JPH1159894A - 大型ガラス基板のハンドリング装置 - Google Patents
大型ガラス基板のハンドリング装置Info
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- JPH1159894A JPH1159894A JP22569597A JP22569597A JPH1159894A JP H1159894 A JPH1159894 A JP H1159894A JP 22569597 A JP22569597 A JP 22569597A JP 22569597 A JP22569597 A JP 22569597A JP H1159894 A JPH1159894 A JP H1159894A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting table
- base
- positioning
- optical system
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型ガラス基板の湾曲矯正と位置決めとを正
しく行い、その状態を維持して検査光学系まで搬送す
る。 【解決手段】 ハンドリング装置１０は、基板１を載置
台34に載置して検査光学系６まで移動する基板載置移動
機構３と、基板１をロボットハンドＲ・Ｈより受け取っ
てＸ，Ｙ方向に位置決めする位置決め機構４、および基
板１の湾曲を平坦に矯正して載置台34に載置する湾曲矯
正機構５とにより構成される。
しく行い、その状態を維持して検査光学系まで搬送す
る。 【解決手段】 ハンドリング装置１０は、基板１を載置
台34に載置して検査光学系６まで移動する基板載置移動
機構３と、基板１をロボットハンドＲ・Ｈより受け取っ
てＸ，Ｙ方向に位置決めする位置決め機構４、および基
板１の湾曲を平坦に矯正して載置台34に載置する湾曲矯
正機構５とにより構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＬＣＤ用の大型
ガラス基板の検査装置に対するハンドリング装置に関す
る。
ガラス基板の検査装置に対するハンドリング装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルを構成するカラーフィルタ
（ＣＦ）とＴＦＴ基板はガラス基板をベースとして作成
され、作成前のガラス基板と作成されたＣＦおよびＴＦ
Ｔ基板は、欠陥の有無が欠陥検査装置により検査され
る。最近における液晶パネルの大型化により、ＣＦ、Ｔ
ＦＴ基板とそのガラス基板（以下これらを一括してガラ
ス基板とする）も大型化しており、大型ガラス基板は面
積に比較して厚さが薄いために湾曲し易く、湾曲すると
検査光学系に焦点ボケが生ずるので、検査するには湾曲
を平坦に矯正することが必要である。また欠陥の位置を
特定するためには、検査光学系に対して大型ガラス基板
を位置決めすることも必要である。これに対して、基板
の湾曲を矯正し位置決めして検査光学系まで搬送する装
置が考案され、特願平８−２５７９７号「カラーフィル
タ基板のハンドリング装置」として同出願人により特許
出願されている。
（ＣＦ）とＴＦＴ基板はガラス基板をベースとして作成
され、作成前のガラス基板と作成されたＣＦおよびＴＦ
Ｔ基板は、欠陥の有無が欠陥検査装置により検査され
る。最近における液晶パネルの大型化により、ＣＦ、Ｔ
ＦＴ基板とそのガラス基板（以下これらを一括してガラ
ス基板とする）も大型化しており、大型ガラス基板は面
積に比較して厚さが薄いために湾曲し易く、湾曲すると
検査光学系に焦点ボケが生ずるので、検査するには湾曲
を平坦に矯正することが必要である。また欠陥の位置を
特定するためには、検査光学系に対して大型ガラス基板
を位置決めすることも必要である。これに対して、基板
の湾曲を矯正し位置決めして検査光学系まで搬送する装
置が考案され、特願平８−２５７９７号「カラーフィル
タ基板のハンドリング装置」として同出願人により特許
出願されている。
【０００３】図３は、上記の特許出願にかかるハンドリ
ング装置２の構成図、図４はその動作概要の説明図であ
る。図３において、ハンドリング装置２は、メインベー
スＭ・Ｂ上に２個のサブベースＳ・Ｂ1 ，Ｓ・Ｂ2 を設
け、それぞれはハンドル21の回転によりＹ方向のガイド
レール22に沿って互いに反対方向に移動する。両Ｓ・Ｂ
1,Ｓ・Ｂ2 には、Ｘ方向の適当な支持具により、外側よ
り順に、複数の駒Ｋとこれらを押圧する押圧具23a,23b
、側面に複数の円錐形の回転ローラーＲを有するロー
ラー板24a,24b、上面に複数のエア噴射孔ｅを有する角
