JP6519126B2 - Transfer film, method for producing polyimide laminate using the same, and polyimide laminate - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス又は金属からなる基材にポリイミド前駆体を転写できる転写フィルム、それを用いたポリイミド積層体の製造方法及びそれを用いて作製されたポリイミド積層体に関する。より詳細には、電子デバイス(電子部品)の基板として好適なポリイミド積層体の作製に用いられる転写フィルム、ポリイミド積層体の製造方法及びそれを用いて作製されたポリイミド積層体に関する。   The present invention relates to a transfer film capable of transferring a polyimide precursor to a substrate made of glass or metal, a method for producing a polyimide laminate using the same, and a polyimide laminate produced using the same. More specifically, the present invention relates to a transfer film used for producing a polyimide laminate suitable as a substrate of an electronic device (electronic component), a method for producing a polyimide laminate, and a polyimide laminate produced using the same.

近年、有機ELパネル、太陽電池、薄膜2次電池等の電子デバイス(電子部品)の薄型化、軽量化が進行しており、これらの電子デバイスに用いられる基板の薄板化が進行している。しかしながら、基板にガラスを用いる場合、薄板化によりガラス基板の強度が低下するとハンドリング性が悪化するという問題がある。また、ガラス基板の代わりに樹脂基板を用いることも可能であるが、樹脂基板は、ガラス基板に比べ、耐薬品性、耐透湿性、耐熱性等に問題がある。また、金属基板上に樹脂を積層した樹脂/金属積層体にも、さらなる耐熱性が求められている。   In recent years, thickness reduction and weight reduction of electronic devices (electronic components) such as organic EL panels, solar cells, thin film secondary batteries and the like have progressed, and thinning of substrates used for these electronic devices has progressed. However, when glass is used for the substrate, there is a problem that when the strength of the glass substrate is reduced due to thinning, the handling property is deteriorated. In addition, although it is possible to use a resin substrate instead of a glass substrate, the resin substrate has problems in chemical resistance, moisture permeation resistance, heat resistance and the like as compared with a glass substrate. Moreover, the further heat resistance is calculated | required also by the resin / metal laminated body which laminated | stacked resin on the metal substrate.

最近では、有機ELパネルなどの電子デバイスに使用するために、ガラスの特性とプラスチックの特性を組み合わせた素材の開発が行われている。
例えば、屈曲性、可撓性、耐衝撃性および外観に優れる透明基板を得るために、溶剤透過性を有する支持基材上に形成させた溶剤を含む熱可塑性樹脂からなる塗布層と無機ガラスとを接着剤組成物を介して貼り合わせて得られた積層体に熱処理を施し、塗布層中の残存溶剤量を所定量まで減少させて、その後、当該積層体から支持基材を剥離して、再度、熱処理を行い塗布層を乾燥させ、熱可塑性樹脂層を無機ガラス上に形成する方法が提案されている(特許文献1)。
Recently, for use in electronic devices such as organic EL panels, development of materials combining the characteristics of glass and the characteristics of plastic has been conducted.
For example, in order to obtain a transparent substrate excellent in flexibility, flexibility, impact resistance and appearance, an applied layer comprising a thermoplastic resin containing a solvent formed on a support substrate having solvent permeability and inorganic glass The laminate obtained by laminating the adhesive composition is subjected to a heat treatment to reduce the amount of residual solvent in the coating layer to a predetermined amount, and thereafter the support substrate is peeled off from the laminate, A method has been proposed in which the thermoplastic resin layer is formed on an inorganic glass by heat treatment again to dry the applied layer (Patent Document 1).

また、ポリイミドは一般に、耐熱性が高い樹脂として知られている。特許文献2には、特定のポリイミドを含む樹脂層とガラス基板を積層したガラス/樹脂積層体が提案されて
いる。また、特許文献2には、樹脂層とガラスを積層する方法として、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム上にポリアミド酸溶液を塗布、熱処理して耐熱性ポリイミドフィルムを作製し、プラズマ処理を施し、シランカップリング処理したガラス基板上に上記プラズマ処理後のポリイミドフィルムを金属ローラを用いて圧着する方法が開示されている。また、ガラス基板と耐熱性ポリイミドフィルムの間に熱可塑性フィルムをセットし、加熱プレスしてガラス/樹脂積層体を得る方法も開示されている。また、ガラス基板上に樹脂層を直接形成する方法として、シランカップリング処理後のガラス基板上にポリアミド酸溶液を塗布し、熱処理を施す方法が開示されている。
また、離型材上にポリイミドの前駆体であるポリアミック酸を含有する樹脂層を形成した転写シートも提案されている。例えば、離型材上に感光性ポリアミック酸樹脂からなる感光層を形成し、その上に接着性ポリアミック酸樹脂からなる接着層を形成してなる転写シートが開発されている(特許文献3)。また、ポリエステルからなる離型材上に感光性ポリアミック酸を含む樹脂層が形成された樹脂転写材の製造方法も提案されている(特許文献4)。特許文献3及び4に開示されている樹脂転写材は、ガラス板に熱転写した後に、パターン形成し、電子部品などの回路基板の絶縁層や各種電子部品の接着剤層の形成に用いられる転写シートである。
特許文献5には、特定の構成成分からなるポリイミド前駆体溶液を金属箔上に直接塗布し、硬化させ、多孔性ポリイミド層を含有するポリイミド層と金属箔層が積層されたプリント配線用基板の製造方法が開示されている。
In addition, polyimide is generally known as a resin having high heat resistance. Patent Document 2 proposes a glass / resin laminate in which a resin layer containing a specific polyimide and a glass substrate are laminated. In Patent Document 2, as a method of laminating a resin layer and glass, a polyamic acid solution is coated on a polyethylene terephthalate (PET) film, heat-treated to prepare a heat-resistant polyimide film, and subjected to plasma treatment, The method of pressure-bonding the polyimide film after the said plasma processing using a metal roller on the ring-processed glass substrate is disclosed. There is also disclosed a method of setting a thermoplastic film between a glass substrate and a heat resistant polyimide film and heating and pressing to obtain a glass / resin laminate. Moreover, the method of apply | coating a polyamic-acid solution on the glass substrate after a silane coupling process, and performing heat processing as a method of forming a resin layer directly on a glass substrate is disclosed.
Also, a transfer sheet has been proposed in which a resin layer containing a polyamic acid, which is a precursor of polyimide, is formed on a release material. For example, a transfer sheet has been developed in which a photosensitive layer made of a photosensitive polyamic acid resin is formed on a release material, and an adhesive layer made of an adhesive polyamic acid resin is formed thereon (Patent Document 3). There is also proposed a method for producing a resin transfer material in which a resin layer containing a photosensitive polyamic acid is formed on a release material made of polyester (Patent Document 4). The resin transfer materials disclosed in Patent Documents 3 and 4 are thermally transferred onto a glass plate and then patterned to form a transfer sheet used for forming an insulating layer of a circuit board such as an electronic component or an adhesive layer of various electronic components. It is.
In Patent Document 5, a polyimide precursor solution comprising a specific constituent component is directly applied on a metal foil and cured, and a substrate for printed wiring on which a polyimide layer containing a porous polyimide layer and a metal foil layer are laminated. A method of manufacture is disclosed.

国際公開第2011/136327号パンフレットInternational Publication No. 2011/136327 brochure 国際公開第2011/030716号パンフレットInternational Publication No. 2011/030716 Brochure 特開2000−267276号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2000-267276 特開2005−301072号公報JP 2005-301072 A 特開2012−101438号公報JP 2012-101438 A

有機ELパネル等の電子デバイス用基板としては、さらなる薄型化、高い耐熱性、ハンドリング性が求められている。このような特性をもつ、ポリイミドと基材を積層させたポリイミド積層体を製造しようとすると、ポリイミドと基材を直接熱融着する方法においては、通常、ポリイミドのガラス転移温度(Tg)以上に加熱する必要があるため、ガラス転移温度を持たない高耐熱性を示すポリイミドでは、熱融着することが難しい。また、ポリイミドと基材とを直接積層する方法では、層間密着性を確保するために、通常、基材やポリイミドに表面処理を施す必要があり、製造工程が複雑になる。また、厚み数μmの薄いポリイミドとガラスなどの基材の積層体を熱融着により作製する場合、PETなどの転写用基材に支持されたポリイミドをガラスに転写する方法がある。しかしながら、接着層を介さずにポリイミドをガラス上に直接転写しようとすると、ポリイミドのガラス転移温度以上に加熱する必要があるため、転写用基材には、ポリイミド以上の耐熱性が求められる。よって、ポリイミドよりも耐熱性が劣るPET等の汎用的な転写用基材を使用することが難しく、高価な耐熱性転写用基材を使用する必要がある。また、ポリイミドによっては、その硬さのため、ラミネートすることが困難である。
また、ポリイミド前駆体溶液を基材表面に直接塗布する方法では、溶媒乾燥のために長い乾燥ラインを通すことになり、薄板化されたガラス基板を用いる場合には、ライン上でガラス基板が破損する懸念がある。
そこで、本発明の主たる目的は、転写後において、有機ELパネル等の電子デバイス用基板として好適に使用できる高い耐熱性、ハンドリング性を有するポリイミド積層体を提供できる、低温でラミネート可能な転写フィルム、それを用いたポリイミド積層体の製造方法及びポリイミド積層体を提供することにある。
As substrates for electronic devices such as organic EL panels, further thickness reduction, high heat resistance, and handling properties are required. In order to produce a polyimide laminate in which polyimide and a substrate are laminated, which has such properties, in the method of directly heat-sealing the polyimide and the substrate, it is usually at least the glass transition temperature (Tg) of polyimide. Since it is necessary to heat, it is difficult to thermally fuse the polyimide which exhibits high heat resistance without glass transition temperature. Further, in the method of directly laminating the polyimide and the substrate, it is usually necessary to subject the substrate and the polyimide to a surface treatment in order to secure interlayer adhesion, and the manufacturing process becomes complicated. When a laminate of a thin polyimide and a base material such as glass with a thickness of several μm is produced by heat fusion, there is a method of transferring polyimide supported on a transfer base material such as PET onto glass. However, if it is intended to directly transfer polyimide onto glass without an adhesive layer, it is necessary to heat the polyimide to a temperature higher than the glass transition temperature, so the transfer substrate is required to have heat resistance higher than that of polyimide. Therefore, it is difficult to use a general-purpose transfer substrate such as PET, which is inferior in heat resistance to polyimide, and it is necessary to use an expensive heat-resistant transfer substrate. Also, depending on the polyimide, it is difficult to laminate due to its hardness.
Moreover, in the method of applying the polyimide precursor solution directly to the substrate surface, a long drying line is to be passed through for solvent drying, and when using a thinned glass substrate, the glass substrate is broken on the line Have a concern.
Therefore, a main object of the present invention is a transfer film which can be laminated at a low temperature and which can provide a polyimide laminate having high heat resistance and handling property which can be suitably used as a substrate for an electronic device such as an organic EL panel after transfer. It is providing the manufacturing method of a polyimide laminated body using the same, and a polyimide laminated body.

本発明者らは上記の課題に鑑みて鋭意検討した結果、特定のイミド化率を有するポリイミド前駆体層を基材フィルム上に形成し、転写フィルムとすることで、従来よりも低温で、ガラス又は金属からなる基材上に容易に転写でき、優れた耐熱性を示し、且つ、ハンドリング性に優れたポリイミド積層体が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は以下の通りである。
As a result of intensive investigations in view of the above problems, the present inventors formed a polyimide precursor layer having a specific imidation ratio on a substrate film to form a transfer film. Or it discovered that the polyimide laminated body which can be easily transferred on the base material which consists of metals, showed the outstanding heat resistance, and was excellent in the handling property was obtained, and came to complete this invention.
That is, the present invention is as follows.

