KR101601388B1 - Semiconductor Package and Method of Fabricating the Same - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 244
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 30
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 143
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 63
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 116
- 229920006336 epoxy molding compound Polymers 0.000 description 8
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/568—Temporary substrate used as encapsulation process aid
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73267—Layer and HDI connectors
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- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15313—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a land array, e.g. LGA
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- H01L2924/1815—Shape
- H01L2924/1816—Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
- H01L2924/18162—Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a chip with build-up interconnect
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- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/3511—Warping
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Abstract
반도체 패키지의 제조 방법이 제공된다. 이 방법은 활성면, 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 각각 갖는 복수의 제 1 반도체 칩들 각각의 후면 및 측면들을 덮는 제 1 몰딩부로 구성된 몰딩 웨이퍼를 준비하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계, 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 제 1 몰딩부 또는 제 2 몰딩부를 관통하는 관통 전극을 형성하는 단계, 및 관통 전극이 형성된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 또는 제 1 재배선층에 대향하는 제 2 몰딩부의 표면 상에 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a semiconductor package is provided. The method comprising the steps of: providing a molding wafer comprising a first molding portion covering an active face, a rear face opposite the active face, and a rear face and sides of each of the plurality of first semiconductor chips, each having a side between the active face and the rear face; Forming a first redistribution layer electrically connected to the first semiconductor chips on a first side of the first molding part adjacent to the active surface and the active surface of each of the semiconductor chips, Forming at least one second semiconductor chip electrically connected to the wiring layer, forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer, forming a first molding part electrically connected to the first rewiring layer, Forming a penetrating electrode through the first or second molding portion; and forming a through-hole through the second or the first molding portion opposite to the first surface of the first molding portion, Electrically connected to the through electrode on the second molding surface of the parts characterized in that it comprises a step of forming a second re-distribution layer.
Description
본 발명은 반도체 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로는 3차원 구조를 갖는 반도체 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a semiconductor package having a three-dimensional structure and a manufacturing method thereof.
오늘날 전자 산업의 추세는 더욱 경량화, 소형화, 고속화, 다기능화, 고성능화되고, 높은 신뢰성을 갖는 제품을 저렴하게 제조하는 것이다. 이와 같은 제품 설계의 목표 설정을 가능하게 하는 중요한 기술 중의 하나가 패키지(package) 기술이다. 이에 따라, 근래에 개발된 패키지 중의 하나가 칩 스케일 패키지(Chip Scale Package : CSP)라 할 수 있다. 칩 스케일 패키지는 반도체 칩 크기 수준의 소형화된 반도체 패키지를 제공한다.Today, the trend of the electronics industry is to manufacture lightweight, compact, high-speed, multifunctional, high-performance, and highly reliable products at low cost. One of the important technologies that enables the goal setting of such a product design is package technology. Accordingly, one of the recently developed packages can be referred to as a chip scale package (CSP). The chip scale package provides a miniaturized semiconductor package of semiconductor chip size level.
반도체 패키지의 소형화와 더불어 대용량화도 요구되고 있다. 하지만, 반도체 칩의 용량을 증대시키기 위해서는 한정된 반도체 칩의 공간 안에 보다 많은 수의 셀(cell)을 제조해 넣을 수 있는 기술이 요구된다. 이와 같은 기술은 정밀한 미세 선폭을 요구하는 등 고난도의 기술과 많은 개발 시간을 필요로 한다. 따라서, 최근에 개발된 반도체 칩 또는 반도체 패키지를 이용하여 고집적화를 구현할 수 있는 방법, 예컨대, 반도체 칩을 3차원으로 적층한 멀티 칩 적층 패키지(multi-chip stacked package)나 반도체 패키지를 3차원으로 적층한 적층형 반도체 패키지(stack type semiconductor package)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.In addition to miniaturization of the semiconductor package, a large capacity is also required. However, in order to increase the capacity of the semiconductor chip, there is a demand for a technique capable of manufacturing a larger number of cells in a limited space of the semiconductor chip. Such a technique requires high technology and a lot of development time, such as requiring a precise fine line width. Therefore, a method of realizing high integration by using a recently developed semiconductor chip or a semiconductor package, for example, a method of stacking three-dimensionally a multi-chip stacked package or a semiconductor package in which semiconductor chips are stacked three- A stack type semiconductor package has been actively studied.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 집적도가 높아지고, 치수가 작아지는 동시에 단축된 공정들로 인해 신뢰성을 높일 수 있는 반도체 패키지의 제조 방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of fabricating a semiconductor package capable of increasing the degree of integration and reducing the size and reliability of the process due to shortened processes.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 집적도가 높아지고, 치수가 작아지는 동시에 단축된 공정들로 인해 신뢰성을 높일 수 있는 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor package which has a high degree of integration and can be reduced in dimensions and at the same time can be improved in reliability due to shortened processes.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 활성면, 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 각각 갖는 복수의 제 1 반도체 칩들과 제 1 반도체 칩들 각각의 후면 및 측면들을 덮는 제 1 몰딩부로 구성된 몰딩 웨이퍼를 준비하는 단계, 제 1 반도체 칩들의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계, 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 제 1 몰딩부 또는 제 2 몰딩부를 관통하는 관통 전극을 형성하는 단계, 및 관통 전극이 형성된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 또는 제 1 재배선층에 대향하는 제 2 몰딩부의 표면 상에 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method of manufacturing a semiconductor package. This method comprises preparing a molding wafer composed of a plurality of first semiconductor chips each having an active face, a rear face opposite to the active face, and side faces between the active face and the rear face, and a first molding part covering the rear face and side faces of each of the first semiconductor chips Forming a first redistribution layer electrically connected to the first semiconductor chips on a first side of the first molding part adjacent to the active surface and the active surface of the first semiconductor chips, Forming at least one second semiconductor chip electrically connected to the first rewiring layer on the first rewiring layer, forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer, Forming a penetrating electrode through the first molding portion or the second molding portion in such a manner that the penetrating electrode penetrates through the first molding portion or the second molding portion, Article may be characterized in that it comprises the step of forming the second redistribution layer electrically connected to the through electrode on a second surface opposite to the molding portion.
관통 전극을 형성하는 단계는 제 1 반도체 칩들 사이 또는 제 2 반도체 칩들 사이의 제 1 재배선층의 일부를 노출하도록 제 1 몰딩부 또는 제 2 몰딩부를 관통하는 적어도 하나 이상의 비아 홀을 형성하는 단계, 및 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 비아 홀을 채우는 관통 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The step of forming the penetrating electrode may include forming at least one via hole penetrating the first molding portion or the second molding portion to expose a part of the first rewiring layer between the first semiconductor chips or between the second semiconductor chips, And forming a penetrating electrode filling the via hole to be electrically connected to the first rewiring layer.
비아 홀은 건식 식각 공정, 습식 식각 공정, 레이저 드릴링 공정 또는 기계적 드릴링 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.The via hole may be formed by a dry etching process, a wet etching process, a laser drilling process, or a mechanical drilling process.
제 1 반도체 칩은 메모리 소자이고, 그리고 제 2 반도체 칩은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자인 것을 특징으로 할 수 있다.The first semiconductor chip may be a memory element, and the second semiconductor chip may be a memory element, a logic element, an active element, or a passive element.
