JPH1196918A

JPH1196918A - プラズマディスプレイ

Info

Publication number: JPH1196918A
Application number: JP25076597A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Masaki; 孝樹正木; Junji Sanada; 淳二真多; Akiko Okino; 暁子沖野
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1997-09-16
Filing date: 1997-09-16
Publication date: 1999-04-09
Anticipated expiration: 2017-09-16
Also published as: JP3674261B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高精細、低抵抗かつ高接着強度を有すると共
に、ＸＹＺ表色系における刺激値Ｙを特定した電極を形
成することにより、表示画面のコントラストの優れたカ
ラー表示の色純度の高いプラズマディスプレイを提供す
る。【解決手段】基板上に電極を形成したプラズマディスプ
レイであって、ＸＹＺ表色系における刺激値Ｙが５〜４
０であり、その色度座標値ｘ，ｙの値がそれぞれ０．３
〜０．３６である電極を形成する。Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、
ＮｉおよびＰｔの群から選ばれた少なくとも１種を含有
する導電性粉末、Ｒｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ
の金属もしくはこれらの酸化物、酸化ビスマス系でアル
カリフリーのガラスフリットおよび感光性有機成分から
なる感光性導電ペーストを用いて電極パターンを形成
し、これを焼成して目的とする電極を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極が高精細、低
抵抗かつ高接着強度を有し、表示画面のコントラストが
高く、カラー表示の色純度の高いプラズマディスプレイ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤ
Ｐと記載する）は、液晶パネルに比べて高速の表示が可
能であり、かつ大型化が容易であることから、ＯＡ機器
および情報表示装置などの分野に浸透している。また、
高品位テレビの分野などでの進展が非常に期待されてい
る。

【０００３】このような用途の拡大に伴って、ＰＤＰは
微細で多数の表示セルを有するカラーＰＤＰが注目され
ている。ＰＤＰは前面ガラス基板と背面ガラス基板を張
合わせて構成されている。前面ガラス基板では、基板上
にインジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）や酸化錫からなる透
明電極が形成されている。透明電極は帯状に複数本形成
されており、この隣り合う透明電極間に通常１０ｋＨｚ
〜数１０ｋＨｚのパルス状交流電圧を印加し表示用の放
電を得るが、透明電極のシート抵抗は数１０Ω／ｃｍ²
と高いため、電気抵抗が数１０ｋΩ程度になり、印加電
圧パルスが十分に立ち上がらず駆動が困難になる。そこ
で通常は透明電極上に金属製のバス電極を形成して抵抗
値をさげるようにしている。

【０００４】この前面ガラス基板では、透明電極および
バス電極を形成した後、全体を低融点ガラスからなる透
明誘電体層によって被覆する。その後、保護層として酸
化マグネシウムを電子ビーム蒸着法により形成する。前
面ガラス基板に形成された誘電体は、放電のための電荷
を蓄積するためのコンデンサーとしての役割を有してい
る。

【０００５】一方、背面ガラス基板にはアドレス電極が
形成され、その上に誘電体層を設けた後、隔壁が形成さ
れる。隔壁で仕切られたセル内にはそれぞれ赤、緑、青
に発光する蛍光体が塗布される。このような構成の背面
ガラス基板と上記の前面ガラス基板とを封着し、隔壁で
仕切られた放電空間にＨｅ−Ｘｅ，Ｎｅ−Ｘｅなどのガ
スを封入して、ＰＤＰが製造される。

【０００６】このようにＰＤＰは、前面ガラス基板と背
面ガラス基板との間に設けられた隔壁で仕切られた放電
空間内で対向する電極間にプラズマ放電を生じさせ、こ
の空間内に封入されているガスから発生する紫外線を放
電空間内に塗布された蛍光体に当てることにより表示を
行なうものである。この場合、ガラス基板上のアノード
電極およびカソード電極は、複数本の線状電極を平行に
配置されており、互いの電極が僅少な間隙を介して対向
し、かつ互いの線状電極が交差する方向を向くように重
ね合わせて構成されている。

【０００７】ＰＤＰの中で、蛍光体によるカラー表示に
適した３電極構造の面放電型ＰＤＰは、互いに平行に隣
接した一対の表示電極からなる複数の電極対とする複数
のアドレス電極とを有する。ただし、背面ガラス基板に
は、光のクロストークを防ぎ放電空間を確保するため
に、隔壁が電極間のスペースに形成されている。

【０００８】これらの電極のうち前面ガラス基板の電極
には、表示画面のコントラストを向上させるために黒色
化する技術が要求されている。例えば、特開昭６１−１
７６０３５号公報および特開平４−２７２６３４号公報
では、黒色化した銀ペーストをガラス基板に印刷法でパ
ターン形成する方法が提案されている。印刷法では、電
極パターンに対応するパターンを有するスクリーン印刷
版を用いて銀ペーストなどの導電ペーストを印刷した
後、焼成して電極が完成する。しかしながら、スクリー
ン印刷法では、パターン精度、スキーズの堅さや印刷速
度などの印刷条件などの最適化を図っても、電極パター
ンの幅を６０μｍ以下に細くすることが難しく、ファイ
ンパターン化には限界があった。また、スクリーン印刷
法では、印刷版の精度は、製版の精度に依存するので、
印刷版が大きくなるとパターンの寸法誤差が大きくなっ
てしまうという欠点がある。このため３０インチ以上の
大面積のＰＤＰの場合に、高精細なＰＤＰの作製が技術
的に困難となっている。

【０００９】また、銀ペーストの黒色化には、Ｒｕ（ル
テニウム）、Ｆｅ（鉄）、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッ
ケル）などの金属酸化物を銀と等量以上混合する方法が
採られている。しかしながら、この方法では電極の抵抗
値がかなり上がってしまうため、電極の厚膜化や、黒電
極と通常の白い電極との２層構造化が必須となってく
る。電極の厚膜化では電極の上に設ける誘電体層の表面
平坦性が保証できなくなり、２層構造では製造工程が複
雑になるという問題があった。このように、表示画面の
コントラスト向上にはなお課題があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、表示
画面のコントラストが高く、カラー表示の色純度の高い
プラズマディスプレイを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレイは、基板上に電極を形成したプラズマディスプレ
イであって、該電極のＸＹＺ表色系における刺激値Ｙが
５〜４０であることを特徴とするもので、本発明は次の
好ましい実施態様を包含している。

