KR100393195B1 - Method for depositing phosphor screen for field effect electron emitting device by using electrophoretic method - Google Patents

Method for depositing phosphor screen for field effect electron emitting device by using electrophoretic method Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A method is provided to form a phosphor screen in an inexpensive manner by forming external electrodes and forming phosphor screens through an electrophoretic method by applying bias voltages to each of external electrodes. CONSTITUTION: A method comprises a step of preparing Y2O2S:Eu:10% In2O3 as a red phosphor, ZnS:Cu,Al:10% In2O3 as a green phosphor, and ZnS:Ag,Cl,Al:10% In2O3 as a blue phosphor; a step of preparing isopropyl alcohol(IPA) 500cc and 7.5g Al(NO3)3+9H2 charger solution 10cc, preparing glycerin(50%) + IPA(50%) stabilizer solution 100cc, filling a container with phosphor 50g, IPA 500cc, the charger solution, the stabilizer solution 10cc, and CH2O2, and stirring the filled material for 40 minutes; a step of arranging an Al electrode plate and a front substrate(16) in the container, forming external terminals by interconnecting anodes to be deposited with phosphor screens of the same color, and depositing phosphors by applying a bias voltage of 100 to 150V to the external terminals; and a step of drying the front substrate.

Description

전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법Method of applying fluorescent film of field effect electron-emitting device by electrophoresis

본 발명은 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법에 관한 것으로, 특히 칼라 영상 표시가 가능한 전계 효과 전자 방출 소자의 전면 기판에 형성된 양극 상에 도포되는 칼라 형광막을 전기 영동법으로 도포하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of applying a fluorescent film to a field effect electron-emitting device by electrophoresis, and more particularly, to a method of applying a fluorescent film on an anode formed on a front substrate of a field effect electron- To a method of applying a fluorescent film of a field effect electron-emitting device by electrophoresis.