パイプ25a,25b が、それぞれ配設され、さらに、Ｍ・Ｂ
の中央部には同様な角パイプ25c,25d が配設されてい
る。大型ガラス基板（以下単に基板）１はサイズが各種
あるので、ハンドル21を回転してローラー板24a,24b を
移動し、それぞれの回転ローラーＲの斜面の中心間隔を
基板１のＹ幅ＬY に調整する。各回転ローラーＲは回転
機構（図示省略）により回転し、また基板１のハンドリ
ング中は、エア供給源（図示省略）より各角パイプ25a
〜25d にエアを供給して、噴射孔ｅよりたえずエアが噴
射される。
ング装置２の構成図、図４はその動作概要の説明図であ
る。図３において、ハンドリング装置２は、メインベー
スＭ・Ｂ上に２個のサブベースＳ・Ｂ1 ，Ｓ・Ｂ2 を設
け、それぞれはハンドル21の回転によりＹ方向のガイド
レール22に沿って互いに反対方向に移動する。両Ｓ・Ｂ
1,Ｓ・Ｂ2 には、Ｘ方向の適当な支持具により、外側よ
り順に、複数の駒Ｋとこれらを押圧する押圧具23a,23b
、側面に複数の円錐形の回転ローラーＲを有するロー
ラー板24a,24b、上面に複数のエア噴射孔ｅを有する角
パイプ25a,25b が、それぞれ配設され、さらに、Ｍ・Ｂ
の中央部には同様な角パイプ25c,25d が配設されてい
る。大型ガラス基板（以下単に基板）１はサイズが各種
あるので、ハンドル21を回転してローラー板24a,24b を
移動し、それぞれの回転ローラーＲの斜面の中心間隔を
基板１のＹ幅ＬY に調整する。各回転ローラーＲは回転
機構（図示省略）により回転し、また基板１のハンドリ
ング中は、エア供給源（図示省略）より各角パイプ25a
〜25d にエアを供給して、噴射孔ｅよりたえずエアが噴
射される。
【０００４】図４において、ロボットハンドＲ・Ｈによ
り基板１の先端を始端のローラーＲ1,Ｒ1 に接触する
と、その回転により基板１は引込まれて数個のローラー
Ｒに乗り、各噴射孔ｅより基板１の下面にエアが噴射さ
れて湾曲が矯正される。ここで回転機構を制御して各ロ
ーラーＲの回転を停止し、両押圧具23a,23b により各駒
Ｋを基板１の両側面を押圧して位置決めされる。ついで
各駒Ｋの押圧を待避して各ローラーＲをふたたび回転す
ると、基板１は湾曲矯正と位置決めされた状態で検査光
学系を通過し、通過中に欠陥検査がなされて終端のロー
ラーＲe で停止し、Ｒ・Ｈにより抜去される。
り基板１の先端を始端のローラーＲ1,Ｒ1 に接触する
と、その回転により基板１は引込まれて数個のローラー
Ｒに乗り、各噴射孔ｅより基板１の下面にエアが噴射さ
れて湾曲が矯正される。ここで回転機構を制御して各ロ
ーラーＲの回転を停止し、両押圧具23a,23b により各駒
Ｋを基板１の両側面を押圧して位置決めされる。ついで
各駒Ｋの押圧を待避して各ローラーＲをふたたび回転す
ると、基板１は湾曲矯正と位置決めされた状態で検査光
学系を通過し、通過中に欠陥検査がなされて終端のロー
ラーＲe で停止し、Ｒ・Ｈにより抜去される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のハンドリング装
置には、いくつかの難点がある。まずエア噴射による湾
曲矯正であるが、大型ガラス基板１はいわばペラペラに
近いもので、その湾曲は単純でなく部分的に屈曲し易
く、これに噴射されたエアは乱流となることもあるた
め、湾曲は平坦に矯正されず、従って位置決めも正しく
なされない。また位置決めは始端のみでなされて、検査
光学系まで各ローラーＲによりバランスして移動するも
のとされているが、湾曲矯正が不良なためにバランスが
崩れて、検査光学系ではかえって位置ズレすることがあ
る。さらに、両ローラー板24a,24b と各角パイプ25a 〜
25d は始端から終端までの長さが必要であるが、湾曲矯
正と位置決めが維持されないため、これらは有効でな
い。この発明は以上に鑑みてなされたもので、大型ガラ
ス基板の湾曲矯正と位置決めを正しく行い、その状態を
維持して検査光学系まで移動する、ハンドリング装置を
課題とする。
置には、いくつかの難点がある。まずエア噴射による湾
曲矯正であるが、大型ガラス基板１はいわばペラペラに
近いもので、その湾曲は単純でなく部分的に屈曲し易
く、これに噴射されたエアは乱流となることもあるた
め、湾曲は平坦に矯正されず、従って位置決めも正しく
なされない。また位置決めは始端のみでなされて、検査
光学系まで各ローラーＲによりバランスして移動するも
のとされているが、湾曲矯正が不良なためにバランスが
崩れて、検査光学系ではかえって位置ズレすることがあ
る。さらに、両ローラー板24a,24b と各角パイプ25a 〜
