JP6405037B2 - 瞬時時間領域光コヒーレンストモグラフィ - Google Patents
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Description
LSamp=LRef 式(1)
式1で、LSampは、試料ビーム226と測定ビーム228に関する光路長の和によって与えられる、試料光路224にわたる合計光路長である。LRefは、基準ビーム230の光路長によって与えられる、基準光路222全体にわたる合計光路長である。図2に示される光路長に関して、式1は、式2によって与えられるように記述され得る。
L1+2×L2+L3=L4+L5+L6 式(2)
式2で、L1は、光路224−1に沿って伝播する試料ビーム226の光路長である。L2は、光路224−2に沿って伝播する試料ビーム226の光路長である。L3は、光路224−3に沿って伝播する測定ビーム228の光路長である。L4は、光路222−1に沿って伝播する基準ビーム230の光路長である。L5は、光路222−2に沿って伝播する基準ビーム230の光路長である。L6は、光路222−3に沿って伝播する基準ビーム230の光路長である。
本明細書に開示される発明は以下の態様を含む。
〔態様1〕
時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための方法であって、
光学開始点を共有する試料ビームと基準ビームを発生するステップと、
前記基準ビームを、固定光路に沿って、定在波型導波路分光計の光軸に伝播するステップと、
前記試料ビームを試料に伝播するステップであって、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱されて、測定ビームを生じるステップと、
前記測定ビームを、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播するステップと、
前記定在波型導波路分光計から干渉信号を受信するステップであって、前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部での前記基準ビームと前記測定ビームとの光干渉を示すステップと
を含む方法。
〔態様2〕
前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含む態様1に記載の方法。
〔態様3〕
前記基準ビームの光子と前記測定ビームの光子との間での前記光学開始点に対する光路長の差に関するゼロ点が、前記定在波型導波路分光計内部にある態様1に記載の方法。
〔態様4〕
前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に対する感受性を有する態様1に記載の方法。
〔態様5〕
前記干渉信号を処理して、前記試料の光学的深さプロファイルを生成するステップ
をさらに含む態様1に記載の方法。
〔態様6〕
前記試料を示す画像データを生成するために前記試料を走査するステップであって、前記試料ビームが、前記試料での様々な横方向位置に向けられ、各横方向位置で光学的深さプロファイルが生成されるステップ
をさらに含む態様5に記載の方法。
〔態様7〕
時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための測定機器であって、
光源からの光を試料ビームと基準ビームに分割するためのビームスプリッタと、
光軸を有する定在波型導波路分光計を備える検出器と
を備え、
前記基準ビームが、前記ビームスプリッタから、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記試料ビームが試料に伝播し、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱され、測定ビームを生じ、前記測定ビームが、前記試料から、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記定在波型導波路分光計が、光干渉を示す干渉信号を生成し、前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で前記基準ビームと前記測定ビームとの間で生じる
測定機器。
〔態様8〕
前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含み、
前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に対する感受性を有する
態様7に記載の方法。
〔態様9〕
前記試料の光学的深さプロファイルを生成するために前記干渉信号を処理するための信号処理モジュールであって、前記干渉ビームの光路長が、前記干渉信号が処理されるときに固定されたままである信号処理モジュール
をさらに備える態様7に記載の測定機器。
〔態様10〕
前記試料での様々な横方向位置に前記試料ビームを向けるための走査要素であって、各横方向位置で光学的深さプロファイルが生成される走査要素
をさらに備える態様9に記載の測定機器。
〔態様11〕
前記信号処理モジュールおよび走査要素が、
前記試料の走査ラインにわたって生成される複数の光学的深さプロファイルに対応する2次元画像を生成するため、および
複数の前記走査ラインにわたって生成される複数の光学的深さプロファイルに対応する3次元画像を生成するため
のものである態様10に記載の測定機器。
〔態様12〕
前記定在波型導波路分光計が、前記光干渉に関連付けられるエバネッセント波に対する感受性を有する態様7に記載の測定機器。
〔態様13〕
前記基準ビームおよび前記測定ビームが、前記光軸に沿って逆方向に伝播する態様7に記載の測定機器。
〔態様14〕
前記基準ビームおよび前記測定ビームが、前記光軸に沿って同方向に伝播する態様7に記載の測定機器。
〔態様15〕
時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための測定機器であって、
低コヒーレンス光を生成するための光源と、
前記光源からの前記低コヒーレンス光を試料ビームと基準ビームに分割するためのビームスプリッタと、
光軸を有する定在波型導波路分光計を備える検出器と
を備え、
前記基準ビームが、前記ビームスプリッタから前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記試料ビームが試料に伝播し、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱され、測定ビームを生じ、前記測定ビームが、前記試料から、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記定在波型導波路分光計が、光干渉を示す干渉信号を生成し、前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で前記基準ビームと前記測定ビームとの間で生じ、
