JP6694230B2 - Alkali-soluble resin and curable resin composition containing the same - Google Patents

Alkali-soluble resin and curable resin composition containing the same Download PDF

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Description

本発明は、アルカリ可溶性樹脂ならびにそれを含む硬化性樹脂組成物および該硬化性樹脂組成物を用いて形成される硬化物、それを含むフォトスペーサーならびに表示装置に関する。   The present invention relates to an alkali-soluble resin, a curable resin composition containing the same, a cured product formed by using the curable resin composition, a photo spacer containing the same, and a display device.

液晶表示装置の液晶セルでは、一対の基板間に液晶層が形成されており、この基板間隔を一定にするために、スペーサーが配置される。近年、このスペーサーとして、フォトリソグラフィにより形成される柱状のスペーサー(フォトスペーサー)が用いられるようになっている(例えば、特許文献1、2)。フォトスペーサーには、ガラス基板への密着性、圧縮力に追従できる柔軟性や圧縮力を緩和したときの弾性回復力等の特性が要求される。   In a liquid crystal cell of a liquid crystal display device, a liquid crystal layer is formed between a pair of substrates, and spacers are arranged in order to keep the distance between the substrates constant. In recent years, a columnar spacer (photospacer) formed by photolithography has been used as this spacer (for example, Patent Documents 1 and 2). The photo spacer is required to have characteristics such as adhesion to a glass substrate, flexibility capable of following compression force, and elastic recovery force when the compression force is relaxed.

フォトスペーサーは、硬化性樹脂組成物をガラス基板上に塗布し、所定のマスクをした上で露光し、その後現像することにより形成される。このため、上記硬化性樹脂組成物には上記特性を満足させることに加えて、現像残渣を速やかに除去できる現像性が要求される。特許文献3には、主鎖に環構造を有する繰り返し単位を有するアクリル系樹脂を用いて、現像液に対する溶解性が高いフォトスペーサー用感光性樹脂組成物を得ることが記載されている。   The photo spacer is formed by applying a curable resin composition on a glass substrate, exposing it with a predetermined mask, exposing it, and then developing it. Therefore, the curable resin composition is required to have developability capable of promptly removing development residues, in addition to satisfying the above characteristics. Patent Document 3 describes that an acrylic resin having a repeating unit having a ring structure in its main chain is used to obtain a photosensitive resin composition for a photo spacer having high solubility in a developing solution.

また、硬化時の高温工程において、分解物(アウトガス)が発生するとそれが液晶に混入し表示性能の低下を招くため、分解物の発生の抑制された硬化性樹脂組成物が求められている。   Further, when a decomposed product (outgas) is generated in a high temperature step during curing, which mixes with the liquid crystal and causes deterioration of display performance, a curable resin composition in which generation of the decomposed product is suppressed is required.

特開2009−53663号公報JP, 2009-53663, A 特開2009−175647号公報JP, 2009-175647, A WO2014/038576号公報WO2014 / 038576

従って、本発明の課題は、主鎖環構造と酸基を有するアルカリ可溶性樹脂の分子量を上げることで、優れた現像性を有しながら、耐熱分解性が向上し、硬化性樹脂組成物とした時のアウトガスを低減でき、パターン形成時間が短縮されて生産性が向上するアルカリ可溶性樹脂を提供することにある。また、硬化性樹脂組成物とした場合に、高弾性回復率化の為、硬化性樹脂組成物中の多官能モノマー量を増やしても良好な現像性を維持することができるアルカリ可溶性樹脂を提供することにある。
また、本発明の他の課題は、現像性と耐熱分解性が向上し、パターン形成時間が短縮されて生産性が向上し、アウトガスの発生が低減され、多官能モノマー量を増やしても良好な現像性を維持することができる硬化性樹脂組成物を提供することにある。
さらにまた、本発明の他の課題は、アウトガスの発生が低減され、高い弾性回復率を保ちながら生産性の向上した硬化物(好ましくはフォトスペーサー)ならびに表示装置を提供することにある。
Therefore, the object of the present invention is to increase the molecular weight of the alkali-soluble resin having a main chain ring structure and an acid group, while having excellent developability, the thermal decomposition resistance is improved, the curable resin composition An object of the present invention is to provide an alkali-soluble resin that can reduce outgas at the time, shorten pattern formation time, and improve productivity. Further, when a curable resin composition is used, an alkali-soluble resin that can maintain good developability even if the amount of polyfunctional monomer in the curable resin composition is increased due to high elastic recovery rate is provided. To do.
Another object of the present invention is to improve developability and thermal decomposition resistance, shorten pattern formation time and improve productivity, reduce outgassing, and increase the amount of polyfunctional monomer. It is intended to provide a curable resin composition capable of maintaining developability.
Still another object of the present invention is to provide a cured product (preferably a photospacer) and a display device in which the generation of outgas is reduced and the productivity is improved while maintaining a high elastic recovery rate.

本発明者らは、主鎖に環構造を有する繰り返し単位を有するアクリル系樹脂において、特定の大きさ以上の分子量とした場合に、ガラス基板への密着性、圧縮力に追従できる柔軟性や圧縮力を緩和したときの弾性回復力等の特性を備えながら、特に優れた現像性が得られ、さらには耐熱性に優れ、アウトガスの発生が抑制された硬化性樹脂組成物を製造できるアルカリ可溶性樹脂が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。   In the acrylic resin having a repeating unit having a ring structure in the main chain, when the molecular weight of a specific size or more, the present inventors, adhesion to a glass substrate, flexibility and compression that can follow the compression force Alkali-soluble resin capable of producing a curable resin composition in which particularly excellent developability is obtained, further excellent heat resistance is obtained, and outgassing is suppressed, while having properties such as elastic recovery when the force is relaxed The present invention has been completed and the present invention has been completed.

すなわち、本発明のアルカリ可溶性樹脂は、(a1)酸基含有モノマー及び/又は(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーからなる(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーと、芳香族置換マレイミド類、アルキル置換マレイミド類、及び下記一般式(8)または(9)
[上記一般式(8)〜(9)中、R11、R12、R13はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。]
で表される1,6−ジエン類からなる群から選ばれた少なくとも1つのモノマーと、を含むモノマー成分から合成したベースポリマーであって、該(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーが該(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーを用いる場合には、重合後に酸基を付与するための後処理を行ったベースポリマーであるか、又は上記ベースポリマーに炭素−炭素二重結合を導入して得られたポリマーであるアルカリ可溶性樹脂であって、
該(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーの含有量は、上記ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、10質量%以上80質量%以下であり、
該芳香族置換マレイミド類、アルキル置換マレイミド類、及び上記一般式(8)または(9)で表される1,6−ジエン類からなる群から選ばれた少なくとも1つのモノマーの含有量は、上記ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、2質量%〜50質量%であり、
重量平均分子量が22000以上であり、熱重量測定装置を用いて窒素雰囲気下230℃30分で測定した重量減少率が0〜3.0%であり、該モノマー成分が、さらに、下記一般式(C)
[上記一般式(C)中、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基;R4は、芳香環を2個以上有する炭素数10〜20の芳香族炭化水素基;AOは、炭素数2〜20のオキシアルキレン基;xは0〜2の整数;yは0または1;mは、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、1.2未満である。]
で表される、(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーを含有し、
該(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーのうち、(c2)オキシアルキレン鎖長が1であるオキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーの含有量が、該モノマー成分100質量%中20質量%以上である。
That is, the alkali-soluble resin of the present invention comprises (a1) an acid group-containing monomer and / or (a2) a monomer capable of imparting an acid group after polymerization, and (a) a monomer capable of introducing an acid group into a side chain, and an aromatic compound. Group-substituted maleimides, alkyl-substituted maleimides, and the following general formula (8) or (9)
[In said general formula (8)-(9), R < 11 >, R < 12 >, R < 13 > is a hydrogen atom or a C1-C30 linear or branched alkyl group each independently. ]
A base polymer synthesized from a monomer component containing at least one monomer selected from the group consisting of 1,6-dienes represented by: and capable of introducing an acid group into the side chain (a). When the monomer (a2) is a monomer capable of imparting an acid group after the polymerization, it is a base polymer which has been subjected to a post-treatment for imparting an acid group after the polymerization, or the base polymer is a carbon-carbon diamine. An alkali-soluble resin that is a polymer obtained by introducing a heavy bond,
The content of the monomer capable of introducing an acid group into the side chain (a) is 10% by mass or more and 80% by mass or less in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer.
The content of at least one monomer selected from the group consisting of the aromatic-substituted maleimides, the alkyl-substituted maleimides, and the 1,6-dienes represented by the general formula (8) or (9) is as described above. 2% by mass to 50% by mass in 100% by mass of all monomer components used for synthesizing the base polymer,
The weight average molecular weight is 22,000 or more, the weight loss rate measured at 230 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere using a thermogravimetric apparatus is 0 to 3.0%, and the monomer component is further represented by the following general formula ( C)
[In the general formula (C), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a methyl group; R 4 is an aromatic hydrocarbon group having 2 or more aromatic rings and having 10 to 20 carbon atoms. AO is an oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms; x is an integer of 0 to 2; y is 0 or 1; m represents the average number of moles of the oxyalkylene group added, and is less than 1.2. ]
Which has a (c1) oxyalkylene group and contains a monomer that introduces two or more aromatic rings at the end of the side chain,
Among the monomers having the (c1) oxyalkylene group and introducing two or more aromatic rings at the ends of the side chains, (c2) the oxyalkylene group having an oxyalkylene chain length of 1 and the end of the side chain The content of the monomer that introduces two or more aromatic rings is 20% by mass or more based on 100% by mass of the monomer component.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記の何れかのアルカリ可溶性樹脂と多官能モノマーとを含んでいる。
上記多官能モノマーの官能数は4〜10であることが好ましい。
The curable resin composition of the present invention contains any one of the above alkali-soluble resins and a polyfunctional monomer.
The polyfunctional monomer preferably has a functionality of 4 to 10.

本発明の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物を硬化して得られた硬化物である。
また、本発明のフォトスペーサーは、上記硬化物を含んでいる。
さらに、本発明の表示装置は、上記フォトスペーサーを含んでいる。
The cured product of the present invention is a cured product obtained by curing the curable resin composition.
Moreover, the photo spacer of the present invention contains the above-mentioned cured product.
Furthermore, the display device of the present invention includes the above photo spacer.

本発明によれば、優れた現像性を有しながら、耐熱分解性が向上し、硬化性樹脂組成物とした時のアウトガスを低減でき、パターン形成時間が短縮されて生産性が向上するアルカリ可溶性樹脂を提供できる。また、硬化性樹脂組成物とした場合に、高弾性回復率化のために硬化性樹脂組成物中の多官能モノマー量を増やしても良好な現像性を維持することができるアルカリ可溶性樹脂を提供できる。
また、現像性と耐熱分解性が向上し、パターン形成時間が短縮されて生産性が向上し、アウトガスの発生が低減され、多官能モノマー量を増やしても良好な現像性を維持することができる硬化性樹脂組成物を提供できる。
さらにまた、アウトガスの発生が低減され、高い弾性回復率を保ちながら生産性の向上した硬化物(好ましくはフォトスペーサー)ならびに表示装置を提供できる。
According to the present invention, while having excellent developability, thermal decomposition resistance is improved, outgas when the curable resin composition is reduced, pattern formation time is shortened and productivity is improved. A resin can be provided. Further, when the curable resin composition is used, an alkali-soluble resin that can maintain good developability even if the amount of the polyfunctional monomer in the curable resin composition is increased for high elastic recovery is provided. it can.
Further, developability and thermal decomposition resistance are improved, pattern formation time is shortened, productivity is improved, outgassing is reduced, and good developability can be maintained even if the amount of polyfunctional monomer is increased. A curable resin composition can be provided.
Furthermore, it is possible to provide a cured product (preferably a photo spacer) and a display device in which the production of outgas is reduced and the productivity is improved while maintaining a high elastic recovery rate.

(a)および(b)は良好な形状のフォトスペーサーの概略断面図の一例である。(A) And (b) is an example of the schematic sectional drawing of the photo spacer of a favorable shape.

1.アルカリ可溶性樹脂
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーと、(b)主鎖に環構造を導入し得るモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成して得られるベースポリマー、または、上記ベースポリマーの酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として、炭素−炭素二重結合を有する化合物を付加したポリマーである。本発明のアルカリ可溶性樹脂は、フォトスペーサー用として好適に使用できる。
1. Alkali-Soluble Resin The alkali-soluble resin of the present invention is synthesized from a monomer component containing (a) a monomer capable of introducing an acid group into a side chain and (b) a monomer capable of introducing a ring structure into a main chain as essential monomers. The resulting base polymer or a polymer obtained by adding a compound having a carbon-carbon double bond with a part or all (preferably a part) of the acid group of the base polymer as a reaction point. The alkali-soluble resin of the present invention can be suitably used for a photo spacer.

上記アルカリ可溶性樹脂としては、特定モノマーが使用される限りにおいて、任意の適切な樹脂が用いられ得る。アルカリ可溶性樹脂は、好ましくはアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂であり、より好ましくはアクリル系樹脂である。   As the alkali-soluble resin, any appropriate resin can be used as long as the specific monomer is used. The alkali-soluble resin is preferably an acrylic resin, a polyester resin, or a polyether resin, more preferably an acrylic resin.

1−1 ベースポリマー
ベースポリマーは、(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーと、(b)主鎖に環構造を導入し得るモノマーとを必須モノマーとして含むモノマー成分から合成して得られる。(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーを用いて合成することにより、アルカリ可溶性樹脂は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を有する。
1-1 Base Polymer A base polymer is obtained by synthesizing a monomer component containing (a) a monomer capable of introducing an acid group into a side chain and (b) a monomer capable of introducing a ring structure into a main chain as essential monomers. Be done. (A) The alkali-soluble resin has a repeating unit having an acid group in the side chain by synthesizing using a monomer capable of introducing an acid group in the side chain.

1−1−1 (a)側鎖に酸基を導入し得るモノマー
(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマー[以下、単に(a)酸基導入モノマーという場合がある]には、もともと酸基を有する(a1)酸基含有モノマーと、(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーが含まれる。なお、(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーを用いる場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理(後処理)を行う。
1-1-1 (a) Monomer capable of introducing an acid group into a side chain (a) Monomer capable of introducing an acid group into a side chain [hereinafter, may be simply referred to as (a) acid group-introducing monomer], An (a1) acid group-containing monomer originally having an acid group and (a2) a monomer capable of imparting an acid group after polymerization are included. When a monomer capable of imparting an acid group after polymerization (a2) is used, a treatment (post-treatment) for imparting an acid group as described below is performed after the polymerization.

(a1)酸基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、および、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー;無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。これらの中でもカルボキシル基を有するモノマーが好ましく、特に、(メタ)アクリル酸が好ましい。また、(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー;グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー;2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。(a)酸基導入モノマーは、単独で使用しても、2種以上使用してもよい。   Examples of the acid group-containing monomer (a1) include (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethylsuccinic acid, and monomers having a carboxyl group such as itaconic acid; maleic anhydride, itaconic anhydride, and the like. And a monomer having a carboxylic acid anhydride group. Among these, a monomer having a carboxyl group is preferable, and (meth) acrylic acid is particularly preferable. Examples of the monomer (a2) capable of providing an acid group after the polymerization include monomers having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; monomers having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate; 2-isocyanate. Examples thereof include monomers having an isocyanate group such as natoethyl (meth) acrylate. The acid group-introducing monomer (a) may be used alone or in combination of two or more kinds.

酸基を付与するための後処理は、用いる(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーの種類によって異なる。例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートのような水酸基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させることができる。グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、N−メチルアミノ安息香酸、N−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させるか、もしくは、例えば(メタ)アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させることができる。2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマーを用いた場合には、例えば、2−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させることができる。   The post-treatment for imparting an acid group varies depending on the type of the monomer (a2) capable of imparting an acid group after the polymerization. For example, when a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is used, an acid anhydride such as succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride should be added. You can When a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth) acrylate is used, for example, a compound having an amino group and an acid group such as N-methylaminobenzoic acid or N-methylaminophenol is added, or For example, an acid anhydride such as succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or maleic anhydride can be added to the hydroxyl group generated after addition of an acid such as (meth) acrylic acid. When a monomer having an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate is used, for example, a compound having a hydroxyl group and an acid group such as 2-hydroxybutyric acid can be added.

(a)酸基導入モノマーの含有量は、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、10質量%以上であり、15質量%以上が好ましく、80質量%以下であり、70質量%以下が好ましい。(a)酸基導入モノマーの含有量が少ないと、充分なアルカリ現像性が発現しないおそれがあり、また、ラジカル重合性不飽和二重結合としての炭素−炭素二重結合をアルカリ可溶性樹脂に充分量導入することができなくなるおそれがある。一方、(a)酸基導入モノマーの含有量が多すぎると、後述する(b)主鎖に環構造を導入し得るモノマーの割合が少なくなるため、硬化物の耐熱性や基板密着性が不充分となる。 (A) the content of the acid group-introduced monomer, all monomer components 100% by mass to be used for the synthesis of the base polymer is 10 mass% or more, 15% by mass or more is good preferred, with 80 wt% or less Yes, and preferably 70% by mass or less. When the content of the (a) acid group-introduced monomer is low, sufficient alkali developability may not be exhibited, and a carbon-carbon double bond as a radically polymerizable unsaturated double bond is sufficiently contained in the alkali-soluble resin. It may not be possible to introduce a quantity. On the other hand, if the content of the (a) acid group-introduced monomer is too large, the proportion of the monomer (b) described below that can introduce a ring structure into the main chain decreases, so that the heat resistance and substrate adhesion of the cured product become poor. Will be enough.

1−1−2 (b)主鎖に環構造を導入し得るモノマー
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、(b)主鎖に環構造を導入し得るモノマー[以下、単に(b)環構造導入モノマーという場合がある]を含むモノマー成分を重合して得ることにより、主鎖に環構造を有する繰り返し単位を有している。
1-1-2 (b) Monomer capable of introducing ring structure into main chain The alkali-soluble resin of the present invention is (b) a monomer capable of introducing ring structure into the main chain [hereinafter, simply referred to as (b) ring structure introducing monomer. In some cases, it has a repeating unit having a ring structure in the main chain.

環構造としては、例えば、マレイミド構造、N−置換マレイミド構造、ラクトン環構造、グルタル酸無水物構造、無水マレイン酸構造等を有する繰り返し単位が挙げられる。その中でも好ましくは、マレイミド構造またはN−置換マレイミド構造である。主鎖にマレイミド構造またはN−置換マレイミド構造を有する繰り返し単位を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、現像液に対する溶解性がより高い硬化性樹脂組成物を得ることができる。具体的には、主鎖に環構造を有する繰り返し単位は、一般式(1)〜(3)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、一般式(1)で表される繰り返し単位であることがより好ましい。一般式(1)で表される構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を用いれば、より破壊強度の高い硬化物を形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。   Examples of the ring structure include a repeating unit having a maleimide structure, an N-substituted maleimide structure, a lactone ring structure, a glutaric anhydride structure, a maleic anhydride structure, or the like. Among them, a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure is preferable. By using an alkali-soluble resin having a repeating unit having a maleimide structure or an N-substituted maleimide structure in the main chain, a curable resin composition having higher solubility in a developing solution can be obtained. Specifically, the repeating unit having a ring structure in the main chain is preferably at least one selected from the repeating units represented by the general formulas (1) to (3), and represented by the general formula (1). Is more preferable. By using the alkali-soluble resin having the structural unit represented by the general formula (1), it is possible to obtain a curable resin composition capable of forming a cured product having higher breaking strength.

主鎖に環構造を有する繰り返し単位は、一般式(4)〜(7)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1種であってもよい。なかでも好ましくは、一般式(4)または(7)で表される繰り返し単位である。   The repeating unit having a ring structure in the main chain may be at least one kind selected from the repeating units represented by the general formulas (4) to (7). Among them, the repeating unit represented by the general formula (4) or (7) is preferable.

式(4)〜(7)中、R11、R12、R13、R14、R15およびR16はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、好ましくは水素原子または炭素数が1〜10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が1〜5の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であり、さらに好ましくはメチル基である。 In formulas (4) to (7), R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , R 15 and R 16 are each independently a hydrogen atom or a straight chain or branched chain having 1 to 30 carbon atoms. An alkyl group, preferably a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. It is a group, More preferably, it is a methyl group.

主鎖に環構造を有する繰り返し単位は、(b)環構造導入モノマーにより構成される。(b)環構造導入モノマーとしては、例えば、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、ナフチルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−クロロフェニルマレイミド、N−m−クロロフェニルマレイミド、N−p−クロロフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等の芳香族置換マレイミド類;シクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、プロピルマレイミド、イソプロピルマレイミド等のアルキル置換マレイミド類等が挙げられる。なかでも芳香族置換マレイミド類が好ましい。具体的には、好ましくは、マレイミド、ベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、より好ましくはベンジルマレイミド、フェニルマレイミド、シクロヘキシルマレイミドであり、さらに好ましくはベンジルマレイミドである。一般式(4)〜(7)で表される繰り返し単位を構成する(b)環構造導入モノマーとしては、例えば、一般式(8)または(9)で表される1,6−ジエン類が挙げられる。これらのモノマーは、単独で使用しても、2種以上使用してもよい。   The repeating unit having a ring structure in the main chain is composed of (b) a ring structure-introducing monomer. Examples of the (b) ring structure-introducing monomer include maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide, naphthylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-o. -Chlorophenylmaleimide, Nm-chlorophenylmaleimide, Np-chlorophenylmaleimide, N-o-methylphenylmaleimide, Nm-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, N-o-methoxyphenylmaleimide, Aromatic substituted maleimides such as Nm-methoxyphenylmaleimide and Np-methoxyphenylmaleimide; cyclohexylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, propylmaleimide, isopropylmaleyl Alkyl-substituted maleimides such as de, and the like. Of these, aromatic substituted maleimides are preferable. Specifically, maleimide, benzylmaleimide, phenylmaleimide and cyclohexylmaleimide are preferable, benzylmaleimide, phenylmaleimide and cyclohexylmaleimide are more preferable, and benzylmaleimide is more preferable. Examples of the (b) ring structure-introducing monomer constituting the repeating units represented by the general formulas (4) to (7) include 1,6-dienes represented by the general formula (8) or (9). Can be mentioned. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

式(8)および(9)中、R11、R12およびR13は上記(4)〜(7)で説明したとおりである。 In formulas (8) and (9), R 11 , R 12 and R 13 are as described in (4) to (7) above.

本発明のアルカリ可溶性樹脂が主鎖に環構造を有する構成単位を有することにより、現像液に対する溶解性が高い硬化性樹脂組成物を得ることができる。(b)環構造導入モノマーとしては、N置換マレイミド系単量体、ジアルキル−2,2’−(オキシジメチレン)ジアクリレート系単量体及びα−(不飽和アルコキシアルキル)アクリレート系単量体からなる群より選択される少なくとも1種のモノマーを含む形態は、本発明の好適な形態の1つである。(b)環構造導入モノマーとしては、主鎖にN−置換マレイミド構造を導入し得るモノマーが好ましい。   When the alkali-soluble resin of the present invention has a structural unit having a ring structure in its main chain, it is possible to obtain a curable resin composition having high solubility in a developing solution. (B) N-substituted maleimide-based monomers, dialkyl-2,2 ′-(oxydimethylene) diacrylate-based monomers and α- (unsaturated alkoxyalkyl) acrylate-based monomers as the ring structure-introducing monomer The form containing at least one monomer selected from the group consisting of is one of the preferred forms of the present invention. The (b) ring structure-introducing monomer is preferably a monomer capable of introducing an N-substituted maleimide structure into the main chain.

(b)環構造導入モノマーの使用量は、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、2質量%〜50質量%であり、好ましくは5質量%〜40質量%であり、より好ましくは5質量%〜30質量%である。 (B) the amount of the ring structure introduced monomer, all monomer components 100% by mass to be used for the synthesis of the base polymer is 2 wt% to 50 wt%, good Mashiku 5 mass% to 40 mass% And more preferably 5% by mass to 30% by mass.

1−1−3 (c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマー
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、側鎖にオキシアルキレン基を有している。さらに、オキシアルキレン基に加えて、側鎖に2個以上の芳香環を有している。2個以上の芳香環の導入によって、得られる硬化物の弾性回復力がより向上する。その理由は明確にはなっていないが、芳香環がスタック構造を採って相互作用が発現したことで、架橋密度を上げることによる硬さではない、相互作用による硬さが付与されたためではないかと推測される。なお、2個以上の芳香環とは、ナフタレン環やアントラセン環のような縮合環であってもよい。
1-1-3 (c) of the monomer present invention capable of introducing an oxyalkylene group in the side chain an alkali-soluble resin that has an oxyalkylene group in a side chain. Furthermore, in addition to the oxyalkylene group, that have two or more aromatic rings in the side chain. The introduction of two or more aromatic rings further improves the elastic recovery of the cured product obtained. Although the reason for this is not clear, it may be because the aromatic ring adopts a stack structure and the interaction is expressed, which is not the hardness due to increasing the crosslink density but the hardness due to the interaction. Guessed. The two or more aromatic rings may be condensed rings such as naphthalene ring and anthracene ring.

(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーとしては、o−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート[エトキシ化o−フェニルフェノール(メタ)アクリレート]、o−ビフェニルオキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシエチルアクリレート、p−ビフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート、o−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、p−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、m−ビフェニルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−ビフェニル=カルバマート、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−p−ビフェニル=カルバマート[下記式(10)はN−アクリロイルオキシエチル−p−ビフェニル=カルバマート]、N−(メタ)アクリロイルオキシエチル−m−ビフェニル=カルバマート等のオキシアルキレンビフェニル基含有モノマー;o−ターフェニルオキシエチル(メタ)アクリレート等のターフェニルオキシアルキレン基含有モノマー等が挙げられる。   Examples of the monomer capable of introducing an oxyalkylene group into the side chain (c) include o-biphenyloxyethyl (meth) acrylate [ethoxylated o-phenylphenol (meth) acrylate], o-biphenyloxyethoxyethyl (meth) acrylate, m-biphenyloxyethyl acrylate, p-biphenyloxyethyl (meth) acrylate, o-biphenyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, p-biphenyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, m-biphenyloxy- 2-Hydroxypropyl (meth) acrylate, N- (meth) acryloyloxyethyl-o-biphenylcarbamate, N- (meth) acryloyloxyethyl-p-biphenylcarbamate [the following formula (10) is N-acryl Royloxyethyl-p-biphenyl = carbamate], N- (meth) acryloyloxyethyl-m-biphenyl = carbamate and other oxyalkylene biphenyl group-containing monomers; o-terphenyloxyethyl (meth) acrylate and other terphenyloxyalkylenes Group-containing monomers and the like can be mentioned.

(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーとしては、(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入し得るモノマーである。(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入し得るモノマーとしては、下記一般式(C)で表されるモノマーであるThe monomer capable of introducing an oxyalkylene group in (c) side chain, (c1) having an oxyalkylene group is a monomer capable of introducing two or more aromatic rings at the end of the side chain. (C1) having an oxyalkylene group, as a monomer capable of introducing two or more aromatic rings at the end of the side chain is a monomer represented by the following general formula (C).

上記一般式(C)中、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基;Rは、炭素数が10〜20の芳香環を2個以上有する芳香族炭化水素基;AOは、炭素数2〜20のオキシアルキレン基;xは0〜2の整数;yは0または1;mは、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、1.2未満である。Rとしては、ビフェニル基が好ましい。なお、芳香族炭化水素基は、置換基を有していてもよい。 In the general formula (C), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a methyl group; R 4 is an aromatic hydrocarbon having two or more aromatic rings having 10 to 20 carbon atoms. Group; AO is an oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms; x is an integer of 0 to 2; y is 0 or 1; m represents the average number of moles of the oxyalkylene group added, and is less than 1.2 . As R 4 , a biphenyl group is preferable. The aromatic hydrocarbon group may have a substituent.

具体的には、下記式(10)または下記式(11)のモノマーが好ましく、下記式(11)のモノマーがより好ましい。   Specifically, the monomer of the following formula (10) or the following formula (11) is preferable, and the monomer of the following formula (11) is more preferable.

上記式(11)のモノマーでは、nが小さい方が、後述する非逆テーパー形状のフォトスペーサーを得られ易い傾向がある。具体的には芳香環を2個以上含有するモノマー分子にオキシアルキレン鎖が含まれる場合、オキシアルキレン鎖数n(オキシアルキレン基の付加モル数)の50%以上が1であることが好ましい。オキシアルキレン基の平均付加モル数は1.2未満であり、1であるモノマー[(c2)オキシアルキレン鎖長が1であるオキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入し得るモノマーという場合がある]が最も好ましい。上記式(11)のモノマーとしては、市販品として、たとえば商品名「HRD−01」、日本蒸溜社製が使用できる。 In the monomer of the above formula (11), when n is smaller, a non-inverted taper-shaped photo spacer described later tends to be easily obtained. Specifically, when an oxyalkylene chain is contained in a monomer molecule containing two or more aromatic rings, 50% or more of the number n of oxyalkylene chains (the number of added oxyalkylene groups) is preferably 1. The average number of moles of added oxyalkylene groups is 1 . 2 less der is, 1 a monomer [(c2) oxyalkylene chain length has an oxyalkylene group is 1, may be referred to a monomer capable of introducing two or more aromatic rings at the end of the side chain] is Most preferred. As the monomer of the above formula (11), a commercially available product, for example, trade name "HRD-01", manufactured by Nippon Distillery Co., Ltd. can be used.

(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーの含有量は、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、0.5質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、8質量%以上がさらに好ましく、70質量%以下が好ましく、60質量%以下がより好ましい。(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーの含有量が少ないと、得られる硬化物の硬度(弾性回復率の向上効果)が不足するおそれがある。一方、(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーの含有量が多くなり過ぎると、(a)酸基導入モノマーや(b)環構造導入モノマーの含有量が少なくなるため、アルカリ現像性が劣ったり、得られる硬化物の耐熱性や基板密着性が不充分となったりするおそれがある。   The content of the monomer capable of introducing an oxyalkylene group into the side chain (c) is preferably 0.5% by mass or more, and more preferably 5% by mass or more in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer. It is more preferably 8% by mass or more, further preferably 70% by mass or less, and more preferably 60% by mass or less. When the content of the monomer capable of introducing an oxyalkylene group into the side chain (c) is small, the hardness (effect of improving the elastic recovery rate) of the obtained cured product may be insufficient. On the other hand, if the content of the monomer capable of introducing an oxyalkylene group into the side chain (c) is too large, the content of the (a) acid group-introducing monomer or the (b) ring structure-introducing monomer decreases, so that alkali development The resulting cured product may be inferior in heat resistance or may have insufficient heat resistance or substrate adhesion.

上記(c2)オキシアルキレン鎖長が1であるオキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入し得るモノマーの含有量は、上記ベースポリマーを合成するモノマー成分100質量%中20質量%以上である。 The content of the monomer (c2) having an oxyalkylene group having an oxyalkylene chain length of 1 and capable of introducing two or more aromatic rings at the end of a side chain is 100% by mass of a monomer component for synthesizing the base polymer. Ru der least 20 mass% in.

本発明のアルカリ可溶性樹脂は、上述した構成単位以外に、更に側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位を有していても良い。側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位は、例えば、(c3)側鎖に2以上のオキシアルキレン基を導入し得るモノマーを重合して得ることができる。   The alkali-soluble resin of the present invention may further have a constitutional unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain, in addition to the constitutional units described above. The constitutional unit having two or more oxyalkylene groups in its side chain can be obtained, for example, by polymerizing a monomer capable of introducing two or more oxyalkylene groups in its (c3) side chain.

側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位としては、例えば、下記一般式(12)で表される構成単位が挙げられる。   Examples of the constitutional unit having two or more oxyalkylene groups in the side chain include constitutional units represented by the following general formula (12).

上記一般式(12)中、R21、R22およびR23はそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基であり、好ましくは水素原子である。R24は、炭素数が1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、炭素数が2〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルケニル基または炭素数が6〜20の芳香族炭化水素基であり、好ましくは水素原子、炭素数が1〜20の直鎖状のアルキル基、炭素数が2〜20の直鎖状のアルケニル基または炭素数が6〜12の芳香族炭化水素基であり、より好ましくは炭素数が1〜10の直鎖状のアルキル基または炭素数が6〜12の芳香族炭化水素基であり、さらに好ましくは炭素数が1〜5の直鎖状のアルキル基、フェニル基またはビフェニル基であり、特に好ましくはメチル基、フェニル基またはビフェニル基である。なお、アルキル基、アルケニル基および芳香族炭化水素基は、置換基を有していてもよい。AOは、オキシアルキレン基を表す。AOで表されるオキシアルキレン基の炭素数は2〜20であり、好ましくは2〜10であり、より好ましくは2〜5であり、さらに好ましくは2である。上記繰り返し単位は1種または2種以上のオキシアルキレン基を含み得る。xは0〜2の整数を表す。yは0または1を表す。mは、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、2以上であり、好ましくは2〜100であり、より好ましくは2〜50であり、さらに好ましくは2〜15である。 In the general formula (12), R 21 , R 22 and R 23 are each independently a hydrogen atom or a methyl group, and preferably a hydrogen atom. R 24 is a linear or branched alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a linear or branched alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. And preferably a hydrogen atom, a linear alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a linear alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms. , More preferably a linear alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, and further preferably a linear alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, It is a phenyl group or a biphenyl group, particularly preferably a methyl group, a phenyl group or a biphenyl group. The alkyl group, alkenyl group and aromatic hydrocarbon group may have a substituent. A 1 O represents an oxyalkylene group. The oxyalkylene group represented by A 1 O has 2 to 20 carbon atoms, preferably 2 to 10 carbon atoms, more preferably 2 to 5 carbon atoms, and further preferably 2 carbon atoms. The repeating unit may contain one or more oxyalkylene groups. x 1 represents an integer of 0 to 2. y 1 represents 0 or 1. m 1 represents the average number of moles of the oxyalkylene group added, and is 2 or more, preferably 2 to 100, more preferably 2 to 50, and further preferably 2 to 15.

(c3)側鎖に2以上のオキシアルキレン基を導入し得るモノマーとしては、例えば、下記一般式(13)で表されるモノマーが挙げられる。   Examples of the monomer capable of introducing two or more oxyalkylene groups into the side chain (c3) include monomers represented by the following general formula (13).

一般式(13)中、R21、R22、R23、R24、AO、x、yおよびmは、上記一般式(12)で説明したとおりである。 In the general formula (13), R 21 , R 22 , R 23 , R 24 , A 1 O, x 1 , y 1 and m 1 are as described in the general formula (12).

上記一般式(13)で表されるモノマーの具体例としては、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO9モル)、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO13モル)、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、ブトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート(EO4―17モル)、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート(PO5モル)、EO変性クレゾール(メタ)アクリレート(EO2モル)等が挙げられる。なお、本明細書において、例えば「EO2モル」、「PO5モル」等の表記は、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表す。   Specific examples of the monomer represented by the general formula (13) include phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO4 mol), methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate (EO9 mol), methoxypolyethylene. Glycol (meth) acrylate (EO13 mol), methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, butoxydiethylene glycol (meth) acrylate, 2-ethylhexyldiethylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate. , Methoxy polypropylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol ( Data) acrylate (EO4-17 moles), nonylphenoxy polypropylene glycol (meth) acrylate (PO5 mol), EO-modified cresol (meth) acrylate (EO2 mol), and the like. In the present specification, the notations such as “EO2 mol” and “PO5 mol” represent the average number of moles of oxyalkylene groups added.

(c3)側鎖に2以上のオキシアルキレン基を導入し得るモノマーの含有量は、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、好ましくは0.5質量%〜55質量%であり、より好ましくは1質量%〜50質量%であり、さらに好ましくは1質量%〜45質量%である。   The content of the monomer capable of introducing two or more oxyalkylene groups in the side chain (c3) is preferably 0.5% by mass to 55% by mass in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer. Is more preferable, 1 mass% to 50 mass% is more preferable, and 1 mass% to 45 mass% is further preferable.

上記アルカリ可溶性樹脂が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する繰り返し単位を有することにより、得られる硬化物の架橋密度がより高く、強度もより高い硬化物を形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。このようなアルカリ可溶性樹脂と、後述の多官能モノマー(好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマー)とを組み合わせて硬化性樹脂組成物を構成する場合に、上記効果は特に顕著となる。   When the alkali-soluble resin has a repeating unit having two or more oxyalkylene groups in its side chain, the resulting cured product has a higher crosslink density and can form a cured product having a higher strength. Can be obtained. When the curable resin composition is constituted by combining such an alkali-soluble resin and a polyfunctional monomer described later (preferably a polyfunctional monomer having no oxyalkylene group), the above effect becomes particularly remarkable. ..

1−1−4 (d)側鎖に2個以上の芳香環を導入し得るモノマー
(d)側鎖に2個以上の芳香環を導入し得るモノマーは、本明細書においては、上記(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマーとして例示されるモノマー以外のモノマーを指す。2個以上の芳香環とは、ナフタレン環やアントラセン環のような縮合環であってもよい。
1-1-4 (d) Monomer capable of introducing two or more aromatic rings into the side chain (d) The monomer capable of introducing two or more aromatic rings into the side chain is referred to in the above (c). ) Refers to monomers other than the monomers exemplified as the monomer capable of introducing an oxyalkylene group into the side chain. The two or more aromatic rings may be condensed rings such as naphthalene ring and anthracene ring.

(d)側鎖に2個以上の芳香環を導入し得るモノマーとしては、ビフェニル(メタ)アクリレート、o−フェニルフェノールグリシジルエーテルアクリレート等のビフェニル基含有モノマー;ビニルナフタレン等のナフタレン環含有モノマー;ターフェニル(メタ)アクリレート等のターフェニル基含有モノマー等が挙げられる。   (D) As the monomer capable of introducing two or more aromatic rings into the side chain, biphenyl group-containing monomers such as biphenyl (meth) acrylate and o-phenylphenol glycidyl ether acrylate; naphthalene ring-containing monomers such as vinylnaphthalene; Examples include terphenyl group-containing monomers such as phenyl (meth) acrylate.

1−1−5 (e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマー
本発明のアルカリ可溶性樹脂に、アミド結合を導入することも好適な態様である。アミド結合の導入によって、硬化性樹脂組成物から得られる硬化物の強度をより向上させることができる。その理由は明確にはなっていないが、アミド結合が存在していると、ポリマー分子鎖間で水素結合等のインタラクションが強くなるため、強い圧縮力が負荷された後でも、より優れた回復力が発現するものと推定される。
1-1-5 (e) Monomer capable of introducing an amide bond into the side chain It is also a preferred embodiment to introduce an amide bond into the alkali-soluble resin of the present invention. By introducing the amide bond, the strength of the cured product obtained from the curable resin composition can be further improved. Although the reason for this is not clear, the presence of amide bonds causes stronger interactions such as hydrogen bonds between polymer molecular chains, resulting in better recovery even after a strong compressive force is applied. Is presumed to occur.

(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーは、下記一般式(14)で表される。   The monomer (e) capable of introducing an amide bond into the side chain is represented by the following general formula (14).

一般式(14)中、R(a)、R(b)は、それぞれ独立して、(メタ)アクリロイル基以外の水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基を表す。置換基の例としては、フェニル基、水酸基、アルコキシ基等が挙げられる。R(a)とR(b)がこれらと結合している窒素原子と共に、非金属原子からなる環構造を形成してもよく、例えば、下記一般式(15)に示される環構造が挙げられる。   In formula (14), R (a) and R (b) each independently represent a hydrogen atom other than a (meth) acryloyl group, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, or a substituted aryl group. Examples of the substituent include a phenyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group and the like. R (a) and R (b) may form a ring structure composed of a non-metal atom together with the nitrogen atom bonded to them, and examples thereof include the ring structure represented by the following general formula (15). ..

(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーとしては、(メタ)アクリロイルモルホリン(モルフォリノ(メタ)アクリレート)、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−イソブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)アクリルアミド、ダイアセトン(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ベンジル(メタ)アクリルアミド、N−トリフェニルメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることができる。   (E) As the monomer capable of introducing an amide bond into the side chain, (meth) acryloylmorpholine (morpholino (meth) acrylate), (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N-isobutyl (meth) acrylamide, Nt-butyl (meth) acrylamide, Nt-octyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) Acrylamide, N-hydroxyethyl (meth) acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth) acrylamide, N-benzyl (meth) acrylamide, N-triphenylmethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethyi (Meth) acrylamide and the like, may be used alone or two or more thereof.

(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーの含有量は、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、2質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、70質量%以下が好ましく、40質量%以下がさらに好ましい。(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーが少ないと、充分な強度が発現しない場合がある。(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーが多すぎると、親水性が強くなりすぎる場合があるため、基板への密着性が低下する場合があり、良好な形状を持つスペーサーを形成しにくい場合がある。   (E) The content of the monomer capable of introducing an amide bond into the side chain is preferably 2% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer. It is preferably 70% by mass or less, and more preferably 40% by mass or less. (E) When the amount of the monomer capable of introducing an amide bond into the side chain is small, sufficient strength may not be exhibited. (E) If there are too many monomers that can introduce an amide bond in the side chain, the hydrophilicity may become too strong, and thus the adhesion to the substrate may decrease, so that a spacer having a good shape is formed. It can be difficult.

1−1−6 その他の共重合可能なモノマー
ベースポリマーを得る際に用いられるモノマー成分は、上述した(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーと(b)主鎖に環構造を導入し得るモノマーといった必須モノマー、好適に用いられる(c)側鎖にオキシアルキレン基を導入し得るモノマー、(d)側鎖に2個以上の芳香環を導入し得るモノマー、(e)側鎖にアミド結合を導入し得るモノマーのほかに、得られる硬化物の特性をより向上させるため、必要に応じてその他の共重合可能なモノマーを含むことができる。このような共重合可能なモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t−ブチル、(メタ)アクリル酸メチル2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メタ)アクリル酸トリシクロデシル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル等の(メタ)アクリル酸エステル類;スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物;ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物;エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物;酢酸ビニル等のビニルエステル類等が挙げられる。
1-1-6 Other Copolymerizable Monomers The monomer components used for obtaining the base polymer include (a) a monomer capable of introducing an acid group in the side chain and (b) a ring structure introduced in the main chain. An essential monomer such as a monomer that can be used, a suitably used monomer that can introduce an oxyalkylene group in a side chain, a monomer that can introduce two or more aromatic rings in a side chain, and a monomer that can introduce two or more aromatic rings in a side chain. In addition to the monomer capable of introducing an amide bond, in order to further improve the properties of the resulting cured product, other copolymerizable monomer may be contained, if necessary. Examples of such a copolymerizable monomer include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n- (meth) acrylate. Butyl, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, methyl 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylic acid esters such as tricyclodecyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate; styrene, vinyltoluene, α -Aromatic vinyl compounds such as methylstyrene; Butadiene such as butadiene and isoprene Or substituted butadiene compounds, ethylene, propylene, vinyl chloride, ethylene or substituted ethylene compound such as acrylonitrile, vinyl esters such as vinyl acetate and the like.

これらの中でも、(メタ)アクリル酸エステル類が好ましいものとして挙げられる。これらの共重合可能なその他のモノマーは、1種のみ用いても2種以上を併用してもよい。   Among these, (meth) acrylic acid esters are preferred. These other copolymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらの共重合可能なその他のモノマーを用いる場合、ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中の含有割合は特に制限されないが、好ましくは0質量%〜55質量%、より好ましくは5質量%〜50質量%、さらに好ましくは10質量%〜45質量%である。   When these other copolymerizable monomers are used, the content ratio in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer is not particularly limited, but preferably 0% by mass to 55% by mass, more preferably Is 5% by mass to 50% by mass, and more preferably 10% by mass to 45% by mass.

1−2 側鎖に炭素−炭素二重結合を導入したアルカリ可溶性樹脂
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、上記ベースポリマーの酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として炭素−炭素二重結合を有する化合物を付加したポリマーを含む。このように、ベースポリマーの側鎖に炭素−炭素二重結合を導入することも好適な態様である。炭素−炭素二重結合は、上記ベースポリマーを合成するモノマー成分に、側鎖に炭素−炭素二重結合を導入し得るポリマーを加えることによっても、アルカリ可溶性樹脂に導入できる。
1-2 Alkali-Soluble Resin Introducing Carbon-Carbon Double Bond in Side Chain The alkali-soluble resin of the present invention has a carbon-carbon group having a part or all (preferably a part) of the acid group of the base polymer as a reaction point. It includes a polymer to which a compound having a carbon double bond is added. Thus, introducing a carbon-carbon double bond into the side chain of the base polymer is also a preferred embodiment. The carbon-carbon double bond can also be introduced into the alkali-soluble resin by adding a polymer capable of introducing a carbon-carbon double bond to a side chain to the monomer component for synthesizing the base polymer.

アルカリ可溶性樹脂が側鎖に炭素−炭素二重結合を有する繰り返し単位を有していれば、アルカリ可溶性樹脂同士がラジカル重合可能となり、あるいは、アルカリ可溶性樹脂と多官能モノマーとがラジカル重合可能となるので、三次元的に架橋した硬化物を得ることができ、より露光感度が高く、かつ、より破壊強度が高い硬化物を形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。アルカリ可溶性樹脂の側鎖に炭素−炭素二重結合を導入する方法は後述する。   If the alkali-soluble resin has a repeating unit having a carbon-carbon double bond in the side chain, the alkali-soluble resins can be radically polymerized with each other, or the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer can be radically polymerized with each other. Therefore, a three-dimensionally crosslinked cured product can be obtained, and a curable resin composition that can form a cured product having higher exposure sensitivity and higher breaking strength can be obtained. The method of introducing a carbon-carbon double bond into the side chain of the alkali-soluble resin will be described later.

アルカリ可溶性樹脂としては、ベースポリマーの酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として、炭素−炭素二重結合を有する化合物を付加したポリマーが好ましい。   As the alkali-soluble resin, a polymer in which a compound having a carbon-carbon double bond is added with a part or all (preferably a part) of the acid group of the base polymer as a reaction point is preferable.

本発明のアルカリ可溶性樹脂は、ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。   The alkali-soluble resin of the present invention may be a random copolymer or a block copolymer.

1−3 分子量
上記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、テトラヒドロフラン(THF)溶媒によるゲル・パーミエーション・クロマトグラフ法(GPC)で測定した値が、22,000以上である。上限としては200,000以下が好ましい。より好ましくは23,000〜150,000であり、さらに好ましくは25,300〜100,000、特に好ましくは25,500〜80,000、最も好ましくは26,000〜50,000である。このような範囲であれば、後述する多官能モノマーとの相溶性が向上し、耐熱分解性が向上して硬化性樹脂組成物とした時のアウトガスを低減でき、さらに現像性も向上し、パターン形成時間を大幅に短縮することができ、かつ、硬化物形成に適切な粘度を有する塗布性が良好な硬化性樹脂組成物を得ることができる。
1-3 Molecular Weight The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is 22,000 or more when measured by gel permeation chromatography (GPC) using a tetrahydrofuran (THF) solvent. The upper limit is preferably 200,000 or less. It is more preferably 23,000 to 150,000, further preferably 25,300 to 100,000, particularly preferably 25,500 to 80,000, and most preferably 26,000 to 50,000. Within such a range, the compatibility with the polyfunctional monomer described later is improved, the thermal decomposition resistance is improved, and the outgas when the curable resin composition is reduced, and the developability is further improved, and the pattern is improved. It is possible to obtain a curable resin composition that can significantly reduce the formation time and that has a suitable viscosity for forming a cured product and has good coatability.

上記アルカリ可溶性樹脂の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4であり、特に好ましくは2〜4である。分子量分布が上記の範囲内にあると、塗布性や硬化物の耐薬品性が優れる傾向がある。   The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the alkali-soluble resin is preferably 1.1 to 6, more preferably 1.2 to 4, and particularly preferably 2 to 2. It is 4. When the molecular weight distribution is within the above range, the coatability and the chemical resistance of the cured product tend to be excellent.

上記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、好ましくは20mgKOH/g〜300mgKOH/gであり、より好ましくは30mgKOH/g〜200mgKOH/gであり、さらに好ましくは40mgKOH/g〜150mgKOH/gである。このような範囲であれば、アルカリ現像性により優れ、現像残渣の発生がより少なく、かつ、より密着性に優れる硬化物を形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。   The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 20 mgKOH / g to 300 mgKOH / g, more preferably 30 mgKOH / g to 200 mgKOH / g, and further preferably 40 mgKOH / g to 150 mgKOH / g. Within such a range, it is possible to obtain a curable resin composition that is more excellent in alkali developability, has less development residue, and is capable of forming a cured product having more excellent adhesion.

1−4 重量減少率
本発明のアルカリ可溶性樹脂は、熱重量測定装置を用いて窒素雰囲気下230℃30分で測定した重量減少率が0〜3.0%である。上記重量減少率は、熱重量測定装置TGA−50(SHIMADZU製)を用いて測定できる。上記重量減少率が上記範囲にあると、耐熱分解性がより高くなり、硬化性樹脂組成物とした時のアウトガスをより低減できる。このため、フォトスペーサーとして表示装置に使用した場合、表示性能の低下をより抑制できる。
1-4 weight reduction rate the alkali-soluble resin of the present invention, the weight reduction rate was measured at 230 ° C. 30 minutes under a nitrogen atmosphere using a thermogravimetric measuring apparatus is from 0 to 3.0%. The weight reduction rate can be measured using a thermogravimetric measuring device TGA-50 (manufactured by SHIMADZU). When the weight reduction rate is within the above range, the thermal decomposition resistance is higher, and the outgas when the curable resin composition is prepared can be further reduced. Therefore, when it is used as a photo spacer in a display device, it is possible to further suppress deterioration in display performance.

1−5 ベースポリマーの製造方法
ベースポリマーは、ベースポリマーを構成するためのモノマー成分を重合して合成する。重合方法としては、溶液重合法が好ましく、重合温度や重合濃度(重合濃度=[モノマー混合物の全質量/(モノマー混合物の全質量+溶媒質量)]×100とする)は、使用するモノマー混合物(モノマー成分)の組成や比率、目標とするポリマーの分子量によって異なるが、好ましくは、重合温度40〜150℃、重合濃度5〜60質量%とするのがよく、さらに好ましくは、重合温度60〜130℃、重合濃度10〜50質量%とするのがよい。
1-5 Manufacturing Method of Base Polymer The base polymer is synthesized by polymerizing the monomer components for constituting the base polymer. As the polymerization method, a solution polymerization method is preferable, and the polymerization temperature and the polymerization concentration (polymerization concentration = [total mass of monomer mixture / (total mass of monomer mixture + mass of solvent)] × 100) are the monomer mixture to be used ( Although it depends on the composition and ratio of the (monomer component) and the molecular weight of the target polymer, the polymerization temperature is preferably 40 to 150 ° C., and the polymerization concentration is 5 to 60% by mass, and more preferably the polymerization temperature is 60 to 130. C., and the polymerization concentration is preferably 10 to 50% by mass.

本発明では、ベースポリマーの重合に際し、連鎖移動剤を用いてもよい。連鎖移動剤としては、n−ドデシルメルカプタンやβ―メルカプトプロピオン酸のような公知の単官能チオール化合物の他、両末端メルカプト変性ポリシロキサン(信越シリコーン社製;X−22−167B;下記式(16);Rはアルキレン基)といった2官能チオール化合物、側鎖がメルカプト変性された側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサン(信越シリコーン社製;KF2001,KF2004;下記式(17);Rはアルキレン基)を使用できる。   In the present invention, a chain transfer agent may be used in the polymerization of the base polymer. Examples of the chain transfer agent include known monofunctional thiol compounds such as n-dodecyl mercaptan and β-mercaptopropionic acid, as well as mercapto-modified polysiloxane having both ends (manufactured by Shin-Etsu Silicone Co .; X-22-167B; ); R is a bifunctional thiol compound such as alkylene group), a side chain mercapto-modified side chain polyfunctional mercapto-modified polysiloxane (manufactured by Shin-Etsu Silicone; KF2001, KF2004; the following formula (17); Can be used.

両末端メルカプト変性ポリシロキサンを用いた場合は、ベースポリマー2分子が、両末端メルカプト変性ポリシロキサンを介して結合したポリマーが得られる。また、側鎖多官能メルカプト変性ポリシロキサンを用いた場合には、側鎖のメルカプト基のところにベースポリマーが結合した分岐型のポリマーが得られる。これらのメルカプト変性ポリシロキサンを用いることで、得られるポリマーにはポリシロキサン結合が導入されることとなる。これらのメルカプト変性ポリシロキサンの1種または2種以上と、n−ドデシルメルカプタンやβ―メルカプトプロピオン酸のような公知の単官能チオール化合物を組み合わせて用いてもよい。メルカプト変性ポリシロキサンを用いると、弾性回復率がより一層向上する。この理由は、ポリマー中に溶媒に難溶のポリシロキサン部分を導入することで、樹脂組成物中でポリシロキサン部分の凝集が起こり、擬似的な微粒子を形成し、この擬似的な微粒子が弾性回復率の向上に寄与しているためと推測される。   When both-terminal mercapto-modified polysiloxane is used, two base polymer molecules are bonded via both-terminal mercapto-modified polysiloxane. When a side chain polyfunctional mercapto-modified polysiloxane is used, a branched polymer having a base polymer bonded to the side chain mercapto group is obtained. By using these mercapto-modified polysiloxanes, a polysiloxane bond is introduced into the obtained polymer. One or more of these mercapto-modified polysiloxanes may be used in combination with a known monofunctional thiol compound such as n-dodecyl mercaptan or β-mercaptopropionic acid. The elastic recovery rate is further improved by using the mercapto-modified polysiloxane. The reason for this is that by introducing a polysiloxane part which is hardly soluble in the solvent into the polymer, aggregation of the polysiloxane part occurs in the resin composition, forming pseudo fine particles, and the pseudo fine particles recover elasticity. It is presumed that it is contributing to the improvement of the rate.

上記連鎖移動剤は、モノマー成分100質量部に対し0.1〜20質量部の範囲で用いることが好ましく、0.1〜10質量部がより好ましく、0.1質量部以上2質量部未満がさらに好ましい。この範囲であれば、重量平均分子量(Mw)が22,000〜200,000程度のアルカリ可溶性樹脂を得ることができる。Mwが200,000を超える場合、最終的に得られるアルカリ可溶性樹脂が高粘度となりすぎて塗膜を形成しにくくなり、一方、22,000未満では、現像性・耐熱分解性が不十分となる。   The chain transfer agent is preferably used in the range of 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 0.1 to 10 parts by mass, and 0.1 part by mass or more and less than 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the monomer component. More preferable. Within this range, an alkali-soluble resin having a weight average molecular weight (Mw) of about 22,000 to 200,000 can be obtained. When Mw exceeds 200,000, the finally obtained alkali-soluble resin becomes too high in viscosity to make it difficult to form a coating film, while when it is less than 22,000, developability and thermal decomposition resistance become insufficient. ..

上記モノマー成分の重合において溶媒を用いる場合には、通常のラジカル重合反応で使用される溶媒を用いればよい。具体的には、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム;ジメチルスルホキシド;等が挙げられる。これら溶媒は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。   When a solvent is used in the polymerization of the above-mentioned monomer components, the solvent used in a usual radical polymerization reaction may be used. Specifically, for example, tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, and other ethers; acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, and other ketones; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether Esters such as ether acetate and 3-methoxybutyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monomethyl ether; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and ethylbenzene; Chloroform; dimethyl sulfoxide; and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

上記モノマー成分をラジカル重合する際には、必要に応じて、通常用いられるラジカル重合開始剤を添加してもよい。重合開始剤としては特に限定されないが、例えば、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、1,1’−アゾビス(シクロヘキサンカルボニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル−2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)等のアゾ化合物が挙げられる。これら重合開始剤は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。なお、開始剤の使用量は、用いるモノマー成分の組成や、反応条件、目標とするポリマーの分子量等に応じて適宜設定すればよく、特に限定されないが、ゲル化することなく重量平均分子量が数万のポリマーを得ることができる点で、全モノマー成分100質量部に対して、0.1質量部〜15質量部、より好ましくは0.5質量部〜10質量部とするのがよい。   When radically polymerizing the above-mentioned monomer component, a radical polymerization initiator which is usually used may be added, if necessary. The polymerization initiator is not particularly limited, and examples thereof include cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, lauroyl peroxide, benzoyl peroxide, t-butylperoxyisopropyl carbonate, t-amyl. Organic peroxides such as peroxy-2-ethylhexanoate and t-butylperoxy-2-ethylhexanoate; 2,2′-azobis (isobutyronitrile), 1,1′-azobis (cyclohexane Carbonitrile), 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), dimethyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate), and other azo compounds. These polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The amount of the initiator used may be appropriately set depending on the composition of the monomer components used, the reaction conditions, the molecular weight of the target polymer, and the like, and is not particularly limited, but the weight average molecular weight is several without gelation. From the viewpoint of being able to obtain tens of thousands of polymers, the amount is preferably 0.1 parts by mass to 15 parts by mass, more preferably 0.5 parts by mass to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of all the monomer components.

1−6 アルカリ可溶性樹脂への炭素−炭素二重結合の付与
アルカリ可溶性樹脂への炭素−炭素二重結合の付与は、ベースポリマーの酸基の一部または全部(好ましくは、一部)を反応点として炭素−炭素二重結合を有する化合物を付加することにより行うことができる。ベースポリマーへの炭素−炭素二重結合導入反応は公知の方法が採用でき、酸素や他の重合禁止剤および触媒の存在下で、炭素−炭素二重結合導入用モノマーをベースポリマー中の酸基に反応させればよい。
1-6 Application of carbon-carbon double bond to alkali-soluble resin Application of carbon-carbon double bond to alkali-soluble resin involves reacting a part or all (preferably a part) of the acid group of the base polymer. It can be carried out by adding a compound having a carbon-carbon double bond as a point. A known method can be adopted for the carbon-carbon double bond introduction reaction to the base polymer, and the carbon-carbon double bond introduction monomer is added to the acid group in the base polymer in the presence of oxygen or other polymerization inhibitor and a catalyst. To react with.

ベースポリマーに炭素−炭素二重結合を付与するための処理は、ベースポリマーを得る際に用いた(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーの種類によって異なり、例えば、以下の方法が挙げられる。
(i)(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーとして、(メタ)アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いた場合:
(メタ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(またはm−、またはp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基と二重結合とを有する化合物を付加させたり、2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基と二重結合を有する化合物を付加させたり、(メタ)アクリル酸2−ビニロキシエトキシエチル等のビニルエーテル基と炭素−炭素二重結合とを有する化合物を付加させることができる。
(ii)(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーとして、無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いた場合:
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基と炭素−炭素二重結合とを有する化合物を付加させることができる。
(iii)(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーとして、(メタ)アクリル酸グリシジル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、o−(またはm−、またはp−)ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いた場合:
(メタ)アクリル酸等の酸基と重合性炭素−炭素二重結合とを有する化合物を付加させることができる。
The treatment for imparting a carbon-carbon double bond to the base polymer differs depending on the type of the monomer (a) used to obtain the base polymer and capable of introducing an acid group into the side chain, and examples thereof include the following methods. Be done.
(I) When a monomer having a carboxyl group such as (meth) acrylic acid or itaconic acid is used as the monomer capable of introducing an acid group into the side chain (a):
A compound having an epoxy group and a double bond such as glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl glycidyl ether may be added. A compound having a double bond with an isocyanate group such as 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate, or a vinyl ether group such as 2-vinyloxyethoxyethyl (meth) acrylate and a carbon-carbon double bond. The compound having can be added.
(Ii) (a) When a monomer having a carboxylic acid anhydride group such as maleic anhydride or itaconic anhydride is used as the monomer capable of introducing an acid group into the side chain:
A compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and a carbon-carbon double bond can be added.
(Iii) (a) Glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, o- (or m-, or p-) vinylbenzyl as a monomer capable of introducing an acid group into the side chain When a monomer having an epoxy group such as glycidyl ether is used:
A compound having an acid group such as (meth) acrylic acid and a polymerizable carbon-carbon double bond can be added.

これらの中でも、ベースポリマー中の酸基(後処理で付与した場合も含む)に対し、(メタ)アクリル酸グリシジルを付加する方法が、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を簡便に導入でき、着色が少ないという利点を有する。なお、この炭素−炭素二重結合導入反応によって酸基が消費されるため、消費される酸基の量(炭素−炭素二重結合導入量)を勘案して、モノマー成分中の(a)酸基導入モノマーの使用量を決定することが好ましい。アルカリ可溶性樹脂中の酸基が少な過ぎると、アルカリ現像性が発現しないおそれがあるからである。よって、上記観点からの最終的に得られるアルカリ可溶性樹脂の酸価は、20〜250mgKOH/g程度が好ましく、30〜200mgKOH/gがより好ましく、35〜150mgKOH/gがさらに好ましい。   Among these, the method of adding glycidyl (meth) acrylate to the acid group in the base polymer (including the case of being added in the post-treatment) can easily introduce an ethylenically unsaturated double bond into the side chain. However, it has the advantage of less coloring. Since the acid group is consumed by this carbon-carbon double bond introduction reaction, the amount of the consumed acid group (carbon-carbon double bond introduction amount) is taken into consideration, and the (a) acid in the monomer component is taken into consideration. It is preferable to determine the amount of the group-introduced monomer used. This is because if there are too few acid groups in the alkali-soluble resin, alkali developability may not be exhibited. Therefore, from the above viewpoint, the acid value of the finally obtained alkali-soluble resin is preferably about 20 to 250 mgKOH / g, more preferably 30 to 200 mgKOH / g, and further preferably 35 to 150 mgKOH / g.

(メタ)アクリル酸グリシジルは、ベースポリマー100質量部に対し、5質量部以上反応させることが好ましく、10質量部以上がさらに好ましく、15質量部以上が特に好ましい。(メタ)アクリル酸グリシジルが5質量部よりも少ないと、得られるアルカリ可溶性樹脂の側鎖の二重結合量が少なすぎて、露光感度が低下したり、緻密な硬化塗膜が形成できないため、特性が低下したりするおそれがある。また、(メタ)アクリル酸グリシジルが酸基に付加して生成する水酸基は、アルカリ現像液への溶解性を高める作用を有するが、この水酸基が少なくなることにより、アルカリ現像液への溶解度が不足するおそれがある。(メタ)アクリル酸グリシジルの付加量は、ベースポリマー100質量部に対し、170質量部以下が好ましく、150質量部以下がより好ましく、140質量部以下がさらに好ましい。(メタ)アクリル酸グリシジルの付加量が多過ぎると、樹脂組成物の保存安定性が低下したり、有機溶媒への溶解性が低下したりすることがある。   Glycidyl (meth) acrylate is preferably reacted in an amount of 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, particularly preferably 15 parts by mass or more, with respect to 100 parts by mass of the base polymer. When the amount of glycidyl acrylate (meth) is less than 5 parts by mass, the amount of double bonds in the side chain of the resulting alkali-soluble resin is too small and the exposure sensitivity is lowered, or a dense cured coating film cannot be formed. The characteristics may deteriorate. Further, a hydroxyl group formed by the addition of glycidyl (meth) acrylate to an acid group has an action of enhancing the solubility in an alkali developing solution, but the decrease in the hydroxyl group causes insufficient solubility in the alkali developing solution. May occur. The addition amount of glycidyl (meth) acrylate is preferably 170 parts by mass or less, more preferably 150 parts by mass or less, and further preferably 140 parts by mass or less, relative to 100 parts by mass of the base polymer. If the amount of glycidyl (meth) acrylate added is too large, the storage stability of the resin composition may be reduced, or the solubility in an organic solvent may be reduced.

また、アルカリ可溶性樹脂の側鎖への炭素−炭素二重結合の導入は、(メタ)アクリル酸に環状ラクトンを開環付加反応させたモノマーをモノマー成分に加えてベースポリマーを合成し、このモノマー由来の構造単位の末端カルボキシル基を、例えば3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート等で変性して行うこともできる。また、ベースポリマーのカルボキシル基に対して環状ラクトンを反応させ、次いで例えば3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート等で変性する方法等も挙げられる。環状ラクトンの開環付加反応ならびに3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート等での変性は、公知の方法で行うことができる。   Further, the introduction of the carbon-carbon double bond into the side chain of the alkali-soluble resin is carried out by synthesizing a base polymer by adding a monomer obtained by subjecting (meth) acrylic acid to a ring-opening addition reaction of a cyclic lactone to synthesize a base polymer. It is also possible to modify the terminal carboxyl group of the derived structural unit with, for example, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate. Further, a method in which a cyclic lactone is reacted with the carboxyl group of the base polymer and then modified with, for example, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate or the like can be mentioned. The ring-opening addition reaction of the cyclic lactone and modification with 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate or the like can be performed by known methods.

2.硬化性樹脂組成物
本発明の硬化性樹脂組成物は、上記アルカリ可溶性樹脂と、多官能モノマーとを含む。実用的には、本発明の硬化性樹脂組成物は、重合開始剤(好ましくは光重合開始剤)、溶剤および添加剤をさらに含み得る。
本発明の硬化性樹脂組成物はネガ型の感光性樹脂組成物に用いることが特に好ましい。
2. Curable resin composition The curable resin composition of the present invention contains the above-mentioned alkali-soluble resin and a polyfunctional monomer. Practically, the curable resin composition of the present invention may further contain a polymerization initiator (preferably a photopolymerization initiator), a solvent and an additive.
The curable resin composition of the present invention is particularly preferably used for a negative photosensitive resin composition.

本発明の硬化性樹脂組成物を用いれば、フォトリソグラフィにより、硬化物(好ましくはフォトスペーサー)を形成することができる。本発明の硬化性樹脂組成物において、上記アルカリ可溶性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の固形分に対して5〜60質量%含まれるのが好ましい。なお、固形分は、後述する測定方法によって求められるように、硬化物を形成する成分(硬化物の形成時に揮発する溶媒などを除く)の質量分を意味する。   By using the curable resin composition of the present invention, a cured product (preferably a photo spacer) can be formed by photolithography. In the curable resin composition of the present invention, the content of the alkali-soluble resin is preferably 5 to 60% by mass based on the solid content of the curable resin composition. The solid content means the mass content of the components forming the cured product (excluding the solvent that volatilizes during the formation of the cured product), as determined by the measurement method described below.

2−1 多官能モノマー
本発明の硬化性樹脂組成物に含まれる多官能モノマーとしては、分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物が好ましい。ラジカル重合性のしやすさを考えると、アクリル基を有する多官能モノマーがより好ましい。
2-1 Polyfunctional Monomer The polyfunctional monomer contained in the curable resin composition of the present invention is preferably a compound having at least two ethylenically unsaturated double bonds in the molecule. Considering the ease of radical polymerization, a polyfunctional monomer having an acrylic group is more preferable.

多官能モノマーとしては、例えば、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の多官能芳香族ビニル系モノマー;(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート等の多官能(メタ)アクリレート類;これらのモノマーをカプロラクトン変性またはアルキレンオキサイド変性した多官能モノマー等が挙げられる。   Examples of polyfunctional monomers include divinylbenzene, diallylphthalate, diallylbenzenephosphonate, and other polyfunctional aromatic vinyl monomers; (di) ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane diamine. (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol Tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol di (meth) acrylate, tripentaerythritol tri (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate , Tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, and other polyfunctional (meth) acrylates; these monomers are caprolactone-modified or alkylene oxides Examples include modified polyfunctional monomers and the like.

なかでも好ましくは、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート等が好ましい。これらの多官能モノマーを用いれば、官能基数が多いので架橋密度の高い硬化物を得ることができる。   Among them, preferably, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, Tris (hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate and the like are preferable. When these polyfunctional monomers are used, a cured product having a high crosslink density can be obtained because of the large number of functional groups.

上記多官能(メタ)アクリレート類の官能数は、好ましくは4以上であり、より好ましくは5以上である。また、硬化収縮をより抑制する観点から、官能数は10以下が好ましく、より好ましくは9以下であり、更に好ましくは8以下である。また、分子量としては特に限定されないが、取り扱いの観点から、例えば、2000以下が好適である。   The functional number of the polyfunctional (meth) acrylates is preferably 4 or more, more preferably 5 or more. Further, from the viewpoint of further suppressing cure shrinkage, the number of functional groups is preferably 10 or less, more preferably 9 or less, and further preferably 8 or less. The molecular weight is not particularly limited, but from the viewpoint of handling, for example, 2000 or less is suitable.

本発明では、上記多官能モノマーは、オキシアルキレン基を有していてもよく、有していなくてもよい。好ましくは、オキシアルキレン基を有さない多官能モノマーが用いられる。   In the present invention, the polyfunctional monomer may or may not have an oxyalkylene group. Preferably, a polyfunctional monomer having no oxyalkylene group is used.

上記多官能モノマーの含有割合は、硬化性樹脂組成物の固形分100質量部中、好ましくは30質量部〜95質量部であり、より好ましく40質量部〜90質量部であり、さらに好ましくは55質量部〜90質量部である。   The content ratio of the polyfunctional monomer is preferably 30 parts by mass to 95 parts by mass, more preferably 40 parts by mass to 90 parts by mass, and further preferably 55 parts by mass in 100 parts by mass of the solid content of the curable resin composition. Parts by mass to 90 parts by mass.

本発明では、上記アルカリ可溶性樹脂と多官能モノマーの含有割合が、質量比で下記(数式1)を満たすことが好ましい。
(アルカリ可溶性樹脂)/(多官能モノマー)=40/60〜10/90 (数式1)
さらに好ましくは下記(数式2)を満たすことが好ましい。
(アルカリ可溶性樹脂)/(多官能モノマー)=35/65〜15/85 (数式2)
上記関係式を満たすことで、現像性および得られる硬化物の弾性回復率を高く維持できる傾向がある。
In the present invention, the content ratios of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer preferably satisfy the following (Formula 1) in mass ratio.
(Alkali-soluble resin) / (polyfunctional monomer) = 40/60 to 10/90 (Formula 1)
More preferably, the following (formula 2) is satisfied.
(Alkali-soluble resin) / (Polyfunctional monomer) = 35 / 65-15 / 85 (Formula 2)
By satisfying the above relational expression, the developability and the elastic recovery rate of the obtained cured product tend to be kept high.

2−2 重合開始剤
本発明の硬化性樹脂組成物は、実用的には重合開始剤を含有する。中でも光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤は、光(紫外線、電子線を含む)により分解および/または反応し、ラジカルを発生させるものであればどのようなものでもよい。
2-2 Polymerization initiator The curable resin composition of the present invention practically contains a polymerization initiator. Of these, photopolymerization initiators are preferred. The photopolymerization initiator may be any one that decomposes and / or reacts with light (including ultraviolet rays and electron beams) to generate radicals.

光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1等のα―アミノケトン類;2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]−フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン等のα−ヒドロキシケトン類;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で、または2種類以上組み合わせて用いてもよい。   Examples of the photopolymerization initiator include benzoin and its alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, and benzoin ethyl ether; acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, and 1,1-dichloroacetophenone. Anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone and 1-chloroanthraquinone; thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and 2-chlorothioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzophenones such as benzophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino- Α-Amino ketones such as lopan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy Α-hydroxyketones such as 2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2-methyl-propan-1-one; acylphosphine oxides, xanthones and the like. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more kinds.

中でも好ましくはα−アミノケトン系化合物が用いられ、より好ましくは、下記一般式(18)で表されるα−アミノケトン系化合物が用いられる。このような化合物を用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ、径が細いフォトスペーサーを形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。   Of these, an α-aminoketone compound is preferably used, and an α-aminoketone compound represented by the following general formula (18) is more preferably used. By using such a compound, it is possible to obtain a curable resin composition which can form a photospacer having a non-inverted taper shape and a small diameter.

一般式(18)中、XおよびXはそれぞれ独立して、メチル基、エチル基、ベンジル基または4−メチルベンジル基であり、好ましくはメチル基である。−NXはジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基またはモルフォリノ基であり、好ましくはジメチルアミノ基またはモルフォリノ基であり、より好ましくはモルフォリノ基である。Xは、水素原子、炭素数が1〜8のアルキル基、炭素数が1〜8のアルコキシ基、炭素数が1〜8のアルキルチオ基、ジメチルアミノ基、またはモルフォリノ基であり、好ましくは炭素数が1〜8のアルキルチオ基またはモルフォリノ基であり、より好ましくは炭素数が1〜3のアルキルチオ基またはモルフォリノ基であり、さらに好ましくはメチルチオ基である。 In formula (18), X 1 and X 2 each independently represent a methyl group, an ethyl group, a benzyl group or a 4-methylbenzyl group, and preferably a methyl group. —NX 3 X 4 is a dimethylamino group, a diethylamino group or a morpholino group, preferably a dimethylamino group or a morpholino group, and more preferably a morpholino group. X 5 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 8 carbon atoms, a dimethylamino group, or a morpholino group, and preferably carbon It is an alkylthio group or morpholino group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably an alkylthio group or morpholino group having 1 to 3 carbon atoms, and further preferably a methylthio group.

さらに好ましくはα−ヒドロキシケトン系化合物を併用しても良く、より好ましくは下記一般式(19)または下記一般式(20)で表されるα−ヒドロキシケトン系化合物が用いられ、さらに好ましくは下記一般式(20)で表されるα−ヒドロキシケトン系化合物が用いられる。このような化合物を用いれば、非逆テーパー形状であり、かつ径が細いフォトスペーサーを形成し得る硬化性樹脂組成物を得ることができる。   More preferably, an α-hydroxyketone-based compound may be used in combination, more preferably an α-hydroxyketone-based compound represented by the following general formula (19) or the following general formula (20) is used, and further preferably: The α-hydroxyketone compound represented by the general formula (20) is used. By using such a compound, it is possible to obtain a curable resin composition capable of forming a photospacer having a non-inverted taper shape and a small diameter.

一般式(19)中、Xは水素原子、炭素数が1〜10のアルキル基、または炭素数が1〜10のアルコキシ基であり、好ましくは水素原子、炭素数が1〜5のアルキル基または炭素数が1〜5のアルコキシ基であり、より好ましくは水素原子または炭素数が1〜2のアルコキシ基である。XおよびXはそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜10のアルキル基であり、好ましくは炭素数が1〜5のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。また、XとXとが結合して炭素数が4〜8(好ましくは6〜8、より好ましくは6)のシクロアルキル基を形成していてもよい。 In the general formula (19), X 6 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. Alternatively, it is an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom or an alkoxy group having 1 to 2 carbon atoms. X 7 and X 8 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably a methyl group. Further, X 7 and X 8 may be bonded to each other to form a cycloalkyl group having 4 to 8 carbon atoms (preferably 6 to 8 and more preferably 6).

一般式(20)中、X〜X12はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜10のアルキル基であり、好ましくは炭素数が1〜5のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。また、XとX10、および/またはX11とX12とが結合して炭素数が4〜8のシクロアルキル基を形成していてもよい。 In formula (20), X 9 to X 12 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably It is a methyl group. Further, X 9 and X 10 , and / or X 11 and X 12 may be bonded to each other to form a cycloalkyl group having 4 to 8 carbon atoms.

上記アルキル基、アルコキシ基、アルキル基およびシクロアルキル基は、置換基を有していてもよい。上記置換基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、スルホ基、シアノ基、ハロゲン原子等が挙げられる。   The above alkyl group, alkoxy group, alkyl group and cycloalkyl group may have a substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a carboxyl group, a sulfo group, a cyano group, and a halogen atom.

上記光重合開始剤の含有割合は、硬化性樹脂組成物の固形分中0.01質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましい。また、40質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましく、10質量%以下が特に好ましい。   The content ratio of the photopolymerization initiator is preferably 0.01% by mass or more and more preferably 0.1% by mass or more in the solid content of the curable resin composition. Moreover, 40 mass% or less is preferable, 20 mass% or less is more preferable, and 10 mass% or less is especially preferable.

また、上記光重合開始剤の含有割合は、上記アルカリ可溶性樹脂と上記多官能モノマーとの合計質量100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜40質量部、より好ましくは0.5質量部〜20質量部、特に好ましくは1質量部〜10質量部である。上記範囲とすることで、ラジカル硬化をより十分に進めることができ、かつ残留したラジカル重合開始剤の溶出等の防止や耐溶剤性の確保がより容易になる。   In addition, the content ratio of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 parts by mass to 40 parts by mass, and more preferably 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. Parts by mass to 20 parts by mass, particularly preferably 1 part by mass to 10 parts by mass. Within the above range, radical curing can be more sufficiently promoted, and it becomes easier to prevent elution of the remaining radical polymerization initiator and to secure solvent resistance.

また、光重合開始剤に加えて光重合開始助剤を組み合わせて用いてもよい。光重合開始助剤を複数の組み合わせで用いることもできる。光重合開始助剤の具体例としては、1,3,5−トリス(3−メルカプトプロピオニルオキシエチル)−イソシアヌレート、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−イソシアヌレート(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)NR1)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート等の3官能チオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工社製、カレンズMT(登録商標)PE1)等の4官能チオール化合物;ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−プロピオネート)等の6官能チオール化合物等の多官能チオールが挙げられる。   Further, in addition to the photopolymerization initiator, a photopolymerization initiation assistant may be used in combination. It is also possible to use a combination of a plurality of photopolymerization initiation assistants. Specific examples of the photopolymerization initiation aid include 1,3,5-tris (3-mercaptopropionyloxyethyl) -isocyanurate and 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -isocyanurate (Showa Denens Co., Ltd., Karenz MT (registered trademark) NR1), trifunctional thiol compounds such as trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate); pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto). Butyrate) (Karenzu MT (registered trademark) PE1 manufactured by Showa Denko KK) and other tetrafunctional thiol compounds; and difunctional thiol compounds such as dipentaerythritol hexakis (3-propionate) and other polyfunctional thiol compounds.

2−3 添加剤
本発明の硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。添加剤としては、例えば、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、染料、顔料、消泡剤、カップリング剤(好ましくはシランカップリング剤)、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤、分散剤、無機材料等が挙げられる。
2-3 Additive The curable resin composition of the present invention may contain any appropriate additive as necessary. Examples of the additives include fillers such as aluminum hydroxide, talc, clay, and barium sulfate, dyes, pigments, defoamers, coupling agents (preferably silane coupling agents), leveling agents, sensitizers, releasing agents. Examples include mold agents, lubricants, plasticizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, polymerization inhibitors, thickeners, dispersants, and inorganic materials.

本発明の硬化性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することで、硬化性樹脂組成物の保存安定性が向上し、用途によっては現像後の解像度が向上する。重合禁止剤の具体例としては、フェノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、4−t−ブチルカテコール、2,6−ジ(t−ブチル)−p−クレゾール、フェノチアジン、4−メトキシフェノール等が挙げられる。   The curable resin composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor. By containing the polymerization inhibitor, the storage stability of the curable resin composition is improved, and the resolution after development is improved depending on the use. Specific examples of the polymerization inhibitor include phenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, 4-t-butylcatechol, 2,6-di (t-butyl) -p-cresol, phenothiazine and 4-methoxyphenol.

重合禁止剤の含有量は、硬化性樹脂組成物の固形分中0.01質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましい。一方、硬化物の硬度を高く保つ観点からは5質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましい。   The content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01% by mass or more, and more preferably 0.1% by mass or more in the solid content of the curable resin composition. On the other hand, from the viewpoint of keeping the hardness of the cured product high, 5% by mass or less is preferable, and 1% by mass or less is more preferable.

本発明の硬化性樹脂組成物は、紫外線吸収剤(UV吸収剤)を含有してもよい。スペーサーを作製する際に、上径に比べて下径が大きくなる傾向があるが、これは、ガラス基板に達した光が反射して、スペーサー底部の塗膜が上からの入射光とガラス基板からの反射光の両方を受光して光硬化が進みすぎるためである。組成物中に紫外線吸収剤が含有されていると、余剰の光エネルギーを吸収するため、スペーサーの下径が大きくなるのを効果的に抑制できる。   The curable resin composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber (UV absorber). When making a spacer, the lower diameter tends to be larger than the upper diameter, but this is because the light that reaches the glass substrate is reflected and the coating film on the bottom of the spacer causes incident light from above and the glass substrate. This is because the photocuring proceeds too much by receiving both of the reflected light from. When the composition contains an ultraviolet absorber, excess light energy is absorbed, and thus it is possible to effectively suppress an increase in the lower diameter of the spacer.

紫外線吸収剤としては、波長280〜380nmに最大吸収波長(ピーク)を有するものが好ましい。光重合開始剤のピークとは重ならないためである。具体的には、下記化学式で示される化合物が、最大吸収波長が光重合開始剤のピークと重ならず、かつ、入手が容易であり、好ましい。   As the ultraviolet absorber, one having a maximum absorption wavelength (peak) at a wavelength of 280 to 380 nm is preferable. This is because it does not overlap with the peak of the photopolymerization initiator. Specifically, the compound represented by the following chemical formula is preferable because the maximum absorption wavelength does not overlap with the peak of the photopolymerization initiator and the compound is easily available.

上記の化合物のうち、チヌビン(登録商標)シリーズとCHIMASSORB(登録商標)は、BASF・ジャパン社から、SEESORB(登録商標)はシプロ化成社から、それぞれ入手可能である。   Among the above compounds, the TINUVIN (registered trademark) series and CHIMASSORB (registered trademark) are available from BASF Japan Co., Ltd., and SEESORB (registered trademark) is available from Cypro Kasei Co., Ltd., respectively.

紫外線吸収剤の量は、硬化性樹脂組成物の固形分100質量%中、0.03〜1.0質量%とすることが好ましい。この範囲であれば、実用上問題ないレベルの弾性回復率を有し、かつ下径の小さなスペーサーを得ることができる。紫外線吸収剤を入れ過ぎると、光重合開始剤の量を増やしても、スペーサーの上側は硬化するが、下側が硬化不足となるおそれがあり、好ましくない。また、紫外線吸収剤が0.03質量%より少ないと、余剰の光を吸収することができず、ガラス基板に対する反射光の抑制が不充分となって、スペーサーの下径を小さくできないおそれがある。紫外線吸収剤は、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上がさらに好ましく、1.0質量%以下がより好ましく、0.75質量%以下がさらに好ましく、0.6質量%以下が特に好ましい。   The amount of the ultraviolet absorber is preferably 0.03 to 1.0 mass% in 100 mass% of the solid content of the curable resin composition. Within this range, it is possible to obtain a spacer having a small elastic diameter and a level of elastic recovery that is practically unproblematic. If the ultraviolet absorber is added too much, even if the amount of the photopolymerization initiator is increased, the upper side of the spacer is cured, but the lower side may be insufficiently cured, which is not preferable. On the other hand, if the amount of the ultraviolet absorber is less than 0.03% by mass, it is impossible to absorb the excess light and the reflected light with respect to the glass substrate is insufficiently suppressed, so that the lower diameter of the spacer may not be reduced. .. The UV absorber is more preferably 0.05% by mass or more, further preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1.0% by mass or less, further preferably 0.75% by mass or less, 0.6% by mass. The following are particularly preferred.

紫外線吸収剤の含有割合は、アルカリ可溶性樹脂と多官能モノマーとの合計100質量部に対して、好ましくは0.05質量部〜10質量部、より好ましくは0.1質量部〜5質量部であり、さらに好ましくは0.2質量部〜3質量部である。紫外線吸収剤の含有割合が、10質量部を越える場合、非逆テーパー形状のフォトスペーサーが得られないおそれがある。   The content ratio of the ultraviolet absorber is preferably 0.05 parts by mass to 10 parts by mass, more preferably 0.1 parts by mass to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total of the alkali-soluble resin and the polyfunctional monomer. Yes, and more preferably 0.2 to 3 parts by mass. If the content ratio of the ultraviolet absorber exceeds 10 parts by mass, a non-inverted taper-shaped photo spacer may not be obtained.

本発明の硬化性樹脂組成物は、基板との密着性を発現するのにカップリング剤を必須としないが、カップリング剤を適量入れることでさらに密着性を発現することができる。   The curable resin composition of the present invention does not require a coupling agent in order to express the adhesiveness with the substrate, but the adhesiveness can be further expressed by adding an appropriate amount of the coupling agent.

カップリング剤は、無機物の酸化表面と加水分解反応や縮合反応をすることによって結合するという性質を有するものである。このようなカップリング剤として具体的には、例えば、ビニル基、(メタ)アクリル基、エポキシ基、アミノ基、メルカプト基、イソシアナート等の反応性基を有するカップリング剤が好適である。中でも、反応性基としてビニル基、(メタ)アクリロイル基及び/又はエポキシ基を有するものが好ましい。より好ましくは(メタ)アクリロイル基である。また、中心金属として、例えば、ケイ素、ジルコニア、チタン及び/又はアルミニウム等を含むものが好適であり、中でも、ケイ素を中心金属として有するものが好ましく、より好ましくはシランカップリング剤である。シランカップリング剤を用いることにより、硬化物の密着性及び表面硬度をより充分なものとすることができる。カップリング剤の含有量は、硬化性樹脂組成物の固形分総量100質量%中、0.5質量%以上であることが適当である。硬化性樹脂組成物の保存安定性等の観点から、20質量%以下であることが好適である。より好ましくは15質量%以下、更に好ましくは10質量%以下である。   The coupling agent has a property of binding to an oxidized surface of an inorganic substance by a hydrolysis reaction or a condensation reaction. As such a coupling agent, specifically, for example, a coupling agent having a reactive group such as a vinyl group, a (meth) acrylic group, an epoxy group, an amino group, a mercapto group, or an isocyanate is suitable. Among them, those having a vinyl group, a (meth) acryloyl group and / or an epoxy group as a reactive group are preferable. More preferably, it is a (meth) acryloyl group. Further, as the central metal, for example, those containing silicon, zirconia, titanium, and / or aluminum are preferable, and among them, those having silicon as the central metal are preferable, and a silane coupling agent is more preferable. By using the silane coupling agent, the adhesiveness and surface hardness of the cured product can be made more sufficient. The content of the coupling agent is suitably 0.5% by mass or more in 100% by mass of the total solid content of the curable resin composition. From the viewpoint of storage stability and the like of the curable resin composition, it is preferably 20% by mass or less. It is more preferably 15% by mass or less, still more preferably 10% by mass or less.

2−4 溶剤
本発明の硬化性樹脂組成物は、任意の適切な溶剤を含み得る。溶剤としては、例えば、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート等のエステル類;メタノール、エタノール、イソプロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルコール類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;クロロホルム、ジメチルスルホキシド等が挙げられる。溶剤の量は、所望とする硬化性樹脂組成物の粘度に応じて、任意の適切な量に設定され得る。
2-4 Solvent The curable resin composition of the present invention may contain any appropriate solvent. Examples of the solvent include ethers such as tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol dimethyl ether; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxy. Esters such as butyl acetate; alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene; chloroform, dimethyl sulfoxide, etc. Can be mentioned. The amount of the solvent can be set to any appropriate amount depending on the desired viscosity of the curable resin composition.

各成分を均一に溶解し、現像性、透明性を向上させることができる点で、アルカリ可溶性樹脂の重合時に用いる溶媒としてエステル系溶媒が好ましく用いられる。また、大気圧下の沸点が110〜250℃である化合物がより好ましい。   An ester solvent is preferably used as the solvent used during the polymerization of the alkali-soluble resin, because each component can be uniformly dissolved and the developability and transparency can be improved. Further, a compound having a boiling point of 110 to 250 ° C. under atmospheric pressure is more preferable.

沸点を110℃以上とすることで、硬化時に適度に乾燥が進み、良好な硬化物が得られる。一方、沸点を250℃以下とした場合、硬化物中の残存溶剤量を少なく抑えることができ、熱硬化時の硬化収縮をより低減できるため、より良好な硬化物が得られる。   By setting the boiling point to 110 ° C. or higher, drying proceeds appropriately during curing, and a good cured product can be obtained. On the other hand, when the boiling point is 250 ° C. or less, the amount of the residual solvent in the cured product can be suppressed to a small amount, and the curing shrinkage at the time of heat curing can be further reduced, so that a better cured product can be obtained.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記以外のアセテート類、ケトン類、エーテル類などの各種溶媒を含有してもよい。   The curable resin composition of the present invention may contain various solvents such as acetates, ketones and ethers other than the above.

特に、溶媒としてエステル系溶媒とアルコール系溶媒を併用する形態が好ましい形態の一つであり、アルコール系溶媒の量が、全溶媒100質量%に対して、25質量%以下であることがさらに好ましく、20質量%以下であることが特に好ましい。   In particular, a mode in which an ester-based solvent and an alcohol-based solvent are used in combination as a solvent is one of the preferable modes, and the amount of the alcohol-based solvent is more preferably 25% by mass or less based on 100% by mass of the total solvent. , 20 mass% or less is particularly preferable.

本発明の硬化性樹脂組成物における溶媒の含有量に特に制限はなく、用途に応じて任意の量用いることができる。例えば、溶媒量を硬化性樹脂組成物全体の40〜90質量%とするのが好ましい。   There is no particular limitation on the content of the solvent in the curable resin composition of the present invention, and any amount can be used depending on the application. For example, the amount of solvent is preferably 40 to 90% by mass of the entire curable resin composition.

2−5 硬化性樹脂組成物の用途
本発明の硬化性樹脂組成物は、現像性、硬化性に優れ、かつ、所望の形状を有する成形体を精度よく形成することができる。このような本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば、フォトスペーサーの形成に用いられる他、光硬化性塗料、光硬化性インクとしても用いられ得る。また、カラーフィルタ、オーバーコート、絶縁膜、保護膜等の材料としても用いられ得る。本発明の硬化性樹脂組成物は、光照射部位を硬化させるネガ型用の硬化性樹脂組成物として使用した場合に、特に上記の効果を発揮できる。
2-5 Use of Curable Resin Composition The curable resin composition of the present invention is excellent in developability and curability, and can accurately form a molded article having a desired shape. Such a curable resin composition of the present invention can be used as, for example, a photocurable coating material or a photocurable ink, in addition to being used for forming a photo spacer. It can also be used as a material for a color filter, an overcoat, an insulating film, a protective film, or the like. The curable resin composition of the present invention can exert the above effects particularly when used as a negative type curable resin composition for curing a light irradiation site.

2−6 硬化性樹脂組成物の製造方法
本発明の硬化性樹脂組成物は、例えば、アルカリ可溶性樹脂、多官能モノマー、光重合開始剤、および必要によりラジカル重合性オリゴマー、その他の添加剤を任意の溶媒に加え、撹拌して均一に溶解させた後、得られた溶液を濾過することにより得られる。
2-6 Method for producing curable resin composition The curable resin composition of the present invention may contain, for example, an alkali-soluble resin, a polyfunctional monomer, a photopolymerization initiator, and optionally a radically polymerizable oligomer and other additives. It is obtained by adding the solvent to the above-mentioned solvent, stirring and dissolving it uniformly, and then filtering the obtained solution.

3.硬化物
本発明の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物を硬化させて得られる(好ましくは後述するフォトスペーサー)。硬化物の形成方法は、特に限定されるものではないが、例えば、上記硬化性樹脂組成物を、ガラスや透明プラスチックフィルム等の基板に塗布、乾燥し、塗膜を形成し、次いで、フォトリソグラフィにより形成することができる。本発明の硬化物は、現像性が向上し、パターン形成時間が短縮され、生産性が向上した上記硬化性樹脂組成物から製造されるため、高い弾性回復率を保ちながら生産性が高い。
3. Cured Product The cured product of the present invention is obtained by curing the curable resin composition (preferably a photo spacer described later). The method for forming a cured product is not particularly limited, and for example, the curable resin composition is applied to a substrate such as glass or a transparent plastic film and dried to form a coating film, and then photolithography. Can be formed by. Since the cured product of the present invention is produced from the curable resin composition having improved developability, reduced pattern formation time, and improved productivity, it has high productivity while maintaining a high elastic recovery rate.

現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができる。アルカリ成分としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が好ましい。アルカリの濃度としては、0.01〜5質量%が好ましく、0.02〜3質量%がさらに好ましく、0.03〜1質量%が最も好ましい。アルカリ濃度が上記範囲より低いと上記硬化性樹脂の溶解性が不足するおそれがあり、逆に高いと溶解力が高すぎて現像性が劣る場合がある。さらに、アルカリ水溶液には、界面活性剤を添加してもよい。   At the time of development, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. Highly sensitive development can be performed with less environmental load. As the alkaline component, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate and the like are preferable. The alkali concentration is preferably 0.01 to 5% by mass, more preferably 0.02 to 3% by mass, and most preferably 0.03 to 1% by mass. If the alkali concentration is lower than the above range, the curable resin may have insufficient solubility. On the contrary, if the alkali concentration is high, the solubility may be too high and the developability may be poor. Further, a surfactant may be added to the alkaline aqueous solution.

フォトリソグラフィでは、例えば、塗膜から150μm程度の距離にフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(TME−150RNS、TOPCON社製)によって50mJ/cmの強度(365nm照度換算)で紫外線を照射することにより、硬化性樹脂組成物の塗膜を光硬化させる。紫外線照射後、塗布膜に0.05質量%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて40秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗して現像することにより、硬化物(柱状成型体)を得ることできる。その後、ポストベーク(後加熱)を行ってもよい。フォトマスクまでの距離、UV強度、現像条件等は、適宜変更が可能である。 In photolithography, for example, a UV aligner (TME-150RNS, manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultra-high pressure mercury lamp with a photomask placed at a distance of about 150 μm from the coating film has an intensity of 50 mJ / cm 2 ( The coating film of the curable resin composition is photocured by irradiating with ultraviolet rays at an illumination intensity of 365 nm). After UV irradiation, 0.05 mass% potassium hydroxide aqueous solution was sprayed on the coating film for 40 seconds by a spin developing machine to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area was washed with pure water for 10 seconds. By developing, a cured product (columnar molded body) can be obtained. After that, post baking (post heating) may be performed. The distance to the photomask, UV intensity, development conditions, etc. can be changed as appropriate.

4.フォトスペーサー
本発明のフォトスペーサーは、上記硬化物を含んでいる。本発明のフォトスペーサーは、上記硬化性樹脂組成物を用いて得ることができる。上記硬化性樹脂組成物を用いれば、基板密着性に優れ、弾性回復率および破壊強度が高いフォトスペーサーを形成することができる。さらには本発明の硬化性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィで製造することにより、本発明のフォトスペーサーは形状に優れている。例えば、高さ方向で実質的に径差のないフォトスペーサー10[図1(a)]、または下部より上部の方が細いフォトスペーサー20[図1(b)]を得ることができる。なお、本明細書においては、高さ方向で実質的に径差のない形状および下部より上部の方が細い形状を、「非逆テーパー形状」と総称する。
4. Photospacer The photospacer of the present invention contains the above cured product. The photo spacer of the present invention can be obtained using the curable resin composition. By using the curable resin composition, it is possible to form a photospacer having excellent adhesion to a substrate and high elastic recovery and breaking strength. Furthermore, the photospacer of the present invention is excellent in shape by being produced by photolithography using the curable resin composition of the present invention. For example, it is possible to obtain a photo spacer 10 [FIG. 1 (a)] having substantially no difference in diameter in the height direction, or a photo spacer 20 [FIG. 1 (b)] whose upper portion is thinner than its lower portion. In the present specification, a shape having substantially no diameter difference in the height direction and a shape in which the upper portion is narrower than the lower portion are collectively referred to as a “non-inverted taper shape”.

本発明のフォトスペーサーは、液晶ディスプレイ、より具体的には液晶ディスプレイの液晶セルのスペーサーとして好適に利用することができる。   The photo spacer of the present invention can be suitably used as a spacer of a liquid crystal display, more specifically, a liquid crystal cell of a liquid crystal display.

上記フォトスペーサーは、フォトリソグラフィにより形成することができる。具体的には、上記硬化性樹脂組成物を基板に塗布した後に乾燥させ、得られた塗膜上にフォトマスクを配置して露光し、塗膜を硬化させ、その後、現像することにより、フォトスペーサーを形成することができる。フォトリソグラフィによれば、任意の位置にフォトスペーサーを形成することができるので、例えば、液晶表示装置において、ブラックマトリックス上にのみフォトスペーサーを形成して、スペーサーを要因とした表示特性の低下を防止することができる。   The photo spacer can be formed by photolithography. Specifically, the curable resin composition is applied to a substrate and then dried, and a photomask is placed on the obtained coating film to expose the coating film, and the coating film is cured, and then developed. Spacers can be formed. According to photolithography, a photo spacer can be formed at any position. For example, in a liquid crystal display device, a photo spacer is formed only on a black matrix to prevent deterioration of display characteristics due to the spacer. can do.

上記硬化性樹脂組成物の塗布方法としては、例えば、スピンコーター、バーコーター、グラビアコーター、ロールコーター、ナイフコーター、アプリケーター等を用いる方法が挙げられる。乾燥温度は、好ましくは40℃〜200℃であり、より好ましくは70℃〜100℃である。乾燥時間は、好ましくは1分間〜30分間であり、より好ましくは2分間〜10分間である。   Examples of the method for applying the curable resin composition include a method using a spin coater, a bar coater, a gravure coater, a roll coater, a knife coater, an applicator, or the like. The drying temperature is preferably 40 ° C to 200 ° C, more preferably 70 ° C to 100 ° C. The drying time is preferably 1 minute to 30 minutes, more preferably 2 minutes to 10 minutes.

上記フォトマスクの配置位置は、所望とするフォトスペーサーのサイズに応じて、任意の適切な位置に配置される。フォトマスクは塗膜の上部に配置され、塗膜とフォトマスクとの距離は、好ましくは0μm〜500μmであり、より好ましく10μm〜400μmである。   The photomask is arranged at any appropriate position according to the desired size of the photo spacer. The photomask is arranged on the coating film, and the distance between the coating film and the photomask is preferably 0 μm to 500 μm, more preferably 10 μm to 400 μm.

上記露光時のUV照射強度(365nm照度換算)は、好ましくは10mJ/cm〜200mJ/cmであり、より好ましくは20mJ/cm〜150mJ/cmである。 UV radiation intensity during the exposure (365 nm intensity equivalent), preferably 10mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 , more preferably 20mJ / cm 2 ~150mJ / cm 2 .

上記現像に際しては、アルカリ水溶液を用いることが好ましい。環境への負荷が少なく高感度の現像を行うことができるからである。アルカリ成分としては、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム等が用いられる。アルカリ水溶液のアルカリ濃度は、好ましくは0.01質量%〜5質量%であり、より好ましくは0.02質量%〜3質量%である。このような範囲であれば、上記硬化性樹脂組成物を適切に溶解して、現像性よくフォトスペーサーを形成することができる。アルカリ水溶液には界面活性剤をさらに添加してもよい。   An alkaline aqueous solution is preferably used for the development. This is because development with high sensitivity can be performed with less load on the environment. As the alkaline component, for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate or the like is used. The alkali concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.01% by mass to 5% by mass, more preferably 0.02% by mass to 3% by mass. Within such a range, the photocurable resin composition can be appropriately dissolved to form the photospacer with good developability. A surfactant may be further added to the alkaline aqueous solution.

現像後に、ポストベークを行ってもよい。ポストベーク時の加熱温度は、好ましくは150℃〜300℃である、より好ましくは180℃〜250℃である。加熱時間は、好ましくは10分〜90分であり、より好ましくは20分〜60分である。本発明の硬化性樹脂組成物が、側鎖に2以上のオキシアルキレン基を有する構成単位を有するアルカリ可溶性樹脂を含む場合、ポストベークにより、架橋密度の高いフォトスペーサーを形成することができる。   Post-baking may be performed after the development. The heating temperature during post-baking is preferably 150 ° C to 300 ° C, more preferably 180 ° C to 250 ° C. The heating time is preferably 10 minutes to 90 minutes, more preferably 20 minutes to 60 minutes. When the curable resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin having a constitutional unit having two or more oxyalkylene groups in its side chain, post-baking can form a photospacer having a high crosslink density.

本発明のフォトスペーサーの形状としては、例えば、円柱状、角柱状、円錐台形状、角錐台形状等が挙げられる。フォトスペーサーの最下部における太さは、フォトスペーサーの水平断面積でいえば、好ましくは3μm〜500μmであり、より好ましくは15μm〜100μmである。フォトスペーサーの形状が、円柱状または円錐台形状である場合、フォトスペーサーの最下部における直径は、任意の適切な範囲に設定し得る。実用的には、好ましくは2μm〜20μmであり、より好ましくは3μm〜10μmである。フォトスペーサーの高さは、所望とする基板間隔に応じて、任意の適切な高さに設定され得る。フォトスペーサーの高さは、例えば、1μm〜10μmである。 Examples of the shape of the photo spacer of the present invention include a cylindrical shape, a prism shape, a truncated cone shape, and a truncated pyramid shape. Thickness at the bottom of the photo spacers, in terms of the horizontal cross-sectional area of the photo spacers, preferably 3μm 2 ~500μm 2, more preferably 15μm 2 ~100μm 2. When the shape of the photo spacer is a cylindrical shape or a truncated cone shape, the diameter at the bottom of the photo spacer can be set to any appropriate range. Practically, the thickness is preferably 2 μm to 20 μm, more preferably 3 μm to 10 μm. The height of the photo spacers can be set to any suitable height depending on the desired substrate spacing. The height of the photo spacer is, for example, 1 μm to 10 μm.

本発明のフォトスペーサーは、上記のとおり、非逆テーパー形状を有することが好ましい。フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/2)離れた部分H1の水平断面積A1と、フォトスペーサーの下部から高さ方向に(フォトスペーサーの高さL×1/4)離れた部分H2の水平断面積A2との比(A2/A1)は、好ましくは1〜1.3であり、より好ましくは1〜1.2である。A2/A1がこのような範囲のフォトスペーサーは、基板密着性に優れ、かつ、弾性回復率および破壊強度が高い。また、上記フォトスペーサーは、液晶層への気泡の混入を防いで、表示装置の表示性能の向上に寄与し得る。   As described above, the photo spacer of the present invention preferably has a non-inverted taper shape. The horizontal cross-sectional area A1 of the portion H1 distant from the bottom of the photo spacer in the height direction (photo spacer height L × 1/2) and the height direction from the bottom of the photo spacer (photo spacer height L × 1 / 4) The ratio (A2 / A1) of the distant portion H2 to the horizontal sectional area A2 is preferably 1 to 1.3, more preferably 1 to 1.2. The photo spacer having A2 / A1 in such a range has excellent substrate adhesion, and has high elastic recovery rate and breaking strength. Further, the photo spacer can prevent bubbles from being mixed into the liquid crystal layer and contribute to improvement in display performance of the display device.

1つの実施形態においては、本発明のフォトスペーサーの圧縮率は、10%〜90%である。圧縮率の評価方法は後述する。   In one embodiment, the compressibility of the photospacer of the present invention is 10% to 90%. The method of evaluating the compression rate will be described later.

本発明のフォトスペーサーの弾性回復率の下限は、好ましくは55%以上であり、より好ましくは60%以上であり、さらに好ましくは65%以上である。弾性回復率は大きければ大きいほど好ましく、本発明のフォトスペーサーの弾性回復率の上限は、例えば、100%である。弾性回復率が高いフォトスペーサーを用いることによって、液晶セルの製造上の問題を解決することができる。弾性回復率の評価方法は後述する。   The lower limit of the elastic recovery rate of the photospacer of the present invention is preferably 55% or more, more preferably 60% or more, and further preferably 65% or more. The larger the elastic recovery rate, the more preferable. The upper limit of the elastic recovery rate of the photo spacer of the present invention is, for example, 100%. By using the photo spacer having a high elastic recovery rate, it is possible to solve the problem in manufacturing the liquid crystal cell. The method for evaluating the elastic recovery rate will be described later.

1つの実施形態においては、形状が円柱状または円錐台形状であるフォトスペーサーの最下部における直径が6μm〜8μmである場合、本発明のフォトスペーサーの弾性回復率は、好ましくは65%〜100%である。   In one embodiment, when the diameter of the lowermost photo spacer having a cylindrical or truncated cone shape is 6 μm to 8 μm, the elastic recovery rate of the photo spacer of the present invention is preferably 65% to 100%. Is.

本発明のフォトスペーサーの弾性回復率b(%)と、フォトスペーサーの形状が円柱状または円錐台形状である場合のフォトスペーサーの最下部における直径a(μm)との関係は、実用的な直径aの範囲において、好ましくはb>3.1a+45である。   The relationship between the elastic recovery rate b (%) of the photo spacer of the present invention and the diameter a (μm) at the bottom of the photo spacer when the shape of the photo spacer is columnar or truncated cone is a practical diameter. In the range of a, preferably b> 3.1a + 45.

本発明のフォトスペーサーの破壊強度は、好ましくは20mN以上(例えば、20〜300mN)であり、より好ましくは50mN以上である。破壊強度は大きければ大きいほど好ましい。   The breaking strength of the photospacer of the present invention is preferably 20 mN or more (for example, 20 to 300 mN), more preferably 50 mN or more. The larger the breaking strength, the more preferable.

1つの実施形態においては、形状が円柱状または円錐台形状であるフォトスペーサーの最下部における直径が6μm〜8μmである場合、本発明のフォトスペーサーの破壊強度は、好ましくは145mN〜300mNである。   In one embodiment, when the photo spacer having a cylindrical or truncated cone shape has a diameter of 6 μm to 8 μm at the bottom, the fracture strength of the photo spacer of the present invention is preferably 145 mN to 300 mN.

5.表示装置
本発明には、本発明のフォトスペーサーを用いた表示装置(好ましくは液晶表示装置)も包含される。液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(a)薄膜トランジスタ(TFT)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、(b)駆動基板と、対向電極(導電層)を備えた対向基板とをフォトスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等が挙げられ、本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。液晶表示装置の構成や使用材料については、特に限定されず、公知の構成や材料がいずれも採用可能である。例えば、特開2011−180549号公報、特開2009−162871号公報に開示の構成や材料を採用できる。
5. Display Device The present invention also includes a display device (preferably a liquid crystal display device) using the photo spacer of the present invention. As a basic configuration mode of a liquid crystal display device, (a) a driving side substrate on which driving elements such as thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged, and a counter electrode (conductive layer) are provided. A structure in which a counter substrate and a counter substrate are arranged so as to face each other with a photo spacer interposed therebetween, and a liquid crystal material is sealed in a gap between the counter substrate, and (b) a drive substrate and a counter substrate having a counter electrode (conductive layer) as a photo spacer The liquid crystal display device of the present invention can be suitably applied to various liquid crystal display devices. The configuration and materials used for the liquid crystal display device are not particularly limited, and any known configuration and material can be adopted. For example, the configurations and materials disclosed in JP 2011-180549 A and JP 2009-162871 A can be adopted.

以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。なお、実施例および比較例の評価は次のようにして行った。また、以下では、部は質量部、%は質量%を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto. The evaluation of the examples and comparative examples was performed as follows. Moreover, below, a part means a mass part and% means the mass%.

[評価方法]
(1)重量平均分子量:Mw
GPC(HLC−8220GPC、東ソー社製)にてTHFを溶離液とし、カラムにTSKgel SuperHZM−N(東ソー社製)を用いて測定し、標準ポリスチレン換算にて算出した。
[Evaluation methods]
(1) Weight average molecular weight: Mw
THF was used as an eluent with GPC (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corp.), and TSKgel Super HZM-N (manufactured by Tosoh Corp.) was used as a column, and the standard polystyrene was calculated.

(2)固形分
実施例A−1〜A−8、参考例A−9、実施例A−10〜A−13ならびに比較例A−14〜A−18で調製した共重合体溶液をアルミカップに約0.3gはかり取り、アセトン約1gを加えて溶解させた後、常温で自然乾燥させた。その後、熱風乾燥機(商品名:PHH−101、エスペック株社製)を用い、140℃で3時間乾燥した後、デシケータ内で放冷し、重量を測定した。その重量減少量から、ポリマー溶液の固形分(アクリル系樹脂)の重量を計算した。
(2) Solid content The copolymer solutions prepared in Examples A-1 to A-8, Reference Example A-9, Examples A-10 to A-13, and Comparative Examples A-14 to A-18 were aluminum cups. About 0.3 g was weighed out, and about 1 g of acetone was added to dissolve it, followed by air drying at room temperature. Then, using a hot air dryer (trade name: PHH-101, manufactured by ESPEC CORPORATION), the product was dried at 140 ° C. for 3 hours, then allowed to cool in a desiccator, and the weight was measured. From the weight reduction amount, the weight of the solid content (acrylic resin) of the polymer solution was calculated.

(3)酸価
実施例A−1〜A−8、参考例A−9、実施例A−10〜A−13ならびに比較例A−14〜A−18で調製した共重合体溶液を1.5g精秤し、アセトン90gと水10gの混合溶媒に溶解させ、0.1NのKOH水溶液で滴定した。滴定は、自動滴定装置(商品名:COM−555、平沼産業社製)を用いて行い、固形分濃度から、ポリマー1g当たりの酸価を求めた(mgKOH/g)。
(3) Acid Value The copolymer solutions prepared in Examples A-1 to A-8, Reference Example A-9, Examples A-10 to A-13 and Comparative Examples A-14 to A-18 were 1. 5 g was precisely weighed, dissolved in a mixed solvent of 90 g of acetone and 10 g of water, and titrated with a 0.1 N KOH aqueous solution. The titration was performed using an automatic titrator (trade name: COM-555, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.), and the acid value per 1 g of the polymer was determined from the solid content concentration (mgKOH / g).

(4)耐熱分解性
実施例A−1〜A−8、参考例A−9、実施例A−10〜A−13ならびに比較例A−14〜A−18で調製した共重合体溶液2gにテトラヒドロフラン4gを加えた溶液をヘキサン60gに滴下し、沈殿したアクリル系樹脂を分離して取り出し、40℃で一晩真空乾燥した。得られたアクリル系樹脂粉末を10mg秤量し、熱重量測定装置TGA−50(SHIMADZU製)を用いて窒素雰囲気下230℃30分での重量減少率を測定した。
(4) Thermal decomposition resistance To 2 g of the copolymer solutions prepared in Examples A-1 to A-8, Reference Example A-9, Examples A-10 to A-13 and Comparative Examples A-14 to A-18. The solution obtained by adding 4 g of tetrahydrofuran was dropped into 60 g of hexane, and the precipitated acrylic resin was separated and taken out, followed by vacuum drying at 40 ° C. overnight. 10 mg of the obtained acrylic resin powder was weighed, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere was measured using a thermogravimetric analyzer TGA-50 (manufactured by SHIMADZU).

(5)現像性評価
硬化性樹脂組成物を、10cm角のガラス基板上にスピンコーターにより塗布し、オーブン中90℃で3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離のところに8μmφのパターンフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(TME−150RNS、TOPCON社製)によって50mJ/cmの強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗布膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて20〜90秒の条件で散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像した。 現像後に形成したスペーサーをレーザー顕微鏡(VK−9700、キーエンス社製)で確認し、未露光部が完全に除去される最短の時間(ブレイクタイム)で現像速度を評価した。
また、現像残渣については、現像後、硬化性樹脂組成物のとけ残りの有無を目視観察にて評価した。
(5) Evaluation of developability The curable resin composition was applied onto a 10 cm square glass substrate by a spin coater, and dried in an oven at 90 ° C for 3 minutes. After drying, a pattern photomask of 8 μmφ was placed at a distance of 100 μm from the coating film, and an intensity of 50 mJ / cm 2 was applied by a UV aligner (TME-150RNS, manufactured by TOPCON) equipped with an ultrahigh pressure mercury lamp of 2.0 kW. The sample was irradiated with ultraviolet rays (converted to illuminance of 365 nm). After UV irradiation, a 0.05% aqueous solution of potassium hydroxide was sprayed on the coating film by a spin developing machine for 20 to 90 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area was washed with pure water to 10 times. It was developed by washing with water for 2 seconds. The spacer formed after development was confirmed with a laser microscope (VK-9700, manufactured by Keyence Corporation), and the development speed was evaluated by the shortest time (break time) at which the unexposed portion was completely removed.
Regarding the development residue, after development, the presence or absence of unmelting residue of the curable resin composition was evaluated by visual observation.

(6)フォトスペーサーの密着性
形成されたフォトスペーサーの欠損の有無を目視にて観察し、以下の基準で評価した。
○:欠損無く、密着性が非常に優れる
△:一部に欠損あり、密着性がよい
×:全欠損、密着性が悪い
(6) Adhesion of Photo Spacer The presence or absence of defects in the formed photo spacer was visually observed and evaluated according to the following criteria.
◯: No adhesion and very good adhesion Δ: Partially deficiency and good adhesion ×: Total deficiency, poor adhesion

(7)フォトスペーサーの圧縮率
フォトスペーサーの圧縮率を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、80mNまでの荷重を負荷したのち0.49mNまで除荷して、負荷時の荷重−変形量曲線および徐荷時の荷重−変形量曲線を作成した。このとき、負荷時の荷重80mNでの変形量をL1とて、下記式により、圧縮率を算出した。
圧縮率(%)=L1×100/スペーサー高さ
(7) Compressibility of Photo Spacer The compressibility of the photo spacer was measured using a micro compression tester (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). With a 100 μm square flat indenter, the load speed and unloading speed were both 4.7 mN / sec, a load of up to 80 mN was applied, and then unloading to 0.49 mN was performed. A load-deformation amount curve at time was created. At this time, the compression rate was calculated by the following equation, with the deformation amount under load of 80 mN under load being L1.
Compressibility (%) = L1 × 100 / spacer height

(8)フォトスペーサーの弾性回復率
フォトスペーサーの弾性回復率を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、80mNまでの荷重を負荷したのち0.49mNまで除荷して、負荷時の荷重−変形量曲線および徐荷時の荷重−変形量曲線を作成した。このとき、負荷時の荷重80mNでの変形量をL1とし、除荷時の荷重0.49mNでの変形量をL2として、下記式により、弾性回復率を算出した。
弾性回復率(%)=(L1−L2)×100/L1
(8) Elastic Recovery Rate of Photospacer The elastic recovery rate of the photospacer was measured using a micro compression tester (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). With a 100 μm square flat indenter, the load speed and unloading speed were both 4.7 mN / sec, a load of up to 80 mN was applied, and then unloading to 0.49 mN was performed. A load-deformation amount curve at time was created. At this time, the elastic recovery rate was calculated by the following formula, with the amount of deformation under load of 80 mN under load being L1 and the amount of deformation under load of 0.49 mN during unloading being L2.
Elastic recovery rate (%) = (L1-L2) × 100 / L1

(9)フォトスペーサーの破壊強度
フォトスペーサーの破壊強度を、微小圧縮試験機(商品名:HM2000、フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。100μm角の平面圧子により、負荷速度および徐荷速度をともに4.7mN/秒として、300mNまでの荷重を負荷し、スペーサーが破壊されるときの荷重を荷重−変形量曲線から読み取った。
(9) Breaking Strength of Photo Spacer The breaking strength of the photo spacer was measured using a micro compression tester (trade name: HM2000, manufactured by Fisher Instruments). A load of up to 300 mN was applied with a 100 μm square flat indenter at a load speed and a unloading speed of both 4.7 mN / sec, and the load when the spacer was broken was read from the load-deformation amount curve.

(10)フォトスペーサーの太さ(水平方向断面の直径)および高さ
フォトスペーサーの直径および高さは、レーザー顕微鏡(商品名「VK−9700」、キーエンス社製)を用いて測定した。
(10) Thickness (diameter of horizontal cross section) and height of photo spacer The diameter and height of the photo spacer were measured using a laser microscope (trade name "VK-9700", manufactured by Keyence Corporation).

[実施例A−1]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ベンジルマレイミド(BzMI)15g、アクリル酸(AA)44.5g、1モルエトキシ化フェニルフェノールアクリレート(商品名「HRD−01」、日本蒸溜社製、以下HRD−01ともいう)40.5g、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(商品名「パーブチル(登録商標)O」、日本油脂社製、以下PBOともいう)2g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)48gおよびプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、ドデシルメルカプタン(nDM)1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-1]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, in a monomer dropping tank, as a monomer composition, 15 g of benzylmaleimide (BzMI), 44.5 g of acrylic acid (AA), 1 mol of ethoxylated phenylphenol acrylate (trade name "HRD-01", manufactured by Nippon Distilling Co., Ltd., below. HRD-01) 40.5 g, t-butylperoxy-2-ethylhexanoate (trade name "Perbutyl (registered trademark) O", manufactured by NOF CORPORATION, hereinafter also referred to as PBO) 2 g, propylene glycol methyl ether 48 g of acetate (PGMEA) and 12 g of propylene glycol monomethyl ether (PGME) were added and mixed with stirring. Further, 1.1 g of dodecyl mercaptan (nDM), 21 g of PGMEA and 5 g of PGME were charged as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、メタクリル酸グリシジル(GMA)69g、重合禁止剤として6−tert−ブチル−2,4−キシレノール(商品名「トパノール」、東京化成工業社製)0.3g、触媒としてジメチルベンジルアミン(DMBA)0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.1重量%を含む共重合体溶液(A−1)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24000、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.3%であった。共重合体溶液の製造条件、固形分濃度、重量平均分子量(Mw)、酸価、230℃30分間の重量減少率を実施例A−2〜A−13ならびに比較例A−14〜A−18とともに、表1に示す。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Then, in the reaction tank, 69 g of glycidyl methacrylate (GMA), 0.3 g of 6-tert-butyl-2,4-xylenol (trade name "topanol", manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a polymerization inhibitor, and dimethylbenzyl as a catalyst. 0.5 g of amine (DMBA), 18 g of PGMEA, and 4 g of PGME were charged and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-1) containing 39.1 weight% of acrylic resin (alkali-soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24,000, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.3%. The production conditions of the copolymer solution, the solid content concentration, the weight average molecular weight (Mw), the acid value, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes were measured in Examples A-2 to A-13 and Comparative Examples A-14 to A-18. In addition, it is shown in Table 1.

[実施例A−2]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA55g、HRD−01 30g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-2]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, 15 g of BzMI, 55 g of AA, 30 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.3重量%を含む共重合体溶液(A−2)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24500、酸価は103mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.8%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-2) containing acrylic resin (alkali-soluble resin) 39.3 weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24500, the acid value was 103 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.8%.

[実施例A−3]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA42g、HRD−01 43g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-3]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 42 g of AA, 43 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank, and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.0重量%を含む共重合体溶液(A−3)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は22500、酸価は44mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.4%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-3) containing acrylic resin (alkali-soluble resin) 39.0 weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 22,500, the acid value was 44 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.4%.

[実施例A−4]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM0.8g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-4]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank and stirred and mixed. Further, 0.8 g of nDM, 21 g of PGMEA, and 5 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.5重量%を含む共重合体溶液(A−4)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は30200、酸価は56mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.1%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-4) containing acrylic resin (alkali soluble resin) 39.5weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 30,200, the acid value was 56 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.1%.

[実施例A−5]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM0.2g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-5]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank and stirred and mixed. In addition, 0.2 g of nDM, 21 g of PGMEA and 5 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.8重量%を含む共重合体溶液(A−5)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は40100、酸価は55mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.0%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-5) containing acrylic resin (alkali-soluble resin) 39.8 weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 40100, the acid value was 55 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.0%.

[実施例A−6]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 38.5g、メトキシポリエチレングリコール(400)アクリレート(商品名「ライトアクリレート130A」、共栄社化学社製、エチレンオキサイドモル数n=9、以下130Aともいう)2g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-6]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, in the monomer dropping tank, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 38.5 g of HRD-01, methoxy polyethylene glycol (400) acrylate (trade name "light acrylate 130A", manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., ethylene oxide mole). 2g (Pin number n = 9, hereinafter also referred to as 130A), 2g of PBO, 48g of PGMEA and 12g of PGME were charged and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.3重量%を含む共重合体溶液(A−6)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24100、酸価は56mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.3%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-6) containing 39.3 weight% of acrylic resin (alkali-soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24100, the acid value was 56 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.3%.

[実施例A−7]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 20.5g、ジシクロペンタニルアクリレート(DCPA)20g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-7]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 20.5 g of HRD-01, 20 g of dicyclopentanyl acrylate (DCPA), 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank, and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.0重量%を含む共重合体溶液(A−7)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24500、酸価は53mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.5%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-7) containing 39.0 weight% of acrylic resin (alkali soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24500, the acid value was 53 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.5%.

[実施例A−8]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 20.5g、ベンジルアクリレート(BzA)20g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-8]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 20.5 g of HRD-01, 20 g of benzyl acrylate (BzA), 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank, and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.2重量%を含む共重合体溶液(A−8)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24800、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.6%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-8) containing 39.2 weight% of acrylic resin (alkali soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24800, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.6%.

参考例A−9]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI10g、AA76g、HRD−01 14g、PBO2g、PGMEA30gおよびPGME30gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.6g、PGMEA13gおよびPGME13gを投入し、撹拌混合した。
[ Reference Example A-9]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, 10 g of BzMI, 76 g of AA, 14 g of HRD-01, 2 g of PBO, 30 g of PGMEA and 30 g of PGME were put into a monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. Moreover, nDM1.6g, PGMEA13g, and PGME13g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it stirred and mixed.

反応槽にPGMEA70gとPGME70gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA124g、トパノール0.3g、触媒としてDMBA0.7g、PGMEA53g、PGME53gを仕込み、110℃で1時間、115℃で12時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.6重量%を含む共重合体溶液(A−10)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は23400、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.9%であった。   70 g of PGMEA and 70 g of PGMEA were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 124 g of GMA, 0.3 g of topanol, 0.7 g of DMBA as a catalyst, 53 g of PGMEA, and 53 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 12 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-10) containing 39.6 weight% of acrylic resin (alkali-soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 23400, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.9%.

[実施例A−10]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA23g、HRD−01 62g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.2g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-10]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 23 g of AA, 62 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank and stirred and mixed. Further, 1.2 g of nDM, 21 g of PGMEA and 5 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed by stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA30g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)35.0重量%を含む共重合体溶液(A−10)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は23000、酸価は56mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は0.8%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 30 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor and 0.5 g of DMBA as a catalyst were charged into a reaction tank, and the reaction was carried out at 110 ° C. for 1 hour and 115 ° C. for 8 hours. Then, the mixture was cooled to room temperature to obtain a copolymer solution (A-10) containing 35.0% by weight of an acrylic resin (alkali-soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 23,000, the acid value was 56 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 0.8%.

[実施例A−11]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、ジメチル−2、2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート(MD)15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-11]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, in the monomer dropping tank, as a monomer composition, dimethyl-2,2 '-[oxybis (methylene)] bis-2-propenoate (MD) 15g, AA44.5g, HRD-01 40.5g, PBO2g, PGMEA48g. And 12 g of PGME were added and mixed with stirring. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.0重量%を含む共重合体溶液(A−11)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は23800、酸価は53mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.3%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-11) containing 39.0 weight% of acrylic resin (alkali-soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 23800, the acid value was 53 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.3%.

[実施例A−12]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、(α−アリルオキシメチル)アクリル酸メチル(AMA)15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA48gおよびPGME12gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM1.1g、PGMEA21gおよびPGME5gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-12]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of (α-allyloxymethyl) methyl acrylate (AMA), 44.5 g of AA, 40.5 g of HRD-01, 2 g of PBO, 48 g of PGMEA and 12 g of PGME were put into a monomer dropping tank and stirred and mixed. did. Moreover, nDM1.1g, PGMEA21g, and PGME5g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA112gとPGME28gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA18g、PGME4gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.1重量%を含む共重合体溶液(A−12)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は23700、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.4%であった。   After 112 g of PGMEA and 28 g of PGME were charged into a reaction tank and the atmosphere was replaced with nitrogen, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating with an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, in a reaction tank, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 18 g of PGMEA and 4 g of PGME were charged, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-12) containing 39.1 weight% of acrylic resin (alkali soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 23700, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.4%.

[実施例A−13]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI30g、AA44.5g、HRD−01 25.5g、PBO1.5g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM0.3g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Example A-13]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, 30 g of BzMI, 44.5 g of AA, 25.5 g of HRD-01, 1.5 g of PBO, 42 g of PGMEA, and 18 g of PGME were put into the monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. In addition, 0.3 g of nDM, 18 g of PGMEA and 8 g of PGME were added as a chain transfer agent solution into the chain transfer agent dropping tank, and mixed with stirring.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂(アルカリ可溶性樹脂)39.5重量%を含む共重合体溶液(A−13)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は24100、酸価は55mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は1.2%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-13) containing 39.5 weight% of acrylic resin (alkali soluble resin). The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 24100, the acid value was 55 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 1.2%.

[比較例A−14]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Comparative Example A-14]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of HRD-01, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were put into a monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. Moreover, nDM2g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it stirred and mixed.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.1重量%を含む共重合体溶液(A−14)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17500、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は3.2%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-14) containing acrylic resin 39.1weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17,500, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 3.2%.

[比較例A−15]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 40.5g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM5g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Comparative Example A-15]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 40.5 g of HRD-01, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were put into a monomer dropping tank as a monomer composition, and mixed with stirring. Moreover, nDM5g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it mixed with stirring.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂38.8重量%を含む共重合体溶液(A−15)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は10400、酸価は55mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は5.1%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and the copolymer solution (A-15) containing acrylic resin 38.8 weight% was obtained. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 10,400, the acid value was 55 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 5.1%.

[比較例A−16]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 38.5g、130A2g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Comparative Example A-16]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, BgMI15g, AA44.5g, HRD-01 38.5g, 130A2g, PBO2g, PGMEA42g and PGME18g were thrown in and mixed with a monomer dropping tank as a monomer composition. Moreover, nDM2g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it stirred and mixed.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−16)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17500、酸価は55mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は3.1%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-16) containing acrylic resin 39.4 weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17,500, the acid value was 55 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 3.1%.

[比較例A−17]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 20.5g、DCPA20g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Comparative Example A-17]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 20.5 g of HRD-01, 20 g of DCPA, 2 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were put into a monomer dropping tank and stirred and mixed. Moreover, nDM2g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it stirred and mixed.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.1重量%を含む共重合体溶液(A−17)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17800、酸価は56mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は3.6%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-17) containing 39.1 weight% of acrylic resin. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17,800, the acid value was 56 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 3.6%.

[比較例A−18]
反応槽として冷却管を付けたセパラブルフラスコを準備した。他方、モノマー滴下槽中に、モノマー組成物として、BzMI15g、AA44.5g、HRD−01 20.5g、BzA20g、PBO2g、PGMEA42gおよびPGME18gを投入し、撹拌混合した。また、連鎖移動剤滴下槽中に、連鎖移動剤溶液として、nDM2g、PGMEA18gおよびPGME8gを投入し、撹拌混合した。
[Comparative Example A-18]
A separable flask equipped with a cooling tube was prepared as a reaction tank. On the other hand, as a monomer composition, 15 g of BzMI, 44.5 g of AA, 20.5 g of HRD-01, 20 g of BzA, 20 g of PBO, 42 g of PGMEA and 18 g of PGME were put into a monomer dropping tank, and mixed with stirring. Moreover, nDM2g, PGMEA18g, and PGME8g were thrown in as a chain transfer agent solution in the chain transfer agent dropping tank, and it stirred and mixed.

反応槽にPGMEA98gとPGME42gを仕込み、窒素置換した後、撹拌しながらオイルバスで加熱して反応槽の温度を90℃まで昇温した。反応槽の温度が90℃に安定してから、モノマー組成物および連鎖移動剤溶液を滴下した。モノマー組成物および連鎖移動剤溶液は、それぞれ温度を90℃に保ちながら、180分間かけて滴下した。滴下が終了してから30分後にPBO0.5gを加えた。さらに30分後、反応槽を115℃に昇温した。1.5時間、115℃を維持した後、セパラブルフラスコにガス導入管を付け、酸素/窒素=7/93(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、反応槽に、GMA69g、重合禁止剤としてトパノール0.3g、触媒としてDMBA0.5g、PGMEA16g、PGME6gを仕込み、110℃で1時間、115℃で8時間反応させた。その後、室温まで冷却し、アクリル系樹脂39.4重量%を含む共重合体溶液(A−18)を得た。アクリル系樹脂の重量平均分子量(Mw)は17400、酸価は54mgKOH/g、230℃30分間の重量減少率は3.5%であった。   98 g of PGMEA and 42 g of PGME were charged into a reaction tank, and after nitrogen substitution, the temperature of the reaction tank was raised to 90 ° C. by heating in an oil bath while stirring. After the temperature of the reaction tank was stabilized at 90 ° C., the monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise. The monomer composition and the chain transfer agent solution were added dropwise over 180 minutes while maintaining the temperature at 90 ° C. 30 minutes after the dropping was completed, 0.5 g of PBO was added. After a further 30 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 115 ° C. After maintaining the temperature at 115 ° C. for 1.5 hours, a gas introduction tube was attached to the separable flask, and bubbling of oxygen / nitrogen = 7/93 (v / v) mixed gas was started. Next, 69 g of GMA, 0.3 g of topanol as a polymerization inhibitor, 0.5 g of DMBA as a catalyst, 16 g of PGMEA, and 6 g of PGME were charged into a reaction tank, and reacted at 110 ° C. for 1 hour and at 115 ° C. for 8 hours. Then, it cooled to room temperature and obtained the copolymer solution (A-18) containing acrylic resin 39.4weight%. The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic resin was 17,400, the acid value was 54 mgKOH / g, and the weight loss rate at 230 ° C. for 30 minutes was 3.5%.

[実施例1]
上記共重合体溶液(A−1)89g(すなわち、アクリル系樹脂35g)、多官能モノマーとしてトリペンタエリスリトールオクタアクリレート(商品名「ビスコート#802」、大坂有機化学社製)65g、および光重合開始剤として2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン(商品名「IRGACURE(登録商標)907」、BASFジャパン社製)1.7gとUV吸収剤として2−(2−ヒドロキシ−4−オクトキシフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール(商品名「SEESORB707」シプロ化成社製、以下SB707という)0.5gの混合物に、固形分濃度が35重量%となるようにPGMEAを加え、孔径0.5μmのフィルタでろ過し、フォトスペーサー用感光性樹脂組成物を調製した。
[Example 1]
89 g of the above copolymer solution (A-1) (that is, 35 g of acrylic resin), 65 g of tripentaerythritol octaacrylate (trade name "Biscoat # 802", manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) as a polyfunctional monomer, and photopolymerization initiation. As an agent, 1.7 g of 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one (trade name “IRGACURE (registered trademark) 907”, manufactured by BASF Japan Ltd.) and a UV absorber As a mixture of 0.5 g of 2- (2-hydroxy-4-octoxyphenyl) -2H-benzotriazole (trade name "SEESORB707" manufactured by Cipro Kasei Co., Ltd., hereinafter referred to as SB707), the solid content concentration becomes 35% by weight. PGMEA, and filter with a filter with a pore size of 0.5 μm The composition was prepared.

10cm角のガラス基板上に、上記フォトスペーサー用感光性樹脂組成物をスピンコーターにより塗布し、オーブンで90℃3分間乾燥した。乾燥後、塗膜から100μmの距離にフォトマスクを配置して2.0kWの超高圧水銀ランプを装着したUVアライナ(商品名「TME−150RNS」、TOPCON社製)によって50mJ/cmの強度(365nm照度換算)で紫外線を照射した。紫外線照射後、塗膜に0.05%の水酸化カリウム水溶液をスピン現像機にて20〜90秒間散布し、未露光部を溶解、除去し、残った露光部を純水で10秒間水洗することにより現像して、円柱状のフォトスペーサーを形成した。この時、スペーサーを形成できる最短の現像時間(ブレイクタイム)と現像残渣の有無を確認し[評価(5)]、得られたフォトスペーサーを上記評価(6)〜(10)に供した。結果を表2に示す。 The photosensitive resin composition for photo spacers was applied onto a 10 cm square glass substrate by a spin coater and dried in an oven at 90 ° C. for 3 minutes. After drying, a photomask was placed at a distance of 100 μm from the coating film, and an intensity of 50 mJ / cm 2 was applied by a UV aligner (trade name “TME-150RNS” manufactured by TOPCON) equipped with a 2.0 kW ultra-high pressure mercury lamp ( The film was irradiated with ultraviolet rays at 365 nm illuminance conversion). After UV irradiation, 0.05% potassium hydroxide aqueous solution is sprinkled on the coating film by a spin developing machine for 20 to 90 seconds to dissolve and remove the unexposed area, and the remaining exposed area is washed with pure water for 10 seconds. By doing so, development was performed to form a cylindrical photo spacer. At this time, the shortest development time (break time) capable of forming a spacer and the presence or absence of a development residue were confirmed [Evaluation (5)], and the obtained photospacer was subjected to the above evaluations (6) to (10). The results are shown in Table 2.

[実施例2〜19、参考例20、実施例21〜24]
フォトスペーサー用感光性樹脂組成物の組成を表2に示す組成とした以外は、実施例1と同様にしてフォトスペーサーを形成し、実施例1と同様の評価に供した。結果を表2に示す。
なお、表2中、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(共栄社化学社製)を「DPHA」と、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(共栄社化学社製)を「PETA」と表記する。
UV吸収剤については、表2において、BASFジャパン社製の商品名「チヌビン479」を「T479」と表記する。
[Examples 2 to 19, Reference Example 20, Examples 21 to 24]
A photospacer was formed in the same manner as in Example 1 except that the composition of the photosensitive resin composition for photospacer was changed to the composition shown in Table 2, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 2.
In Table 2, dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) is described as “DPHA”, and pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) is described as “PETA”.
Regarding the UV absorber, in Table 2, the trade name "Tinuvin 479" manufactured by BASF Japan Ltd. is described as "T479".

[比較例1〜7]
フォトスペーサー用感光性樹脂組成物の組成を表3に示す組成とした以外は、実施例1と同様にしてフォトスペーサーを形成し、実施例1と同様の評価に供した。結果を表3に示す。
[Comparative Examples 1 to 7]
A photospacer was formed in the same manner as in Example 1 except that the composition of the photosensitive resin composition for photospacer was changed to the composition shown in Table 3, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.

表1に示すように、実施例のアルカリ可溶性樹脂では、230℃30分で測定した重量減少率が0〜3.0%と低く、耐熱分解性が向上した。さらに、実施例のアルカリ可溶性樹脂では、種々の多官能モノマーに対応可能であった。このため、本発明のアルカリ可溶性樹脂は、汎用される多官能モノマーに対して適応可能である。   As shown in Table 1, in the alkali-soluble resins of Examples, the weight loss rate measured at 230 ° C for 30 minutes was as low as 0 to 3.0%, and the thermal decomposition resistance was improved. Furthermore, the alkali-soluble resins of the examples were compatible with various polyfunctional monomers. Therefore, the alkali-soluble resin of the present invention can be applied to commonly used polyfunctional monomers.

また、表2および表3に示すように、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が22000以上である特定のアルカリ可溶性樹脂を含む硬化性樹脂組成物を用いることにより、現像性が向上し、現像残渣を生じさせずに、密着性に優れるフォトスペーサーを形成することができた。比較例ではブレイクタイムは70以上であったが、実施例では25〜40と、ブレイクタイムの大幅な改善を確認でき、現像性において顕著な効果が得られた。
さらに、(アルカリ可溶性樹脂)/(多官能モノマー)の比率を40/60〜10/90の範囲としても、現像時間の短縮とともに、得られるフォトスペーサーの弾性回復率がより優れており、弾性回復率を向上させるために多官能モノマーを多く使用しても現像時間(ブレイクタイム)を短くできるという特有の効果が得られた。
Further, as shown in Tables 2 and 3, by using a curable resin composition containing a specific alkali-soluble resin in which the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is 22000 or more, the developability is improved and the development residue is reduced. It was possible to form a photospacer having excellent adhesion without causing it. In the comparative example, the break time was 70 or more, but in the example, it was confirmed that the break time was significantly improved to 25 to 40, and a remarkable effect on the developability was obtained.
Further, even when the ratio of (alkali-soluble resin) / (polyfunctional monomer) is in the range of 40/60 to 10/90, the elastic recovery rate of the obtained photospacer is more excellent as the development time is shortened, and the elastic recovery is improved. Even if a large amount of polyfunctional monomer was used to improve the rate, the unique effect that the developing time (break time) could be shortened was obtained.

本発明のアルカリ可溶性樹脂ならびにそれを含む硬化性樹脂組成物は、液晶セルのスペーサーの製造に好適に利用することができる。また、カラーフィルタ、オーバーコート、絶縁膜、保護膜等の材料としても用いられ得る。さらに、光硬化性塗料、光硬化性インクとしても用いられ得る。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The alkali-soluble resin of the present invention and the curable resin composition containing the same can be suitably used for producing spacers for liquid crystal cells. It can also be used as a material for a color filter, an overcoat, an insulating film, a protective film, or the like. Furthermore, it can also be used as a photocurable coating material or a photocurable ink.

10、20 フォトスペーサー

10, 20 Photo spacer

Claims (6)

(a1)酸基含有モノマー及び/又は(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーからなる(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーと、芳香族置換マレイミド類、アルキル置換マレイミド類、及び下記一般式(8)または(9)
[上記一般式(8)〜(9)中、R11、R12、R13はそれぞれ独立して、水素原子または炭素数が1〜30の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基である。]
で表される1,6−ジエン類からなる群から選ばれた少なくとも1つのモノマーと、を含むモノマー成分から合成したベースポリマーであって、該(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーが該(a2)重合後に酸基を付与し得るモノマーを用いる場合には、重合後に酸基を付与するための後処理を行ったベースポリマーであるか、又は
該ベースポリマーに炭素−炭素二重結合を導入して得られたポリマーである
アルカリ可溶性樹脂であって、
該(a)側鎖に酸基を導入し得るモノマーの含有量は、該ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、10質量%以上80質量%以下であり、
該芳香族置換マレイミド類、アルキル置換マレイミド類、及び上記一般式(8)または(9)で表される1,6−ジエン類からなる群から選ばれた少なくとも1つのモノマーの含有量は、該ベースポリマーを合成するために使用する全モノマー成分100質量%中、2質量%〜50質量%であり、
重量平均分子量が22000以上であり、
熱重量測定装置を用いて窒素雰囲気下230℃30分で測定した重量減少率が0〜3.0%であり、
該モノマー成分が、さらに、下記一般式(C)
[上記一般式(C)中、R、RおよびRはそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基;R4は、芳香環を2個以上有する炭素数10〜20の芳香族炭化水素基;AOは、炭素数2〜20のオキシアルキレン基;xは0〜2の整数;yは0または1;mは、オキシアルキレン基の平均付加モル数を表し、1.2未満である。]
で表される、(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーを含有し、
該(c1)オキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーのうち、(c2)オキシアルキレン鎖長が1であるオキシアルキレン基を有し、側鎖の末端に芳香環を2個以上導入するモノマーの含有量が、該モノマー成分100質量%中20質量%以上である、
アルカリ可溶性樹脂。
(A1) a monomer containing an acid group and / or (a2) a monomer capable of providing an acid group after polymerization, (a) a monomer capable of introducing an acid group into a side chain, an aromatic-substituted maleimide, an alkyl-substituted maleimide, And the following general formula (8) or (9)
[In said general formula (8)-(9), R < 11 >, R < 12 >, R < 13 > is a hydrogen atom or a C1-C30 linear or branched alkyl group each independently. ]
A base polymer synthesized from a monomer component containing at least one monomer selected from the group consisting of 1,6-dienes represented by: and capable of introducing an acid group into the side chain (a). When the monomer (a2) is a monomer capable of imparting an acid group after the polymerization, it is a base polymer which has been subjected to a post-treatment for imparting an acid group after the polymerization, or the base polymer has a carbon-carbon dimer. An alkali-soluble resin that is a polymer obtained by introducing a heavy bond,
The content of the monomer capable of introducing an acid group into the side chain (a) is 10% by mass or more and 80% by mass or less in 100% by mass of all the monomer components used for synthesizing the base polymer,
The content of at least one monomer selected from the group consisting of the aromatic-substituted maleimides, the alkyl-substituted maleimides, and the 1,6-dienes represented by the general formula (8) or (9) is 2% by mass to 50% by mass in 100% by mass of all monomer components used for synthesizing the base polymer,
The weight average molecular weight is 22,000 or more,
The weight loss rate measured in a nitrogen atmosphere at 230 ° C. for 30 minutes using a thermogravimetric measuring device is 0 to 3.0%,
The monomer component is further represented by the following general formula (C)
[In the general formula (C), R 1 , R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom or a methyl group; R 4 is an aromatic hydrocarbon group having 2 or more aromatic rings and having 10 to 20 carbon atoms. AO is an oxyalkylene group having 2 to 20 carbon atoms; x is an integer of 0 to 2; y is 0 or 1; m represents the average number of moles of the oxyalkylene group added, and is less than 1.2. ]
Which has a (c1) oxyalkylene group and contains a monomer that introduces two or more aromatic rings at the end of the side chain,
Among the monomers having the (c1) oxyalkylene group and introducing two or more aromatic rings at the ends of the side chains, (c2) the oxyalkylene group having an oxyalkylene chain length of 1 and the end of the side chain The content of the monomer that introduces two or more aromatic rings into 20% by mass or more based on 100% by mass of the monomer component,
Alkali-soluble resin.
請求項1に記載のアルカリ可溶性樹脂と多官能モノマーとを含む
硬化性樹脂組成物。
A curable resin composition comprising the alkali-soluble resin according to claim 1 and a polyfunctional monomer.
前記多官能モノマーの官能数が4〜10である
請求項2に記載の硬化性樹脂組成物。
The curable resin composition according to claim 2, wherein the polyfunctional monomer has a functionality of 4 to 10.
請求項2又は3に記載の硬化性樹脂組成物を硬化して得られた、硬化物。   A cured product obtained by curing the curable resin composition according to claim 2. 請求項4に記載の硬化物を含む、フォトスペーサー。   A photospacer comprising the cured product according to claim 4. 請求項5に記載のフォトスペーサーを含む、表示装置。   A display device comprising the photo spacer according to claim 5.
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