KR101827650B1 - 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 구동축을 갖는 모터부와, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부 및 종동축에 장착되며, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하는 송풍팬이 제공된다.

Description

송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터{Blower and Burn-In Tester comprising the same}
본 발명은 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터에 관한 것으로, 챔버 내의 온도를 균일하게 조절할 수 있는 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터에 관한 것이다.
일반적으로 번인 테스터(Burn-In Tester)는 패키지된 반도체 소자에 전원을 인가하고 작동시킬 때 반도체 소자의 열 스트레스에 대한 신뢰성을 테스트하는 장치이다.
최근 번인 테스터는 기존 번인 테스트와 함께 반도체 소자의 동작 테스트를 함께 수행하도록 제작된다.
도 1은 종래 번인 테스터를 나타내는 도면이다.
번인 테스터는 반도체 소자가 수용되는 보드 챔버와 테스터 기판이 수용되는 테스터 챔버(20)를 포함한다. 또한, 번인 테스터는 테스트 챔버(20)의 공간을 정의하는 격벽(21)을 포함한다.
한편, 테스트 챔버(20)는 작동 중에 초저온(약 -40℃) 상태로 조절되어야 하며, 챔버 내부의 온도를 균일하게 유지시키기 위하여 불필요한 열원의 유입 및 외부로의 열배출은 방지되어야 한다.
종래 번인 테스터는 하나 이상의 송풍팬(10)을 포함하며, 상기 송풍팬(10)은 테스트 챔버(20) 내 공기 순환을 발생시켜 테스트 챔버(20) 내 온도를 조절하는 기능을 수행하도록 마련된다. 또한, 송풍팬(10)은 테스트 챔버(20)의 격벽(21)을 관통하여 설치된다.
통상 상기 송풍팬(10)은 모터부(11)와 팬부(14)를 포함한다. 이때, 모터부(11)는 테스트 챔버(20) 외부에 배치되고, 팬부(14)는 테스트 챔버 (20) 내부에 위치한다. 상기 모터부(11)는 팬부(14)에 회전력을 전달하고, 상기 팬부(14)는 복수 개의 블레이드를 포함하며, 블레이드들의 회전에 따라 챔버 내의 공기 유동을 발생시킨다.
상기 모터부(11)에는 구동축(12)이 마련되고, 상기 팬부(14)에는 종동축(13)(팬부의 회전축 기능을 수행)이 마련된다. 통상 구동축(12)과 종동축(13)은 직접 맞물린 상태로 연결된다. 이때, 모터(11)에 전원이 공급되면, 구동축(12)이 회전하게 되고, 상기 구동축(12)의 회전에 따라 구동축(12)과 맞물린 종동축(13)이 회전하게 되며, 팬부(14)의 회전이 이루어진다.
한편, 모터부(11)는 작동 중에 열(H)을 발생시키며, 이러한 열(H)은 직관으로 연결된 구동축(12)과 종동축(13)을 따라 테스트 챔버(20) 내부로 전달된다. 이로 인해, 초저온 상태로 작동하고 있는 테스트 챔버(20) 내부로 불필요한 열원이 전달됨에 따라, 온도 조절 성능이 떨어지는 문제가 발생한다.
본 발명은 작동 중인 각 챔버(보드 챔버, 테스터 챔버)의 온도를 균일하게 조절할 수 있는 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
또한, 본 발명은 작동 중인 각 챔버(보드 챔버, 테스터 챔버)로 불필요한 외부 열원이 유입되는 것을 방지할 수 있는 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 테스트 보드를 수용하기 위해 마련되는 보드 챔버와, 테스터 기판을 수용하기 위해 마련되는 테스트 챔버 및 보드 챔버 및 테스트 챔버 중 적어도 하나의 챔버 내의 공기를 순환시키도록 마련된 송풍팬을 포함하는 번인 테스터가 제공된다.
또한, 송풍팬은, 챔버 외부에 배치되며, 챔버 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부와, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부 및 종동축에 장착되며, 챔버 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함한다.
