KR100484812B1 - Inspection method of surface by image sensor and the same apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명의 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법은, 검사하고자 하는 검사 대상의 표면에 빛이 조사되고, 상기 검사 대상 표면으로부터 반사된 빛이 복수개의 이미지 센서를 통하여 검출되고, 상기 각각의 이미지 센서에 의해 검출된 빛을 이미지로 나타내고, 상기 각각의 이미지의 동일 위치에 대한 명도차를 확인하여 비교하고, 상기 얻어진 명도차와 정상 상태의 명도차를 비교하여 불량 여부를 판단하여 이루어지고;In the surface inspection method using the image sensor of the present invention, light is irradiated to the surface of the inspection object to be inspected, light reflected from the inspection object surface is detected through a plurality of image sensors, and by each of the image sensors Displaying the detected light as an image, checking and comparing the brightness difference with respect to the same position of each image, and comparing the obtained brightness difference with the brightness difference in a steady state to determine whether it is defective;
본 발명의 이미지 센서를 이용한 표면 검사장치는, 검사하고자 하는 검사 대상의 표면에 빛을 조사하는 광원과; 상기 검사 대상의 표면으로부터 반사된 빛을 검출하는 복수개의 이미지 센서와; 상기 각각의 이미지 센서에서 검출된 반사광을 이미지로 나타내는 이미지 처리부와; 상기 이미지 처리부에서 얻어진 각각의 이미지의 동일 위치에 대한 명도차를 비교하고, 상기 이미지간의 명도차와 정상 상태의 명도차를 비교하여 불량여부를 판정하는 비교/판정부를 포함하여 구성됨으로써, 초점이 일치되고 설치각도가 다른 2개의 이미지 센서를 통해 검사 대상 표면의 불량 여부를 검사하여 보다 정확하게 불량 부분을 판단할 수 있는 효과가 있다.Surface inspection apparatus using an image sensor of the present invention, the light source for irradiating light to the surface of the inspection target to be inspected; A plurality of image sensors detecting light reflected from a surface of the inspection object; An image processing unit for displaying reflected light detected by each of the image sensors as an image; The focus is matched by comparing the brightness difference of the same position of each image obtained by the image processing unit, and comparing / determining to determine whether there is a defect by comparing the brightness difference between the images and the brightness difference of the steady state. And by inspecting whether the surface of the inspection target is defective through two image sensors having different installation angles, the defective portion can be more accurately determined.
Description
본 발명은 라인형 이미지 센서를 이용하여 검사 대상 표면의 불량 여부를 검사하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 특히 초점이 일치되고 설치각도가 다른 2개의 이미지 센서를 이용하여 보다 정확하게 불량 부분을 판단할 수 있도록 하는 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for inspecting whether a surface to be inspected is defective by using a line-type image sensor, and in particular, to determine a defective portion more accurately by using two image sensors that are in focus and have different installation angles. The present invention relates to a surface inspection method and inspection apparatus using an image sensor.
일반적으로 라인형 이미지 센서는 하나의 라인 또는 출력감도를 높이기 위하여 연속하는 여러 라인의 합을 이용하는 형태로 구성되어 있다. 이 라인형 이미지 센서를 이용하여 어떤 검사 대상의 표면 결함을 검출하기 위해서는 도 1과 같이 하나의 검사계를 구성하여야 한다.In general, a line-type image sensor is configured in such a way that one line or a sum of several consecutive lines is used to increase the output sensitivity. In order to detect a surface defect of an inspection object using this line type image sensor, one inspection system must be configured as shown in FIG. 1.
종래의 라인형 이미지 센서를 이용한 표면 검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이 라인을 따라 이동되면서 검사 대상(20)에 빛을 조사하는 광원(11)과, 역시 라인을 따라 이동되며 상기 검사 대상(20)으로부터 반사된 반사광의 경로에 설치된 이미지 센서(12)와, 상기 이미지 센서(12)의 각 위치별 출력을 처리하여 검사 대상(20)의 이미지를 획득하는 이미지 처리장치(13)로 구성되어 있다.Surface inspection apparatus using a conventional line-type image sensor is a light source 11 for irradiating light to the inspection object 20 while moving along the line as shown in Figure 1, and also moved along the line and the inspection object ( And an image sensor 12 installed in the path of the reflected light reflected from 20 and an image processing device 13 for processing an output for each position of the image sensor 12 to obtain an image of the inspection target 20. have.
