JPH09291000A - Lifting device - Google Patents
Lifting deviceInfo
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- JPH09291000A JPH09291000A JP10686896A JP10686896A JPH09291000A JP H09291000 A JPH09291000 A JP H09291000A JP 10686896 A JP10686896 A JP 10686896A JP 10686896 A JP10686896 A JP 10686896A JP H09291000 A JPH09291000 A JP H09291000A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、昇降装置に関し、
例えば半導体試験装置のテスター（以下、「テストヘッ
ド」と称す）を、テストヘッドと接続されるハンドラへ
昇降させるための昇降装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lifting device,
For example, the present invention relates to an elevating device for elevating a tester of a semiconductor test device (hereinafter referred to as “test head”) to a handler connected to the test head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の昇降装置は、テストヘッ
ドを搭載するステージを上下に移動可能に案内するガイ
ドと、テストヘッドが装着された送りねじと、送りねじ
を回転駆動させるモータと、モータの停止センサ等で構
成されていた。そして、モータの駆動により送りねじに
回転トルクを与えると、テストヘッドは送りねじの推力
により、ガイドに沿って移動する。このときテストヘッ
ドの昇降の方向はモータの回転方向に応じて変更され
る。そして、このテストヘッドの昇降の停止は、センサ
によりヘッド位置を検出した時にモータを停止させるこ
とで行なっていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a lifting device of this type has a guide for vertically moving a stage on which a test head is mounted, a feed screw on which the test head is mounted, and a motor for rotationally driving the feed screw. It consisted of a motor stop sensor. Then, when a rotational torque is applied to the feed screw by driving the motor, the test head moves along the guide by the thrust of the feed screw. At this time, the ascending / descending direction of the test head is changed according to the rotation direction of the motor. Further, the stop of the elevation of the test head is performed by stopping the motor when the head position is detected by the sensor.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の昇降装置は送りねじとモータを備え、テストヘ
ッドの昇降を行なうモータをセンサの検出により停止さ
せるものであった為、センサの故障やセンサの取付け位
置の調整ミス等があると、テストヘッドの昇降を行なう
モータが停止せず、装置が破損してしまうという問題点
があった。However, the above-mentioned conventional lifting device is provided with the feed screw and the motor, and the motor for lifting the test head is stopped by the detection of the sensor. If there is a misalignment of the mounting position, the motor for raising and lowering the test head does not stop and the device is damaged.
【０００４】また、昇降させるテストヘッドには様々な
重量のものがある。そのため、テストヘッドが変更され
て重量が大きくなった場合は、その大きな重量に見合う
最大発生トルクを持つモータでないとテストヘッドを上
昇させることができなくなる。一方、テストヘッドの重
量が小さくなった場合は、モータは必要以上の最大発生
トルクを持つものになってしまう。しかし、従来の昇降
装置では、様々な重量のテストヘッドに変えても、その
テストヘッドの重量に見合う推力に簡単に調整する手段
はなかった。Also, there are various weights of test heads that are raised and lowered. Therefore, when the test head is changed and the weight becomes large, the test head cannot be lifted unless the motor has the maximum generated torque corresponding to the large weight. On the other hand, when the weight of the test head is reduced, the motor has a maximum torque more than necessary. However, in the conventional lifting device, there is no means for easily adjusting the thrust corresponding to the weight of the test head, even if the weight of the test head is changed.
