JPH10200239A - Formation of transfer sheet and pattern - Google Patents

Formation of transfer sheet and pattern

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Publication number
JPH10200239A
JPH10200239A JP17976397A JP17976397A JPH10200239A JP H10200239 A JPH10200239 A JP H10200239A JP 17976397 A JP17976397 A JP 17976397A JP 17976397 A JP17976397 A JP 17976397A JP H10200239 A JPH10200239 A JP H10200239A
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JP
Japan
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ink layer
layer
transfer sheet
pattern
ink
Prior art date
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Pending
Application number
JP17976397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yozo Kosaka
陽三 小坂
Katsuhiko Mizuno
克彦 水野
Takeshi Nakamura
中村  剛
Yasunori Kima
泰則 来間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP17976397A priority Critical patent/JPH10200239A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a transfer sheet and a pattern which is suited for formation of such a pattern of high accuracy as an electrode layer, a dielectric layer and a barrier layer in a process for manufacturing a plasma display panel, an image display device, a thermal head and an integrated circuit, etc., and in which manufacturing time is shortened, yield is improved, surface smoothness is excellent, film thickness is uniform, and distribution accuracy is excellent. SOLUTION: In this transfer sheet, a recessed-shaped pattern part 12 on a base film 11 in which a recessed-shaped pattern is formed on one surface is filled with an ink layer 13 comprising at a least inorganic component of glass frit and resin a component removed by baking. And a second ink layer may be laminated on the recessed-shaped pattern filled with the ink layer, and further a third ink layer may be laminated on the second ink layer. And in this method for forming the pattern, the transfer sheet is laminated on a to-be-transferred body from the ink layer side to transfer the recessed-shaped pattern onto the recessed-shaped pattern, and then the to-be-transferred body having the recessed-shaped pattern is baked.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル(以下、PDP)、フィールドエミッション
ディスプレイ(FED)、液晶表示装置(LCD)、蛍
光表示装置、混成集積回路等における電極層や誘電体
層、障壁層等の高精度のパターンを形成するのに適した
転写シート及びパターン形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode layer and a dielectric layer in a plasma display panel (hereinafter, PDP), a field emission display (FED), a liquid crystal display (LCD), a fluorescent display, a hybrid integrated circuit, and the like. The present invention relates to a transfer sheet and a pattern forming method suitable for forming a high-precision pattern such as a barrier layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のパターン形成方法として
は、ガラスやセラミックス等の基板上に導体或いは絶縁
体用のインキをスクリーン印刷によりパターン状に塗布
した後、焼成工程を経て基板に密着した厚膜パターンを
形成する方法が知られている。この方法は、例えば線幅
100μm、高さ100μmの細線を形成するには重ね
刷りを複数回繰り返して形成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of forming a pattern of this kind, a conductor or an ink for an insulator is applied in a pattern by screen printing on a substrate such as glass or ceramics and then adhered to the substrate through a firing step. A method for forming a thick film pattern is known. In this method, for example, in order to form a thin line having a line width of 100 μm and a height of 100 μm, the overprinting is repeated a plurality of times.

【0003】しかしながら、スクリーン印刷による多数
回のパターン印刷でパターンを形成する方法は、第1
に、印刷に使用するスクリーンの伸縮が不可避であり、
実際には各種パターンを重ねて形成する場合が殆どであ
るので、他のパターンとの位置ずれが発生しやすいこ
と、第2に、版にスクリーンを使用しているため、パタ
ーンの歪みが発生しやすく微細パターン化が困難であ
る、第3に、パターン形成材料がスクリーン版への裏回
りを起こすため、毎回拭き取りが必要であり、自動化が
困難である、第4に、スクリーン印刷法により形成可能
であるパターン寸法は、幅100μm程度が限界であ
り、また形状も半値幅と底部幅との比(半値幅/底部
幅、半値幅とはパターン形成層の高さの1/2の位置に
おけるパターン形成層の幅をいう)が0.5程度である
ので、例えば、乾燥状態で150〜200μm程度の厚
さに塗布する必要があるPDPにおける障壁層の場合、
底面積も大きくしなければならず、精細なパターンが形
成できず、また、1度に形成することはできないため、
順次位置合わせをしつつ積層することが行なわれている
が、その位置精度を高めることが困難であるという問題
がある。また、インキの持つ流動性のため、すそが広が
ってしまい、高アスペクト比の厚膜パターンが形成でき
なく、更に、開放系であるがために異物の混入防止等の
条件管理が難しく、作製にあたっても多大な時間を要す
るのが現状である。
[0003] However, the method of forming a pattern by pattern printing many times by screen printing is the first method.
In addition, the expansion and contraction of the screen used for printing is inevitable,
Actually, since various patterns are almost always formed by being overlapped, misalignment with other patterns is likely to occur. Secondly, since the screen is used for the plate, pattern distortion occurs. Third, it is difficult to form a fine pattern easily. Third, since the pattern forming material causes a backflow to the screen plate, wiping is required every time, and automation is difficult. Fourth, it can be formed by a screen printing method. The pattern dimension is limited to a width of about 100 μm, and the shape is the ratio of the half width to the bottom width (half width / bottom width, where the half width is the pattern at half the height of the pattern forming layer). Is about 0.5, for example, in the case of a barrier layer in a PDP that needs to be applied to a thickness of about 150 to 200 μm in a dry state,
Since the bottom area must be large, a fine pattern cannot be formed, and it cannot be formed at once,
Lamination is performed while sequentially performing alignment, but there is a problem that it is difficult to improve the positional accuracy. In addition, due to the fluidity of the ink, the hem spreads out, a thick film pattern with a high aspect ratio cannot be formed, and since it is an open system, it is difficult to control conditions such as prevention of foreign matter from being mixed. At present, it takes a lot of time.

【0004】また、他の方法としては基板上にスクリー
ン印刷の多数回ベタ印刷でパターン形成層を形成した
後、そのパターン形成層上に感光性レジストでサンドブ
ラスト用マスクを形成し、次いで研磨材を噴射してパタ
ーン形成層のパターニングを行う、所謂サンドブラスト
法が知られている。
As another method, a pattern forming layer is formed on a substrate by screen printing a number of times by solid printing, then a sand blast mask is formed on the pattern forming layer with a photosensitive resist, and then an abrasive is applied. A so-called sand blast method of performing patterning of a pattern forming layer by spraying is known.

【0005】しかしながら、サンドブラスト法を利用し
てパターンを形成する方法においても、パターン形成層
をスクリーン印刷で形成すると、重ね刷りの工程が長く
かかる上に、開放系であるがために条件管理が難しいと
いう問題がある。更に、その形成すべきパターン層毎に
塗布と乾燥を繰り返してからパターニングを行う必要が
あり、そのため設備コストがかかり、それらの装置のた
めのスペースが増加するという問題が生じる。
However, also in the method of forming a pattern using the sandblasting method, when the pattern forming layer is formed by screen printing, the overprinting process takes a long time and the condition management is difficult because of the open system. There is a problem. Further, it is necessary to perform patterning after repeating application and drying for each pattern layer to be formed, which leads to a problem that equipment costs are increased and a space for those devices is increased.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の第1の目的
は、PDP、液晶等の画像表示装置、サーマルヘッド、
集積回路等における電極、抵抗体、障壁等の微細なパタ
ーン形成に適した転写シートを提供することにある。
A first object of the present invention is to provide an image display device such as a PDP or a liquid crystal, a thermal head,
An object of the present invention is to provide a transfer sheet suitable for forming a fine pattern such as an electrode, a resistor, and a barrier in an integrated circuit or the like.

【0007】本発明の第2の目的は、作製時間を短縮で
き、歩留りを向上させることができると共に、表面平滑
性に優れ、かつ膜厚が均一で分布精度の良好なパターン
形成方法の提供にある。
A second object of the present invention is to provide a pattern forming method capable of shortening the manufacturing time and improving the yield, having excellent surface smoothness, having a uniform film thickness and good distribution accuracy. is there.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の転写シー
トは、凹状パターンを一方の面に形成したベースフイル
ムにおける凹状部内に、少なくともガラスフリットから
なる無機成分と焼成により除去される樹脂成分からなる
インキ層が充填されたことを特徴とする。
A first transfer sheet according to the present invention comprises, in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface thereof, at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. Characterized by being filled with an ink layer consisting of

【0009】第1の転写シートがプラズマディスプレイ
パネル作製用転写シートであり、インキ層が電極形成層
であることを特徴とする。
The first transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, and the ink layer is an electrode forming layer.

【0010】電極形成層が、少なくともガラスフリット
からなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分から
なる導電性インキ層、または、該導電性インキ層中に暗
色顔料を含有する暗色導電性インキ層、または前記導電
性インキ層と前記暗色導電性インキ層の積層からなるも
のであることを特徴とする。
A conductive ink layer comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing, or a dark conductive ink layer containing a dark pigment in the conductive ink layer; Alternatively, it is characterized by comprising a laminate of the conductive ink layer and the dark conductive ink layer.

【0011】第1の転写シートがプラズマディスプレイ
パネル作製用転写シートであり、インキ層が障壁形成層
であることを特徴とする。
The first transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, and the ink layer is a barrier forming layer.

【0012】上記の第1の転写シートにおける障壁形成
層が、少なくともガラスフリットからなる無機成分と焼
成により除去される樹脂成分からなる白色インキ層、ま
たは暗色インキ層、または白色インキ層と暗色インキ層
の積層からなるものであることを特徴とする。
The barrier-forming layer in the first transfer sheet is a white ink layer or a dark ink layer, or a white ink layer and a dark ink layer, each of which comprises at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. Characterized by being laminated.

【0013】本発明の第2の転写シートは、凹状パター
ンを一方の面に形成したベースフイルムにおける凹状部
内に、少なくともガラスフリットからなる無機成分と焼
成により除去される樹脂成分からなる第1のインキ層が
充填されると共に、該第1のインキ層が充填された前記
凹状パターン上に少なくともガラスフリットからなる無
機成分と焼成により除去される樹脂成分からなる第2の
インキ層が積層されたことを特徴とする。
[0013] The second transfer sheet of the present invention has a first ink comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface. The first ink layer was filled, and the second ink layer consisting of at least the inorganic component consisting of glass frit and the resin component removed by firing was laminated on the concave pattern filled with the first ink layer. Features.

【0014】第2の転写シートがプラズマディスプレイ
パネル作製用転写シートであり、第1のインキ層が電極
形成層、第2のインキ層が下地形成層であることを特徴
とする。
The second transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, wherein the first ink layer is an electrode forming layer and the second ink layer is a base forming layer.

【0015】第2の転写シートがプラズマディスプレイ
パネル作製用転写シートであり、第1のインキ層が障壁
形成層、第2のインキ層が誘電体形成層であることを特
徴とする。
[0015] The second transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, wherein the first ink layer is a barrier forming layer, and the second ink layer is a dielectric forming layer.

【0016】上記の第2の転写シートにおける障壁形成
層が、少なくともガラスフリットからなる無機成分と焼
成により除去される樹脂成分からなる白色インキ層、ま
たは暗色インキ層、または白色インキ層と暗色インキ層
の積層からなるものであることを特徴とする。
[0016] The barrier-forming layer in the second transfer sheet is a white ink layer or a dark ink layer, or a white ink layer and a dark ink layer, each of which comprises at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. Characterized by being laminated.

【0017】本発明の第3の転写シートは、凹状パター
ンを一方の面に形成したベースフイルムにおける凹状部
内に、少なくともガラスフリットからなる無機成分と焼
成により除去される樹脂成分からなる第1のインキ層が
充填されると共に、該第1のインキ層が充填された前記
凹状パターン上に少なくともガラスフリットからなる無
機成分と焼成により除去される樹脂成分からなる第2の
インキ層が積層され、更に、該第2のインキ層上に第3
のインキ層が積層されたことを特徴とする。
The third transfer sheet of the present invention has a first ink comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface. While the layer is filled, a second ink layer made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern filled with the first ink layer, On the second ink layer, a third
Wherein the ink layers are laminated.

【0018】第3の転写シートがプラズマディスプレイ
パネル作製用転写シートであり、第1のインキ層が少な
くともガラスフリットからなる無機成分と焼成により除
去される樹脂成分からなる白色インキ層、または暗色イ
ンキ層、または白色インキ層と暗色インキ層の積層から
なる障壁形成層であると共に第2のインキ層が誘電体形
成層、第3のインキ層が電極形成層であることを特徴と
する。
The third transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, and the first ink layer is a white ink layer or a dark ink layer comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. Or a barrier forming layer formed by laminating a white ink layer and a dark ink layer, the second ink layer is a dielectric forming layer, and the third ink layer is an electrode forming layer.

【0019】本発明の第1のパターン形成方法は、凹状
パターンを一方の面に形成したベースフイルムにおける
凹状部内に少なくともガラスフリットからなる無機成分
と焼成により除去される樹脂成分からなるインキ層が充
填された転写シートを、該インキ層側から被転写体にラ
ミネートしてインキ層を被転写体に転写し、該インキ層
が転写された被転写体を焼成することを特徴とする。
According to the first pattern forming method of the present invention, a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface is filled with an ink layer composed of at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. The obtained transfer sheet is laminated on the transfer object from the ink layer side, the ink layer is transferred to the transfer object, and the transfer object on which the ink layer has been transferred is baked.

【0020】本発明の第2のパターン形成方法は、凹状
パターンを一方の面に形成したベースフイルムにおける
凹状部内に、少なくともガラスフリットからなる無機成
分と焼成により除去される樹脂成分からなる第1のイン
キ層が充填され、更に前記凹状パターン上に少なくとも
ガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去され
る樹脂成分からなる第2のインキ層を積層した転写シー
トを、該第2のインキ層側から被転写体にラミネートし
て第1及び第2のインキ層を同時に転写し、該第1及び
第2のインキ層が転写された被転写体を焼成することを
特徴とする。
According to a second pattern forming method of the present invention, a first pattern comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing is provided in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface. A transfer sheet in which an ink layer is filled and a second ink layer comprising at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern, is coated from the second ink layer side. The method is characterized in that the first and second ink layers are simultaneously transferred by lamination on a transfer member, and the transfer member on which the first and second ink layers have been transferred is baked.

【0021】本発明の第3のパターン形成方法は、凹状
パターンを一方の面に形成したベースフイルムにおける
凹状部内に、少なくともガラスフリットからなる無機成
分と焼成により除去される樹脂成分からなる第1のイン
キ層が充填されると共に、前記凹状パターン上に少なく
ともガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去
される樹脂成分からなる第2のインキ層が積層され、更
に、該第2のインキ層上に第3のインキ層を積層した転
写シートを、該第3のインキ層側から被転写体にラミネ
ートして第1〜第3のインキ層を同時に転写し、該第1
〜第3のインキ層が転写された被転写体を焼成すること
を特徴とする。
According to a third pattern forming method of the present invention, in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface, a first component comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. While the ink layer is filled, a second ink layer made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern, and a second ink layer made of a resin component removed by firing is further formed on the second ink layer. The transfer sheet on which the third ink layer is laminated is laminated on the transfer object from the third ink layer side, and the first to third ink layers are simultaneously transferred.
The method is characterized in that the object to which the third ink layer has been transferred is baked.

【0022】上記のパターン形成方法がプラズマディス
プレイパネル形成方法であって、被転写体がプラズマデ
ィスプレーパネル基板であり、インキ層パターンがプラ
ズマディスプレイパネル部材パターンであることを特徴
とする。
The above pattern forming method is a plasma display panel forming method, wherein the object to be transferred is a plasma display panel substrate, and the ink layer pattern is a plasma display panel member pattern.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の転写シートおよび
パターン形成方法について、PDP作製を例として説明
する。AC型PDPは、例えば、図14に示すように、
2枚のガラス基板1、2が互いに平行に且つ対向して配
設されており、両者は背面板となるガラス基板2上に互
いに平行に設けられたセル障壁3により一定の間隔に保
持されている。前面板となるガラス基板1の背面側に
は、放電維持電極である透明電極4とバス電極である金
属電極5とで構成される複合電極が互いに平行に形成さ
れ、これを覆って、誘電体層6が形成されており、さら
にその上に保護層(MgO層)が形成されている。ま
た、背面板となるガラス基板2の前面側には介して前記
複合電極と直交するようにセル障壁3の間に位置してア
ドレス電極8が互いに平行に形成されており、さらにセ
ル障壁3の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光面9が
設けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The transfer sheet and the pattern forming method of the present invention will be described below by taking PDP production as an example. The AC type PDP is, for example, as shown in FIG.
Two glass substrates 1 and 2 are arranged in parallel and opposed to each other, and both are held at a fixed interval by a cell barrier 3 provided in parallel with each other on a glass substrate 2 serving as a back plate. I have. On the back side of the glass substrate 1 serving as the front plate, a composite electrode composed of a transparent electrode 4 serving as a discharge sustaining electrode and a metal electrode 5 serving as a bus electrode is formed in parallel with each other. A layer 6 is formed, and a protective layer (MgO layer) is further formed thereon. In addition, address electrodes 8 are formed on the front side of the glass substrate 2 serving as the back plate and between the cell barriers 3 so as to be perpendicular to the composite electrode with the address electrodes 8 formed in parallel with each other. A fluorescent screen 9 is provided so as to cover the wall surface and the cell bottom.

【0024】また、図15に示すように下地層10を背
面板となるガラス基板2に形成した後、アドレス電極
8、誘電体層6′、セル障壁3、蛍光体面9を順次設け
た構造とする場合もある。
Further, as shown in FIG. 15, after a base layer 10 is formed on a glass substrate 2 serving as a back plate, an address electrode 8, a dielectric layer 6 ', a cell barrier 3, and a phosphor surface 9 are sequentially provided. In some cases.

【0025】このAC型PDPは面放電型であって、前
面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、空間に漏れた
電界で放電させる構造である。この場合、交流をかけて
いるために電界の向きは周波数に対応して変化する。そ
して、この放電により生じる紫外線により蛍光体9を発
光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるもの
である。なお、DC型PDPにあっては、電極は誘電体
層で被覆されていない構造を有する点で相違するが、そ
の放電現象は同一である。
The AC type PDP is of a surface discharge type, and has a structure in which an AC voltage is applied between the composite electrodes on the front plate to discharge by an electric field leaking into the space. In this case, since the alternating current is applied, the direction of the electric field changes according to the frequency. Then, the phosphor 9 is caused to emit light by the ultraviolet rays generated by the discharge, and the light transmitted through the front plate can be visually recognized by an observer. It should be noted that the DC type PDP is different in that the electrodes have a structure not covered with a dielectric layer, but the discharge phenomenon is the same.

