KR101950891B1 - RF Power Coupler - Google Patents

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김윤철
한재은
김동수
최병호
박선순
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주식회사 다원시스
주식회사 다원메닥스
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Abstract

The present invention is characterized in that an RF power coupler is divided into modules and designed and assembled to facilitate assembly and disassembly in a structure of an RF power coupler connecting an RF power source and cavity for charged particle acceleration, wherein modules are a second coupler module including an RF window, a first coupler module including a loop coupler, and a third coupler module to which an RF power source is connected. Further, the RF power coupler is provided with a structure for actively cooling an RF window portion, which is the most problematic, on an outer circumferential surface and inner surface, thereby preventing failure and improving the operating characteristics.

Description

RF 파워 커플러{RF Power Coupler}RF power coupler

본 발명은 붕소 중성자 포획 치료(BNCT: Boron Neutron Capture Therapy)에 사용되는 RF 파워 커플러 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 고출력 및 높은 충격 계수의 고주파 출력에서도 쉽게 탈부착할 수 있는 RF 파워 커플러에 관한 것이다. RF 파워 커플러 장치는 고출력의 고주파를 가속 공동에 전송하는 장치이다. The present invention relates to an RF power coupler device for use in boron neutron capture therapy (BNCT). And more particularly, to an RF power coupler which can easily attach and detach even at a high output and high frequency output with a high impact coefficient. The RF power coupler device is a device that transmits a high output high frequency to the acceleration cavity.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The contents described in this section merely provide background information on the present embodiment and do not constitute the prior art.

RF 파워 커플러는 매우 높은 출력의 고주파 파워를 하전 입자(charged particle) 가속을 위해 빔 진행 방향으로 복수로 배치된 캐비티(cavity) 중 일부 캐비티에 전달하기 위한 일종의 도파관이다. RF 파워 커플러는 매우 높은 주파수와 파워를 전달하기 때문에 RF 신호 경로의 부품이 매우 높은 온도로 상승할 수 있고, 높은 절연이 요구되며, 캐비티 측 진공도가 매우 높기 때문에 진공 차폐 성능도 뛰어나야 한다. An RF power coupler is a kind of waveguide for transmitting a very high output high frequency power to some cavities arranged in a plurality of cavities in the beam traveling direction for charged particle acceleration. Because RF power couplers carry very high frequencies and power, parts of the RF signal path can rise to very high temperatures, require high isolation, and have very good vacuum shielding performance due to the very high degree of vacuum on the cavity side.

RF 파워 커플러의 주요 구성 요소 중 RF 윈도우는 진공 영역과 대기 영역을 차폐하며 RF 신호를 전달하는 피드 스루(feedthrough)에 해당하며, 높은 주파수의 신호가 부도체를 관통하기 때문에 발열이 심하다. 또한, 진공 측의 노출면에서는 하전 입자의 방출 및 충돌에 의한 방전 파괴(discharge breakdown) 등에 의해 손상될 수 있다. 이는 멀티팩팅(multipacting)이라고 표현되기도 하며, RF 신호의 파워가 매우 높기 때문에 멀티팩팅이 발생하면 눈사태효과(avalanche) 등에 의해 높은 에너지의 방전이 내부에서 발생하여 내부가 파손되고, 이로 인해 RF 신호가 정상적으로 전달되지 않거나, 내부 표면의 파손으로 빔 라인, 통상 10-7 torr 이하인 캐비티 내부 공간의 진공도 유지가 곤란해질 수 있다. Among the major components of the RF power coupler, the RF window corresponds to a feedthrough that shields the vacuum and atmospheric regions and carries the RF signal, and the high frequency signals pass through the insulator and are very hot. Further, it may be damaged by discharge breakdown due to discharge and collision of charged particles on the exposed surface on the vacuum side. Since the power of the RF signal is very high, when a multifacting occurs, a high energy discharge is generated inside due to the avalanche or the like, and the inside is broken. As a result, an RF signal It may not be normally transferred or the inner surface may be damaged, which may make it difficult to maintain the degree of vacuum of the cavity inside the beam line, usually 10 -7 torr or less.

또한, 다수의 하전 입자 가속기를 제작하는 경우, 가공 오차, 조립 오차 등으로 인하여 설계 변경된(튜닝 된) RF 파워 커플러로 대체될 필요도 종종 발생한다. In addition, when a plurality of charged particle accelerators are fabricated, it often needs to be replaced by a RF power coupler that has been designed (tuned) due to machining errors, assembly errors, and the like.

또한, RF 파워 커플러는 영구적인 부품이 아니며, 정기적인 교체가 필요하다. In addition, the RF power coupler is not a permanent component and requires regular replacement.

