KR102248063B1 - Apparatus for monitoring utility of automation equipment - Google Patents

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Abstract

기계설비 장비에 공급되는 유틸리티를 모니터링하는 장치로서, 상기 유틸리티의 사용량을 측정하는 측정부, 그리고 상기 유틸리티의 사용량과 미리 설정된 기준값을 비교한 결과에 기반하여 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 판단부, 그리고 상기 유틸리티의 사용량 및 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 상기 기계설비 장비 또는 상기 기계설비 장비를 제어하는 중앙 관리 시스템에게 전달하는 인터페이스부를 포함하는 유틸리티 모니터링 장치가 제공된다.A device that monitors the utility supplied to the machine facility equipment, and a measurement unit that measures the usage of the utility, and a determination to detect whether the machine facility equipment is abnormal based on a result of comparing the usage of the utility with a preset reference value A utility monitoring device including an interface unit that transmits the amount of the utility and whether or not the machine facility equipment is abnormal to the machine facility equipment or a central management system that controls the machine facility equipment.

Description

유틸리티 모니터링 장치{APPARATUS FOR MONITORING UTILITY OF AUTOMATION EQUIPMENT}Utility monitoring device {APPARATUS FOR MONITORING UTILITY OF AUTOMATION EQUIPMENT}

본 기재는 기계설비 장비에 공급되는 유틸리티를 모니터링하는 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to an apparatus for monitoring utilities supplied to mechanical equipment.

산업분야에서 기계설비 장비의 상시 동작을 통해 제품이 생산되고 있다. 기계설비 장비의 효율을 극대화시키기 위해 일정량의 에너지원이 유틸리티(Utility)로서 공급되고 사용된다.In the industrial field, products are produced through the constant operation of mechanical equipment and equipment. In order to maximize the efficiency of mechanical equipment equipment, a certain amount of energy source is supplied and used as a utility.

종래에는 유틸리티의 누적 사용량에 대한 확인이 불가하여 신규 반도체 생산설비(FAB) 증설시 활용이 어려운 문제점이 있었다. 또한, 종래에는 유틸리티의 공급량을 실시간 확인이 불가하여 최적화된 유틸리티 공급 여부를 확인하기 어려운 문제점이 있었다.Conventionally, it is difficult to use when expanding a new semiconductor production facility (FAB) because it is impossible to check the accumulated usage of utilities. In addition, conventionally, since it is impossible to check the supply amount of the utility in real time, it is difficult to check whether or not an optimized utility is supplied.

한 실시예는 기계설비 장비에 공급되는 유틸리티를 모니터링하는 장치를 제공한다.One embodiment provides an apparatus for monitoring utilities supplied to mechanical equipment.

한 실시예에 따르면, 기계설비 장비에 공급되는 유틸리티를 모니터링하는 장치가 제공된다. 상기 유틸리티 모니터링 장치는, 상기 유틸리티의 사용량을 측정하는 측정부, 상기 유틸리티의 사용량과 미리 설정된 기준값을 비교한 결과에 기반하여 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 판단부, 그리고 상기 유틸리티의 사용량 및 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 상기 기계설비 장비 또는 상기 기계설비 장비를 제어하는 중앙 관리 시스템에게 전달하는 인터페이스부를 포함한다. 여기서, 상기 유틸리티는 전력, 가스, 물 중 적어도 하나이고, 상기 인터페이스부는, 상기 판단부에서 이상 검출시, 상기 기계설비 장비 또는 상기 중앙 관리 시스템에게 이상 알림 메시지를 전달하며, 상기 이상 알림 메시지의 내용이 이상이 발생한 유틸리티의 종류에 따라 상이하다. 상기 인터페이스부는 추가로, 상기 유틸리티가 물인 PCWS인 경우, "PCW 공급저하", "장비 내부 PCW 누출", "장비 내부 순환 이상", "PCW 공급 온도 이상", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작; 상기 유틸리티가 물인 CW인 경우, "CW 공급 온도 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작; 상기 유틸리티가 가스인 Air, N2인 경우, "Air, N2 공급 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작; 그리고 상기 유틸리티가 가스인 CH4, O2인 경우, "CH4, O2 공급 이상", "교정 필요 여부 확인", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작 중 적어도 하나의 동작을 수행하도록 구성된다. According to one embodiment, an apparatus for monitoring utilities supplied to mechanical equipment is provided. The utility monitoring device includes a measuring unit that measures the amount of use of the utility, a determination unit that detects an abnormality in the mechanical equipment equipment based on a result of comparing the amount of use of the utility with a preset reference value, and the amount of the utility and And an interface unit for transmitting whether or not the machine facility equipment is abnormal to the machine facility equipment or a central management system that controls the machine facility equipment. Here, the utility is at least one of power, gas, and water, and the interface unit transmits an abnormality notification message to the machine equipment equipment or the central management system when an abnormality is detected by the determination unit, and the contents of the abnormality notification message It differs depending on the type of utility in which this error occurred. The interface unit may additionally include at least one of "PCW supply drop", "equipment internal PCW leakage", "equipment internal circulation abnormality", "PCW supply temperature abnormality", and "stop usage monitoring" when the utility is a water PCWS. Delivering an abnormality notification message including content corresponding to the message When the utility is water CW, transmitting an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "CW supply temperature abnormality", "equipment internal leakage", and "monitoring usage when stopped"; When the utility is the gas of Air or N2, delivering an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "Air, N2 supply abnormality", "Equipment internal leakage", and "Monitoring of usage when stopped"; And when the utility is gas CH4 or O2, an operation of delivering an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "CH4, O2 supply abnormality", "checking whether correction is necessary", and "monitoring usage when stopped" It is configured to perform at least one of the operations.

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상기 판단부는 상기 유틸리티의 사용량을 미리 설정된 시간단위로 적산하고, 상기 시간단위별 사용 요금을 산출할 수 있다.The determination unit may accumulate the usage of the utility in a preset time unit and calculate a usage fee for each time unit.

상기 인터페이스부는 상기 판단부에서 이상 검출시, 상기 기계설비 장비 또는 상기 중앙 관리 시스템에게 상기 사용 요금을 전달할 수 있다.When an abnormality is detected by the determination unit, the interface unit may transmit the usage fee to the machine facility equipment or the central management system.

상기 유틸리티 모니터링 장치는 상기 유틸리티의 사용량 및 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 화면을 통해 출력하는 디스플레이부를 더 포함할 수 있다.The utility monitoring device may further include a display unit for outputting the amount of the utility and whether or not the machine facility equipment is abnormal.

상기 측정부는 상기 유틸리티의 사용량을 측정하는 압력 센서, 유량 센서, 온도 센서, 전력량계를 포함할 수 있다.
상기 기계 설비 장치는 복수이고, 상기 유틸리티 모니터링 장치는 상기 복수의 기계설비 장비에 각각 공급되는 복수의 유틸리티를 각각 모니터링할 수 있다. The measurement unit may include a pressure sensor, a flow sensor, a temperature sensor, and an watt-hour meter for measuring the amount of use of the utility.
The mechanical equipment device may be plural, and the utility monitoring device may monitor a plurality of utilities respectively supplied to the plurality of mechanical equipment equipment.

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각각의 기계설비 장비에 연결되어 유틸리티 사용량을 모니터링함으로써, 현재, 일, 월에 대한 사용량 및 하나의 부품의 작동에 대한 사용량을 확인할 수 있고, 불필요한 작동을 최소화하여 에너지를 절약할 수 있다.By monitoring utility usage by being connected to each machine facility equipment, it is possible to check the current, daily, and monthly usage and usage for the operation of one part, and save energy by minimizing unnecessary operations.

또한, 기계설비 장비의 이상 여부를 감지함으로써, 기계설비 장비의 부품 이상 및 작업자 실수(예, 밸브 잠금 누락, 장비 미체결)를 판단할 수 있고, 안전 기능을 통해 기계설비 장비가 최대 효율을 출력할 수 있도록 한다.In addition, by detecting the abnormality of the machine equipment equipment, it is possible to determine the abnormality of parts of the machine equipment equipment and the operator's error (e.g., missing valve lock, equipment not fastened), and the machine equipment equipment outputs the maximum efficiency through the safety function. To be able to do it.

도 1은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 시스템의 블록도이다.
도 2는 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치와 기계설비 장비의 연결 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치의 블록도이다.
도 4는 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 방법을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 방법의 흐름도이다.
도 6은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치의 블록도이다.1 is a block diagram of a utility monitoring system according to an embodiment.
2 is a diagram illustrating a connection structure between a utility monitoring device and machine facility equipment according to an embodiment.
3 is a block diagram of a utility monitoring apparatus according to an embodiment.
4 is a graph for explaining a method of detecting an abnormality in a machine facility equipment.
5 is a flowchart of a method of detecting whether or not a machine facility equipment is abnormal.
6 is a block diagram of a utility monitoring apparatus according to an embodiment.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a certain part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

도 1은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 시스템의 블록도이다. 도 2는 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치와 기계설비 장비의 연결 구조를 나타내는 도면이다. 도 3은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치의 블록도이다. 도 4는 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 방법을 설명하기 위한 그래프이다. 도 5는 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 방법의 흐름도이다.1 is a block diagram of a utility monitoring system according to an embodiment. 2 is a diagram illustrating a connection structure between a utility monitoring device and machine facility equipment according to an embodiment. 3 is a block diagram of a utility monitoring apparatus according to an embodiment. 4 is a graph for explaining a method of detecting an abnormality in a machine facility equipment. 5 is a flowchart of a method of detecting whether or not a machine facility equipment is abnormal.

도 1을 참조하면, 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 시스템은, 유틸리티 모니터링 장치(100), 기계설비 장비(200), 및 중앙 관리 시스템(300), 관리 업체(400)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a utility monitoring system according to an embodiment may include a utility monitoring device 100, a machine facility equipment 200, a central management system 300, and a management company 400.

도 2를 참조하면, 유틸리티 모니터링 장치(100)는 한 실시예로서, 기계설비 장비(200)와 별개의 장치로서 복수의 기계설비 장비(200) 각각에 연결되거나 또는 기계설비 장비(200)의 부품으로서 기계설비 장비(200) 내부에 포함될 수 있다. Referring to FIG. 2, the utility monitoring device 100 is a device separate from the mechanical equipment 200 and is connected to each of a plurality of mechanical equipment 200 or a part of the mechanical equipment 200. It may be included in the mechanical equipment equipment 200 as a.

도 3을 참조하면, 유틸리티 모니터링 장치(100)는 측정부(110), 판단부(130), 인터페이스부(150), 디스플레이부(170)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the utility monitoring apparatus 100 includes a measurement unit 110, a determination unit 130, an interface unit 150, and a display unit 170.

측정부(110)는 기계설비 장비(200)에 공급되는 유틸리티의 사용량을 측정한다(S100). 유틸리티는 기계설비 장비(200)에 공급되는(또는 기계설비 장비(200)에서 사용되는) 모든 에너지원으로서, 전력, 가스, 물 등의 에너지일 수 있다.The measurement unit 110 measures the amount of utility used to be supplied to the machine facility equipment 200 (S100). The utility is any energy source supplied to the machine equipment 200 (or used in the machine equipment 200), and may be energy such as power, gas, water, and the like.

측정부(110)는 한 실시예로서 전력, 가스(예, 공기, N2, CH4, O2), 물(PCWS, PCWR, CW)의 사용량을 측정하는 압력 센서, 유량 센서, 온도 센서, 전력량계, 및 가스(예, 공기, N2, CH4, O2), 물(PCWS, PCWR, CW)의 누설(leak)을 탐지하는 누설 센서를 포함할 수 있다. 각종 센서를 통해 기계설비 장비(200)의 이상 여부를 정밀하게 측정할 수 있고, 정밀 측정을 통해 기계설비 장비(200)의 안전을 강화할 수 있다.As an embodiment, the measurement unit 110 is a pressure sensor, a flow sensor, a temperature sensor, which measures the usage of power, gas (eg, air, N 2 , CH 4 , O 2 ), and water (PCWS, PCWR, CW), It may include a watt-hour meter, and a leak sensor that detects a leak of gas (eg, air, N 2 , CH 4 , O 2 ), and water (PCWS, PCWR, CW). Through various sensors, it is possible to accurately measure whether or not the machine facility equipment 200 is abnormal, and the safety of the machine facility equipment 200 may be enhanced through precise measurement.