25d は始端から終端までの長さが必要であるが、湾曲矯
正と位置決めが維持されないため、これらは有効でな
い。この発明は以上に鑑みてなされたもので、大型ガラ
ス基板の湾曲矯正と位置決めを正しく行い、その状態を
維持して検査光学系まで移動する、ハンドリング装置を
課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、大型ガラス
基板のハンドリング装置であって、メインベースに設け
たＸ方向のガイドレールに沿って、その始端から欠陥検
査光学系を経て終端まで移動するサブベースと、サブベ
ース上に固定され、基板に対する載置台よりなる基板載
置移動機構、Ｙ方向の両端が支持板によりメインベース
の始端の位置に固定され、始端に停止した載置台の上部
に設けられ、ロボットハンドにより供給される基板を受
け取ってＸ，Ｙ方向に位置決めする位置決め機構、およ
び載置台の下部に設けられ、昇降機構によりより昇降す
る複数の押上ピンを有し、各押上ピンを上昇して位置決
め機構上の基板の下面に当接して湾曲を平坦に矯正し、
下降して基板を載置台に載置する湾曲矯正機構とにより
構成され、載置台をサブベースとともにＸ方向に移動し
て、基板を湾曲矯正と位置決めとがなされた状態で欠陥
検査光学系まで搬送するものである。
基板のハンドリング装置であって、メインベースに設け
たＸ方向のガイドレールに沿って、その始端から欠陥検
査光学系を経て終端まで移動するサブベースと、サブベ
ース上に固定され、基板に対する載置台よりなる基板載
置移動機構、Ｙ方向の両端が支持板によりメインベース
の始端の位置に固定され、始端に停止した載置台の上部
に設けられ、ロボットハンドにより供給される基板を受
け取ってＸ，Ｙ方向に位置決めする位置決め機構、およ
び載置台の下部に設けられ、昇降機構によりより昇降す
る複数の押上ピンを有し、各押上ピンを上昇して位置決
め機構上の基板の下面に当接して湾曲を平坦に矯正し、
下降して基板を載置台に載置する湾曲矯正機構とにより
構成され、載置台をサブベースとともにＸ方向に移動し
て、基板を湾曲矯正と位置決めとがなされた状態で欠陥
検査光学系まで搬送するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記のハンドリング装置は、基板
載置移動機構、位置決め機構、および湾曲矯正機構とに
より構成される。基板載置移動機構においては、載置台
はサブベースに固定され、メインベースに設けたＸ方向
のガイドレールに沿って、その始端から欠陥検査光学系
まで移動する。位置決め機構は、そのＹ方向の両端が支
持板によりメインベースの始端に対応する位置に固定さ
れ、始端に停止した載置台の上部に設けられ、ロボット
ハンドにより供給される基板を受け取ってＸ方向に位置
決めする。ただし、湾曲した状態では正しく位置決めで
きないので、次に述べる湾曲矯正機構により湾曲を矯正
した後に位置決めする。
載置移動機構、位置決め機構、および湾曲矯正機構とに
より構成される。基板載置移動機構においては、載置台
はサブベースに固定され、メインベースに設けたＸ方向
のガイドレールに沿って、その始端から欠陥検査光学系
まで移動する。位置決め機構は、そのＹ方向の両端が支
持板によりメインベースの始端に対応する位置に固定さ
れ、始端に停止した載置台の上部に設けられ、ロボット
ハンドにより供給される基板を受け取ってＸ方向に位置
決めする。ただし、湾曲した状態では正しく位置決めで
きないので、次に述べる湾曲矯正機構により湾曲を矯正
した後に位置決めする。
【０００８】湾曲矯正機構は載置台の下部に設けられ、
複数の押上ピンは先端が等しい高さに揃えてあり、昇降
機構によりより各押上ピンを上昇すると、それぞれの先
端が位置決め機構にある基板の下面に当接して湾曲が平
坦に矯正され、この後に上記した位置決めされる。つい
で各押圧ピンを下降すると、湾曲矯正と位置決めとがな
されたされた基板は載置台に載置される。載置された以
後も、基板は下面に各押圧ピンが当接して湾曲矯正が継
続され、この基板を載置した載置台はサブベースととも
にＸ方向に移動して、基板は湾曲が矯正され、かつ位置
決めされた状態で欠陥検査装置まで搬送され、欠陥検査
が正しく行われる。
複数の押上ピンは先端が等しい高さに揃えてあり、昇降
機構によりより各押上ピンを上昇すると、それぞれの先
端が位置決め機構にある基板の下面に当接して湾曲が平
坦に矯正され、この後に上記した位置決めされる。つい
で各押圧ピンを下降すると、湾曲矯正と位置決めとがな
されたされた基板は載置台に載置される。載置された以
後も、基板は下面に各押圧ピンが当接して湾曲矯正が継
続され、この基板を載置した載置台はサブベースととも