[1] 基材フィルムと、前記基材フィルム上に形成されたイミド化率が45%以下のポリイミド前駆体層とを備える転写フィルム。
[2] 前記ポリイミド前駆体層の厚みが1μm〜50μmである、[1]に記載の転写フィルム。
[3] 前記ポリイミド前駆体を焼成して得られるポリイミドのガラス転移温度が200℃以上又はガラス転移温度を有しない、[1]又は[2]に記載の転写フィルム。
[4] [1]〜[3]のいずれかに記載の転写フィルムを巻いてなるロール状物。
[5] ガラス又は金属からなる基材の少なくとも片面に、[1]〜[4]のいずれかに記載の転写フィルムを、前記ポリイミド前駆体層が前記基材側と対向するように積層し、
転写させる転写ステップ、
前記ステップで得られた積層体から前記基材フィルムを剥離する剥離ステップ、及び
前記ポリイミド前駆体層を焼成する焼成ステップ、を含むポリイミド積層体の製造方法。
[6] 前記転写ステップの転写温度が、ポリイミド前駆体を焼成して得られるポリイミドがガラス転移温度を有する場合は該ポリイミドのガラス転移温度以下の温度である、又はポリイミド前駆体を焼成して得られるポリイミドがガラス転移温度を有しない場合は200℃以下である[5]に記載のポリイミド積層体の製造方法。
[7] [5]又は[6]に記載の製造方法により得られるポリイミド積層体。
[8] [7]記載のポリイミド積層体を巻いてなるロール状物。
[1] A transfer film comprising a base film and a polyimide precursor layer having an imidation ratio of 45% or less formed on the base film.
[2] The transfer film according to [1], wherein the thickness of the polyimide precursor layer is 1 μm to 50 μm.
[3] The transfer film according to [1] or [2], wherein the polyimide obtained by firing the polyimide precursor has a glass transition temperature of 200 ° C. or higher or no glass transition temperature.
[4] A roll-shaped product obtained by winding the transfer film according to any one of [1] to [3].
[5] The transfer film according to any one of [1] to [4] is laminated on at least one surface of a substrate made of glass or metal so that the polyimide precursor layer faces the substrate side,
Transfer step to transfer,
A method for producing a polyimide laminate, comprising: a peeling step of peeling the base film from the laminate obtained in the step; and a firing step of firing the polyimide precursor layer.
[6] The transfer temperature in the transfer step is a temperature lower than the glass transition temperature of the polyimide when the polyimide obtained by firing the polyimide precursor has a glass transition temperature, or obtained by firing the polyimide precursor The method for producing a polyimide laminate according to [5], wherein the temperature of the obtained polyimide is 200 ° C. or less when it does not have a glass transition temperature.
The polyimide laminated body obtained by the manufacturing method as described in [7] [5] or [6].
[8] A roll-like product obtained by winding the polyimide laminate according to [7].

本発明によれば、転写後において、有機ELパネル等の電子デバイス用基板として好適に使用できる高い耐熱性、ハンドリング性を有するポリイミド積層体を提供できる、低温でラミネート可能な転写フィルム、それを用いたポリイミド積層体の製造方法を提供することができ、高い耐熱性、ハンドリング性を有するポリイミド積層体を得ることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a polyimide laminate having high heat resistance and handling properties that can be suitably used as a substrate for an electronic device such as an organic EL panel after transfer, a low-temperature laminateable transfer film, It is possible to provide a method for producing a polyimide laminate, and to obtain a polyimide laminate having high heat resistance and handling properties.

以下に本発明の転写フィルム、及びポリイミド積層体の実施の形態を詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施形態の一例(代表例)であり、本発明はこれらの内容に特定されるものではない。   The embodiment of the transfer film and the polyimide laminate of the present invention will be described in detail below, but the description of the constituent requirements described below is an example (representative example) of the embodiment of the present invention, and the present invention It is not specified in these contents.

以下、本発明の転写フィルム(以下、「本転写フィルム」とも称する)、本転写フィルムを用いて作製するポリイミド積層体(以下、「本ポリイミド積層体」とも称する)の製造方法、及び本ポリイミド積層体、さらにそれらを構成する材料について詳細に説明する。   Hereinafter, a transfer film of the present invention (hereinafter, also referred to as “the present transfer film”), a method of producing a polyimide laminate (hereinafter, also referred to as the “present polyimide laminate”) produced using the present transfer film, and the present polyimide laminate The bodies and the materials that make them up will be described in detail.

<転写フィルム>
本発明の転写フィルムは、基材フィルム上にイミド化率が45%以下のポリイミド前駆体層を備えた構成を有する転写フィルムである。以下、転写フィルムを構成する基材フィルム、ポリイミド前駆体層について説明する。
<Transfer film>
The transfer film of the present invention is a transfer film having a structure in which a polyimide precursor layer having an imidization rate of 45% or less is provided on a base film. Hereinafter, the base film which comprises a transfer film, and a polyimide precursor layer are demonstrated.

<基材フィルム>
基材フィルムは、転写フィルムにおいてポリイミド前駆体層を支持する支持体であり、また、他の部材に転写フィルムを積層させて樹脂層を転写した後、積層体から剥離する離型フィルムである。
基材フィルムを構成する材料としては特に限定されるものではなく、公知のものを任意に用いることができるが、耐熱性を有することが好ましい。すなわち、その表面に、溶媒に溶解されたポリイミド前駆体を含むポリイミド前駆体溶液を塗布し、溶媒を乾燥することができ、また、ガラス又は金属からなる基材上に本転写フィルムを熱ラミネートできる程度に耐熱性を有することが好ましい。
このような基材フィルムを構成する材料としては、具体的には、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂及びポリカーボネート系樹脂などが挙げられる。これらの樹脂の中でも、耐熱性や塗工性の観点からポリエステル系樹脂が好ましい。
<Base film>
A base film is a support body which supports a polyimide precursor layer in a transfer film, and is a release film which exfoliates from a layered product, after making a transfer film laminate on other members and transferring a resin layer.
It does not specifically limit as a material which comprises a base film, Although a well-known thing can be used arbitrarily, It is preferable to have heat resistance. That is, a polyimide precursor solution containing a polyimide precursor dissolved in a solvent can be applied to the surface, the solvent can be dried, and the transfer film can be thermally laminated on a substrate made of glass or metal It is preferable to have heat resistance to some extent.
Specifically as a material which comprises such a base film, polyester-type resin, polyolefin-type resin, polycarbonate-type resin, etc. are mentioned. Among these resins, polyester resins are preferable from the viewpoint of heat resistance and coatability.

基材フィルムに使用可能なポリエステル系樹脂としては、各種多価カルボン酸と各種多価アルコールの共重合体や、各種ヒドロキシカルボン酸の単独重合体及び多価カルボン酸と多価アルコールとヒドロキシカルボン酸の共重合体などを好ましく例示することができる。
中でも、透明性が高く、適度な伸びと強度を有する観点から、テレフタル酸とエチレングリコールを主とする共重合体(いわゆるポリエチレンテレフタレート)や、ナフタレンジカルボン酸とエチレングリコールを主とする共重合体(いわゆるポリエチレンナフタレート)が特に好ましい。また、これらの共重合体には、例えばイソフタル酸などの第三成分が共重合されていてもよい。
As polyester resin which can be used for a substrate film, copolymers of various polyvalent carboxylic acids and various polyvalent alcohols, homopolymers of various hydroxycarboxylic acids, polyvalent carboxylic acids, polyvalent alcohols and hydroxycarboxylic acids Preferred are copolymers and the like.
Among them, copolymers having mainly terephthalic acid and ethylene glycol (so-called polyethylene terephthalate), and copolymers having mainly naphthalene dicarboxylic acid and ethylene glycol (from the viewpoint of high transparency and appropriate elongation and strength) So-called polyethylene naphthalates) are particularly preferred. In these copolymers, for example, a third component such as isophthalic acid may be copolymerized.

基材フィルムは、本転写フィルムのハンドリング性や、転写後の剥離性を向上させるという観点から、その厚みが20μm以上であることが好ましく、30μm以上であることがさらに好ましく、38μm以上であることが特に好ましい。また、150μm以下であることが好ましく、130μm以下であることがさらに好ましく、100μm以下であることが特に好ましい。
基材フィルムの厚みが20μm以上であれば、本転写フィルムのハンドリング性を向上させることが出来る一方、基材フィルムの厚みが150μm以下であれば、基材フィルムの曲げ弾性が大きくなり過ぎず、本転写フィルムをガラス又は金属からなる基材上に積層後、基材フィルムを剥離する際の剥離性が良好となる。
The thickness of the substrate film is preferably 20 μm or more, more preferably 30 μm or more, and 38 μm or more from the viewpoint of improving the handling property of the transfer film and the removability after transfer. Is particularly preferred. The thickness is preferably 150 μm or less, more preferably 130 μm or less, and particularly preferably 100 μm or less.
If the thickness of the substrate film is 20 μm or more, the handling properties of the present transfer film can be improved, but if the thickness of the substrate film is 150 μm or less, the bending elasticity of the substrate film does not become too large. After laminating this transfer film on the base material which consists of glass or a metal, the peelability at the time of peeling a base film becomes favorable.

本発明においては、転写フィルムのポリイミド前駆体層を基材に転写してポリイミド積層体としたとき、基材フィルム側のポリイミド前駆体層表面が、基材側と反対側の表面となる。このため、ポリイミド前駆体層表面、さらには本ポリイミド積層体のポリイミド側表面の平滑性を高める観点から、基材フィルム表面の平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は小さいほうが好ましく、具体的には、100nm以下であることが好ましく、10nm以下であることがさらに好ましく、2nm以下であることが特に好ましい。下限としては特に限定されないが、0.001nm程度である。
なお、平均面粗さは算術平均粗さ(Sa)であり、下記の測定方法にて算出できる。
(算術平均粗さ(Sa)の測定方法)
非接触表面・層断面計測システムVertScan2.0(株式会社菱化システム製)を用い基材フィルムの表面観察(観察視野:93.97μm×71.30μm)を実施し、基材フィルムの表面について、平均面粗さ(算術平均粗さSa)を算出する。
基材フィルムの樹脂層側表面の平均面粗さを調整する方法としては、平均面粗さが上記範囲のものを準備すればよく、既知の方法により平均面粗さを調整してもよく、当該範囲の市販品を購入してもよい。
一方で転写フィルムにおいては、転写フィルムを他の部材と積層し、樹脂層を他の部材に転写した後に基材フィルムを剥離する必要があることから、基材フィルムの樹脂層側表面は良好な離型性が要求される。そのため、通常は離型性を向上させるため、シリコーン系樹脂などの離型剤による表面処理が行われる。このような離型剤により表面処理を行うことで、表面の平均面粗さは大きくなる傾向にある。
In the present invention, when the polyimide precursor layer of the transfer film is transferred to the substrate to form a polyimide laminate, the surface of the polyimide precursor layer on the substrate film side is the surface opposite to the substrate side. For this reason, it is preferable that the average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) of the substrate film surface is small, from the viewpoint of enhancing the smoothness of the polyimide precursor layer surface and further the polyimide side surface of the present polyimide laminate. Specifically, it is preferably 100 nm or less, more preferably 10 nm or less, and particularly preferably 2 nm or less. The lower limit is not particularly limited, but is about 0.001 nm.
The average surface roughness is arithmetic average roughness (Sa), and can be calculated by the following measurement method.
(Method of measuring arithmetic mean roughness (Sa))
The surface observation (observation visual field: 93.97 μm × 71.30 μm) of the base film is carried out using the non-contact surface / layer cross-section measurement system VertScan 2.0 (manufactured by Ryoka System Co., Ltd.), and the surface of the base film is The average surface roughness (arithmetic average roughness Sa) is calculated.
As a method of adjusting the average surface roughness of the resin layer side surface of the base film, the average surface roughness may be prepared in the above range, and the average surface roughness may be adjusted by a known method. You may purchase the commercial item of the range concerned.
On the other hand, in the transfer film, it is necessary to laminate the transfer film with another member and transfer the resin layer to the other member and then to peel off the base film, so the surface on the resin layer side of the base film is good. Releasability is required. Therefore, in order to improve releasability, surface treatment with a release agent such as silicone resin is usually performed. The surface treatment with such a mold release agent tends to increase the average surface roughness of the surface.

