KR101049485B1 - Inspection device of light emitting diode - Google Patents

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Abstract

본 발명은 발광 다이오드의 검사 장치에 관한 것으로, 상세하게는 검사 속도 및 검사 신뢰성이 향상된 발광 다이오드의 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection apparatus for a light emitting diode, and more particularly, to an inspection apparatus for a light emitting diode having improved inspection speed and inspection reliability.

본 발명은, 발광 다이오드의 광량을 측정하기 위한 검사 장치에 있어서, 상기 발광 다이오드에서 발산되는 광의 경로를 가이드 하기 위한 광 가이드부가 일 측에 돌출 형성되어 있는 광 적분구를 포함하는 발광 다이오드의 검사 장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for measuring an amount of light of a light emitting diode, wherein the inspection apparatus for a light emitting diode includes an optical integrating sphere in which a light guide portion for guiding a path of light emitted from the light emitting diode protrudes from one side. To provide.

Description

발광 다이오드의 검사 장치{Inspection apparatus of light emitting diode}Inspection apparatus of light emitting diodes

본 발명은 발광 다이오드의 검사 장치에 관한 것으로, 상세하게는 검사 속도 및 검사 신뢰성이 향상된 발광 다이오드의 검사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection apparatus for a light emitting diode, and more particularly, to an inspection apparatus for a light emitting diode having improved inspection speed and inspection reliability.

발광 다이오드(Light emitting diode)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 빛으로 전환시키는 소자로서, 차세대 조명원으로 다양하게 이용 및 개발되고 있다. 이러한 발광 다이오드는 최근 각종 디스플레이로 개발되고 있으며, 특히 액정 표시장치의 백라이트 유닛으로 활발하게 연구 및 개발되고 있다. A light emitting diode is a device that converts electricity into light using characteristics of a compound semiconductor, and has been variously used and developed as a next generation lighting source. Such light emitting diodes have been recently developed into various displays, and particularly, they have been actively researched and developed as backlight units of liquid crystal displays.

이와 같은 종래의 발광 다이오드를 생산하는 과정에서는, 생산된 제품의 불량 여부 등을 검출하기 위하여 발광 다이오드의 광량을 측정하게 된다. 이를 위하여, 발광 다이오드에서 나오는 광을 포토 다이오드와 같은 수광소자에 집광하여 광량을 측정하게 된다. 즉, 수광소자에 광이 입사하면, 입사된 광의 양에 비례하여 전류가 발생하므로, 수광소자에 흐르는 전류의 양을 측정하면 광량을 알 수 있게 되는 것이다. In the process of producing such a conventional light emitting diode, the amount of light of the light emitting diode is measured to detect whether or not the produced product is defective. To this end, the light emitted from the light emitting diode is focused on a light receiving device such as a photodiode to measure the amount of light. That is, when light enters the light receiving element, a current is generated in proportion to the amount of incident light, so that the amount of light can be known by measuring the amount of current flowing through the light receiving element.

그런데, 발광 다이오드의 경우 광이 사방으로 퍼지면서 발산되기 때문에, 발광 다이오드에서 방출되는 광의 일부만이 수광소자에 입사되고, 그 외의 광은 수광 소자로 입사되지 못하게 된다. 따라서, 발광 다이오드에서 나오는 광의 양을 100% 측정하는 것이 용이하지 않다는 문제점이 존재하였다. However, in the case of the light emitting diode, since light is emitted while spreading in all directions, only a part of the light emitted from the light emitting diode is incident on the light receiving element, and no other light is incident on the light receiving element. Therefore, there has been a problem that it is not easy to measure the amount of light emitted from the light emitting diode 100%.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 적분구를 사용하여 발광 다이오드에서 발산되는 빛을 모아서 광량을 측정하는 방법이 개발되었지만, 이 경우 발광 다이오드가 적분구 내로 인입 및 인출되는 과정이 포함되기 때문에, 검사 시간이 길어지고 따라서 제조 수율이 감소한다는 문제점이 존재하였다. In order to solve this problem, a method of measuring light quantity by collecting light emitted from a light emitting diode using an integrating sphere has been developed, but in this case, since the light emitting diode includes a process of drawing in and out of the integrating sphere, the inspection time There has been a problem that this becomes longer and thus the production yield is reduced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 검사 속도 및 검사 신뢰성이 향상된 발광 다이오드의 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a light emitting diode having improved inspection speed and inspection reliability.