【０００５】本発明の目的は、上記従来技術の問題点に
鑑み、装置の破損を防止すると共に、様々な重量のテス
トヘッドに見合う推力に簡単に調整できる昇降装置を提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems of the prior art, it is an object of the present invention to provide an elevating device capable of preventing the device from being damaged and easily adjusting the thrust suitable for a test head having various weights.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、様々な重量のテストヘッドをハンドラへ昇
降させる昇降装置であって、前記テストヘッドを搭載し
上下移動可能に支持案内された昇降ステージと、上方に
向けたロッドを介して前記昇降ステージを上下移動させ
るエアシリンダーと、前記エアシリンダーの給気口と空
気圧源との間を接続する配管に設けられたリリーフ付精
密減圧弁とを備え、前記リリーフ付精密減圧弁は、前記
空気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の
圧力値を、前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に
減圧調整できるものであることを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention is an elevating device for elevating test heads of various weights to a handler, which is equipped with the test head and is supported and guided so as to be movable up and down. And a precision decompression valve with a relief provided in a pipe connecting between an air supply port of the air cylinder and an air pressure source, and an air stage for vertically moving the elevating stage through an upward rod. The precision decompression valve with relief is capable of reducing the pressure value of the compressed air supplied from the air pressure source to the air cylinder to a predetermined value according to the weight of the test head. And
【０００７】上記の昇降装置において、前記テストヘッ
ドを所望の上昇位置で停止保持させるための停止保持ス
トッパーや、昇降ストロークを簡便に調整する調整機構
をさらに備える事が好ましい。また、前記エアシリンダ
ーに供給される圧縮空気の圧力値は、前記リリーフ付精
密減圧弁により、前記テストヘッドを搭載した前記昇降
ステージが所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値
に調整される事が好ましい。It is preferable that the above-mentioned lifting device further comprises a stop holding stopper for stopping and holding the test head at a desired rising position, and an adjusting mechanism for easily adjusting the lifting stroke. The pressure value of the compressed air supplied to the air cylinder is adjusted by the precision pressure reducing valve with relief to a value sufficient and necessary for the elevating stage equipped with the test head to stop at a desired ascending position. Is preferred.
【０００８】このように構成された発明では、まず、昇
降ステージにテストヘッドが搭載された状態で、エアシ
リンダーに圧縮空気が供給される。次に、リリーフ付精
密減圧弁を調整して、エアシリンダーに供給される圧縮
空気の圧力値が、テストヘッドを搭載した昇降ステージ
が所望の上昇位置で停止するのに必要十分な値にされ
る。このように予めリリーフ付精密減圧弁の調整によっ
て、所望の上昇位置でエアシリンダーの推力とテストヘ
ッドの重量とが釣り合う様にしておく。In the invention thus constructed, first, compressed air is supplied to the air cylinder with the test head mounted on the elevating stage. Next, the precision pressure reducing valve with relief is adjusted so that the pressure value of the compressed air supplied to the air cylinder is set to a value necessary and sufficient for the lifting stage equipped with the test head to stop at the desired rising position. . In this way, the precision pressure reducing valve with relief is adjusted in advance so that the thrust of the air cylinder and the weight of the test head are balanced at the desired rising position.
【０００９】その後、テストヘッドを上昇させる時は、
空気圧源とエアシリンダーの給気口とを結ぶ配管が接続
され、調整された精密減圧弁を介して所定の圧力の圧縮
空気がエアシリンダーに供給される。また、テストヘッ
ドがハンドラによって搬送された後、昇降ステージを下
降させる時は、エアシリンダー内に供給された圧縮空気
を急速に大気にリリーフすればよい。After that, when raising the test head,
A pipe connecting the air pressure source and the air supply port of the air cylinder is connected, and compressed air having a predetermined pressure is supplied to the air cylinder through the adjusted precision pressure reducing valve. Further, when the elevating stage is lowered after the test head is conveyed by the handler, the compressed air supplied into the air cylinder may be rapidly relieved to the atmosphere.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１１】（第１の実施形態）図１は本発明の昇降装
置の第１の実施形態を表す全体構成図であり、この図で
は昇降ステージを断面で示してある。また、図２は図１
に示した昇降装置のエアー回路図である。(First Embodiment) FIG. 1 is an overall configuration diagram showing a first embodiment of an elevating device of the present invention. In this figure, an elevating stage is shown in cross section. FIG. 2 shows FIG.
3 is an air circuit diagram of the lifting device shown in FIG.
