JP5051217B2 - Photosensitive composition, solder resist and photosensitive dry film - Google Patents

Photosensitive composition, solder resist and photosensitive dry film Download PDF

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Description

本発明は、露光、現像によって微細なパターン形成することもできる感光性組成物、それを用いたソルダーレジストおよび感光性ドライフィルムに関するものである。くわしくは、難燃性、柔軟性、耐熱性、金属との密着性および電気絶縁性が優れた硬化物を与える感光性組成物、それを用いたソルダーレジストおよび感光性ドライフィルムに関する。本発明の感光性組成物は、レジスト材料として、特にプリント配線板の絶縁材料およびソルダーレジスト材料等として有用であり、電気・電子材料分野で有用なものである。   The present invention relates to a photosensitive composition capable of forming a fine pattern by exposure and development, a solder resist using the same, and a photosensitive dry film. More particularly, the present invention relates to a photosensitive composition that gives a cured product excellent in flame retardancy, flexibility, heat resistance, adhesion to metal and electrical insulation, a solder resist and a photosensitive dry film using the same. The photosensitive composition of the present invention is useful as a resist material, particularly as an insulating material and a solder resist material for printed wiring boards, and is useful in the field of electrical and electronic materials.

最近の電子機器への多機能化、高集積化、薄型化および小型軽量化の要求に伴い、プリント配線板における配線パターンの高密度化が進むと共に、薄くて折り曲げ可能なフレキシブル配線板(以下FPCという)の需要も拡大している。それに伴い、配線板製造に使われるレジスト材料等には、よりいっそうの高解像度および高信頼性が要求されるのに加え、FPCに対応するためにレジスト自体が柔軟性を持つことが必要となっている。   With recent demands for multi-functionality, high integration, thinning, and miniaturization and weight reduction in electronic devices, the wiring pattern of printed wiring boards has been increased in density, and flexible and flexible wiring boards (hereinafter referred to as FPCs). Demand) is also expanding. As a result, resist materials used in the manufacture of wiring boards are required to have higher resolution and higher reliability, and the resist itself must be flexible in order to support FPC. ing.

さらに電子機器に用いられる部品の多くは安全性確保のためUL規格等による難燃性の付与が義務付けられている。特にFPCの場合はリジッド配線板と比較して基板の消火作用が小さいので、FPCに用いるレジスト自体が高い難燃性を有する事を求められる。   Furthermore, many parts used in electronic devices are required to be provided with flame retardancy according to UL standards and the like to ensure safety. In particular, in the case of FPC, the fire extinguishing action of the substrate is smaller than that of the rigid wiring board, so that the resist itself used for FPC is required to have high flame retardancy.

プリント配線板の製造に用いられる難燃性を有するソルダーレジストとしては、臭素化エポキシ化合物とアンチモン化合物を難燃剤として用いたもの(特許文献1)等がこれまでに提案されている。   As a solder resist having flame retardancy used for the production of a printed wiring board, one using a brominated epoxy compound and an antimony compound as a flame retardant (Patent Document 1) has been proposed so far.

しかしながら、臭素等のハロゲンを含む組成物は高い難燃効果を示す一方で、燃焼時に有害なダイオキシン化合物が発生する懸念があることから、近年、材料の非ハロゲン化が求められている。   However, since a composition containing halogen such as bromine shows a high flame retardant effect, there is a concern that a harmful dioxin compound is generated at the time of combustion.

非ハロゲン系の難燃性組成物としては無機水酸化物(特許文献2)、リン酸エステルからなるリン系難燃剤(特許文献3)および水和金属化合物と窒素化合物との併用(特許文献4)が知られている。しかしながら、無機水酸化物(水和金属化合物)のような無機フィラー成分は難燃効果がハロゲン系難燃剤やリン系難燃剤等と比較して低い為、十分な難燃効果が得られる量配合しようとすると絶縁信頼性等が低下することがある。また、特にFPC用途に用いる場合はフィラー成分が多いと硬化物の柔軟性が失われて基板の反り等が発生する。一方、リン酸エステルからなるリン系難燃剤の難燃効果は比較的高く、一般に無機水酸化物より少ない配合量で十分な難燃性が得られる。しかし、リン酸エステル等の難燃剤も耐熱性や絶縁信頼性を低下させることがある。また、特に露光現像時の解像性が大きく低下するという問題がある。
リン系難燃剤としてはホスフィン酸塩も知られている(特許文献5)。
Non-halogen flame retardant compositions include inorganic hydroxides (Patent Document 2), phosphorus flame retardants composed of phosphate esters (Patent Document 3), and combined use of hydrated metal compounds and nitrogen compounds (Patent Document 4). )It has been known. However, inorganic filler components such as inorganic hydroxides (hydrated metal compounds) have low flame retardant effects compared to halogen flame retardants and phosphorus flame retardants, etc., so that sufficient flame retardant effects are obtained Attempts to do so may reduce insulation reliability and the like. In particular, when used in FPC applications, if the filler component is large, the flexibility of the cured product is lost and the substrate is warped. On the other hand, the flame retardant effect of a phosphorus-based flame retardant composed of a phosphate ester is relatively high, and sufficient flame retardancy is generally obtained with a smaller blending amount than inorganic hydroxides. However, flame retardants such as phosphate esters may also reduce heat resistance and insulation reliability. In addition, there is a problem that the resolution during exposure and development is greatly reduced.
Phosphinates are also known as phosphorus flame retardants (Patent Document 5).

