JP2000290040A - ディスプレイ用部材およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】感光性ペーストを用いる方法で、良好な隔壁パ
ターンの形成が可能であると共に、焼成後に得られる隔
壁の全光線反射率が高く、輝度および色純度の高いディ
スプレイを得る。 【解決手段】基板上に隔壁を有するディスプレイ用部材
であって、隔壁が低融点ガラス７０〜９５重量％とフィ
ラーＡ５〜３０重量％からなり、フィラーの平均粒子径
が０．００５〜０．０８μｍであることを特徴とするデ
ィスプレイ用部材および基板上に隔壁を有するディスプ
レイ用部材であって、隔壁を構成する無機成分として低
融点ガラス５０〜９０重量％とフィラー１０〜５０重量
％からなり、フィラーの粒度分布が少なくとも２つ以上
のピークを有し、かつ、少なくとも１種のフィラーＢの
ピークが０．００５〜０．０８μｍの範囲内にあること
を特徴とするディスプレイ用部材。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は隔壁（障壁、リブ、
スペーサーともいう）を有するディスプレイとその製造
方法に関するものであり、プラズマディスプレイパネル
（以下、ＰＤＰと記す）、プラズマアドレス液晶ディス
プレイ、電子放出素子または蛍光表示管を用いた画像表
示装置などに用いることができる。

【０００２】

【従来の技術】大きく重いブラウン管に代わる画像表示
装置として、軽い薄型のいわゆるフラットパネルディス
プレイが注目されている。フラットパネルディスプレイ
として液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が盛んに開発されて
いるが、これには画像が暗い、視野角が狭いといった短
所がある。一方、自発光型の放電型ディスプレイである
ＰＤＰや電子放出素子を用いた画像表示装置は、液晶デ
ィスプレイに比べて明るい画像が得られると共に、視野
角が広い、さらに大画面化、高精細化の要求に応えられ
ることから、そのニーズが高まりつつある。

【０００３】電子放出素子を用いた画像表示装置は、平
面でかつ明るく見やすいなどの利点を有している。電子
放出素子には、熱電子放出素子と冷陰極電子放出素子が
ある。冷陰極電子放出素子には電界放出型(ＦＥ型）、
金属／絶縁層／金属型(ＭＩＭ型）や表面伝導型などが
ある。このような冷陰極電子源を用いた画像形成装置
は、それぞれのタイプの電子放出素子から放出される電
子ビームを蛍光体に照射して蛍光を発生させることで画
像を表示するものである。この装置において、前面ガラ
ス基板(フェースプレートともいう）と背面ガラス基板
(素子基板ともいう）にそれぞれの機能を付与して用い
るが、背面ガラス基板には、複数の電子放出素子とそれ
らの素子の電極を接続するマトリックス状の配線が設け
られる。これらの配線は、電子放出素子の電極部分で交
差することになるので絶縁するための絶縁層(誘電体
層）が設けられる。さらに両基板の間で耐大気圧支持部
材として隔壁が形成される。

【０００４】ＰＤＰは、液晶ディスプレイに比べて高速
の表示が可能であり、かつ大型化が容易であることから
ＯＡ機器および情報表示装置などの分野に浸透してい
る。また、高品位テレビジョンの分野などでの進展が非
常に期待されている。ＰＤＰは、前面ガラス基板と背面
ガラス基板との間に設けられた隔壁で仕切られた放電空
間内でアノード電極およびカソード電極間にプラズマ放
電を生じさせ、この空間内に封入されているガスから発
生する紫外線を放電空間内に塗布された蛍光体に当てる
ことによって表示を行う。

【０００５】プラズマアドレス液晶（ＰＡＬＣ）ディス
プレイは、ＴＦＴ−ＬＣＤのＴＦＴ（薄膜トランジスタ
ー）アレイ部分をプラズマチャネルに置き換えたもの
で、プラズマ部分以外は基本的にＴＦＴ−ＬＣＤと同じ
構造である。また、プラズマ発生部分については、ＰＤ
Ｐにおける技術が適用されている。

【０００６】プラズマ発生部分は、高さ２００μｍ程
度、ピッチ４８０μｍ程度の隔壁で区切られている。つ
まり上記の各種ディスプレイは、いずれも隔壁を必要と
する。以下、これらの各種ディスプレイを代表してＰＤ
Ｐについて記述する。

【０００７】ＰＤＰにおける隔壁は、従来、絶縁ガラス
ペーストをスクリーン印刷法でパターン状に印刷して乾
燥するという工程を繰り返して所定の高さにした後、焼
成して形成していた。しかしながら、通常のスクリーン
印刷法では、特にパネルサイズが大型化した場合に、予
め基板上に形成されている放電電極と絶縁ガラスペース
トの印刷場所との位置合わせが難しく、位置精度が得ら
れ難いという問題がある。しかも、所定の隔壁高さを得
るため多数回の重ね合わせ印刷を行うことによって隔壁
およびその側面エッジ部の波打ちや裾の乱れが生じ、高
さの精度が得られないため、表示品質が悪くなり、ま
た、作業性が悪く歩留まりも低いなどの問題点がある。
特にＰＤＰの大面積化、高解像度化に伴い、このような
スクリーン印刷による方法では、高アスペクト比で高精
細の隔壁の製造が技術的に困難となり、また、コスト的
にも不利になってきている。

【０００８】このような問題を改良する方法として、特
開平６−２９５６７６号公報などで、感光性ペーストを
用いてフォトリソグラフィ技術により隔壁を形成する方
法が提案されている。しかし、これらの公報に開示され
た技術では、感光性ペーストの感度や解像度が低く、高
アスペクト比で高精細な隔壁が得られないために、例え
ば、８０μｍを越えるような高さの隔壁パターンを加工
する場合、複数回の加工工程（塗布・乾燥、露光、現
像）を必要とするため、工程が長くなる欠点があった。

【０００９】特開平８−５０８１１号公報では、感光性
ガラスペースト法を用いて、隔壁を１回の露光で形成す
る方法が提案されている。しかし、この方法では、ピッ
チが２００μｍ以下、隔壁の線幅が５０μｍ以下の高精
細隔壁を作製する際、線幅の太り、現像残り（残膜）が
発生し、パターン形成性が悪いという問題があった。ま
た、焼成時に有機成分が消失し難く、そのため剥がれや
着色の原因になるという問題があった。また、焼成時の
収縮が大きく、所望の高さの隔壁を得るためにパターン
形成時の高さを高くする必要があり、パターン形成時の
マージンが小さく、歩留まりが悪くなるという問題があ
った。

【００１０】一方、ＰＤＰの蛍光体層からの発光の効率
を向上するために隔壁の反射率を高くしたいという要求
がある。すなわち、隔壁の透過率が高いと、隔壁側面や
隔壁間の底面に塗布されている蛍光体層から発光される
表示光の反射が不足し、さらに、隣の隔壁間の蛍光体層
の表示光の洩れ込みが起こり、輝度が高く、色純度の良
好なディスプレイが得られない。これに対し、特公平６
−４４４５２号公報には、ガラス粉末とそれと異なる屈
折率を有する充填材との混合物を用いた隔壁の形成を開
示しているが、このような組成物は、感光性ペーストを
用いたフォトリソグラフィ法による隔壁形成には不適切
である。また、特開平８−１３８５５９号公報には、形
成された隔壁の表面に表示に特定の波長の光のみを反射
する反射膜を形成する方法が提案されているが、その反
射膜の形成のために工程が増えるなどの問題がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、感光性
ガラスペーストを用いたフォトリソグラフィ法による隔
壁形成は、良好なパターニング性を得るために光の透過
性の高い感光性ガラスペーストを用いることが必要であ
る一方、その結果、得られる隔壁は反射率が低く良好な
表示特性が得られないという矛盾を有する。

【００１２】本発明の目的は、良好なパターニングが可
能でコスト的にも有利なフォトリソグラフィ法により、
輝度や色純度向上に寄与する反射率の高い白色隔壁を有
するディスプレイ用部材を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、基板
上に隔壁を有するディスプレイ用部材であって、隔壁が
低融点ガラス７０〜９５重量％とフィラーＡ５〜３０重
量％からなり、フィラーＡの平均粒子径が０．００５〜
０．０８μｍであることを特徴とするディスプレイ用部
材である。

【００１４】さらに本発明は、基板上に隔壁を有するデ
ィスプレイ用部材であって、隔壁を構成する無機成分と
して低融点ガラス５０〜９０重量％とフィラー１０〜５
０重量％からなり、フィラーの粒度分布が少なくとも２
つ以上のピークを有し、かつ、少なくとも１種のフィラ
ーＢのピークが０．００５〜０．０８μｍの範囲内にあ
ることを特徴とするディスプレイ用部材である。