상기와 같이 RF 파워 커플러는 설치의 용이성, 유지 보수의 용이성이 요구된다. 교체가 요구되는 내부 부품은 상황에 따라 다를 수 있으며, 일반적인 RF 파워 커플러의 설계는 부분 교체에 매우 많은 시간이 소요되는 구조로 되어 있어, 본 발명과 같이 붕소 중성자 포획 치료에 사용되는 상용 시스템은 보다 유지 보수가 용이할 것이 요구된다. 본 발명은 RF 파워 커플러에서 가장 문제가 많이 발생하는 RF윈도우 부분을 적극적으로 냉각하는 구조를 구비하고, 쉽게 탈부착할 수 있도록 함으로써 유지 보수가 매우 용이한 RF 파워 커플러를 제공하는 것이 목적이다. As described above, the RF power coupler is required to have ease of installation and ease of maintenance. The internal components required to be replaced may vary depending on the situation, and the design of a typical RF power coupler is structured to take a very long time for partial replacement. Thus, the commercial system used for capturing boron neutrons, as in the present invention, It is required that maintenance is easy. It is an object of the present invention to provide an RF power coupler which has a structure for positively cooling an RF window portion which is most problematic in an RF power coupler and which can be easily detached and attached to thereby easily maintain maintenance.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, RF 파워 소스와 하전 입자 가속용 캐비티(cavity)를 연결하는, 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러는, 캐비티와 RF연결되는 루프를 형성하는 루프 커플러(loop coupler), 및 일측에 루프 커플러의 일단이 연결되고, 축 중심에 루프 커플러의 타단이 놓이도록 형성되고, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제1외측 컨덕터를 포함하는 제1커플러 모듈; 전기절연체로 이루어지고, 외주면과 동축인 제1관통구멍을 포함하는 환형인 RF윈도우, RF윈도우의 외주면 상에 배치되는 환형인 제1냉각유로를 포함하는 제2외측 컨덕터, 제1관통구멍 내부에 배치되는, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제2내측 컨덕터, 일단이 루프 커플러의 타단에 연결되고, 타단이 제2내측 컨덕터의 일측에 연결되는 제1내측 컨덕터, 제1내측 컨덕터 및 제2내측 컨덕터 내부에 형성되는 제2냉각유로, 제2내측 컨덕터의 타측면을 관통하여 배치되는 입수관 및 출수관, 및 일측이 제2내측 컨덕터의 타측에 연결되는 제3내측 컨덕터를 포함하는 제2커플러 모듈; 및 반원 형상의 두 개의 전기절연체가 조립되어 형성되고, 외주면과 동축인 제2관통구멍을 포함하는 환형인 지지디스크, 몸체 중간이 제2관통구멍에 고정되도록 형성되고, 적어도 한 측에 제3내측 컨덕터의 타측에 삽입되어 고정되도록 형성된 콜렛을 포함하는 콜렛 부시(collet bush), 지지디스크를 고정하도록 형성된 플랜지 조립부를 포함하고, RF파워 소스가 연결되는 RF입력 플랜지를 포함하며, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제3외측 컨덕터, 및 제3외측 컨덕터의 타측면을 밀봉하고, 입수관 및 출수관이 외부와 연결되도록 형성된 플랜지 커버를 포함하는 제3커플러 모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to solve the above problems, an RF power coupler according to an embodiment of the present invention, which connects an RF power source and a cavity for charging particle acceleration, includes a loop coupler a first coupler module having a loop coupler and a first outer conductor connected to one end of the loop coupler and formed to have the other end of the loop coupler at the center of the axis and having an axially symmetrical shape with an inner hollow; An RF window formed of an electric insulator and including a first through hole coaxial with the outer circumference, a second outer conductor including an annular first cooling channel disposed on the outer circumference of the RF window, A first inner conductor, a first inner conductor, and a second inner conductor, the first inner conductor being connected to the other end of the loop coupler and the other end being connected to one side of the second inner conductor; A second cooling passage formed inside the conductor, a water inlet pipe and a water outlet pipe disposed through the other side surface of the second inner conductor, and a third inner conductor having one side connected to the other side of the second inner conductor, module; An annular support disk formed by assembling two semi-circular insulators and having a second through hole coaxial with the outer circumferential surface, a middle body formed to be fixed to the second through hole, and a third inner side A collet bush including a collet adapted to be inserted and fixed to the other side of the conductor, a flange assembly formed to secure the support disk, and an RF input flange to which an RF power source is connected, And a third coupler module including a third outer conductor that is symmetrical in shape and a flange cover that seals the other side surface of the third outer conductor and is configured to connect the water inlet pipe and the water outlet pipe to the outside.

또한, 제2커플러 모듈은 루프 커플러의 타단과 제1내측 컨덕터의 일단이 분리되고, 콜렛 부시와 제3내측 컨덕터의 타측이 분리됨으로써 RF 파워 커플러로부터 분리되는 것을 특징으로 한다. The second coupler module is separated from the RF power coupler by separating the other end of the loop coupler from the first inner conductor and separating the other side of the collet bush and the third inner conductor.

또한, 제1외측 컨덕터는 캐비티의 몸체부에 조립되도록 형성된 제1플랜지를 포함하되, 제1플랜지와 제1외측 컨덕터의 연결구조는 회전 각도의 조정이 가능하도록 형성되어, 루프 커플러의 자세각을 조절할 수 있도록 형성된 것을 특징으로 한다. The first outer conductor includes a first flange formed to be assembled to the body portion of the cavity, wherein a connection structure of the first flange and the first outer conductor is formed such that the angle of rotation can be adjusted, So as to be adjustable.

또한, RF윈도우는 세라믹 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, the RF window is characterized by being made of a ceramic material.

또한, RF윈도우의 적어도 한 측면은 질화티타늄(TiN)이 코팅된 것을 특징으로 한다. Further, at least one side of the RF window is characterized by being coated with titanium nitride (TiN).

또한, 질화티타늄이 코팅된 적어도 한 측면은 제2외측 컨덕터와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다. Also, at least one side coated with titanium nitride is characterized in being electrically connected to the second outer conductor.

또한, RF윈도우는 외주면에 인접하여 양측면에 배치되고, 제1냉각유로와 접하는 한 쌍의 외측 링을 더 포함하는 것을 특징으로 한다. The RF window further includes a pair of outer rings disposed on both sides adjacent to the outer circumferential surface and in contact with the first cooling channel.

또한, 제1관통구멍과 제2내측 컨덕터 사이에 배치되는 내측 부시(bush)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. It is further characterized in that it further comprises an inner bush disposed between the first through hole and the second inner conductor.