【００１２】本形態の昇降装置は例えばテストヘッドを
ハンドラへ上昇させる場合に用いられ、図１に示すよう
に、テストヘッド１を搭載した昇降ステージ２と、昇降
ステージ２を上下に移動可能に案内するためのガイド３
と、上方に向けたロッドを介して昇降ステージ２を駆動
させるためのエアシリンダー４と、エアシリンダー４の
給気口と空気圧源５との間を接続する配管に設けられ、
所定の圧力値以上になると圧縮空気を大気に開放して減
圧するリリーフ付精密減圧弁６と、から基本的に構成さ
れている。精密減圧弁６には、圧力調整を行なうための
ツマミ６ａと、調整結果を表示する圧力ゲージ（不図
示）とが備えられている。また、昇降ステージ２には、
エアシリンダー４の非駆動時に昇降ステージ２を手動で
操作できる操作ハンドル７も設けられている。さらに
は、上昇ステージ２の上方には、テストヘッド１を上昇
させた際に上昇ステージ２と突き当たる停止保持ストッ
パー８が配されていて、ハンドラ（不図示）に対するテ
ストヘッド１の位置が調整できる様になっている。The elevating device of this embodiment is used, for example, when raising a test head to a handler, and as shown in FIG. 1, an elevating stage 2 on which the test head 1 is mounted, and a guide for vertically moving the elevating stage 2. Guide to do 3
And an air cylinder 4 for driving the lifting stage 2 via an upwardly directed rod, and a pipe connecting the air supply port of the air cylinder 4 and the air pressure source 5,
It basically comprises a precision pressure reducing valve 6 with a relief that releases compressed air to the atmosphere when the pressure exceeds a predetermined pressure value. The precision pressure reducing valve 6 is provided with a knob 6a for adjusting the pressure and a pressure gauge (not shown) for displaying the adjustment result. In addition, the lifting stage 2
An operation handle 7 that can manually operate the elevating stage 2 when the air cylinder 4 is not driven is also provided. Further, above the ascending stage 2, a stop holding stopper 8 is provided which abuts against the ascending stage 2 when the test head 1 is lifted, so that the position of the test head 1 with respect to a handler (not shown) can be adjusted. It has become.
【００１３】複数のテストヘッド１を同時に昇降させる
には、図２に示すようにエアシリンダー４を複数個設
け、各々のエアシリンダー４の給気口に対し、空気圧源
５より精密減圧弁６を介した配管を分岐して接続すれば
よい。また、各エアシリンダー４の排気ポートには消音
のためにサイレンサー９を配設してもよい。In order to raise and lower a plurality of test heads 1 at the same time, a plurality of air cylinders 4 are provided as shown in FIG. 2, and a precise pressure reducing valve 6 is provided from an air pressure source 5 to the air supply port of each air cylinder 4. It suffices to branch the connected pipe and connect it. Further, a silencer 9 may be arranged at the exhaust port of each air cylinder 4 for noise reduction.
【００１４】上記の形態の昇降装置では、まず、人が操
作ハンドル７でテストヘッド１が搭載された昇降ステー
ジ２を持ち上げ、ハンドラ（不図示）に対するテストヘ
ッド１の上昇端を、昇降ステージ２が突き当てられる停
止保持ストッパー８の位置を調整して決める。次に、エ
アシリンダー４に圧縮空気が供給される。そして、エア
シリンダー４の推力を精密減圧弁６で調整して、所望の
上昇位置で停止するようにテストヘッド１の重量と釣合
わせる。ここでは、テストヘッド１を載せた昇降ステー
ジ２が停止保持ストッパー８で停止するのに必要十分な
エアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ６ａ
で調整する。エアシリンダー４の推力の調整は、精密減
圧弁６の圧力ゲージ（不図示）を確認しながら行なわれ
る。In the lifting device of the above-described mode, first, a person lifts the lifting stage 2 on which the test head 1 is mounted with the operation handle 7, and the lifting end of the test head 1 with respect to the handler (not shown) is lifted by the lifting stage 2. The position of the stop holding stopper 8 to be abutted is adjusted and determined. Next, compressed air is supplied to the air cylinder 4. Then, the thrust of the air cylinder 4 is adjusted by the precision pressure reducing valve 6 to balance with the weight of the test head 1 so as to stop at the desired rising position. Here, the thrust of the air cylinder 4 necessary and sufficient for the lift stage 2 on which the test head 1 is placed to stop at the stop holding stopper 8 is set to the knob 6a of the precision pressure reducing valve 6.