【００１５】また本発明は、低融点ガラス７０〜９５重
量％および平均粒子径０．００５〜０．０８μｍのフィ
ラーＡ５〜３０重量％からなる無機微粒子と感光性有機
成分とを含有する感光性ペーストを基板上に塗布・乾燥
した後、フォトリソグラフィ法でパターニングし、パタ
ーンを焼成して隔壁を形成する工程を含むことを特徴と
するディスプレイ用部材の製造方法である。

【００１６】さらに本発明は、低融点ガラス５０〜９０
重量％とフィラー１０〜５０重量％からなる無機微粒子
と感光性有機成分を含有する感光性ペーストを基板上に
塗布・乾燥し、フォトリソグラフィ法でパターニング
し、パターンを焼成して隔壁を形成する工程を含むこと
を特徴とするディスプレイ用部材の製造方法であって、
フィラーの粒度分布が少なくとも２つ以上のピークを有
し、かつ、少なくとも１種のフィラーＢのピークが０．
００５〜０．０８μｍの範囲内にあることを特徴とする
ディスプレイ用部材の製造方法である。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明における隔壁のパターニン
グにはフォトリソグラフィ技術が用いられる。本発明で
は、フォトリソグラフィ法に関する上記の課題を、第一
の態様では、平均粒子径が０．００５〜０．０８μｍの
フィラーＡを用いることにより解決した。

【００１８】第二の態様においては、粒度分布が少なく
とも２つ以上のピークを有し、かつ、少なくとも１種の
フィラーＢのピークが０．００５〜０．０８μｍの範囲
にあるフィラーを用いることにより解決した。

【００１９】以下その２つの態様について順に述べる。

【００２０】第一の態様では、フィラーＡの粒径が上記
範囲内にあると、露光光の波長である３５０〜４２０ｎ
ｍよりも小さいので、ペースト中にフィラーＡが分散し
て存在してもパターン露光の妨げにならず、パターン形
成に悪影響を与えることがない。このように照射光波長
よりも微細な粒子を用いることはペースト塗布膜の状態
での露光光の散乱を防止するのに有効であることを見出
した。一方、隔壁を焼成すると、フィラーＡの存在は隔
壁の白色化に有効に作用し、本発明の目的である良好な
表示特性に好ましい、５０％以上の全光線反射率を得る
ことができる。このような平均粒子径を有するフィラー
Ａの添加による隔壁の反射率の向上効果の原因について
は、必ずしも明らかではないが、次のように推定され
る。すなわち、微細な平均粒子径を有するフィラーＡは
焼成の工程で凝集して粒子径０．３〜２μｍの凝集粒子
を構成する。するとこの凝集粒子は母体となるガラスに
対して一般的に高屈折率のフィラーを使用しているため
に、このフィラーによる散乱が顕著になり、隔壁の反射
率を向上させ、蛍光体層からの発光の効率を向上するこ
とができる。さらに、機構はよく分からないが、フィラ
ーＡは、ペースト中で均一に高分散していればいるほど
焼成後の反射率がより向上することも見いだされている
凝集粒子としてより好ましいサイズは粒子径で０．５〜
１．０μｍである。ここでいう凝集粒子の粒子径とは、
電子顕微鏡による凝集粒の観察写真を画像処理し、凝集
粒子の見かけの面積と同面積の円に換算した際の直径を
いう。さらに、一部には、焼成後に隔壁が完全に緻密化
されず微細な気泡などのボイドが均一に微細な状態で存
在し、これらが隔壁を白色化して反射効果を示すものと
推定している。

【００２１】焼成後の隔壁の倒れを防止し、下部層との
密着性を高めるためには隔壁の気孔率は１〜６％の範囲
が好ましく、より好ましくは１〜４％である。気孔率が
６％より大きいとガラス基板との密着強度が低下するの
に加えて、隔壁の強度不足、また、放電時に気孔から排
出されるガス、水分の吸着による輝度低下などの発光特
性低下の原因となる場合がある。パネルの放電寿命、輝
度安定性などの発光特性を考慮すると、１〜４％が好ま
しい。１％未満では、緻密な隔壁であり過ぎるため前面
版と背面板パネルを封着する時に、僅かな応力によって
も亀裂が入りやすくなり封着時欠陥が増加する傾向にあ
るため好ましくない。

【００２２】本発明におけるフィラーＡは、平均粒子径
を０．０８μｍ以下とすることが必要である。０．０８
μｍを越えると、良好なパターニング性を得ることが難
しくなる。また、フィラーＡは、平均粒子径を０．００
５μｍ以上とすることが必要である。０．００５μｍ未
満では、微細になりすぎて凝集しやすくなりペースト中
に均一に充填・分散することが技術的に難しくなる。そ
のため、良好なパターニング性を得ることが難しくな
る。フィラーＡの平均粒子径の好ましい範囲は０．００
５〜０．０３μｍであり、より好ましい範囲は０．００
５〜０．０５μｍである。また、フィラーＡの粒度分布
のピークも０．００５〜０．０８μｍの範囲内にあるこ
とが好ましい。フィラーＡは、シリカ、アルミナ、ジル
コニア、チタニア、イットリア、セリア、酸化亜鉛、酸
化錫の群から選ばれた少なくとも一種を含むことが、高
い軟化点を有することと、低融点ガラスに対して高屈折
率の成分が多いので焼成後に高い反射率を得られること
から、好ましい。

【００２３】フィラーＡは、ペースト中に存在している
状態での粒径と、焼成された後に隔壁内に存在する状態
での粒径は異なり、後者ではやや粒径が大きい方に分布
して存在する。これは焼成後にフィラーＡが微粒子であ
るために低温でも焼結し、粒成長するためと推定され
る。これは、後述のフィラーＢにおいても同様である。

【００２４】第一の態様において、隔壁を構成する無機
微粒子は、低融点ガラス７０〜９５重量％と本発明にお
けるフィラーＡ５〜３０重量％とからなることが必要で
ある。フィラーＡが５重量％未満では、添加による反射
率向上の効果が得られない。また、３０重量％を超える
と微粒子のフィラーＡは凝集しやすいため光透過を阻害
するようになりパターニング性が低下し、所望の隔壁パ
ターンが得られない。より好ましいフィラーＡの組成比
は１０〜２５重量％である。

【００２５】本発明の第二の態様においては、フィラー
Ｂの粒度分布のピークが０．００５〜０．０８μｍの範
囲内にある。

【００２６】従ってフィラーＢは、露光光の波長である
３５０〜４２０ｎｍよりも小さいので、ペースト中にフ
ィラーが分散して存在してもパターン露光の妨げになら
ず、パターン形成に悪影響を与えることがない。このよ
うに照射光波長よりも微細な粒子を用いることはペース
ト塗布膜の状態での露光光の散乱を防止するのに有効で
あることを見出した。一方、隔壁を焼成すると、フィラ
ーＢの存在は隔壁の白色化に有効に作用し、本発明の目
的である良好な表示特性に好ましい、５０％以上の全光
線反射率を得ることができる。このような粒度分布のピ
ークを有するフィラーＢの添加による隔壁の反射率の向
上効果の原因については、上記のフィラーＡの効果と同
様に考えられている。

【００２７】本発明におけるフィラーＢは、粒度分布の
ピークを０．０８μｍ以下とすることが必要である。
０．０８μｍを越えると、良好なパターニング性を得る
ことができない。また、フィラーＢは、粒度分布のピー
クを０．００５μｍ以上とすることが必要である。０．
００５μｍ未満では、微細になりすぎて凝集しやすくな
りペースト中に均一に充填・分散することが技術的に難
しくなる。そのため、良好なパターニング性を得ること
ができない。フィラーＢの粒度分布のピークの好ましい
範囲は０．００５〜０．０８μｍであり、より好ましい
範囲は０．００５〜０．０５μｍである。フィラーＢ
は、シリカ、アルミナ、ジルコニア、チタニア、イット
リア、セリア、酸化錫、酸化亜鉛の群から選ばれた少な
くとも一種を含むことが、高い軟化点を有することと、
高屈折率の成分が多いので焼成後に高い反射率を得られ
ることから、好ましい。

【００２８】本発明の第二の態様のフィラーは、粒度分
布に少なくとも２つ以上のピークを有する。粒度分布に
２つ以上のピークを有することにより、焼成後に緻密な
組織が得られ、強度の高い隔壁を形成することができ
る。特に、フィラーが上記フィラーＢ以外に１．５〜５
μｍの範囲内に粒度分布のピークを有するフィラーＣを
含むことが好ましい。１．５〜５μｍの範囲内に粒度分
布のピークを有するフィラーＣを含むことにより、焼成
前のパターン形成性を維持しつつ、焼成後の隔壁の強度
を保持し、焼成収縮率を抑制し、形状保持率を高める効
果がある。ただし、フィラーＢの存在による効果を損な
わないために、隔壁を構成する無機成分に対して、フィ
ラーＣを５〜３０重量％、フィラーＢを５〜２０重量％
とすることが好ましい。