前記基準ビームの光路長が、前記干渉信号が生成されるときに固定されたままであり、
前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含み、
前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に関連付けられるエバネッセンス波に対する感受性を有する
測定機器。
Claims (13)
- 瞬時時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための方法であって、
光学開始点を共有する試料ビームと基準ビームを発生することと、
前記基準ビームを、固定光路に沿って、定在波型導波路分光計の光軸に伝播することと、
前記試料ビームを試料に伝播することであって、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱されて、測定ビームを生じることと、
前記測定ビームを、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播することであって、前記基準ビームと前記測定ビームとは、前記光軸に沿って逆方向に伝播することと、
前記定在波型導波路分光計から干渉信号を受信することであって、前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部での前記基準ビームと前記測定ビームとの光干渉を示すことと、を含む方法。 - 前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含む請求項1に記載の方法。
- 前記基準ビームの光子と前記測定ビームの光子との間での前記光学開始点に対する光路長の差に関するゼロ点が、前記定在波型導波路分光計内部にある請求項1に記載の方法。
- 前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に対する感受性を有する請求項1に記載の方法。
- 前記干渉信号を処理して、前記試料の光学的深さプロファイルを生成することをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 前記試料を示す画像データを生成するために前記試料を走査することであって、前記試料ビームが、前記試料での様々な横方向位置に向けられ、各横方向位置で光学的深さプロファイルが生成されることをさらに含む請求項5に記載の方法。
- 瞬時時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための測定機器であって、
光源からの光を試料ビームと基準ビームに分割するためのビームスプリッタと、
光軸を有する定在波型導波路分光計を備える検出器と
を備え、
前記基準ビームが、前記ビームスプリッタから、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記試料ビームが試料に伝播し、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱され、測定ビームを生じ、前記測定ビームが、前記試料から、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記基準ビームと前記測定ビームとは、前記光軸に沿って逆方向に伝播し、
前記定在波型導波路分光計が、光干渉を示す干渉信号を生成し、前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で前記基準ビームと前記測定ビームとの間で生じる
測定機器。 - 前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含み、
前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に対する感受性を有する
請求項7に記載の測定機器。 - 前記試料の光学的深さプロファイルを生成するために前記干渉信号を処理するための信号処理モジュールであって、前記基準ビームの光路長が、前記干渉信号が処理されるときに固定されたままである信号処理モジュール
をさらに備える請求項7に記載の測定機器。 - 前記試料での様々な横方向位置に前記試料ビームを向けるための走査要素であって、各横方向位置で光学的深さプロファイルが生成される走査要素
をさらに備える請求項9に記載の測定機器。 - 前記信号処理モジュールおよび走査要素が、
前記試料の走査ラインにわたって生成される複数の光学的深さプロファイルに対応する2次元画像を生成するため、および
複数の前記走査ラインにわたって生成される複数の光学的深さプロファイルに対応する3次元画像を生成するため
のものである請求項10に記載の測定機器。 - 前記定在波型導波路分光計が、前記光干渉に関連付けられるエバネッセント波に対する感受性を有する請求項7に記載の測定機器。
- 瞬時時間領域光コヒーレンストモグラフィを実施するための測定機器であって、
低コヒーレンス光を生成するための光源と、
前記光源からの前記低コヒーレンス光を試料ビームと基準ビームに分割するためのビームスプリッタと、
光軸を有する定在波型導波路分光計を備える検出器と
を備え、
前記基準ビームが、前記ビームスプリッタから前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記試料ビームが試料に伝播し、前記試料ビームの一部が、前記試料によって後方散乱され、測定ビームを生じ、前記測定ビームが、前記試料から、前記定在波型導波路分光計の前記光軸に伝播し、
前記基準ビームと前記測定ビームとは、前記光軸に沿って逆方向に伝播し、
前記定在波型導波路分光計が、光干渉を示す干渉信号を生成し、前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で前記基準ビームと前記測定ビームとの間で生じ、
前記基準ビームの光路長が、前記干渉信号が生成されるときに固定されたままであり、
前記光干渉が、前記定在波型導波路分光計内部で第1の幅にわたって生じ、前記第1の幅が、前記試料内部の前記試料ビームの貫入深さに線形に対応し、前記測定ビームが、前記貫入深さ内部で前記試料によって後方散乱された光子を含み、
前記干渉信号が、前記定在波型導波路分光計内部の複数の検出器画素によって同時に生成され、前記検出器画素が、前記光干渉に関連付けられるエバネッセンス波に対する感受性を有する
測定機器。
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