JP6175300B2 - Fitting member for fluid control device and fluid control device - Google Patents
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Description
この発明は、流体制御装置用継手部材および流体制御装置に関し、特に、「集積化流体制御装置」と称されている流体制御装置での使用に適した継手部材およびこのような継手部材を備えた流体制御装置に関する。 The present invention relates to a joint member for a fluid control device and a fluid control device, and more particularly, to a joint member suitable for use in a fluid control device called an “integrated fluid control device” and such a joint member. The present invention relates to a fluid control device.
半導体製造装置などで使用される流体制御装置においては、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成されており、複数のラインが、その入口および出口を同じ方向に向けて並列状に配置されることにより、パイプや管継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる（特許文献１など）。 In a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of block joint members arranged in the lower stage. These lines are arranged in parallel with their inlets and outlets facing in the same direction, so that integration to configure a fluid control device without using pipes and pipe joints is proceeding (Patent Document 1, etc.).
従来の集積化流体制御装置は、例えば図９に示すように、複数のプロセスガスライン(A)(B)(C)(D)(E)とパージガスライン(P)とを備えている。各ライン(A)(B)(C)(D)(E)(P)は、複数の細長い板状のライン支持部材(3)と方形板状の主基板(2)とによって形成されたベース部材に支持されている。 As shown in FIG. 9, for example, the conventional integrated fluid control apparatus includes a plurality of process gas lines (A), (B), (C), (D), and (E) and a purge gas line (P). Each line (A) (B) (C) (D) (E) (P) is a base formed by a plurality of elongated plate-like line support members (3) and a rectangular plate-like main substrate (2). It is supported by the member.
各ライン(A)(B)(C)(D)(E)(P)は、所定の機能を有する流体制御機器(61)(62)(63)(64)(65)(66)(67)(68)(69)(70)(71)(72)(73)(74)およびこれを支持する継手部材（図示略）がライン支持部材(3)上に載せられることにより形成されている。 Each line (A) (B) (C) (D) (E) (P) is a fluid control device (61) (62) (63) (64) (65) (66) (67) having a predetermined function. ) (68) (69) (70) (71) (72) (73) (74) and a joint member (not shown) for supporting the same is mounted on the line support member (3). .
この流体制御装置では、マスフローコントローラ(66)(73)などの流量調整器が基本構成要素として使用され、この入口側と出口側とにそれぞれ開閉弁(61)(64)(65)(67)(72)(74)およびその他の流体制御機器(62)(63)(68)(69)(70)(71)が配置される。流体制御機器(61)(62)(63)(64)(65)(66)(67)(68)(69)(70)(71)(72)(73)(74)の配置は、プロセスガスライン(A)'B)(C)(D)(E)とパージガスライン(P)とでは大きく異なっており、また、プロセスガスライン(A)'B)(C)(D)(E)間においても、一部で異なるものとなっている。 In this fluid control device, a flow regulator such as a mass flow controller (66) (73) is used as a basic component, and on-off valves (61) (64) (65) (67) are respectively provided on the inlet side and the outlet side. (72) (74) and other fluid control devices (62) (63) (68) (69) (70) (71) are arranged. The arrangement of fluid control equipment (61) (62) (63) (64) (65) (66) (67) (68) (69) (70) (71) (72) (73) (74) The gas line (A) 'B) (C) (D) (E) and the purge gas line (P) are greatly different, and the process gas line (A)' B) (C) (D) (E) Some of them are different.
上記流体制御装置では、例えばある流体制御機器を入口ポートと出口ポートとの距離が大きいものに変更する場合、この流体制御機器を支持している継手部材同士の間隔が広げられ、これにより、変更される流体制御機器以外の部品は同じものを使用して対応することができる。ここで、継手部材は、ベース部材を構成するライン支持部材におねじ部材で固定されることから、ライン支持部材には、おねじ部材にねじ合わされるめねじが必要であり、流体制御機器の変更に伴って、めねじのピッチの変更が必要となる。 In the above fluid control device, for example, when a certain fluid control device is changed to one having a large distance between the inlet port and the outlet port, the interval between the joint members supporting the fluid control device is widened. Parts other than the fluid control device to be used can be handled by using the same components. Here, since the joint member is fixed to the line support member constituting the base member with a screw member, the line support member requires a female screw to be screwed to the male screw member. With the change, it is necessary to change the pitch of the female screw.
流体制御機器の配置がプロセスガスラインによって、またはプロセスガスラインとパージガスラインとで異なっていること、流量調整器の大きさが他の流体制御機器の大きさと異なることなどのため、本発明が対象とする流体制御装置においては、従来、図８に示すように、めねじ(87)のピッチが異なる複数種類（ここでは６種類）のライン支持部材(81)(82)(83)(84)(85)(86)が使用されていた。 The present invention is intended because the arrangement of the fluid control device differs depending on the process gas line or between the process gas line and the purge gas line, the size of the flow regulator is different from the size of other fluid control devices, etc. In the conventional fluid control apparatus, as shown in FIG. 8, a plurality of types (six types here) of line support members (81) (82) (83) (84) with different pitches of female threads (87) are used. (85) (86) was used.