【００２９】フィラーＣは、感光性ガラスペーストにお
ける感光性有機成分や低融点ガラスの平均屈折率との整
合をとり、露光光の散乱を抑えるために、平均屈折率が
１．４５〜１．６５の範囲内にあることが好ましい。フ
ィラーＣの平均屈折率をこの範囲内とするために、組成
を調整した高融点ガラスやコーディエライトをフィラー
Ｃとして好ましく用いることができる。

【００３０】高融点ガラスとしては、ガラス転移点５０
０〜１２００℃、軟化点５５０〜１２００℃を有するも
のが好ましく、このような高融点ガラスは、酸化珪素お
よび酸化アルミニウムをそれぞれ１５重量％以上含有す
る組成を有するものが好ましく、これらの含有量合計が
５０重量％以上であることが必要な熱特性を得るのに有
効である。高融点ガラスの組成はこれに限定されるもの
ではないが、例えば以下のような酸化物換算組成のもの
を用いることができる。 酸化珪素 １５〜５０重量％ 酸化ホウ素 ５〜２０重量％ 酸化バリウム ２〜１０重量％ 酸化アルミニウム １５〜５０重量％ さらに具体的には、例えば、酸化珪素３８重量％、酸化
ホウ素１０重量％、酸化バリウム５重量％、酸化アルミ
ニウム３６重量％で、その他の成分として酸化カルシウ
ム、酸化亜鉛、酸化マグネシウムを少量づつ含有するガ
ラス転移点６２５℃、軟化点７４６℃の高融点ガラスの
平均屈折率は、およそ１．５９であり、これは本発明で
好ましく使用される低融点ガラスの平均屈折率と同等で
ある。

【００３１】フィラーＣのもう一つの成分であるコーデ
ィエライトの屈折率はおよそ１．５８であり、好適であ
る。

【００３２】隔壁は通常、ガラス基板上に形成されるこ
とを考慮し、低融点ガラスは、ガラス転移点４００〜５
５０℃、軟化点４５０〜６００℃であることが好まし
い。軟化点を４５０℃以上とすることで、ディスプレイ
形成の後工程において隔壁が変形することがなく、軟化
点を６００℃以下とすることで、焼成時に溶融し強度の
高い隔壁を得ることができる。

【００３３】また、低融点ガラスの平均屈折率は、感光
性ガラスペーストにおける感光性有機成分の平均屈折率
との整合をとり、露光光の散乱を抑えるために、１．５
〜１．６５の範囲内とすることが好ましい。

【００３４】上記の特性を満たす低融点ガラスは、例え
ば酸化物換算表記で以下の様な組成で得ることができ
る。

【００３５】酸化リチウム、酸化ナトリウムまたは酸化
カリウムのアルカリ金属酸化物のうち少なくとも１種を
用い、その合計量が３〜１５重量％、さらには３〜１０
重量％であることが好ましい。

【００３６】アルカリ金属酸化物は、ガラスの軟化点、
熱膨張係数のコントロールを容易にするのみならず、ガ
ラスの屈折率を低くすることができるため、感光性有機
成分との屈折率差を小さくすることが容易になる。アル
カリ金属酸化物の合計量が３重量％以上とすることでガ
ラスの低融点化の効果を得ることができ、１５重量％以
下とすることでガラスの化学的安定性を維持すると共に
熱膨張係数を小さく抑えることができる。アルカリ金属
としては、ガラスの屈折率を下げることやイオンのマイ
グレーションを防止することを考慮するならリチウムを
選択するのが好ましい。

【００３７】酸化ケイ素の配合量は５〜３０重量％が好
ましく、より好ましくは１０〜３０重量％である。酸化
ケイ素は、ガラスの緻密性、強度や安定性の向上に有効
であり、また、ガラスの低屈折率化にも効果がある。熱
膨張係数をコントロールしてガラス基板とのミスマッチ
による剥離などを防ぐこともできる。５重量％以上とす
ることで、熱膨張係数を小さく抑えガラス基板に焼き付
けた時にクラックを生じない。また、屈折率を低く抑え
ることができる。３０重量％以下とすることで、ガラス
転移点、軟化点を低く抑え、ガラス基板への焼き付け温
度を低くすることができる。

【００３８】酸化ホウ素は、鉛などの重金属を含有しな
いガラスにおいて低融点化のために必要な成分であり、
さらに低屈折率化にも有効であり、２０〜４５重量％、
さらには２０〜４０重量％の範囲で配合することが好ま
しい。２０重量％以上とすることで、ガラス転移点、軟
化点を低く抑えガラス基板への焼き付けを容易にする。
また、４５重量％以下とすることでガラスの化学的安定
性を維持することができる。

【００３９】酸化バリウムおよび酸化ストロンチウムの
うち少なくとも１種を用い、その合計量が２〜１５重量
％、さらには２〜１０重量％であることが好ましい。こ
れらの成分は、ガラスの低融点化、熱膨張係数の調整に
有効であり、焼き付け温度の基板の耐熱性への適用、電
気絶縁性、形成される隔壁の安定性や緻密性の点でも好
ましい。２重量％以上とすることで低融点化の効果を得
ることができると共に結晶化による失透を防ぐこともで
きる。また、１５重量％以下とすることにより、熱膨張
係数を小さく抑え、屈折率も小さく抑えることができ
る。またガラスの化学的安定性も維持できる。

【００４０】酸化アルミニウムはガラス化範囲を広げて
ガラスを安定化する効果があり、ペーストのポットライ
フ延長にも有効である。１０〜２５重量％の範囲で配合
することが好ましく、この範囲内とすることでガラス転
移点、軟化点を低く保ち、ガラス基板上への焼き付けを
容易とすることができる。

【００４１】さらに、酸化カルシウムおよび酸化マグネ
シウムは、ガラスを溶融しやすくすると共に熱膨張係数
を制御するために配合されることが好ましい。酸化カル
シウムおよび酸化マグネシウムは合計で２〜１５重量％
配合するのが好ましい。合計量を２重量％以上とするこ
とで結晶化によるガラスの失透を防ぎ、１５重量％以下
とすることでガラスの化学的安定性を維持することがで
きる。

【００４２】また、上記の組成には表記されていない
が、酸化亜鉛はガラスの熱膨張係数を大きく変化させる
ことなく低融点化させる成分でありこれも配合されるこ
とが好ましい。多く配合しすぎると屈折率が大きくなる
傾向にあるので、１〜２０重量％の範囲で配合するのが
好ましい。

【００４３】本発明では、隔壁製造の際に上記のような
第一の態様ではフィラーＡ、第二の態様では少なくとも
フィラーＢとさらに好ましくはフィラーＣを含むフィラ
ーおよび低融点ガラスから各々なる無機微粒子と感光性
有機成分を含有する感光性ペーストを用いる。感光性有
機成分としては、これに限定されるものではないが、照
射光を吸収して生起する重合および／または架橋反応な
どによって光硬化して溶剤に不溶になる型の感光性成分
を用いることが好ましい。

【００４４】すなわち、感光性有機成分は、感光性モノ
マー、感光性または非感光性オリゴマーもしくはポリマ
ーを主成分とし、光重合開始剤を含有するものが好まし
く用いられる。感光性有機成分には、必要に応じて紫外
線吸収剤、重合禁止剤、増感剤、可塑剤、増粘剤、酸化
防止剤、分散剤、その他の添加剤を加えることもでき
る。

【００４５】感光性モノマーとしては、活性な炭素−炭
素二重結合を有する化合物が好ましく、官能基として、
ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート
基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能化合
物が使用できる。

【００４６】特に多官能アクリレート化合物および／ま
たは多官能メタクリレート化合物を有機成分中に１０〜
８０重量％含有させたものが好ましい。多官能アクリレ
ート化合物および／または多官能メタクリレート化合物
には多様な種類の化合物が開発されているので、それら
から反応性、屈折率などを考慮して選択することが可能
である。

【００４７】感光性有機成分の屈折率を制御する方法と
して、屈折率１．５５〜１．８を有する感光性モノマー
を選んで含有させて、感光性有機成分の平均屈折率を無
機材料の平均屈折率に近づける方法が簡便である。この
ような高い屈折率を有する感光性モノマーは、ベンゼン
環、ナフタレン環などの芳香環や硫黄原子を含有するア
クリレートもしくはメタクリレートモノマから選択する
ことができる。

【００４８】感光性有機成分として、光反応で形成され
る硬化物物性の向上やペーストの粘度の調整などの役割
を果たすと成分としてオリゴマーもしくはポリマーを加
えることができる。

