JP6940938B2 - Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles - Google Patents
Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles Download PDFInfo
- Publication number
- JP6940938B2 JP6940938B2 JP2016183356A JP2016183356A JP6940938B2 JP 6940938 B2 JP6940938 B2 JP 6940938B2 JP 2016183356 A JP2016183356 A JP 2016183356A JP 2016183356 A JP2016183356 A JP 2016183356A JP 6940938 B2 JP6940938 B2 JP 6940938B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- substrate
- unit
- partial region
- holding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法に関する。 The present invention relates to a stage device, a lithography device, and a method for manufacturing an article.
半導体デバイスなどの製造において用いられるリソグラフィ装置には、基板を保持する保持部と、保持部を駆動する駆動部とを有するステージ装置が設けられる。このようなステージ装置では、保持部に対する基板の位置ずれが生じている場合、当該基板が保持部の上から回収されうる。特許文献1には、搬送部による保持部上への基板の搬送に起因して保持部に対する位置ずれが生じている基板を回収する方法が提案されている。特許文献1に記載された方法では、保持部による基板の吸着状態が異常である場合に、保持部に対する基板の位置ずれをアライメントスコープなどの計測器に計測させ、その計測結果に応じて、搬送部によって保持部の上から基板を回収する。 A lithography apparatus used in the manufacture of semiconductor devices and the like is provided with a stage apparatus having a holding unit for holding a substrate and a driving unit for driving the holding unit. In such a stage device, when the position of the substrate is displaced with respect to the holding portion, the substrate can be recovered from above the holding portion. Patent Document 1 proposes a method of recovering a substrate whose position is displaced with respect to the holding portion due to the transport of the substrate onto the holding portion by the conveying portion. In the method described in Patent Document 1, when the suction state of the substrate by the holding portion is abnormal, the displacement of the substrate with respect to the holding portion is measured by a measuring instrument such as an alignment scope, and the substrate is conveyed according to the measurement result. The substrate is collected from above the holding portion by the portion.
ステージ装置では、例えば地震などによって電源が遮断されて保持部による基板の保持が解除されたなど、保持部による基板の保持に異常が生じ、基板が保持部に対して位置ずれを起こすことがある。この場合、保持部を駆動して、可能な限り基板を自動回収することが好ましいが、基板が保持部に対してどの程度の位置ずれを起こしているのかが不明である。そのため、基板の位置ずれの程度が不明のまま保持部を通常どおりに駆動してしまうと、基板が保持部上から落下したり、基板が装置内の部材と接触して破損したりする虞がある。 In the stage device, for example, when the power supply is cut off due to an earthquake or the like and the holding of the board is released by the holding part, an abnormality may occur in the holding of the board by the holding part, and the board may be displaced with respect to the holding part. .. In this case, it is preferable to drive the holding portion to automatically collect the substrate as much as possible, but it is unclear how much the substrate is displaced with respect to the holding portion. Therefore, if the holding portion is driven normally without knowing the degree of misalignment of the substrate, the substrate may fall from the holding portion or the substrate may come into contact with a member in the apparatus and be damaged. be.
特許文献1に記載された方法では、保持部に対する基板の位置ずれを計測器によって計測することができる位置まで、当該位置ずれが不明の状態で保持部を駆動しなければならない。 In the method described in Patent Document 1, the holding portion must be driven to a position where the displacement of the substrate with respect to the holding portion can be measured by a measuring instrument in a state where the displacement is unknown.
そこで、本発明は、保持部による基板の保持に異常が生じた場合の保持部の駆動を適切に制御するために有利なステージ装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide an advantageous stage device for appropriately controlling the driving of the holding unit when an abnormality occurs in the holding of the substrate by the holding unit.
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのステージ装置は、基板を保持して移動させるステージ装置であって、複数の部分領域によって前記基板を保持して所定方向に移動可能な保持部と、前記複数の部分領域の各々における保持力を検出する検出部と、前記保持部による前記基板の保持が解除された異常時において、前記基板の保持を前記保持部に再開させ、前記保持部上から前記基板を回収する回収位置へ前記保持部を駆動する処理を制御する制御部と、を含み、前記保持部は、前記保持部に対する前記所定方向への前記基板の位置ずれ量に応じて、前記複数の部分領域の各々における保持力が変わるように構成され、前記複数の部分領域は、前記保持部が前記基板を保持する保持面の中心を含む第1部分領域と、前記第1部分領域を囲む第2部分領域とを含み、前記制御部は、前記処理において、前記検出部により検出された前記第1部分領域の保持力が第1閾値以上である場合、前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が第2閾値以上であるか否かに応じて前記保持部の駆動の制御を変更する、ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the stage device as one aspect of the present invention is a stage device that holds and moves the substrate, and holds the substrate and can move in a predetermined direction by a plurality of partial regions. In the event of an abnormality in which the holding force of the unit, the detecting unit for detecting the holding force in each of the plurality of partial regions, and the holding of the substrate by the holding unit is released, the holding of the substrate is restarted by the holding unit, and the holding is performed. The holding unit includes a control unit that controls a process of driving the holding unit from the unit to a collecting position for collecting the substrate, and the holding unit responds to the amount of displacement of the substrate in the predetermined direction with respect to the holding unit. Therefore, the holding force in each of the plurality of partial regions is configured to be changed, and the plurality of partial regions include a first partial region including the center of the holding surface on which the holding portion holds the substrate, and the first partial region. The control unit includes a second partial region surrounding the partial region, and when the holding force of the first partial region detected by the detection unit in the process is equal to or greater than the first threshold value, the control unit detects it by the detection unit. It is characterized in that the control of driving the holding portion is changed depending on whether or not the holding force of the second partial region is equal to or greater than the second threshold value.
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。 Further objects or other aspects of the invention will be manifested in the preferred embodiments described below with reference to the accompanying drawings.