또한, 외측 링 및 내측 부시는 코바(KOVAR) 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다. Further, the outer ring and the inner bush are characterized by being made of KOVAR material.

또한, 외측 링과 내측 부시가 연결되는 RF윈도우의 영역은 메탈라이징(metalizing)되고, 외측 링과 내측 부시는 RF윈도우에 브레이징(brazing)에 의해 결합되는 것을 특징으로 한다. Further, the area of the RF window to which the outer ring and the inner bush are connected is metalized, and the outer ring and the inner bush are coupled to the RF window by brazing.

또한, 루프 커플러의 타단은 핀 부재를 포함하고, 제1내측 컨덕터의 타단은 핀 부재를 수용하도록 형성된 조립구멍을 포함하는 것을 특징으로 한다. Further, the other end of the loop coupler includes a pin member, and the other end of the first inner conductor includes an assembly hole formed to receive the pin member.

또한, 제2냉각유로는 제2내측 컨덕터 내부에 형성되되, 조립구멍에 인접한 내측까지 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, the second cooling channel is formed inside the second inner conductor, and is formed to the inner side adjacent to the assembly hole.

또한, 입수관은 제2내측 컨덕터 내부로 길게 연장되어 배치되고, 출수관은 제2내측 컨덕터의 타측면에 인접하도록 입수관보다 짧은 길이로 형성되는 것을 특징으로 한다. In addition, the water inlet pipe is extended and extended to the inside of the second inside conductor, and the water outlet pipe is formed to be shorter than the water inlet pipe so as to be adjacent to the other side surface of the second inside conductor.

본 발명은 RF 파워 커플러를 탈부착 조립이 용이하도록 설계 및 제작함으로써 RF윈도우와 전송관을 교체하거나 재제작하는 것이 쉬워 진다. 본 발명에 따른 RF 파워 커플러는 분해 조립이 용이하고, RF윈도우나 전송관의 파손 부분만 교체할 수 있기 때문에, 유지 보수 비용이 적게 들며, 정밀함을 요구하는 도파관 및 RFQ(Radio Frequency Quadrupole)의 정렬 정확도를 높이는 효과가 있다. The present invention facilitates replacement and remanufacturing of the RF window and transmission tube by designing and fabricating the RF power coupler so that the RF power coupler is easily removable and assembled. Since the RF power coupler according to the present invention is easy to disassemble and assemble and can replace only the damaged portion of the RF window or the transmission tube, the maintenance cost is low and the alignment of the waveguide and RFQ (Radio Frequency Quadrupole) It has the effect of increasing the accuracy.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러를 나타내는 3/4 절개 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1단면도를 나타내며, 도 2의 N-N부분 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2단면도를 나타내며, 도 2의 P-P부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2커플러 모듈을 나타내는, 도 4의 V부분 확대도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 단면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1냉각유로를 나타내는, 도 6의 T부분의 확대도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2냉각유로가 배치되는 제2내측 컨덕터를 나타내는, 도 6의 W부분 확대도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1냉각유로 및 냉각수 유입구 또는 출구를 나타내는, 도 2의 R-R부분 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2커플러 모듈을 나타내는 단면사시도이다. 1 is a cross-sectional view taken on line 3/4 of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of an RF power coupler in accordance with an embodiment of the present invention.
3 is a first cross-sectional view of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view of the NN portion of FIG. 2;
4 is a second cross-sectional view of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view of the PP portion of FIG.
5 is an enlarged view of part V of FIG. 4, showing a second coupler module of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional perspective view of an RF power coupler in accordance with an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of a portion T of FIG. 6, showing a first cooling flow path of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.
8 is an enlarged view of W in Fig. 6 showing a second inner conductor in which a second cooling channel of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention is disposed; Fig.
FIG. 9 is a partial cross-sectional view of the RR portion of FIG. 2, illustrating the first cooling channel and cooling water inlet or outlet of the RF power coupler in accordance with one embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional perspective view illustrating a second coupler module of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements are denoted by the same reference symbols as possible even if they are shown in different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 '포함', '구비'한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 '…부', '모듈' 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. Throughout the specification, when an element is referred to as being "comprising" or "comprising", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise . In addition, '... Quot ;, " module ", and " module " refer to a unit that processes at least one function or operation, and may be implemented by hardware or software or a combination of hardware and software.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러를 나타내는 3/4 절개 단면도이다. 1 is a cross-sectional view taken on line 3/4 of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 정면도이다. 2 is a front view of an RF power coupler in accordance with an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1단면도를 나타내며, 도 2의 N-N부분 단면도이다. 3 is a first cross-sectional view of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view taken along the line N-N of FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러(1)를 도시한 것으로, 하전 입자 가속용 캐비티(미도시) 및 RF 파워 소스(미도시)는 편의상 도시하지 않았다. 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러(1)는 제1커플러 모듈(10), 제2커플러 모듈(20) 및 제3커플러 모듈(30)을 포함한다. Referring to FIGS. 1 to 3, there is shown an RF power coupler 1 according to an embodiment of the present invention, in which a charged particle acceleration cavity (not shown) and an RF power source (not shown) . The RF power coupler 1 according to an embodiment includes a first coupler module 10, a second coupler module 20, and a third coupler module 30.

본 발명은 RF윈도우(210)를 포함하는 제2커플러 모듈(20), 루프 커플러(110)를 포함하는 제1커플러 모듈(10) 및 RF 파워 소스가 연결되는 제3커플러 모듈(30)로 RF 파워 커플러(1)를 모듈별로 구분하여 설계하고 조립함으로써 조립 및 분해가 용이하도록 고안된 것이 특징이다. A second coupler module 20 including an RF window 210, a first coupler module 10 including a loop coupler 110 and a third coupler module 30 connected to an RF power source, The power coupler 1 is designed to be divided into modules and designed and assembled to facilitate assembly and disassembly.

