JPH07103828A - 周波数可変特性評価装置 - Google Patents
周波数可変特性評価装置Info
- Publication number
- JPH07103828A JPH07103828A JP26843193A JP26843193A JPH07103828A JP H07103828 A JPH07103828 A JP H07103828A JP 26843193 A JP26843193 A JP 26843193A JP 26843193 A JP26843193 A JP 26843193A JP H07103828 A JPH07103828 A JP H07103828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- variable
- optical
- light
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 周波数可変光源の可変特性評価において位相
連続周波数可変幅やその直線性、あるいは発振周波数の
変化方向を精度良く容易に測定できる周波数可変特性評
価装置を提供する。 【構成】 周波数可変光源１の光周波数を一方向に掃引
する周波数制御回路２と、周波数可変光源１からの光を
遅延自己ヘテロダイン検波するための光分岐器４Ａ、遅
延ファイバ５と偏波面制御器７、周波数シフター６、受
光器８からなる遅延自己ヘテロダイン干渉計と、この検
波したビート周波数を測定する周波数分析器９とを備え
ている。ビート周波数の値から周波数変化率が、ビート
周波数と周波数シフター６のキャリア周波数から周波数
可変光源１の周波数の変化方向が、またビート周波数の
時間変化量の積分から位相連続周波数可変幅が、それぞ
れ判る。
連続周波数可変幅やその直線性、あるいは発振周波数の
変化方向を精度良く容易に測定できる周波数可変特性評
価装置を提供する。 【構成】 周波数可変光源１の光周波数を一方向に掃引
する周波数制御回路２と、周波数可変光源１からの光を
遅延自己ヘテロダイン検波するための光分岐器４Ａ、遅
延ファイバ５と偏波面制御器７、周波数シフター６、受
光器８からなる遅延自己ヘテロダイン干渉計と、この検
波したビート周波数を測定する周波数分析器９とを備え
ている。ビート周波数の値から周波数変化率が、ビート
周波数と周波数シフター６のキャリア周波数から周波数
可変光源１の周波数の変化方向が、またビート周波数の
時間変化量の積分から位相連続周波数可変幅が、それぞ
れ判る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、周波数可変特性評価
装置についてのものであり、特に光コヒーレント通信や
光コヒーレント計測などの技術分野で使用する発振周波
数可変光源の周波数可変特性を評価する装置についての
ものである。
装置についてのものであり、特に光コヒーレント通信や
光コヒーレント計測などの技術分野で使用する発振周波
数可変光源の周波数可変特性を評価する装置についての
ものである。
【０００２】
【従来の技術】光コヒーレント通信や光コヒーレント計
測などの分野においては、発振周波数可変光源の開発が
行われており、位相連続の可能な周波数可変光源である
ＴＴＧ（tunable twin guide）−ＬＤ、３電極ＤＢＲ
（distributed bragg reflector）−ＬＤ、多電極ＤＦ
Ｂ（distributed feedback）−ＬＤ、外部共振器型ＬＤ
など）の報告がなされている。
測などの分野においては、発振周波数可変光源の開発が
行われており、位相連続の可能な周波数可変光源である
ＴＴＧ（tunable twin guide）−ＬＤ、３電極ＤＢＲ
（distributed bragg reflector）−ＬＤ、多電極ＤＦ
Ｂ（distributed feedback）−ＬＤ、外部共振器型ＬＤ
など）の報告がなされている。
【０００３】周波数可変光源において、波長領域レベル
での広帯域周波数可変量は、光スペクトルアナライザや
光波長計で測定することができる。周波数領域での位相
連続周波数可変幅を測定する際には、マイケルソン干渉
計、エタロン素子を使用したファブリペロー干渉計、ま
たは偏波面保存ファイバを使用したファブリペロー干渉
計を使用しなければならない。
での広帯域周波数可変量は、光スペクトルアナライザや
光波長計で測定することができる。周波数領域での位相
連続周波数可変幅を測定する際には、マイケルソン干渉
計、エタロン素子を使用したファブリペロー干渉計、ま
たは偏波面保存ファイバを使用したファブリペロー干渉
計を使用しなければならない。
【０００４】つぎに、マイケルソン干渉計を使用した従
来技術の構成を図４に示す。図４によれば、光源発振駆