本発明によれば、例えば、保持部による基板の保持に異常が生じた場合の保持部の駆動を適切に制御するために有利なステージ装置を提供することができる。 According to the present invention, for example, it is possible to provide an advantageous stage device for appropriately controlling the driving of the holding unit when an abnormality occurs in the holding of the substrate by the holding unit.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。また、以下の実施形態では、マスクのパターンを基板に転写する露光装置に本発明のステージ装置を適用する例を説明するが、それに限られるものではない。例えば、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置や、荷電粒子線を基板に照射して当該基板にパターンを形成する描画装置などの他のリソグラフィ装置においても、本発明のステージ装置を適用することができる。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In each figure, the same member or element is given the same reference number, and duplicate description is omitted. Further, in the following embodiments, an example in which the stage apparatus of the present invention is applied to an exposure apparatus that transfers a mask pattern to a substrate will be described, but the present invention is not limited thereto. For example, in other lithography equipment such as an imprinting apparatus that forms a pattern of an imprint material on a substrate using a mold, and a drawing apparatus that irradiates a substrate with charged particle beams to form a pattern on the substrate. The stage apparatus of the present invention can be applied.
<第1実施形態>
第1実施形態の露光装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の露光装置100の構成を示す概略図である。図1(a)は、露光装置100をY方向から見た図であり、図1(b)は、露光装置100をX方向から見た図である。第1実施形態の露光装置100は、例えば、照明光学系1と、マスクステージ3と、投影光学系4と、基板ステージ6(ステージ装置)と、フォーカス計測部7と、アライメント計測部8と、搬送部9と、制御部10とを含みうる。制御部10は、例えば、CPUやメモリなどを含み、露光装置100の各部を制御する(基板5の露光処理を制御する)。
<First Embodiment>
The
照明光学系1は、光源(不図示)から射出された光を用いて、マスクステージ3により保持されたマスク2を照明する。投影光学系4は、所定の倍率を有し、マスク2に形成されたパターンを基板5に投影する。マスク2および基板5は、マスクステージ3および基板ステージ6によってそれぞれ保持されており、投影光学系4を介して光学的にほぼ共役な位置(投影光学系4の物体面および像面)に配置される。マスクステージ3は、真空吸着力などの保持力によってマスク2を保持し、例えばXY方向に移動可能に構成される。基板ステージ6の構成については後述する。
The illumination optical system 1 uses light emitted from a light source (not shown) to illuminate the
フォーカス計測部7は、投影光学系4の結像面(フォーカス面)に基板5の表面を配置するため、基板5に光を斜入射させ、反射された光によって基板5の表面の高さを計測する。アライメント計測部8は、グローバルアライメント方式を用いたマスク2と基板5とのアライメントを行うため、基板5に設けられたマークの位置(XY方向)を計測する。また、搬送部9(搬送アーム)は、装置内に搬入された基板5を基板ステージ6の上に搬送する。
In order to arrange the surface of the
次に、基板ステージ6の構成について、図2を参照しながら説明する。図2は、基板ステージ6を示す斜視図である。基板ステージ6は、例えば、基板5を保持する保持部11(チャック)と、保持部11を支持する支持部12と、支持部12(保持部11)を駆動する駆動部13と、ベース定盤14とを含み、基板を保持して移動させる。また、駆動部13は、保持部11を支持部12と共にX方向に駆動するX駆動部13xと、保持部11を支持部12およびX駆動部13xと共にY方向に駆動するY駆動部13yとを含みうる。
Next, the configuration of the
保持部11は、例えば、熱伝導性に優れたSiCセラミックによって構成され、真空吸着力などの保持力によって基板5を保持する。第1実施形態の保持部11は、配管15aおよび15bを介して真空ポンプ16と接続されており、真空吸着力によって基板5を保持する。真空ポンプ16と保持部11との間の配管には、保持部11の真空吸着力を制御する(真空吸着力のON/OFFを制御する)制御弁17と、保持部11の真空吸着力を検出する検出部18が設けられている。ここで、保持部11の詳細な構成について図3を参照しながら説明する。図3は、保持部11(基板5を保持する保持面)をZ方向から見た図である。保持部11は、土手部22によって仕切られた複数の部分領域21(本実施形態では、3つの部分領域21a〜21c)を有し、複数の部分領域21によって個別に基板5を保持することができる。
The holding
本実施形態の保持部11は、図3に示すように、基板5の中心部を保持すべき部分領域21a、部分領域21aを囲む部分領域21b、および部分領域21bを囲む部分領域21cを有する。部分領域21a(第1部分領域)は、土手部22aによって囲まれているとともに、配管を介して真空ポンプ16に接続された穴23aを有する。部分領域21b(第2部分領域)は、土手部22bによって囲まれているとともに、配管を介して真空ポンプ16に接続された穴23bを有する。部分領域21cは、基板5の外形より小さい径を有する土手部22cによって囲まれているとともに、配管を介して真空ポンプ16に接続された穴23cを有する。そして、各部分領域21には、ブラスト加工になどによってピン状の複数の凸部24が形成されており、図3では、各部分領域21に形成された複数の凸部24の一部のみが示されている。このように保持部11を構成することにより、複数の部分領域21の各々において個別に真空吸着力(保持力)を発生させることができる。また、保持部11には、搬送部9による基板5の受け渡しの際にリフトピンを保持部11の表面から突出させるための3つの開口25が形成されている。当該3つの開口25は、それぞれ土手部26によって囲まれている。
As shown in FIG. 3, the holding
ここで、本実施形態の保持部11は、3つの部分領域21を有するが、それに限られるものではなく、2つの部分領域21を有してもよいし、4つ以上の部分領域21を有してもよい。また、本実施形態のように、保持部11が3つの部分領域21a〜21cを有する場合、部分領域21aの径が基板5の直径の5%以上10%以下、部分領域21bの径が基板5の直径の10%以上40%以下であることが好ましい。また、保持部11における各部分領域の形状は、円形形状に限られるものではなく、矩形形状など他の形状であってもよい。
Here, the holding
