KR102420852B1 - Susceptor and Vaccum chamber including the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 몸체의 내부에 열선이 매설되고, 열차단부가 설치되어, 몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor in which a heating wire is embedded in a body and a heat shield is installed to improve the thermal uniformity of the body, and to a vacuum chamber including the same.

Description

서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버{ Susceptor and Vaccum chamber including the same }Susceptor and vacuum chamber including the same { Susceptor and Vaccum chamber including the same }

본 발명은 몸체 내부에 열선이 매설되고 상면에 글라스가 올려지는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor in which a heating wire is embedded in a body and a glass is placed on an upper surface thereof, and a vacuum chamber including the same.

액정표시장치(LCD)는 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자를 뜻한다. 이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 각각 유리등의 재질로 이루어지는 투명 기판 상에 수차례에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 진공챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 진공챔버 내부에는, 기판이 안착되며 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.A liquid crystal display (LCD) refers to a non-light emitting device that obtains an image effect by injecting liquid crystal between an array substrate and a color filter substrate and using its characteristics. These array substrates and color filter substrates are manufactured through deposition, patterning, and etching processes of thin films several times on a transparent substrate made of a material such as glass, respectively. When a process is to be performed, a susceptor in which a heater is embedded is installed inside the vacuum chamber so that the substrate is seated and heated to an appropriate temperature for deposition.

종래의 서셉터로는 한국등록특허 제0945441호에 기재된 것이 있다(도 1 참고) .As a conventional susceptor, there is one described in Korean Patent No. 0945441 (refer to FIG. 1).

박막 증착 반응이 진행되는 진공챔버는, 상부 리드와 챔버 바디로 구분된다. 상기 상부 리드의 내부에는 백킹 플레이트와 샤워헤드로 구성되는 가스분산부가 진공챔버의 상단을 가로질러 형성되는데, 외부의 가스저장부로부터 공급된 소스가스는 가스라인을 경유하여 상기 가스분산부로 유입된 뒤, 상기 가스분산부에 다수 설치되는 관통홀을 통하여 기판의 상면으로 분사된다. 특히, PECVD 장치에서 상기 가스분산부는 외부의 RF 전원과 연결되어 상기 기판 상에 분사된 소스가스를 플라즈마 상태로 활성화시키는 상부전극으로 기능한다.The vacuum chamber in which the thin film deposition reaction proceeds is divided into an upper lid and a chamber body. A gas distribution unit composed of a backing plate and a shower head is formed inside the upper lid across the upper end of the vacuum chamber. , is sprayed onto the upper surface of the substrate through a plurality of through-holes installed in the gas distribution unit. In particular, in the PECVD apparatus, the gas distribution unit is connected to an external RF power source and functions as an upper electrode that activates the source gas injected onto the substrate into a plasma state.

한편, 상기 챔버 바디의 내부에는 상기 가스분산부와 소정간격 이격되는 서셉터 바디가 설치되어 그 상면으로 상기 기판이 안착된다. 상기 서셉터 바디의 중앙 하단으로는 서셉터 샤프트가 챔버 하단부를 관통하면서 결합되어 상기 서셉터 바디를 지지한다. 상기 서셉터 바디의 내면에는 히터가 매설되어 서셉터 상면으로 안치되는 상기 기판을 소정의 온도로 가열시켜 소스가스가 상기 기판의 상면으로 증착될 수 있도록 한다. 이때, 공급되는 소스가스를 플라즈마 처리하여 여기시키는 경우 상기 서셉터 바디는 전기적으로 접지되어 있다. 즉, 상기 서셉터 바디는 그 상면에 안치되는 상기 기판으로 적절한 온도의 열을 공급함과 동시에 상기 상부전극으로 기능하는 상기 가스분산부에 대응되는 하부전극으로 기능한다.Meanwhile, a susceptor body spaced apart from the gas distribution unit by a predetermined distance is installed inside the chamber body, and the substrate is seated on its upper surface. A susceptor shaft is coupled to the lower center of the susceptor body while passing through the lower end of the chamber to support the susceptor body. A heater is embedded in the inner surface of the susceptor body to heat the substrate placed on the upper surface of the susceptor to a predetermined temperature so that the source gas is deposited on the upper surface of the substrate. In this case, when the supplied source gas is excited by plasma treatment, the susceptor body is electrically grounded. That is, the susceptor body functions as a lower electrode corresponding to the gas distribution unit functioning as the upper electrode while supplying heat of an appropriate temperature to the substrate placed on the upper surface thereof.

상기 서셉터 샤프트는 상기 서셉터 바디의 상면으로 상기 기판의 로딩/언로딩에 따라 상하로 승하강하여 그 상단에 결합된 서셉터 바디를 수직 방향으로 연동시킨다. 이와 같은 승하강 운동을 위해서 상기 서셉터 바디의 외주변으로는 구동부가 설치되어 모터 등의 구동수단과 연결되어 있다. 다시 말하면 상기 서셉터 샤프트는 서셉터 바디가 수평을 유지하면서 승강할 수 있도록 지지하는 역할 외에 상기 구동부를 통하여 외부로부터 전달된 동력을 전달하는 축의 역할을 수행한다.The susceptor shaft moves up and down according to the loading/unloading of the substrate to the upper surface of the susceptor body to vertically interlock the susceptor body coupled to the top thereof. For this elevating movement, a driving unit is installed on the outer periphery of the susceptor body and is connected to a driving means such as a motor. In other words, the susceptor shaft serves as a shaft for transmitting the power transmitted from the outside through the driving unit in addition to the role of supporting the susceptor body so that it can be raised and lowered while maintaining the horizontal.

서셉터 샤프트의 상단은 서셉터 바디의 저면 중앙과 결합한 뒤에 용접처리를 통하여 밀폐되어 있다. 상기 서셉터 바디 저면의 중앙에 인접한 영역과 주변에 인접한 영역 각각에는 서로 대칭적으로 매설홈이 형성되어 그 내부로 히터가 수용된다. 상기 매설홈으로 상기 히터가 내삽되면 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버가 매설홈의 하단으로부터 부설된다.The upper end of the susceptor shaft is sealed by welding after joining with the center of the lower surface of the susceptor body. In each of the region adjacent to the center and the region adjacent to the periphery of the bottom surface of the susceptor body, a buried groove is formed symmetrically to each other, and the heater is accommodated therein. When the heater is inserted into the buried groove, an aluminum cover is installed from the lower end of the buried groove to its bottom surface.