特開平11−242331号公報JP-A-11-242331 特開2006−194968号公報JP 2006-194968 A 特開2001−183819号公報JP 2001-183819 A 特開2004−12810号公報JP 2004-12810 A 特開2003−301013号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-301013

上記のように、従来のソルダーレジスト組成物は、難燃性を保持しつつ薄型のプリント配線板やFPCに適用するには問題があった。
本発明者らは、十分な難燃性を有しながら解像性および保存安定性に優れ、その硬化物が耐熱性および電気絶縁性といったソルダーレジストとして必須の特性を維持しつつ、さらに柔軟性にも優れる、薄型のプリント配線板やFPC基板にも使用可能な非ハロゲン系難燃剤を含む感光性組成物を見出すため鋭意検討を行ったのである。
As described above, the conventional solder resist composition has a problem in applying to a thin printed wiring board or FPC while maintaining flame retardancy.
The inventors of the present invention have excellent resolution and storage stability while having sufficient flame retardancy, and the cured product retains essential properties as a solder resist such as heat resistance and electrical insulation, and further flexibility. In order to find a photosensitive composition containing a non-halogen flame retardant that can be used for thin printed wiring boards and FPC boards, the present inventors have conducted intensive studies.

上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明の感光性組成物は、エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物(A)、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有するウレタンアクリレート(B)、ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物(C)、リン原子を含むフィラー(D)および光重合開始剤(E)を含有し、前記成分(A)および成分(B)の合計量100質量部を基準として、成分(A)を20〜90質量部、成分(B)を10〜80質量部、成分(C)を5〜50質量部含有することを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1に記載の発明において、成分(A)、成分(B)および成分(C)の合計量100質量部を基準として、成分(D)を1〜150質量部含有することを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1または2に記載の発明において、エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物(A)は、エポキシ化合物に不飽和モノカルボン酸が付加反応され、生成した水酸基に多塩基酸無水物が付加反応されて得られる化合物であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有する化合物であるウレタンアクリレート(B)の質量平均分子量は、2,000〜50,000であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物(C)は、(メタ)アクリロイル基を1分子中に3個以上有する化合物であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、リン原子を含むフィラー(D)は、リンのオキソ酸類の金属塩であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、リン原子を含むフィラー(D)は、ホスフィン酸の金属塩であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、リン原子を含むフィラー(D)は、ホスフィン酸のアルミニウム塩であることを特徴とする。
請求項に記載の発明の感光性組成物は、請求項1〜8のいずれかに記載の発明において、リン原子を含むフィラー(D)以外のリン化合物(F)をも含有することを特徴とする。
請求項10に記載の発明のソルダーレジストは、請求項1〜のいずれかに記載の感光性組成物を含有することを特徴とする。
請求項11に記載の発明の感光性ドライフィルムは、請求項1〜のいずれかに記載の感光性組成物を含有する被膜が支持フィルム上に形成されていることを特徴とする。
以下に、本発明を詳細に説明する。
尚、本明細書においては、アクリレートおよびメタクリレートを合わせて(メタ)アクリレートという。またアクリルおよびメタクリルを合わせて(メタ)アクリルという。
In order to solve the above problem, the photosensitive composition of the invention according to claim 1 is a compound (A) having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group, and a polycarbonate having no carboxyl group. Contains urethane acrylate (B) having a polyol skeleton, a polymerizable compound (C) other than (A) and (B) having a radical polymerizable group, a filler (D) containing a phosphorus atom, and a photopolymerization initiator (E). Then, based on 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), the component (A) is 20 to 90 parts by mass, the component (B) is 10 to 80 parts by mass, and the component (C) is 5 -50 mass parts is contained, It is characterized by the above-mentioned.
A photosensitive composition according to a second aspect of the present invention is the photosensitive composition according to the first aspect, wherein the component (D) is based on a total amount of 100 parts by mass of the component (A), the component (B) and the component (C). 1 to 150 parts by mass.
The photosensitive composition of the invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2 , wherein the compound (A) having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group is an epoxy. It is a compound obtained by an addition reaction of an unsaturated monocarboxylic acid to a compound and an addition reaction of a polybasic acid anhydride to the generated hydroxyl group.
The photosensitive composition of the invention according to claim 4 is the mass average molecular weight of urethane acrylate (B) which is a compound having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group in the invention according to any one of claims 1 to 3. Is 2,000 to 50,000.
The photosensitive composition of the invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the polymerizable compound (C) other than (A) and (B) having a radical polymerizable group is , A compound having 3 or more (meth) acryloyl groups in one molecule.
The photosensitive composition of the invention according to claim 6 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing a phosphorus atom is a metal salt of phosphorus oxoacids. And
The photosensitive composition according to claim 7 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing phosphorus atoms is a metal salt of phosphinic acid. .
The photosensitive composition of the invention according to claim 8 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing phosphorus atoms is an aluminum salt of phosphinic acid. .
The photosensitive composition of the invention according to claim 9 contains the phosphorus compound (F) other than the filler (D) containing phosphorus atoms in the invention according to any one of claims 1 to 8. And
The solder resist of the invention described in claim 10 is characterized by containing a photosensitive composition according to any one of claims 1-9.
The photosensitive dry film of the invention described in claim 11 is characterized in that a coating containing the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 9 is formed on a support film.
The present invention is described in detail below.
In this specification, acrylate and methacrylate are collectively referred to as (meth) acrylate. A combination of acrylic and methacrylic is called (meth) acrylic.

