JPH06304893A - Calibration system for positioning mechanism - Google Patents

Calibration system for positioning mechanism

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Publication number
JPH06304893A
JPH06304893A JP9571793A JP9571793A JPH06304893A JP H06304893 A JPH06304893 A JP H06304893A JP 9571793 A JP9571793 A JP 9571793A JP 9571793 A JP9571793 A JP 9571793A JP H06304893 A JPH06304893 A JP H06304893A
Authority
JP
Japan
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calibration
tool
positioning mechanism
jig
robot
Prior art date
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Pending
Application number
JP9571793A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihisa Furukawa
善久 古川
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP9571793A priority Critical patent/JPH06304893A/en
Publication of JPH06304893A publication Critical patent/JPH06304893A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To easily perform calibration of a parameter related to coordinate transformation in a positioning mechanism. CONSTITUTION:A calibration jig 20 is set up in an arbitrary position in the periphery of a robot 10, to actuate the robot 10 by operating a teaching operation panel 19 by an operator, and a tool 12 in the point end approaches relating to each fixed jig 21 to 24 of the calibration jig 20, to teach a touch up point. This approach is performed in a direction toward a center position of the fixed jig with the point end spherically formed. Successively, automatic touch up by impedance control is performed, and by using each axis value or the like then obtained, the spherical center is calculated to further obtain a calibration data 6B. Thus by only touching up the fixed jigs 21 to 24 by the tool 12, thereafter calculation is automatically performed, to obtain the calibration data DELTAbeta. Accordingly, no particular skill for performing calibration is required for the operator.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は位置決め機構での座標変
換に関するパラメータのキャリブレーションを行う位置
決め機構のキャリブレーション方式に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a calibration system of a positioning mechanism for calibrating parameters relating to coordinate conversion in the positioning mechanism.

【0002】[0002]

【従来の技術】位置決め機構の1つとして例えば産業用
ロボットがある。このロボットの手先位置姿勢の計算
は、リンク毎に固定した座標系の位置をアクチュエータ
移動量から順次計算することで求める。このアクチュエ
ータの原点位置と座標系間の関係を示すパラメータに
は、通常、設計時のデータに対して取り付け時等に生じ
る誤差を含んでいる。したがって、手先位置姿勢を正確
に制御するため、パラメータをキャリブレーションする
ことが行われている。
2. Description of the Related Art An example of a positioning mechanism is an industrial robot. The hand position / posture of the robot is calculated by sequentially calculating the position of the coordinate system fixed for each link from the movement amount of the actuator. The parameter indicating the relationship between the origin position of the actuator and the coordinate system usually includes an error that occurs at the time of mounting with respect to design data. Therefore, parameters are calibrated in order to accurately control the hand position / posture.

【0003】このパラメータのキャリブレーションを行
う方法として、例えば次のような方法がある。すなわ
ち、ロボットの先端に凸型治具を、ロボットのベース側
に凹型治具とダイアルゲージをそれぞれ取り付け、凸型
治具が凹型治具に対し嵌合するように、ロボットに所定
の位置姿勢を取らせる。位置決めした位置は既知である
とすると、ロボットの各軸値が計算できるので、そのと
きの各軸に取り付けた移動量センサの読みが計算値に等
しいとおき、各軸値のオフセットを求める。
As a method of calibrating this parameter, there is, for example, the following method. That is, a convex jig is attached to the tip of the robot, a concave jig and a dial gauge are attached to the base side of the robot, and the robot is placed in a predetermined position and posture so that the convex jig fits into the concave jig. Let it take. Assuming that the positioned position is known, each axis value of the robot can be calculated. Therefore, assuming that the reading of the movement amount sensor attached to each axis at that time is equal to the calculated value, the offset of each axis value is obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のキ
ャリブレーション方法では、ロボットを手動で特定の位
置に動かす必要があり、熟練を必要としていた。
However, in the above-described conventional calibration method, it is necessary to manually move the robot to a specific position, which requires skill.

【0005】また、座標変換に関するパラメータの内、
アクチュエータ(サーボモータ)の原点位置しか知るこ
とができなかった。本発明はこのような点に鑑みてなさ
れたものであり、座標変換に関するいずれのパラメータ
に関しても簡単にキャリブレーションを行える位置決め
機構のキャリブレーション方式を提供することを目的と
する。
Of the parameters related to coordinate conversion,
Only the origin position of the actuator (servo motor) could be known. The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to provide a calibration method of a positioning mechanism that can easily perform calibration with respect to any parameter related to coordinate conversion.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、位置決め機構での座標変換に関するパラ
メータのキャリブレーションを行う位置決め機構のキャ
リブレーション方式において、前記位置決め機構の先端
に設けられ先端形状が凸型曲面状に形成されたツール
と、前記ツールに働く力を検出する力覚センサと、先端
形状が球状に形成され相対位置が既知の固定治具を3個
以上備えたキャリブレーション用治具と、前記ツールを
前記キャリブレーション用治具の各固定治具にアプロー
チして接触させ前記力覚センサの検出結果に基づいて力
制御することにより前記固定部材に対して位置決めし、
前記位置決めしたときの前記ツールの各姿勢における各
関節角度を用いて前記位置決め機構の座標変換に関する
パラメータの誤差を演算しキャリブレーションデータと
する制御部と、を有することを特徴とする位置決め機構
のキャリブレーション方式が、提供される。
According to the present invention, in order to solve the above problems, in a calibration method of a positioning mechanism for calibrating parameters relating to coordinate conversion in the positioning mechanism, a tip provided at the tip of the positioning mechanism. For calibration with a tool having a convex curved surface shape, a force sensor for detecting the force acting on the tool, and three or more fixing jigs having a spherical tip shape and known relative positions The jig and the tool are approached and brought into contact with each fixing jig of the calibration jig, and the force is controlled based on the detection result of the force sensor to position the fixing member with respect to the fixing member.
A calibration unit for a positioning mechanism, comprising: a control unit that calculates an error of a parameter relating to coordinate conversion of the positioning mechanism as calibration data by using each joint angle in each posture of the tool when the positioning is performed. Method is provided.