한편, 상기 기판이 올려지는 상기 서셉터 바디는 상부 테두리 부분이 그 내측부보다 온도가 낮아지는 온도 편차가 발생한다. 상기 서셉터 바디의 상부의 온도 편차로 인해, 상기 기판의 테두리부와 그 내측부에 형성되는 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 온도편차를 줄이는데 한계가 있다.On the other hand, in the susceptor body on which the substrate is mounted, a temperature deviation occurs in which the upper edge portion has a lower temperature than the inner portion thereof. Due to the temperature deviation of the upper portion of the susceptor body, properties of the film formed on the edge portion of the substrate and the inner portion thereof are different from each other. In the case of small substrates, the difference in film quality according to the above temperature deviation did not significantly affect the quality of the finished product, but in recent large substrates, the need for high-quality film formation with reduced film quality characteristics change due to temperature deviation has emerged. However, there is a limit in reducing the temperature deviation of the susceptor body in the prior art.

한국등록특허 제0945441호Korean Patent No. 0945441

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a susceptor having improved body thermal uniformity and a vacuum chamber including the same.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 서셉터는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the susceptor of the present invention, the body; a heating wire embedded in the inside of the body; a rod having one end connected to the lower surface of the body; and a heat shield installed on the body. It is characterized in that it includes.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 내부에 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is installed inside the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면과 상기 열선 사이에 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that it is disposed between the side of the body and the heating wire.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간에 공기가 채워진 에어갭인 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that the air gap is filled in the space formed in the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간과, 상기 공간의 내부에 채워진 열차단물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it includes a space formed in the body, and a heat-blocking material filled in the space.

또한, 상기 공간은 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈과, 상기 개구부를 덮는 커버로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the space is characterized in that it is formed of a groove formed with an opening in the lower surface of the body, and a cover covering the opening.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈인 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that the groove formed on the lower surface of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 상, 하면을 관통한 슬롯인 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that the slot passing through the upper and lower surfaces of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is disposed adjacent to the corner portion of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that it is disposed adjacent to the side of the body.

또한, 상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heating wire includes a first heating wire portion disposed along the circumference of one side of the body and extending toward the center of the body, and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body and extending toward the center of the body. However, the heat-blocking part is characterized in that it is disposed on the side of the body at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되, 상기 제1열차단부와 상기 제2열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion includes a first train blocking portion disposed adjacent to the corner portion of the body and a second train blocking portion disposed between the first train blocking portion, the first train blocking portion and the second train blocking portion are spaced apart from each other and are characterized in that they are discontinuously arranged.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되, 상기 제2열차단부는 인접하는 상기 제1열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part includes a first train-blocking part disposed adjacent to the corner of the body, and a second train-blocking part disposed between the first train-blocking parts, wherein the second train-blocking part is adjacent to the first It is characterized in that a plurality of pieces are spaced apart from each other and are discontinuously arranged between the heat-blocking parts.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 테두리를 따라 연속적으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is continuously formed along the side edge of the body.

또한, 상기 열차단부의 일측은 상기 몸체의 측면 외측에 결합된 것을 특징으로 한다.In addition, one side of the heat-blocking part is characterized in that it is coupled to the outer side of the body.

또한, 상기 열차단부는 일측이 상기 몸체의 측면에 결합된 연결부와, 상기 연결부의 타측에 연결되어 절곡된 수직부를 포함하되, 상기 수직부는 상기 몸체의 측면에 대해 이격된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part includes a connecting part having one side coupled to the side surface of the body, and a bent vertical part connected to the other side of the connection part, wherein the vertical part is spaced apart from the side surface of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 둘레를 따라 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is arranged along the periphery of the side of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is disposed adjacent to the corner portion of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that it is disposed adjacent to the side of the body.

또한, 상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heating wire includes a first heating wire portion disposed along the circumference of one side of the body and extending toward the center of the body, and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body and extending toward the center of the body. However, the heat-blocking part is characterized in that it is disposed on the side of the body at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되,상기 제3열차단부와 상기 제4열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part includes a third train-blocking part disposed adjacent to the corner of the body and a fourth train-blocking part disposed between the third train-blocking part, The third train-blocking part and the fourth train-blocking part are spaced apart from each other and are characterized in that they are discontinuously arranged.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되, 상기 제4열차단부는 인접하는 상기 제3열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion includes a third train-blocking portion disposed adjacent to the corner of the body and a fourth train-blocking portion disposed between the third train-blocking portion, wherein the fourth train-blocking portion is adjacent to the third It is characterized in that a plurality of pieces are spaced apart from each other and are discontinuously arranged between the heat-blocking parts.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of a metal insulating material having a lower thermal conductivity than the metal constituting the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of a non-metallic insulator having a lower thermal conductivity than the metal constituting the body.

또한, 상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that the thermal conductivity is 0.03 W/mK or more and 35 W/mK or less.

또한, 상기 열차단부는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO), 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel material.

본 발명의 진공챔버는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함한다.The vacuum chamber of the present invention, the body; a heating wire embedded in the inside of the body; a rod having one end connected to the lower surface of the body; and a heat shield installed on the body. It includes a susceptor comprising a.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention, there are the following effects.

몸체의 열균일성이 향상됨으로, 글라스의 온도 편차를 줄일 수 있어, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.By improving the thermal uniformity of the body, it is possible to reduce the temperature deviation of the glass, thereby forming a high-quality film.

몸체 중 글라스의 테두리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.It is possible to reduce the temperature deviation between the portion adjacent to the edge of the glass and the inner portion of the body.

몸체 중 글라스의 모서리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.It is possible to reduce the temperature deviation between the portion adjacent to the edge of the glass and the inner portion of the body.

제2열차단부가 복수 개가 이격되어 불연속을 이루어, 제2열차단부 사이에 별도의 구성을 배치하기 용이한 장점이 있다.A plurality of second train interrupters are spaced apart to form a discontinuity, so it is easy to arrange a separate configuration between the second train interrupters.

몸체의 측면 외측에 열차단부가 결합되어 제조가 용이하다.The heat shield is coupled to the outer side of the body, making it easy to manufacture.

