KR101486015B1 - Duct Weighing Monitoring System - Google Patents

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KR101486015B1
KR101486015B1 KR1020140164832A KR20140164832A KR101486015B1 KR 101486015 B1 KR101486015 B1 KR 101486015B1 KR 1020140164832 A KR1020140164832 A KR 1020140164832A KR 20140164832 A KR20140164832 A KR 20140164832A KR 101486015 B1 KR101486015 B1 KR 101486015B1
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duct
weight
dust
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measurement sensor
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KR1020140164832A
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Inventor
정명관
우명주
정은영
홍경모
김정진
Original Assignee
삼성물산 주식회사
주식회사 우진아이엔에스
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Abstract

The present invention relates to a duct weight monitoring system which quantitatively detects dust in an accumulated part of the dust to be exhausted among ducts serving as a path to exhaust dust generated during a manufacturing process of a semiconductor, and to remotely and directly monitor the detection result. The duct weight monitoring system according to the present invention includes: first to N-th weight measuring sensor units (110, 120, 130 : 100) installed at a sub-duct to which dust generated during a process of manufacturing the semiconductor is moved and a main duct to measure a weight of the dust, and transmit weight data corresponding to the weight of the dust to an outside at a preset period; a relay 200 to relay data provided from the first to N-th weight measuring sensor units (110, 120, 130 : 100) to a sever for managing the dust; a duct monitoring server (300) which monitors dust weight information accumulated in the sub-duct installed therein with a corresponding weight measuring sensor unit 100 and the main duct according to dust weight data from the first to N-th weight measuring sensor units (110, 120, 130 : 100) relayed by the relay (200).

Description

덕트 무게 실시간 모니터링 시스템{Duct Weighing Monitoring System}Duct weight real time monitoring system {Duct Weighing Monitoring System}

본 발명은 덕트 모니터링에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 누적되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to duct monitoring, and more particularly, to a duct monitoring method for quantitatively detecting dust in a portion where dust to be exhausted is accumulated in a duct as a passage for discharging dust generated in a semiconductor manufacturing process, The present invention relates to a duct monitoring system capable of monitoring a duct.

반도체 소자는 산화, 식각, 증착 및 포토 공정 등 여러 제조공정을 반복적으로 거쳐 제조되며 이들 공정에는 다양한 종류의 화학약품과 가스가 사용된다. Semiconductor devices are manufactured through repeated manufacturing processes such as oxidation, etching, deposition, and photolithography. Various types of chemicals and gases are used in these processes.

최근에는 기가(Giga)급 반도체 소자가 제조되고 있고, 이러한 고집적화에 다른 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)의 종류와 사용량이 증대되고 있다.In recent years, Giga class semiconductor devices have been manufactured, and the types and usage of other chemicals and gases have been increasing for such high integration.

공정에서 사용된 화학약품(Chemical)과 가스(Gas)는 적절한 처리장치를 거쳐 대기로 배출된다. 배기가스 중에는 화합물형태의 분진이 발생하며 그 중PFC/Toxic 배기 덕트에는 분진이 침적되어 덕트 내에 누적된다. 누적된 분진량이 증가하게 되면 정상적 배기를 방해하여 배기시스템이 정지하게된다. 이는 생산공정의 정지로 연결되어 막대한 손실을 초래할 수 있다. 본 기술은 누적되는 분진의 양을 실시간으로 모니터링하여 생산 공정에 미치는 영향을 최소화하기 위한 기술이다.
The chemical and gas used in the process are discharged to the atmosphere via appropriate processing equipment. Compound type dust is generated in the exhaust gas, dust accumulates in the PFC / Toxic exhaust duct and accumulated in the duct. If the cumulative amount of dust increases, normal exhaust is interrupted and the exhaust system is stopped. This can lead to a significant loss due to the shutdown of the production process. This technology is a technique for monitoring the accumulated amount of dust in real time to minimize the influence on the production process.

이하 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기로 한다.Hereinafter, a PFC / Toxic exhaust duct according to a related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a PFC / Toxic exhaust duct according to the related art.

종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트는 도 1에 나타낸 바와 같이, 반도체 공정 장비 중 하나인 챔버(10)에서 예를 들면 증착공정 후 챔버(10)내의 분진을 제거하기 위하여 진공펌프(20)에서 해당 분진을 펌핑하여 제1스크러버(30)로 펌핑한다.The PFC / Toxic exhaust duct according to the prior art, as shown in FIG. 1, is connected to a vacuum pump 20 in order to remove dust in the chamber 10, for example in a chamber 10, The dust is pumped and pumped to the first scrubber 30.