본 발명은, 발광 다이오드의 광량을 측정하기 위한 검사 장치에 있어서, 상기 발광 다이오드에서 발산되는 광의 경로를 가이드 하기 위한 광 가이드부가 일 측에 돌출 형성되어 있는 광 적분구를 포함하는 발광 다이오드의 검사 장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided an inspection apparatus for measuring an amount of light of a light emitting diode, wherein the inspection apparatus for a light emitting diode includes an optical integrating sphere in which a light guide portion for guiding a path of light emitted from the light emitting diode protrudes from one side. To provide.

본 발명에 있어서, 상기 광 가이드부는 상기 발광 다이오드의 직상방에 배치될 수 있다. In the present invention, the light guide portion may be disposed directly above the light emitting diode.

본 발명에 있어서, 광량 측정 대상인 상기 발광 다이오드와 상기 적분구의 상기 가이드부 사이의 최단 거리는 3mm 이하일 수 있다. In the present invention, the shortest distance between the light emitting diode, which is a light quantity measurement target, and the guide part of the integrating sphere, may be 3 mm or less.

본 발명에 있어서, 상기 발광 다이오드에서 발산되는 광의 70% 이상이 상기 광 적분구에 유입되도록 상기 광 적분구와 상기 발광 다이오드가 배치될 수 있다. In the present invention, the light integrating sphere and the light emitting diode may be disposed such that 70% or more of the light emitted from the light emitting diode is introduced into the light integrating sphere.

본 발명에 있어서, 상기 발광 다이오드에서 발산되는 광의 균일도(uniformity)가, 상기 발광 다이오드가 상기 광 적분구 내에서 광을 발산할 경우 측정되는 광의 균일도(uniformity)의 90% 이상이 되도록 상기 광 적분구와 상기 발광 다이오드가 배치될 수 있다. In the present invention, the uniformity of the light emitted from the light emitting diode (uniformity) and the light integrating sphere so as to be 90% or more of the uniformity (uniformity) of the light measured when the light emitting diode emits light in the light integrating sphere and The light emitting diode may be disposed.

본 발명에 있어서, 상기 발광 다이오드의 검사 장치는, 소정의 축을 중심으로 방사형으로 형성된 다수 개의 플레이트들을 포함하며, 상기 다수 개의 플레이트들에는 각각 발광 다이오드가 배치 가능하고, 상기 플레이트들이 상기 축을 중심으로 회전하면서 상기 각 플레이트에 배치된 각 발광 다이오드의 광량이 측정될 수 있다. In the present invention, the inspection device of the light emitting diode includes a plurality of plates formed radially about a predetermined axis, the plurality of plates each of which can be disposed a light emitting diode, the plates are rotated about the axis While the light amount of each light emitting diode disposed on each plate can be measured.

이와 같은 본 발명에 의하여, 발광 다이오드의 검사 속도 및 검사 신뢰성이 향상되는 효과를 얻을 수 있다. According to the present invention as described above, an effect of improving the inspection speed and the inspection reliability of the light emitting diode can be obtained.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 보다 상세하게 설명하도록 한다. 이하 설명되는 각 실시예에 있어 동일한 명칭의 구성요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, the same reference numerals are used for the components having the same names.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 검사 장치의 평면도이다. 1 is a cross-sectional view of an inspection device for a light emitting diode according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the inspection device of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치(100)는 적분구(110), 발광 다이오드(120), 프로브(probe)(130), 플레이트(140) 및 회전축(150)을 포함한다. 1 and 2, an inspection apparatus 100 of a light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes an integrating sphere 110, a light emitting diode 120, a probe 130, and a plate 140. And a rotation shaft 150.

발광 다이오드의 검사 장치(100)는 축(150)을 중심으로 방사형으로 형성된 다수 개의 플레이트(140)들을 포함한다. 그리고, 상기 각각의 플레이트(140)들 상에는 측정 대상인 발광 다이오드(120)가 배치된다. The inspection apparatus 100 of the LED includes a plurality of plates 140 formed radially about the axis 150. In addition, a light emitting diode 120 to be measured is disposed on each of the plates 140.

