JPS595948A - 光照射音源による非破壊検査方法 - Google Patents
光照射音源による非破壊検査方法Info
- Publication number
- JPS595948A JPS595948A JP57114819A JP11481982A JPS595948A JP S595948 A JPS595948 A JP S595948A JP 57114819 A JP57114819 A JP 57114819A JP 11481982 A JP11481982 A JP 11481982A JP S595948 A JPS595948 A JP S595948A
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- Japan
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- inspected
- sound source
- light
- thermal stress
- irradiated
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、被検査体に光を照射し、光吸収によって発
生する熱によって局部的に誘起される熱歪を音源として
、被検査体の検査を行う非破壊検査方法に関するもので
ある。
生する熱によって局部的に誘起される熱歪を音源として
、被検査体の検査を行う非破壊検査方法に関するもので
ある。
従来、非破壊検査方法として超音波非破壊検査方法があ
る。しかしこの方法では、凸凹の多い被検査体あるいは
探触子を挿入できないような凹みを持つ被検査体の検査
は困難であった。また、＾を中とか特殊雰囲気中に置か
れた被検査体には通用することが困難であるという欠点
があった。
る。しかしこの方法では、凸凹の多い被検査体あるいは
探触子を挿入できないような凹みを持つ被検査体の検査
は困難であった。また、＾を中とか特殊雰囲気中に置か
れた被検査体には通用することが困難であるという欠点
があった。
この発明は、上述の点にかんがみなされたもので、被検
査体の表面に光な照射することによって、その熱による
歪を音源として、この音源の＃な検出し検査を行うよう
にしたものである。以下、図面についてこの発明を説明
する。
査体の表面に光な照射することによって、その熱による
歪を音源として、この音源の＃な検出し検査を行うよう
にしたものである。以下、図面についてこの発明を説明
する。
第１図はこの発明の一実施例を示すものである。
この図において、１は断続変調あるいはパルス状変調を
受けた光、２は被検査体、３は音波（振動ンを電気信刊
に変換するＹランスジュヮサ、４は前記＋！Ｉｉ檜査体
２の内部の欠陥を示す。また、５は音源で、被検査体２
の元１が照射された部位に発生する。６は歪波で、音源
５から発生する。
受けた光、２は被検査体、３は音波（振動ンを電気信刊
に変換するＹランスジュヮサ、４は前記＋！Ｉｉ檜査体
２の内部の欠陥を示す。また、５は音源で、被検査体２
の元１が照射された部位に発生する。６は歪波で、音源
５から発生する。
次に検査手順について説明する。
断続変調にするいはパルス状変、ｉ１４を受けた元１を
被検査体２の表面に照射する。元１の当った部位は元の
吸収によって発生する点によって音源５が作られる。こ
の音源５から発する歪波６は被検査体２中を伝げんし、
トランスジュウサ３に入って電気出力Ｅを発生する。こ
の電気出力Ｅは元１の断続またはパルス状変調のパルス
の立上り、ｆたけ立下り時点と一定の同期関係になる。
被検査体２の表面に照射する。元１の当った部位は元の
吸収によって発生する点によって音源５が作られる。こ
の音源５から発する歪波６は被検査体２中を伝げんし、
トランスジュウサ３に入って電気出力Ｅを発生する。こ
の電気出力Ｅは元１の断続またはパルス状変調のパルス
の立上り、ｆたけ立下り時点と一定の同期関係になる。
しかし、被検査体２中に欠陥４が存在すると、それによ
り歪波６の伝ばんがしゃ断されたり、伝ばんが減衰した
りするので、前記同期関係は得られなくなる。
り歪波６の伝ばんがしゃ断されたり、伝ばんが減衰した
りするので、前記同期関係は得られなくなる。
したがって、光１の波形とトランスンユワサ３のム
このように凹んだ部分７があっても、元１が照射されれ
ば音源５ができるので、非破壊検査を行うことができる
。
ば音源５ができるので、非破壊検査を行うことができる
。
第３図はこの発明のさらに他の実施例を示すもので、被
検査体２が透明の場合である。照射された元１は、被検
査体２が透明であるため内部を進み、欠陥４に当ってそ
こで吸収されて音源５となり、第１図、第２図の実施例
と同様にして内部な検査することができろ。
検査体２が透明の場合である。照射された元１は、被検
査体２が透明であるため内部を進み、欠陥４に当ってそ
こで吸収されて音源５となり、第１図、第２図の実施例
と同様にして内部な検査することができろ。
第３図の実施例の揚ｒ］、欠陥４に元１が吸収されない
場合には、透明な被検査体２０表面に光吸収性の膜８を
第４図のように付着させ、この膜８に光１を照射するよ
うにすれば、こ匁が音源５となり、上述した非破壊検査
を行うことかできる。
場合には、透明な被検査体２０表面に光吸収性の膜８を
第４図のように付着させ、この膜８に光１を照射するよ
うにすれば、こ匁が音源５となり、上述した非破壊検査
を行うことかできる。
なお、光１の照射法としては被検査体２の広い部分にわ
たって照射する場合と、絞った元ビームで走査する場合
がある。後者の場合には欠陥４の位置をより詳細に知る
ことができる。
たって照射する場合と、絞った元ビームで走査する場合
がある。後者の場合には欠陥４の位置をより詳細に知る
ことができる。
また、元１としては、例えばレーザ光を用いる。
連続発振レーザの場合には、１１免１顔＋ ））、、＞
ゴパルスＡ刈１＃＋して使用する。また、光エネルギー
としては、キセノンランプな分光してとり出す程度のも
のから使用でき、被検査体２に応じて選定する。さらに
、欠陥４の位置は、例えば第１図で云えば、音ｍｂとト
ランスジュウサ３を結ぶ線上にあるものが検出されるか
ら、音源・５の位置、すなわち、元１を照射する位ｔｉ
ｔｔを変える（走査）ことにより、内部の欠陥４が検出
でき、まＴこ、パルス状の元１を照射してからどれだけ
遅れて音響信号がトランスジュウサ３に得られるかとい
う時間差から欠陥４とトランスジュワサ３までの距離が
求まり、以上から欠陥４０３次元空間位置を知ることが
できる。′ｔｈ′た、トランスジュウサ３の数は適宜増
加してよいことはもちろんである。
ゴパルスＡ刈１＃＋して使用する。また、光エネルギー
としては、キセノンランプな分光してとり出す程度のも
のから使用でき、被検査体２に応じて選定する。さらに
、欠陥４の位置は、例えば第１図で云えば、音ｍｂとト