本発明においては、基材フィルム表面の平滑性、ポリイミド前駆体溶液の塗工性及びポリイミド前駆体層との剥離性等を損なわない範囲で、必要に応じて基材フィルムの、ポリイミド前駆体溶液の塗布側表面に、表面処理を施してもよい。
具体的には、例えば、ポリイミド前駆体溶液の塗工性の向上を目的として、コロナ処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、フレーム処理及び紫外線照射処理により表面処理を施しても良いし、平滑化処理を施しても良い。また、塗工性の向上や、表面平滑化を目的として、熱又は光硬化性樹脂や熱可塑性樹脂を用いて樹脂層を設けても良い。また、接着性の向上を目的として、アンカーコート剤により処理を施してもよい。
一方、ポリイミド前駆体溶液の塗工性の観点から、ポリイミド前駆体溶液の塗布側表面をシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系等の離型剤で処理されていない基材フィルムを用いることが好ましい。転写フィルムの基材フィルムは転写後に剥離するものであるので、通常は優れた離型性を有するものが好適に用いられる。一方、上記のような離型剤で処理された基材フィルム表面は、ポリイミド前駆体溶液をはじきやすくなる。
本発明において、このような離型剤で処理された基材フィルムにポリイミド前駆体溶液を塗布しようとすると、塗工性を改良するためにポリイミド前駆体溶液の固形分濃度を上げる必要がある。しかしながら、固形分濃度を上げると、例えば、塗布の際に気泡をかみ込むなどして、塗工ムラが発生してしまい、結果としてポリイミド前駆体層に外観上の欠陥が生じてしまう可能性が高くなる。
また、上述したように、離型剤により表面処理を行うことで、表面の平均面粗さは大きくなる傾向にあるため、ポリイミド積層体としたときのポリイミド層の表面が荒れてしまう場合がある。これらの理由のため、本発明においては、ポリイミド前駆体溶液の塗布側表面をシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系等の離型剤で処理されていない基材フィルムを用いることが好ましく、また、離型剤で処理されていない基材フィルムを用いることは、コスト面でも有利である。
In the present invention, a polyimide precursor solution of the substrate film as needed within a range that does not impair the smoothness of the substrate film surface, the coatability of the polyimide precursor solution, the releasability with the polyimide precursor layer, etc. Surface treatment may be applied to the surface on the side of application.
Specifically, for example, surface treatment may be performed by corona treatment, low-pressure plasma treatment, atmospheric pressure plasma treatment, flame treatment, and ultraviolet radiation treatment for the purpose of improving the coating property of the polyimide precursor solution, or smooth. You may perform the chemical treatment. In addition, a resin layer may be provided using a heat- or light-curable resin or a thermoplastic resin for the purpose of improving the coatability and smoothing the surface. Moreover, you may process by an anchor-coat agent for the purpose of the adhesive improvement.
On the other hand, from the viewpoint of the coatability of the polyimide precursor solution, it is preferable to use a base film which has not been treated with a release agent such as silicone, long chain alkyl or fluorine based surface of the polyimide precursor solution. preferable. Since the base film of the transfer film is one that peels off after transfer, usually, one having excellent releasability is suitably used. On the other hand, the base film surface treated with the mold release agent as described above easily repels the polyimide precursor solution.
In the present invention, when it is intended to apply a polyimide precursor solution to a substrate film treated with such a release agent, it is necessary to increase the solid concentration of the polyimide precursor solution in order to improve the coatability. However, if the solid content concentration is increased, for example, air bubbles may be entrapped during application to cause coating unevenness, which may result in appearance defects in the polyimide precursor layer. Get higher.
In addition, as described above, the surface treatment with the release agent tends to increase the average surface roughness of the surface, so the surface of the polyimide layer may be roughened when it is formed into a polyimide laminate. . For these reasons, in the present invention, it is preferable to use a base film which has not been treated with a releasing agent such as silicone, long chain alkyl or fluorine based surface on the application side surface of the polyimide precursor solution. Using a base film which has not been treated with a release agent is also advantageous in cost.

<ポリイミド前駆体層>
本転写フィルムにおける、イミド化率が45%以下のポリイミド前駆体層は、ポリイミド前駆体を溶媒に溶解させたポリイミド前駆体溶液を基材フィルム上に塗布し、加熱処理により溶媒を乾燥することで形成される。すなわち、本発明のポリイミド前駆体層は、イミド化率が45%以下のポリイミド前駆体を含み、ポリイミド前駆体以外に溶媒なども含むものである。本転写フィルムにおけるポリイミド前駆体層は、イミド化率が45%以下であるため、ガラス又は金属からなる基材上に、当該ポリイミドのガラス転移温度(Tg)以下の温度で、接着層を使用しなくても容易に転写することができる。また、ポリイミド前駆体層を備える転写フィルムは柔軟性を有し、通常、ポリイミド前駆体層表面はブロッキングするような粘着性を有さないので、ロール状に巻いてなるロール状物としてもブロッキングし難く、ロール状物の状態で使用、保管することが出来る。
さらに、平均面粗さが小さい基材フィルムを用いることや、ポリイミド前駆体溶液を基材上に均一な厚さに塗布して塗工ムラを抑制することにより、本転写フィルムにおけるポリイミド前駆体層の外観上の欠陥を少なくすることができる。このような転写フィルムをガラス又は金属からなる基材に転写することにより、外観上の欠陥が少なく、平滑性に優れたポリイミド積層体を得ることが出来る。
<Polyimide precursor layer>
The polyimide precursor layer having an imidization ratio of 45% or less in the present transfer film is obtained by applying a polyimide precursor solution in which a polyimide precursor is dissolved in a solvent on a substrate film and drying the solvent by heat treatment. It is formed. That is, the polyimide precursor layer of the present invention contains a polyimide precursor having an imidization ratio of 45% or less, and also contains a solvent and the like in addition to the polyimide precursor. Since the polyimide precursor layer in the present transfer film has an imidization ratio of 45% or less, an adhesive layer is used on a substrate made of glass or metal at a temperature not higher than the glass transition temperature (Tg) of the polyimide. Even without it, it can be easily transferred. In addition, since the transfer film provided with the polyimide precursor layer has flexibility, and the surface of the polyimide precursor layer does not generally have tackiness that causes blocking, it also blocks as a roll-like product formed in a roll. It is difficult and can be used and stored in the form of a roll.
Furthermore, the polyimide precursor layer in the present transfer film is used by using a substrate film having a small average surface roughness, or applying a polyimide precursor solution to a uniform thickness on the substrate to suppress coating unevenness. Appearance defects can be reduced. By transferring such a transfer film to a substrate made of glass or metal, it is possible to obtain a polyimide laminate having few defects in appearance and excellent in smoothness.

本転写フィルムのポリイミド前駆体層においては、イミド化率の上限は45%である。本発明においては、イミド化率を45%以下とすることで、後述する転写時の温度でのポリイミド前駆体層の弾性率を転写に好ましい範囲とすることができ、本転写フィルムを用いて、ガラス又は金属からなる基材上に、ポリイミド前駆体層を良好に転写することができる。すなわち、ポリイミド前駆体層のイミド化率を45%以下とすることで、ポリイミド前駆体層の転写温度での弾性率を1GPa以下とすることができ、ガラス又は金属からなる基材へ、接着層を介さずとも容易に転写することができる。接着層を介さずに転写できることで、高耐熱性を有する接着層を使用しなくてもよいため、接着層を設ける工程が不要となり製造工程数を減らすことができ、短時間で製造が可能となり、また、コストを下げることが可能となる。
なお、本発明において、弾性率は以下の方法により測定した値をいう。弾性率は、動的粘弾性測定における振動周波数10Hz、歪み0.1%、昇温速度3℃/min.の条件でシートの縦方向に測定した際の、転写温度における貯蔵弾性率(E’)で評価する。
また、熱ラミネート特性の観点から、ポリイミド前駆体層のイミド化率は43%以下であることが好ましく、40%以下であることがさらに好ましい。また、熱ラミネート特性と残溶剤のバランスの観点から、ポリイミド前駆体層のイミド化率は3%以上が好ましく、5%以上がさらに好ましく、7%以上がより好ましく、10%以上が特に好ましい。
In the polyimide precursor layer of the transfer film, the upper limit of the imidation ratio is 45%. In the present invention, by setting the imidization ratio to 45% or less, the elastic modulus of the polyimide precursor layer at the temperature at the time of transfer described later can be set as a preferable range for transfer. The polyimide precursor layer can be well transferred onto a substrate made of glass or metal. That is, by setting the imidization ratio of the polyimide precursor layer to 45% or less, the elastic modulus at the transfer temperature of the polyimide precursor layer can be set to 1 GPa or less, and to the substrate made of glass or metal, adhesion layer It can be easily transferred without interposing. Since transfer can be performed without using an adhesive layer, it is not necessary to use an adhesive layer having high heat resistance, the process of providing an adhesive layer is unnecessary, the number of manufacturing processes can be reduced, and manufacturing becomes possible in a short time. Also, it is possible to reduce the cost.
In the present invention, the elastic modulus refers to a value measured by the following method. The elastic modulus is a vibration frequency of 10 Hz, strain 0.1%, heating rate 3 ° C./min. Storage elastic modulus (E ') at transfer temperature when measured in the longitudinal direction of the sheet under the following conditions.
In addition, from the viewpoint of thermal lamination characteristics, the imidation ratio of the polyimide precursor layer is preferably 43% or less, and more preferably 40% or less. In addition, from the viewpoint of the balance between the thermal lamination characteristics and the residual solvent, the imidation ratio of the polyimide precursor layer is preferably 3% or more, more preferably 5% or more, more preferably 7% or more, and particularly preferably 10% or more.

本転写フィルムのポリイミド前駆体層内の残溶媒量は、ポリイミド前駆体層全重量に対して30wt%以下であることが好ましく、15wt%以下であることがさらに好ましく、10wt%以下であることが特に好ましい。ポリイミド前駆体層内の残溶媒量が、30
wt%以下であれば、ポリイミド前駆体層表面の粘着性が失われるので、ポリイミド前駆体層上に保護層を設けなくても、本転写フィルムをロール状に巻き取ることができる。なお、本転写フィルムのポリイミド前駆体層内の残溶媒量の測定方法は特に限定されない。例えば、一定温度一定時間加熱処理して加熱処理前後の重量の差から求める方法、ガスクロマトグラフ質量分析計で残留溶媒を揮発させて定量する方法等が挙げられる。
The amount of residual solvent in the polyimide precursor layer of the transfer film is preferably 30 wt% or less, more preferably 15 wt% or less, and more preferably 10 wt% or less based on the total weight of the polyimide precursor layer. Particularly preferred. The amount of residual solvent in the polyimide precursor layer is 30
If it is wt% or less, the adhesion of the surface of the polyimide precursor layer is lost, so that the transfer film can be wound into a roll without providing a protective layer on the polyimide precursor layer. In addition, the measuring method of the amount of residual solvents in the polyimide precursor layer of this transfer film is not specifically limited. For example, a method of performing heat treatment at a constant temperature for a constant time and obtaining from the difference in weight before and after heat treatment, a method of volatilizing a residual solvent with a gas chromatograph mass spectrometer, and the like can be mentioned.

本発明のポリイミド前駆体層は、その厚みが1μm以上、50μm以下であることが好ましい。この範囲内であれば、ガラス又は金属からなる基材上に、良好に熱転写することができる。また、ポリイミド前駆体層の加熱処理(焼成)時の焼成ムラを防ぐ観点から、50μm以下が好ましく、30μm以下がより好ましく、25μm以下がさらに好ましく、20μm以下が特に好ましい。このように、ポリイミド前駆体層の厚みが1μm以上、50μm以下であれば、加熱処理(焼成)時に、例えば、ポリイミド前駆体層からの水分や残留溶媒の放出に起因する焼成ムラの発生が抑制された、均一な厚みのポリイミド層を有するポリイミド積層体を得ることが出来る。通常、転写フィルムにおいては、転写時の応力による破断などに備え、ある程度の厚みを必要とする。本実施態様においては、ポリイミド前駆体層のイミド化率を45%以下とすることで、ポリイミド前駆体層の膜厚を上記のように薄くしても、厚みの薄いガラス又は金属からなる基材に好適に転写できる。また、ポリイミド前駆体層の厚みを薄くすることで、焼成後、厚みが均一で、緻密なポリイミドを形成し、高耐熱性でハンドリング性に優れたポリイミド積層体とすることができる。このように均一で薄い厚みを有するポリイミド積層体を用いることにより、電子デバイスの薄型化、軽量化を図ることができる。
なお、焼成とは、ポリイミド前駆体の脱水・環化(イミド化)反応を進めるための加熱処理を意図している。
また、焼成ムラの発生している状態とは、焼成後のポリイミド表面に、ポリイミドの厚みの違いによって、色の濃い部分と薄い部分が発生している状態、すなわちムラになっている状態を意図している。
The thickness of the polyimide precursor layer of the present invention is preferably 1 μm or more and 50 μm or less. Within this range, good thermal transfer can be performed on a substrate made of glass or metal. Moreover, from a viewpoint of preventing the baking nonuniformity at the time of heat processing (baking) of a polyimide precursor layer, 50 micrometers or less are preferable, 30 micrometers or less are more preferable, 25 micrometers or less are more preferable, and 20 micrometers or less are especially preferable. Thus, when the thickness of the polyimide precursor layer is 1 μm or more and 50 μm or less, for example, the occurrence of baking unevenness caused by the release of moisture and residual solvent from the polyimide precursor layer is suppressed during heat treatment (baking) Thus, it is possible to obtain a polyimide laminate having a polyimide layer of uniform thickness. In general, a transfer film requires a certain thickness in preparation for breakage due to stress during transfer. In the present embodiment, by setting the imidation ratio of the polyimide precursor layer to 45% or less, even if the film thickness of the polyimide precursor layer is made thin as described above, a substrate made of glass or metal having a small thickness Can be suitably transferred. Further, by reducing the thickness of the polyimide precursor layer, it is possible to form a dense polyimide having a uniform thickness after firing, and to obtain a polyimide laminate having high heat resistance and excellent handling. By using the polyimide laminate having a uniform and thin thickness as described above, the thickness and weight of the electronic device can be reduced.
In addition, baking intends the heat processing for advancing the dehydration and cyclization (imidization) reaction of a polyimide precursor.
In addition, the state in which uneven firing occurs is intended to be a state in which dark and light portions are generated on the surface of the fired polyimide due to the difference in the thickness of the polyimide, that is, uneven. doing.

(ポリイミド前駆体)
本発明のポリイミド前駆体層のポリイミド前駆体としては、ポリアミック酸が挙げられる。ポリアミック酸としては、汎用の基材フィルム上にポリイミド前駆体層を形成したときに、基材フィルムが溶融する温度以下で、ガラス又は金属からなる基材上に熱転写できるものであれば特に限定されるものではない。
(Polyimide precursor)
As a polyimide precursor of the polyimide precursor layer of this invention, a polyamic acid is mentioned. As a polyamic acid, when a polyimide precursor layer is formed on a general-purpose substrate film, it is particularly limited as long as it can be thermally transferred onto a substrate made of glass or metal at a temperature not higher than the temperature at which the substrate film melts. It is not a thing.

(ポリアミック酸)
本発明のポリイミド前駆体であるポリアミック酸は、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物との反応により得ることができる。
(Polyamic acid)
The polyamic acid which is a polyimide precursor of the present invention can be obtained by the reaction of a diamine and a tetracarboxylic acid dianhydride.

ジアミンとしては、例えば、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルメタン、3,3′−ジメチル−4,4′−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノベンズアニリド、ジアミノベンゾエート、ジアミノジフェニルスルフィド、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,5−ジアミノナフタレン、ジアミノトルエン、ジアミノベンゾトリフルオライド、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4′−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジアミノアントラキノン、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシフェニル)ジフェニルスルホン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサフルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフルオロブタン、1,5−ビス(アニリノ)デカフルオロペンタン、及び1,7−ビス(アニリノ)テトラデカフルオロヘプタンなどが挙げられる。ジアミンとしては、単
独で用いてもよいし、2種以上を混合物として併用してもよい。
これらの中でも、高耐熱性のポリイミド積層体を得る観点から、p−フェニレンジアミン、m−フェニルジアミン、3,4′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′−ジアミノジフェニルエーテルを使用することが好ましい。
As the diamine, for example, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 3,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diaminodiphenylether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4,4 '-Diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,2-bis (anilino) ethane, diaminodiphenylsulfone, diaminobenzanilide, diaminobenzoate, diaminodiphenyl sulfide, 2-Bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-aminophenyl) hexafluoropropane, 1,5-diaminonaphthalene, diaminotoluene, diaminobenzotrifluoride, 1,4-bis (p-amino Phenoxy) benzene, 4,4'-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 4,4'-bis (3-aminophenoxyphenyl) diphenyl sulfone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis ( Anilino) octafluorobutane, 1,5-bis (anilino) decafluoropentane, and 1,7-bis (anilino) tetradecafluoroheptane. As a diamine, you may use individually and may use together 2 or more types as a mixture.
Among these, p-phenylenediamine, m-phenyldiamine, 3,4'-diaminodiphenyl ether, and 4,4'-diaminodiphenyl ether are preferably used from the viewpoint of obtaining a highly heat-resistant polyimide laminate.

テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、2,3,3′,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,4,5,7−ナフタレンテトラカルボン酸、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3′,4,4′−ジフェニルメタンテトラカルボン酸、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、3,4,9,10−テトラカルボキシペリレン、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン、及び2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンなどの二無水物が挙げられる。テトラカルボン酸二無水物は、単独で使用してもよいし、2種以上を併用して使用してもよい。これらの中でも、高耐熱性のポリイミド積層体を得る観点から、ピロメリット酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物を使用することが好ましい。   Examples of tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic acid, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4,4'-Diphenylsulfonetetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-diphenylethertetracarboxylic acid, 2,3,3', 4'-benzophenonetetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic acid, 1,4,5,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-diphenylmethane tetracarboxylic acid, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane, 3,4,9,10-tetracarboxype Dianhydrides such as lene, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane, and 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] hexafluoropropane The thing is mentioned. The tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more. Among these, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 ′ from the viewpoint of obtaining a highly heat-resistant polyimide laminate. Preference is given to using diphenyl sulfone tetracarboxylic acid dianhydride.

ポリアミック酸は通常、溶媒に溶解させ、ポリアミック酸溶液として使用される。ポリアミック酸溶液中の、ポリアミック酸及びその他成分を含めた合計の固形分濃度は、塗工性や溶媒乾燥後のポリイミド前駆体層の外観の観点から、5重量%以上であることが好ましく、7重量%以上であることがさらに好ましく、10重量%以上であることが特に好ましい。また、30重量%以下であることが好ましく、25重量%以下であることがさらに好ましく、20重量%以下であることが特に好ましい。前記固形分濃度が5重量%以上、30重量%以下であれば、塗工ムラや、ポリイミド前駆体層の外観上の欠陥の発生を抑制することができるので好ましい。   The polyamic acid is usually dissolved in a solvent and used as a polyamic acid solution. The total solid concentration in the polyamic acid solution including the polyamic acid and the other components is preferably 5% by weight or more from the viewpoint of the coating property and the appearance of the polyimide precursor layer after solvent drying, More preferably, it is at least 10% by weight, and more preferably at least 10% by weight. The content is preferably 30% by weight or less, more preferably 25% by weight or less, and particularly preferably 20% by weight or less. If the said solid content concentration is 5 weight% or more and 30 weight% or less, since generation | occurrence | production of the coating nonuniformity and the defect on the external appearance of a polyimide precursor layer can be suppressed, it is preferable.

ポリアミック酸溶液の溶媒としては、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)等のアミド系溶媒、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシドなどのスルホキシド類、ジメチルスルホン、ジエチルスルホンなどのスルホン類を挙げることができる。これらの溶媒は単独で用いてもよく、混合して用いてもよい。
ポリアミック酸溶液は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを、実質的に等モル、またはどちらかの成分を少し過剰にして、有機溶媒中で反応させ調製し、用いることができる。また、市販されているものをそのまま用いることもできるし、市販されているものを調製して用いることもできる。また、異なるイミド化率のポリアミック酸溶液を混合して用いることもできる。
市販されているポリアミック酸溶液としては、例えば、ユニチカ製「UイミドワニスAR」、「UイミドワニスBH」、「UイミドワニスCR」、宇部興産製「U−ワニス」などを好適に用いることができる。
As solvents for the polyamic acid solution, amide solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N, N-dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMAc), dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide and the like And sulfones such as dimethylsulfone and diethylsulfone. These solvents may be used alone or in combination.
The polyamic acid solution can be prepared by reacting tetracarboxylic acid dianhydride and diamine in a substantially equimolar amount or a slight excess of either component in an organic solvent. Moreover, what is marketed can also be used as it is, and what is marketed can also be prepared and used. Also, polyamic acid solutions having different imidation ratios may be mixed and used.
As a polyamic acid solution marketed, a unitika "U imide varnish AR", "U imide varnish BH", "U imide varnish CR", Ube Industries "U- varnish" etc. can be used suitably, for example.

また、ポリアミック酸溶液には、本発明の目的を損なわない範囲で、ガラス又は金属からなる基材との密着性を高めるために、シランカップリング剤等の添加剤を添加してもよい。   In addition, additives such as a silane coupling agent may be added to the polyamic acid solution in order to enhance the adhesion to a substrate made of glass or metal, as long as the object of the present invention is not impaired.

上記シランカップリング剤としては、例えば、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
Examples of the silane coupling agent include 3- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, 3- (meth) acryloxypropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-isocyanate propyl triethoxysilane, 3-glycidoxy propyl trimethoxysilane, etc. are mentioned.

また、本発明の目的を損なわない範囲で、イミド化触媒や脱水剤を加えてもよく、充填剤、難燃剤、難燃助剤などを加えてもよい。   In addition, an imidization catalyst and a dehydrating agent may be added as long as the object of the present invention is not impaired, and a filler, a flame retardant, a flame retardant auxiliary and the like may be added.

上記のポリイミド前駆体層表面には、ガラス又は金属からなる基材表面との密着性や本ポリイミド積層体の耐熱性等の物性を損なうものでなければ、必要に応じて、表面処理を施してもよい。
具体的には、例えば、ガラス又は金属からなる基材表面との密着性の向上を目的として、シランカップリング剤を用いたシランカップリング処理、コロナ処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、フレーム処理及び紫外線照射処理により表面処理を施してもよいし、平滑化処理を施してもよい。
If necessary, surface treatment is applied to the surface of the polyimide precursor layer as long as it does not impair the adhesion with the substrate surface made of glass or metal and physical properties such as heat resistance of the polyimide laminate. It is also good.
Specifically, for example, a silane coupling treatment using a silane coupling agent, a corona treatment, a low pressure plasma treatment, an atmospheric pressure plasma treatment, and a flame for the purpose of improving adhesion with a substrate surface made of glass or metal. Surface treatment may be performed by treatment and ultraviolet irradiation treatment, or smoothing treatment may be performed.

<接着剤層>
本実施形態の転写フィルムは、特定のイミド化率を有するポリイミド前駆体層とすることで接着剤層を介さなくてもガラス又は金属からなる基材に好適に熱転写することができるが、接着剤層を更に有してもよい。接着剤層を有する場合、基材フィルム、樹脂層及び接着剤層の順に積層される。接着剤層を有することで、転写フィルムを転写する部材と樹脂層の接着性を向上させることができる。
接着剤層としては、本ポリイミド積層体の耐熱性の観点から、ポリイミドよりも耐熱性に劣る接着剤層でなければよく、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコ−ン樹脂、などがあげられる。
接着剤層の膜厚は特に限定されず、通常300nm以上、好ましくは500nm以上、また通常2μm以下、好ましくは1μm以下である。
接着剤層を形成する方法は特には限定されず、上記説明した塗工などの方法を用いることができる。
<Adhesive layer>
The transfer film of this embodiment can be suitably thermally transferred to a substrate made of glass or metal without using an adhesive layer by using a polyimide precursor layer having a specific imidation ratio, but an adhesive It may further have a layer. When it has an adhesive layer, it laminates | stacks in order of a base film, a resin layer, and an adhesive layer. By having an adhesive layer, the adhesiveness of the member which transcribes | transfers a transfer film, and a resin layer can be improved.
From the viewpoint of the heat resistance of the present polyimide laminate, the adhesive layer is not limited to an adhesive layer inferior in heat resistance to polyimide, and examples thereof include an epoxy resin, an acrylic resin, and a silicone resin.
The thickness of the adhesive layer is not particularly limited, and is usually 300 nm or more, preferably 500 nm or more, and usually 2 μm or less, preferably 1 μm or less.
The method for forming the adhesive layer is not particularly limited, and methods such as the coating described above can be used.

<保護層>
本実施形態の転写フィルムは、保護層を更に有してもよい。保護層を有する場合、基材フィルム、ポリイミド前駆体層、(接着剤層)及び保護層の順に積層される。保護層を有することで、ポリイミド前駆体層表面を汚染や損傷から防ぎ、転写フィルムを良好に保管することができる。また、接着剤層を有する場合、保護層を設けることで、接着剤層の粘着性によらずロール状物とすることができる。保護層は、転写フィルムの使用前に転写フィルムから剥離して使用する。
保護層としては、ポリイミド前駆体層又は接着剤層の形態を損なうことなく剥離できるものであれば特に限定されないが、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエステルフィルム等、これらのフィルムを紙材料の片面または両面にコートした離型紙等が挙げられる。
<Protective layer>
The transfer film of the present embodiment may further have a protective layer. When it has a protective layer, it laminates in order of a substrate film, a polyimide precursor layer, (adhesive layer), and a protective layer. By having a protective layer, the surface of the polyimide precursor layer can be prevented from being contaminated or damaged, and the transfer film can be well stored. Moreover, when it has an adhesive bond layer, by providing a protective layer, it can be set as a roll-like thing irrespective of the adhesiveness of an adhesive bond layer. The protective layer is used by peeling it from the transfer film before using the transfer film.
The protective layer is not particularly limited as long as it can be peeled without impairing the form of the polyimide precursor layer or the adhesive layer, but polyethylene films, polypropylene films, polymethylpentene films, polyester films, etc. A release paper coated on one side or both sides of the material may, for example, be mentioned.

<転写フィルムの製造方法>
本転写フィルムは、基材フィルムの表面にポリイミド前駆体であるポリアミック酸の溶液を塗布し、乾燥させることで作製することができる。
<Method of producing transfer film>
The transfer film can be produced by applying a solution of polyamic acid which is a polyimide precursor on the surface of a substrate film and drying it.

ポリアミック酸溶液を基材フィルム表面上に塗布する方法としては、目的とする厚さに塗布できる方法であれば、通常の方法を用いることができる。例えば、ダイコート塗工、バーコーター塗工、メイヤーバー塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、リバースグラビア塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、ディップコートを挙げることができる。   As a method of applying the polyamic acid solution on the surface of the substrate film, any conventional method can be used as long as it can be applied to a target thickness. For example, die coating, bar coater coating, mayer bar coating, air knife coating, gravure coating, reverse gravure coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, dip coating can be mentioned.

塗布したポリアミック酸溶液の溶媒を乾燥させるための加熱処理手法は、必要な温度、時間を維持できる方法であれば特に限定されない。例えば、所定の温度に設定したオーブンや恒温室で保管する方法、熱風を吹き付ける方法、赤外線ヒーターで加熱する方法、ランプで光を照射する方法、熱ロールや熱板と接触させて直接的に熱を付与する方法、マイクロ波を照射する方法などが使用できる。また、取扱いが容易な大きさに基材フィルムを切断してから加熱処理してもよいし、基材フィルムロールの状態で加熱処理してもよい。さらに、コーター等の塗工装置の一部分に加熱装置を組み込み、塗工過程で加熱処理を行うこともできる。   The heat treatment method for drying the solvent of the applied polyamic acid solution is not particularly limited as long as it can maintain the necessary temperature and time. For example, a method of storing in an oven or a constant temperature room set at a predetermined temperature, a method of blowing hot air, a method of heating with an infrared heater, a method of irradiating light with a lamp, a heat roll or a heat plate to make contact directly And the method of irradiating a microwave etc. can be used. Moreover, after heat-processing after cutting a base film to the magnitude | size which is easy to handle, you may heat-process in the state of a base film roll. Furthermore, a heating device can be incorporated into a part of a coating apparatus such as a coater, and heat treatment can be performed in the coating process.

塗布したポリアミック酸溶液の溶媒を乾燥させるための加熱処理条件については、溶媒を乾燥させ、且つ、ポリイミド前駆体層のイミド化率を前述の範囲内にできる条件であれば特に制限されない。
乾燥条件としては、用いるポリイミド前駆体、目的とする厚みにもよるが、イミド化反応速度の観点から、通常、50℃以上、好ましくは60℃以上、より好ましくは70℃以上、さらに好ましくは75℃以上、特に好ましくは80℃以上で行う。また、基材フィルムの耐熱性の観点から、通常、200℃以下、好ましくは180℃以下、より好ましくは170℃以下、さらに好ましくは160℃以下、特に好ましくは150℃以下で行う。
乾燥時間としては、生産性の観点から、通常、1分以上、好ましくは3分以上で実施する。また、結晶化度制御の観点から、30分以下、好ましくは20分以下、より好ましくは10分以下で実施する。本実施態様においては、厚みの薄いポリイミド前駆体層を加熱処理するので、上記のような短時間で、ポリイミド前駆体層のイミド化率を目的とする範囲とすることができる。
また、一定温度で乾燥してもよいし、予温していた温度から10℃/min.程度で昇温させて乾燥してもよい。乾燥時の乾燥ムラを防ぐ観点から、乾燥温度は順次上昇させることが、好ましい。
また、乾燥は窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気下や、空気等の活性ガス雰囲気下で行ってもよいし、真空状態で行ってもよい。
このような加熱処理を行うことで、溶媒を乾燥させ、且つ、ポリイミド前駆体層のイミド化率を前述の範囲内に調整することができる。
また、ガラスやポリエステルフィルム上にポリイミド前駆体層を形成した後、形成したポリイミド前駆体層を基材フィルム上に転写させて、本発明の転写フィルムを製造することもできる。
The heat treatment conditions for drying the solvent of the applied polyamic acid solution are not particularly limited as long as the solvent can be dried and the imidation ratio of the polyimide precursor layer can be made within the above range.
Although the drying conditions depend on the polyimide precursor to be used and the intended thickness, it is usually 50 ° C. or more, preferably 60 ° C. or more, more preferably 70 ° C. or more, more preferably 75 ° C. or more from the viewpoint of imidization reaction rate. C. or higher, particularly preferably 80.degree. C. or higher. Also, from the viewpoint of the heat resistance of the base film, the temperature is usually 200 ° C. or less, preferably 180 ° C. or less, more preferably 170 ° C. or less, still more preferably 160 ° C. or less, particularly preferably 150 ° C. or less.
The drying time is usually 1 minute or more, preferably 3 minutes or more, from the viewpoint of productivity. Also, from the viewpoint of controlling the degree of crystallinity, it is carried out in 30 minutes or less, preferably 20 minutes or less, more preferably 10 minutes or less. In this embodiment, since the thin polyimide precursor layer is heat-treated, the imidation ratio of the polyimide precursor layer can be set as a target range in a short time as described above.
Moreover, you may dry at fixed temperature, and the temperature which was preheated from 10 degreeC / min. The temperature may be raised to an extent and dried. It is preferable to raise the drying temperature sequentially from the viewpoint of preventing the drying unevenness at the time of drying.
The drying may be performed in an inert gas atmosphere such as nitrogen, argon, helium or the like, or in an active gas atmosphere such as air, or in a vacuum state.
By performing such heat treatment, the solvent can be dried, and the imidation ratio of the polyimide precursor layer can be adjusted within the range described above.
Moreover, after forming the polyimide precursor layer on glass or a polyester film, the formed polyimide precursor layer can be transferred on a base film, and the transfer film of this invention can also be manufactured.

このようにして製造した転写フィルムをロール状物とするには、公知の巻取り装置を用いることができる。また、乾燥工程後に連続して巻き取るように巻取り装置を組み込んだ装置設計としてもよい。   In order to make the transfer film thus produced into a roll, a known winding device can be used. In addition, it is possible to design the device which incorporates the winding device so as to take up continuously after the drying process.

<ポリイミド積層体>
本発明の別の実施形態は、ガラス又は金属からなる基材の少なくとも一方の面上にポリイミド層が積層されてなるポリイミド積層体である。本ポリイミド積層体は、本転写フィルムのポリイミド前駆体層側の面をガラス又は金属からなる基材と向き合うように熱ラミネートし、基材フィルムを剥離して、基材表面にポリイミド前駆体層を転写した後、好適な温度でポリイミド前駆体層を焼成しイミド化させてポリイミド層とすることで得られる。本ポリイミド積層体は、基材の片面にポリイミド層を有していてもよいし、両面に有していてもよい。
<Polyimide laminate>
Another embodiment of the present invention is a polyimide laminate in which a polyimide layer is laminated on at least one surface of a substrate made of glass or metal. The present polyimide laminate is thermally laminated so that the surface on the polyimide precursor layer side of the transfer film faces the substrate made of glass or metal, the substrate film is peeled off, and the polyimide precursor layer is formed on the substrate surface. After transfer, the polyimide precursor layer is fired at a suitable temperature and imidized to obtain a polyimide layer. The polyimide laminate may have a polyimide layer on one side of the substrate, or may have on both sides.

<ガラス又は金属からなる基材>
本実施形態に使用できるガラス基材は特に限定されない。具体的には、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどを例示することができる。このようなガ
ラスとしては、市販されているものを用いることができる。
<Substrate made of glass or metal>
The glass substrate that can be used in the present embodiment is not particularly limited. Specifically, soda lime glass, borosilicate glass, non-alkali glass and the like can be exemplified. As such glass, what is marketed can be used.

電子デバイスの材料としたときの観点から、ガラス基材の厚みは、10μm以上であることが好ましく、15μm以上であることがさらに好ましく、20μm以上であることが特に好ましい。また、200μm以下であることが好ましく、150μm以下であることがさらに好ましく、100μm以下であることが特に好ましい。本発明において、上記範囲の厚さのガラス基材であれば、片面又は両面にポリイミド層を有することで、ハンドリング性に優れ、且つ、ロール状物として巻き取ることができる。   The thickness of the glass substrate is preferably 10 μm or more, more preferably 15 μm or more, and particularly preferably 20 μm or more from the viewpoint of using as a material of an electronic device. The thickness is preferably 200 μm or less, more preferably 150 μm or less, and particularly preferably 100 μm or less. In the present invention, as long as it is a glass substrate having a thickness in the above range, by having a polyimide layer on one side or both sides, the handling property is excellent and it can be wound as a roll.

ガラス基材には、ポリイミド前駆体層及び/又はポリイミド層との密着性を向上させる目的で、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理などの表面処理などの各種表面処理をしてもよい。   For the purpose of improving the adhesion to the polyimide precursor layer and / or the polyimide layer, the glass substrate may be treated with a coupling agent such as a silane coupling agent or a titanium coupling agent, acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, Chemical treatment such as ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc discharge treatment, discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet light treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as laser treatment, surface treatment such as flame treatment Various surface treatments, such as, may be performed.

金属基材の具体例としては、熱延鋼板、冷延鋼板、溶融亜鉛めっき鋼板、電気亜鉛メッキ鋼板、ニッケルメッキ鋼板、ブリキ板、ティンフリースチール板、黄銅板、銅板、アルミニウム板、アルミニウム合金板、ステンレス鋼板などが挙げられる。このよう金属基材としては、市販されているものを用いることができる。   Specific examples of the metal substrate include hot rolled steel plate, cold rolled steel plate, galvanized steel plate, electrogalvanized steel plate, nickel plated steel plate, tin plate, tin free steel plate, brass plate, copper plate, copper plate, aluminum plate, aluminum alloy plate And stainless steel plates. As such a metal substrate, those commercially available can be used.

金属基材の厚みは、10μm以上であることが好ましく、15μm以上であることがさらに好ましく、20μm以上であることが特に好ましい。また、200μm以下であることが好ましく、150μm以下であることがさらに好ましく、100μm以下であることが特に好ましい。本発明において、10μm以上、200μm以下の金属基材であれば、ロール状物として巻き取ることができ、フレキシブルな電子回路の基板材料として使用することが可能である。   The thickness of the metal substrate is preferably 10 μm or more, more preferably 15 μm or more, and particularly preferably 20 μm or more. The thickness is preferably 200 μm or less, more preferably 150 μm or less, and particularly preferably 100 μm or less. In the present invention, if it is a metal base of 10 μm or more and 200 μm or less, it can be wound as a roll, and can be used as a substrate material of a flexible electronic circuit.

これら金属板はその表面が、化学的処理されたものであってもよい。化学的処理としては、めっき処理、浸漬クロム酸処理、リン酸クロム酸処理、ジンクロメート処理、アルマイト処理、プライマー塗布処理などが挙げられる。   These metal plates may have their surfaces chemically treated. Examples of chemical treatments include plating, immersion chromic acid treatment, phosphoric acid chromic acid treatment, zinc chromate treatment, alumite treatment, primer coating treatment, and the like.

<ポリイミド層>
本実施形態においてポリイミド積層体のポリイミド層は、ガラス又は金属からなる基材表面に、本転写フィルムから転写されたポリイミド前駆体層を焼成処理して形成される。ポリイミド層としては、本ポリイミド積層体の耐熱性の観点から、ガラス転移温度が200℃以上であるポリイミド、又はガラス転移温度を有しないポリイミドからなるものが好ましい。ガラス転移温度は300℃以上がさらに好ましく、350℃以上が特に好ましい。ポリイミド層の耐熱温度が200℃以上であれば、電子デバイスの基板として本ポリイミド積層体を使用することが可能であるので好ましい。ガラス転移温度の上限は限定されないが、通常、600℃以下である。
なお、本発明において、ガラス転移温度は以下の方法により測定した値をいう。
(ガラス転移温度の測定方法)
ガラス転移温度は、動的粘弾性測定における振動周波数10Hz、歪み0.1%、昇温速度3℃/min.の条件でシートの縦方向に測定した際の、損失弾性率(E”)のピーク温度で評価する。なお、損失弾性率(E”)のピーク温度が複数ある場合には、最も高い温度をガラス転移温度とする。また、ピークを示さない場合、ガラス転移温度を有しないものとする。
<Polyimide layer>
In the present embodiment, the polyimide layer of the polyimide laminate is formed by subjecting the polyimide precursor layer transferred from the present transfer film to a baking treatment on the surface of a substrate made of glass or metal. From the viewpoint of the heat resistance of the polyimide laminate, the polyimide layer is preferably a polyimide having a glass transition temperature of 200 ° C. or higher, or a polyimide having no glass transition temperature. The glass transition temperature is more preferably 300 ° C. or more, particularly preferably 350 ° C. or more. If the heat resistance temperature of the polyimide layer is 200 ° C. or more, it is preferable because the present polyimide laminate can be used as a substrate of an electronic device. Although the upper limit of the glass transition temperature is not limited, it is usually 600 ° C. or less.
In the present invention, the glass transition temperature is a value measured by the following method.
(Method of measuring glass transition temperature)
The glass transition temperature is a vibration frequency of 10 Hz, a strain of 0.1%, a heating rate of 3 ° C./min. The peak temperature of loss elastic modulus (E ′ ′) is measured when measured in the longitudinal direction of the sheet under the following conditions. If there are multiple peak temperatures of loss elastic modulus (E ′ ′), the highest temperature is Let it be the glass transition temperature. Moreover, when not showing a peak, it shall not have a glass transition temperature.

ポリイミド層の平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は、0.001nm以上、100
nm以下であることが好ましく、0.001nm以上、10nm以下であることがさらに好ましく、0.001nm以上、2nm以下であることが特に好ましい。平均面粗さが0.001nm以上、100nm以下であれば、本ポリイミド積層体を電子デバイスの基板として使用することが可能であるので好ましい。
なお、平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は、下記測定方法にて算出できる。
(算術平均粗さ(Sa)の測定方法)
非接触表面・層断面計測システムVertScan2.0(株式会社菱化システム製)を用いポリイミド層の表面観察を観察視野(測定領域):93.97μm×71.30μmにて実施し、ポリイミド層の表面について、平均面粗さ(算術平均粗さSa)を算出する。
The average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) of the polyimide layer is 0.001 nm or more, 100
The thickness is preferably nm or less, more preferably 0.001 nm or more and 10 nm or less, and particularly preferably 0.001 nm or more and 2 nm or less. If the average surface roughness is 0.001 nm or more and 100 nm or less, it is preferable because the present polyimide laminate can be used as a substrate of an electronic device.
The average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) can be calculated by the following measurement method.
(Method of measuring arithmetic mean roughness (Sa))
The surface observation of the polyimide layer was carried out using a non-contact surface / layer cross-section measurement system VertScan 2.0 (manufactured by Ryoka Systems Co., Ltd.) in the observation field of view (measurement area): 93.97 μm × 71.30 μm, and the surface of the polyimide layer The average surface roughness (arithmetic average roughness Sa) is calculated.

本発明のポリイミド積層体のポリイミド層は、その厚みが1μm以上、50μm以下であることが好ましい。また、電子デバイスとしたときの薄型化、軽量化の観点から、30μm以下がより好ましく、25μm以下がさらに好ましく、20μm以下が特に好ましい。
尚、ポリイミド前駆体層と、焼成処理して得られるポリイミド層の厚みは、ほぼ同じとなる。
The thickness of the polyimide layer of the polyimide laminate of the present invention is preferably 1 μm or more and 50 μm or less. Further, from the viewpoint of thickness reduction and weight reduction when forming an electronic device, 30 μm or less is more preferable, 25 μm or less is more preferable, and 20 μm or less is particularly preferable.
The thickness of the polyimide precursor layer and the thickness of the polyimide layer obtained by the baking treatment are substantially the same.

<ポリイミド積層体の製造方法>
本実施形態に係る積層体の製造方法は、本転写フィルムをガラス又は金属からなる基材上に転写して製造する方法であれば、特に限定されない。
まず、ガラス又は金属からなる基材を準備し、その少なくとも一方の面に、本転写フィルムのポリイミド前駆体層が基材と対向するように積層、転写し、その後、基材フィルムを剥離することで、ポリイミド前駆体層を有する積層体が得られる。このポリイミド前駆体層を有する積層体を焼成することで、ポリイミド前駆体層がイミド化し、ポリイミド層とガラス又は金属からなる基材が積層された、ポリイミド積層体を作製することができる。以下、ポリイミド積層体の製造方法の一実施形態をより詳しく説明する。
<Method of producing polyimide laminate>
The method for producing the laminate according to the present embodiment is not particularly limited as long as the method is produced by transferring the transfer film on a substrate made of glass or metal.
First, a substrate made of glass or metal is prepared, laminated on at least one surface of the transfer film so that the polyimide precursor layer of the transfer film faces the substrate, and then transferred, and then the substrate film is peeled off. Thus, a laminate having a polyimide precursor layer is obtained. By firing the laminate having the polyimide precursor layer, it is possible to produce a polyimide laminate in which the polyimide precursor layer is imidized and the polyimide layer and the substrate made of glass or metal are laminated. Hereinafter, an embodiment of a method for producing a polyimide laminate will be described in more detail.

転写ステップは、ガラス又は金属からなる基材を準備し、前記基材の少なくとも片面に本発明の転写フィルムを積層させ、ポリイミド前駆体層をガラス又は金属からなる基材に転写するステップである。この際転写フィルムは、ポリイミド前駆体層又は接着剤層とガラス又は金属からなる基板とを対向するように積層する。
転写フィルムは、ガラス又は金属からなる基材のどちらか一方の面にのみ積層させてもよく、両面に積層させてもよい。
The transfer step is a step of preparing a substrate made of glass or metal, laminating the transfer film of the present invention on at least one side of the substrate, and transferring the polyimide precursor layer to the substrate made of glass or metal. At this time, the transfer film is laminated so as to face the polyimide precursor layer or the adhesive layer and the substrate made of glass or metal.
The transfer film may be laminated only on either side of the substrate made of glass or metal, or may be laminated on both sides.

転写ステップおいて本転写フィルムは、取扱いが容易な大きさに切断した枚葉の状態で使用してもよく、ロール状態から巻き出して使用してもよい。また、ガラス又は金属からなる基材は、取扱いが容易な大きさに切断した枚葉の状態で使用してもよいし、ロール状に巻くことができるような厚みの薄い基材の場合は、ロール状態から巻き出して使用しても良い。   In the transfer step, the present transfer film may be used in the form of an individual sheet cut into a size easy to handle, or may be used by unwinding from the roll state. Moreover, the base material made of glass or metal may be used in the form of a single sheet cut into a size easy to handle, or in the case of a thin base material that can be rolled into a roll, You may unroll and use from a roll state.

ガラス又は金属からなる基材と転写フィルムを積層させた後、転写させる方法としては、プレス、ラミネート、ロールラミネートなどの公知の方法を用いることができる。例えば、熱プレスする方法は、カットシート状の枚葉品の製造に適しており、一対以上のゴムロールや金属ロールを有する熱ロールラミネート装置での連続処理による方法はロール品の製造に適している。本実施形態においては、既知の装置を用いればよいが、例えば、熱ラミネート装置の一部分にポリイミド前駆体の塗工装置、及び塗工後の組成物を乾燥させる乾燥装置を組み込んだ熱ラミネート装置とし、本転写フィルムの製造と熱ラミネートを連続的に行ってもよい。
熱ラミネートは、ガラス又は金属からなる基材の片面又は両面に、ポリイミド前駆体層
を基材表面へ対向するようにした状態で本転写フィルムを積層し、所定温度に加熱したニップロール間を通過させることにより行うことができる。
As a method of transferring after laminating a transfer film with a substrate made of glass or metal, known methods such as pressing, laminating, roll laminating and the like can be used. For example, the method of heat pressing is suitable for the production of cut sheet-like sheet-fed products, and the method of continuous processing in a heat roll laminating apparatus having a pair or more of rubber rolls and metal rolls is suitable for the production of roll products . In the present embodiment, a known device may be used, for example, a thermal laminating device incorporating a coating device of a polyimide precursor and a drying device for drying the composition after coating on a part of the thermal laminating device. The production of the present transfer film and the thermal lamination may be performed continuously.
In the thermal lamination, the present transfer film is laminated on one side or both sides of a substrate made of glass or metal with the polyimide precursor layer facing the substrate surface, and passed between nip rolls heated to a predetermined temperature. It can be done by

本ポリイミド積層体の製造方法においては、転写温度は、ポリイミド前駆体層をガラス又は金属からなる基材へ良好に転写する観点から、通常、前記ポリイミド前駆体層のガラス転移温度以上であり、前記ポリイミド前駆体層のガラス転移温度+50℃以下が好ましい。一般に、ポリイミド前駆体のガラス転移温度はポリイミドのガラス転移温度より50℃以上低い。すなわち、転写温度は、ポリイミド前駆体層の焼成後に得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)以下であることが好ましい。ポリイミド前駆体層の焼成後に得られるポリイミドがガラス転移温度を有しない場合は、転写温度は200℃以下が好ましい。このように、転写温度を低くすることにより、ポリエチレンテレフタレート等の汎用的な転写用基材を使用することができる。
また、本発明のポリイミド前駆体層は、イミド化率が前述の範囲内であることによって、転写ステップの転写温度がポリイミド前駆体層のガラス転移温度以上であれば、ポリイミド前駆体層の弾性率が転写に好ましい範囲になるため、ガラス又は金属からなる基材上に、ポリイミド前駆体層を良好に転写することができる。ここで、転写温度とは、転写ステップにおいて、ガラス又は金属からなる基材と本転写フィルムを挟み込む部材、例えばニップロールの制御温度である。
In the method for producing a polyimide laminate of the present invention, the transfer temperature is usually not less than the glass transition temperature of the polyimide precursor layer from the viewpoint of favorably transferring the polyimide precursor layer to a substrate made of glass or metal. The glass transition temperature + 50 ° C. or less of the polyimide precursor layer is preferable. Generally, the glass transition temperature of the polyimide precursor is 50 ° C. or more lower than the glass transition temperature of the polyimide. That is, the transfer temperature is preferably equal to or less than the glass transition temperature (Tg) of the polyimide obtained after firing of the polyimide precursor layer. When the polyimide obtained after firing of the polyimide precursor layer does not have a glass transition temperature, the transfer temperature is preferably 200 ° C. or less. Thus, by lowering the transfer temperature, a general purpose transfer substrate such as polyethylene terephthalate can be used.
In the polyimide precursor layer of the present invention, when the imidization ratio is within the range described above, the elastic modulus of the polyimide precursor layer if the transfer temperature of the transfer step is equal to or higher than the glass transition temperature of the polyimide precursor layer. Is a preferable range for transfer, so that the polyimide precursor layer can be transferred well onto a substrate made of glass or metal. Here, the transfer temperature is a control temperature of a member, such as a nip roll, which sandwiches the transfer film with a substrate made of glass or metal in the transfer step.

プレス時のプレス圧は、ガラス又は金属からなる基材とポリイミド層の密着性の観点から、1MPa以上、20MPa以下が好ましい。この範囲のプレス圧で転写することで、基材として上述した厚みの薄いガラスを用いても破損し難く、ポリイミド積層体としたときに、基材とポリイミドとの間に十分な密着性が得られる。
ラミネート時のニップロール圧は、ガラス又は金属からなる基材とポリイミド層の密着性の観点から、ラミネートロールの単位長さ当たりの圧力として、0.1MPa・cm以上、5MPa・cm以下が好ましい。この範囲のロール圧でラミネートすることで、基材として上述した厚みの薄いガラスを用いても、破損し難く、ポリイミド積層体としたときに、基材とポリイミドとの間に十分な密着性が得られる。このように、本発明においては、特定のイミド化率とすることにより、ニップロール圧を低くしても好適に転写できるため、より薄いガラス基材を用いることができる。また、ラミネート速度は、残留溶媒に起因する発泡を抑制する観点から、0.1m/min.以上、良好にラミネート加工する観点から、50m/min.以下であることが好ましい。
The pressing pressure at the time of pressing is preferably 1 MPa or more and 20 MPa or less from the viewpoint of the adhesion between the substrate made of glass or metal and the polyimide layer. By transferring at a pressing pressure in this range, it is difficult to be damaged even if the thin glass described above is used as the substrate, and when the polyimide laminate is formed, sufficient adhesion between the substrate and the polyimide is obtained. Be
The nip roll pressure at the time of lamination is preferably 0.1 MPa · cm or more and 5 MPa · cm or less as the pressure per unit length of the laminate roll from the viewpoint of the adhesion between the substrate made of glass or metal and the polyimide layer. By laminating with a roll pressure in this range, even if the thin glass described above is used as the substrate, it is difficult to be damaged, and when the polyimide laminate is formed, sufficient adhesion between the substrate and the polyimide is obtained. can get. As described above, in the present invention, a thin glass substrate can be used because transfer can be suitably performed even at a low nip roll pressure by setting the specific imidization ratio. In addition, from the viewpoint of suppressing the foaming caused by the residual solvent, the laminating speed is 0.1 m / min. As mentioned above, from a viewpoint which laminates favorably, 50 m / min. It is preferable that it is the following.

剥離ステップは、上記転写ステップで得られた積層体から、基材フィルムを剥離するステップである。通常、転写フィルムの基材フィルムは良好な離型性を有し、剥離の方法は特段限定されない。   The peeling step is a step of peeling the base film from the laminate obtained in the transfer step. Usually, the base film of the transfer film has good releasability, and the method of peeling is not particularly limited.

焼成ステップは、上記転写ステップで得られた積層体のポリイミド前駆体層を焼成し、硬化するステップである。焼成ステップにおける焼成温度及び焼成時間は、ポリイミド前駆体のイミド化反応が進む条件であれば特に制限はない。例えば、焼成後に得られるポリイミドのガラス転移温度(Tg)+50℃、ポリイミドのガラス転移温度(Tg)が明確でない場合は、ポリイミド積層体の使用温度+50℃で、30分から1時間程度処理すればよい。このような加熱処理は、ポリアミック酸溶液の溶媒を乾燥させるための加熱処理手法で上述した、公知の加熱方法を用いて行うことができる。また、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気下や、空気等の活性ガス雰囲気下で行ってもよいし、真空状態で行ってもよい。   The firing step is a step of firing and curing the polyimide precursor layer of the laminate obtained in the transfer step. The firing temperature and the firing time in the firing step are not particularly limited as long as the imidization reaction of the polyimide precursor proceeds. For example, when the glass transition temperature (Tg) + 50 ° C of the polyimide obtained after firing and the glass transition temperature (Tg) of the polyimide are not clear, the treatment may be performed for about 30 minutes to 1 hour at the use temperature + 50 ° C of the polyimide laminate. . Such heat treatment can be performed using the known heating method described above in the heat treatment method for drying the solvent of the polyamic acid solution. In addition, the reaction may be performed in an inert gas atmosphere such as nitrogen, argon, or helium, or in an active gas atmosphere such as air, or in a vacuum state.

このように、ガラス又は金属からなる基材上に、本転写フィルムを積層・転写し、基材フィルムを剥離させて得られたポリイミド前駆体層を有する積層体を焼成することで、簡易な方法で、高耐熱性を示すポリイミド層をガラス又は金属からなる基材上に設けること
ができ、また、ハンドリング性に優れるポリイミド積層体が得られる。
Thus, the present transfer film is laminated and transferred onto a substrate made of glass or metal, and the laminate film having a polyimide precursor layer obtained by peeling the substrate film is fired, a simple method. Thus, a polyimide layer exhibiting high heat resistance can be provided on a substrate made of glass or metal, and a polyimide laminate excellent in handleability can be obtained.

また、本実施形態に係るポリイミド積層体は、公知の巻取り装置を用いて、ロール状物とすることができる。この際、硬化後に連続して巻き取るように巻取り装置を組み込んだ装置設計としてもよい。   Moreover, the polyimide laminated body which concerns on this embodiment can be used as a roll-like thing using a well-known winding device. At this time, it is possible to design an apparatus incorporating a winding device so as to take up continuously after curing.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明が以下の実施例に記載の態様に限定されるものではない。
なお、実施例における測定・評価は以下の方法・基準で行った。
<測定・評価>
(1)イミド化率
赤外分光光度計を用い、全反射吸光分光法(ATR法)により、イミドの吸光度(1380cm-1)とベンゼン環の吸光度(1510cm-1)より、その吸光度比から式(a)よりイミド化率を求めた。
なお、測定は、転写フィルムのポリイミド前駆体層表面側から行った。
イミド化率%=(1380cm-1の吸光度)/(1510cm-1の吸光度)×100・・・
式(a)
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited to the embodiments described in the following examples.
In addition, the measurement and evaluation in the Example were performed by the following method and reference | standard.
<Measurement and evaluation>
(1) using the imidization infrared spectrophotometer, by total reflection absorption spectroscopy (ATR method), from the absorbance of the imide (1380 cm -1) and the absorbance of the benzene ring (1510 cm -1), wherein from the absorbance ratio The imidization rate was determined from (a).
In addition, the measurement was performed from the polyimide precursor layer surface side of a transfer film.
Imidation ratio% = (absorbance of 1380 cm -1 ) / (absorbance of 1510 cm -1 ) x 100 ...
Formula (a)

(2)塗工ムラ(転写フィルム上のポリイミド前駆体内の欠陥数)
転写フィルム上のポリイミド前駆体の範囲10cmに、1mm以上の大きさの欠陥(未塗工部分、空隙、凹部分)があるかどうかを目視で確認した。
×:1個以上ある
△:測定箇所によって、欠陥が有る箇所と無い箇所が存在する
○:なし
(2) Coating unevenness (the number of defects in the polyimide precursor on the transfer film)
It was visually confirmed whether or not there is a defect (uncoated portion, void, recessed portion) having a size of 1 mm 2 or more in the area 10 cm 2 of the polyimide precursor on the transfer film.
×: 1 or more
:: Depending on the measurement location, there are locations with and without defects ○: None

(3)熱ラミネート適性
ガラス又は金属からなる基材に転写フィルムを熱ラミネートし、基材フィルムを剥離した。ガラス又は金属からなる基材にポリイミド前駆体層がラミネートされているかを目視で確認した。
○:ガラス又は金属からなる基材にポリイミド前駆体層がラミネートされている。
×:ガラス又は金属からなる基材にポリイミド前駆体層がラミネートされておらず、基材フィルム上にある。
(3) Heat Lamination Suitability The transfer film was heat laminated to a substrate made of glass or metal, and the substrate film was peeled off. It was visually confirmed whether the polyimide precursor layer was laminated on a substrate made of glass or metal.
○: A polyimide precursor layer is laminated on a substrate made of glass or metal.
X: The polyimide precursor layer is not laminated on the substrate made of glass or metal, and is on the substrate film.

(4)焼成ムラ
ポリイミド前駆体層をガラス又は金属からなる基材に転写後、基材フィルムを剥離し、イミド化のため、250℃で30分、450℃で30分、窒素雰囲気下で焼成を行い、焼成後のポリイミド層表面に、色の濃い部分と薄い部分が発生した状態を焼成ムラありとした。焼成ムラは目視で確認した。
○:焼成ムラなし
△:わずかに焼成ムラが見られるが、実用上問題なし
×:焼成ムラあり
(4) Firing unevenness After transferring the polyimide precursor layer to a substrate made of glass or metal, the substrate film is peeled off and baked for 30 minutes at 250 ° C., 30 minutes at 450 ° C. in a nitrogen atmosphere for imidization. In the surface of the polyimide layer after firing, a state where dark and light portions were generated was regarded as firing unevenness. Firing unevenness was visually confirmed.
:: no firing unevenness △: slight firing unevenness observed, but no problem in practical use x: firing unevenness

[実施例1]
固形分濃度18%のユニチカ製「UイミドワニスAR」を基材フィルム(ポリエチレンテレフタレートの二軸延伸フィルム(三菱樹脂株式会社製「T100−100」))にバーコーターで塗布、乾燥用オーブンにて100℃で5分間乾燥し、イミド化率36%、厚み22μmのポリイミド前駆体層を有する転写フィルムを得た。
次に、ガラス基材(日本電気硝子株式会社製「OA−10G」、厚み:100μm)を準備し、直径200mmの金属ロールと直径200mmのゴムロールを有したラミネータ
ーを用いて、線圧0.4MPa・cmで前記転写フィルムと150℃で熱ラミネートした。
基材フィルムを剥離した後、乾燥用オーブンにて、250℃で30分間、450℃で30分間窒素雰囲気下で焼成し、ポリイミド積層体を作製した。 得られた転写フィルムについて、上記記載の方法に従い、イミド化率、塗工ムラを評価した。また、得られたポリイミド積層体について、上記記載の方法に従い、熱ラミネート適正、焼成ムラを評価した。結果を表1に示す。
Example 1
A unit film made of Unitika "U imide varnish AR" with a solid content concentration of 18% is coated on a base film (biaxially stretched film of polyethylene terephthalate ("T100-100" manufactured by Mitsubishi Resins Co., Ltd.) with a bar coater, and 100 for drying oven It was dried at 5 ° C. for 5 minutes to obtain a transfer film having a polyimide precursor layer having an imidization rate of 36% and a thickness of 22 μm.
Next, a glass substrate (“OA-10G” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., thickness: 100 μm) is prepared, and a linear pressure of 0.4 MPa is obtained using a laminator having a metal roll of 200 mm in diameter and a rubber roll of 200 mm in diameter. Heat laminated at 150 ° C. with the transfer film in cm.
After peeling the base film, it was baked in a drying oven for 30 minutes at 250 ° C. and 30 minutes at 450 ° C. under a nitrogen atmosphere to produce a polyimide laminate. The imidation ratio and the coating unevenness were evaluated about the obtained transfer film according to the method of the said description. Moreover, about the obtained polyimide laminated body, according to the method of said description, the heat lamination appropriateness and baking unevenness were evaluated. The results are shown in Table 1.

[実施例2]
乾燥条件を80℃、4分間に変更し、イミド化率20%、厚み18μmのポリイミド前駆体層を形成した以外は実施例1と同様にして、ポリイミド積層体を作製した。
得られた転写フィルム及びポリイミド積層体について、実施例1と同様に評価を実施した結果を表1に示す。
Example 2
A polyimide laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that the drying conditions were changed to 80 ° C. and 4 minutes, and a polyimide precursor layer having an imidation ratio of 20% and a thickness of 18 μm was formed.
The results of evaluation of the obtained transfer film and polyimide laminate in the same manner as in Example 1 are shown in Table 1.

[実施例3]
ガラス基材の代わりに80μm熱延鋼板を使用した以外は実施例2と同様にして、ポリイミド積層体を作製した。
得られた転写フィルム及びポリイミド積層体について、実施例1と同様に評価を実施した。結果を表1に示す。
[Example 3]
A polyimide laminate was produced in the same manner as in Example 2 except that 80 μm hot-rolled steel plate was used instead of the glass substrate.
Evaluation was implemented similarly to Example 1 about the obtained transfer film and polyimide laminated body. The results are shown in Table 1.

[実施例4]
厚み40μmのポリイミド前駆体層を形成した以外は実施例2と同様にして、ポリイミド積層体を作成した。
得られた転写フィルム及びポリイミド積層体について、実施例1と同様に評価を実施した。結果を表1に示す。
Example 4
A polyimide laminate was produced in the same manner as in Example 2 except that a polyimide precursor layer having a thickness of 40 μm was formed.
Evaluation was implemented similarly to Example 1 about the obtained transfer film and polyimide laminated body. The results are shown in Table 1.

[実施例5]
基材フィルムとしてシリコーン離型処理フィルム(ポリエチレンテレフタレートの二軸延伸フィルム(三菱樹脂株式会社製「MRF−38」)を使用した以外は実施例1と同様にして、ポリイミド積層体を作製した。
得られた転写フィルム及びポリイミド積層体について、実施例1と同様に評価を実施した。結果を表1に示す。
[Example 5]
A polyimide laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that a silicone release-treated film (biaxially stretched film of polyethylene terephthalate ("MRF-38" manufactured by Mitsubishi Resins Co., Ltd.) was used as a base film.
Evaluation was implemented similarly to Example 1 about the obtained transfer film and polyimide laminated body. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
乾燥条件を200℃、5分間に変更し、イミド化率48%のポリイミド前駆体層を形成した以外は実施例2と同様にして、ポリイミド積層体を作製した。
得られた転写フィルム及びポリイミド積層体について、実施例1と同様に評価を実施した。結果を表1に示す。
Comparative Example 1
A polyimide laminate was produced in the same manner as in Example 2 except that the drying conditions were changed to 200 ° C. and 5 minutes, and a polyimide precursor layer having an imidization ratio of 48% was formed.
Evaluation was implemented similarly to Example 1 about the obtained transfer film and polyimide laminated body. The results are shown in Table 1.

実施例1〜5、比較例1の結果から、イミド化率が45%以下であるポリイミド前駆体層を有する本発明の転写フィルムを使用することで、ガラス又は金属からなる基材上にポリイミド前駆体層を良好に転写できることが確認された。また、転写後焼成することで、高耐熱性を示すポリイミド樹脂と、ガラス又は金属からなる基材が積層されたポリイミド積層体が得られることがわかった。さらには、得られたポリイミド積層体のポリイミド層には外観上の欠陥がないことがわかった。   From the results of Examples 1 to 5 and Comparative Example 1, by using the transfer film of the present invention having a polyimide precursor layer having an imidization ratio of 45% or less, a polyimide precursor on a substrate made of glass or metal It was confirmed that the body layer could be transferred well. Moreover, it turned out that the polyimide laminated body in which the polyimide resin which shows high heat resistance, and the base material which consists of glass or a metal was laminated | stacked by baking after transfer is obtained. Furthermore, it was found that the polyimide layer of the obtained polyimide laminate had no defect in appearance.

本発明の転写フィルムは、従来よりも低温で、ガラス又は金属からなる基材に簡易にポリイミド層を積層することができ、また、本発明の転写フィルムを用いて作製されたポリイミド積層体は耐熱性及びハンドリング性に優れるので、産業上非常に有用である。   The transfer film of the present invention can easily laminate a polyimide layer on a substrate made of glass or metal at a lower temperature than before, and the polyimide laminate produced using the transfer film of the present invention is heat resistant Since it is excellent in the nature and handling nature, it is very useful industrially.

Claims (5)

ガラスからなる基材の少なくとも片面に、基材フィルムと前記基材フィルム上に形成されたポリイミド前駆体層とを備える転写フィルムであって、前記ポリイミド前駆体層は単層でありイミド化率が45%以下である転写フィルムを、前記ポリイミド前駆体層が前記基材側と対向するように積層し、転写させる転写ステップ、
前記ステップで得られた積層体から前記基材フィルムを剥離する剥離ステップ、及び
前記ポリイミド前駆体層を焼成する焼成ステップ、を含むポリイミド積層体の製造方法。
On at least one surface of the glass or Ranaru substrate, a transfer film and a substrate film and the polyimide precursor layer formed on the base film, the polyimide precursor layer is a single layer imidization A transfer step of laminating a transfer film having a percentage of 45% or less so that the polyimide precursor layer faces the substrate side, and transferring the transferred film;
A method for producing a polyimide laminate, comprising: a peeling step of peeling the base film from the laminate obtained in the step; and a firing step of firing the polyimide precursor layer.
前記転写ステップの転写温度が、ポリイミド前駆体を焼成して得られるポリイミドがガラス転移温度を有する場合は該ポリイミドのガラス転移温度以下の温度である、又はポリイミド前駆体を焼成して得られるポリイミドがガラス転移温度を有しない場合は200℃以下である請求項に記載のポリイミド積層体の製造方法。 The transfer temperature of the transfer step is a temperature below the glass transition temperature of the polyimide when the polyimide obtained by firing the polyimide precursor has a glass transition temperature, or the polyimide obtained by firing the polyimide precursor is The method for producing a polyimide laminate according to claim 1 , wherein the temperature is 200 ° C. or less when it does not have a glass transition temperature. 前記ポリイミド積層体のポリイミド層表面の平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))が、0.001nm以上、100nm以下である、請求項又はに記載のポリイミド積層体の製造方法。 The manufacturing method of the polyimide laminated body of Claim 1 or 2 whose average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) of the polyimide layer surface of the said polyimide laminated body is 0.001 nm or more and 100 nm or less. 前記ポリイミド前駆体層の厚みが1μm〜50μmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミド積層体の製造方法。  The manufacturing method of the polyimide laminated body of any one of Claims 1-3 whose thickness of the said polyimide precursor layer is 1 micrometer-50 micrometers. 請求項のいずれか1項に記載の製造方法により得られるポリイミド積層体を巻きとる工程を含む、ロール状物の製造方法。 Comprising the step of Nikki up the claims 1 to polyimide laminate obtained by the production method according to any one of 4, the manufacturing method of the rolled product.
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