JPS63233585A - Laser light source - Google Patents

Laser light source

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JPS63233585A
JPS63233585A JP6674587A JP6674587A JPS63233585A JP S63233585 A JPS63233585 A JP S63233585A JP 6674587 A JP6674587 A JP 6674587A JP 6674587 A JP6674587 A JP 6674587A JP S63233585 A JPS63233585 A JP S63233585A
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JP
Japan
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laser
laser light
wavelength
light
distance
Prior art date
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Application number
JP6674587A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigefumi Masuda
増田 重史
Masuo Suyama
寿山 益夫
Hiroshi Onaka
寛 尾中
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63233585A publication Critical patent/JPS63233585A/en
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Abstract

PURPOSE:To facilitate control of the width of a spectral line, by providing a reflection type filter, which feeds back rear emitting light of a laser to the laser, at a distance that is integer times the wavelength to be selected among laser light rays, and forming an external cavity. CONSTITUTION:Any of laser light rays having a plurality of wavelengths from a laser device 2 is selectively reflected by a reflection type filter 8. For example, the distance between the laser device 2 and the reflection type filter 8 is set at the length integer times the central wavelength of the laser light rays, and the light ray is reflected. With respect to only this reflecting component, the phase of the laser light, which is inputted into the laser device 2 from an external cavity 13 formed with the laser device 2 and the reflection type filter 8, is optimized, and oscillation occurs. Said component is made to be the laser light, which is outputted from the laser device 2. Namely, the laser light having the single wavelength is obtained. The width of the spectral line of the laser light having the single wavelength can be made narrow by the extension of the distance. When the setting conditions are misaligned, the conditions are recovered with an optical pathlength adjusting means 10.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 複数の波長のレーザ光を発生するレーザの外部共振器を
それらレーザ光のうちの1つに選択的に設定可能に構成
した。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] The external resonator of a laser that generates laser beams of a plurality of wavelengths is configured to be selectively set to one of the laser beams.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明はレーザ光源に関し、更に詳しく言えば、レーザ
光共振系を改良したレーザ光源に関する。
The present invention relates to a laser light source, and more particularly, to a laser light source with an improved laser light resonance system.

光コヒーレント通信や測長等にレーザ光源が用いられる
が、このような適用分野におけるレーザ光源はそのレー
ザ光が単一発振波長のもので、且つ狭スペクトル線幅で
、高周波数安定性に優れていることが要求される。これ
は、上述通用分野においてレーザ光の波動性を利用する
ことに由来する。
Laser light sources are used for optical coherent communication, length measurement, etc., but the laser light sources used in these application fields have a single oscillation wavelength, a narrow spectral linewidth, and excellent high frequency stability. required to be present. This is due to the use of the wave nature of laser light in the above-mentioned general fields.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の半導体レーザ光源の例が第5図に示されている。 An example of a conventional semiconductor laser light source is shown in FIG.

この図において、レーザダイオード52から出力された
レーザ光は光入力部53.ビームスプリッタ54.ファ
ラデーアイソレータ56を経て方向性結合器58で2つ
の光ファイバ型リング共振器60.40へ分けられる。
In this figure, the laser beam output from the laser diode 52 is transmitted to the optical input section 53. Beam splitter 54. The light is divided into two optical fiber type ring resonators 60 and 40 by a directional coupler 58 via a Faraday isolator 56.

光フアイバ型リング共振器60は方向性結合器64、位
相変調器66及び発振器68から成るものであって、入
力されて来たレーザ光のスペクトル線幅に対し予め決め
られたスペクトル線幅を中心にして尖鋭特性を呈するよ
うに調整構成されているものである。
The optical fiber ring resonator 60 is composed of a directional coupler 64, a phase modulator 66, and an oscillator 68, and is centered at a predetermined spectral linewidth with respect to the spectral linewidth of the input laser beam. It is configured to be adjusted so that it exhibits sharp characteristics.

