JPS62201325A - 赤外線検知器 - Google Patents

赤外線検知器

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JPS62201325A
JPS62201325A JP61025019A JP2501986A JPS62201325A JP S62201325 A JPS62201325 A JP S62201325A JP 61025019 A JP61025019 A JP 61025019A JP 2501986 A JP2501986 A JP 2501986A JP S62201325 A JPS62201325 A JP S62201325A
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宏 瀧川
Tetsuya Kawachi
哲也 河内
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    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0803Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
    • G01J5/0805Means for chopping radiation
    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の11′#細な説IJI 〔概要〕 本発明は、赤外線透過材からなる基体lO9該基体10
の片面1ユに形成された赤外線吸収体層11、該吸収体
層のトに形成された。′ji’、Lm体層12および該
、′A重体層のにに形成された赤外線反射体層13より
なる遮光部16と、前記赤外線透過材からなる)、(体
10と前記各層11〜13が形成された面と同じ側の面
の、よ基体lOのI−に形成されたJij記、、A電体
層12よりなる開11部15とをイ1するコールドシー
ルドを#i+えていることを特徴とし、前記遮光部の赤
外線吸収作用および1−渉外用により該遮光部に入射す
る赤外線をほぼ7r′1′&I7.させるとともに、前
記開11部に入射する赤外線をはぼそのまま透過ごせる
ことにより、赤外線検知の、t6精度化を図る。
〔〆業1−の利用分野〕 本発明は赤外線検知器に関するものであり、更に、;↑
しく1丁えば赤外線検知器のコールドシールドの構造に
関するものである。
〔従来の技術〕
第4図は従来例に係る赤外線検知器の断面図であり、2
は基台lの上に固層された赤外線を検知する検知器f−
である。3はコールドシールドであり1例えば表面が黒
化処即されたアルミニウムによって形成5れている。コ
ールドシールド3は赤外線を吸収する作用を有するとと
もに、赤外線の発光源とならないように、基台l内の不
図示の冷却装置によって1−分に冷却されている。
このようにコールドシールに’ 3によって不安な、又
は不都合な赤外線を祷除し、 ・方その間11を通過し
た請・外線のみを検知ふr2に導くことによって赤外線
検知の高精度化を図っている。
〔発明が解決しようとする1ご、1題+:、1、〕第5
図は第4図の部分拡大図であり、4.5は検知器r2の
受光部、6は電極である。また7は例えばゲルマニウム
等で形成される界在の窓である。
ところで窓7を通して検知素子2に入射する赤外線のう
ち受光部4に直接入射する赤外線8はそのまま該受光部
4で検知されるが、電極6に入射する赤外線9は該電極
6によって反射され、更に窓7等によって反射されて例
えば受光部5に入射することがある。
このように従来例の赤外線検知器によれば、実際には入
射すべきでない受光部5にも赤外線が入射することにな
り、検知の粘度が低ドする場合がある。
本発明はかかる従来例の問題点に工みて創作されたもの
であり、高精度の赤外線検知を”(fEとする赤外線検
知器の提供を目的とする。
〔問題点を解決するためのr段〕
本発明の赤外線検知器は、赤外線透過材からなる基体1
0.該)A体層0の片面トに形成された赤外線吸収体層
11.該吸収体層の上に形成された1講゛市体層12お
よび該請゛111体層のにに形成された、71、外線反
射体層13よりなる遮光部16と、前記赤外線透過材か
らなる基体10と前記各層11〜13が形成された面と
同じ側の面の該基体10の1、に形成された前記、1 