にＸ方向に移動して、基板は湾曲が矯正され、かつ位置
決めされた状態で欠陥検査装置まで搬送され、欠陥検査
が正しく行われる。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明のハンドリング装置１０の
一実施例の斜視外観図、図２は同じくＸＺ断面図であ
る。図１において、ハンドリング装置１０は、基板載置
移動機構３と位置決め機構４および湾曲矯正機構５によ
り構成される。基板載置移動機構３は、メインベースＭ
・Ｂに設けたＸ方向の２条のガイドレール31a,31b と、
モータ32により駆動され、両ガイドレール31a,31b に沿
って、その始端から終端まで移動するサブベースＳ・
Ｂ、および固定具33a,33b によりＳ・Ｂに固定された載
置台34よりなる。載置台34は検査する基板１のサイズに
等しい内側面を有する額縁形フレームとし、そのＸ方向
の２内側面に基板１の端部を支える支持板341 を有す
る。両ガイドレール31a,31b の終端の手前には欠陥検査
光学系６が設けらる。
一実施例の斜視外観図、図２は同じくＸＺ断面図であ
る。図１において、ハンドリング装置１０は、基板載置
移動機構３と位置決め機構４および湾曲矯正機構５によ
り構成される。基板載置移動機構３は、メインベースＭ
・Ｂに設けたＸ方向の２条のガイドレール31a,31b と、
モータ32により駆動され、両ガイドレール31a,31b に沿
って、その始端から終端まで移動するサブベースＳ・
Ｂ、および固定具33a,33b によりＳ・Ｂに固定された載
置台34よりなる。載置台34は検査する基板１のサイズに
等しい内側面を有する額縁形フレームとし、そのＸ方向
の２内側面に基板１の端部を支える支持板341 を有す
る。両ガイドレール31a,31b の終端の手前には欠陥検査
光学系６が設けらる。
【００１０】位置決め機構４は、ベース板41の両端部
に、モータ42a,42b と、Ｘ方向に対する押圧ローラーＲ
X を有する押圧具43a,43b 、およびＹ方向に対する押圧
ローラーＲY を有する押圧具44a,44b をそれぞれ設け、
ベース41を載置台34の上部の適当な高さに設定し、Ｙ方
向の両端が支持板45a,45b によりＭ・Ｂの始端の位置に
に固定される。湾曲矯正機構５は、固定板51と、これに
配設された４本の昇降具52、各昇降具52の上端に固定さ
れ、例えば９本の押上ピンｐを有する昇降板53、および
昇降板53に対する昇降機構54よりなり、固定板51は固定
具55によりＳ・Ｂに固定され、また各押上ピンｐの先端
は一定の高さに揃えられる。図２において、昇降具52は
固定板51に固定した軸受け521 とこれを貫通する昇降棒
522 よりなり、また昇降機構54は固定板51に固定したモ
ータ541 と昇降板53に固定した軸受543 と、これらを連
結するアーム542 よりなる。
に、モータ42a,42b と、Ｘ方向に対する押圧ローラーＲ
X を有する押圧具43a,43b 、およびＹ方向に対する押圧
ローラーＲY を有する押圧具44a,44b をそれぞれ設け、
ベース41を載置台34の上部の適当な高さに設定し、Ｙ方
向の両端が支持板45a,45b によりＭ・Ｂの始端の位置に
に固定される。湾曲矯正機構５は、固定板51と、これに
配設された４本の昇降具52、各昇降具52の上端に固定さ
れ、例えば９本の押上ピンｐを有する昇降板53、および
昇降板53に対する昇降機構54よりなり、固定板51は固定
具55によりＳ・Ｂに固定され、また各押上ピンｐの先端
は一定の高さに揃えられる。図２において、昇降具52は
固定板51に固定した軸受け521 とこれを貫通する昇降棒
522 よりなり、また昇降機構54は固定板51に固定したモ
ータ541 と昇降板53に固定した軸受543 と、これらを連
結するアーム542 よりなる。
【００１１】以下、図２により、ハンドリング装置１０
の動作を説明する。まず昇降機構54を矢印の方向に動作
して各押上ピンｐの先端を、位置決め機構４の押圧ロー
ラーＲｘ，ＲY の高さに上昇する。ロボットハンドＲ・
Ｈより供給される基板１は、各押上ピンｐの先端に受け
取られて湾曲が平坦に矯正される。ついでモータ42a,42
b を動作すると、押圧具43a,43b と押圧具44a,44b が、
それぞれの押圧ローラーＲX 、押圧ローラーＲY を、基
板１の対応する側面に押圧してＸ方向とＹ方向に位置決
めされる。これが済むと各押圧ローラーＲX,ＲY を待避
し、各押上ピンｐを下降すると基板１とともに下降し、
湾曲矯正と位置決めとがなされた正しい状態で載置台34
に載置される。ついでモータ32を動作してＳ・Ｂととも