【００１２】(a) 前記電極の色度座標値ｘ，ｙの値がそ
れぞれ０．３〜０．３６であること。 (b) 前記電極が、Ｒｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅおよび
Ｃｏの群から選ばれた少なくとも１種の金属もしくはそ
れらの酸化物を合計で５〜２５重量％含有すること。こ
れらのうち、Ｒｕ、ＮｉおよびＣｏの群から選ばれた少
なくとも１種の金属もしくはそれらの酸化物が特に好ま
しい。

【００１３】(c) 前記電極の材料が、Ａｇ、Ａｕ、Ｐ
ｄ、ＮｉおよびＰｔの群から選ばれた少なくとも１種を
含有すること。これらのうち、ＡｇおよびＮｉの群から
選ばれた少なくとも１種が特に好ましい。

【００１４】(d) 前記電極の厚みが、１〜５μｍである
こと。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明のプラズマディスプレイ
は、ＸＹＺ表色系における刺激値が５〜４０であり、色
度座標値ｘ，ｙが好ましくはそれぞれ０．３〜０．３６
である電極を有するプラズマディスプレイである。この
ような特性を有する電極は、プラズマディスプレイパネ
ルのコントラストを向上させる効果がある。

【００１６】本発明のプラズマディスプレイの電極の色
として、刺激値Ｙを５〜４０にすることによりプラズマ
ディスプレイのコントラストを向上させることができ
る。刺激値Ｙが５より小さい場合は黒色度が高すぎて、
放電時の反射が少なくなり、コントラストが低下するよ
うになる。また、刺激値Ｙが４０を超える場合は灰色を
帯びるようになり、非放電時の反射が多くなってコント
ラストが低下したり、色純度が低下したりする。また、
３刺激値ＸＹＺをもとに、色度座標値ｘ，ｙを求めた場
合のｘ，ｙの値は、それぞれ０．３〜０．３６にするこ
とによって、プラズマディスプレイの発光色の色純度を
向上させることができる。

【００１７】光源色の３刺激値ＸＹＺおよびそれらから
求められる色度座標ｘ，ｙは、ＪＩＳＺ８７２２（物
体色の測定方法）、ＪＩＳＺ８７１７（蛍光物体色の
測定方法）、ＪＩＳＺ８７０１（ＸＹＺ表色系および
Ｘ１０Ｙ１０Ｚ１０表色系における色の表示方法）に規
定された方法で求められる。

【００１８】これらの刺激値や色度座標を測定する装置
としては、一般的に、カラーコンピューターが用いられ
るが、本発明で表示する値は、スガ試験機（株）製カラ
ーコンピューターＳＭ−７−ＣＨ（光学条件４５゜照
明、０゜受光）を用いて測定したものである。

【００１９】測定試料は、８０ｍｍ角、厚さ２．６ｍｍ
の高歪み点ガラス基板（旭硝子社製、ＰＤ−２００）上
に感光性導電ペーストをスクリーン印刷で１０μｍに塗
布し、５９０℃で１５分焼成して電極膜を作製する。こ
の電極膜試料を用い、Ｃ光（北窓光）２度視野、基準と
して白色板（標準品として硫酸バリウム、Ｘ＝９１．０
６，Ｙ＝９３．０１，Ｚ＝１０６．９０のものを使用）
を用いて測定する。測定は、零点合わせ（測定孔に試料
押さえ板をおいてチェック）−標準合わせ（測定孔に白
色板をおいてチェック）を行なった後、１２ｍｍφの測
定孔を有する試料台に電極膜試料面を光照射方向にして
置き、そのガラス基板側に白色板を重ねて測定した。測
定は位置を変えて３点の測定を行ない平均値を測定値と
する。

【００２０】本発明の黒色を有する電極は、微細パター
ンの形成が可能で、薄膜で接着強度が高い電極パターン
を与えるのに好適な感光性導電ペーストを用いて形成す
ることができる。この感光性導電ペーストには、電極を
黒色化するためのＲｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ
の群から選ばれた少なくとも１種の金属またはその酸化
物を付着・被覆させたＡｇ、Ａｕ、Ｐｄ、ＮｉおよびＰ
ｔの群から選ばれた少なくとも１種を含有する導電性の
金属粉末、ガラスフリットおよび感光性有機成分を主な
成分として含有するものである。これらの金属の中で、
Ｒｕ、Ｎｉ、Ｃｏの金属または酸化物は、黒色添加剤と
して低抵抗であるため電極の抵抗値を低く維持でき、ま
た、感光性樹脂と相性が良くゲル化反応しにくいので特
に好ましく用いられる。

【００２１】本発明の黒色を呈する電極は、導電ペース
ト中の導電粉末の粒子サイズ・形状・粒度分布・含有
量、黒色化に用いる金属または金属酸化物の種類・添加
量・添加方法、ガラスフリットの含有量や粒子サイズ・
分布、感光性有機成分中に含有される感光性樹脂の種類
・含有量および有機成分の種類・量などを厳密に制御す
ることによって得られるものである。焼成時の有機成分
の蒸発性（脱バインダー性）、焼成収縮率などが電極の
特性に微妙に影響を与えるので、導電性粉末、黒色化の
ための金属またはその酸化物、ガラスフリットおよび有
機成分を選択し、焼成条件を選ぶ必要がある。

【００２２】本発明で使用される導電性粉末、すなわち
電極の材料は、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、ＮｉおよびＰｔの群
から選ばれる少なくとも１種を含むもので、ガラス基板
上に６００℃以下の温度で焼き付けできる理論抵抗値の
低い導体粉末である。これらのうち、特にＡｇおよびＮ
ｉが好ましい。またこれらは、単独または２元系あるい
は３元系の混合粉末として用いることができる。

【００２３】これらの導電性粉末の平均粒子径は、好ま
しくは０．５〜３．０μｍ、より好ましくは０．５〜
２．０μｍである。粒子径が０．５μｍ未満になるとパ
ターン形成の際の光の透過性が悪くなり、電極の線幅６
０μｍ以下の微細パターンの形成が困難になる。また、
３．０μｍより大きくなるとペースト塗布膜表面が粗く
なり、厚さ５μｍ以下の薄膜導体のパターン精度や厚さ
・寸法精度が低下する。

【００２４】また本発明では、黒色電極の厚みが１〜５
μｍであることが好ましい。より好ましくは、１．５〜
２．５μｍである。特に、プラズマデディスプレイ用電
極では、銀電極上に誘電体ガラス層を形成するが、電極
厚みが５μｍを越えると銀電極と誘電体層との熱膨張係
数の不一致により、誘電体層中に亀裂が発生するように
なる。また、誘電体層表面の平滑性が損なわれ、隔壁形
成不良の原因となる。

