KR101550263B1 - Optical inspection apparatus - Google Patents

Optical inspection apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR101550263B1
KR101550263B1 KR1020140023161A KR20140023161A KR101550263B1 KR 101550263 B1 KR101550263 B1 KR 101550263B1 KR 1020140023161 A KR1020140023161 A KR 1020140023161A KR 20140023161 A KR20140023161 A KR 20140023161A KR 101550263 B1 KR101550263 B1 KR 101550263B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
module
light
inspected
illumination
illumination module
Prior art date
Application number
KR1020140023161A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150102145A (en
Inventor
황태상
방종규
Original Assignee
뉴인텍 주식회사
황태상
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 뉴인텍 주식회사, 황태상 filed Critical 뉴인텍 주식회사
Priority to KR1020140023161A priority Critical patent/KR101550263B1/en
Publication of KR20150102145A publication Critical patent/KR20150102145A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101550263B1 publication Critical patent/KR101550263B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 광학검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 광학검사장치는, 검사대상물 상측에 설치되어 상기 검사대상물의 표면의 결함이나 이물질 존재 여부를 검사하기 위해 상기 검사대상물을 촬영하는 카메라와; 상기 검사대상물에 광을 공급하기 위한 복수의 엘이디들이 배열된 동축조명 모듈과; 상기 동축조명 모듈로부터 공급되는 광을 일정각도로 굴절시켜 상기 검사대상물로 조사되도록 하는 하프미러를 구비하되, 상기 동축조명 모듈은, 복수의 엘이디들이 행과 열을 이루어 규칙적으로 배열되고 상하 또는 좌우로 인접되는 엘이디들 사이에는 산란광의 차단을 위한 격벽이 각각 설치되며, 상기 동축조명모듈의 하단에 구성되어 상기 검사대상물의 좌측부분에 광을 조사하기 위한 제1모듈과; 상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제1모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 중앙부분에 광을 조사하기 위한 제2모듈과; 상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제2모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 우측부분에 광을 조사하기 위한 제3모듈을 구비한다.The present invention relates to an optical inspection apparatus, and an optical inspection apparatus according to the present invention includes: a camera installed on an object to be inspected to photograph the object to be inspected for defects or foreign matter on the surface of the object; A coaxial illumination module having a plurality of LEDs arranged to supply light to the object to be inspected; And a half mirror for refracting the light supplied from the coaxial illumination module at a predetermined angle so as to be irradiated onto the object to be inspected. The coaxial illumination module includes a plurality of LEDs arranged in rows and columns, A first module disposed at a lower end of the coaxial illumination module for irradiating light to the left part of the inspection object; A second module stacked on top of the first module with the same structure as the first module, for irradiating light to a central portion of the object to be inspected; And a third module stacked on top of the second module and having a structure identical to that of the first module, for irradiating light to the right portion of the object to be inspected.

Description

광학검사장치{OPTICAL INSPECTION APPARATUS}[0001] OPTICAL INSPECTION APPARATUS [

본 발명은 광학검사장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반도체 패키지 등의 검사대상물의 결함이나 이물질을 검사하기 위해 검사대상물에 균일하면서도 조명의 세기를 조절하여 검사를 효과적으로 수행할 수 있는 광학검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an optical inspection apparatus, and more particularly to an optical inspection apparatus capable of effectively performing inspection by controlling the intensity of illumination uniformly on an object to be inspected in order to inspect defects or foreign matter of the object such as semiconductor packages .

일반적으로 제조된 반도체 패키지의 품질 관리는 반도체 패키지의 제조 공정에서 점차 중요해지고 있으며, 이러한 반도체 패키지들은 유통 및 수출되기 전에 엄격한 품질 관리 및 분석이 요구된다.Generally, the quality control of the manufactured semiconductor package is becoming increasingly important in the manufacturing process of the semiconductor package. Such semiconductor packages require strict quality control and analysis before being distributed and exported.

반도체 패키지 표면의 결함 검사(이하 품질 검사라고 함)를 통해, 제조사는 반도체 패키지를 유통 및 수출하기 전에 이러한 결함을 제거하거나 수정할 수 있다. 반도체 패키지의 품질 및 높은 정밀도에 대한 중요성 및 요구가 증가함에 따라, 반도체 패키지의 표면 품질 검사는 반도체 패키지의 전체 제조 공정에서 점점 중요한 단계가 되고 있다.Through defect inspection of the surface of the semiconductor package (hereinafter referred to as quality inspection), the manufacturer can remove or modify these defects before distributing and exporting the semiconductor package. BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] As the importance and requirements for the quality and high precision of semiconductor packages increase, the surface quality inspection of semiconductor packages has become an increasingly important step in the overall manufacturing process of semiconductor packages.