제 1 몰딩부 및 제 2 몰딩부는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first molding part and the second molding part may include an epoxy molding compound.
제 2 몰딩부는 압축 성형 방식으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.And the second molding part is formed by a compression molding method.
제 2 반도체 칩은 표면 실장 기술로 실장되는 것을 특징으로 할 수 있다.And the second semiconductor chip is mounted by surface mounting technology.
제 1 재배선층은 제 1 반도체 칩의 본딩 패드들, 제 2 반도체 칩의 본딩 패드들 및 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴, 및 제 1 재배선 패턴 사이를 채우는 제 1 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first rewiring layer includes a first rewiring pattern electrically connected to the bonding pads of the first semiconductor chip, bonding pads of the second semiconductor chip and the penetrating electrode, and a first protective film filling between the first rewiring pattern .
관통 전극은 구리를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The penetrating electrode may be characterized by including copper.
제 2 재배선층은 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴 및 제 2 재배선 패턴 사이를 채우는 제 2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.And the second rewiring layer may include a second rewiring pattern electrically connected to the penetrating electrode and a second protective film filling the space between the second rewiring pattern and the second rewiring pattern.
반도체 패키지의 제조 방법은 제 2 재배선층 상에 제 2 재배선층과 전기적으로 연결되는 접속 단자를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.The manufacturing method of the semiconductor package may further include forming a connection terminal electrically connected to the second rewiring layer on the second rewiring layer.
또한, 상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 다른 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 캐리어 기판 상에 각각의 활성면이 캐리어 기판의 표면을 향하도록 복수의 제 1 반도체 칩들을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 사이의 캐리어 기판 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들, 및 도전성 전극을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계, 캐리어 기판을 제거하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들 및 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계, 제 1 몰딩부를 연마하여 도전성 전극을 노출하는 단계, 및 도전성 전극이 노출된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 상에 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor package. The method includes the steps of attaching a plurality of first semiconductor chips on a carrier substrate such that each active surface faces the surface of the carrier substrate, attaching at least one or more via-type conductive electrodes on the carrier substrate between the first semiconductor chips Forming a first molding part covering the back surface and the side surfaces between the active surface and the back surface opposite to the active surface of each of the first semiconductor chips and the conductive electrode; removing the carrier substrate; Forming a first rewiring layer electrically connected to the first semiconductor chips and the conductive electrode on a first side of the first molding portion adjacent to the exposed active surface and the active surface of the first rewiring layer, Mounting at least one second semiconductor chip electrically connected to the wiring layer, forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer Exposing the conductive electrode by polishing the first molding portion and forming a second rewiring layer electrically connected to the conductive electrode on the second surface opposite to the first surface of the first molding portion where the conductive electrode is exposed The method comprising the steps of:
도전성 전극은 실리콘 인터포저인 것을 특징으로 할 수 있다.The conductive electrode may be a silicon interposer.
제 1 반도체 칩은 메모리 소자이고, 그리고 제 2 반도체 칩은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자인 것을 특징으로 할 수 있다.The first semiconductor chip may be a memory element, and the second semiconductor chip may be a memory element, a logic element, an active element, or a passive element.
제 1 반도체 칩과 도전성 전극은 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다. 제 1 몰딩부를 연마하는 단계에서 제 1 반도체 칩의 상기 후면이 노출되는 것을 특징으로 할 수 있다.The first semiconductor chip and the conductive electrode may have the same height. And the rear surface of the first semiconductor chip is exposed in the step of polishing the first molding part.
제 1 몰딩부 및 제 2 몰딩부는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first molding part and the second molding part may include an epoxy molding compound.
제 1 몰딩부 및 제 2 몰딩부는 압축 성형 방식으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.The first molding part and the second molding part may be formed by a compression molding method.
제 2 반도체 칩은 표면 실장 기술로 실장되는 것을 특징으로 할 수 있다.And the second semiconductor chip is mounted by surface mounting technology.
제 1 재배선층은 제 1 반도체 칩의 본딩 패드들, 제 2 반도체 칩의 본딩 패드들 및 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴, 및 제 1 재배선 패턴 사이를 채우는 제 1 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first rewiring layer includes a first rewiring pattern electrically connected to the bonding pads of the first semiconductor chip, bonding pads of the second semiconductor chip and the conductive electrode, and a first protective film filling the space between the first rewiring patterns .
제 2 재배선층은 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴 및 제 2 재배선 패턴 사이를 채우는 제 2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The second rewiring layer may include a second rewiring pattern electrically connected to the conductive electrode, and a second protective film filling the space between the second rewiring pattern and the second rewiring pattern.
반도체 패키지의 제조 방법은 제 2 재배선층 상에 제 2 재배선층과 전기적으로 연결되는 접속 단자를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The manufacturing method of the semiconductor package may further include forming a connection terminal electrically connected to the second rewiring layer on the second rewiring layer.
또한, 상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 또 다른 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 활성면, 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 각각 갖는 복수의 제 1 반도체 칩들과 제 1 반도체 칩들 각각의 후면 및 측면들을 덮는 제 1 몰딩부로 구성된 몰딩 웨이퍼를 준비하는 단계, 제 1 반도체 칩들의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 및 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor package. This method comprises preparing a molding wafer composed of a plurality of first semiconductor chips each having an active face, a rear face opposite to the active face, and side faces between the active face and the rear face, and a first molding part covering the rear face and side faces of each of the first semiconductor chips Forming a first redistribution layer electrically connected to the first semiconductor chips on a first side of the first molding part adjacent to the active surface and the active surface of the first semiconductor chips, Mounting at least one second semiconductor chip electrically connected to the first rewiring layer on the first rewiring layer and forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer have.
반도체 패키지의 제조 방법은 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 제 1 몰딩부 또는 제 2 몰딩부를 관통하는 관통 전극을 형성하는 단계, 및 관통 전극이 형성된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 또는 제 1 재배선층에 대향하는 제 2 몰딩부의 표면 상에 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.A method of manufacturing a semiconductor package includes the steps of forming a through electrode through a first molding part or a second molding part so as to be electrically connected to a first rewiring layer, And forming a second rewiring layer electrically connected to the penetrating electrode on the surface of the second molding part facing the first rewiring layer or on the surface of the second molding part facing the first rewiring layer.
또한, 상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 또 다른 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 캐리어 기판 상에 각각의 활성면이 캐리어 기판의 표면을 향하도록 복수의 제 1 반도체 칩들을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 사이의 캐리어 기판 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들, 및 도전성 전극을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계, 캐리어 기판을 제거하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들 및 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계, 제 1 재배선층 상에 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 및 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor package. The method includes the steps of attaching a plurality of first semiconductor chips on a carrier substrate such that each active surface faces the surface of the carrier substrate, attaching at least one or more via-type conductive electrodes on the carrier substrate between the first semiconductor chips Forming a first molding part covering the back surface and the side surfaces between the active surface and the back surface opposite to the active surface of each of the first semiconductor chips and the conductive electrode; removing the carrier substrate; Forming a first rewiring layer electrically connected to the first semiconductor chips and the conductive electrode on a first side of the first molding portion adjacent to the exposed active surface and the active surface of the first rewiring layer, Mounting at least one second semiconductor chip electrically connected to the wiring layer, and forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer May be characterized in that it comprises a step.