【００４９】これらのオリゴマーもしくはポリマーは、
炭素−炭素二重結合を有する化合物から選ばれた成分の
重合または共重合により得られた炭素連鎖の骨格を有す
るものである。特に、分子側鎖にカルボキシル基と不飽
和二重結合を有する重量平均分子量２０００〜６万、よ
り好ましくは３０００〜４万のオリゴマーましくはポリ
マーが用いられる。側鎖のカルボキシル基を有するの
で、感光後に未露光部分をアルカリ水溶液で現像できる
感光性ペーストを与えることができる。このような側鎖
にカルボキシル基などの酸基を有するオリゴマーもしく
はポリマーの酸価は５０〜１５０、好ましくは７０〜１
２０の範囲になるようにコントロールすることが好まし
い。

【００５０】感光性オリゴマーもしくはポリマーを得る
ために、不飽和二重結合を導入するには、カルボキシル
基を側鎖に有するオリゴマーもしくはポリマーに、グリ
シジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和
化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライ
ドまたはアリルクロライドを付加反応させるとよい。

【００５１】さらに、上記のようにカルボキシル基を側
鎖に有するオリゴマーもしくはポリマーに不飽和二重結
合を導入して感光性を付与するには、カルボキシル基と
アミン系化合物との間で塩結合を形成させる方法を用い
ることもできる。例えば、ジアルキルアミノアクリレー
トやジアルキルアミノメタクリリレートを反応させて塩
結合を形成してアクリレートまたはメタクリレート基を
感光性基とすることができる。エチレン性不飽和基数
は、反応条件により適宜選択することができる。

【００５２】感光性モノマー、オリゴマーもしくはポリ
マーはいずれも活性光線のエネルギー吸収能力はないの
で、光反応を開始するためには、さらに、光重合開始剤
が必要成分であり、場合によって光重合開始剤の効果を
補助するために増感剤を加えることがある。光重合開始
剤には、1分子系直接開裂型、イオン対間電子移動型、
水素引き抜き型、2分子複合系など機構的に異なる種類
があり、それらから選択して用いられる。

【００５３】感光性ペーストの無機微粒子と感光性有機
成分との配合比率としては、６０／４０〜９０／１０
（重量部）が好ましい。さらに、６５／３５〜８５／１
５（重量部)であることが焼成による収縮率の点からも
好ましい。

【００５４】感光性ペーストは、通常、無機微粒子、感
光性モノマー、感光性または非感光性オリゴマーもしく
はポリマー、光重合開始剤を基本成分とし、必要に応じ
てその他の添加剤および溶媒などの各種成分を所定の組
成となるように調合した後、３本ローラや混練機で均質
に混合分散することにより製造することができる。

【００５５】感光性ペーストの粘度は、有機溶媒により
１万〜２０万ｃｐｓ(センチ・ポイズ）程度に調整して
使用される。この時使用される有機溶媒としては、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、
メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘ
キサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、
イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチ
ルスルフォキシド、γ-ブチロラクトンなどやこれらの
うちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が挙げられ
る。

【００５６】本発明におけるディスプレイでは、隔壁は
ガラス基板上に直接形成する場合もあるが、多くはガラ
ス基板上の電極を被覆するように形成されている誘電体
層の上に形成される。いずれの場合においても、感光性
ペーストを塗布する前に、塗布面の表面処理を行って接
着性を向上させることが有効である。このような表面処
理には通常シラン系カップリング剤や金属アルコキシ化
合物などが用いられる。

【００５７】感光性ペーストの塗布は、スクリーン印刷
法、バーコーター法、ロールコータ法、ドクターブレー
ド法などの一般的な方法で行うことができる。塗布厚さ
は、所望の隔壁の高さとペーストの焼成による収縮率を
考慮して決めることができる。

【００５８】塗布・乾燥した感光性ペースト膜にフォト
マスクを介して露光を行って、隔壁パターンを形成す
る。露光の際、ペースト塗布膜とフォトマスクを密着し
て行う方法と一定の間隔をあけて行う方法（プロキシミ
ティ露光）のいずれを用いても良い。露光用の光源とし
ては、水銀灯やハロゲンランプが適当であるが、超高圧
水銀灯が最もよく使用される。超高圧水銀灯を光源とし
て、プロキシミティ露光を行うのが一般的である。露光
条件はペーストの塗布膜厚さによって異なるが、通常５
〜６０ｍＷ／ｃｍ²の出力の超高圧水銀灯を用いて２０
秒から１０分間露光を行う。

【００５９】露光後、露光部分と未露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法、スプレー法、ブラシ法などが用いられる。本発
明で好ましく用いられる感光性ペーストは、側鎖にカル
ボキシル基を有するので、アルカリ水溶液での現像が可
能になる。アルカリとしては、有機アルカリ水溶液を用
いた方が焼成時にアルカリ成分を除去し易いので好まし
い。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用
いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウム
ヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミンなどがあげられる。アルカリ水溶液の濃度は通常
０．０５〜２重量％、より好ましくは０．１〜０．８重
量％である。アルカリ濃度が低すぎれば可溶部が完全に
除去されず、アルカリ濃度が高すぎれば、露光部のパタ
ーンを剥離させたり、侵食したりするおそれがある。現
像時の温度は、２０〜５０℃で行うことが工程管理上好
ましい。

【００６０】感光性ペーストの塗布膜から露光・現像の
工程を経て形成された隔壁パターンは次に焼成炉で焼成
されて、有機成分を熱分解して除去し、同時に無機微粒
子成分中の低融点ガラスを溶融させて無機質の隔壁を形
成する。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の特性に
よって異なるが、通常は、空気中で焼成される。焼成炉
としては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉
を用いることができる。

【００６１】バッチ式の焼成を行うには通常、隔壁パタ
ーンが形成されたガラス基板を室温から５００℃程度ま
で数時間掛けてほぼ等速で昇温した後、焼成温度として
設定された５５０〜６００℃に３０〜１２０分間で上昇
させて、約１５〜３０分間保持して焼成を行う。焼成温
度は用いるガラス基板のガラス転移点より低くなければ
ならないので自ずから上限が存在する。焼成温度が高す
ぎたり、焼成時間が長すぎたりすると隔壁の形状にダレ
などの欠陥が発生する。

【００６２】本発明では、第一の態様では平均粒子径
０．００５〜０．０８μｍのフィラーＡ成分の効果によ
り、第二の態様では、粒度分布に少なくとも２つ以上の
ピークを有し、かつ、少なくとも１種のフィラーＢのピ
ークが０．００５〜０．０８μｍの範囲にあることによ
り、白色度の向上した隔壁が得られる。隔壁の全光線反
射率は５０％以上であることが好ましく、より好ましく
は７０％以上、さらに好ましくは８０％以上である。全
光線反射率（Ｒｔ）は入射角８度で入射した光の全反射
を測定したものである。全光線反射率がこの条件を満た
すことにより、蛍光体層からの発光を高い割合で開口部
から外部に放射することになり輝度を高めると共に、隣
の発光色への影響を遮断することができ、それぞれの発
光色の色純度を高めることができる。色純度は、ＣＩＥ
色度図におけるＲ，Ｇ，Ｂ各色の座標値（Ｒｘ，Ｒ
ｙ），（Ｇｘ，Ｇｙ），（Ｂｘ，Ｂｙ）がそれぞれ下記
の関係式（１），（２），（３）範囲にあることが好ま
しく、本発明によりこの範囲内とすることができる。 （１）０．６５≦Ｒｘ≦０．７２および０．２４≦Ｒｙ
≦０．３３ （２）０．０８≦Ｇｘ≦０．１２および０．７５≦Ｇｙ
≦０．８２ （３）０．１６≦Ｂｘ≦０．２０および０．０１≦Ｂｙ
≦０．０６。

【００６３】さらに反射のうち、入射角０度で入射した
光の拡散成分を測定し、これを拡散反射率（Ｒｄ）と
し、この時、（Ｒｔ−Ｒｄ）／Ｒｔ＝Ｒｎとして計算さ
れる値Ｒｎを直進反射率とする。本発明では、直進反射
率が３％以下であることが好ましく、さらには１％以下
であることが好ましい。すなわち、拡散反射率の割合が
高いことが好ましく、隔壁での反射光の反射方向はラン
ダムであることが好ましい。隔壁の表面で反射された光
は色々な方向に反射を繰り返して、できるだけ多くが開
口部から外部に放射されることが輝度向上に有効となる
からである。

【００６４】このようにして得られた隔壁に挟まれたセ
ル内に、赤、緑、青に発光する蛍光体ペーストを塗布し
てプラズマディスプレイパネル用の背面基板が構成され
る。この背面基板と前面基板とを張り合わせた後、封
着、ガス封入してプラズマディスプレイが作製される。
これらの技術は、プラズマアドレス液晶ディスプレイお
よび電子放出素子または蛍光表示管を用いたディスプレ
イにおいても、好ましく適用される。

【００６５】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、濃度（％）は特に断らない限り重量％である。

【００６６】（測定方法） （１）全光線反射率の測定 反射率の測定の条件は下記の通りである。測定装置：Ｕ
Ｖ−３１０１ＰＣ型自記分光光度計（島津製作所製） スリット幅：７．５ｎｍ 測定速度：SLOW(約４points/sec) 光源：ハロゲンランプ(340nm以上） 検出器：ＰＭＴ(860nm以下） 副白板：ＢａＳＯ₄ 入射角：８度 測定には、ガラス基板にペーストをスクリーン印刷法で
塗布し乾燥した後、５７０℃で１５分間焼成した厚さ３
０μｍの膜を用いた。

【００６７】（２）粒度分布・平均粒子径 粉末の粒度分布・平均粒子径は、レーザー回折散乱法を
利用した粒度分布計（マイクロトラックＨＲＡ粒度分析
計 ＭＯＤＥＬ Ｎｏ．９３２０−Ｘ１００）を用い、
以下の条件にて測定した。 試料量 ：１ｇ 分散条件 ：精製水中で１〜１．５分間超音波分散、分
散しにくい場合は０．２％ヘキサメタリン酸ナトリウム
水溶液中で行う。 粒子屈折率：無機粉末の種類によって変更する（リチウ
ム系ガラス粉末では、１．６、ビスマス系ガラス粉末で
は、１．８８の値を使用した。） 溶媒屈折率：１．３３ 測定数 ：２回 無機微粉末が屈折率の等しい複数種の粉末からなる場合
は、各粉末を混合後、該粉末を上記の方法で測定した。
また無機微粉末が屈折率の異なる複数種の粉末からなる
場合には、まず単独粉末それぞれをレーザー回折散乱法
で測定し、その後、単独粉末の粒度分布と粉末の混合比
から複合粉末の粒度分布を計算して求めた。

【００６８】（３）色純度の測定 大塚電子社製の測光機ＭＣＰＤ−２００を用いて測定し
た。

【００６９】（４）粒子の平均粒子径の測定 堀場製作所製の動的光散乱式粒径分布測定装置ＬＢ−５
００を用いて測定した。

【００７０】（５）隔壁における粒子の平均粒子径の測
定 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて対応箇所を５０万
倍に拡大して撮影し、その写真の画像処理から平均粒子
径を算出した。

【００７１】（６）気孔率の測定 連続自動粉体真密度測定器（（株）セイシン企業製、オ
ートトゥルーデンサーＭＡＴ−７０００）を用いて測定
した。気孔率Ｐ（％）は、焼成膜を粉砕した微粉末での
値を真密度ｄｔｈ、焼成膜の形態での値を嵩密度ｄｅｘ
とした時、Ｐ＝｛１−（ｄｅｘ／ｄｔｈ）｝×１００と
定義される。真密度は、塗布・焼成膜を乳鉢で指頭に感
じない程度の３２５メッシュ以下くらいまで粉砕して測
定する。一方、嵩密度は、塗布・焼成膜の一部を形状を
崩さないように削りとり、粉砕を行わないこと以外は真
密度の場合と同様にして計測した。

【００７２】（７）軟化点の測定 ここでいう軟化点は、厳密には荷重軟化点を意味する。
粒度を調整したガラス粉末約５０ｍｇを白金セルに入
れ、示差熱分析装置（ＤＴＡ）を用いて、アルミナ粉末
を標準試料として、室温から２０Ｋ／ｍｉｎで昇温して
得られたＤＴＡ曲線より、最初の吸熱の極小値の温度を
軟化点とした。

【００７３】（実施例１）酸化物換算組成が、酸化リチ
ウム６．８％、酸化ケイ素２３％、酸化ホウ素３３％、
酸化バリウム４．５％、酸化アルミニウム１９．５％、
酸化亜鉛２．８％、酸化マグネシウム５．８％、酸化カ
ルシウム４．６％の低融点ガラスを用いた。この低融点
ガラスのガラス転移点は４９７℃、軟化点は５３０℃、
熱膨張係数は７５×１０^-7／Ｋであった。ガラス成分
は、予めアトラクターで微粉末とし、平均粒子径２．６
μｍ、屈折率１．５８の非球状粉末として使用した。こ
の低融点ガラス粉末１００重量部に対して、０．０８重
量部のアゾ系有機染料スダンIVをアセトンに溶解し、分
散剤を加えてホモジナイザーで均質に撹拌し、この溶液
中にガラス粉末を添加して均質に分散・混合後、ロータ
リーエバポレーターを用いてアセトンを蒸発させ、１５
０〜２００℃の温度で乾燥した。

【００７４】一方、γ−ブチロラクトンに感光性ポリマ
ーを４０％溶液になるように混合し、撹拌しながら６０
℃まで加熱して全てのポリマーを溶解した。用いた感光
性ポリマーは、メタクリル酸４０％、メチルメタクリレ
ート３０％およびスチレン３０％からなる共重合体のカ
ルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリ
レートを付加反応させたもので、その重量平均分子量は
４３，０００，酸価は９５であった。

【００７５】室温の感光性ポリマー溶液に、感光性モノ
マー(以下に示すＭＧＰ４００）、光重合開始剤(以下に
示すＩＣ−３６９）および増感剤(２，４−ジエチルチ
オキサントン）を加えて溶解させた。 ＭＧＰ４００：X₂N-CH(CH₃)-CH₂-(OCH₂CH(CH₃))n-NＸ₂ Ｘ：-CH₂CH(H)-CH₂O-CO-C(CH₃)=CH₂ ｎ：２〜１０ ＩＣ−３６９：‘Irgacure369’（チバガイギー社製
品） 2-ヘ゛ンシ゛ル-2-シ゛メチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)フ゛タノン-1 その後、この溶液を４００メッシュのフィルターを用い
て濾過し、有機ビヒクルを作製した。

【００７６】低融点ガラス、平均粒子径０．０１２μｍ
のシリカ粉末(アエロジル社製、製品番号：２００）で
あるフィラーＡと有機ビヒクルを３本ローラで混合・分
散して感光性ペーストを得た。感光性ペーストに含まれ
る各成分の量（重量部）は、低融点ガラス５６、フィラ
ーＡ１４、感光性ポリマー１９、感光性モノマー７．
５、光重合開始剤２．４、増感剤２．４とした。低融点
ガラスとフィラーＡの混合比率は８０：２０であった。
また、このときのフィラーＡの粒度分布のピークは０．
０１５μｍである。

【００７７】この感光性ガラスペーストについて前述の
方法により反射率を測定したところ、ｇ線での全光線反
射率は８２％、直進反射率は１．５％であった。

【００７８】次いで、プラズマディスプレイパネルを作
製した。まず、１００ｍｍ角ガラス基板上に、平均粒径
１．５μｍの球状銀粉末および感光性有機成分を含む感
光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィ法によ
り、ピッチ１５０μｍ、線幅４０μｍのストライプ状パ
ターンを形成した。次に、空気中で５８０℃、２０分間
焼成し、銀含有量９７．５％、ガラスフリット量２．５
％の電極層を形成した。この電極層の厚みは、３．８μ
ｍであった。

【００７９】次にエチルセルロース５％のテルピネオー
ル溶液３０ｇ、平均粒子径０．２４μｍのルチル型酸化
チタン５ｇ、ガラス粉末（酸化物表記の組成：酸化ビス
マス６７％、酸化ケイ素１０％、酸化ホウ素１２％、酸
化アルミニウム３％、酸化亜鉛３％、酸化ジルコニウム
５％）１６５ｇを混合・予備混練をした後、三本ローラ
にかけて誘電体ペーストを作製した。この誘電体ペース
トを上記の電極層を形成したガラス基板上に、スクリー
ン印刷法でメッシュ３２５のスクリーンを用いて乾燥厚
み２２μｍになるように塗布した。続いて５７０℃で３
０分間焼成して厚み１２μｍの誘電体層を形成した。

【００８０】次に、本実施例の感光性ガラスペースト
を、３２５メッシュのスクリーンを用いたスクリーン印
刷により塗布した。塗布膜にピンホールなどの発生を回
避するために塗布・乾燥を数回繰り返し行い、膜厚の調
整を行った。途中の乾燥は８０℃で１０分間行った。そ
の後、８０℃で１時間保持して乾燥した。乾燥後の塗布
膜厚さは１６０μｍとした。

【００８１】続いて、１５０μｍピッチ、線幅２０μｍ
のネガ用のクロムマスクを用いて、上面から２０ｍＷ／
ｃｍ²出力の超高圧水銀灯で露光量１Ｊ／ｃｍ²のプロキ
シミティ露光を施した。露光後のパターンを、３５℃に
保持したモノエタノールアミンの０．２％水溶液をシャ
ワーで３００秒間かけることにより現像し、その後、シ
ャワースプレーにより光硬化していないスペース部分を
水洗除去してガラス基板上にストライプ状の隔壁パター
ンを形成した。

【００８２】このようにして得られた隔壁パターンを空
気中、５６０℃で３０分間焼成して白色隔壁を形成し
た。形成された隔壁の断面形状を電子顕微鏡で観察した
ところ、高さ１３０μｍ、隔壁中央部の線幅３０μｍ、
ピッチ１５０μｍの良好な形状であった。この隔壁の気
孔率は４％であった。

【００８３】次に、ディスペンサーを用いて隔壁間に、
赤色、緑色、青色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光
体ペーストを塗布し、乾燥することにより蛍光体層を形
成してプラズマディスプレイパネル用の背面板を得た。

【００８４】次に、この背面板とプラズマディスプレイ
パネル用の前面板とを合わせ、封着、ガス封入し、駆動
回路を接続してプラズマディスプレイを得た。このパネ
ルに電圧を印加して表示を行い、全面点灯時の輝度を大
塚電子社製の測光機ＭＣＰＤ−２００を用いて測定した
ところ、輝度は４００ｃｄ／ｍ²であり、また色純度
は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６６，０．２８）、（Ｇ
ｘ、Ｇｙ）＝（０．１０，０．７６）、（Ｂｘ、Ｂｙ）
＝（０．１６，０．０３５）で、鮮明かつ美麗な表示特
性を得ることができた。

【００８５】実施例２ 低融点ガラスとフィラーＡの混合比を８５：１５とした
以外は実施例１を繰り返した。焼成後の全光線反射率は
６８％、直進反射率は１．２％あった。またこの感光性
ガラスペーストを用いて作製したプラズマディスプレイ
パネルは、輝度が３８０ｃｄ／ｍ²であり、色純度は、
（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６８，０．３１）、（Ｇｘ、Ｇ
ｙ）＝（０．１０，０．７７）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝
（０．１７、０．０４５）で、鮮明かつ美麗な表示特性
をを得ることができた。この隔壁の気孔率は４％であっ
た。

【００８６】実施例３ フィラーＡとして平均粒子径０．０３μｍのシリカ粉末
(ナノテック社製）を用いた以外は、実施例１を繰り返
した。焼成後の全光線反射率は７８％、直進反射率は
１．４％であった。またこの感光性ガラスペーストを用
いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度が４
２０ｃｄ／ｍ²であり、良好な表示特性を得ることがで
きた。この隔壁の気孔率は３％であった。

【００８７】実施例４ フィラーＡとして平均粒子径０．０１３μｍのアルミナ
粉末(石原産業社製、製品番号：ＴＴＯ−５１）を用い
た以外は、実施例１を繰り返した。焼成後の全光線反射
率は８１％、直進反射率は１．１％であった。またこの
感光性ガラスペーストを用いて作製したプラズマディス
プレイパネルは、輝度が３８０ｃｄ／ｍ ²であり、良好
な表示特性を得ることができた。この隔壁の気孔率は４
％であった。

【００８８】実施例５ フィラーＡとして平均粒子径０．０２１μｍのチタニア
粉末(デグサ社製、製品番号：Ｐ２５）を用いた以外
は、実施例１を繰り返した。焼成後の全光線反射率は８
４％、直進反射率は０．７％であった。またこの感光性
ガラスペーストを用いて作製したプラズマディスプレイ
パネルは、輝度が４４０ｃｄ／ｍ²であり、また色純度
は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６６，０．２６）、（Ｇ
ｘ、Ｇｙ）＝（０．０９，０．７８）、（Ｂｘ、Ｂｙ）
＝（０．１８，０．０３）で、鮮明かつ美麗な表示特性
を得ることができた。この隔壁の気孔率は５％であっ
た。

【００８９】実施例６ フィラーＡとして、平均粒子径０．００５μｍのチタニ
ア系微粒子を含有する溶液濃度２０％を用いた以外は、
実施例１を繰り返した。ここで用いたチタニア系微粒子
（触媒化成社製、“オプトレイク”５０２）は、酸化チ
タン４１．８％、酸化錫３７．１％、酸化ケイ素２１．
１％から構成されたものであった。

【００９０】焼成後の全光線反射率は８０％、直進反射
率は１．５％であった。またこの感光性ガラスペースト
を用いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度
が４５０ｃｄ／ｍ²であり、また色純度は、（Ｒｘ、Ｒ
ｙ）＝（０．６７，０．２９）、（Ｇｘ、Ｇｙ）＝
（０．０９，０．７８）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝（０．１
７，０．０４）で、鮮明かつ美麗な表示特性をを得るこ
とができた。この隔壁の気孔率は４％であった。

【００９１】実施例７ フィラーＡとして平均粒子径０．００８μｍのチタニア
系粉末を用いた以外は、実施例１を繰り返した。ここで
用いたチタニア系微粒子（触媒化成社製、“オプトレイ
ク”５０７）は、酸化チタン４１％、酸化錫４４％、酸
化ケイ素１５％から構成されたものであった。

【００９２】焼成後の全光線反射率は８６％、直進反射
率は１．３％であった。またこの感光性ガラスペースト
を用いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度
が４６０ｃｄ／ｍ²であり、また色純度は、（Ｒｘ、Ｒ
ｙ）＝（０．６９，０．２９）、（Ｇｘ、Ｇｙ）＝
（０．１０，０．７８）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝（０．１
８，０．０３）で、鮮明かつ美麗な表示特性をを得るこ
とができた。この隔壁の気孔率は２％であった。

【００９３】実施例８ フィラーとして平均粒子径０．０１５μｍのジルコニア
粉末(ナノテック社製）を用いた以外は、実施例１を繰
り返した。焼成後の全光線反射率は７３％、直進反射率
は１．６％であった。またこの感光性ガラスペーストを
用いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度が
４００ｃｄ／ｍ²であり、良好な表示特性を得ることが
できた。この隔壁の気孔率は５％であった。

【００９４】実施例９ 感光性モノマーとして、ＭＧＰ４００の代わりにビス
（２−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロピ
ル）ｎ−プロピルアミン（ＧＭＰＡ）を用いた他は実施
例１を繰り返した。焼成後の全光線反射率は７５％、直
進反射率は１．６％であった。またこの感光性ガラスペ
ーストを用いて作製したプラズマディスプレイパネル
は、輝度が４００ｃｄ／ｍ²であり、また色純度は、
（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６８，０．３０）、（Ｇｘ、Ｇ
ｙ）＝（０．１１，０．７８）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝
（０．１６，０．０４６）で、鮮明かつ美麗な表示特性
をを得ることができた。この隔壁の気孔率は４％であっ
た。

【００９５】実施例１０ 低融点ガラスとして、実施例１と同じものを用いた。フ
ィラーＣとして、酸化物換算組成が、酸化珪素３８％、
酸化ホウ素１０％、酸化バリウム５％、酸化カルシウム
４％、酸化アルミニウム３６％、酸化亜鉛２％、酸化マ
グネシウム５％の高融点ガラスを用いた。この高融点ガ
ラスのガラス転移点は６５２℃、軟化点は７４６℃、熱
膨張係数４３×１０^-7／Ｋ、ピーク粒子径２．４μｍで
平均屈折率は１．５９であった。またフィラーＢとし
て、ピーク粒子径が０．０１２μｍのシリカ粉末を用い
た。

【００９６】この低融点および高融点ガラス粉末１００
重量部に対して、０．０８重量部のアゾ系有機染料“ス
ダンIV”をアセトンに溶解し、分散剤を加えてホモジナ
イザーで均質に撹拌し、この溶液中にガラス粉末を添加
して均質に分散・混合後、ロータリーエバポレーターを
用いてアセトンを蒸発させ、１５０〜２００℃の温度で
乾燥した。

【００９７】感光性ポリマー溶液として、実施例１と同
じものを用いた。室温の感光性ポリマー溶液に、感光性
モノマー(ＭＧＰ４００）、光重合開始剤(ＩＣ−３６
９）、ゲル化防止剤（ベンゾチアゾール）、分散剤
（“ノプコスパース”）、重合禁止剤（ハイドロキノン
モノエチルエーテル）および可塑剤（ジブチルフタレー
ト）を加えて溶解させた。その後、この溶液を４００メ
ッシュのフィルターを用いて濾過し、有機ビヒクルを作
製した。

【００９８】溶剤を除去した有機成分の配合割合は、感
光性ポリマー３８％、感光性モノマー３８％、光重合開
始剤９．２％、ゲル化防止剤８．１％、分散剤１．４
％、重合禁止剤０．３％、可塑剤４．２％である。