또한, 연결부는, 구동축이 고정된 제1 부재와, 제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재 및 제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함할 수 있다.
또한, 복수 개의 사이드 축은, 구동축의 회전중심으로 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열될 수 있다.
또한, 송풍팬은, 연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 단열부에는 냉각수가 유동하기 위한 유로가 마련될 수 있다.
또한, 종동축에는 하나 이상의 홈부가 마련될 수 있다. 또한, 상기 홈부에는 열전달을 억제하기 위한 단열소재가 충진될 수 있다.
또한, 단열부와 팬부 사이에는 하나 이상의 보조 팬이 장착될 수 있다.
또한, 사이드 축은 구동축 및 종동축의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 구동축을 갖는 모터부와, 구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부 및 종동축에 장착되며, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하는 송풍팬이 제공된다.
여기서 연결부는, 구동축이 고정된 제1 부재와 제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재 및 제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 일 실시예와 관련된 송풍팬 및 이를 포함하는 번인 테스터는 다음과 같은 효과를 갖는다.
모터부에 마련된 구동축과 팬부에 마련된 종동축이 직접 맞물려 연결되지 않도록 함으로써, 모터부에서 발생한 열이 구동축을 따라 작동 중인 각 챔버(보드 챔버, 테스터 챔버)로 불필요한 외부 열원이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래 번인 테스터를 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3는 본 발명의 일 실시예와 관련된 번인 테스터를 나타내는 도면들이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예와 관련된 송풍팬을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 연결부를 나타내는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예와 관련된 송풍팬을 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예와 관련된 송풍팬을 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예와 관련된 송풍팬을 나타내는 평면도이다.
도 9는 번인 테스터를 구성하는 온도 조절 장치의 구성도이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 송풍팬 및 번인 테스터를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.
또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.
도 2 및 도 3는 본 발명의 일 실시예와 관련된 번인 테스터(1)를 나타내는 도면들이다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 번인 테스터(1)는 테스터 기판을 이용하여 테스트 보드에 적재된 반도체 소자를 테스트하기 위한 번인 테스터(Burn-In Tester)이다. 상기 번인 테스터(1)는 반도체 소자를 수용하는 보드 챔버(‘번인 챔버’라고도 함)와 보드 챔버에 수용된 반도체 소자들에 테스트 신호를 인가한 후 피드백(feedback)되는 결과 신호를 판독하기 위한 테스터 기판이 수용되는 테스터 챔버를 구비한다.
또한, 상기 번인 테스터(1)는 상기 테스트 보드를 수용하기 위해 마련되는 보드 챔버(10) 및 테스터 기판을 수용하기 위해 마련되는 테스트 챔버(20)를 포함한다. 보드 챔버(10) 내로 테스터 보드가 진입되고, 테스트 챔버(20) 내로 테스터 기판이 진입된다.
또한, 상기 번인 테스터(1)는 보드 챔버(10)에 수용된 테스트 보드를 테스터 기판에 접촉시킴으로써, 테스트 보드의 반도체 소자를 테스터 기판에 전기적으로 연결시키도록 마련된 접촉 장치를 포함한다. 상기 접촉 장치는 파지 플레이트를 통해 테스트 보드를 파지한 상태에서, 테스트 보드를 이동시킴으로써, 테스트 보드의 커넥터와 테스터 기판의 커넥터를 연결시키는 기능을 수행한다.
또한, 상기 번인 테스터(1)는 냉매 순환 사이클을 이용하여, 보드 챔버(10) 및 테스트 챔버(20) 중 적어도 하나의 챔버 내의 온도를 조절하기 위해 마련된 하나 이상의 온도 조절 장치(200, 도 9 참조)를 포함한다. 상기 온도 조절 장치(200)는 보드 챔버(10) 및 테스트 챔버(20)에 각각 마련될 수도 있고, 예를 들어, 챔버(10, 20) 마다 온도 조절 장치(200)가 별도로 마련될 수 있다.