제 1도는 종래의 전계 효과 전자 방출 소자의 개략적 단면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 전계 효과 전자 방출 소자는, 배면 기판(1) 상에 음극(2)이 다수 마련되고, 각 음극(2)의 위에는 다수의 마이크로 팁(2')들이 어레이 형태로 형성되어 있다. 이 마이크로 팁(2')들은 음극(2) 위에 형성된 절연층(3)의 관통공(3a) 내에 마련되어 있다. 그리고 절연층(3)의 위에는 관통공(3a)에 대응하는 개구부(4a)를 가지는 게이트(4)들이 적층되어 있다. 그리고 게이트(4)들 위에는 스페이서(8)에 의해 일정한 간격을 두고 지지되는 전면 기판(6)이 마련되어 있으며, 이 전면 기판(6) 상에는 마이크로 팁(2')과 대향하도록 다수의 양극(5)이 형성되어 있고, 양극(5) 상에는 형광막(7)이 형성되어 있다. 여기서 배면 기판의 마이크로팁 어레이는 CRT의 전자총의 음극(cathode)에 해당하는 부분(도면의 타원내 참조)이며, 전면 기판의 형광막이 입혀진 부분은 CRT의 전면 유리에 형성된 양극(anode)과 같은 부분이다. 이러한 전계 효과 전자 방출 소자의 마이크로 팁 어레이를 접지시키고,게이트(4)들과 양극(5)들 사이에 일정한 전압이 인가되면, 전자들이 진공중으로 방출되어 양극(5)들에 도착하게 되며, 이 때 양극(5)들의 전압에 의해 가속된 전자들은 일정한 운동 에너지를 가지고 형광막(7)에 충돌하게 된다. 따라서 전자들의 운동 에너지가 형광막(7)에 전달되어 형광막(7)은 전자의 운동 에너지를 전달받아 여기되어 빛을 방출하게 된다. 그러나, 도시된 바와 같이, 적,녹,청색의 형광막(7)들이 양극(5) 상에 일정한 간격으로 나란하게 형성되어 있으므로, 소자를 별도의 게이트(4)들을 스위칭하여 구동하는 경우, 게이트(4)들의 구동 주파수가 높아져서 신호 처리가 어려워지고, 적,녹,청색의 형광막(7)들이 동시에 빛을 발하거나 꺼지게 된다(즉, 적,녹,청색의 형광막들을 각각 별도로 빛을 발하도록 구동할 수 없다). 또한, 이와 같은 형광막(7)들은 PVA-현탁액(PVA-slurry)을 사용하든가 혹은 스크린 프린팅(screen printing)에 의해서만 제조가 가능하고 전기 영동(electrophoretic)법으로는 형광체를 도포할 수 없다. 따라서, 형광막 제조 비용이 비싸지게 된다.FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect electron emission device. As shown in the drawing, a conventional field effect electron emission device has a plurality of cathodes 2 formed on a rear substrate 1, and a plurality of microtips 2 'are formed in an array on each of the cathodes 2 . These microtips 2 'are provided in the through holes 3a of the insulating layer 3 formed on the cathode 2. On the insulating layer 3, gates 4 having openings 4a corresponding to the through holes 3a are laminated. A plurality of anodes 5 are provided on the front substrate 6 so as to face the micro-tips 2 '. The front substrate 6 is supported on the gates 4 by spacers 8 at regular intervals. And a fluorescent film 7 is formed on the anode 5. Here, the micro-tip array of the rear substrate is a portion corresponding to the cathode of the electron gun of the CRT (refer to the ellipse in the drawing), and the portion of the front substrate on which the fluorescent film is coated is the anode to be. When a microtip array of such a field effect electron-emitting device is grounded and a constant voltage is applied between the gates 4 and the anodes 5, the electrons are emitted into the vacuum to reach the anodes 5, The electrons accelerated by the voltage of the anode 5 collide with the fluorescent film 7 with a constant kinetic energy. Accordingly, the kinetic energy of the electrons is transmitted to the fluorescent film 7, and the fluorescent film 7 receives the kinetic energy of the electrons and is excited to emit light. However, since red, green, and blue fluorescent films 7 are arranged on the anode 5 at regular intervals, as shown in the figure, when the devices are driven by switching the gates 4, The red, green, and blue fluorescent films 7 emit light simultaneously or are turned off (i.e., red, green, and blue fluorescent films are separately emitted) Can not be driven. In addition, such fluorescent films 7 can be manufactured only by using a PVA-slurry or by screen printing, and can not be applied by electrophoretic method. Therefore, the manufacturing cost of the fluorescent film becomes expensive.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안된 것으로, 적,녹,청색의 형광막을 별로 빛을 발할 수 있도록 양극들을 형성하여, 이들 양극들 상에 칼라 형광막을 싸게 도포하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device, which is capable of forming an anode so as to emit light of red, And an object of the present invention is to provide a method of applying a fluorescent film of an electron emitting device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법은,According to an aspect of the present invention, there is provided a method of applying a fluorescent film to a field effect electron emission device,

(가) 적색 형광체로는 Y2O2S : Eu : 10% In2O3를, 녹색 형광체로는 ZnS :Cu,Al : 10% In2O3를, 그리고 청색 형광체로는 ZnS : Ag,Cl,Al : 10% In2O3를 각각 준비하는 단계;(A) Y 2 O 2 S: Eu: 10% In 2 O 3 as a red phosphor, ZnS: Cu and Al: 10% In 2 O 3 as a green phosphor, and ZnS: Ag, Cl, and Al: 10% In 2 O 3 , respectively;

(나) IPA(IsoPropyl alcohol) 500cc 와 7.5g Al(NO3)3+9H2O 충전 용액 10cc를 준비하고, 글리세린(50%)+IPA(50%) 안정 용액 100cc 준비한 다음, 형광체 50g + IPA(500cc) + 상기 충전 용액 + 상기 안정 용액 10cc + 개미산(CH2O2) 을 초음파 용기에 소정의 높이로 채운 다음 40분간 교반하는 단계;(B) IPA (IsoPropyl alcohol) 500cc and 7.5g Al (NO 3) 3 + 9H 2 O preparing filled 10cc solution and glycerin prepared (50%) + IPA (50 %) solution was stable and then 100cc, phosphor 50g IPA + (500 cc) + the filling solution + the stabilizing solution 10 cc + formic acid (CH 2 O 2 ) in an ultrasonic vessel to a predetermined height and then stirring for 40 minutes;