【００９９】低融点ガラス、高融点ガラス(フィラー
Ｃ）よびフィラーＢと有機ビヒクルを３本ローラで混合
・分散して感光性ペーストを得た。感光性ペーストに含
まれる各成分（重量部）は、低融点ガラス５０、高融点
ガラス(フィラーＣ）１２、フィラーＢ３．３、感光性
有機成分３５とした。無機成分中の低融点ガラス、フィ
ラーＡおよびフィラーＢの混合比率は７６．６：１８．
４：５となる。

【０１００】この感光性ガラスペーストについて前述の
方法により反射率を測定したところ、全光線反射率は７
８％、直進反射率は１．４％であった。形成された隔壁
の断面形状を電子顕微鏡で観察したところ、高さ１３５
μｍ、隔壁中央部の線幅３３μｍ、ピッチ１５０μｍの
良好な形状であった。この隔壁の気孔率は４％であっ
た。

【０１０１】次に、ディスペンサーを用いて隔壁間に、
赤色、緑色、青色に発光する蛍光体粉末を含有する蛍光
体ペーストを塗布し、乾燥することにより蛍光体層を形
成して、プラズマディスプレイパネル用の背面板を得
た。

【０１０２】次に、この背面板とプラズマディスプレイ
パネル用の前面板とを合わせ、封着、ガス封入し、駆動
回路を接続してプラズマディスプレイを得た。このパネ
ルに電圧を印加して表示を行い、全面点灯時の輝度を大
塚電子社製の測光機ＭＣＰＤ−２００を用いて測定した
ところ、輝度は４００ｃｄ／ｍ²であり、また色純度
は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６６，０．２８）、（Ｇ
ｘ、Ｇｙ）＝（０．１０，０．７６）、（Ｂｘ、Ｂｙ）
＝（０．１６，０．０５５）で、鮮明かつ美麗な表示特
性を得ることができた。

【０１０３】実施例１１ フィラーＢとしてピーク粒子径０．０３μｍのチタニア
粉末(石原産業製、製品番号：ＴＴＯ−５５）を用いた
以外は、実施例１０を繰り返した。焼成後の全光線反射
率は８０％、直進反射率は１．４％であった。またこの
感光性ガラスペーストを用いて作製したプラズマディス
プレイパネルは、輝度が４２０ｃｄ／ｍ ²であり、また
色純度は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６７，０．２７）、
（Ｇｘ、Ｇｙ）＝（０．０９，０．７５）、（Ｂｘ、Ｂ
ｙ）＝（０．１６，０．０２５）で、鮮明かつ美麗な表
示特性を得ることができた。この隔壁の気孔率は３％で
あった。

【０１０４】実施例１２ フィラーＢとしてピーク粒子径０．００５μｍのチタニ
ア粉末(石原産業製）を用いた以外は、実施例１０を繰
り返した。焼成後の全光線反射率は８０％、直進反射率
は１．７％であった。またこの感光性ガラスペーストを
用いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度が
４２０ｃｄ／ｍ²であり、また色純度は、（Ｒｘ、Ｒ
ｙ）＝（０．６７，０．２８）、（Ｇｘ、Ｇｙ）＝
（０．１１，０．７７）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝（０．１
７，０．０４５）で、鮮明かつ美麗な表示特性を得るこ
とができた。この隔壁の気孔率は３％であった。

【０１０５】実施例１３ フィラーＢとしてピーク粒子径０．００８μｍのチタニ
ア粉末を用いた以外は、実施例１０を繰り返した。焼成
後の全光線反射率は７５％、直進反射率は２．０％であ
った。またこの感光性ガラスペーストを用いて作製した
プラズマディスプレイパネルは、輝度が３９０ｃｄ／ｍ
²であり、また色純度は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６
６，０．２６）、（Ｇｘ、Ｇｙ）＝（０．１２，０．７
６）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝（０．１６，０．０５２）で、
鮮明かつ美麗な表示特性を得ることができた。この隔壁
の気孔率は５％であった。

【０１０６】実施例１４ フィラーＢとしてピーク粒子径０．０１３μｍのアルミ
ナ粉末(デグサ社製、製品番号：アルミナＣ）を用いた
以外は、実施例１０を繰り返した。焼成後の全光線反射
率は７３％、直進反射率は１．６％であった。またこの
感光性ガラスペーストを用いて作製したプラズマディス
プレイパネルは、輝度が４３０ｃｄ／ｍ ²であり、また
色純度は、（Ｒｘ、Ｒｙ）＝（０．６６，０．２５）、
（ＧＸ、Ｇｙ）＝（０．０９，０．７６）、（Ｂｘ、Ｂ
ｙ）＝（０．１７，０．０４５）で、鮮明かつ美麗な表
示特性を得ることができた。この隔壁の気孔率は４％で
あった。

【０１０７】実施例１５ フィラーＢとしてピーク粒子径０．０２μｍのジルコニ
ア粉末(ナノテック社製）を用いた以外は、実施例１０
を繰り返した。焼成後の全光線反射率は６５％、直進反
射率は１．２％であった。またこの感光性ガラスペース
トを用いて作製したプラズマディスプレイパネルは、輝
度が３９０ｃｄ／ｍ²であり、また色純度は、（Ｒｘ、
Ｒｙ）＝（０．６７，０．２９）、（ＧＸ、Ｇｙ）＝
（０．１０，０．７６）、（Ｂｘ、Ｂｙ）＝（０．１
７，０．０４０）で、鮮明かつ美麗な表示特性を得るこ
とができた。この隔壁の気孔率は５％であった。

【０１０８】実施例１６ フィラーＢとしてピーク粒子径０．０３μｍのシリカ粉
末を用い、低融点ガラス、高融点ガラスとフィラーＢの
混合比率を７５：１８．３：６．７とした以外は、実施
例１０を繰り返した。焼成後の全光線反射率は８０％、
直進反射率は１．４％であった。またこの感光性ガラス
ペーストを用いて作製したプラズマディスプレイパネル
は、輝度が４４０ｃｄ／ｍ²であり、良好な表示特性が
得られた。この隔壁の気孔率は２％であった。

【０１０９】実施例１７ 低融点ガラスとして下記の酸化物換算組成および熱特性
を有するものを用いた以外は実施例１０を繰り返した。
低融点ガラス組成：酸化リチウム８．６％、酸化珪素２
０．１％、酸化ホウ素３１％、酸化アルミニウム２０．
６％、酸化バリウム３．８％、酸化マグネシウム５．９
％、酸化カルシウム４．２％、酸化亜鉛２．１％。ガラ
ス転移点４７２℃、軟化点５１５℃、熱膨張係数８３×
１０^-7／Ｋ、屈折率１．５９ 焼成後の全光線反射率は８３％、直進反射率は１．１％
であった。またこの感光性ガラスペーストを用いて作製
したプラズマディスプレイパネルは、輝度が４１０ｃｄ
／ｍ²で、良好な表示特性が得られた。この隔壁の気孔
率は４％であった。

【０１１０】実施例１８ 高融点ガラスの代わりにピーク粒子径２．５μｍのコー
ディエライトを用いたほかは、実施例１０を繰り返し
た。焼成後の全光線反射率は６０％、直進反射率は２．
０％であった。またこの感光性ガラスペーストを用いて
作製したプラズマディスプレイパネルは、輝度が４５０
ｃｄ／ｍ²で、良好な表示特性が得られた。この隔壁の
気孔率は３％であった。

【０１１１】実施例１９ 電子放出素子を用いたディスプレイは、電子放出素子を
作製した電子源を固定する背面基板と、蛍光体層とメタ
ルバックが形成された前面基板を封着して作製した。前
面基板と背面基板との間には、支持枠と耐大気圧支持部
材としての隔壁（スペーサー）を作製した。

【０１１２】表面伝導型電子放出素子および電極間配線
を形成した基板上に、実施例１で用いた感光性ペースト
をスクリーン印刷により全面塗布・乾燥し、これを繰り
返して乾燥厚みが約１．０ｍｍの塗布膜を形成した。こ
の塗布膜に、幅２ｍｍのストライプ状の開口部を１ｃｍ
ピッチで有するフォトマスクを密着させて、出力１５ｍ
Ｗ／ｃｍ²の超高圧水銀灯で紫外線露光した。露光量は
１．２Ｊ／ｃｍ²とした。

【０１１３】次に、２回目の感光性ペーストの塗布・乾
燥を行って、最初と同様の厚みの２段目の塗布膜を形成
し、今度は開口部幅１．６ｍｍのフォトマスクを最初の
露光部に対応するようにアライメントして同様に露光し
た。この手法を３段目まで繰り返し、３段目には幅１．
２ｍｍの開口部を有するフォトマスクを使用した。この
ように露光処理の終わった塗布膜を実施例１と同様の手
段で現像・水洗して、、断面が３段の雛壇状の高さ２．
３ｍｍのストライプ状の隔壁（スペーサー）パターンを
形成した。これを空気中５６０℃で３０分間焼成し、電
子放出素子を用いたディスプレイ用の背面基板を得た。