ランスジュウサ３を結ぶ線上にあるものが検出されるか
ら、音源・５の位置、すなわち、元１を照射する位ｔｉ
ｔｔを変える（走査）ことにより、内部の欠陥４が検出
でき、まＴこ、パルス状の元１を照射してからどれだけ
遅れて音響信号がトランスジュウサ３に得られるかとい
う時間差から欠陥４とトランスジュワサ３までの距離が
求まり、以上から欠陥４０３次元空間位置を知ることが
できる。′ｔｈ′た、トランスジュウサ３の数は適宜増
加してよいことはもちろんである。
以上説明したように、この発明は被検査体に元を照射し
、これにより被検査体に局部的に熱歪な誘起せしめ、こ
ねを音源として非破壊検査を行うようにしたので、音源
を直接被検査体に接続させる従来の非破壊検査のように
被検査体に凹みがあると検査できないということがなく
、また、被検査体が真空中や特殊雰囲気中に置かれてい
ても、容易に検査を施すことができる。さらに、この発
明によれば、遠隔化、自動化、無人化を促進できる利点
がある。
、これにより被検査体に局部的に熱歪な誘起せしめ、こ
ねを音源として非破壊検査を行うようにしたので、音源
を直接被検査体に接続させる従来の非破壊検査のように
被検査体に凹みがあると検査できないということがなく
、また、被検査体が真空中や特殊雰囲気中に置かれてい
ても、容易に検査を施すことができる。さらに、この発
明によれば、遠隔化、自動化、無人化を促進できる利点
がある。
第１図はこの発明の一実施例な示す構成略図、第２図、
第３図、第４図はいずれもこの発明の他の実施例をそれ
ぞれ示す構成略図である。 図中、１は光、２は被検査体、３はトランスジュウサ、
４は欠陥、５は音源、６は歪波、Ｔは凹んだ部分、８は
膜である。
第３図、第４図はいずれもこの発明の他の実施例をそれ
ぞれ示す構成略図である。 図中、１は光、２は被検査体、３はトランスジュウサ、
４は欠陥、５は音源、６は歪波、Ｔは凹んだ部分、８は
膜である。
Claims (1)
- 断続変調、あるいはパルス状変調された元を被検査体に
照射し、前記被検査体に光吸収により発生する熱Ｖ（よ
り局部的に熱歪な誘起せしめ、前記熱歪を音源としてそ
れから発する歪波をトランスジュワサにより検出し、こ
のトランスジュウサの出力と前記光の相関から前記被検
査体の内部を検査することを特徴とする光照射音源によ
る非破壊検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57114819A JPS595948A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光照射音源による非破壊検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57114819A JPS595948A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光照射音源による非破壊検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS595948A true JPS595948A (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=14647473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57114819A Pending JPS595948A (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 光照射音源による非破壊検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595948A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746104A (ja) * | 1994-02-04 | 1995-02-14 | Kawasaki Steel Corp | プログラマブル入力回路 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53110589A (en) * | 1977-03-05 | 1978-09-27 | Krautkraemer Gmbh | Method and apparatus for generation of supersonic waves in articles |
| JPS5492387A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-21 | Sumitomo Metal Ind | Noncontact supersonic inspecting method |
| JPS5658658A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-21 | Nippon Steel Corp | Measuring method of grain size of steel material using pulse laser light |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP57114819A patent/JPS595948A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53110589A (en) * | 1977-03-05 | 1978-09-27 | Krautkraemer Gmbh | Method and apparatus for generation of supersonic waves in articles |
| JPS5492387A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-21 | Sumitomo Metal Ind | Noncontact supersonic inspecting method |
| JPS5658658A (en) * | 1979-10-18 | 1981-05-21 | Nippon Steel Corp | Measuring method of grain size of steel material using pulse laser light |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746104A (ja) * | 1994-02-04 | 1995-02-14 | Kawasaki Steel Corp | プログラマブル入力回路 |
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