(다) 상기 용기 내에 Al 전극판과 전면 기판의 간격을 3~5cm로 조정하여 설치하고, 전면 기판 상에 스트라이프 상으로 형성된 양극들을 적,녹,청색의 동일한 색상의 형광막이 도포될 양극들 끼리 서로 접속하여 외부 단자들을 형성하되, 상기 임의의 한 색깔의 형광막이 도포될 양극들이 연결된 외부 단자에 100~150V로 조정된 바이어스 전압을 인가하여 3~8초 동안 상기 형광체를 침착시키는 단계;(C) The space between the Al electrode plate and the front substrate is adjusted to 3 to 5 cm in the container, and the positive electrodes formed in a striped pattern on the front substrate are coated with a fluorescent film of the same color of red, Depositing the phosphor for 3 to 8 seconds by applying a bias voltage adjusted to 100 to 150 V to an external terminal to which the positive electrodes to which the one-color fluorescent film is applied are connected to each other to form external terminals;

(라) 상기 형광막이 도포된 전면 기판을 상기 용기로부터 꺼내어 건조시키는 단계;를(D) removing the front substrate coated with the fluorescent film from the container and drying the front substrate;

포함하는 공정을 상기 (나) 단계에서 형광체를 바꾸고, 상기 (다) 단계에서 상기 외부 단자를 바꾸어 가면서 3차례 반복 실시하는 것을 특징으로 한다.Wherein the phosphor is changed in the step (b) and the external terminal is changed in the step (c).

본 발명에 있어서, 상기 (나) 단계에서, 상기 용기 내의 액체 높이를 3~3.5cm가 되도록 채우는 것이 바람직하며,In the present invention, in the step (b), it is preferable to fill the liquid in the container to a height of 3 to 3.5 cm,

상기 (나) 단계 다음에 재차 6 방울의 개미산을 넣어 40분간의 교반을 행하여 도금 용액의 도전성을 조절하는 단계; 및 상기 도금 용액의 도전성 조절 단계다음에 상기 도금 용액을 초음파 용기에 넣어 교반을 실시하고 점성이 약할 경우에 상기 충전 용액을 1~2cc 추가하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.After step (b), 6 drops of formic acid are added again and stirred for 40 minutes to adjust the conductivity of the plating solution; And stirring the plating solution in an ultrasonic vessel after the step of adjusting the conductivity of the plating solution, and adding 1 to 2 cc of the filling solution when the viscosity is weak.

이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자 및 그 제조 방법을 설명한다.Hereinafter, a field effect electron-emitting device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to the drawings.

제 2도는 본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자의 개략적 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자의 기본 구조는 제1도에 도시된 바와 같은 종래의 전계 효과 전자 방출 소자와 거의 동일하나, 다만 형광막(17)들이 ITO 양극(15)들과 같은 스트라이프 상으로 양극(15)들 상에 나란하게 도포된 것이 다르다. 이들 양극들이 배치된 구조를 제 3도를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a field effect electron-emitting device according to the present invention. As shown in FIG. 1, the basic structure of the field effect electron emission device according to the present invention is substantially the same as that of the conventional field effect electron emission device as shown in FIG. 1 except that the fluorescent films 17 are formed on the ITO anode 15, On the anode 15 in the same stripe as the cathode 15. The structure in which these anodes are arranged will be described with reference to FIG.