한편, 프로브(130)는 발광 다이오드(120)의 일 측에 배치되고, 발광 다이오드(120)와 전기적으로 접촉하여 전류를 흘려주는 역할을 수행한다. 전류원(미도시)과 연결된 프로브(130)를 발광 다이오드(120)에 접촉시키고, 전류를 인가하면 발광 다이오드(120)가 광을 발하게 된다. On the other hand, the probe 130 is disposed on one side of the light emitting diode 120, and serves to electrically flow in contact with the light emitting diode 120. When the probe 130 connected to the current source (not shown) is brought into contact with the light emitting diode 120 and a current is applied, the light emitting diode 120 emits light.

한편, 상기 플레이트(140)들 상부의 어느 일 측에는, 상기 플레이트(140) 상에 배치된 발광 다이오드(120)에서 방출되는 광을 집광하여 그 광 특성을 파악하기 위한 적분구(110)가 배치된다. On the other hand, on one side of the upper plate 140, the integrating sphere 110 for collecting the light emitted from the light emitting diodes 120 disposed on the plate 140 to determine the optical characteristics are disposed .

상세히, 사방으로 퍼지는 광원의 광량을 측정하기 위해 일반적으로 적분구(Integration Sphere)가 사용된다. 적분구(110)의 내부에는 구형의 공동이 형성되어 있고, 공동 내부는 반사율이 높은 물질로 코팅된다. 그리고, 적분구(110)의 일부분에는 개구부(111)가 형성되고, 그 개구부(111)의 테두리를 따라서 광 가이드부(112)가 일정 정도 돌출 형성되어 있다. 이와 같은 광 가이드부(112)로 광이 들어가면 광이 적분구 내부에서 골고루 반사되어 적분구 내의 광의 분포가 매우 균일해 진다. 따라서, 적분구(110) 내부 표면 어느 영역에서나 광량이 실질적으로 동일하다. 이와 같은 적분구(110)의 내부 일 측에 수광소자(113)를 장착하여 적분구(110) 내부의 광량을 측정할 수 있다. In detail, an integration sphere is generally used to measure the amount of light of a light source spreading in all directions. A spherical cavity is formed in the integrating sphere 110, and the inside of the cavity is coated with a material having high reflectance. An opening 111 is formed in a part of the integrating sphere 110, and the light guide portion 112 protrudes to a certain extent along the edge of the opening 111. When light enters the light guide part 112 as described above, the light is evenly reflected inside the integrating sphere, so that the distribution of the light in the integrating sphere becomes very uniform. Therefore, the amount of light is substantially the same in any region of the inner surface of the integrating sphere 110. The light receiving element 113 may be mounted on one side of the integrating sphere 110 such that the amount of light in the integrating sphere 110 may be measured.

여기서, 적분구 내부 전체 표면에서 측정된 광량이 적분구 내부로 들어온 전체 광량과 동일하며 적분구 내부 표면에서 광량은 실질적으로 균일하므로, 수광소자에서 {측정된 광량 * 적분구 내부 전체 면적 / 수광소자 면적}이 적분구 내부로 들어온 광량이 된다.Here, since the amount of light measured on the whole surface of the integrating sphere is the same as the amount of light entering the inside of the integrating sphere, and the amount of light on the inside of the integrating sphere is substantially uniform, the {measured amount of light * total area inside the integrating sphere / light receiving element The area} is the amount of light introduced into the integrating sphere.

그런데, 종래의 적분구는 발광 다이오드에서 발광 다이오드에서 나오는 광의 양을 100% 측정하기 위하여 발광 다이오드가 적분구 내로 인입 및 인출되는 과정이 포함되기 때문에, 검사 시간이 길어지고 따라서 제조 수율이 감소한다는 문제점이 존재하였다. However, the conventional integrating sphere includes a process in which the light emitting diode is drawn into and taken out of the integrating sphere in order to measure 100% of the light emitted from the light emitting diode in the light emitting diode, so that the inspection time is long and thus the manufacturing yield is reduced. Existed.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치(100)에서는, 적분구(110)의 일 측에 발광 다이오드(120)에서 발산되는 광의 경로를 가이드 하여 집광하기 위한 광 가이드부(112)가 구비되는 것을 일 특징으로 한다. 이와 같은 광 가이드부(112)를 구비함으로써, 발광 다이오드가 적분구 내로 인입 및 인출될 필요성이 없어지므로, 검사 속도가 향상되어 제조 수율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다. In order to solve this problem, in the light emitting diode inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, to guide and focus the path of the light emitted from the light emitting diode 120 to one side of the integrating sphere 110 It is characterized in that the light guide portion 112 is provided for. By providing such a light guide portion 112, there is no need for the light emitting diode to be drawn in and taken out into the integrating sphere, so that the inspection speed is improved and the production yield can be improved.