動回路３により駆動される周波数可変光源１から光（直
線偏波光）をビームスプリッタ１４並びに光路差Ｌを持
たせた反射器１５Ａ・１５Ｂとから構成されるマイケル
ソン干渉計を介して受光器８に導き、受光器８において
その干渉波形を受光している。この場合、周波数制御回
路２によって周波数可変光源１の発振周波数を掃引し、
表示器１３により干渉波形を測定していくと、周波数可
変光源１の発振周波数に跳び（モードホップ）が発生し
た際に不連続な干渉波形が得られる。そして、それまで
の連続な干渉波形の周期数から位相連続周波数可変幅を
求めることができる。
来技術の構成を図４に示す。図４によれば、光源発振駆
動回路３により駆動される周波数可変光源１から光（直
線偏波光）をビームスプリッタ１４並びに光路差Ｌを持
たせた反射器１５Ａ・１５Ｂとから構成されるマイケル
ソン干渉計を介して受光器８に導き、受光器８において
その干渉波形を受光している。この場合、周波数制御回
路２によって周波数可変光源１の発振周波数を掃引し、
表示器１３により干渉波形を測定していくと、周波数可
変光源１の発振周波数に跳び（モードホップ）が発生し
た際に不連続な干渉波形が得られる。そして、それまで
の連続な干渉波形の周期数から位相連続周波数可変幅を
求めることができる。
【０００５】図５は偏波面保存ファイバを使用した従来
技術の構成を示したものである。この方法では、周波数
可変光源１からの直線偏波光を偏波面保存ファイバ１６
（長さＬ、屈折率ｎx 、ｎy ）に４５度の偏波面で入射
するとともに、偏波面保存ファイバ１６の出力側に偏光
素子（ＰＢＳ）１７を設け、偏光素子１７において２つ
に分かれた偏光成分の出力を各受光器８Ａ・８Ｂにおい
て受光する。周波数可変光源１の発振周波数を掃引する
と、表示器１３において観察される干渉波形は、各直交
モード成分で次式のように示される。
技術の構成を示したものである。この方法では、周波数
可変光源１からの直線偏波光を偏波面保存ファイバ１６
（長さＬ、屈折率ｎx 、ｎy ）に４５度の偏波面で入射
するとともに、偏波面保存ファイバ１６の出力側に偏光
素子（ＰＢＳ）１７を設け、偏光素子１７において２つ
に分かれた偏光成分の出力を各受光器８Ａ・８Ｂにおい
て受光する。周波数可変光源１の発振周波数を掃引する
と、表示器１３において観察される干渉波形は、各直交
モード成分で次式のように示される。
【０００６】 Ｉx,y ＝ｃｏｓφx,y （φx,y ＝４πｎx,y Ｌｆ／ｃ） そしてこれら２つの出力位相方向から、発振周波数の変
化方向がわかる。また周波数可変幅は、上記のマイケル
ソン干渉計を用いた方法と同様に、周期数から求めるこ
とができる。
化方向がわかる。また周波数可変幅は、上記のマイケル
ソン干渉計を用いた方法と同様に、周期数から求めるこ
とができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図４のマイ
ケルソン干渉計を用いた構成では、光路差Ｌによって干
渉波形の周期が決まるので、正確な光路差Ｌを知ってお
く必要がある。また干渉計の光路差によって得られる自
由スペクトル領域（ＦＳＲ）と周波数可変光源のモード
間隔によっては、モードホップが発生しても、干渉波形
はほとんど変化しない条件もある。さらに、位相連続可
変での周波数変化率（直線性）は、干渉波形の各周期の
間隔から求めなければならないため、直線性の分解能が
悪いという問題がある。その他、発振周波数の変化方向
は、干渉波形のみを観測しても判らないため、光波長計
などの測定器が必要になるという問題もある。
ケルソン干渉計を用いた構成では、光路差Ｌによって干
渉波形の周期が決まるので、正確な光路差Ｌを知ってお
く必要がある。また干渉計の光路差によって得られる自
由スペクトル領域（ＦＳＲ）と周波数可変光源のモード
間隔によっては、モードホップが発生しても、干渉波形
はほとんど変化しない条件もある。さらに、位相連続可
変での周波数変化率（直線性）は、干渉波形の各周期の
間隔から求めなければならないため、直線性の分解能が
悪いという問題がある。その他、発振周波数の変化方向
は、干渉波形のみを観測しても判らないため、光波長計
などの測定器が必要になるという問題もある。
【０００８】一方、図５のファブリペロー干渉計を用い
た構成では、偏波面保存ファイバに直線偏波光を４５度
傾けて光を入射しなければならない。また、偏波面保存
ファイバの長さＬと周波数可変光源の発振周波数ｆとの
関係で、初めから位相がπ／２以上変化してしまって干
渉波形の位相方向が判らず、発振周波数の変化方向が判
らなくなる場合があるという問題がある。
た構成では、偏波面保存ファイバに直線偏波光を４５度
傾けて光を入射しなければならない。また、偏波面保存
ファイバの長さＬと周波数可変光源の発振周波数ｆとの
関係で、初めから位相がπ／２以上変化してしまって干