【0026】図1は、凹状パターンを形成したベースフ
イルムの断面図であり、図2は、本発明の第1の転写シ
ートの断面図であり、また、図3と図4は、本発明の第
1のパターン形成方法を説明するための図である。図中
11はベースフイルム、12は凹状パターン、13はイ
ンキ層、14は被転写体である。
FIG. 1 is a sectional view of a base film on which a concave pattern is formed, FIG. 2 is a sectional view of a first transfer sheet of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are sectional views of the present invention. FIG. 3 is a diagram for explaining a first pattern forming method. In the figure, reference numeral 11 denotes a base film, 12 denotes a concave pattern, 13 denotes an ink layer, and 14 denotes an object to be transferred.

【0027】ベースフイルム11は、インキ層における
溶剤に侵されず、また、工程中における加熱処理により
収縮延伸しないことが必要であり、高分子材料として
は、例えばポリエチレンテレフタレート、1,4−ポリ
シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
スチレン、ポリプロピレン、ポリサルホン、アラミド、
ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、セロハン、
酢酸セルロース等のセルロース誘導体、ポリエチレン、
ポリ塩化ビニル、ナイロン、ポリイミド、アイオノマー
等の各フイルム、シート、また、アルミニウム、銅、イ
ンバー材料(36Ni−Fe合金、42Ni−Fe合
金)等の金属や合金シート、更に、ガラスや無機材料か
らなるセラミックシート、もしくはこれらの複合シート
が挙げられる。特に複合シートとして、高分子フイルム
とセラミックシートまたは熱変形の小さな金属シートと
の積層シートを使用すると柔軟で、機械的強度が強く、
熱変形の小さなシートが得られるので好ましい。また、
気体は通すが液体(インキ成分)は通さないような多孔
質フイルムを使用してもよく、この場合には凹状パター
ンにおける凹部にパターン形成材料を充填し、被転写体
に転写する際にベースフイルムの背面側からエアを送る
ことにより充填されたパターン形成材料の剥離性を改善
することができ、インキ層の転写性に優れるものとでき
る。ベースフイルムの膜厚としては、10μm〜500
μm、好ましくは20μm〜300μmとするとよい。
The base film 11 is required not to be affected by the solvent in the ink layer and not to be contracted and stretched by the heat treatment during the process. Examples of the polymer material include polyethylene terephthalate and 1,4-polycyclohexyl. Silylene methylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide, polystyrene, polypropylene, polysulfone, aramid,
Polycarbonate, polyvinyl alcohol, cellophane,
Cellulose derivatives such as cellulose acetate, polyethylene,
Films and sheets such as polyvinyl chloride, nylon, polyimide, and ionomer; metal and alloy sheets such as aluminum, copper, and invar materials (36Ni-Fe alloy and 42Ni-Fe alloy); and glass and inorganic materials. A ceramic sheet or a composite sheet of these may be used. In particular, when a composite sheet is used as a composite sheet, a laminated sheet composed of a polymer film and a ceramic sheet or a metal sheet having a small thermal deformation is flexible, has high mechanical strength,
This is preferable because a sheet having small thermal deformation can be obtained. Also,
A porous film that allows gas to pass but not liquid (ink component) may be used. In this case, the concave portion of the concave pattern is filled with a pattern forming material, and the base film is transferred to the transfer target. By sending air from the back side of the substrate, the releasability of the filled pattern forming material can be improved, and the transferability of the ink layer can be improved. The film thickness of the base film is 10 μm to 500 μm.
μm, preferably 20 μm to 300 μm.

【0028】凹状パターン12は、本発明の第1の転写
シートを使用して作製される電極や障壁パターン等に対
応した形状を有するものである。凹状パターンにおける
凹部の形状としては断面四角形状としてもよいが、図1
に図示するように、ベースフイルム側を長辺とする断面
台形形状とするとよく、転写性を向上させることができ
る。凹部の深さは、凹状パターンを電極パターンとする
場合には、5μm〜50μm、障壁パターンとする場合
には100μm〜200μm、下地パターンとする場合
には5μm〜50μm、誘電体パターンとする場合には
5μm〜50μm程度である。
The concave pattern 12 has a shape corresponding to an electrode, a barrier pattern, and the like produced by using the first transfer sheet of the present invention. Although the shape of the concave portion in the concave pattern may be a square cross section, FIG.
As shown in the figure, the base film is preferably formed to have a trapezoidal cross section with the long side as the long side, so that transferability can be improved. The depth of the concave portion is 5 μm to 50 μm when the concave pattern is an electrode pattern, 100 μm to 200 μm when a barrier pattern is used, and 5 μm to 50 μm when a base pattern is used. Is about 5 μm to 50 μm.

【0029】凹状パターンの形成方法としては、(1)
凹版やロール凹版に硬化性樹脂、例えば電離放射線硬化
性樹脂、電離放射線崩壊性樹脂、熱硬化性樹脂等や、ま
た、熱可塑性樹脂からなるインキを充填した後、ベース
フイルム上に転写して凹状パターンを形成する方法、
(2)ベースフイルム上に電離放射線硬化性樹脂(ネガ
型)、電離放射線崩壊性樹脂(ポジ型)からなるインキ
をベタ塗布した後、凹状パターンをフォトリソグラフィ
により形成する方法、(3)ベースフイルム自体の表面
をエンボス加工やエッチング加工により形成するか、又
はその表面に凹状パターンを有するように高分子フイル
ムを成型加工する方法等が挙げられる。
The method of forming the concave pattern is as follows (1)
After filling the intaglio or roll intaglio with a curable resin, for example, ionizing radiation-curable resin, ionizing radiation-degradable resin, thermosetting resin, etc., or an ink composed of a thermoplastic resin, the ink is transferred to a base film to form a concave shape. How to form a pattern,
(2) A method in which an ink composed of an ionizing radiation-curable resin (negative type) and an ionizing radiation-disintegrating resin (positive type) is solid-coated on a base film, and then a concave pattern is formed by photolithography. (3) The base film Examples thereof include a method of forming the surface of the film itself by embossing or etching, and a method of molding a polymer film so as to have a concave pattern on the surface.

【0030】電離放射線硬化性樹脂としては、紫外線或
いは電子線硬化性樹脂等が挙げられ、分子中に重合性不
飽和結合またはエポキシ基を有するプレポリマー、オリ
ゴマー及び/または単量体を適宜混合した組成物を用い
ることができる。
Examples of the ionizing radiation curable resin include an ultraviolet ray or an electron beam curable resin, and a prepolymer, an oligomer and / or a monomer having a polymerizable unsaturated bond or an epoxy group in a molecule are appropriately mixed. Compositions can be used.

【0031】プレポリマー、オリゴマーとしては、不飽
和ジカルボン酸と多価アルコールの縮合物等の不飽和ポ
リエステル類、エポキシ樹脂、ポリエステルメタクリレ
ート、ポリエーテルメタクリレート、ポリオールメタク
リレート、ポリグリシジルメタクリレート、クロロメチ
ル化ポリナフチルメタクリレート等のメタクリレート
類、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレ
ート、ポリオールアクリレート等のアクリレート類、そ
の他、クロロメチル化ポリスチレン、塩素化ポリメチル
スチレン、ヨウ素化ポリスチレン、ポリメタクリレート
−マレイン酸共重合体、ポリグリシジルメタクリレート
−アクリル酸エチル共重合体、グリシジルメタクリレー
ト−スチレン共重合体、エポキシ化ポリブタジエン、ポ
リジアリルフタレート、部分クロル化ポリビニルトルエ
ン、クロロメチル化ポリジフェニルシロキサン等が挙げ
られる。
Examples of the prepolymer and oligomer include unsaturated polyesters such as condensates of unsaturated dicarboxylic acids and polyhydric alcohols, epoxy resins, polyester methacrylates, polyether methacrylates, polyol methacrylates, polyglycidyl methacrylates, and chloromethylated polynaphthyl. Methacrylates such as methacrylate, acrylates such as polyester acrylate, polyether acrylate, and polyol acrylate, and others, chloromethylated polystyrene, chlorinated polymethylstyrene, iodinated polystyrene, polymethacrylate-maleic acid copolymer, polyglycidyl methacrylate- Ethyl acrylate copolymer, glycidyl methacrylate-styrene copolymer, epoxidized polybutadiene, polydiallyl phthalate , Partially chlorinated polyvinyl toluene, chloromethylated polydiphenylsiloxane and the like.

【0032】単量体としては、少なくとも1つの重合可
能な炭素−炭素不飽和結合を有する化合物が挙げられ
る。例えばアリルアクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシエチレング
リコールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、
ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニル
アクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリ
セロールアクリレート、グリシジルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ルアクリレート、イソボニルアクリレート、イソデキシ
ルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリル
アクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メト
キシエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチ
ルアクリレート、ステアリルアクリレート、エチレング
リコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアク
リレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、
1,5−ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジアクリレート、1,3−プロパンジオ
ールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオール
ジアクリレート、2,2−ジメチロールプロパンジアク
リレート、グリセロールジアクリレート、トリプロピレ
ングリコールジアクリレート、グリセロールトリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポ
リオキシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリ
コールジアクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロ
ールプロパントリアクリレート、ブチレングリコールジ
アクリレート、1,2,4−ブタントリオールトリアク
リレート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタン
ジオールジアクリレート、ジアリルフマレート、1,1
0−デカンジオールジメチルアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、及び上記のアクリレ
ート体をメタクリレート体に変えたもの、γ−メタクリ
ロキシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−
ピロリドン等の1種または2種以上の混合物が挙げられ
る。
Examples of the monomer include a compound having at least one polymerizable carbon-carbon unsaturated bond. For example, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxyethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate,
Dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, 2-
Hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isobonyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol Diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate,
1,5-pentanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,3-propanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, 2,2-dimethylolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, Tripropylene glycol diacrylate, glycerol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, polyoxyethylated trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyoxypropyl trimethylolpropane triacrylate , Butylene glycol diacrylate, 1,2,4-butanetriol triacrylate, 2,2 4-trimethyl-1,3-pentanediol diacrylate, diallyl fumarate, 1,1
0-decanediol dimethyl acrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and the above acrylate compound changed to a methacrylate compound, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-
One or a mixture of two or more such as pyrrolidone is mentioned.

【0033】特に、紫外線硬化型の場合には、前記組成
物に光開始剤として、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル
安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン、α−アミノアセトフェノン、4,4−ジクロロ
ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニ
ルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−
ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−
フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセ
トフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサント
ン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオ
キサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチ
ルケタール、ベンジルメトキシエチルアセタール、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ア
ントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、
2−アミルアントラキノン、β−クロロアントラキノ
ン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンズスベロ
ン、メチレンアントロン、4−アジドベンジルアセトフ
ェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シク
ロヘキサン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)
−4−メチルシクロヘキサノン、2−フェニル−1,2
−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシ
ム、1−フェニル−プロパンジオン−2−(o−エトキ
シカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニル−プロパ
ントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシ
ム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパントリオン−
2−(o−ベンゾイル)オキシム、ミヒラーケトン、2
−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モル
フォリノ−1−プロパン、ナフタレンスルホニルクロラ
イド、キノリンスルホニルクロライド、n−フェニルチ
オアクリドン、4,4−アゾビスイソブチロニトリル、
ジフェニルジスルフィド、ベンゾチアゾールジスルフィ
ド、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、四臭
素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾ
イル、エオシン、メチレンブルー等の光還元性の色素と
アスコルビン酸、トリエタノールアミン等の還元剤の組
合せ等、また、これらの光開始剤の1種または2種以上
を組み合わせて添加される。
In particular, in the case of an ultraviolet curable type, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, and 4,4-bis (diethylamino) are used as photoinitiators in the composition. Benzophenone, α-aminoacetophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,2-
Diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-
Phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyldimethylketal, benzylmethoxyethylacetal , Benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone,
2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzsuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzylacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexane, 2,6-bis (p-azidobenzylidene)
-4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2
-Butadione-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, -Phenyl-3-ethoxy-propanetrione-
2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2
-Methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, n-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile,
Photoreducing dyes such as diphenyl disulfide, benzothiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenyl sulfone, benzoyl peroxide, eosin, and methylene blue and reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine A combination or the like, and one or more of these photoinitiators are added in combination.

【0034】また、電離放射線崩壊性樹脂としては、上
述した電離放射線硬化性樹脂と同様、電離放射線の照射
により硬化させた後、例えば照射量1×10-3C/cm
2 、加速電圧10kV〜30kVの電離放射線を照射す
るとその重合主鎖が切断され、現像液への溶解性が増加
する性質を有する。
As the ionizing radiation-degradable resin, similarly to the above-mentioned ionizing radiation-curable resin, after being cured by irradiation with ionizing radiation, for example, the irradiation amount is 1 × 10 −3 C / cm.
2. When irradiated with ionizing radiation having an accelerating voltage of 10 kV to 30 kV, the main chain of the polymer is cut, and the solubility in a developing solution is increased.

【0035】このような電離放射線崩壊性樹脂として
は、例えばメチルメタクリレート、メチルイソプロペニ
ルケトン、テトラフルオロプロピルメタクリレート、ヘ
キサフルオロブチルメタクリレート、トリクロロエチル
メタクリレート、トリクロロエチル−α−クロロアクリ
レート等の単量体と、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル
安息香酸メチル等の他、上述した光開始剤を光開始剤と
するものからなる。また、ナフトキノンジアジド化合物
を感光剤とし、クレゾールノボラック樹脂をバインダー
とするポジ型レジストを使用してもよい。
Examples of such an ionizing radiation-disintegrating resin include monomers such as methyl methacrylate, methyl isopropenyl ketone, tetrafluoropropyl methacrylate, hexafluorobutyl methacrylate, trichloroethyl methacrylate, and trichloroethyl-α-chloroacrylate. Benzophenone, methyl o-benzoyl benzoate and the like, and the above-mentioned photoinitiator as a photoinitiator. Further, a positive resist using a naphthoquinonediazide compound as a photosensitive agent and a cresol novolak resin as a binder may be used.

【0036】更に、熱硬化樹脂としては、フェノール・
ホルマリン樹脂、尿素・ホルマリン樹脂、メラミン・ホ
ルマリン樹脂、フェノール・フルフラール樹脂、フルフ
ラール・アセトン樹脂、フルフリルアルコール樹脂、キ
シレン・ホルムアルデヒド樹脂、ケトン・ホルムアルデ
ヒド樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、ウレタン
樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、フルフラール樹脂、メ
ラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、トリアリルシア
ヌレート樹脂、アクロレイン系樹脂、アリル樹脂、熱硬
化性シリコーン樹脂、これらの共重合樹脂、混合樹脂等
からなり、インキ化される。
Further, as the thermosetting resin, phenol
Formalin resin, urea / formalin resin, melamine / formalin resin, phenol / furfural resin, furfural / acetone resin, furfuryl alcohol resin, xylene / formaldehyde resin, ketone / formaldehyde resin, alkyd resin, phenolic resin, urethane resin, urea resin, It is composed of an epoxy resin, a furfural resin, a melamine resin, an unsaturated polyester resin, a triallyl cyanurate resin, an acrolein resin, an allyl resin, a thermosetting silicone resin, a copolymer resin thereof, a mixed resin and the like, and is made into an ink.

【0037】また、凹状パターン12の形成材料として
熱可塑性樹脂を使用してもよく、例えばメチルアクリレ
ート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エ
チルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−
プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、
イソプロピルメタクリレート、sec−ブチルアクリレ
ート、sec−ブチルメタクリレート、イソブチルアク
リレート、イソブチルメタクリレート、tert−ブチ
ルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、n
−ペンチルアクリレート、n−ペンチルメタクリレー
ト、n−ヘキシルアクリレート、n−ヘキシルメタクリ
レート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチル
ヘキシルメタクリレート、n−オクチルアクリレート、
n−オクチルメタクリレート、n−デシルアクリレー
ト、n−デシルメタクリレート、ヒドロキシエチルアク
リレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキ
プロピルアクリレート、ヒドロキプロピルメタクリレー
ト、スチレン、α−メチルスチレン、N−ビニル−2−
ピロリドン等の1種以上からなるポリマーまたはコポリ
マー、エチルセルロース等のセルロース誘導体、ポリブ
テン誘導体等が挙げられ、溶剤等を添加してインキ化さ
れる。
Further, a thermoplastic resin may be used as a material for forming the concave pattern 12, for example, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl acrylate.
Propyl methacrylate, isopropyl acrylate,
Isopropyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, n
-Pentyl acrylate, n-pentyl methacrylate, n-hexyl acrylate, n-hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, n-octyl acrylate,
n-octyl methacrylate, n-decyl acrylate, n-decyl methacrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, N-vinyl-2-
Examples thereof include polymers or copolymers of one or more kinds such as pyrrolidone, cellulose derivatives such as ethylcellulose, and polybutene derivatives.

【0038】また、形状記憶性樹脂を使用してもよく、
凹状パターンの形状安定性に優れるものとできる。
Further, a shape memory resin may be used.
The shape stability of the concave pattern can be excellent.

【0039】凹版からの凹状パターンの転写性を向上さ
せることを目的として、凹版面に剥離層を設けるとよ
く、また、凹状パターン形成材料中に剥離剤を混練して
もよい。剥離剤としては、例えばポリエチレンワック
ス、アミドワックス、テフロンパウダー、シリコーンワ
ックス、カルナバワックス、アクリルワックス、パラフ
ィンワックス等のワックス類、フッ素系樹脂、メラミン
系樹脂、ポリオレフィン樹脂、電離放射線硬化型の多官
能アクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹
脂、アミノ変性、エポキシ変性、OH変性、COOH変
性、触媒硬化型、光硬化型、熱硬化型のシリコーンオイ
ル、またはシリコーン樹脂が例示される。剥離層を形成
する場合には膜厚1〜100μmのものとされる。
For the purpose of improving the transferability of the concave pattern from the intaglio, a release layer may be provided on the intaglio surface, and a release agent may be kneaded in the intaglio pattern forming material. Examples of the release agent include waxes such as polyethylene wax, amide wax, Teflon powder, silicone wax, carnauba wax, acrylic wax, paraffin wax, fluorine-based resin, melamine-based resin, polyolefin resin, and ionizing radiation-curable polyfunctional acrylate. Examples include resins, polyester resins, epoxy resins, amino-modified, epoxy-modified, OH-modified, COOH-modified, catalyst-curable, photocurable, and thermosetting silicone oils or silicone resins. When a release layer is formed, the thickness is 1 to 100 μm.