上記従来の流体制御装置において、流体制御機器の大きさを変更したり、流体制御機器の配置を変更したりする際には、めねじのピッチの変更が必要となり、元のベース部材を使用することができないために、新たにめねじを設けたベース部材が必要になり、変更に手間がかかるという問題があった。 In the conventional fluid control device, when changing the size of the fluid control device or changing the arrangement of the fluid control device, it is necessary to change the pitch of the female screw, and the original base member is used. Since this is not possible, a base member provided with a new female screw is required, and there is a problem that it takes time to change.
この発明の目的は、上段の流体制御機器の大きさや配置に変更があった場合でも、継手部材の取付け位置を変更せずに済み、これにより、ベース部材の変更を不要とする流体制御装置用継手部材およびこのような継手部材を備えていることでめねじのピッチの統一が可能とされた流体制御装置を提供することにある。 It is an object of the present invention to eliminate the need to change the mounting position of the joint member even when the size and arrangement of the upper fluid control device are changed, thereby eliminating the need for changing the base member. It is an object of the present invention to provide a joint member and a fluid control apparatus that can unify the pitch of the female thread by providing such a joint member.
この発明による流体制御装置用継手部材は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において使用される継手部材であって、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックからなり、第１通路ブロックは、上面に対して凹まされて第２通路ブロックを収納する凹所を有するとともに、一端が凹所の底面に開口して他端が上面に開口する第１通路を有しており、第２通路ブロックは、ライン方向の中央部が第１通路の凹所側の開口に対応するように第１通路ブロックの凹所に収納されるとともに、一端がライン方向の中央部において下面に開口して第１通路に連通し、他端がライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路を有しており、第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた位置であって第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置とが選択可能とされていることを特徴とするものである。 In the joint member for fluid control device according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the joint arranged in the lower stage A joint member used in a fluid control device in which a member is attached to a base member by a screw member. The joint member includes a first passage block and a second passage block. The first passage block is recessed with respect to the upper surface. It has a recess that houses two passage blocks, and has a first passage that opens at the bottom of the recess and the other end at the top, and the second passage block has a central portion in the line direction. The first passage is accommodated in the recess of the first passage block so as to correspond to the opening on the recess side of the first passage, and one end opens to the lower surface in the center in the line direction and communicates with the first passage. Rye The second passage has a second passage that opens obliquely upward with respect to the direction and opens to the upper surface, and the upper surface opening of the second passage is the upper surface opening of the first passage as the position of the second passage block to the first passage block. And a second position that is a position rotated by 180 ° from the first position and whose upper surface opening of the second passage is far from the upper surface opening of the first passage can be selected. It is characterized by this.
１つのラインは、ベース部材に取り付けられた複数の継手部材のうちの隣り合う継手部材にまたがって配置された流体制御機器が上方からのおねじ部材によって継手部材に取り付けられることで形成される。ベース部材は、板状で、各継手部材が直接取付け可能なものとされていてもよく、ベース部材は、また、複数の細長い板状のライン支持部材が方形の主基板上に取り付けられているものとされてもよい。また、ベース部材は、方形の枠状に形成され枠体と、各ラインごとに継手部材および流体制御機器を支持する複数のライン支持部材からなるものとされてもよい。さらにベース部材は、複数のラインが１つのベース部材上に取り付けられるように、複数のめねじが並列に並べられていてもよい。 One line is formed by attaching a fluid control device arranged across adjacent joint members among a plurality of joint members attached to the base member to the joint member by a male screw member from above. The base member may be plate-shaped, and each joint member may be directly attached. The base member is also provided with a plurality of elongated plate-like line support members mounted on a rectangular main substrate. It may be assumed. Further, the base member may be formed in a rectangular frame shape and may include a frame body and a plurality of line support members that support the joint member and the fluid control device for each line. Further, the base member may have a plurality of female screws arranged in parallel so that a plurality of lines are mounted on one base member.
従来の継手部材は、通常、１つの通路ブロックで形成されている１ブロック継手部材とされており、例えば、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが下段に配されたＶ字状通路を有する１ブロック継手部材によって接続されている。 A conventional joint member is usually a one-block joint member formed by one passage block. For example, one outlet passage and the other inlet passage of two adjacent fluid control devices are arranged in the lower stage. Are connected by a one-block joint member having a V-shaped passage.
この発明の流体制御装置用継手部材は、２つの通路ブロックで形成されている２ブロック継手部材とされている。通路ブロックのうち、第２通路ブロックは、第１通路ブロックに対し、２種類の位置に配置できるようになされており、これらの位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置、すなわち、２ブロック継手部材の開口同士の距離が小の位置と、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置、すなわち、２ブロック継手部材の開口同士の距離が大の位置とが設定されている。 The joint member for a fluid control device according to the present invention is a two-block joint member formed of two passage blocks. Of the passage blocks, the second passage block can be arranged at two positions with respect to the first passage block. As these positions, the upper surface opening of the second passage is changed to the upper surface opening of the first passage. A first position that is close, that is, a position where the distance between the openings of the two-block joint member is small, and a second position where the upper surface opening of the second passage is far from the upper surface opening of the first passage, that is, the two-block joint member A position where the distance between the openings is large is set.
