KR102367682B1 - Display device and method for manufacturing the same, and polyimide film for display device - Google Patents

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KR102367682B1
KR102367682B1 KR1020150034440A KR20150034440A KR102367682B1 KR 102367682 B1 KR102367682 B1 KR 102367682B1 KR 1020150034440 A KR1020150034440 A KR 1020150034440A KR 20150034440 A KR20150034440 A KR 20150034440A KR 102367682 B1 KR102367682 B1 KR 102367682B1
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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 저열팽창 계수, 내열성, 투명성 및 포름의 강도를 겸비하고, 유기 EL 장치를 형성하는 지지 기재로서 사용하는데에 적합한 폴리이미드 필름 및 그것을 사용한 표시장치 및 그 제조방법을 제공한다.
(해결 수단) 폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치로서, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도는 300℃ 이상, 5% 열분해 온도는 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율은 80% 이상, 열팽창 계수는 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항은 1.3mN/㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 표시장치 및 그 제조방법, 및 표시장치용 폴리이미드 필름이다.
(Project) To provide a polyimide film having a low coefficient of thermal expansion, heat resistance, transparency, and strength of form, and suitable for use as a supporting substrate for forming an organic EL device, a display device using the same, and a method for manufacturing the same.
(Solution) A polyimide precursor or a polyimide solution is cast on an inorganic substrate and heat-treated to form a polyimide film, a display element is further mounted on the polyimide film, and the polyimide is removed from the inorganic substrate A display device obtained by peeling a film together with a display element, wherein the polyimide film has a glass transition temperature of 300° C. or higher, a 5% thermal decomposition temperature of 530° C. or higher, and a total light transmittance of 80% at a film thickness of 30 μm or less. As described above, a display device, a method for manufacturing the same, and a polyimide film for a display device, wherein the coefficient of thermal expansion is 40 ppm/K or less, and the tear propagation resistance is 1.3 mN/㎛ or more.

Description

표시장치 및 그 제조방법, 및 표시 장치용 폴리이미드 필름{DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND POLYIMIDE FILM FOR DISPLAY DEVICE}Display device, manufacturing method thereof, and polyimide film for display device

본 발명은 표시장치를 형성하는 지지 기재로서 사용하는 폴리이미드 필름 및 그것을 사용한 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a polyimide film used as a supporting substrate for forming a display device, a display device using the same, and a method for manufacturing the same.

텔레비젼과 같은 대형 디스플레이나, 휴대전화, PC, 스마트폰 등의 소형 디스플레이를 비롯해서 각종 디스플레이 용도에 사용되는 유기 EL 장치는 일반적으로 지지 기재인 유리 기판 상에 박막 트랜지스터(이하, TFT)를 형성하고, 그 위에 전극, 발광층 및 전극을 순차 더 형성하고, 이들을 유리 기판이나 다층 박막 등으로 기밀 밀봉해서 제작된다. 유기 EL 장치의 구조로는 지지 기재인 유리 기판측으로부터 광을 인출하는 후면 발광(bottom emission) 구조와, 지지 기재인 유리 기판과는 반대측으로부터 광을 인출하는 전면 발광(top emission) 구조가 있고, 용도에 따라 구분해서 사용되고 있다. 또한, 구조상 외광이 그대로 통과하는 구조도 취할 수 있기 때문에, TFT 등의 전자 소자가 외부로부터 내다보이는 투명 구조도 제안되어 있다. 모두 투명성이 있는 전극이나 기판 재료의 선정에 의해 실현될 수 있다.Organic EL devices used for various display applications, including large displays such as TVs and small displays such as mobile phones, PCs, and smartphones, generally form a thin film transistor (hereinafter, TFT) on a glass substrate as a supporting substrate, An electrode, a light emitting layer, and an electrode are further formed one by one thereon, and these are hermetically sealed with a glass substrate, a multilayer thin film, etc., and produced. The structure of the organic EL device includes a bottom emission structure for extracting light from the glass substrate side as a supporting substrate, and a top emission structure for extracting light from the side opposite to the glass substrate as a supporting substrate, They are used separately according to their intended use. Moreover, since a structure through which external light passes as it is can also be taken structurally, a transparent structure in which electronic elements, such as a TFT, can be seen from the outside has also been proposed. All of these can be realized by selecting a transparent electrode or substrate material.

게다가, 이러한 유기 EL 장치의 지지 기재를 종래의 유리 기판으로부터 수지로 대체함으로써, 초박형·경량·플렉시블화할 수 있어서 유기 EL 장치의 용도를 더욱 확대할 수 있다. 그러나, 수지는 일반적으로 유리와 비교해서 치수 안정성, 투명성, 내열성, 내습성, 필름의 강도 등이 뒤떨어지기 때문에 각종의 검토가 되어 있다.Furthermore, by replacing the supporting base material of such an organic EL device with a resin from a conventional glass substrate, it can be made ultra-thin, lightweight, and flexible, and the use of the organic EL device can be further expanded. However, since resin is generally inferior to glass in dimensional stability, transparency, heat resistance, moisture resistance, the intensity|strength of a film, etc., various examinations have been made.

예를 들면, 특허문헌 1은 플렉시블 디스플레이용 플라스틱 기판으로서 유용한 폴리이미드 및 그 전구체에 관한 발명에 관한 것으로서, 특정 구조의 폴리이미드 전구체 용액을 무기 기판 상에 유연하고, 건조 및 이미드화해서 얻어지는 폴리이미드 필름과 무기 기판으로 이루어지는 적층체를 개시하고 있고, 광투과율이 높은 것과 아웃가스가 적은 것을 보고하고 있다. 그러나, 여기에서 얻어지는 폴리이미드의 열팽창 계수(CTE)는 모두 40ppm/K를 초과하기 때문에 유리 기판의 열팽창 계수와의 차가 커서 유기 EL 기판에 휘어짐이 발생하고, 디바이스 형성 후 박리나 크랙이 발생하는 등 형상 안정성이 우수한 유기 EL 장치를 얻는 것이 어려워진다. For example, Patent Document 1 relates to an invention related to a polyimide useful as a plastic substrate for a flexible display and a precursor thereof. A laminate comprising a film and an inorganic substrate is disclosed, and reports of high light transmittance and low outgassing. However, since the coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide obtained here exceeds 40 ppm/K, the difference from the coefficient of thermal expansion of the glass substrate is large, causing warpage in the organic EL substrate, and peeling or cracking after device formation. It becomes difficult to obtain the organic EL device excellent in shape stability.

또한, 특허문헌 2는 캐리어 기판으로부터 박리해서 제조하는 표시 디바이스, 수광 디바이스 등의 플렉시블 디바이스 기판 형성용의 폴리이미드 전구체 수지 조성물에 관한 발명에 관한 것으로서, 300℃ 이상의 유리전이온도와 20ppm/K 이하의 열팽창 계수를 나타내는 것이 기재되어 있다. 그러나, 열처리 시간이 1시간 이상으로 오래 걸려서 생산성이 낮은 문제가 있다.In addition, Patent Document 2 relates to an invention related to a polyimide precursor resin composition for forming a flexible device substrate such as a display device and a light receiving device manufactured by peeling from a carrier substrate, and has a glass transition temperature of 300° C. or higher and a glass transition temperature of 20 ppm/K or less. It is described showing the coefficient of thermal expansion. However, there is a problem in that the heat treatment time is long, 1 hour or more, and thus the productivity is low.

또한, 특허문헌 3은 두께 20-200㎛의 유리 필름과 폴리이미드 수지층을 갖고, 상기 폴리이미드 수지층은 열팽창 계수가 10ppm/K 이하이고, 파장 500nm에 있어서의 광투과율이 80% 이상인 투명 가요성 적층체를 제공하는 것이 기재되어 있다. 이 투명 가요성 적층체는 내열성이나 가스 배리어성도 우수하여, 디스플레이 장치에 있어서의 플렉시블 기판이나 태양 전지에 있어서의 투명 기판에 적합하게 사용할 수 있는 것이다. 그러나, 유기 EL 플렉시블 디스플레이 표시장치, 유기 EL 조명 표시장치와 같은 지지체 기판 상에 수지 기판을 형성하고, 수지 기판 상에 표시소자를 더 탑재한 다음, 수지 기판을 표시소자와 함께 박리하는 제조공정을 갖는 것에서는 특히 수지 기판의 강도가 필요로 되기 때문에, 이들의 용도에 적용하기 위해서는 더욱 개선이 필요하다고 생각된다.In addition, Patent Document 3 has a glass film with a thickness of 20-200 μm and a polyimide resin layer, and the polyimide resin layer has a coefficient of thermal expansion of 10 ppm/K or less, and a light transmittance of 80% or more at a wavelength of 500 nm. It is disclosed to provide a castle laminate. This transparent flexible laminate is excellent also in heat resistance and gas barrier property, and can be used suitably for the flexible substrate in a display apparatus, and the transparent substrate in a solar cell. However, the manufacturing process of forming a resin substrate on a support substrate such as an organic EL flexible display display device and an organic EL lighting display device, mounting a display element on the resin substrate, and then peeling the resin substrate together with the display element Since the strength of a resin substrate is required especially for what has, in order to apply to these uses, it is thought that further improvement is needed.

상기 이외에도 지지 기재에 플렉시블 수지를 이용하여 경량화를 도모하는 시도가 되어 있고, 예를 들면 특허문헌 4에서는 투명성이 높고, 저열팽창 계수가 우수한 폴리이미드를 지지 기재에 적용한 유기 EL 장치가 제안되어 있다. 그러나, 이들에 기재되어 있는 폴리이미드 필름은 열팽창 계수가 여전히 크고, 또한 아웃가스가 많아서 공정상에서는 디바이스 오염 등이 염려된다.In addition to the above, attempts have been made to reduce the weight by using a flexible resin for the supporting substrate. For example, Patent Document 4 proposes an organic EL device in which a polyimide having high transparency and excellent low coefficient of thermal expansion is applied to the supporting substrate. However, the polyimide films described in these films still have a large coefficient of thermal expansion and a large amount of outgas, so that there is concern about device contamination and the like in the process.

그런데, 유기 EL 장치는 수분에 대한 내성이 약하고, 수분에 의해 발광층인 EL 소자의 특성이 저하한다. 그래서, 지지 기재로서 수지를 사용할 경우에는 유기 EL 장치 내로의 수분이나 산소의 침입을 방지하기 위해서 흡습률이 낮은 수지가 바람직하다. 일반적으로, 유기 EL 기판으로서는 산화 규소나 질화 규소로 대표되는 무기계 재료가 사용되고 있고, 이들의 열팽창 계수(CTE)는 통상 0∼10ppm/K이다. 이에 대해서, 일반적으로 투명 폴리이미드는 60ppm/K 정도의 CTE이기 때문에, 단지 투명 폴리이미드를 유기 EL 장치의 지지 기재에 적용하려고 하면 열응력에 의해 휘어짐이나 크랙이 발생하거나, 박리되거나 하는 등의 문제가 발생해버리는 경우가 있다. However, the organic EL device has poor resistance to moisture, and the characteristics of the EL element serving as the light emitting layer are deteriorated by moisture. Therefore, when using a resin as a support base material, in order to prevent the penetration|invasion of water|moisture content or oxygen into organic electroluminescent apparatus, resin with a low moisture absorption rate is preferable. In general, inorganic materials typified by silicon oxide and silicon nitride are used as organic EL substrates, and their coefficient of thermal expansion (CTE) is usually 0 to 10 ppm/K. On the other hand, in general, transparent polyimide has a CTE of about 60 ppm/K, so when the transparent polyimide is only applied to the supporting substrate of an organic EL device, warpage or cracks occur due to thermal stress, or problems such as peeling may occur.