【0007】[0007]

【作用】位置決め機構の先端に力覚センサと先端形状が
既知である凸型曲面状のツールを取りつける。位置決め
機構を力制御することにより、3個以上の相対位置が既
知の球状固定治具の各々に対して、ツールが何種類かの
姿勢を取るように位置決めする。そのときの各軸値を用
いて、位置決め機構の座標変換に関するパラメータのキ
ャリブレーションデータを求める。
Function: A force sensor and a convex curved tool whose tip shape is known are attached to the tip of the positioning mechanism. By force-controlling the positioning mechanism, the tool is positioned with respect to each of the three or more spherical fixing jigs whose relative positions are known so that the tool takes several kinds of postures. Using each axis value at that time, calibration data of a parameter relating to coordinate conversion of the positioning mechanism is obtained.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の位置決め機構のキャリブレーシ
ョン方式の全体構成を示す図である。ここでは、位置決
め機構としてロボットが用いられる。図において、ロボ
ット10は6軸多関節ロボットであり、その先端に力覚
センサ11及びツール12が取り付けられている。ツー
ル12の先端は凸型曲面状に形成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a calibration system of a positioning mechanism of the present invention. Here, a robot is used as the positioning mechanism. In the figure, a robot 10 is a 6-axis articulated robot, and a force sensor 11 and a tool 12 are attached to its tip. The tip of the tool 12 is formed into a convex curved surface.

【0009】キャリブレーション用治具20がロボット
10の周辺に置かれる。キャリブレーション用治具20
には、4個の固定治具21,22,23及び24が設け
られている。これらの固定治具21〜24は、先端が球
状に形成され、各球の中心位置及び相対的な位置関係が
既知である。
A calibration jig 20 is placed around the robot 10. Calibration jig 20
Is provided with four fixing jigs 21, 22, 23 and 24. Each of these fixing jigs 21 to 24 has a spherical tip, and the center position and relative positional relationship of each sphere are known.

【0010】ロボット制御装置100は、プロセッサ1
01を中心に構成され、ロボット10の動作を制御して
いる。プロセッサ101は、メモリ102に格納されて
いる制御プログラムに従ってロボット制御装置100全
体を制御する。また、メモリ102には本発明を実行す
るためのプログラムも格納されており、プロセッサ10
1は、そのプログラムに従って本発明に係るキャリブレ
ーションを実行する。その詳細は後述する。
The robot controller 100 includes a processor 1
01 mainly controls the operation of the robot 10. The processor 101 controls the entire robot controller 100 according to a control program stored in the memory 102. A program for executing the present invention is also stored in the memory 102, and the processor 10
1 executes the calibration according to the present invention according to the program. The details will be described later.

【0011】メモリ102はROMまたはRAMで構成
され、上記の制御プログラムや本発明を実行するための
プログラム、また各種のデータを格納する。その各種デ
ータの中には、上述したツール12の先端形状に関する
データや、キャリブレーション用治具20に関する設計
データ、固定治具21〜24の中心位置データや形状デ
ータ、相対位置関係のデータ等が含まれる。プロセッサ
101及びメモリ102は、互いにバス108で結合さ
れている。
The memory 102 is composed of a ROM or a RAM and stores the above control program, a program for executing the present invention, and various data. Among the various data, there are data relating to the tip shape of the tool 12 described above, design data relating to the calibration jig 20, center position data and shape data of the fixing jigs 21 to 24, relative positional relationship data, and the like. included. The processor 101 and the memory 102 are coupled to each other via a bus 108.

【0012】バス108には、さらにD/A変換器10
4、A/D変換器106、入出力回路107及びシリア
ルポート109が結合されている。D/A変換器104
は、プロセッサ101からの指令に応じてロボット10
各軸のアクチュエータ(サーボモータ)を駆動する駆動
信号をアンプ103を経由して出力する。A/D変換器
106は、ロボット10の各軸に設けられたエンコーダ
からの回転角度検出信号をアンプ105を経由して受信
する。また、入出力回路107は力覚センサ11の検出
信号をセンサコントローラ110を経由して受信する。
さらに、シリアルポート109は、そのシリアルポート
109に接続された教示操作盤(TP)19をオペレー
タが操作したときの指令信号を受信する。ロボット10
は、その指令信号を受けて所定の動作を行う。
The bus 108 further includes a D / A converter 10
4, the A / D converter 106, the input / output circuit 107, and the serial port 109 are connected. D / A converter 104
Is the robot 10 in response to a command from the processor 101.
A drive signal for driving the actuator (servo motor) of each axis is output via the amplifier 103. The A / D converter 106 receives a rotation angle detection signal from an encoder provided on each axis of the robot 10 via the amplifier 105. The input / output circuit 107 also receives the detection signal of the force sensor 11 via the sensor controller 110.
Further, the serial port 109 receives a command signal when the operator operates the teaching operation panel (TP) 19 connected to the serial port 109. Robot 10
Receives the command signal and performs a predetermined operation.

【0013】次に、本発明の位置決め機構のキャリブレ
ーション方式を実行するための手順を説明する。先ず、
ロボット10に簡易のマスタリングを施す。すなわち、
スタート時点では、ロボット10の各軸がどの角度にあ
るか分からないので、各軸の角度がほぼ0°になる姿勢
をオペレータが教示操作盤19を操作することによりロ
ボット10に取らせ、各軸の大体のオフセット量を求め
る。そのオフセット量で各軸の角度を補正してロボット
10の大まかな動作制御を行う。
Next, the procedure for executing the calibration method of the positioning mechanism of the present invention will be described. First,
The robot 10 is simply mastered. That is,
At the time of start, since it is not known which angle each axis of the robot 10 has, the operator operates the teaching operation panel 19 so that the robot 10 takes a posture in which the angle of each axis is approximately 0 °. Find the approximate offset amount of. Rough motion control of the robot 10 is performed by correcting the angle of each axis with the offset amount.