したがって、同じ２ブロック継手部材を使用して、異なる大きさの流体制御機器の接続が可能となる。具体的には、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが開口同士の距離が小の位置とされた２ブロック継手部材によって接続されている場合において、いずれか一方の流体制御機器が小さくなされて一方の出口通路の端と他方の入口通路の端との間隔を大きくする必要が生じた場合、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路とが開口同士の距離が大の位置とされた２ブロック継手部材によって接続されるようにすることで、同じ２ブロック継手部材を使用しての接続が可能となる。 Therefore, it is possible to connect fluid control devices of different sizes using the same two-block joint member. Specifically, in the case where one outlet passage and the other inlet passage of two adjacent fluid control devices are connected by a two-block joint member in which the distance between the openings is small, either one of them is connected. When the fluid control device is made smaller and it is necessary to increase the distance between the end of one outlet passage and the end of the other inlet passage, one outlet passage and the other inlet passage of two adjacent fluid control devices Are connected by a two-block joint member in which the distance between the openings is set to a large position, the connection using the same two-block joint member becomes possible.
斜め上方にのびて上面に開口する第２通路の傾斜角度および大きさは、適宜変更することができ、これによって、第１通路ブロックの大きさを同じとして、種々の流体制御器同士の接続が可能となる。 The inclination angle and size of the second passage extending obliquely upward and opening on the upper surface can be changed as appropriate, so that the size of the first passage block is the same, and various fluid controllers can be connected to each other. It becomes possible.
２ブロック継手部材は、おねじ挿通孔が形成された第２通路ブロックが第１通路ブロックにおねじ部材によって固定されることで予め１つの継手部材として形成し、他の継手部材と同様にして、２ブロック継手部材をベース部材に取り付けて、２ブロック継手部材に流体制御機器を取り付けるようにしてもよく、また、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックに対応するおねじ挿通孔を設けておいて、おねじ部材を両通路ブロックの挿通孔に挿通して、ベース部材のめねじにねじ合わせるようにしてもよい。 The two-block joint member is formed in advance as one joint member by fixing the second passage block in which the male screw insertion hole is formed to the first passage block with the screw member, and is similar to the other joint members. The two-block joint member may be attached to the base member, and the fluid control device may be attached to the two-block joint member. Also, male screw insertion holes corresponding to the first passage block and the second passage block are provided. In addition, the male screw member may be inserted into the insertion holes of both passage blocks and screwed to the female screw of the base member.
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数の継手部材とによって形成されており、下段に配置された継手部材がベース部材におねじ部材によって取り付けられる流体制御装置において、流体制御機器として、ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整器と、流量調整器の流体の通路を遮断開放する遮断開放器とを備えており、流量調整器と遮断開放器との間に配された継手部材が上記の２ブロック継手部材とされており、継手部材は、その第１通路ブロックが遮断開放器を、その第２通路ブロックが流量調整器を支持するようにベース部材に取り付けられていることを特徴とするものである。 In the fluid control device according to the present invention, one line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the joint member arranged in the lower stage is a base. In a fluid control device attached to a member by a screw member, the fluid control device includes a flow regulator for adjusting the flow rate of the fluid flowing through the line, and a shut-off device that shuts and opens a fluid passage of the flow regulator. The joint member arranged between the flow regulator and the breaker is the above-mentioned two-block joint member, and the joint member has a first passage block serving as the breaker and the second passage block. Is attached to the base member so as to support the flow regulator.
流量調整器は、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御装置であってもよく、圧力式流量制御装置であってもよい。遮断開放器は、１つの開閉弁からなるものであってもよく、２つの開閉弁（および必要に応じて他のラインとの接続に使用される部材）が１つのブロックに取り付けられることで形成されたものであってもよい。 The flow regulator may be a thermal mass flow controller such as a mass flow controller or a pressure flow controller. The shut-off opener may consist of one on-off valve, and is formed by attaching two on-off valves (and members used for connection to other lines as needed) to one block. It may be what was done.
流量調整器としては、規格上複数種類のサイズがあり、従来は、異なる流量調整器を有するラインに対しては、下段部材が異なる配置とされることで対応していた。上記の流体制御装置用２ブロック継手部材によると、第２通路ブロックの配置位置を変更することで、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路との距離が大および小のいずれにも対応できるので、異なる流量調整器を有するラインに対しても、同じ２ブロック継手部材で対応することができる。したがって、２ブロック継手部材の取付け位置の変更が不要であり、ベース部材に設けるめねじのピッチの変更も不要とできる。 There are a plurality of types of flow regulators according to the standard. Conventionally, for the lines having different flow regulators, the lower members are arranged differently. According to the two-block joint member for a fluid control device described above, the distance between one outlet passage and the other inlet passage of two adjacent fluid control devices can be increased and decreased by changing the arrangement position of the second passage block. Therefore, the same two-block joint member can be used for lines having different flow regulators. Therefore, it is not necessary to change the mounting position of the two-block joint member, and it is not necessary to change the pitch of the female screw provided on the base member.
２ブロック継手部材は、複数のラインのうちの全てのラインに使用されてもよく、複数のラインのうちのいくつかのラインに使用されてもよい。また、１つのラインに複数の２ブロック継手部材が使用されてもよい。 The two-block joint member may be used for all of the plurality of lines, or may be used for some of the plurality of lines. A plurality of two-block joint members may be used for one line.
上記の流体制御装置において、ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることが好ましい。 In the fluid control device described above, it is preferable that the pitches of the female screws provided on the base member are equally spaced.
