JPH0362935A - Mounting method for film carrier type semiconductor device - Google Patents

Mounting method for film carrier type semiconductor device

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JPH0362935A
JPH0362935A JP1198607A JP19860789A JPH0362935A JP H0362935 A JPH0362935 A JP H0362935A JP 1198607 A JP1198607 A JP 1198607A JP 19860789 A JP19860789 A JP 19860789A JP H0362935 A JPH0362935 A JP H0362935A
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type semiconductor
semiconductor device
lead
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Abstract

PURPOSE:To mount a film carrier type semiconductor device on a printed board by a solder reflow method by temporarily tacking leads which are provided on a suspender supporting frame of a suspender supporting frame part to a printed board, and correcting the warping of a suspender. CONSTITUTION:A semiconductor chip part is separated from a film carrier tape, and tacking leads 8 and outer leads 6 are cut. Thereafter, both leads are molded. Solder paste is applied on bonding-pad parts 3 and tacking pads 7 beforehand on a printed board. A semiconductor chip 1 whose cutting and lead molding are finished is mounted on the printed board after the position alignment with the bonding pads 3 and the outer leads 6. The tacking leads 8 are bonded to the tacking leads pads 7 by solder 4. The warping of a suspender 2 is corrected by bonding the tacking leads 8 to a printed board beforehand. The outer leads 6 which are molded at the lower part than the tacking leads 8 are securely bonded to the bonding pads 3 by a solder reflow method.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はフィルムキャリヤ型半導体装置をプリント基板
に実装するフィルムキャリヤ型半導体装置の実装方法に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for mounting a film carrier type semiconductor device on a printed circuit board.

[従来の技術] 従来のフィルムキャリヤ型半導体装置の製造方法は、第
7図及び第8図に示す如く、搬送及び位置決め用のスプ
ロケットホール41と、半導体チップ31が入る開孔部
であるデバイスホール39を有するポリミド等の絶縁フ
ィルム上に銅等の金属箔を接着し、金属箔をエツチング
等により所望の形状のリード(インナーリード35.ア
ウターリード36)と電気選別のためのパッド44とを
形成してフィルムキャリヤテープ40を製造する。
[Prior Art] As shown in FIGS. 7 and 8, a conventional method for manufacturing a film carrier type semiconductor device includes a sprocket hole 41 for conveyance and positioning, and a device hole which is an opening into which a semiconductor chip 31 is inserted. 39, a metal foil such as copper is adhered onto an insulating film such as polyimide, and the metal foil is etched to form leads of a desired shape (inner lead 35, outer lead 36) and a pad 44 for electrical selection. Thus, a film carrier tape 40 is manufactured.

また、半導体チップ31の電極端子上に金属突起物であ
るバンブ46を形成する。
Further, bumps 46, which are metal protrusions, are formed on the electrode terminals of the semiconductor chip 31.

次に、フィルムキャリヤテープ40のインナーリード3
5と半導体チップ31のバンプ46とを熱圧着法又は共
晶法等によりインナーリードボンディング(以下、IL
Bと略す)シ、フィルムキャリヤテープに装着された状
態で電気選別用バッド44上に接触子を接触させて半導
体チップ31の電気選別及びバイアス試験を実施する。
Next, the inner lead 3 of the film carrier tape 40
5 and the bumps 46 of the semiconductor chip 31 by inner lead bonding (hereinafter referred to as IL) using a thermocompression bonding method or a eutectic method.
(abbreviated as B)) Electrical selection and bias testing of the semiconductor chip 31 is carried out by bringing a contactor into contact with the electrical selection pad 44 while it is attached to a film carrier tape.

これにより、フィルムキャリヤ型半導体装置が完成する
As a result, a film carrier type semiconductor device is completed.

ここで、リード35.36の変形防止用として絶縁フィ
ルムの枠であるサスペンダ32を予めフィルムキャリヤ
テープ40に設けることがある。また、信頼性向上及び
機械的保護のため、第9図に示すように、樹脂47をポ
ツテングして樹脂封止を行う場合もある。
Here, in order to prevent deformation of the leads 35 and 36, suspenders 32, which are insulating film frames, may be provided in advance on the film carrier tape 40. Further, in order to improve reliability and mechanical protection, resin sealing may be performed by potting resin 47 as shown in FIG. 9.

上記のようなフィルムキャリヤ型半導体装置をプリント
基板に実装する場合は、アウターリード36を所望の長
さに切断し、次いで第10図に示すように、例えば、プ
リント基板50上に接着剤51により半導体チップ31
を固着した後、アウターリード36をプリント基板50
上のボンディングパッド52にアウターリードボンディ
ング(以下、OLBと略す)する。
When mounting the film carrier type semiconductor device as described above on a printed circuit board, the outer leads 36 are cut to a desired length, and then, as shown in FIG. semiconductor chip 31
After fixing the outer leads 36 to the printed circuit board 50
Outer lead bonding (hereinafter abbreviated as OLB) is performed to the upper bonding pad 52.

これらのフィルムキャリヤ型半導体装置はボンディング
がリード数に拘らず1回の工程可能であるため、製造工
程が迅速であること、フィルムキャリヤテープ40を使
用するため、作業の自動化が容易であること等の利点を
有している。
These film carrier type semiconductor devices can be bonded in one process regardless of the number of leads, so the manufacturing process is quick, and since the film carrier tape 40 is used, the work can be easily automated. It has the following advantages.

上述した従来のフィルムキャリヤ型半導体装置の製造工
程のうち、OLBの工程は一般にILB工程と同様に加
圧ツールにより、リードを加圧加熱して実施する。接合
はAu−Auの熱圧着、Au−8nの共晶又は半田を使
用したろう付は等により実施される。
Among the manufacturing processes of the conventional film carrier type semiconductor device described above, the OLB process is generally performed by applying pressure and heating to the leads using a pressure tool, similarly to the ILB process. The joining is carried out by Au-Au thermocompression bonding, Au-8n eutectic or brazing using solder, etc.

これに対し、一般のパッケージであるプラスチックパッ
ケージ及びセラミックパッケージ並びにtfl tt 
及びコンデンサ等の部品については、半田のろう付けで
実施されることが多く、特に、最近では半田リフロー法
で実装することが一般的である。
In contrast, general packages such as plastic packages and ceramic packages, as well as TFL TT
Components such as capacitors and capacitors are often mounted by solder brazing, and in recent years, it has become common to use solder reflow method.

即ち、プリント基板のボンディングパッド上に半田ペー
ストを印刷法等により塗布し、次に半導体パッケージや
抵抗等の部品を接着剤でプリント基板に位置合わせを行
って接着仮止めし、赤外線加熱炉、熱風加熱炉又は加熱
蒸気槽等にプリント基板を装入するか、又はレーザー溶
接により半田ペーストを溶解し、部品を実装する。この
ような半田リフロー法による実装は多くの部品を同時に
実装でき、自動化が容易である等の利点を有している。
That is, solder paste is applied onto the bonding pads of a printed circuit board using a printing method, etc., and then components such as semiconductor packages and resistors are aligned and temporarily bonded to the printed circuit board with adhesive, and then heated using an infrared heating furnace or hot air. The printed circuit board is placed in a heating furnace or heated steam tank, or the solder paste is melted by laser welding and the components are mounted. Mounting using such a solder reflow method has advantages such as being able to mount many components at the same time and facilitating automation.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、フィルムキャリヤ型半導体装置を半田リ
フロー法に適用する場合、フィルムキャリヤ型半導体装
置のサスペンダ部が絶縁フィルムで形成されているため
、サスペンダ部が容易に反ってしまい、リード高さにバ
ラツキが生じる。
[Problems to be Solved by the Invention] However, when applying a film carrier type semiconductor device to the solder reflow method, the suspender portion of the film carrier type semiconductor device is formed of an insulating film, so the suspender portion is easily warped. This causes variations in lead height.

これによって、プリント基板のボンディングパッドに塗
布された半田ペーストとリードとが接触しないことにな
り、半導体装置を実装することができなくなるという欠
点がある。
As a result, the solder paste applied to the bonding pads of the printed circuit board does not come into contact with the leads, resulting in a disadvantage that the semiconductor device cannot be mounted.

一般に実装の高密度化が促進されるに従い、半導体装置
のり一ドピッチが短縮化されるが、それに伴って、半田
リフロー法での実装が困難になってくる。現状では0,
65乃至1.0mmピッチが一般的であり、例えば、日
経エレクトロニクスl988年12月12日号第141
乃至149頁にあるように、0.4乃至0.5mmが限
界であるといわれている。即ち、半田ペースト量の不足
により濡れ不足が生じ、半田ペースト量の過多により半
田ブリッジが生じるため、半田ペーストの塗布景を正確
に制御する必要があり、このためリード高さを正確に保
つことが要求される。リード高さ及び平面性の制御量と
しては、0.05乃至0.l0mm程度が要求されてい
るが、フィルムキャリヤ型半導体装置の場合は、多数リ
ード化等によりサスペンダ部が大きくなるに従って反り
量が増加し、数百μm以上の反りが生じることが多い。
In general, as the density of packaging is promoted, the pitch of semiconductor devices is shortened, but as a result, mounting using the solder reflow method becomes difficult. Currently 0,
A pitch of 65 to 1.0 mm is common, for example, Nikkei Electronics, December 12, 1988, issue 141.
As shown on pages 149 to 149, it is said that the limit is 0.4 to 0.5 mm. In other words, an insufficient amount of solder paste causes insufficient wetting, and an excessive amount of solder paste causes solder bridges. Therefore, it is necessary to accurately control the solder paste application pattern, and for this reason, it is difficult to accurately maintain the lead height. required. The control amount for lead height and flatness is 0.05 to 0. Although approximately 10 mm is required, in the case of a film carrier type semiconductor device, the amount of warpage increases as the suspender portion becomes larger due to multiple leads, etc., and warpage of several hundred μm or more often occurs.

従って、−殻内にフィルムキャリヤ型半導体装置の実装
は、前述のように加圧ツールによりリードを押さえつけ
て反りによるリード高さのバラツキを補正して行うこと
が多く、半田リフロー法で行うことは殆どない。しかし
ながら、一般のパッケージをはじめ抵抗及びコンデンサ
等の殆どの部品が半田リフロー法による実装に対応でき
ており、フィルムキャリヤ型半導体装置のみを個別に加
圧ツールで実装するのは現状の自動化実装ラインに整合
しない上、フィルムキャリヤ型半導体装置用に専用の装
置を設置する必要がある等の欠点がある。
Therefore, mounting a film carrier type semiconductor device inside a shell is often carried out by pressing the leads with a pressure tool to correct for variations in lead height due to warping, as described above, and it is not possible to use the solder reflow method. There aren't many. However, most components such as general packages, resistors, and capacitors can be mounted using the solder reflow method, and mounting only film carrier type semiconductor devices individually using a pressure tool is not suitable for current automated mounting lines. In addition to the lack of matching, there are drawbacks such as the need to install a dedicated device for film carrier type semiconductor devices.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
サスペンダの反りを補正することができ、半田リフロー
法による実装が容易であるフィルムキャリヤ型半導体装
置の実装方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such problems, and includes:
It is an object of the present invention to provide a method for mounting a film carrier type semiconductor device that can correct warpage of suspenders and that can be easily mounted using a solder reflow method.

[課題を解決するための手段] 本発明に係るフィルムキャリヤ型半導体装置の実装方法
は、半導体素子、この半導体素子に接続されたリード、
リードを支持するサスペンダ、サスペンダ支持枠部の一
部及びこのサスペンダ支持枠部に設けられた仮付は用リ
ードを含む部分をフィルムキャリヤテープから切断分離
してリード成形する工程と、前記仮付は用リードをプリ
ント基板の所定の位置に接合する工程と、半田リフロー
法によりフィルムキャリヤ型半導体装置のリードとプリ
ント基板上のボンディングパッドとを接合する工程とを
有することを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] A method for mounting a film carrier type semiconductor device according to the present invention includes a semiconductor element, a lead connected to the semiconductor element,
The suspenders that support the leads, a part of the suspender support frame, and the part including the leads provided on the suspender support frame are cut and separated from the film carrier tape to form the leads; The present invention is characterized by comprising the steps of bonding the leads of the film carrier type semiconductor device to bonding pads on the printed circuit board by a solder reflow method.

[作用コ 本発明においては、サスペンダ支持枠部に設けられた仮
付は用リードをプリント基板の所定の位置に接合した後
、半田リフロー法によりフィルムキャリヤ型半導体装置
のリードと、プリント基板上のボンディングパッドとを
接合する。従って、半田リフロー時のサスペンダ部の反
りを仮付は用リードにより防止することができるので、
フィルムキャリヤ型半導体装置を半田リフロー法により
容易に実装することができる。
[Function] In the present invention, after the temporary attachment leads provided on the suspender support frame are bonded to predetermined positions on the printed circuit board, the leads of the film carrier type semiconductor device and the leads on the printed circuit board are bonded using the solder reflow method. Join the bonding pad. Therefore, the warping of the suspender part during solder reflow can be prevented by using the temporary lead.
A film carrier type semiconductor device can be easily mounted using a solder reflow method.

[実施例コ 次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
[Embodiments] Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明の第1の実施例方法により実装されたフ
ィルムキャリヤ型半導体装置を示す斜視図である。半導
体チップ1の電極にはインナーリード5がボンディング
接続されている。
FIG. 1 is a perspective view showing a film carrier type semiconductor device mounted by a method according to a first embodiment of the present invention. Inner leads 5 are connected to electrodes of the semiconductor chip 1 by bonding.

このインナーリード5から延びるアウターリード6はプ
リント基板上のボンディングパッド3と半田4により接
合されている。そして、インナーリード5及びアウター
リード6は絶縁フィルムからなるサスペンダ2により支
持されている。このサスペンダ2のコーナ一部には仮付
は用リード8が形成されており、この仮付は用リード8
は、同様にプリント基板上の仮付は用リードパッド7に
半田4により接合されている。この仮付は用り−ド8に
よりサスペンダ2がプリント基板に押さえつけられてい
る。
Outer leads 6 extending from the inner leads 5 are bonded to bonding pads 3 on the printed circuit board by solder 4. The inner lead 5 and the outer lead 6 are supported by suspenders 2 made of an insulating film. A temporary attachment lead 8 is formed in a part of the corner of this suspender 2.
is similarly bonded to a lead pad 7 for temporary attachment on a printed circuit board by solder 4. In this temporary attachment, the suspenders 2 are pressed against the printed circuit board by the arms 8.

次いで、上述の構造のフィルムキャリヤ型半導体装置の
製造方法について、第2図の平面図及び第3図の断面図
を参照して説明する。
Next, a method of manufacturing the film carrier type semiconductor device having the above structure will be explained with reference to the plan view of FIG. 2 and the cross-sectional view of FIG. 3.

第2図は本発明の実施例にて使用するフィルムキャリヤ
テープ10を示す。この第2図に示すように、従来のフ
ィルムキャリヤテープと同様にスプロケットホール11
、デバイスホール9及びOLB用ホール15の外、仮付
は用リードのホール12を形成した絶縁フィルム上に銅
等の金属箔を接着し、エツチング等により所望の形状の
リードであるインナーリード5、アウターリード6、電
気選別用パッド14及び仮付は用リード8を形成したフ
ィルムキャリヤテープ10を用意する。
FIG. 2 shows a film carrier tape 10 used in an embodiment of the invention. As shown in FIG. 2, the sprocket hole 11 is similar to the conventional film carrier tape.
In addition to the device hole 9 and the OLB hole 15, a metal foil such as copper is bonded onto the insulating film in which the lead hole 12 for temporary attachment is formed, and an inner lead 5, which is a lead of a desired shape, is formed by etching or the like. A film carrier tape 10 on which outer leads 6, electrical sorting pads 14, and tacking leads 8 are formed is prepared.

ここで、仮付は用リードホール12はサスペンダ2を支
持するサスペンダ支持枠13に開口されて設けられてお
り、仮付は用リードホール12をまたぐようにして仮付
は用リード8が設けられている。
Here, a lead hole 12 for temporary attachment is opened and provided in a suspender support frame 13 that supports the suspenders 2, and a lead 8 for temporary attachment is provided so as to straddle the lead hole 12 for temporary attachment. ing.

次に、フィルムキャリヤテープ10のインナーリード5
と半導体チップ1の電極上に設けられたバンプ16とを
熱圧着又は数品法等によりボンディング(ILB)L、
樹脂17により樹脂封止する。本実施例では、第2図及
び第3図に示す用にフィルムキャリヤテープ10のリー
ドパターン面と半導体チップの素子形成面とが向かい合
うフェイスダウンにてインナーリードボンディングされ
ている。
Next, the inner lead 5 of the film carrier tape 10
and the bumps 16 provided on the electrodes of the semiconductor chip 1 are bonded (ILB) L by thermocompression bonding or the several-item method, etc.
Resin sealing is performed with resin 17. In this embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, inner lead bonding is performed with the lead pattern surface of the film carrier tape 10 and the element forming surface of the semiconductor chip facing each other face down.

次いで、電気選別用パッド14に試験装置の接触子を接
触させて電極選別を行い、フィルムキャリヤ型半導体装
置が完成する。
Next, a contactor of a test device is brought into contact with the electrical selection pad 14 to perform electrode selection, and a film carrier type semiconductor device is completed.

このようにして製造したフィルムキャリヤ型半導体装置
の実装は以下のようにして行う。即ち、第4図の平面図
及び第5図の断面図に示すように、フィルムキャリヤ型
半導体装置を切断分離すると同時にアウターリード6を
成形する。この切断位置は、第4図に示すように、仮付
は用リード8とアウターリード6とを残すように仮付は
用リードホール12とOLB用ホール15の外側縁位置
であり、この位置で切断して半導体チップ部をフィルム
キャリヤテープ10から分離する。
The film carrier type semiconductor device manufactured in this manner is mounted in the following manner. That is, as shown in the plan view of FIG. 4 and the cross-sectional view of FIG. 5, the outer leads 6 are formed at the same time as the film carrier type semiconductor device is cut and separated. As shown in FIG. 4, the cutting position is at the outer edge of the lead hole 12 and the OLB hole 15, where the temporary lead 8 and outer lead 6 are left. The semiconductor chip portion is separated from the film carrier tape 10 by cutting.

仮付は用リード8とアウターリード6とを切断した後、
両者ともリード成形を行う。ここで、仮付は用リード8
の成形深さはアウターリード6の成形深さよりも浅くす
る。本実施例では第5図に示すようにアウターリード6
はリードを下方にのみ成形するバットリード形状として
いるが、この成形の形状は特には制約がない。
For temporary attachment, after cutting the lead 8 and the outer lead 6,
Both perform lead molding. Here, for temporary attachment, use lead 8.
The molding depth is made shallower than the molding depth of the outer lead 6. In this embodiment, as shown in FIG.
Although the lead is formed into a butt lead shape only downward, there are no particular restrictions on the shape of this molding.

次に、第1図に示すように、予めボンディングパッド部
3及び仮付は用パッド7に半田ペーストを塗布したプリ
ント基板上に、切断及びリード成形済みの半導体チップ
1をボンディングパッド3とアウターリード6との位置
合わせを行って載置すると共に、仮付は用リード8を仮
付は用リードパッド7に半田4により接合する。
Next, as shown in FIG. 1, the semiconductor chip 1, which has been cut and lead-formed, is placed on the printed circuit board on which the bonding pad portion 3 and the temporary attachment pad 7 are coated with solder paste. At the same time, the lead 8 for temporary attachment is joined to the lead pad 7 for temporary attachment by solder 4.

ここで、フィルムキャリヤ型半導体装置の載置の際、フ
ェイスダウンでのILBのため、半導体チップ1上の樹
脂17とプリント基板とを接着剤等により仮止め後、仮
付は用リード8を接合しても、また仮付は用リード8を
半田4の替わりに接着剤等によりボンディングパッド3
に接合してもよい。このようにして、仮付は用リード8
をプリント基板に予め接合することによって、サスペン
ダ2の反りが補正され、仮付は用リード8よりも下方に
成形されているアウターリード6は確実にボンディング
パッド3と接合することになる。
Here, when mounting a film carrier type semiconductor device, for face-down ILB, after temporarily fixing the resin 17 on the semiconductor chip 1 and the printed circuit board with adhesive etc., the leads 8 for temporary attachment are joined. However, for temporary attachment, connect the lead 8 to the bonding pad 3 with adhesive instead of solder 4.
It may be joined to. In this way, the temporary attachment is done using the lead 8.
By bonding the suspenders 2 to the printed circuit board in advance, the warpage of the suspenders 2 is corrected, and the outer leads 6, which are formed below the leads 8 for temporary attachment, are reliably bonded to the bonding pads 3.

次に、他の部品を従来と同様に接着剤によりプリント基
板上に仮止めした後、赤外線加熱炉、熱風加熱炉及び加
熱蒸気槽等のりフロー炉に装入するか、レーザー溶接等
により半田ペーストを溶解して、フィルムキャリヤ型半
導体装置のアウターリード6とボンディングパッド3と
を半田4により固定して接合し、他の部品と共に実装を
完了する。このようにして、本実施例により、フィルム
キャリヤ型半導体装置を他の部品と共にプリント基板に
半田リフロー法により実装することができる。
Next, after temporarily fixing the other parts onto the printed circuit board with adhesive as in the past, either place them into a glue flow furnace such as an infrared heating furnace, hot air heating furnace, or heated steam tank, or use solder paste by laser welding, etc. The outer leads 6 and bonding pads 3 of the film carrier type semiconductor device are fixed and bonded using solder 4, and the mounting together with other components is completed. In this way, according to this embodiment, the film carrier type semiconductor device can be mounted on a printed circuit board together with other components by the solder reflow method.

第6図は本発明の第2の実施例方法を示す平面図である
。第1の実施例方法の場合と同一物には同一符号を付し
てその詳しい説明は省略する。
FIG. 6 is a plan view showing a second embodiment method of the present invention. Components that are the same as in the method of the first embodiment are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.

本実施例においては、第1のサスペンダ支持枠13を有
しないで、仮付は用リード8のみが設けられており、こ
れを用いて第1の実施例と同様にフィルムキャリヤ型半
導体装置の実装を行うことができる。このようにサスペ
ンダ支持枠を設けることなく、サスペンダ2を形成する
ためには、2層テープを使用してフィルムキャリヤテー
プ2゜を製造する。2層テープはポリイミドからなるフ
ィルム上に接着剤を介せず無電解によるメツキでCu層
を薄く形成し、フォトレジスト法により選択的にCuを
電解メツキにより約35μmの厚さで形成し、不要な部
分を薄く形成しておく。そして、この不要部分のCuを
全体のエツチングにより除去してリード等をパターン形
成する。
In this embodiment, the first suspender support frame 13 is not provided, and only the lead 8 for temporary attachment is provided, and this is used to mount a film carrier type semiconductor device in the same manner as in the first embodiment. It can be performed. In order to form the suspenders 2 without providing a suspender support frame in this way, a two-layer tape is used to manufacture the film carrier tape 2°. The two-layer tape is made by forming a thin Cu layer on a polyimide film by electroless plating without using an adhesive, and selectively forming Cu to a thickness of about 35 μm by electrolytic plating using a photoresist method, eliminating unnecessary Form the part thinly. Then, this unnecessary portion of Cu is removed by etching the entire surface to form a pattern for leads and the like.

次に、フォトレジスト法で選択的にポリイミドフィルム
をエツチングしてデバイスホール9及びOLB用ホール
21等の孔を形成し、A u又はSn等の所望のメツキ
を施して完成する。これにより、サスペンダ支持枠なし
でサスペンダ8を形成することができる。従来の3層の
フィルムキャリヤテープにおいても、先ず、従来と同様
にポリイミド等の絶縁フィルムにスプロケットホール、
デバイスホール及びOLB用ホール等をパンチングによ
り開孔し、容易に剥離可能な接着力が弱い別のフィルム
を接着する。
Next, the polyimide film is selectively etched using a photoresist method to form holes such as the device hole 9 and the OLB hole 21, and a desired plating such as Au or Sn is applied to complete the process. Thereby, the suspenders 8 can be formed without a suspender support frame. In the conventional three-layer film carrier tape, first, sprocket holes,
Device holes, OLB holes, etc. are opened by punching, and another film with weak adhesive strength that can be easily peeled is adhered.

次に、サスペンダ支持枠のみをパンチングにより切断除
去し、次いで、Cu箔を反対面に接着剤を介して接着し
た後、先のフィルムを剥離する。
Next, only the suspender support frame is cut and removed by punching, and then, after adhering Cu foil to the opposite surface via an adhesive, the previous film is peeled off.

次いで、従来と同様にCu箔の選択エツチング工程及び
所望のメツキ形成工程を経ることにより、サスペンダ支
持枠を有しないサスペンダ2を備えたフィルムキャリヤ
テープ20を製造することができる。
Next, the film carrier tape 20 having the suspenders 2 without the suspender support frame can be manufactured by selectively etching the Cu foil and forming a desired plating process in the same manner as in the conventional method.

上述のようなサスペンダ支持枠を有しないフィルムキャ
リヤテープ20の場合は、サスペンダ支持枠のサイズに
ついて、−殻内に約0゜5乃至1.0mumの幅を製造
上必要とするため、特に多数リードのフィルムキャリヤ
テープにおいて、サスペンダ枠がOLB用ホールサイズ
に制約を与えるのに対し、本発明の仮付は用リード8が
サスペンダ支持枠を兼ねるために、本発明はOLB用ホ
ールサイズへの影響がないという利点がある。
In the case of the film carrier tape 20 that does not have a suspender support frame as described above, the size of the suspender support frame requires a width of approximately 0°5 to 1.0 mm in the shell for manufacturing purposes. In the film carrier tape, the suspender frame restricts the hole size for OLB, whereas in the tacking of the present invention, the lead 8 also serves as the suspender support frame, so the present invention has no effect on the hole size for OLB. There is an advantage that there is no

なお、上述の実施例では仮付は用リード8を設けてサス
ペンダ2を固定したが、従来のフィルムキャリヤテープ
におけるサスペンダ支持枠を仮付は用リードの代わりと
して用いることも可能である。この場合は、第7図の従
来のフィルムキャリヤテープにあるサスペンダ支持枠4
2を仮付は用リードと同様に残し、接着剤にてプリント
基板上の仮付は用リードパッドに接合するか、サスペン
ダ支持枠上に他のリードと同様にメツキを施したCu等
のパターンを残し、半田等により接合することによって
実装することができる。即ち、サスペンダ支持枠又はサ
スペンダ支持枠の代わりとなる仮付は用リードの接合方
法には格別の制約はない。
In the above-described embodiment, the suspenders 2 are fixed by providing the temporary attachment lead 8, but it is also possible to use a suspender support frame in a conventional film carrier tape as a substitute for the temporary attachment lead. In this case, the suspender support frame 4 of the conventional film carrier tape shown in FIG.
For temporary attachment, leave 2 in the same way as the lead, and use adhesive to connect it to the temporary lead pad on the printed circuit board, or use a pattern such as Cu plated on the suspender support frame in the same way as other leads. It can be mounted by leaving a part and joining it by soldering or the like. That is, there are no particular restrictions on the method of joining the suspender support frame or the temporary attachment lead in place of the suspender support frame.

また、多数リード化に伴ってアウターリードが入るOL
B用ホールが大きくなって上記実施例のように四角形の
コーナ一部のみにあるサスペンダ支持枠のみの仮付けで
は十分な反りの補正ができない場合は、OLB用ホール
の中間部に仮付は用リード又は仮付けのためのサスペン
ダ支持枠を追加して実施することも可能である。従って
、この仮付は用リードの位置及び数にも制約はない。
In addition, as the number of leads increases, outer leads are added to office ladies.
If the hole for B becomes large and the warp cannot be corrected sufficiently by temporarily attaching the suspender support frame only to a part of the square corner as in the above example, temporary attaching to the middle part of the OLB hole is not recommended. It is also possible to add a suspender support frame for leads or temporary attachment. Therefore, there are no restrictions on the position or number of leads for this temporary attachment.

[発明の効果コ 以上、説明したように本発明は、フィルムキャリヤ型半
導体装置のサスペンダ支持枠又はサスペンダ支持枠部に
設けられた仮付は用リードをプリント基板に仮付けして
サスペンダの反りを補正するから、他の部品と同様に、
また他の部品と同時に半田リフロー法によりフィルムキ
ャリヤ型半導体装置をプリント基板に実装することがで
きる。
[Effects of the Invention] As explained above, the present invention provides a method for temporarily attaching the suspender support frame or the suspender support frame portion of a film carrier type semiconductor device to a printed circuit board to prevent warpage of the suspender. Because it is corrected, like other parts,
Further, the film carrier type semiconductor device can be mounted on a printed circuit board at the same time as other components by a solder reflow method.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第1の実施例により製造されたフィル
ムキャリヤ型半導体装置の実装状態を示す斜視図、第2
図乃至第5図は本発明の第1の実施例に係るフィルムキ
ャリヤ型半導体装置の実装方法を示す図で、第2図及び
第4図は平面図、第3図及び第5図は断面図、第6図は
本発明の第2の実施例により実装されたフィルムキャリ
ヤ型半導体装置を示す平面図、第7図乃至第10図は従
来のフィルムキャリヤ型半導体装置の実装工程を示す図
で、第7図は平面図、第8図乃至第10図は断面図であ
る。 1.31;半導体チップ、2.32;サスペンダ、3,
52;ボンディングパッド、4;半田、5.35;イン
ナーリード、6.38;アウターリード、8;仮付は用
リード、9,39;デバイスホール、10,20.40
;フィルムキャリヤテープ、11.41;スプロケット
ホール、12;仮付は用リードホール、13,42;サ
スペンダ支持枠
1 is a perspective view showing a mounted state of a film carrier type semiconductor device manufactured according to a first embodiment of the present invention; FIG.
5 to 5 are diagrams showing a method for mounting a film carrier type semiconductor device according to the first embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 4 are plan views, and FIGS. 3 and 5 are sectional views. , FIG. 6 is a plan view showing a film carrier type semiconductor device mounted according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 7 to 10 are diagrams showing the mounting process of a conventional film carrier type semiconductor device. FIG. 7 is a plan view, and FIGS. 8 to 10 are sectional views. 1.31; semiconductor chip, 2.32; suspenders, 3,
52; Bonding pad, 4; Solder, 5.35; Inner lead, 6.38; Outer lead, 8; Lead for temporary attachment, 9, 39; Device hole, 10, 20.40
; Film carrier tape, 11.41; Sprocket hole, 12; Lead hole for temporary attachment, 13, 42; Suspender support frame

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)半導体素子、この半導体素子に接続されたリード
、リードを支持するサスペンダ、サスペンダ支持枠部の
一部及びこのサスペンダ支持枠部に設けられた仮付け用
リードを含む部分をフィルムキャリヤテープから切断分
離してリード成形する工程と、前記仮付け用リードをプ
リント基板の所定の位置に接合する工程と、半田リフロ
ー法によりフィルムキャリヤ型半導体装置のリードとプ
リント基板上のボンディングパッドとを接合する工程と
を有することを特徴とするフィルムキャリヤ型半導体装
置の実装方法。
(1) Remove the semiconductor element, the leads connected to the semiconductor element, the suspenders that support the leads, a part of the suspender support frame, and the parts including the temporary attachment leads provided on the suspender support frame from the film carrier tape. A process of cutting and separating leads and forming them, a process of bonding the temporarily attached leads to predetermined positions on the printed circuit board, and a process of bonding the leads of the film carrier type semiconductor device and the bonding pads on the printed circuit board by a solder reflow method. A method for mounting a film carrier type semiconductor device, comprising the steps of:
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5351393A (en) * 1991-05-28 1994-10-04 Dimensonal Circuits Corporation Method of mounting a surface-mountable IC to a converter board
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US5992729A (en) * 1996-10-02 1999-11-30 Mcnc Tacking processes and systems for soldering

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