도 4 및 도 5를 참조하면, 판단부(130)는 유틸리티의 사용량과 미리 설정된 기준값을 비교한 결과에 기반하여 기계설비 장비의 이상 여부를 검출한다. Referring to FIGS. 4 and 5, the determination unit 130 detects whether or not there is an abnormality in the machine facility equipment based on a result of comparing the amount of utility use and a preset reference value.

판단부(130)는 한 실시예로서, 요금 산출부(131) 및 이상 검출부(132)를 포함할 수 있다.As an embodiment, the determination unit 130 may include a charge calculation unit 131 and an abnormality detection unit 132.

요금 산출부(131)는 유틸리티의 사용량을 미리 설정된 시간단위로 적산하고, 미리 설정된 시간단위별 사용 요금을 산출할 수 있다(S200). 미리 설정된 시간단위는 한 실시예로서 일, 월, 년 단위일 수 있다.The charge calculation unit 131 may accumulate the usage of the utility in a preset time unit and calculate a use charge for each preset time unit (S200). The preset time unit may be a day, month, or year unit as an example.

이상 검출부(132)는 한 실시예로서 유틸리티의 사용량과 미리 설정된 기준값이 동일하지 않은 경우(또는 유틸리티의 사용량이 미리 설정된 기준범위를 벗어나는 경우) 기계설비 장비(200)의 이상으로 판단하고, 반대의 경우 기계설비 장비(200)의 정상으로 판단할 수 있다(S300). 미리 설정된 기준값은 각 설비 장비 업체로부터 제공받아 저장된, 장비가 정상 동작할 때의 유틸리티 값일 수 있다.As an embodiment, the abnormality detection unit 132 determines that the amount of utility use and the preset reference value are not the same (or when the amount of utility use is out of the preset reference range), and determines that it is an abnormality of the machine equipment 200, and the opposite In this case, it may be determined that the machine facility equipment 200 is normal (S300). The preset reference value may be a utility value provided and stored from each facility equipment company when the equipment operates normally.

인터페이스부(150)는 유틸리티의 사용량 및 기계설비 장비(200)의 이상 여부를 기계설비 장비(200) 또는 기계설비 장비를 제어하는 중앙 관리 시스템(300)에게 전달한다(S400). 인터페이스부(150)는 한 실시예로서, 유틸리티의 사용량 및 기계설비 장비(200)의 이상 여부를 기계설비 장비(200)를 관리하는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다.The interface unit 150 transmits the amount of utility usage and whether the machine facility equipment 200 is abnormal to the machine facility equipment 200 or the central management system 300 that controls the machine facility equipment (S400). As an embodiment, the interface unit 150 may transmit utility usage and whether or not the machine facility equipment 200 is abnormal to the management company 400 that manages the machine facility equipment 200.

인터페이스부(150)는 판단부(130)에서 이상 검출시, 판단부(130)의 전달 명령에 따라 기계설비 장비(200) 또는 기계설비 장비(200)를 제어하는 중앙 관리 시스템(300)에게 이상 알림 메시지를 전달할 수 있다. 한 실시예로서, 이상 알림 메시지 전달시, 기계설비 장비(200)는 자체적으로 동작을 중단할 수 있고, 중앙 관리 시스템(300)은 이상이 발생한 장비의 동작을 중단시킬 수 있으며, 관리 업체(400)는 원격 또는 수동으로 이상이 발생한 장비의 동작을 중단시킬 수 있다. 인터페이스부(150)는 유선 또는 무선 통신을 수행하는 통신 장치일 수 있다.When an abnormality is detected by the determination unit 130, the interface unit 150 provides an abnormality to the machine equipment equipment 200 or the central management system 300 that controls the machine equipment equipment 200 according to a delivery command from the determination unit 130. Notification messages can be delivered. As an embodiment, upon delivery of an abnormality notification message, the machine equipment 200 may stop its own operation, and the central management system 300 may stop the operation of the equipment in which the abnormality occurred, and the management company 400 ) Can remotely or manually stop the operation of the faulty equipment. The interface unit 150 may be a communication device that performs wired or wireless communication.

인터페이스부(150)는 기계설비 장비(200)의 작동 상태를 판단부(130)에게 전달한다.The interface unit 150 transmits the operation state of the mechanical equipment 200 to the determination unit 130.

유틸리티 모니터링 장치(100)는 한 실시예로서, 미리 설정된 조건에 따라 기계설비 장비(200)와 인터페이스부(150)를 연결하거나 또는 연결하지 않을 수 있다.As an embodiment, the utility monitoring device 100 may or may not connect the machine equipment 200 and the interface unit 150 according to a preset condition.

디스플레이부(170)는 디스플레이부(170)는 기계설비 장비(200)에서 사용되는 모든 정보(예, 유틸리티의 사용량, 시간단위별 사용 요금) 및 기계설비 장비(200)의 이상 여부를 화면을 통해 출력할 수 있다. 사용자는 디스플레이부(170)를 통해 이상 검출 범위를 입력할 수 있다. 판단부(130)는 유틸리티의 사용량이 입력된 이상 검출 범위를 벗어나는 경우 기계설비 장비(200)의 이상으로 판단할 수 있다.The display unit 170, the display unit 170, all information used in the machine equipment equipment 200 (eg, utility usage, usage fee per hour) and whether the machine equipment equipment 200 is abnormal through a screen. Can be printed. The user may input an abnormality detection range through the display unit 170. The determination unit 130 may determine that the amount of utility used is out of the input abnormality detection range as an abnormality of the mechanical equipment 200.

판단부(130)는 한 실시예로서 PCWS의 유틸리티 이상 발생시 인터페이스부(150)를 통해 "PCW 공급저하", "장비 내부 PCW 누출", "장비 내부 순환 이상", "PCW 공급 온도 이상", "정지시 사용량 감시" 등의 메시지를 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. 판단부(130)는 한 실시예로서 CW의 유틸리티 이상 발생시 인터페이스부(150)를 통해 "CW 공급 온도 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 등의 메시지를 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. 판단부(130)는 한 실시예로서 Air, N2의 유틸리티 이상 발생시 인터페이스부(150)를 통해 "Air, N2 공급 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 등의 메시지를 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. 판단부(130)는 한 실시예로서 CH4, O2 유틸리티 이상 발생시 인터페이스부(150)를 통해 "CH4, O2 공급 이상", "검교정 필요 여부 확인", "정지시 사용량 감시" 등의 메시지를 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. 판단부(130)는 한 실시예로서 전력량 유틸리티 이상 발생시 인터페이스부(150)를 통해 "구동 파트 작동 이상(H/J, Pump 등)", "정지시 사용량 감시" 등의 메시지를 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. 판단부(130)는 한 실시예로서 요금 산출부(131)가 산출한 미리 설정된 시간단위별 전력 사용 요금을 인터페이스부(150)를 통해 기계설비 장비(200), 중앙 관리 시스템(300), 및/또는 관리 업체(400)에게 전달할 수 있다. The determination unit 130 is, as an embodiment, "PCW supply drop", "PCW leakage inside the equipment", "equipment internal circulation abnormality", "PCW supply temperature abnormality", "through the interface unit 150 when a utility error of the PCWS occurs. A message such as "monitoring usage when stopped" may be transmitted to the machine facility equipment 200, the central management system 300, and/or the management company 400. As an embodiment, the determination unit 130 transmits messages such as "CW supply temperature abnormality", "equipment internal leakage", and "monitoring usage when stopped" through the interface unit 150 when a utility error of CW occurs. ), the central management system 300, and/or the management company 400. As an embodiment, the determination unit 130 transmits messages such as "Air, N2 supply abnormality", "Equipment internal leakage", and "monitoring usage when stopped" through the interface unit 150 when an abnormality in the utility of Air and N2 occurs. It can be delivered to the equipment 200, the central management system 300, and/or the management company 400. As an embodiment, the determination unit 130 sends messages such as "CH4, O2 supply abnormality", "check whether calibration is necessary", and "monitoring usage when stopped" through the interface unit 150 when an error occurs in CH4 and O2 utilities. It can be delivered to the equipment 200, the central management system 300, and/or the management company 400. As an embodiment, the determination unit 130 transmits messages such as "drive part operation abnormality (H/J, Pump, etc.)" and "monitoring usage when stopped" through the interface unit 150 when an electric power utility abnormality occurs. 200), can be delivered to the central management system 300, and/or the management company 400. As an embodiment, the determination unit 130 calculates, as an embodiment, a machine facility equipment 200, a central management system 300, and a pre-set power usage fee for each time unit calculated by the rate calculation unit 131 through the interface unit 150. / Or can be delivered to the management company (400).

한 실시예로서 이상 알림 메시지는 유틸리티 문구가 통일된 어플리케이션을 통해 출력될 수 있다. 이를 통해, 장비 업체의 신속한 장비 점검 및 조치가 가능하다. 나아가, 신속한 점검 및 조치를 통해 더 큰 사고를 미연에 방지할 수 있다.As an embodiment, the abnormality notification message may be output through an application in which the utility phrase is unified. Through this, it is possible to quickly check and take measures for equipment manufacturers. Furthermore, it is possible to prevent a bigger accident in advance through quick inspection and action.

본 기재에서 기계설비 장비(200)는 한 실시예로서, 반도체 제조설비, 디스플레이 제조설비, 기판 제조설비 등의 자동화 공정을 요하는 모든 제조설비를 포함할 수 있다. 또한, 기계설비 장비(200)는 한 실시예로서, 각 제조설비별 생산제품을 제조하기 위해 순차적으로 거치는 모든 공정 설비의 장비들을 포함할 수 있다. 기계설비 장비(200)는 한 실시예로서, 메인 장비(Main Tool), 펌프(Vacuum Pump), 파우더 트랩(Powder Trap), 스크러버(scrubber) 등 일 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조공정은 기판상에 전기적인 회로를 형성하는 FAB(fabrication)공정, FAB공정에서 형성된 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정, 그리고 반도체 소자들을 각각 에폭시수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립공정 등으로 구분될 수 있고, 반도체 제조공정의 설비 장비는 스퍼터링 또는 레이저 융발과 같은 물리적 박막 증착 장치, 화학 기상 증착 장치 및 원자층 증착 장치와 같은 화학적 박막 증착 장치 또는 반도체 소자의 패터닝을 위한 습식 또는 건식 식각장치 등을 포함할 수 있다.In the present description, the machine equipment 200 may include, as an embodiment, all manufacturing equipment requiring an automated process such as a semiconductor manufacturing facility, a display manufacturing facility, and a substrate manufacturing facility. In addition, as an example, the machine facility equipment 200 may include equipment of all process facilities that are sequentially passed to manufacture a product for each manufacturing facility. The mechanical equipment 200 may be, for example, a main tool, a vacuum pump, a powder trap, a scrubber, or the like. For example, in the semiconductor manufacturing process, the FAB (fabrication) process to form an electrical circuit on the substrate, the EDS (electrical die sorting) process to check the electrical characteristics of the semiconductor devices formed in the FAB process, and the semiconductor devices are each epoxy It can be classified into a package assembly process to encapsulate and individualize with a resin, and the equipment equipment of the semiconductor manufacturing process is a physical thin film deposition device such as sputtering or laser melting, a chemical thin film deposition device such as a chemical vapor deposition device and an atomic layer deposition device. Alternatively, a wet or dry etching device for patterning a semiconductor device may be included.

중앙 관리 시스템(300)는 CMS(Central Management System)으로서, 인터페이스부(150)를 통해 기계설비 장비(200)의 현재, 일별, 월별 사용량, 사용 요금, 이상 여부를 수신할 수 있다.The central management system 300 is a CMS (Central Management System) and may receive the current, daily, monthly usage, usage fee, and abnormality of the machine equipment 200 through the interface unit 150.

도 6은 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치의 블록도이다.6 is a block diagram of a utility monitoring apparatus according to an embodiment.

도 6을 참조하면, 한 실시예에 따른 유틸리티 모니터링 장치는, 컴퓨터 시스템, 예를 들어 컴퓨터 판독 가능 매체로 구현될 수 있다. 도 6을 참조하면, 컴퓨터 시스템(600)은, 버스(620)를 통해 통신하는 프로세서(610), 메모리(630), 사용자 인터페이스 입력 장치(660), 사용자 인터페이스 출력 장치(670), 및 저장 장치(680) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 컴퓨터 시스템(600)은 또한 네트워크에 결합된 네트워크 인터페이스(690)를 포함할 수 있다. 프로세서(610)는 중앙 처리 장치(central processing unit, CPU)이거나, 또는 메모리(630) 또는 저장 장치(680)에 저장된 명령을 실행하는 반도체 장치일 수 있다. 메모리(630) 및 저장 장치(680)는 다양한 형태의 휘발성 또는 비휘발성 저장 매체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리는 ROM(read only memory)(631) 및 RAM(random access memory)(632)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the utility monitoring apparatus according to an embodiment may be implemented as a computer system, for example, a computer-readable medium. Referring to FIG. 6, the computer system 600 includes a processor 610, a memory 630, a user interface input device 660, a user interface output device 670, and a storage device that communicates through a bus 620. It may include at least one of (680). Computer system 600 may also include a network interface 690 coupled to a network. The processor 610 may be a central processing unit (CPU) or a semiconductor device that executes instructions stored in the memory 630 or the storage device 680. The memory 630 and the storage device 680 may include various types of volatile or nonvolatile storage media. For example, the memory may include a read only memory (ROM) 631 and a random access memory (RAM) 632.

본 기재의 실시예는 컴퓨터에 구현된 방법으로서 구현되거나, 컴퓨터 실행 가능 명령이 저장된 비일시적 컴퓨터 판독 가능 매체로서 구현될 수 있다. 한 실시예에서, 프로세서에 의해 실행될 때, 컴퓨터 판독 가능 명령은 본 기재의 적어도 하나의 양상에 따른 방법을 수행할 수 있다.The embodiments of the present disclosure may be implemented as a method embodied in a computer, or may be implemented as a non-transitory computer-readable medium storing computer-executable instructions. In one embodiment, when executed by a processor, computer-readable instructions may perform a method according to at least one aspect of the present disclosure.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements by those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

Claims (9)

기계설비 장비에 공급되는 유틸리티를 모니터링하는 장치로서,
상기 유틸리티의 사용량을 측정하는 측정부,
상기 유틸리티의 사용량과 미리 설정된 기준값을 비교한 결과에 기반하여 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 검출하는 판단부, 그리고
상기 유틸리티의 사용량 및 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 상기 기계설비 장비 또는 상기 기계설비 장비를 제어하는 중앙 관리 시스템에게 전달하는 인터페이스부
를 포함하며,
상기 유틸리티는 전력, 가스, 물 중 적어도 하나이고,
상기 인터페이스부는, 상기 판단부에서 이상 검출시, 상기 기계설비 장비 또는 상기 중앙 관리 시스템에게 이상 알림 메시지를 전달하며, 상기 이상 알림 메시지의 내용이 이상이 발생한 유틸리티의 종류에 따라 상이하며,
상기 인터페이스부는 추가로,
상기 유틸리티가 물인 PCWS인 경우, "PCW 공급저하", "장비 내부 PCW 누출", "장비 내부 순환 이상", "PCW 공급 온도 이상", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작;
상기 유틸리티가 물인 CW인 경우, "CW 공급 온도 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작;
상기 유틸리티가 가스인 Air, N2인 경우, "Air, N2 공급 이상", "장비 내부 누출", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작; 그리고
상기 유틸리티가 가스인 CH4, O2인 경우, "CH4, O2 공급 이상", "교정 필요 여부 확인", "정지시 사용량 감시" 중 적어도 하나에 대응하는 내용을 포함하는 이상 알림 메시지를 전달하는 동작
중 적어도 하나의 동작을 수행하도록 구성되는, 유틸리티 모니터링 장치.As a device for monitoring utilities supplied to mechanical equipment,
A measurement unit that measures the usage of the utility,
A determination unit that detects an abnormality in the mechanical equipment equipment based on a result of comparing the amount of use of the utility and a preset reference value, and
Interface unit for transmitting the amount of the utility and whether or not the machine facility equipment is abnormal to the machine facility equipment or a central management system that controls the machine facility equipment
Including,
The utility is at least one of power, gas, and water,
The interface unit, when an abnormality is detected by the determination unit, transmits an abnormality notification message to the machine equipment equipment or the central management system, and the contents of the abnormality notification message are different according to the type of utility in which the abnormality has occurred,
In addition, the interface unit,
When the utility is PCWS, which is water, it includes contents corresponding to at least one of "PCW supply drop", "PCW leak inside equipment", "equipment internal circulation abnormality", "PCW supply temperature abnormality", and "use monitoring when stopped" Delivering an abnormality notification message;
When the utility is water CW, transmitting an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "CW supply temperature abnormality", "equipment internal leakage", and "monitoring usage when stopped";
When the utility is the gas of Air or N2, delivering an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "Air, N2 supply abnormality", "Equipment internal leakage", and "Monitoring of usage when stopped"; And
When the utility is gas CH4 or O2, delivering an abnormality notification message including contents corresponding to at least one of "CH4, O2 supply error", "Check whether calibration is necessary", and "Monitoring usage when stopped"
The utility monitoring device is configured to perform at least one of the operations. 삭제delete 제1항에서,
상기 판단부는,
상기 유틸리티의 사용량을 미리 설정된 시간단위로 적산하고, 상기 시간단위별 사용 요금을 산출하고,
상기 인터페이스부는,
상기 판단부에서 이상 검출시, 상기 기계설비 장비 또는 상기 중앙 관리 시스템에게 상기 사용 요금을 전달하는, 유틸리티 모니터링 장치.In claim 1,
The determination unit,
Integrating the usage of the utility in a preset time unit, calculating the usage fee for each time unit,
The interface unit,
When the determination unit detects an abnormality, the utility monitoring device for transmitting the usage fee to the machine equipment or the central management system. 삭제delete 제1항에서,
상기 유틸리티의 사용량 및 상기 기계설비 장비의 이상 여부를 화면을 통해 출력하는 디스플레이부를 더 포함하는, 유틸리티 모니터링 장치.In claim 1,
The utility monitoring device further comprises a display for outputting the amount of the utility and whether or not the machine facility equipment is abnormal through a screen. 제1항에서,
상기 측정부는,
상기 유틸리티의 사용량을 측정하는 압력 센서, 유량 센서, 온도 센서, 전력량계를 포함하는, 유틸리티 모니터링 장치.In claim 1,
The measurement unit,
A pressure sensor, a flow sensor, a temperature sensor, and a watt hour meter for measuring the usage of the utility, a utility monitoring device. 제1항에 있어서,
상기 기계 설비 장치는 복수이고, 상기 유틸리티 모니터링 장치는 상기 복수의 기계설비 장비에 각각 공급되는 복수의 유틸리티를 각각 모니터링하는, 유틸리티 모니터링 장치.The method of claim 1,
The machine equipment device is plural, and the utility monitoring device monitors a plurality of utilities respectively supplied to the plurality of machine equipment equipment. 삭제delete 삭제delete
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