【００２５】導電性粉末の比表面積は、０．３５〜３．
５ｍ²／ｇであることが好ましく、０．８〜２．５ｍ²／
ｇであることがより好ましい。０．３５ｍ²／ｇ未満で
は、電極パターンの精度が低下する。また、３．５ｍ²
／ｇを越えると粉末の表面積が大きくなり過ぎて、露光
の際に紫外線が散乱され、ペースト塗布膜の下部までの
光反応が十分に行われなくなり、断面形状不良や現像時
に剥がれが生じたりして歩留まりが悪くなる。

【００２６】本発明で用いられる導電性粉末の形状は、
特に限定されないが、より緻密な導体膜を形成した方が
抵抗が低くなるので、タップ密度の大きな粒状または球
状の粒子が好ましい。導電性粉末のタップ密度は、２．
５〜５．５ｇ／ｃｍ³、より好ましくは３．０〜４．５
ｇ／ｃｍ³の範囲である。タップ密度がこの範囲にある
と露光に用いられる紫外線の透過率がよく、電極パター
ンの断面形状や精度が向上する。さらに、ペーストの塗
布後の膜のレベリング性がよくなり、緻密な膜が得られ
る。

【００２７】導電性粉末の形状は、粒状、球状のものが
好ましく使用できるが、単分散粒子で、凝集がなく、球
状であることがより好ましい。この場合、球状とは球形
率が９０個数％以上が好ましい。球形率は、粉末を光学
顕微鏡で３００倍の倍率で撮影し、このうち計数可能な
粒子を計数し、球形のものの比率を表すものである。球
状であると、露光時に紫外線の散乱が少なくなり、高精
度のパターンが得られる。

【００２８】本発明において導電性粉末は、好ましくは
Ｒｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、ＦｅおよびＣｏの群から選ば
れた少なくとも１種の金属または金属酸化物を表面に化
学メッキして使用される。すなわち、上記の金属または
金属酸化物を、導電性粉末の表面に化学メッキした後、
４００〜５００℃で３０分〜数時間焼成することによ
り、導電性粉末の黒色化が可能となる。具体的には、所
望の金属塩または金属錯体の水溶液に導電性粉末を分散
しておき、この分散液に還元剤を添加して水溶液に溶解
している金属成分を析出させ、その後焼成することによ
り析出した金属を酸化し、黒色とする。金属酸化物の添
加量が少ない場合は、導電性粉末の表面に金属酸化物の
粉末が均一に点々と付着する。添加量が多い場合は均一
に被覆され、薄膜が形成される。この際、用いる導電性
粉末の平均粒径は、０．５〜２μｍであることが被覆の
容易さから好ましい。

【００２９】付着または被覆するために好ましく用いら
れる金属塩または金属錯体は、Ｒｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ、Ｆｅ、Ｃｏの塩または錯体であり、水溶性であれば
特に限定されないが、例えば、ハロゲン化物、シアン化
物、硫酸塩、硝酸塩、アンミン錯体、ニトロシル錯体、
カルボニル錯体、アクア錯体が好ましい。例えば、Ｒｕ
の場合、２ＲｕＣｌ₂(ＯＨ)・７ＮＨ₃・３Ｈ₂Ｏ、Ｒｕ
Ｏ₂(ＮＨ₃)₂(ＯＨ)₂、(ＮＨ₄)₂ＲｕＯ₄、Ｒｕ(ＮＯ)Ｃ
ｌ₂・Ｈ₂Ｏ、Ｒｕ(ＮＯ)Ｂｒ₂・Ｈ₂Ｏ、Ｒｕ(ＮＯ)Ｉ₃
などが好ましい。

【００３０】付着または被覆する金属または金属酸化物
は、導電性粉末の５〜２５重量％であることが、黒色
度、パターン形成性、抵抗値、および焼結性が優れてい
るので好ましい。より好ましくは、５から１５重量％で
ある。５重量％未満では、白色に近づきＹ値が４０以上
になるため、コントラスト向上の効果がない。２５重量
％より多くなると、電極膜の比抵抗が高くなり過ぎ、ま
た焼結性が低下する。このため緻密な膜が得られず、接
着強度が低下するようになり好ましくない。また、黒色
度が強くなり過ぎて、紫外線が下部まで到達しなくな
り、パターン形成性が低下するので好ましくない。

【００３１】本発明のプラズマディスプレイ用電極を得
るために用いられる感光性導電ペーストには、ガラス基
板への接着性を高めるために０．５〜５重量％のガラス
フリットを含有させることが好ましい。より好ましくは
１〜３重量％であり、さらに好ましくは１〜２重量％で
ある。ＰＤＰの電極の低抵抗化・薄膜化を図るにはガラ
スフリットの量は少ないほうが好ましい。ガラスフリッ
トは電気絶縁性なので、含有量が５重量％を超えると電
極の抵抗が増大したりするので好ましくない。また、ガ
ラスフリットの量が多くなると、４μｍ以下の薄膜の導
体では、導電粉末とガラスフリットの熱膨張係数の違い
による膜剥がれが起る。また０．５重量％未満では、電
極膜とガラス基板との強固な接着強度が得られ難い。ガ
ラスフリットを添加しなくとも電極パターンは基板に密
着しているが、接着力が弱く振動、衝撃などで剥離しや
すくなる。特に、ガラス基板などの低温焼成基板では６
００℃以下で焼成するため導電性粉末が完全に焼結せ
ず、密着力が不足する。ガラスフリットは、電極と基板
界面との接着力を高める効果を有するとともに、導電性
粉末を焼結するための焼結助剤や導体抵抗を下げる効果
があるため重要な成分である。

【００３２】ガラスフリットの軟化点は、焼成温度以下
であることが必要である。ガラスフリットのガラス転移
点および軟化点は、それぞれ４００〜５００℃、４５０
〜５５０℃であることが好ましい。より好ましくは、そ
れぞれが４４０〜５００℃、４６０〜５３０℃である。
ガラス転移点および軟化点がそれぞれ４００℃、４５０
℃未満では、ポリマやモノマなどの感光性有機化合物が
熱分解する前にガラスの焼結が始まり、有機化合物の脱
バインダーがうまくいかず、焼結後に残留炭素となり、
電極剥がれの原因となり、緻密かつ低抵抗の導体膜が得
られないので好ましくない。また、ガラス転移点、軟化
点がそれぞれ５００℃、５５０℃を超えるガラスフリッ
トでは、６００℃以下の温度で焼き付けるときに導体膜
とガラス基板とで十分な接着強度や緻密な膜が得られな
い。