に載置台34を移動すると、基板は正しい状態で検査光学
系６まで搬送されて、欠陥検査が正しくなされる。
の動作を説明する。まず昇降機構54を矢印の方向に動作
して各押上ピンｐの先端を、位置決め機構４の押圧ロー
ラーＲｘ，ＲY の高さに上昇する。ロボットハンドＲ・
Ｈより供給される基板１は、各押上ピンｐの先端に受け
取られて湾曲が平坦に矯正される。ついでモータ42a,42
b を動作すると、押圧具43a,43b と押圧具44a,44b が、
それぞれの押圧ローラーＲX 、押圧ローラーＲY を、基
板１の対応する側面に押圧してＸ方向とＹ方向に位置決
めされる。これが済むと各押圧ローラーＲX,ＲY を待避
し、各押上ピンｐを下降すると基板１とともに下降し、
湾曲矯正と位置決めとがなされた正しい状態で載置台34
に載置される。ついでモータ32を動作してＳ・Ｂととも
に載置台34を移動すると、基板は正しい状態で検査光学
系６まで搬送されて、欠陥検査が正しくなされる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のハンド
リング装置によれば、液晶パネル用の大型ガラス基板
は、湾曲が平坦に矯正され、かつＸ，Ｙ方向に正しく位
置決めされ、この状態で載置台に載置されて検査光学ま
で搬送されて、欠陥検査が正しくなされるもので、大型
ガラス基板の欠陥検査の信頼性の向上に大きく寄与する
ものである。
リング装置によれば、液晶パネル用の大型ガラス基板
は、湾曲が平坦に矯正され、かつＸ，Ｙ方向に正しく位
置決めされ、この状態で載置台に載置されて検査光学ま
で搬送されて、欠陥検査が正しくなされるもので、大型
ガラス基板の欠陥検査の信頼性の向上に大きく寄与する
ものである。
【図１】 図１は、この発明のハンドリング装置の一実
施例の斜視外観図である。
施例の斜視外観図である。
【図２】 図２は、同じくＸＺ断面図である。
【図３】 図３は、従来のハンドリング装置の構成図で
ある。
ある。
【図４】 図４は、図３に対する動作概要の説明図であ
る。
る。
１…大型ガラス基板、２…従来のハンドリング装置、３
…基板載置移動機構、31a,31b …ガイドレール、32…モ
ータ、33a,33b …固定具、34…載置台、341 …支持板、
４…位置決め機構、41…ベース板、42a,42b …モータ、
43a,43b …Ｘ方向押圧具、44a,44b …Ｙ方向押圧具、５
…湾曲矯正機構、51…固定板、52…昇降具、521 …軸
受、522 …昇降棒、53…昇降板、54…昇降機構、541 …
モータ、542 …連結アーム、543 …軸受、55…固定具、
１０…この発明のハンドリング装置、Ｍ・Ｂ…メインベ
ース、Ｓ・Ｂ…サブベース、Ｒ・Ｈ…ロボットハンド、
ＲX ，ＲY …押圧ローラー、ｐ…押上ピン。
…基板載置移動機構、31a,31b …ガイドレール、32…モ
ータ、33a,33b …固定具、34…載置台、341 …支持板、
４…位置決め機構、41…ベース板、42a,42b …モータ、
43a,43b …Ｘ方向押圧具、44a,44b …Ｙ方向押圧具、５
…湾曲矯正機構、51…固定板、52…昇降具、521 …軸
受、522 …昇降棒、53…昇降板、54…昇降機構、541 …
モータ、542 …連結アーム、543 …軸受、55…固定具、
１０…この発明のハンドリング装置、Ｍ・Ｂ…メインベ
ース、Ｓ・Ｂ…サブベース、Ｒ・Ｈ…ロボットハンド、
ＲX ，ＲY …押圧ローラー、ｐ…押上ピン。
Claims (1)
- 【請求項１】ＬＣＤ用大型ガラス基板の欠陥検査装置に
対するハンドリングにおいて、 メインベースに設けたＸ方向のガイドレールの沿って、
その始端から欠陥検査光学系を経て終端まで移動するサ
ブベースと、該サブベース上に固定され、該基板に対す
る載置台よりなる基板載置移動機構、Ｙ方向の両端が支
持板により該メインベースの前記始端の位置に固定さ
れ、該始端に停止した該載置台の上部に設けられ、ロボ
ットハンドにより供給される該基板を受け取ってＸ，Ｙ
方向に位置決めする位置決め機構、および該載置台の下
部に設けられ、昇降機構によりより昇降する複数の押上
ピンを有し、該各押上ピンを上昇して該位置決め機構上
の基板の下面に当接して湾曲を平坦に矯正し、下降して
該基板を該載置台に載置する湾曲矯正機構とにより構成
され、該載置台を前記サブベースとともにＸ方向に移動
して、該基板を湾曲矯正と位置決めとがなされた状態
で、前記欠陥検査光学系まで搬送することを特徴とす
る、大型ガラス基板のハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569597A JPH1159894A (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 大型ガラス基板のハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22569597A JPH1159894A (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 大型ガラス基板のハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159894A true JPH1159894A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16833353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22569597A Pending JPH1159894A (ja) | 1997-08-07 | 1997-08-07 | 大型ガラス基板のハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1159894A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7096911B2 (en) | 2000-11-30 | 2006-08-29 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| CN100405185C (zh) * | 2002-07-19 | 2008-07-23 | 株式会社日立工业设备技术 | 基板装配装置 |
| CN113390878A (zh) * | 2020-03-12 | 2021-09-14 | 日本电产三协株式会社 | 检查装置 |
-
1997
- 1997-08-07 JP JP22569597A patent/JPH1159894A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7096911B2 (en) | 2000-11-30 | 2006-08-29 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7300532B2 (en) | 2000-11-30 | 2007-11-27 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing bonded substrate |
| US7513966B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-04-07 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7621310B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-11-24 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7681522B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-03-23 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7703494B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7819165B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-10-26 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US8128768B2 (en) | 2000-11-30 | 2012-03-06 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| CN100405185C (zh) * | 2002-07-19 | 2008-07-23 | 株式会社日立工业设备技术 | 基板装配装置 |
| CN113390878A (zh) * | 2020-03-12 | 2021-09-14 | 日本电产三协株式会社 | 检查装置 |
| CN113390878B (zh) * | 2020-03-12 | 2023-11-17 | 日本电产三协株式会社 | 检查装置 |
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