본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자 전면 기판의 양극(15r,15g,15b)들은 각각 적,녹,청색의 형광막들이 형성된 양극들 끼리 즉 동일 색상의 형광막들이 형성된 양극(15r,15g,15b)들 끼리 서로 결선되어 외부 단자(15R,15G,15B)들로 연결되어 있다. 여기서, 양극(15r)들 및 양극(15g)들은 서로 교차됨이 없이 결선되어 외부 단자(15R,15G)들에 각각 접속되나, 양극(15b)들은 상기 양극(15g)들과 교차하지 않고 외부 단자(15B)에 접속될 수 없다. 따라서, 제 4도에 도시된 바와 같이, 양극(15b)들의 접속선이 양극(15g)와 교차하는 영역에서 우회할 수 있도록 교차 영역 상에 절연층(19)이 형성된다. 이 절연층(19) 상에 금속 페이스트(paste)가 도포되어 양극(15b)들의 접속선이 형성된다. 이와 같이, 연결된 양극(15r,15g,15b)들 상에 전기 영동(electrophoretic)법으로 적,녹,청색의 형광막들이 형성된다. 전기영동법에 의한 형광막 도포 방법에 대해서는 뒤에서 설명한다.The positive electrodes 15r, 15g, and 15b of the front substrate of the FED according to the present invention include positive electrodes 15r, 15g, and 15b having fluorescent films of red, green, and blue, respectively, Are connected to each other and connected to external terminals 15R, 15G and 15B. The anodes 15r and the anodes 15g are connected to the external terminals 15R and 15G without crossing each other and are connected to the external terminals 15R and 15G. However, the anodes 15b do not cross the anodes 15g, 15B. Therefore, as shown in FIG. 4, the insulating layer 19 is formed on the crossing region so that the connection line of the anodes 15b can be bypassed in the region where the connection line intersects the anode 15g. A metal paste is applied on the insulating layer 19 to form a connection line of the anodes 15b. Thus, red, green, and blue fluorescent films are formed on the connected anode 15r, 15g, and 15b by an electrophoretic method. The method of applying the fluorescent film by the electrophoresis method will be described later.

또한, 본 발명의 전계 효과 전자 방출 소자는 제 5도에 도시된 바와 같이, 전면 기판(16)에 형성된 외부 단자(15R,15G,15B)들이 배면 기판(11)의 외부 단자(15R',15G',15B')과 결합되어 있는 점도 다르다. 즉, 제 6도에 도시된 바와 같이, In:Sn이 50:50으로 함유되어 있는 접속선(20)에 의해 전면 기판(16)의 외부 단자(15R,15G,15B)들과 배면 기판(11)의 외부 단자(15R',15G',15B')들이 서로 결합되어 있다. 이 접속선(20)의 두께는 전면 기판(16)과 배면 기판(11) 사이의 간격을 유지하는 스페이서(18)의 높이에 따라 적절하게 조정된다.In the field effect electron emission device of the present invention, the external terminals 15R, 15G and 15B formed on the front substrate 16 are electrically connected to the external terminals 15R 'and 15G ', 15B'). 6, the external terminals 15R, 15G, and 15B of the front substrate 16 and the external terminals 15R, 15G, and 15B of the front substrate 16 are connected by the connection line 20 containing In: Sn of 50:50, 15G ', 15B' are coupled to each other. The thickness of the connection line 20 is appropriately adjusted in accordance with the height of the spacer 18 that maintains the interval between the front substrate 16 and the rear substrate 11. [

이상과 같은 구조의 전계 효과 전자 방출 소자를 제조 하는 방법은 다음과 같다.A method of manufacturing the field effect electron-emitting device having the above structure is as follows.

먼저, 제 2도에 도시된 바와 같이, 배면 기판(11) 상에 음극(12)들, 마이크로팁(12')들, 절연층(13) 및 게이트(14)를 형성하고, 제 5도에 도시된 바와 같은 외부 단자(15R',15G',15B')들을 형성한다((가) 단계).First, cathodes 12, micro-tips 12 ', an insulating layer 13 and a gate 14 are formed on a rear substrate 11, as shown in FIG. 2, Thereby forming external terminals 15R ', 15G', and 15B 'as shown (step (a)).

다음에, 전면 기판(16) 상에 스트라이프 상의 양극(15r,15g,15b)들을 형성하고, 전면 기판(16)의 일측 가장자리에 제3도에 도시된 바와 같이, 적,녹,청색 중 동일 색상의 형광막이 도포될 양극들 끼리 접속된 외부 단자(15R,15G,15B)들을 형성한다((나) 단계). (가) 단계와 (나) 단계는 서로 순서가 바뀌어도 상관없다.Next, stripe-shaped anodes 15r, 15g and 15b are formed on the front substrate 16, and one side edge of the front substrate 16 is coated with the same color of red, 15G, and 15B connected to each other are formed between the anode and the cathode to be coated with the fluorescent film. The steps (a) and (b) may be reversed.