반도체 패키지의 제조 방법은 제 1 몰딩부를 연마하여 도전성 전극을 노출하는 단계, 및 도전성 전극이 노출된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 상에 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.A method of manufacturing a semiconductor package includes the steps of polishing a first molding portion to expose a conductive electrode and forming a second material on the second surface of the first molding portion, And a step of forming a wiring layer.
또한, 상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 또 다른 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 제 1 재배선층이 형성된 캐리어 기판을 준비하는 단계, 캐리어 기판에 형성된 제 1 재배선층 상에 각각의 활성면이 제 1 재배선층을 향하도록 복수의 제 1 반도체 칩들을 실장하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들, 및 제 1 재배선층을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계, 캐리어 기판을 제거하는 단계, 제 1 재배선층의 노출된 표면 상에 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 및 제 1 재배선층의 노출된 표면 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor package. The method includes the steps of preparing a carrier substrate on which a first rewiring layer is formed, mounting a plurality of first semiconductor chips on the first rewiring layer formed on the carrier substrate such that respective active surfaces face the first rewiring layer, A method of manufacturing a semiconductor device, comprising: forming a first molding part covering the back side and the active side and the back side opposite to the active side of each of the semiconductor chips, and a first rewiring layer; removing the carrier substrate; Mounting at least one second semiconductor chip on the surface, and forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the exposed surface of the first redistribution layer.
또한, 상기한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 또 다른 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 이 방법은 제 1 재배선층이 형성된 캐리어 기판을 준비하는 단계, 캐리어 기판에 형성된 제 1 재배선층 상에 각각의 활성면이 캐리어 기판의 표면을 향하도록 복수의 제 1 반도체 칩들을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 사이의 캐리어 기판의 제 1 재배선층 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극을 부착하는 단계, 제 1 반도체 칩들 각각의 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들, 도전성 전극, 및 제 1 재배선층을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계, 캐리어 기판을 제거하는 단계, 제 1 재배선층의 노출된 표면 상에 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계, 및 제 1 재배선층의 노출된 표면 상에 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor package. The method includes the steps of preparing a carrier substrate on which a first rewiring layer is formed, attaching a plurality of first semiconductor chips on the first rewiring layer formed on the carrier substrate such that respective active surfaces face the surface of the carrier substrate, A step of attaching at least one or more via-type conductive electrodes on a first rewiring layer of the carrier substrate between the semiconductor chips, a rear surface opposite to the active surface of each of the first semiconductor chips and a side surface between the active surface and the back surface, Forming a first molding part covering the electrode and the first rewiring layer, removing the carrier substrate, mounting at least one second semiconductor chip on the exposed surface of the first rewiring layer, And forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the exposed surface of the wiring layer.
게다가, 상기한 다른 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 패키지를 제공한다. 이 반도체 패키지는 적어도 하나의 본딩 패드를 갖는 활성면, 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 갖는 제 1 반도체 칩, 제 1 반도체 칩의 후면 및 측면들을 덮는 제 1 몰딩부, 제 1 반도체 칩의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 구비되되, 제 1 반도체 칩의 본딩 패드와 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층, 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 제 1 재배선층 상에 실장된 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩, 제 2 반도체 칩 및 제 1 배선층을 덮는 제 2 몰딩부, 제 1 몰딩부 또는 제 2 몰딩부를 관통하여 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 관통 전극, 및 관통 전극이 형성된 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 또는 제 1 재배선층에 대향하는 제 2 몰딩부의 표면 상에 구비되되, 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 배선층을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, in order to achieve the above-mentioned other object, the present invention provides a semiconductor package. The semiconductor package includes a first semiconductor chip having an active face with at least one bonding pad, a back face opposite to the active face, and sides between the active face and the back face, a first molding part covering the back face and the side faces of the first semiconductor chip, A first rewiring layer provided on a first surface of the first molding part adjacent to the active surface and the active surface of the first semiconductor chip and electrically connected to the bonding pad of the first semiconductor chip, A second molding part covering at least one or more second semiconductor chips, a second semiconductor chip and a first wiring layer mounted on the first re-wiring layer so as to be connected to the first re-wiring layer, a first re-wiring layer penetrating through the first molding part or the second molding part, And a second molding portion provided on the surface of the second molding portion opposite to the first surface of the first molding portion and electrically connected to the penetrating electrode, And a second wiring layer connected to the first wiring layer.
제 1 반도체 칩은 메모리 소자이고, 그리고 제 2 반도체 칩은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자인 것을 특징으로 할 수 있다.The first semiconductor chip may be a memory element, and the second semiconductor chip may be a memory element, a logic element, an active element, or a passive element.
제 1 몰딩부 및 제 2 몰딩부는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first molding part and the second molding part may include an epoxy molding compound.
제 1 재배선층은 제 1 반도체 칩의 본딩 패드들, 제 2 반도체 칩의 본딩 패드들 및 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴, 및 제 1 재배선 패턴 사이를 채우는 제 1 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The first rewiring layer includes a first rewiring pattern electrically connected to the bonding pads of the first semiconductor chip, bonding pads of the second semiconductor chip and the penetrating electrode, and a first protective film filling between the first rewiring pattern .
관통 전극은 구리를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.The penetrating electrode may be characterized by including copper.
관통 전극은 실리콘 인터포저인 것을 특징으로 할 수 있다. 제 1 반도체 칩과 관통 전극은 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다. 제 1 몰딩부는 제 1 반도체 칩의 후면을 더 노출하는 것을 특징으로 할 수 있다.And the penetrating electrode is a silicon interposer. The first semiconductor chip and the penetrating electrode may have the same height. The first molding part further exposes the rear surface of the first semiconductor chip.
제 2 재배선층은 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴 및 제 2 재배선 패턴 사이를 채우는 제 2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.And the second rewiring layer may include a second rewiring pattern electrically connected to the penetrating electrode and a second protective film filling the space between the second rewiring pattern and the second rewiring pattern.
제 2 재배선층 상에 구비되되, 제 2 재배선층과 전기적으로 연결되는 접속 단자를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.And a connection terminal provided on the second redistribution layer and electrically connected to the second redistribution layer.
상술한 바와 같이, 본 발명의 과제 해결 수단에 따르면 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 및 제 1 면에 대향하는 제 2 면에 각각 재배선층을 형성하고, 이들 재배선층들을 제 1 몰딩부를 관통하는 관통 전극 또는 실리콘 인터포저로 서로 전기적으로 연결함으로써, 작은 치수에 집적도가 높은 반도체 패키지가 제조될 수 있다.As described above, according to the present invention, a re-wiring layer is formed on the first surface of the first molding part for molding the first semiconductor chip and on the second surface opposite to the first surface, 1 through a through electrode or a silicon interposer passing through the molding part, a semiconductor package having a high degree of integration with a small size can be manufactured.
또한, 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부의 제 1 면에 제 1 재배선층을 형성하고, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 실장한 후, 제 2 반도체 칩을 몰딩하는 제 2 몰딩부를 형성함으로써, 공정 과정의 안정성이 높아져 신뢰성이 높은 반도체 패키지가 제조될 수 있다.Further, a first rewiring layer is formed on the first surface of the first molding portion for molding the first semiconductor chip, a second semiconductor chip is mounted on the first rewiring layer, and a second molding The stability of the process is improved, and a highly reliable semiconductor package can be manufactured.
