JPH071294A - Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool - Google Patents

Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool

Info

Publication number
JPH071294A
JPH071294A JP14367293A JP14367293A JPH071294A JP H071294 A JPH071294 A JP H071294A JP 14367293 A JP14367293 A JP 14367293A JP 14367293 A JP14367293 A JP 14367293A JP H071294 A JPH071294 A JP H071294A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
workpiece
light receiving
numerically controlled
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14367293A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Gakuo Ogawa
岳夫 小川
Shingo Suminoe
伸吾 住江
Yasuhiro Wasa
泰宏 和佐
Akashi Yamaguchi
証 山口
Yuji Kusakabe
祐次 日下部
Kenji Kawamoto
憲二 河本
Yoshiyuki Kawabuchi
義行 川淵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP14367293A priority Critical patent/JPH071294A/en
Publication of JPH071294A publication Critical patent/JPH071294A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

PURPOSE:To perform precise measurement of the shape of even a work formed in a complicated shape by a method wherein a light receiving part forms a telecentric optical system and is fixed to the tool hold rest of a numerically controlled machining tool. CONSTITUTION:A projecting part unit 1 is pulled out from a moving-aside position where the projecting part unit makes contact with a light receiving part unit 2 and positioned in a measurement position. By outputting a measuring unit positioning command signal from a control device for measuring a shape to a numerically control device, a motor is driven. Based on a work W fixed to a work fixing stand 52, a light receiving part unit 2 and a projecting part unit 1 following the light receiving part unit are positioned in a manner to match with the measurement portion thereof. In the positioning, since the light receiving part unit 2 is fixed to a tool hold rest 56, a movement operation function which the tool hold rest 56 has is utilized to a maximum. Even when the work W has a complicated shape, such as a screw and a hob, positioning is effected according to the measurement portion.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、加工された被加工物
を数値制御工作機械に取付けたままの状態でその被加工
物の形状を光学式に測定するようにした、数値制御工作
機械における光学式被加工物形状測定装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a numerically controlled machine tool which optically measures the shape of the machined workpiece while it is still attached to the numerically controlled machine tool. The present invention relates to an optical workpiece shape measuring device.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、数値化した情報によって
機械動作を指令して被加工物を自動加工するようにした
数値制御工作機械(NC工作機械)が広く使用されてい
る。数値制御工作機械により被加工物の加工を行う場
合、工具の摩耗、あるいは工具と被加工物の接触に伴う
変形などが原因となって、被加工物が所望の形状どおり
に加工されない場合がある。そのため、例えば、テーパ
形エンドミルやホブのような複雑な形状の工具を研削加
工して製作する際には、一般に、数値制御工作機械(こ
の場合にはNC工具研削盤が使用される)から被加工物
を取外し、万能投影機、あるいは、接触式形状測定器の
ような測定器を用いて加工後の被加工物形状を測定する
方法がとられている。そして、研削量等の加工量不足を
生じている場合、再加工するという作業が行われてい
る。
2. Description of the Related Art As is well known, a numerically controlled machine tool (NC machine tool) is widely used in which a machine operation is commanded by digitized information to automatically machine a workpiece. When machining a work piece with a numerically controlled machine tool, the work piece may not be machined to the desired shape due to wear of the tool or deformation caused by contact between the tool and the work piece. . Therefore, for example, when manufacturing a tool having a complicated shape such as a tapered end mill or a hob by grinding, generally, a numerical control machine tool (in this case, an NC tool grinder is used) is used. A method of removing a work piece and measuring the shape of the work piece after processing using a universal projector or a measuring device such as a contact type shape measuring device is used. Then, when the processing amount such as the grinding amount is insufficient, rework is performed.

【0003】ところで、被加工物を数値制御工作機械か
ら取外して測定する上記方法では、測定後に再び被加工
物を数値制御工作機械に取付ける際に取付け誤差が発生
し易く、また、取付けに手間がかかって作業能率が悪
い。
By the way, in the above method in which the workpiece is detached from the numerically controlled machine tool and measured, a mounting error is likely to occur when the workpiece is mounted on the numerically controlled machine tool again after the measurement, and the mounting is troublesome. It takes work efficiency.

【0004】そこで従来、加工後の被加工物を数値制御
工作機械に取付けたままの状態でその被加工物の形状を
光学式に測定する試みがなされており、例えば、そのた
めの装置として被加工物の外径寸法を測る非接触オンラ
イン計測装置が、特開平1−289606号公報に開示
されている。図7は数値制御旋盤に備えられた従来の非
接触オンライン計測装置の構成を示す図である。
Therefore, conventionally, it has been attempted to optically measure the shape of the processed workpiece while it is still attached to the numerically controlled machine tool. For example, as a device therefor, the workpiece is machined. A non-contact online measuring device for measuring the outer diameter of an object is disclosed in JP-A-1-289606. FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a conventional non-contact online measuring device provided in a numerically controlled lathe.

【0005】図7において、100は数値制御旋盤本体
であり、ベット102上には主軸台101が支持されて
おり、主軸台101には、主軸103が回転可能に支承
されている。104は主軸103の先端に装着されて被
加工物Wを把持するためのチャックである。105は工
具台であり、工具台105は、主軸軸線方向に進退動可
能な縦工具送り台106と、主軸軸線方向と直交する方
向に進退動可能な横工具送り台107とにより構成され
ており、ボールネジ108とサーボモータ109の駆動
により送りがなされるようになっている。110は横工
具送り台107に回動可能に支承されて、複数のバイト
(工具)112や、後述する連結棒235を保持するタ
レットである。140はNC装置であって、入力される
指令情報に従って上記工具台105などを移動させるた
めに、上記サーボモータ109などに駆動用信号を与え
るものである。
In FIG. 7, reference numeral 100 denotes a numerically controlled lathe body, a headstock 101 is supported on a bed 102, and a headstock 103 is rotatably supported on the headstock 101. A chuck 104 is attached to the tip of the main shaft 103 to hold the workpiece W. Reference numeral 105 denotes a tool base, and the tool base 105 includes a vertical tool feed base 106 that can move back and forth in the spindle axis direction, and a horizontal tool feed base 107 that can move forward and backward in a direction orthogonal to the spindle axis direction. The ball screw 108 and the servomotor 109 are driven to feed the sheet. A turret 110 is rotatably supported by the horizontal tool feed base 107 and holds a plurality of cutting tools (tools) 112 and a connecting rod 235 described later. Reference numeral 140 denotes an NC device, which gives a drive signal to the servo motor 109 or the like in order to move the tool base 105 or the like according to the input command information.