도 1은 종래의 서셉터를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 3은 도 2의 저면 사시도(리프트 핀 및 승강부재 제외).
도 4는 히터부 및 열차단부의 분리 상태도.
도 5는 열차단부 내부에 열차단물질이 채워진 단면도
도 6은 열차단부 내부에 공기가 채워진 단면도.
도 7은 열차단부가 하면이 개방된 홈으로 형성된 단면도.
도 8은 열차단부가 슬롯으로 형성된 단면도.
도 9는 도 2의 글라스가 상승된 서셉터의 단면도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 12는 본 발명의 바람직한 제3실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 13은 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 14는 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 15는 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 16은 본 발명의 바람직한 제6실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 17는 본 발명의 바람직한 제7실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 18는 본 발명의 바람직한 제8실시예에 따른 몸체의 저면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional susceptor.
2 is a cross-sectional view (front direction) showing a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention;
Figure 3 is a bottom perspective view of Figure 2 (except for the lift pin and elevating member).
4 is a diagram illustrating a separation state of a heater unit and a heat-blocking unit;
5 is a cross-sectional view in which a heat-blocking material is filled in the heat-blocking part;
Figure 6 is a cross-sectional view filled with air inside the heat barrier.
7 is a cross-sectional view in which the heat-blocking portion is formed as an open groove on the lower surface.
8 is a cross-sectional view in which a heat barrier is formed as a slot.
Figure 9 is a cross-sectional view of the glass of Figure 2 is raised susceptor.
10 is a bottom view of a body according to a first preferred embodiment of the present invention;
11 is a bottom view of a body according to a second preferred embodiment of the present invention;
12 is a bottom view of a body according to a third preferred embodiment of the present invention;
13 is a bottom view of a body according to a fourth preferred embodiment of the present invention;
14 is a cross-sectional view (front direction) showing a susceptor according to a fifth preferred embodiment of the present invention;
15 is a bottom view of a body according to a fifth preferred embodiment of the present invention;
16 is a bottom view of a body according to a sixth preferred embodiment of the present invention;
17 is a bottom view of a body according to a seventh preferred embodiment of the present invention;
18 is a bottom view of a body according to an eighth preferred embodiment of the present invention;

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in different forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural, unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements mentioned. or addition is not excluded. In addition, since it is according to a preferred embodiment, reference signs provided in the order of description are not necessarily limited to the order.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.Embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional and/or plan views, which are ideal illustrative views of the present invention. In the drawings, thicknesses of films and regions are exaggerated for effective description of technical content. Accordingly, the shape of the illustrative drawing may be modified due to manufacturing technology and/or tolerance. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown, but also include changes in the form generated according to the manufacturing process. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have a schematic nature, and the shapes of the illustrated regions in the drawings are intended to illustrate specific shapes of regions of the device and not to limit the scope of the invention.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성은 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, among the components of the present invention to be described below, the same components as those of the prior art are well known in the prior art, including the above-mentioned prior art, and thus, a separate detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터는, 도 2 내지 도 10에 도시한 바와 같이, 몸체(100);와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114);과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300); 및 몸체(100)에 설치되는 열차단부(130);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 열차단부(130)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 내부에 설치된다.A susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 2 to 10, a body 100; and a heating wire 114 embedded in the interior of the body 100; and one end a rod 300 connected to the lower surface of the body 100; and a heat-blocking unit 130 installed on the body 100 . The heat blocking unit 130 is installed inside the body 100 as shown in FIG. 2 .

몸체(100)의 상면에는 글라스(500)가 올려지고, 글라스(500)를 들어올리는 리프트 핀(400)이 몸체(100)를 관통하여 배치된다.A glass 500 is placed on the upper surface of the body 100 , and a lift pin 400 for lifting the glass 500 is disposed through the body 100 .

몸체(100)는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 직육면체 형상으로 형성된다. 몸체(100)의 상면에는 직육면체 형상의 글라스(500)가 올려진다. 몸체(100)는 알루미늄 재질이 바람직할 수 있고, 표면이 아노다이징처리 될 수 있다.The body 100 is formed in a rectangular parallelepiped shape, as shown in FIGS. 2 and 3 . A rectangular parallelepiped glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100 . The body 100 may preferably be made of an aluminum material, and the surface may be anodized.

몸체(100)는 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 몸체(100)의 측면(170)과 열선(114) 사이에 배치되는 열차단부(130)와, 리프트 핀(400)이 삽입되는 관통구(150)를 포함하여 이루어진다.The body 100 includes a heater part 110 including a heating wire 114 embedded in the body 100 , and a heat blocking part 130 disposed between the side surface 170 and the heating wire 114 of the body 100 . ) and a through hole 150 into which the lift pin 400 is inserted.

히터부(110)는 도 3에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된다. 특별히, 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면 중에서 중앙부에 인접한 부분과, 테두리에 인접한 부분에 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3 , the heater unit 110 is formed on the lower surface of the body 100 . In particular, as shown in FIG. 3 , a portion adjacent to the central portion and a portion adjacent to the edge of the lower surface of the body 100 may be formed.

히터부(110)는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된 홈(112)과, 홈(112)의 내부에 삽입된 열선(114)과, 열선(114)의 하측에 배치된 지지부재(116)와, 지지부재(116)의 하측에 배치되어 홈(112)의 개구를 덮는 커버(118)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 2 to 4 , the heater unit 110 includes a groove 112 formed on the lower surface of the body 100 , a heating wire 114 inserted into the groove 112 , and a heating wire 114 . ) and a support member 116 disposed on the lower side, and a cover 118 disposed on the lower side of the support member 116 to cover the opening of the groove 112 .

홈(112)은 도 4와 같이, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록하게 형성된다. 그리고 홈(112)의 내부를 따라 열선(114)이 삽입된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 홈(112)은 개구의 폭이, 상기 개구의 상측부의 폭보다 크다.The groove 112 is formed convexly upward from the lower surface of the body 100 as shown in FIG. 4 . And the heating wire 114 is inserted along the inside of the groove 112. As shown in FIG. 4 , the width of the opening of the groove 112 is greater than the width of the upper portion of the opening.

열선(114)은 홈(112)을 따라 삽입되고, 도 2와 같이, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)의 내부를 관통하여 연장 형성된다. 열선(114)을 통해 몸체(100)를 가열되고, 열전도를 통해 몸체(100) 상면의 글라스(500)가 가열된다.The heating wire 114 is inserted along the groove 112 and is formed to extend through the inside of the rod 300 coupled to the center of the lower surface of the body 100 as shown in FIG. 2 . The body 100 is heated through the heating wire 114 , and the glass 500 on the upper surface of the body 100 is heated through heat conduction.

도 2, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 열선(114)의 하측에는 지지부재(116)가 배치된다. 지지부재(116)는 열선(114)과 커버(118) 사이에 위치한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 지지부재(116)의 상면은 하측으로 볼록한 포물선 형상을 이룬다. 지지부재(116)의 상면에 열선(114)이 올려져, 열선(114)을 지지한다.2 , 4 and 5 , a support member 116 is disposed below the heating wire 114 . The support member 116 is positioned between the heating wire 114 and the cover 118 . 5, the upper surface of the support member 116 forms a parabolic shape convex downward. A heating wire 114 is mounted on the upper surface of the support member 116 to support the heating wire 114 .

지지부재(116)의 하측에는 커버(118)가 배치된다. 커버(118)는 홈(112)의 상기 개구에 삽입되어 홈(112)의 상기 개구를 덮는다. 커버(118)는 몸체(100)의 하면에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 커버(118)의 폭은 지지부재(116)보다 크다. A cover 118 is disposed under the support member 116 . A cover 118 is inserted into the opening of the groove 112 to cover the opening of the groove 112 . The cover 118 may be coupled to the lower surface of the body 100 by welding (particularly, friction stir welding). The width of the cover 118 is greater than the support member 116 .