게다가, 제 2 반도체 칩을 몰딩하는 제 2 몰딩부를 형성하는 공정에서 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부가 캐리어 기판의 역할을 수행함으로써, 반도체 패키지를 제조하기 위한 공정들의 수가 단축될 수 있다.In addition, in the step of forming the second molding part for molding the second semiconductor chip, the first molding part for molding the first semiconductor chip serves as the carrier substrate, so that the number of steps for manufacturing the semiconductor package can be shortened.
이에 따라, 집적도가 높아지고, 치수가 작아지는 동시에 단축된 공정들로 인해 신뢰성을 높일 수 있는 반도체 패키지의 제조 방법이 제공될 수 있다.Accordingly, a method of manufacturing a semiconductor package that can increase the degree of integration, reduce the dimensions, and increase the reliability due to shortened processes can be provided.
도 1 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도들이다.
도 10 내지 도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도들이다.1 to 9 are process sectional views illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
10 to 18 are process sectional views illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in different forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 장치는 하나 이상의 다른 구성 요소, 단계, 동작 및/또는 장치의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. 이에 더하여, 본 명세서에서, 어떤 막이 다른 막 또는 기판 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막이 개재될 수도 있다는 것을 의미한다.The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is to be understood that the terms 'comprises' and / or 'comprising' as used herein mean that an element, step, operation, and / or apparatus is referred to as being present in the presence of one or more other elements, Or additions. In addition, since they are in accordance with the preferred embodiment, the reference numerals presented in the order of description are not necessarily limited to the order. In addition, in this specification, when it is mentioned that a film is on another film or substrate, it means that it may be formed directly on another film or substrate, or a third film may be interposed therebetween.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도, 평면도 및/또는 입체도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 특정 영역은 라운드(round)지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 장치의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.In addition, the embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views, plan views, and / or stereoscopic views, which are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. For example, a specific area shown at right angles may be round or may have a shape with a certain curvature. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific forms of regions of the apparatus and are not intended to limit the scope of the invention.
본 발명의 실시예들에 따라 제조되는 반도체 패키지는 팬 아웃(fan-out) 웨이퍼 레벨 패키지(Wafer Level Package : WLP) 형태에 대한 것일 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예들은 3차원 구조를 갖는 팬 아웃 형태의 반도체 패키지의 제조 방법에 관한 것이다.The semiconductor package manufactured according to embodiments of the present invention may be for a fan-out wafer level package (WLP) type. That is, embodiments of the present invention relate to a method of manufacturing a fan-out type semiconductor package having a three-dimensional structure.
도 1 내지 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도들이다.1 to 9 are process sectional views illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 복수의 제 1 반도체 칩들(110)이 제 1 몰딩부(first molding part, 120)에 의해 몰딩되어 구성된 몰딩 웨이퍼(molding wafer)가 준비된다.Referring to FIG. 1, a molding wafer having a plurality of
제 1 반도체 칩들(110) 각각은 본딩 패드들(bonding pad, 112)이 구비된 활성면(active surface), 활성면에 대향하는 후면(rear surface) 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 가질 수 있다. 제 1 반도체 칩들(110)은 메모리(memory) 소자일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 반도체 칩들(110)은 로직(logic) 소자, 능동(active) 소자 또는 수동(passive) 소자 등과 같은 반도체 소자일 수 있다.Each of the
제 1 몰딩부(120)는 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 활성면을 노출하면서, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 후면 및 측면들을 덮을 수 있다. 제 1 몰딩부(120)는 에폭시 몰딩 컴파운드(Epoxy Molding Compound : EMC)를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 몰딩부(120)는 제 1 반도체 칩들(110)을 외부 환경으로부터 보호할 수 있는 절연성을 갖는 경화된 수지(resin)를 포함할 수 있다.The
도 2를 참조하면, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 노출된 활성면 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부(120)의 제 1 면 상에 제 1 재배선층(first ReDistribution Layer : first RDL, 130)이 형성된다. 제 1 재배선층(130)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112)과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴(first redistribution pattern, 132) 및 제 1 재배선 패턴(132) 사이를 채우는 제 1 보호막(134)을 포함할 수 있다. 즉, 제 1 재배선층(130)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112)과 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.Referring to FIG. 2, a first re-distribution layer (first RDL) is formed on a first surface of the
이와는 달리, 제 1 재배선층(130)은 몰딩 웨이퍼가 준비되기 전에 캐리어 기판(carrier substrate) 상에 미리 형성될 수 있다. 즉, 캐리어 기판 상에 형성된 제 1 재배선층(130) 상에 제 1 반도체 칩들(110)이 실장된 후, 제 1 반도체 칩들(110) 및 제 1 재배선층(130)을 덮는 제 1 몰딩부(120)가 형성되고, 그리고 캐리어 기판을 제거하는 것에 의해 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 활성면을 노출하는 제 1 몰딩부(120)의 제 1 면 상에 제 1 재배선층(130)이 구비될 수 있다.Alternatively, the
도 3을 참조하면, 제 1 재배선층(130) 상에 제 1 재배선층(130)과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 실장된다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 표면 실장 기술(Surface Mounting Technology : SMT)로 실장될 수 있다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 그의 활성면 상에 구비된 본딩 패드들(212a, 212b 또는 212c)과 물리적 및 전기적으로 연결된 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)을 매개로 제 1 재배선층(130)의 제 1 재배선 패턴(132)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 플립 칩(Flip Chip : F/C) 방식으로 제 1 재배선층(130) 상에 실장될 수 있다. 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)은 도전성 범프(conductive bump), 솔더 볼(solder ball), 도전성 스페이서(conductive spacer) 또는 핀 그리드 어레이(Pin Grid Array : PGA)일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)은 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)의 종류에 따라 그 형태가 달라질 수 있다.Referring to FIG. 3, at least one