제1스크러버(30)는 해당 분진에 대한 스크러빙을 수행하는데, 스크러버는 일반적으로 세정 집진기라고도 한다. The first scrubber 30 performs scrubbing of the dust, which is also commonly referred to as a scrubber.

이러한 제1스크러버(30)로부터의 1차 필터링 후에도 집진되지 않은 분진들은 반도체 생산라인 곳곳에 설치된 서브덕트(40)와 연결된 메인덕트인 입상덕트(50)를 통해 제2스크러버(60)로 이동되어 2차 필터링된다. 이때, 종래의 경우 서브덕트(40)에는 차압계(70)가 설치되어 이동 중인 분진들이 서브덕트(40)나 입상덕트(50)에 쌓이는 경우 적절한 시기에 분진에 대한 클리닝을 수행한다.Dust that has not been collected even after the primary filtering from the first scrubber 30 is moved to the second scrubber 60 through the granular duct 50 which is the main duct connected to the sub duct 40 installed in the semiconductor production line Second filtered. In this case, in the conventional case, the differential pressure gauge 70 is installed in the sub-duct 40 to perform dust cleaning at a proper time when dusts being moved are accumulated in the sub duct 40 or the granular duct 50.

그러나 종래의 차압계의 경우에는 차압계의 정확도에 따라 정확도가 낮은 차압계의 경우 덕트내 분진이 적재되고, 그에 따라 덕트내의 압력이 감소하여 덕트 정압 헌팅(Hunting)이 발생한다. 그와 같은 경우에는 우선적으로는 배기효율이 감소된다. 심한 경우에는 배기문제로 인해 배기 공정이 갑자기 다운(Shut-down)되는 문제가 발생된다. 이와 같은 문제는 반도체 제조공정에 있어서 수율문제와도 관련이 되어 있으므로 배기공정의 갑작스런 다운 전에 분진에 대한 적절한 클리닝이 필요하다.
However, in the case of the conventional differential pressure gauge, dust in the duct is loaded in the case of a differential pressure gauge having a low accuracy in accordance with the accuracy of the differential pressure gauge, so that the pressure in the duct decreases, resulting in duct hunting. In such a case, the exhaust efficiency is reduced first. There is a problem that the exhaust process is suddenly shut-down due to exhaust problems. Such problems are also related to yield problems in the semiconductor manufacturing process, so proper cleaning of the dust prior to a sudden downhill of the exhaust process is needed.

대한민국 등록특허 10-0785883호(발명의 명칭 : 반도체 생산라인의 덕트 내부 모니터링 장치)Korean Patent No. 10-0785883 (Title of Invention: Duct Internal Monitoring Device of Semiconductor Production Line) 대한민국 등록특허 10-0711941호(발명의 명칭 : 폐가스 정화처리 장치)Korean Patent No. 10-0711941 (entitled "Waste Gas Purification Treatment Apparatus") 대한민국 등록특허 10-1144147호(발명의 명칭 : 자동압력대응방식의 전기전자식 디퓨져)Korean Patent No. 10-1144147 (entitled: Automatic Electronic Pressure Deflector Type Electronic Diffuser) 대한민국 공개특허 10-2005-0077995호(발명의 명칭 : 가스 히트 펌프를 이용하는 자동 공기 조화기 시스템 및그의 제어 방법)Korean Patent Laid-Open No. 10-2005-0077995 (entitled: Automatic air conditioner system using gas heat pump and control method thereof)

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에서 발생되는 분진을 배기하는 통로가 되는 덕트 중 배기되어야 할 분진이 집중되는 부분의 분진을 정량적으로 감지하고, 감지결과를 원격 및 즉시 모니터링이 가능하도록 한 덕트 모니터링 시스템을 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for quantitatively detecting dust in a portion where dust to be exhausted is concentrated among ducts, And to provide a duct monitoring system capable of remote and immediate monitoring of the detection result.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 덕트 모니터링 시스템은 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100); 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및 상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
In order to accomplish the above object, the duct monitoring system of the present invention is installed in a sub duct or a main duct in which dust generated during a semiconductor production process is moved, measures a weight, and transmits measured dust weight First to Nth weight measurement sensor units (110, 120, 130: 100); A repeater 200 for relaying data transmitted from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 to a server for managing dust; And the weight measurement sensor unit 100 installed in the main duct according to the dust weight data from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 relayed in the relay 200. [ And a duct monitoring server 300 for monitoring the dust weight information in real time and transmitting the monitored dust weight information to the administrator portable terminal 400.