상기와 같이 구성된 종래의 표면 검사장치는 이미지 처리장치에서 획득된 이미지를 통해 표면의 불량 여부를 판단하도록 하고 있다.Conventional surface inspection apparatus configured as described above is to determine whether the surface is defective through the image obtained by the image processing apparatus.
광원(11)은 라인을 따라 이동되면서 검사 대상(20)의 표면에 빛을 조사하게 되고, 이 빛이 반사되는 지점에 위치된 이미지 센서(12)가 광원(11)과 함께 이동되면서 반사광을 검출하게 된다. 이때, 상기 광원(11)과 이미지 센서(12)는 일체로 이동되며, 이들의 위치가 고정되고 검사 대상(20)이 이동될 수도 있다.The light source 11 moves along the line to irradiate light onto the surface of the inspection object 20, and the image sensor 12 located at the point where the light is reflected moves along with the light source 11 to detect the reflected light. Done. In this case, the light source 11 and the image sensor 12 are integrally moved, their positions are fixed, and the inspection object 20 may be moved.
반사광을 검출한 이미지 센서(12)는 소정의 출력을 발생시키게 되고, 이 출력값이 이미지 처리장치(13)로 전달된다. 상기 이미지 처리장치(13)는 이미지 센서(12)의 출력을 이용하여 도 4에 도시된 바와 같은 이미지를 획득할 수 있도록 한다. 이미지 센서(12)의 출력 변화를 이용한 이미지 획득이 가능한 것은 검사 대상(20)의 표면 상태에 따라 이미지 센서(12)의 출력이 변화되기 때문이다.The image sensor 12 which has detected the reflected light generates a predetermined output, and this output value is transmitted to the image processing apparatus 13. The image processing apparatus 13 may acquire an image as shown in FIG. 4 using the output of the image sensor 12. The image acquisition using the output change of the image sensor 12 is possible because the output of the image sensor 12 changes according to the surface state of the inspection object 20.
검사 대상(20)의 표면 결함 검출은 검사 대상(20)의 재질, 결함의 종류 및 형태에 따라 다르지만 도 2와 도 3에 도시된 바와 같은 표면 결함(21)(22)이 있는 경우 검사 대상(20)의 표면에서 반사되는 반사광의 경로가 변화되어 이미지 센서(12)의 출력이 변화된다. 도 2는 검사 대상(20)의 표면에 오목한 부분(21)이 있는 경우로 반사광의 경로가 이미지 센서(12)의 앞쪽으로 바뀌는 것을 보여주고 있으며, 도 3은 검사 대상(20)의 표면에 돌출된 부분(22)이 있으면 반사광의 경로가 이미지 센서(12)의 뒤쪽으로 바뀌는 것을 보여주고 있다. 도 4는 하나의 샘플에 대한 라인형 이미지 센서의 출력 이미지로서, 불량 부분의 명도가 주위와는 다르다는 것을 확인할 수 있게 하고 있다.The detection of the surface defects of the inspection object 20 depends on the material, the type and form of the defect of the inspection object 20, but when there are surface defects 21 and 22 as shown in Figs. The path of the reflected light reflected from the surface of 20 is changed so that the output of the image sensor 12 is changed. FIG. 2 illustrates that the path of the reflected light changes to the front of the image sensor 12 when the concave portion 21 is present on the surface of the inspection object 20, and FIG. 3 protrudes on the surface of the inspection object 20. The presence of the part 22 shows that the path of the reflected light changes to the rear of the image sensor 12. 4 is an output image of the line-type image sensor for one sample, which makes it possible to confirm that the brightness of the defective part is different from the surroundings.
그러나, 상기한 종래의 표면 검사 방법은 검사 대상의 표면에 불량 부분이 있더라도 미세한 불량은 이미지상의 출력 변화가 매우 작아 육안으로는 보이지 않게 되므로 검출이 어려운 문제점이 있다.However, in the conventional surface inspection method described above, even if there is a defective portion on the surface of the inspection target, the fine defect is difficult to detect because the change of output on the image is very small and not visible to the naked eye.