다음에, 제 2도에 도시된 바와 같이, 양극(15)들 상에 적,녹,청색의 형광막(17)들을 전기 영동(electrophoretic)법으로 도포한다((다) 단계).Next, as shown in FIG. 2, the red, blue and green fluorescent films 17 are applied on the anodes 15 by an electrophoretic method (step (c)).

이 형광막 도포 단계는 매 3개씩의 양극(15r,15g,15b)들 상에 각각 적,녹,청색의 형광막을 순차로 형성하는데, 도 3에 도시된 바와 같이 동일 색깔의 형광막이 형성될 양극들 끼리 서로 접속하여 외부 단자(15R,15G,15B)들에 연결한다. 이 때, 청색(임의의 한 색깔)의 형광막이 도포될 양극(15b)들을 연결하는 접속선이 녹색(다른 색깔)의 형광막이 도포될 양극(15g)들을 우회하도록 양극들의 교차영역 상에 절연층(19)을 형성한 다음, 이 절연층(19) 상에 금속 페이스트를 도포하여, 제 4도에 도시된 바와 같이, 접속선(15b)을 형성한다.As shown in FIG. 3, the fluorescent film coating step sequentially forms red, green and blue fluorescent films on the three anodes 15r, 15g, and 15b, respectively. As shown in FIG. 3, Are connected to each other and connected to the external terminals 15R, 15G, and 15B. At this time, an insulating layer (not shown) is formed on the crossing regions of the anodes so that the connection line connecting the anodes 15b to be coated with the blue (arbitrary one color) fluorescent film is bypassed to the anodes 15g to be coated with the fluorescent A metal paste is applied on the insulating layer 19 to form a connecting line 15b as shown in FIG.

다음에, 전면 기판(16) 및 배면 기판(11) 사이에, 제 6도에 도시된 바와 같이 스페이서(18)를 배치한 상태에서, 전면 기판(16)의 외부 단자(15R,15G,15B)들과 배면 기판(11)의 외부 단자(15R',15G',15B')들을 서로 통전 가능하도록 진공중에서 접속되게 한다((라) 단계). 이 때, 전면 기판(16)의 외부 단자(15R,15G,15B)들과 배면 기판(11)의 외부 단자(15R',15G',15B')들을 접속하는 접속선(제 6도의 20)들은 In:Sn이 50:50으로 함유되도록 형성한다.Next, the external terminals 15R, 15G, and 15B of the front substrate 16 are placed between the front substrate 16 and the rear substrate 11 with the spacers 18 disposed as shown in Fig. And the external terminals 15R ', 15G', and 15B 'of the back substrate 11 are connected to each other in vacuum so as to be energizable (step (d)). At this time, the connection lines (20 in FIG. 6) connecting the external terminals 15R, 15G and 15B of the front substrate 16 and the external terminals 15R ', 15G' and 15B 'of the rear substrate 11 In: Sn: 50: 50.

다음에, 전면 기판(16) 및 배면 기판(11)의 가장자리를 밀봉하고, 밀봉된 내부를 진공 상태로 만들어 소자를 완성한다((마) 단계).Next, the edges of the front substrate 16 and the rear substrate 11 are sealed, and the sealed interior is evacuated to complete the device (step (e)).

이상과 같은 제조 방법에 있어서, 가장 중요한 공정이라 할 수 있는 전기 영동법에 의한 형광막 도포 방법을 제 7도의 장치를 참조하여 설명한다.In the above manufacturing method, the fluorescent film application method by the electrophoresis method, which is the most important process, will be described with reference to the apparatus of FIG.