【0014】次に、キャリブレーション用治具20をロ
ボット10の周辺の任意の位置に設置する。オペレータ
は、教示操作盤19を操作してロボット10を動作さ
せ、先端のツール12をキャリブレーション用治具20
の各固定治具21〜24に対してアプローチさせる。こ
のアプローチは、先端が球状に形成された固定治具の中
心位置に向かう方向でなされる。
Next, the calibration jig 20 is installed at an arbitrary position around the robot 10. The operator operates the teaching operation panel 19 to operate the robot 10 to move the tool 12 at the tip to the calibration jig 20.
The respective fixing jigs 21 to 24 are approached. This approach is performed in the direction toward the center position of the fixing jig having a spherical tip.

【0015】また、1つの固定治具に対して幾つかの方
向からアプローチしてもよく、そのトータルのアプロー
チ回数(タッチアップ点数)mは(3×m)がキャリブ
レーションの対象にしたいパラメータの数と同じかそれ
以上となるように決められる。例えば、キャリブレーシ
ョンの対象にしたいパラメータが各軸で5個あれば6軸
全体で30個となるから、これらのパラメータのキャリ
ブレーションデータを決定するには、少なくとも30の
式が必要となる。一方、一回のアプローチで3つの式が
成立するから、この場合に必要となるアプローチ回数m
は少なくとも10回となる。上記のキャリブレーション
の対象にしたいパラメータ及びそのキャリブレーション
データの決定方法についての詳細は後述する。
Further, one fixing jig may be approached from several directions, and the total number of approaches (touch-up points) m (3 × m) is a parameter to be calibrated. It is decided to be equal to or more than the number. For example, if there are 5 parameters to be calibrated on each axis, there will be 30 on all 6 axes, so at least 30 equations are required to determine the calibration data for these parameters. On the other hand, since three expressions are satisfied by one approach, the number of approaches required in this case m
Is at least 10 times. Details of the parameters to be calibrated and the method of determining the calibration data will be described later.

【0016】なお、キャリブレーション用治具20に
は、ここでは4個の固定治具21〜24を設けるように
したが、少なくとも3個の固定治具が必要となる。それ
は、キャリブレーション用治具20の空間位置を演算で
特定するためである。すなわち、キャリブレーション用
治具20の空間位置はツール12を固定治具21等に対
してアプローチして位置決めしたときの各軸値を基に演
算して得られるが、その空間位置は、ツール12が少な
くとも3個以上の固定治具21等に対してアプローチし
て始めて特定できるからである。この少なくとも3個の
固定治具によって平面が決定され、その平面によって空
間位置も決定される。ここでは、4個の固定治具21〜
24に対してツール12がアプローチするようにした
が、3個だけの固定治具に対してアプローチするときに
比べてより高い精度でキャリブレーション用治具20の
空間位置を特定することができる。
The calibration jig 20 is provided with four fixing jigs 21 to 24 here, but at least three fixing jigs are required. This is to specify the spatial position of the calibration jig 20 by calculation. That is, the spatial position of the calibration jig 20 is obtained by calculating based on each axis value when the tool 12 is approached and positioned with respect to the fixing jig 21 or the like, and the spatial position is the tool 12 Can be specified only after approaching at least three fixing jigs 21 or the like. The plane is determined by the at least three fixing jigs, and the spatial position is also determined by the plane. Here, four fixing jigs 21 to
Although the tool 12 approaches 24, the spatial position of the calibration jig 20 can be specified with higher accuracy than when the tool 12 approaches only three fixing jigs.

【0017】続いて、キャリブレーションの対象となる
パラメータ及び各軸に設定される座標系について説明す
る。ロボット10の隣り合う軸間の要素をリンクと呼
び、そのリンクに座標系を固定し、座標系から座標系へ
の変換を順次行うことでロボット10の位置姿勢を表現
する。ここでは、リンク座標系間の関係を記述する方法
の1つとしてDH記法を用いる。DH記法を用いたとき
のリンクパラメータは、図2のようになり、4つのパラ
メータθi 、Li 、ai 及びαi が設定される。すなわ
ち、回転軸iの回転角θi 、回転軸iによって駆動され
るリンクLi 、回転軸iと回転軸i+1間のリンク長a
i 、及びZi-1 軸からZi 軸までのXi 軸回りの回転角
αi である。キャリブレーションの対象となるパラメー
タ(座標変換に関するパラメータ)は、この4つのパラ
メータθi 、Li 、ai 及びαi に、サーボモータを取
り付ける際に生じたθi のオフセット値φi を加えて合
計5個のパラメータであり、これらを合わせてリンクパ
ラメータと呼ぶことにする。
Next, the parameters to be calibrated and the coordinate system set for each axis will be described. The element between the adjacent axes of the robot 10 is called a link, the coordinate system is fixed to the link, and the position and orientation of the robot 10 are expressed by sequentially converting from the coordinate system to the coordinate system. Here, the DH notation is used as one of the methods for describing the relationship between link coordinate systems. The link parameters when using the DH notation are as shown in FIG. 2, and four parameters θ i , L i , a i, and α i are set. That is, the rotation angle θ i of the rotation axis i, the link L i driven by the rotation axis i, and the link length a between the rotation axis i and the rotation axis i + 1.
i and the rotation angle α i around the X i axis from the Z i-1 axis to the Z i axis. Parameters to be calibrated (parameters regarding coordinate conversion) are obtained by adding the offset value φ i of θ i generated when the servo motor is attached to these four parameters θ i , L i , a i and α i. There are a total of 5 parameters, and these will be collectively referred to as link parameters.