【００３３】ガラスフリットの粉末粒子径は、平均粒子
径が０．５〜１．２μｍおよびトップサイズが２．５μ
ｍ以下であることが好ましい。平均粒子径０．５μｍ未
満では、ガラスフリットの粒子サイズが小さくなり過ぎ
て紫外線が未露光部まで散乱され、導体膜のエッジ部・
端部の光硬化が起こり、完全に現像できなくなる。この
ため、導体膜のパターンの切れ・解像度が低下する。平
均粒子径およびトップサイズがそれぞれ１．２μｍおよ
び２．５μｍを超えると、粗大なガラスフリットと導電
性粉末との熱膨張係数が異なることにより、特に４μｍ
以下の薄膜では、導体膜の接着強度が低下するために膜
剥がれが起る。また、粗大ガラスフリットが導体膜中に
残留し、接着強度が低下する。

【００３４】ガラスフリットの５０〜４００℃の温度範
囲での熱膨張係数α₅₀〜₄₀₀は、７５〜９０×１０^-7／
Ｋであることが好ましい。電極が形成されるガラス基板
の熱膨張係数は８０〜９０×１０^-7／Ｋなので、ガラス
フリットのα₅₀〜₄₀₀がこの範囲にないと、ガラス基板
上に焼き付けた導体膜が基板とガラスフリットとの熱膨
張係数の違いによる膜剥がれが冷却時に起る。

【００３５】本発明のガラスフリットは酸化物換算表記
で酸化ビスマスを好ましくは３０〜９５重量％含有する
ものである。より好ましいガラスフリットの酸化物換算
表記での組成と添加量は、酸化ビスマス３０〜８５重量％酸化珪素５〜３０重量％酸化ホウ素５〜２０重量％酸化ジルコニウム３〜１０重量％酸化亜鉛２〜２０重量％酸化アルミニウム１〜５重量％であり、この組成範囲からなるものを８０重量％以上含
有し、かつアルカリ金属の酸化物を実質的に含有しない
アルカリフリーのガラスフリットであることを特徴とす
る。実質的に含有しないとは、含んだとしても０．５重
量％以下である。このようなガラスフリット組成を用い
ることにより、感光性有機成分のゲル化反応を起し易い
酸化鉛などを用いることなく好ましいガラスフリットを
得ることができ、ゲル化反応によるペーストの粘度上昇
やパターン形成ができない問題を回避でき、安定な導電
ペーストを得ることができる。

【００３６】酸化ビスマスは３０〜９５重量％の範囲で
配合することが好ましく、３０〜８５重量％がより好ま
しい。３０重量％未満の場合は、導電ペーストをガラス
基板上に焼き付けするときに、ガラス転移点や軟化点を
制御するのに十分でなく、基板に対する導体膜の接着強
度を高めるのに効果が少ない。また、９５重量％を超え
るとガラスフリットの軟化点が低くなり過ぎてペースト
中のバインダーが熱分解する前にガラスフリットが溶融
する。このためペーストの脱バインダー性が悪くなり、
導体膜の焼結性が低下し、また基板との接着強度が低下
するので添加量の上限を８５重量％にすることがより好
ましい。

【００３７】酸化珪素は５〜３０重量％の範囲で配合す
ることが好ましい。５重量％未満の場合は基板上に焼き
付けた時の接着強度の低下やガラスフリットの安定性が
低下し、また、３０重量％より多くなると耐熱温度が上
昇し、６００℃以下でガラス基板上に焼き付けが難しく
なる。

【００３８】酸化ホウ素は５〜２０重量％の範囲で配合
することが好ましい。酸化ホウ素は導電ペーストの電気
絶縁性、接着強度、熱膨張係数などの特性を損なうこと
のないように焼き付け温度を５５０〜６００℃の範囲に
制御するために配合される。５重量％未満では密着強度
が低下し、また２０重量％を超えるとガラスフリットの
安定性が低下する。

【００３９】酸化ジルコニウムは３〜１０重量％の範囲
で配合され、ガラスフリットの耐酸性を向上させる。す
なわち、本発明のガラスフリット組成を用いるとガラス
フリットが感光性有機成分と反応し、ペーストがゲル化
反応を起し易くなるが、酸化ジルコニウムを添加すると
ゲル化が抑制される。３重量％未満ではゲル化を抑制す
るのに効果が少なく、１０重量％を超えるとガラスの耐
熱温度が高くなり過ぎてガラス基板上への焼き付けが難
しくなる。

【００４０】酸化アルミニウムは１〜５重量％の範囲で
配合される。酸化アルミニウムの添加がこの範囲にある
とペーストのゲル化に対する安定性、ガラスフリットの
熱安定性、熱膨張係数、ガラス転移点、軟化点を制御で
きるので好ましい。

【００４１】酸化亜鉛は２〜２０重量％の範囲で配合す
ることが好ましい。２重量％未満では導電ペーストをガ
ラス基板に焼き付ける時に、焼き付け温度を制御する効
果が少ない。２０重量％を超えるとガラスの耐熱温度が
低くなり過ぎてガラス基板上への焼き付けが難しくな
る。

【００４２】ガラスフリット粉末には、プラズマの放電
特性を劣化させる酸化ナトリウム、酸化リチウム、酸化
カリウム、酸化バリウムおよび酸化カルシウムなどのア
ルカリ金属酸化物および／またはアルカリ土類金属を実
質的に含まないことが好ましい。ガラスフリット中のア
ルカリ金属成分およびアルカリ土類金属と電極中の銀と
が反応し、黄色化する問題がある。この原因として、銀
がアルカリイオンあるいはアルカリ土類金属とイオン交
換反応し、銀がコロイド化して黄変色すると推定されて
いる。アルカリあるいはアルカリ土類金属酸化物が含有
された場合でも０．５重量％以下、より好ましくは０．
１重量％以下である。

【００４３】また、ガラスフリット中に酸化チタンなど
を含有することによって熱膨張係数、ガラス転移点、軟
化点を制御できるが、その量は１０重量％未満であるこ
とが好ましい。