이러한 반도체 패키지 등의 검사대상물의 표면검사를 위한 광학검사장치는 머신비전장치, 또는 머신비전시스템 등으로 불리는데, 이러한 머신비전에서 조명의 중요성이 부각되고 있다. An optical inspection apparatus for inspecting the surface of an object to be inspected such as a semiconductor package is called a machine vision apparatus or a machine vision system, and the importance of the illumination in such a machine vision is emphasized.

조명은 검사대상물의 형태, 색상, 용도 등에 따라 달리 적용될 수 있으며, 조명의 조사방법에 따라 간접조명(darklight field)과 직접조명(brightlight field)으로 나뉘고, 설치위치에 따라 후방조명(back light) 프런트 조명(front light)으로 구분되기도 한다. The illumination may be applied differently depending on the shape, color, application, etc. of the object to be inspected, and may be divided into a darklight field and a brightlight field according to the illumination method of the object to be inspected. It is also divided into front light.

이러한 다양한 방법에서 검사대상물의 형상이나 조건 등을 고려하여 최적의 조명환경을 선택하기 위해서는 조명의 위치, 방향, 배경, 조명의 세기 등이 고려되어야 하며 조명의 균일도를 갖도록 구성되어야 한다.In order to select the optimal illumination environment in consideration of the shape and condition of the object to be inspected in these various methods, the position, direction, background, and illumination intensity of the illumination should be considered and the illumination should be uniform.

대한민국 공개특허공보 제10-2010-0121250호(2010.11.17.)에서는 조명의 균일도를 위해 동축조명과 하프미러를 통해 조명의 균일도를 가지도록 하고 있다. 이 경우 소스조명에서 주사되는 조명이 하프미러를 통해 1/2은 투과되고 1/2는 굴절 또는 반사되어 수직방향으로 조명을 주사한다. 그러나 이때 하프미러의 제조상의 차이로 인해 반사되는 조명이 균일하게 반사되지 않으며, 상기 소스조명에서 산란되어 주사되는 산란조명성분들에 의해 카메라의 유효영역 내에서 조명의 불균일이 발생되는 문제점이 발생된다. Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2010-0121250 (Nov. 17, 2010) has uniformity of illumination through coaxial illumination and half mirror for uniformity of illumination. In this case, the light being scanned in the source illumination is transmitted through the half mirror through half, and the half is reflected or reflected to scan the light in the vertical direction. However, at this time, the reflected light is not uniformly reflected due to the manufacturing difference of the half mirror, and scattered illumination components scattered in the source illumination cause unevenness of illumination in the effective region of the camera .

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 극복할 수 있는 광학검사장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an optical inspection apparatus which can overcome the above-described problems.

본 발명의 다른 목적은 조명의 균일도를 향상시킬 수 있는 광학검사장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide an optical inspection apparatus capable of improving the uniformity of illumination.

본 발명의 또 다른 목적은 검사대상물의 결함을 정확하게 검사할 수 있는 광학검사장치를 제공하는 데 있다. Still another object of the present invention is to provide an optical inspection apparatus capable of accurately inspecting defects of an object to be inspected.

상기한 기술적 과제들의 일부를 달성하기 위한 본 발명의 구체화에 따라, 본 발명에 따른 광학검사장치는, 검사대상물 상측에 설치되어 상기 검사대상물의 표면의 결함이나 이물질 존재 여부를 검사하기 위해 상기 검사대상물을 촬영하는 카메라와; 상기 검사대상물에 광을 공급하기 위한 복수의 엘이디들이 배열된 동축조명 모듈과; 상기 동축조명 모듈로부터 공급되는 광을 일정각도로 굴절시켜 상기 검사대상물로 조사되도록 하는 하프미러를 구비하되, 상기 동축조명 모듈은, 복수의 엘이디들이 행과 열을 이루어 규칙적으로 배열되고 상하 또는 좌우로 인접되는 엘이디들 사이에는 산란광의 차단을 위한 격벽이 각각 설치되며, 상기 동축조명모듈의 하단에 구성되어 상기 검사대상물의 좌측부분에 광을 조사하기 위한 제1모듈과; 상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제1모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 중앙부분에 광을 조사하기 위한 제2모듈과; 상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제2모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 우측부분에 광을 조사하기 위한 제3모듈을 구비한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided an optical inspection apparatus provided on an object to be inspected, for inspecting the surface of the object for inspection, A camera for photographing an image; A coaxial illumination module having a plurality of LEDs arranged to supply light to the object to be inspected; And a half mirror for refracting the light supplied from the coaxial illumination module at a predetermined angle so as to be irradiated onto the object to be inspected. The coaxial illumination module includes a plurality of LEDs arranged in rows and columns, A first module disposed at a lower end of the coaxial illumination module for irradiating light to the left part of the inspection object; A second module stacked on top of the first module with the same structure as the first module, for irradiating light to a central portion of the object to be inspected; And a third module stacked on top of the second module and having a structure identical to that of the first module, for irradiating light to the right portion of the object to be inspected.