여기서 상기 각각의 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성됨이 바람직하다.
Each weight measurement sensor unit 100 includes a weight measurement sensor 111 for measuring a first weight measurement weight, an identification information storage unit 112 for storing identification information of the weight measurement sensor 111, A wireless communication unit 113 for transmitting the dust weight data measured by the weight measuring sensor 111 to the relay 200 and a power supply unit 114 for supplying power to the weight measuring sensor unit 100 Do.

그리고 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성됨이 바람직하다.
Each of the weight measurement sensor units 100 may be formed in a sub-duct or a granular duct, and may be formed of a bolt-type load cell surrounding an outer circumferential surface of the sub-duct or the granular duct.

또한 덕트 모니터링 서버(300)는, 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와, 상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와, 상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와, 상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및 상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보 등을 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성됨이 바람직하다.
The duct monitoring server 300 further includes a weight measurement sensing unit DB (not shown) for storing dust removal information corresponding to identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130, duct position information, An administrator information storage unit 320 for storing the identification information of the manager portable terminal 400 managing the ducts and the first to third controllers 400 and 500, N weight measurement sensor units 110, 120 and 130 and receives the dust weight data of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 by the manager portable terminal 400 A comparison unit 340 for comparing the dust weight data transmitted through the communication unit 330 with the weight information for dust removal and a monitor (not shown) outside the duct monitoring server 300, 510, an input device 520, and an alarm unit 530, And displays the data required for monitoring on the monitor 510. The identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130 input from the input device 520, A connection unit 350 for receiving dust removal information according to duct position information and dust weight and for alarming information about a duct requiring dust removal through the alarm unit 530 and the duct monitoring server 300, The control unit 340 compares the dust weight data through the comparison unit 340 and controls the communication unit 330 to transmit dust weight data information and dust removal request information for each duct to the manager portable terminal 400, And a control unit 360 for controlling the alarm unit of the input / output device 500 to output an alarm through the connection unit 350.

그리고 제어부(360)는 상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 자주 전송하도록 설정되는 것이 바람직하다.
According to the result of the comparison in the comparison unit 340, the control unit 360 frequently transmits the comparison result to the manager portable terminal 400 as compared with the case where the dust removal is close to the weight required to remove the dust, .

그리고 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법은, 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100); 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)는 설정된 주기로 상기 서브 덕트나 메인 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 중계기(200)로 송신하는 단계(S120); 상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터 무게 데이터를 수신한 덕트 모니터링 서버(300)가 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
In order to accomplish the above object, the present invention provides a duct monitoring method using a duct monitoring system, comprising the steps of: measuring a weight of a duct installed in a main duct or a sub duct in which dust generated during a semiconductor manufacturing process is moved; (S100) of installing first to Nth weight measurement sensor units (110, 120, 130: 100) to transmit data to the outside at a predetermined cycle. The first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130 transmit the weight data of the dust present in the sub duct or the main duct to the repeater 200 at a predetermined period (S120); The duct monitoring server 300 receiving the weight data from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 relayed by the repeater 200 detects the weight data of the sub- And monitoring the accumulated dust weight information in the main duct in real time (S150).

여기서 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100) 후에 입력장치(520)를 통해 상기 각각의 무게측정센서부(100)의 설치정보를 상기 덕트 모니터링 서버(300)에 입력하여 저장하는 단계(S110)를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
After installing the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130: 100 (S100), installation information of each weight measurement sensor unit 100 is input through the input unit 520, (S110) of inputting and storing in the duct monitoring server (300).

그리고 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는 상기 분진의 무게 데이터가 중계기(200)로 송신되면(S120), 상기 중계기(200)는 덕트의 분진 무게 데이터를 상기 덕트 모니터링 서버(300)로 전송하는 단계(S130)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거 무게 정보와 비교하는 단계(S140)를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
In step S150, the weight data of the dust is transmitted to the repeater 200 (S120). The repeater 200 monitors the dust weight data of the duct to the duct monitoring server 300, The comparison unit 340 of the duct monitoring server 300 transmits the dust weight data transmitted through the communication unit 330 to the weight measurement sensing unit DB 310, (S140). ≪ / RTI >

한편 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는 상기 덕트 모니터링 서버(300)가 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 상기 덕트를 관리하는 관리자의 관리자 휴대단말(400)로 전송하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
Meanwhile, in step S150 of monitoring the dust weight information in real time, the duct monitoring server 300 outputs the comparison data to the monitor 510 and transmits the comparison data to the manager portable terminal 400 of the manager managing the duct And the like.

그리고 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150) 다음에, 상기 덕트 모니터링 서버(300)는 분진제거가 필요한 덕트가 있다면(S160), 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력하는 것이 바람직하다.
In step S150, the duct monitoring server 300 transmits the duct information, which is required to remove dust, to the manager portable terminal 400 in step S160. And displays the alarm on the monitor 510, and outputs an alarm through the alarm unit 530.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

첫째, 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 실시간으로 모니터링 할 수 있으므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.First, accurate measurement can be performed by measuring the weight of dust by using a weighing sensor, and it can be monitored in real time from a remote location, so preemptive dust can be removed, preventing abrupt stop of semiconductor manufacturing process, The yield can be improved.

둘째, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.
Second, real-time monitoring and alarm system through wireless communication can be constructed, minimizing dust management manpower.

도 1 종래 기술에 따른 PFC/Toxic 배기 덕트를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.1 is a view for explaining a conventional PFC / Toxic exhaust duct.
2 is a view for explaining a duct monitoring system according to the present invention.
3 is a block diagram illustrating a duct monitoring system shown in FIG.
4 is a flowchart illustrating a monitoring method using a duct monitoring system according to the present invention.

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

아울러, 본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며 이 경우는 해당되는 발명의 설명부분에서 상세히 그 의미를 기재하였으므로, 단순한 용어의 명칭이 아닌 용어가 가지는 의미로서 본 발명을 파악하여야 함을 밝혀두고자 한다. 또한 실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고, 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.
In addition, although the term used in the present invention is selected as a general term that is widely used at present, there are some terms selected arbitrarily by the applicant in a specific case. In this case, since the meaning is described in detail in the description of the relevant invention, It is to be understood that the present invention should be grasped as a meaning of a term that is not a name of the present invention. Further, in describing the embodiments, descriptions of technical contents which are well known in the technical field to which the present invention belongs and which are not directly related to the present invention will be omitted. This is for the sake of clarity of the present invention without omitting the unnecessary explanation.

도 2는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2에 나타낸 덕트 모니터링 시스템을 설명하기 위한 블록 구성도이다. FIG. 2 is a view for explaining a duct monitoring system according to the present invention, and FIG. 3 is a block diagram for explaining a duct monitoring system shown in FIG.

본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 반도체 생산라인에서 반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동 중 누적될만한 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 분진의 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)와, 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 중계하는 중계기(200)와, 중계기(200)에서 중계된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 필요한 경우 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300)로 구성된다.As shown in FIGS. 2 and 3, the duct monitoring system according to the present invention is installed in a sub duct or a main duct in which dust generated during a semiconductor production process in a semiconductor production line is accumulated during movement, The first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130: 100 for transmitting the dust weight to the outside at set intervals with the weight data as weight data, and the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 A weight sensor unit 100 according to dust weight data from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 relayed by the repeater 200, a relay 200 for relaying the transmitted data, And a duct monitoring server 300 that monitors the accumulated dust weight information accumulated in the sub duct or the main duct installed in the duct monitor server 300 in real time and transmits the monitored information to the administrator portable terminal 400 which manages the duct when necessary.

여기서 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 센서부(110)를 예로 하여 상세히 설명하면 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와 무게측정 센서의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성된다. 이러한 무게측정센서부(100)는 특별히 한정할 필요는 없지만 서브 덕트나 입상 덕트에 설치될 수 있고, 덕트의 외주면을 둘러싸는 형태의 볼트 타입 로드 셀을 이용하여 설치할 수 있다.The weight measurement sensor unit 100 includes a weight measurement sensor 111 for measuring weight and an identification information storage unit 112 for storing identification information of the weight measurement sensor, A wireless communication unit 113 for transmitting the dust weight data measured by the weight measuring sensor 111 to the repeater 200 and a power supply unit 114 for supplying power to the weight measuring sensor unit 100. The weight measurement sensor unit 100 may be installed in a sub duct or a granular duct, but may be installed using a bolt type load cell that surrounds the outer circumferential surface of the duct.

그리고 덕트 모니터링 서버(300)는 무게측정센싱부 DB(310)와, 관리자 정보 저장부(320)와, 통신부(330)와, 비교부(340)와, 접속부(350) 및 제어부(360)로 구성된다.The duct monitoring server 300 includes a weight measurement sensing unit DB 310, an administrator information storage unit 320, a communication unit 330, a comparison unit 340, a connection unit 350, and a control unit 360 .

무게측정센싱부 DB(310)는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장한다. The weight measurement sensing unit DB 310 stores dust removal information according to the identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130, duct position information, and dust weight.

관리자 정보 저장부(320)는 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400)패드, 스마트 폰 등)의 식별정보를 저장한다.The manager information storage unit 320 stores identification information of a manager portable terminal 400 pad, a smart phone, and the like that manages the duct.

통신부(330)는 중계기(200)와 통신하여 중계기(200)로부터 전송된 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 관리자 휴대 단말(400)로 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송한다. 이때, 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 덕트 위치 정보 역시 함께 전송될 수 있다.The communication unit 330 communicates with the repeater 200 to receive dust weight data of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 transmitted from the repeater 200 and transmits the dust weight data to the manager portable terminal 400 And transmits the dust weight data of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130. At this time, the duct position information of the weight measuring sensor unit 100 may also be transmitted together.

비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정센싱부 DB(310)의 분진 제거 정보의 데이터와 비교한다.The comparing unit 340 compares the dust weight data transmitted through the communication unit 330 with the data of the dust elimination information of the weight measurement sensing unit DB 310.

접속부(350)는 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 모니터(510)에 표시하거나, 입력장치(520)에서 입력되는 정보(제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보)를 입력받거나, 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보한다. The connection unit 350 is connected to the input / output device 500 including the monitor 510, the input device 520 and the alarm unit 530 outside the duct monitoring server 300 to transmit data necessary for monitoring to the monitor 510 Or information input from the input device 520 (identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130, duct position information and dust removal information according to dust weight) (530) to alert the user about ducts that require dust removal.

제어부(360)는 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하여 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 통신부(330)를 통해 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보 등을 전송하도록 제어하며, 접속부(350)를 통해 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 한다. 이때, 제어부(360)는 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 관리자 휴대 단말(400)로 비교결과를 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다. 그와 같은 경우 관리자는 다른 업무에 집중하다가 필요한 경우에는 자주 데이터를 받아 볼 수 있다.The control unit 360 controls the duct monitoring server 300 to compare the dust weight data and transmits dust weight data information and dust removal request information for each duct to the administrator portable terminal 400 through the communication unit 330 And outputs an alarm to the alarm unit of the input / output device 500 through the connection unit 350. At this time, the control unit 360 transmits the comparison result to the manager portable terminal 400 relatively frequently, as compared with the case where the dust removal is close to the weight required to remove dust according to the comparison result in the comparison unit 340 Can be set. In such cases, the administrator can concentrate on other tasks and, if necessary, receive frequent data.

이러한 구성에 따라 분진의 무게 측정을 무게측정 센서를 이용하여 측정함으로써 정확한 측정이 가능하고, 이를 원격지에서 서버 관리자가 실시간으로 모니터링 하거나, 알람부(530)를 통해 알 수 있고, 관리자 휴대 단말(400)로 분진 제거를 요청하므로 선제적인 분진 제거가 가능하여 반도체 제조 공정의 갑자스러운 정지를 방지하여 생산안정성과 수율을 향상시킬 수 있다.According to such a configuration, accurate measurement can be performed by measuring the weight of dust by using a weight measuring sensor, and it can be monitored in real time by a server manager in a remote place, through an alarm unit 530, ), It is possible to remove the pre-existing dust, thereby preventing the abrupt stop of the semiconductor manufacturing process, thereby improving the production stability and yield.

또한, 무선통신을 통한 실시간 모니터링 및 경보 시스템을 구축할 수 있으므로 분진관리 인력을 최소화할 수 있다.In addition, real-time monitoring and alarm system through wireless communication can be constructed, so dust management manpower can be minimized.

도 4는 본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a monitoring method using a duct monitoring system according to the present invention.

본 발명에 따른 덕트 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법은 도 4에 나타낸 바와 같이, 덕트에 무게측정 센서부를 설치한다(S100).In the monitoring method using the duct monitoring system according to the present invention, as shown in FIG. 4, a weight measurement sensor unit is installed in a duct (S100).

이어 입력장치(520)를 통해 무게측정센서부(100)의 설치정보를 덕트모니터링 서버(300)에 저장한다. 이러한 설치정보로는 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 포함한다.The installation information of the weight measurement sensor unit 100 is stored in the duct monitoring server 300 through the input device 520. Such installation information includes identification information, duct position information, and dust removal information according to dust weight.

그 다음 무게측정 센서부(100)에서 덕트에 존재하는 분진의 무게를 측정하여 중계기(200)로 송신한다(S120)Then, the weight measuring sensor unit 100 measures the weight of the dust present in the duct and transmits it to the repeater 200 (S120)

그러면 중계기(200)는 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 덕트 모니터링 서버(300)로 전송한다(S130).Then, the repeater 200 transmits the weight data of the dust present in the duct to the duct monitoring server 300 (S130).

덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진의 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 데이터와 비교한다(S140).The comparing unit 340 of the duct monitoring server 300 compares the weight data of the dust transmitted through the communication unit 330 with the weight data for removing the dust stored in the weight measurement sensing unit DB 310 at step S140.

덕트 모니터링 서버(300)의 제어부(360)는 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 관리자 휴대단말(400)로 전송한다(S150). 이때, 모니터(510)에는 실시간 정보를 표시하고, 관리자 휴대단말(400)로는 설정된 주기에 따라 전송할 수 있다. 여기서 설정된 주기는 비교 데이터에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 가까워질 수도록 분진 제거에 여유가 있는 무게보다 상대적으로 자주 전송하도록 설정할 수 있다. The control unit 360 of the duct monitoring server 300 outputs the comparison data to the monitor 510 and transmits the comparison data to the administrator portable terminal 400 (S150). At this time, real time information is displayed on the monitor 510, and the manager portable terminal 400 can transmit the real time information according to the set period. The period set here can be set to be relatively frequent than the weight to allow for dust removal so that the dust removal can be close to the weight required to remove dust according to the comparison data.

그리고 제어부(360)는 분진제거가 필요한 덕트가 있는가를 판단한다(S160).Then, the control unit 360 determines whether there is a duct that needs dust removal (S160).

판단결과(S160) 있다면 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력한다.
If it is determined in step S160 that the dust is to be removed, the duct information requiring dust removal is transmitted to the manager portable terminal 400, displayed on the monitor 510, and an alarm is output through the alarm unit 530. [

본 발명을 첨부된 도면과 함께 설명하였으나, 이는 본 발명의 요지를 포함하는 다양한 실시 형태 중의 하나의 실시예에 불과하며, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하는 데에 그 목적이 있는 것으로, 본 발명은 상기 설명된 실시예에만 국한되는 것이 아님은 명확하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 하기의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서의 변경, 치환, 대체 등에 의해 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함될 것이다. 또한, 도면의 일부 구성은 구성을 보다 명확하게 설명하기 위한 것으로 실제보다 과장되거나 축소되어 제공된 것임을 명확히 한다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it should be understood that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Obviously, the invention is not limited to the embodiments described above. Accordingly, the scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas which fall within the scope of equivalence by alteration, substitution, substitution, Range. In addition, it should be clarified that some configurations of the drawings are intended to explain the configuration more clearly and are provided in an exaggerated or reduced size than the actual configuration.

100, 110, 120, 130 : 제1 내지 제N 무게측정 센서부
200 : 중계기 300 : 덕트 모니터링 서버
310 : 무게측정 센싱부 DB 320 : 관리자 정보 저장부
330 : 통신부 340 : 비교부
350 : 접속부 360 : 제어부
400 : 관리자 휴대 단말 500 : 입출력장치
510 : 모니터 520 : 입력장치
530 : 알람부100, 110, 120, and 130: First to Nth weighing sensor units
200: Repeater 300: Duct monitoring server
310: Weight measurement sensing unit DB 320: Manager information storage unit
330: communication unit 340: comparison unit
350: connection 360:
400: administrator portable terminal 500: input / output device
510: monitor 520: input device
530:

Claims (10)

반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100);
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)에서 송신된 데이터를 분진을 관리하는 서버로 중계하는 중계기(200); 및
상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터의 분진 무게 데이터에 따라 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하고, 관리자 휴대 단말(400)로 전송하는 덕트 모니터링 서버(300);를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
First to Nth weight measurement sensor units 110 and 120 that are installed in a sub duct or main duct through which dust generated during the semiconductor production process is moved and measure the weight and transmit the measured dust weight to the outside at set intervals with weight data, , 130: 100);
A repeater 200 for relaying data transmitted from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 to a server for managing dust; And
The weight measurement sensor unit 100 is installed in the sub ducts or the main ducts installed with the weight measurement sensor unit 100 according to the dust weight data from the first to Nth weight measurement sensor units 110, And a duct monitoring server (300) monitoring the dust weight information in real time and transmitting the dust weight information to the manager portable terminal (400).
제1항에 있어서,
상기 각각의 무게측정센서부(100)는 제1무게측정 무게를 측정하는 무게측정센서(111)와, 상기 무게측정센서(111)의 식별정보를 저장하는 식별정보 저장부(112)와, 상기 무게측정센서(111)에서 측정된 분진 무게 데이터를 상기 중계기(200)로 전송하는 무선통신부(113)와, 상기 무게측정 센서부(100)의 전원을 공급하는 전원부(114)로 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
Each weight measurement sensor unit 100 includes a weight measurement sensor 111 for measuring a first weight measurement weight, an identification information storage unit 112 for storing identification information of the weight measurement sensor 111, A wireless communication unit 113 for transmitting the dust weight data measured by the weight measurement sensor 111 to the relay 200 and a power supply unit 114 for supplying power to the weight measurement sensor unit 100. [ Duct monitoring system.
제2항에 있어서,
상기 각각의 무게측정센서부(100)는 서브 덕트나 입상 덕트에 설치되고, 상기 서브 덕트나 입상 덕트의 외주면을 둘러싼 볼트 타입 로드 셀로 형성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
3. The method of claim 2,
Wherein each of the weight measuring sensor units 100 is installed in a sub duct or a granular duct and is formed of a bolt type load cell surrounding an outer circumferential surface of the sub duct or the granular duct.
제1항에 있어서,
상기 덕트 모니터링 서버(300)는,
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 저장하는 무게측정센싱부 DB(310)와,
상기 덕트를 관리하는 관리자 휴대 단말(400) 식별정보를 저장하는 관리자 정보 저장부(320)와,
상기 중계기(200)와 통신하여 상기 중계기(200)로부터 전송된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 수신하고, 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 분진 무게 데이터를 전송하는 통신부(330)와,
상기 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 기 저장된 분진 제거를 위한 무게 정보와 비교하는 비교부(340)와,
상기 덕트 모니터링 서버(300) 외부의 모니터(510), 입력장치(520) 및 알람부(530)로 구성되는 입출력장치(500)와 연결되어 모니터링에 필요한 데이터를 상기 모니터(510)에 표시하거나, 상기 입력장치(520)에서 입력되는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)의 식별정보와 덕트 위치정보 및 분진 무게에 따른 분진 제거 정보를 입력받고, 상기 알람부(530)를 통해 분진 제거가 필요한 덕트에 대한 정보를 경보하는 접속부(350) 및
상기 덕트 모니터링 서버(300)를 제어하며, 상기 비교부(340)를 통해 분진 무게 데이터를 비교하도록 하고, 상기 통신부(330)를 통해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 덕트별 분진 무게 데이터 정보와 분진 제거 요청 정보를 전송하도록 제어하며, 상기 접속부(350)를 통해 상기 입출력장치(500)의 알람부로 경보를 출력하도록 제어하는 제어부(360)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
The method according to claim 1,
The duct monitoring server (300)
A weight measurement sensor DB 310 for storing dust removal information according to the identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130, duct position information and dust weight,
An administrator information storage unit 320 for storing the identification information of the administrator portable terminal 400 managing the duct,
The first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 transmitted from the repeater 200 in communication with the repeater 200 to receive dust weight data of the first to Nth weight measurement sensor units 110, A communication unit 330 for transmitting dust weight data of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130,
A comparison unit 340 for comparing the dust weight data transmitted through the communication unit 330 with weight information for preliminarily storing dust,
Output unit 500 including a monitor 510, an input unit 520 and an alarm unit 530 outside the duct monitoring server 300 to display data necessary for monitoring on the monitor 510, The alarm unit 530 receives the dust removal information according to the identification information of the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 and the duct position information and the dust weight inputted from the input device 520, A connection part 350 for alarming information on a duct which requires dust removal through
And controls the duct monitoring server 300 to compare the dust weight data through the comparison unit 340. The dust weight data information for each duct and the dust And a control unit (360) for controlling the output of alarm information to the alarm unit of the input / output device (500) through the connection unit (350).
제4항에 있어서,
상기 제어부(360)는 상기 비교부(340)에서의 비교결과에 따라 분진 제거가 필요한 무게에 근접할수록 상기 분진 제거에 여유가 있는 경우에 비해 상기 관리자 휴대 단말(400)로 상기 비교결과를 전송하는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템.
5. The method of claim 4,
The control unit 360 transmits the comparison result to the manager portable terminal 400 as compared with the case where there is room for the dust removal as the weight closer to the weight required to remove dust is provided according to the comparison result of the comparison unit 340 The duct monitoring system comprising:
반도체 생산 공정 중 발생된 분진이 이동되는 서브 덕트나 메인 덕트에 설치되어 무게를 측정하고 측정된 분진 무게를 무게 데이터로 하여 설정된 주기로 외부로 송신하는 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100);
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)는 설정된 주기로 상기 서브 덕트나 메인 덕트에 존재하는 분진의 무게 데이터를 중계기(200)로 송신하는 단계(S120);
상기 중계기(200)에서 중계된 상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130)로부터 무게 데이터를 수신한 덕트 모니터링 서버(300)가 해당 무게측정 센서부(100)가 설치된 서브 덕트나 메인 덕트에 누적된 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법
First to Nth weight measurement sensor units 110 and 120 that are installed in a sub duct or main duct through which dust generated during the semiconductor production process is moved and measure the weight and transmit the measured dust weight to the outside at set intervals with weight data, , 130: 100) (S100);
The first to Nth weight measurement sensor units 110, 120, and 130 transmit the weight data of the dust present in the sub duct or the main duct to the repeater 200 at a predetermined period (S120);
The duct monitoring server 300 receiving the weight data from the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130 relayed by the repeater 200 detects the weight data of the sub- (S150) monitoring the dust weight information accumulated in the main duct in real time (S150). The duct monitoring method using the duct monitoring system
제6항에 있어서,
상기 제1 내지 제N 무게측정 센서부(110, 120, 130 : 100)를 설치하는 단계(S100) 후에 입력장치(520)를 통해 상기 각각의 무게측정센서부(100)의 설치정보를 상기 덕트 모니터링 서버(300)에 입력하여 저장하는 단계(S110)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
The method according to claim 6,
After installing the first to Nth weight measurement sensor units 110, 120 and 130: 100 (S100), installation information of each weight measurement sensor unit 100 is input to the duct The method of claim 1, further comprising the step of: (S110) inputting and storing the input data in the monitoring server (300).
제6항에 있어서,
상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는
상기 분진의 무게 데이터가 중계기(200)로 송신되면(S120), 상기 중계기(200)는 덕트의 분진 무게 데이터를 상기 덕트 모니터링 서버(300)로 전송하는 단계(S130)와, 상기 덕트 모니터링 서버(300)의 비교부(340)는 통신부(330)를 통해 전송된 분진 무게 데이터를 무게측정 센싱부 DB(310)에 기 저장된 분진 제거 무게 정보와 비교하는 단계(S140)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
The method according to claim 6,
The step S150 of monitoring the dust weight information in real time
If the weight data of the dust is transmitted to the repeater 200 in step S120, the repeater 200 transmits the dust weight data of the duct to the duct monitoring server 300 in step S130. The comparison unit 340 of the control unit 300 further includes a step of comparing the dust weight data transmitted through the communication unit 330 with the dust removal weight information previously stored in the weight measurement sensing unit DB 310 A duct monitoring method using a duct monitoring system.
제6항에 있어서,
상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150)는
상기 덕트 모니터링 서버(300)가 비교데이터를 모니터(510)에 출력하고, 상기 덕트를 관리하는 관리자의 관리자 휴대단말(400)로 전송하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
The method according to claim 6,
The step S150 of monitoring the dust weight information in real time
The duct monitoring server 300 may further include a step of outputting the comparison data to the monitor 510 and transmitting the comparison data to the manager portable terminal 400 of the manager managing the duct. Duct monitoring method.
제9항에 있어서,
상기 분진무게 정보를 실시간으로 모니터링하는 단계(S150) 다음에,
상기 덕트 모니터링 서버(300)는 분진제거가 필요한 덕트가 있다면(S160), 분진 제거가 필요한 덕트 정보를 관리자 휴대 단말(400)로 전송하고, 모니터(510)에 표시하며, 알람부(530)를 통해 경보를 출력하는 것을 특징으로 하는 덕트 모니터링 시스템을 이용한 덕트 모니터링 방법.
10. The method of claim 9,
Monitoring the dust weight information in real time (S150)
The duct monitoring server 300 transmits duct information that requires dust removal to the manager portable terminal 400 and displays the duct information on the monitor 510 and outputs the alarm unit 530 And outputting an alarm through the duct monitoring system.
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