従って、入力レーザ光のスペクトル線幅が光フアイバ型
リング共振器60に設定されているスペクトル線幅から
外れた度合に応じて決まる光出力が光検出器70にて検
出される。その検出信号が反転増幅器72.ピーク値保
持回路74.差動増幅器76、積分器78、そしてバッ
ファ増幅器80を介して、半導体レーザ52の外部共振
器を構成するミラー82の位置を変えるべくPZT板8
4に印加される如きフィードバック制御系により、レー
ザ光のスペクトル線幅制御を行なうようにしている。
Therefore, the photodetector 70 detects a light output determined according to the degree to which the spectral linewidth of the input laser beam deviates from the spectral linewidth set in the optical fiber ring resonator 60. The detection signal is sent to the inverting amplifier 72. Peak value holding circuit 74. The PZT plate 8 is used to change the position of the mirror 82 that constitutes the external resonator of the semiconductor laser 52 via the differential amplifier 76, the integrator 78, and the buffer amplifier 80.
The spectral line width of the laser beam is controlled by a feedback control system such as that applied to the laser beam.

一方、光フアイバ型リング共振器40へ分岐された光は
次のようにしてレーザ光の発振周波数の安定化に用いら
れる。即ち、光フアイバ型リング共振器40の出力光信
号は光検出器421反転反転器44.差動増幅器46.
フィルタ48及びバッファ増幅器50を介して、電流源
51から半導体レーザ52に給電される電流制御に用い
られて半導体レーザ52の発振周波数を安定化させるよ
うに作用する。
On the other hand, the light branched to the optical fiber ring resonator 40 is used to stabilize the oscillation frequency of the laser light in the following manner. That is, the output optical signal of the optical fiber type ring resonator 40 is transmitted to the photodetector 421, the inverter 44. Differential amplifier 46.
It is used to control the current supplied from the current source 51 to the semiconductor laser 52 via the filter 48 and the buffer amplifier 50, and acts to stabilize the oscillation frequency of the semiconductor laser 52.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上述構成の光源においては、レーザ光のスペクトル線幅
の制御に光フアイバ型リング共振器60のピーク値を用
いるため、半導体レーザの光出力変動、振動等による光
学系のずれに起因する光出力変動によってスペクトル線
幅の制御にその影響が現れ易い構成となっており、その
線幅制御の容易性に欠ける。
In the light source configured as described above, since the peak value of the optical fiber ring resonator 60 is used to control the spectral linewidth of the laser beam, optical output fluctuations caused by fluctuations in the optical output of the semiconductor laser and deviations in the optical system due to vibrations, etc. Therefore, the configuration is such that the control of the spectral linewidth is easily affected by this, and the linewidth control is not easy.

又、レーザ光の周波数安定化に、光フアイバ型リング共
振器40の出力信号に応答しての、半導体レーザ52の
駆動電流の制御を用いている。その光フアイバ型リング
共振器40は複数の周波数で発振可能な半導体レーザ5
2のいずれの発振周波数の光にも周波数制御のための信
号成分である尖鋭な透過光を出力し得るものである。従
って、上述周波数制御ループによってレーザ52の発振
周波数の安定化は図れ得るとはいうものの、その安定化
された発振周波数は上述複数の発振周波数のうちのいず
れのものであるかは不定であり、その知りたい場合には
既知の測定手段でその判定を行なわなければならない。
Furthermore, control of the driving current of the semiconductor laser 52 in response to the output signal of the optical fiber ring resonator 40 is used to stabilize the frequency of the laser beam. The optical fiber ring resonator 40 is a semiconductor laser 5 capable of oscillating at multiple frequencies.
It is possible to output sharp transmitted light, which is a signal component for frequency control, to light having any of the two oscillation frequencies. Therefore, although the oscillation frequency of the laser 52 can be stabilized by the frequency control loop described above, it is uncertain which of the plurality of oscillation frequencies the stabilized oscillation frequency is. If you want to know this, you must make that determination using known measuring means.

これは特定の単一発振周波数のレーザ光を使用したいと
いう通信分野においては不都合である。
This is inconvenient in the field of communication, where it is desired to use laser light with a specific single oscillation frequency.

本発明は、斯かる問題点に鑑みて創作されたもので、発
生杢れる単一発振波長のレーザ光の狭スペクトル線幅化
及び高周波数安定性の強化、周波数選択を構成のコンパ
クト化の下で実現し得るレーザ光源を提供することを目
的とする。
The present invention was created in view of these problems, and aims to narrow the spectral linewidth of the generated laser beam with a single oscillation wavelength, strengthen high frequency stability, and select frequencies while making the configuration more compact. The purpose is to provide a laser light source that can be realized in the following manner.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

第1図は本発明の原理ブロック図を示す。この図におい
て、2は複数の波長のレーザ光を発生し得るレーザであ
る。このレーザ2の後方発射光側のレーザ光のうちのい
ずれかの波長を選択できるように、波長の長さの整数倍
の位置に反射形フィルタ8を設けて外部共振器13を形
成したことに本発明レーザ光源の特長がある。これに加
えて、レーザ2と反射形フィルタ8との間の距離をレー
ザ光の中心波長の整数倍長に調整するために外部共振器
13にハーフミラ−4を介して光学的に結合された調整
手段10が設けられている。
FIG. 1 shows a block diagram of the principle of the present invention. In this figure, 2 is a laser that can generate laser beams of multiple wavelengths. In order to be able to select one of the wavelengths of the laser light on the backward emitted light side of the laser 2, a reflective filter 8 is provided at a position that is an integral multiple of the wavelength to form an external resonator 13. The laser light source of the present invention has features. In addition, in order to adjust the distance between the laser 2 and the reflective filter 8 to an integral multiple of the center wavelength of the laser beam, an adjustment device is optically coupled to the external resonator 13 via a half mirror 4. Means 10 are provided.

〔作 用〕[For production]

レーザ2からの複数の波長のレーザ光のうちのいずれか
を反射形フィルタ8により選択的に反射する。例えばレ
ーザ2と反射形フィルタ8との距離をレーザ光の中心波
長の整数倍長に設定して反7 射する。この反射成分の
みにつきレーザ2と反射形フィルタ8とによって構成さ
れる外部共振器に゛よりレーザ2に入射するレーザ光位
相の最適化が図られて発振し、その成分がレーザ2から
出力されるレーザ光とされる。つまり、単一波長のレー
ザ光が得られる。この単一波長のレーザ光は上述外部共
振器に設定されている条件に変化がない限り一定である
。上述距離の拡張により、単一波長のレーザ光のスペク
トル線幅の狭幅化も達成し得る。なお、設定条件が崩れ
た場合には、調整手段10により元に戻す。
A reflective filter 8 selectively reflects one of the plurality of wavelengths of laser light from the laser 2 . For example, the distance between the laser 2 and the reflective filter 8 is set to an integral multiple of the center wavelength of the laser beam, and the laser beam is reflected. Only this reflected component is oscillated in an external resonator formed by the laser 2 and the reflective filter 8 by optimizing the phase of the laser light incident on the laser 2, and that component is output from the laser 2. It is considered to be a laser beam. In other words, laser light of a single wavelength can be obtained. This single wavelength laser beam remains constant as long as there is no change in the conditions set in the external resonator. By extending the distance described above, it is also possible to narrow the spectral linewidth of a single wavelength laser beam. Note that if the setting conditions are disrupted, the adjustment means 10 restores them to their original state.

〔実施例〕〔Example〕

第2図は本発明の一実施例を示す。図において、2は複
数の波長のレーザ光を発生し得るレーザ、12はエタロ
ン、4はハーフミラ−16は共焦点ミラー(コンフォー
カルミラー)(共焦点干渉計)、8はグレーティングで
ある。ハーフミラ−4及び共焦点ミラー6は巡回光学系
9を構成している。そして、エタロンエ2、巡回光学系
9及びグレーティング8はレーザ2に戻って来るレーザ
光の位相を最適化し得るように設定されている。例えば
、レーザ2とグレーティング(反射形フィルタ)8との
間の距離はレーザ光の中心波長の整数倍とされ且つ調整
可能とされている。上述設定条件が崩れた場合にこれを
その設定条件に戻すための調整手段10が設けられてい
る。エタロン12のフィネス調整機構12A1共焦点ミ
ラー6に位置変位を与えるPZT6A及びグレーティン
グ8に位置変位を与えるPZT8A、並びにこれらのも
のへ調整信号を与えるための共焦点ミラー6の内部巡回
用反射面6Rの透過光を受光する受光素子20及び制御
系11が上述構成全体のための調整手段10を構成して
いる。なお、22.24は制御系11を構成する発振ス
ペクトル線幅コントロールループ22及び周波数コント
ロールループ24であるが、これらループ22.24は
後述するところから明らかなように本発明の外部共振器
に発振周波数選択性を有することから、本発明の必須要
素ではない。これらループ22.24は第5図公知の対
応各ループが達成せんとする目的の信号を発生し得るも
のであれば足りる。
FIG. 2 shows an embodiment of the invention. In the figure, 2 is a laser capable of generating laser beams of a plurality of wavelengths, 12 is an etalon, 4 is a half mirror, 16 is a confocal mirror (confocal interferometer), and 8 is a grating. The half mirror 4 and the confocal mirror 6 constitute a circulating optical system 9. The etalon 2, the circulating optical system 9, and the grating 8 are set so as to optimize the phase of the laser beam returning to the laser 2. For example, the distance between the laser 2 and the grating (reflection filter) 8 is an integral multiple of the center wavelength of the laser beam, and is adjustable. Adjustment means 10 is provided for returning to the setting conditions when the above-mentioned setting conditions are disrupted. Finesse adjustment mechanism 12A1 of etalon 12; PZT6A for displacing the confocal mirror 6; PZT8A for displacing the grating 8; A light receiving element 20 that receives transmitted light and a control system 11 constitute an adjusting means 10 for the entire configuration described above. Note that 22 and 24 are the oscillation spectrum linewidth control loop 22 and the frequency control loop 24 that constitute the control system 11, and as will be clear from what will be described later, these loops 22 and 24 are used to oscillate the external resonator of the present invention. Since it has frequency selectivity, it is not an essential element of the present invention. It is sufficient that these loops 22 and 24 can generate the signals intended to be achieved by the corresponding corresponding loops shown in FIG.

上述構成のレーザ光源における共焦点ミラー6の共振点
が第3図の(A)に示す各共振点(図中の縦線分)のい
ずれかの共振点となるように共焦点ミラー6のフィネス
を設定する。又、エタロン12の共振点が第3図の(B
)に示す各共振点(図中の縦線分)のいずれかの共振点
となるようにエタロンI2のフィネスを設定する。レー
ザ光位相して上述のような設定を施し得る系ヘレーザ光
を与える半導体レーザ2は第3図の(C)に示される如
きいくつかの発振波長(図中の縦線分)で発振可能とな
っている。これに加えて、グレーティング8は半導体レ
ーザ2の発振可能間隔よりも広い間隔で発振波長の選択
性、つまりその発振中心波長でのレーザ光成分に対する
レーザ2のための共振系を完成させる働きを為す。従っ
て、この共振系で選択された単一発振波長の発振レーザ
光成分がレーザ光源の出力(第3図の(E)参照)とし
て利用に供されることになる。
The finesse of the confocal mirror 6 is adjusted so that the resonance point of the confocal mirror 6 in the laser light source configured as described above becomes one of the resonance points (vertical line segments in the figure) shown in FIG. 3(A). Set. Also, the resonance point of the etalon 12 is shown in FIG. 3 (B
) The finesse of the etalon I2 is set so as to reach one of the resonance points (vertical line segments in the figure) shown in FIG. The semiconductor laser 2, which provides a system laser beam that can be phased and set as described above, can oscillate at several oscillation wavelengths (vertical line segments in the figure) as shown in FIG. 3(C). It has become. In addition, the grating 8 serves to complete the oscillation wavelength selectivity at intervals wider than the interval at which the semiconductor laser 2 can oscillate, that is, to complete the resonant system for the laser 2 for the laser light component at its oscillation center wavelength. . Therefore, the oscillation laser beam component having a single oscillation wavelength selected by this resonant system is used as the output of the laser light source (see (E) in FIG. 3).