표면 검사에서 불량의 형태나 종류에 따라 차이가 있지만 이미지 상으로는 출력의 변화가 작은 경우가 존재한다. 즉, 아주 미세한 불량의 경우에는 분명히 출력의 변화가 있지만 이 변화가 육안으로는 확인되지 않을 수 있다. 이 경우에는 불량임에도 검사 대상을 정상으로 판정하게 되어 품질의 신뢰도가 약해지게 된다. Although there are differences depending on the type and type of defects in the surface inspection, there are cases where the change in the output is small on the image. In other words, in the case of a very small defect, there is a clear change in the output, but this change may not be visible to the naked eye. In this case, the inspection object is judged to be normal even though it is defective, so that the reliability of the quality is weakened.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 정상 상태와 불량 상태의 데이터를 비교하여 아주 미세한 불량이라도 정확히 검출할 수 있도록 하는 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and provides a surface inspection method and inspection apparatus using an image sensor that can accurately detect even a very small defect by comparing the data of the normal state and the bad state. The purpose is.
상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법은, 검사하고자 하는 검사 대상의 표면에 빛이 조사되는 단계; 상기 검사 대상 표면으로부터 반사된 빛이 복수개의 이미지 센서를 통하여 검출되는 단계; 상기 각각의 이미지 센서에 의해 검출된 빛을 이미지로 나타내는 단계; 상기 각각의 이미지의 동일 위치에 대한 명도차를 확인하여 비교하는 단계; 그리고 상기 얻어진 명도차와 정상 상태의 명도차를 비교하여 불량 여부를 판단하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.상기 이미지 센서는 라인형 이미지 센서를 이용하고, 서로 상이한 위치에 있으면서 동일한 초점을 가진다.상기한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 이미지 센서를 이용한 표면 검사장치는, 검사하고자 하는 검사 대상의 표면에 빛을 조사하는 광원과; 상기 검사 대상의 표면으로부터 반사된 빛을 검출하는 복수개의 이미지 센서와; 상기 각각의 이미지 센서에서 검출된 반사광을 이미지로 나타내는 이미지 처리부와; 상기 이미지 처리부에서 얻어진 각각의 이미지의 동일 위치에 대한 명도차를 비교하고, 상기 이미지간의 명도차와 정상 상태의 명도차를 비교하여 불량여부를 판정하는 비교/판정부를 포함한 것을 특징으로 한다.상기 이미지 센서는 라인형 이미지 센서로 구성되고, 서로 상이한 위치에 설치되며, 동일한 초점을 가지도록 구성되는 것이 바람직하다.The surface inspection method using the image sensor of the present invention for solving the above technical problem, the step of irradiating light to the surface of the inspection target to be inspected; Detecting light reflected from the surface to be inspected through a plurality of image sensors; Representing the light detected by each image sensor as an image; Identifying and comparing brightness differences with respect to the same position of each image; And comparing the obtained brightness difference with the brightness difference in a normal state to determine whether the image is defective. The image sensor uses a line-type image sensor and has the same focus while being at different positions from each other. The surface inspection apparatus using the image sensor of the present invention for solving the technical problem, and a light source for irradiating light to the surface of the inspection object to be inspected; A plurality of image sensors detecting light reflected from a surface of the inspection object; An image processing unit for displaying reflected light detected by each of the image sensors as an image; And a comparison / determination unit for comparing the difference in brightness of the same position of each image obtained by the image processing unit, and comparing the difference in brightness between the images and the brightness difference in the normal state to determine whether there is any defect. The sensor is preferably composed of a line-type image sensor, installed at different positions from each other, and configured to have the same focus.