【0018】このとき、リンク座標系Σi-1 から見たリ
ンク座標系Σi の位置及び姿勢を示す同次変換行列 i-1
i は、次式(1)で表される。
[0018] In this case, the transformation matrix i-1 indicating the position and orientation of the link coordinate system sigma i viewed from the link coordinate system sigma i-1
A i is represented by the following equation (1).

【0019】[0019]

【数1】 [Equation 1]

【0020】ここでn個の関節を持つロボット10のベ
ースにベース座標系ΣB 、ロボット10先端のツール1
2にツール座標系ΣT を考え、ベース座標系ΣB からツ
ール座標系ΣT までの変換を考える。ロボット10の場
合、n=6である。ベース座標系ΣB =Σ0 、ツール座
標系ΣT =Σn として考えると、ΣB →ΣT の座標変換
を示す同次変換行列 BT は、上記(1)式の i-1i
を用いて、次式(2)で表すことができる。
Here, a base coordinate system Σ B is provided on the base of the robot 10 having n joints, and a tool 1 at the tip of the robot 10 is used.
Consider the tool coordinate system Σ T in 2 and consider the transformation from the base coordinate system Σ B to the tool coordinate system Σ T. In the case of the robot 10, n = 6. Base coordinate system Σ B = Σ 0, when considered as the tool coordinate system Σ T = Σ n, Σ B → Σ homogeneous transformation matrix B T T indicating the coordinate transformation T, the above equation (1) of the i-1 A i
Can be expressed by the following equation (2).

【0021】[0021]

【数2】 [Equation 2]

【0022】ここで、ツール12が4個の球(固定治
具)21〜24に順にアプローチする場合を想定する。
このアプローチは、オペレータが予め教示操作盤19を
用いてロボット10に教示しておいた動作手順に従って
自動的に行われ、j番目のアプローチがk番目の球に対
してなされたとする。ツール12がそのk番目の球にア
プローチしてタッチアップ(接触)した後、力覚センサ
11の検出値を基にインピーダンス制御を用いて、球に
働く力を一定値に安定化させる。
Here, it is assumed that the tool 12 sequentially approaches the four balls (fixing jigs) 21 to 24.
It is assumed that this approach is automatically performed according to the operation procedure that the operator has previously taught to the robot 10 using the teaching operation panel 19, and the j-th approach is performed on the k-th sphere. After the tool 12 approaches and touches up (contacts) the k-th sphere, impedance control is used based on the detection value of the force sensor 11 to stabilize the force acting on the sphere to a constant value.

【0023】ツール12のアプローチ方向は、球の中心
に向かう方向であり、そのアプローチ方向をセンサ座標
系(力覚センサの座標系)ΣS のX軸方向とすると、次
式(3)、(4)及び(5)が成立する。
The approach direction of the tool 12 is a direction toward the center of the sphere, and if the approach direction is the X-axis direction of the sensor coordinate system (force sensor coordinate system) Σ S , the following equations (3), ( 4) and (5) are established.

【0024】[0024]

【数3】 [Equation 3]

【0025】[0025]

【数4】 [Equation 4]

【0026】[0026]

【数5】 [Equation 5]

【0027】ただし、Kf :6×6力ゲイン fd :ワーク座標系ΣW における目標外力 Kd :設定バネ定数行列 (3)、(4)及び(5)式以外のパラメータ、設定慣
性行列Md 、及び設定粘性係数行列Dd は、位置、力な
どが安定に制御できるように、機構、ワーク(固定治
具)、ツール等に依存して実験的に決められる。位置目
標は、接触を開始したときの現在位置で、加速度、速度
目標は0とすればよい。このとき、実際にツール12が
球から受ける反力f及びツール12に働くトルクτをセ
ンサ座標系ΣS から見て表すと、
However, K f : 6 × 6 force gain f d : Target external force in work coordinate system Σ W K d : Set spring constant matrix Parameters other than equations (3), (4) and (5), set inertia matrix The M d and the set viscosity coefficient matrix D d are experimentally determined depending on the mechanism, the work (fixing jig), the tool, etc. so that the position, force, etc. can be stably controlled. The position target is the current position when the contact is started, and the acceleration and velocity targets may be zero. At this time, when the reaction force f that the tool 12 actually receives from the sphere and the torque τ that acts on the tool 12 are viewed from the sensor coordinate system Σ S ,

【0028】[0028]

【数6】 [Equation 6]

【0029】[0029]

【数7】 [Equation 7]

【0030】となり、 Sx =fxd となるところで、
静的に安定なつり合い状態となる。実際には、安定化判
定の指標として、
Then, where S f x = f xd ,
It is in a statically stable equilibrium state. Actually, as an index for stabilization judgment,

【0031】[0031]

【数8】 [Equation 8]

【0032】を導入し、|ef |が一定時間Tの間、|
f |<et を満足したところで安定化したとみなす。
ツール12と球が点接触しているとすると、センサ座標
系ΣSから見た接触点 Sc と、 S, Sτの間に次式
(9)が成り立つ。
Is introduced, and | e f |
It is considered to be stabilized when e f | <e t is satisfied.
When the tool 12 and the ball is in point contact, the contact point S r c as viewed from the sensor coordinate system sigma S, the following equation between the S f, S τ (9) is satisfied.

【0033】[0033]

【数9】 [Equation 9]

【0034】また、ツール12の先端形状が既知の凸型
曲面であり、その先端形状を表す方程式をセンサ座標系
ΣS 上で、
The tip shape of the tool 12 is a known convex curved surface, and an equation representing the tip shape is expressed on the sensor coordinate system Σ S by

【0035】[0035]

【数10】 [Equation 10]

【0036】とすると、(9)式の Sc Sxで置き
換えた次式(11)
Then, the following equation (11) in which S r c of the equation (9) is replaced by S x

【0037】[0037]

【数11】 [Equation 11]

【0038】は直線の方程式を示すから(10)式と
(11)式を連立して解くことで、 S c が求まる。こ
のとき、球の中心位置 Srは次式(12)となる。
Is a straight line equation,
By solving equations (11) simultaneously,Sr cIs required. This
When, the center position of the sphereSr is given by the following expression (12).

【0039】[0039]

【数12】 [Equation 12]

【0040】ただし、rは球の半径である。このよう
に、ツール12を球にタッチアップしたときの力覚セン
サの検出値、ツール12の既知の先端形状等のデータを
用いて球の中心位置 Sc が求まる。
However, r is the radius of the sphere. Thus, the detection value of the force sensor when the touch-up tool 12 to a sphere, the center position S r c of the sphere with the data such as the known tip shape of the tool 12 is obtained.

【0041】ここで、キャリブレーション用治具20に
固定したワーク座標系をΣW とし、ワーク座標系ΣW
らベース座標系ΣB への変換を示す同次変換行列を W
B 、ツール座標系ΣT からセンサ座標系ΣS への変換を
示す同次変換行列を TS とする。j番目のタッチアッ
プがk番目の球に対してなされたとする。インピーダン
ス制御により、静的な一定力の接触がなされた状態での
ロボット10の各軸値がθi 、センサ座標系ΣS から見
た球中心位置が上述した式(12)の通り、点接触力よ
Sj と計算できたとすると、ワーク座標系ΣW から
見て既知であるように加工されたk番目球中心位置 w
k は次式(13)のように計算できる。
Here, the work coordinate system fixed to the calibration jig 20 is Σ W, and the homogeneous transformation matrix showing the transformation from the work coordinate system Σ W to the base coordinate system Σ B is WT.
B, and homogeneous transformation matrix indicating a transformation from the tool coordinate system sigma T to the sensor coordinate system sigma S and T T S. It is assumed that the j-th touch-up is performed on the k-th sphere. By the impedance control, each axis value of the robot 10 in a state where static constant force contact is performed is θ i , and the sphere center position viewed from the sensor coordinate system Σ S is the point contact as shown in the above formula (12). If it is possible to calculate S r j from the force, the k-th sphere center position w P processed as known from the workpiece coordinate system Σ W
k can be calculated as in the following equation (13).

【0042】[0042]

【数13】 [Equation 13]

【0043】(13)式の右辺は WB を表す並進移動
量と姿勢を合わせたベクトルΨ、及びリンクパラメータ
a,d,α,φで計算できる。これらのパラメータを1
つのベクトルにまとめたものを、
The right side of the equation (13) can be calculated by the vector Ψ that represents the translational movement amount representing the W T B and the posture, and the link parameters a, d, α, and φ. Set these parameters to 1
One vector,

【0044】[0044]

【数14】 [Equation 14]

【0045】とすると、(13)式は次式(15)のよ
うに書き直すことができる。
Then, the equation (13) can be rewritten as the following equation (15).

【0046】[0046]

【数15】 [Equation 15]

【0047】(15)式はβが真値のときに成り立つ
が、真値は分からないため、その初期値をβ0 としてそ
のβ0 で展開して1次の項までとると、
[0047] (15) is satisfied when beta is true value, because the true value is unknown, taking its initial value to its beta section of the primary and developed with 0 as beta 0,

【0048】[0048]

【数16】 [Equation 16]

【0049】となる。(16)式は、タッチアップ点
j、球kについて成り立つが、この(16)式をすべて
のタッチアップ点と球について求め、それを1つにまと
めると、次式(17)となる。
It becomes The formula (16) holds true for the touch-up point j and the sphere k, but if the formula (16) is obtained for all the touch-up points and the sphere and they are combined into one, the following formula (17) is obtained.

【0050】[0050]

【数17】 [Equation 17]

【0051】ここで、タッチアップ点数をm、キャリブ
レーションの対象にしたいパラメータの数をNとし、次
のように場合分けしてベクトルβの初期値β0 との差分
Δβを求める。この差分Δβが、パラメータのキャリブ
レーションデータとなる。なお、Nは、前述したよう
に、1つの軸においてキャリブレーションの対象にした
いパラメータの数が例えば5個であれば6軸分で30個
となる。 (i)3m=Nのとき、Aは正則となるので、
Here, the number of touch-up points is m, the number of parameters to be calibrated is N, and the difference Δβ from the initial value β 0 of the vector β is calculated as follows. This difference Δβ becomes the calibration data of the parameter. Note that, as described above, N is 30 for 6 axes if the number of parameters to be calibrated on one axis is 5, for example. (I) When 3m = N, A is regular, so

【0052】[0052]

【数18】 [Equation 18]

【0053】となる。 (ii)3m>Nのとき、最小自乗法よりΔβを求め
る。具体的には、
It becomes (Ii) When 3m> N, Δβ is calculated by the method of least squares. In particular,

【0054】[0054]

【数19】 [Formula 19]

【0055】となる。予め、Δβの打切り値tを定めて
おき、|Δβ|≦tとなった場合にパラメータの推定を
終了する。|Δβ|>tのときは、β0 +Δβを新しい
β0 として(18)式または(19)式の演算を繰り返
す。
It becomes The cutoff value t of Δβ is set in advance, and when | Δβ | ≦ t, the parameter estimation ends. When | Δβ |> t, β 0 + Δβ is set as a new β 0 , and the calculation of formula (18) or formula (19) is repeated.

【0056】なお、パラメータθi 、Li 、ai 、αi
及びφi のうち、全てを対象とせずに一部のみを対象と
するのが望ましい場合もある。また、位置決め機構の特
徴からパラメータが独立でないことがある。この場合に
は、減らしたいパラメータ、独立でないパラメータを
(14)式から取り除き、以下は同様に計算すればよ
い。
The parameters θ i , L i , a i and α i
In some cases, it may be desirable to target only a part of Φ i and Φ i , not all. Also, the parameters may not be independent of the features of the positioning mechanism. In this case, the parameters to be reduced and the parameters that are not independent may be removed from the equation (14), and the following may be similarly calculated.

【0057】例えば、パラメータai 、di 、αi を対
象とすると、ロボット10の先端位置から、各軸の値を
求める計算が複雑になるため、要求精度等を考慮してこ
れらのパラメータai 、di 、αi を対象から除外して
もよい。また、パラメータφ i のうちφ0 はΨと独立で
はないことが明らかである。これらを考慮すると、(1
4)式は次式(20)のように簡略化することができ、
その分演算速度を速くすることができる。
For example, the parameter ai, Di, ΑiVs
If it is an elephant, the value of each axis can be calculated from the tip position of the robot 10.
Since the required calculation becomes complicated, consider the required accuracy, etc.
These parameters ai, Di, ΑiExclude from the target
Good. Also, the parameter φ iOut of φ0Is independent of Ψ
It is clear that there is no. Considering these, (1
Equation (4) can be simplified as the following equation (20),
The calculation speed can be increased accordingly.

【0058】[0058]

【数20】 [Equation 20]

【0059】ただし、n:自由度 図3は本発明の概略の処理手順を示す図である。図中S
に続く数字はステップ番号を表す。 〔S1〕ロボット10の簡易マスタリングを行う。 〔S2〕キャリブレーション用治具20を設置する。 〔S3〕教示操作盤19を操作してロボット10を動作
させ、アプローチ点を教示する。 〔S4〕インピーダンス制御による自動タッチアップ
と、球中心の演算を行う。その詳細は図4を用いて説明
する。 〔S5〕キャリブレーションデータΔβを求める。その
詳細は図5を用いて説明する。
However, n: degree of freedom FIG. 3 is a diagram showing a schematic processing procedure of the present invention. S in the figure
The number following is a step number. [S1] Simple mastering of the robot 10 is performed. [S2] The calibration jig 20 is installed. [S3] The teaching operation panel 19 is operated to operate the robot 10 to teach the approach point. [S4] Automatic touch-up by impedance control and calculation of the sphere center are performed. The details will be described with reference to FIG. [S5] The calibration data Δβ is obtained. The details will be described with reference to FIG.

【0060】図4は本発明の処理手順のうち、自動タッ
チアップと球中心演算の処理手順を示す図である。図中
Sに続く数字はステップ番号を表す。 〔S11〕タッチアップ番号jを設定する。 〔S12〕j番目のタッチアップ点に移動する。 〔S13〕インピーダンス制御によりタッチアップを行
う。 〔S14〕ツール12と球との接触判定を行う。すなわ
ち、力覚センサ11の検出値から求めたツール12が球
から受ける反力fが所定の判定値ft より大きいか否か
を判別し、大きければ接触していると判別して次のステ
ップS15に進み、そうでなければさらにアプローチす
るためにステップS13に戻る。 〔S15〕インピーダンス制御によって接触を安定化さ
せる。 〔S16〕接触が安定したか否かを判別する。すなわ
ち、安定化判定指標|ef|が、一定の時間Tの間所定
の判定値et より小さい状態を維持しているか否かを判
別し、小さい状態を維持していれば接触が安定したと判
別して次のステップS17に進み、そうでなければさら
にインピーダンス制御で安定させるためにステップS1
5に戻る。 〔S17〕ツール12が球から受ける反力 Sf及びツー
ル12に働くトルク Sτを取り込む。 〔S18〕(7)式、(8)式、(9)式及び(10)
式から球の中心位置 S j を演算し記憶する。 〔S19〕次のタッチアップ点j+1に移動する。 〔S20〕タッチアップ点jが所定のタッチアップ点数
mより大きいか否かを判別する。大きければすべてのタ
ッチアップが完了したとしてそのまま終了し、そうでな
ければステップS12に戻る。
FIG. 4 shows an automatic tally of the processing procedure of the present invention.
It is a figure which shows the processing procedure of a cheek and a sphere center calculation. In the figure
The number following S represents a step number. [S11] The touch-up number j is set. [S12] Move to the j-th touch-up point. [S13] Touch up by impedance control
U [S14] The contact between the tool 12 and the ball is determined. Sanawa
Then, the tool 12 obtained from the detection value of the force sensor 11 is a sphere.
The reaction force f received from is a predetermined judgment value ftGreater than or not
If it is larger, it is judged that it is in contact and the next step
Go to step S15, otherwise approach further
To return to step S13. [S15] The contact is stabilized by impedance control.
Let [S16] It is determined whether the contact is stable. Sanawa
Stability judgment index | ef| Is a predetermined time T
Judgment value etDetermine whether or not the condition is smaller
Separately, it is determined that the contact is stable if it remains small.
Separately, proceed to the next step S17, and if not, further
In order to stabilize by impedance control, step S1
Return to 5. [S17] Reaction force that the tool 12 receives from the ballSf and two
Torque acting on Le 12STake in τ. [S18] Equation (7), Equation (8), Equation (9), and (10)
From the formula to the center of the sphereSr jIs calculated and stored. [S19] Move to the next touch-up point j + 1. [S20] Touch-up point j is a predetermined number of touch-up points
It is determined whether or not it is larger than m. If all
It ’s finished as it is, and it ’s not.
If so, the process returns to step S12.

【0061】図5は本発明の処理手順のうち、キャリブ
レーションデータΔβ演算の処理手順を示す図である。
図中Sに続く数字はステップ番号を表す。 〔S31〕(17)式のA及びbを演算する。 〔S32〕3mがNより大きいか否かを判別する。大き
ければステップS35に、そうでなければステップS3
3にそれぞれ進む。 〔S33〕3mがNに等しいか否かを判別する。等しけ
ればステップS36に、そうでなければステップS34
にそれぞれ進む。 〔S34〕エラーを表示する。 〔S35〕(19)式を用いてΔβを求める。 〔S36〕(18)式を用いてΔβを求める。 〔S37〕(β0 +Δβ)を新たな初期値とする。 〔S38〕|Δβ|が打切り値t以下か否かを判別す
る。|Δβ|≦tとなった場合にパラメータの推定を終
了し、そのときのΔβをキャリブレーションデータとす
る。|Δβ|>tであればステップS31に戻る。
FIG. 5 is a diagram showing a calibration data Δβ calculation processing procedure in the processing procedure of the present invention.
The numbers following S in the figure represent step numbers. [S31] A and b in equation (17) are calculated. [S32] It is determined whether 3m is larger than N. If so, go to step S35; otherwise, go to step S3
Go to 3 respectively. [S33] It is determined whether 3m is equal to N. If they are equal, go to step S36; otherwise, go to step S34.
To each. [S34] An error is displayed. [S35] Δβ is calculated using the equation (19). [S36] Δβ is calculated using the equation (18). [S37] (β 0 + Δβ) is set as a new initial value. [S38] It is determined whether | Δβ | is equal to or less than the cutoff value t. When | Δβ | ≦ t, the parameter estimation is terminated, and Δβ at that time is used as the calibration data. If | Δβ |> t, the process returns to step S31.

【0062】以上述べたように、本実施例では、5つの
パラメータの各々が持つ誤差分によって生じるベクトル
βの初期値β0 との差分Δβを、ツール12を球状の固
定治具21〜24にタッチアップさせて得られた各軸値
や力覚センサ11の検出値、予め分かっている球のワー
ク座標系ΣW での中心位置のデータ等を用いて求め、そ
の差分Δβでパラメータのキャリブレーションを行う。
差分Δβは、ツール12を固定治具21〜24にタッチ
アップさせるだけで、後は自動的に演算が行われて求め
られる。したがって、オペレータは、キャリブレーショ
ンを行うための特別の熟練を必要とせず、容易にキャリ
ブレーションを行うことができる。
As described above, in the present embodiment, the difference Δβ from the initial value β 0 of the vector β caused by the error of each of the five parameters is set to the spherical fixing jigs 21 to 24 for the tool 12. Each axis value obtained by touching up, the detection value of the force sensor 11, data of the center position of the work coordinate system Σ W of the sphere that is known in advance, and the like are used, and the parameter Δ is calibrated by the difference Δβ. I do.
The difference Δβ is obtained by simply touching up the tool 12 on the fixing jigs 21 to 24 and then automatically calculating the difference. Therefore, the operator does not need any special skill to perform the calibration, and can easily perform the calibration.

【0063】上記の説明では、位置決め機構として6軸
のロボットを用いるようにしたが、6軸以外のロボット
であってもよい。また、マニピュレータとして構成され
たものでもよい。
Although a six-axis robot is used as the positioning mechanism in the above description, a robot other than the six-axis robot may be used. Further, it may be configured as a manipulator.

【0064】さらに、各軸を回転軸として構成したが、
本発明は直動軸のものに対しても同様に適用することが
できる。
Further, although each axis is configured as a rotation axis,
The present invention can be similarly applied to a linear drive shaft.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上説明したように本発明では、ツール
を固定治具にタッチアップさせるだけで、座標変換に関
するパラメータのキャリブレーションデータを求めるよ
うにした。したがって、オペレータは、キャリブレーシ
ョンを行うための特別の熟練を必要とせず、容易にキャ
リブレーションを行うことができる。
As described above, in the present invention, the calibration data of the parameter relating to the coordinate conversion is obtained only by touching up the tool on the fixing jig. Therefore, the operator does not need any special skill to perform the calibration, and can easily perform the calibration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の位置決め機構のキャリブレーション方
式の全体構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a calibration system of a positioning mechanism of the present invention.

【図2】DH記法を用いたときのリンクパラメータ及び
リンク座標系の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of link parameters and a link coordinate system when the DH notation is used.

【図3】本発明の概略の処理手順を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a schematic processing procedure of the present invention.

【図4】本発明の処理手順のうち、自動タッチアップと
球中心演算の処理手順を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a processing procedure of automatic touch-up and sphere center calculation among processing procedures of the present invention.

【図5】本発明の処理手順のうち、キャリブレーション
データΔβ演算の処理手順を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a processing procedure of calibration data Δβ calculation in the processing procedure of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ロボット 11 力覚センサ 12 ツール 19 教示操作盤 20 キャリブレーション用治具 21,22,23,24 固定治具 100 ロボット制御装置 101 プロセッサ 102 メモリ 104 D/A変換器 105 A/D変換器 109 シリアルポート 110 センサコントローラ 10 robot 11 force sensor 12 tool 19 teaching operation panel 20 calibration jig 21, 22, 23, 24 fixing jig 100 robot controller 101 processor 102 memory 104 D / A converter 105 A / D converter 109 serial Port 110 sensor controller