【0040】凹状パターン形成材料中に剥離剤を混練す
る場合、凹状パターン形成材料中に、0.01重量%〜
10重量%の程度とするとよい。
When the release agent is kneaded in the concave pattern forming material, the amount of the release agent is 0.01% by weight or less in the concave pattern forming material.
The content is preferably about 10% by weight.

【0041】凹状パターン形成材料として熱可塑性樹脂
を使用する場合には、剥離剤を同様に含有させてもよい
が、発泡剤、必要に応じて発泡促進剤や発泡抑制剤を含
有させることにより、凹状パターンが冷却する際の収縮
作用を利用して凹状パターンの凹版からの剥離性、転写
性を改善させることができる。
When a thermoplastic resin is used as the material for forming the concave pattern, a release agent may be contained in the same manner. However, by adding a foaming agent and, if necessary, a foaming accelerator or a foaming inhibitor, The releasability and transferability of the concave pattern from the intaglio plate can be improved by utilizing the shrinkage effect when the concave pattern is cooled.

【0042】このような発泡剤としては、高温で分解し
て酸素、炭酸ガス、窒素等のガスを発生するニトロペン
タメチレンテトラミン、ジアゾアミノベンセン、アゾビ
スイソブチロニトリル、アゾジカルボアミド等の分解型
発泡剤、ブタン、ペンタン等の低沸点液体をポリ塩化ビ
ニリデン、ポリアクリロニトリル等の樹脂でマイクロカ
プセルとしたマイクロバルーン等の発泡体、さらにこれ
らのマイクロバルーンを予め発泡させた発泡体が挙げら
れる。特に好ましい発泡剤は、比較的低温で発泡処理が
可能なものを使用するとよく、例えば、松本油脂製薬
(株)製から入手できる種々のグレードのマイクロバル
ーンが好ましい。発泡剤又は発泡体の含有量は、気泡を
含む層の発泡倍率が1.5〜20倍程度の範囲になる割
合とするとよい。
Examples of such a foaming agent include nitropentamethylenetetramine, diazoaminobenzene, azobisisobutyronitrile, azodicarbamide which decomposes at a high temperature to generate gases such as oxygen, carbon dioxide and nitrogen. Decomposition-type foaming agents, foams such as microballoons in which low-boiling liquids such as butane and pentane are microencapsulated with resins such as polyvinylidene chloride and polyacrylonitrile, and foams in which these microballoons are foamed in advance . Particularly preferred foaming agents are those which can be foamed at a relatively low temperature. For example, various grades of microballoons available from Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. are preferred. The content of the foaming agent or the foam may be set so that the foaming ratio of the layer containing the bubbles is in the range of about 1.5 to 20 times.

【0043】発泡条件は、熱可塑性樹脂からなる加熱発
泡性樹脂層の軟化点、軟化時の可塑性、流動性、使用す
る発泡剤の発泡温度、必要により添加される発泡促進
剤、または発泡抑制剤等の組合せ、また、これらの配合
比により相違し、また、発泡体の細胞構造、形状によっ
ても相違するが、例えばポリ塩化ビニル樹脂50〜75
重量部に対して、発泡剤としてアゾジカルボンアミドを
0.1重量部〜20重量部添加し、発泡促進剤として
鉛、亜鉛等を主体とするカルボン酸塩、発泡抑制剤とし
て無水トリメリット酸を使用し、180℃〜210℃で
1〜3分間の加熱温度条件とするとよい。加熱方法とし
ては、温風吹き付け、赤外線照射、誘電加熱等の方法が
用いられる。
The foaming conditions include the softening point of the heat-foamable resin layer made of a thermoplastic resin, plasticity and fluidity during softening, the foaming temperature of the foaming agent to be used, a foaming accelerator added as necessary, or a foaming inhibitor. And the like, and the mixing ratio thereof, and also the cell structure and shape of the foam.
With respect to parts by weight, azodicarbonamide is added as a foaming agent in an amount of 0.1 to 20 parts by weight, and a carboxylate mainly composed of lead, zinc, or the like as a foaming accelerator, and trimellitic anhydride as a foaming inhibitor. It is preferable to use a heating temperature of 180 ° C. to 210 ° C. for 1 to 3 minutes. As a heating method, a method such as hot air blowing, infrared irradiation, or dielectric heating is used.

【0044】なお、凹版からの凹状パターンの剥離性
は、ベースフイルムに対する接着性を考慮して、適宜設
定されるとよい。例えば、凹状パターン形成材料が電離
放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂である
場合には、後述するように、インキ層13のみを被転写
体14に転写させる必要があるので、ベースフイルムに
対する凹状パターンの接着性がある方がよく、ベースフ
イルムに接着剤層を設けてもよい。また、凹状パターン
形成材料が電離放射線崩壊性樹脂である場合には、凹状
パターン12はインキ層13と共に被転写体14に転写
されるものであるので、剥離処理方法、硬化方法等を適
宜設定して、凹版からの凹状パターンの剥離性、ベース
フイルムに対する接着性、また、被転写体への転写に際
してのベースフイルムからの剥離性の3者を両立させる
とよい。
The releasability of the concave pattern from the intaglio plate may be appropriately set in consideration of the adhesiveness to the base film. For example, when the concave pattern forming material is an ionizing radiation curable resin, a thermosetting resin, or a thermoplastic resin, it is necessary to transfer only the ink layer 13 to the transfer object 14, as described later. It is preferable that the concave pattern has adhesiveness to the film, and an adhesive layer may be provided on the base film. When the concave pattern forming material is an ionizing radiation disintegrating resin, since the concave pattern 12 is transferred to the transfer object 14 together with the ink layer 13, the peeling method, the curing method, and the like are appropriately set. Therefore, it is preferable to balance the three properties of the releasability of the concave pattern from the intaglio plate, the adhesiveness to the base film, and the releasability from the base film at the time of transfer to the transfer target.

【0045】凹版へのパターン形成材料の充填方法とし
ては、ドクターブレード方式、ロール塗布方式、エアプ
レスや真空引きによる方法の他に、スキージ、ドクタ
ー、どぶ漬け等の方式により充填した後、スクレパー、
フイルムワイピング、エアナイフ等により過剰分を除去
する方式が挙げられる。これらのいずれの方式において
も、粘度低下による塗布速度向上を目的とした温度調節
や脱泡を目的とする超音波処理を併用することができ
る。
The intaglio plate may be filled with the pattern forming material by a doctor blade method, a roll coating method, an air press or vacuuming method, or by a squeegee, a doctor, a soaked dip, etc.
A method of removing an excess by film wiping, an air knife, or the like may be used. In any of these systems, temperature control for the purpose of improving the coating speed by reducing the viscosity and ultrasonic treatment for the purpose of defoaming can be used in combination.

【0046】次に、図5により、凹状パターン12の形
成方法の一例として、電離放射線硬化性樹脂、電離放射
線崩壊性樹脂、熱硬化性樹脂等の硬化性樹脂を使用した
ロール凹版によりベースフイルムに凹状パターンを形成
する方法を説明する。
Next, referring to FIG. 5, as an example of a method for forming the concave pattern 12, a base intaglio is formed on a roll intaglio using a curable resin such as an ionizing radiation curable resin, an ionizing radiation degradable resin, and a thermosetting resin. A method for forming a concave pattern will be described.

【0047】図中、11はベースフイルム、12は凹状
パターン、33はロール凹版、34は凹部、35は樹脂
供給装置、36は硬化性樹脂、37は硬化装置、39は
剥離ロール、40は塗工部、44は給紙巻取ロール、4
5は給紙側送りロール、47はコンベンセーターロー
ル、48は排紙巻取ロールである。
In the figure, 11 is a base film, 12 is a concave pattern, 33 is a roll intaglio, 34 is a concave, 35 is a resin supply device, 36 is a curable resin, 37 is a curing device, 39 is a release roll, and 40 is a coating roll. Section 44, feed roll,
Reference numeral 5 denotes a feed-side feed roll, 47 denotes a convention sweater roll, and 48 denotes a paper discharge take-up roll.

【0048】凹状パターン形成装置は、ベースフイルム
11を供給する給紙巻取ロール44、給紙側送りロール
45、コンベンセーターロール47、および排紙巻取ロ
ール48から構成されている。上記塗工部40は、ベー
スフイルム11を押圧する押圧ロール32、凹部34が
刻設されていたロール凹版33、硬化性樹脂36(この
時点では未硬化の液状である)をロール凹版33に塗工
するための樹脂供給装置35、ロール凹版の凹部34に
充填された液状の硬化性樹脂36を硬化させて固化させ
る硬化装置37、及び剥離ロール39からなる。
The concave pattern forming apparatus is composed of a paper feed take-up roll 44 for supplying the base film 11, a paper feed side feed roll 45, a conveyor roll 47, and a paper discharge take-up roll 48. The coating unit 40 applies a pressing roll 32 for pressing the base film 11, a roll intaglio 33 in which a concave portion 34 is engraved, and a curable resin 36 (an uncured liquid at this time) to the roll intaglio 33. It comprises a resin supply device 35 for processing, a curing device 37 for curing and solidifying the liquid curable resin 36 filled in the concave portion 34 of the roll intaglio, and a peeling roll 39.

【0049】塗工部40では、押圧ロール32によって
ベースフイルム11が押圧されて、ベースフイルム11
が押圧ロール32と剥離ロール39との間の位置で、樹
脂供給装置によって塗工された硬化性樹脂36を介して
ロール凹版33の版面に密着される。そして、ロール凹
版33は電動機等で駆動される駆動装置(図示せず)に
より、ベースフイルム11の送り速度とロール凹版33
の周速度が同調するように回転駆動されており、ロール
凹版33と該ロール凹版33に密着されたベースフイル
ム11との間でロール凹版の凹部34に充填された硬化
性樹脂36がそのままの状態で硬化装置37により硬化
させて固化することによりベースフイルム上に接着さ
せ、その後剥離ロール39によってベースフイルム11
がロール凹版33から剥離され、ベースフイルム上に凹
状パターン12が形成される。
In the coating section 40, the base film 11 is pressed by the pressing roll 32, and the base film 11 is pressed.
Is in close contact with the plate surface of the roll intaglio 33 via a curable resin 36 applied by a resin supply device at a position between the pressing roll 32 and the peeling roll 39. Then, the feed speed of the base film 11 and the roll intaglio 33 are controlled by a driving device (not shown) driven by an electric motor or the like.
And the curable resin 36 filled in the concave portion 34 of the roll intaglio between the roll intaglio 33 and the base film 11 in close contact with the roll intaglio 33 remains intact. The film is cured by a curing device 37 and solidified to adhere to the base film.
Is peeled from the roll intaglio 33 to form the concave pattern 12 on the base film.

【0050】上記押圧ロール32はベースフイルム11
をロール凹版の版面に押圧できればよいが、通常直径5
0〜300mm程度であり、金属製の軸芯の周囲にシリ
コーンゴム、天然ゴム等を被覆したものである。
The pressing roll 32 is used for the base film 11.
As long as it can be pressed against the plate surface of the roll intaglio,
The thickness is about 0 to 300 mm, which is obtained by coating a metal shaft core with silicone rubber, natural rubber, or the like.

【0051】硬化装置37は、硬化性樹脂の種類に応じ
て適宜選択することができるが、電磁波または荷電粒子
線のうち硬化性樹脂を架橋・重合させるエネルギー量子
を有する放射線を照射する装置を挙げることができる。
このような放射線として工業的に利用できるものは赤外
線、可視光、紫外線もしくは電子線等があり、その他マ
イクロ波やX線等の電磁波も利用できる。なお、図中3
8は線源から発する放射線を効率よくロール凹版に照射
するための反射鏡である。また、硬化装置37は、1基
のロール凹版に対して2基設けられており、且つこれら
の2基の硬化装置の線源S1 、S2 はロール凹版の中心
Oとを結んだ角S1 OS2 が70〜110°の角度範
囲、好ましくは90°の角度に設定されている。
The curing device 37 can be appropriately selected according to the type of the curable resin, and includes a device for irradiating radiation having energy quanta for crosslinking and polymerizing the curable resin among electromagnetic waves or charged particle beams. be able to.
Examples of such radiation that can be industrially used include infrared rays, visible light, ultraviolet rays, and electron beams. In addition, electromagnetic waves such as microwaves and X-rays can also be used. In addition, 3 in the figure
Reference numeral 8 denotes a reflecting mirror for efficiently irradiating radiation emitted from the radiation source to the roll intaglio. Further, two curing devices 37 are provided for one roll intaglio, and the sources S 1 and S 2 of these two curing devices have an angle S connecting the center O of the roll intaglio. 1 OS 2 is set in an angle range of 70 to 110 °, preferably 90 °.

【0052】ロール凹版33は、電子彫刻、エッチン
グ、ミル押し、電鋳等の方法で所定の凹部34を設けた
ものでよく、このロール凹版の材質はクロムを表面にメ
ッキした銅、鉄等の金属、硝子、石英等のセラミック
ス、アクリル、シリコン樹脂等の合成樹脂等が用いられ
る。また、シート上に電離放射線硬化性樹脂等によりパ
ターンを形成したシートをそのパターン面を外面として
ロールに巻回したものでもよい。ロール凹版の大きさは
特に限定されないが通常直径150〜1000mm、線
幅300〜2000mm程度である。また、ベースフイ
ルムとしては、硬化に際して放射線の硬化性樹脂への到
達を阻害しないものが好ましい。
The roll intaglio 33 may be provided with a predetermined concave portion 34 by a method such as electronic engraving, etching, mill pressing, electroforming, or the like. The material of the roll intaglio is copper, iron, or the like, whose surface is plated with chromium. Metals, ceramics such as glass and quartz, and synthetic resins such as acrylic and silicone resins are used. Further, a sheet in which a pattern is formed on the sheet with an ionizing radiation curable resin or the like may be wound around a roll with the pattern surface as an outer surface. Although the size of the roll intaglio is not particularly limited, it is usually about 150 to 1000 mm in diameter and about 300 to 2000 mm in line width. Further, as the base film, one that does not hinder the radiation from reaching the curable resin upon curing is preferable.

【0053】また、ベースフイルム上への凹状パターン
形成方法として、上述した凹版や凹版ロールを使用した
方法の他に、上述した電離放射線硬化性樹脂、電離放射
線崩壊性樹脂を使用したフォトリソグラフィにより形成
してもよい。
As a method of forming a concave pattern on a base film, in addition to the above-described method using an intaglio or an intaglio roll, a photolithography using an ionizing radiation-curable resin or an ionizing radiation-disintegrating resin is used. May be.

【0054】電離放射線硬化性樹脂を使用する場合に
は、ベースフイルム上に電離放射線硬化性樹脂からなる
インキをベタ塗布した後、フォトマスクを使用して、露
光部を硬化させた後、未露光部を現像除去することによ
りベースフイルム上に凹状パターンを形成することがで
きる。また、電離放射線崩壊性樹脂を使用する場合に
は、ベースフイルム上に電離放射線崩壊性樹脂からなる
インキをベタ塗布し、全面露光して硬化させた後、フォ
トマスクを使用して上述した崩壊条件で露光するか、ま
たは電子ビームを凹状パターン状に照射して、露光部に
おける硬化樹脂の主鎖を切断して現像液可溶性とし、現
像除去し、凹状パターンを形成することができる。
When an ionizing radiation-curable resin is used, an ink comprising the ionizing radiation-curable resin is solid-coated on a base film, the exposed portion is cured using a photomask, and then the unexposed portion is cured. By developing and removing the portion, a concave pattern can be formed on the base film. When an ionizing radiation-disintegrating resin is used, an ink composed of the ionizing radiation-disintegrating resin is solid-applied on the base film, and the entire surface is cured by exposure. , Or by irradiating an electron beam in a concave pattern to cut the main chain of the cured resin in the exposed portion to make it soluble in a developing solution, and remove it by development to form a concave pattern.

【0055】次に、図2に示すように、凹状パターンが
形成された凹版または凹版ロールにおける凹部12に
は、インキ層13が充填される。なお、本発明の転写シ
ートは平板状でなく、ロール状に巻き取られた状態とし
てもよいものである。
Next, as shown in FIG. 2, an ink layer 13 is filled in the concave portion 12 of the intaglio or intaglio roll in which the concave pattern is formed. Note that the transfer sheet of the present invention may not be in the form of a flat plate but may be in a state of being wound up in a roll shape.

【0056】インキ層13としては、その用途が下地形
成層、誘電体形成層の如き抵抗体層や障壁層の場合には
少なくともガラスフリットを有する無機成分と焼成によ
り除去される樹脂成分とからなる。
When the ink layer 13 is used for a resistor layer or a barrier layer such as a base forming layer or a dielectric forming layer, the ink layer 13 is composed of at least an inorganic component having a glass frit and a resin component removed by firing. .

【0057】ガラスフリットとしては、その軟化点が3
50℃〜650℃で、熱膨張係数α300 が60×10-7
/℃〜100×10-7/℃のものが挙げられる。ガラス
フリットの軟化点が650℃を越えると焼成温度を高く
する必要があり、その積層対象によっては熱変形したり
するので好ましくなく、また、350℃より低いと樹脂
等が分解、揮発する前にガラスフリットが融着し、層中
に空隙等の発生が生じるので好ましくない。また、熱膨
張係数が60×10-7/℃〜100×10-7/℃の範囲
外であると、ガラス基板の熱膨張係数との差が大きく、
歪み等を生じるので好ましくない。
The glass frit has a softening point of 3
At 50 ° C. to 650 ° C., the coefficient of thermal expansion α 300 is 60 × 10 −7
/ ° C to 100 × 10 -7 / ° C. If the softening point of the glass frit exceeds 650 ° C., it is necessary to increase the firing temperature, and depending on the lamination object, it is not preferable because it is thermally deformed. It is not preferable because glass frit is fused and voids and the like are generated in the layer. When the coefficient of thermal expansion is out of the range of 60 × 10 −7 / ° C. to 100 × 10 −7 / ° C., the difference from the coefficient of thermal expansion of the glass substrate is large,
It is not preferable because distortion occurs.

【0058】また、無機成分として、ガラスフリットの
他に無機粉体、無機顔料をそれぞれ2種以上を混合して
使用してもよい。無機粉体としては、骨材であって、必
要に応じて添加される。無機粉体は、焼成に際しての流
延防止、緻密性向上を目的とするものであり、ガラスフ
リットより軟化点が高いものであり、例えば酸化アルミ
ニウム、酸化硼素、シリカ、酸化チタン、酸化マグネシ
ウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリ
ウム、炭酸カルシウム等の各無機粉体が利用でき、平均
粒径0.1μm〜20μmのものが例示される。無機粉
体の使用割合は、ガラスフリット100重量部に対して
無機粉体0重量部〜30重量部とするとよい。
As the inorganic component, two or more kinds of inorganic powders and inorganic pigments may be used in addition to the glass frit. The inorganic powder is an aggregate, and is added as needed. The inorganic powder is intended to prevent casting during firing and to improve the compactness, and has a softening point higher than that of the glass frit, such as aluminum oxide, boron oxide, silica, titanium oxide, magnesium oxide, and oxide. Inorganic powders such as calcium, strontium oxide, barium oxide, and calcium carbonate can be used, and examples thereof include those having an average particle size of 0.1 μm to 20 μm. The inorganic powder may be used in an amount of 0 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the glass frit.

【0059】また、無機顔料としては、外光反射を低減
し、実用上のコントラストを向上させるために必要に応
じて添加されるものであり、暗色にする場合には、耐火
性の暗色顔料として、Co−Cr−Fe、Co−Mn−
Fe、Co−Fe−Mn−Al、Co−Ni−Cr−F
e、Co−Ni−Mn−Cr−Fe、Co−Ni−Al
−Cr−Fe、Co−Mn−Al−Cr−Fe−Si等
が挙げられる。また、耐火性の白色顔料としては、酸化
チタン、酸化アルミニウム、シリカ、炭酸カルシウム等
が挙げられる。無機顔料はガラスフリット100重量部
に対して、0重量部〜30重量部含有させるとよい。
Inorganic pigments are added as necessary to reduce external light reflection and improve practical contrast, and when darkening, they are used as fire-resistant dark pigments. , Co-Cr-Fe, Co-Mn-
Fe, Co-Fe-Mn-Al, Co-Ni-Cr-F
e, Co-Ni-Mn-Cr-Fe, Co-Ni-Al
-Cr-Fe, Co-Mn-Al-Cr-Fe-Si and the like. Examples of the fire-resistant white pigment include titanium oxide, aluminum oxide, silica, and calcium carbonate. The inorganic pigment may be contained in an amount of 0 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the glass frit.

【0060】焼成により除去される樹脂成分は、無機成
分のバインダーとして、また、転写性の向上を目的とし
て含有させるものであり、好ましくは熱可塑性樹脂であ
る。熱可塑性樹脂としては、上述した凹状パターン形成
材料で記載した熱可塑性樹脂を使用することができる
が、好ましくはメチルアクリレート、メチルメタクリレ
ート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n
−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレー
ト、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリ
レート、n−ブチルメタクリレート、n−ブチルアクリ
レート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチル
メタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチル
メタクリレート、tert−ブチルアクリレート、te
rt−ブチルメタクリレート、ヒドロキシエチルアクリ
レート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシ
プロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、2−エチルヘキシルメタクリレート、2−エチル
ヘキシルアクリレート等の1種以上からなるポリマーま
たはコポリマー、エチルセルロース、ポリブテン誘導体
が好ましい。なお、バインダーとして、焼成により除去
可能であればアルカリ現像型感光性樹脂や上述した凹状
パターン形成の際に説明した硬化性樹脂を使用してもよ
い。
The resin component removed by firing is contained as a binder for the inorganic component and for the purpose of improving transferability, and is preferably a thermoplastic resin. As the thermoplastic resin, the thermoplastic resin described in the concave pattern forming material described above can be used, and preferably, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n
-Propyl acrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, te
Preferred are polymers or copolymers of one or more of rt-butyl methacrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, ethyl cellulose, and polybutene derivatives. As the binder, an alkali-developable photosensitive resin or a curable resin described when forming the above-described concave pattern may be used as long as it can be removed by firing.

【0061】無機成分と樹脂成分との使用割合は、無機
成分100重量部に対して樹脂成分3重量部〜50重量
部、好ましくは5重量部〜30重量部の割合からなる。
樹脂成分が3重量部より少ないと、パターン形状保持性
が悪く、PDP等の作製に支障となるという問題が発生
する。また、50重量部より多くなると、焼成後の膜中
にカーボンが残り、品質が低下するので好ましくない。
また、必要に応じて可塑剤、増粘剤、分散剤、沈降防止
剤、消泡剤、剥離剤、レベリング剤等が添加される。
The proportion of the inorganic component to the resin component is 3 to 50 parts by weight, preferably 5 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the inorganic component.
When the amount of the resin component is less than 3 parts by weight, a problem arises in that the pattern shape retention is poor and the production of PDP or the like is hindered. On the other hand, if the amount exceeds 50 parts by weight, carbon remains in the film after sintering, and the quality is undesirably deteriorated.
If necessary, a plasticizer, a thickener, a dispersant, an anti-settling agent, an antifoaming agent, a release agent, a leveling agent and the like are added.

【0062】可塑剤は、転写性やインキの流動性を向上
させることを目的として添加され、例えばジメチルフタ
レート、ジブチルフタレート、ジ−n−オクチルフタレ
ート等のノルマルアルキルフタレート類、ジ−2−エチ
ルヘキシルフタレート、ジイソデシルフタレート、ブチ
ルベンジルフタレート、ジイソノニルフタレート、エチ
ルフタルエチルグリコレート、ブチルフタリルブチルグ
リコレート等のフタル酸エステル類、トリ−2−エチル
ヘキシルトリメリテート、トリ−n−アルキルトリメリ
テート、トリイソノニルトリメリテート、トリイソデシ
ルトリメリテート等のトリメリット酸エステル、ジメチ
ルアジペート、ジブチルアジペート、ジー2−エチルヘ
キシルアジペート、ジイソデシルアジペート、ジブチル
ジグリコールアジペート、ジー2−エチルヘキシルアゼ
テート、ジメチルセバケート、ジブチルセバケート、ジ
ー2−エチルヘキシルセバケート、ジー2−エチルヘキ
シルマレート、アセチル−トリ−(2−エチルヘキシ
ル)シトレート、アセチル−トリ−n−ブチルシトレー
ト、アセチルトリブチルシトレート等の脂肪族二塩基酸
エステル類、ポリエチレングリコールベンゾエート、ト
リエチレングリコール−ジ−(2−エチルヘキソエー
ト)、ポリグリコールエーテル等のグリコール誘導体、
グリセロールトリアセテート、グリセロールジアセチル
モノラウレート等のグリセリン誘導体、セバシン酸、ア
ジピン酸、アゼライン酸、フタル酸などからなるポリエ
ステル系、分子量300〜3,000の低分子量ポリエ
ーテル、同低分子量ポリ−α−スチレン、同低分子量ポ
リスチレン、トリメチルホスフェート、トリエチルホス
フェート、トリブチルホスフェート、トリ−2−エチル
ヘキシルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェー
ト、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェ
ート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニ
ルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、
2−エチルヘキシルジフェニルホスフェート等の正リン
酸エステル類、メチルアセチルリシノレート等のリシノ
ール酸エステル類、ポリ−1,3−ブタンジオールアジ
ペート、エポキシ化大豆油等のポリエステル・エポキシ
化エステル類、グリセリントリアセテート、2−エチル
ヘキシルアセテート等の酢酸エステル類が例示される。
The plasticizer is added for the purpose of improving the transferability and the fluidity of the ink. For example, normal alkyl phthalates such as dimethyl phthalate, dibutyl phthalate and di-n-octyl phthalate, and di-2-ethylhexyl phthalate are used. Phthalic acid esters such as diisodecyl phthalate, butyl benzyl phthalate, diisononyl phthalate, ethyl phthalethyl glycolate and butyl phthalyl butyl glycolate, tri-2-ethylhexyl trimellitate, tri-n-alkyl trimellitate, triiso Trimellitate esters such as nonyl trimellitate and triisodecyl trimellitate, dimethyl adipate, dibutyl adipate, di-2-ethylhexyl adipate, diisodecyl adipate, dibutyl diglycol adipate , Di-2-ethylhexyl acetate, dimethyl sebacate, dibutyl sebacate, di-2-ethylhexyl sebacate, di-2-ethylhexyl malate, acetyl-tri- (2-ethylhexyl) citrate, acetyl-tri-n-butyl Aliphatic dibasic acid esters such as citrate and acetyl tributyl citrate, glycol derivatives such as polyethylene glycol benzoate, triethylene glycol di- (2-ethylhexoate) and polyglycol ether;
Glycerol derivatives such as glycerol triacetate and glycerol diacetyl monolaurate; polyesters composed of sebacic acid, adipic acid, azelaic acid, phthalic acid, etc .; low molecular weight polyethers having a molecular weight of 300 to 3,000; low molecular weight poly-α-styrene , The same low molecular weight polystyrene, trimethyl phosphate, triethyl phosphate, tributyl phosphate, tri-2-ethylhexyl phosphate, tributoxyethyl phosphate, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, xylendiphenyl Phosphate,
Orthophosphates such as 2-ethylhexyldiphenyl phosphate, ricinoleates such as methylacetyl ricinoleate, poly-1,3-butanediol adipate, polyester epoxidized esters such as epoxidized soybean oil, glycerin triacetate, Acetates such as 2-ethylhexyl acetate are exemplified.

【0063】増粘剤は、インキにおける粘度を増大させ
ることを目的として必要に応じて添加されるものであ
り、公知のものを使用できるが、例えばヒドロキシエチ
ルセルロース、メチルセルロース、カルボキシメチルセ
ルロース、アルギン酸ソーダ、カゼイン、カゼイン酸ソ
ーダ、キサンタンガム、ポリビニルアルコール、ポリエ
ーテルウレン変性物、ポリアクリル酸エステル、ポリメ
タクリル酸エステル、モンモタロナイト、ステアリン酸
アルミニウム、ステアリン酸亜鉛、オクチル酸アルミニ
ウム、水添加ひまし油、ひまし油エステル、脂肪酸アマ
イド、酸化ポリエチレン、デキストリン脂肪酸エステ
ル、ジベンジリデンソルビトール、植物油系重合油、表
面処理炭酸カルシウム、有機ベントナイト、シリカ、チ
タニア、ジルコニア、アルミナ等の微粉末等が挙げられ
る。
The thickener is added as needed for the purpose of increasing the viscosity of the ink, and known ones can be used. Examples thereof include hydroxyethyl cellulose, methyl cellulose, carboxymethyl cellulose, sodium alginate, casein and the like. , Sodium caseinate, xanthan gum, polyvinyl alcohol, modified polyether urethane, polyacrylates, polymethacrylates, monmotalonite, aluminum stearate, zinc stearate, aluminum octylate, water-added castor oil, castor oil ester, fatty acid Amide, polyethylene oxide, dextrin fatty acid ester, dibenzylidene sorbitol, vegetable oil-based polymerized oil, surface-treated calcium carbonate, organic bentonite, silica, titania, zirconia, Fine powder such as alumina and the like.

【0064】分散剤、沈降防止剤としては、無機成分の
分散性や沈降防止性の向上を目的とするものであり、例
えば燐酸エステル系、シリコーン系、ひまし油エステル
系、各種界面滑性剤等が例示され、消泡剤としては、例
えばシリコーン系、アクリル系、各種界面滑性剤等が例
示され、剥離剤としては、例えばシリコーン系、フッ素
油系、パラフィン系、脂肪酸系、脂肪酸エステル系、ひ
まし油系、ワックス系、コンパウンドタイプが例示さ
れ、レベリング剤としては、例えばフッ素系、シリコー
ン系、各種界面滑性剤等が例示され、それぞれ、適宜量
添加される。
The dispersant and anti-settling agent are intended to improve the dispersibility and anti-settling property of the inorganic component, and include, for example, a phosphate ester type, a silicone type, a castor oil ester type and various interface lubricants. Examples of the defoaming agent include, for example, silicone type, acrylic type, various interfacial lubricating agents, etc., and examples of the release agent include silicone type, fluorine oil type, paraffin type, fatty acid type, fatty acid ester type, castor oil. Examples include a system, a wax, and a compound type, and examples of the leveling agent include a fluorine-based, silicone-based, and various interfacial lubricating agents, each of which is added in an appropriate amount.

【0065】上記のインキ材料は、メタノール、エタノ
ール、イソプロパノール、アセトン、メチルエチルケト
ン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン等のアノン
類、塩化メチレン、3−メトキシブチルアセテート、エ
チレングリコールモノアルキルエーテル類、エチレング
リコールアルキルエーテルアセテート類、ジエチレング
リコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコー
ルモノアルキルエーテルアセテート類、プロピレングリ
コールモノアルキルエーテル類、プロピレングリコール
モノアルキルエーテルアセテート類、ジプロピレングリ
コールモノアルキルエーテル類、ジプロピレングリコー
ルモノアルキルエーテルアセテート類、α−若しくはβ
−テルピオネール等のテルペン類に溶解、または分散さ
せてインキとされる。また、このような溶剤を使用しな
いノンソルタイプのインキでもよい。
The above-mentioned ink materials include anions such as methanol, ethanol, isopropanol, acetone, methyl ethyl ketone, toluene, xylene, cyclohexanone, methylene chloride, 3-methoxybutyl acetate, ethylene glycol monoalkyl ethers, ethylene glycol alkyl ether acetate. , Diethylene glycol monoalkyl ethers, diethylene glycol monoalkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, dipropylene glycol monoalkyl ethers, dipropylene glycol monoalkyl ether acetates, α- or β
-An ink is obtained by dissolving or dispersing in terpenes such as terpionaire. Further, a non-sol type ink which does not use such a solvent may be used.

【0066】また、インキ層が電極形成用である場合に
は少なくともガラスフリットからなる無機成分、焼成に
より除去される樹脂成分、導電性粉末とから構成され
る。
When the ink layer is for forming an electrode, it is composed of at least an inorganic component made of glass frit, a resin component removed by firing, and a conductive powder.

【0067】無機成分としては、上述した障壁層等のイ
ンキ層の項で記載したガラスフリット、無機粉体、無機
顔料が使用できる。無機粉体はガラスフリット100重
量部に対して0重量部〜10重量部のものとするとよ
い。
As the inorganic component, the glass frit, the inorganic powder, and the inorganic pigment described in the section of the ink layer such as the barrier layer described above can be used. The inorganic powder is preferably from 0 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the glass frit.

【0068】樹脂成分としては、上述した障壁層等のイ
ンキ層の項で記載した樹脂を使用することができ、焼成
により除去される樹脂成分の電極形成層形成用インキ中
の含量は、3〜60重量%、好ましくは5〜30重量%
である。
As the resin component, the resins described in the section of the ink layer such as the barrier layer described above can be used, and the content of the resin component removed by firing in the ink for forming an electrode forming layer is 3 to 3. 60% by weight, preferably 5 to 30% by weight
It is.

【0069】導電性粉末としては、金、銀、銅、ニッケ
ル、アルミニウム等の金属粉末が挙げられ、平均粒径が
0.1μm〜5μmの球形金属粉体が好ましい。導電性
粉末とガラスフリットとの使用割合は、導電性粉末10
0重量部に対して、ガラスフリットは2重量部〜20重
量部である。
Examples of the conductive powder include metal powders such as gold, silver, copper, nickel, and aluminum. Spherical metal powder having an average particle diameter of 0.1 μm to 5 μm is preferable. The ratio of the conductive powder and the glass frit used is as follows.
The glass frit is 2 to 20 parts by weight with respect to 0 parts by weight.

【0070】また、電極形成層形成用インキには、必要
に応じて可塑剤、分散剤、沈降防止剤、消泡剤、剥離
剤、レベリング剤を添加してもよく、いずれも、上述し
た障壁層等を形成する項で記載したものを使用できる。
電極形成層形成用インキとするには、上記の構成材料
を、必要に応じて上述した誘電体層等を形成する項で記
載したものと同様に溶剤と混合され、ロールミル、ビー
ズミル等により混練してインキ状の塗液とするか、また
はポールミル等により混練してスラリー状の塗液とされ
る。凹状パターン12へ上述したインキを充填する方法
としては、上述した凹状パターン12を形成する際に記
載した充填方法が同様に採用される。
Further, a plasticizer, a dispersant, an anti-settling agent, an antifoaming agent, a release agent and a leveling agent may be added to the ink for forming an electrode forming layer, if necessary. Those described in the section for forming a layer or the like can be used.
In order to form an ink for forming an electrode forming layer, the above constituent materials are mixed with a solvent, if necessary, in the same manner as described in the section for forming a dielectric layer and the like, and kneaded by a roll mill, a bead mill, or the like. To form an ink-like coating liquid, or kneaded with a pole mill or the like to obtain a slurry-like coating liquid. As a method for filling the concave pattern 12 with the above-described ink, the filling method described when the above-described concave pattern 12 is formed is similarly employed.

【0071】また、凹状パターンにおけるインキ層は、
顔料を相違させた複数層以上の積層構造としてもよい。
例えば、障壁形成層用パターンとして、凹部パターンの
底部にまず暗色インキ層を積層した後、次いでその暗色
インキ層上に白色インキ層を積層し、暗色インキ層と白
色インキ層の2層からなる充填構造としてもよい。ま
た、凹部パターンの底部にまず透明インキ層を積層した
後、次いで暗色インキ層、白色インキ層を順次積層した
3層構成としてもよい。このように複数層とすると、凹
状パターンにおけるインキ層が被転写体に転写された状
態では、PDP基板側からみて、白色層上に暗色層が積
層された複数層構成の障壁形成層とすることができる。
これにより、障壁において観察側が暗色となるので、P
DPにおけるコントラストが向上する。
The ink layer in the concave pattern is
It may have a laminated structure of a plurality of layers with different pigments.
For example, as a pattern for a barrier forming layer, a dark ink layer is first laminated on the bottom of the concave pattern, and then a white ink layer is laminated on the dark ink layer, and the filling is made up of two layers, a dark ink layer and a white ink layer. It may have a structure. Further, a three-layer structure in which a transparent ink layer is firstly laminated on the bottom of the concave pattern, and then a dark ink layer and a white ink layer are sequentially laminated may be adopted. When the ink layer in the concave pattern is transferred to the transfer target, the barrier layer is formed as a multilayer structure in which a dark layer is stacked on a white layer when viewed from the PDP substrate side. Can be.
As a result, the observation side becomes dark at the barrier.
The contrast in DP is improved.