특히, 제2커플러 모듈(20)은 RF윈도우(210)를 포함하고, RF윈도우(210)의 중심축 및 외주면을 냉각하도록 형성되며, 분해가 용이하도록 구성되는 것이 본 발명의 주요한 특징이다. Particularly, the second coupler module 20 includes the RF window 210, and is configured to cool the central axis and the outer peripheral surface of the RF window 210, and is configured to facilitate disassembly.

제1커플러 모듈(10)은 캐비티와 RF연결되는 루프를 형성하는 루프 커플러(110) 및 일측에 루프 커플러(110)의 일단(112)이 연결되고, 축 중심에 루프 커플러(110)의 타단(114)이 놓이도록 형성되고, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제1외측 컨덕터(120)를 포함한다. The first coupler module 10 includes a loop coupler 110 which forms a loop to be RF-connected with the cavity and a loop coupler 110 which is connected to one end 112 of the loop coupler 110, 114), and includes a first outer conductor (120) having an axially symmetrical shape with a hollow interior.

제2커플러 모듈(20)은 전기절연체로 이루어지고, 외주면과 동축인 제1관통구멍(212)을 포함하는 환형인 RF윈도우(210); RF윈도우(210)의 외주면 상에 배치되는 환형인 제1냉각유로(220)를 포함하는 제2외측 컨덕터(230); 제1관통구멍(212) 내부에 배치되는, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제2내측 컨덕터(240); 일단(252)이 루프 커플러(110)의 타단(114)에 연결되고, 타단(254)이 제2내측 컨덕터(240)의 일측에 연결되는 제1내측 컨덕터(250); 제1내측 컨덕터(250) 및 제2내측 컨덕터(240) 내부에 형성되는 제2냉각유로(260); 제2내측 컨덕터(240)의 타측면(244)을 관통하여 배치되는 입수관(292) 및 출수관(294); 및 일측이 제2내측 컨덕터(240)의 타측에 연결되는 제3내측 컨덕터(270)를 포함한다. The second coupler module (20) comprises an annular RF window (210) comprising an electrical insulator and including a first through hole (212) coaxial with the outer periphery; A second outer conductor (230) including an annular first cooling channel (220) disposed on an outer circumferential surface of the RF window (210); A second inner conductor (240) disposed in the first through hole (212) and having an axially symmetrical shape with an inner hollow; A first inner conductor 250 one end 252 of which is connected to the other end 114 of the loop coupler 110 and the other end 254 of which is connected to one side of the second inner conductor 240; A second cooling channel (260) formed inside the first inner conductor (250) and the second inner conductor (240); A water inlet pipe 292 and a water outlet pipe 294 disposed through the other side surface 244 of the second inner conductor 240; And a third inner conductor 270 having one side connected to the other side of the second inner conductor 240.

제3커플러 모듈(30)은, 반원 형상의 두 개의 전기절연체가 조립되어 형성되고 외주면과 동축인 제2관통구멍(312)을 포함하는 환형인 지지디스크(310); 몸체 중간이 제2관통구멍(312)에 고정되도록 형성되고, 적어도 한 측에 제3내측 컨덕터(270)의 타측에 삽입되어 고정되도록 형성된 콜렛(322)을 포함하는 콜렛 부시(collet bush, 320); 지지디스크(310)를 고정하도록 형성된 플랜지 조립부(330)를 포함하고, RF파워 소스가 연결되는 RF입력 플랜지(340)를 포함하며, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제3외측 컨덕터(340); 및 제3외측 컨덕터(340)의 타측면(344)을 밀봉하고, 입수관(292) 및 출수관(294)이 외부와 연결되도록 형성된 플랜지 커버(342)를 포함한다. The third coupler module 30 includes: an annular support disc 310 formed by assembling two semi-circular electrical insulators and having a second through hole 312 coaxial with the outer peripheral surface; A collet bush 320 formed to be fixed to the second through hole 312 at the middle of the body and formed with a collet 322 formed on at least one side of the third inner conductor 270 to be inserted and fixed to the other side of the third inner conductor 270, ; A third outer conductor 340 including a flange assembly 330 configured to secure the support disc 310 and including an RF input flange 340 to which an RF power source is connected and having an axially symmetrical inner shape, ; And a flange cover 342 sealing the other side 344 of the third outer conductor 340 and configured to connect the water inlet pipe 292 and the water outlet pipe 294 to the outside.

제2커플러 모듈(20)은 루프 커플러(110)의 타단(114)과 제1내측 컨덕터(250)의 일단이 분리되고, 콜렛 부시(320)와 제3내측 컨덕터(270)의 타측이 분리됨으로써 RF 파워 커플러(1)로부터 분리된다. The second coupler module 20 is configured such that one end of the first inner conductor 250 is separated from the other end 114 of the loop coupler 110 and the other end of the collet bush 320 and the third inner conductor 270 are separated And is separated from the RF power coupler 1.