不等間隔で配置された流体制御機器の接続に際して、上記の２ブロック継手部材を使用することで、上段の流体制御機器の大きさや配置に変更があった場合でも、下段に配置された全ての継手部材の取付け位置を変更せずに済み、これにより、ベース部材の変更を不要とすることができる。そして、ベース部材に設けられるめねじのピッチが等間隔とされていることで、どのラインに対しても同じライン支持部材での対応が可能となり、ラインの組立てや変更にかかる手間を大幅に削減することができる。 When connecting fluid control devices arranged at unequal intervals, by using the above-mentioned two block joint members, even if the size or arrangement of the upper fluid control device is changed, all of the lower control devices are arranged. It is not necessary to change the attachment position of the joint member, thereby making it unnecessary to change the base member. And since the pitch of the female screw provided on the base member is equal, the same line support member can be used for any line, greatly reducing the time and labor required for assembling and changing the line. can do.
この発明によると、第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第１の位置および第２の位置のいずれかを選択することで、隣り合う２つの流体制御機器の一方の出口通路と他方の入口通路との距離が大および小のいずれにも対応できるので、上段の流体制御機器の配置や大きさが異なる場合であっても、同じ継手部材で対応することができる。したがって、継手部材の取付け位置の変更が不要であり、ベース部材に設けるめねじのピッチの変更も不要とできる。それによって、特定のベース部材（等間隔ピッチが設けられたベース部材）のみを準備しておけばよく、また、設計変更等によって流体制御機器の配置等が変更となっても、既設のベース部材（等間隔ピッチが設けられたベース部材）をそのまま流用することが可能となる。 According to the present invention, by selecting either the first position or the second position as an arrangement position of the second passage block to the first passage block, one outlet passage of two adjacent fluid control devices Since the distance between the first inlet passage and the other inlet passage can be large or small, the same joint member can be used even when the arrangement and size of the upper fluid control device are different. Therefore, it is not necessary to change the attachment position of the joint member, and it is not necessary to change the pitch of the female screw provided on the base member. Accordingly, it is only necessary to prepare a specific base member (a base member provided with an equally spaced pitch), and even if the arrangement of the fluid control device is changed due to a design change or the like, an existing base member is provided. It is possible to divert the (base member provided with an equal interval pitch) as it is.
図１は、この発明による流体制御装置用継手部材および流体制御装置の第１実施形態を示す側面図である。
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図１および図２は、複数のラインを備えた流体制御装置のうちの１つのライン(10)(11)を示している。 1 and 2 show one line (10) (11) of a fluid control apparatus having a plurality of lines.
図１のライン(10)においては、上段に配された複数の流体制御機器として、手動弁(12)、フィルタ(13)、プレッシャレギュレータ(14)、入口側遮断開放器(15)、マスフローコントローラ（流量調整器）(16)および出口側遮断開放器(17)が使用されている。 In the line (10) of FIG. 1, as a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage, a manual valve (12), a filter (13), a pressure regulator (14), an inlet side shut-off opener (15), a mass flow controller (Flow controller) (16) and outlet side opener (17) are used.
図２のライン(11)も同様の構成であり、上段に配された複数の流体制御機器として、手動弁(12)、フィルタ(13)、プレッシャレギュレータ(14)、入口側遮断開放器(15)、マスフローコントローラ（流量調整器）(18)および出口側遮断開放器(17)が使用されている。 The line (11) in FIG. 2 has the same configuration, and as a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage, a manual valve (12), a filter (13), a pressure regulator (14), an inlet side shut-off opener (15 ), A mass flow controller (flow regulator) (18) and an outlet-side shut-off device (17) are used.
図１に示すライン(10)と図２に示すライン(11)とでは、マスフローコントローラ(16)(18)の大きさが相違しており、図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)は、その面間距離がＷ１とされており、図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)は、その面間距離がＷ２（＜Ｗ１）とされている。
The line (10) shown in FIG. 1 and the line (11) shown in FIG. 2 have different mass flow controllers (16) and (18), and the mass flow controller (16) of the line (10) shown in FIG. ) Has a surface distance W1, and the
各入口側遮断開放器(15)は、ライン間接続用継手(15b)、入口側３ポート開閉弁(15c)および入口側２ポート開閉弁(15d)がブロック状本体(15a)に取り付けられることで形成されている。
Each inlet side circuit breaker (15) has a joint for line connection (15b), an
各マスフローコントローラ(16)(18)は、下方に開口する通路が形成された入口側張出しブロック(21)(23)および出口側張出しブロック(22)(24)を有している。 Each mass flow controller (16) (18) has an inlet side extension block (21) (23) and an outlet side extension block (22) (24) in which a passage opening downward is formed.
図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)の入口側張出しブロック(21)は、図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)の入口側張出しブロック(23)よりも大きくなされている。出口側張出しブロック(22)(24)は、互いに同じ大きさとされている。いずれの入口側張出しブロック(21)(23)も、出口側張出しブロック(22)(24)に対しては大きくなされている。 The inlet side extension block (21) of the mass flow controller (16) of the line (10) shown in FIG. 1 is made larger than the inlet side extension block (23) of the mass flow controller (18) of the line (11) shown in FIG. ing. The outlet side extending blocks (22) and (24) have the same size. Each of the inlet side extending blocks (21) and (23) is made larger than the outlet side extending blocks (22) and (24).
各出口側遮断開放器(17)は、ライン間接続用継手(17b)、出口側３ポート開閉弁(17c)および出口側２ポート開閉弁(17d)がブロック状本体(17a)に取り付けられることで形成されている。 Each outlet-side shut-off device (17) has an inter-line connection joint (17b), an outlet-side 3-port on-off valve (17c), and an outlet-side 2-port on-off valve (17d) attached to the block-shaped body (17a). It is formed with.
各流体制御機器(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)は、上方から締め付けられるおねじ部材(20)によって、対応する下段のブロック状継手部材(31)(32)(33)(34)に上方に取り出し可能に取り付けられる。 Each fluid control device (12) (13) (14) (15) (16) (17) (18) has a corresponding lower block joint member (31) by a male screw member (20) tightened from above. (32) (33) and (34) are attached so as to be removable upward.
下段の継手部材(31)(32)(33)(34)として、各ラインごとに設けられた入口側端部の管継手付きブロック状単列用継手(31)と、各ラインごとに設けられた複数のＶ字状の通路付きのブロック状単列用継手(32)と、各ラインごとに設けられてマスフローコントローラ(16)の出口側部分と出口側遮断開放器(17)の入口側部分とを支持している継手部材(33)と、出口側遮断開放器(17)の出口側部分を支持している継手部材(34)とを備えている。 The lower joint members (31), (32), (33), and (34) are provided for each line and block-shaped single-row joints with pipe joints at the inlet end provided for each line. Block-shaped single-row joint (32) with a plurality of V-shaped passages, and an outlet side portion of the mass flow controller (16) and an inlet side portion of the outlet side opener (17) provided for each line. And a joint member (34) supporting the outlet side portion of the outlet side circuit breaker (17).
ここで、マスフローコントローラ(16)(18)の出口側部分と出口側遮断開放器(17)の入口側部分とを支持している継手部材(33)は、この発明による継手部材であって、第１通路ブロック(35)および第２通路ブロック(36)からなる２ブロック継手部材(33)とされている。 Here, the joint member (33) supporting the outlet side portions of the mass flow controllers (16) and (18) and the inlet side portion of the outlet side cutoff opener (17) is a joint member according to the present invention, A two-block joint member (33) including a first passage block (35) and a second passage block (36) is provided.
各ライン(10)(11)は、図３に示すライン支持部材(19)に取り付けられており、このライン支持部材(19)としては、図１のライン(10)と図２のライン(11)とで共通のものが使用されている。各ライン支持部材(19)には、等間隔でめねじ(19a)が設けられている。これらのめねじ(19a)は、下段の継手部材(31)(32)(33)(34)を取り付けるためのもので、下段の継手部材(31)(32)(33)(34)を貫通したおねじ部材（図示略）がこれらのめねじ(19a)にねじ合わされることで、各継手部材(31)(32)(33)(34)がライン支持部材(19)に固定される。なお、図１および図２において、等間隔で設けられているめねじ(19a)のピッチが○で示されている。 Each line (10) and (11) is attached to a line support member (19) shown in FIG. 3, and the line support member (19) includes the line (10) in FIG. 1 and the line (11 in FIG. 2). ) Is used in common. Each line support member (19) is provided with female screws (19a) at equal intervals. These female screws (19a) are used to attach the lower joint members (31), (32), (33), and (34), and pass through the lower joint members (31), (32), (33), and (34). The male screw members (not shown) are screwed onto these female screws (19a), whereby the joint members (31), (32), (33), and (34) are fixed to the line support member (19). In FIGS. 1 and 2, the pitch of the female screws (19a) provided at equal intervals is indicated by ◯.
図４および図５に２ブロック継手部材(33)の断面図が示されている。図４は、図１に示すライン(10)で使用されている状態に対応しており、図５は、図２に示すライン(11)で使用されている状態に対応している。 4 and 5 are sectional views of the two-block joint member (33). 4 corresponds to the state used in the line (10) shown in FIG. 1, and FIG. 5 corresponds to the state used in the line (11) shown in FIG.
この２ブロック継手部材(33)によると、第１通路ブロック(35)は、第２通路ブロック(36)に対し、図１および図４に示す第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた図２および図５に示す第２の位置とのいずれにも配置可能とされている。 According to the two-block joint member (33), the first passage block (35) is 180 ° from the first position shown in FIGS. 1 and 4 with respect to the second passage block (36). It can be placed in either of the rotated second positions shown in FIGS. 2 and 5.
図４および図５に示すように、第１通路ブロック(35)は、垂直断面がＬ字状の本体(41)を有しており、上面(41a)に対して凹まされて第２通路ブロック(36)を収納する凹所(42)を有している。本体(41)の上面(41a)は、他の継手部材(31)(32)(34)の上面と面一になるように形成されている。本体(41)には、一端（この例では入口側の端）が凹所(42)の底面に開口して、他端（この例では出口側の端）が上面に開口する第１通路(43)が形成されている。第１通路(43)の入口側部分(43a)は、略Ｌ字状とされ、第１通路(43)の出口側部分(43b)は、斜め上方にのびる傾斜状とされている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the first passage block (35) has a main body (41) having an L-shaped vertical section, and is recessed with respect to the upper surface (41a). It has a recess (42) for receiving (36). The upper surface (41a) of the main body (41) is formed to be flush with the upper surfaces of the other joint members (31), (32), and (34). The main body (41) has a first passage (one end (in this example, the end on the inlet side) opened in the bottom surface of the recess (42) and the other end (in this example, the end on the outlet side) opened in the top surface ( 43) is formed. The inlet side portion (43a) of the first passage (43) is substantially L-shaped, and the outlet side portion (43b) of the first passage (43) is inclined so as to extend obliquely upward.