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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법은 동일한 초점을 가지는 2개의 이미지 센서를 이용하여 검사 대상 표면에서 반사되는 반사광을 검출하는 제1단계와; 상기 이미지 센서에 의해 검출된 반사광을 이용하여 각 센서의 이미지를 취득하는 제2단계와; 상기 제2단계에서 취득된 2개의 이미지를 분석 및 비교하여 불량 여부를 판단하는 제3단계로 구성된다.A surface inspection method using an image sensor according to the present invention includes a first step of detecting reflected light reflected from a surface to be inspected using two image sensors having the same focus; A second step of acquiring an image of each sensor using the reflected light detected by the image sensor; And a third step of determining whether or not there is a defect by analyzing and comparing the two images acquired in the second step.
상기 제 3단계는 두 이미지의 동일 위치에 대한 명도를 확인하는 제1과정과, 상기 제1과정에서 확인된 명도를 비교하는 제2과정과, 정상 상태의 명도차와 상기 제2과정의 명도차를 비교하여 불량 부분을 강조하는 제3과정으로 구성된다.The third step includes a first process of checking brightness for the same position of two images, a second process of comparing brightness checked in the first process, a brightness difference between a normal state and a brightness difference between the second process. It is composed of a third process to emphasize the bad parts by comparing the.
이를 위한 본 발명의 이미지 센서를 이용한 표면 검사장치는 도 5에 도시된 바와 같이 검사하고자 하는 검사 대상(50)의 표면에 특정한 방향으로 조사하는 광원(61)과, 상기 검사 대상(50)의 표면에서 반사되는 반사광을 서로 다른 각도에서 검출하며 동일한 초점을 갖는 2개의 라인형 이미지 센서(62)(64)와, 상기 이미지 센서(62)(64)에서 얻어진 반사광을 처리하여 이미지로 나타내는 이미지 처리부(65)와, 상기 이미지 처리부(65)에서 얻어진 이미지의 명도를 비교하여 불량 여부를 판정하는 비교/판정부(66)로 구성된다.The surface inspection apparatus using the image sensor of the present invention for this purpose is a light source 61 for irradiating the surface of the inspection target 50 to be inspected in a specific direction as shown in Figure 5, the surface of the inspection target 50 Detects reflected light reflected from different angles and has two line-type image sensors 62 and 64 having the same focus, and an image processor which processes and reflects the reflected light obtained by the image sensors 62 and 64 as an image. 65) and a comparison / decision unit 66 for comparing the brightness of the image obtained by the image processing unit 65 to determine whether or not it is defective.
이때, 상기 비교/판정부(66)는 상기 이미지 처리부(65)에서 얻어진 두 이미지의 동일 위치에 대한 명도를 비교하고, 두 이미지의 명도차와 정상 상태의 명도차를 비교하여 정상 또는 불량으로 판정한다.At this time, the comparison / determination unit 66 compares the brightness of the same position of the two images obtained by the image processing unit 65, compares the difference between the brightness of the two images and the brightness difference of the normal state to determine whether it is normal or bad do.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 표면 검사방법 및 검사장치는 공간적인 위치 차이가 있는 둘 이상의 이미지 센서의 출력 차이를 이용하여 표면의 미세한 결함과 같은 불량을 보다 쉽게 검출할 수 있게 한다.The surface inspection method and the inspection apparatus according to the present invention configured as described above makes it possible to more easily detect a defect such as a minute defect on the surface by using the output difference of two or more image sensors having a spatial position difference.
광원(61)에서 검사 대상(50)에 빛을 조사하면 검사 대상(50)의 표면에서 반사되므로, 이미지 센서(62)(64)는 반사광을 검출하게 된다. 이때, 두 이미지 센서(62)(64)는 초점이 일치되어 같은 지점을 보고 있으나 공간적으로는 다른 위치에 있으므로 경우에 따라 두 이미지 센서(62)(64)의 출력에는 차이가 있게 된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 검사 대상(50)의 표면이 평탄할 경우에는 두 이미지 센서(62)(64)의 출력차이의 변화는 거의 없으나, 도 6와 도 7에 도시된 바와 같이 불량부분(51)(52)이 있는 경우에는 두 이미지 센서(62)(64)의 출력차에 변화가 발생된다.When the light source 61 irradiates the test object 50 with light, the light is reflected from the surface of the test object 50, so that the image sensors 62 and 64 detect the reflected light. At this time, the two image sensors 62 and 64 are in focus and look at the same point, but since they are at different locations in space, there is a difference in the outputs of the two image sensors 62 and 64 in some cases. That is, when the surface of the inspection object 50 is flat as shown in FIG. 5, there is almost no change in the output difference between the two image sensors 62 and 64, but as shown in FIGS. 6 and 7. If there are portions 51 and 52, a change occurs in the output difference between the two image sensors 62 and 64.