【0072】また、電極形成用パターンとして、凹状パ
ターンの底部に導電性インキ層を設けた後、その導電性
層上に暗色インキ層を積層し、同様に積層構造としても
よい。この場合も観察側が暗色となるので、PDPにお
けるコントラストが向上する点で障壁形成層と同様であ
る。暗色インキ層は、前述の障壁形成層用インキと同様
に、ガラスフリット、無機粉体、暗色無機顔料、焼成に
より除去される樹脂成分からなる非導電性インキ層であ
ってもよいが、好ましくは無機粉体の代わりに導電性粉
末を含有する導電性インキ層とするとよく、上述した障
壁形成層等のインキ層の項で記載した暗色顔料をガラス
フリット100重量部に対して、2重量部〜700重量
部含有させるとよい。
Further, as a pattern for forming an electrode, a conductive ink layer may be provided at the bottom of the concave pattern, and then a dark ink layer may be laminated on the conductive layer to similarly form a laminated structure. Also in this case, since the observation side becomes dark, the contrast in the PDP is improved, which is the same as the barrier forming layer. The dark-colored ink layer may be a non-conductive ink layer composed of a glass frit, an inorganic powder, a dark-colored inorganic pigment, and a resin component removed by baking, as in the case of the barrier-forming layer ink described above, but is preferably used. A conductive ink layer containing a conductive powder in place of the inorganic powder may be used, and the dark pigment described in the section of the ink layer such as the barrier forming layer or the like is used in an amount of 2 parts by weight to 100 parts by weight of the glass frit. 700 parts by weight may be contained.

【0073】インキ層13の転写性を向上させることを
目的として、凹状パターン12表面に剥離層を設けても
よく、また、凹状パターン材料中、またはインキ層13
形成材料中に剥離剤を混練してもよい。
For the purpose of improving the transferability of the ink layer 13, a release layer may be provided on the surface of the concave pattern 12.
A release agent may be kneaded in the forming material.

【0074】剥離剤としては、例えばポリエチレンワッ
クス、アミドワックス、テフロンパウダー、シリコーン
ワックス、カルナバワックス、アクリルワックス、パラ
フィンワックス等のワックス類、フッ素系樹脂、メラミ
ン系樹脂、ポリオレフィン樹脂、電離放射線硬化型の多
官能アクリレート樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹
脂、アミノ変性、エポキシ変性、OH変性、COOH変
性、触媒硬化型、光硬化型、熱硬化型のシリコーンオイ
ル、またはシリコーン樹脂が例示され、凹状パターン1
2、またはインキ層13中に0.01重量%〜10重量
%含有させるとよい。また、凹状パターン表面に剥離層
を設ける場合には、その膜厚は、0.1〜50μm、好
ましくは1μm〜10μmのものとされる。
Examples of the release agent include waxes such as polyethylene wax, amide wax, Teflon powder, silicone wax, carnauba wax, acrylic wax, paraffin wax, fluorine resin, melamine resin, polyolefin resin, ionizing radiation curable type. Polyfunctional acrylate resin, polyester resin, epoxy resin, amino-modified, epoxy-modified, OH-modified, COOH-modified, catalyst-curable, light-curable, heat-curable silicone oils or silicone resins are exemplified.
2, or 0.01% by weight to 10% by weight in the ink layer 13. When a release layer is provided on the surface of the concave pattern, the thickness of the release layer is 0.1 to 50 μm, preferably 1 to 10 μm.

【0075】また、転写性を向上させる方法として、冷
却時のインキ層の収縮性を利用してもよい。凹状パター
ンの形成材料の冷却時の収縮率とインキ層材料のそれと
に差を持たせ、充填時にインキ層の温度を高くし、転写
時には冷却することにより、剥離性・転写性を向上させ
ることができる。また、インキ層が熱可塑性樹脂からな
る場合には、上述した凹状パターン形成に際して記載し
た発泡剤や発泡体を同様に添加し、冷却に際しての収縮
性を利用でき、剥離性に優れるものとなる。
As a method for improving the transferability, the shrinkage of the ink layer during cooling may be used. It is possible to improve the releasability and transferability by giving a difference between the contraction rate of the concave pattern forming material during cooling and that of the ink layer material, increasing the temperature of the ink layer during filling and cooling during transfer. it can. When the ink layer is made of a thermoplastic resin, the foaming agent or foam described above for forming the concave pattern is added in the same manner, so that the shrinkage upon cooling can be utilized, and the releasability is excellent.

【0076】なお、インキ層13を溶剤を使用しないノ
ンソルタイプとする場合には、例えばインキ層13を障
壁形成層、誘電体形成層等とする場合にはガラスフリッ
ト、無機粉体や無機顔料、有機成分からなる固体粉末、
あるいはガラスフリット等の無機成分粉末のみを、ま
た、電極形成層とする場合には導電性金属粉末、ガラス
フリットからなる粉末を、ベースフイルムの凹状パター
ン内に粉体のまま、或いは適当に湿らせて型で押し込ん
だり、真空引き等の方法で押し込むことにより充填する
とよい。
When the ink layer 13 is of a non-sol type which does not use a solvent, for example, when the ink layer 13 is a barrier forming layer, a dielectric forming layer, etc., a glass frit, an inorganic powder or an inorganic pigment is used. , A solid powder composed of organic components,
Alternatively, only an inorganic component powder such as a glass frit, or a conductive metal powder or a powder made of a glass frit as an electrode forming layer is wetted or powdered as appropriate in the concave pattern of the base film. It may be filled by pressing with a mold or pressing with a method such as vacuuming.

【0077】このようなノンソルタイプの場合には、転
写性の向上を目的として、凹状パターン中に剥離剤を練
り込んだものとするか、また凹状パターン表面を剥離処
理しておくとよい。また、ベースフイルムの背面から押
圧して、凹状パターンからインキ層を押し出し、転写さ
れるてもよいが、転写に際して、インキ層におけるガラ
スフリット成分が一部軟化する温度(降伏点)まで加熱
する際のインキ層の収縮作用を利用して転写してもよ
い。また、凹状パターンを電離放射線崩壊性樹脂から形
成しておき、インキ層と共に被転写体に転写した後、電
離放射線を照射して現像液可溶性とし、現像除去しても
よく、また、PDP作製に際しての焼成に際して焼成除
去してもよい。
In the case of such a non-sol type, for the purpose of improving transferability, it is preferable to incorporate a release agent into the concave pattern or to perform a release treatment on the surface of the concave pattern. Further, the ink layer may be extruded from the concave pattern by being pressed from the back of the base film and transferred. However, when transferring, the ink layer is heated to a temperature (yield point) at which the glass frit component in the ink layer partially softens. The transfer may be performed by utilizing the shrinkage action of the ink layer. Further, the concave pattern may be formed from an ionizing radiation-degradable resin, transferred to an object to be transferred together with the ink layer, irradiated with ionizing radiation to make the developer soluble, and removed by development. May be removed by firing.

【0078】次に、本発明の第1のパターン形成方法に
ついて説明する。凹状パターン12が電離放射線硬化性
樹脂、熱硬化性樹脂、または熱可塑性樹脂からなる場合
には、凹状パターン12からインキ層13のみが転写さ
れる。
Next, the first pattern forming method of the present invention will be described. When the concave pattern 12 is made of an ionizing radiation curable resin, a thermosetting resin, or a thermoplastic resin, only the ink layer 13 is transferred from the concave pattern 12.

【0079】図3、図4は、インキ層13のみを転写さ
せる場合について図示するものであり、インキ層13を
充填したベースフイルム11は、インキ層13側から被
転写体14にラミネートされた後、ベースフイルム11
の背面から押圧することによりインキ層13のみが転写
される。
FIGS. 3 and 4 show a case where only the ink layer 13 is transferred. The base film 11 filled with the ink layer 13 is laminated on the transfer member 14 from the ink layer 13 side. , Base film 11
, Only the ink layer 13 is transferred.

【0080】凹状パターン12が電離放射線崩壊性樹脂
からなる場合は、図6に示すように、凹状パターン12
とインキ層13を共に被転写体14上に転写し、凹状パ
ターン12を有しないベースフイルム11のみを剥離す
る。凹状パターン12とインキ層13が共に転写された
被転写体14は、電離放射線を照射すると凹状パターン
は現像液可溶性となるので、溶解除去でき、インキ層1
3のみを被転写体上に残存させることができる。
When the concave pattern 12 is made of an ionizing radiation-degradable resin, as shown in FIG.
The ink film 13 and the ink layer 13 are both transferred onto the transfer object 14, and only the base film 11 having no concave pattern 12 is peeled off. The transfer object 14 to which both the concave pattern 12 and the ink layer 13 have been transferred can be dissolved and removed because the concave pattern becomes soluble in a developing solution when irradiated with ionizing radiation.
Only 3 can be left on the transfer object.

【0081】転写シートと被転写体との押圧方法として
は、平プレス、ロールプレス、吸着多孔質ロールプレ
ス、円弧プレス等が挙げられる。平プレスは、プレス板
が平板状であり、アライメントが容易にとれ、円弧プレ
スも同様である。ロールプレスは、ロールを回転させつ
つ転写シートの背面から離間した転写シートと被転写体
とを押圧してインキ層13を転写すると共に転写後には
ベースフイルム(転写シート)を剥離するものであるた
め、作業性に優れる反面、転写シートに伸びが生じ、パ
ターン同士のアライメントに困難性がある。転写に際し
ては、例えば転写シートにおける障壁パターンと被転写
体における電極パターン相互のように、互いの位置精度
が重要である。
Examples of the method for pressing the transfer sheet and the transfer object include a flat press, a roll press, an adsorption porous roll press, and an arc press. In the flat press, the press plate is in a flat plate shape, alignment can be easily performed, and the same applies to the arc press. The roll press is for transferring the ink layer 13 by pressing the transfer sheet and the transfer object separated from the back surface of the transfer sheet while rotating the roll, and peeling the base film (transfer sheet) after the transfer. Although the workability is excellent, the transfer sheet is elongated, and there is difficulty in aligning the patterns. In the transfer, mutual positional accuracy is important, for example, as in the case of the barrier pattern on the transfer sheet and the electrode pattern on the transfer object.

【0082】それに対して、吸着多孔質ロールプレス
は、作業性と共に転写シートの伸びを防止できる点で優
れる。吸着多孔質ロールプレスは、ロールを多孔質とし
て転写シートを背面から吸着する吸着エリアを有し、そ
の吸着、脱着を部分部分で切替え可能とするもので、多
孔質ロールを回転させつつ転写シートの背面から離間し
た転写シートと被転写体とを押圧し、インキ層13を転
写すると共に転写後はベースフイルムを剥離するにあた
り、転写シートを吸着した状態で押圧することができる
ので、転写シートをテンションカット(無張力化)で
き、パターンの伸びを防止でき、また、作業性にも優れ
るものである。また、転写シートにおけるテンションを
完全にカットするために、転写シートを被転写体の大き
さにカットし、平プレス、円弧プレスにより転写する、
所謂「シート枚葉転写」としてもよい。更に、転写シー
トにおけるテンションを完全にカットするために、金属
フイルムを転写シート裏面に貼着したものとしてもよ
い。この方法によると、上述したロールプレス等におけ
る問題点を解消でき、また、転写シートをエンドレス化
でき、作業性に優れるものとできる。なお、金属フイル
ムを転写シート裏面に貼着したものとすると、転写シー
トに凹状パターンを形成する場合においても、位置精度
よく、凹状パターンをベースフイルムに形成することが
できる。
On the other hand, the adsorptive porous roll press is excellent in that workability and elongation of the transfer sheet can be prevented. The adsorption porous roll press has an adsorption area for adsorbing the transfer sheet from the back surface by making the roll porous, so that the adsorption and desorption can be switched in a partial portion, and the transfer sheet is rotated while rotating the porous roll. When the transfer sheet and the transfer object separated from the back surface are pressed to transfer the ink layer 13 and the base film is peeled after the transfer, the transfer sheet can be pressed in a sucked state. It can be cut (untensioned), can prevent pattern elongation, and is excellent in workability. Also, in order to completely cut the tension in the transfer sheet, the transfer sheet is cut to the size of the transfer object, and transferred by a flat press or an arc press.
It may be so-called “sheet sheet transfer”. Further, in order to completely cut the tension in the transfer sheet, a metal film may be attached to the back surface of the transfer sheet. According to this method, the above-mentioned problems in the roll press and the like can be solved, and the transfer sheet can be made endless, and workability can be improved. If the metal film is adhered to the back surface of the transfer sheet, the concave pattern can be formed on the base film with high positional accuracy even when a concave pattern is formed on the transfer sheet.

【0083】また、転写に際して、インキ層における樹
脂成分が熱可塑性樹脂である場合には、熱ロール、熱プ
レス等の手段を上述した転写方法に組み込み、加熱圧着
させ、インキ層のみを転写するとよい。また、電離放射
線硬化性樹脂、電離放射線崩壊性樹脂や熱硬化性樹脂の
場合には、紫外線、赤外光、レーザー光、電子線等の電
離放射線の照射手段を適宜組み込むとよい。また、転写
後に硬化させてもよい。
When the resin component in the ink layer is a thermoplastic resin at the time of transfer, means such as a hot roll and a hot press may be incorporated in the above-described transfer method, and the ink may be heated and pressed to transfer only the ink layer. . In the case of an ionizing radiation-curable resin, an ionizing radiation-disintegrating resin, or a thermosetting resin, a means for irradiating ionizing radiation such as ultraviolet light, infrared light, laser light, or an electron beam may be appropriately incorporated. Further, it may be cured after the transfer.

【0084】また、転写に際して、転写性の向上を目的
として、インキ層を溶剤処理し、インキ層に粘着性をも
たせる、所謂「ウエット転写」してもよく、必要があれ
ば加熱圧着してもよい。
In the transfer, for the purpose of improving the transferability, the ink layer may be subjected to a solvent treatment to give the ink layer tackiness, that is, so-called “wet transfer”. Good.

【0085】被転写体14は、パターンがPDP部材に
おける電極層である場合には下地層を有するガラス基板
または素ガラスであり、PDP部材における障壁層であ
る場合には下地層を有するかもしくは有しないガラス基
板上に電極層のみ、もしくは電極層、誘電体層を順次積
層したものが挙げられる。
The transferred object 14 is a glass substrate or elementary glass having an underlayer when the pattern is an electrode layer in a PDP member, and has or has an underlayer when the pattern is a barrier layer in a PDP member. And an electrode layer alone or an electrode layer and a dielectric layer sequentially laminated on a glass substrate which is not used.

【0086】第1の転写シートを使用してパターン転写
するにあたっては、所望の膜厚を得るために同一パター
ンで充填操作−転写操作を複数回繰り返してもよい。
In pattern transfer using the first transfer sheet, the filling operation and the transfer operation may be repeated a plurality of times with the same pattern in order to obtain a desired film thickness.

【0087】本発明の第1の転写シートを使用したパタ
ーン形成方法は、特に電極層、障壁層等の高精細なパタ
ーンを形成するのに適するものであり、作製時間を短縮
でき、歩留りを向上させることができる。また、表面平
滑性に優れ、かつ膜厚が均一で分布精度の良好なパター
ンが得られる。
The pattern forming method using the first transfer sheet according to the present invention is particularly suitable for forming a high-definition pattern such as an electrode layer and a barrier layer, and can shorten the manufacturing time and improve the yield. Can be done. In addition, a pattern having excellent surface smoothness, uniform film thickness, and good distribution accuracy can be obtained.

【0088】被転写体にインキ層がパターン状に転写さ
れた後、350℃〜650℃の焼成温度でインキ層にお
ける有機成分を気化、分解、揮発させることにより、溶
融したガラスフリットにより無機粉体が緻密に結合した
ものとでき、焼成により電極層、障壁層、下地層、誘電
体層等とされる。
After the ink layer is transferred to the transfer object in a pattern, the organic components in the ink layer are vaporized, decomposed and volatilized at a firing temperature of 350 ° C. to 650 ° C., so that the inorganic powder is formed by the molten glass frit. Are densely bonded, and are fired to form an electrode layer, a barrier layer, a base layer, a dielectric layer, and the like.

【0089】次に、本発明の第2の転写シートについて
説明する。図7は、本発明の第2の転写シートの断面図
であり、また、図8と図9は、本発明の第2のパターン
形成方法を説明するための図である。図中13′は第1
のインキ層、15は第2のインキ層であり、図2、図3
と同一符号は同一内容を示す。
Next, the second transfer sheet of the present invention will be described. FIG. 7 is a sectional view of the second transfer sheet of the present invention, and FIGS. 8 and 9 are views for explaining the second pattern forming method of the present invention. In the figure, 13 'is the first
The ink layer 15 is a second ink layer, which is shown in FIGS.
The same reference numerals indicate the same contents.

【0090】本発明の第2の転写シートは、凹状パター
ン12を一方の面に形成したベースフイルム11におけ
る凹状部内に、少なくともガラスフリットからなる無機
成分と焼成により除去される樹脂成分からなる第1のイ
ンキ層13′が充填され、更に該第1のインキ層13′
上に少なくともガラスフリットからなる無機成分と焼成
により除去される樹脂成分からなる第2のインキ層15
が積層されたものである。
The second transfer sheet of the present invention has a first pattern comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing in a concave portion of a base film 11 having a concave pattern 12 formed on one surface. Of the first ink layer 13 '.
A second ink layer 15 comprising at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing
Are laminated.

【0091】PDP作製用転写シートの場合、(1)第
1のインキ層を電極形成層、第2のインキ層を下地形成
層、(2)第1のインキ層を障壁形成層、第2のインキ
層を誘電体形成層とするものであり、被転写体14に第
1のインキ層と第2のインキ層を同時に転写することが
できる。それぞれの層の形成材料は、上述した第1の転
写シートに記載したものと同様である。障壁形成層の場
合には、上述したように、凹状パターンへの充填層とし
て暗色インキ層を使用すると、PDPにおけるコントラ
ストの高いものとできることは同様である。
In the case of a transfer sheet for producing a PDP, (1) the first ink layer is an electrode forming layer, the second ink layer is a base forming layer, (2) the first ink layer is a barrier forming layer, and the second ink layer is a barrier forming layer. The first ink layer and the second ink layer can be simultaneously transferred to the transfer object 14 by using the ink layer as a dielectric forming layer. The material for forming each layer is the same as that described in the first transfer sheet. In the case of the barrier forming layer, as described above, when a dark ink layer is used as a filling layer for the concave pattern, the contrast in the PDP can be similarly increased.

【0092】第2のインキ層15は、第1のインキ層が
充填された凹状パターン12上に、下地層、誘電体層の
それぞれのパターンに応じた形状で積層される。第2の
インキ層は、第1のインキ層をその凹部に充填した凹状
パターン12上にスクリーン印刷等により塗布される
が、例えば障壁形成層である第1のインキ層を凹状パタ
ーン中に充填するにあたり、乾燥処理されると体積収縮
が生じ、間隙が生じる。この方法によるとその間隙部に
誘電体形成材料を補充することができ、より、障壁形成
層を精度よく作製することができる。なお、別のフイル
ム上に第2のインキ層が塗布されて作製した転写シート
を使用して、第1のインキ層をその凹部に充填した凹状
パターン12上に第2のインキ層を転写により形成して
もよい。また、第2のインキ層を電離放射線硬化性樹脂
や電離放射線崩壊性樹脂等の感光性樹脂からなるインキ
を使用してパターン形成してもよく、例えば、アルカリ
現像型感光性樹脂からなるインキをベタ塗布した後、フ
ォトマスクを介してパターン状に露光、現像することに
より形成してもよい。
The second ink layer 15 is laminated on the concave pattern 12 filled with the first ink layer in a shape corresponding to the respective patterns of the underlayer and the dielectric layer. The second ink layer is applied by screen printing or the like on the concave pattern 12 in which the first ink layer is filled in the concave portion, and for example, the first ink layer which is a barrier forming layer is filled in the concave pattern. In this case, when the drying treatment is performed, volume shrinkage occurs, and a gap is generated. According to this method, the gap can be replenished with the dielectric forming material, and the barrier forming layer can be more accurately manufactured. The second ink layer is formed by transfer on the concave pattern 12 in which the first ink layer is filled in the concave portion by using a transfer sheet prepared by applying the second ink layer on another film. May be. The second ink layer may be patterned using an ink composed of a photosensitive resin such as an ionizing radiation-curable resin or an ionizing radiation-degradable resin. For example, an ink composed of an alkali-developable photosensitive resin may be used. It may be formed by solid-applying, exposing and developing a pattern through a photomask, and developing.

【0093】第2のインキ層が下地形成層の場合、その
膜厚は5μm〜50μmであり、また、誘電体形成層の
場合には、その膜厚は5μm〜50μmである。
When the second ink layer is a base forming layer, its thickness is 5 μm to 50 μm, and when it is a dielectric forming layer, its thickness is 5 μm to 50 μm.

【0094】本発明の第2のパターン形成方法は、第2
の転写シートを被転写体14と重ねあわせ、第1のイン
キ層と第2のインキ層を同時に被転写体上に転写するも
のであるが、その転写方法は上述した第1のパターン形
成方法と同様である。
The second pattern forming method of the present invention comprises the following steps:
And the first ink layer and the second ink layer are simultaneously transferred onto the transfer object. The transfer method is the same as the first pattern forming method described above. The same is true.

【0095】被転写体への転写性を向上させるためは、
第2のインキ層上に接着剤層を必要に応じて設けてもよ
い。接着剤としては、前記した焼成により除去しうる熱
可塑性樹脂単独、またはこの熱可塑性樹脂に可塑剤また
は反応性モノマー等を添加したものが例示される。転写
後は、第1の転写シートを使用した場合と同様に、焼成
され、PDPとされる。
In order to improve the transferability to the transfer target,
An adhesive layer may be provided on the second ink layer as needed. Examples of the adhesive include a thermoplastic resin that can be removed by the above-described firing, or a resin obtained by adding a plasticizer or a reactive monomer to the thermoplastic resin. After the transfer, similarly to the case where the first transfer sheet is used, it is baked to form a PDP.

【0096】凹状パターン中にインキ層を充填する場
合、乾燥、また固化した段階では、収縮性からその充填
面はベースフイルム面より低くなり、転写性が悪化す
る。この現象はインキ層が膜厚の厚い障壁形成層のごと
き場合に顕著であるが、本発明の第2の転写方法、パタ
ーン形成方法によると凹状パターン上にインキ層を設け
るので、被転写体との接触面積が大きくなり、転写性し
やすくなるという利点がある。
When the ink layer is filled in the concave pattern, at the stage of drying and solidification, the filling surface is lower than the base film surface due to shrinkage, and transferability is deteriorated. This phenomenon is remarkable when the ink layer is a thick barrier-forming layer, but according to the second transfer method and the pattern forming method of the present invention, the ink layer is provided on the concave pattern, so There is an advantage that the contact area becomes large, and the transfer property becomes easy.

【0097】また、第2の転写シートを使用すると、複
数層を同時に転写により形成することができるので、作
業性に優れると共に層間のアライメントを転写シートの
段階で行うことができるので、位置精度の高いPDPと
できる。
When the second transfer sheet is used, a plurality of layers can be formed by transfer at the same time, so that workability is excellent and alignment between layers can be performed at the stage of the transfer sheet. High PDP can be achieved.

【0098】次に、本発明の第3の転写シートについて
説明する。図10は、本発明の第3の転写シートの断面
図であり、また、図11と図12は、本発明の第3のパ
ターン形成方法を説明するための図である。図中16は
第3のインキ層であり、図2、図3、図7と同一符号は
同一内容を示す。
Next, the third transfer sheet of the present invention will be described. FIG. 10 is a cross-sectional view of the third transfer sheet of the present invention, and FIGS. 11 and 12 are views for explaining the third pattern forming method of the present invention. In the figure, reference numeral 16 denotes a third ink layer, and the same reference numerals as those in FIGS. 2, 3 and 7 denote the same contents.

【0099】本発明の第3の転写シートは、凹状パター
ン12を一方の面に形成したベースフイルム11におけ
る凹状部内に、少なくともガラスフリットからなる無機
成分と焼成により除去される樹脂成分からなる第1のイ
ンキ層13′が充填されると共に、該第1のインキ層1
3′が充填された前記凹状パターン12上に少なくとも
ガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去され
る樹脂成分からなる第2のインキ層15が積層され、更
に、該第2のインキ層15上に第3のインキ層16が積
層された構造を有する。
In the third transfer sheet of the present invention, a concave portion of the base film 11 having the concave pattern 12 formed on one surface has a first portion comprising at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. Is filled with the first ink layer 1 '.
On the concave pattern 12 filled with 3 ', a second ink layer 15 made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated, and further on the second ink layer 15 The third ink layer 16 has a laminated structure.

【0100】PDP作製用転写シートの場合、第1のイ
ンキ層を障壁形成層、第2のインキ層を誘電体形成層、
第3のインキ層を電極形成層とするものであり、被転写
体14に第1〜第3のインキ層を同時に転写することが
できるものである。
In the case of a transfer sheet for producing a PDP, the first ink layer is a barrier forming layer, the second ink layer is a dielectric forming layer,
The third ink layer is used as an electrode forming layer, and the first to third ink layers can be simultaneously transferred to the transfer object 14.

【0101】それぞれの層の形成材料は、上述した第1
の転写シートに記載したものと同様であるが、第2、第
3のインキ層は、第1のインキ層が充填された凹状パタ
ーン12上に、誘電体層、電極形成層のそれぞれのパタ
ーンに応じた形状で順次積層される。
The material for forming each layer is the first material described above.
But the second and third ink layers are formed on the concave pattern 12 filled with the first ink layer, and on the respective patterns of the dielectric layer and the electrode forming layer. The layers are sequentially stacked in an appropriate shape.

【0102】第2、第3のインキ層は、第1のインキ層
が充填された凹状パターン12上にスクリーン印刷によ
り順次積層してもよく、また、順次転写により形成して
もよい。また、第2、第3のインキ層をそれぞれ電離放
射線硬化性樹脂や電離放射線崩壊性樹脂等の感光性樹脂
を使用して形成してもよく、この場合にはベタ塗布した
後、フォトマスクを介してパターン状に露光、現像する
ことにより形成される。
The second and third ink layers may be sequentially laminated by screen printing on the concave pattern 12 filled with the first ink layer, or may be sequentially formed by transfer. Further, the second and third ink layers may be formed using a photosensitive resin such as an ionizing radiation-curable resin or an ionizing radiation-degradable resin. In this case, after solid coating, a photomask is formed. It is formed by exposing and developing in the form of a pattern.

【0103】また、第3のインキ層を電極形成層とする
場合、まず、第1のインキ層を障壁形成層とし、また、
第2のインキ層を誘電体形成層として形成した後、アル
カリ現像型感光性樹脂からなる電極形成用塗布液をベタ
塗布し、電極パターンをフォトマスクを介して露光・現
像して形成してもよい。また、図13に示すように、第
1のインキ層13を暗色インキ層からなる障壁形成層と
し、第2のインキ層15を誘電体形成層として形成した
後、更に第3のインキ層16としてアルカリ現像型感光
性樹脂からなる電極形成用塗布液をベタ塗布し、フォト
マスク17を使用してベースフイルム11側から露光・
現像すると、暗色インキ層がマスクとなり、図13
(c)に示すように、電極パターン16を形成すること
ができる。この方法によると、障壁パターンと電極パタ
ーンのアライメントが正確にとれるので好ましい。第2
のインキ層が誘電体形成層の場合には、その膜厚は5μ
m〜50μmであり、第3のインキ層が電極形成層の場
合には、その膜厚は5μm〜50μmである。
When the third ink layer is used as an electrode forming layer, first, the first ink layer is used as a barrier forming layer.
After the second ink layer is formed as a dielectric forming layer, an electrode forming coating solution composed of an alkali-developable photosensitive resin is solid-applied, and the electrode pattern is formed by exposing and developing through a photomask. Good. Further, as shown in FIG. 13, the first ink layer 13 is formed as a barrier forming layer composed of a dark ink layer, the second ink layer 15 is formed as a dielectric forming layer, and then the third ink layer 16 is formed. An electrode forming coating solution composed of an alkali developing type photosensitive resin is solid-coated, and exposed and exposed from the base film 11 side using a photomask 17.
When developed, the dark ink layer becomes a mask, and FIG.
As shown in (c), the electrode pattern 16 can be formed. This method is preferable because alignment of the barrier pattern and the electrode pattern can be accurately performed. Second
When the ink layer is a dielectric forming layer, its thickness is 5 μm.
m to 50 m, and when the third ink layer is an electrode forming layer, the film thickness is 5 m to 50 m.

【0104】なお、第3のインキ層を電極形成層として
電極パターン状に形成した後には、必要に応じて、下地
形成層を電極パターン上に膜厚5μm〜50μmで積層
してもよい。
After forming the third ink layer as an electrode forming layer in an electrode pattern, if necessary, a base forming layer may be laminated on the electrode pattern with a film thickness of 5 μm to 50 μm.

【0105】本発明の第3のパターン形成方法は、第3
の転写シートを被転写体14と重ねあわせ、第1〜第3
のインキ層を同時に被転写体上に転写するものである
が、その転写方法は上述した第1のパターン形成方法と
同様である。また、被転写体への転写性の向上を目的と
して、第3のインキ層上、または下地形成層上に上述し
た接着剤層を必要に応じて設けてもよい。
The third pattern forming method of the present invention comprises the third
Are superimposed on the transfer object 14, and the first to third
Is transferred onto the transfer object at the same time, and the transfer method is the same as the above-described first pattern forming method. Further, the adhesive layer described above may be provided on the third ink layer or the underlayer forming layer as needed for the purpose of improving the transferability to the transfer target.

【0106】被転写体への転写後は、第1の転写シート
を使用した場合と同様に、被転写体は焼成され、PDP
とされる。
After the transfer to the transfer member, the transfer member is baked and the PDP is transferred in the same manner as when the first transfer sheet is used.
It is said.

【0107】本発明の第3の転写シート、パターン形成
方法は、第2の転写シートと同様に、転写性に優れるも
のとでき、また、複数層のインキ層を同時に転写するこ
とができるので、作業性に優れるものである。また、各
層間のアライメントを転写シートの段階で行うことがで
きるので、位置精度の高いPDPとできる。
According to the third transfer sheet and the pattern forming method of the present invention, as in the case of the second transfer sheet, excellent transferability can be obtained, and a plurality of ink layers can be transferred simultaneously. It is excellent in workability. Also, since alignment between the layers can be performed at the stage of the transfer sheet, a PDP with high positional accuracy can be obtained.

【0108】本発明の第1〜第3の転写シートにおける
それぞれのインキ層表面には防傷、ゴミ混入防止、ブロ
ッキング防止等を目的として、必要に応じて保護フイル
ムを貼着しておくとよい。
A protective film may be attached to the surface of each ink layer in the first to third transfer sheets of the present invention, if necessary, for the purpose of preventing scratches, preventing dust from being mixed, preventing blocking, and the like. .

【0109】保護フイルムは例えばポリエチレンテレフ
タレートフイルム、1,4−ポリシクロヘキシレンジメ
チレンテレフタレートフイルム、ポリエチレンナフタレ
ートフイルム、ポリフェニレンサルファイドフイルム、
ポリスチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリ
サルホンフイルム、アラミドフイルム、ポリカーボネー
トフイルム、ポリビニルアルコールフイルム、セロハ
ン、酢酸セルロース等のセルロース誘導体フイルム、ポ
リエチレンフイルム、ポリ塩化ビニルフイルム、ナイロ
ンフイルム、ポリイミドフイルム、アイオノマーフイル
ム等で、積層面がシリコーン処理、アクリルメラミン処
理、ワックス処理等により剥離処理された膜厚1μm〜
400μm、好ましくは4.5μm〜200μmのもの
である。
Examples of the protective film include polyethylene terephthalate film, 1,4-polycyclohexylene dimethylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, polyphenylene sulfide film,
Polystyrene film, polypropylene film, polysulfone film, aramid film, polycarbonate film, polyvinyl alcohol film, cellophane, cellulose derivative film such as cellulose acetate, polyethylene film, polyvinyl chloride film, nylon film, polyimide film, ionomer film, etc. Has a film thickness of 1 μm to
It is 400 μm, preferably 4.5 μm to 200 μm.

【0110】なお、ベースフイルムの凹部内にインキを
充填し、必要により保護フイルムを貼合した後、シート
を一旦巻き取ってもよく、また、必要な長さにベースフ
イルムを裁断してからインキを充填し、転写に使用して
もよい。以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
The ink may be filled in the recesses of the base film and, if necessary, the protective film may be laminated, and then the sheet may be wound once. Alternatively, the base film may be cut to a required length, and then the ink may be cut. And may be used for transfer. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples.

【0111】[0111]

【実施例】【Example】

(実施例1)・・(ベースフイルムの形成) 紫外線硬化型インキ(日本化薬(株)製、DKF−90
1)を、図5に示す装置に装填すると共に、ポリエチレ
ンテレフタレートフイルム(膜厚75μm)をベースフ
イルムとした。また、線源は紫外線照射(600mJ/
cm2 )とし、ベースフイルム上に、凹版ロールの回転
速度5m/minで、ピッチ200μmで線幅70μ
m、深さ20μmの電極パターン凹部を図1に示すよう
に形成した。
(Example 1) (Formation of base film) UV curable ink (DKF-90, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
1) was loaded into the apparatus shown in FIG. 5, and a polyethylene terephthalate film (thickness: 75 μm) was used as a base film. The source was irradiated with ultraviolet light (600 mJ /
cm 2 ) and a pitch of 200 μm and a line width of 70 μm on the base film at a rotation speed of the intaglio roll of 5 m / min.
An electrode pattern recess having a depth of 20 μm and a depth of 20 μm was formed as shown in FIG.

【0112】次に、組成 ・銀粉(平均粒径1μm) ・・・・ 80重量部 ・ガラスフリット{主成分;PbO、SiO2 、B2 3 (無アルカリ)平均粒 径1μm、軟化点500℃} ・・・・ 5重量部 熱膨張係数α300 =75×10-7/℃ ・ポリブテン(日本油脂(株)製200N) ・・・・ 8重量部 ・ポリブテン(日本油脂(株)製5N) ・・・・ 2重量部 を3本ロールを使用して混合分散処理し、電極形成層形
成用インキを作製し、上記で得た凹部を有するベースフ
イルムにドクター方式によりインキを塗布し、凹部に充
填した後、ポリエチレンフイルムをラミネートし、本発
明の第1の転写シートを形成した。
Next, composition: silver powder (average particle size: 1 μm) 80 parts by weight Glass frit: main component: PbO, SiO 2 , B 2 O 3 (alkali-free) average particle size 1 μm, softening point 500 ° C 5 parts by weight Thermal expansion coefficient α 300 = 75 × 10 -7 / ° C Polybutene (200N manufactured by NOF Corporation) 8 parts by weight Polybutene (5N manufactured by NOF Corporation) 2 parts by weight were mixed and dispersed using three rolls to prepare an electrode forming layer forming ink, and the ink was applied to the base film having the concave portions obtained above by a doctor method, and the concave portions were formed. Then, a polyethylene film was laminated to form a first transfer sheet of the present invention.

【0113】転写シートのポリエチレンフイルムを剥離
した後、オートカットラミネーター(旭化成(株)製、
型式ACL−9100)を使用し、基板プレヒート温度
80℃、ラミロール温度100℃の転写条件で下地層付
きガラス基板上にラミネートした。次いで、ベースフイ
ルムを剥離し、インキ層を転写した後、ピーク温度57
0℃で焼成し、パターン状の電極層を形成した。焼成後
の電極層の線幅65μm、膜厚は、7±2μmであっ
た。
After the polyethylene film of the transfer sheet was peeled off, an auto-cut laminator (manufactured by Asahi Kasei Corporation)
Using a model ACL-9100), the substrate was laminated on a glass substrate with an underlayer under a transfer condition of a substrate preheating temperature of 80 ° C. and a ramylol temperature of 100 ° C. Next, the base film was peeled off, and the ink layer was transferred.
By baking at 0 ° C., a patterned electrode layer was formed. The line width of the electrode layer after firing was 65 μm, and the film thickness was 7 ± 2 μm.

【0114】(実施例2)実施例1において、ベースフ
イルムにおける凹部パターンの形状が、障壁層パターン
であるピッチ250μmで底幅70μm、天井幅100
μm、深さ180μmの凹部を形成した。
Example 2 In Example 1, the shape of the concave pattern in the base film was such that the barrier layer pattern had a pitch of 250 μm, a bottom width of 70 μm, and a ceiling width of 100 μm.
A recess having a thickness of 180 μm and a depth of 180 μm was formed.

【0115】 組成 ・ガラスフリット{MB−008、松浪硝子工業(株)製) ・・・・ 65重量部 ・α−アルミナRA−40(岩谷化学工業) ・・・・ 10重量部 ・ダイピロキサイドブラック#9510(大日精化工業(株)製) ・・・・ 10重量部 ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 8/2) ・・・・ 8重量部 ・ポリオキシエチレン化トリメチロールプロパントリアクリレート ・・・・ 8重量部 ・シリコーン樹脂(信越化学工業(株)製X−24−8300) ・・・・ 1重量部 ・光開始剤(チバガイギー社製「イルガキュア369」) ・・・・ 3重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 10重量部 ・イソプロピルアルコール ・・・・ 10重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、障壁層形成用インキを調製した。
Composition: Glass frit @ MB-008, manufactured by Matsunami Glass Industry Co., Ltd.) 65 parts by weight α-alumina RA-40 (Iwatani Chemical Industry) 10 parts by weight Dipiroxide Black # 9510 (manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.) 10 parts by weight n-butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (8/2) 8 parts by weight Polyoxyethylene Trimethylol propane triacrylate 8 parts by weight Silicone resin (X-24-8300 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 1 part by weight Photoinitiator (Irgacure 369 manufactured by Ciba Geigy)・ ・ ・ ・ 3 parts by weight ・ Propylene glycol monomethyl ether ・ ・ ・ ・ 10 parts by weight ・ isopropyl alcohol ・ ・ ・ ・ 10 parts by weight Mixed dispersion treatment using a bead mill using Kubizu to prepare an ink for barrier layer formation.

【0116】このインキを上記で得た凹部を有するベー
スフイルム上の凹部にインキをドクターにより充填し、
100℃、5分間乾燥させた後、ポリエチレンフイルム
をラミネートして、本発明の第1の転写シートを形成し
た。転写シートのポリエチレンフイルムを剥離した後、
オートカットラミネーター(旭化成(株)製、型式AC
L−9100)を使用し、基板プレヒート温度80℃、
ラミロール温度100℃の転写条件で下地層、電極層、
誘電体層を順次設けたガラス基板上にラミネートした。
次いで、ベースフイルムを剥離し、570℃で焼成し
た。焼成後の障壁層の天井幅50μm、底幅80μm、
膜厚は、120±10mであった。
The ink was filled into the concave portion on the base film having the concave portion obtained above with a doctor by using a doctor, and
After drying at 100 ° C. for 5 minutes, a polyethylene film was laminated to form a first transfer sheet of the present invention. After peeling off the polyethylene film of the transfer sheet,
Auto cut laminator (Asahi Kasei Corporation, Model AC
L-9100) using a substrate preheat temperature of 80 ° C.
Under the transfer condition of the lami roll temperature of 100 ° C.,
Lamination was performed on a glass substrate on which a dielectric layer was sequentially provided.
Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C. The ceiling width of the fired barrier layer is 50 μm, the bottom width is 80 μm,
The film thickness was 120 ± 10 m.

【0117】(実施例3)実施例1において、ベースフ
イルムにおける凹部パターンの形状が、障壁層パターン
であるピッチ250μmで底幅70μm、天井幅100
μm、深さ180μmの凹部を形成した。
Example 3 In Example 1, the shape of the concave pattern in the base film was such that the barrier layer pattern had a pitch of 250 μm, a bottom width of 70 μm, and a ceiling width of 100 μm.
A recess having a thickness of 180 μm and a depth of 180 μm was formed.

【0118】(暗色インキからなる障壁形成材料) 組成 ・ガラスフリット(主成分PbO、SiO2 、B2 3 、無アルカリ) ・・・・ 53重量部 ・α−アルミナRA−40(岩谷化学工業) ・・・・ 12重量部 ・ダイピロキサイドブラック#9510(大日精化工業(株)製) ・・・・ 8重量部 上記の無機成分混合体の熱膨張係数(30〜300℃)74×107 、軟化点 580℃ ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 7/3) ・・・・ 5重量部 ・フタル酸ビス(2−エチルヘキシル) ・・・・ 3重量部 ・ジブチルフタレート ・・・・ 5重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 10重量部 ・N−メチル−2−ピロリドン ・・・・ 10重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、暗色障壁層形成用インキを調製した。
(Barrier forming material composed of dark ink) Composition Glass frit (main component PbO, SiO 2 , B 2 O 3 , non-alkali) 53 parts by weight α-alumina RA-40 (Iwatani Chemical Industry) 12 parts by weight Dipoxide black # 9510 (manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.) 8 parts by weight Thermal expansion coefficient of the above inorganic component mixture (30 to 300 ° C.) 74 × 10 7 , softening point 580 ° C. n-butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (7/3) 5 parts by weight bis (2-ethylhexyl) phthalate 3 parts by weight Dibutyl phthalate 5 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 10 parts by weight N-methyl-2-pyrrolidone 10 parts by weight Mixed and dispersed using a bead mill was used to prepare a dark barrier layer forming ink.

【0119】(白色インキからなる障壁形成材料) 組成 ・ガラスフリット(主成分PbO、SiO2 、B2 3 、無アルカリ) ・・・・ 53重量部 ・α−アルミナRA−40(岩谷化学工業) ・・・・ 12重量部 ・酸化チタン ・・・・ 8重量部 上記の無機成分混合体の熱膨張係数(30〜300℃)72×107 、軟化点 575℃ ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 7/3) ・・・・ 5重量部 ・フタル酸ビス(2−エチルヘキシル) ・・・・ 3重量部 ・ジブチルフタレート ・・・・ 5重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 10重量部 ・N−メチル−2−ピロリドン ・・・・ 10重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、白色障壁層形成用インキを調製した。
(Barrier forming material composed of white ink) Composition: glass frit (main component: PbO, SiO 2 , B 2 O 3 , non-alkali) 53 parts by weight α-alumina RA-40 (Iwatani Chemical Industry Co., Ltd.) 12 parts by weight Titanium oxide 8 parts by weight Thermal expansion coefficient (30 to 300 ° C.) 72 × 10 7 , softening point 575 ° C. of the above-mentioned inorganic component mixture n-butyl methacrylate / 2 -Hydroxyethyl methacrylate copolymer (7/3) 5 parts by weight Bis (2-ethylhexyl) phthalate 3 parts by weight Dibutyl phthalate 5 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether ··· 10 parts by weight · N-methyl-2-pyrrolidone ··· 10 parts by weight using a bead mill using ceramic beads to perform mixing and dispersion treatment; Color barrier layer forming ink was prepared.

【0120】上記で得たベースフイルム上の凹部内に、
まず、暗色インキを40μmの膜厚、暗色インキ層上
に、白色インキをそれぞれドクターにより塗布して、暗
色インキ層上に白色インキ層が積層したインキ層を充填
し、150℃、30分間乾燥させた後、ポリエチレンフ
イルムをラミネートして、本発明の第1の転写シートを
形成した。転写シートのポリエチレンフイルムを剥離し
た後、オートカットラミネーター(旭化成(株)製、型
式ACL−9100)を使用し、基板プレヒート温度8
0℃、ラミロール温度100℃の転写条件で下地層、電
極層、誘電体層を順次設けたガラス基板上にラミネート
した。次いで、ベースフイルムを剥離し、570℃で焼
成した。焼成後の障壁層の天井幅50μm、底幅80μ
m、膜厚は、120±10mであった。この焼成物を使
用してPDPを組み立てたところ、コントラストの優れ
るものであった。
In the recess on the base film obtained above,
First, a white ink is applied to the dark ink layer by a doctor, and the white ink layer is filled with the white ink layer on the dark ink layer, and dried at 150 ° C. for 30 minutes. After that, a polyethylene film was laminated to form a first transfer sheet of the present invention. After the polyethylene film of the transfer sheet was peeled off, the substrate was preheated to 8 using an auto cut laminator (model ACL-9100, manufactured by Asahi Kasei Corporation).
Under a transfer condition of 0 ° C. and a lami roll temperature of 100 ° C., the substrate was laminated on a glass substrate on which an underlayer, an electrode layer, and a dielectric layer were sequentially provided. Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C. 50 μm ceiling width and 80 μm bottom width of fired barrier layer
m and the film thickness were 120 ± 10 m. When a PDP was assembled using this fired product, the PDP was excellent in contrast.

【0121】(実施例4)・・(ベースフイルムの形
成) 紫外線硬化型インキ(大日精化工業(株)製、セイカビ
ームXD−808)を、図5に示す装置に装填すると共
に、ポリエチレンテレフタレートフイルム(膜厚100
μm)をベースフイルムとした。また、線源は紫外線照
射(160W/cm2 )とし、ベースフイルム上に、凹
版ロールの回転速度5m/minで障壁層パターンを、
ピッチ250μmで底幅70μm、天井幅100μm、
深さ180μmの凹部を図1に示すように形成した。
Example 4 (Formation of Base Film) A UV curable ink (Seika Beam XD-808, manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.) was loaded into the apparatus shown in FIG. 5, and a polyethylene terephthalate film was prepared. (Thickness 100
μm) was used as a base film. The radiation source was ultraviolet irradiation (160 W / cm 2 ), and a barrier layer pattern was formed on the base film at a rotation speed of the intaglio roll of 5 m / min.
Pitch 250μm, bottom width 70μm, ceiling width 100μm,
A recess having a depth of 180 μm was formed as shown in FIG.

【0122】上記で得たベースフイルム上の凹部内に、
まず、実施例3で記載した暗色インキを40μmの膜
厚、暗色インキ層上に、実施例3で記載した白色インキ
をそれぞれドクターにより塗布して、暗色インキ層上に
白色インキ層が積層したインキ層を充填し、150℃、
30分間乾燥させた。
In the recess on the base film obtained above,
First, the dark ink described in Example 3 was applied to the dark ink layer with a film thickness of 40 μm and the white ink described in Example 3 by a doctor, and a white ink layer was laminated on the dark ink layer. Fill the layer, 150 ° C,
Dry for 30 minutes.

【0123】(誘電体形成層) 組成 ・ガラスフリット(主成分Bi2 3 、ZnO、B2 3 、無アルカリ、平均粒 径3μm) ・・・・ 70重量部 ・α−アルミナRA−40(岩谷化学工業) ・・・・ 7重量部 ・酸化チタン ・・・・ 3重量部 上記の無機成分混合体の熱膨張係数(30〜300℃)81×107 、軟化点 580℃ ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 7/3) ・・・・ 13重量部 ・ジブチルフタレート ・・・・ 7重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 20重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、誘電体層形成用インキを調製した。
(Dielectric forming layer) Composition Glass frit (main components Bi 2 O 3 , ZnO, B 2 O 3 , alkali-free, average particle diameter 3 μm) 70 parts by weight α-alumina RA-40 (Iwatani Chemical Industry) 7 parts by weight Titanium oxide 3 parts by weight Thermal expansion coefficient (30-300 ° C) 81 × 10 7 , softening point 580 ° C n- Butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (7/3) 13 parts by weight Dibutyl phthalate 7 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 20 parts by weight using ceramic beads The resulting mixture was mixed and dispersed using a bead mill to prepare a dielectric layer forming ink.

【0124】この誘電体層形成用インキを、上記で得
た、ベースフイルム上の凹部内に障壁形成インキ層を充
填した凹状パターン上に、図7に示すように、スクリー
ン印刷により誘電体層パターン状に塗布し、150℃、
30分間乾燥させ、膜厚20μmの誘電体形成層を積層
した後、ポリエチレンフイルムをラミネートして、本発
明の第2の転写シートを形成した。障壁形成層は、誘電
体形成層用インキで被覆され、形状の優れるものであっ
た。転写シートのポリエチレンフイルムを剥離した後、
オートカットラミネーター(旭化成(株)製、型式AC
L−9100)を使用し、基板プレヒート温度80℃、
ラミロール温度100℃の転写条件で下地層、電極層を
順次設けたガラス基板上にラミネートした。次いで、ベ
ースフイルムを剥離し、570℃で焼成した。焼成後の
誘電体層の膜厚は10μm、また、障壁層の天井幅50
μm、底幅80μm、膜厚は、120±10mであっ
た。
This dielectric layer forming ink was applied to the dielectric layer pattern by screen printing as shown in FIG. 7 on the concave pattern in which the barrier forming ink layer was filled in the concave portion on the base film obtained above. 150 ° C,
After drying for 30 minutes and laminating a 20 μm-thick dielectric forming layer, a polyethylene film was laminated to form a second transfer sheet of the present invention. The barrier forming layer was covered with the dielectric forming layer ink and had an excellent shape. After peeling off the polyethylene film of the transfer sheet,
Auto cut laminator (Asahi Kasei Corporation, Model AC
L-9100) using a substrate preheat temperature of 80 ° C.
The laminate was laminated on a glass substrate on which a base layer and an electrode layer were sequentially provided under a transfer condition at a ramirole temperature of 100 ° C. Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C. The thickness of the dielectric layer after firing is 10 μm, and the ceiling width of the barrier layer is 50 μm.
μm, the bottom width was 80 μm, and the film thickness was 120 ± 10 m.

【0125】(実施例5) (電極形成用インキ 組成) ・銀粉(平均粒径2μm) ・・・・ 70重量部 ・ガラスフリット(平均粒径1μm、無アルカリ、軟化点550℃、熱膨張係数 (30〜300℃)73×107 ) ・・・・ 5重量部 ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 7/3) ・・・・ 12重量部 ・ジブチルフタレート ・・・・ 5重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 15重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、電極形成用インキを調製した。
(Example 5) (Ink composition for electrode formation) Silver powder (average particle size 2 μm) 70 parts by weight Glass frit (average particle size 1 μm, no alkali, softening point 550 ° C., coefficient of thermal expansion) (30-300 ° C.) 73 × 10 7 ) 5 parts by weight n-butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (7/3) 12 parts by weight dibutyl phthalate · 5 parts by weight · propylene glycol monomethyl ether ··· 15 parts by weight were mixed and dispersed using a bead mill using ceramic beads to prepare an electrode forming ink.

【0126】この電極形成用インキを、実施例4で得た
転写シートにおけるポリエチレンフイルムを剥離した
後、その誘電体形成層上に、スクリーン印刷により電極
パターン状に塗布し、150℃、30分間乾燥させて膜
厚20μmの電極形成層を積層し、更に、ポリエチレン
フイルムをラミネートして、図10に示す本発明の第3
の転写シートを形成した。転写シートのポリエチレンフ
イルムを剥離した後、オートカットラミネーター(旭化
成(株)製、型式ACL−9100)を使用し、基板プ
レヒート温度80℃、ラミロール温度100℃の転写条
件で下地層を設けたガラス基板上にラミネートした。次
いで、ベースフイルムを剥離し、570℃で焼成した。
焼成後の電極の膜厚は10μm、誘電体層の膜厚は10
μm、また、障壁層の天井幅50μm、底幅80μm、
膜厚は、120±10mであった。
After the polyethylene film in the transfer sheet obtained in Example 4 was peeled off, the electrode forming ink was applied on the dielectric forming layer in an electrode pattern by screen printing, and dried at 150 ° C. for 30 minutes. Then, an electrode forming layer having a film thickness of 20 μm was laminated, and then a polyethylene film was laminated.
Was formed. After peeling off the polyethylene film of the transfer sheet, a glass substrate provided with a base layer under the transfer conditions of a substrate preheat temperature of 80 ° C. and a lami roll temperature of 100 ° C. using an auto cut laminator (model Asahi Kasei Corporation, model ACL-9100). Laminated on top. Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C.
The thickness of the electrode after firing is 10 μm, and the thickness of the dielectric layer is 10
μm, the ceiling width of the barrier layer is 50 μm, the bottom width is 80 μm,
The film thickness was 120 ± 10 m.

【0127】(実施例6) (感光性電極形成用インキ 組成) ・銀粉(球形、平均粒径1μm) ・・・・ 70重量部 ・ガラスフリット(平均粒径1μm、無アルカリ、軟化点550℃、熱膨張係数 (30〜300℃)73×107 ) ・・・・ 5重量部 ・感光性樹脂成分 ・・・・ 18重量部 (内訳 ・アルカリ現像型ポリマー(メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体で あって、その側鎖に二重結合を7モル%含有、酸価100mgKOH/g) ・・・・ 50重量部 ・エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート ・・・・ 30重量部 ・光開始剤(チバガイギー社製、イルガキュア369) ・・・・ 3重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 15重量部) をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、感光性電極形成用インキを調製した。
Example 6 (Composition of Ink for Forming Photosensitive Electrode) Silver powder (spherical, average particle size 1 μm) 70 parts by weight Glass frit (average particle size 1 μm, no alkali, softening point 550 ° C.) , Coefficient of thermal expansion (30 to 300 ° C.) 73 × 10 7 ) 5 parts by weight Photosensitive resin component 18 parts by weight (Breakdown) Alkali developable polymer (methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer) And containing 7 mol% of a double bond in its side chain, acid value 100 mg KOH / g) 50 parts by weight ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate 30 parts by weight Photoinitiator (Cirva Geigy, Irgacure 369) ... 3 parts by weight-Propylene glycol monomethyl ether ... ... 15 parts by weight using ceramic beads Using a bead mill was mixed dispersion treatment to prepare a photosensitive electrode forming ink.

【0128】実施例4で得た転写シートにおけるポリエ
チレンフイルムを剥離した後、その誘電体形成層上に、
感光性電極形成用インキをドクター方式により塗布し、
乾燥膜厚20μmとした。得られた積層シートを、その
ベースフイルム側から、紫外線照射(200mJ/cm
2 )した後、電極形成層を0.2%濃度の炭酸ナトリウ
ム水溶液で現像し、未露光部分を除去した。障壁形成層
がマスクとなり、障壁形成層間に電極形成層を位置精度
よく形成できた。乾燥後、電極形成層上にポリエチレン
フイルムを貼着し、図10に示す本発明の第3の転写シ
ートを形成した。
After the polyethylene film on the transfer sheet obtained in Example 4 was peeled off,
Apply the photosensitive electrode forming ink by doctor method,
The dry film thickness was 20 μm. The obtained laminated sheet was irradiated with ultraviolet light (200 mJ / cm) from the base film side.
2 ) After that, the electrode forming layer was developed with a 0.2% aqueous solution of sodium carbonate to remove unexposed portions. The barrier formation layer served as a mask, and the electrode formation layer could be formed with high positional accuracy between the barrier formation layers. After drying, a polyethylene film was stuck on the electrode forming layer to form a third transfer sheet of the present invention shown in FIG.

【0129】転写シートのポリエチレンフイルムを剥離
した後、オートカットラミネーター(旭化成(株)製、
型式ACL−9100)を使用し、基板プレヒート温度
80℃、ラミロール温度100℃の転写条件で下地層を
設けたガラス基板上にラミネートした。次いで、ベース
フイルムを剥離し、570℃で焼成した。焼成後の電極
の膜厚は10μm、誘電体層の膜厚は10μm、また、
障壁層の天井幅50μm、底幅80μm、膜厚は、12
0±10mであった。
After the polyethylene film of the transfer sheet was peeled off, an auto-cut laminator (manufactured by Asahi Kasei Corporation)
Using a model ACL-9100), the substrate was laminated on a glass substrate provided with an underlayer under transfer conditions of a substrate preheating temperature of 80 ° C. and a ramirole temperature of 100 ° C. Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C. The thickness of the electrode after firing is 10 μm, the thickness of the dielectric layer is 10 μm, and
The barrier layer has a ceiling width of 50 μm, a bottom width of 80 μm, and a film thickness of 12 μm.
It was 0 ± 10 m.

【0130】(実施例7) (下地形成層形成用インキ) 組成 ・ガラスフリット(主成分;PbO、SiO2 、B2 3 (無アルカリ)、熱膨 張係数(30〜300℃)82×107 、軟化点575℃) ・・・・ 65重量部 ・α−アルミナRA−40(岩谷化学工業) ・・・・ 11重量部 ・酸化銅(CuO) ・・・・ 4重量部 ・n−ブチルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体( 8/2) ・・・・ 11重量部 ・ベンジルブチルフタレート ・・・・ 3重量部 ・ジブチルフタレート ・・・・ 3重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテル ・・・・ 20重量部 をセラミックビーズを使用したビーズミルを使用して混
合分散処理し、下地形成用インキを調製した。
(Example 7) (Ink for forming undercoat layer) Composition: Glass frit (main component: PbO, SiO 2 , B 2 O 3 (non-alkali), thermal expansion coefficient (30 to 300 ° C.) 82 × 10 7 , softening point 575 ° C.) 65 parts by weight α-alumina RA-40 (Iwatani Chemical Industry) 11 parts by weight Copper oxide (CuO) 4 parts by weight n- Butyl methacrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (8/2) 11 parts by weight Benzyl butyl phthalate 3 parts by weight Dibutyl phthalate 3 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 20 parts by weight were mixed and dispersed using a bead mill using ceramic beads to prepare a base forming ink.

【0131】実施例6で得た転写シートにおけるポリエ
チレンフイルムを剥離した後、その電極形成層上に、下
地形成用インキをスクリーン印刷により、下地パターン
状に塗布し、乾燥膜厚20μmの下地形成層を形成した
後、ポリエチレンフイルムを貼着した。
After the polyethylene film in the transfer sheet obtained in Example 6 was peeled off, the base forming ink was applied on the electrode forming layer by screen printing in the form of a base pattern to form a base film having a dry film thickness of 20 μm. Was formed, and a polyethylene film was adhered.

【0132】転写シートのポリエチレンフイルムを剥離
した後、オートカットラミネーター(旭化成(株)製、
型式ACL−9100)を使用し、基板プレヒート温度
80℃、ラミロール温度100℃の転写条件でガラス基
板上にラミネートした。次いで、ベースフイルムを剥離
し、570℃で焼成した。焼成後の下地層の膜厚は10
μm、電極の膜厚は10μm、誘電体層の膜厚は10μ
m、また、障壁層の天井幅50μm、底幅80μm、膜
厚は、120±10mであった。この方法により、ガラ
ス基板上に、下地層、電極層、誘電体層、障壁層を同時
に、しかも位置精度よく形成できた。
After the polyethylene film of the transfer sheet was peeled off, an auto cut laminator (manufactured by Asahi Kasei Corporation)
Using a model ACL-9100), the substrate was laminated on a glass substrate under the transfer conditions of a substrate preheating temperature of 80 ° C. and a ramylol temperature of 100 ° C. Next, the base film was peeled off and fired at 570 ° C. The thickness of the underlayer after firing is 10
μm, the thickness of the electrode is 10 μm, and the thickness of the dielectric layer is 10 μm.
m, the ceiling width of the barrier layer was 50 μm, the bottom width was 80 μm, and the film thickness was 120 ± 10 m. By this method, an underlayer, an electrode layer, a dielectric layer, and a barrier layer could be simultaneously formed on a glass substrate with high positional accuracy.

【0133】[0133]

【発明の効果】本発明の転写シートは、PDP、画像表
示装置、サーマルヘッド、集積回路等における電極層、
誘電体層、障壁層を別途用意した転写シートにより形成
するシステムに使用するのに適するものであり、作製時
間を短縮でき、歩留りを向上させることができる。ま
た、パターン形成を転写により形成するために、表面平
滑性に優れ、かつ膜厚が均一で分布精度の良好な層形成
ができる。また、パターン部のみを転写できるため、材
料の使用を少なくでき、低コスト化を図ることができ
る。
The transfer sheet of the present invention can be used as an electrode layer in PDPs, image displays, thermal heads, integrated circuits, etc.
This is suitable for use in a system in which a dielectric layer and a barrier layer are formed by using a transfer sheet separately prepared, so that the manufacturing time can be reduced and the yield can be improved. Further, since the pattern is formed by transfer, it is possible to form a layer having excellent surface smoothness, a uniform film thickness and good distribution accuracy. Further, since only the pattern portion can be transferred, the use of materials can be reduced, and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 凹状パターンを形成したベースフイルムをそ
の断面で説明するための図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a cross section of a base film having a concave pattern formed thereon.

【図2】 本発明の第1の転写シートをその断面で説明
するための図である。
FIG. 2 is a view for explaining a first transfer sheet of the present invention in a cross section thereof.

【図3】 本発明の第1のパターン形成方法を説明する
ための図である。
FIG. 3 is a view for explaining a first pattern forming method of the present invention.

【図4】 本発明の第1の転写シートを使用して被転写
体にパターンが転写された状態を説明するための図であ
る。
FIG. 4 is a view for explaining a state in which a pattern is transferred to a transfer target using a first transfer sheet of the present invention.

【図5】 凹版ロールを使用し、ベースフイルムに凹状
パターンを形成する方法を説明するための図である。
FIG. 5 is a view for explaining a method of forming a concave pattern on a base film using an intaglio roll.

【図6】 凹状パターン形成材料として、電離放射線崩
壊性樹脂を使用する場合の転写方法を説明するための図
である。
FIG. 6 is a view for explaining a transfer method when an ionizing radiation-degradable resin is used as a concave pattern forming material.

【図7】 本発明の第2の転写シートをその断面で説明
するための図である。
FIG. 7 is a view for explaining a second transfer sheet of the present invention in cross section.

【図8】 本発明の第2のパターン形成方法を説明する
ための図である。
FIG. 8 is a view for explaining a second pattern forming method of the present invention.

【図9】 本発明の第2の転写シートを使用して被転写
体にパターンが転写された状態を説明するための図であ
る。
FIG. 9 is a view for explaining a state in which a pattern is transferred to a transfer target using a second transfer sheet of the present invention.

【図10】 本発明の第3の転写シートをその断面で説
明するための図である。
FIG. 10 is a view for explaining a third transfer sheet of the present invention in cross section.

【図11】 本発明の第3のパターン形成方法を説明す
るための図である。
FIG. 11 is a view for explaining a third pattern forming method of the present invention.

【図12】 本発明の第3の転写シートを使用して被転
写体にパターンが転写された状態を説明するための図で
ある。
FIG. 12 is a view for explaining a state in which a pattern has been transferred to an object to be transferred using a third transfer sheet of the present invention.

【図13】 本発明の第3の転写シートの作製方法の一
例を説明するための図である。
FIG. 13 is a diagram for explaining an example of a method for producing a third transfer sheet of the present invention.

【図14】 AC型プラズマディスプレイパネルを説明
するための図である。
FIG. 14 is a diagram for explaining an AC type plasma display panel.

【図15】 AC型プラズマディスプレイパネルの他の
例を説明するための図である。
FIG. 15 is a diagram for explaining another example of the AC type plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1は前面板、2は背面板、3はセル障壁、4は維持電
極、5はバス電極、6、6′は誘電体層、7はMgO
層、8はアドレス電極、9は蛍光体層、10は下地層、
11はベースフイルム、12は凹状パターン部、13は
インキ層、13′は第1のインキ層、14は被転写体、
15は第2のインキ層、16は第3のインキ層、33は
ロール凹版、34は凹部、35は樹脂供給装置、36は
硬化性樹脂、37は硬化装置、39は剥離ロール、40
は塗工部、44は給紙巻取ロール、45は給紙側送りロ
ール、47はコンベンセーターロール、48は排紙巻取
ロールである。
1 is a front plate, 2 is a back plate, 3 is a cell barrier, 4 is a sustain electrode, 5 is a bus electrode, 6, 6 'are dielectric layers, and 7 is MgO.
Layer, 8 an address electrode, 9 a phosphor layer, 10 an underlayer,
11 is a base film, 12 is a concave pattern portion, 13 is an ink layer, 13 'is a first ink layer, 14 is a transfer object,
15 is a second ink layer, 16 is a third ink layer, 33 is a roll intaglio, 34 is a recess, 35 is a resin supply device, 36 is a curable resin, 37 is a curing device, 39 is a release roll, 40
Denotes a coating unit, 44 denotes a paper feed take-up roll, 45 denotes a feed-side feed roll, 47 denotes a convention sweater roll, and 48 denotes a paper discharge take-up roll.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 来間 泰則 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Yasunori Kuruma 1-1-1 Ichigaya Kagacho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd.

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 凹状パターンを一方の面に形成したベー
スフイルムにおける凹状部内に、少なくともガラスフリ
ットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分
からなるインキ層が充填されたことを特徴とする転写シ
ート。
1. A transfer characterized in that a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface is filled with an ink layer composed of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. Sheet.
【請求項2】 転写シートがプラズマディスプレイパネ
ル作製用転写シートであり、インキ層が電極形成層であ
ることを特徴とする請求項1記載の転写シート。
2. The transfer sheet according to claim 1, wherein the transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, and the ink layer is an electrode forming layer.
【請求項3】 電極形成層が、少なくともガラスフリッ
トからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分か
らなる導電性インキ層、または、該導電性インキ中に暗
色顔料を含有する暗色導電性インキ層、または前記導電
性インキ層と前記暗色導電性インキ層の積層からなるも
のであることを特徴とする請求項2記載の転写シート。
3. An electroconductive ink layer in which an electrode forming layer comprises at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing, or a dark conductive ink layer containing a dark pigment in the conductive ink. The transfer sheet according to claim 2, wherein the transfer sheet comprises a laminate of the conductive ink layer and the dark conductive ink layer.
【請求項4】 転写シートがプラズマディスプレイパネ
ル作製用転写シートであり、インキ層が障壁形成層であ
ることを特徴とする請求項1記載の転写シート。
4. The transfer sheet according to claim 1, wherein the transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, and the ink layer is a barrier forming layer.
【請求項5】 障壁形成層が、少なくともガラスフリッ
トからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分か
らなる白色インキ層、または暗色インキ層、または白色
インキ層と暗色インキ層の積層からなるものであること
を特徴とする請求項4記載の転写シート。
5. The barrier forming layer comprises a white ink layer or a dark color ink layer composed of at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing, or a laminate of a white ink layer and a dark color ink layer. 5. The transfer sheet according to claim 4, wherein:
【請求項6】 凹状パターンを一方の面に形成したベー
スフイルムにおける凹状部内に、少なくともガラスフリ
ットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分
からなる第1のインキ層が充填されると共に、該第1の
インキ層が充填された前記凹状パターン上に少なくとも
ガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去され
る樹脂成分からなる第2のインキ層が積層されたことを
特徴とする転写シート。
6. A concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface is filled with a first ink layer comprising at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. A transfer sheet, wherein a second ink layer made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern filled with the first ink layer.
【請求項7】 転写シートがプラズマディスプレイパネ
ル作製用転写シートであり、第1のインキ層が電極形成
層、第2のインキ層が下地形成層であることを特徴とす
る請求項6記載の転写シート。
7. The transfer according to claim 6, wherein the transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, wherein the first ink layer is an electrode forming layer, and the second ink layer is a base forming layer. Sheet.
【請求項8】 転写シートがプラズマディスプレイパネ
ル作製用転写シートであり、第1のインキ層が障壁形成
層、第2のインキ層が誘電体形成層であることを特徴と
する請求項6記載の転写シート。
8. The transfer sheet according to claim 6, wherein the transfer sheet is a transfer sheet for producing a plasma display panel, wherein the first ink layer is a barrier forming layer, and the second ink layer is a dielectric forming layer. Transfer sheet.
【請求項9】 障壁形成層が、少なくともガラスフリッ
トからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分か
らなる白色インキ層、または暗色インキ層、または白色
インキ層と暗色インキ層の積層からなるものであること
を特徴とする請求項8記載の転写シート。
9. The barrier forming layer comprises a white ink layer or a dark ink layer, or a laminate of a white ink layer and a dark ink layer, comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. 9. The transfer sheet according to claim 8, wherein:
【請求項10】 凹状パターンを一方の面に形成したベ
ースフイルムにおける凹状部内に、少なくともガラスフ
リットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成
分からなる第1のインキ層が充填されると共に、該第1
のインキ層が充填された前記凹状パターン上に少なくと
もガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去さ
れる樹脂成分からなる第2のインキ層が積層され、更
に、該第2のインキ層上に第3のインキ層が積層された
ことを特徴とする転写シート。
10. A first ink layer comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing is filled in a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface thereof. First
A second ink layer made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern filled with the ink layer, and a third ink layer is made on the second ink layer. A transfer sheet, wherein the ink layers of the above are laminated.
【請求項11】 転写シートがプラズマディスプレイパ
ネル作製用転写シートであり、第1のインキ層が少なく
ともガラスフリットからなる無機成分と焼成により除去
される樹脂成分からなる白色インキ層、または暗色イン
キ層、または白色インキ層と暗色インキ層の積層からな
る障壁形成層であると共に、第2のインキ層が誘電体形
成層、第3のインキ層が電極形成層であることを特徴と
する請求項10記載の転写シート。
11. A transfer sheet for producing a plasma display panel, wherein the first ink layer is a white ink layer or a dark ink layer comprising at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. The method according to claim 10, wherein the barrier layer is formed by laminating a white ink layer and a dark ink layer, the second ink layer is a dielectric layer, and the third ink layer is an electrode layer. Transfer sheet.
【請求項12】 凹状パターンを一方の面に形成したベ
ースフイルムにおける凹状部内に少なくともガラスフリ
ットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成分
からなるインキ層が充填された転写シートを、該インキ
層側から被転写体にラミネートしてインキ層を被転写体
に転写し、該インキ層が転写された被転写体を焼成する
ことを特徴とするパターン形成方法。
12. A transfer sheet in which a concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface is filled with an ink layer composed of at least an inorganic component composed of glass frit and a resin component removed by firing. A pattern forming method, comprising: laminating an ink layer to a transfer object by laminating the ink layer onto the transfer object from the side; and baking the transfer object onto which the ink layer has been transferred.
【請求項13】 凹状パターンを一方の面に形成したベ
ースフイルムにおける凹状部内に、少なくともガラスフ
リットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成
分からなる第1のインキ層が充填され、更に前記凹状パ
ターン上に少なくともガラスフリットからなる無機成分
と焼成により除去される樹脂成分からなる第2のインキ
層を積層した転写シートを、該第2のインキ層側から被
転写体にラミネートして第1及び第2のインキ層を同時
に転写し、該第1及び第2のインキ層が転写された被転
写体を焼成することを特徴とするパターン形成方法。
13. A concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface thereof is filled with a first ink layer composed of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing. A transfer sheet in which an inorganic component composed of at least glass frit and a second ink layer composed of a resin component removed by firing are laminated on the pattern, the first and second ink layers are laminated on a transfer object from the second ink layer side. A pattern forming method, comprising: simultaneously transferring a second ink layer; and baking the transfer member onto which the first and second ink layers have been transferred.
【請求項14】 凹状パターンを一方の面に形成したベ
ースフイルムにおける凹状部内に、少なくともガラスフ
リットからなる無機成分と焼成により除去される樹脂成
分からなる第1のインキ層が充填されると共に、前記凹
状パターン上に少なくともガラスフリットからなる無機
成分と焼成により除去される樹脂成分からなる第2のイ
ンキ層が積層され、更に、該第2のインキ層上に第3の
インキ層を積層した転写シートを、該第3のインキ層側
から被転写体にラミネートして第1〜第3のインキ層を
同時に転写し、該第1〜第3のインキ層が転写された被
転写体を焼成することを特徴とするパターン形成方法。
14. A concave portion of a base film having a concave pattern formed on one surface thereof is filled with a first ink layer comprising at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing, and A transfer sheet in which a second ink layer made of at least an inorganic component made of glass frit and a resin component removed by firing is laminated on the concave pattern, and a third ink layer is further laminated on the second ink layer. Is laminated on the transfer object from the third ink layer side, and the first to third ink layers are simultaneously transferred, and the transfer object on which the first to third ink layers are transferred is fired. A pattern forming method characterized by the above-mentioned.
【請求項15】 パターン形成方法がプラズマディスプ
レイパネル形成方法であって、被転写体がプラズマディ
スプレーパネル基板であり、インキ層パターンがプラズ
マディスプレイパネル部材パターンであることを特徴と
する請求項12〜請求項14記載のパターン形成方法。
15. The method according to claim 12, wherein the pattern forming method is a plasma display panel forming method, wherein the object to be transferred is a plasma display panel substrate, and the ink layer pattern is a plasma display panel member pattern. Item 15. The pattern forming method according to Item 14.
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