제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자일 수 있다. 바람직하게는, 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자일 수 있다. 적어도 하나의 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 로직 소자일 경우, 최종적으로 제조된 반도체 패키지는 시스템 인 패키지(System in Package : SiP)일 수 있다.The
도 4를 참조하면, 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 실장된 제 1 재배선층(130) 상에 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 덮는 제 2 몰딩부(220)가 형성된다.4, a
제 2 몰딩부(220)는 압축 성형(compression molding) 방식으로 형성될 수 있다. 제 2 몰딩부(220)는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 2 몰딩부(220)는 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 외부 환경으로부터 보호할 수 있는 절연성을 갖는 경화된 수지를 포함할 수 있다.The
도 5를 참조하면, 제 1 반도체 칩들(110) 사이의 제 1 재배선층(130)의 일부를 노출하도록 제 1 몰딩부(120)를 관통하는 적어도 하나 이상의 비아 홀(via hole, 122)이 형성된다.5, at least one via
비아 홀(122)은 건식 식각 공정, 습식 식각 공정, 레이저 드릴링 공정(Laser Drilling Process : LDP) 또는 기계적 드릴링 공정에 의해 형성될 수 있다. 바람직하게는, 비아 홀(122)은 레이저 드릴링 공정에 의해 형성될 수 있다.The via
비아 홀(122)의 형성을 용이하게 하기 위해서, 제 1 몰딩부(120)의 두께를 얇게 만드는 공정이 더 추가될 수도 있다. 제 1 몰딩부(120)의 두께를 얇게 만드는 공정은 제 1 몰딩부(120)의 제 1 면에 대향하는 제 2 면에 대한 연마(polishing) 공정 또는 그라인딩(grinding) 공정 등일 수 있다. 이때, 제 1 몰딩부(120)의 두께를 얇게 만드는 공정은 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 후면을 노출하지 않을 정도로 수행될 수 있다.In order to facilitate the formation of the via
도 6을 참조하면, 비아 홀(122)을 채우면서, 제 1 몰딩부(120)의 제 2 면을 덮는 도전막(124)이 형성된다. 도전막(124)은 도전성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 바람직하게는, 도전막(124)은 구리(Cu)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, a
도전막(124)은 비아 홀(122)이 형성된 제 1 몰딩부(120)의 제 2 면 상에 씨드막(seed layer, 미도시)을 형성한 후, 전기 도금에 의해 형성될 수 있다.The
도 7을 참조하면, 제 1 몰딩부(120)의 제 2 면 상의 도전막(124) 부위가 제거하는 것에 의해, 비아 홀(122)을 채우면서, 제 1 재배선층(130)과 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 관통 전극(126)이 형성된다. 제 1 몰딩부(120)의 제 2 면 상의 도전막(124) 부위를 제거하는 것은 평탄화 공정을 이용할 수 있다. 평탄화 공정은 연마 공정 또는 그라인딩 공정 등일 수 있다. 바람직하게는, 제 1 몰딩부(120)의 제 2 면 상의 도전막(124) 부위를 제거하는 것은 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing : CMP) 공정을 이용할 수 있다.7, the portion of the
관통 전극(126)은 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결되어, 제 1 반도체 칩(130) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 관통 전극(126)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)의 본딩 패드들(212a, 212b 또는 212c)과 제 1 재배선층(130)을 매개로 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.The penetrating
도 8을 참조하면, 관통 전극(126)이 형성된 제 1 몰딩부(130)의 제 2 면 상에 관통 전극(126)과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층(230)이 형성된다. 제 2 재배선층(230)은 관통 전극(126)과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴(232) 및 제 2 재배선 패턴(232) 사이를 채우는 제 2 보호막(234)을 포함할 수 있다. 즉, 제 2 재배선층(230)은 제 1 재배선층(130)과 관통 전극(126)을 매개로 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.Referring to FIG. 8, a
도 9를 참조하면, 제 2 재배선층(230) 상에 제 2 재배선층(230)과 물리적 및 전기적으로 연결되는 접속 단자(140)가 형성된다. 접속 단자(140)는 도전성 범프, 솔더 볼, 도전성 스페이서 또는 핀 그리드 어레이일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 바람직하게는, 접속 단자(140)는 솔더 볼 형태일 수 있다.Referring to FIG. 9, a
이에 따라, 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결된 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결된 관통 전극(126), 관통 전극(126)에 전기적으로 연결된 제 2 재배선층(230) 및 제 2 재배선층(230)에 전기적으로 연결된 접속 단자(140)를 매개로, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The
도시하지 않았지만, 접속 단자(140)의 형성 전 또는 후에 개별의 반도체 패키지로 만들기 위한 절단 공정이 더 수행될 수 있다. 절단 공정은 이웃하는 제 1 반도체 칩들(110)의 주위에 형성된 관통 전극들(126) 사이에 정의되는 절단 영역을 따라 절단하는 것일 수 있다. 절단은 커터(cutter) 또는 레이저를 이용하여 수행될 수 있다.Although not shown, a cutting process for forming individual semiconductor packages before or after the formation of the
도 10 내지 도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도들이다.10 to 18 are process sectional views illustrating a method of manufacturing a semiconductor package according to another embodiment of the present invention.
도 10을 참조하면, 캐리어 기판(100) 상에 각각의 활성면이 캐리어 기판(100)의 접착층(미도시)이 구비된 표면을 향하도록 제 1 반도체 칩들(110)이 부착된다.10, the
제 1 반도체 칩들(110) 각각은 본딩 패드들(112)이 구비된 활성면, 활성면에 대향하는 후면 및 활성면과 후면 사이의 측면들을 가질 수 있다. 제 1 반도체 칩들(110)은 메모리 소자일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 반도체 칩들(110)은 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자 등과 같은 반도체 소자일 수 있다.Each of the
제 1 반도체 칩들(110) 사이의 캐리어 기판(100) 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극(115)이 부착된다. 도전성 전극은 실리콘 인터포저(silicon interposer)일 수 있다. 제 1 반도체 칩들(110)과 도전성 전극(115)은 실질적으로 동일한 높이를 가질 수 있다.At least one or more via-type
캐리어 기판(100)은 제 1 반도체 칩들(110) 및 도전성 전극(115)을 몰딩하는 과정에서 제 1 반도체 칩들(110) 및 도전성 전극(115)에 작용하는 기계적인 응력(stress)를 완화하고, 그리고 이들 사이에서 발생하는 휨(warpage)을 방지할 수 있다. 캐리어 기판(100)은 실리콘 기판, 유리 기판 또는 수지 기판을 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 접착층은 접착 후에 분리가 용이한 재가공 접착제(reworkable adhesive)가 사용될 수 있다. 이는 접착층을 매개로 제 1 반도체 칩들(110) 및 도전성 전극(115)을 캐리어 기판(100)에 부착한 뒤, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 후면 및 측면들, 및 도전성 전극(115)을 몰딩한 다음, 캐리어 기판(110)을 용이하게 제거할 수 있기 때문이다. 이러한 접착층은 자외선 경화 수지(UltraViolet curable resin : UV resin)나 열가소성 수지(thermoplastic)를 포함할 수 있다.The
도 11 및 도 12를 참조하면, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 후면 및 측면들, 및 도전성 전극(115)을 덮는 제 1 몰딩부(120)가 형성된다.Referring to FIGS. 11 and 12, a
제 1 몰딩부(120)는 압축 성형 방식으로 형성될 수 있다. 제 1 몰딩부(120)는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 몰딩부(120)는 제 1 반도체 칩들(110)을 외부 환경으로부터 보호할 수 있는 절연성을 갖는 경화된 수지를 포함할 수 있다.The
캐리어 기판(100)이 제거된다. 이에 따라, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 활성면 및 도전성 전극(115)의 일 단이 노출될 수 있다.The
도 13을 참조하면, 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 노출된 활성면, 도전성 전극(115)의 노출된 일 단 및 활성면에 인접하는 제 1 몰딩부(120)의 제 1 면 상에 제 1 반도체 칩들(110) 및 도전성 전극(115)과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층(130)이 형성된다.Referring to FIG. 13, an exposed active surface of each of the
제 1 재배선층(130)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112)과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴(132) 및 제 1 재배선 패턴(132) 사이를 채우는 제 1 보호막(134)을 포함할 수 있다. 즉, 제 1 재배선층(130)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112)과 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.The
이와는 달리, 제 1 재배선층(130)은 몰딩 웨이퍼가 준비되기 전에 캐리어 기판(100) 상에 미리 형성될 수 있다. 즉, 캐리어 기판(100) 상에 형성된 제 1 재배선층(130) 상에 제 1 반도체 칩들(110) 및 도전성 전극(115)이 실장된 후, 제 1 반도체 칩들(110), 도전성 전극(115) 및 제 1 재배선층(130)을 덮는 제 1 몰딩부(120)가 형성되고, 그리고 캐리어 기판(100)을 제거하는 것에 의해 제 1 반도체 칩들(110) 각각의 활성면 및 도전성 전극(115)의 일 단을 노출하는 제 1 몰딩부(120)의 표면 상에 제 1 재배선층(130)이 구비될 수 있다.Alternatively, the