【0006】非接触オンライン計測装置200は、加工
領域上に位置する主軸軸線に対して横方向より進入・退
避が可能なように装備されている。図に示すように、2
本の支柱216a,216bによって両端を支持されて
主軸軸線方向に延びる第1軌道217が設けられ、この
第1軌道217上にこれに沿って進退動可能な第1スラ
イダ218が設けられている。第1スライダ218に
は、主軸軸線に対して横方向に延びる第2軌道219が
設けられている。この第2軌道219の先端部に固定さ
れた流体シリンダ221のピストンロッド先端に、第2
軌道219に沿って図における上下方向に移動可能な第
2スライダ222が固定されている。そして、この第2
スライダ222に、後述する光学式外径計測器223が
取付けられている。また、旋盤本体カバー115の上部
には、光学式外径計測器223が被加工物Wに対して接
近・離間可能なように開口が設けられるとともに、液体
シリンダ233の作動によって前記開口を塞いだり解放
したりするための開閉カバー234が設けられている。
238は外径検出用制御装置であって、光学式外径計測
器223を退避位置から旋盤本体カバー115内の所定
位置に移動させたり、被加工物Wの外径測定値に基づく
バイト位置補正用データをNC装置140に与えたりす
るためのものである。
The non-contact online measuring device 200 is equipped so that it can be moved in and out laterally with respect to the spindle axis located in the machining area. As shown in the figure, 2
A first track 217 whose both ends are supported by the columns 216a and 216b and which extends in the main axis direction is provided, and a first slider 218 which is movable back and forth along the first track 217 is provided on the first track 217. The first slider 218 is provided with a second track 219 extending laterally with respect to the main axis. The second end of the piston rod of the fluid cylinder 221 fixed to the tip of the second track 219
A second slider 222 that is movable in the vertical direction in the figure along a track 219 is fixed. And this second
An optical outer diameter measuring instrument 223, which will be described later, is attached to the slider 222. Further, an opening is provided in the upper part of the lathe body cover 115 so that the optical outer diameter measuring instrument 223 can approach and separate from the workpiece W, and the opening is closed by the operation of the liquid cylinder 233. An opening / closing cover 234 for releasing or the like is provided.
Reference numeral 238 denotes an outer diameter detection control device, which moves the optical outer diameter measuring instrument 223 from a retracted position to a predetermined position in the lathe body cover 115, and corrects a bite position based on an outer diameter measurement value of the workpiece W. It is for giving the working data to the NC device 140.

【0007】図8は図7に示す光学式外径計測器の外観
図、図9は図7に示す光学式外径計測器の構成説明図で
ある。上記光学式外径計測器223は、投光部と受光部
とを有するレーザ光走査型のものであり、図9に示すよ
うに、半導体レーザ224からのレーザ光をポリゴンミ
ラー225及び反射ミラー226によって偏向走査し、
さらにコリメータレンズ227によって平行走査光とし
た後、その平行走査光を、被加工物Wの影の部分を検出
するために、集光レンズ(受光レンズ)228で集光し
て光検出器(受光素子)229で電気信号に変換するよ
うにしたものである。半導体レーザ224、ポリゴンミ
ラー225、反射ミラー226、およびコリメータレン
ズ227は投光部を構成し、集光レンズ228および光
検出器229は受光部を構成している。コリメータレン
ズ227と集光レンズ228の間に被加工物Wが位置さ
れて平行走査光が被加工物Wを走査している間は、光が
被加工物Wによって遮断されて光検出器229に達しな
い。この光が検出されない遮断時間と走査速度の積を図
示しない演算器で演算して、被加工物Wの外径寸法を測
定するようにしている。
FIG. 8 is an external view of the optical outer diameter measuring device shown in FIG. 7, and FIG. 9 is a configuration explanatory view of the optical outer diameter measuring device shown in FIG. The optical outer diameter measuring instrument 223 is of a laser light scanning type having a light projecting portion and a light receiving portion, and as shown in FIG. 9, the laser light from the semiconductor laser 224 is converted into a polygon mirror 225 and a reflecting mirror 226. Deflection scan by,
Further, after being converted into parallel scanning light by the collimator lens 227, the parallel scanning light is condensed by a condensing lens (light receiving lens) 228 in order to detect a shadow portion of the workpiece W, and a photodetector (light receiving The element) 229 is adapted to be converted into an electric signal. The semiconductor laser 224, the polygon mirror 225, the reflection mirror 226, and the collimator lens 227 form a light projecting unit, and the condenser lens 228 and the photodetector 229 form a light receiving unit. While the workpiece W is positioned between the collimator lens 227 and the condenser lens 228 and the parallel scanning light is scanning the workpiece W, the light is blocked by the workpiece W and is transmitted to the photodetector 229. Not reach The product of the interruption time and the scanning speed at which this light is not detected is calculated by a calculator (not shown) to measure the outer diameter dimension of the workpiece W.

【0008】上記非接触オンライン計測装置200の動
作を説明する。試し削り又は仕上げ加工終了後、工具台
105を所定位置に後退させておく。液体シリンダ23
3を作動させて開閉カバー234を移動し、次いで流体
シリンダ221を作動させて、第2スライダ222と共
に光学式外径計測器223を、退避位置から旋盤本体カ
バー115内の所定位置に移動させる。そして、工具台
105を主軸台101の方向に移動させて、光学式外径
計測器223(非接触オンライン計測装置200の本体
部分)と工具台105とを連結棒235を介して連結
し、しかる後、工具台105を前進させて、光学式外径
計測器223を測定対象である被加工物Wの位置まで移
動させて位置決めし、被加工物Wの外径寸法測定を行う
ようになされている。
The operation of the non-contact online measuring device 200 will be described. After the trial cutting or finishing is completed, the tool base 105 is retracted to a predetermined position. Liquid cylinder 23
3 is operated to move the opening / closing cover 234, and then the fluid cylinder 221 is operated to move the optical outer diameter measuring instrument 223 together with the second slider 222 from the retracted position to a predetermined position in the lathe body cover 115. Then, the tool base 105 is moved in the direction of the headstock 101 to connect the optical outer diameter measuring instrument 223 (the main body part of the non-contact online measuring device 200) and the tool base 105 via the connecting rod 235. After that, the tool base 105 is moved forward, the optical outer diameter measuring instrument 223 is moved to the position of the workpiece W to be measured and positioned, and the outer diameter dimension of the workpiece W is measured. There is.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来装置で
は、光学式外径計測器として、ポリゴンミラー回転用モ
ータのような機械的駆動部を持つレーザ光走査型のもの
を用いたことから、数値制御工作機械による加工時の機
械的振動に起因して上記機械的駆動部にガタが生じて測
定精度低下の恐れがあるため、上述した複雑な退避機構
を設けて加工時には光学式外径計測器を退避させてお
き、測定時に光学式外径計測器を工具取付け台(刃物
台)に連結し、その工具取付け台を前進させることで被
加工物に対して光学式外径計測器を位置決めするように
したものであるから、上記退避機構に制約されて工具取
付け台が持つ移動動作機能を最大限利用できず、測定時
における被加工物と光学式外径計測器との位置関係が制
限されて、測定対象被加工物の種類や測定対象部位が限
られるという問題点があった。
However, in the above-mentioned conventional apparatus, since the optical outer diameter measuring instrument used is a laser beam scanning type instrument having a mechanical drive unit such as a polygon mirror rotation motor, a numerical value is obtained. Since there is a risk that the mechanical drive part will rattle due to mechanical vibration during machining with a controlled machine tool and measurement accuracy will decline, the above-mentioned complicated retracting mechanism is provided and an optical outer diameter measuring instrument is used during machining. Is retracted, the optical outer diameter measuring instrument is connected to the tool mount (tool post) at the time of measurement, and the optical outer diameter measuring instrument is positioned with respect to the workpiece by advancing the tool mount. Therefore, it is not possible to use the movement operation function of the tool mount to the maximum due to the above retracting mechanism, and the positional relationship between the workpiece and the optical outer diameter measuring instrument during measurement is limited. Measurement target Type and measured the site of engineering products there has been a problem that is limited.

【0010】この発明は、上記問題点を解消するために
なされたものであって、投光部と受光部とを有し、数値
制御工作機械に取付けられた被加工物が投光部と受光部
との間に位置されることで投光部からの光が遮られるこ
とによる影の部分に基づいて被加工物の形状を測定する
ようにした数値制御工作機械における光学式被加工物形
状測定装置において、ネジやホブ等の複雑な形状を持つ
被加工物の形状測定にも適用でき、かつその被加工物形
状測定を精度良く行うことができる、数値制御工作機械
における光学式被加工物形状測定装置の提供を目的とす
る。
The present invention has been made to solve the above problems, and has a light projecting portion and a light receiving portion, and a workpiece mounted on a numerically controlled machine tool has a light projecting portion and a light receiving portion. The optical workpiece shape measurement in a numerically controlled machine tool that measures the shape of the workpiece based on the shaded area due to the fact that the light from the light projecting part is blocked by being located between This is an optical work piece shape in a numerically controlled machine tool that can be applied to the shape measurement of a work piece having a complicated shape such as a screw or a hob in a device, and can accurately measure the work piece shape. The purpose is to provide a measuring device.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明による数値制御工作機械における光学式
被加工物形状測定装置は、光を照射する投光部と、この
投光部から照射されて数値制御工作機械に取付けられた
被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気信号とする
受光部とを有し、前記投光部と前記受光部との間に位置
された前記被加工物により前記投光部からの光が遮られ
ることによる影の部分に基づいて前記被加工物の形状を
測定するようにした数値制御工作機械における光学式被
加工物形状測定装置において、前記受光部を、集光素子
と、光入射側からみて前記集光素子の後側焦点に微小孔
を位置させて配置したピンホール板と、このピンホール
板の後側に配置したイメージセンサとにより構成して、
数値制御工作機械の工具取付け台に固設したことを特徴
とするものである。
In order to achieve the above object, an optical workpiece shape measuring apparatus in a numerically controlled machine tool according to the present invention is provided with a light projecting section for irradiating light and a light projecting section for projecting light. And a light receiving section for detecting an intensity of light after passing through a work piece which is irradiated and attached to the numerically controlled machine tool, and which serves as an electric signal, and is located between the light projecting section and the light receiving section. In an optical workpiece shape measuring device in a numerically controlled machine tool, wherein the shape of the workpiece is measured based on the shaded portion due to the light from the light projecting part being blocked by the workpiece. , The light-receiving unit, a light-collecting element, a pinhole plate in which a minute hole is located at a rear focal point of the light-collecting element when viewed from the light incident side, and an image sensor arranged behind the pinhole plate. Composed by and
It is characterized by being fixedly mounted on the tool mount of a numerically controlled machine tool.

【0012】[0012]

【作用】この発明による光学式被加工物形状測定装置に
おいては、投光部から照射されて数値制御工作機械に取
付けられた被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気
信号とする受光部が、集光素子と、光入射側からみて上
記集光素子の後側焦点に微小孔を位置させて配置したピ
ンホール板と、このピンホール板の後側に配置したイメ
ージセンサとによりテレセントリック光学系として構成
されているので、受光部光軸に平行をなして集光素子に
入射した光のみがピンホール板の微小孔を通過して取り
出される。これによりイメージセンサで検出される光
は、上記投光部で平行光を作り出さなくても、平行光が
投射されたのと等価なものになり、イメージセンサ上に
おける影の部分に基づいて上記被加工物の形状測定を行
うことができる。このように受光部がテレセントリック
光学系に構成されているので、投光部は、その発光領域
が受光部集光素子の口径以上であって光量分布に極端な
むらがなく、測定に際して被加工物を間にして受光部正
面に位置されておればよく、投光部が測定時の位置決め
用移動動作によって多少振動していても測定精度が低下
するようなことがない。したがって、投光部から照射さ
れて被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気信号と
する受光部を、テレセントリック光学系に構成して数値
制御工作機械の工具取付け台に固設することで、外部か
らの振動に強い高精度測定が実現されることになる。そ
して上記受光部を数値制御工作機械の工具取付け台に固
設したので、測定に際して工具取付け台が持つ移動動作
機能を最大限利用でき、これにより被加工物がネジやホ
ブ等の複雑な形状を持つものであっても、その測定部位
に応じて上記受光部を位置決めできる。
In the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention, the light and dark of the light emitted from the light projecting portion and passing through the workpiece mounted on the numerically controlled machine tool is sensed and converted into an electric signal. The light receiving section is composed of a condensing element, a pinhole plate in which a minute hole is located at a rear focal point of the condensing element when viewed from the light incident side, and an image sensor arranged in the rear side of the pinhole plate. Since it is configured as a telecentric optical system, only the light that is parallel to the optical axis of the light receiving portion and is incident on the condensing element is extracted through the minute holes of the pinhole plate. As a result, the light detected by the image sensor becomes equivalent to the projection of the parallel light even if the parallel light is not produced by the light projecting unit, and the light is detected based on the shadow portion on the image sensor. The shape of a work piece can be measured. Since the light-receiving unit is configured in the telecentric optical system in this way, the light-emitting region of the light-emitting unit is equal to or larger than the aperture of the light-receiving unit condensing element, and there is no extreme unevenness in the light amount distribution. It suffices to be positioned in front of the light receiving unit with the interval between them, and the measurement accuracy does not deteriorate even if the light projecting unit vibrates to some extent due to the positioning movement operation during measurement. Therefore, the light-receiving unit that senses the light and darkness of the light emitted from the light-projecting unit and passes through the workpiece to generate an electric signal is fixed to the tool mount of the numerically controlled machine tool by configuring the telecentric optical system. As a result, highly accurate measurement that is strong against external vibration can be realized. Since the light receiving part is fixedly mounted on the tool mount of the numerically controlled machine tool, the moving function of the tool mount can be used to the maximum during measurement, which allows the workpiece to have complicated shapes such as screws and hobs. Even if it is held, the light receiving unit can be positioned according to the measurement site.

【0013】[0013]

【実施例】以下この発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1はこの発明の光学式被加工物形状測定装置を
装備した4軸数値制御研削盤の平面図、図2は図1の4
軸数値制御研削盤のA矢視側面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a four-axis numerically controlled grinding machine equipped with the optical workpiece shape measuring apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of FIG.
It is a side view of the axial numerical control grinder seen from the arrow A.

【0014】図1及び図2において、50は4軸数値制
御研削盤本体であり、この本体50の図示しないベッド
上には左右移動テーブル51が図1の左右方向(X軸方
向)に摺動可能に設けられている。この左右移動テーブ
ル51上に被加工物固定台52が固定されており、被加
工物Wはアーバ53を介して被加工物固定台52に取付
けられるようになっている。また、上記図示しないベッ
ド上には前後移動テーブル54が図1の上下方向(Y軸
方向)に摺動可能に設けられている。
In FIG. 1 and FIG. 2, 50 is a four-axis numerical control grinder main body, and a left and right moving table 51 slides on the bed (not shown) of the main body 50 in the left-right direction (X-axis direction) in FIG. It is possible. A workpiece fixing base 52 is fixed on the left and right moving table 51, and the workpiece W is attached to the workpiece fixing base 52 via an arbor 53. A front-rear moving table 54 is provided on the bed (not shown) so as to be slidable in the vertical direction (Y-axis direction) in FIG.

【0015】上記前後移動テーブル54上には上下移動
台55が図2の上下方向(Z軸方向)に上下動可能に設
けられており、さらにこの上下移動台55上には、工具
取付け台56を支持してZ軸回りに旋回可能な旋回台5
7が設けられている。工具取付け台56には支持部材を
介して工具としての回転砥石Tが取付けられている。上
記左右移動テーブル51はモータMXによってX軸方向
に移動され、前後移動テーブル54はモータMYによっ
てY軸方向に移動され、上下移動台55はモータMZに
よってZ軸方向に移動されるようになっており、また、
旋回台57はモータMCによってZ軸回りに回転される
ようになっている。これらのモータMX,MY,MZ,
MCは、図4に示すように、それぞれドライブユニット
DUX,DUY,DUZ,DUCを介して数値制御装置
58に接続され、被加工物Wを加工する際には、被加工
物Wと回転砥石Tとの接触面が目的の方向となるように
予め与えられた加工データに従って数値制御装置58か
ら出力される駆動用信号により回転駆動され、これによ
り回転砥石Tと被加工物Wとの相対位置が制御されるよ
うになっている。
An up-and-down moving table 55 is provided on the forward-backward moving table 54 so as to be vertically movable in the up-down direction (Z axis direction) of FIG. A swivel base 5 that can support and swivel around the Z-axis
7 is provided. A rotary grindstone T as a tool is attached to the tool mount 56 via a support member. The left-right moving table 51 is moved in the X-axis direction by the motor MX, the front-back moving table 54 is moved in the Y-axis direction by the motor MY, and the vertical moving table 55 is moved in the Z-axis direction by the motor MZ. And again
The swivel base 57 is rotated by the motor MC about the Z axis. These motors MX, MY, MZ,
As shown in FIG. 4, the MC is connected to the numerical control device 58 via drive units DUX, DUY, DUZ, DUC, respectively, and when the workpiece W is machined, the workpiece W and the rotary grindstone T are connected to each other. Is driven to rotate by a drive signal output from the numerical control device 58 in accordance with the machining data given in advance so that the contact surface of the rotary grindstone T and the workpiece W are controlled. It is supposed to be done.

【0016】1は被加工物形状測定に際して光を照射す
る後述する投光部を収納した投光部ユニット、2は投光
部ユニット1から照射されて被加工物通過後の光の明暗
を感知して電気信号とする後述する受光部を収納した受
光部ユニットである。この受光部ユニット2が上記工具
取付け台56に固定される一方、工具取付け台56に固
定されたこの受光部ユニット2の側面に、退避用アーム
3が図示しないモータMLによってY軸方向に進退可能
に支持されており、この退避用アーム3先端部に上記投
光部ユニット1が受光部ユニット2正面に位置される状
態で固定されている。なお加工時には、退避用アーム3
を後退させて投光部ユニット1を受光部ユニット2に接
するように引き込むことで加工の邪魔にならないように
投光部ユニット1の退避が行われるようになっている。
Reference numeral 1 denotes a light projecting unit which accommodates a light projecting unit, which will be described later, for irradiating light when measuring the shape of the workpiece, and 2 denotes the light and darkness of the light emitted from the light projecting unit 1 and passing through the workpiece. The light receiving unit is a light receiving unit that houses a light receiving unit to be described later that serves as an electrical signal. While the light receiving unit 2 is fixed to the tool mounting base 56, the retracting arm 3 can be moved back and forth in the Y-axis direction by a motor ML (not shown) on the side surface of the light receiving unit 2 fixed to the tool mounting 56. The light projecting unit 1 is fixed to the tip of the retracting arm 3 while being positioned in front of the light receiving unit 2. During processing, the retractable arm 3
Is retracted and the light projecting unit 1 is pulled in contact with the light receiving unit 2, so that the light projecting unit 1 is retracted so as not to disturb the processing.

【0017】図3はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の投光部及び受光部の一構成例を説明するため
の図である。同図に示すように、上記投光部ユニット1
に収納された投光部は、ランプ(例えばハロゲンラン
プ)1aとその前側に配置された拡散板1bとにより構
成されており、面的な広がりを持ち光量が一様な光源と
なされている。そして上記受光部ユニット2に収納され
た受光部は、集光素子としての集光レンズ2aと、光入
射側からみて集光レンズ2aの後側の焦点に微小孔を位
置させて配置したピンホール板2bと、このピンホール
板2bの後側に配置したイメージセンサとしての1次元
のCCDラインセンサ2cとにより構成されている。な
お、受光部ユニット2に収納される上記受光部は、その
全体をコンパクトに一体化することが容易であって外部
からの振動に対しても強いものとなされる。
FIG. 3 is a diagram for explaining an example of the configuration of the light projecting section and the light receiving section of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention. As shown in FIG.
The light projecting unit housed in is composed of a lamp (for example, a halogen lamp) 1a and a diffusion plate 1b arranged in front of the lamp 1a, and serves as a light source having a planar spread and a uniform light amount. The light receiving section housed in the light receiving section unit 2 has a condenser lens 2a as a condenser element and a pinhole in which a microscopic hole is arranged at a focal point on the rear side of the condenser lens 2a when viewed from the light incident side. It is composed of a plate 2b and a one-dimensional CCD line sensor 2c as an image sensor arranged on the rear side of the pinhole plate 2b. The light receiving unit housed in the light receiving unit 2 can be easily integrated into a compact body and is resistant to external vibration.

【0018】このようにして受光部の光学系をテレセン
トリック光学系に構成してあるので、受光部光軸に平行
をなして集光レンズ2aに入射した光のみがピンホール
板2bの微小孔を通過してCCDラインセンサ2cにて
検出される。したがって、投光部ユニット1と受光部ユ
ニット2との間に測定すべき被加工物Wが位置された場
合、その被加工物Wにより形成される影のうち受光部光
軸に平行な成分だけによる影像がCCDラインセンサ2
cによって捉えられることになる。ここで図3に示すよ
うに、被加工物Wの外径をD、CCDラインセンサ2c
上の影の長さをd、集光レンズ2aの焦点距離をf、ピ
ンホール板2bとCCDラインセンサ2c間の距離をL
とすると、これらの間には、D=(d×L)/fの関係
式が成立する。そこで図3に示す外径測定の例では、C
CDラインセンサ2c上の影長さをCCDラインセンサ
2cからの出力信号に基づき検出し、上記関係式に従っ
て演算器4にて演算を行うことにより、被加工物Wの外
径Dが求められる。なお、現在入手可能な1画素サイズ
が7μmであって5000〜10000画素程度の1次
元のCCDラインセンサを用いた場合、CCDラインセ
ンサからの出力信号に補完演算等の信号処理を施すこと
で、測定分解能1μmを得ることができる。
In this way, the optical system of the light receiving portion is constructed as a telecentric optical system, so that only the light which is parallel to the optical axis of the light receiving portion and is incident on the condenser lens 2a passes through the minute holes of the pinhole plate 2b. After passing, it is detected by the CCD line sensor 2c. Therefore, when the workpiece W to be measured is located between the light projecting unit 1 and the light receiving unit 2, only the component of the shadow formed by the workpiece W that is parallel to the optical axis of the light receiving unit. Image by CCD line sensor 2
It will be captured by c. Here, as shown in FIG. 3, the outer diameter of the workpiece W is D, and the CCD line sensor 2c
The length of the upper shadow is d, the focal length of the condenser lens 2a is f, and the distance between the pinhole plate 2b and the CCD line sensor 2c is L.
Then, the relational expression of D = (d × L) / f is established between them. Therefore, in the example of the outer diameter measurement shown in FIG.
The outer diameter D of the workpiece W is obtained by detecting the shadow length on the CD line sensor 2c based on the output signal from the CCD line sensor 2c and performing the calculation by the calculator 4 according to the above relational expression. When a currently available one-dimensional CCD line sensor with a pixel size of 7 μm and about 5000 to 10,000 pixels is used, by performing signal processing such as complementary calculation on the output signal from the CCD line sensor, A measurement resolution of 1 μm can be obtained.

【0019】図4は図1の4軸数値制御研削盤に適用し
た場合におけるこの発明の光学式被加工物形状測定装置
の電気的構成を示すブロック図である。図4において、
4は先に述べた演算器であり、演算器4は、受光部ユニ
ット2に収納された受光部のCCDラインセンサ2cに
接続され、CCDラインセンサ2cからの出力信号に基
づいて被加工物Wの形状を求めるものである。5は形状
測定用制御装置である。
FIG. 4 is a block diagram showing the electrical construction of the optical workpiece shape measuring apparatus of the present invention when applied to the 4-axis numerically controlled grinding machine of FIG. In FIG.
Reference numeral 4 denotes the arithmetic unit described above. The arithmetic unit 4 is connected to the CCD line sensor 2c of the light receiving section housed in the light receiving section unit 2, and the workpiece W is processed based on the output signal from the CCD line sensor 2c. To obtain the shape of. Reference numeral 5 is a shape measuring control device.

【0020】上記形状測定用制御装置5は、測定に際し
て被加工物固定台52に取付け固定された被加工物Wに
対してその測定部位に合わせて受光部ユニット2を位置
決めするための測定器位置決め指令信号を先に述べた数
値制御装置58に与えるものである。この測定器位置決
め指令信号は、数値制御装置58から読み込む被加工物
Wについての加工データと、工具取付け台56における
回転砥石Tと受光部ユニット2との位置関係を示す予め
既知の位置データとから算出されるようになっている。
また、形状測定用制御装置5は、各測定部位の測定ごと
に演算器4に演算指令信号を与える一方、演算器4から
入力された形状測定データを記憶格納しておくメモリを
有し、その形状測定データと上記加工データとから被加
工物Wの修正加工に必要なデータを作成し、この修正加
工データを数値制御装置58に与えるものである。さら
に、形状測定用制御装置5からドライブユニットDUL
に与えられる駆動信号によってモータMLが回転される
ことで、投光部ユニット1の加工時における上述した退
避動作が行われるようになっている。なお、6は上記形
状測定データを表示するための液晶式測定データ表示器
である。上記のようにしてこの実施例による光学式被加
工物形状測定装置は、投光部ユニット1、受光部ユニッ
ト2、退避用アーム3等を含む投光部ユニット用退避機
構、演算器4、形状測定用制御装置5、及び液晶式測定
データ表示器6により構成されている。
The shape measuring control device 5 positions the measuring device for positioning the light receiving unit 2 with respect to the workpiece W mounted and fixed on the workpiece fixing base 52 at the time of measurement. The command signal is applied to the numerical controller 58 described above. This measuring instrument positioning command signal is based on machining data about the workpiece W read from the numerical controller 58 and previously known position data indicating the positional relationship between the rotary grindstone T on the tool mount 56 and the light receiving unit 2. It has been calculated.
Further, the shape measurement control device 5 has a memory for storing and storing the shape measurement data input from the calculator 4 while giving a calculation command signal to the calculator 4 for each measurement of each measurement site. Data necessary for correction processing of the workpiece W is created from the shape measurement data and the processing data, and the correction processing data is given to the numerical controller 58. Further, from the shape measuring control device 5 to the drive unit DUL
When the motor ML is rotated by the drive signal given to, the above retracting operation is performed when the light projecting unit 1 is processed. Reference numeral 6 is a liquid crystal type measurement data display for displaying the shape measurement data. As described above, the optical workpiece shape measuring apparatus according to this embodiment has the retracting mechanism for the light projecting unit including the light projecting unit 1, the light receiving unit 2, the retracting arm 3, the calculator 4, and the shape. It is composed of a measurement control device 5 and a liquid crystal type measurement data display 6.

【0021】次に動作を説明する。まず、外部からの測
定開始信号を受けて形状測定用制御装置5は、ドライブ
ユニットDULに駆動信号を出力する。これにより、投
光部ユニット1が受光部ユニット2に接する退避位置か
ら引き出されて測定位置に位置決めされる。そして形状
測定用制御装置5から上記測定器位置決め指令信号が数
値制御装置58に与えられることで上記各モータMX,
MY,MZ,MCが駆動されて、被加工物固定台52に
取付け固定された被加工物Wに対してその測定部位に合
わせて、受光部ユニット2とこれに追従して移動される
投光部ユニット1とが位置決めされる。この位置決めに
際しては、受光部ユニット2を工具取付け台56に固設
してあるので、工具取付け台56が持つ移動動作機能を
最大限利用でき、これにより、被加工物Wがネジやホブ
等の複雑な形状を持つものであってもその測定部位に応
じて位置決めを行うことができ、種々の被加工物への適
用が可能となる。なお、ネジやホブにおける歯厚に際し
ては、旋回台57を作動させて歯に沿う平面視で斜め方
向から測定する必要がある。
Next, the operation will be described. First, upon receiving a measurement start signal from the outside, the shape measurement control device 5 outputs a drive signal to the drive unit DUL. As a result, the light projecting unit 1 is pulled out from the retracted position in contact with the light receiving unit 2 and positioned at the measurement position. Then, the measuring device positioning command signal is given from the shape measuring control device 5 to the numerical control device 58, whereby each of the motors MX,
MY, MZ, and MC are driven, and the light receiving unit 2 and the light projecting unit 2 are moved to follow the workpiece W fixed to the workpiece fixing base 52 in accordance with the measurement site. The partial unit 1 is positioned. At the time of this positioning, since the light receiving unit 2 is fixedly mounted on the tool mount 56, the moving operation function of the tool mount 56 can be utilized to the maximum extent. Even if it has a complicated shape, it can be positioned according to the measurement site, and it can be applied to various workpieces. In addition, when the tooth thickness of the screw or the hob is measured, it is necessary to operate the swivel base 57 and measure the tooth thickness from an oblique direction in a plan view along the tooth.

【0022】そして演算器4により、CCDラインセン
サ2cからの出力信号と光学倍率に基づいて被加工物W
のその測定部位における寸法、例えば工具であるホブの
歯厚が求められる。この場合、受光部がテレセントリッ
ク光学系に構成されているので、投光部ユニット1が測
定時の位置決め用移動動作によって多少振動していても
測定精度の低下を招くことがなく、振動に強い高精度測
定を実現できる。演算器4によって求められた形状測定
データは形状測定用制御装置5に記憶格納される。そし
て同様にして、次の測定を行うためにその測定部位に合
わせて受光部ユニット2及び投光部ユニット1が位置決
めされ、測定が行われることになる。
Then, the arithmetic unit 4 calculates the workpiece W based on the output signal from the CCD line sensor 2c and the optical magnification.
The dimension of the measurement site of the, for example, the tooth thickness of the hob which is a tool is determined. In this case, since the light receiving unit is configured in the telecentric optical system, even if the light projecting unit 1 vibrates to some extent by the positioning movement operation at the time of measurement, the measurement accuracy is not deteriorated, and the vibration resistant high unit is provided. Accuracy measurement can be realized. The shape measurement data obtained by the calculator 4 is stored and stored in the shape measurement control device 5. Then, in the same manner, in order to perform the next measurement, the light receiving unit 2 and the light emitting unit 1 are positioned according to the measurement site, and the measurement is performed.

【0023】なお、被加工物の2次元形状を測定する場
合には、受光部のCCDラインセンサ2cの素子並び方
向と直角をなす方向(図1のZ軸方向)に被加工物の影
像が移動するように、工具取付け台56(受光部ユニッ
ト2)あるいはその被加工物を微小移動ステップ間隔ご
とに移動させながら測定を繰り返すようにすればよい。
CCDラインセンサ2cにおいては、被加工物の影像に
よる影長さだけでなく影像のエッジ位置を検出するの
で、その影像のエッジ位置を微小移動ステップ間隔ごと
に並べる演算を行うようにすることで、被加工物の2次
元形状が求められる。この場合、イメージセンサとして
の2次元のCCDセンサを用いることで、当然ながら、
上記の繰り返し測定動作を減らすことが可能となる。
When measuring the two-dimensional shape of the work piece, a shadow image of the work piece is formed in a direction (Z-axis direction in FIG. 1) perpendicular to the direction in which the CCD line sensor 2c of the light receiving section is arranged. The measurement may be repeated while moving the tool mount 56 (light receiving unit 2) or the work piece thereof at each minute movement step interval so as to move.
The CCD line sensor 2c detects not only the shadow length of the shadow image of the workpiece but also the edge position of the shadow image. Therefore, the edge position of the shadow image is arranged at every minute movement step interval. The two-dimensional shape of the work piece is required. In this case, by using a two-dimensional CCD sensor as an image sensor, of course,
It is possible to reduce the above repeated measurement operation.

【0024】図5はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の受光部の他の構成例を説明するための図であ
る。図5に示すように、集光素子として図3の集光レン
ズ2aに代えて非球面反射鏡2a′を用いて、テレセン
トリック光学系の受光部を構成するようにしてもよい。
2′は受光部ユニットである。
FIG. 5 is a view for explaining another example of the structure of the light receiving portion of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 5, a light receiving unit of the telecentric optical system may be configured by using an aspherical reflecting mirror 2a 'instead of the condenser lens 2a of FIG. 3 as a condenser element.
2'is a light receiving unit.

【0025】図6はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の投光部の他の構成例を説明するための図であ
る。被加工物の種類が定められ、その測定部位について
の測定可能な方向が固定されている場合には、図6に示
すように、投光部を受光部から完全に切り離すようにし
た構成としてもよい。図6に示す例では、上記測定可能
な各方向であって4軸数値制御研削盤本体50の外側位
置に、複数のランプ1a′と曲面拡散板1b′とからな
る投光部を収納した投光部ユニット1′を配置したもの
である。このように投光部を切り離す構成とすること
で、加工時の退避機構をより簡単なものにすることが可
能となる。
FIG. 6 is a view for explaining another example of the structure of the light projecting section of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention. When the type of the workpiece is determined and the measurable direction of the measurement site is fixed, the light projecting unit may be completely separated from the light receiving unit as shown in FIG. Good. In the example shown in FIG. 6, a light projecting unit including a plurality of lamps 1a ′ and a curved diffuser plate 1b ′ is housed in each of the above-described measurable directions and outside the four-axis numerical control grinder main body 50. The light unit 1'is arranged. With such a configuration in which the light projecting portion is separated, the retracting mechanism during processing can be made simpler.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上述べたように、この発明による数値
制御工作機械における光学式被加工物形状測定装置によ
ると、光を照射する投光部と、この投光部から照射され
て数値制御工作機械に取付けられた被加工物を通過後の
光の明暗を感知して電気信号とする受光部とを有し、前
記投光部と前記受光部との間に位置された前記被加工物
により前記投光部からの光が遮られることによる影の部
分に基づいて前記被加工物の形状を測定するようにした
光学式被加工物形状測定装置において、前記受光部をテ
レセントリック光学系に構成して数値制御工作機械の工
具取付け台に固設するようにしたものであるから、前記
投光部が測定時の位置決め用移動動作によって多少振動
していても測定精度の低下を招くことがなく、しかも工
具取付け台が持つ移動動作機能を最大限利用できるの
で、被加工物がネジやホブ等の複雑な形状を持つもので
あってもその測定部位に応じて前記受光部の位置決めを
行うことができ、これにより、加工された被加工物を数
値制御工作機械に取付けたままの状態でその被加工物形
状を測定するに際し、複雑な形状を持つ被加工物につい
てもその形状測定が可能でかつ精度良く行うことができ
る。
As described above, according to the optical workpiece shape measuring apparatus in the numerically controlled machine tool of the present invention, the light projecting section for irradiating light and the numerically controlled machine for irradiating from the light projecting section. A light-receiving part that senses light and darkness of light after passing through the work piece attached to the machine to generate an electric signal, and the work piece is positioned between the light projecting part and the light-receiving part. In the optical workpiece shape measuring device configured to measure the shape of the workpiece based on the shaded portion due to the light from the light projecting portion being blocked, the light receiving portion is configured as a telecentric optical system. Since it is fixed to the tool mount of the numerically controlled machine tool, even if the light projecting part vibrates to some extent by the positioning movement operation at the time of measurement, the measurement accuracy is not deteriorated. Moreover, the tool mount has Since the dynamic operation function can be used to the maximum extent, even if the workpiece has a complicated shape such as a screw or a hob, the light receiving section can be positioned according to the measurement site. When measuring the shape of a machined workpiece while it is still attached to a numerically controlled machine tool, the shape of a workpiece with a complicated shape can be measured and can be accurately performed. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の光学式被加工物形状測定装置を装備
した4軸数値制御研削盤の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a 4-axis numerical control grinding machine equipped with an optical workpiece shape measuring device of the present invention.

【図2】図1の4軸数値制御研削盤のA矢視側面図であ
る。
FIG. 2 is a side view of the four-axis numerically controlled grinder of FIG.

【図3】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
投光部及び受光部の一構成例を説明するための図であ
る。
FIG. 3 is a diagram for explaining a configuration example of a light projecting unit and a light receiving unit of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention.

【図4】図1の4軸数値制御研削盤に適用した場合にお
けるこの発明の光学式被加工物形状測定装置の電気的構
成を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of the optical workpiece shape measuring apparatus of the present invention when applied to the four-axis numerically controlled grinding machine of FIG.

【図5】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
受光部の他の構成例を説明するための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining another configuration example of the light receiving section of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention.

【図6】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
投光部の他の構成例を説明するための図である。
FIG. 6 is a view for explaining another configuration example of the light projecting section of the optical workpiece shape measuring apparatus according to the present invention.

【図7】数値制御旋盤に備えられた従来の非接触オンラ
イン計測装置の構成を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a conventional non-contact online measuring device provided in a numerically controlled lathe.

【図8】図7に示す光学式外径計測器の外観図である。8 is an external view of the optical outer diameter measuring device shown in FIG.

【図9】図7に示す光学式外径計測器の構成説明図であ
る。
9 is a structural explanatory view of the optical outer diameter measuring device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′…投光部ユニット 1a,1a′…ランプ 1
b…拡散板 1b′…曲面拡散板 2,2′…受光部ユ
ニット 2a…集光レンズ 2a′…非球面反射鏡 2
b…微小孔を有するピンホール板 2c…CCDライン
センサ 3…退避用アーム 4…演算器 5…形状測定
用制御装置 6…液晶式測定データ表示器 50…4軸
数値制御研削盤本体 51…左右移動テーブル 52…
被加工物固定台 53…アーバ 54…前後移動テーブ
ル 55…上下移動台 56…工具取付け台 57…旋
回台 58…数値制御装置 W…被加工物 T…回転砥
石MX,MY,MZ,MC,ML…モータ DUX,D
UY,DUZ,DUC,DUL…ドライブユニット
1, 1 '... Projector unit 1a, 1a' ... Lamp 1
b ... Diffusion plate 1b '... Curved diffusion plate 2, 2' ... Light receiving unit 2a ... Condensing lens 2a '... Aspherical reflecting mirror 2
b ... Pinhole plate with micro holes 2c ... CCD line sensor 3 ... Retreat arm 4 ... Calculator 5 ... Shape measurement controller 6 ... Liquid crystal type measurement data display 50 ... 4-axis numerical control grinder main body 51 ... Left and right Moving table 52 ...
Workpiece fixing base 53 ... Arbor 54 ... Longitudinal movement table 55 ... Vertical movement table 56 ... Tool mounting base 57 ... Revolving base 58 ... Numerical control device W ... Workpiece T ... Rotating grindstones MX, MY, MZ, MC, ML ... Motors DUX, D
UY, DUZ, DUC, DUL ... Drive unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 証 兵庫県神戸市西区高塚台1丁目5番5号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 日下部 祐次 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番1 株式会社神戸製鋼所明石工場内 (72)発明者 河本 憲二 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番1 株式会社神戸製鋼所明石工場内 (72)発明者 川淵 義行 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番1 株式会社神戸製鋼所明石工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Sato Yamaguchi 1-5-5 Takatsukadai, Nishi-ku, Kobe City, Hyogo Prefecture Kobe Steel Research Institute, Kobe Research Institute (72) Inventor Yuji Kusakabe Uozumi Town, Akashi City, Hyogo Prefecture Kanegasaki Nishi-Oike 179-1 Kobe Steel Co., Ltd. Akashi Factory (72) Inventor Kenji Kawamoto Uozumi-cho, Akashi-shi, Hyogo Prefecture Kanegasaki Nishi-Oike 179-1 Kobe Steel Akashi Factory (72) Inventor Yoshifumi Kawabuchi Hyogo Prefecture 179-1 Kanegasaki Nishioike, Uozumi-cho, Akashi-shi Kobe Steel Co., Ltd. Akashi factory

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光を照射する投光部と、この投光部から
照射されて数値制御工作機械に取付けられた被加工物を
通過後の光の明暗を感知して電気信号とする受光部とを
有し、前記投光部と前記受光部との間に位置された前記
被加工物により前記投光部からの光が遮られることによ
る影の部分に基づいて前記被加工物の形状を測定するよ
うにした数値制御工作機械における光学式被加工物形状
測定装置において、前記受光部を、集光素子と、光入射
側からみて前記集光素子の後側焦点に微小孔を位置させ
て配置したピンホール板と、このピンホール板の後側に
配置したイメージセンサとにより構成して、数値制御工
作機械の工具取付け台に固設したことを特徴とする数値
制御工作機械における光学式被加工物形状測定装置。
1. A light projecting section for irradiating light, and a light receiving section for sensing the brightness of light after passing through a workpiece, which is irradiated from the light projecting section and attached to a numerically controlled machine tool, as an electric signal. A shape of the workpiece based on a shadowed portion due to the light being shielded by the workpiece located between the light projecting portion and the light receiving portion. In the optical workpiece shape measuring apparatus for a numerically controlled machine tool, which is configured to measure, the light receiving section is arranged with a light collecting element and a micro hole at the rear focus of the light collecting element when viewed from the light incident side. An optical cover for a numerically controlled machine tool characterized by comprising a pinhole plate arranged and an image sensor arranged at the rear side of the pinhole plate, and fixed on a tool mount of the numerically controlled machine tool. Workpiece shape measuring device.
JP14367293A 1993-06-15 1993-06-15 Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool Pending JPH071294A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14367293A JPH071294A (en) 1993-06-15 1993-06-15 Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14367293A JPH071294A (en) 1993-06-15 1993-06-15 Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH071294A true JPH071294A (en) 1995-01-06

Family

ID=15344259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14367293A Pending JPH071294A (en) 1993-06-15 1993-06-15 Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH071294A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006159315A (en) * 2004-12-03 2006-06-22 Kanehira:Kk Measuring device for object to be measured of grinding machine
US7377047B2 (en) 2005-10-18 2008-05-27 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Machine tool with workpiece measuring instrument and operating method for the same
JP2010133944A (en) * 2008-10-29 2010-06-17 Gleason Asia Co Ltd Apparatus for inspecting cutter blade
JP2012111003A (en) * 2010-11-25 2012-06-14 Disco Corp Cutting blade detection mechanism
JP2013013947A (en) * 2011-06-30 2013-01-24 Union Tool Co Measurement device
JP2014008588A (en) * 2012-07-02 2014-01-20 Nagoya Univ Machine tool with workpiece diameter measurement function
US10645280B2 (en) 2018-03-29 2020-05-05 Fanuc Corporation Image-sensing system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0484705A (en) * 1990-07-27 1992-03-18 Ono Sokki Co Ltd Optical size measuring apparatus
JPH05104411A (en) * 1991-10-09 1993-04-27 Canon Inc Precision cutting work device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0484705A (en) * 1990-07-27 1992-03-18 Ono Sokki Co Ltd Optical size measuring apparatus
JPH05104411A (en) * 1991-10-09 1993-04-27 Canon Inc Precision cutting work device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006159315A (en) * 2004-12-03 2006-06-22 Kanehira:Kk Measuring device for object to be measured of grinding machine
US7377047B2 (en) 2005-10-18 2008-05-27 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Machine tool with workpiece measuring instrument and operating method for the same
KR100975073B1 (en) * 2005-10-18 2010-08-11 무라타 기카이 가부시키가이샤 Machine with work measuring device
JP2010133944A (en) * 2008-10-29 2010-06-17 Gleason Asia Co Ltd Apparatus for inspecting cutter blade
JP2012111003A (en) * 2010-11-25 2012-06-14 Disco Corp Cutting blade detection mechanism
JP2013013947A (en) * 2011-06-30 2013-01-24 Union Tool Co Measurement device
JP2014008588A (en) * 2012-07-02 2014-01-20 Nagoya Univ Machine tool with workpiece diameter measurement function
US10645280B2 (en) 2018-03-29 2020-05-05 Fanuc Corporation Image-sensing system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4074104A (en) Opto-electronic position sensing method
US3749500A (en) Optical caliper and edge detector-follower for automatic gaging
TWI610762B (en) Processing device
TWI380872B (en) Tool nose position detection method and tool nose position detection device
JP4721844B2 (en) Combined processing machine
JPH09507933A (en) Method for measuring tool reference position for work piece and machine tool for implementing this method
KR102226222B1 (en) Laser machining apparatus
JP3598534B2 (en) Aspherical surface processing equipment
US20050269302A1 (en) Laser machine tool with beam analyzer
KR20180119124A (en) Laser processing method
WO2012035883A1 (en) Machining method
US4390278A (en) Method of and apparatus for inspecting the accuracy of a machined contour in a workpiece
US4656896A (en) Process for the positioning of a point belonging to the cutting zone of a tool and apparatus for performing this process in a digitally controlled lathe
JP6288280B2 (en) Surface shape measuring device
JP2005030813A (en) Three-dimensional noncontact measuring apparatus and cnc precision grinding apparatus using the same
JPH071294A (en) Optical type work shape measuring device in numerically controlled machine tool
JPH0664487B2 (en) Storage device of selected points of target outline on projection screen of contour projection grinder
JP3215193B2 (en) Method and apparatus for measuring blade shape of rotary tool
JP4571256B2 (en) Shape accuracy measuring device by sequential two-point method and laser displacement meter interval measuring method for shape accuracy measurement by sequential two-point method
JP2004114203A (en) Apparatus for measuring profile of workpiece and profile measuring system using the same
JP2000074644A (en) Measuring apparatus of rod type cutting tool and measuring method of drill which uses the measuring apparatus
JP2003039282A (en) Free-form surface working device and free-form surface working method
JPH06206145A (en) Cutting work device
JP2019015704A (en) Cam profile measurement device
JP2004034259A (en) Device and method for setting reference point of tool

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19971118