한편, 제1외측 컨덕터(120)는 캐비티의 몸체부에 조립되도록 형성된 제1플랜지(130)를 포함하되, 제1플랜지(130)와 제1외측 컨덕터(120)의 연결구조는, 가고정 상태에서 회전 각도의 조정이 가능하도록 형성되어, 루프 커플러(110)의 자세각을 조절할 수 있도록 형성된다. 루프를 쇄교하는 자속(magnetic flux)이 통과하는 루프의 조리개(iris) 영역을 조정함으로써 캐비티에 전달되는 RF신호와 캐비티 내의 RF 전자기장의 매칭 정도를 조정할 수 있다. The first outer conductor 120 includes a first flange 130 formed to be assembled to the body of the cavity and the connection structure of the first flange 130 and the first outer conductor 120 is in a fixed state So that the attitude angle of the loop coupler 110 can be adjusted. By adjusting the iris region of the loop through which the magnetic flux linking the loop passes, the degree of matching between the RF signal delivered to the cavity and the RF field within the cavity can be adjusted.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2단면도를 나타내며, 도 2의 P-P부분 단면도이다. 4 is a second cross-sectional view of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention, and is a partial cross-sectional view taken along line P-P of FIG.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2커플러 모듈을 나타내는, 도 4의 V부분 확대도이다. 5 is an enlarged view of part V of FIG. 4, showing a second coupler module of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, RF윈도우(210)는 세라믹 소재로 이루어진다.4 and 5, the RF window 210 is made of a ceramic material.

제2커플러 모듈(20)의 내측 컨덕터와 외측 컨덕터는 고주파(예컨대 352 MHz), 고전압(예컨대 250 kW)인 RF신호가 전달되는 피드 스루에 해당되며, 전기절연체 소재로 일정 간격이 되도록 띄워진 상태로 지지된다. 특히, RF윈도우(210)는 일측면이 10-7 torr 이하인 고진공 상태이며, 고진공 영역에서 매우 빠른 속도로 교번하는 전기장에 노출되기 때문에 방전 파괴가 발생할 수 있다. 이러한 현상을 멀티팩팅으로 설명하기 하며, RF신호가 불안정해지거나, 발생 부위의 국부적인 발열 상승이 초래되기도 한다. The inner conductor and the outer conductor of the second coupler module 20 correspond to a feedthrough through which an RF signal having a high frequency (for example, 352 MHz) or a high voltage (for example, 250 kW) is transmitted, . Particularly, the RF window 210 is in a high vacuum state where one side is 10 -7 torr or less, and discharge breakdown may occur because it is exposed to an alternating electric field at a very high speed in a high vacuum region. This phenomenon is explained by multifacting, and the RF signal may become unstable, or local heat generation may occur at the site of occurrence.

이를 방지하기 위한 대표적인 해결 방법으로 질화티타늄(TiN)을 수 나노미터 이하의 두께로 얇게 코팅하거나, 알루미나 파우더의 순도를 99% 이상으로 확보하고, 고주파에 의한 반응을 감소시키기 위해 마그네슘(Mg) 성분을 최대한 배제하는 소결 방법 및 소결 후 등방성 가열 압축(HIP: Hot Isotropic Pressing) 처리를 추가로 실시하여 세라믹 내부 기공(void)을 최대한 제거하는 방법 등이 있다. As a representative solution to prevent this problem, a method of coating a thin layer of titanium nitride (TiN) to a thickness of several nanometers or less, securing the purity of the alumina powder to 99% or more, and reducing the reaction by high frequency, (HIP: Hot Isotropic Pressing) treatment is further performed to remove the voids of the ceramic as much as possible.

질화티타늄 코팅은 표면의 이차전자 방출특성(SEY: Secondary Emission Yield)을 크게 낮춰 멀티팩팅의 확률을 낮추지만, RF윈도우(210)를 관통하여 전달되는 RF신호의 반사를 최소화하기 위해 그 두께는 얇을수록 바람직하다.The titanium nitride coating lowers the probability of multi-casting by significantly reducing the secondary emission yield (SEY) of the surface, but it is thin to minimize reflection of the RF signal transmitted through the RF window 210 .

다시 도 5를 참조하면, 루프 커플러(110)는 일단(112)이 제1외측 컨덕터(120)의 일측에 용접 등의 방법으로 연결되고, 루프 형태로 빈 공간을 포함하도록 형성된 후, 타단(114)이 제1내측 컨덕터(250)의 일단에 연결된다. 타단(114)은 핀 부재(116)를 포함하는 형태로 형성될 수 있고, 핀 부재(116)가 삽입되어 결합되고 필요에 따라 분리가 가능하도록 형성된 조립구멍(256)을 제1내측 컨덕터(250)의 타단에 형성할 수 있다. 루프 커플러(110)는 RF 파워 및 RF캐비티의 특성에 따라 다양한 형태를 가질 수 있다. 5, one end 112 of the loop coupler 110 is connected to one side of the first outer conductor 120 by welding or the like and is formed to include an empty space in the form of a loop, Is connected to one end of the first inner conductor 250. The other end 114 may be formed in a shape including the pin member 116 and the assembly hole 256 formed such that the pin member 116 is inserted and coupled and separated as necessary is connected to the first inner conductor 250 ) At the other end. The loop coupler 110 may have various forms depending on the characteristics of the RF power and the RF cavity.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 단면 사시도이다. 6 is a cross-sectional perspective view of an RF power coupler in accordance with an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1냉각유로를 나타내는, 도 6의 T부분의 확대도이다.7 is an enlarged view of a portion T of FIG. 6, showing a first cooling flow path of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2냉각유로가 배치되는 제2내측 컨덕터를 나타내는, 도 6의 W부분 확대도이다. 8 is an enlarged view of W in Fig. 6 showing a second inner conductor in which a second cooling channel of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention is disposed; Fig.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제1냉각유로 및 냉각수 유입구 또는 출구를 나타내는, 도 2의 R-R부분 단면도이다.9 is a partial cross-sectional view of the R-R portion of Fig. 2 showing the first cooling channel and the cooling water inlet or outlet of the RF power coupler according to one embodiment of the present invention.

상술한 바와 같은 추가적인 RF윈도우(210)의 처리 방법과 더불어, RF윈도우(210)를 통해 전달되는 RF신호의 전송 효율, RF신호 품질을 확보하기 위해서는 RF윈도우(210)의 발열을 적극적으로 억제하는 것이 바람직하다. In addition to the above-described processing method of the RF window 210, in order to secure the transmission efficiency and the RF signal quality of the RF signal transmitted through the RF window 210, it is necessary to positively suppress the heat generation of the RF window 210 .

도 6내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서는 RF윈도우(210)의 외주면과 내측에 냉각유로(220, 260)를 구비하여 적극적인 RF윈도우(210) 냉각을 실시하도록 구성하였다. 상술한 등방성 가열 압축 처리를 거치더라도 RF윈도우(210)의 온도가 과도하게 상승하면 열팽창에 의해 내부 기공이 실질적으로 드러나 RF신호에 노출될 수 있다. 특히, 하전 입자 가속을 통해 높은 빔 에너지를 갖도록 높은 파워의 RF신호가 전달되는 경우 이러한 발열을 억제하지 않으면 충분히 큰 RF에너지를 RF캐비티에 전달할 수 없게 된다. 6 to 9, in an embodiment of the present invention, cooling windows 220 and 260 are provided on the outer and inner sides of the RF window 210 to cool the RF window 210 positively. If the temperature of the RF window 210 rises excessively even after the above-described isotropic heating and compression process, internal pores are substantially exposed due to thermal expansion and can be exposed to an RF signal. Particularly, when a high power RF signal is transmitted with a high beam energy through charged particle acceleration, it is impossible to transmit sufficiently large RF energy to the RF cavity unless the heat generation is suppressed.

본 발명의 일 실시예에서는 RF윈도우(210)의 외주면에 인접한 양측면의 영역을 메탈라이징(metalizing)하여 금속과의 결합성을 향상시키고, 해당 영역에 조립될 수 있도록 형성된, 링 형상이며 코바(KOVAR) 소재인, 외측 링(282)을 양측에 브레이징(brazing)으로 결합시킨다. 즉, RF윈도우(210)의 외주면 및 그 양측으로 연장된 외측 링(282)으로 확보되는 넓어진 외주면과 이 외주면 상에 사각형 단면을 가지는 환형의 제1냉각유로(220)를 구비하도록 형성한다. In an embodiment of the present invention, a metal ring is formed by metalizing the regions on both sides adjacent to the outer circumferential surface of the RF window 210 to improve the bonding property with the metal, The outer ring 282 is brazed to both sides. That is, it is formed to have an enlarged outer circumferential surface secured to the outer circumferential surface of the RF window 210 and an outer ring 282 extending to both sides thereof, and an annular first cooling channel 220 having a rectangular cross-section on the outer circumferential surface.

RF윈도우(210)은 진공 측으로 배치되는 한 측면이 질화티타늄(TiN)으로 코팅된다. 질화티타늄이 코딩된 적어도 한 측면은 코바 소재의 외측 링(282)에 의해서 제2외측 컨덕터(230)와 전기적으로 연결된다. The RF window 210 is coated with titanium nitride (TiN) on one side disposed on the vacuum side. At least one side to which titanium nitride is coded is electrically connected to the second outer conductor 230 by the outer ring 282 of the coba.

제1냉각유로(220)는 제2커플러 모듈(20)의 제2외측 컨덕터(230)의 중간 영역에 형성될 수 있도록 제2외측 컨덕터(230)는 외주면 상으로 돌출되어 제1냉각유로(220)를 형성하고, 제1냉각유로(220)에 냉각수를 공급하고 회수하는 입수관 연결부(222) 및 출수관 연결부(224)가 돌출된 외주면의 외측에 형성된다. The second outer conductor 230 protrudes on the outer circumferential surface so that the first cooling channel 220 can be formed in an intermediate region of the second outer conductor 230 of the second coupler module 20, And a water inlet pipe connection part 222 and an outlet pipe connection part 224 for supplying and recovering cooling water to the first cooling channel 220 are formed outside the protruded outer circumferential surface.

코바 소재는 열팽창계수가 크게 차이나는 세라믹 소재와 금속 소재 사이의 열팽창을 흡수하는 대표적인 소재로서 열팽창계수의 비선형성으로 인해 이들 이종 재질 간의 결합에 사용되어 밀봉 특성을 확보할 수 있다. 즉, 일 실시예에 따라 개시한 구조를 통해 제1냉각유로(220)의 외주면 열통로를 더 넓게 확보할 뿐만 아니라, 열팽창에 따른 열충격을 흡수하고, 아웃개스(outgas)를 억제함으로써 진공이 오염되는 것을 방지하는 효과를 기대할 수 있다. Koba is a typical material that absorbs the thermal expansion between ceramics and metallic materials with a large thermal expansion coefficient, and is used for bonding between these two materials due to the nonlinearity of the thermal expansion coefficient. That is, through the structure disclosed in the embodiment, not only the outer circumferential surface of the first cooling passage 220 is more widely secured, but also the thermal shock due to the thermal expansion is absorbed and the outgas is suppressed, Can be expected to be prevented.

또한, RF윈도우(210)는 제1관통구멍(212)과 제2내측 컨덕터(240) 사이에 배치되는 내측 부시(bush, 284)를 더 포함한다. 내측 부시(284)가 삽입되는 RF윈도우(210)의 제1관통구멍(212)의 내주면도 마찬가지로 메탈라이징되고, 브레이징에 의해 제2내측 컨덕터(240)와 결합된다. The RF window 210 further includes an inner bush 284 disposed between the first through hole 212 and the second inner conductor 240. The inner circumferential surface of the first through hole 212 of the RF window 210 into which the inner bushing 284 is inserted is likewise metallized and joined with the second inner conductor 240 by brazing.

제2냉각유로(260)는 제2내측 컨덕터(240) 내부에 형성되되, 조립구멍(256)에 인접한 내측까지 형성된다. 이때 제2냉각유로(260)에 냉각수를 공급하는 입수관(292)은 제2내측 컨덕터(240) 내부로 길게 연장되어 배치되고, 출수관(294)은 제2내측 컨덕터(240)의 타측면(244)에 인접하도록 입수관(292)보다 짧은 길이로 형성된다. 제2내측 컨덕터(240)는 루프 커플러(110)와 연결되며, 제2내측 컨덕터(240)를 최대한 효율적으로 냉각하기 위해, 제2냉각유로(260)는 루프 커플러(110)와의 연결을 위한 조립구멍(256)에 근접한 깊이까지 형성될 수 있다. The second cooling passage 260 is formed inside the second inner conductor 240 and is formed to the inside adjacent to the assembly hole 256. The water inlet pipe 292 for supplying the cooling water to the second cooling channel 260 extends to the inside of the second inside conductor 240 and the water outlet pipe 294 extends to the outside of the second inside conductor 240, (292) so as to be adjacent to the inlet pipe (244). The second inner conductor 240 is connected to the loop coupler 110 and the second cooling channel 260 is connected to the loop coupler 110 for coupling with the loop coupler 110, in order to cool the second inner conductor 240 as efficiently as possible. And may be formed to a depth close to the hole 256.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 RF 파워 커플러의 제2커플러 모듈을 나타내는 단면사시도이다. 10 is a cross-sectional perspective view illustrating a second coupler module of an RF power coupler according to an embodiment of the present invention.

제2커플러 모듈(20)은 가장 파손 위험이 큰 부품이 하나의 모듈에 결합된 형태이다. 제2커플러 모듈(20)은 루프 커플러(110)의 타단과 제1내측 컨덕터(250)의 일단이 분리되고, 콜렛 부시와 제3내측 컨덕터(270)의 타측이 분리됨으로써 RF 파워 커플러(1)로부터 분리된다. The second coupler module 20 is a type in which components having the greatest risk of breakage are coupled to one module. The second coupler module 20 is separated from the other end of the loop coupler 110 and the first inner conductor 250 and separated from the other side of the collet bush and the third inner conductor 270, .

도 1 또는 도 6을 다시 참조하면, 제2커플러 모듈(20)은 제1커플러 모듈(10) 및 제3커플러 모듈(30)과 연결되는 외주면의 플랜지의 볼트를 풀어 조립 상태를 해제하고, 제2커플러 모듈(20)의 내부 부품이 루프 커플러(110)와 콜렛 부시로부터 분리됨으로써 용이하게 분리될 수 있다. Referring again to FIG. 1 or 6, the second coupler module 20 releases the bolts of the flange on the outer circumferential surface connected to the first coupler module 10 and the third coupler module 30 to release the assembled state, 2 coupler module 20 can be easily separated by being separated from the loop coupler 110 and the collet bushing.

이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present embodiment, and various modifications and changes may be made to those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the embodiments. Therefore, the present embodiments are to be construed as illustrative rather than restrictive, and the scope of the technical idea of the present embodiment is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present embodiment should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

Claims (13)