상기 제1모듈, 상기 제2모듈, 및 상기 제3모듈 각각은 광의 조사각도 및 광의 세기를 개별적으로 조절 가능한 구조를 가질 수 있다.Each of the first module, the second module, and the third module may have a structure capable of individually adjusting the angle of light irradiation and the intensity of light.

상기 검사대상물의 측면 상부에서 상기 검사대상물에 광을 조사하기 위해 링(ring)형태로 배열되는 측사조명모듈과; 상기 검사대상물의 측면에서 상기 검사대상물의 에지부위에 광을 조사하기 위해 링 형태로 배열되는 직선조명모듈을 구비할 수 있다.A side illumination light module arranged in a ring shape to irradiate the inspection object with light at an upper side of the inspection object; And a linear illumination module arranged on the side of the inspection object in a ring shape for irradiating light to an edge portion of the inspection object.

상기 측사조명모듈 및 상기 직선조명모듈 각각은 높낮이 조절 및 광의 조사각도의 조절이 가능한 구조를 가질 수 있다.Each of the indicator illumination module and the linear illumination module may have a structure capable of adjusting the height of the light and controlling the angle of light irradiation.

본 발명에 따르면, 동축조명모듈을 구성하는 엘이디들 사이에 격벽을 설치하여 산란광이나 반사광을 제거한 직선성분의 광만이 하프미러에 공급되도록 하여 조명의 균일도를 향상시킬 수 있다. 또한 동축조명모듈을 복수개의 모듈들로 분할하여 조명각도나 조명의 세기(광의 밝기) 또는 조명의 조사위치 등을 개별적으로 제어할 수 있어, 하프미러의 제조특성이나 설치각도에 따라 발생될 수 있는 조명의 불균일문제를 해결할 수 있게 된다. 추가적으로 측사조명모듈 및 직선조명모듈을 통해 검사대상물의 에지 등의 결함검출이 용이하게 된다.According to the present invention, a partition wall is provided between the LEDs constituting the coaxial illumination module, so that only the light of linear components obtained by removing scattered light or reflected light is supplied to the half mirror, thereby improving the uniformity of illumination. In addition, since the coaxial illumination module can be divided into a plurality of modules, the illumination angle, the intensity of light (brightness of light), the irradiation position of illumination, and the like can be individually controlled, It is possible to solve the problem of non-uniformity of illumination. In addition, it is easy to detect defects such as the edge of the inspection object through the indicator illumination module and the linear illumination module.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학검사장치의 개략도이고,
도 2는 도 1의 동축조명모듈 및 하프미러의 상세도이고,
도 3은 도 2의 동축조명모듈을 구성하는 제1모듈의 상세구성을 나타낸 상세도이고,
도 4는 도 1의 광학검사장치의 외형도이다.1 is a schematic view of an optical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,
Figure 2 is a detailed view of the coaxial illumination module and half mirror of Figure 1,
FIG. 3 is a detailed view showing a detailed configuration of a first module constituting the coaxial illumination module of FIG. 2,
4 is an external view of the optical inspection apparatus of FIG.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예가, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 철저한 이해를 제공할 의도 외에는 다른 의도 없이, 첨부한 도면들을 참조로 하여 상세히 설명될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings without intending to intend to provide a thorough understanding of the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학검사장치(100)의 개략도이고, 도 2는 도 1의 동축조명모듈(120) 및 하프미러(130)의 상세도이고, 도 3은 도 2의 동축조명모듈(120)을 구성하는 제1모듈(122)의 상세구성을 나타낸 상세도이고, 도 4는 도 1의 광학검사장치의 외형도이다.2 is a detailed view of the coaxial illumination module 120 and the half mirror 130 of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the optical inspection apparatus 100 of FIG. 4 is a detailed view showing the detailed configuration of the first module 122 constituting the coaxial illumination module 120, and Fig. 4 is an external view of the optical inspection apparatus of Fig.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학검사장치(100)는 카메라(110), 동축조명모듈(120), 하프미러(130)를 구비한다. 추가적으로 측사조명모듈(150), 및 직선조명모듈(160)을 구비할 수 있다.1 to 4, an optical inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a camera 110, a coaxial illumination module 120, and a half mirror 130. In addition, an indicator illumination module 150, and a linear illumination module 160 may be provided.

상기 카메라(110)는 검사대상물(200) 상측에 설치되어 상기 검사대상물(200)의 표면의 결함이나 이물질 존재 여부를 검사하기 위해 상기 검사대상물(200)을 촬영한다. 상기 카메라(110)는 CCD 카메라가 이용될 수 있으나, 이와 달리 통상의 기술자에게 잘 알려진 카메라가 이용될 수 있다. The camera 110 is installed above the object to be inspected 200 to photograph the object 200 to inspect the surface of the object 200 for the presence of defects or foreign matter. The camera 110 may be a CCD camera, but a camera well known to those skilled in the art may be used.

상기 카메라(110)는 높낮이 조절이 가능한 구조를 가져, 조명의 조사각도나 입사각도에 대응할 수 있다.The camera 110 has a height adjustable structure, and can correspond to an illumination angle or an incident angle of illumination.

상기 동축조명모듈(120)은 상기 검사대상물(200)에 광을 공급하기 위한 복수의 엘이디들이 배열된 구조를 가지는 것으로, 상기 검사대상물(200)에 대하여 수평방향으로 광을 조사하지만, 상기 하프미러(130)를 통해 상기 검사대상물(200)에 수직방향으로 광을 조사하게 된다. The coaxial illumination module 120 has a structure in which a plurality of LEDs for supplying light to the inspection object 200 are arranged and irradiates light to the inspection object 200 in a horizontal direction, And irradiates the inspection object 200 with light in a direction perpendicular to the inspection object 200 through the through-hole 130.

상기 하프미러((130)는 상기 동축조명 모듈(120)로부터 공급되는 광을 일정각도로 반사 또는 굴절시켜 상기 검사대상물(200)로 조사되도록 한다.The half mirror 130 reflects or refracts the light supplied from the coaxial illumination module 120 at a predetermined angle to be irradiated to the object 200.

상기 하프미러(130)는 상기 동축조명모듈(120)로부터 수평방향으로 조사되는 광을 일정각도(예를 들면, 90도)로 굴절시켜 상기 검사대상물(200)로 공급하게 된다. 상기 하프미러(130)는 상기 동축조명모듈(120)에서 조사되는 광을 1/2은 투과시키고 1/2은 반사시켜 반사광을 상기 검사대상물(200)로 공급하게 된다.The half mirror 130 refracts light radiated in the horizontal direction from the coaxial illumination module 120 at a predetermined angle (for example, 90 degrees) and supplies the refracted light to the inspection object 200. The half mirror 130 transmits half of the light irradiated from the coaxial illumination module 120 and half the reflected light to supply the reflected light to the inspected object 200.

상기 하프미러(130)는 상기 동축조명모듈(120)에서 조사되는 광을 반사시키기 위해 45도 각도를 가지도록 설치되는 것이 일반적이나, 상기 동축조명모듈(120) 또는 상기 검사대상물(200)의 설치위치에 대응되도록 적절한 각도로 설치되거나, 필요에 따라 다양한 각도를 가지도록 설치될 수 있다.The half mirror 130 is installed at an angle of 45 degrees in order to reflect the light radiated from the coaxial illumination module 120. The half mirror 130 may be installed at the coaxial illumination module 120 or the installation Or may be installed so as to have various angles as required.

상기 하프미러(130)는 하단이 좌측으로 위치되고 상단이 우측으로 위치되도록 일정각도(예를 들면, 45도 각도)로 경사를 가지도록 배치될 수 있다.The half mirror 130 may be disposed to have a slope at a predetermined angle (for example, a 45-degree angle) such that the lower end is positioned to the left and the upper end is positioned to the right.

상기 동축조명모듈(120)과 상기 하프미러(130)사이에는 확산판(diffusion plate)(140)이 구비될 수 있다.A diffusion plate 140 may be provided between the coaxial illumination module 120 and the half mirror 130.

상기 하프미러(130)는 제조 및 코팅과정 등의 제조특성과 설치각도, 상기 동출조명모듈(120)에서 조사되는 광의 입사각도 등에 따라 미세한 균일도 차이가 발생되고, 상기 하프미러(130)를 통해 반사되는 광의 경우에도 수직방향이외에 다른 방향으로도 반사되기 때문에, 산란광이 발생하게 되고 상기 동축조명모듈(120)에서 조사되는 광을 반사하는 반사각도가 균일하지 못하는 경우가 발생되게 된다. The half mirror 130 has a fine uniformity difference depending on the manufacturing characteristics such as manufacturing and coating process, the installation angle, the incident angle of the light irradiated from the module 120, and the half mirror 130 Scattered light is generated and the reflection angle for reflecting the light emitted from the coaxial illumination module 120 may not be uniform because the reflected light is also reflected in other directions than the vertical direction.

따라서, 상기 동축조명모듈(120)을 하나의 일체형 모듈로 구성하게 되면, 상기 검사대상물(200)에 조사되는 광이 균일하지 못하게 되는 문제점이 있다. Therefore, if the coaxial illumination module 120 is formed of one integrated module, the light to be irradiated on the object 200 may not be uniform.

이를 해결하기 위해서는 상기 동축조명모듈(120)을 구성하는 복수의 LED 램프들을 개별적으로 제어하는 방법과, 상기 동축조명모듈(120)을 복수개(예를 들면 3개)의 모듈들로 분리하여 각 모듈들을 개별적으로 분할제어하는 방법이 있을 수 있다. 복수의 LED 램프들을 개별적으로 제어하는 방법은 조명의 평균레벨은 어느정도 균일할 수 있지만 개개의 LED램프들 간의 방사패턴으로 잔물결이 생기는 등의 문제가 있다. 따라서, 상기 동축조명모듈(120)을 복수개의 모듈들로 균등분할하여 개별적으로 분할제어하는 방법이 가장 효과적이라는 것을 발명하게 되었다.In order to solve this problem, a method of separately controlling a plurality of LED lamps constituting the coaxial illumination module 120, a method of separating the coaxial illumination module 120 into a plurality of modules (for example, three modules) There may be a method of individually controlling the division. The method of individually controlling the plurality of LED lamps has a problem that the average level of the illumination may be somewhat uniform, but ripples are generated in the radiation pattern between the individual LED lamps. Accordingly, it has been invented that a method of equally dividing the coaxial illumination module 120 into a plurality of modules and separately controlling the division is most effective.

이에 따라 본 발명에 따른 상기 동축조명모듈(120)은 복수의 LED램프들이 각각 실장된 제1모듈(122), 제2모듈(124) 및 제3모듈(126)이 순차적으로 상하 적층된 구조를 가지게 된다. 경우에 따라, 상기 동축조명모듈(120)은 4개의 모듈 또는 그 이상의 모듈들의 적층구조를 가지는 것도 가능하다. Accordingly, the coaxial illumination module 120 according to the present invention has a structure in which the first module 122, the second module 124, and the third module 126, in which a plurality of LED lamps are mounted, I have. In some cases, the coaxial illumination module 120 may have a stacked structure of four modules or more.

상기 제1모듈(122), 제2모듈(124) 및 제3모듈(126) 각각은 서로 동일한 구조를 가질 수 있으며, 전체적으로 높낮이 조절이 가능하고, 개별적으로 좌우 등의 위치조절이 가능한 구조를 가질 수 있다. 또한 조명의 조사각도나 조명의 세기 또는 조명의 조사위치 등을 개별적으로 제어할 수 있도록 구성된다.Each of the first module 122, the second module 124, and the third module 126 may have the same structure as the first module 122, the second module 124, and the third module 126 may have a structure capable of adjusting the height as a whole, . And is configured to individually control the angle of illumination of the illumination, the intensity of the illumination, or the irradiation position of the illumination.

상기 제1모듈(122)은 복수의 엘이디(127)들이 행과 열을 이루어 규칙적으로 배열되고 상하 또는 좌우로 인접되는 엘이디(127)들 사이에는 산란광의 차단을 위한 격벽(125)이 각각 설치되는 구조를 가진다.In the first module 122, a plurality of LEDs 127 are regularly arranged in rows and columns, and barrier ribs 125 for shielding scattered light are installed between the LEDs 127 that are vertically or laterally adjacent to each other Structure.

상기 격벽(125)은 상기 엘이디(127)들에서 조사되는 광이 산란되거나 분산되는 광을 차단하고 직선성분의 광만이 상기 하프미러(130)에 공급되도록 하기 위한 것으로, 상하로 인접되는 엘이디(127)들 사이에 설치되게 된다. 산란되거나 분산되는 광은 상기 하프미러(130)에 도달하고 반사 또는 굴절되는 경우에, 상기 검사대상물(200)에 공급되는 광의 불균일을 유발할 수 있기 때문에 광의 균일도 향상을 위해 필요하게 된다. The partition wall 125 blocks the light scattered or dispersed by the LEDs 127 so that only the light of a linear component is supplied to the half mirror 130. The partition wall 125 is formed by vertically adjacent LEDs 127 As shown in FIG. Scattered or dispersed light is required to improve the uniformity of light because it can cause unevenness of light to be supplied to the inspection object 200 when it reaches the half mirror 130 and is reflected or refracted.

도면에서는 상기 격벽(125)이 상하로 인접되는 엘이디(127)들 사이에 구비되고 있으나, 필요에 따라 좌우로 인접되는 엘이디(127)들 사이에도 격벽이 구비될 수 있다.Although the barrier ribs 125 are provided between adjacent LEDs 127, barrier ribs may be provided between the left and right LEDs 127 as needed.

상기 제1모듈(122)은 상기 동축조명모듈(120)의 하단에 구성되어 상기 하프미러(130)의 좌측하단에서 반사 또는 굴절되게 되므로, 상기 검사대상물(200)의 좌측부분에 광을 조사하게 된다.The first module 122 is formed at the lower end of the coaxial illumination module 120 and is reflected or refracted at the lower left end of the half mirror 130 so that light is irradiated to the left part of the inspection object 200 do.

상기 제2모듈(124)은 상기 제1모듈(122)과 동일구조로 상기 제1모듈(122)의 상단에 적층된다. 상기 제2모듈(124)은 상기 동축조명모듈(120)의 중앙부분에 구성되어 상기 하프미러(130)의 중앙부분으로 광을 조사하여 반사 또는 굴절되게 되므로, 상기 검사대상물(200)의 중앙부분에 광을 조사하게 된다.The second module 124 is stacked on top of the first module 122 in the same structure as the first module 122. The second module 124 is disposed at a central portion of the coaxial illumination module 120 and is reflected or refracted by irradiating light to a central portion of the half mirror 130. Therefore, As shown in FIG.

상기 제3모듈(126)은 상기 제1모듈(122)과 동일구조로 상기 제2모듈(124)의 상단에 적층된다. 상기 제3모듈(126)은 상기 동축조명모듈(120)의 상단에 구성되어 상기 하프미러(130)의 상단부분으로 광을 조사하여 상기 하프미러(130)의 우측상단에서 반사 또는 굴절되게 되므로, 상기 검사대상물(200)의 우측부분에 광을 조사하게 된다.The third module 126 is stacked on top of the second module 124 in the same structure as the first module 122. The third module 126 is formed at the upper end of the coaxial illumination module 120 and is reflected or refracted at the right upper end of the half mirror 130 by irradiating light to the upper portion of the half mirror 130, The light is irradiated to the right portion of the object to be inspected 200.

상술한 바와 같이, 상기 동축조명모듈(120)은 엘이디(127)들 사이에 격벽(125)을 설치하여 산란광이나 반사광을 제거한 직선성분의 광만이 상기 하프미러(130)에 공급되도록 하여 조명의 균일도를 향상시킬 수 있다.As described above, the coaxial illumination module 120 is provided with a partition wall 125 between the LEDs 127 so that only the linear component of scattered light or reflected light is supplied to the half mirror 130, Can be improved.

또한 상기 동축조명모듈(120)를 복수개의 모듈들(122,124,126)로 분할하여 조명각도나 조명의 세기(광의 밝기) 또는 조명의 조사위치 등을 개별적으로 제어할 수 있어, 상기 하프미러(130)의 제조특성이나 설치각도에 따라 발생될 수 있는 조명의 불균일문제를 해결할 수 있게 된다.In addition, the coaxial illumination module 120 can be divided into a plurality of modules 122, 124, 126 to separately control the illumination angle, the intensity of the light (brightness of the light), the irradiation position of the illumination, It is possible to solve the problem of non-uniformity of illumination that can be generated depending on manufacturing characteristics and installation angle.

상기 동축조명모듈(120)과 상기 하프미러(130)는 하나의 하우징(135)에 의해 보호되는 구성을 가질 수 있다.The coaxial illumination module 120 and the half mirror 130 may be protected by a single housing 135.

상기 측사조명모듈(150) 및 상기 직선조명모듈(160)은 상기 검사대상물(200)의 모서리를 포함하는 에지영역의 미세한 결함이나 이물질 등을 검출하기 위해 이러한 검출이 용이하도록 광을 조사하기 위한 것이다.The side illumination module 150 and the straight illumination module 160 are for irradiating light such that the detection is easy so as to detect minute defects or foreign matter in the edge region including the edge of the inspection object 200 .

상기 측사조명모듈(150)은 상기 동축조명모듈(120)과 상기 검사대상물(200) 사이의 공간인 상기 검사대상물(200)의 측면 상부에 배치되며, 복수의 엘이디(155)들이 링(ring) 형상을 이루며 배치될 수 있다. 상기 측사조명모듈(150)은 복수의 엘이디(155)들을 통해 광이 일정각도를 이루도록 경사진 광경로를 가지도록 배치될 수 있다. 상기 측사조명모듈(150)은 하나의 링형상 또는 서로 인접되는 복수의 링 형상을 가지도록 복수의 엘이디(155)들이 배치될 수 있다. The indicator illumination module 150 is disposed on a side surface of the inspection object 200 which is a space between the coaxial illumination module 120 and the inspection object 200. A plurality of LEDs 155 are disposed on a side surface of the inspection object 200, And can be arranged in a shape. The indicator illumination module 150 may be arranged to have an optical path inclined so that the light passes through the plurality of LEDs 155 at a predetermined angle. A plurality of LEDs 155 may be arranged to have one ring shape or a plurality of adjacent ring shapes.

상기 직선조명모듈(160)은 상기 측사조명모듈(150)의 하부에 배치되며, 상기 검사대상물(200)의 측면에서 상기 검사대상물(200)의 에지부위에 광을 조사하기 위해 링 형태로 배열된다. 상기 직선조명모듈(160)은 상기 검사대상물(200)에 수평방향으로 광을 조사하도록 하기 위한 복수의 엘이디(165)들을 구비한다.The linear illumination module 160 is disposed at a lower portion of the illumination illumination module 150 and is arranged in a ring shape for irradiating light at an edge portion of the inspection object 200 on the side of the inspection object 200 . The linear illumination module 160 includes a plurality of LEDs 165 for irradiating the inspection object 200 with light in a horizontal direction.

상기 측사조명모듈(150) 및 상기 직선조명모듈(160) 각각은 높낮이 조절 및 광의 세기나 광의 조사각도의 조절이 가능한 구조를 가질 수 있다Each of the observer lighting module 150 and the rectilinear lighting module 160 may have a structure capable of controlling the height and the intensity of the light or adjusting the angle of light irradiation

상기 측사조명모듈(150) 및 상기 직선조명모듈(160)은 3차원 기하학적 구조를 가지는 상기 검사대상물(200)의 모서리를 포함하는 에지부위의 결함이나 이물질 검사에 유용할 수 있다.The indicator illumination module 150 and the rectilinear illumination module 160 may be useful for inspecting defects or foreign matter at the edge portion including the edge of the inspection object 200 having a three-dimensional geometry.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 상기 동축조명모듈(120)을 구성하는 엘이디(127)들 사이에 격벽(125)을 설치하여 산란광이나 반사광을 제거한 직선성분의 광만이 상기 하프미러(130)에 공급되도록 하여 조명의 균일도를 향상시킬 수 있다. 또한 상기 동축조명모듈(120)를 복수개의 모듈들(122,124,126)로 분할하여 조명각도나 조명의 세기(광의 밝기) 또는 조명의 조사위치 등을 개별적으로 제어할 수 있어, 상기 하프미러(130)의 제조특성이나 설치각도에 따라 발생될 수 있는 조명의 불균일문제를 해결할 수 있게 된다. 추가적으로 측사조명모듈(150) 및 직선조명모듈(160)을 통해 검사대상물(200)의 에지 등의 결함검출이 용이하게 된다.As described above, according to the present invention, the barrier ribs 125 are provided between the LEDs 127 of the coaxial illumination module 120 so that only the linear component of scattered light or reflected light is removed from the half mirror 130, So that uniformity of illumination can be improved. In addition, the coaxial illumination module 120 can be divided into a plurality of modules 122, 124, 126 to separately control the illumination angle, the intensity of the light (brightness of the light), the irradiation position of the illumination, It is possible to solve the problem of non-uniformity of illumination that can be generated depending on manufacturing characteristics and installation angle. In addition, defects such as edges of the object to be inspected 200 can be easily detected through the indicator illumination module 150 and the linear illumination module 160.

상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 명백하다 할 것이다. The foregoing description of the embodiments is merely illustrative of the present invention with reference to the drawings for a more thorough understanding of the present invention, and thus should not be construed as limiting the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the basic principles of the present invention.

110 : 카메라 120 : 동축조명모듈
130 : 하프미러 140 : 확산판
150 : 측사조명모듈 160 : 직선조명모듈110: camera 120: coaxial illumination module
130: half mirror 140: diffusion plate
150: Indicator illumination module 160: Straight illumination module

Claims (4)

광학검사장치에 있어서:
검사대상물 상측에 설치되어 상기 검사대상물의 표면의 결함이나 이물질 존재 여부를 검사하기 위해 상기 검사대상물을 촬영하는 카메라와;
상기 검사대상물에 광을 공급하기 위한 복수의 엘이디들이 배열된 동축조명 모듈과;
상기 동축조명 모듈로부터 공급되는 광을 일정각도로 굴절시켜 상기 검사대상물로 조사되도록 하는 하프미러를 구비하되,
상기 동축조명 모듈은,
복수의 엘이디들이 행과 열을 이루어 규칙적으로 배열되고 상하 또는 좌우로 인접되는 엘이디들 사이에는 산란광의 차단을 위한 격벽이 각각 설치되며, 상기 동축조명모듈의 하단에 구성되어 상기 검사대상물의 좌측부분에 광을 조사하기 위한 제1모듈과;
상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제1모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 중앙부분에 광을 조사하기 위한 제2모듈과;
상기 제1모듈과 동일구조로 상기 제2모듈의 상단에 적층되어 상기 검사대상물의 우측부분에 광을 조사하기 위한 제3모듈을 구비하며,
상기 제1모듈, 상기 제2모듈, 및 상기 제3모듈은 높낮이 조절 및 좌우위치조절이 가능하고, 광의 조사각도 및 광의 세기를 각각 개별적으로 조절가능한 구조를 가짐을 특징으로 하는 광학검사장치.An optical inspection apparatus comprising:
A camera installed at an upper side of the inspection object and photographing the inspection object to inspect the surface of the inspection object for defects or the presence of foreign matter;
A coaxial illumination module having a plurality of LEDs arranged to supply light to the object to be inspected;
And a half mirror for refracting the light supplied from the coaxial illumination module at a predetermined angle to irradiate the object to be inspected,
The coaxial illumination module includes:
A plurality of LEDs are regularly arranged in rows and columns, and barrier ribs for shielding scattered light are provided between the LEDs adjacent to each other in the vertical direction or the right and left direction. The barrier ribs are formed at the lower end of the coaxial illumination module, A first module for irradiating light;
A second module stacked on top of the first module with the same structure as the first module, for irradiating light to a central portion of the object to be inspected;
And a third module stacked on top of the second module and having a structure identical to that of the first module, for irradiating light to the right portion of the object to be inspected,
Wherein the first module, the second module, and the third module are capable of adjusting the height, the left and right positions, and individually adjust the angle of light and the intensity of light. 삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 광학검사장치는,
상기 검사대상물의 측면 상부에서 상기 검사대상물에 광을 조사하기 위해 링(ring)형태로 배열되는 측사조명모듈과;
상기 검사대상물의 측면에서 상기 검사대상물의 에지부위에 광을 조사하기 위해 링 형태로 배열되는 직선조명모듈을 구비함을 특징으로 하는 광학검사장치.The optical inspection apparatus according to claim 1,
A side illumination light module arranged in a ring shape to irradiate the inspection object with light at an upper side of the inspection object;
And a linear illumination module arranged in a ring shape for irradiating light at an edge portion of the object to be inspected on the side of the object to be inspected. 청구항 3에 있어서,
상기 측사조명모듈 및 상기 직선조명모듈 각각은 높낮이 조절 및 광의 조사각도의 조절이 가능한 구조를 가짐을 특징으로 하는 광학검사장치.The method of claim 3,
Wherein each of the indicator illumination module and the linear illumination module has a structure capable of adjusting a height and a light irradiation angle.
KR1020140023161A 2014-02-27 2014-02-27 Optical inspection apparatus KR101550263B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140023161A KR101550263B1 (en) 2014-02-27 2014-02-27 Optical inspection apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140023161A KR101550263B1 (en) 2014-02-27 2014-02-27 Optical inspection apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150102145A KR20150102145A (en) 2015-09-07
KR101550263B1 true KR101550263B1 (en) 2015-09-15