또한, 상기 번인 테스터(1)는 접촉장치 및 온도 조절 장치(200)를 제어하기 위한 제어부(40)를 포함하며, 상기 제어부(40)는 디스플레이부를 갖는 컨트롤 패널(41)을 포함할 수 있다. 상기 제어부(40)는 후술할 송풍팬(100)을 제어할 수 있다.
또한, 상기 번인 테스터(1)는 보드 챔버 및 테스트 챔버 중 적어도 하나의 챔버 내의 공기를 순환시키도록 마련된 송풍팬(100)을 포함한다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예와 관련된 송풍팬(100)을 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 연결부를 나타내는 정면도이다.
또한, 송풍팬(100)은, 모터부(110)와 팬부(130) 및 모터(110)와 팬부(130)를 연결하며, 모터부(110)의 회전력을 전달하여 팬부(130)를 회전시키기 위한 연결부(120)를 포함한다.
구체적으로, 송풍팬(100)은 챔버(보드 챔버 또는 테스트 챔버, 이하 ‘챔버’라고 함) 외부에 배치되며, 챔버 측으로 연장된 구동축(111)을 갖는 모터부(110)를 포함한다. 또한, 송풍팬(100)은 구동축(111)과 연결되어 구동축(111)의 회전을 종동축(140)으로 전달하도록 마련된 연결부(120)를 포함한다. 또한, 상기 연결부(120)는 모터부(110)의 구동축(111)과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축(140)을 포함한다. 또한, 송풍팬(100)은 종동축(140)에 장착되며, 챔버 내에 위치하고, 연결부(120)의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부(130)를 포함한다. 상기 송풍팬(100)은 보드 챔버 또는 테스트 챔버에 설치될 수 있으며, 이하 설명의 편의를 위하여, 테스트 챔버에 설치되는 경우를 예로 들어 설명한다.
또한, 상기 송풍팬(100)은 테스트 챔버(20)의 격벽(21)을 관통하여 설치된다. 이때, 상기 모터부(110)는 테스트 챔버(20) 외부에 배치되고, 팬부(130)는 테스트 챔버(20) 내부에 위치한다. 상기 모터부(110)는 팬부(130)로 전달되는 회전력을 발생시킨다. 또한, 상기 팬부(130)는 복수 개의 블레이드를 포함하며, 프로펠러와 같이 블레이드들의 회전에 따라 챔버 내의 공기 유동을 발생시킨다.
상기 모터부(110)에는 구동축(111)이 마련되고, 상기 팬부(130)에는 종동축(140)(팬부의 회전축 기능을 수행)이 마련된다. 이때, 모터(110)에 전원이 공급되면, 구동축(111)이 회전하게 되고, 상기 구동축(12)의 회전에 따라 연결부(120)가 회전하게 되면, 연결부(120)의 회전에 따라 연결부(120)에 고정된 종동축(13)이 회전하게 되며, 그 결과 팬부(130)의 회전이 이루어진다.
여기서 구동축(111)과 종동축(140)은 직접 맞물려 연결되는 구조가 아니라, 연결부(120)를 통해 간접적으로 연결되는 구조를 갖는다. 구체적으로, 구동축(111)과 종동축(140)은 절단되어 있으며, 구동축(111)과 종동축(140)은 연결부(120)를 통해 최소한의 커플링(coupling)으로 연결된다.
일 실시예로, 연결부(120)는, 구동축(111)이 고정된 제1 부재(121)와, 제1 부재(121)와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축(140)이 고정된 제2 부재(122) 및 제1 부재(121)와 제2 부재(122)를 연결하는 복수 개의 사이드 축(123)을 포함할 수 있다.
상기 제1 부재(121)와 제2 부재(122)는 각각 원형 플레이트일 수 있다. 제1 부재(121)의 중심(C)에는 구동축(111)이 고정된다. 따라서, 제1 부재(121)는 구동축(111)과 함께 회전된다. 또한, 제2 부재(122)의 중심에는 종동축(140)이 고정된다. 따라서, 제2 부재(122)는 종동축(140)과 함께 회전된다. 또한, 제1 부재(121)와 제2 부재(122)는 소정 간격으로 떨어진 상태로 평행하게 배치될 수 있다.
도 5를 참조하면, 복수 개의 사이드 축(123)은, 구동축(111)의 회전중심(C)(제1 부재의 중심)으로 기준으로 제1 부재(121)의 둘레방향을 따라 소정 간격으로 떨어져 배열될 수 있다. 또한, 사이드 축(123)은 구동축(111) 및 종동축(143)의 직경보다 작은 직경을 가질 수 있다. 또한, 상기 종동축(140), 및 연결부(120)를 금속 재질로 형성될 수 있고, 예를 들어, SUS 계열로 형성될 수 있다.
작동 중인 모터부(110)에서 발생한 열은 구동축(111)에서 직접 종동축(140)으로 전달되지 않고, 구동축(111)에 연결부(120)로 전달된다.
한편, 제1 부재(121)와 제2 부재(122)의 간격에 의해 소정 공간이 형성되고, 상기 공간에는 둘레방향을 따라 복수 개의 사이드축(123)이 배열된다.
이때, 연결부(120)는 구동축(111)과 함께 회전되며, 연결부(120) 회전 시, 복수 개의 사이드축(123)이 블로워(blower)의 블레이드와 같은 기능을 수행하며, 구동축(111)으로부터 전달된 열을 외부로 발산시키는 기능을 수행한다. 따라서, 구동축(111)에서 발생하는 열이 직접 종동축(140)으로 전달되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 연결부(120)에서 열을 외부로 발산시킬 수도 있다.
또한, 상기 송풍팬(100)은, 연결부(120)와 팬부(130) 사이에 마련된 단열부(150)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 단열부(150)는 외관을 형성하는 하우징과 하우징 내부에 충진된 단열소재를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 단열부(150)는 테스트 챔버(20)의 격벽(21)에 매설될 수 있다. 상기 단열소재는 열전달을 방지할 수 있는 다양한 소재가 사용될 수 있으며, 예를 들어, 세라쿨(Cera cool)이 사용될 수 있다. 또한, 상기 종동축(140)은 상기 단열부(150)를 관통하게 된다. 상기 단열부(150)는 모터부(111)와 팬부(130) 사이의 열전달이 이루어지는 것을 방지하는 기능을 수행한다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예와 관련된 송풍팬(100-1)을 나타내는 평면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 단열부(150)에는 냉각수가 유동하기 위한 유로(160)가 마련될 수 있다. 이때, 송풍팬(100-1)은 상기 유로(160)를 향해 냉각수를 흘려보내고, 유로의 냉각수를 회수하기 위한 냉각수 공급부를 포함할 수 있다. 상기 냉각수 유로를 통해 단열 성능을 향상시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예와 관련된 송풍팬(100-2)을 나타내는 평면도이다.
도 7을 참조하면, 종동축(140)에는 하나 이상의 홈부(141)가 마련될 수 있다. 종동축(140)의 축 방향을 따라 복수 개의 홈부(141)를 형성할 수 있고, 이러한 경우 종동축(140)의 회전 시 홈부(141)에서 와류를 발생시킴으로써, 열전달을 억제할 수 있다.
또한, 상기 홈부(141)에는 열전달을 억제하기 위한 단열소재가 충진될 수도 있다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예와 관련된 송풍팬(100-3)을 나타내는 평면도이다.
도 8을 참조하면, 단열부(150)와 팬부(140) 사이에는 하나 이상의 보조 팬(170)이 장착될 수 있다. 상기 보조팬(170)은 종동축(140)과 함께 회전하도록 마련될 수 있다. 상기 보조팬(170)은 종동축(140)과 함께 회전하며 열을 발산시키는 기능을 수행할 수 있다. 또한, 상기 보조팬(170)은 결로 생성을 방지하는 기능을 수행할 수 있다.
도 9는 번인 테스터(1)를 구성하는 온도 조절 장치(200)의 구성도이다.
도 9를 참조하면, 상기 온도 조절 장치(200)는, 냉매를 압축하기 위한 압축기(210), 응축기(220), 챔버(보드 챔버 또는 테스트 챔버)의 제어온도 대역에 따라 선택적으로 작동되도록 마련된 복수 개의 팽창 밸브(241, 242, 243, 244) 및 작동 중인 팽창 밸브를 통과한 냉매가 유입되고, 챔버(보드 챔버 또는 테스트 챔버) 내에 배치된 증발기(230)를 포함한다. 한편, 부호 271은 어큐물레이터(accumulator)를 나타내고, 272은 오일 분리기를 나타내며, 273은 리시버(reciever)를 나타내고, 261은 필터 드라이어(filter drier)를 나타내며, 262는 냉매 흐름을 관찰하기 위한 사이트 글라스(sight glass)를 나타낸다.
증발기(230)는 상부 영역에 냉매가 유입되는 입구 및 하부 영역에 냉매가 배출되는 출구를 가질 수 있다. 이러한 구조를 통해, 오일이 증발기 내부에 쌓이는 것을 방지할 수 있고, 오일이 원활히 배출되도록 함으로써, 열교환 성능을 향상시킬 수 있다.
상기 복수 개의 팽창밸브(241, 242, 243, 244) 는 적어도 2개가 서로 다른 용량을 갖는 제1 내지 제4 팽창밸브(241, 242, 243, 244)를 포함한다. 또한, 제1 내지 제4 팽창밸브(241, 242, 243, 244)는 모두 서로 다른 용량을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 내지 제4 팽창밸브(241, 242, 243, 244)는 응축기(220)와 증발기(230) 사이에 병렬로 배열된다. 이러한 구조를 통해, 더욱 다양한 온도 대역(-20 ~ 125℃)에 대응이 가능하다. 또한, 제1 내지 제4 팽창밸브(241, 242, 243, 244) 측에는 각각 냉매의 유입 측에 솔레노이드 밸브(251, 252, 253, 254)가 마련될 수 있다(이하, 제1 내지 제4 솔레노이드 밸브라고 함). 이러한 구조에서, 제1 솔레노이드 밸브(251)가 개방되면, 제1 팽창밸브(241)로 냉매가 흐를 수 있다. 각각의 솔레노이드 밸브의 개방은 제어부(40)에 의해 제어될 수 있다. 또한, 챔버 내의 온도에 따라 특정 솔레노이드 밸브가 개방되도록 미리 설정될 수도 있다.
예를 들어, 챔버의 온도 하강 시에는 온도 하강 시간을 단축시키기 위하여, 4개의 팽창밸브(241, 242, 243, 244)를 모두 동작하도록 할 수 있다. 이때, 제1 내지 제4 솔레노이드 밸브(251, 252, 253, 254)는 모두 개방된다. 또한, 챔버 내의 순환 공기의 제어 온도가 낮을수록 많은 개수의 팽창밸브가 동작하며, 챔버 내의 제어온도가 높을수록 팽창밸브의 개수를 줄여가면서 작동하도록 구성된다. 또한, 대용량 팽창밸브 1개를 사용하는 것보다 서로 다른 용량을 갖는 복수 개의 팽창밸브를 선택적으로 조합하여 작동시킴으로써 증발기(230)의 과냉을 방지할 수 있고, 냉각 효율을 극대화할 수 있다.
또한, 온도 조절 장치(200)는 작동 중인 팽창밸브를 통과한 냉매가 증발기(230)의 입구에서 합류하도록 마련될 수 있다.
또한, 온도 조절 장치(200)는 응축기(220)와 압축기(210)의 유입 측 사이에 마련된 제5 팽창밸브(245)를 추가로 포함할 수 있다. 또한, 온도 조절 장치(200)는 제5 팽창밸브(245)의 냉매의 유입 측에 제5 솔레노이드 밸브(255)가 마련될 수 있다. 이때, 응축기(200)를 통과한 냉매가 제5 솔레노이드 밸브(255)의 개방에 따라 제5 팽창밸브(245)로 흐르게 된다.
여기서 제5 팽창밸브(245)를 통과한 냉매는 증발기(230)로 흐르지 않고, 압축기(210) 측으로 흐르게 된다. 제5 팽창밸브(245)를 통과한 냉매는 압축기(210)가 과열되는 것을 방지하는 기능을 수행한다.
이때, 온도 조절 장치(200)는 제5 팽창밸브(245)를 통과한 냉매와 증발기(230)를 통과한 냉매가 압축기(210) 유입 측에서 합류하도록 마련된다.
위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
1: 번인 테스터
10: 보드 챔버
20: 테스트 챔버
40: 제어부
41: 컨트롤 패널
200: 온도 조절 장치
100: 송풍팬

Claims (10)

  1. 테스트 보드를 수용하기 위해 마련되는 보드 챔버;
    테스터 기판을 수용하기 위해 마련되는 테스트 챔버; 및
    보드 챔버 및 테스트 챔버 중 적어도 하나의 챔버 내의 공기를 순환시키도록 마련된 송풍팬을 포함하며,
    송풍팬은, 챔버 외부에 배치되며, 챔버 측으로 연장된 구동축을 갖는 모터부;
    구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부; 및
    종동축에 장착되며, 챔버 내에 위치하고, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하며,
    종동축에는 하나 이상의 홈부가 마련되고,
    상기 홈부에는 단열소재가 충진된 번인 테스터.
  2. 제 1 항에 있어서, 연결부는,
    구동축이 고정된 제1 부재;
    제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재; 및
    제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함하는 번인 테스터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    복수 개의 사이드 축은, 구동축의 회전중심으로 기준으로 제1 부재의 둘레방향을 따라 배열된 번인 테스터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    연결부와 팬부 사이에 마련된 단열부를 추가로 포함하는 번인 테스터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    단열부에는 냉각수가 유동하기 위한 유로가 마련된 번인 테스터.
  6. 삭제
  7. 제 4 항에 있어서,
    단열부와 팬부 사이에는 하나 이상의 보조 팬이 장착된 번인 테스터.
  8. 제 2 항에 있어서,
    사이드 축은 구동축 및 종동축의 직경보다 작은 직경을 갖는 번인 테스터.
  9. 구동축을 갖는 모터부;
    구동축과 소정 간격으로 떨어져 위치한 종동축을 포함하며, 구동축과 연결되어 구동축의 회전을 종동축으로 전달하도록 마련된 연결부; 및
    종동축에 장착되며, 연결부의 회전에 의해 회전하면서 공기 유동을 발생시키기 위한 팬부를 포함하며,
    종동축에는 하나 이상의 홈부가 마련되고,
    상기 홈부에는 단열소재가 충진된 송풍팬.
  10. 제 9 항에 있어서, 연결부는,
    구동축이 고정된 제1 부재;
    제1 부재와 소정 간격으로 떨어져 위치하고, 종동축이 고정된 제2 부재; 및
    제1 부재와 제2 부재를 연결하는 복수 개의 사이드 축을 포함하는 송풍팬.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210039361A (ko) * 2018-08-27 2021-04-09 주식회사 제이에스티 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터
KR102423240B1 (ko) * 2021-05-14 2022-07-22 주식회사 제이에스티 반도체 테스트 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2735267Y (zh) * 2004-08-02 2005-10-19 祁阳丰达机电有限公司 一种改进型热风机
CN105909683A (zh) * 2016-04-19 2016-08-31 清华大学 超导电机转子轴系隔热传扭结构及其设计方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2735267Y (zh) * 2004-08-02 2005-10-19 祁阳丰达机电有限公司 一种改进型热风机
CN105909683A (zh) * 2016-04-19 2016-08-31 清华大学 超导电机转子轴系隔热传扭结构及其设计方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210039361A (ko) * 2018-08-27 2021-04-09 주식회사 제이에스티 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터
KR102260869B1 (ko) * 2018-08-27 2021-06-07 주식회사 제이에스티 사이드 블로워 시스템을 포함하는 열충격 테스터
KR102423240B1 (ko) * 2021-05-14 2022-07-22 주식회사 제이에스티 반도체 테스트 장치

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