RF 파워 소스와 하전 입자 가속용 캐비티(cavity)를 연결하는 RF 파워 커플러에 있어서,
상기 캐비티와 RF연결되는 루프를 형성하는 루프 커플러(loop coupler), 및 일측에 상기 루프 커플러의 일단이 연결되고, 축 중심에 상기 루프 커플러의 타단이 놓이도록 형성되고, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제1외측 컨덕터를 포함하는 제1커플러 모듈;
전기절연체로 이루어지고, 외주면과 동축인 제1관통구멍을 포함하는 환형인 RF윈도우, 상기 RF윈도우의 외주면 상에 배치되는 환형인 제1냉각유로를 포함하는 제2외측 컨덕터, 상기 제1관통구멍 내부에 배치되는, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제2내측 컨덕터, 일단이 상기 루프 커플러의 타단에 연결되고, 타단이 상기 제2내측 컨덕터의 일측에 연결되는 제1내측 컨덕터, 상기 제1내측 컨덕터 및 상기 제2내측 컨덕터 내부에 형성되는 제2냉각유로, 상기 제2내측 컨덕터의 타측면을 관통하여 배치되는 입수관 및 출수관, 및 일측이 상기 제2내측 컨덕터의 타측에 연결되는 제3내측 컨덕터를 포함하는 제2커플러 모듈; 및
반원 형상의 두 개의 전기절연체가 조립되어 형성되고, 외주면과 동축인 제2관통구멍을 포함하는 환형인 지지디스크, 몸체 중간이 상기 제2관통구멍에 고정되도록 형성되고, 적어도 한 측에 상기 제3내측 컨덕터의 타측에 삽입되어 고정되도록 형성된 콜렛을 포함하는 콜렛 부시(collet bush), 상기 지지디스크를 고정하도록 형성된 플랜지 조립부를 포함하고, 상기 RF파워 소스가 연결되는 RF입력 플랜지를 포함하며, 내부가 중공인 축 대칭 형상인 제3외측 컨덕터, 및 상기 제3외측 컨덕터의 타측면을 밀봉하고, 상기 입수관 및 상기 출수관이 외부와 연결되도록 형성된 플랜지 커버를 포함하는 제3커플러 모듈
을 포함하는 RF 파워 커플러.An RF power coupler coupling an RF power source and a cavity for accelerating charged particles,
A loop coupler for forming a loop to be RF-connected with the cavity, and a loop coupler having one end connected to one end of the loop coupler, the other end of the loop coupler placed at the center of the axis, A first coupler module including a first outer conductor;
A second outer conductor comprising an annular RF window made of an electrical insulator and including a first through hole coaxial with the outer circumference, an annular first cooling channel disposed on an outer circumferential surface of the RF window, A first inner conductor disposed inside the first inner conductor and having an axially symmetrical shape with a hollow inside, a first inner conductor having one end connected to the other end of the loop coupler and the other end connected to one side of the second inner conductor, A second cooling passage formed in the second inner conductor, a water inlet pipe and a water outlet pipe arranged to pass through the other side surface of the second inner conductor, and a third pipe connected to the other side of the second inner conductor, A second coupler module including an inner conductor; And
An annular support disk including a second through hole coaxial with an outer circumferential surface of the first and second semi-circular insulators, the body being formed to be fixed to the second through hole, A collet bush including a collet adapted to be inserted and fixed to the other side of the inner conductor, a flange assembly formed to secure the support disc, the RF input flange to which the RF power source is connected, And a flange cover sealing the other side of the third outer conductor and configured to connect the inlet pipe and the outlet pipe to the outside, and a third coupler module
/ RTI > 제 1항에 있어서,
상기 제2커플러 모듈은,
상기 루프 커플러의 타단과 상기 제1내측 컨덕터의 일단이 분리되고, 상기 콜렛 부시와 상기 제3내측 컨덕터의 타측이 분리됨으로써 상기 RF 파워 커플러로부터 분리되는 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein the second coupler module comprises:
And the RF power coupler is separated from the RF power coupler by separating the other end of the loop coupler from the one end of the first inner conductor and separating the other side of the collet bush and the third inner conductor. 제 1항에 있어서,
상기 제1외측 컨덕터는 상기 캐비티의 몸체부에 조립되도록 형성된 제1플랜지를 포함하되, 상기 제1플랜지와 상기 제1외측 컨덕터의 연결구조는 회전 각도의 조정이 가능하도록 형성되어, 상기 루프 커플러의 자세각을 조절할 수 있도록 형성된 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein the first outer conductor includes a first flange formed to be assembled to a body portion of the cavity, wherein a connection structure of the first flange and the first outer conductor is formed to be capable of adjusting the angle of rotation, RF power coupler configured to adjust attitude angle. 제 1항에 있어서,
상기 RF윈도우는 세라믹 소재로 이루어지는 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein the RF window is made of a ceramic material. 제 1항에 있어서,
상기 RF윈도우의 적어도 한 측면은 질화티타늄(TiN)이 코팅된 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein at least one side of the RF window is coated with titanium nitride (TiN). 제 5항에 있어서,
상기 질화티타늄이 코팅된 적어도 한 측면은 상기 제2외측 컨덕터와 전기적으로 연결되는 RF 파워 커플러.6. The method of claim 5,
Wherein at least one side coated with titanium nitride is electrically connected to the second outer conductor. 제 1항에 있어서,
상기 RF윈도우는,
외주면에 인접하여 양측면에 배치되고, 상기 제1냉각유로와 접하는 한 쌍의 외측 링을 더 포함하는 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
The RF window includes:
Further comprising a pair of outer rings disposed on both sides adjacent to the outer circumferential surface and in contact with the first cooling flow path. 제 7항에 있어서,
상기 제1관통구멍과 상기 제2내측 컨덕터 사이에 배치되는 내측 부시(bush)를 더 포함하는 RF 파워 커플러.8. The method of claim 7,
And an inner bush disposed between the first through hole and the second inner conductor. 제 8항에 있어서,
상기 외측 링 및 상기 내측 부시는 코바(KOVAR) 소재로 이루어지는 RF 파워 커플러.9. The method of claim 8,
Wherein the outer ring and the inner bush are made of KOVAR material. 제 8항에 있어서,
상기 외측 링과 상기 내측 부시가 연결되는 상기 RF윈도우의 영역은 메탈라이징(metalizing)되고, 상기 외측 링과 상기 내측 부시는 상기 RF윈도우에 브레이징(brazing)에 의해 결합되는 RF 파워 커플러.9. The method of claim 8,
Wherein an area of the RF window to which the outer ring and the inner bush are connected is metallized and the outer ring and the inner bush are coupled by brazing to the RF window. 제 1항에 있어서,
상기 루프 커플러의 타단은 핀 부재를 포함하고,
상기 제1내측 컨덕터의 타단은 상기 핀 부재를 수용하도록 형성된 조립구멍을 포함하는 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein the other end of the loop coupler includes a pin member,
And the other end of the first inner conductor includes an assembly hole configured to receive the pin member. 제 11항에 있어서,
상기 제2냉각유로는,
상기 제2내측 컨덕터 내부에 형성되되, 상기 조립구멍에 인접한 내측까지 형성되는 RF 파워 커플러.12. The method of claim 11,
The second cooling channel
Wherein the RF power coupler is formed inside the second inner conductor and extends to the inner side adjacent to the assembly hole. 제 1항에 있어서,
상기 입수관은 상기 제2내측 컨덕터 내부로 길게 연장되어 배치되고, 상기 출수관은 상기 제2내측 컨덕터의 타측면에 인접하도록 상기 입수관보다 짧은 길이로 형성되는 RF 파워 커플러.The method according to claim 1,
Wherein the water inlet tube is elongated into the second inner conductor and the water outlet tube is formed to be shorter than the water inlet tube so as to be adjacent to the other side surface of the second inner conductor.
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