第２通路ブロック(36)は、直方体状の本体(44)を有しており、本体(44)は、上面(44a)が第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面(41a)と面一とされて、第１通路ブロック(35)の凹所(42)に収納されている。本体(41)のライン方向の中央部は、第１通路(43)の入口側部分(43a)の開口に対応する位置とされている。本体(44)には、ライン方向の中央部において下面に開口して第１通路(43)の入口側部分(43a)に連通するとともに、ライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路(45)が形成されている。 The second passage block (36) has a rectangular parallelepiped main body (44), and the upper surface (44a) of the main body (44) is the upper surface (41a) of the main body (41) of the first passage block (35). And is accommodated in the recess (42) of the first passage block (35). The central portion in the line direction of the main body (41) is a position corresponding to the opening of the inlet side portion (43a) of the first passage (43). The main body (44) opens to the lower surface at the center in the line direction and communicates with the inlet side portion (43a) of the first passage (43), and extends obliquely upward to the line direction and opens to the upper surface. A second passage (45) is formed.
第２通路ブロック(36)は、第１通路ブロック(35)に対し、上記のように、第１の位置および第２の位置のいずれかに配置可能とされている。いずれの配置位置においても、本体(44)のライン方向の中央部が第１通路(43)の入口側部分(43a)の開口に対応する位置とされていることで、第１通路(43)と第２通路(45)とが連通する。第１通路(43)および第２通路(45)の突き合わせ面には、ガスケットを配置するためのシール部(46)がそれぞれ設けられている。第１通路(43)および第２通路(45)の上面開口にもシール部(46)が設けられている。 As described above, the second passage block (36) can be disposed at either the first position or the second position with respect to the first passage block (35). In any arrangement position, the central portion in the line direction of the main body (44) is a position corresponding to the opening of the inlet side portion (43a) of the first passage (43), so that the first passage (43) And the second passage (45) communicate with each other. Seal portions (46) for disposing gaskets are respectively provided on the abutting surfaces of the first passage (43) and the second passage (45). Seal portions (46) are also provided in the upper surface openings of the first passage (43) and the second passage (45).
第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面(41a)には、図６に示すように、上段の出口側遮断開放器(17)のブロック状本体(17a)を取り付けるための２つのめねじ(47)が設けられている。第１通路ブロック(35)の本体(41)の上面には、また、２ブロック継手部材(33)をライン支持部材(19)に取り付けるためのボルト（おねじ部材）を挿通させる貫通孔(48)が２つ設けられている。また、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)の底面には、第２通路ブロック(36)を取り付けるための２つのめねじ(49)が設けられている。 On the upper surface (41a) of the main body (41) of the first passage block (35), as shown in FIG. 6, there are two pieces for attaching the block-shaped main body (17a) of the upper outlet side shut-off device (17). A female thread (47) is provided. On the upper surface of the main body (41) of the first passage block (35), a through hole (48 for inserting a bolt (male thread member) for attaching the two-block joint member (33) to the line support member (19) is provided. ) Are provided. Two female screws (49) for attaching the second passage block (36) are provided on the bottom surface of the recess (42) of the main body (41) of the first passage block (35).
第２通路ブロック(36)の本体(44)の上面(44a)には、図７に示すように、上段のマスフローコントローラ(16)(18)の出口側張出しブロック(22)(24)を取り付けるための２つのめねじ(50)が設けられている。また、第２通路ブロック(36)の本体(44)には、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)のめねじ(49)に連なる貫通孔(51)が設けられている。 On the upper surface (44a) of the main body (44) of the second passage block (36), as shown in FIG. 7, the outlet side extending blocks (22) and (24) of the upper mass flow controllers (16) and (18) are attached. Two female screws (50) are provided for this purpose. The body (44) of the second passage block (36) is provided with a through hole (51) connected to the female screw (49) of the recess (42) of the body (41) of the first passage block (35). It has been.
第２通路ブロック(36)は、その貫通孔(51)に挿通されたボルト（おねじ部材）が第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)のめねじ(49)にねじ合わされることで、第１通路ブロック(35)に一体化される。 In the second passage block (36), the bolt (male thread member) inserted through the through hole (51) is a female screw (49) in the recess (42) of the main body (41) of the first passage block (35). To be integrated with the first passage block (35).
２ブロック継手部材(33)は、第２通路ブロック(36)が一体化された第１通路ブロック(35)の本体(41)の貫通孔(48)に挿通されたボルトがライン支持部材(19)のめねじ(19a)にねじ合わされることで、ライン支持部材(19)に固定される。 In the two-block joint member (33), the bolt inserted into the through hole (48) of the main body (41) of the first passage block (35) in which the second passage block (36) is integrated is a line support member (19). ) Is fixed to the line support member (19) by being screwed onto the female screw (19a).
図４においては、第２通路(45)の上面開口が第１通路(43)の上面開口に近い第１の位置に配置されている。この状態では、第２通路(45)は、上面開口から下面開口に向かうに連れて、入口側に近づくようになっている。また、図５においては、第２通路ブロック(36)は、第２通路(45)の上面開口が第１通路(43)の上面開口から遠い第２の位置に配置されている。この状態では、第２通路(45)は、上面開口から下面開口に向かうに連れて、出口側に近づくようになっている。 In FIG. 4, the upper surface opening of the second passage (45) is disposed at a first position close to the upper surface opening of the first passage (43). In this state, the second passage (45) approaches the inlet side from the upper surface opening toward the lower surface opening. In FIG. 5, the second passage block (36) is disposed at a second position where the upper surface opening of the second passage (45) is far from the upper surface opening of the first passage (43). In this state, the second passage (45) approaches the outlet side from the upper surface opening toward the lower surface opening.
２ブロック継手部材(33)が図４に示す断面形状とされている状態に対応する図１のライン(10)においては、マスフローコントローラ(16)は、その面間距離Ｗ１が相対的に大きくなされており、その出口側張出しブロック(22)は、相対的に出口側（図の右側）にある。したがって、従来の流体制御装置であれば、マスフローコントローラ(16)の出口側に配置されている継手部材を出口側に移動させることで対応することになる。これに対し、この発明においては、２ブロック継手部材(33)の第２通路ブロック(36)が第１の位置に配置されることにより、マスフローコントローラ(16)の出口側張出しブロック(22)から出た流体が一旦入口側に戻ってから出口側に向かうようになされ、これにより、マスフローコントローラ(16)の面間距離Ｗ１が相対的に大きくなされていることが吸収されている。 In the line (10) of FIG. 1 corresponding to the state in which the two-block joint member (33) has the sectional shape shown in FIG. 4, the mass flow controller (16) has a relatively large inter-surface distance W1. The outlet side overhanging block (22) is relatively on the outlet side (right side in the figure). Therefore, if it is a conventional fluid control apparatus, it will respond by moving the joint member arranged on the outlet side of the mass flow controller (16) to the outlet side. On the other hand, in the present invention, the second passage block (36) of the two-block joint member (33) is disposed at the first position so that the outlet-side protruding block (22) of the mass flow controller (16) The fluid that has exited once returns to the inlet side and then moves toward the outlet side, thereby absorbing that the inter-surface distance W1 of the mass flow controller (16) is relatively large.
一方、２ブロック継手部材(33)が図５に示す断面形状とされている状態に対応する図２のライン(11)においては、マスフローコントローラ(18)は、その面間距離Ｗ２が相対的に小さくなされており、その出口側張出しブロック(24)は、相対的に入口側（図の左側）にある。したがって、従来の流体制御装置であれば、マスフローコントローラ(18)の出口側に配置されている継手部材を入口側に移動させることで対応することになる。これに対し、この発明においては、２ブロック継手部材(33)の第２通路ブロック(36)が第２の位置に配置されるとともに、マスフローコントローラ(18)の出口側張出しブロック(24)と出口側遮断開放器(17)のブロック状本体(17a)との間の隙間が相対的に大きくなされることにより、マスフローコントローラ(18)の面間距離Ｗ２が相対的に小さくなされていることが吸収されている。 On the other hand, in the line (11) in FIG. 2 corresponding to the state in which the two-block joint member (33) has the cross-sectional shape shown in FIG. 5, the mass flow controller (18) has a relatively large inter-surface distance W2. The outlet side overhanging block (24) is relatively on the inlet side (left side in the figure). Therefore, if it is a conventional fluid control apparatus, it will respond by moving the joint member arranged on the outlet side of the mass flow controller (18) to the inlet side. In contrast, in the present invention, the second passage block (36) of the two-block joint member (33) is disposed at the second position, and the outlet side overhanging block (24) of the mass flow controller (18) and the outlet Absorption of the relatively small inter-surface distance W2 of the mass flow controller (18) due to the relatively large gap between the side circuit breaker (17) and the block-shaped body (17a). Has been.
こうして、図１に示すライン(10)のマスフローコントローラ(16)と図２に示すライン(11)のマスフローコントローラ(18)とで大きさが異なっていることに対し、２ブロック継手部材(33)は、第２通路ブロック(36)の配置位置が変更されることで、同じものが使用されている。そして、２ブロック継手部材(33)が同じものが使用されていることにより、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)のピッチを変更する必要はなく、図１のライン(10)と図２のライン(11)とで共通のライン支持部材(19)の使用が可能となっている。また、大きさが違うマスフローコントローラ(16)(18)に対し、同じ継手部材(31)(32)(33)(34)をその位置を変更することなく使用できることにより、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)のピッチを等間隔とすることができる。 Thus, the mass flow controller (16) of the line (10) shown in FIG. 1 and the mass flow controller (18) of the line (11) shown in FIG. The same is used by changing the arrangement position of the second passage block (36). Since the same two-block joint member (33) is used, it is not necessary to change the pitch of the female screw (19a) of the line support member (19), and the line (10) in FIG. The common line support member (19) can be used for the two lines (11). In addition, the same joint member (31) (32) (33) (34) can be used without changing the position for the mass flow controllers (16) (18) of different sizes, so that the line support member (19) The pitch of the female screws (19a) can be made equal.
上記実施形態によると、２ブロック継手部材(33)を１つ使用することで、２種類の大きさのマスフローコントローラ(16)(18)に対応することができる。例えば、この２ブロック継手部材(33)をマスフローコントローラ(16)(18)の入口側においても使用すると、さらに２種類の大きさのマスフローコントローラに対応することができる。また、この２ブロック継手部材(33)によってプレッシャレギュレータ(14)および入口側遮断開放器(15)を支持するようにすることで、同じライン支持部材(19)を使用して、プレッシャレギュレータ(14)および／または入口側遮断開放器(15)のライン方向の寸法を変更することもできる。 According to the above embodiment, by using one two-block joint member (33), it is possible to correspond to two types of mass flow controllers (16) and (18). For example, when the two-block joint member (33) is used also on the inlet side of the mass flow controllers (16) and (18), it can correspond to two types of mass flow controllers. Further, by supporting the pressure regulator (14) and the inlet side circuit breaker (15) by the two-block joint member (33), the pressure regulator (14 ) And / or the line-side dimensions of the inlet-side shut-off opener (15) can also be changed.
２ブロック継手部材(33)を他の部分で使用するに際しては、第１通路ブロック(35)の形状を同じとして、第２通路ブロック(36)に設けられている斜め上方にのびて上面に開口する第２通路(45)の傾斜角度および大きさだけを変更するようにしてもよく、また、第１通路ブロックおよび第２通路ブロックの両方の形状および通路を変更するようにしてもよい。 When the two-block joint member (33) is used in other parts, the shape of the first passage block (35) is the same, and the second passage block (36) extends obliquely upward and opens on the upper surface. Only the inclination angle and the size of the second passage (45) may be changed, and the shapes and passages of both the first passage block and the second passage block may be changed.
なお、第１通路ブロック(35)の本体(41)の凹所(42)の底面の２つのめねじ(49)は、これを貫通孔としてもよく、このようにすると、上部の流体制御機器(22)を固定する長いボルト（おねじ部材）が、流体制御機器(22)、第２通路ブロック(36)および第１通路ブロック(35)を通って、ライン支持部材(19)のめねじ(19a)にねじ込まれることで、部材全部をまとめて２本のボルトで締め付けることもできる。 The two female screws (49) on the bottom surface of the recess (42) of the main body (41) of the first passage block (35) may be formed as through holes. In this way, the upper fluid control device A long bolt (male member) for fixing (22) passes through the fluid control device (22), the second passage block (36), and the first passage block (35), and then the female screw of the line support member (19). By screwing into (19a), all the members can be tightened together with two bolts.
(16)(18)：マスフローコントローラ（流量調整器）、(33)：２ブロック継手部材（継手部材）、(35)：第１通路ブロック、(36)：第２通路ブロック、(41)：本体、(41a)：上面、(42)：凹所、(43)：第１通路、(44)：本体、(44a)：上面、(45)：第２通路 (16) (18): Mass flow controller (flow regulator), (33): Two block joint member (joint member), (35): First passage block, (36): Second passage block, (41): Main body, (41a): Upper surface, (42): Recess, (43): First passage, (44): Main body, (44a): Upper surface, (45): Second passage
Claims (3)
第１通路ブロックおよび第２通路ブロックからなり、
第１通路ブロックは、上面に対して凹まされて第２通路ブロックを収納する凹所を有するとともに、一端が凹所の底面に開口して他端が上面に開口する第１通路を有しており、
第２通路ブロックは、ライン方向の中央部が第１通路の凹所側の開口に対応するように第１通路ブロックの凹所に収納されるとともに、一端がライン方向の中央部において下面に開口して第１通路に連通し、他端がライン方向に対して斜め上方にのびて上面に開口する第２通路を有しており、
第２通路ブロックの第１通路ブロックへの配置位置として、第２通路の上面開口が第１通路の上面開口に近い第１の位置と、第１の位置から１８０°回転させられた位置であって第２通路の上面開口が第１通路の上面開口から遠い第２の位置とが選択可能とされていることを特徴とする流体制御装置用継手部材。 One line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the joint members arranged in the lower stage are attached to the base member by screw members. A joint member used in a fluid control device,
It consists of a first passage block and a second passage block,
The first passage block has a recess which is recessed with respect to the upper surface and accommodates the second passage block, and has a first passage having one end opened at the bottom surface of the recess and the other end opened at the upper surface. And
The second passage block is housed in the recess of the first passage block so that the center portion in the line direction corresponds to the opening on the recess side of the first passage, and one end is opened on the lower surface in the center portion in the line direction. The second passage communicates with the first passage and the other end extends obliquely upward with respect to the line direction and opens on the upper surface.
The position of the second passage block to the first passage block is the first position where the upper surface opening of the second passage is close to the upper surface opening of the first passage and the position rotated 180 ° from the first position. A fluid control device joint member, wherein the upper surface opening of the second passage is selectable from the second position far from the upper surface opening of the first passage.
流体制御機器として、ラインを流れる流体の流量を調整する流量調整器と、流量調整器の流体の通路を遮断開放する遮断開放器とを備えており、
流量調整器と遮断開放器との間に配された継手部材が請求項１の継手部材とされており、
継手部材は、その第１通路ブロックが遮断開放器を、その第２通路ブロックが流量調整器を支持するようにベース部材に取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。 One line is formed by a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint members arranged in the lower stage, and the joint members arranged in the lower stage are attached to the base member by screw members. In the fluid control device,
As a fluid control device, it is equipped with a flow rate regulator that adjusts the flow rate of the fluid flowing through the line, and a shut-off device that shuts and opens the fluid passage of the flow rate regulator,
The joint member disposed between the flow regulator and the circuit breaker is the joint member of claim 1,
The fluid control device, wherein the joint member is attached to the base member such that the first passage block supports the circuit breaker and the second passage block supports the flow regulator.
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