먼저, 제 3도에 도시된 바와 같이 양극들이 결선된 전면 기판(16)의 외부 단자(15R)를 제 7도에 도시된 바와 같은 DC 전원(32)의 음극에 접속하고, DC전원(32)의 양극에는 Al 전극판(30)을 접속하여 전기 영동법에 의한 적색 형광막 도포 공정을 실시하면, 형광체가 Al+++이온을 흡수하여 전원(32)의 음극에 접속된 전면 기판의 양극들로 흘러가서 부착된다. 여기서, 부재 번호 33은 자기 진동기(교반용)이다. 이러한 적색 형광막 도포 공정이 끝나면 전면 기판을 용기로부터 꺼내어 적색 형광막을 건조시킨다. 이와 같은 방법으로 녹색 형광막 도포 공정 및 청색 형광막 도포 공정을 순차로 실시하여 형광막 도포 공정을 완료하게 되는데, 이와 같은 적,녹,청색의 형광막 도포 공정의 순서는 어떤 순서라도 무방하다.3, the external terminal 15R of the front substrate 16 to which the positive electrodes are connected is connected to the cathode of the DC power source 32 as shown in FIG. 7, and the DC power source 32 And the Al electrode plate 30 is connected to the anode of the power source 32 and the red fluorescent film coating process is performed by the electrophoresis method, the phosphor absorbs Al < + > + ions and is supplied to the anode of the front substrate connected to the cathode of the power source 32 Flowing and attached. Here, reference numeral 33 denotes a magnetic vibrator (for stirring). When the application process of the red fluorescent film is completed, the front substrate is taken out from the container and the red fluorescent film is dried. In this manner, the green fluorescent film coating process and the blue fluorescent film coating process are sequentially performed to complete the fluorescent film coating process. The order of the red, green, and blue fluorescent film coating processes may be any order.

또한, 이와 같은 형광막 도포 공정의 순서는 다음과 같다.The procedure of the fluorescent film application process is as follows.

먼저, 형광체의 성분에 있어서, 적색 형광체로는 Y2O2S : Eu : 10% In2O3를, 녹색 형광체로는 ZnS : Cu,Al : 10% In2O3를, 그리고 청색 형광체로는 ZnS : Ag,Cl,Al : 10% In2O3를 각각 준비한다. 이외에도 형광막 도포 공정에 사용되는 물질로는 IPA(500cc) + 용액(solution)"A"(charger)로서 7.5g Al(NO3)3+9H2O (10cc)를 준비하고, 용액"B"(안정제)로서 글리세린(50%) + IPA(50%)를 100cc 준비한 다음, 형광체 50g + IPA(500cc) + 용액"A"(10cc) + 용액"B"(10cc) + 개미산(CH2O2)을 초음파(400KHz) 용기에 채운 다음 40분간 교반한다. 이 때 용기 내의 액체 높이는 3~3.5cm가 적당하다. 재차 1ml 이하(약 6 방울)의 개미산을 넣어 40분간의 교반을 행하여 용액의 도전성을 조절한다. 이러한 도금 용액을 원하는 만큼 만들어 준비한다.First, Y 2 O 2 S: Eu: 10% In 2 O 3 was used as a red phosphor, ZnS: Cu, Al: 10% In 2 O 3 was used as a green phosphor and blue phosphor was used as a red phosphor ZnS: Ag, Cl, Al: 10% In 2 O 3 are prepared. In addition, 7.5 g Al (NO 3 ) 3 +9H 2 O (10 cc) was prepared as the IPA (500 cc) + solution "A" (charger) prepared 100cc of glycerin (50%) + IPA (50 %) as (a stabilizer), and then, the phosphor 50g + IPA (500cc) + solution "a" (10cc) + solution "B" (10cc) + formic acid (CH 2 O 2 ) Is filled into an ultrasonic wave (400 KHz) container and stirred for 40 minutes. The height of the liquid in the container is preferably 3 to 3.5 cm. Add 1 ml or less (about 6 drops) of formic acid again and stir for 40 minutes to control the conductivity of the solution. Prepare this plating solution as desired.