Adjust with. The thrust of the air cylinder 4 is adjusted while checking the pressure gauge (not shown) of the precision pressure reducing valve 6.
【００１５】このようにテストヘッド１の重量とのバラ
ンスを見てエアシリンダー４の推力を予め調整してお
く。そして、テストヘッド１を上昇させる時は、空気圧
源５とエアシリンダー４の給気口とを結ぶ配管が接続さ
れ、精密減圧弁６を介して所定の圧力に減圧された圧縮
空気がエアシリンダー４に供給される。また、テストヘ
ッド１がハンドラ（不図示）によって搬送された後、昇
降ステージ２を下降させる時は、エアシリンダー４内に
供給された圧縮空気を精密減圧弁６により急速に大気に
リリーフする。勿論、エアシリンダー４の給気口を、電
磁弁の切換え等で大気と連通させる事でも昇降ステージ
２を自重により下降させることはできる。In this way, the thrust of the air cylinder 4 is adjusted in advance by checking the balance with the weight of the test head 1. When the test head 1 is raised, the pipe connecting the air pressure source 5 and the air supply port of the air cylinder 4 is connected, and the compressed air that has been depressurized to a predetermined pressure via the precision depressurization valve 6 is transferred to the air cylinder 4. Is supplied to. After the test head 1 is conveyed by a handler (not shown), when the elevating stage 2 is lowered, the compressed air supplied into the air cylinder 4 is rapidly relieved to the atmosphere by the precision pressure reducing valve 6. Of course, the elevating stage 2 can be lowered by its own weight by connecting the air supply port of the air cylinder 4 to the atmosphere by switching the solenoid valve or the like.
【００１６】（第２の実施形態）図３は本発明の昇降装
置の第２の実施形態を表す全体構成図である。この図に
おいて、第１の実施形態と同一の構成要素には同一符号
を付してある。この形態の昇降装置は図３に示すよう
に、第１の実施形態と同様の昇降ステージ２及び、ガイ
ド３、エアシリンダー４、リリーフ付精密減圧弁６等の
基本的構成に加え、昇降ストロークを簡便に調整する機
構を備えている。(Second Embodiment) FIG. 3 is an overall configuration diagram showing a second embodiment of the lifting device of the present invention. In this figure, the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals. As shown in FIG. 3, the elevating device of this embodiment has the same elevating stage 2 as in the first embodiment, a guide 3, an air cylinder 4, a precision pressure reducing valve 6 with a relief, and the like. Equipped with a mechanism for easy adjustment.
【００１７】この調整機構は、送りねじ１０、ギアボッ
クス１１および回転ハンドル１２とから構成される。具
体的には、ギアボックス１１は昇降ステージ２の下面側
に固定される。送りねじ１０は昇降ステージ２に形成さ
れた穴１４を通して上下方向に延在させてあり、昇降ス
テージ２の穴１４は送りねじ１０に螺着された螺着部材
１３と嵌合自在にしてある。昇降ステージ２の穴１４と
送りねじ１０の螺着部材１３との嵌合状態は、エアシリ
ンダー４の推力による昇降ステージ２の上昇時のみに容
易に外れる様になっている。This adjusting mechanism comprises a feed screw 10, a gear box 11 and a rotary handle 12. Specifically, the gear box 11 is fixed to the lower surface side of the elevating stage 2. The feed screw 10 extends vertically through a hole 14 formed in the elevating stage 2, and the hole 14 of the elevating stage 2 can be fitted into a screwing member 13 screwed to the feed screw 10. The fitting state of the hole 14 of the elevating stage 2 and the screwing member 13 of the feed screw 10 is easily disengaged only when the elevating stage 2 is lifted by the thrust of the air cylinder 4.