支持部12は、保持部11を支持するとともに、例えばリニアモータを有するX駆動部13xおよびY駆動部13yによってベース定盤14の上をXY方向に駆動される。XY方向における支持部12の位置は、例えばレーザ干渉計(不図示)によって計測され、支持部12には、当該レーザ干渉計から射出された光を反射するための反射板19xおよび19yが設けられている。反射板19xは、X方向における支持部12の位置を計測するためのレーザ干渉計からの光を反射するために設けれ、反射板19yは、Y方向における支持部12の位置を計測するためのレーザ干渉計からの光を反射するために設けられる。また、支持部12には、上面に基準マークを有する基準部材20が設けられている。制御部10は、アライメント計測部8に基準部材20の基準マークを計測させることにより、その計測結果に基づいて投影光学系4(アライメント計測部8)と支持部12(保持部11)との位置関係を校正することができる。
The
このように構成された露光装置100では、例えば地震などによって電源が遮断されて保持部11による基板5の保持が解除されたなど、保持部11による基板5の保持に異常が生じ、基板5が保持部11に対して位置ずれを起こすことがある。この場合、露光装置100は、搬送部9によって基板5を自動回収することができる自動回収位置(第1位置)まで保持部11を駆動し、自動回収位置に駆動された保持部上の基板5を搬送部9に回収させることが好ましい。しかしながら、保持部11による基板5の保持の異常が生じた場合では、基板5が保持部11に対してどの程度の位置ずれを起こしているのかが不明である。そのため、保持部11に対する基板5の位置ずれの程度が不明のまま保持部11を通常どおりに駆動してしまうと、基板5が保持部11の上から落下したり、基板5が装置内の部材と接触して破損したりする虞がある。
In the
近年、露光装置の性能向上に伴い、露光装置が大型化している。その理由としては、生産性向上のためにスループットの向上が図られるためである。スループットの改善のために基板ステージの加速度を大きくすることが図られるにつれ基板ステージの必要推力が大きくなり基板ステージが大型化する。さらに、解像力の向上のために投影光学系の開口数(NA)を拡大することが図られる。そのために投影光学系の有効光束が広がり投影光学系の鏡筒径が拡大し、鏡筒を保持する構造体が拡大する。また、解像力の向上のために、液浸露光装置が用いられることもある。液浸露光装置は、液体を供給する供給機構と基板表面との間の空間は、露光中に基板が高速で移動しても液膜が保持することができるように狭い空間となっている。上述のために、例えば投影光学系鏡筒の真下近傍でウェハロストが発生した場合、人手で回収することが困難であり、可能な限り自動搬送で基板を回収することが求められている。 In recent years, with the improvement of the performance of the exposure apparatus, the exposure apparatus has become larger. The reason is that the throughput is improved in order to improve the productivity. As the acceleration of the substrate stage is increased in order to improve the throughput, the required thrust of the substrate stage increases and the substrate stage becomes larger. Further, the numerical aperture (NA) of the projection optical system can be increased in order to improve the resolution. Therefore, the effective luminous flux of the projection optical system expands, the diameter of the lens barrel of the projection optical system expands, and the structure holding the lens barrel expands. In addition, an immersion exposure apparatus may be used to improve the resolving power. In the immersion exposure apparatus, the space between the supply mechanism for supplying the liquid and the surface of the substrate is a narrow space so that the liquid film can be held even if the substrate moves at high speed during exposure. For the above reasons, for example, when wafer loss occurs in the vicinity directly below the projection optical system lens barrel, it is difficult to collect it manually, and it is required to collect the substrate by automatic transfer as much as possible.
そこで、本実施形態の基板ステージ6では、前述のように、複数の部分領域21によって基板5を個別に保持するように構成された保持部11と、複数の部分領域21の各々における保持力(真空吸着力)を個別に検出する検出部18とが設けられる。そして、保持部11は、保持部11に対する基板の位置ずれ量に応じて、各部分領域21の保持力が変わるように構成されている。つまり、複数の部分領域21は、検出部18で検出される保持力の相対関係が、保持部11に対する基板5の位置ずれ量に応じて変わるように配置されている。これにより、検出部18を、保持部11に対する基板5の位置ずれ量を検出する検出器として機能させ、複数の部分領域21の各々について検出部18により検出された保持力に基づいて、保持部11に対する基板5の位置ずれ量を把握することができる。
Therefore, in the
そのため、制御部10は、保持部11による基板5の保持に異常(以下、保持異常)が生じた場合に、保持部上から基板5を回収するための保持部11の駆動を、複数の部分領域21の各々について検出部18により検出された保持力に応じて制御する。例えば、制御部10は、保持異常が生じた場合の保持部11の駆動を、複数の部分領域21の各々について検出部18により検出された保持力が閾値以上であるか否かに基づいて制御する。これにより、保持部11に対する基板5の位置ずれ量に応じた適切な保持部11の駆動を行うことができ、保持部上の基板5の回収を的確に行うことができる。以下に、保持異常が生じた場合における保持部11の駆動の制御例について説明する。
Therefore, the
ここで、保持部11に対する基板5の位置ずれ量とは、保持部11によって保持されている基板5が本来配置されるべき保持部上の位置からのずれ量のことである。例えば、保持部11に対する基板5の位置ずれ量とは、基板5の中心と保持部11の中心(基板5の中心が配置されるべき箇所)との位置ずれ量のことである。
Here, the amount of displacement of the
[実施例1]
実施例1に係る基板ステージ6の構成例について説明する。図4は、実施例1に係る基板ステージ6の構成例を示す図であり、図4には、保持部11の断面図が示されている。実施例1に係る基板ステージ6では、保持部11の各部分領域21a〜21c(各穴23a〜23c)が各制御弁17a〜17cを介して真空ポンプ16にそれぞれ接続されている。各制御弁17a〜17cは、制御部10によって制御される。また、図4に示す構成例では、複数の部分領域21の各々における真空吸着力(真空度)を検出するように複数の検出部18a〜18cが設けられている。具体的には、検出部18aは部分領域21aの真空吸着力を検出し、検出部18bは部分領域21bの真空吸着力を検出し、検出部18cは部分領域21cの真空吸着力を検出する。各検出部18aでの検出結果(検出信号)は制御部10に供給される。
[Example 1]
A configuration example of the
次に、実施例1に係る基板ステージ6において保持異常が生じた場合の保持部11の駆動の制御を、図5を参照しながら説明する。図5は、保持異常が生じた場合の保持部11の駆動の制御を示すフローチャートである。図5に示すフローチャートの各工程は、制御部10によって行われうる。ここで、以下の説明では、各検出部18a〜18cで検出される真空吸着力に対して個別に閾値THa〜THcが設定されているが、それに限られるものではなく、共通の閾値が設定されてもよい。
Next, the control of driving the holding
S11では、制御部10は、各部分領域21a〜21cに真空吸着力を発生させるように各制御弁17a〜17cを制御するとともに、各検出部18a〜18cに各部分領域21a〜21cの真空吸着力を検出させる。S12では、制御部10は、検出部18cによって検出された部分領域21cの真空吸着力Vcが閾値THc以上であるか否かを判断する。検出部18cによって検出された真空吸着力Vcが閾値THc以上である場合、基板5は、部分領域21a〜21cによって正常に保持されている状態である。そのため、保持部11を通常どおりに駆動しても、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性が低い。したがって、この場合(S12のYes)にはS13に進み、制御部10は、S13において、搬送部9によって基板5を回収することができる自動回収位置(第1位置)に、通常の駆動速度で保持部11を駆動する。通常の駆動速度とは、例えば、装置が正常な状態の際、露光処理が終了した後に保持部11を自動回収位置に通常駆動するときの速度である。例えば、装置が正常な状態の際、装置電源投入時に基板ステージ6を初期位置へ駆動させるときの通常の速度である。そして、制御部10は、S18において、保持部上の基板5を搬送部9に回収させる。一方、検出部18cによって検出された真空吸着力Vcが閾値THcより小さい場合(S12のNo)にはS14に進む。
In S11, the
S14では、制御部10は、検出部18bによって検出された部分領域21bの真空吸着力Vbが閾値THb(第2閾値)以上であるか否かを判断する。検出部18bによって検出された真空吸着力Vbが閾値THb以上である場合、基板5は、例えば図6(a)に示すように、部分領域21aおよび21bによって保持され、部分領域21cによっては保持されていない状態である。そのため、通常の駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動すると、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性がある。したがって、この場合(S14のYes)にはS15に進み、制御部10は、通常の駆動速度より小さい第1駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動する。このとき、制御部10は、部分領域21cに真空吸着力を発生させないように制御弁17cを制御してもよい(即ち、制御弁17cを閉じてもよい)。そして、制御部10は、S18において、保持部上の基板5を搬送部9に回収させる。一方、検出部18bによって検出された真空吸着力Vbが閾値THbより小さい場合(S14のNo)にはS16に進む。
In S14, the
S16では、制御部10は、検出部18aによって検出された部分領域21aの真空吸着力Vaが閾値THa(第1閾値)以上であるか否かを判断する。検出部18aによって検出された真空吸着力Vaが閾値THa以上である場合、基板5は、例えば図6(b)に示すように、部分領域21aのみによって保持され、部分領域21bおよび21cによっては保持されていない状態である。そのため、第1駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動したとしても、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性がある。したがって、この場合(S16のYes)にはS17に進み、制御部10は、第1駆動速度より小さい第2駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動する。このとき、制御部10は、部分領域21bおよび21cに真空吸着力を発生させないように制御弁17bおよび17cを制御してもよい(即ち、制御弁17bおよび17cを閉じてもよい)。そして、制御部10は、S18において、保持部上の基板5を搬送部9に回収させる。あるいは、基板5が保持部11の近傍にある場合には、基板5を保持部11の中央付近に工具や人手で動かし、再度、真空吸着力の閾値に対する判定を行い、判別結果により最適な駆動制御を選択し基板5を自動回収することも可能である。
In S16, the
一方、検出部18aによって検出された真空吸着力Vaが閾値THaより小さい場合、基板5は、例えば図6(c)に示すように、部分領域21a〜21cのいずれによっても保持されていない状態である。そのため、保持部11を自動回収位置に駆動してしまうと、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性が高い。したがって、この場合(S16のNo)には、制御部10は、自動回収位置への保持部11の駆動を行わないと決定し、S19において、基板5を手動で回収することをユーザに促す通知を行う。例えば、制御部10は、露光装置100に設けられた表示部(ディスプレイ)に表示することによって当該通知を行ってもよいし、ユーザのコンピュータに通信I/Fを介して当該通知を送信してもよい。
On the other hand, when the vacuum suction force Va detected by the detection unit 18a is smaller than the threshold value THa, the
ここで、本実施例では、S13において通常の駆動速度で保持部11を駆動し、S15において第1駆動速度で保持部11を駆動したが、それに限られるものではない。例えば、S13において第1駆動速度で保持部11を駆動し、S15において第2駆動速度で保持部11を駆動してもよい。また、S13およびS15の双方において通常の駆動速度で保持部11を駆動してもよい(この場合、通常の駆動速度が第1駆動速度となりうる)。さらに、本実施例では、S12〜S16が直列シーケンスであるが、並列シーケンスで同時に(並列に)判定することも可能である。
Here, in the present embodiment, the holding
[実施例2]
実施例2に係る基板ステージ6の構成例について説明する。図7は、実施例2に係る基板ステージ6の構成例を示す図であり、図7には、保持部11の断面図が示されている。実施例2に係る基板ステージ6では、部分領域21a(23穴a)および部分領域21c(23穴c)は配管によって連通しており、それらは共に制御弁17dおよび17fを介して真空ポンプ16に接続されている。そして、部分領域21b(穴23b)は制御弁17fを介して真空ポンプ16に接続されている。また、実施例2に係る基板ステージ6では、部分領域21aおよび21cの真空吸着力(真空度)を検出する検出部18dと、部分領域21bの真空吸着力(真空度)を検出する検出部18fが設けられている。
[Example 2]
A configuration example of the
次に、実施例2に係る基板ステージ6において保持異常が生じた場合の保持部11の駆動の制御を、図8を参照しながら説明する。図8は、保持異常が生じた場合の保持部11の駆動の制御を示すフローチャートである。図8に示すフローチャートの各工程は、制御部10によって行われうる。ここで、以下の説明では、各検出部18d、18fで検出される真空吸着力に対して個別に閾値THd、THfが設定されているが、それに限られるものではなく、共通の閾値が設定されてもよい。
Next, the control of driving the holding
S21では、制御部10は、各部分領域21a〜21cに真空吸着力を発生させるように各制御弁17d、17fを制御するとともに、各検出部18d、18fに真空吸着力を検出させる。S22では、制御部10は、検出部18dによって検出された真空吸着力Vdが閾値THd以上であるか否かを判断する。検出部18dによって検出された真空吸着力Vdが閾値THd以上である場合、基板5は、部分領域21a〜21cによって正常に保持されている状態である。そのため、保持部11を通常どおりに駆動しても、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性が低い。したがって、この場合(S22のYes)には、制御部10は、第1駆動速度(通常の駆動速度)で保持部11を自動回収位置に駆動する。そして、制御部10は、S26において、保持部上の基板5を搬送部9に回収させる。一方、検出部18dによって検出された真空吸着力Vdが閾値THdより小さい場合(S22のNo)にはS24に進む。
In S21, the
S24では、制御部10は、検出部18fによって検出された部分領域21fの真空吸着力Vfが閾値THf以上であるか否かを判断する。検出部18fによって検出された真空吸着力Vfが閾値THf以上である場合、基板5は、部分領域21bのみによって保持され、部分領域21aおよび21cによっては保持されていない状態である。そのため、通常の駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動すると、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性がある。したがって、この場合(S24のYes)には、制御部10は、第1駆動速度より小さい第2駆動速度で保持部11を自動回収位置に駆動する。このとき、制御部10は、部分領域21aおよび21cに真空吸着力を発生させないように制御弁17dを制御してもよい(即ち、制御弁17dを閉じてもよい)。そして、制御部10は、S26において、保持部上の基板を搬送部9に回収させる。
In S24, the
一方、検出部18fによって検出された真空吸着力Vfが閾値THfより小さい場合、基板5は、部分領域21a〜21cのいずれによっても保持されていない状態である。そのため、保持部11を自動回収位置に駆動してしまうと、当該駆動中における保持部11の振動によって基板5が保持部11から落下する可能性が高い。したがって、この場合(S24のNo)には、制御部10は、自動回収位置への保持部11の駆動を行わないと決定し、S27において、基板5を手動で回収することをユーザに促す通知を行う。
On the other hand, when the vacuum suction force Vf detected by the detection unit 18f is smaller than the threshold value THF, the
上述したように、第1実施形態の基板ステージ6は、保持異常が生じた場合における保持部11の駆動を、複数の部分領域21の各々について検出部18により検出された保持力に応じて制御する。これにより、保持部11に対する基板5の位置ずれ量に応じた適切な保持部11の駆動を行うことができ、保持部上の基板5の回収を的確に行うことができる。
As described above, the
<第2実施形態>
第2実施形態では、第1実施形態と異なる点について説明する。第1実施形態では、図5のフローチャートにおけるS15、S17、および図8のフローチャートにおけるS25では、自動回収位置に保持部11を駆動するときの駆動速度を変更した。しかしながら、それに限られるものではなく、例えば、基板5を回収するための保持部11の駆動経路を変更してもよい。具体的には、搬送部9によって基板5を回収することができる自動回収位置(第1位置)ではなく、手動での基板5の回収を行うことができる位置(第2位置(以下、手動回収位置))に保持部11を駆動してもよい。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, the points different from the first embodiment will be described. In the first embodiment, in S15 and S17 in the flowchart of FIG. 5, and in S25 in the flowchart of FIG. 8, the driving speed when the holding
図9(a)は、自動回収位置31aと手動回収位置31bとの配置例を示す図である。自動回収位置31aは、前述したように、搬送部9によって基板5を回収することができる位置である。一方、手動回収位置31bは、ユーザが手動により基板5を回収することができる位置であり、例えば、投影光学系4や基板ステージ6などが収容されたチャンバに、ユーザが手動により基板5を回収するための扉が設けられた位置である。この場合、制御部10は、図5のS13および図8のS23においては、通常の駆動速度で経路32aに沿って保持部11を自動回収位置31aに駆動する。一方、制御部10は、図5のS15、S17、および図8のS25においては、通常の駆動速度より小さい駆動速度(第1駆動速度または第2駆動速度)で経路32bに沿って保持部11を手動回収位置31bに駆動する。
FIG. 9A is a diagram showing an arrangement example of the
ここで、基板ステージ6では、例えば、保持部11に対する−Y方向への基板の位置ずれ量によっては、図9(b)に示すように保持部11を自動回収位置31aに駆動したときに、基板5が搬送部9に接触して破損することが起こりうる。そのため、図10に示すように、XY平面においてY方向に延びた部分21b’(突出部分)を有するように部分領域21bが構成される。例えば、部分21b’は、基板5の位置がずれたときに部分領域21bで保持することができる範囲において、XY平面のある方向における保持部11の中心からの基板5の中心の最大位置ずれ量(許容量)が最も小さくなるように部分領域21bに設けられる。図10に示す例では、最大位置ずれ量が一方向(−Y方向)において最も小さくなるように、該一方向と反対の方向(+Y方向)に突出した部分21b’が部分領域21bに設けられる。部分領域21bで保持することができる範囲とは、部分領域21bの全てを基板5によって覆うことができる、保持部11に対する基板5の位置ずれの範囲のことである。このように部分領域21bを構成することにより、図11に示すように、自動回収位置に保持部11を駆動したときに、基板5が搬送部9に接触することを回避することができる。
Here, in the
前述の説明では、基板5が搬送部9に接触することを回避するための突出部分21b’を部分領域21bに設けたが、それに限られるものではない。例えば、保持部11の駆動中に基板5が装置内の部材に接触することを回避するための突出部分を部分領域21bに設けてもよい。また、前述の説明では、部分領域21bに突出部分を設けたが、それに限られるものではなく、部分領域21bと異なる部分領域21(例えば部分領域21a)に突出部分を設けてもよい。さらに、突出部分は、1つに限られず、複数設けられてもよい。
In the above description, the protruding portion 21b'is provided in the
<第3実施形態>
第3実施形態では、第1実施形態に対して基板ステージ6(保持部11)の構成が異なる。以下では、第3実施形態における基板ステージ6(保持部11)の構成について、図12を参照しながら説明する。図12は、第3実施形態の保持部11の構成を示す図である。図12(a)は、保持部11を上(Z方向)から見た図、図12(b)は、保持部11のG−K1断面を示す図、図12(c)は、保持部11のG−K2断面を示す図である。
<Third Embodiment>
In the third embodiment, the configuration of the substrate stage 6 (holding unit 11) is different from that of the first embodiment. Hereinafter, the configuration of the substrate stage 6 (holding unit 11) in the third embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a diagram showing the configuration of the holding
本実施形態の保持部11は、図12に示すように、基板5の中心を保持すべき部分領域41a、部分領域41aを囲む部分領域41b、および部分領域41bを囲む部分領域41cを有し、これらの3つの部分領域41によって基板5を個別に保持する。部分領域41aは、表面(保持面)に通じる複数の穴42aと、裏面(保持面と反対側の面)に通じる穴43aとが設けられた、基板載置面中央を中心とした同心円状の流路44aを有する。部分領域41bは、表面に通じる複数の穴42bと、裏面に通じる穴43bとが設けられた、流路44aと同様の同心円状の流路44bを有する。部分領域41cは、表面に通じる複数の穴42cと、裏面に通じる穴43cとが設けられた、流路44aと同様の同心円状の流路44cを有する。また、保持部11には、搬送部9による基板5の受け渡しの際にリフトピンを保持部11の表面から突出させるための3つの開口25が形成されている。
As shown in FIG. 12, the holding
図13は、第3実施形態の基板ステージ6の構成例を示す図であり、図13には、保持部11の断面図が示されている。第3実施形態の基板ステージ6では、保持部11における各部分領域41a〜41cの各流路44a〜44c(各穴43a〜43c)が各制御弁17a〜17cを介して真空ポンプ16にそれぞれ接続されている。各制御弁17a〜17cは、制御部10によって制御される。また、図13に示す構成例では、複数の部分領域41の各々における真空吸着力(真空度)を検出するように複数の検出部18a〜18cが設けられている。具体的には、検出部18aは部分領域41aの真空吸着力を検出し、検出部18bは部分領域41bの真空吸着力を検出し、検出部18cは部分領域41cの真空吸着力を検出する。各検出部18aでの検出結果(検出信号)は制御部10に供給される。
FIG. 13 is a diagram showing a configuration example of the
このように構成された保持部11では、保持異常が生じた場合に保持部上から基板5を回収するための保持部11の駆動の制御が、例えば図5に示すフローチャートの各工程に従って行われうる。本実施形態において図5に示すフローチャートを適用する場合、当該フローチャートの各工程における部分領域21a〜21cは部分領域41a〜41cにそれぞれ対応する。
In the holding
ここで、本実施形態の保持部11では、保持部11に対して基板5の位置ずれ量が増えるにつれて、各検出部18によって検出される部分領域41の真空吸着力が徐々に変わる。そのため、各検出部18によって検出された真空吸着力のそれぞれに対して複数の閾値を設け、当該真空吸着力が各閾値以上か否かに基づいて保持部の駆動を制御してもよい。例えば、部分領域41cに着目した場合について説明する。図14(a)に示す基板5の位置ずれが生じている状態と、図14(b)に示す基板5の位置ずれが生じている状態とを区別することができるように、検出部18cによって検出される真空吸着力に対して2つの閾値THc1およびTHc2を設けておく。そして、当該真空吸着力が閾値THc1より小さく且つ閾値THc2以上である場合(図14(a)の状態)と、当該真空吸着力が閾値THc2より小さい場合(図14(b)の状態)とで、保持部11の駆動の制御を異ならせてもよい。なお、部分領域41bも部分領域41cと同様の運用が可能である。また、41aは、領域が小さく、閾値を満足しない状態での自動搬送は困難であるため、2つの設定せずに閾値をTHa1の1つとした運用が望ましい。
Here, in the holding
<第4実施形態>
保持異常によって保持部11に対する位置ずれを起こした基板5が、反射板19x、19yや基準部材20など、保持部11の側方(外側)に配置されて保持部11と共に移動する部材に接触することがある。この場合において、保持部11および当該部材を共に駆動してしまうと、駆動時の振動により当該部材にダメージを与える可能性がある。反射板19x、19yや基準部材20(基準マーク)は、高精度に形成された部材であり、それらがダメージを受けると基板ステージ6の位置を精度よく制御することができなくなり、基板5にパターンを精度よく形成することが困難になりうる。そのため、第4実施形態の保持部11は、基板5が保持部11に対して位置ずれを起こして当該部材に接触している場合に基板5の保持を許容しないように、形状や位置(配置)等が構成された部分領域21d(第3部分領域)を有する。つまり、部分領域21dは、基板5が保持部11に対して位置ずれを起こして当該部材に接触している場合に、基板5によって全体が覆われない位置に配置される。以下では、第1実施形態と異なる点について説明する。
<Fourth Embodiment>
The
図15は、第4実施形態の保持部11の構成を示す図である。第4実施形態の保持部11は、第1実施形態(実施例1)の保持部11と同様に構成された部分領域21a、部分領域21bおよび部分領域21cを有するとともに、部分領域21d(第3部分領域)を更に有する。部分領域21dは、土手部22dによって囲まれているともに、配管を介して真空ポンプ16に接続された穴23dを有する。そして、部分領域21dは、保持部11に対して位置ずれを起こして反射板19x、19yや基準部材20などの部材に接触している基板5を保持することができないような位置に配置されている。例えば、部分領域21dは、図16(a)に示すように基板5が基準部材20に接触している状態や、図16(b)に示すように基板5が反射板19xに接触している状態のときに当該基板5を保持することができない位置に配置される。ここで、本実施形態では、部分領域21dが円形形状に構成されているが、それに限られるものではなく、例えば矩形形状など、部分領域21dを任意の形状に構成することができる。また、部分領域21dは、1つに限られるものではなく、複数設けられてもよい。
FIG. 15 is a diagram showing the configuration of the holding
図17は、第4実施形態の基板ステージ6の構成例を示す図であり、図17には、保持部11の断面図が示されている。第4実施形態の基板ステージ6では、部分領域21a(穴23a)および部分領域21d(穴23d)は配管によって連通しており、それらは共に制御弁17aを介して真空ポンプ16に接続されている。部分領域21b(穴23b)は制御弁17bを介して、部分領域21c(穴23c)は制御弁17cを介して真空ポンプ16にそれぞれ接続されている。また、図17に示す構成例では、複数の部分領域21の各々における真空吸着力(真空度)を検出するように複数の検出部18a〜18cが設けられている。具体的には、検出部18aは部分領域21aおよび21dの真空吸着力を検出し、検出部18bは部分領域21bの真空吸着力を検出し、検出部18cは部分領域21cの真空吸着力を検出する。このように構成された保持部11では、保持異常が生じた場合に保持部上から基板5を回収するための保持部11の駆動の制御が、図5に示すフローチャートの各工程に従って行われうる。
FIG. 17 is a diagram showing a configuration example of the
なお、以上の実施形態において、基板ロストした際の基板自動搬送について記載しているが、本発明は、上記状態の基板搬送に限定されずに、例えばデバイス製造工程の評価用ダミー基板等の送り込み制御等にも適用することが可能である。該評価用ダミー基板は、基板表面に塗布させるレジストの膜厚が安定しない等の理由で基板を所定の位置に送り込む際にも搬送エラーが多く発生する。このような場合において、第1実施形態から第4実施形態に記載している基板回収の表記部分を基板送り込みと解釈すれば容易に本発明の効果を享受することが可能である。 Although the automatic substrate transfer when the substrate is lost is described in the above embodiment, the present invention is not limited to the substrate transfer in the above state, and for example, a dummy substrate for evaluation in the device manufacturing process is fed. It can also be applied to control and the like. In the evaluation dummy substrate, many transport errors occur even when the substrate is fed to a predetermined position because the film thickness of the resist applied to the substrate surface is not stable. In such a case, the effect of the present invention can be easily enjoyed by interpreting the notation portion of the substrate recovery described in the first to fourth embodiments as the substrate feeding.
<物品の製造方法の実施形態>
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンを形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
<Embodiment of manufacturing method of article>
The method for manufacturing an article according to the embodiment of the present invention is suitable for producing an article such as a microdevice such as a semiconductor device or an element having a fine structure. The method for manufacturing an article of the present embodiment includes a step of forming a pattern on a substrate by using the above-mentioned lithography apparatus, and a step of processing the substrate on which the pattern is formed in such a step. Further, such a manufacturing method includes other well-known steps (oxidation, film formation, vapor deposition, doping, flattening, etching, resist peeling, dicing, bonding, packaging, etc.). The method for producing an article of the present embodiment is advantageous in at least one of the performance, quality, productivity, and production cost of the article as compared with the conventional method.
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, it goes without saying that the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and modifications can be made within the scope of the gist thereof.
5:基板、6:基板ステージ、9:搬送部、10:制御部、11:保持部、12:支持部、13:駆動部、16:真空ポンプ、17:制御弁、18:検出部、100:露光装置 5: Substrate, 6: Substrate stage, 9: Conveying section, 10: Control section, 11: Holding section, 12: Support section, 13: Drive section, 16: Vacuum pump, 17: Control valve, 18: Detection section, 100 : Exposure device
Claims (15)
複数の部分領域によって前記基板を保持して所定方向に移動可能な保持部と、
前記複数の部分領域の各々における保持力を検出する検出部と、
前記保持部による前記基板の保持が解除された異常時において、前記基板の保持を前記保持部に再開させ、前記保持部上から前記基板を回収する回収位置へ前記保持部を駆動する処理を制御する制御部と、
を含み、
前記保持部は、前記保持部に対する前記所定方向への前記基板の位置ずれ量に応じて、前記複数の部分領域の各々における保持力が変わるように構成され、
前記複数の部分領域は、前記保持部が前記基板を保持する保持面の中心を含む第1部分領域と、前記第1部分領域を囲む第2部分領域とを含み、
前記制御部は、前記処理において、前記検出部により検出された前記第1部分領域の保持力が第1閾値以上である場合、前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が第2閾値以上であるか否かに応じて前記保持部の駆動の制御を変更する、ことを特徴とするステージ装置。 A stage device that holds and moves the board.
A holding portion that holds the substrate by a plurality of partial regions and can move in a predetermined direction,
A detection unit that detects the holding force in each of the plurality of partial regions, and a detection unit.
In the event of an abnormality in which the holding of the substrate by the holding portion is released, the holding of the substrate is restarted by the holding portion, and the process of driving the holding portion from the holding portion to the collecting position for collecting the substrate is controlled. Control unit and
Including
The holding portion is configured so that the holding force in each of the plurality of partial regions changes according to the amount of displacement of the substrate in the predetermined direction with respect to the holding portion.
The plurality of partial regions include a first partial region including the center of a holding surface in which the holding portion holds the substrate, and a second partial region surrounding the first partial region.
In the process, when the holding force of the first partial region detected by the detecting unit is equal to or greater than the first threshold value, the control unit has a second holding force of the second partial region detected by the detecting unit. A stage device characterized in that the control of driving the holding unit is changed according to whether or not the threshold value is 2 or more.
前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が前記第2閾値以上である場合には、前記保持部の駆動を第1駆動速度で行い、
前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が前記第2閾値より小さい場合には、前記保持部の駆動を前記第1駆動速度より小さい第2駆動速度で行う、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載のステージ装置。 The control unit
When the holding force of the second partial region detected by the detection unit is equal to or greater than the second threshold value, the holding unit is driven at the first driving speed.
When the holding force of the second partial region detected by the detection unit is smaller than the second threshold value, the holding unit is driven at a second driving speed lower than the first driving speed. The stage apparatus according to any one of claims 1 to 6.
前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が前記第2閾値以上である場合には、前記回収位置として、搬送アームにより前記基板を回収することができる第1位置に前記保持部を駆動し、
前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が前記第2閾値より小さい場合には、前記回収位置として、前記第1位置とは異なり且つ手動により前記基板を回収することができる第2位置に前記保持部を駆動する、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のステージ装置。 The control unit
When the holding force of the second partial region detected by the detection unit is equal to or greater than the second threshold value, the holding unit is located at a first position where the substrate can be collected by the transport arm as the collecting position. Drive and
When the holding force of the second partial region detected by the detection unit is smaller than the second threshold value, the substrate can be manually recovered as the recovery position, which is different from the first position. The stage device according to any one of claims 1 to 7, wherein the holding portion is driven to two positions.
前記複数の部分領域は、前記基板が前記保持部に対して前記所定方向に位置ずれを起こして前記部材に接触している場合に当該基板を保持することができない位置に配置され、且つ、前記第1部分領域および前記第2部分領域とは個別に保持力を発生する第3部分領域を含み、
前記制御部は、前記検出部により検出された前記第3部分領域の保持力が第3閾値より小さい場合には、前記保持部の駆動を行わない、ことを特徴とする請求項1乃至10のうちいずれか1項に記載のステージ装置。 Further including a member arranged outside the holding portion and moving with the holding portion.
Wherein the plurality of partial regions, the substrate is disposed in a position in which it is impossible to hold the substrate when in contact with the member misaligned in the predetermined direction with respect to the holding portion, and wherein The first partial region and the second partial region include a third partial region that individually generates a holding force.
The control unit does not drive the holding unit when the holding force of the third partial region detected by the detection unit is smaller than the third threshold value, according to claims 1 to 10. The stage device according to any one of the items.
複数の部分領域によって前記基板を保持する保持部と、A holding portion that holds the substrate by a plurality of partial regions,
前記複数の部分領域の各々における保持力を検出する検出部と、A detection unit that detects the holding force in each of the plurality of partial regions, and a detection unit.
前記保持部による前記基板の保持に異常が生じた場合における前記保持部の駆動を制御する制御部と、A control unit that controls the driving of the holding unit when an abnormality occurs in the holding of the substrate by the holding unit.
を含み、Including
前記保持部は、前記保持部に対する前記基板の位置ずれ量に応じて、前記複数の部分領域の各々における保持力が変わるように構成され、The holding portion is configured so that the holding force in each of the plurality of partial regions changes according to the amount of displacement of the substrate with respect to the holding portion.
前記複数の部分領域は、前記保持部が前記基板を保持する保持面の中心を含む第1部分領域と、前記第1部分領域を囲む第2部分領域とを含み、The plurality of partial regions include a first partial region including the center of a holding surface in which the holding portion holds the substrate, and a second partial region surrounding the first partial region.
前記制御部は、前記検出部により検出された前記第1部分領域の保持力が第1閾値以上である場合、前記検出部により検出された前記第2部分領域の保持力が第2閾値以上であるか否かに応じて前記保持部の駆動の制御を変更し、When the holding force of the first partial region detected by the detecting unit is equal to or greater than the first threshold value, the control unit determines that the holding force of the second partial region detected by the detecting unit is equal to or greater than the second threshold value. The control of the drive of the holding unit is changed according to the presence or absence.
前記複数の部分領域のうち少なくとも1つの部分領域は、一方向に突出した突出部分を有する、ことを特徴とするステージ装置。A stage device, wherein at least one of the plurality of partial regions has a protruding portion protruding in one direction.
請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載のステージ装置を含む、ことを特徴とするリソグラフィ装置。 A lithography system that forms a pattern on a substrate.
A lithography apparatus comprising the stage apparatus according to any one of claims 1 to 13.
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。 A step of forming a pattern on a substrate using the lithography apparatus according to claim 14.
The process of processing the substrate on which the pattern was formed in the process and
A method of manufacturing an article, which comprises.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016183356A JP6940938B2 (en) | 2016-09-20 | 2016-09-20 | Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016183356A JP6940938B2 (en) | 2016-09-20 | 2016-09-20 | Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018049076A JP2018049076A (en) | 2018-03-29 |
JP6940938B2 true JP6940938B2 (en) | 2021-09-29 |
Family
ID=61767511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016183356A Active JP6940938B2 (en) | 2016-09-20 | 2016-09-20 | Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6940938B2 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4794882B2 (en) * | 2005-03-25 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | Scanning exposure apparatus and scanning exposure method |
JP5235566B2 (en) * | 2008-09-01 | 2013-07-10 | キヤノン株式会社 | Exposure apparatus and device manufacturing method |
JP2010141213A (en) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Canon Inc | Operation device, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP5665336B2 (en) * | 2009-04-06 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | Substrate holding device and lithography apparatus using the same |
JP6076856B2 (en) * | 2013-08-09 | 2017-02-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Peeling device, peeling system and peeling method |
JP6244188B2 (en) * | 2013-11-27 | 2017-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Joining apparatus, joining method and joining system |
-
2016
- 2016-09-20 JP JP2016183356A patent/JP6940938B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018049076A (en) | 2018-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6358564B2 (en) | Conveying system, exposure apparatus, conveying method, exposure method, device manufacturing method, and suction apparatus | |
TWI816947B (en) | Carrier system, exposure apparatus, carrying method, and suction device | |
TW202034450A (en) | Substrate holding device, exposure apparatus and device manufacturing method | |
JP4781049B2 (en) | Exposure apparatus and device manufacturing method | |
JP5682106B2 (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
KR20160100842A (en) | Lithography apparatus, lithography method, program, lithography system, and article manufacturing method | |
TWI715770B (en) | Method for determining offset value, method for forming pattern, method for manufacturing micro device and micro element, and storage medium | |
TWI579661B (en) | Method of obtaining a position of a second shot region neighboring a first shot region, exposure method, exposure apparatus, and method of manufacturing article | |
JP5235566B2 (en) | Exposure apparatus and device manufacturing method | |
JP2015220447A (en) | Lithographic apparatus and method of manufacturing article | |
JP2014003259A (en) | Load method, substrate holding apparatus, and exposure apparatus | |
JP6940938B2 (en) | Manufacturing methods for stage equipment, lithography equipment, and articles | |
JP4685041B2 (en) | Stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
KR20180106926A (en) | Substrate holding apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
JP7057655B2 (en) | Measuring equipment, lithography equipment, manufacturing method of goods, and measuring method | |
JP6792342B2 (en) | Lithography equipment and its control method, and manufacturing method of articles | |
JP7414570B2 (en) | Holding devices and lithography devices | |
JP2014127655A (en) | Suction device, method, exposure device, and device manufacturing method | |
JP7212528B2 (en) | Lithographic apparatus, metrology methods, and methods of manufacturing articles | |
US20240118626A1 (en) | Determination method, determination apparatus, information processing method, storage medium, information processing apparatus, lithographic apparatus, and method for manufacturing article | |
TWI673818B (en) | Substrate transfer system, lithography apparatus, transfer method, and article manufacturing method | |
JP5402664B2 (en) | Cleaning method, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
JP2017033021A (en) | Holding device, holding method, exposure device and exposure method and device production method | |
KR20230136019A (en) | Substrate transport system, lithography apparatus, and article manufacturing method | |
JP2014138078A (en) | Conveyance system and conveyance method, exposure device and exposure method, and method of manufacturing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201109 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20210103 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210903 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6940938 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |