JPS62278537A - Display electrode array for active matrix type display device - Google Patents

Display electrode array for active matrix type display device

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JPS62278537A
JPS62278537A JP61121614A JP12161486A JPS62278537A JP S62278537 A JPS62278537 A JP S62278537A JP 61121614 A JP61121614 A JP 61121614A JP 12161486 A JP12161486 A JP 12161486A JP S62278537 A JPS62278537 A JP S62278537A
Authority
JP
Japan
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electrode
thin film
display
active matrix
display device
Prior art date
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Pending
Application number
JP61121614A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masanaru Abe
阿部 昌匠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To improve the orientation of liquid crystal and the yield of a display electrode array, and to facilitate control over a cell gap by setting the position of a display picture element electrode to height equal to or higher than the highest part of a thin film FET. CONSTITUTION:The thin film FET consists of a gate electrode 12, a semiconductor thin film 14, a drain electrode 16, a source electrode 17, etc. Then, the position of the display picture electrode 15 is set to the height equal to or higher than the drain electrode 16 and source electrode 17 at the highest part of the thin film FET. Consequently, the liquid crystal orientation of an active matrix type display device is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、薄膜トランジスタをスイッチ素子として表
示画素電極を選択駆動するアクティブマトリックス型表
示装置用表示電極アレイの改良に関する。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) This invention provides a display electrode for an active matrix display device that selectively drives a display pixel electrode using a thin film transistor as a switch element. Concerning array improvements.

(従来の技術) 最近、液晶やエレクトロルミネセンス(EL )を用い
た表示装置として、テレビ表示やグラフィックディスア
レイ等を指向した大容量で高密度のアクティブマトリッ
クスを表示装置の開発及び実用化が盛んである。
(Prior Art) Recently, the development and practical use of large-capacity, high-density active matrix display devices using liquid crystals and electroluminescence (EL), aimed at television displays, graphic display arrays, etc., has been active. It is.

このような表示装置では、クロストークのない高コント
ラストの表示が出来るように、各画素の駆動と制御を行
なう手段として半導体スイッチが用いられている。この
半導体スイッチとしては、透過量表示が可能で大面積化
も容易である等の理由から、透明絶縁基板上に形成され
た薄膜トランジスタが多く用いられている。
In such display devices, semiconductor switches are used as means for driving and controlling each pixel so that high contrast display without crosstalk can be achieved. As this semiconductor switch, thin film transistors formed on transparent insulating substrates are often used because they are capable of displaying the amount of transmission and are easy to increase in area.

そして、アクティブマトリックス型表示装置は、概略、
複数の薄膜トランジスタと複数の表示画素電極をマ) 
IJフックス状配列形成した第1の基板(上記透明絶縁
基板)と、対向電極を形成した第2の基板との間に、液
晶を挾持して構成されている。
The active matrix display device is roughly as follows:
(Multiple thin film transistors and multiple display pixel electrodes)
A liquid crystal is sandwiched between a first substrate (the above-mentioned transparent insulating substrate) formed in an IJ hook-like arrangement and a second substrate formed with a counter electrode.

尚、上記の複数の薄膜トランジスタと表示画素電極をマ
トリックス状に配列形成した第1の基板を表示電極アレ
イと称することにする。
The first substrate on which the plurality of thin film transistors and display pixel electrodes described above are arranged in a matrix will be referred to as a display electrode array.

さて、従来の表示電極アレイは第2図に示すように構成
され、ガラスからなる透明絶縁基板1上には、Crから
なるデート電極2が形成され、このダート電極2を覆う
ように、透明絶縁基板1上に510xからなるff−)
絶縁膜3が形成されている。
Now, a conventional display electrode array is constructed as shown in FIG. 2. A date electrode 2 made of Cr is formed on a transparent insulating substrate 1 made of glass, and a transparent insulated ff-) consisting of 510x on board 1
An insulating film 3 is formed.

このダート絶縁膜3上には、ダート電極2に対応する位
置にa−8lからなる半導体薄膜4が形成されると共に
、ITO(イン・ゾウム・チン・オキサイド)からなる
表示画素電極5が形成されている。
On this dirt insulating film 3, a semiconductor thin film 4 made of a-8l is formed at a position corresponding to the dirt electrode 2, and a display pixel electrode 5 made of ITO (in-oxide) is formed. ing.

更に、半導体薄膜4上にはAtからなるドレイ/電極6
とソース電極7が所定間隔を置いて形成され、このソー
ス電極7は表示画素電極5に接続されている。そして、
露出しているe−)絶縁膜3、半導体薄膜4、ドレイン
電極6、ソース電極7を覆って絶縁層8が形成されてい
る。この絶縁層8上には、半導体薄膜4に対応して光遮
蔽膜9が形成され、この光遮蔽膜9を覆うように絶縁層
8上には絶縁層10が形成されている。
Furthermore, a drain/electrode 6 made of At is formed on the semiconductor thin film 4.
and source electrodes 7 are formed at predetermined intervals, and these source electrodes 7 are connected to the display pixel electrodes 5. and,
An insulating layer 8 is formed to cover the exposed e-) insulating film 3, semiconductor thin film 4, drain electrode 6, and source electrode 7. A light shielding film 9 is formed on this insulating layer 8 in correspondence with the semiconductor thin film 4 , and an insulating layer 10 is formed on the insulating layer 8 so as to cover this light shielding film 9 .

尚、上記の場合、ダート電極2、半導体薄膜4、ドレイ
ン電極6、ソース電極7等により薄膜トランジスタが構
成されている。
In the above case, the dirt electrode 2, semiconductor thin film 4, drain electrode 6, source electrode 7, etc. constitute a thin film transistor.

(発明が解決しようとする問題点) 上記のような従来の表示電極アレイにおいては、薄膜ト
ランジスタと表示画素電極5との高さの差があ)、この
ためアクティブマトリックス型表示装置に使用した場合
、液晶の配向を均一に行なうことが出来ず、部品の歩留
シが悪く、セルギャッf(液晶の厚さ)が制御し難い。
(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional display electrode array as described above, there is a difference in height between the thin film transistor and the display pixel electrode 5). Therefore, when used in an active matrix display device, The liquid crystal cannot be aligned uniformly, the yield of parts is poor, and the cell gap f (thickness of the liquid crystal) is difficult to control.

この発明は、上記従来の問題点を解消したアクティブマ
トリックス型表示装置用表示電極アレイを提供すること
を目的とする。
An object of the present invention is to provide a display electrode array for an active matrix display device that eliminates the above-mentioned conventional problems.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段) この発明は、透明絶縁基板上に複数の薄膜トランジスタ
と、この薄膜トランジスタにより選択駆動される複数の
表示画素電極をマトリックス状に配列形成したアクティ
ブマトリ父りス型表示装置用表示tqアレイにおいて、
上記表示画素電極は、上記薄膜トランジスタの最も高い
部分と同等もしくはそれ以上の高さに位置するアクティ
ブマトリックス型表示装置用表示電極アレイである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides an active matrix in which a plurality of thin film transistors and a plurality of display pixel electrodes selectively driven by the thin film transistors are arranged in a matrix on a transparent insulating substrate. In a display tq array for a father's type display device,
The display pixel electrode is a display electrode array for an active matrix display device located at a height equal to or higher than the highest part of the thin film transistor.

(作用) この発明によれば、アクティブマトリックス型表示装置
に使用した場合、液晶の配向が良好にして、製造時の良
品歩留υが向上し、セルギャップが制御し易いアクティ
ブマトリックス型表示装置用表示電極アレイである。
(Function) According to the present invention, when used in an active matrix display device, the alignment of liquid crystals is improved, the yield of good products during manufacturing is improved, and the cell gap is easily controlled. This is a display electrode array.

(実施例) 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

即ち、この発明のアクティブマトリックス型表示装置用
表示電極アレイは第1図に示すように構成され、ガラス
からなる透明絶縁基板11上には、Crからなるダート
電極12が形成され、このダート電極12を覆うように
、透明絶縁基板11上に5IOXからなるy−ト絶縁膜
13が形成されている。
That is, the display electrode array for an active matrix display device of the present invention is constructed as shown in FIG. A y-to insulating film 13 made of 5IOX is formed on the transparent insulating substrate 11 so as to cover it.

このダート絶縁膜13上には、デート電極2に対応する
位置にa−31からなる半導体薄膜14が形成され、こ
の半導体薄膜14上にはkAからなるドレイン電極16
とソース電極17が所定間隔を置いて形成されている。
A semiconductor thin film 14 made of a-31 is formed on this dirt insulating film 13 at a position corresponding to the date electrode 2, and a drain electrode 16 made of kA is formed on this semiconductor thin film 14.
and source electrodes 17 are formed at predetermined intervals.

そして、ドレイン電極16、半導体薄膜14の露出部分
を覆うようにPI(ポリイミド)からなる透明絶縁膜2
0が形成されている。又、他方のダート絶縁膜13上に
は、半導体薄膜14とソース電極17の各側面に接して
同じ(PIからなる透明絶縁膜20が形成されている。
Then, a transparent insulating film 2 made of PI (polyimide) is formed to cover the exposed portions of the drain electrode 16 and the semiconductor thin film 14.
0 is formed. Further, on the other dirt insulating film 13, a transparent insulating film 20 made of the same material (PI) is formed in contact with each side surface of the semiconductor thin film 14 and the source electrode 17.

更に、ソース電極17上には、透明絶縁膜20の一部を
覆ってAtからなる光遮蔽膜19が形成されている。こ
の光遮蔽膜19は、勿論、半導体薄膜14に対応してい
る。そして、この光遮蔽膜19と透明絶縁膜20にまた
がって、ITOからなる表示画素電極15が形成されて
いる。従って、表示画素電極15は光遮蔽膜19を介し
てソース電極17に接続されていることになる。
Furthermore, a light shielding film 19 made of At is formed on the source electrode 17 so as to cover a part of the transparent insulating film 20 . This light shielding film 19 naturally corresponds to the semiconductor thin film 14. A display pixel electrode 15 made of ITO is formed spanning the light shielding film 19 and the transparent insulating film 20. Therefore, the display pixel electrode 15 is connected to the source electrode 17 via the light shielding film 19.

上記の場合、ダート電極12、半導体薄膜14、ドレイ
ン電極16、ソース電極17等により薄膜トランジスタ
が構成されているが、この発明では上記構成から明らか
なように、表示画素電極15の位置が薄膜トランジスタ
の最も高い部分(ドレイン電極16及びソース電極17
)と同等かそれ以上の高さに設定されている。
In the above case, a thin film transistor is constituted by the dirt electrode 12, the semiconductor thin film 14, the drain electrode 16, the source electrode 17, etc., but in the present invention, as is clear from the above structure, the position of the display pixel electrode 15 is the most of the thin film transistor. High parts (drain electrode 16 and source electrode 17
) is set to a height equal to or greater than.

[発明の効果] この発明によれば、表示画素電極15の位置が薄膜トラ
ンジスタの最も高い部分(ドレイン電極16及びソース
電極17)と同等かそれ以上の高さに設定されているの
で、アクティブマトリックスを表示装置に使用した場合
、液晶の配向が良好にして、製造時の良品歩留りが向上
し、セルギャップが制御し易いという利点がある。
[Effects of the Invention] According to the present invention, since the position of the display pixel electrode 15 is set at a height equal to or higher than the highest part of the thin film transistor (the drain electrode 16 and the source electrode 17), the active matrix is When used in a display device, there are advantages in that the alignment of liquid crystals is improved, the yield of non-defective products during manufacturing is improved, and the cell gap is easily controlled.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例に係るアクティブマトリッ
クス型表示装置用表示電極アレイを示す断面図、第2図
は従来のアクティブマトリックス・塁表示装置用表示電
標アレイを示す断面図である。 1ノ・・・透明絶縁基板、12・・・r−ト電極、13
・・・ダート絶縁膜、14・・・半導体薄膜、15・・
・表示画素電極、16・・・ドレイン電極、17・・・
ソース電極、19・・・光遮蔽膜、20・・・透明絶縁
膜。
FIG. 1 is a sectional view showing a display electrode array for an active matrix display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a conventional display electrode array for an active matrix base display device. 1 No. Transparent insulating substrate, 12... r-to electrode, 13
... Dirt insulating film, 14... Semiconductor thin film, 15...
・Display pixel electrode, 16... drain electrode, 17...
Source electrode, 19... Light shielding film, 20... Transparent insulating film.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 透明絶縁基板上に複数の薄膜トランジスタと、この薄膜
トランジスタにより選択駆動される複数の表示画素電極
をマトリックス状に配列形成したアクティブマトリック
ス型表示装置用表示電極アレイにおいて、 上記表示画素電極は、上記薄膜トランジスタの最も高い
部分と同等もしくはそれ以上の高さに位置することを特
徴とするアクティブマトリックス型表示装置用表示電極
アレイ。
[Scope of Claims] A display electrode array for an active matrix display device in which a plurality of thin film transistors and a plurality of display pixel electrodes selectively driven by the thin film transistors are arranged in a matrix on a transparent insulating substrate, wherein the display pixel electrode A display electrode array for an active matrix display device, characterized in that the display electrode array is located at a height equal to or higher than the highest part of the thin film transistor.
JP61121614A 1986-05-27 1986-05-27 Display electrode array for active matrix type display device Pending JPS62278537A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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