다음에 상기와 같이 준비된 도금 용액을 초음파 용기에 넣어 전기 영동법에의한 형광막 도포 공정을 실시하기 전에 교반을 실시하고 점성이 약할 경우에 충전제(charger)로서 용액"A"를 1~2cc 추가한다.Next, the plating solution prepared as described above is put into an ultrasonic vessel and stirred before applying the fluorescent film by the electrophoresis method. When the viscosity is weak, 1 to 2 cc of the solution "A" is added as a charger .

다음에 제 7도에 도시된 바와 같이, Al 전극판(30)과 전면 기판(31)의 간격을 3~5cm로 조정하고 100~150V로 조정된 바이어스 전압을 인가하여 3~8초 동안 침착시킨다. 이와 같이 하면, 형광체가 Al+++이온을 흡수하여 전원(32)의 음극에 접속된 전면 기판(31)의 양극들로 흘러가서 부착된다.Next, as shown in FIG. 7, the distance between the Al electrode plate 30 and the front substrate 31 is adjusted to 3 to 5 cm, and the bias voltage adjusted to 100 to 150 V is applied and deposited for 3 to 8 seconds . In this case, the phosphor absorbs Al ++ ions and flows to the positive electrodes of the front substrate 31 connected to the negative electrode of the power source 32, and is attached.

제 1도는 종래의 전계 효과 전자 방출 소자의 개략적 단면도,FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect electron emission device,

제 2도는 본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자의 개략적 단면도,FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a field effect electron-emitting device according to the present invention,

제 3도는 제 2도의 전계 효과 전자 방출 소자 전면 기판의 적,녹,청색의 양극 패턴을 나타내는 개략적 평면도,FIG. 3 is a schematic plan view showing red, green and blue anode patterns of the front substrate of the field-effectable electron-emitting device of FIG. 2;

제 4도는 제 3도의 A-A'라인을 따라 절개한 단면도,FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line A-A 'of FIG. 3,

제 5도는 제 2도의 전계 효과 전자 방출 소자의 전면 및 배면 기판에 형성된 전극들의 배치 관계를 도식적으로 설명하기 위한 전극 투시 평면도,FIG. 5 is an electrode perspective plan view for schematically explaining the arrangement relationship of the electrodes formed on the front substrate and the rear substrate of the field effect electron emission device of FIG. 2,

제 6도는 제 5도의 A-A'라인을 따라 절개한 단면도,6 is a cross-sectional view taken along line A-A 'of FIG. 5,

그리고 제 7도는 본 발명에 따른 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막을 도포하기 위한 장치의 개략적 단면도이다.And FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of an apparatus for applying a fluorescent film of a field-effect electron-emitting device according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

11. 배면 기판 15. ITO 양극11. Rear substrate 15. ITO anode

15r,15g,15b. 양극 15R,15G,15B. 전면 기판의 외부 단자15r, 15g, 15b. Positive electrodes 15R, 15G, 15B. External terminals of the front substrate

15R',15G',15B'. 배면 기판의 외부 단자15R ', 15G', 15B '. The external terminals of the rear substrate

16. 전면 기판 17. 형광막16. Front substrate 17. Fluorescent film

18. 스페이서 19. 절연층18. Spacer 19. Insulating layer

20. 접속선20. Connection line

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법은 전면 기판의 양극들에 칼라 형광막을 도포할 수 있도록 동일 색상의 형광막이 도포될 양극들을 서로 연결하여 각 외부 단자를 만들고, 이 외부 단자들에 각각 순차로 바이어스 전압을 인가하면서 각 색상의 형광막을 전기 영동법에 의해 순차로 성막하는 방법으로 싼값으로 깨끗한 형광막을 얻을 수 있다.As described above, according to the electrophoresis method of the present invention, the method of applying the fluorescent film of the field effect electron-emitting device includes the steps of connecting the anode to be coated with the fluorescent film of the same color so as to apply the color fluorescent film to the anode of the front substrate, A clean fluorescent film can be obtained at a low cost by forming an external terminal and successively forming a fluorescent film of each color by electrophoresis while sequentially applying a bias voltage to the external terminals.

Claims (4)

(가) 적색 형광체로는 Y2O2S : Eu : 10% In2O3를, 녹색 형광체로는 ZnS : Cu,Al : 10% In2O3를, 그리고 청색 형광체로는 ZnS : Ag,Cl,Al : 10% In2O3를 각각 준비하는 단계;(A) Y 2 O 2 S: Eu: 10% In 2 O 3 as a red phosphor, ZnS: Cu and Al: 10% In 2 O 3 as a green phosphor, and ZnS: Ag, Cl, and Al: 10% In 2 O 3 , respectively; (나) IPA(isopropyl alcohol) 500cc 와 7.5g Al(NO3)3+9H2O 충전 용액 10cc를 준비하고, 글리세린(50%)+IPA(50%) 안정 용액 100cc 준비한 다음, 형광체 50g + IPA(500cc) + 상기 충전 용액 + 상기 안정 용액 10cc + 개미산(CH2O2) 을 초음파 용기에 소정의 높이로 채운 다음 40분간 교반하는 단계;(B) 500 cc of IPA (isopropyl alcohol) and 10 cc of a 7.5 g Al (NO 3 ) 3 + 9H 2 O filling solution were prepared and 100 cc of a stable solution of glycerin (50%) + IPA (50% (500 cc) + the filling solution + the stabilizing solution 10 cc + formic acid (CH 2 O 2 ) in an ultrasonic vessel to a predetermined height and then stirring for 40 minutes; (다) 상기 용기 내에 Al 전극판과 전면 기판의 간격을 3~5cm로 조정하여 설치하고, 전면 기판 상에 스트라이프 상으로 형성된 양극들을 적,녹,청색의 동일한 색상의 형광막이 도포될 양극들 끼리 서로 접속하여 외부 단자들을 형성하되, 상기 임의의 한 색깔의 형광막이 도포될 양극들이 연결된 외부 단자에 100~150V로 조정된 바이어스 전압을 인가하여 3~8초 동안 상기 형광체를 침착시키는 단계;(C) The space between the Al electrode plate and the front substrate is adjusted to 3 to 5 cm in the container, and the positive electrodes formed in a striped pattern on the front substrate are coated with a fluorescent film of the same color of red, Depositing the phosphor for 3 to 8 seconds by applying a bias voltage adjusted to 100 to 150 V to an external terminal to which the positive electrodes to which the one-color fluorescent film is applied are connected to each other to form external terminals; (라) 상기 형광막이 도포된 전면 기판을 상기 용기로부터 꺼내어 건조시키는 단계;를(D) removing the front substrate coated with the fluorescent film from the container and drying the front substrate; 포함하는 공정을 상기 (나) 단계에서 형광체를 바꾸고, 상기 (다) 단계에서 상기 외부 단자를 바꾸어 가면서 3차례 반복 실시하는 것을 특징으로 하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법.Wherein the phosphor is changed in the step (b), and the step (c) is repeated three times while changing the external terminal in the step (b). 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 (나) 단계에서, 상기 용기 내의 액체 높이를 3~3.5cm가 되도록 채우는 것을 특징으로 하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법.The method for applying a fluorescent film of a field effect electron-emitting device according to claim 1, wherein in the step (b), the height of the liquid in the container is 3 to 3.5 cm. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 (나) 단계 다음에 재차 1 ml 이하의 개미산을 넣어 40분간의 교반을 행하여 도금 용액의 도전성을 조절하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법.The method of claim 1, further comprising, after step (b), adding 1 ml or less of formic acid to the solution, and stirring the solution for 40 minutes to adjust the conductivity of the plating solution. Application method. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 도금 용액의 도전성 조절 단계 다음에 상기 도금 용액을 초음파 용기에넣어 교반을 실시하고 점성이 약할 경우에 상기 충전 용액을 1~2cc 추가하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 영동법에 의한 전계 효과 전자 방출 소자의 형광막 도포 방법.Further comprising the step of adding the plating solution to the plating solution in an ultrasonic vessel followed by stirring, and adding 1 to 2 cc of the filling solution when the viscosity is weak, after the step of adjusting the conductivity of the plating solution. (EN) METHOD FOR APPLYING FLUORESCENT FILM FOR EFFECTIVE ELECTRO -
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