’+h体層12よりなる開[1部15とを有するコール
ドシールドを備えていることを特徴とする。
(角田〕 し)10部15は光学的に透過性の良好な屈折44の組
み合わせに係る赤外線透過材からなる基体lOと14゛
屯体層12から構成されているので、該111++部に
入射する赤外線は効(に良く受光部に4〈ことができる
0g光部16に入射する赤外線は屈折十の相1fによっ
てその一部はまず)1(体lOと吸収体層11との境界
で反射する。・力その残りは吸収体層11を通過するが
、その一部は吸収体層11によって吸収される。吸収体
層11に吸収されず誘電体層12を透過する赤外線は反
射体層13によって反射され誘′1に体層12を通って
11び吸収体層11に入射する。ここでさらに吸収され
るが、その残りの赤外線は吸収体層11から外へ出る。
ところで吸収体層11で反射する赤外線と反射体層13
で反射する赤外線がJ−IA打ち消し合うように光学的
位相差を1j・え、かつそれらの強電がほぼ笠しくなる
ように層の厚ざやkI;折率を設定すると、遮光部16
から外へ出る赤外線を消滅させることができる。
このように本発明によればじ)111部15に入射する
赤外線はイ1効に検知2トr−の受光部に導くことがで
き、一方遮光部16に入射する赤外線は該遮光部により
消滅させることができる。このため検知器r−の電極等
で反射した光が本末入射すべきでない受光部にも入射し
て検知器1■が低ドする従来例の問題−1、―、を解決
することができる。
〔実施例〕
次に図を参照しながら本発明の実施例について説明する
。:JS1図は本発明の実施例に係る赤外線検知器のコ
ールドシールドの断面図であり、lOは赤外線透過材か
らなる基体である。基体10として例えばZ。S材が用
いられる。11は赤外線吸収体層であり1例えばCr材
又はN1材が用いられる。12は誘電体層であり1例え
ばC,!F1材が用いられる。13は赤外線反射体層で
あり、例えばAn材が用いられる。また14は誘°市体
層であり、例えば誘電体層12と同様に。
Ce Fj材が用いられる。
15はコールドシールドの開[1部であり、L方から入
射する赤外線を効率良く透過して不図示の受光部に導く
ものである。この部分は構造的には1A電体層14 、
 J、I;体lOおよび誘電体層12の三層構造となっ
ている。
16はコールドシール1この遮光部であり、この部分に
入射する赤外線を吸収したり、あるいはF渉させること
により、効率良く消滅させるものである。この部分は構
造的には誘電体層14 、J、(体io、赤外線吸収体
層11 、詰’ltX、体層12.赤外線反射体層13
の1+層構造となっている。
なお、A主体層14が存在しない場合にも未発1多10
〕、(末的効果を得ることができるが、基体10の両面
に、、に、、A’心体層14および誘電体層12を形成
することにより、開口部15の赤外線の透過効率をより
 ・層高くすることができる。
次に第1図の実施例の作用について説明する。
ここで1:方から開” 部15に入射する赤外線の波長
を入、基体10のh+1折半をnlとし、1A重体12
.14の屈折率をn2.膜厚をdiとする。
周知のようにn2=J  nlかつn2Xd 1−人/
4を満たすとき最高の透過率を示すから、このような条
件に合致する構造の開11部を通過する赤外線は耐高の
透過効率で受光部に到達する。
次に遮光部16に入射する赤外線17は)、(体10の
屈折率nlと赤外線吸収体層11の屈折率n3が異なる
ため、この境界でその一部を反射する(赤外線18)、
残りの赤外線は赤外線吸収体層11に吸収されながらも
誘′−に体層12を通って赤外線反射体層13に達する
。ここで反射された赤外線は再び誘電体層12を通り赤
外線吸収体層11に吸収されながらもその・部は赤外線
吸収体層11から射出する(赤外519)。
ところで赤外線18と赤外線19の強度を等しく、かつ
位相を半波長ずらしておくことによりこれらの赤外線を
相殺し、実質的に遮光部16から赤外線が外側に出るこ
とを防11することができる。
なお赤外線18と赤外線19の強度の調整は吸収体層1
1の材質と膜厚の調整により1能である。また位相差の
調整は誘電体層2の膜厚の調整により■f鋤である。特
に基体lO9吸収体層11、誘電体層12.反射体層1
3の各h+i折(inl 、n2.n3.n4c7)間
にn 1 < n 2 。
−n3<n4又はnl>n2.n3>n4の関係がある