その出力レーザ光の波長(周波数)は上述のところから
明らかなように、共振系の幾何学的構造で決まり、半導
体レーザ2が安定している躍り何らの調整は必要でない
。この共振系自体が周波数安定化を容易にする構成とな
っている。又、その単一発振波長のレーザ光のスペクト
ル線幅はエタロン12に設定される角度対応の損失で変
わり、そこを通過する光通過量が変わることによって制
御される。エタロン12の損失はOから無限大まで容易
に変えることが可能であり、そのダイナミックレンジは
大きい。これらは高速化、安定度を高めるのを容易にす
る。従って、スペクトル線幅制御が容易になる。
As is clear from the above, the wavelength (frequency) of the output laser light is determined by the geometrical structure of the resonant system, and as long as the semiconductor laser 2 is stable, no adjustment is necessary. This resonant system itself has a structure that facilitates frequency stabilization. Further, the spectral linewidth of the laser beam having a single oscillation wavelength changes depending on the angle-corresponding loss set in the etalon 12, and is controlled by changing the amount of light passing therethrough. The loss of the etalon 12 can be easily varied from 0 to infinity, and its dynamic range is large. These make it easier to increase speed and stability. Therefore, spectral linewidth control becomes easy.

又、半導体レーザ2は駆動電流の変化等でその発振周波
数が変わる性質を有するので、その変化を補償するため
には上述周波数コントロールループ24を働かせればよ
い。同様に、スペクトル線幅の変化に対しては上述発振
スペクトル線幅コントロールループ22を働かせればよ
い。これらループは上述のところから明らかなように簡
易なもので足りる。
Furthermore, since the semiconductor laser 2 has the property that its oscillation frequency changes due to changes in the drive current, etc., the above-mentioned frequency control loop 24 may be operated in order to compensate for such changes. Similarly, the above-mentioned oscillation spectral linewidth control loop 22 may be operated for changes in the spectral linewidth. As is clear from the above, simple loops are sufficient.

本発明はエタロンのない第4図構成としてもよい。その
構成要素は第2図実施例と同一であるので、同一の参照
番号を付してその説明を省略する。
The present invention may be configured as shown in FIG. 4 without an etalon. Since its constituent elements are the same as those in the embodiment shown in FIG. 2, they will be given the same reference numerals and their explanation will be omitted.

なお、上記実施例において、その外部共振器の発振波長
の選択性を2つの波長等の波長選択性としてもよい。
In the above embodiment, the selectivity of the oscillation wavelength of the external resonator may be a wavelength selectivity of two wavelengths or the like.

〔発明の効果) 以上述べたように本発明によれば、複数の波長のレーザ
光を発生し得るレーザの発振が安定している限り、予め
決められた単一発振波長のレーザ光を出力することがで
きるほか、スペクトル線幅制御が容易になり、光源の小
型化も得られる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, as long as the oscillation of a laser capable of generating laser beams with multiple wavelengths is stable, a laser beam with a predetermined single oscillation wavelength is output. In addition to this, the spectral linewidth can be easily controlled and the light source can be made smaller.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の原理構成図、 第2図は本発明の一実施例を示す図、 第3図は本発明実施例各部の動作可能な周波数の展開図
、 第4図は本発明の他の実施例を示す図、第5図は従来の
半導体レーザ光源の例を示す図である。 第1図、第2図及び第4図において、 2はレーザ、 4はハーフミラ−1 6は共焦点ミラー、 6Rは反射面、 6A、8AはPZT。 8はグレーティング、 9は巡回光学系、 10は調整手段、 12はエタロンである。 、参発El河の厘V豆7°゛コツ7図 第1図 第2図 (D) (E) 寥−z[¥llアイタ」各否pf7+p作可能1b漫数
へ長間図第3゛図 オζ¥門 めイ乞の 実方先イチJ 第4図 従来、!n渚−°導44ミし−“グ′°°メ巴シn吹、
 tウイ?ツ第6図
Fig. 1 is a diagram showing the principle configuration of the present invention, Fig. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 3 is a development diagram of the operable frequencies of each part of the embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a diagram showing the operable frequencies of each part of the embodiment of the present invention. FIG. 5, which is a diagram showing another embodiment, is a diagram showing an example of a conventional semiconductor laser light source. 1, 2, and 4, 2 is a laser, 4 is a half mirror 1, 6 is a confocal mirror, 6R is a reflective surface, and 6A and 8A are PZT. 8 is a grating, 9 is a circulating optical system, 10 is an adjustment means, and 12 is an etalon. , starting El River's 厥 V beans 7° ゛ Tips 7 Figure 1 Figure 2 (D) (E) 寥-z [¥ll ita'' each not pf 7 + p production possible 1b long figure 3゛Figure ζ¥mon Mei begging's actual destination first J Figure 4 Conventional,! n Nagisa - ° guide 44 mi - "gu' ° ° Me Tomoe n blowing,
T-ui? Figure 6

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)複数の波長のレーザ光を発生するレーザ(2)の
後方発射光をレーザ(2)に帰還する反射形フィルタ(
8)を該レーザ光の選択すべき波長の整数倍となる距離
に設けることにより後方発射光光路長による外部共振器
(13)を形成することを特徴とするレーザ光源。
(1) A reflective filter (which returns back-emitted light from the laser (2) that generates laser light of multiple wavelengths to the laser (2)
8) is provided at a distance that is an integral multiple of the wavelength to be selected of the laser light, thereby forming an external resonator (13) with an optical path length of the backward emitted light.
(2)前記反射形フィルタを用いて形成される外部共振
器(13)の光路の一部を巡回光学系により構成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ光源
(2) The laser light source according to claim 1, wherein a part of the optical path of the external resonator (13) formed using the reflective filter is constituted by a circulating optical system.
(3)複数の波長のレーザ光を発生するレーザ(2)の
後方発射光をレーザ(2)に帰還する反射形フィルタ(
8)を該レーザ光の選択すべき波長の整数倍となる距離
に設けることにより後方発射光光路長による外部共振器
(13)を形成し、該外部共振器内の光路間に光の屈折
により光路長を変える調整手段(10)を設けたことを
特徴とするレーザ光源。
(3) A reflective filter (which returns back-emitted light from the laser (2) that generates laser light of multiple wavelengths to the laser (2)).
8) at a distance that is an integral multiple of the wavelength to be selected of the laser beam, an external resonator (13) is formed by the optical path length of the backward emitted light, and a A laser light source characterized by being provided with an adjusting means (10) for changing the optical path length.
(4)複数の波長のレーザ光を発生するレーザ(2)の
後方発射光をレーザ(2)に帰還する反射形フィルタ(
8)と、該反射形フィルタ(8)とレーザ(2)間の光
路中に巡回光学系(9)を設けて外部共振器(13)を
形成し、該外部共振器の光路長が該レーザ光の選択すべ
き波長の整数倍の距離になるよう該巡回光学系(9)内
の距離を調整する手段を設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第3項記載のレーザ光源。
(4) A reflective filter (which returns back-emitted light from the laser (2), which generates laser light of multiple wavelengths, to the laser (2)).
8), and a circulating optical system (9) is provided in the optical path between the reflective filter (8) and the laser (2) to form an external resonator (13), and the optical path length of the external resonator is equal to that of the laser. 4. A laser light source according to claim 3, further comprising means for adjusting the distance within the circulating optical system (9) so that the distance is an integral multiple of the wavelength to be selected of the light.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02133977A (en) * 1988-11-14 1990-05-23 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor laser system

Cited By (2)

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