 절곡되어 기판(2)을 향하도록 형성되어 상기 기판(2)에 전달되는 증착 물질의 커버 영역을 대폭 증가시킬 수 있게 된다.The
여기서, 상기 노즐부(40)는 박스형상의 확산관(30)의 측면에 연결되어 상향으로 절곡된 형태가 되므로 종래와 같이 확산관의 상측에 연결되는 형태와 비교하여 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 단축되는 효과를 가지게 된다.Here, since the
한편, 상기 박스형상의 확산관(30)의 상하폭은 노즐부(40)의 직경과 비교하여 1.5∼2 배가 바람직하다.On the other hand, the vertical width of the box-
상기 확산관(30)의 상하폭이 노즐부(40)의 직경보다 1.5배 미만인 경우에는 직사각 유기 물질 확산 공간부가 좁아져 내부 압력이 높아져 증착 물질이 변질될 우려가 있고, 상기 확산관(30)의 상하폭이 노즐부(40)의 직경보다 2배를 초과하는 경우에는 전체적으로 패스라인(Pass-line)이 증가되어 분사 효율성이 저하되는 문제점이 있다.When the upper and lower widths of the
상기 제 1 히터(50)는 상기 도가니(10)의 외측에 배치되어 상기 도가니(50) 내의 증착 물질을 가열하는 역할을 수행한다.The
상기 제 2 히터(60)는 상기 박스 형태의 확산관(30) 및 이의 측면에 연결되는 노즐부(40) 외주연을 따라 단일 존(zone) 형태의 히터부를 형성하여 상기 확산관(30)과 상기 노즐부(40) 내의 증착 물질을 가열하는 역할을 수행한다.The
상기 제 1 및 제 2 히터(50, 60)는 열선의 형태가 바람직하나, 본 발명에 있어서 그 종류를 한정하는 것은 아니다.The first and
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원(1)을 구비한 증착 장치(100)는, 상술한 구성을 갖는 증발원(10), 기판(2), 진공 챔버(3), 및 기판 안착부(4)가 도시되어 있다.3, a deposition apparatus 100 having an
본 실시예에 따른 증착 장치(100)는, 기판(2)에 증착 물질를 증착하는 증착 장치로서, 진공 챔버(3)와, 진공 챔버(3) 내부에 배치되며, 기판(2)이 안착되는 기판 안착부(4)와, 기판(2)에 대향하여 증착 물질를 분출하는 상술한 일 실시예에 따른 증발원(1)을 포함한다.A deposition apparatus 100 according to the present embodiment is a deposition apparatus for depositing an evaporation material on a
상기 진공 챔버(3)의 내부는 증착 물질의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(2)이 진공 챔버(3)의 내부에 위치한 기판 안착부(4)에 안착된다. 진공 챔버(3)의 바닥쪽에는 기판(2)에 대향하여 증착 물질를 분출하는 본 실시예에 따른 증발원(1)이 배치된다.The inside of the
본 발명의 증발원(1)은, 기판(2)에 대향하여 진공 챔버(3)의 내부에 배치되며, 기판(2)을 향하여 대용량의 도가니(10), 이송관(20), 박스 형상의 확산관(30), 및 다수의 노즐부(40)를 통해 대용량의 증착 물질을 효율적이면서도 균일하게 분출하게 되는 것이다.An evaporation source (1) of the present invention is disposed inside a vacuum chamber (3) opposite to a substrate (2) and includes a crucible (10), a transfer tube (20) A large volume of evaporation material can be efficiently and uniformly ejected through the
이상으로 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 일실시예를 기재한 것이므로, 상기 실시예의 기재에 의하여 본 발명의 기술적 사상이 제한적으로 해석되어서는 아니 된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. The technical idea of the present invention should not be construed as being limited.
1: 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원
2: 기판
3: 진공 챔버
4: 기판 안착부
10: 도가니
20: 이송관
30: 확산관
40: 노즐부
50: 제 1 히터
60: 제 2 히터1: an evaporation source according to an embodiment of the present invention
2: substrate
3: Vacuum chamber
4:
10: Crucible
20: Transfer pipe
30: diffusion tube
40:
50: first heater
60: second heater
Claims (7)
상기 증착 물질이 수용되어 가열에 따라 상기 증착 물질이 분사되는 도가니;
일단이 상기 도가니의 상단에 연결되는 이송관;
상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 일단에 횡방향으로 결합되는 박스 형상의 확산관; 및
상기 박스 형상의 확산관에 연통되며, 상기 증착 물질을 상기 기판으로 안내하는 노즐부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 증발원.
An evaporation source for depositing a deposition material on a substrate,
A crucible in which the deposition material is accommodated and the deposition material is injected upon heating;
A conveying pipe having one end connected to an upper end of the crucible;
A box-shaped diffusion tube coupled to one end of the transfer tube so as to communicate with the transfer tube in a lateral direction; And
And a nozzle portion communicating with the box-shaped diffusion tube and guiding the evaporation material to the substrate.
상기 박스형상의 확산관은 횡방향으로의 좌우폭이 그 상하폭보다 크게 형성된 직사각 형상의 유기 물질 공간부를 이루는 것을 특징으로 하는 증발원.
The method according to claim 1,
Wherein the box-shaped diffusion tube is a rectangular organic material space having a horizontal width in a lateral direction larger than a vertical width of the vertical space.
상기 박스형상의 확산관의 상하폭은 상기 노즐부의 직경과 비교하여 1.5∼2 배인 것을 특징으로 하는 증발원.
The method according to claim 1,
And the upper and lower widths of the box-shaped diffusion tubes are 1.5 to 2 times as large as the diameter of the nozzle section.
상기 노즐부는 상기 박스형상의 확산관의 측면에 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원.
The method according to claim 1,
Wherein the nozzle portion is coupled to a side surface of the box-shaped diffusion tube.
상기 노즐부는 상기 박스형상의 확산관에 측면에서 상방향으로 절곡형성되는 것을 특징으로 하는 증발원.
5. The method of claim 4,
Wherein the nozzle portion is bent upwardly from a side surface of the box-shaped diffusion tube.
상기 도가니의 외측에 위치하여 상기 도가니 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 1 히터; 및
상기 확산관과 상기 노즐부의 외측에 위치하여 상기 확산관과 상기 노즐부 내의 증착 물질을 가열하기 위한 제 2 히터를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 증발원.
The method according to claim 1,
A first heater positioned outside the crucible and heating the evaporation material in the crucible; And
And a second heater positioned on the outer side of the diffusion tube and the nozzle section for heating the diffusion tube and the evaporation material in the nozzle section.
진공 챔버;
상기 진공 챔버 내부에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 기판 안착부; 및
상기 기판에 대향하여 상기 증착 물질을 분출하는 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
A deposition apparatus for depositing an evaporation material on a substrate,
A vacuum chamber;
A substrate seating part disposed inside the vacuum chamber and on which the substrate is placed; And
The evaporation source according to any one of claims 1 to 6, which ejects the evaporation material against the substrate.
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- 2016-12-22 KR KR1020160176488A patent/KR20180073058A/en unknown
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