도 14를 참조하면, 제 1 재배선층(130) 상에 제 1 재배선층(130)과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 실장된다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 표면 실장 기술로 실장될 수 있다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 그의 활성면 상에 구비된 본딩 패드들(212a, 212b 또는 212c)과 물리적 및 전기적으로 연결된 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)을 매개로 제 1 재배선층(130)의 제 1 재배선 패턴(132)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 플립 칩 방식으로 제 1 재배선층(130) 상에 실장될 수 있다. 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)은 도전성 범프, 솔더 볼, 도전성 스페이서 또는 핀 그리드 어레이일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 실장 단자들(215a, 215b 또는 215c)은 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)의 종류에 따라 그 형태가 달라질 수 있다.14, at least one
제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자일 수 있다. 바람직하게는, 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자일 수 있다. 적어도 하나의 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 로직 소자일 경우, 최종적으로 제조된 반도체 패키지는 시스템 인 패키지일 수 있다.The
도전성 전극(115)은 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결되어, 제 1 반도체 칩(130) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)과 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 도전성 전극(115)은 제 1 반도체 칩(110)의 본딩 패드들(112) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)의 본딩 패드들(212a, 212b 또는 212c)과 제 1 재배선층(130)을 매개로 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.The
도 15를 참조하면, 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)이 실장된 제 1 재배선층(130) 상에 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 덮는 제 2 몰딩부(220)가 형성된다.15, a
제 2 몰딩부(220)는 압축 성형 방식으로 형성될 수 있다. 제 2 몰딩부(220)는 에폭시 몰딩 컴파운드를 포함할 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 2 몰딩부(220)는 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 외부 환경으로부터 보호할 수 있는 절연성을 갖는 경화된 수지를 포함할 수 있다.The
도 16을 참조하면, 도전성 전극(115)의 타 단을 노출하기 위해 제 1 몰딩부(120)의 두께를 얇게 만드는 공정이 수행된다. 제 1 몰딩부(120)의 두께를 얇게 만드는 공정은 제 1 몰딩부(120)의 제 1 면에 대향하는 제 2 면에 대한 연마 공정 또는 그라인딩 공정 등일 수 있다. 이때, 제 1 반도체 칩들(110)과 도전성 전극(115)이 실질적으로 동일한 높이를 가질 경우, 제 1 반도체 칩들(110)의 후면이 노출될 수 있다.Referring to FIG. 16, a process of making the thickness of the
도 17을 참조하면, 도전성 전극(115)의 타 단이 노출되도록 얇아진 제 1 몰딩부(130)의 제 2 면 상에 도전성 전극(115)과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층(230)이 형성된다. 제 2 재배선층(230)은 도전성 전극(115)과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴(232) 및 제 2 재배선 패턴(232) 사이를 채우는 제 2 보호막(234)을 포함할 수 있다. 즉, 제 2 재배선층(230)은 제 1 재배선층(130)과 도전성 전극(115)을 매개로 전기적으로 연결되어, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)을 서로 전기적으로 연결하는 역할을 수행할 수 있다.17, a
도 18을 참조하면, 제 2 재배선층(230) 상에 제 2 재배선층(230)과 물리적 및 전기적으로 연결되는 접속 단자(140)가 형성된다. 접속 단자(140)는 도전성 범프, 솔더 볼, 도전성 스페이서 또는 핀 그리드 어레이일 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 바람직하게는, 접속 단자(140)는 솔더 볼 형태일 수 있다.Referring to FIG. 18, a
이에 따라, 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결된 제 1 반도체 칩(110) 및 제 2 반도체 칩(210a, 210b 또는 210c)은 제 1 재배선층(130)에 전기적으로 연결된 도전성 전극(115), 도전성 전극(115)에 전기적으로 연결된 제 2 재배선층(230) 및 제 2 재배선층(230)에 전기적으로 연결된 접속 단자(140)를 매개로, 다른 소자나 외부의 다른 장치와 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The
도시하지 않았지만, 접속 단자(140)의 형성 전 또는 후에 개별의 반도체 패키지로 만들기 위한 절단 공정이 더 수행될 수 있다. 절단 공정은 이웃하는 제 1 반도체 칩들(110)의 주위에 형성된 도전성 전극들(115) 사이에 정의되는 절단 영역을 따라 절단하는 것일 수 있다. 절단은 커터 또는 레이저를 이용하여 수행될 수 있다.Although not shown, a cutting process for forming individual semiconductor packages before or after the formation of the
본 발명의 실시예들에 따른 반도체 패키지의 제조 방법들은 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부의 제 1 면 및 제 1 면에 대향하는 제 2 면에 각각 재배선층을 형성하고, 이들 재배선층들을 제 1 몰딩부를 관통하는 관통 전극 또는 실리콘 인터포저로 서로 전기적으로 연결함으로써, 작은 치수에 집적도가 높은 반도체 패키지가 제조될 수 있다.The method for manufacturing a semiconductor package according to the embodiments of the present invention includes forming a re-wiring layer on a first surface of a first molding part for molding a first semiconductor chip and a second surface opposite to the first surface, The semiconductor package having a high degree of integration in a small dimension can be manufactured by electrically connecting the first molding portion with the through electrode or the silicon interposer through the first molding portion.
또한, 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부의 제 1 면에 제 1 재배선층을 형성하고, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 실장한 후, 제 2 반도체 칩을 몰딩하는 제 2 몰딩부를 형성함으로써, 공정 과정의 안정성이 높아져 신뢰성이 높은 반도체 패키지가 제조될 수 있다.Further, a first rewiring layer is formed on the first surface of the first molding portion for molding the first semiconductor chip, a second semiconductor chip is mounted on the first rewiring layer, and a second molding The stability of the process is improved, and a highly reliable semiconductor package can be manufactured.
본 발명의 실리콘 인터포저 대신에 종래의 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board : PCB) 기반의 비아 바(bar)를 이용하고, 제 1 재배선층 상에 제 2 반도체 칩을 실장하지 않고, 그리고 제 2 반도체 칩을 몰딩하지 않을 경우, 제 2 재배선층을 형성하기 위해 제 1 몰딩부를 연마하는 공정에서 제 1 반도체 칩과 비아 바 사이의 열 팽창 계수(Coefficient of Thermal Expansion : CTE)의 차이로 인한 휨이 발생할 수 있다. 이와는 달리, 본 발명의 실리콘 인터포저는 제 1 반도체 칩과 동일한 실리콘 기반 물질을 포함하기 때문에, 제 2 재배선층을 형성하기 위해 제 1 몰딩부를 연마하는 공정에서 제 1 반도체 칩과 실리콘 인터포저 사이의 열 팽창 계수의 차이로 인한 휨이 최소화될 수 있다.It is possible to use a conventional printed circuit board (PCB) -based via bar instead of the silicon interposer of the present invention, to mount the second semiconductor chip on the first rewiring layer, In the process of polishing the first molding part to form the second rewiring layer, when the chip is not molded, warping due to a difference in the coefficient of thermal expansion (CTE) between the first semiconductor chip and the via bar occurs . On the other hand, since the silicon interposer of the present invention includes the same silicon-based material as the first semiconductor chip, it is possible to reduce the number of steps between the first semiconductor chip and the silicon interposer in the step of polishing the first molding part to form the second re- Warpage due to the difference in thermal expansion coefficient can be minimized.