Family

ID=54242963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140023161A KR101550263B1 (en) 2014-02-27 2014-02-27 Optical inspection apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101550263B1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101767784B1 (en) * 2015-12-24 2017-08-14 주식회사 포스코 A device and a method for detecting a hole or a pin hole
KR101717730B1 (en) * 2016-10-26 2017-03-17 (주) 진코퍼레이션 Vision inspection apparatus
JP6975551B2 (en) * 2017-05-18 2021-12-01 ファスフォードテクノロジ株式会社 Semiconductor manufacturing equipment and methods for manufacturing semiconductor equipment
KR101897043B1 (en) 2018-02-09 2018-10-18 미세기술(주) Optical inspection apparatus for performing automatic illumination processing and optical inspection method using the apparatus
TWI818235B (en) 2018-05-22 2023-10-11 荷蘭商耐克創新有限合夥公司 Leather inspection apparatus and method for detecting inconsistencies on a surface of hide
KR20220142598A (en) 2021-04-14 2022-10-24 삼성디스플레이 주식회사 Illumination apparatus and optical inspection apparatus including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100880546B1 (en) 2008-03-27 2009-01-30 비스(주) Vision inspection apparatus
KR101350786B1 (en) * 2013-10-14 2014-01-16 리스광시스템(주) External coaxial illumination apparatus with uniform illuminance distribution

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100880546B1 (en) 2008-03-27 2009-01-30 비스(주) Vision inspection apparatus
KR101350786B1 (en) * 2013-10-14 2014-01-16 리스광시스템(주) External coaxial illumination apparatus with uniform illuminance distribution

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150102145A (en) 2015-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101550263B1 (en) Optical inspection apparatus
JP5966704B2 (en) Substrate inspection device and transmission illumination device for substrate inspection device
CA2969834C (en) Defect inspection method and apparatus therefor
EA034246B1 (en) Device and method for measuring distortion defects in a manufactured float glass strip
JP2017054017A (en) Diffuser panel and image-capturing device equipped with diffuser panel
KR20140012342A (en) Inspection apparatus for led module
JP2013036948A (en) Defect inspection device
KR20120033071A (en) Lighting apparatus for vision inspection
KR20090133097A (en) System and method for inspection of semiconductor packages
TWI691714B (en) Inspection device and inspection method
KR20170080631A (en) Illumination system, inspection tool with illumination system, and method of operating an illumination system
TWI711816B (en) System and method for inspecting object
KR101520636B1 (en) Optical Method and Apparatus of Image Acquisition and Illumination on Irregular Surface
KR20170062380A (en) Slit light source, and vision inspection apparatus having the same
KR101350786B1 (en) External coaxial illumination apparatus with uniform illuminance distribution
KR20190088970A (en) An apparatus for recording full-area images of a cell culture plate having one or more cavities
KR101015792B1 (en) Test jig for side luminescence type led array
KR101897084B1 (en) Coaxial lighting device for inspection
KR101918109B1 (en) Light source module, and vision inspection module having the same
KR101973482B1 (en) Coaxial Lighting Apparatus
KR20170047140A (en) Inspection apparatus
US8643836B1 (en) Inspection method for inspecting defects of wafer surface
KR101918110B1 (en) Light source module, and vision inspection module having the same
KR102000254B1 (en) Inspection apparatus for strip surface
KR102563511B1 (en) Multi-faceted inspection device using camera and inspection method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180827

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190625

Year of fee payment: 5