이를 더욱 상세히 설명하면, 적분구(110)의 일 측으로부터 광 가이드부(112)가 돌출 형성되어서, 발광 다이오드(120)에서 발산되는 광이 적분구(110) 외측으로 유출되지 않고 온전히 적분구(110) 내측으로 입사하도록 광의 경로를 가이드 한다. 이와 같이 발광 다이오드(120)에서 발산되는 광이 적분구(110) 내측으로 입사하도록 하기 위해서는, 광 가이드부(112)와 발광 다이오드(120)가 최대한 근접하도록 배치되는 것이 유리하다. In more detail, the light guide portion 112 protrudes from one side of the integrating sphere 110, so that the light emitted from the light emitting diode 120 does not flow out of the integrating sphere 110 and is completely integrated into the integrating sphere ( 110) Guide the path of light to enter the inside. As described above, in order for the light emitted from the light emitting diodes 120 to be incident into the integrating sphere 110, it is advantageous to arrange the light guide unit 112 and the light emitting diodes 120 as closely as possible.

이때, 광량 측정 대상인 발광 다이오드(120)와 적분구(110)의 광 가이드부(112) 사이의 최단 거리(d)가 3mm 이하가 되도록 발광 다이오드(120)와 적분구(110)를 배치할 수 있다. In this case, the light emitting diode 120 and the integrating sphere 110 may be disposed such that the shortest distance d between the light emitting diode 120 and the light guide portion 112 of the integrating sphere 110 is 3 mm or less. have.

이를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail as follows.

거리d[mm]Distance d [mm] -5-5 00 1One 22 33 44 55 uniformity uniformity 100%100% 98%98% 97%97% 94%94% 90%90% 82%82% 80%80%

표 1은 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)에 따른 광 균일도(uniformity)를 나타내는 표이고, 도 3a 내지 도 3g는 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)에 따른 광 균일도(uniformity)를 측정한 결과를 나타내는 사진이다. 여기서, 표 1의 광 균일도(uniformity)는 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)가 -5mm 일 때, 즉 발광 다이오드(120)가 적분구(110) 내로 완전히 인입되었을 때의 광 균일도(uniformity)를 100%로 가정했을 때의 상대적인 광 균일도를 의미한다. Table 1 is a table showing the light uniformity (uniformity) according to the distance (d) between the light emitting diode 120 and the light guide portion 112, Figures 3a to 3g is a diode 120 and the light guide portion 112 It is a photograph showing the result of measuring the light uniformity (uniformity) according to the distance (d) between. Herein, the light uniformity of Table 1 is obtained when the distance d between the light emitting diode 120 and the light guide part 112 is −5 mm, that is, the light emitting diode 120 is completely drawn into the integrating sphere 110. It means the relative light uniformity when assuming the light uniformity (uniformity) at 100%.

표 1 및 도 3a 내지 도 3g를 참조하면, 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)가 0mm부터 5mm까지 점차로 멀어짐에 따라 광 균일도가 확연하게 낮아짐을 알 수 있다. 그리고, 이러한 광 균일도의 변화 추세를 분석하여 보았을 때, 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)가 3mm가 될 때까지는 광 균일도가 90% 이상을 유지하며, 따라서 신뢰성 있는 측정 결과를 얻을 수 있다. 그러나, 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)가 4mm가 되면, 광 균일도는 82%로 급격하게 저하되며, 도 3f에 도시된 바와 같이 광 얼룩이 발생하는 등 광 균일도가 신뢰할 만한 수준을 만족시키지 못한다는 사실을 육안으로 확인할 수 있다. Referring to Table 1 and FIGS. 3A to 3G, as the distance d between the light emitting diode 120 and the light guide part 112 gradually increases from 0 mm to 5 mm, the light uniformity may be clearly lowered. In addition, when analyzing and analyzing the changing trend of the light uniformity, the light uniformity is maintained at 90% or more until the distance d between the light emitting diode 120 and the light guide part 112 becomes 3 mm, and thus reliability Results can be obtained. However, when the distance d between the light emitting diodes 120 and the light guide portion 112 becomes 4 mm, the light uniformity is rapidly lowered to 82%, and light uniformity is generated as shown in FIG. 3F. It can be seen visually that does not satisfy the level of reliability.

이와 같은 이유로, 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치(100)에서는, 광량 측정 대상인 발광 다이오드(120)와 적분구(110)의 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)의 임계점을 3mm로 설정하는 것이다. For this reason, in the light emitting diode inspection apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the distance d between the light emitting diode 120 and the light guide portion 112 of the integrating sphere 110 are measured. The threshold is set to 3mm.

거리d[mm]Distance d [mm] IF[mA]IF [mA] VF[V]VF [V] Φ[lm]Φ [lm] η[lm/W]η [lm / W] xx yy -5-5 2020 3.263.26 4.2994.299 65.965.9 0.23960.2396 0.19920.1992 00 2020 3.263.26 3.7763.776 57.957.9 0.23970.2397 0.1990.199 1One 2020 3.2593.259 3.6133.613 55.455.4 0.23970.2397 0.19890.1989 22 2020 3.2593.259 3.3953.395 52.152.1 0.23960.2396 0.19860.1986 33 2020 3.2593.259 3.0453.045 46.746.7 0.23960.2396 0.19820.1982 44 2020 3.2553.255 2.7942.794 42.842.8 0.24020.2402 0.1990.199 55 2020 3.2553.255 2.2612.261 34.734.7 0.24070.2407 0.19930.1993

한편, 표 2는 발광 다이오드(120)와 적분구(110)의 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)에 따른 광량 변화를 나타내는 표이고, 도 4는 이를 XY 좌표계 상에 도시한 그래프이다. 도 4에서 X축은 발광 다이오드(120)와 적분구(110)의 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)를 나타낸다. 그리고, Y축은 발광 다이오드(120)와 적분구(110)의 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)가 -5mm 일 때, 즉 발광 다이오드(120)가 적분구(110) 내로 완전히 인입되었을 때의 광량을 100%로 가정했을 때의 상대 광량을 의미한다. On the other hand, Table 2 is a table showing the change in the amount of light according to the distance (d) between the light emitting diode 120 and the light guide portion 112 of the integrating sphere 110, Figure 4 is a graph showing this on the XY coordinate system . In FIG. 4, the X axis represents a distance d between the light emitting diode 120 and the light guide part 112 of the integrating sphere 110. And, the Y-axis is when the distance (d) between the light emitting diode 120 and the light guide portion 112 of the integrating sphere 110 is -5mm, that is, the light emitting diode 120 has been completely drawn into the integrating sphere 110 The relative light amount when the light amount is assumed to be 100%.

표 2 및 도 4를 참조하면, 상술한 발광 다이오드(120)와 광 가이드부(112) 사이의 거리(d)의 임계점인 3mm에서의 상대 광량은 70%임을 알 수 있다. 이를 다시 말하면, 발광 다이오드(120)가 적분구(110) 내로 완전히 인입되었을 때의 광량의 70%이상이 적분구(110) 내로 인입될 수 있는 거리까지는, 발광 다이오드(120)와 적분구(110)가 이격되는 것이 허용됨을 의미한다. Referring to Table 2 and FIG. 4, it can be seen that the relative amount of light at 3 mm, which is the critical point of the distance d between the light emitting diode 120 and the light guide part 112, is 70%. In other words, the light emitting diode 120 and the integrating sphere 110 are provided to a distance at which 70% or more of the amount of light when the light emitting diode 120 is fully introduced into the integrating sphere 110 can be introduced into the integrating sphere 110. ) Is allowed to be spaced apart.

이와 같은 이유로, 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치(100)에서는, 발광 다이오드(120)에서 발산되는 광 중 적분구 내로 유입되어야 하는 광량의 최저점을 70%로 설정할 수도 있는 것이다. For this reason, in the light emitting diode inspection apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the lowest point of the amount of light to be introduced into the integrating sphere among the light emitted from the light emitting diode 120 may be set to 70%.