とき、反射のときの位相反転の有無による位相差が生じ
ないから半波長差をIj、える14電体層12の膜厚は
前述の開11部15で定めた透過効(lのもっとも高い
ときの膜厚di (n2Xdl=入/4)に一致するこ
とになる。このように開口部15と遮光部16の、A 
’、b、体層12の膜厚は同じでよいから製造1−極め
て容易にとなる利点もある。
このように本発明の実施例によれば開” l?1115
を介して、°、6い透過効−+<で受光部に赤外線を導
く、−とができる、また遮光部16に入射する赤外線は
実質的に消滅させることができるので、従来例のように
電極等に反射した赤外線が11)び窓等に++j反射さ
れた後に本来入射すべきでない受光部に入射することを
防11−することができ、このため検知精度の大幅な向
1.を図ることがo[ftとなる。
第2図は本発明の実施例に係るコールドシールド20を
検知器1’−21のトに設けた状iEミを示すト面図で
あり、′第3図は第2図のA−A′の矢視断面図である
第2図においてコールドシールド20の遮光部16(斜
線で示す、)は受光部22以外の部分を遮蔽しており、
開1【部15は受光部22のlI′1上に設けられてい
る。このようにして開口部15に人射する赤外線はli
A開口部15を介してその真ドの受光部22のみに導か
れる。−・方、遮光n l s ニ人躬する赤外線は該
遮光部16の吸収作用および1−渉外用によって消滅す
るので、従来例のように電極23等の反射を介して別の
受光部に達するという不都合は生じない。
〔本発明の効果〕
以ヒ説用したように本発明によれば遮光部の赤外線吸収
作用および[渉外用により該遮光部に入射する赤外線を
ほぼ消滅されることができるとともに、開日部に入射す
る赤外線を高効率で透過させて検知器r−の所定の受光
部に導くことができるので、精度の良い赤外線検知がl
i)能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る赤外線検知器のコールド
シールドの断面図、 第2図は本発明の実施例に係るコールドシールドを検知
ぶrの1一方に設けた状55を示す1−面図、第3図は
第2図のA−A’矢視断面図。 第4図は従来例に係る赤外線検知器の断面図、第5図は
第4図の部分拡大図である。 (符号の説IJI ) l・・・ノ、(台。 2.21・・・検知器f、 3.20・・・コールドシールド。 4.5.22・・・受光部、 6.23・・・電極、 7・・・窓、 8.9,17,18.19・・・赤外線。 lO・・・赤外線透過材からなるス(体、11・・・赤
外線吸収体層、 12.14・・・話゛市体層、 13・・・赤外線反射体層、 15・・・開11部。 16・・・遮光部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)赤外線透過材からなる基体10、該基体10の片
    面上に形成された赤外線吸収体層11、該吸収体層の上
    に形成された誘電体層12および該誘電体層の上に形成
    された赤外線反射体層13よりなる遮光部16と、 前記赤外線透過材からなる基体10と前記各層11〜1
    3が形成された面と同じ側の面の該基体10の上に形成
    された前記誘電体層12よりなる開口部15とを有する
    コールドシールドを備えていることを特徴とする赤外線
    検知器。
  2. (2)前記各層11〜13の形成された面と反対側の前
    記基体10の面に誘電体層14が形成されていることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の赤外線検知器
  3. (3)前記誘電体層12、14の赤外線の屈折率は前記
    基体10の屈折率より小さく、かつ1より大きいことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項のいずれか
    に記載の赤外線検知器。
  4. (4)前記赤外線吸収体13の材質はクロム又はニッケ
    ルであることを特徴とする特許請求の範囲第1項〜第3
    項のいずれかに記載の赤外線検知器。
JP61025019A 1986-02-07 1986-02-07 赤外線検知器 Granted JPS62201325A (ja)

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