本発明によれば、ハロゲン原子を含有する難燃剤を使用することなく、難燃性、柔軟性、耐熱性、電気絶縁性に優れる硬化物を与える、解像性および保存安定性の良好な感光性組成物が得られた。
また、成分(A)および成分(B)の合計量100質量部を基準として、成分(A)を20〜90質量部、成分(B)を10〜80質量部、成分(C)を5〜50質量部含有する場合は、アルカリ水溶液による現像性が十分であり、かつ硬化塗膜の柔軟性が十分な感光性組成物とすることができる。
さらに、成分(A)、成分(B)および成分(C)の合計量100質量部を基準として、成分(D)を1〜150質量部含有する場合は、難燃性向上効果が十分であり、硬化物被膜の柔軟性や絶縁信頼性等の物性を低下させることのない感光性組成物とすることができる。
また、エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物(A)が、エポキシ化合物に不飽和モノカルボン酸が付加反応され、生成した水酸基に多塩基酸無水物が付加反応されて得られる化合物である場合は、解像性と硬化物の柔軟性が優れる感光性組成物とすることができる。
さらに、ウレタンアクリレート(B)が、ポリカーボネートポリオール骨格を有する化合物である場合は、硬化物の絶縁信頼性に優れる感光性組成物とすることができる。
また、ウレタンアクリレート(B)が、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有する化合物である場合は、硬化物の耐水性および絶縁信頼性に優れる感光性組成物とすることができる。
さらに、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有する化合物であるウレタンアクリレート(B)の質量平均分子量が、2,000〜50,000である場合は、解像性と硬化物の柔軟性が優れる感光性組成物とすることができる。
また、ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物(C)が、(メタ)アクリロイル基を1分子中に3個以上有する化合物である場合は、硬化物が高い絶縁信頼性を有する感光性組成物とすることができる。
さらに、リン原子を含むフィラー(D)が、リンのオキソ酸の金属塩である場合は、解像性に優れ、硬化物が高い難燃性および絶縁信頼性を有する感光性組成物とすることができる。
また、リン原子を含むフィラー(D)が、ホスフィン酸類の金属塩である場合は、より解像性に優れ、硬化物がより高い難燃性及び絶縁信頼性を有する感光性組成物とすることができる。
さらに、リン原子を含むフィラー(D)が、ホスフィン酸類のアルミニウム塩である場合は、解像性に特に優れ、硬化物が特に高い難燃性および絶縁信頼性を有する感光性組成物とすることができる。
また、リン原子を含むフィラー(D)以外のリン化合物(F)をも含有する場合は、より効果的に難燃性が高められた硬化物が得られる感光性組成物とすることができる。
本発明のソルダーレジストは、薄型のプリント配線板やFPC基板の加工にも使用可能である。
本発明の感光性ドライフィルムは、電子材料として好ましく使用できる。
According to the present invention, without using a flame retardant containing a halogen atom, a photosensitivity having good resolution and storage stability that gives a cured product excellent in flame retardancy, flexibility, heat resistance, and electrical insulation. Sex composition was obtained.
Moreover, 20 to 90 parts by mass of component (A), 10 to 80 parts by mass of component (B), and 5 to 5 of component (C) based on 100 parts by mass of the total amount of component (A) and component (B). When it contains 50 mass parts, it can be set as the photosensitive composition with which the developability by aqueous alkali solution is enough, and the softness | flexibility of a cured coating film is enough.
Furthermore, when the component (D) is contained in an amount of 1 to 150 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the component (A), the component (B) and the component (C), the flame retardancy improving effect is sufficient. Thus, a photosensitive composition that does not deteriorate physical properties such as flexibility and insulation reliability of the cured film can be obtained.
In addition, compound (A) having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group is subjected to an addition reaction of an unsaturated monocarboxylic acid to the epoxy compound, and a polybasic acid anhydride is added to the generated hydroxyl group. In the case of a compound obtained by reaction, a photosensitive composition excellent in resolution and flexibility of a cured product can be obtained.
Furthermore, when urethane acrylate (B) is a compound having a polycarbonate polyol skeleton, a photosensitive composition having excellent insulation reliability of a cured product can be obtained.
Moreover, when urethane acrylate (B) is a compound which has a polycarbonate polyol frame | skeleton which does not have a carboxyl group, it can be set as the photosensitive composition excellent in the water resistance of a hardened | cured material and insulation reliability.
Furthermore, when the mass average molecular weight of the urethane acrylate (B), which is a compound having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group, is 2,000 to 50,000, the photosensitivity is excellent in resolution and flexibility of the cured product. Composition.
In addition, when the polymerizable compound (C) other than (A) and (B) having a radical polymerizable group is a compound having three or more (meth) acryloyl groups in one molecule, the cured product has high insulation. It can be set as the photosensitive composition which has reliability.
Furthermore, when the filler (D) containing a phosphorus atom is a metal salt of phosphorus oxo acid, a photosensitive composition having excellent resolution and high flame retardancy and insulation reliability is obtained. Can do.
Moreover, when the filler (D) containing a phosphorus atom is a metal salt of a phosphinic acid, the photosensitive composition is more excellent in resolution and the cured product has higher flame retardancy and insulation reliability. Can do.
Furthermore, when the filler (D) containing phosphorus atoms is an aluminum salt of a phosphinic acid, the photosensitive composition is particularly excellent in resolution and the cured product has particularly high flame retardancy and insulation reliability. Can do.
Moreover, when it also contains phosphorus compounds (F) other than the filler (D) containing a phosphorus atom, it can be set as the photosensitive composition from which the hardened | cured material with which the flame retardance was improved more effectively is obtained.
The solder resist of the present invention can also be used for processing thin printed wiring boards and FPC boards.
The photosensitive dry film of the present invention can be preferably used as an electronic material.