게다가, 제 2 반도체 칩을 몰딩하는 제 2 몰딩부를 형성하는 공정에서 제 1 반도체 칩을 몰딩하는 제 1 몰딩부가 캐리어 기판의 역할을 수행함으로써, 반도체 패키지를 제조하기 위한 공정들의 수가 단축될 수 있다.In addition, in the step of forming the second molding part for molding the second semiconductor chip, the first molding part for molding the first semiconductor chip serves as the carrier substrate, so that the number of steps for manufacturing the semiconductor package can be shortened.
이에 따라, 집적도가 높아지고, 치수가 작아지는 동시에 단축된 공정들로 인해 신뢰성을 높일 수 있는 반도체 패키지의 제조 방법들이 제공될 수 있다.Thereby, it is possible to provide semiconductor package manufacturing methods capable of increasing the degree of integration, decreasing the dimensions, and increasing the reliability due to the shortened processes.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative and non-restrictive in every respect.
100 : 캐리어 기판
110, 210a, 210b, 210c : 반도체 칩
112, 212a, 212b, 212c : 본딩 패드
115 : 도전성 전극
120, 220 : 몰딩부
122 : 비아 홀
124 : 도전막
126 : 관통 전극
130, 230 : 재배선층
132, 232 : 재배선 패턴
134, 234 : 보호막
140 : 접속 단자
215a, 215b, 215c : 실장 단자100: carrier substrate
110, 210a, 210b and 210c: semiconductor chips
112, 212a, 212b, 212c: bonding pads
115: conductive electrode
120, 220: molding part
122: via hole
124: conductive film
126: penetrating electrode
130 and 230:
132, 232: rewiring pattern
134, 234:
140: connection terminal
215a, 215b, and 215c:
Claims (38)
상기 제 1 반도체 칩들 사이의 상기 캐리어 기판 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극을 포함하고, 상기 제 1 반도체 칩과 동일한 높이를 갖는 실리콘 인터포저를 부착하는 단계;
상기 제 1 반도체 칩들 각각의 상기 활성면에 대향하는 후면 및 상기 활성면과 상기 후면 사이의 측면들, 및 상기 도전성 전극을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계;
상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;
상기 제 1 반도체 칩들 각각의 노출된 상기 활성면 및 상기 활성면에 인접하는 상기 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 상기 제 1 반도체 칩들 및 상기 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층을 형성하는 단계;
상기 제 1 재배선층 상에 상기 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계;
상기 제 1 재배선층 상에 상기 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계;
상기 제 1 몰딩부를 연마하여 상기 도전성 전극을 노출하는 단계; 및
상기 도전성 전극이 노출된 상기 제 1 몰딩부의 상기 제 1 면에 대향하는 제 2 면 상에 상기 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.Attaching a plurality of first semiconductor chips on a carrier substrate such that respective active surfaces face the surface of the carrier substrate;
Attaching a silicon interposer having at least one via-type conductive electrode on the carrier substrate between the first semiconductor chips and having the same height as the first semiconductor chip;
Forming a first molding part covering the back surface opposite to the active surface of each of the first semiconductor chips and the side surfaces between the active surface and the back surface and the conductive electrode;
Removing the carrier substrate;
Forming a first rewiring layer electrically connected to the first semiconductor chips and the conductive electrode on the exposed active surface of each of the first semiconductor chips and the first surface of the first molding part adjacent to the active surface step;
Mounting at least one second semiconductor chip electrically connected to the first rewiring layer on the first rewiring layer;
Forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the first rewiring layer;
Exposing the conductive electrode by polishing the first molding part; And
And forming a second rewiring layer electrically connected to the conductive electrode on a second surface opposite to the first surface of the first molding part from which the conductive electrode is exposed. Way.
상기 제 1 반도체 칩은 메모리 소자이고, 그리고 상기 제 2 반도체 칩은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the first semiconductor chip is a memory device, and the second semiconductor chip is a memory device, a logic device, an active device, or a passive device.
상기 제 1 몰딩부를 연마하는 단계에서 상기 제 1 반도체 칩의 상기 후면이 노출되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the back surface of the first semiconductor chip is exposed in the step of polishing the first molding part.
상기 제 2 반도체 칩은 표면 실장 기술로 실장되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the second semiconductor chip is mounted by surface mounting technology.
상기 제 1 재배선층은:
상기 제 1 반도체 칩의 본딩 패드들, 상기 제 2 반도체 칩의 본딩 패드들 및 상기 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 1 재배선 패턴; 및
상기 제 1 재배선 패턴 사이를 채우는 제 1 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
Wherein the first re-distribution layer comprises:
A first rewiring pattern electrically connected to the bonding pads of the first semiconductor chip, the bonding pads of the second semiconductor chip, and the conductive electrode; And
And a first protective film filling the space between the first wiring patterns.
상기 제 2 재배선층은:
상기 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴; 및
상기 제 2 재배선 패턴 사이를 채우는 제 2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
The second re-distribution layer comprises:
A second rewiring pattern electrically connected to the conductive electrode; And
And a second protective film filling the space between the second wiring patterns.
상기 제 2 재배선층 상에 상기 제 2 재배선층과 전기적으로 연결되는 접속 단자를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.13. The method of claim 12,
And forming a connection terminal electrically connected to the second re-wiring layer on the second re-wiring layer.
상기 캐리어 기판에 형성된 상기 제 1 재배선층 상에 각각의 활성면이 상기 캐리어 기판의 표면을 향하도록 복수의 제 1 반도체 칩들을 부착하는 단계;
상기 제 1 반도체 칩들 사이의 상기 캐리어 기판의 상기 제 1 재배선층 상에 적어도 하나 이상의 비아 형태의 도전성 전극을 포함하고, 상기 제 1 반도체 칩과 동일한 높이를 갖는 실리콘 인터포저를 부착하는 단계;
상기 제 1 반도체 칩들 각각의 상기 활성면에 대향하는 후면 및 상기 활성면과 상기 후면 사이의 측면들, 상기 도전성 전극, 및 상기 제 1 재배선층을 덮는 제 1 몰딩부를 형성하는 단계;
상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;
상기 제 1 재배선층의 노출된 표면 상에 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩을 실장하는 단계;
상기 제 1 재배선층의 상기 노출된 표면 상에 상기 제 2 반도체 칩을 덮는 제 2 몰딩부를 형성하는 단계;
상기 제 1 몰딩부를 연마하여 상기 도전성 전극을 노출하는 단계; 및
상기 도전성 전극이 노출된 상기 제 1 몰딩부의 제 1 면에 대향하는 제 2 면 상에 상기 도전성 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지의 제조 방법.Preparing a carrier substrate on which a first rewiring layer is formed;
Attaching a plurality of first semiconductor chips on the first rewiring layer formed on the carrier substrate such that respective active surfaces face the surface of the carrier substrate;
Attaching a silicon interposer having at least one or more via-type conductive electrodes on the first rewiring layer of the carrier substrate between the first semiconductor chips and having the same height as the first semiconductor chip;
Forming a first molding part covering a rear surface opposite to the active surface of each of the first semiconductor chips and a side surface between the active surface and the rear surface, the conductive electrode, and the first rewiring layer;
Removing the carrier substrate;
Mounting at least one second semiconductor chip on an exposed surface of the first rewiring layer;
Forming a second molding part covering the second semiconductor chip on the exposed surface of the first rewiring layer;
Exposing the conductive electrode by polishing the first molding part; And
And forming a second rewiring layer electrically connected to the conductive electrode on a second surface opposite to the first surface of the first molding part from which the conductive electrode is exposed. .