【００４４】感光性導電ペーストには、感光性有機成分
が必須である。感光性有機成分として、光不溶化型のも
のと光可溶化型のものがあり、いずれも使用可能である
が、本発明においては、取扱いの容易さや品質設計の容
易さから光不溶化型が用いられる。分子内に不飽和基な
どを１つ以上有する官能性のモノマ、オリゴマ、ポリマ
を含有するタイプを用いるのが好ましい。すなわち、感
光性有機成分には、感光性モノマ、感光性オリゴマおよ
び感光性ポリマのうち少なくとも１種から選ばれた感光
性成分の他に、バインダー、光重合開始剤、増感剤、可
塑剤、増粘剤、分散剤、その他の添加剤を必要に応じて
加えることができる。感光性有機成分および各種の有機
成分からなる添加剤は、脱バインダー性と関連して電極
の特性に影響を与えるので、有機成分の種類と量は、そ
の熱分解性を考慮して選択することが重要である。

【００４５】感光性モノマとしては、活性な炭素−炭素
二重結合を有する化合物が用いられるが、官能基とし
て、ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレ
ート基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能
化合物が応用される。多官能アクリレート化合物および
／または多官能メタクリレート化合物を有機成分中に１
０〜８０重量％含有させることが好ましい。アクリレー
トまたはメタクリレート官能基を有する多官能化合物と
しては多様な種類の化合物が開発されているので、それ
らから反応性、現像性、熱分解性などを考慮して選択す
ることが可能である。

【００４６】感光性導電ペーストを構成する感光性有機
成分として、光反応で形成される硬化物の物性の向上や
ペーストの粘度の調整などの役割を果たすと共に、未露
光部の溶解性をコントロールする機能を果たす成分とし
て、オリゴマもしくはポリマが用いられる。これらのオ
リゴマもしくはポリマは、炭素−炭素二重結合を有する
化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得ら
れた炭素連鎖の骨格を有するものである。共重合するモ
ノマとしては、不飽和カルボン酸などが有用であり、感
光後に未露光部分をアルカリ水溶液で現像できる感光性
ペーストを与えることができる。不飽和カルボン酸の具
体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸ま
たはこれらの酸無水物などがあげられる。

【００４７】このようにして得られた側鎖にカルボキシ
ル基などの酸基を有するオリゴマもしくはポリマの酸価
は好ましくは３０〜１６０、より好ましくは９０〜１２
０の範囲になるようにコントロールするのがよい。酸価
が１６０を越えると、現像許容幅が狭くなる。また、酸
価が３０９ｌより小さくなると未露光部の現像液に対す
る溶解性が低下するようになる。

【００４８】本発明では、感光性オリゴマもしくはポリ
マ成分として、分子内にカルボキシル基と不飽和二重結
合を含有する重量平均分子量５００〜１０万のオリゴマ
もしくはポリマを用いることが最も好ましい。より好ま
しくは、１万から５万である。不飽和二重結合を導入す
るには、上記のようなカルボキシル基を側鎖に有するオ
リゴマもしくはポリマに、グリシジル基やイソシアネー
ト基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロ
ライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライ
ドを付加反応させる方法が適用される。アルカリ水溶液
現像性のためのカルボキシル基数とオリゴマもしくはポ
リマを感光性にするエチレン性不飽和基数とは、反応条
件により自由に選択することができる。

【００４９】感光性導電ペーストを構成するために、バ
インダー成分が必要な場合には、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、それらの共重合体など
を用いることができる。

【００５０】本発明の感光性ペーストの有機成分は、感
光性モノマ、感光性オリゴマもしくはポリマあるいは場
合によりバインダーを含有するが、これらの成分はいず
れも活性光線のエネルギー吸収能力はないので、光反応
を開始するためには光重合開始剤や増感剤を加える必要
がある。

【００５１】感光性ペーストによるパターン形成は、露
光された部分の感光性成分（モノマ、オリゴマ、ポリ
マ）を重合および架橋させて現像液に不溶性にすること
であり、用いられる感光性を示す官能基はラジカル重合
性であるため、光重合開始剤は活性ラジカル種を発生す
るものから選んで用いられる。光重合開始剤には、１分
子系直接開裂型、イオン対間電子移動型、水素引き抜き
型および２分子複合系など機構的に異なる種類がある
が、本発明の感光性ペーストでは主として、１分子系直
接開裂型から選ばれた化合物が用いられる。例えば、ベ
ンゾインアルキルエーテルやα，α−ジメトキシ−α−
モルフォリノアセトンフェノン、α，α−ジメトキシ−
α−フェニルアセトンフェノンなどが実用的に広く用い
られる。また、過酸化物、ホスフィンオキシド、硫黄化
合物およびハロゲン化合物なども公知であり、これらを
１種または２種以上使用することができる。光重合開始
剤は、感光性成分に対して好ましくは０．１〜３０重量
％の範囲で添加され、より好ましくは、２〜２０重量％
である。

【００５２】光重合開始剤と共に増感剤を使用し、感度
を向上させたり（化学増感）、反応に有効な波長範囲を
拡大する（分光増感）ことができる。増感剤の作用機構
にも種々のものがあるが、三重項増感剤と称されるもの
が最もよく使われる。それらの中には、炭化水素系化合
物、アミノ・ニトロ化合物、キノン類、キサントン類、
アンスロン類、ケトン類および有機色素類がある。これ
らの中には光重合開始剤としての作用を有するものも含
まれている。本発明で用いる感光性ペーストでは、キサ
ントン類から選ばれた化合物が好ましく使用されるが、
２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキ
サントンなどが例示される。これらは１種または２種以
上使用することができる。

【００５３】増感剤を本発明の感光性ペーストに添加す
る場合、その添加量は感光性成分に対して通常０．１〜
１０重量％、より好ましくは２〜１０重量％である。

【００５４】光重合開始剤および増感剤が、少なすぎる
と十分な感度が得られないが、多くすることによって感
度を高めることは可能であるが、硬化した部分の重合度
合が十分に高くならず、露光部の残存率が小さくなる恐
れがあり、また、パターン間での不要な硬化が発生して
残膜が形成されるなどの不都合が起る。光重合開始剤と
増感剤を適量ずつ使用することが適度の感度で優れた形
状を示すパターンを形成する上で重要である。

【００５５】感光性導電ペーストには、保存時の熱安定
性を向上させるための熱重合禁止剤を添加することがで
きる。用いられる熱重合禁止剤は一般的なものであり、
ヒドロキノン、Ｎ−ニトロソジフェニルアミン、フェノ
チアジン、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、Ｎ−フェニルナ
フチルアミン、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−メチルフ
ェノール、クロラニール、ピロガロールなどである。そ
の添加量は、感光性導電ペースト中に、通常、０．１〜
５重量％、より好ましくは０．２〜３重量％である。感
光性導電ペーストには、必要に応じて可塑剤を加えるこ
と、ペーストの安定性を高めるために酸化防止剤を加え
ること、ペーストの塗布特性のために増粘剤を加えるこ
となどができる。

【００５６】感光性導電ペーストの現像に際して、アル
カリ水溶液を現像液に用いることが可能なことは、工程
上好都合であるが、そのために存在するオリゴマもしく
はポリマ中のカルボキシル基とペースト中のガラスフリ
ットに微量存在する酸化カルシウム、酸化バリウム、二
三酸化鉄、酸化マグネシウムなどとが反応し、ペースト
を短時間にゲル化し、粘度が上昇したり、塊になってペ
ーストの塗布ができなくなったりするという問題が起
る。これはポリマのイオン架橋反応によるゲル化と推定
されるが、このような反応を防止するために、悪い影響
を与えない範囲で安定剤を添加してゲル化防止を図るこ
とが好ましい。すなわち、ゲル化反応を引き起こす金属
あるいは金属酸化物粉末との錯体形成あるいは酸官能基
との塩形成などに効果のある化合物で粉末を表面処理
し、感光性導電ペーストを安定化させる。そのような安
定化剤としては、トリアゾール化合物が好ましく用いら
れる。トリアゾール化合物の中でも特にベンゾトリアゾ
ールが有効である。

【００５７】ベンゾトリアゾールによるガラスフリット
粉末の表面処理は、次のように行なわれる。すなわち、
ガラスフリットに対し好ましくは０．２〜４重量％、よ
り好ましくは０．４〜３重量％のベンゾトリアゾールを
有機溶媒に溶解した後、ガラスフリット粉末を十分に浸
すことができるように溶液中に３〜２４時間浸漬する。
その後、２０〜３０℃で自然乾燥して溶媒を蒸発させて
トリアゾール処理を行なった後、５０〜８０℃で５〜１
２時間真空乾燥して処理粉末を作製する。

【００５８】感光性導電ペーストに含まれる微量水分
も、ペーストのゲル化を促進する要因となる。これを防
止するため、感光性有機成分として加えられるすべての
成分を完全に脱水することが好ましい。水分の除去は、
固体か液体かにより異なるが、真空乾燥、モレキュラー
シーブ処理、ロータリーエバポレータなどで行う。さら
に、ガラスフリットの場合は、１５０〜３５０℃で５〜
１５時間乾燥して水分を十分除去するとゲル化が防止で
きるので好ましい。

【００５９】感光性導電ペーストをガラス基板に塗布す
るときの粘度を、塗布方法に応じて調整するために、有
機溶媒が使用される。この時使用される有機溶媒として
は、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロ
ソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、
シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアル
コール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラ
ン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトンなど
がある。これらの有機溶媒は、単独あるいは２種以上混
合して用いられる。

【００６０】感光性導電ペーストの好ましい組成範囲を
例示すると、黒色化のための金属または金属酸化物を５
〜２５重量％が含有した導電性粉末８０〜９０重量％、
ガラスフリット１〜３重量％、感光性モノマとポリマの
合計量が１９〜９重量％であり、光重合開始剤は感光性
モノマとポリマの合計量に対して５〜２０重量％とな
る。このような範囲の組成を有する感光性導電ペースト
は、露光時において紫外線がよく透過し、光硬化の機能
が十分に発揮され、現像時における露光部の膜強度が高
くなり、微細な解像度を有する電極パターンが形成でき
る。焼成後の導体膜の接着強度が高くなるので好まし
い。

【００６１】ペーストには、上記の導電性粉末、ガラス
フリット、感光性有機成分の他に、必要に応じて増感
剤、可塑剤、分散剤、安定化剤、チキソトロピー剤（増
粘剤）、有機または無機の沈殿防止剤などを添加し、混
合物のスラリーとする。所定の組成となるように調整さ
れたスラリーはホモジナイザなどの攪拌機で均質に混合
した後、３本ローラや混練機で均質に分散し、ペースト
を作製する。

【００６２】ペーストの粘度は導電性粉末、ガラスフリ
ットの組成・種類、感光性成分、チキソトロピー剤、有
機溶媒、可塑剤などの添加割合で調整されるが、その範
囲は、５千〜１５万ｃｐｓ（センチ・ポイズ）である。
例えば、ガラス基板への塗布をスクリーン印刷法やバー
コータ、ローラコータ、アプリケータで１〜２回塗布し
て膜厚３〜１０μｍを得るには２千〜５万ｃｐｓが好ま
しい。より好ましくは、５千〜２万ｃｐｓである。

【００６３】感光性導電ペーストをガラス基板上に塗布
する場合、塗布面と塗布膜との密着性を高めるために基
板の表面処理を行なうとよい。表面処理液としては公知
のシランカップリング剤や有機金属類を有機溶媒で希釈
したものが用いられる。このような表面処理液をスピナ
ーなどで基板上に均一に塗布した後、８０〜１４０℃で
１０〜６０分間乾燥することによって表面処理ができ
る。

【００６４】感光性導電ペーストを基板上に塗布した膜
を、７０〜１２０℃で２０〜６０分加熱し乾燥して溶媒
類を蒸発させてから、フォトリソグラフィ法により、電
極パターンを有するネガフィルムまたはクロムマスクな
どのマスクを介して紫外線を照射して露光し、感光性導
電ペーストを光硬化させる。

【００６５】露光に使用される活性光線は、紫外線が最
も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高
圧水銀灯、超高圧水銀灯およびハロゲンランプなどが使
用される。露光条件は感光性導電ペーストの塗布厚みに
よって異なるが、５〜１００ｍＷ／ｃｍ²の出力の超高
圧水銀灯を用いて０．１〜３０分間露光を行なうことが
好ましい。

【００６６】露光後、露光部分と未露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行なうが、この場
合、浸漬法、スプレー法、ブラシ法などが用いられる。
現像液には、感光性ペースト中の有機成分、特にオリゴ
マもしくはポリマが溶解可能な溶液が用いられる。本発
明で用いられる感光性導電ペーストのオリゴマもしくは
ポリマは、カルボキシル基を側鎖に有することを特徴と
しているのでアルカリ水溶液で現像することができる。
アルカリ水溶液としては水酸化ナトリウム、炭酸ナトリ
ウム、水酸化カルシウムの水溶液などが使用できるが、
有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分
を除去し易いので好ましい。有機アルカリとしては、一
般的なアミン化合物を用いることができる。具体的に
は、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメ
チルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノ
ールアミン、ジエタノールアミンなどがあげられる。ア
ルカリ水溶液の濃度は通常０．０５〜１重量％、より好
ましくは０．１〜０．５重量％である。アルカリ濃度が
低すぎれば可溶部が完全に除去されず、アルカリ濃度が
高すぎれば、露光部のパターンを剥離させたり、侵食し
たりするおそれがある。現像時の温度は、２０〜５０℃
で行なうことが工程管理上好ましい。

【００６７】感光性導電ペーストの塗布膜から露光・現
像の工程を経て形成された電極パターンは、次に焼成炉
で焼成されて、有機成分を熱分解して除去し、同時にガ
ラスフリットを溶融させてガラス基板との密着性を確保
し電極が形成される。

【００６８】焼成は、例えば５４０〜６００℃の温度で
１０〜６０分間行なわれる。５４０℃未満では、焼成が
不十分なために導体膜の緻密性が低下し、比抵抗が高く
なり、また、ガラス基板との接着強度が低下するので好
ましくない。６００℃を超えるとガラス基板が熱変形
し、パターンの平坦性が低下する。

【００６９】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
する。ただし、本発明はこれに限定されるものではな
い。なお、実施例中の濃度は断りのない場合は重量％で
ある。

【００７０】［実施例１］黒色化した導電性粉末とし
て、粉末表面にＲｕ換算で、７重量％になるように均一
にＲｕＯ₂を被覆した銀粉末を使用した。被覆前の銀粉
末の特性は次のとおりである。単分散粒状、平均粒子径
２．０μｍ、比表面積１．３ｍ²／ｇおよびタップ密度
４．１５ｇ／ｃｍ³であった。Ｒｕの被覆は、Ａｇ粉末
を分散させた水溶液中にＲｕＣｌ₃を原料としたＲｕの
キレート化合物を添加し、還元剤を加えてキレートを還
元することによって行なった。このままでは不純物も多
く、Ｒｕが水酸化物の状態であるため、十分水洗し乾燥
した後、４００℃で２時間加熱処理をすることによって
均一なＲｕＯ₂被覆Ａｇ粉末を得た。

【００７１】次に、ＲｕＯ₂を被覆した導電性粉末８８
重量部、ガラスフリット３重量部、感光性ポリマ（Ｘ−
４００７）８重量部、感光性モノマ（トリメチロールプ
ロパントリアクリレート）５重量部、光重合開始剤（２
−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−
モルフォリノ−プロパノン−１）２重量部、可塑剤（ジ
ブチルフタレート）０．５重量部、チキソ剤（２−（２
−ブトキシエトキシ）エチルアセテートに溶解したＳｉ
Ｏ₂（濃度１５％））４重量部および溶媒（γ−ブチロ
ラクトン）１０重量部を溶解・混合・分散し３本ローラ
で均質に混練して黒色化した感光性銀ペーストを作製し
た。ペースト粘度は、８０００ｃｐｓであった。

【００７２】ペーストに用いたガラスフリットの組成と
特性は次のとおりである。

【００７３】ガラス成分（酸化物換算表記、％）は、酸
化ビスマス（６６．９）、酸化珪素（１０．０）、酸化
ホウ素（１１．８）、酸化ジルコニウム（４．８）、酸
化亜鉛（２．６）および酸化アルミニウム（２．８）の
ものを用いた。

【００７４】ガラス粉末の特性は、ガラス転移点４５５
℃、軟化点４８４℃、平均粒子径（Ｄ₅₀）０．８μｍ、
Ｄ₉₀１．３μｍ、トップサイズ２．５μｍおよびα₅₀〜
₄₀₀８２×１０^-7／Ｋであった。

【００７５】この感光性導電ペーストを２５ｃｍ×３５
ｃｍ角のソーダガラス基板にスクリーン印刷法で塗布し
た。塗布は３８０メッシュのポリエステルスクリーン製
印刷版を用い、厚み６μｍの塗布膜を作製した。次に、
塗布膜を８０℃で８０分間乾燥した。

【００７６】電極パターン（ストライプ状、ピッチ１４
０μｍ、線幅４０μｍ）を有するネガ型のフォトマスク
を介して出力５０ｍＷ／ｃｍ²の超高圧水銀灯で３０秒
間の紫外線露光を行なった。

【００７７】現像は、３０℃のモノエタノールアミン
０．２％水溶液のシャワーで行ない、露光されなかった
部分を除去した。その後、純水のシャワーで現像液を洗
い流し、８０℃で２０分間乾燥した。焼成は、２５０℃
／時間の速さで昇温し、最高温度５９０℃、１５分間保
持して行なった。さらに、上記と同じ条件で、ＸＹＺ表
色系の３刺激値測定用および比抵抗測定用電極試料を作
製した。

【００７８】このようにして得られた電極は、膜厚が
４．０μmであり、電極ラインの断面が矩形であり、Ｙ
値１０、色度座標値ｘ，ｙが０．３１、０．３３で、黒
色度は高かった。また、比抵抗値は、１５μΩ・ｃｍで
あった。プラズマディスプレイとしてのコントラストは
１２０：１であった。

【００７９】［実施例２］被覆前の銀粉末として、単分
散球状、平均粒子径１．４μｍ、比表面積１．１ｍ²／
ｇおよびタップ密度４．１７ｇ／ｃｍ³のものを用いた
以外は実施例１と同様の操作を行なった。

【００８０】ペースト粘度は、６０００ｃｐｓで、電極
塗布厚みが４．０μｍ、焼成後の厚みが２．５μｍであ
った。パターン形成性は良好で、電極ラインの断面は矩
形であった。Ｙ値は１０であり、色度座標値ｘ，ｙが
０．３１、０．３３で、黒色度は高かった。比抵抗値
は、１５μΩ・ｃｍであり、実用に耐えうるものであっ
た。プラズマディスプレイとしてのコントラストは１２
０：１であった。

【００８１】［実施例３］被覆前の銀粉末として、単分
散球状、平均粒子径１．４μｍ、比表面積１．１ｍ²／
ｇおよびタップ密度４．１７ｇ／ｃｍ³のものを用い、
粉末表面にＲｕ換算で、１０重量％になるように均一に
ＲｕＯ₂を被覆した銀粉末を使用した。その他は実施例
１と同様の操作を行なった。