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 位置決め機構での座標変換に関するパラ
メータのキャリブレーションを行う位置決め機構のキャ
リブレーション方式において、 前記位置決め機構の先端に設けられ先端形状が凸型曲面
状に形成されたツールと、 前記ツールに働く力を検出する力覚センサと、 先端形状が球状に形成され相対位置が既知の固定治具を
3個以上備えたキャリブレーション用治具と、 前記ツールを前記キャリブレーション用治具の各固定治
具にアプローチして接触させ前記力覚センサの検出結果
に基づいて力制御することにより前記固定部材に対して
位置決めし、前記位置決めしたときの前記ツールの各姿
勢における各関節角度を用いて前記位置決め機構の座標
変換に関するパラメータの誤差を演算しキャリブレーシ
ョンデータとする制御部と、 を有することを特徴とする位置決め機構のキャリブレー
ション方式。
1. A calibration method for a positioning mechanism, which calibrates parameters relating to coordinate conversion in a positioning mechanism, comprising: a tool provided at a tip of the positioning mechanism; A force sensor for detecting a force acting on the tool, a calibration jig having three or more fixing jigs each having a spherical tip shape and known relative positions, and the tool for each of the calibration jigs. Positioning is performed with respect to the fixing member by approaching and bringing into contact with the fixing jig and controlling the force based on the detection result of the force sensor, and using each joint angle in each posture of the tool when the positioning is performed. A control unit for calculating an error of a parameter relating to coordinate conversion of the positioning mechanism to obtain calibration data; Calibration method of the positioning mechanism, characterized by.
【請求項2】 前記制御部は、予め求めたワーク座標系
での各固定治具の中心位置と、前記位置決めしたときの
前記力覚センサの検出結果及び前記位置決めしたときの
各姿勢における各関節角度から求めた各固定治具の中心
位置との誤差から前記座標変換に関するパラメータのキ
ャリブレーションデータを求めることを特徴とする請求
項1記載の位置決め機構のキャリブレーション方式。
2. The control unit, the center position of each fixing jig in a work coordinate system obtained in advance, the detection result of the force sensor when the positioning is performed, and each joint in each posture when the positioning is performed. 2. The calibration system for a positioning mechanism according to claim 1, wherein calibration data of a parameter relating to the coordinate conversion is obtained from an error from a center position of each fixing jig obtained from an angle.
【請求項3】 前記制御部は、前記3個以上の固定治具
の少なくとも3個にアプローチすることにより、前記キ
ャリブレーション用治具の空間位置を特定することを特
徴とする請求項1記載の位置決め機構のキャリブレーシ
ョン方式。
3. The control unit specifies the spatial position of the calibration jig by approaching at least three of the three or more fixing jigs. Positioning mechanism calibration method.
【請求項4】 前記座標変換に関するパラメータは、回
転軸iの回転角θi、回転軸iによって駆動されるリン
クLi 、回転軸iと回転軸i+1間のリンク長ai 、Z
i-1 軸からZi 軸までのXi 軸回りの回転角αi 、及び
回転角θi のオフセット値φi のすべて、またはその一
部であることを特徴とする請求項1記載の位置決め機構
のキャリブレーション方式。
4. The parameters relating to the coordinate transformation include a rotation angle θ i of a rotation axis i, a link L i driven by the rotation axis i, a link length a i , Z between the rotation axis i and the rotation axis i + 1.
The positioning according to claim 1, which is all or part of a rotation angle α i around the X i axis from the i-1 axis to the Z i axis and an offset value φ i of the rotation angle θ i. Mechanism calibration method.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100416225B1 (en) * 2001-05-03 2004-01-31 광주과학기술원 A calibration device and the method for precision device
JP2009142903A (en) * 2007-12-11 2009-07-02 Denso Wave Inc Robot control device
JP2010099745A (en) * 2008-10-21 2010-05-06 Ihi Corp Robot device and robot device teaching method
JP2011230243A (en) * 2010-04-28 2011-11-17 Yaskawa Electric Corp Device and method for teaching-procedure calibration for robot
DE102011052386A1 (en) 2010-08-03 2012-02-09 Denso Wave Inc. Method for calibrating original position of axles of vertically articulated arm robot e.g. six-axle robot, utilized for industrial factory, involves calibrating original position of axle of robot based on obtained angle error
KR101438657B1 (en) * 2013-12-16 2014-09-12 주식회사일신테크 Method of measuring industrial robot jig
DE102012102294B4 (en) * 2011-03-18 2015-03-19 Denso Wave Inc. Method of detecting a pitch offset of a 6-axis robot
KR20160001558A (en) * 2014-06-26 2016-01-06 하이윈 테크놀로지스 코포레이션 Robotic Arm System and Method for calibrating Parallelism of the Same
WO2022009765A1 (en) * 2020-07-08 2022-01-13 ファナック株式会社 Robot control device
CN114803472A (en) * 2022-04-22 2022-07-29 深圳航天科技创新研究院 Robot-based clamping control method and control system

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100416225B1 (en) * 2001-05-03 2004-01-31 광주과학기술원 A calibration device and the method for precision device
JP2009142903A (en) * 2007-12-11 2009-07-02 Denso Wave Inc Robot control device
JP2010099745A (en) * 2008-10-21 2010-05-06 Ihi Corp Robot device and robot device teaching method
JP2011230243A (en) * 2010-04-28 2011-11-17 Yaskawa Electric Corp Device and method for teaching-procedure calibration for robot
DE102011052386B8 (en) * 2010-08-03 2016-10-06 Denso Wave Inc. Method and device for calibrating an origin position of an articulated arm robot
DE102011052386B4 (en) * 2010-08-03 2016-07-07 Denso Wave Inc. Method and device for calibrating an origin position of an articulated arm robot
DE102011052386A1 (en) 2010-08-03 2012-02-09 Denso Wave Inc. Method for calibrating original position of axles of vertically articulated arm robot e.g. six-axle robot, utilized for industrial factory, involves calibrating original position of axle of robot based on obtained angle error
DE102012102294B4 (en) * 2011-03-18 2015-03-19 Denso Wave Inc. Method of detecting a pitch offset of a 6-axis robot
KR101438657B1 (en) * 2013-12-16 2014-09-12 주식회사일신테크 Method of measuring industrial robot jig
KR20160001558A (en) * 2014-06-26 2016-01-06 하이윈 테크놀로지스 코포레이션 Robotic Arm System and Method for calibrating Parallelism of the Same
WO2022009765A1 (en) * 2020-07-08 2022-01-13 ファナック株式会社 Robot control device
CN114803472A (en) * 2022-04-22 2022-07-29 深圳航天科技创新研究院 Robot-based clamping control method and control system
CN114803472B (en) * 2022-04-22 2023-12-26 深圳航天科技创新研究院 Clamping control method and system based on robot

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