【００１８】ここで、上記の調整機構の動作について説
明する。エアシリンダー４の給気口が大気と連通してい
る時、昇降ステージ２の自重によって昇降ステージ２の
穴１４と送りねじ１０の螺着部材１３とは嵌合状態にあ
る。この状態で、回転ハンドル１２を回すと、その回転
ハンドル１２の回転がギアボックス１１を介して送りね
じ１０に伝達され、送りねじ１０は回転し、螺着部材１
３と共に昇降ステージ２が昇降する。このように回転ハ
ンドル１２を回して昇降ステージ２の下限位置を変更す
ることで、昇降ストロークが調整できる。The operation of the adjusting mechanism will be described below. When the air supply port of the air cylinder 4 communicates with the atmosphere, the hole 14 of the elevating stage 2 and the screwing member 13 of the feed screw 10 are in a fitted state due to the weight of the elevating stage 2. When the rotary handle 12 is rotated in this state, the rotation of the rotary handle 12 is transmitted to the feed screw 10 via the gear box 11, the feed screw 10 rotates, and the screw member 1
The elevating stage 2 moves up and down together with 3. In this way, the lifting stroke can be adjusted by rotating the rotary handle 12 and changing the lower limit position of the lifting stage 2.
【００１９】昇降ストロークを設定した後は、第１の実
施形態と同様に、テストヘッド１を載せた昇降ステージ
２が停止保持ストッパー８の位置で停止するのに必要十
分なエアシリンダー４の推力を、精密減圧弁６のツマミ
６ａで調整する。そして、テストヘッド１を上昇させる
時及び下降させる時も第１の実施形態と同様に行なう。After the lifting stroke is set, the thrust of the air cylinder 4 sufficient for stopping the lifting stage 2 on which the test head 1 is mounted at the position of the stop holding stopper 8 is set as in the first embodiment. Adjust with the knob 6a of the precision pressure reducing valve 6. The test head 1 is moved up and down in the same manner as in the first embodiment.
【００２０】尚、上述した第１及び第２の実施形態は、
ハンドラに対するテストヘッド１の上昇端を停止保持ス
トッパー８の位置で決めているが、停止保持ストッパー
８を使用しなくてもエアシリンダー４の推力とテストヘ
ッド１の重量とのバランスによって上昇端はもちろん決
まる。しかし、テストヘッド１の上昇位置の位置精度を
より良くする為には停止保持ストッパー８を用いる事が
好ましい。The first and second embodiments described above are
The rising end of the test head 1 with respect to the handler is determined by the position of the stop holding stopper 8, but even if the stop holding stopper 8 is not used, the rising end is of course depending on the balance between the thrust of the air cylinder 4 and the weight of the test head 1. Decided. However, in order to improve the positional accuracy of the raised position of the test head 1, it is preferable to use the stop holding stopper 8.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明した本発明は、様々な重量のテ
ストヘッドをハンドラへ昇降させる昇降装置であって、
テストヘッドを搭載する昇降ステージを上下移動可能に
案内支持すると共に、上方に向けたエアシリンダーのロ
ッドで前記昇降ステージを上下動させる様に構成し、空
気圧源から前記エアシリンダーに供給する圧縮空気の圧
力値を前記テストヘッドの重量に応じて所定の値に減圧
調整できるリリーフ付精密減圧弁を設けた事により、様
々な重量のテストヘッドに見合う推力に簡単に調整でき
る。The present invention described above is an elevating device for elevating test heads of various weights to a handler.
While supporting the lift stage that mounts the test head so that it can move up and down, it is configured to move the lift stage up and down by the rod of the air cylinder facing upward, and the compressed air supplied from the air pressure source to the air cylinder is By providing a precision pressure reducing valve with a relief capable of reducing the pressure value to a predetermined value according to the weight of the test head, it is possible to easily adjust the thrust force suitable for test heads of various weights.
【００２２】また、テストヘッドの重量とシリンダヘッ
ドの推力とのバランスでテストヘッドの上昇位置を決め
ている事により、従来技術のようにセンサの監視によっ
て昇降を停止させるものではないので装置の破損が防止
できる。Further, since the rising position of the test head is determined by the balance between the weight of the test head and the thrust of the cylinder head, the lifting / lowering is not stopped by the monitoring of the sensor as in the prior art, so the device is damaged. Can be prevented.