또한, 디스플레이 용도에 필요로 되는 TFT의 형성에는 일반적으로 400℃ 정도에 달하는 아닐링 공정이 필요하다. 지지 기재로서 유리 기판을 사용할 경우에는 특히 문제가 되지 않았지만, 지지 기재로서 수지를 사용할 경우에는 TFT의 열처리 온도에 대한 내열성과 치수 안정성을 구비하는 것이 필요로 된다. 이와 관련하여, 조명용 유기 EL 장치에서는 TFT를 필요로 하지 않을 경우가 있지만, 지지 기재와 인접하는 투명 전극의 성막 온도를 높임으로써 투명 전극의 저항치를 저하시켜서 유기 EL 장치의 소비 전력을 저감시키는 것이 가능해지기 때문에, 조명 용도의 경우에도 지지 기재에 내열성이 요구되는 것은 마찬가지이다. 그리고, 이러한 투명 전극으로서 일반적으로는 ITO 등의 금속 산화물을 사용되고 있고, 이들의 CTE는 0∼10ppm/K이기 때문에, 크랙이나 박리의 문제를 회피하기 위해서는 동 정도의 CTE를 갖는 수지가 필요로 된다.In addition, the formation of the TFT required for display applications generally requires an annealing process reaching about 400°C. When using a glass substrate as a support base material, it was not a problem in particular, but when resin is used as a support base material, it is required to be equipped with the heat resistance with respect to the heat processing temperature of TFT and dimensional stability. In this regard, the organic EL device for lighting may not require a TFT, but it is possible to reduce the power consumption of the organic EL device by lowering the resistance of the transparent electrode by increasing the film formation temperature of the transparent electrode adjacent to the supporting substrate. Therefore, it is the same that heat resistance is required of the supporting substrate even in the case of lighting applications. In addition, as such a transparent electrode, a metal oxide such as ITO is generally used, and since these CTEs are 0 to 10 ppm/K, a resin having the same CTE is required in order to avoid problems of cracks and peeling. .

또한, 유기 EL 표시장치로 컬러 표시를 행하기 위해서는 적색(R) 녹색(G) 청색(B)의 삼원색을 발광할 수 있는 재료를 각각 새도우 마스크를 이용하여 색마다 증착함으로써 행해지고 있지만, 이 방법에서는 새도우 마스크의 제작이 매우 어렵고, 고가라고 하는 과제가 존재한다. 또한, 새도우 마스크의 제작상 고선명화나 대형화가 곤란하다. 이들 과제에 대하여, 백색 발광의 유기 EL에 컬러 필터를 조합시킴으로써 컬러 표시하는 유기 EL 표시장치가 제안되어 있지만, 컬러 필터의 형성을 위해서는 230℃ 이상에 달하는 레지스트의 열처리가 일반적으로 필요하고, 특히 레지스트로부터의 아웃가스를 저감하기 위해서는 300℃ 이상의 열처리가 바람직하다라고 되어 있다. 이러한 고온의 열처리가 행하여질 경우에는 TFT 기판과 컬러 필터 기판의 열팽창 계수, 습도 팽창 계수가 부정합하면, 온도, 습도의 변화에 의해 각각의 기판의 치수 변화에 차이가 생겨서 표시장치의 휘어짐이나 기판 간에서의 박리의 원인이 된다고 하는 문제가 발생한다. 이 때문에, 컬러 필터의 지지 기재로서 수지를 사용할 경우에는 레지스트의 열처리 온도에 있어서의 내열성과 TFT 기판과 동등한 치수 안정성을 구비하고 있는 것이 필요로 된다. TFT의 지지 기재와 컬러 필터의 지지 기재를 동일한 재료로 함으로써 이들 문제를 해결할 수 있다.In addition, in order to perform color display in an organic EL display device, a material capable of emitting three primary colors of red (R) green (G) blue (B) is deposited for each color using a shadow mask, respectively, but in this method, The production of the shadow mask is very difficult, and there is a problem that it is expensive. In addition, it is difficult to make the shadow mask high-definition or enlarge it in terms of production. In response to these problems, an organic EL display device that displays color by combining a color filter with organic EL emitting white light has been proposed. However, in order to form a color filter, heat treatment of a resist reaching 230° C. or higher is generally required, and in particular, resist It is said that heat treatment of 300°C or higher is preferable in order to reduce the outgas from the gas. When such a high-temperature heat treatment is performed, if the thermal expansion coefficient and humidity expansion coefficient of the TFT substrate and the color filter substrate do not match, a difference in the dimensional change of each substrate occurs due to changes in temperature and humidity, resulting in warpage of the display device or between substrates. The problem that it becomes a cause of the peeling in from arises. For this reason, when using resin as a support base material of a color filter, it is required to be equipped with the heat resistance in the heat processing temperature of a resist, and dimensional stability equivalent to a TFT substrate. These problems can be solved by making the support base material of TFT and the support base material of a color filter into the same material.

또한, 폴리이미드 필름은 일반적으로는 황갈색으로 착색되어 있기 때문에, 폴리이미드 필름 중에 미소한 이물이 혼입되어 있었을 경우, 육안 또는 외관 검사 장치에 의한 발견이 곤란하다고 하는 문제가 있다. 특히 폴리이미드와 색이 가까운 금속의 녹 등의 이물의 발견은 극히 곤란하다. 폴리이미드 필름 중에 이물이 존재하면, 그 표면에 형성되는 가스 배리어층의 결함이나 전극 간의 쇼트 등이 발생하여 불량의 원인이 된다. 이 점, 투명성을 구비한 폴리이미드 필름을 사용함으로써 이물의 발견이 용이해지고, 수율의 저하 방지에 기여할 수 있기 때문에, 표시장치의 기능으로서는 지지 기재에 투명성이 필요로 되지 않는 전자 페이퍼 등의 표시장치에 있어서도 투명성을 구비한 폴리이미드 필름을 지지 기재로서 사용하는 것은 유용하다. 이와 관련하여, 유리의 가시광 영역에서의 투과율은 일반적으로 90% 정도이며, 수지를 지지 기재로 할 경우에는 이것에 가능한 한 근접할 필요가 있다. 유기 EL의 발광층으로부터 방출되는 광의 파장이 주로 440nm∼780nm이기 때문에, 유기 EL 장치에 사용되는 지지 기재로서는 이 파장영역에서의 평균 투과율이 적어도 80% 이상인 것이 요구된다. 게다가, 지지 기재를 형성하는 수지 자체에 대해서도 내습성을 구비하고 있는 것이 바람직하다.Moreover, since a polyimide film is generally colored yellowish-brown, when minute foreign material mixes in a polyimide film, there exists a problem that it is difficult to detect with the naked eye or an external appearance inspection apparatus. In particular, it is extremely difficult to find foreign substances such as rust of a metal having a color close to that of polyimide. When a foreign material exists in a polyimide film, the defect of the gas barrier layer formed on the surface, a short-circuit between electrodes, etc. will generate|occur|produce, and it will become a cause of defect. In this respect, since the use of a polyimide film having transparency facilitates the discovery of foreign substances and can contribute to preventing a decrease in yield, a display device such as electronic paper that does not require transparency in the supporting substrate as a function of the display device It is useful to use a polyimide film with transparency as a support base material also in this. In this regard, the transmittance of glass in the visible region is generally about 90%, and when resin is used as the supporting substrate, it is necessary to be as close to this as possible. Since the wavelength of light emitted from the light emitting layer of the organic EL is mainly 440 nm to 780 nm, it is required that the average transmittance in this wavelength range be at least 80% or more as the supporting substrate used for the organic EL device. Moreover, it is preferable to be equipped with moisture resistance also about resin itself which forms a support base material.

또한, 필름을 무기 기판으로부터 박리할 때에는 일정 이상의 필름의 기계강도·신도 등의 역학 특성이 필요하고, 특히 인열 전파 저항이 작으면 박리할 때에 필름이 파단되어 버리는 문제가 있다. 그 때문에, 지지 기재로서 사용하는 필름에는 높은 인열 전파 저항이 요구되고 있다. In addition, when the film is peeled from the inorganic substrate, mechanical properties such as mechanical strength and elongation of a film of a certain level or higher are required, and in particular, when the tear propagation resistance is small, there is a problem that the film is broken when peeling. Therefore, high tear propagation resistance is calculated|required by the film used as a support base material.

이 점, 필름을 무기 기판으로부터 박리하는 방법이 여러 가지 제안되어 있지만(특허문헌 5 및 6), 공정이 번잡하고, 비용이 드는 경우가 많을 뿐만아니라, 필름의 파단을 억제한다고 하는 점은 착목되어 있지 않다. 또한, 특허문헌 7에서는 폴리이미드 필름으로 이루어지는 지지 기재 상에 가스 배리어층을 구비한 표시장치로서, 폴리이미드 필름은 440nm∼780nm의 파장영역에서의 투과율이 80% 이상, 및 열팽창 계수가 15ppm/K 이하이고, 또한 가스 배리어층과의 열팽창 계수의 차가 10ppm/K 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치를 개시하고 있다. 이것은 박형·경량·플렉시블화가 가능하며, 열응력에 의한 크랙이나 박리의 문제가 없고, 치수 안정성이 우수하고, 더욱이 제조공정에서의 불량을 방지하여 장수명이고 양호한 소자 특성을 나타낼 수 있는 것이다. 그러나, 표시장치의 제조공정에 있어서, 예를 들면 상기 폴리이미드 필름을 무기 기판으로부터 박리할 때에 상기 폴리이미드 필름의 파단을 억제한다고 하는 점에서는 착목되어 있지 않아서, 제조공정의 수율 개선이라고 하는 점에서는 더욱 개선이 소망된다. In this regard, various methods for peeling the film from the inorganic substrate have been proposed (Patent Documents 5 and 6), but the process is complicated and expensive in many cases, and the point of suppressing the breakage of the film has been noticed. there is not Further, in Patent Document 7, a display device having a gas barrier layer on a supporting substrate made of a polyimide film, wherein the polyimide film has a transmittance of 80% or more in a wavelength range of 440 nm to 780 nm, and a coefficient of thermal expansion of 15 ppm/K Below, a display device characterized in that the difference in coefficient of thermal expansion with the gas barrier layer is 10 ppm/K or less is disclosed. It can be made thin, lightweight, and flexible, there is no problem of cracks or peeling due to thermal stress, has excellent dimensional stability, and prevents defects in the manufacturing process, so that it can exhibit long life and good device characteristics. However, in the manufacturing process of the display device, for example, when the polyimide film is peeled from the inorganic substrate, attention is not paid to the point of suppressing the breakage of the polyimide film, and in terms of improving the yield of the manufacturing process, Further improvement is expected.

이상의 점을 고려하면, 표시장치용 지지 기재를 유리 기판으로부터 수지 기판으로 대체함에 있어서는 적어도 저CTE, 내열성, 투명성, 및 높은 인열 전파 저항을 동시에 만족시킬 필요가 있지만, 이들을 모두 충족시킬 수 있는 수지 기판은 존재하여 있지 않다.In consideration of the above points, when replacing the supporting substrate for a display device from a glass substrate to a resin substrate, it is necessary to simultaneously satisfy at least low CTE, heat resistance, transparency, and high tear propagation resistance, but a resin substrate that can satisfy all of these does not exist

일본 특허공개 2012-40836호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2012-40836 일본 특허공개 2010-202729호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2010-202729 일본 특허공개 2013-163304호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2013-163304 WO2013/146460호 팜플렛WO2013/146460 pamphlet 일본 특허공개 2011-65173호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2011-65173 일본 특허출원 2011-142168호 공보Japanese Patent Application Publication No. 2011-142168 WO2013/191180호 팜플렛WO2013/191180 pamphlet

그런데, 본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 연구를 거듭한 결과, 놀라운 것으로는 소정의 반복 구조단위를 포함한 폴리이미드로 이루어지는 폴리이미드 필름을 사용하고, 또한 그들의 구조단위의 비율을 특정함으로써, 저CTE, 내열성, 투명성, 및 고인열 전파 저항을 동시에 만족시킬 수 있는 폴리이미드 필름 및 이것을 구비한 표시장치가 얻어지는 것을 발견하고, 본 발명을 완성했다.However, the present inventors have conducted intensive research to solve the above problems. As a result, surprisingly, by using a polyimide film made of polyimide containing a predetermined repeating structural unit and specifying the ratio of these structural units, The present invention was completed by discovering that a polyimide film capable of simultaneously satisfying CTE, heat resistance, transparency, and high tear propagation resistance and a display device having the same were obtained.

따라서, 본 발명의 목적은 유기 EL 디스플레이, 유기 EL 조명, 전자 페이퍼, 터치패널 등의 표시장치를 형성하는 지지 기재로서 적합한 저CTE, 내열성, 저흡습성, 강도 및 투명성을 겸비하는 폴리이미드 필름을 제공하는 것에 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a polyimide film having low CTE, heat resistance, low hygroscopicity, strength and transparency suitable as a supporting substrate for forming display devices such as organic EL displays, organic EL lighting, electronic paper, and touch panels. is in doing

또한, 본 발명의 목적의 또 하나는 상기 폴리이미드 필름을 지지 기재로서 사용한 표시장치를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 표시장치는 제조과정에 있어서, 수지 기판이 파손되기 어렵기 때문에, 디바이스 형성 공정, 그것으로부터 그 후의 무기 기판으로부터 박리하는 공정 내에서 파손되기 어려워서 생산성이 높다.Another object of the present invention is to provide a display device using the polyimide film as a supporting substrate. In the display device of the present invention, since the resin substrate is hardly damaged during the manufacturing process, it is not easily damaged in the device forming step and thereafter in the step of peeling it from the inorganic substrate, and thus the productivity is high.

즉, 본 발명은 폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치로서, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도가 300℃ 이상, 5% 열분해 온도가 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상, 열팽창 계수가 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항이 1.3mN/㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 표시장치에 관한 것이다.That is, the present invention forms a polyimide film by casting a polyimide precursor or a polyimide solution on an inorganic substrate and performing heat treatment, further mounting a display element on the polyimide film, and removing the polyimide from the inorganic substrate A display device obtained by peeling a mid film together with a display element, wherein the polyimide film has a glass transition temperature of 300° C. or higher, a 5% thermal decomposition temperature of 530° C. or higher, and a total light transmittance of 80 at a film thickness of 30 μm or less. % or more, a coefficient of thermal expansion of 40 ppm/K or less, and a tear propagation resistance of 1.3 mN/㎛ or more.

또한, 상기 표시장치는 상기 폴리이미드 필름을 구성하는 폴리이미드 성분이 하기 식(1) 및 (2)으로 표시되는 구조단위로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, in the display device, it is preferable that the polyimide component constituting the polyimide film includes structural units represented by the following formulas (1) and (2).

Figure 112015024292346-pat00001
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Figure 112015024292346-pat00002
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식(1) 및 (2)에 있어서, X는 단결합 또는 -C- 또는 -O-를 포함하는 치환기이다. 단, m/(m+n)=0.11∼0.40이다.In formulas (1) and (2), X is a single bond or a substituent including -C- or -O-. However, m/(m+n)=0.11-0.40.

또한, 상기 표시장치는 상기 X가 단결합 또는 하기 식(3), (4) 또는 (5)으로 표시되는 2가의 치환기인 것이 바람직하다.Further, in the display device, it is preferable that X is a single bond or a divalent substituent represented by the following formula (3), (4) or (5).

Figure 112021080979628-pat00011

Figure 112021080979628-pat00012
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Figure 112015024292346-pat00004
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또한, 상기 표시장치는 상기 폴리이미드 필름의 흡습률이 0.8wt% 이하인 것이 바람직하다.In addition, the display device preferably has a moisture absorption of 0.8 wt% or less of the polyimide film.

또한, 상기 표시장치는 터치패널인 것이 바람직하다.In addition, the display device is preferably a touch panel.

또한, 본 발명은 폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치의 제조방법으로서, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도가 300℃ 이상, 5% 열분해 온도가 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상, 열팽창 계수가 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항이 1.3mN/㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.In addition, the present invention forms a polyimide film by casting a polyimide precursor or a polyimide solution on an inorganic substrate and performing heat treatment, further mounting a display element on the polyimide film, and removing the polyimide from the inorganic substrate A method for manufacturing a display device obtained by peeling a mid film together with a display element, wherein the polyimide film has a glass transition temperature of 300° C. or more, a 5% thermal decomposition temperature of 530° C. or more, and a total light beam at a film thickness of 30 μm or less. It relates to a method of manufacturing a display device, characterized in that the transmittance is 80% or more, the thermal expansion coefficient is 40ppm/K or less, and the tear propagation resistance is 1.3mN/㎛ or more.

또한, 본 발명은 폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치용 폴리이미드 필름으로서, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도가 300℃ 이상, 5% 열분해 온도가 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상, 열팽창 계수가 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항이 1.3mN/㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 표시장치용 폴리이미드 필름에 관한 것이다.In addition, the present invention forms a polyimide film by casting a polyimide precursor or a polyimide solution on an inorganic substrate and performing heat treatment, further mounting a display element on the polyimide film, and removing the polyimide from the inorganic substrate A polyimide film for display devices obtained by peeling a mid film together with a display element, wherein the polyimide film has a glass transition temperature of 300° C. or more, a 5% thermal decomposition temperature of 530° C. or more, and 30 μm or less in film thickness. It relates to a polyimide film for a display device, which has a light transmittance of 80% or more, a coefficient of thermal expansion of 40 ppm/K or less, and a tear propagation resistance of 1.3 mN/㎛ or more.

본 발명의 폴리이미드 필름은 저열팽창성이면서, 가시영역에 있어서의 투과율이 높아서 투명성이 우수하고, 또한 치수 안정성이 우수하고, 내열성이 높고, 더욱이 흡습률이 작고, 강도가 높고, 생산성이 높다. 그 때문에 유기 EL 디스플레이, 유기 EL 조명, 전자 페이퍼, 터치패널 등의 표시장치용 지지 기재로서 적합하게 사용할 수 있다.The polyimide film of the present invention has low thermal expansibility, high transmittance in the visible region, excellent transparency, excellent dimensional stability, high heat resistance, low moisture absorption, high strength, and high productivity. Therefore, it can be suitably used as a support base material for display apparatuses, such as an organic electroluminescent display, organic electroluminescent lighting, electronic paper, and a touch panel.

또한, 본 발명의 표시장치는 제조과정에 있어서 수지 기판이 파손되기 어렵기 때문에 생산성이 높다.In addition, the display device of the present invention has high productivity because the resin substrate is hardly damaged during the manufacturing process.

이하, 본 발명을 더욱 설명한다.Hereinafter, the present invention will be further described.

본 발명의 표시장치는 폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치로서, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도가 300℃ 이상, 5% 열분해 온도가 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상, 열팽창 계수가 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항이 2.0mN/㎛ 이상이다.The display device of the present invention forms a polyimide film by casting a polyimide precursor or a polyimide solution on an inorganic substrate and performing heat treatment, further mounting a display element on the polyimide film, and A display device obtained by peeling a polyimide film together with a display element, wherein the polyimide film has a glass transition temperature of 300° C. or higher, a 5% thermal decomposition temperature of 530° C. or higher, and a total light transmittance at a film thickness of 30 μm or less. 80% or more, a thermal expansion coefficient is 40 ppm/K or less, and a tear propagation resistance is 2.0 mN/micrometer or more.

폴리이미드 필름은 원료인 디아민과 산무수물을 용매의 존재 하에서 중합하여 폴리이미드 전구체의 용액으로 한 후, 이것을 무기 기판 상에 유연하고 열처리에 의해 이미드화함으로써 제조할 수 있다. 또는, 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리에 의해 이미드화함으로써 제조할 수 있다. The polyimide film can be produced by polymerizing the raw material diamine and an acid anhydride in the presence of a solvent to obtain a polyimide precursor solution, then casting it on an inorganic substrate and imidizing it by heat treatment. Alternatively, it can be prepared by casting a solution of polyimide on an inorganic substrate and imidizing it by heat treatment.

폴리이미드 필름의 분자량은 원료인 디아민과 산무수물의 몰비를 변화시킴으로써 주로 제어가능하지만, 통상 그 몰비는 1:1이다. 필요에 따라서, 0.985∼1.025까지 조정할 수 있다. 분자량 Mw(중량 평균 분자량)의 범위로서는 80,000 이상이 바람직하다. 또한, 80,000∼400,000의 범위로 조정하는 것이 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 100,000 초과 400,000 이하, 더욱 한층 바람직하게는 120,000∼400,000 이하의 범위로 조정한다. 여기에서, 분자량 Mw는 GPC(겔투과 크로마토그래피)에 의해 측정 및 산출한 폴리스티렌 환산의 분자량이다.The molecular weight of the polyimide film is mainly controllable by changing the molar ratio of the raw material diamine and the acid anhydride, but usually the molar ratio is 1:1. It can be adjusted to 0.985-1.025 as needed. As a range of molecular weight Mw (weight average molecular weight), 80,000 or more are preferable. Moreover, it is more preferable to adjust in the range of 80,000-400,000. More preferably, it is more than 100,000 and 400,000 or less, More preferably, it adjusts in the range of 120,000-400,000 or less. Here, the molecular weight Mw is a molecular weight in terms of polystyrene measured and calculated by GPC (gel permeation chromatography).

상기 폴리이미드 전구체의 용액은 우선 디아민을 유기용매에 용해시킨 후, 그 용액에 산 2무수물을 첨가하여 폴리이미드 전구체인 폴리아미드산을 제조한다. 유기용매로서는 디메틸아세트아미드, 디메틸포름아미드, n-메틸피롤리디논, 2-부탄온, 디글림, 크실렌, 부티로락톤, 트리에틸렌글리콜 디메틸에테르 등을 들 수 있고, 이들을 1종 또는 2종 이상 병용해서 사용할 수도 있다.The polyimide precursor solution is prepared by first dissolving diamine in an organic solvent, and then adding an acid dianhydride to the solution to prepare polyamic acid as a polyimide precursor. Examples of the organic solvent include dimethylacetamide, dimethylformamide, n-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene, butyrolactone, and triethylene glycol dimethyl ether. It can also be used in combination.

얻어진 폴리이미드 전구체의 용액을 무기 기판에 유연할 때, 폴리이미드 전구체의 농도나 분자량의 조정에 의해 상기 용액의 점도는 500∼70000cps의 범위로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 2000∼20000cps이다.When casting|flow_spreading the solution of the obtained polyimide precursor to an inorganic substrate, it is preferable to make the viscosity of the said solution into the range of 500-70000 cps by adjustment of the density|concentration and molecular weight of a polyimide precursor. More preferably, it is 2000-20000cps.

또한, 수지 용액의 도포면이 되는 기체나 기재의 표면에 대하여 적당하게 표면 처리를 실시한 후에 유연을 행해도 좋다. 상기에 있어서, 건조 조건은 150℃ 이하에서 2∼10분, 또한 이미드화를 위한 열처리는 130∼360℃ 정도의 온도에서 2∼60분 정도 행하는 것이 적당하다. 유연 방법은 공지의 방법을 사용할 수 있지만, 바람직하게는 스핀코트법, 코터법이다.Moreover, you may cast|flow_spread, after surface-treating suitably with respect to the surface of the base|substrate or base material used as the application surface of a resin solution. In the above, it is suitable for drying conditions to be performed at 150°C or lower for 2 to 10 minutes, and heat treatment for imidization at a temperature of about 130 to 360°C for about 2 to 60 minutes. Although a well-known method can be used for the casting method, Preferably they are the spin coating method and the coater method.

계속되는 열처리에 의한 이미드화의 공정은 가열 탈수에 의한 열 이미드화 이외에, 폴리이미드 전구체에 탈수제와 촉매를 첨가해서 반응시키는 것에 의한 화학 이미드화를 이용하여 행할 수도 있다. 열 이미드화의 경우, 가열 온도는 90∼360℃인 것이 바람직하다. 한편, 화학 이미드화의 경우, 가열 온도는 50∼250℃인 것이 바람직하다. 또한, 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리에 의해 폴리이미드 필름을 형성할 때에는 용액 중의 용제를 휘발시키는 정도의 온도이어도 좋고, 100∼250℃인 것이 바람직하다.In addition to thermal imidization by heat dehydration, the process of imidation by subsequent heat treatment can also be performed using chemical imidation by adding and reacting a dehydrating agent and a catalyst to a polyimide precursor. In the case of thermal imidization, it is preferable that a heating temperature is 90-360 degreeC. On the other hand, in the case of chemical imidation, it is preferable that a heating temperature is 50-250 degreeC. In addition, when a polyimide solution is cast on an inorganic substrate and a polyimide film is formed by heat treatment, the temperature may be sufficient to volatilize the solvent in the solution, and it is preferably 100 to 250°C.

무기 기판은 공지의 기판을 제한 없이 사용할 수 있지만, 평활, 고내열 및 치수 변화율이 적다고 하는 이유로부터, 유리, SUS, 알루미늄이 바람직하고, 보다 바람직하게는 유리이다.As the inorganic substrate, any known substrate can be used without limitation, but glass, SUS, and aluminum are preferable, and glass is more preferable from the reasons of smoothness, high heat resistance, and a small rate of dimensional change.

상기 열처리에 의해, 무기 기판 상에 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율(본 발명에서는 380nm∼780nm의 파장영역에서의 투과율을 의미함)이 80% 이상인 폴리이미드 필름이 얻어지지만, 특히 상기 열처리에 있어서의 승온 시의 최고 가열 온도(최고 도달 온도)보다 20℃ 낮은 온도로부터 최고 도달 온도까지의 고온 가열 온도역에서의 가열 시간(이하, 고온 유지 시간이라고 함)을 60분 이내로 하는 것이 바람직하다. 이 고온 유지시간이 60분을 초과하면, 공정의 생산 효율이 나빠지는 것과, 착색 등에 의해 폴리이미드 필름의 투명성이 저하할 가능성이 있다. 투명성을 유지하기 위해서는 고온 유지시간은 짧은 편이 좋지만, 시간이 지나치게 짧으면 열처리 효과가 충분하게 얻어지지 않을 가능성이 있다. 최적의 고온 유지시간은 가열 방식, 기재의 열용량, 폴리이미드 필름의 두께 등에 따라 다르지만, 0.5분 이상 120분 이하로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.5분 이상 60분 이내이다.By the above heat treatment, a polyimide film having a total light transmittance (in the present invention, meaning transmittance in a wavelength range of 380 nm to 780 nm) of 80% or more at a film thickness of 30 µm or less on the inorganic substrate is obtained, Setting the heating time (hereinafter referred to as high temperature holding time) in the high temperature heating temperature range from a temperature 20 ° C lower than the highest heating temperature (maximum achieved temperature) at the time of temperature increase in the heat treatment to the highest achieved temperature is 60 minutes or less desirable. When this high temperature holding time exceeds 60 minutes, the production efficiency of a process may worsen, and transparency of a polyimide film may fall by coloring etc. In order to maintain transparency, the high temperature holding time is preferably short, but if the time is too short, there is a possibility that the heat treatment effect may not be sufficiently obtained. The optimal high temperature holding time varies depending on the heating method, the heat capacity of the substrate, the thickness of the polyimide film, and the like, but is preferably set to 0.5 minutes or more and 120 minutes or less. More preferably, they are 0.5 minutes or more and 60 minutes or less.

또한, 상기 열처리에 의해 얻어지는 폴리이미드 필름은 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상이고, 또한 유리전이온도가 300℃ 이상, 5% 열분해 온도가 530℃ 이상, 열팽창 계수가 40ppm/K 이하 및 인열 전파 저항이 1.3mN/㎛ 이상이다. In addition, the polyimide film obtained by the heat treatment has a total light transmittance of 80% or more at a film thickness of 30 µm or less, a glass transition temperature of 300°C or more, a 5% thermal decomposition temperature of 530°C or more, and a coefficient of thermal expansion. 40 ppm/K or less and a tear propagation resistance of 1.3 mN/micrometer or more.

전체 광선 투과율이 80% 미만일 경우에는 표시소자로서 유기 EL 소자를 사용했을 경우, 유기 EL의 발광층으로부터 방출되는 광(파장이 주로 380nm∼780nm임)이 폴리이미드 필름을 충분히 투과하지 못한다. 그 때문에, 예를 들면 후면 발광 구조의 경우, 상기 발광층으로부터의 발광을 충분히 인출할 수 없다. 보다 바람직하게는 전체 광선 투과율은 85% 이상이다. 또한, 표시소자로서 터치패널용 투명 도전막을 사용했을 경우, 충분한 시인성을 담보한다고 하는 이유로부터 전체 광선 투과율은 85% 이상이다.When the total light transmittance is less than 80%, when an organic EL element is used as a display element, light emitted from the light emitting layer of the organic EL (wavelength is mainly 380 nm to 780 nm) does not sufficiently penetrate the polyimide film. For this reason, for example, in the case of a back light emitting structure, light emission from the light emitting layer cannot be sufficiently extracted. More preferably, the total light transmittance is 85% or more. Moreover, when the transparent conductive film for touch panels is used as a display element, from the reason that sufficient visibility is ensured, the total light transmittance is 85 % or more.

또한, 상기 폴리이미드 필름은 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율이 80% 이상이면 그 막두께는 제한되지 않지만, 바람직하게는 5∼30㎛, 보다 바람직하게는 10∼20㎛이다.In addition, the film thickness of the said polyimide film is although it will not restrict|limit as long as the total light transmittance in a film thickness of 30 micrometers or less is 80% or more, Preferably it is 5-30 micrometers, More preferably, it is 10-20 micrometers.

또한, 상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도는 300℃ 이상이다. 바람직하게는 330℃ 이상이고, 보다 바람직하게는 350℃ 이상이다. 유리전이온도가 300℃ 미만이면, 표시소자의 탑재시의 열에 의해 폴리이미드 필름이 변형될 우려가 있다.In addition, the glass transition temperature of the polyimide film is 300 ℃ or more. Preferably it is 330 degreeC or more, More preferably, it is 350 degreeC or more. When the glass transition temperature is less than 300° C., there is a fear that the polyimide film may be deformed by heat during mounting of the display device.

또한, 상기 폴리이미드 필름의 5% 열분해 온도(Td5%)는 530℃ 이상이다. 530℃ 미만이면, TFT, 투명 도전막 등의 표시소자의 탑재시 열에 의해 폴리이미드 필름이 일부 분해되어버릴 우려가 있다. 보다 바람직하게는 530℃에 있어서의 중량 감소율이 3% 이하이다.In addition, the 5% thermal decomposition temperature (Td5%) of the polyimide film is 530° C. or higher. If the temperature is less than 530°C, the polyimide film may be partially decomposed by heat during mounting of a display element such as a TFT or a transparent conductive film. More preferably, the weight reduction rate in 530 degreeC is 3 % or less.

또한, 상기한 바와 같이, 폴리이미드 필름의 열팽창 계수는 40ppm/K 이하이지만, 바람직하게는 -10ppm/K∼40ppm/K 사이이다. -10ppm/K 미만이면 또는 40ppm/K를 초과하면, 표시소자의 탑재시의 열응력에 의해 표시장치에 휘어짐이나 크랙이 발생하거나, 박리되거나 하는 등의 문제가 발생해버릴 경우가 있다. 보다 바람직하게는 0ppm/K∼30ppm/K이다.Moreover, as mentioned above, although the thermal expansion coefficient of a polyimide film is 40 ppm/K or less, Preferably it is between -10 ppm/K and 40 ppm/K. If it is less than -10 ppm/K or exceeds 40 ppm/K, problems such as warping, cracking, or peeling may occur in the display device due to thermal stress at the time of mounting the display element. More preferably, they are 0 ppm/K - 30 ppm/K.

또한, 상기 폴리이미드 필름의 인열 전파 저항은 1.3mN/㎛ 이상이다. 1.3mN/㎛ 미만이면, 예를 들면 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 탑재하고, 무기 기판으로부터 폴리이미드 필름을 박리하는 공정 등에 있어서, 폴리이미드 필름이 파단될 우려가 있다. 보다 바람직한 범위는 1.5mN/㎛ 이상이다. 더욱 바람직한 범위는 2.0mN/㎛ 이상이다.Moreover, the tear propagation resistance of the said polyimide film is 1.3 mN/micrometer or more. If it is less than 1.3 mN/micrometer, there exists a possibility that a polyimide film may fracture|rupture in the process of mounting a display element on a polyimide film, peeling a polyimide film from an inorganic substrate, etc., for example. A more preferable range is 1.5 mN/µm or more. A more preferable range is 2.0 mN/μm or more.

또한, 유기 EL 장치 및 터치패널 장치에서는 상기 장치 내로의 수분의 흡착을 방지하기 위해서 지지 기재의 저흡습성이 바람직하다. 그 때문에, 상기 폴리이미드 필름은 흡습률이 0.8wt% 이하인 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.6wt% 이하이다. 또한, 흡습률이 0.8wt% 이하이면, TFT 탑재시 또는 투명 도전막의 적층시에 팽창, 발포 등이 일어나지 않아서 표시장치로서의 신뢰성이 향상된다.In addition, in the organic EL device and the touch panel device, in order to prevent adsorption of moisture into the device, the low hygroscopicity of the supporting substrate is preferable. Therefore, it is preferable that the said polyimide film has a moisture absorption of 0.8 wt% or less. More preferably, it is 0.6 wt% or less. In addition, when the moisture absorption rate is 0.8 wt% or less, the reliability as a display device is improved because expansion and foaming do not occur when the TFT is mounted or when the transparent conductive film is laminated.

또한, 상기와 같은 성능을 만족시키는 폴리이미드 필름은 상기 폴리이미드 필름을 구성하는 폴리이미드 성분이 상기 식(1) 및 (2)으로 표시되는 구조단위로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, in the polyimide film satisfying the above performance, it is preferable that the polyimide component constituting the polyimide film consists of structural units represented by the formulas (1) and (2).

상기 식(2)에 있어서, X는 단결합 또는 -C- 또는 -O-를 포함하는 치환기이다. 단, m/(m+n)=0.11∼0.40이다. 보다 바람직하게는 0.12∼0.40이고, 더욱 바람직하게는 0.15∼0.40이다. In the formula (2), X is a single bond or a substituent containing -C- or -O-. However, m/(m+n)=0.11-0.40. More preferably, it is 0.12-0.40, More preferably, it is 0.15-0.40.

여기에서, -C-를 포함하는 치환기란, 예를 들면 -CO-, -C(CF3)2-, -C(CH3)2- 를 들 수 있다. 보다 바람직하게는, 상기 식(3) 또는 (5)으로 표시되는 치환기이다.Here, the substituent including -C- includes, for example, -CO-, -C(CF 3 ) 2 -, and -C(CH 3 ) 2 -. More preferably, it is a substituent represented by said Formula (3) or (5).

또한, -O-를 포함하는 치환기는, 예를 들면 -O-Ph-O-, -O-Ph-Ph-O-, -O-, -O-Ph-C(CF3)2-Ph-O-를 들 수 있다. 여기에서, Ph는 페닐렌기이다. 보다 바람직하게는 상기 식(3) 또는 (4)으로 표시되는 치환기이다.In addition, the substituent containing -O- is, for example, -O-Ph-O-, -O-Ph-Ph-O-, -O-, -O-Ph-C(CF 3 ) 2 -Ph- O- can be mentioned. Here, Ph is a phenylene group. More preferably, it is a substituent represented by said Formula (3) or (4).

여기에서, 상기 식(1)의 구조단위는 주로 저열팽창성과 고내열성 등의 성질을 향상시키고, 또한 상기 식(2)의 구조단위는 고투명성, 인열 전파 저항을 향상시키는데에도 유효하다. 그 때문에 m/(m+n)이 0.11보다 작으면 열팽창 계수가 크고, 유리전이온도가 낮아져서, TFT를 탑재하는 공정에 견디지 못하게 되는 경향이 있다. 보다 바람직한 것은 0.20 이상이다. 한편, 0.40을 초과하면 인열 전파가 낮아지고, 예를 들면 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 탑재하고, 무기 기판으로부터 폴리이미드 필름을 박리하는 공정 등에 있어서, 폴리이미드 필름이 파단되기 쉬워지는 경향이 있다. 또한, 투명성이 저하하는 경향이 있다. Here, the structural unit of Formula (1) mainly improves properties such as low thermal expansion and high heat resistance, and the structural unit of Formula (2) is also effective in improving high transparency and tear propagation resistance. Therefore, when m/(m+n) is less than 0.11, the coefficient of thermal expansion is large, the glass transition temperature is low, and there is a tendency that the TFT mounting process cannot be tolerated. More preferably, it is 0.20 or more. On the other hand, when it exceeds 0.40, tear propagation becomes low, and the polyimide film tends to break easily in, for example, a step of mounting a display element on a polyimide film and peeling the polyimide film from an inorganic substrate. . Moreover, there exists a tendency for transparency to fall.

고분자량의 수지를 얻기 위해서, 본 발명에서는 산무수물과 디아민의 몰비는 0.985∼1.025의 범위에서 조정하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.000∼1.020의 범위이다. 더욱 바람직한 것은 1.002∼1.015이다. 그 이외의 몰비에서는 분자량이 낮아지고 인열 전파 저항이 작아진다.In order to obtain high molecular weight resin, in this invention, it is preferable to adjust the molar ratio of an acid anhydride and diamine in the range of 0.985-1.025, More preferably, it is the range of 1.000-1.020. More preferably, it is 1.002 to 1.015. At a molar ratio other than that, molecular weight becomes low and tear propagation resistance becomes small.

또한, 상기 폴리이미드 필름은 슬라이딩성의 향상, 열전도성의 향상 등의 목적에서, 예를 들면 실리카, 알루미나, 질화 붕소, 질화 알루미늄 등의 무기 미립자를 첨가해도 좋다. In addition, the said polyimide film may add inorganic fine particles, such as silica, alumina, boron nitride, aluminum nitride, for the objective, such as an improvement of slidability and thermal conductivity, for example.

또한, 상기 폴리이미드 필름은 복수층의 폴리이미드로 이루어지도록 해도 좋다. 단층일 경우에는 3㎛∼50㎛의 두께를 갖도록 하는 것이 좋다. 한편, 복수층일 경우에 있어서는 주된 폴리이미드층이 상기 두께를 갖는 폴리이미드 필름이면 좋다. 여기에서 주된 폴리이미드층이란 복수층의 폴리이미드 중에서 두께가 가장 큰 비율을 차지하는 폴리이미드층을 가리키고, 적합하게는 그 두께를 3㎛∼50㎛로 하는 것이 좋고, 더욱 바람직하게는 4㎛∼30㎛이다.In addition, you may make it consist of polyimide of multiple layers of the said polyimide film. In the case of a single layer, it is preferable to have a thickness of 3 μm to 50 μm. On the other hand, in the case of multiple layers, a main polyimide layer may just be a polyimide film which has the said thickness. Here, the main polyimide layer refers to a polyimide layer having the largest ratio among polyimides of a plurality of layers, and preferably the thickness is 3 µm to 50 µm, more preferably 4 µm to 30 µm μm.

상기 열처리가 완료된 후에, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 탑재한다. 여기에서, 표시소자의 종류는 특별히 제한하지 않지만, 액정 표시 장치, 유기 EL 표시장치, 전자 페이퍼를 비롯한 표시장치, 및 컬러 필터 등의 표시장치의 구성부품도 포함하고 있다. 또한, 유기 EL 조명 장치, 터치패널 장치, ITO 등이 적층된 도전성 필름, 수분이나 산소 등의 침투를 방지하는 가스배리어 필름, 플렉시블 회로 기판의 구성 부품 등을 포함한, 상기 표시장치에 부수되어 사용되는 각종 기능 장치도 포함된다. 즉, 본 발명에서 말하는 표시소자란 액정 표시 장치, 유기 EL 표시장치, 및 컬러 필터 등의 구성 부품뿐만 아니라, 유기 EL 조명 장치, 터치패널 장치, 유기 EL 표시장치의 전극층 또는 발광층, 가스배리어 필름, 접착 필름, 박막트랜지스터(TFT), 액정 표시 장치의 배선층 또는 투명 도전층 등의 1종 또는 2종 이상을 조합시킨 것도 포함하고 있다.After the heat treatment is completed, a display device is mounted on the polyimide film. Here, although the type of the display element is not particularly limited, components of the display device such as a liquid crystal display device, an organic EL display device, a display device including electronic paper, and a color filter are also included. In addition, organic EL lighting devices, touch panel devices, conductive films stacked with ITO, etc., gas barrier films that prevent penetration of moisture or oxygen, components of flexible circuit boards, etc. are used incidentally to the display devices. Various functional devices are also included. That is, the display element referred to in the present invention refers to not only constituent parts such as a liquid crystal display device, an organic EL display device, and a color filter, but also an electrode layer or a light emitting layer of an organic EL lighting device, a touch panel device, and an organic EL display device, a gas barrier film, One type or a combination of two or more types such as an adhesive film, a thin film transistor (TFT), a wiring layer of a liquid crystal display device, or a transparent conductive layer is also included.

또한, 표시소자의 형성 방법은 표시소자(예를 들면, 유기 EL 표시장치의 경우에는 배리어층, TFT, ITO, 유기 EL 발광층, 컬러 필터층을 들 수 있고, 또한 터치패널의 경우에는 투명 도전막, 메탈 메쉬 등의 전극층을 들 수 있음)에 따라서 적당하게 형성 조건이 설정되지만, 일반적으로는 금속 등을 폴리이미드 필름 상에 성막한 후, 필요에 따라서 소정의 형상으로 패터닝하거나, 열처리하거나 하는 등, 공지의 방법을 이용하여 얻을 수 있다. 즉, 이들 표시소자를 형성하기 위한 수단에 대해서는 특별히 제한하지 않고, 예를 들면 스퍼터링, 증착, CVD, 인쇄, 노광, 침지 등, 적당히 선택된 것이며, 필요할 경우에는 진공 챔버내 등에서 이들의 프로세스 처리를 행하도록 해도 좋다. 그리고, 무기 기판과 폴리이미드 필름을 분리하는 것은 각종 프로세스 처리를 거쳐서 표시소자를 형성한 직후이어도 좋고, 어느 정도의 기간에서 무기 기판과 일체로 해 두고, 예를 들면 표시장치로서 이용하기 직전에 분리해서 제거하도록 해도 좋다.In addition, the method of forming a display element includes a display element (for example, in the case of an organic EL display device, a barrier layer, TFT, ITO, an organic EL light emitting layer, a color filter layer, and in the case of a touch panel, a transparent conductive film, Forming conditions are set appropriately depending on the electrode layer such as a metal mesh), but in general, after forming a film on a polyimide film, a metal or the like is patterned into a predetermined shape or heat-treated as necessary. It can be obtained using a well-known method. That is, the means for forming these display elements is not particularly limited, and, for example, sputtering, vapor deposition, CVD, printing, exposure, immersion, etc. are appropriately selected. If necessary, these processes are performed in a vacuum chamber or the like. You can do it. In addition, the inorganic substrate and the polyimide film may be separated immediately after formation of the display element through various process treatments, and may be integrated with the inorganic substrate for a certain period of time, for example, immediately before use as a display device. So you may want to remove it.

상기 표시소자를 탑재한 후에 무기 기판으로부터 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리한다. 무기 기판으로부터 폴리이미드 필름을 박리할 때에 폴리이미드 필름이 연신되면 리타데이션이 커진다. 이 때문에, 박리 시에 폴리이미드 필름에 가해지는 응력이 작아지도록 박리하는 방법이 바람직하다.After the display element is mounted, the polyimide film is peeled from the inorganic substrate together with the display element. When a polyimide film is peeled from an inorganic substrate and a polyimide film is extended|stretched, retardation will become large. For this reason, the method of peeling so that the stress applied to a polyimide film at the time of peeling may become small is preferable.

폴리이미드 필름의 연신을 방지하기 위해서는 무기 기판에 다른 층을 형성하고, 그 위에 그것으로부터 폴리이미드를 형성시키고, 그 위에 표시소자를 탑재한 후에 폴리이미드 필름을 상기 다른 층 및 표시소자와 함께 박리하고, 박리에 필요한 응력을 상기 다른 층으로 분산시키는 방법이 바람직하다. 특히 폴리이미드 필름이 얇을 경우에 효과적이다. 이 경우, 상기 다른 층을 포함해서 본 발명의 폴리이미드 필름으로 간주한다. 다른 층을 형성하는 방법의 예로서는 점착제에 의한 수지 필름이나 금속박의 부착, 도포, 증착 등을 들 수 있다.In order to prevent elongation of the polyimide film, another layer is formed on the inorganic substrate, polyimide is formed thereon, and the display element is mounted thereon, and then the polyimide film is peeled off together with the other layer and the display element. , a method of dispersing the stress required for peeling to the other layers is preferred. It is particularly effective when the polyimide film is thin. In this case, it is regarded as the polyimide film of the present invention including the above other layers. As an example of the method of forming another layer, adhesion, application|coating, vapor deposition of a resin film or metal foil by an adhesive is mentioned.

또한, 기재로부터의 폴리이미드 필름의 박리를 용이하게 하고 연신을 방지하는 방법으로서, 공지의 다른 방법도 적용할 수 있다. 예를 들면, 일본 특허공표 2007-512568호 공보에서는 유리 상에 폴리이미드 등의 황색 필름을 형성하고, 이어서 이 항색 필름 상에 박막 전자소자를 형성한 후, 유리를 통해서 황색 필름의 저면에 UV 레이저광을 조사함으로써, 유리와 황색 필름을 박리하는 것이 가능한 것을 개시하고 있다. 이 방법에 의하면, UV 레이저광에 의해 폴리이미드 필름이 유리로부터 분리되기 때문에 박리 시에 응력이 전혀 발생하지 않아서, 본 발명의 박리 프로세스로서 바람직한 방법 중 하나이다. 그러나, 황색 필름과 달리 투명 플라스틱은 UV 레이저광을 흡수하지 않기 때문에 어모르포스 실리콘과 같은 흡수/박리층을 미리 필름 아래에 형성할 필요가 있는 것도 개시되어 있다.Moreover, as a method of facilitating peeling of a polyimide film from a base material and preventing extending|stretching, other well-known methods are also applicable. For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-512568, a yellow film such as polyimide is formed on glass, and then a thin film electronic device is formed on the color film, and then a UV laser is applied to the bottom of the yellow film through the glass. It is disclosed that it is possible to peel glass and a yellow film by irradiating light. According to this method, since the polyimide film is separated from the glass by UV laser light, no stress is generated at the time of peeling, and it is one of the preferable methods as the peeling process of this invention. However, it is also disclosed that, unlike the yellow film, since the transparent plastic does not absorb UV laser light, it is necessary to form an absorption/release layer such as amorphous silicone in advance under the film.

또한, 일본 특허공표 2012-511173호 공보에서는 UV 레이저광의 조사에 의해 유리와 폴리이미드 필름의 박리를 행하기 위해서는 300∼410nm의 스펙트럼 범위 내의 레이저를 사용하는 것이 개시되어 있다. 이와 관련하여, 박리방법으로서는 유리측으로부터 레이저를 조사하여 표시부를 구비한 수지 기재를 유리로부터 분리하는 방법, 박리층을 유리 기판에 도포해서 형성한 후, 박리층 상에 폴리이미드 수지를 도포하고, 유기 EL 표시장치의 제조공정이 완료된 후에 박리층으로부터 폴리이미드 필름층을 박리하는 방법, 무기층 표면의 커플링제 처리를 행한 후, UV 조사 등에 의해 이 커플링제의 패턴화 처리를 행하여 박리 강도가 다른 양호 접착 부분과 박리 용이 부분을 가진 적층체를 형성하고, 그것으로부터 박리하는 방법 등을 들 수 있다.Moreover, in Unexamined-Japanese-Patent No. 2012-511173, in order to perform peeling of a glass and a polyimide film by irradiation of UV laser beam, using the laser within the spectral range of 300-410 nm is disclosed. In this regard, as a peeling method, a laser is irradiated from the glass side to separate a resin substrate having a display unit from the glass, a peeling layer is applied to a glass substrate to form, and then a polyimide resin is applied on the peeling layer, A method of peeling the polyimide film layer from the peeling layer after the manufacturing process of the organic EL display device is completed, and after performing a coupling agent treatment on the surface of the inorganic layer, patterning the coupling agent by UV irradiation, etc. The method of forming a laminated body which has a favorable adhesion part and an easy peeling part, and peeling from it, etc. are mentioned.

유기 EL 장치의 발광층으로부터 방출되는 광의 파장이 주로 440nm∼780nm이기 때문에, 유기 EL 장치에 사용되는 지지 기재로서는 이 파장영역에서의 평균 투과율이 적어도 80% 이상인 것이 요구된다. 한편, 상기에서 설명한 UV 레이저광의 조사에 의해, 유리와 폴리이미드 필름의 박리를 행할 경우, UV 레이저광의 파장에서의 투과율이 높으면 흡수/박리층을 필름 아래에 형성할 필요가 있고, 이것에 의해 생산성이 저하한다. 흡수/박리층을 형성하지 않고 박리를 행하기 위해서는 폴리이미드 필름 자체가 레이저광을 충분하게 흡수할 필요가 있고, 폴리이미드 필름의 400nm에서의 투과율은 바람직하게는 60% 이하이고, 더욱 바람직하게는 40% 이하이다.Since the wavelength of the light emitted from the light emitting layer of the organic EL device is mainly 440 nm to 780 nm, it is required as a supporting substrate used for the organic EL device that the average transmittance in this wavelength region is at least 80% or more. On the other hand, when the glass and polyimide film are peeled by irradiation with UV laser light as described above, if the transmittance at the wavelength of UV laser light is high, it is necessary to form an absorption/peelable layer under the film, whereby productivity this lowers In order to perform peeling without forming an absorption/release layer, the polyimide film itself needs to sufficiently absorb laser light, and the transmittance of the polyimide film at 400 nm is preferably 60% or less, more preferably less than 40%.

또한, 유기 EL 장치 내나 터치패널 장치 내로의 수분이나 산소의 침입을 방지하기 위해서, 상기 폴리이미드 필름에 가스 배리어층을 형성해도 좋다. 이 경우, 가스 배리어층을 포함해서 본 발명의 폴리이미드 필름으로 간주한다. 단체의 폴리이미드 필름으로 형성해도 좋고, 유리, 금속박 등의 기재와 폴리이미드 필름의 적층체로 형성해도 좋다. 가스 배리어층은 공지의 것을 사용할 수 있지만, 산소나 수증기 등에 대한 배리어성을 구비한 가스 배리어층으로서 산화 규소, 산화 알류미늄, 탄화 규소, 산화 탄화 규소, 탄화 질화 규소, 질화 규소, 질화 산화 규소 등의 무기 산화물이 적합하게 예시되고, 1종류의 조성만으로 구성되어도 좋고, 2종류 이상의 조성을 혼동시킨 막을 선택해도 좋다.Moreover, in order to prevent the penetration|invasion of moisture and oxygen into the inside of organic electroluminescent device or the inside of a touchscreen device, you may provide a gas barrier layer in the said polyimide film. In this case, it is considered as the polyimide film of this invention including a gas barrier layer. You may form from a single polyimide film, and you may form with base materials, such as glass and metal foil, and a laminated body of a polyimide film. A known gas barrier layer can be used, but as a gas barrier layer having barrier properties against oxygen, water vapor, etc., silicon oxide, aluminum oxide, silicon carbide, silicon oxide, silicon carbide, silicon nitride, silicon nitride, silicon oxide, etc. Inorganic oxides are exemplified suitably, and may be composed of only one type of composition, or a film obtained by mixing two or more types of compositions may be selected.

실시예Example

이하, 실시예 등에 의거하여 본 발명의 내용을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예의 범위에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the content of the present invention will be described in more detail based on Examples and the like, but the present invention is not limited to the scope of these Examples.

우선, 폴리이미드를 합성할 때의 모노머나 용매의 약어 및 실시예 중의 각종물성의 측정 방법과 그 조건에 대해서 이하에 나타낸다.First, the abbreviation of a monomer and a solvent at the time of synthesizing a polyimide, the measuring method of various physical properties in an Example, and its conditions are shown below.

TFMB: 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-4,4'-디아미노비페닐TFMB: 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobiphenyl

PMDA: 피로멜리트산 2무수물PMDA: pyromellitic dianhydride

DMAc: N,N-디메틸아세트아미드DMAc: N,N-dimethylacetamide

6FDA: 2,2'-비스(3,4-디카르복시페닐)헥사플루오로프로판 2무수물6FDA: 2,2'-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride

ODPA: 4,4'-옥시디프탈산 2무수물ODPA: 4,4'-oxydiphthalic dianhydride

BPADA: 2,2'-비스(4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐)프로판산 2무수물BPADA: 2,2'-bis(4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl)propanoic acid dianhydride

BPDA: 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 2무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

m-TB: 2,2'-디메틸벤지딘m-TB: 2,2'-dimethylbenzidine

TPE-R: 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene

지지체 기판: 유리 기판(Corning Incorporated 제품, 0.7mm 두께)Support Substrate: Glass Substrate (Corning Incorporated, 0.7mm thick)

용매: 디메틸아세트아미드(DMAc)Solvent: dimethylacetamide (DMAc)

[열팽창 계수(CTE)][Coefficient of Thermal Expansion (CTE)]

3mm×15mm의 사이즈의 폴리이미드 필름을 Seiko Instruments Inc. 제품의 열기계분석(TMA) 장치 TMA100로 5.0g의 하중을 가하면서 일정한 승온 속도(20℃/min)로 30℃로부터 280℃까지 승온하고, 그것으로부터 30℃까지 강온하고, 이 온도 범위에서 인장시험을 행하고, 250℃로부터 100℃로의 온도 변화에 대한 폴리이미드 필름의 신장량으로부터 열팽창 계수(ppm/K)를 측정했다.A polyimide film with a size of 3 mm × 15 mm was manufactured by Seiko Instruments Inc. With the thermomechanical analysis (TMA) device TMA100 of the product, while applying a load of 5.0 g, the temperature is raised from 30°C to 280°C at a constant temperature increase rate (20°C/min), and the temperature is lowered from there to 30°C, and tensile strength in this temperature range The test was done, and the coefficient of thermal expansion (ppm/K) was measured from the elongation amount of the polyimide film with respect to the temperature change from 250 degreeC to 100 degreeC.

[인열 전파 저항][Tear propagation resistance]

폴리이미드 필름(63.5mm×50mm)의 시험편을 준비하고, 시험편에 길이 12.7mm의 컷팅을 넣고, TOYO SEIKI KOGYO CO., LTD. 제품의 경하중 인열시험기를 이용하여 실온에서 측정했다. 측정한 인열 전파 저항치는 단위두께당 저항치(mN/㎛)로서 나타냈다.A test piece of polyimide film (63.5 mm x 50 mm) was prepared, and a cut of 12.7 mm in length was put on the test piece, and TOYO SEIKI KOGYO CO., LTD. The product was measured at room temperature using a light load tear tester. The measured tear propagation resistance value was expressed as a resistance value per unit thickness (mN/μm).

[유리전이온도 Tg][Glass transition temperature Tg]

폴리이미드 필름(10mm×22.6mm)을 TA Instruments Japan 제품의 동적 점탄성 측정(DMA) 장치 RSA3으로 20℃로부터 500℃까지 5℃/분으로 승온시켰을 때의 동적 점탄성을 측정하고, 유리전이온도 Tg(tanδ 극대치)를 구했다.The dynamic viscoelasticity of a polyimide film (10 mm × 22.6 mm) was measured with a dynamic viscoelasticity measuring (DMA) device RSA3 manufactured by TA Instruments Japan at a rate of 5° C./min from 20° C. to 500° C., and the glass transition temperature Tg ( tanδ maximal value) was obtained.

[광투과율][Light transmittance]

폴리이미드 필름(50mm×50mm)을 U4000형 분광광도계로 440nm∼780nm에 있어서의 광투과율의 평균치를 구했다.The average value of the light transmittance in 440 nm - 780 nm was calculated|required for the polyimide film (50 mm x 50 mm) with a U4000 type|mold spectrophotometer.

[전체 광선 투과율][Total light transmittance]

폴리이미드 필름(5cm×5cm)을 NIPPON DENSHOKU INDUSTRIES CO., LTD. 제품의 HAZE METER NDH-5000을 사용하여 전체 광선 투과율의 측정을 행했다.Polyimide film (5cm×5cm) was manufactured by NIPPON DENSHOKU INDUSTRIES CO., LTD. The total light transmittance was measured using the product HAZE METER NDH-5000.

[열분해 온도(Td5%)][Pyrolysis temperature (Td5%)]

질소분위기 하에서 10∼20mg의 중량의 폴리이미드 필름을 Seiko Instruments Inc. 제품의 열중량 분석(TG) 장치 TG/DTA6200으로 일정한 속도로 30℃로부터 550℃까지 승온시켰을 때의 중량 변화를 측정하고, 중량 감소율이 5%일 때의 온도를 열분해 온도로 했다. 또한, 상기 온도 범위에 있어서 중량 감소율이 5%에 도달하지 않았을 경우에는 530℃ 이상의 임의의 온도 및 상기 온도에 있어서의 중량 감소율을 기재했다.A polyimide film having a weight of 10 to 20 mg was prepared by Seiko Instruments Inc. under a nitrogen atmosphere. The change in weight when the temperature was raised from 30°C to 550°C at a constant rate was measured with a thermogravimetric analysis (TG) device TG/DTA6200 of the product, and the temperature when the weight loss rate was 5% was taken as the thermal decomposition temperature. In addition, when the weight loss rate did not reach 5% in the said temperature range, arbitrary temperature 530 degreeC or more and the weight loss rate in this temperature were described.

[흡습률][Moisture absorption rate]

폴리이미드 필름(4cm×20cm)을 120℃에서 2시간 건조한 후, 23℃/50%RH의 항온항습기에서 24시간 정치하고, 그 전후의 중량 변화로부터 다음 식에 의해 구했다.After drying a polyimide film (4 cm x 20 cm) at 120 degreeC for 2 hours, it left still for 24 hours in the thermo-hygrostat of 23 degreeC/50%RH, and calculated|required by the following formula from the weight change before and behind that.

흡습률(%) = [(흡습후 중량-건조후 중량)/건조후 중량]×100Moisture absorption (%) = [(weight after moisture absorption - weight after drying) / weight after drying] × 100

[박리성][Peelability]

폴리이미드 필름을 파단·파손이 없이 지지체 기판으로부터 박리할 수 있는 경우에는 ○이라고 판단했다. 또한, 박리하는 과정에서 파단·파손이 발생하고, 박리할 수 없게 되는 경우에는 ×라고 판단했다.When a polyimide film could be peeled from a support body board|substrate without fracture|rupture and damage|damage, it was judged as (circle). In addition, in the process of peeling, when fracture|rupture and damage generate|occur|produced and it became impossible to peel, it was judged as x.

[습도 팽창 계수(CHE)][Humidity Expansion Coefficient (CHE)]

폴리아미드산의 용액을 도포하기 전에 DMAc을 첨가해서 점도를 약 10000cP로 조정했다. 그것으로부터, 18㎛의 두께의 동박 상에 어플리케이터를 이용하여 건조 후의 막두께가 약 10㎛가 되도록 도포하고, 50∼130℃에서 2∼60분간 건조한 후, 130℃로부터 360℃까지 30분에 걸쳐서 더 열처리를 행하여, 동박 상에 폴리이미드층을 형성해서 적층체를 얻었다. 이 적층체를 25cm×25cm의 사이즈로 잘라내고, 동박측에 에칭 레지스트층을 형성하고, 이것을 한 변이 30cm인 정방형의 4변으로 10cm 간격으로 직경 1mm의 점이 16개소 배치되는 패턴으로 형성했다. 에칭 레지스트 개공부의 노출 부분을 에칭하고, 16개소의 동박 잔존점을 갖는 CHE 측정용 폴리이미드 필름을 얻었다. 이 필름을 120℃에서 2시간 건조한 후, 23℃/30%RH, 23℃/50%RH 및 23℃/70%RH의 환경하에서 각각 24시간 정치하고, 각 환경하에 있어서의 동박점 간의 치수 변화로부터 CHE(ppm/%RH)를 구했다. 또한, 치수 변화는 2차원 측장기에 의해 측정했다.Before application of the solution of polyamic acid, DMAc was added to adjust the viscosity to about 10000 cP. From there, using an applicator on copper foil having a thickness of 18 μm, it is applied so that the film thickness after drying is about 10 μm, dried at 50 to 130° C. for 2 to 60 minutes, and then from 130° C. to 360° C. over 30 minutes. It further heat-processed, the polyimide layer was formed on copper foil, and the laminated body was obtained. This laminate was cut out to a size of 25 cm x 25 cm, an etching resist layer was formed on the copper foil side, and this was formed in a pattern in which 16 dots having a diameter of 1 mm were arranged at 10 cm intervals on 4 sides of a 30 cm square. The exposed part of the etching resist opening part was etched, and the polyimide film for CHE measurement which has 16 copper foil residual points was obtained. After drying this film at 120 degreeC for 2 hours, it left still in the environment of 23 degreeC/30%RH, 23 degreeC/50%RH, and 23 degreeC/70%RH for 24 hours, respectively, and the dimensional change between copper foil points in each environment CHE (ppm/%RH) was obtained from In addition, the dimensional change was measured by a two-dimensional measuring machine.

[휘어짐][Bending]

동박과 폴리이미드 필름의 적층체를 10cm×10cm의 사이즈로 잘라내고, 평평한 장소에 두고, 적층체의 휘어짐의 상황을 판단했다. 휘어짐이 1mm 미만인 것은 ○라고 하고, 1mm 이상 3mm 미만인 것은 △라고 하고, 5mm 이상인 것은 ×라고 했다.The laminated body of copper foil and a polyimide film was cut out to the size of 10 cm x 10 cm, it put on a flat place, and the state of the curvature of a laminated body was judged. Those having a curvature of less than 1 mm were denoted as ○, those of 1 mm or more and less than 3 mm were denoted as △, and those of 5 mm or more were denoted as ×.

[중량 평균 분자량 Mw][weight average molecular weight Mw]

중량 평균 분자량 Mw는 GPC 장치(Tosoh Corporation 제품의 TOSOH HLC-8220 GPC)로 측정 및 산출했다. 컬럼은 Tosoh Corporation 제품의 Tskgel GMHHR-M×2개를 사용했다. 표준 샘플은 폴리스티렌이며, 검출기의 종류는 RI이다. 용매는 DMAc계 전개 용매를 사용했다.The weight average molecular weight Mw was measured and calculated with a GPC apparatus (TOSOH HLC-8220 GPC manufactured by Tosoh Corporation). As a column, Tskgel GMHHR-Mx2 by Tosoh Corporation was used. The standard sample is polystyrene, and the detector type is RI. As the solvent, a DMAc-based developing solvent was used.

[합성예 1][Synthesis Example 1]

(폴리아미드산 A)(Polyamic Acid A)

질소기류하에서 500ml의 세퍼러블 플라스크 중에서 교반하면서 TFMB 25.907을 용제 200g의 DMAc에 용해시켰다. 이어서, 이 용액에 PMDA 14.0g과 ODPA 5.019g을 첨가했다. 산 무수물과 디아민의 몰비를 1.005로 했다. 그 후, 고형분이 15wt%가 되도록 55g의 DMAc를 추가했다. 그 후, 용액을 실온에서 5시간 교반을 계속해서 중합반응을 행하고, 만 하루 유지했다. 점조의 무색 폴리아미드산 용액이 얻어지고, 고중합도의 폴리아미드산 A가 생성되어 있는 것이 확인되었다. 폴리아미드산 A에 있어서의 모노머의 중량 조성을 표 1에 나타낸다.TFMB 25.907 was dissolved in 200 g of DMAc as a solvent while stirring in a 500 ml separable flask under a nitrogen stream. Next, 14.0 g of PMDA and 5.019 g of ODPA were added to this solution. The molar ratio of the acid anhydride and diamine was 1.005. Then, 55 g of DMAc was added so that solid content might become 15 wt%. After that, the solution was stirred at room temperature for 5 hours to carry out polymerization reaction, and was maintained for a full day. A viscous, colorless polyamic acid solution was obtained, and it was confirmed that polyamic acid A having a high degree of polymerization was produced. Table 1 shows the weight composition of the monomers in the polyamic acid A.

[합성예 2-16][Synthesis Example 2-16]

(폴리아미드산 B∼P)(Polyamic acids B to P)

표 1∼표 3에 나타낸 조성으로 한 것 이외에는 합성예 1과 같은 방법으로 합성예 2-16에 관한 폴리아미드산 B∼P를 얻었다. 폴리아미드산 E의 Mw는 211,596이었다. 또한, 폴리아미드산 N의 Mw는 195,170이었다.Polyamic acids B to P according to Synthesis Examples 2-16 were obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the compositions shown in Tables 1 to 3 were used. The Mw of polyamic acid E was 211,596. In addition, Mw of polyamic acid N was 195,170.

[실시예 1][Example 1]

상기에서 얻어진 폴리아미드산 A 용액에 DMAc를 첨가하고, 점도가 5000cP가 되도록 희석했다. 두께 0.5mm, 10mm×10mm의 유리 기판 상에 어플리케이터를 이용하여 열처리 후의 막두께가 약 25㎛가 되도록 도포하고, 30분에 걸쳐서 90℃로부터 360℃까지 승온시켜서 유리 기판 상에 폴리이미드를 형성하여 적층체 A를 얻었다. 다음에, 폴리이미드 필름을 유리 기판으로부터 박리하여 무색의 폴리이미드 필름 A를 얻었다. 얻어진 폴리이미드 필름 A와 적층체 A에 대해서 각종 평가를 행한 결과를 표 4에 나타낸다. DMAc was added to the polyamic acid A solution obtained above, and it diluted so that the viscosity might become 5000 cP. On a glass substrate with a thickness of 0.5 mm and 10 mm × 10 mm, using an applicator, the film thickness after heat treatment is applied so that the film thickness is about 25 μm, and the temperature is raised from 90° C. to 360° C. over 30 minutes to form polyimide on the glass substrate. A laminate A was obtained. Next, the polyimide film was peeled from the glass substrate, and the colorless polyimide film A was obtained. Table 4 shows the results of various evaluations of the obtained polyimide film A and the laminate A.

또한, 습도 팽창 계수(CHE) 및 휘어짐의 평가에 대해서는 각각 상술한 [습도 팽창 계수(CHE)] 및 [휘어짐]에 기재된 순서를 따라 행했다. 평가 결과를 표 3에 나타낸다.In addition, about evaluation of the humidity expansion coefficient (CHE) and warpage, it performed according to the procedure described in the above-mentioned [humidity expansion coefficient (CHE)] and [warpage], respectively. Table 3 shows the evaluation results.

[실시예 2-7][Example 2-7]

폴리아미드산 A 대신에, 폴리아미드산 B∼G를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 실시예 2-7에 관한 적층체 B∼G 및 폴리이미드 필름 B∼G를 제작했다. 평가 결과를 마찬가지로 표 4에 나타낸다.Laminates B to G and polyimide films B to G according to Examples 2-7 were produced in the same manner as in Example 1 except that polyamic acids B to G were used instead of polyamic acids A. The evaluation result is shown in Table 4 similarly.

[실시예 8-9, 11][Examples 8-9, 11]

폴리아미드산 A 대신에 폴리아미드산 C, E 또는 N을 각각 사용하고, 또한 열처리 후의 막두께가 약 10㎛가 되도록 도포한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 실시예 8에 관한 적층체 C-2 및 폴리이미드 필름 C-2, 실시예 9에 관한 적층체 E-2 및 폴리이미드 E-2, 및 실시예 11에 관한 적층체 N 및 폴리이미드 필름 N을 제작했다. 평가 결과를 마찬가지로 표 4 및 6에 각각 나타낸다.Laminate C- according to Example 8 in the same manner as in Example 1, except that polyamic acids C, E or N were respectively used instead of polyamic acid A, and the coating was applied so that the film thickness after heat treatment was about 10 μm. 2 and the polyimide film C-2, the laminated body E-2 and polyimide E-2 which concern on Example 9, and the laminated body N and polyimide film N which concern on Example 11 were produced. The evaluation results are similarly shown in Tables 4 and 6, respectively.

[실시예 12][Example 12]

폴리아미드산 A 대신에 폴리아미드산 O를 사용하고, 또한 열처리 후의 막두께가 약 8㎛가 되도록 도포한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 실시예 12에 관한 적층체 O 및 폴리이미드 필름 O를 제작했다. 평가 결과를 마찬가지로 표 6에 나타낸다.Laminate O and polyimide film O according to Example 12 were prepared in the same manner as in Example 1, except that polyamic acid O was used instead of polyamic acid A, and the coating was applied so that the film thickness after heat treatment was about 8 μm. made The evaluation result is shown in Table 6 similarly.

[실시예 10][Example 10]

상기 실시예 1과 같은 방법으로 적층체 A를 얻고, 상기 적층체 A의 폴리이미드면에 컬러 필터층을 더 형성했다. 계속해서, 상기 컬러 필터층이 형성된 폴리이미드를 유리로부터 박리하여, 폴리이미드 필름 A를 플렉시블 기판에 사용한 컬러 필터 기판을 얻었다. 컬러 필터 기판의 제조공정에 있어서, 적층체의 휘어짐은 1mm 미만이었다. 또한, 폴리이미드는 유리로부터 깨끗하게 박리할 수 있었다. 또한, 얻어진 컬러 필터 기판에 있어서 플렉시블 기판의 파손은 보여지지 않았다.A laminate A was obtained in the same manner as in Example 1, and a color filter layer was further formed on the polyimide surface of the laminate A. Then, the said polyimide with a color filter layer was peeled from glass, and the color filter board|substrate which used the polyimide film A for the flexible board|substrate was obtained. In the manufacturing process of a color filter board|substrate, the curvature of the laminated body was less than 1 mm. Moreover, the polyimide was able to peel cleanly from glass. Moreover, in the obtained color filter board|substrate, the damage|damage of a flexible board|substrate was not seen.

[비교예 1-6][Comparative Example 1-6]

폴리아미드산 A 대신에 폴리아미드산 H∼M을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 비교예 1-6에 관한 적층체 H∼M 및 폴리이미드 필름 H∼M을 제작했다. 평가 결과를 표 5에 나타낸다.Laminates H to M and polyimide films H to M according to Comparative Examples 1-6 were produced in the same manner as in Example 1 except that polyamic acids H to M were used instead of polyamic acids A. Table 5 shows the evaluation results.

[비교예 7-8][Comparative Example 7-8]

폴리아미드산 A 대신에 폴리아미드산 P 또는 I를 사용하고, 또한 열처리 후의 막두께가 약 10㎛가 되도록 도포한 것 이외에는 실시예 1과 같은 방법으로 비교예 7에 관한 적층체 P 및 폴리이미드 필름 P, 및 비교예 8에 관한 적층체 I-2 및 폴리이미드 필름 I-2를 제작했다. 평가 결과를 표 6에 나타낸다.The laminate P and the polyimide film according to Comparative Example 7 were used in the same manner as in Example 1 except that polyamic acid P or I was used instead of polyamic acid A, and the coating was applied so that the film thickness after heat treatment was about 10 μm. P and laminated body I-2 and polyimide film I-2 concerning Comparative Example 8 were produced. Table 6 shows the evaluation results.

Figure 112015024292346-pat00005
Figure 112015024292346-pat00005

Figure 112015024292346-pat00006
Figure 112015024292346-pat00006

Figure 112015024292346-pat00007
Figure 112015024292346-pat00007

Figure 112015024292346-pat00008
Figure 112015024292346-pat00008

Figure 112015024292346-pat00009
Figure 112015024292346-pat00009

Figure 112015024292346-pat00010
Figure 112015024292346-pat00010

표 4 및 6에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 조건을 만족하는 실시예 1∼9 및 11∼12에 관한 폴리이미드 필름은 내열성을 유지한 채로 투명성이 우수하고, 휘어짐도 작고, 필름이 견고하고, 깨끗하게 지지체 기판으로부터 박리할 수 있는 것이었다. 따라서, 이러한 폴리이미드 필름은 유기 EL 디스플레이, 유기 EL 조명, 전자 페이퍼 등의 표시장치를 형성하는 지지 기재로서 적합하게 사용할 수 있다.As shown in Tables 4 and 6, the polyimide films according to Examples 1 to 9 and 11 to 12 satisfying the conditions of the present invention have excellent transparency while maintaining heat resistance, have small warpage, and have firm film, It was a thing which could peel cleanly from a support board|substrate. Therefore, such a polyimide film can be suitably used as a support base material which forms display apparatuses, such as an organic electroluminescent display, organic electroluminescent lighting, and electronic paper.

한편, 표 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 조건을 만족시키지 않는 비교예 1∼6 및 7∼8에 관한 폴리이미드 필름으로 이루어지는 것은 열팽창 계수가 커서 유리와의 적층체는 휘어짐이 크고, 필름이 부서지기 쉽고, 깨끗하게 유리 기판으로부터 박리할 수 없어서, 표시장치를 형성하는 폴리이미드 필름으로서 적합하지 않은 것이었다. On the other hand, as shown in Table 4, those made of the polyimide films according to Comparative Examples 1 to 6 and 7 to 8, which do not satisfy the conditions of the present invention, have a large thermal expansion coefficient, so that the laminate with glass has large warpage, and the film It was brittle and could not be peeled cleanly from the glass substrate, and thus was not suitable as a polyimide film for forming a display device.

Claims (7)

폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치로서,
상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도는 300℃ 이상, 5% 열분해 온도는 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율은 80% 이상, 열팽창 계수는 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항은 1.3mN/㎛ 이상이고,
상기 폴리이미드 필름을 구성하는 폴리이미드 성분은 하기 식(1) 및 (2)으로 표시되는 구조단위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치.
Figure 112021080979628-pat00013

Figure 112021080979628-pat00014

[식(1) 및 (2)에 있어서, X는 단결합 혹은 하기 식(3) 또는 (4)로 표시되는 치환기이다. 단, m/(m+n)=0.11∼0.40이다]
Figure 112021080979628-pat00015

Figure 112021080979628-pat00016
A polyimide precursor or a polyimide solution is cast on an inorganic substrate and heat treatment is performed to form a polyimide film, a display element is further mounted on the polyimide film, and the polyimide film is formed from the inorganic substrate as a display element As a display device obtained by peeling with
The glass transition temperature of the polyimide film is 300°C or more, the 5% thermal decomposition temperature is 530°C or more, and the total light transmittance in a film thickness of 30 µm or less is 80% or more, the thermal expansion coefficient is 40ppm/K or less, tear propagation resistance is 1.3 mN/㎛ or more,
A display device, characterized in that the polyimide component constituting the polyimide film is composed of structural units represented by the following formulas (1) and (2).
Figure 112021080979628-pat00013

Figure 112021080979628-pat00014

[In formulas (1) and (2), X is a single bond or a substituent represented by the following formulas (3) or (4). However, m/(m+n) = 0.11 to 0.40]
Figure 112021080979628-pat00015

Figure 112021080979628-pat00016
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 폴리이미드 필름의 흡습률은 0.6wt% 이하인 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 1,
The display device, characterized in that the moisture absorption of the polyimide film is 0.6 wt% or less.
제 1 항에 있어서,
터치패널인 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 1,
A display device, characterized in that it is a touch panel.
폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치의 제조방법으로서,
상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도는 300℃ 이상, 5% 열분해 온도는 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율은 80% 이상, 열팽창 계수는 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항은 1.3mN/㎛ 이상이고,
상기 폴리이미드 필름을 구성하는 폴리이미드 성분은 하기 식(1) 및 (2)으로 표시되는 구조단위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
Figure 112021080979628-pat00017

Figure 112021080979628-pat00018

[식(1) 및 (2)에 있어서, X는 단결합 혹은 하기 식(3) 또는 (4)로 표시되는 치환기이다. 단, m/(m+n)=0.11∼0.40이다]
Figure 112021080979628-pat00025

Figure 112021080979628-pat00020
A polyimide precursor or a polyimide solution is cast on an inorganic substrate and heat treatment is performed to form a polyimide film, a display element is further mounted on the polyimide film, and the polyimide film is formed from the inorganic substrate as a display element As a method of manufacturing a display device obtained by peeling with
The glass transition temperature of the polyimide film is 300°C or more, the 5% thermal decomposition temperature is 530°C or more, and the total light transmittance in a film thickness of 30 µm or less is 80% or more, the thermal expansion coefficient is 40ppm/K or less, tear propagation resistance is 1.3 mN/㎛ or more,
The method of manufacturing a display device, characterized in that the polyimide component constituting the polyimide film comprises structural units represented by the following formulas (1) and (2).
Figure 112021080979628-pat00017

Figure 112021080979628-pat00018

[In formulas (1) and (2), X is a single bond or a substituent represented by the following formulas (3) or (4). However, m/(m+n) = 0.11 to 0.40]
Figure 112021080979628-pat00025

Figure 112021080979628-pat00020
폴리이미드 전구체 또는 폴리이미드의 용액을 무기 기판 상에 유연하고 열처리를 행함으로써 폴리이미드 필름을 형성하고, 상기 폴리이미드 필름 상에 표시소자를 더 탑재하고, 상기 무기 기판으로부터 상기 폴리이미드 필름을 표시소자와 함께 박리함으로써 얻어지는 표시장치용 폴리이미드 필름으로서,
상기 폴리이미드 필름의 유리전이온도는 300℃ 이상, 5% 열분해 온도는 530℃ 이상, 30㎛ 이하의 막두께에 있어서의 전체 광선 투과율은 80% 이상, 열팽창 계수는 40ppm/K 이하, 인열 전파 저항은 1.3mN/㎛ 이상이고,
상기 폴리이미드 필름을 구성하는 폴리이미드 성분은 하기 식(1) 및 (2)으로 표시되는 구조단위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치용 폴리이미드 필름.
Figure 112021080979628-pat00021

Figure 112021080979628-pat00022

[식(1) 및 (2)에 있어서, X는 단결합 혹은 하기 식(3) 또는 (4)로 표시되는 치환기이다. 단, m/(m+n)=0.11∼0.40이다]
Figure 112021080979628-pat00026

Figure 112021080979628-pat00024
A polyimide precursor or a polyimide solution is cast on an inorganic substrate and heat treatment is performed to form a polyimide film, a display element is further mounted on the polyimide film, and the polyimide film is formed from the inorganic substrate as a display element As a polyimide film for display devices obtained by peeling with
The glass transition temperature of the polyimide film is 300°C or more, the 5% thermal decomposition temperature is 530°C or more, and the total light transmittance in a film thickness of 30 µm or less is 80% or more, the thermal expansion coefficient is 40ppm/K or less, tear propagation resistance is 1.3 mN/㎛ or more,
The polyimide component constituting the polyimide film is a polyimide film for a display device, characterized in that it consists of structural units represented by the following formulas (1) and (2).
Figure 112021080979628-pat00021

Figure 112021080979628-pat00022

[In formulas (1) and (2), X is a single bond or a substituent represented by the following formulas (3) or (4). However, m/(m+n) = 0.11 to 0.40]
Figure 112021080979628-pat00026

Figure 112021080979628-pat00024
KR1020150034440A 2014-03-12 2015-03-12 Display device and method for manufacturing the same, and polyimide film for display device KR102367682B1 (en)

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