【００８２】ペースト粘度は、７５００ｃｐｓで、電極
塗布厚みが４．５μｍ、焼成後の厚みが２．８μｍであ
った。パターン形成性は良好で、電極ラインの断面は矩
形であった。Ｙ値は８であり、色度座標値ｘ，ｙが０．
３０、０．３５で、黒色度は高かった。比抵抗値は、２
０μΩ・ｃｍであり、実用に耐えうるものであった。プ
ラズマディスプレイとしてのコントラストは１５０：１
であった。

【００８３】［実施例４］黒色化するための金属酸化物
としてＭｎＯ₂７％を銀粉末表面に均一に被覆した以外
は、実施例１と同様にして電極を作製した。ペースト粘
度は、１００００ｃｐｓであった。電極塗布厚みが５μ
ｍ、焼成後の厚みが３．０μｍであった。パターン形成
性は良好で、電極ラインの断面は矩形であった。Ｙ値は
１２であり、色度座標値ｘ，ｙが０．３１、０．３２
で、黒色度は高かった。比抵抗値は、１８μΩ・ｃｍで
あり、実用に耐えうるものであった。プラズマディスプ
レイとしてのコントラストは１２０：１であった。

【００８４】［実施例５］被覆前の銀粉末として、単分
散球状、平均粒子径１．４μｍ、比表面積１．１ｍ²／
ｇおよびタップ密度４．１７ｇ／ｃｍ³のものを用い、
粉末表面にＲｕ換算で、７重量％になるように均一にＲ
ｕＯ₂を被覆した銀粉末を使用した。さらにガラスフリ
ットとして、次の組成と特性を有するものを用いた。そ
の他は実施例１と同様にして電極を作製した。

【００８５】ガラス成分（酸化物換算表記、％）は、酸
化ビスマス（４７．９）、酸化珪素（７．０）、酸化ホ
ウ素（１４．３）、酸化亜鉛（１５．４）および酸化バ
リウム（１５．４）のものを用いた。

【００８６】ガラス粉末の特性は、ガラス転移点が４６
９℃、軟化点が４９５℃、平均粒子径０．８μｍ、Ｄ₉₀
１．５μｍ、トップサイズ３．０μｍおよびα₅₀〜₄₀₀
８５×１０^-7／Ｋであった。

【００８７】上記のように導電性粉末およびガラスフリ
ットの成分を変えた以外は実施例１を繰り返した。ペー
ストの粘度は６０００ｃｐで、電極の塗布厚みが４μ
ｍ、焼成後の厚みが２．５μｍであった。パターン形成
性は良好で、電極ラインの断面は矩形であった。Ｙ値は
１０であり、色度座標値ｘ，ｙが０．３１、０．３３
で、黒色度は高かった。比抵抗値は、１０μΩ・ｃｍで
あり、実用に耐えうるものであった。プラズマディスプ
レイとしてのコントラストは１２０：１であった。

【００８８】［実施例６］黒色化した導電性粉末とし
て、表面をＲｕＯ₂ １２％で被覆したニッケルを使用し
た。Ｎｉ粉末として、単分散で平均粒子径３．５μｍ、
比表面積０．４４ｍ²／ｇ、タップ密度４．６６ｇ／ｃ
ｍ³のものを使用した。粉末を変えた以外は、実施例１
と同様にして、電極の作製を行なった。ペースト粘度は
１００００ｃｐで、塗布厚みが６μｍ、焼成後の厚みが
３．５μｍであった。

【００８９】パターン形成性は良好で、電極ラインの断
面は矩形であった。Ｙ値は７であり、色度座標値ｘ，ｙ
は０．３２、０．３４であった。また、比抵抗値は、２
０μΩ・ｃｍであり、実用できるレベルであった。プラ
ズマディスプレイとしてのコントラストは１５０：１で
あった。

【００９０】［比較例１］黒色化した導電性粉末とし
て、粉末表面にＲｕＯ₂を２７％になるように均一に被
覆した銀を使用した以外は、実施例３と同様にして電極
を作製した。電極の塗布厚みは、５μｍであった。この
場合のパターン形成性は不良であった。Ｙ値は３．０と
なり、黒色度が高くなりすぎた。また、比抵抗値も１５
０Ω・ｃｍであり、プラズマディスプレイとしての評価
ができなかった。

【００９１】［比較例２］黒色化した導電性粉末とし
て、粉末表面にＲｕＯ２を３％になるように被覆した銀
を使用した以外は、実施例３と同様にして電極を作製し
た。電極の塗布厚みは５μｍであった。この場合のパタ
ーン形成性は良好であった。Ｙ値は４８となり灰色であ
った。プラズマディスプレイのコントラストは５０：
１であった。

【００９２】（略記号の説明）Ｘ−４００７：４０％メタクリル酸、３０％メチルメタ
クリレート、３０％スチレンからなる共重合体のカルボ
キシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリレー
トを付加重合させた重量平均分子量１６，０００、酸価
１０４のポリマ。

【００９３】

【発明の効果】本発明によれば、ＸＹＺ表色系における
刺激値Ｙが５〜４０であり、色度座標値ｘ，ｙがそれぞ
れ０．３〜０．３６である電極が得られ、表示画面のコ
ントラストが高く、カラー表示の色純度の高いプラズマ
ディスプレイが得られる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に電極を形成したプラズマディス
プレイであって、該電極のＸＹＺ表色系における刺激値
Ｙが５〜４０であることを特徴とするプラズマディスプ
レイ。
【請求項２】前記電極の色度座標値ｘ，ｙの値がそれ
ぞれ０．３〜０．３６であることを特徴とする請求項１
記載のプラズマディスプレイ。
【請求項３】前記電極が、Ｒｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｒ、
ＦｅおよびＣｏの群から選ばれた少なくとも１種の金属
もしくはそれらの酸化物を合計で５〜２５重量％含有す
ることを特徴とする請求項１または２記載のプラズマデ
イスプレイ。
【請求項４】前記電極が、Ｒｕ、ＮｉおよびＣｏの群
から選ばれた少なくとも１種の金属もしくはそれらの酸
化物を合計で５〜２５重量％含有することを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマデイスプレ
イ。
【請求項５】前記電極の材料が、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、
ＮｉおよびＰｔの群から選ばれた少なくとも１種を含有
することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の
プラズマディスプレイ。
【請求項６】前記電極の材料が、ＡｇおよびＮｉの群
から選ばれた少なくとも１種を含有することを特徴とす
る請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマディスプレ
イ。
【請求項７】前記電極の厚みが、１〜５μｍであるこ
とを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプラズ
マディスプレイ。