【図１】本発明の昇降装置の第１の実施形態を表す全体
構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing a first embodiment of a lifting device of the present invention.
【図２】図１に示した昇降装置のエアー回路図である。FIG. 2 is an air circuit diagram of the lifting device shown in FIG.
【図３】本発明の昇降装置の第２の実施形態を表す全体
構成図である。FIG. 3 is an overall configuration diagram showing a second embodiment of a lifting device of the present invention.
１ テストヘッド ２ 昇降ステージ ３ ガイド ４ エアシリンダー ５ 空気圧源 ６ リリーフ付精密減圧弁 ７ 操作ハンドル ８ 停止保持ストッパー ９ サイレンサー １０ 送りねじ １１ ギアボックス １２ 回転ハンドル 1 Test Head 2 Lifting Stage 3 Guide 4 Air Cylinder 5 Air Pressure Source 6 Precision Pressure Reducing Valve with Relief 7 Operation Handle 8 Stop Hold Stopper 9 Silencer 10 Feed Screw 11 Gear Box 12 Rotation Handle
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ Continuation of front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location H01L 21/66 G01R 31/28 K
Claims (4)
昇降させる昇降装置であって、 前記テストヘッドを搭載し上下移動可能に支持案内され
た昇降ステージと、 上方に向けたロッドを介して前記昇降ステージを上下移
動させるエアシリンダーと、 前記エアシリンダーの給気口と空気圧源との間を接続す
る配管に設けられたリリーフ付精密減圧弁とを備え、 前記リリーフ付精密減圧弁は、前記空気圧源から前記エ
アシリンダーに供給する圧縮空気の圧力値を、前記テス
トヘッドの重量に応じて所定の値に減圧調整できるもの
であることを特徴とする昇降装置。1. An elevating device for elevating test heads of various weights to a handler, the elevating stage having the test head mounted thereon and being supported and guided so as to be movable up and down, and the elevating stage via a rod directed upward. An air cylinder for moving the stage up and down, and a precision pressure reducing valve with a relief provided in a pipe connecting between an air supply port of the air cylinder and an air pressure source, the precision pressure reducing valve with a relief is the air pressure source. An elevating device, wherein the pressure value of compressed air supplied from the air cylinder to the air cylinder can be adjusted to a predetermined value according to the weight of the test head.
止保持させるための停止保持ストッパーをさらに備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の昇降装置。2. The elevating device according to claim 1, further comprising a stop holding stopper for stopping and holding the test head at a predetermined raised position.
気の圧力値は、前記リリーフ付精密減圧弁により、前記
テストヘッドを搭載した前記昇降ステージが所定の上昇
位置で停止するのに必要十分な値に調整されることを特
徴とする請求項１又は請求項２に記載の昇降装置。3. The pressure value of the compressed air supplied to the air cylinder is a value necessary and sufficient for the lifting stage equipped with the test head to stop at a predetermined rising position by the precision pressure reducing valve with relief. The lifting device according to claim 1 or 2, wherein the lifting device is adjusted to.
構をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれか１項に記載の昇降装置。4. The elevating device according to claim 1, further comprising an adjusting mechanism for easily adjusting an elevating stroke.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686896A JPH09291000A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Lifting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10686896A JPH09291000A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Lifting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09291000A true JPH09291000A (en) | 1997-11-11 |
Family
ID=14444530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10686896A Pending JPH09291000A (en) | 1996-04-26 | 1996-04-26 | Lifting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09291000A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20020070121A (en) * | 2001-02-27 | 2002-09-05 | 안도덴키 가부시키가이샤 | Autohandler |
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| CN107381413A (en) * | 2017-07-05 | 2017-11-24 | 吉媛 | A kind of adjustable type jack |
-
1996
- 1996-04-26 JP JP10686896A patent/JPH09291000A/en active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051013 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051019 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |