JPH02220794A - Laser beam processing method - Google Patents

Laser beam processing method

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JPH02220794A
JPH02220794A JP1041540A JP4154089A JPH02220794A JP H02220794 A JPH02220794 A JP H02220794A JP 1041540 A JP1041540 A JP 1041540A JP 4154089 A JP4154089 A JP 4154089A JP H02220794 A JPH02220794 A JP H02220794A
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round hole
workpiece
cutting
work
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Makoto Irie
真 入江
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田治米 全彦
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Amada Co Ltd
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily execute the operations up to the start of normal cutting of a work in a short period of time by executing round hole machining while previously automatically moving a condenser lens upward and downward and automatically determining an optimum focus position with an automatic focus adjusting device. CONSTITUTION:The work W is first subjected to round hole machining several times while the condenser lens 33 is moved in a vertical direction at the time of cutting the work W with a laser beam machine 1. The area or diameter of the round hole is measured by the automatic focus adjusting device 21 at every processing. The condenser lens 33 is positioned to the position moved downward by 0.Xmm from the position of the condenser lens 33 in the smallest area or diameter among the measured areas or diameters of the round hole as the optimum focal position of the condenser lens 33 and thereafter, the normal cutting of the work W is started. The focusing of the condenser lens 33 is thereby easily, rapidly and exactly executed and, therefore, the operations up to the start of the normal cutting of the work W are easily carried out in a short period of time.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、レーザ加工方法に係り、更に詳細には、予
めワークに集光レンズを上下に移動させながら丸穴加工
を数回行なって集光レンズの最適焦点位置を決めてから
、正規なワークに切断加工を行なうレーザ加工方法に関
する。
[Detailed Description of the Invention] [Objective of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a laser processing method, and more specifically, the present invention relates to a laser processing method, and more specifically, a method for processing a round hole while moving a condensing lens up and down on a workpiece in advance. This invention relates to a laser processing method in which cutting is performed several times to determine the optimum focal position of a condensing lens, and then a regular workpiece is cut.

(従来の技術) 従来、レーザ加工機はレーザ発振器より出力されたレー
ザビームを加工ヘッドに導き、加工ヘッドに備えられた
集光レンズでレーザビームを集光する。集光されたレー
ザビームをワークに照射して切断加工が行なわれている
(Prior Art) Conventionally, a laser processing machine guides a laser beam output from a laser oscillator to a processing head, and focuses the laser beam with a condensing lens provided in the processing head. Cutting is performed by irradiating a workpiece with a focused laser beam.

しかも、レーザ加工機でワークに切断加工を行なう際に
は、集光レンズを最適位置に合わせる焦点合せを行なっ
ている。そして、この集光レンズの焦点合せの方法とし
ては、例えば木材にスリットの切断加工を行ない、切断
されたスリットの一番細いところを最適焦点位置として
その検出を行なっていた。
Moreover, when cutting a workpiece with a laser beam machine, focusing is performed to bring the condenser lens to an optimal position. As a method for focusing the condenser lens, for example, a slit is cut into a piece of wood, and the narrowest point of the cut slit is set as the optimal focal point and detected.

また、他の集光レンズの焦点合せの方法としては、アク
リル材にレーザビームを照射し、同出力、同照射時間に
おいてアクリル材に最も深く切り込んだところを最適焦
点位置としてその検出を行なっていた。
Another method for focusing a condensing lens is to irradiate a laser beam onto an acrylic material and detect the optimum focal point at the deepest point cut into the acrylic material at the same output and irradiation time. .

(発明が解決しようとする課題) ところで、前述した従来技術における前者の焦点合せ方
法では、焦点検出用として木材が必要であると共に、目
視による焦点位置の検出であるため不正確なものであっ
た。また、後者の焦点合せ方法では、焦点検出用として
高価なフクリル材が必要であると共に、アクリル材から
発生される蒸気は集光レンズ、ミラーなどの光学部品に
悪影響を及ぼすという問題があった。
(Problem to be Solved by the Invention) By the way, the former focusing method in the prior art described above requires wood for focus detection and is inaccurate because the focus position is detected visually. . Furthermore, the latter focusing method requires an expensive acrylic material for focus detection, and the vapor generated from the acrylic material has a problem in that it has an adverse effect on optical components such as condensing lenses and mirrors.

さらに、前者および後者のいずれの焦点合せ方法では技
術者の経験と勘に頼るものであるため、焦点合せに多く
の手間と時間を要し、正規な切断加工を開始するまで大
変面倒であると共に厄介であった。
Furthermore, since both the former and latter focusing methods rely on the experience and intuition of engineers, focusing requires a lot of effort and time, and it is very troublesome until the proper cutting process begins. It was troublesome.

この発明の目的は、上記問題点を改善するため、集光レ
ンズの焦点合せを容易、迅速かつ正確で自動的に行なっ
て、正規なワークに切断加工を行なう切断開始までを短
時間で容易に行ない得るようにしたレーザ加工方法を提
供することにある。
The purpose of the present invention is to improve the above-mentioned problems by easily, quickly, accurately and automatically focusing a condensing lens, thereby making it easier to start cutting a regular workpiece in a short time. It is an object of the present invention to provide a laser processing method that allows the laser processing to be carried out.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明は、レーザ加工機
に設けられた集光レンズで集光されたレーザビームをワ
ークに照射して切断加工を行なう際、予め前記集光レン
ズを上下方向へ移動させながらワークに丸穴加工を数回
行ない、その都度レーザ加工機に備えられた焦点自動調
整装置で前記丸穴の面積又は径を測定し、測定された丸
穴の面積又は径のうち一番小さい面積又は径における集
光レンズの位置から下方向へ0.Xmm動かした位置を
集光レンズの最適焦点位置とし、正規なワークに切断加
工を開始するレーザ加工方法である。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention includes cutting a workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam focused by a condensing lens provided in a laser processing machine. When machining, drill a round hole in the workpiece several times while moving the condensing lens up and down, and each time measure the area or diameter of the round hole with an automatic focus adjustment device installed in the laser processing machine. Then, from the position of the condenser lens at the smallest area or diameter of the measured round hole, 0. This is a laser processing method in which the position moved by X mm is set as the optimum focus position of the condensing lens, and cutting is started on a regular workpiece.

(作用) この発明のレーザ加工方法を採用することにより、レー
ザ加工機でワークに切断加工を行なう際、まず集光レン
ズを上下方向へ移動させながらワークに丸穴加工を数回
行なう。そして、数回丸穴加工を行なったときに、その
都度自動焦点調整装置で丸穴の面積又は径を測定する。
(Function) By employing the laser machining method of the present invention, when cutting a workpiece with a laser beam machine, first, a round hole is machined several times in the workpiece while moving the condensing lens in the vertical direction. Then, when the round hole is machined several times, the area or diameter of the round hole is measured each time using an automatic focus adjustment device.

測定された丸穴の面積又は径のうち一番小さい面積又は
径における集光レンズの位置から下方向へOlX“動か
した位置を集光レンズの最適焦点位置として集光レンズ
を位置決めしてから正規なワークに切断加工を開始する
ようにしたものである。したがって、集光レンズの集光
レンズの焦点合せが容易。
The position of the condenser lens moved downward from the position of the condenser lens at the smallest area or diameter of the measured round hole is set as the optimal focus position of the condenser lens, and then the condenser lens is positioned and then adjusted. It is designed to start cutting on a workpiece that has a certain shape.Therefore, it is easy to focus the condenser lens of the condenser lens.

迅速かつ正確で、自動的に行なわれるから、正規なワー
クに切断加工を開始するまでの操作が容易かつ短時間で
行なわれる。
Since it is quick, accurate, and automatic, operations up to the start of cutting on a regular workpiece can be performed easily and in a short time.

(実施例) 以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.

第4図を参照するに、レーザ加工機1におけるレーザ加
工機本体3の後側には例えば炭酸ガスレーザ発振器のご
ときレーザ発振器が設けられている。このレーザ発振器
は一般的なものであって、レーザビームをレーザ加工機
本体3の方向へ照射するように構成されている。
Referring to FIG. 4, a laser oscillator, such as a carbon dioxide laser oscillator, is provided on the rear side of the laser processing machine main body 3 of the laser processing machine 1. As shown in FIG. This laser oscillator is a general one and is configured to irradiate a laser beam in the direction of the laser processing machine main body 3.

レーザ加工機本体3の前側には固定テーブル5が設けら
れており、この固定テーブル5の両側には図示省略のY
軸駆動モータMYによってY軸方向へ移動自在なサイド
テーブル7が設けられている。
A fixed table 5 is provided on the front side of the laser processing machine main body 3, and Y (not shown) is provided on both sides of the fixed table 5.
A side table 7 is provided that is movable in the Y-axis direction by a shaft drive motor MY.

このサイドテーブル7のレーザ加工機本体3側にはキャ
レッジベース9が一体的に設けられており、このキャレ
ッジベース9には図示省略のX軸駆動モータMXによっ
てX軸方向へ移動自在なキャレッジ11が設けられてい
る。しかも、このキャレッジ11にはワークWをクラン
プするため複数のワーククランプ13が備えられている
A carriage base 9 is integrally provided on the side of the laser processing machine main body 3 of the side table 7, and the carriage base 9 has a carriage movable in the X-axis direction by an X-axis drive motor MX (not shown). 11 are provided. Furthermore, the carriage 11 is equipped with a plurality of work clamps 13 for clamping the work W.

前記レーザ発振器本体3における前部の上部にはオーバ
ヘッドビーム15が水平に片持式にて支持されている。
An overhead beam 15 is horizontally supported in a cantilevered manner at the upper part of the front portion of the laser oscillator main body 3.

このオーバヘッドビーム15の前部には図示省略のZ軸
駆動モータM2によってX軸方向へ移動自在な加工ヘッ
ド17が設けられている。この加工ヘッド17内には詳
細を後述する反射ミラーや集光レンズが備えられている
A processing head 17 is provided at the front of the overhead beam 15 and is movable in the X-axis direction by a Z-axis drive motor M2 (not shown). The processing head 17 is provided with a reflecting mirror and a condensing lens, the details of which will be described later.

上記構成により、レーザ発振器から出力されたレーザビ
ームはオーバヘッドビーム15内を通り加工へラド1フ
内の反射ミラーで折り曲げられて集光レンズで集光され
て、加工ヘッドの先端に設けられたノズルからワークW
に照射される。ワークWはワーククランプ13にクラン
プされ、X軸。
With the above configuration, the laser beam output from the laser oscillator passes through the overhead beam 15, is bent by the reflection mirror in the rad 1f, is focused by the condensing lens, and is sent to the nozzle provided at the tip of the processing head. Kara work W
is irradiated. The workpiece W is clamped by the workpiece clamp 13, and the X-axis.

Y軸方向へ移動されることにより、所定の形状の切断加
工が行なわれることになる。
By moving in the Y-axis direction, cutting into a predetermined shape is performed.

前記レーザ加工機本体3における右側壁にはレーザ加工
機1を自動的に数値制御するNC装置1つが設けられて
いる。また、レーザ加工機1には焦点自動調節装置21
が備えれており、この焦点自動調整装置21の一部であ
って、ワーク(試料)Wに加工された丸穴を撮像するた
めのCCDカメラ23が前記レーザ加工機本体3の右側
前部に設けられていると共に、前記固定テーブル5内の
CCDカメラ23の直下部には光源25が設けられてい
る。さらに、レーザ加工機1の近傍には焦点自動調整装
置21の一部であって、前記CCDカメラ23で撮像し
たワーク(試料)Wに加工された丸穴の面積又は径を測
定して集光レンズの焦点を自動制御するための画像処理
装置27が配置されている。
One NC device for automatically numerically controlling the laser beam machine 1 is provided on the right side wall of the laser beam machine body 3. The laser processing machine 1 also includes an automatic focus adjustment device 21.
A CCD camera 23, which is a part of the automatic focus adjustment device 21 and is used to take an image of a round hole machined in the workpiece (sample) W, is located at the front right side of the laser processing machine main body 3. In addition, a light source 25 is provided directly below the CCD camera 23 in the fixed table 5. Further, near the laser processing machine 1, there is a part of an automatic focus adjustment device 21, which measures the area or diameter of a round hole machined in the workpiece (sample) W imaged by the CCD camera 23 and focuses the light. An image processing device 27 is arranged to automatically control the focus of the lens.

第1図には集光レンズの焦点を自動的に制御する焦点自
動調整装置21の制御ブロック図が示されている。第1
図において、加工ヘッド17の上部には前記レーザ発振
器で出力されたレーザビームLBを反射させて折曲げる
反射ミラー29が内装されている。また、加工へラド1
フ内には回転不能でかつ上下に摺動自在な摺動円筒部材
31が装着されており、しかもこの摺動円筒部材31内
には前記反射ミラー2つで折曲げられたレーザビームL
Bを集光させる集光レンズ33が備えられている。さら
に、この摺動円筒部材31の先端部は集光レンズ33で
集光されたレーザビームLBをワークWへ照射するため
のノズル35が一体化されている。
FIG. 1 shows a control block diagram of an automatic focus adjustment device 21 that automatically controls the focus of a condenser lens. 1st
In the figure, a reflecting mirror 29 is installed above the processing head 17 to reflect and bend the laser beam LB output from the laser oscillator. In addition, Rad 1 for processing
A sliding cylindrical member 31 that is non-rotatable and can freely slide up and down is mounted inside the housing, and inside this sliding cylindrical member 31 is a laser beam L bent by the two reflecting mirrors.
A condensing lens 33 for condensing B is provided. Furthermore, a nozzle 35 for irradiating the workpiece W with the laser beam LB focused by the condensing lens 33 is integrated at the tip of the sliding cylindrical member 31.

前記摺動円筒部材31の上部における外周部には雄ねじ
が形成されており、この雄ねじに雌ねじが噛合したギヤ
37が回転自在に摺動円筒部材31に支承されている。
A male thread is formed on the outer periphery of the upper part of the sliding cylindrical member 31, and a gear 37 in which a female thread meshes with the male thread is rotatably supported by the sliding cylindrical member 31.

このギヤ37には他のギヤ39が噛合されており、この
ギヤ39には駆動モータMLが連動連結されている。
Another gear 39 is meshed with this gear 37, and a drive motor ML is interlocked with this gear 39.

上記構成により、駆動モータMLを駆動させると、ギヤ
39.37を介して摺動円筒部材31が上下方向へ摺動
されるがら、摺動円筒部材31内こ備えられた集光レン
ズ33も同方向へ移動して焦点位置が調整されることに
なる。
With the above configuration, when the drive motor ML is driven, the sliding cylindrical member 31 is slid in the vertical direction via the gears 39 and 37, and the condensing lens 33 provided inside the sliding cylindrical member 31 is also moved in the same manner. The focus position is adjusted by moving in the direction.

さらに、第1図において、前記レーザ加工機1を数値制
御するNC装置19には、軸駆動部41を介して前記X
軸駆動モータMx、Y軸駆動モータMYおよびZ軸駆動
モータM2が接続されている。また、NC装置19には
、画像処理装置27の自動焦点制御部43が接続され、
この自動焦点制御部43に前記駆動モータMLを駆動す
るためのレンズ駆動部45と、前記CCDカメラ23に
撮像指令を出力する撮像処理部47が接続されている。
Furthermore, in FIG. 1, the NC device 19 for numerically controlling the laser processing machine 1 is connected to the X
A shaft drive motor Mx, a Y-axis drive motor MY, and a Z-axis drive motor M2 are connected. Further, the autofocus control section 43 of the image processing device 27 is connected to the NC device 19,
A lens driving section 45 for driving the drive motor ML and an imaging processing section 47 for outputting an imaging command to the CCD camera 23 are connected to the automatic focus control section 43 .

この撮像処理部47には画像処理部49が接続されてい
る。
An image processing section 49 is connected to this imaging processing section 47 .

上記構成により、NC装置19は、自動焦点調整用のプ
ログラムを設定することにより、軸駆動部へ軸駆動指令
S、(1はX+Y+Z)を出力すると共に、自動焦点制
御部43へ作動指令Qを出力することができる。
With the above configuration, the NC device 19 outputs the axis drive command S, (1 is X+Y+Z) to the axis drive unit by setting the automatic focus adjustment program, and also outputs the operation command Q to the automatic focus control unit 43. It can be output.

すなわち、第2図に示すワーク(試料)Wを第4図に示
したワークランプ13にクランプさせ、次いてZ軸駆動
モータMXの駆動により加工ヘッド17を降下させた後
、自動焦点調整処理に移行することができる。本例の自
動焦点調整処理は、X軸駆動モータMXおよびY軸駆動
モータMYを駆動することにより、ノズル35の先端を
X軸、Y軸方向へ移動させてワーク(試料)Wに集光レ
ンズ33で集光されたレーザビームLBにより順次、丸
穴w、、w2 、w3 、・・・を実際に加工して実施
するものである。
That is, the workpiece (sample) W shown in FIG. 2 is clamped to the workpiece lamp 13 shown in FIG. 4, and after lowering the processing head 17 by driving the Z-axis drive motor MX, the automatic focus adjustment process can be migrated. In the automatic focus adjustment process of this example, the tip of the nozzle 35 is moved in the X-axis and Y-axis directions by driving the X-axis drive motor MX and Y-axis drive motor MY, and the focusing lens is placed on the workpiece (sample) W. The laser beam LB focused at 33 is used to actually process the circular holes w, w2, w3, . . . in sequence.

次に、ワークWに切断加工する際、集光レンズ33の焦
点合せから実際に正規な切断加工を開始するまでの動作
を、第3図に示したフローチャートに基づき説明する。
Next, when cutting the workpiece W, the operations from focusing the condensing lens 33 to actually starting the regular cutting will be explained based on the flowchart shown in FIG. 3.

第3図において、ステップS1では、ワーク(試料)W
をワーククランプ13にクランプし、ステップS2で自
動焦点調整用プログラムをNC装置19に設定し、まず
ステップS3でワーク(試料)Wに丸穴加工を行なう指
令を出力する。
In FIG. 3, in step S1, a workpiece (sample) W
is clamped to the workpiece clamp 13, an automatic focus adjustment program is set in the NC device 19 in step S2, and a command to machine a round hole in the workpiece (sample) W is output in step S3.

ここでは、NC装置19から自動焦点制御部43へ制御
指令Qが出力され、レンズ駆動部45へ集光レンズ33
を予め設定した初期の位置へ移動するようレンズ駆動指
令H,(i−1,2,3,・・・)が出力される。
Here, a control command Q is output from the NC device 19 to the automatic focus control section 43, and a control command Q is outputted from the NC device 19 to the automatic focus control section 43.
Lens drive commands H, (i-1, 2, 3, . . . ) are output to move the lens to a preset initial position.

そこで、ステップS3では第2図に示す丸穴W、(i−
1,2,3,・・・、現在は1−1)を実際加工する。
Therefore, in step S3, the round hole W shown in FIG.
1, 2, 3, ..., currently 1-1) are actually processed.

ステップS4では、CCDカメラ23を前記丸穴W1上
へ移動させた後、自動焦点制御部43から撮像処理部4
7へ撮像指令Gを出力し、さらに撮像処理部47から撮
像指令PlをCCDカメラ23へ出力し、CCDカメラ
23で丸穴W1を撮像し、この撮像信号A、に基づいて
画像処理49で丸穴W、の面積D+  (D−t )を
測定する。
In step S4, after moving the CCD camera 23 above the round hole W1, the automatic focus control section 43
Further, the imaging processing unit 47 outputs the imaging command Pl to the CCD camera 23, the CCD camera 23 images the round hole W1, and based on this imaging signal A, the image processing unit 49 Measure the area D+ (D-t) of the hole W.

次いで、ステップS5では、駆動モータMLの駆動によ
り、集光レンズ33を一定単位量分だけ下降させ、上記
と同様の手順によりステップS6で次の丸穴W、(i−
2)を加工し、ステップS7で面積り、(D、)を測定
する。
Next, in step S5, the condensing lens 33 is lowered by a certain unit amount by driving the drive motor ML, and the next round hole W, (i-
2) is processed, and in step S7, the area is measured and (D,) is measured.

ステップS8では、丸穴D1の面積がり、−、>D、、
かどうかの判断を行ない、D、1>−D、であれば、ス
テップS5の手前に戻り、D、−、<D。
In step S8, the area of the round hole D1 is increased, -,>D, .
If D,1>-D, the process returns to step S5 and D,-,<D.

であればステップS9に進む。ステップS9では、駆動
モータMLを駆動して集光レンズ33を2単位だけ上昇
させる。ステップS10でワークWをY軸方向へ移動さ
せて丸穴W+加工を行ない、ステップSllで面積DI
 (D−++ )を測定する。
If so, proceed to step S9. In step S9, the drive motor ML is driven to raise the condenser lens 33 by two units. In step S10, the workpiece W is moved in the Y-axis direction to perform round hole W+ machining, and in step Sll, the area DI is
(D-++) is measured.

ステップS12では、丸穴D1の面積がD all> 
D a−1であるかどうかの判断を行ない、D、+1>
 D a −1であればステップS9の手前に戻り、D
a+l<Da−1であればステップ813に進む。ステ
ップS13では駆動モータMLを駆動して集光レンズ3
3を1単位だけ下降させ、ステップS14でワークWを
Y軸方向へ移動させて丸穴W1の加工を行なう。ステッ
プS15では上記と同じ方法で丸穴W、の面積り、+2
を測定する。
In step S12, the area of the round hole D1 is D all>
Determine whether D a-1, D, +1>
If D a -1, return to step S9 and D
If a+l<Da-1, the process advances to step 813. In step S13, the drive motor ML is driven to remove the condenser lens 3.
3 is lowered by one unit, and in step S14, the workpiece W is moved in the Y-axis direction to machine the round hole W1. In step S15, the area of the round hole W is +2 using the same method as above.
Measure.

ステップS16で、丸穴W1の面積がDfi+□〉D 
ellであるかどうかの判断を行ない、D、。2〉Df
l+1であればステップS17に進み、D、+1の面積
における位置に集光レンズ33を位置決めし、ステップ
S18で駆動モータMLを駆動し、集光レンズ33をo
、x”’例えば0.5ffi″下降し、この位置を集光
レンズ33の最適焦点位置として、ステップS19でN
C装置19に正規のワークWに切断加工を行なう加ニブ
ログラムを設定して、正規のワークWに切断加工を開始
して終了する。
In step S16, the area of the round hole W1 is Dfi+□〉D
D, determines whether it is ell or not. 2〉Df
If l+1, the process proceeds to step S17, in which the condenser lens 33 is positioned at a position in the area of D,+1, and in step S18, the drive motor ML is driven to turn the condenser lens 33 into o.
, x"', for example, by 0.5ffi", and this position is set as the optimal focal position of the condensing lens 33, and N is set in step S19.
A cutting program for cutting the regular workpiece W is set in the C device 19, and the cutting process on the regular workpiece W is started and completed.

ステップS16でD a+2 < D fillであれ
ば、ステップS20に進んで、ここではり、+2の面積
における位置に集光レンズ33を位置決めして、ステッ
プS18.S19の処理を行なって終了する。
If Da+2 < D fill in step S16, the process proceeds to step S20, where the condenser lens 33 is positioned at a position with an area of +2, and step S18. The processing of S19 is performed and the process ends.

このように、本例ではワーク(試料)Wに集光レンズ3
3を自動的に上下させながら丸穴Wlの加工を行なって
、容易、迅速、正確に自動で焦点レンズ33の焦点合せ
を行なってから、正規のワークWに切断加工が開始され
るので、切断開始までの操作が容易でかつ短時間で行な
うことができる。
In this way, in this example, the condenser lens 3 is attached to the workpiece (sample) W.
3 is automatically moved up and down, and the focusing lens 33 is automatically focused easily, quickly, and accurately. Then, the cutting process on the regular workpiece W is started. The operation up to the start is easy and can be done in a short time.

なお、この発明は、前述した実施例に限定されることな
く、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実
施し得るものである。例えば、本実施例では丸穴W1の
測定を面積で行なったが、直径であっても適用可能であ
る。
Note that this invention is not limited to the embodiments described above, and can be implemented in other forms by making appropriate changes. For example, in this embodiment, the round hole W1 was measured in terms of area, but it is also applicable to measure the diameter.

[発明の効果] 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、正規のワークに切断加工を行なう前に、
集光レンズを自動的に上下させながらワークに丸穴の加
工を行なって集光レンズの焦点合せを容易、迅速、正確
で自動で行なうことにより、正規のワークに切断加工を
行なうまでの操作が容易でかつ短時間で行なうことがで
きる。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above description of the embodiments, according to the present invention, before cutting a regular workpiece,
By drilling a round hole in the workpiece while automatically moving the condensing lens up and down, and automatically focusing the condensing lens easily, quickly, and accurately, the operation up to cutting the regular workpiece is simplified. It can be done easily and in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明に係る主要部を示し、焦点自動調整装
置の制御ブロック図、第2図は集光レンズの焦点を自動
的に行なう際にワークの丸穴加工を行なうワーク加工の
平面説明図、第3図はこの発明のレーザ加工方法の動作
を説明するフローチャート、第4図はこの発明を実施す
る一実施例のレーザ加工機の斜視図である。 1・・・レーザ加工機  13・・・ワーククランプ1
7・・・加工ヘッド  19・・・NC装置21・・・
焦点自動調整装置 23・・・CCDカメラ 27・・・画像処理装置33
・・・集光レンズ  W・・・ワークw、、w2 、w
3・・・丸穴
Fig. 1 shows the main parts of the invention, and is a control block diagram of the automatic focus adjustment device, and Fig. 2 is a plan view of machining a round hole in the workpiece when automatically focusing the condenser lens. 3 are flowcharts for explaining the operation of the laser processing method of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of a laser processing machine according to an embodiment of the present invention. 1... Laser processing machine 13... Work clamp 1
7... Processing head 19... NC device 21...
Automatic focus adjustment device 23... CCD camera 27... Image processing device 33
...Condensing lens W...Work w,, w2, w
3...Round hole

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] レーザ加工機に設けられた集光レンズで集光されたレー
ザビームをワークに照射して切断加工を行なう際、予め
前記集光レンズを上下方向へ移動させながらワークに丸
穴加工を数回行ない、その都度レーザ加工機に備えられ
た焦点自動調整装置で前記丸穴の面積又は径を測定し、
測定された丸穴の面積又は径のうち一番小さい面積又は
径における集光レンズの位置から下方向へ0.X^m^
m動かした位置を集光レンズの最適焦点位置とし、正規
なワークに切断加工を開始することを特徴とするレーザ
加工方法。
When cutting a workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam focused by a condenser lens installed in a laser processing machine, the workpiece is first drilled with a round hole several times while moving the condenser lens up and down. , each time measuring the area or diameter of the round hole with an automatic focus adjustment device installed in the laser processing machine,
0.0 mm downward from the position of the condenser lens at the smallest area or diameter of the measured round hole. X^m^
A laser processing method characterized in that the position moved by m is set as the optimum focal position of a condensing lens, and cutting is started on a regular workpiece.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO1994020256A1 (en) * 1993-03-08 1994-09-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam machine and focusing method therefor
US20080180657A1 (en) * 2005-06-23 2008-07-31 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Determining a Focal Position of a Laser

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994020256A1 (en) * 1993-03-08 1994-09-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam machine and focusing method therefor
US5624587A (en) * 1993-03-08 1997-04-29 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser machining apparatus and method of setting focus thereof
US20080180657A1 (en) * 2005-06-23 2008-07-31 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Determining a Focal Position of a Laser
US8304691B2 (en) * 2005-06-23 2012-11-06 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Determining a focal position of a laser

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