도 6에 도시된 바와 같이 반사광의 경로가 앞쪽으로 빠지는 경우에는 앞쪽 이미지 센서(62)의 출력은 커지고 뒤쪽 이미지 센서(64)의 출력은 작아진다. 따라서, 이미지 처리장치(65)에 입력되는 두 이미지 센서(62)(64)의 출력차는 정상일 경우에 비해 큰 값으로 변화된다. 또, 도 7에 도시된 바와 같이 반사광의 경로가 뒤쪽으로 빠지는 경우에는 앞쪽 이미지 센서(62)의 출력은 작아지고 뒤쪽 이미지 센서(64)의 출력은 커진다. 따라서, 이미지 처리장치(65)에 입력되는 두 이미지 센서(62)(64)의 출력차는 정상일 경우에 비해 작은 값으로 변화된다.As shown in FIG. 6, when the path of the reflected light falls forward, the output of the front image sensor 62 becomes large and the output of the rear image sensor 64 becomes small. Therefore, the output difference between the two image sensors 62 and 64 input to the image processing apparatus 65 is changed to a larger value than the normal case. In addition, as shown in FIG. 7, when the path of the reflected light falls backward, the output of the front image sensor 62 becomes small and the output of the rear image sensor 64 becomes large. Therefore, the output difference between the two image sensors 62 and 64 input to the image processing apparatus 65 is changed to a smaller value than the normal case.
이와 같이 2개의 이미지 센서(62)(64)의 출력 차이를 비교하면 기존 방식보다 결함이 강조되는 효과가 있게 되며, 이를 이용하면 보다 쉽게 표면의 결함을 검출할 수 있게 된다.By comparing the output difference between the two image sensors 62 and 64 as described above, the defects are more emphasized than the conventional method, and the defects of the surface can be more easily detected by using the same.
도 8에는 하나의 검사 대상(50)에 대하여 이미지 센서(62)(64)의 위치에 따라 다르게 얻어진 이미지들이 도시되어 있는 바, 이 이미지들을 이용하여 검사 대상(50)의 불량 부분을 검출해 보면 다음과 같다.8 shows images obtained differently according to the positions of the image sensors 62 and 64 with respect to one inspection object 50. When the defective portion of the inspection object 50 is detected using these images, As follows.
도 8을 살펴보면 이미지의 하측 부분에 불량이 있는 것을 알 수 있다. 이 불량에 대하여 앞쪽 이미지 센서(62)에 의한 이미지에서는 주위에 비해 어둡게 나타나고, 뒤쪽 이미지 센서(64)에 의한 이미지에서는 주위에 비해 밝게 나타난다. 그러나, 불량이 없는 부분에서는 주위와의 밝기 차이가 없이 거의 동일한 밝기를 나타낸다.Looking at Figure 8 it can be seen that there is a defect in the lower portion of the image. This defect appears darker than the surroundings in the image by the front image sensor 62 and brighter than the surroundings in the image by the rear image sensor 64. However, in the part where there is no defect, it shows almost the same brightness, without the brightness difference with the surroundings.
이들 부분의 밝기 분포를 살펴보면 불량이 없는 부분의 명도 분포가 도 9 및 도 10과 같이 나타남을 알 수 있다. 따라서, 양자의 밝기 차이를 비교하면 도 11에 도시된 바와 같은 일정한 명도차가 나타난다. 또, 불량이 있는 부분에서는 도 12와 도 13과 같은 명도로 분포되고, 그들의 밝기 차이를 비교하면 도 14에 도시된 바와 같은 분포를 나타낸다.Looking at the brightness distribution of these parts, it can be seen that the brightness distribution of the parts without defects is shown as shown in FIGS. 9 and 10. Therefore, comparing the brightness difference between the two, a constant brightness difference as shown in FIG. Moreover, in the part with a defect, it is distributed with the brightness similar to FIG. 12 and FIG. 13, and when they compare the brightness difference, it shows the distribution as shown in FIG.
여기서, 도 12와 도 13 및 도 14 중 어느 하나의 명도 분포를 살펴보더라도 불량 부분의 위치를 검출할 수 있다. 그러나, 불량 부분의 크기가 극히 미세하여 주변부와의 명도차가 그리 크지 않을 경우에는 명도 분포가 명확하게 나타나지 않아 육안으로는 확인하기 어려울 수 있다. 이 경우에는 도 15와 같이 정상인 부분의 명도차를 나타낸 도 11과 불량 부분의 명도차를 나타낸 도 14를 비교하여 판단하면 불량 부분만이 강조되므로 손쉽게 검출할 수 있다. Here, even if the brightness distribution of any one of FIGS. 12, 13, and 14 is examined, the position of the defective part may be detected. However, when the size of the defective part is extremely minute and the brightness difference with the peripheral part is not very large, the brightness distribution does not appear clearly, so it may be difficult to check with the naked eye. In this case, if the comparison is made by comparing FIG. 11 showing the brightness difference between the normal parts and FIG. 14 showing the brightness difference between the defective parts, only the defective part can be easily detected.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치는 서로 다른 각도에서 검출된 이미지를 비교하여 불량 부분만이 강조되도록 할 수 있으므로 검사 대상의 표면 결함을 손쉽게 파악할 수 있도록 하는 이점이 있다.The surface inspection method and inspection apparatus using the image sensor according to the present invention configured as described above can compare the images detected from different angles so that only the defective part can be emphasized, so that the surface defect of the inspection object can be easily identified. There is this.
도 1은 이미지 센서를 이용한 표면검사의 일반적인 형태가 도시된 도면, 1 is a view showing a general form of the surface inspection using an image sensor,
도 2와 도 3은 종래의 표면검사에서 표면결함이 있는 경우가 도시된 참고도면,2 and 3 are reference drawings showing a case where there is a surface defect in the conventional surface inspection,
도 4는 종래의 표면 검사에서 드러난 불량부분이 도시된 샘플 이미지Figure 4 is a sample image showing the defects revealed in the conventional surface inspection
도 5는 본 발명에 의한 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사방법의 개념이 도시된 구성도,5 is a block diagram showing the concept of a surface defect inspection method using an image sensor according to the present invention,
도 6과 도 7은 본 발명에 의한 표면검사에서 표면결함이 있는 경우가 도시된 참고도면,6 and 7 are reference drawings showing a case where there is a surface defect in the surface inspection according to the present invention,
도 8 은 각 이미지 센서의 위치에 따라 다르게 나타난 샘플 이미지를 나타내는 도면,8 is a diagram illustrating a sample image differently displayed according to the position of each image sensor;
도 9와 도 10은 도 8의 A1 지점과 A2 지점의 밝기 분포를 나타낸 도면,9 and 10 are diagrams showing the brightness distribution of point A1 and point A2 of FIG. 8;
도 11은 A1 지점과 A2 지점의 밝기 차이를 나타낸 도면,11 is a view showing the difference in brightness between the point A1 and A2,
도 12와 도 13은 도 8의 B1 지점과 B2 지점의 밝기 분포를 나타낸 도면,12 and 13 are diagrams showing the brightness distribution of point B1 and point B2 of FIG. 8,
도 14는 B1 지점과 B2 부분의 밝기 차이를 나타낸 도면, 14 is a view showing a difference in brightness between the B1 point and the B2 part;
도 15는 불량인 경우와 정상인 경우의 밝기 차이가 도시된 도면이다.FIG. 15 is a diagram illustrating a difference in brightness between a defective case and a normal case.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
50 : 검사 대상 51,52 : 불량부분(검사 대상의)50: inspection target 51,52: defective part (of inspection target)
61 : 광원 62,64 : 이미지 센서61: light source 62,64: image sensor
65 : 이미지 처리장치 66 : 비교/판정부 65: image processing device 66: comparison / judgment
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