이와 같은 본 발명에 의하여, 일정 정도 이상의 신뢰성을 유지하면서도, 발광 다이오드(120)에서 발산하는 광의 특성을 검출하기 위하여 발광 다이오드(120)가 일일이 적분구 내부로 인입 및 인출될 필요성이 없어지므로, 검사 속도가 향상되어 제조 수율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다. 즉, 제품 신뢰성과 제조 수율을 동시에 만족시킬 수 있는 임계점을 찾아냄으로써, 사용자의 다양한 요구 사양을 한꺼번에 충족시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다. According to the present invention, while maintaining a certain degree or more of reliability, in order to detect the characteristics of the light emitted from the light emitting diode 120, there is no need for the light emitting diode 120 to be drawn and drawn into the integrating sphere one by one, so It is possible to obtain the effect that the speed is improved and the production yield is improved. In other words, by finding a critical point that can satisfy the product reliability and manufacturing yield at the same time, it is possible to obtain the effect of meeting the various requirements of the user at the same time.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far I looked at the center of the preferred embodiment for the present invention. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 발광 다이오드의 검사 장치의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a light emitting diode inspection device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 검사 장치의 평면도이다. FIG. 2 is a plan view of the inspection device of FIG. 1. FIG.

도 3a 내지 도 3g는 다이오드와 개구부 사이의 거리에 따른 광 균일도(uniformity)를 측정한 결과를 나타내는 사진이다. 3A to 3G are photographs showing the results of measuring light uniformity according to the distance between the diode and the opening.

도 4는 발광 다이오드와 적분구의 개구부 사이의 거리(d)에 따른 광량 변화를 나타내는 그래프이다. 4 is a graph showing a change in the amount of light according to the distance d between the light emitting diode and the opening of the integrating sphere.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100: 발광 다이오드의 검사 장치 110: 적분구100: inspection device of the light emitting diode 110: integrating sphere

111: 개구부 112: 광 가이드부111: opening 112: light guide portion

120: 발광 다이오드 130: 프로브(probe)120: light emitting diode 130: probe

140: 플레이트 150: 회전축140: plate 150: rotation axis

Claims (6)

발광 다이오드의 광량을 측정하기 위한 검사 장치로서, An inspection apparatus for measuring the light amount of a light emitting diode, 소정의 축을 중심으로 방사형으로 형성되며, 발광 다이오드가 배치 가능한 다수 개의 플레이트들; 및A plurality of plates formed radially about a predetermined axis and having a light emitting diode disposed thereon; And 발광 다이오드에서 발산되는 광의 경로를 가이드 하기 위한 광 가이드부가 일 측에 돌출 형성되어 있는 광 적분구;를 포함하며,And a light integrating sphere protruding from one side of the light guide unit for guiding a path of light emitted from the light emitting diode. 상기 플레이트들이 상기 축을 중심으로 회전하면서 상기 플레이트에 배치된 발광 다이오드의 광량이 측정되는, 발광 다이오드의 검사 장치. And the light amount of the light emitting diode disposed on the plate is measured while the plates rotate about the axis. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광 가이드부는 광량 측정 대상인 발광 다이오드의 직상방에 배치되는, 발광 다이오드의 검사 장치. The light guide unit is a light emitting diode inspection device, which is disposed directly above the light emitting diode to be measured the light quantity. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 광량 측정 대상인 발광 다이오드와 상기 적분구의 상기 가이드부 사이의 최단 거리는 3mm 이하인, 발광 다이오드의 검사 장치.The shortest distance between the light emitting diode which is a light quantity measuring object and the said guide part of the said integrating sphere is 3 mm or less, The inspection apparatus of the light emitting diode. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 광량 측정 대상인 발광 다이오드에서 발산되는 광의 70% 이상이 상기 광 적분구에 유입되도록 상기 광 적분구와 광량 측정 대상인 발광 다이오드가 배치되는, 발광 다이오드의 검사 장치.And the light integrating sphere and the light emitting diode being the light quantity measuring target are arranged such that 70% or more of light emitted from the light emitting diode as the light quantity measuring target flows into the light integrating sphere. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 광량 측정 대상인 발광 다이오드에서 발산되는 광의 균일도(uniformity)가, 광량 측정 대상인 발광 다이오드가 상기 광 적분구 내에서 광을 발산할 경우 측정되는 광의 균일도(uniformity)의 90% 이상이 되도록, 상기 광 적분구와 광량 측정 대상인 발광 다이오드가 배치되는, 발광 다이오드의 검사 장치.The uniformity of the light emitted from the light emitting diode to be measured the amount of light (uniformity) is equal to or greater than 90% of the uniformity (uniformity) of the light measured when the light emitting diode to emit light in the light integrating sphere, The light emitting diode inspection apparatus in which the light emitting diode which is a light quantity measuring object is arrange | positioned. 삭제delete
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