【０１１４】一方、ブラックマトリクスおよび３原色に
発光する蛍光体層を形成しメタルバックを設けた前面基
板を別途作成し、上記背面基板と封着して電子放出素子
を用いたディスプレイを得た。得られたディスプレイ
は、白色隔壁の効果によりディスプレイの輝度は、３８
０ｃｄ／ｍ²となり向上した。

【０１１５】実施例２０ 実施例１０で用いた感光性ペーストを用いた以外は、実
施例１９を繰り返した。得られたディスプレイは、白色
隔壁の効果により輝度が向上した。得られたディスプレ
イの輝度は、３５０ｃｄ／ｍ²で、良好な表示特性が得
られた。

【０１１６】比較例１ フィラーＡとして平均粒子径０．２４μｍのシリカ粉末
(石原産業社製、製品番号：ＣＲ−ＥＬ）を用いた以外
は、実施例１を繰り返した。隔壁パターンの形状が頭頂
部に膨らみがあり、底部がくびれたものとなり、ディス
プレイ用の隔壁として不都合であった。

【０１１７】比較例２ フィラーＡとして平均粒径０．１５μｍのアルミナ粉末
を用いた以外は、実施例１を繰り返した。形成された隔
壁パターンは頭頂部に膨らみがあり、底部がくびれたも
のとなり、ディスプレイ用の隔壁として不都合であっ
た。

【０１１８】比較例３ 実施例１において、フィラーＡとして平均粒子径２．５
μｍのコーディエライトを用いた。隔壁パターンの形成
は良好に行われたが、焼成後の全光線反射率は５０％以
下であり、作製したプラズマディスプレイパネルにおい
ては、輝度は、１００ｃｄ／ｍ²であり、輝度の向上効
果がなく、隣の発光の洩れが観測され、色純度の低下が
認められた。

【０１１９】比較例４ 実施例１において、低融点ガラスの代わりに酸化物換算
組成が、酸化珪素３８％、酸化ホウ素１０％、酸化バリ
ウム５％、酸化カルシウム４％、酸化アルミニウム３６
％、酸化亜鉛２％、酸化マグネシウム５％の高融点ガラ
スをフィラーＡとして用いた。この高融点ガラスのガラ
ス転移点は６５２℃、軟化点は７４６℃、熱膨張係数４
３×１０^-7／Ｋ、平均粒子径２．４μｍで平均屈折率は
１．５９であった。

【０１２０】隔壁パターンの形成は良好に行われたが、
焼成後の全光線反射率は５０％以下であり、作製したプ
ラズマディスプレイパネルにおいては、輝度は、１４０
ｃｄ／ｍ²であり、輝度の向上効果がなく、隣の発光の
洩れが観測され、色純度の低下があった。

【０１２１】比較例５ フィラーＢの代わりにピーク粒子径０．２５μｍのチタ
ニア粉末を用いた以外は、実施例１０を繰り返した。隔
壁パターンの形状が頭頂部に膨らみがあり、底部がくび
れたものとなり、ディスプレイ用の隔壁として不都合で
あった。

【０１２２】比較例６ フィラーＢの代わりにピーク粒子径０．１５μｍのアル
ミナ粉末を用いた以外は、実施例１４を繰り返した。形
成された隔壁パターンは頭頂部に膨らみがあり、底部が
くびれたものとなり、ディスプレイ用の隔壁として不都
合であった。

【０１２３】比較例７ 低融点ガラスと高融点ガラス（フィラーＣ）とフィラー
Ｂとの混合比率を９５：３：２とした以外は実施例１０
を繰り返した。良好な形状の隔壁が得られたが、作製し
たプラズマディスプレイパネルは、輝度が１５０ｃｄ／
ｍ²であり、本発明の目的の表示特性を満足するもので
はなかった。

【０１２４】比較例８ 低融点ガラスと高融点ガラス（フィラーＣ）とフィラー
Ｂとの混合比率を４５：３５：２０とした以外は実施例
１０を繰り返した。隔壁形状が不良であり、隔壁強度も
不足であった。

【０１２５】

【発明の効果】本発明によれば、良好なパターニングが
可能でコスト的にも有利なフォトリソグラフィ法によ
り、輝度や色純度向上に寄与する反射率の高い白色隔壁
を有するディスプレイ用部材を提供することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板上に隔壁を有するディスプレイ用部材
   であって、隔壁が低融点ガラス７０〜９５重量％とフィ
   ラーＡ５〜３０重量％からなり、フィラーＡの平均粒子
   径が０．００５〜０．０８μｍであることを特徴とする
   ディスプレイ用部材。
2. 【請求項２】フィラーＡの粒度分布のピークが０．００
   ５〜０．０８μｍの範囲内にあることを特徴とする請求
   項１に記載のディスプレイ用部材。
3. 【請求項３】基板上に隔壁を有するディスプレイ用部材
   であって、隔壁を構成する無機成分として低融点ガラス
   ５０〜９０重量％とフィラー１０〜５０重量％からな
   り、フィラーの粒度分布が少なくとも２つ以上のピーク
   を有し、かつ、少なくとも１種のフィラーＢのピークが
   ０．００５〜０．０８μｍの範囲内にあることを特徴と
   するディスプレイ用部材。
4. 【請求項４】フィラーが、１．５〜５μｍの範囲内に粒
   度分布のピークを有するフィラーＣを含むことを特徴と
   する請求項３に記載のディスプレイ用部材。
5. 【請求項５】隔壁の全光線反射率が５０％以上であるこ
   とを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のディス
   プレイ用部材。
6. 【請求項６】隔壁の直進反射率が３％以下であることを
   特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のディスプレ
   イ用部材。
7. 【請求項７】隔壁の気孔率が１〜６％であることを特徴
   とする請求項１〜６のいずれかに記載のディスプレイ用
   部材。
8. 【請求項８】フィラーＡが、シリカ、アルミナ、ジルコ
   ニア、チタニア、イットリアおよびセリアの群から選ば
   れた少なくとも１種を含むことを特徴とする請求項１、
   ２または４〜７のいずれかに記載のディスプレイ用部
   材。
9. 【請求項９】隔壁を構成する無機成分に対して、フィラ
   ーＣが５〜３０重量％であり、フィラーＢが５〜２０重
   量％であることを特徴とする請求項２または４〜７のい
   ずれかに記載のディスプレイ用部材。
10. 【請求項１０】フィラーＣの平均屈折率が１．４５〜
    １．６５であることを特徴とする請求項２、４〜７、９
    のいずれかに記載のディスプレイ用部材。
11. 【請求項１１】フィラーＣが、コーディエライトおよび
    高融点ガラスから選ばれた少なくとも一種を含むことを
    特徴とする請求項１０に記載のディスプレイ用部材。
12. 【請求項１２】高融点ガラスが、ガラス転移点５００〜
    １２００℃、軟化点５５０〜１２００℃であることを特
    徴とする請求項１１に記載のディスプレイ用部材。
13. 【請求項１３】フィラーＢが、アルミナ、ジルコニア、
    チタニア、イットリア、セリアおよびシリカの群から選
    ばれた少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項２
    または９に記載のディスプレイ用部材。
14. 【請求項１４】低融点ガラスが、ガラス転移点４００〜
    ５５０℃、軟化点４５０〜６００℃であることを特徴と
    する請求項１〜１３のいずれかに記載のディスプレイ用
    部材。
15. 【請求項１５】ディスプレイ用部材が、プラズマディス
    プレイ、プラズマアドレス液晶ディスプレイ、電子放出
    素子または蛍光表示管を用いた画像表示装置の隔壁形成
    に用いられることを特徴とする請求項１〜１４のいずれ
    かに記載のディスプレイ用部材。
16. 【請求項１６】低融点ガラス７０〜９５重量％および平
    均粒子径が０．００５〜０．０８μｍのフィラーＡ５〜
    ３０重量％からなる無機微粒子と感光性有機成分を含有
    する感光性ペーストを基板上に塗布・乾燥した後、フォ
    トリソグラフィ法でパターニングし、パターンを焼成し
    て隔壁を形成する工程を含むことを特徴とするディスプ
    レイ用部材の製造方法。
17. 【請求項１７】低融点ガラス５０〜９０重量％とフィラ
    ー１０〜５０重量％からなる無機微粒子と感光性有機成
    分を含有する感光性ペーストを基板上に塗布・乾燥し、
    フォトリソグラフィ法でパターニングし、パターンを焼
    成して隔壁を形成する工程を含むことを特徴とするディ
    スプレイ用部材の製造方法であって、フィラーの粒度分
    布が少なくとも２つ以上のピークを有し、かつ、少なく
    とも１種のフィラーＢのピークが０．００５〜０．０８
    μｍの範囲内にあることを特徴とするディスプレイ用部
    材の製造方法。