JP5497222B2 - 静電容量型センサシート及び静電容量型センサシートの製造方法 - Google Patents
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Description
C=ε0εrS/d・・・(1)
ここで、Cはキャパシタンス、ε0は自由空間の誘電率、εrは誘電層の比誘電率、Sは電極層面積、dは電極間距離である。
エラストマー製の誘電層と、
上記誘電層の表面に積層される表側電極層と、
上記誘電層の裏面に積層される裏側電極層と
を備え、
上記表側電極層及び裏側電極層がカーボンナノチューブを含み、
上記表側電極層及び裏側電極層の平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下であり、伸縮変形歪み量及び伸縮変形歪み分布を計測するために用いられる静電容量型センサシートである。
エラストマー材料により誘電層を形成する工程、及び
カーボンナノチューブを含む塗布液の塗布により、上記誘電層の
表面及び裏面に平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下の電極層を積層する工程
を有する。
当該静電容量型センサシートと、
上記静電容量型センサシートの表側電極層及び裏側電極層に接続される検出回路と
を備える。
<静電容量型センサシート1>
図1の静電容量型センサシート1は、シート状の誘電層2と、上記誘電層2の表面に積層される帯状体の表側電極層01A〜16Aと、上記誘電層2の裏面に積層される帯状体の裏側電極層01B〜16Bと、表側配線01a〜16aと、裏側配線01b〜16bとを備える。上記表側電極層と裏側電極層とが表裏(上下)方向に交差する部分が検出部(以下、「画素」ともいう)C0101〜C1616となる。なお、検出部(画素)の符号「C○○△△」中、上2桁の「○○」は、表側電極層01A〜16Aに対応している。下2桁の「△△」は、裏側電極層01B〜16Bに対応する。
誘電層2は、弾性変形可能な層である。誘電層2は、シート状を呈しており、X方向及びY方向を各辺とする平面視長方形状を有する。この誘電層2は主としてエラストマーから構成され、例えば天然ゴム、イソプレンゴム、ニトリルゴム(NBR)、エチレンプロピレンゴム(EPDM)、スチレン・ブタジエンゴム(SBR)、ブタジエンゴム(BR)、クロロプレンゴム(CR)、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、水素添加ニトリルゴム、ウレタンゴム等から構成することが可能である。誘電層2を構成するエラストマーとしては、高い伸び性を有し、繰り返し変形での耐性に優れ、永久歪み性が小さいシリコーンゴム、ウレタンゴムが好ましいが、測定対象物や計測目的に応じて材料を選択することができ、配合の改良を施すことが可能である。
表側電極層01A〜16Aは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層2の表面に合計16本積層されている。表側電極層01A〜16Aは、それぞれX方向(左右方向)に延在している。表側電極層01A〜16Aは、それぞれY方向(前後方向)に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。表側電極層01A〜16Aの左端には、それぞれ表側接続部01A1〜16A1が配置されている。
裏側電極層01B〜16Bは、それぞれ帯状を呈しており、誘電層2の裏面に合計16本積層されている。裏側電極層01B〜16Bは、それぞれ表側電極層01A〜16Aと表裏方向から見て略直角で交差するように配置されている。すなわち、裏側電極層01B〜16Bは、それぞれY方向に延在している。また、裏側電極層01B〜16Bは、X方向に所定間隔ごとに離間して、互いに略平行となるようにそれぞれ配置されている。裏側電極層01B〜16Bの前端には、それぞれ裏側接続部01B1〜16B1が配置されている。
表側配線01a〜16aは、線状を呈しており、それぞれ上記表側接続部01A1〜16A1と検出回路とを接続する。表側配線01a〜16aを構成する材料としては、特に限定されず、従来公知の材料を用いることができるが、上述した表側電極層01A〜16Aと同様の構成のものとすることで表側配線01a〜16aも伸縮変形でき、測定対象物によるセンサシートの変形を阻害しないため好ましい。即ち、導電性材料であるカーボンナノチューブ以外の含有割合を少なくすることが好ましく、エラストマー材料を含まない構成とすることがより好ましい。
裏側配線01b〜16bは、線状を呈しており、それぞれ上記裏側接続部01B1〜16B1と検出回路とを接続する。表側配線01a〜16aを構成する材料については、上記表側配線01a〜16aと略同様であるのでここでは説明を省略する。
検出部(画素)C0101〜C1616は、図1にハッチングで示すように、表側電極層01A〜16Aと、裏側電極層01B〜16Bとが上下方向に交差する部分(重複する部分)に配置されている。検出部(画素)C0101〜C1616は、合計256個(=16個×16個)配置されており、256画素となる。各画素から一対の電極層を取り出す場合、256×2極で512本の配線が必要となるが、本実施形態のように帯状電極を交差させることで、必要な配線数を16本+16本の32本とすることができる。これは、各16本の配線を外部の切替回路で切り替えることで、256画素を1画素ずつ切り替えながら静電容量を測定することによって可能となる。その結果、各画素の歪み量及びセンサシートの歪みの位置情報を検知することができる。検出部C0101〜C1616は、静電容量型センサシート1の略全面に亘って、略等間隔に配置されている。検出部C0101〜C1616は、それぞれ表側電極層01A〜16Aの一部と、裏側電極層01B〜16Bの一部と、誘電層2の一部とを備えている。
本発明の静電容量型センサシート1は、測定対象物載置前の静電容量Cと測定対象物載置後の静電容量Cから静電容量の変化量ΔCを検出し、伸縮変形歪み分布を求めることができる。本発明の静電容量型センサシート1は伸長度が大きく、1軸方向に100%まで繰り返し伸長させることが可能であり、また、300%まで伸長させてもシートが破壊されない。加えて、柔軟な測定対象物の変形や動作に追従することが可能で、かつ伸縮変形や繰り返し変形に対する耐久性に優れ、例えば測定対象物の形をトレースしたり、測定対象物の動きを直接的に検知すること等ができる。
次に、静電容量型センサシート1の製造方法について説明する。静電容量型センサシート1の製造方法は、
エラストマー材料により誘電層を形成する工程(以下、「誘電層形成工程」ともいう)、及び
カーボンナノチューブを含む塗布液の塗布により、上記誘電層の
表面及び裏面に平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下の電極層を積層する工程(以下、「電極層積層工程」ともいう)
を有する。
本工程では、エラストマー材料により誘電層2を形成する。まず、エラストマーに必要に応じて、誘電フィラー、架橋剤、加硫促進剤、老化防止剤等を添加したエラストマー材料を調製する。エラストマー材料及び誘電層の形成方法は特に限定されず、従来公知の材料及び方法を用いることができるが、誘電層2を構成するエラストマーとして例えばウレタンゴムを用いる場合の誘電層2の製造工程の例を以下に述べる。ひまし油変性ポリオール(商品名「2T−5008S OHv=13.6」、豊国製油社製)、トリス(2−エチルヘキシル)トリメリット酸エステル可塑剤(商品名「TOTM」、大八化学社製)、酸化防止剤(商品名「Irganox 1010」、チバスペシャリティケミカルズ社製を計量し、80℃の減圧下において、95rpmで60分間撹拌混合する。次に、混合液を計量し、100℃に調整後、触媒(商品名「Ucat 2030」、サンアプロ社製)を添加し、アジターで1分間撹拌する。その後、所定量のイソシアネート(商品名「ミリオネートMT」、日本ポリウレタン工業社製)を添加し、アジターで90秒間撹拌後、即座に混合液を図12に示す成形装置に注入し、保護フィルムでサンドイッチ状にして搬送しつつ架橋硬化させ、保護フィルム付きの所定厚みのロール巻シートを得る。さらに、100℃に調節した炉で10〜60分間架橋反応させることで、誘電層2を製造することができる。誘電層2は、通常10μm以上1000μm以下、好ましくは50μm以上500μm以下の平均厚みで形成される。
本工程では、カーボンナノチューブを含む塗布液の塗布により、上記誘電層2の表面及び裏面に平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下の電極層を積層する。
本発明の静電容量型センサシートの製造方法によれば、上記表側電極層及び裏側電極層と誘電層との密着性をより向上することができ、センサシートが大きな伸縮変形や繰り返し変形を受けても、一対の電極層と誘電層との層間剥離をより抑制することができる。
本発明の伸縮変形歪み量及び/又は伸縮変形歪み分布を計測するために用いられるセンサは、
当該静電容量型センサシートと、
上記静電容量型センサシートの表側電極層及び裏側電極層に接続される検出回路と
を備える。
なお、本発明は上記実施態様の他、種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
EPDM(エスプレン600F、住友化学製)100質量部に、パーオキサイド架橋剤としてのパークミルD(日本油脂製)を1.1質量部添加し、ロール混練した生ゴムを得た。この生ゴムを160℃で20分間プレス成型して架橋させ、膜厚100μmの誘電層を作製した。
[調製例1]
カーボンナノチューブとしてVGCF−X(長さ3μm、アスペクト比約200、登録商標、昭和電工製)30質量部をメチルイソブチルケトン(MIBK)56,070質量部に添加し、ジェットミル分散処理を施して塗布液(A−1)を得た。
上記得られた塗布液(A−1)に、ゴム材料としてのフッ素ゴム(ダイエルTMG−912、ダイキン工業製)を2,113質量部さらに添加し、塗布液(A−2)を得た。
調製例1において、カーボンナノチューブとして、上記VGCF−Xの代わりにスーパーグロースCNT(以下、「SGCNT」とも表記する)(繊維径の中央値が約3nm、成長長さ500μm〜700μm、アスペクト比約100,000、炭素純度99.9%、産業技術総合研究所提供)を用いた以外は調製例1と同様に操作して、塗布液(A−3)を得た。
カーボンナノチューブとして上記SGCNT30質量部をメチルイソブチルケトン(MIBK)56,070質量部に添加し、ジェットミル分散処理を施した塗布液に、ゴム材料としてのフッ素ゴム(ダイエルTMG−912、ダイキン工業製)を2,113質量部さらに添加し、塗布液(A−4)を得た。
EPDM(エスプレン600F、住友化学製)429質量部に対して、カーボンナノチューブとして上記VGCF−Xを30質量部、可塑剤として絶縁油(トランスフォーマーオイルG、出光興産製)607質量部、並びに硫黄架橋剤としての亜鉛華(ハクスイテック製)10.7質量部、ステアリン酸(花王ケミカル製)2.1質量部、セイミOT(日本乾溜工業製)3.6質量部、促進EM−2(三新化学工業製)6.0質量部及び促進MSA(大内新興化学工業製)2.6質量部を添加してロール混練し分散させ、プレス成型架橋して膜厚40μmの電極シート(a−1)を作製した。
[実施例1〜4]
上記作製した誘電層の表面に、上記得られた各塗布液(A−1)〜(A−4)をエアブラシで帯状に塗布して乾燥させた。帯状電極は平均厚みが約1μm、幅が10mm、長さが100mmのものを、5mm間隔で5本形成した。続いて、上記誘電層の裏面に、上記各塗布液を表面の帯状電極と直交するように塗布し同じ要領で形成させた。この帯状電極の両端を0.1mm厚の銅箔で補強し、外部配線のリード線をネジ止めして接続した。
また、上記電極シート(a−1)を帯状に裁断し、これを上記作製した誘電層の表面及び裏面に、表面の帯状電極と裏面の帯状電極が直交するように貼り合わせ、比較例1の静電容量型センサシートを作製した。各帯状電極層はそれぞれ平均厚みが40μm、幅が10mm、長さが100mmとなるように形成した。
上記作製した各静電容量型センサシートを用い、以下の評価を実施した。
1軸方向に100%まで伸長させる伸長変形を繰り返し行い、帯状電極の両端の電気抵抗を測定した。帯状電極は20mm幅で長さ50mmとした。まず、伸長を1軸方向に100%まで1回行い、変形履歴を加えた後、これを繰り返し行い、上記電気抵抗の変化を測定した。実施例1〜4の結果をそれぞれ図3〜図6に、比較例1の結果を図7に示す。電気抵抗の増加が小さいほど、導電性が低下せず繰り返し変形に対する耐久性が良好であると評価できる。ここで、図3〜図7中、各図の一番下の線が、1回目の1軸方向に100%まで伸長する際(往路の際)の電気抵抗の変化を表し、その伸長率100%時の電気抵抗値を表す点から伸びる他方の線(より上方の線)が、1回目の伸長率100%から伸長率0%に戻る際(復路の際)の電気抵抗の変化を表す。この往路と復路を合わせて繰り返し数1回とした。同様にして、100%伸長時の抵抗値が下から2番目の点から伸びる二つの線が繰り返し数2回目の電気抵抗の変化を表し、これらのうち、下方の線が繰り返し数2回目の往路の際の、上方の線が繰り返し数2回目の復路の際の電気抵抗の変化を表す。同様にして、繰り返し数3回目以降の電気抵抗の変化を図3〜図7に示す。
センサシートの変形に対する静電容量の変化を評価するために、実施例1〜実施例4のセンサシートを図2のように2辺を樹脂フレームで拘束し、フレーム間を1軸方向に100%まで伸長させ静電容量の変化を測定した。静電容量の測定には、LCRメータ(日置電機製 LCRハイテスタ 3522−50)を用いた。25カ所の検出部の平均の静電容量を、1軸伸長の伸長率に対してプロットした。実施例1のセンサシートについては図8に、実施例3のセンサシートについては、図9に測定結果を示す。電極層エラストマーを含む実施例2及び実施例4については、それぞれ図8及び図9と略同じ結果が得られた。なお、比較例1のセンサシートについては、伸長率50%までは測定可能であったが、100%伸長では測定不能となった。
実施例1〜実施例4のセンサシートについて、上述した1軸伸長を繰り返した時の静電容量の変化を測定し、繰り返し精度として評価した。この結果、実施例3>実施例4>実施例1>実施例2の順に繰り返し精度が優れることが分かった。実施例1のセンサシートについては図10に、実施例3のセンサシートについては図11に結果を示す。なお、比較例1のセンサシートは、1回の100%伸張履歴により導電性が失われたため、繰り返し精度を測定することができなかった。
2 誘電層
3 検出回路
01A1〜16A1 表側接続部
01A〜16A 表側電極層
01a〜16a 表側配線
01B1〜16B1 裏側接続部
01B〜16B 裏側電極層
01b〜16b 裏側配線
C0101〜C1616 検出部
21 静電容量型センサシート
22 誘電層
23 樹脂フレーム
01A’〜05A’ 表側電極層
01A’1〜05A’1 表側接続部
01B’〜05B’ 裏側電極層
01B’1〜05B’1 裏側接続部
C’0101〜C’0505 検出部
31 誘電層
32、32’ 保護フィルム
33 ポリウレタン用混合液
34 架橋炉
35 巻取り機
Claims (10)
- エラストマー製の誘電層と、
上記誘電層の表面に積層される表側電極層と、
上記誘電層の裏面に積層される裏側電極層と
を備え、
上記表側電極層及び裏側電極層がカーボンナノチューブを含み、
上記表側電極層及び裏側電極層の平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下であり、伸縮変形歪み量及び/又は伸縮変形歪み分布を計測するために用いられる静電容量型センサシート。 - 上記表側電極層及び裏側電極層が、カーボンナノチューブを含む塗布液の塗布により形成されている請求項1に記載の静電容量型センサシート。
- 上記カーボンナノチューブの平均長さが100μm以上である請求項1又は請求項2に記載の静電容量型センサシート。
- 上記表側電極層及び裏側電極層がそれぞれ複数の帯状体からなり、この表側電極層と裏側電極層とが表裏方向から見て略直角で交差するように配置されている請求項1、請求項2又は請求項3に記載の静電容量型センサシート。
- 1軸方向の伸長率が30%以上である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の静電容量型センサシート。
- 上記表側電極層及び上記裏側電極層の全固形成分に対する上記カーボンナノチューブの含有量が50質量%以上である請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の静電容量型センサシート。
- 上記表側電極層及び裏側電極層が、実質的にカーボンナノチューブのみからなる請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の静電容量型センサシート。
- 上記カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブである請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の静電容量型センサシート。
- エラストマー材料により誘電層を形成する工程、及び
カーボンナノチューブを含む塗布液の塗布により、上記誘電層の表面及び裏面に平均厚みがそれぞれ0.1μm以上10μm以下の電極層を積層する工程
を有する静電容量型センサシートの製造方法。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の静電容量型センサシートと、
上記静電容量型センサシートの表側電極層及び裏側電極層に接続される検出回路と
を備える伸縮変形歪み量及び/又は伸縮変形歪み分布を計測するために用いられるセンサ。
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