도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 히터부(110)와 몸체(100)의 측면(170) 사이에는 열차단부(130)가 형성된다. 열차단부(130)는 열선(114)과 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치된다. 제1실시예에 따른 열차단부(130)는 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면에서, 몸체(100)의 측면(170) 테두리를 따라 연속적으로 형성된다.2 to 5 , a heat shield 130 is formed between the heater unit 110 and the side surface 170 of the body 100 . The heat shield 130 is disposed between the heating wire 114 and the side surface 170 of the body 100 . The heat-blocking part 130 according to the first embodiment is continuously formed along the edge of the side surface 170 of the body 100 on the lower surface of the body 100, as shown in FIG. 3 .

열차단부(130)는 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 개구부(137)가 형성된 홈(136)와, 개구부(137)를 덮는 커버(139)로 형성되는 공간(134)을 포함한다.As shown in FIGS. 4 and 5 , the heat shield 130 is a space formed by a groove 136 having an opening 137 on the lower surface of the body 100 and a cover 139 covering the opening 137 . (134).

홈(136)는 몸체(100)의 하면에서 상측을 향해 볼록하게 형성된다. 홈(136)의 내부 상면은 몸체(100)의 하면보다 몸체(100)의 상면에 인접할 수 있다. 홈(136)은 개구부(137)의 폭이, 개구부(137)의 상측에 위치하는 부분보다 크다.The groove 136 is convexly formed from the lower surface of the body 100 toward the upper side. The inner upper surface of the groove 136 may be adjacent to the upper surface of the body 100 rather than the lower surface of the body 100 . In the groove 136 , the width of the opening 137 is greater than a portion positioned above the opening 137 .

홈(136)의 개구부(137)를 덮도록 커버(139)가 개구부(137)에 삽입되어 결합될 수 있다. 커버(139)는 개구부(137), 즉 몸체(100)에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 홈(136)의 개구부(137)를 커버(139)가 막아서 공간(134)이 형성된다. 커버(139)는 단면이 사각형상일 수 있다. 커버(139)는 에어투과성 재질로서, 발포알루미늄 또는 다공질 세라믹으로 형성될 수 있다.The cover 139 may be inserted into and coupled to the opening 137 to cover the opening 137 of the groove 136 . The cover 139 may be coupled to the opening 137 , that is, the body 100 by welding (particularly, friction stir welding). A space 134 is formed by the cover 139 blocking the opening 137 of the groove 136 . The cover 139 may have a rectangular cross-section. The cover 139 is an air-permeable material, and may be formed of foamed aluminum or porous ceramic.

열차단부(130)는 도 5에 도시한 바와 같이, 전술한 공간(134)과, 공간(134)의 내부에 채워진 열차단물질(135)을 포함하여 형성될 수 있다. 공간(134)은 몸체(100)의 내부에 형성된다.As shown in FIG. 5 , the heat-blocking part 130 may be formed to include the aforementioned space 134 and a heat-blocking material 135 filled in the space 134 . The space 134 is formed inside the body 100 .

열차단부(130)의 열차단물질(135)은 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재일 수 있다. 열차단물질(135)은 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다. The heat-blocking material 135 of the heat-blocking part 130 may be a metal insulator or a non-metal insulator having a lower thermal conductivity than a metal (preferably, may be aluminum) constituting the body 100 . The thermal barrier material 135 may be glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO) or stainless steel material, and the thermal conductivity may be preferably 0.03 W/mK or more and 35 W/mK or less. have.

한편, 열차단부(130)는 공간(134)과 커버(139)를 포함하지 않고, 몸체(100)의 내부에 설치되어, 몸체(100)를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재일 수 있다. 열차단부(130)는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.On the other hand, the heat blocking unit 130 does not include the space 134 and the cover 139, and is installed inside the body 100, and may be a metal or non-metal insulator having lower thermal conductivity than the metal constituting the body 100. have. The heat shield 130 may be preferably made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO) or stainless steel, and the thermal conductivity may be preferably 0.03 W/mK or more and 35 W/mK or less. .

한편, 도 6에 도시한 바와 같이, 열차단부(130a)는 몸체(100)에 형성된 공간(134)에 공기가 채워진 에어갭일 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 6 , the heat blocking part 130a may be an air gap filled with air in the space 134 formed in the body 100 .

또한, 도 7에 도시한 바와 같이, 열차단부(130b)는 몸체(100)의 하면에 개구부(141)가 형성된 홈(140)일 수 있다. 도 7의 열차단부(130b)는 일면이 개방되어 있다. 도 7의 홈(140) 내부는 진공이므로, 열전도 및 열대류가 차단된다.In addition, as shown in FIG. 7 , the heat-blocking part 130b may be a groove 140 in which an opening 141 is formed in the lower surface of the body 100 . One side of the heat-blocking part 130b of FIG. 7 is open. Since the inside of the groove 140 of FIG. 7 is a vacuum, heat conduction and thermal convection are blocked.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 열차단부(130c)는 몸체(100)의 상, 하면을 관통한 슬롯(145)일 수 있다. 도 8과 같이, 열차단부(130c)가 슬롯(145)일 경우에는, 전술한 바와 달리, 몸체(100)의 측면 테두리를 따라 불연속적으로 형성된다(도 11 내지 도 13 참고). 도 8의 슬롯(145) 내부는 진공이므로, 열전도 및 열대류가 차단된다. In addition, as shown in FIG. 8 , the heat-blocking part 130c may be a slot 145 penetrating the upper and lower surfaces of the body 100 . As shown in FIG. 8 , when the heat-blocking part 130c is the slot 145 , it is discontinuously formed along the side edge of the body 100 , as described above (refer to FIGS. 11 to 13 ). Since the inside of the slot 145 of FIG. 8 is a vacuum, heat conduction and thermal convection are blocked.

이상과 같이, 열차단부(130,130a,130b,130c)가 몸체(100)의 측면(170)과 열선(114) 사이에 배치됨으로써, 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 외측 테두리에 인접한 부분(165)의 열이 열전달에 의해 몸체(100)의 외측으로 빠져나가는 것을 차단할 수 있다. 그래서 몸체(100) 상면 중 글라스(500)의 테두리에 인접한 부분(165)과, 그 내측 부분의 온도편차를 줄일 수 있다. 몸체(100)의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 테두리 부분과 그 내측부의 온도 편차가 줄어, 글라스(500)에 고품질의 막질을 형성할 수 있다.As described above, the heat-blocking portions 130, 130a, 130b, and 130c are disposed between the side surface 170 of the body 100 and the heating wire 114, so that the portion adjacent to the outer edge of the glass 500 in the body 100 ( It is possible to block the heat of 165) from escaping to the outside of the body 100 by heat transfer. Therefore, it is possible to reduce the temperature deviation between the portion 165 adjacent to the edge of the glass 500 and the inner portion of the upper surface of the body 100 . As the thermal uniformity of the body 100 is improved, as a result, the temperature deviation between the edge portion of the glass 500 and the inner portion thereof is reduced, so that a high-quality film can be formed on the glass 500 .

제1실시예에 따른 열차단부(130,130a,130b)는 도 10에 도시한 바와 같이, 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치되어, 몸체(100)의 측면(170) 테두리를 따라 연속적으로 형성된다. 즉, 히터부(110)의 둘레 전체를 둘러서 형성되어 열방출을 차단한다.As shown in FIG. 10, the heat-blocking parts 130, 130a, and 130b according to the first embodiment are disposed between the heater part 110 including the heating wire 114 and the side surface 170 of the body 100, It is continuously formed along the edge of the side 170 of the body 100 . That is, it is formed around the entire circumference of the heater unit 110 to block heat dissipation.

또한, 제2실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 11에 도시한 바와 같이, 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치되되, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치될 수 있다. 도 11과 같이 저면도 상에서 볼 때, 각각의 열차단부(130,130a,130b,130c)는 수직으로 절곡된 곡선 형태이다. 몸체(100)의 모서리부는, 몸체(100) 외측과의 접촉면적이 넓어서 열전달이 더 빠르게 이루어지는 부분이다. 열차단부(130,130a,130b,130c)를 통해 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 모서리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.In addition, as a second embodiment, the heat-blocking parts 130 , 130a , 130b , and 130c are, as shown in FIG. 11 , a heater part 110 including a heating wire 114 , and a side surface 170 of the body 100 . Doedoe disposed between, it may be disposed adjacent to the corner portion of the body (100). When viewed from the bottom view as shown in FIG. 11 , each of the heat-blocking parts 130 , 130a , 130b , and 130c has a curved shape bent vertically. The edge of the body 100 has a large contact area with the outside of the body 100 so that heat transfer is faster. The temperature deviation between the portion adjacent to the edge of the glass 500 and the inner portion of the body 100 through the heat-blocking portions 130 , 130a , 130b and 130c may be reduced.

또한, 제3실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 12에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부(131)와, 제1열차단부(131) 사이에 배치된 제2열차단부(132)를 포함할 수 있다. 도 12와 같이 저면도 상에서 볼 때, 각각의 제1열차단부(131)는 수직으로 절곡된 곡선 형태이고, 제2열차단부(132)는 몸체(100)의 변을 따라 배치되어 직선 형태를 이룬다. 제1열차단부(131)와 제2열차단부(132)는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된다.In addition, as a third embodiment, the heat-blocking parts 130 , 130a , 130b and 130c are, as shown in FIG. 12 , the first train-blocking part 131 disposed adjacent to the corner of the body 100 , and the first It may include a second heat-blocking part 132 disposed between the heat-blocking parts 131 . When viewed from the bottom view as shown in FIG. 12 , each of the first train blocking parts 131 has a curved shape bent vertically, and the second train blocking parts 132 are disposed along the sides of the body 100 to form a straight line. . The first train breaker 131 and the second train breaker 132 are spaced apart from each other and are discontinuously disposed.

또한, 제4실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 13에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부(131)와, 제1열차단부(131) 사이에 배치된 제2열차단부(132)를 포함하되, 제2열차단부(132)는 인접하는 제1열차단부(131) 사이에 복수 개가 이격되어 불연속으로 배치될 수 있다. 제2열차단부(132)가 복수 개가 이격되어 불연속을 이루기 때문에, 제2열차단부(132) 사이에 별도의 구성을 배치하기 용이한 장점이 있다.In addition, as a fourth embodiment, the heat-blocking parts 130, 130a, 130b, and 130c are, as shown in FIG. 13, the first train-blocking part 131 disposed adjacent to the corner of the body 100, and the first A plurality of second train blocking units 132 may be included between the heat blocking units 131 , and a plurality of second train blocking units 132 may be disposed discontinuously by being spaced apart from each other between adjacent first heat blocking units 131 . Since a plurality of second train blocking units 132 are spaced apart to form a discontinuity, there is an advantage in that it is easy to arrange a separate configuration between the second train blocking units 132 .

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 몸체의 내부에 설치된 열차단부(130,130a,130b,130c)는 몸체(100)의 변에 인접하여 배치될 수 있다. 특별히 몸체(100)의 변 중앙 부분의 온도가 낮으므로, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 몸체(100)의 변 중앙에 인접하여 배치함으로써, 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.In addition, as another embodiment not shown in the drawings, the heat blocking portions 130 , 130a , 130b and 130c installed inside the body may be disposed adjacent to the sides of the body 100 . In particular, since the temperature of the central portion of the side of the body 100 is low, the heat-blocking portions 130, 130a, 130b, and 130c are disposed adjacent to the center of the side of the body 100, thereby improving the thermal uniformity of the body 100. can

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 열선(114)은 몸체(100)의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고, 몸체(100)의 중심부로 연장된 제1열선부와, 몸체(100)의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 몸체(100)의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 배치될 수 있다. 상기 제1열선부와 상기 제2열선부는 서로 이격되어 대칭을 이루고 있으므로, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에는 열선(114)이 배치되지 않아, 온도가 낮게 된다. 따라서, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 인접하여 열차단부(130,130a,130b,130c)를 배치함으로써 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.In addition, as another embodiment not shown in the drawings, the heating wire 114 is disposed along the circumference of one side of the body 100 , and includes a first heating wire portion extending to the center of the body 100 , and the body 100 . and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body 100 and extending to the center of the body 100, wherein the heat blocking portions 130, 130a, 130b, and 130c are at a position where the first heating wire portion and the second heating wire portion are opposed It may be disposed on the side of the body 100 . Since the first heating wire part and the second heating wire part are symmetrical by being spaced apart from each other, the heating wire 114 is not disposed on the edge side of the body 100 at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other, the temperature becomes low. Therefore, the heat uniformity of the body 100 is improved by disposing the heat-blocking parts 130, 130a, 130b, and 130c adjacent to the edge side of the body 100 at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other. can do it

한편, 몸체(100)의 하면 테두리를 따라 복수 개의 그라운드 스트립(미도시)이 이격되어 형성될 수 있다. 상기 그라운드 스트립은 몸체(100)를 접지시키기 위한 구성으로서, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록한 홈과, 그 내부에 접지핀을 포함할 수 있다. 상기 그라운드 스트립은, 제3 또는 제4실시예의, 제1열차단부(131) 및 제2열차단부(132) 사이, 또는 이격된 제2열차단부(132) 사이에 배치될 수 있다. 상기 그라운드 스트립의 상기 홈은, 열차단부(130,130a,130b,130c)의 홈(136,140,145)과 연결되어 형성될 수 있다.Meanwhile, a plurality of ground strips (not shown) may be formed to be spaced apart along the lower edge of the body 100 . The ground strip is a configuration for grounding the body 100 , and may include a convex groove upwardly from the lower surface of the body 100 , and a grounding pin therein. The ground strip may be disposed between the first and second train blocking units 131 and 132 of the third or fourth embodiment, or between the spaced apart second train blocking units 132 . The grooves of the ground strip may be formed in connection with the grooves 136 , 140 , and 145 of the heat-blocking portions 130 , 130a , 130b and 130c .

한편, 제5실시예로서, 도 14에 도시한 바와 같이, 열차단부(146)는 몸체(100)의 측면 외측에 결합될 수 있다. 열차단부(146)는 일측이 몸체(100)의 측면에 결합된 연결부(146a)와, 연결부(146a)의 타측에 연결되어 절곡된 수직부(146b)를 포함한다.Meanwhile, as a fifth embodiment, as shown in FIG. 14 , the heat-blocking part 146 may be coupled to the outside of the side surface of the body 100 . The heat blocking portion 146 includes a connecting portion 146a having one side coupled to the side surface of the body 100 and a bent vertical portion 146b connected to the other side of the connecting portion 146a.

연결부(146a)의 일단은 몸체(100)의 측면 상부에 결합될 수 있다. 연결부(146a)는 몸체(100)의 측면에 용접(바람직하게는, 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 연결부(146a)는 몸체(100)의 측면 외측에 수평으로 형성된다. One end of the connection part 146a may be coupled to the upper side of the body 100 . The connection part 146a may be welded (preferably, friction stir welding) coupled to the side surface of the body 100 . The connection part 146a is formed horizontally on the outside of the side surface of the body 100 .

연결부(146a)의 타단에는 수직부(146b)가 연결된다. 수직부(146b)는 연결부(146a)의 타단에서 수직으로 절곡되어 하측으로 연장되어 있다. 수직부(146b)는 몸체(100)의 측면에 대해 이격되어 있다. 그래서 수직부(146b)와 몸체(100)의 측면 사이에는 이격공간(149)이 형성된다.A vertical portion 146b is connected to the other end of the connecting portion 146a. The vertical portion 146b is vertically bent at the other end of the connecting portion 146a and extends downward. The vertical portion 146b is spaced apart from the side surface of the body 100 . Therefore, a separation space 149 is formed between the vertical portion 146b and the side surface of the body 100 .

연결부(146a) 및 수직부(146b)로 이루어진 열차단부(146)는 몸체(100)를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재로 이루어진다. 열차단부(146)는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하일 수 있고, 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어질 수 있다.The heat-blocking part 146 made of the connecting part 146a and the vertical part 146b is made of a metal insulating material or a non-metallic insulating material having a lower thermal conductivity than the metal constituting the body 100 . The heat-blocking part 146 may have a thermal conductivity of 0.03 W/mK or more and 35 W/mK or less, and may be made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel.

제5실시예에 따른 열차단부(146)는, 도 15에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 측면 둘레를 따라 배치되어 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다. 열차단부(146)는 몸체(100)의 내부에 홈을 형성하는 등의 공정이 필요없이 몸체(100)의 측면에 직접 결합할 수 있어 제조가 용이하다.As shown in FIG. 15 , the heat blocking unit 146 according to the fifth embodiment is disposed along the circumference of the side surface of the body 100 to cover the outside of the side surface of the body 100 . The heat-blocking part 146 can be directly coupled to the side surface of the body 100 without the need for a process such as forming a groove inside the body 100 , so it is easy to manufacture.

열차단부(146)를 통해, 몸체(100)의 측면에서 외측으로 열이 전달되는 것을 차단할 수 있다. 다시 말해, 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 외측 테두리에 인접한 부분(165)의 열이 열전달에 의해 몸체(100)의 외측으로 빠져나가는 것을 차단할 수 있다. 그래서 몸체(100) 상면 중 글라스(500)의 테두리에 인접한 부분(165, 도 2 참고)과, 그 내측 부분의 온도편차를 줄일 수 있다. 몸체(100)의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 테두리 부분과 그 내측부의 온도 편차가 줄어, 글라스(500)에 고품질의 막질을 형성할 수 있다.Through the heat blocking portion 146, it is possible to block the transfer of heat from the side of the body 100 to the outside. In other words, it is possible to block the heat of the portion 165 adjacent to the outer edge of the glass 500 of the body 100 from escaping to the outside of the body 100 by heat transfer. Therefore, it is possible to reduce the temperature deviation between the portion 165 (refer to FIG. 2 ) adjacent to the edge of the glass 500 and the inner portion of the upper surface of the body 100 . As the thermal uniformity of the body 100 is improved, as a result, the temperature deviation between the edge portion of the glass 500 and the inner portion thereof is reduced, so that a high-quality film can be formed on the glass 500 .

한편, 제5실시예에 따른 열차단부(146)는, 제6실시예 내지 제8실시예와 같이 변형하여 실시할 수 있다(도 16 내지 도 18 참고).On the other hand, the heat blocking unit 146 according to the fifth embodiment may be modified and implemented as in the sixth to eighth embodiments (refer to FIGS. 16 to 18 ).

도 16과 같이, 제6실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된다. 열차단부(146)는 도 16과 같이 저면도 상에서 볼 때, 수직으로 절곡된 형상으로 형성되어, 몸체(100)의 모서리부 외측을 커버한다.As shown in FIG. 16 , the heat blocking portion 146 according to the sixth embodiment is disposed adjacent to the corner portion of the body 100 . The heat-blocking part 146 is formed in a vertically bent shape when viewed from a bottom view as shown in FIG. 16 , and covers the outside of the edge of the body 100 .

도 17과 같이, 제7실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부(147)와, 제3열차단부(147) 사이에 배치된 제4열차단부(148)를 포함한다. 17, the heat-blocking part 146 according to the seventh embodiment is a third train-blocking part 147 disposed adjacent to the edge of the body, and a fourth train-blocking part disposed between the third train-blocking part 147. (148).

제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 측면에 결합되며, 제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된다. 제3열차단부(147)는 도 16과 같이 저면도 상에서 볼 때, 수직으로 절곡된 형상으로서 몸체(100)의 모서리부 외측을 커버하고, 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 변을 따라 직선 형상으로 형성되어 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다.The third train blocking part 147 and the fourth train blocking part 148 are coupled to the side surface of the body 100, and the third train blocking part 147 and the fourth train blocking part 148 are spaced apart from each other and are discontinuously disposed. . The third train blocking portion 147 covers the outside of the corner portion of the body 100 as a vertically bent shape when viewed from the bottom view as shown in FIG. 16 , and the fourth train blocking portion 148 is the side of the body 100 . It is formed in a straight shape along the to cover the outer side of the side of the body (100).

도 18과 같이, 제8실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부(147)와 제3열차단부(147) 사이에 배치된 제4열차단부(148)를 포함하되, 제4열차단부(148)는 인접하는 제3열차단부(147) 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된다. 제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다.As shown in FIG. 18 , the heat-blocking part 146 according to the eighth embodiment is a fourth disposed between the third heat-blocking part 147 and the third heat-blocking part 147 disposed adjacent to the corner of the body 100 . A plurality of heat-blocking parts 148 are included, but a plurality of fourth train-blocking parts 148 are spaced apart and discontinuously disposed between adjacent third train-blocking parts 147 . The third train blocking portion 147 and the fourth train blocking portion 148 cover the outer side of the body 100 .

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 몸체(100)의 측면 외측에 결합된 열차단부(146)는 몸체(100)의 변에 인접하여 배치될 수 있다. 특별히 몸체(100)의 변 중앙 부분의 온도가 낮으므로, 열차단부(146)는 몸체(100)의 변 중앙에 인접하여 배치함으로써, 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.In addition, as another embodiment not shown in the drawings, the heat blocking portion 146 coupled to the outer side of the side of the body 100 may be disposed adjacent to the side of the body 100 . In particular, since the temperature of the central portion of the side of the body 100 is low, the heat-blocking portion 146 is disposed adjacent to the center of the side of the body 100 , thereby improving the thermal uniformity of the body 100 .

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 열선(114)은 몸체(100)의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고, 몸체(100)의 중심부로 연장된 제1열선부와, 몸체(100)의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 몸체(100)의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 몸체(100)의 측면 외측에 결합된 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 배치될 수 있다. 상기 제1열선부와 상기 제2열선부는 서로 이격되어 대칭을 이루고 있으므로, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에는 열선(114)이 배치되지 않아, 온도가 낮게 된다. 따라서, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 인접하여 열차단부(146)를 배치함으로써 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.In addition, as another embodiment not shown in the drawings, the heating wire 114 is disposed along the circumference of one side of the body 100 , and includes a first heating wire portion extending to the center of the body 100 , and the body 100 . and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body 100 and extending to the center of the body 100, wherein the heat-blocking portion coupled to the outside of the side surface of the body 100 faces the first heating wire portion and the second heating wire portion It may be disposed on the edge side of the body 100 in the position. Since the first heating wire part and the second heating wire part are symmetrical by being spaced apart from each other, the heating wire 114 is not disposed on the edge side of the body 100 at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other, the temperature becomes low. Accordingly, the thermal uniformity of the body 100 may be improved by disposing the heat blocking portion 146 adjacent to the edge side of the body 100 at a position where the first heating wire portion and the second heating wire portion face each other.

한편, 몸체(100)에는 도 3과 같이, 다수 개의 관통구(150)가 형성된다. 관통구(150)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 상하면을 관통하여 형성된다. 관통구(150)의 내부에는 리프트 핀(400)이 배치되어 상하로 이동하며 글라스(500)를 들어올리게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 3 , a plurality of through holes 150 are formed in the body 100 . The through hole 150 is formed through the upper and lower surfaces of the body 100 as shown in FIG. 2 . A lift pin 400 is disposed inside the through hole 150 to move up and down to lift the glass 500 .

글라스(500)는 몸체(100)의 상면에 올려진 후, 막질의 형성, 패터닝 및 식각 공정 등을 거치게 되며, 도 9와 같이, 리프트 핀(400)에 의해 들어올려지게 된다. 글라스(500)가 들어올려지면, 몸체(100)의 상면과 글라스(500) 사이의 공간으로 이동부재가 삽입되어 글라스(500)를 이동시키게 된다.After being placed on the upper surface of the body 100 , the glass 500 is subjected to film formation, patterning, and etching processes, and is lifted by the lift pins 400 as shown in FIG. 9 . When the glass 500 is lifted, a moving member is inserted into the space between the upper surface of the body 100 and the glass 500 to move the glass 500 .

리프트 핀(400)은 막대 형상으로 형성되며, 상부의 단면이 역삼각형 형상으로 형성된다. 리프트 핀(400)의 하단은 승강부재(405)에 연결된다. 리프트 핀(400)은 몸체(100)에 형성된 관통구(150)의 내부를 왕복하며 글라스(500)를 들어올리거나, 내리게 된다.The lift pin 400 is formed in a bar shape, and an upper cross-section is formed in an inverted triangle shape. The lower end of the lift pin 400 is connected to the elevating member 405 . The lift pin 400 reciprocates inside the through hole 150 formed in the body 100 to lift or lower the glass 500 .

승강부재(405)는 도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 외주에 인접하여 배치된 원통부와, 상기 원통부의 상단에 연결된 평판부를 포함하여 이루어진다. 리프트 핀(400)은 상기 평판부의 상면에 연결된다.As shown in FIGS. 2 and 9 , the lifting member 405 includes a cylindrical part disposed adjacent to the outer periphery of the rod 300 and a flat plate part connected to the upper end of the cylindrical part. The lift pin 400 is connected to the upper surface of the flat plate.

승강부재(405)는 도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상하로 이동하며 리프트 핀(400)을 통해 글라스(500)를 들어올리거나 내리는 역할을 한다.As shown in FIGS. 2 and 9 , the lifting member 405 moves up and down and serves to lift or lower the glass 500 through the lift pin 400 .

한편, 몸체(100)의 하면 중앙에는 원통 형상의 봉(300)이 결합된다. 봉(300)의 상단은 몸체(100)의 하면 중앙에 용접(특별히, 마찰교반용접)될 수 있다. 봉(300)의 내부에는 몸체(100)에 매설된 열선(114)이 연장되어 배치된다. 봉(300)은 몸체(100)를 지지한다.Meanwhile, a cylindrical rod 300 is coupled to the center of the lower surface of the body 100 . The upper end of the rod 300 may be welded (in particular, friction stir welding) to the center of the lower surface of the body 100 . Inside the rod 300 , the heating wire 114 embedded in the body 100 is extended and disposed. The rod 300 supports the body 100 .

본 발명의 진공챔버(미도시)는 전술한 바와 같은 몸체(100)와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300)과, 몸체(100)에 설치되는 열차단부(130,131,132,147,148)를 포함하는 서셉터를 포함한다. 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.The vacuum chamber (not shown) of the present invention includes a body 100 as described above, a heating wire 114 embedded in the body 100 , and a rod 300 having one end connected to the lower surface of the body 100 , and , and a susceptor including a heat blocking portion (130,131,132,147,148) installed on the body (100). Since the vacuum chamber is well known in the prior art, including the above-described prior art, a separate detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify or modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. can be carried out.

100: 몸체 110: 히터부
112: 홈 114: 열선
116: 지지부재 118: 커버
130,130a,130b,130c: 열차단부 131: 제1열차단부
132: 제2열차단부 134: 공간
135: 열차단물질 136: 홈
137: 개구부 139: 커버
140: 홈 141: 개구부
145: 슬롯 146: 열차단부
146a: 연결부 146b: 수직부
147: 제3열차단부 148: 제4열차단부
149: 이격공간 150: 관통구
165: 글라스의 외측 테두리에 인접한 부분
170: 측면 300: 봉
400: 리프트 핀 405: 승강부재
500: 글라스100: body 110: heater unit
112: groove 114: heated wire
116: support member 118: cover
130, 130a, 130b, 130c: heat blocking unit 131: first train blocking unit
132: second train block 134: space
135: thermal barrier material 136: home
137: opening 139: cover
140: groove 141: opening
145: slot 146: heat block
146a: connecting portion 146b: vertical portion
147: the third train blocking portion 148: the fourth train blocking portion
149: separation space 150: through hole
165: the portion adjacent to the outer edge of the glass
170: side 300: rod
400: lift pin 405: elevating member
500: glass

Claims (27)

몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
상기 열차단부는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되,
상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
body;
a heating wire embedded in the inside of the body;
a rod having one end connected to the lower surface of the body; and
a heat shield installed on the body; including,
The heat blocking portion is installed inside the body,
The heating wire includes a first heating wire portion disposed along the circumference of one side of the body and extending toward the center of the body, and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body and extending toward the center of the body,
The heat-blocking part is a susceptor, characterized in that it is disposed on the side of the body at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other.
 몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
상기 열차단부는 상기 몸체의 내부에 설치되고,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되,
상기 제1열차단부와 상기 제2열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
body;
a heating wire embedded in the inside of the body;
a rod having one end connected to the lower surface of the body; and
a heat shield installed on the body; including,
The heat blocking portion is installed inside the body,
The heat-blocking part includes a first train-blocking part disposed adjacent to the edge of the body, and a second train-blocking part disposed between the first train-blocking parts,
The susceptor, characterized in that the first train breaker and the second train breaker are spaced apart from each other and arranged discontinuously.
 청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 측면과 상기 열선 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
3. The method according to claim 2,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that disposed between the side surface of the body and the heating wire.
 청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간에 공기가 채워진 에어갭인 것을 특징으로 하는 서셉터.
4. The method of claim 3,
The susceptor, characterized in that the heat-blocking portion is an air gap filled with air in a space formed in the body.
 청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간과, 상기 공간의 내부에 채워진 열차단물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
4. The method of claim 3,
The heat-blocking portion susceptor, characterized in that it comprises a space formed in the body, and a heat-blocking material filled in the space.
 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
상기 공간은 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈과, 상기 개구부를 덮는 커버로 형성되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
6. The method according to claim 4 or 5,
The space is a susceptor, characterized in that formed by a groove having an opening formed in the lower surface of the body, and a cover covering the opening.
 청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 서셉터.
4. The method of claim 3,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that the groove is formed with an opening on the lower surface of the body.
 청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 상, 하면을 관통한 슬롯인 것을 특징으로 하는 서셉터.
4. The method of claim 3,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that the slot passing through the upper and lower surfaces of the body.
 청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
3. The method according to claim 2,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that disposed adjacent to the corner portion of the body.
 청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
3. The method according to claim 2,
The susceptor, characterized in that the heat blocking portion is disposed adjacent to the side of the body.
 삭제delete 삭제delete 청구항 2에 있어서,
상기 제2열차단부는 인접하는 상기 제1열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
3. The method according to claim 2,
The susceptor, characterized in that the plurality of second train-blocking parts are discontinuously arranged spaced apart between the adjacent first train-blocking parts.
 삭제delete 몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
상기 열차단부의 일측은 상기 몸체의 측면 외측에 결합되고,
상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되,
상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
body;
a heating wire embedded in the inside of the body;
a rod having one end connected to the lower surface of the body; and
a heat shield installed on the body; including,
One side of the heat blocking portion is coupled to the outer side of the body,
The heating wire includes a first heating wire portion disposed along the circumference of one side of the body and extending toward the center of the body, and a second heating wire portion disposed along the circumference of the other side of the body and extending toward the center of the body,
The heat-blocking part is a susceptor, characterized in that it is disposed on the side of the body at a position where the first heating wire part and the second heating wire part face each other.
 청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 일측이 상기 몸체의 측면에 결합된 연결부와, 상기 연결부의 타측에 연결되어 절곡된 수직부를 포함하되,
상기 수직부는 상기 몸체의 측면에 대해 이격된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The heat-blocking part includes a connection part having one side coupled to the side surface of the body, and a bent vertical part connected to the other side of the connection part,
The vertical portion susceptor, characterized in that spaced apart from the side of the body.
 청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 둘레를 따라 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that disposed along the periphery of the side of the body.
 청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that disposed adjacent to the corner portion of the body.
 청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The susceptor, characterized in that the heat blocking portion is disposed adjacent to the side of the body.
 삭제delete 몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하고,
상기 열차단부의 일측은 상기 몸체의 측면 외측에 결합되고,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되,
상기 제3열차단부와 상기 제4열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
body;
a heating wire embedded in the inside of the body;
a rod having one end connected to the lower surface of the body; and
a heat shield installed on the body; including,
One side of the heat blocking portion is coupled to the outer side of the body,
The heat-blocking part includes a third train-blocking part disposed adjacent to the corner of the body and a fourth train-blocking part disposed between the third train-blocking part,
The susceptor, characterized in that the third train breaker and the fourth train breaker are spaced apart from each other and arranged discontinuously.
 청구항 21에 있어서,
상기 제4열차단부는 인접하는 상기 제3열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
22. The method of claim 21,
A susceptor, characterized in that a plurality of the fourth train-blocking parts are spaced apart and discontinuously disposed between the adjacent third train-blocking parts.
 청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that made of a metal heat insulating material lower than the metal constituting the body.
 청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
The heat-blocking portion susceptor, characterized in that made of a non-metallic insulator having a lower thermal conductivity than the metal constituting the body.
 청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
The thermal barrier susceptor, characterized in that the thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.
 청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO), 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
The heat-blocking part is a susceptor, characterized in that made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel material.
 삭제delete
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