渉波形の位相方向が判らず、発振周波数の変化方向が判
らなくなる場合があるという問題がある。
【０００９】この発明は、周波数可変光源における位相
連続周波数可変幅とその変化率（直線性）を精度良く測
定でき、また周波数可変方向を容易に識別することが可
能な周波数特性可変評価装置を提供することを目的とす
る。
連続周波数可変幅とその変化率（直線性）を精度良く測
定でき、また周波数可変方向を容易に識別することが可
能な周波数特性可変評価装置を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明は、被測定物である周波数可変光源の光周
波数を一方向に掃引し、この掃引した光を光分岐器、周
波数シフタと遅延ファイバ、並びに合波回路としての光
分岐器を備える遅延自己ヘテロダイン干渉計を用いて遅
延自己ヘテロダイン検波してビート周波数を測定するよ
うにした。またこのビート周波数と、周波数シフタのキ
ャリア周波数を測定し、これら測定された周波数の差を
積分する。
に、この発明は、被測定物である周波数可変光源の光周
波数を一方向に掃引し、この掃引した光を光分岐器、周
波数シフタと遅延ファイバ、並びに合波回路としての光
分岐器を備える遅延自己ヘテロダイン干渉計を用いて遅
延自己ヘテロダイン検波してビート周波数を測定するよ
うにした。またこのビート周波数と、周波数シフタのキ
ャリア周波数を測定し、これら測定された周波数の差を
積分する。
【００１１】
【作用】発振周波数ｆ0 の周波数可変光源の光周波数を
＋Δｆ／ΔＴの割合で変化するように周波数制御回路を
掃引させると、掃引開始から時間ｔ後の光周波数はｆ0
＋Δｆ／ΔＴ*tとなる。また周波数偏移量であるキャリ
ア周波数が＋ｆAOの周波数シフタ回路を使用すると、光
分岐回路で分岐された光のうちの周波数シフタ回路を通
過した光周波数は、ｆ0 ＋Δｆ／ΔＴ*t＋ｆAOになる。
さらに、分岐された光のうちの遅延回路を通過した光周
波数は、遅延回路による遅延時間をτすると、ｆ0 ＋Δ
ｆ／ΔＴ*(t −τ）となる。このため、光分岐回路で合
波される光は、各々の光周波数差であるｆAO−Δｆ／Δ
Ｔ＊τのビート周波数として観測される。
＋Δｆ／ΔＴの割合で変化するように周波数制御回路を
掃引させると、掃引開始から時間ｔ後の光周波数はｆ0
＋Δｆ／ΔＴ*tとなる。また周波数偏移量であるキャリ
ア周波数が＋ｆAOの周波数シフタ回路を使用すると、光
分岐回路で分岐された光のうちの周波数シフタ回路を通
過した光周波数は、ｆ0 ＋Δｆ／ΔＴ*t＋ｆAOになる。
さらに、分岐された光のうちの遅延回路を通過した光周
波数は、遅延回路による遅延時間をτすると、ｆ0 ＋Δ
ｆ／ΔＴ*(t −τ）となる。このため、光分岐回路で合
波される光は、各々の光周波数差であるｆAO−Δｆ／Δ
Ｔ＊τのビート周波数として観測される。
【００１２】上記の光周波数の掃引中の時間ｔに、周波
数可変光源の共振器長によるモード間隔の発振周波数変
化Δｆm （周波数の跳び：モードホップ）が起きた場
合、上記の周波数シフタ回路側の光周波数は、ｆ0 ＋Δ
ｆ／ΔＴ*t＋ｆAO＋Δｆm と瞬時に変化する。また遅延
回路側は遅延時間τだけ遅れているため、光周波数はｆ
0 ＋Δｆ／ΔＴ*(t −τ）であり、時間ｔではΔｆm の
周波数跳びの光周波数はまだ伝搬されていない。このた
め、上記のビート周波数として観察される光周波数差は
ｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τ＋Δｆm となり、不連続なビート
周波数が観測される。ここで、掃引の始まりからモード
ホップが起きた時間までが、位相連続周波数可変の範囲
となる。
数可変光源の共振器長によるモード間隔の発振周波数変
化Δｆm （周波数の跳び：モードホップ）が起きた場
合、上記の周波数シフタ回路側の光周波数は、ｆ0 ＋Δ
ｆ／ΔＴ*t＋ｆAO＋Δｆm と瞬時に変化する。また遅延
回路側は遅延時間τだけ遅れているため、光周波数はｆ
0 ＋Δｆ／ΔＴ*(t −τ）であり、時間ｔではΔｆm の
周波数跳びの光周波数はまだ伝搬されていない。このた
め、上記のビート周波数として観察される光周波数差は
ｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τ＋Δｆm となり、不連続なビート
周波数が観測される。ここで、掃引の始まりからモード
ホップが起きた時間までが、位相連続周波数可変の範囲
となる。
【００１３】そして、このビート周波数の値が周波数変
化率（直線性）となる。この場合、説明では光周波数を
＋Δｆ／ΔＴの割合で変化するように周波数制御回路で
掃引させたが、実際はΔｆが一定で変化するとはかぎら
ないので、Δｆ／ΔＴ＊τ成分が周波数変化率（直線
性）となる。また、上記で測定されたビート周波数の変
化、つまりビート周波数を周波数シフタのキャリア周波
数ｆAOと比較した時の大小（高低）により、周波数可変
光源における周波数の変化方向（可変方向）が判る。さ
らに、ビート周波数の時間変化量の積分Σ（Δｆ／ΔＴ
＊τ）が可変幅（位相連続周波数可変幅）となる。
化率（直線性）となる。この場合、説明では光周波数を
＋Δｆ／ΔＴの割合で変化するように周波数制御回路で
掃引させたが、実際はΔｆが一定で変化するとはかぎら
ないので、Δｆ／ΔＴ＊τ成分が周波数変化率（直線
性）となる。また、上記で測定されたビート周波数の変
化、つまりビート周波数を周波数シフタのキャリア周波
数ｆAOと比較した時の大小（高低）により、周波数可変
光源における周波数の変化方向（可変方向）が判る。さ
らに、ビート周波数の時間変化量の積分Σ（Δｆ／ΔＴ
＊τ）が可変幅（位相連続周波数可変幅）となる。
【００１４】
【実施例】つぎに、この発明の実施例の構成を図１に示
す。図１はこの発明の請求項１に対応する実施例であ
る。図１で、周波数可変光源１の発振周波数は、周波数
可変制御回路２によってｆ0 の光周波数から一方向に掃
引される。このような周波数可変制御としては、モノリ
シックＬＤの場合、ＬＤの周波数可変電流（周波数可変
電流及び位相調整電流）自体を掃引すれば良い。また外
部共振器型ＬＤでは、周波数を可変させる回折格子等の
角度、及び共振器の長さを調整するための駆動回路を駆
動掃引すれば良い。
す。図１はこの発明の請求項１に対応する実施例であ
る。図１で、周波数可変光源１の発振周波数は、周波数
可変制御回路２によってｆ0 の光周波数から一方向に掃
引される。このような周波数可変制御としては、モノリ
シックＬＤの場合、ＬＤの周波数可変電流（周波数可変
電流及び位相調整電流）自体を掃引すれば良い。また外
部共振器型ＬＤでは、周波数を可変させる回折格子等の
角度、及び共振器の長さを調整するための駆動回路を駆
動掃引すれば良い。
【００１５】光周波数が掃引された光は、光分岐器４Ａ
により分岐される。分岐された光は、一方がファイバ長
Ｌ（ｍ）の遅延ファイバ５に、また他方がキャリア周波
数＋ｆAOの周波数シフタ６に導かれる。なお、遅延ファ
イバ５には偏波面制御器７が接続されており、これらに
より遅延自己ヘテロダイン干渉計が構成される。ここ
で、各光周波数は下記の式で示される。
により分岐される。分岐された光は、一方がファイバ長
Ｌ（ｍ）の遅延ファイバ５に、また他方がキャリア周波
数＋ｆAOの周波数シフタ６に導かれる。なお、遅延ファ
イバ５には偏波面制御器７が接続されており、これらに
より遅延自己ヘテロダイン干渉計が構成される。ここ
で、各光周波数は下記の式で示される。
【００１６】 周波数可変光源１の初期光周波数 ｆ0 ［Ｈｚ］ 周波数シフタ６のキャリア周波数 ＋ｆAO［Ｈｚ］ 掃引した時の周波数変化率 Δｆ／ΔＴ［Ｈｚ／
ｓｅｃ］ 遅延ファイバ５での遅延時間 τ［ｓｅ
ｃ］ また、周波数の掃引開始からｔ時間後の各光周波数は次
の通りである。
ｓｅｃ］ 遅延ファイバ５での遅延時間 τ［ｓｅ
ｃ］ また、周波数の掃引開始からｔ時間後の各光周波数は次
の通りである。
【００１７】遅延ファイバ５を通過した光周波数 ｆ0
＋Δｆ／ΔＴ＊(t−τ) ［Ｈｚ］ 周波数シフタ６を通過した光周波数ｆ0 ＋ｆAO＋Δｆ*
／ΔＴt ［Ｈｚ］ これら遅延ファイバ５、周波数シフタ６を通過した２つ
の光は光分岐器４Ｂで合波される。またこの合波された
光は、受光器８において電気信号に変換されて遅延自己
ヘテロダイン検波され、これら２つの光周波数差に対応
するビート周波数ｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τが観測される。
また周波数分析器９で、このビート周波数に対応した値
が出力され、ビート周波数が測定される。
＋Δｆ／ΔＴ＊(t−τ) ［Ｈｚ］ 周波数シフタ６を通過した光周波数ｆ0 ＋ｆAO＋Δｆ*
／ΔＴt ［Ｈｚ］ これら遅延ファイバ５、周波数シフタ６を通過した２つ
の光は光分岐器４Ｂで合波される。またこの合波された
光は、受光器８において電気信号に変換されて遅延自己
ヘテロダイン検波され、これら２つの光周波数差に対応
するビート周波数ｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τが観測される。
また周波数分析器９で、このビート周波数に対応した値
が出力され、ビート周波数が測定される。
【００１８】周波数分析器９としては、遅延時間τより
短い時間で周波数測定ができる周波数カウンタや周波数
弁別器（Ｆ／Ｖコンバータなど）などが用いられる。ま
た周波数分析器９の出力値は、このビート周波数を例え
ば縦軸とし、また例えば掃引時間を横軸としてグラフ表
示するための電気処理回路である表示処理回路１２に入
力され、表示器１３においてグラフ表示される。こうし
て周波数分析器９からのビート周波数の出力変化が、光
周波数の掃引時間などに対してグラフ表示される。
短い時間で周波数測定ができる周波数カウンタや周波数
弁別器（Ｆ／Ｖコンバータなど）などが用いられる。ま
た周波数分析器９の出力値は、このビート周波数を例え
ば縦軸とし、また例えば掃引時間を横軸としてグラフ表
示するための電気処理回路である表示処理回路１２に入
力され、表示器１３においてグラフ表示される。こうし
て周波数分析器９からのビート周波数の出力変化が、光
周波数の掃引時間などに対してグラフ表示される。
【００１９】図１では、周波数可変制御回路２において
光周波数を変化させており、この周波数変化率（可変
率）Δｆ／ΔＴが一定であれば、得られるビート周波数
もｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τの値で一定となる。ここで、ビ
ート周波数の周波数がキャリア周波数ｆAOより低い周波
数ほど、光周波数は大きい変化率で高周波側に変化して
いる。逆に、ビート周波数の周波数がキャリア周波数ｆ
AOより高い周波数ほど、光周波数は大きい変化率で低周
波側に変化する。
光周波数を変化させており、この周波数変化率（可変
率）Δｆ／ΔＴが一定であれば、得られるビート周波数
もｆAO−Δｆ／ΔＴ＊τの値で一定となる。ここで、ビ
ート周波数の周波数がキャリア周波数ｆAOより低い周波
数ほど、光周波数は大きい変化率で高周波側に変化して
いる。逆に、ビート周波数の周波数がキャリア周波数ｆ
AOより高い周波数ほど、光周波数は大きい変化率で低周
波側に変化する。
【００２０】更に、ビート周波数がキャリア周波数ｆAO
と等しい場合は、光周波数の変化がないことを示す。こ
のため、得られたビート周波数がキャリア周波数ｆAOよ
り高いか低いかで光周波数の変化方向がわかり、またこ
の時の周波数の値が周波数変化率（直線性）となる。た
だし、掃引開始から遅延時間τの間は、周波数の直線性
の値としては得られない。このようにして、周波数可変
光源１における周波数可変の直線性と可変方向（変化方
向）が求められる。
と等しい場合は、光周波数の変化がないことを示す。こ
のため、得られたビート周波数がキャリア周波数ｆAOよ
り高いか低いかで光周波数の変化方向がわかり、またこ
の時の周波数の値が周波数変化率（直線性）となる。た
だし、掃引開始から遅延時間τの間は、周波数の直線性
の値としては得られない。このようにして、周波数可変
光源１における周波数可変の直線性と可変方向（変化方
向）が求められる。
【００２１】一方、周波数の掃引中にモードホップが発
生した場合には、周波数可変光源１の共振器長によるモ
ード間隔の発振周波数変化（Δｆm ＝数ＧＨｚ〜数百Ｇ
Ｈｚ）が起こり、ビート周波数は受光器８および周波数
分析器９の応答周波数範囲を越えてしまう。そのために
モードホップ発生後の遅延時間はビート周波数の測定が
不可能となり、これによりモードホップが発生したこと
が観測される。
生した場合には、周波数可変光源１の共振器長によるモ
ード間隔の発振周波数変化（Δｆm ＝数ＧＨｚ〜数百Ｇ
Ｈｚ）が起こり、ビート周波数は受光器８および周波数
分析器９の応答周波数範囲を越えてしまう。そのために
モードホップ発生後の遅延時間はビート周波数の測定が
不可能となり、これによりモードホップが発生したこと
が観測される。
【００２２】図２はこの発明の請求項２に対応する実施
例である。図２によれば周波数可変光源１における周波
数可変幅が求めることができる。この場合、周波数可変
幅の測定においては、受光器８で発生したビート周波数
と、周波数シフタ６のキャリア周波数ｆAOとの周波数の
差の符号も判らなければならない。このため、図２で
は、受光器８におけるビート周波数を測定する周波数分
析器９Ａに加えて、周波数シフタ６のキャリア周波数ｆ
AOを測定する周波数分析器９Ｂを設ける構成とした。そ
して更に、これら周波数分析器９Ａ・９Ｂからの周波数
出力の差を演算する減算回路１０と、減算回路１０から
の出力を積分演算する積分回路１１とを設け、周波数変
化量の積分Σ（Δｆ／ΔＴ＊τ）値を得るようにしたも
のである。この積分値が周波数可変光源１における周波
数可変幅となる。
例である。図２によれば周波数可変光源１における周波
数可変幅が求めることができる。この場合、周波数可変
幅の測定においては、受光器８で発生したビート周波数
と、周波数シフタ６のキャリア周波数ｆAOとの周波数の
差の符号も判らなければならない。このため、図２で
は、受光器８におけるビート周波数を測定する周波数分
析器９Ａに加えて、周波数シフタ６のキャリア周波数ｆ
AOを測定する周波数分析器９Ｂを設ける構成とした。そ
して更に、これら周波数分析器９Ａ・９Ｂからの周波数
出力の差を演算する減算回路１０と、減算回路１０から
の出力を積分演算する積分回路１１とを設け、周波数変
化量の積分Σ（Δｆ／ΔＴ＊τ）値を得るようにしたも
のである。この積分値が周波数可変光源１における周波
数可変幅となる。
【００２３】そして、積分回路１１からの出力値である
周波数可変幅は、これを例えば縦軸とし、また例えば掃
引時間を横軸としてグラフ表示するための電気処理回路
である表示処理回路１２に入力され、表示器１３におい
てグラフ表示される。こうして積分回路１１からのビー
ト周波数の周波数可変幅の変化が、光周波数の掃引時間
などに対してグラフ表示される。
周波数可変幅は、これを例えば縦軸とし、また例えば掃
引時間を横軸としてグラフ表示するための電気処理回路
である表示処理回路１２に入力され、表示器１３におい
てグラフ表示される。こうして積分回路１１からのビー
ト周波数の周波数可変幅の変化が、光周波数の掃引時間
などに対してグラフ表示される。
【００２４】つぎに、図１あるいは図２の実施例の周波
数可変特性評価装置により得られた、周波数掃引時間に
対する発生する各種の周波数変化の例を図３に示す。図
３（ａ）は、モノリシックＬＤを用いた周波数可変光源
１において周波数制御回路２からの周波数制御電流であ
る周波数掃引電流を変化したときの、周波数可変光源１
から発振される光周波数の変化を示したものである。
数可変特性評価装置により得られた、周波数掃引時間に
対する発生する各種の周波数変化の例を図３に示す。図
３（ａ）は、モノリシックＬＤを用いた周波数可変光源
１において周波数制御回路２からの周波数制御電流であ
る周波数掃引電流を変化したときの、周波数可変光源１
から発振される光周波数の変化を示したものである。
【００２５】また図３（ｂ）は、周波数掃引電流の変化
率を一定にして時間掃引した光周波数の周波数特性の波
形である。図３（ｃ）は、実施例の遅延自己ヘテロダイ
ン干渉計により遅延自己ヘテロダイン検波した時に得ら
れるビート周波数の変化を示したものであり、周波数変
化の直線性が判る。図３（ｄ）は、ビート周波数と周波
数シフタのキャリア周波数との周波数差を積分した時の
特性である周波数可変幅が求められる。更に、図３
（ｅ）は、周波数掃引中にモードホップが発生した時の
ビート周波数の変化を示した。
率を一定にして時間掃引した光周波数の周波数特性の波
形である。図３（ｃ）は、実施例の遅延自己ヘテロダイ
ン干渉計により遅延自己ヘテロダイン検波した時に得ら
れるビート周波数の変化を示したものであり、周波数変
化の直線性が判る。図３（ｄ）は、ビート周波数と周波
数シフタのキャリア周波数との周波数差を積分した時の
特性である周波数可変幅が求められる。更に、図３
（ｅ）は、周波数掃引中にモードホップが発生した時の
ビート周波数の変化を示した。
【００２６】
【発明の効果】この発明によれば、周波数可変光源にお
ける周波数可変幅、発振周波数変化の直線性が測定精度
良く評価でき、また周波数可変方向も簡単に識別できる
周波数可変特性評価装置が得られる。
ける周波数可変幅、発振周波数変化の直線性が測定精度
良く評価でき、また周波数可変方向も簡単に識別できる
周波数可変特性評価装置が得られる。
【図１】この発明の請求項１の周波数可変特性評価装置
に対応する実施例の構成を示した説明図である。
に対応する実施例の構成を示した説明図である。
【図２】この発明の請求項２の周波数可変特性評価装置
に対応する実施例の構成を示した説明図である。
に対応する実施例の構成を示した説明図である。
【図３】この発明の周波数可変特性評価装置における周
波数掃引電流に対する種々の変化を示したグラフであ
る。
波数掃引電流に対する種々の変化を示したグラフであ
る。
【図４】マイケルソン干渉計を用いた従来の特性評価装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図５】偏波面保存ファイバを用いた従来の特性評価装
置の構成図である。
置の構成図である。
１ 周波数可変光源 ２ 周波数可変制御回路 ３ 光源発振駆動回路 ４Ａ・４Ｂ 光分岐器 ５ 遅延ファイバ ６ 周波数シフタ ７ 偏波面制御 ８ 受光器 ９ 周波数分析器 １０ 減算回路 １１ 積分回路 １２ 表示処理回路 １３ 表示器
Claims (2)
- 【請求項１】 周波数可変光源(1) の光周波数を掃引す
る周波数制御回路(2) と、 掃引した光を分岐する光分岐器(4A)と、分岐された光の
一方を遅延する遅延ファイバ(5) と、分岐された光の他
方を所定のキャリア周波数で周波数偏移する周波数シフ
タ(6) と、遅延された光と周波数偏移された光を合波す
る光分岐器(4B)を備える遅延自己ヘテロダイン干渉計
と、 合波された光におけるビート周波数を測定する周波数分
析器(9) とを備えることを特徴とする周波数可変特性評
価装置。 - 【請求項２】 周波数可変光源(1) の光周波数を掃引す
る周波数制御回路(2) と、 掃引した光を分岐する光分岐回路(4A)と、分岐された光
の一方を遅延する遅延ファイバ(5) と、分岐された光の
他方を所定のキャリア周波数で周波数偏移する周波数シ
フタ(6) と、遅延された光と周波数偏移された光を合波
する光分岐器(4B)を備える遅延自己ヘテロダイン干渉計
と、 合波された光におけるビート周波数を測定する周波数分
析器(8,9A)と、 ビート周波数とキャリア周波数との差を積分する積分回
路(11)とを備えることを特徴とする周波数可変特性評価
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26843193A JPH07103828A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 周波数可変特性評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26843193A JPH07103828A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 周波数可変特性評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103828A true JPH07103828A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17458401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26843193A Pending JPH07103828A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 周波数可変特性評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103828A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100552091B1 (ko) * | 2002-10-04 | 2006-02-14 | 광운대학교 산학협력단 | 초고밀도 파장분할다중화된 광채널에 대한 광주파수제어장치 |
| JP2008304410A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Yokogawa Electric Corp | 光測定装置および光測定方法 |
| JP2013507005A (ja) * | 2009-10-02 | 2013-02-28 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | モード同期レーザによる光信号処理 |
| JP2014103336A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Anritsu Corp | 波長掃引光源のモードホップ検出装置および検出方法 |
| JP2022535729A (ja) * | 2019-06-11 | 2022-08-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 干渉計システム、干渉計システムのレーザ源のモードホップを判定する方法、可動物体の位置を判定する方法、及びリソグラフィ装置 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP26843193A patent/JPH07103828A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100552091B1 (ko) * | 2002-10-04 | 2006-02-14 | 광운대학교 산학협력단 | 초고밀도 파장분할다중화된 광채널에 대한 광주파수제어장치 |
| JP2008304410A (ja) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Yokogawa Electric Corp | 光測定装置および光測定方法 |
| JP2013507005A (ja) * | 2009-10-02 | 2013-02-28 | イムラ アメリカ インコーポレイテッド | モード同期レーザによる光信号処理 |
| JP2014103336A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Anritsu Corp | 波長掃引光源のモードホップ検出装置および検出方法 |
| JP2022535729A (ja) * | 2019-06-11 | 2022-08-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 干渉計システム、干渉計システムのレーザ源のモードホップを判定する方法、可動物体の位置を判定する方法、及びリソグラフィ装置 |
| US11719529B2 (en) | 2019-06-11 | 2023-08-08 | Asml Netherlands B.V. | Interferometer system, method of determining a mode hop of a laser source of an interferometer system, method of determining a position of a movable object, and lithographic apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8345238B2 (en) | Measuring optical spectral property of light based on polarization analysis | |
| US6870629B1 (en) | Optical frequency sweep control and readout by using a phase lock | |
| US8699013B2 (en) | Chromatic dispersion measurement device and chromatic dispersion measurement method for measuring the dispersion of light pulses | |
| US6057919A (en) | Apparatus and method for measuring characteristics of optical pulses | |
| JP2005124192A (ja) | 波長可変デバイスの動作特性を局部発振器信号の波長と同期化するための方法及びシステム | |
| JP2006266797A (ja) | 光ヘテロダイン干渉装置 | |
| US6788410B1 (en) | Delay time measurement apparatus for optical element | |
| JP2003028753A (ja) | ゼロ交差に基づく群遅延を測定するためのシステム及び方法 | |
| JP2011179918A (ja) | 波長分散測定装置及びそれを用いた波長分散測定方法 | |
| JPH07103828A (ja) | 周波数可変特性評価装置 | |
| JPH05118954A (ja) | 光周波数領域反射測定装置 | |
| JP2002350236A (ja) | 光スペクトル解析システム及び光スペクトル解析方法 | |
| JPH067071B2 (ja) | 光スペクトル測定装置 | |
| JP3223439B2 (ja) | ファイバ検査装置 | |
| US11243141B2 (en) | Method and apparatus for chromatic dispersion measurement based on optoelectronic oscillations | |
| JPH08101066A (ja) | 光スペクトラム測定装置 | |
| US4859843A (en) | Method and apparatus for optical signal analysis using a gated modulation source and an optical delay circuit to achieve a self-homodyne receiver | |
| EP3413480A1 (en) | System for measuring a spectrum | |
| JP2002071512A (ja) | 波長分散及び損失波長依存性測定装置 | |
| JPH0247562A (ja) | 超広域信号の周波数分析用電気光学測定装置 | |
| JP4612938B2 (ja) | 周波数可変光源 | |
| Shi et al. | Noise limit in heterodyne interferometer demodulator for FBG-based sensors | |
| JPH0716982Y2 (ja) | 光周波数変化測定装置 | |
| JP3252880B2 (ja) | 波長可変素子の動特性測定装置 | |
| JP3183472B2 (ja) | 光波長切替特性測定方法および測定装置 |