상기 제 1 반도체 칩의 상기 후면 및 상기 측면들을 덮는 제 1 몰딩부;
상기 제 1 반도체 칩의 노출된 상기 활성면 및 상기 활성면에 인접하는 상기 제 1 몰딩부의 제 1 면 상에 구비되되, 상기 제 1 반도체 칩의 상기 본딩 패드와 전기적으로 연결되는 제 1 재배선층;
상기 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되도록 상기 제 1 재배선층 상에 실장된 적어도 하나 이상의 제 2 반도체 칩;
상기 제 2 반도체 칩 및 상기 제 1 재배선층을 덮는 제 2 몰딩부;
상기 제 1 몰딩부를 관통하여 상기 제 1 재배선층과 전기적으로 연결되는 관통 전극을 포함하고, 상기 제 1 반도체 칩과 동일한 높이를 갖는 실리콘 인터포저; 및
상기 관통 전극이 형성된 상기 제 1 몰딩부의 상기 제 1 면에 대향하는 제 2 면 상에 구비되되, 상기 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선층을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.A first semiconductor chip having an active surface with at least one bonding pad, a back surface opposite the active surface, and side surfaces between the active surface and the back surface;
A first molding part covering the rear surface and the side surfaces of the first semiconductor chip;
A first rewiring layer provided on the exposed active surface of the first semiconductor chip and the first surface of the first molding part adjacent to the active surface, the first rewiring layer being electrically connected to the bonding pads of the first semiconductor chip;
At least one second semiconductor chip mounted on the first rewiring layer so as to be electrically connected to the first rewiring layer;
A second molding part covering the second semiconductor chip and the first rewiring layer;
A silicon interposer having a through hole penetrating the first molding part and electrically connected to the first rewiring layer, the silicon interposer having the same height as the first semiconductor chip; And
And a second rewiring layer provided on a second surface opposite to the first surface of the first molding part on which the penetrating electrode is formed and electrically connected to the penetrating electrode.
상기 제 1 반도체 칩은 메모리 소자이고, 그리고 상기 제 2 반도체 칩은 메모리 소자, 로직 소자, 능동 소자 또는 수동 소자인 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.30. The method of claim 29,
Wherein the first semiconductor chip is a memory device, and the second semiconductor chip is a memory device, a logic device, an active device, or a passive device.
상기 제 1 반도체 칩과 상기 관통 전극은 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.30. The method of claim 29,
Wherein the first semiconductor chip and the penetrating electrode have the same height.
상기 제 1 몰딩부는 상기 제 1 반도체 칩의 상기 후면을 더 노출하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.30. The method of claim 29,
Wherein the first molding portion further exposes the rear surface of the first semiconductor chip.
상기 제 2 재배선층은:
상기 관통 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 재배선 패턴; 및
상기 제 2 재배선 패턴 사이를 채우는 제 2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.30. The method of claim 29,
The second re-distribution layer comprises:
A second rewiring pattern electrically connected to the penetrating electrode; And
And a second protective film filling the spaces between the second wiring patterns.
상기 제 2 재배선층 상에 구비되되, 상기 제 2 재배선층과 전기적으로 연결되는 접속 단자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.30. The method of claim 29,
And a connection terminal provided on the second re-wiring layer, the connection terminal being electrically connected to the second re-wiring layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140004139A KR101601388B1 (en) | 2014-01-13 | 2014-01-13 | Semiconductor Package and Method of Fabricating the Same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140004139A KR101601388B1 (en) | 2014-01-13 | 2014-01-13 | Semiconductor Package and Method of Fabricating the Same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20150084287A KR20150084287A (en) | 2015-07-22 |
| KR101601388B1 true KR101601388B1 (en) | 2016-03-08 |
Family
ID=53874255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140004139A KR101601388B1 (en) | 2014-01-13 | 2014-01-13 | Semiconductor Package and Method of Fabricating the Same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101601388B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10109617B2 (en) | 2016-07-21 | 2018-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Solid state drive package |
| KR20200130926A (en) * | 2019-05-13 | 2020-11-23 | 삼성전기주식회사 | Semiconductor package |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI674658B (en) * | 2015-11-20 | 2019-10-11 | 美商戴卡科技有限公司 | Fully molded miniaturized semiconductor module |
| KR102450576B1 (en) | 2016-01-22 | 2022-10-07 | 삼성전자주식회사 | Electronic component package and manufactruing method of the same |
| US10312193B2 (en) * | 2016-08-12 | 2019-06-04 | Qualcomm Incorporated | Package comprising switches and filters |
| KR102508526B1 (en) * | 2016-08-24 | 2023-03-09 | 삼성전자주식회사 | Method for manufacturing semiconductor package |
| WO2018097408A1 (en) * | 2016-11-28 | 2018-05-31 | 주식회사 네패스 | Semiconductor package using insulation frame and method for producing same |
| KR102491103B1 (en) * | 2018-02-06 | 2023-01-20 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor package and method of fabricating the same |
| KR20200044497A (en) * | 2018-10-19 | 2020-04-29 | 삼성전기주식회사 | Fan-out semiconductor package |
| KR102653212B1 (en) * | 2018-11-26 | 2024-04-01 | 삼성전기주식회사 | Semiconductor package |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100133704A1 (en) | 2008-12-01 | 2010-06-03 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor Device and Method of Forming an Interposer Package with Through Silicon Vias |
| US20130062761A1 (en) | 2011-09-09 | 2013-03-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Packaging Methods and Structures for Semiconductor Devices |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120027807A (en) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | 주식회사 하이닉스반도체 | Method for manufacturing stack package |
| KR101332916B1 (en) * | 2011-12-29 | 2013-11-26 | 주식회사 네패스 | Semiconductor package and method of manufacturing the same |
-
2014
- 2014-01-13 KR KR1020140004139A patent/KR101601388B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100133704A1 (en) | 2008-12-01 | 2010-06-03 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor Device and Method of Forming an Interposer Package with Through Silicon Vias |
| US20130062761A1 (en) | 2011-09-09 | 2013-03-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Packaging Methods and Structures for Semiconductor Devices |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10109617B2 (en) | 2016-07-21 | 2018-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Solid state drive package |
| KR20200130926A (en) * | 2019-05-13 | 2020-11-23 | 삼성전기주식회사 | Semiconductor package |
| KR102653213B1 (en) * | 2019-05-13 | 2024-04-01 | 삼성전기주식회사 | Semiconductor package |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150084287A (en) | 2015-07-22 |
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