1.(A)成分
(A)成分は、エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物である。
(A)成分としては、種々の化合物が使用でき、好ましい具体例としては、例えばエポキシ化合物(エポキシ樹脂)と不飽和モノカルボン酸を反応させ水酸基を有する化合物を製造し、この水酸基を有する化合物の水酸基の一部又は全部に、飽和又は不飽和多塩基酸無水物(以下単に多塩基酸無水物という)を付加させた反応物等が挙げられる。
1. Component (A) The component (A) is a compound having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group.
As the component (A), various compounds can be used. As a preferred specific example, for example, an epoxy compound (epoxy resin) and an unsaturated monocarboxylic acid are reacted to produce a compound having a hydroxyl group. Examples include a reaction product obtained by adding a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride (hereinafter simply referred to as polybasic acid anhydride) to a part or all of the hydroxyl group.

その場合に用いられるエポキシ樹脂の例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂およびポリフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。
不飽和モノカルボン酸の例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸およびケイ皮酸等がある。
多塩基酸無水物としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸および無水トリメリット酸等がある。
Examples of the epoxy resin used in that case include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, and polyphenol type epoxy resin. .
Examples of unsaturated monocarboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, and cinnamic acid.
Examples of the polybasic acid anhydride include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and trimellitic anhydride.

水酸基を有する化合物に対する多塩基酸無水物の反応割合は特に限定されるものではないが、水酸基を有する化合物の水酸基1モルに対し、多塩基酸無水物を好ましくは0.1〜1.0モル、更に好ましくは0.2〜0.9モルである。この割合が0.1モル未満の場合はアルカリ液への溶解性が不十分となるため、感光性組成物のアルカリ現像性が低下することがある。一方、この割合が1.0モルを越えると、未反応の多塩基酸無水物が残ることになり、未反応の多塩基酸無水物が結晶化する恐れがあり、或いは多くの場合、残留する水酸基と未反応の多塩基酸無水物の反応が保存中に起こるため、組成物の保存安定性が低下する恐れがある。
(A)成分は、上記した中でも、解像性と硬化物の柔軟性が優れるものとなるため、カルボキシル基を有するビスフェノール型のエポキシ(メタ)アクリレートであることが好ましい。エポキシ(メタ)アクリレートとは、エポキシ化合物に(メタ)アクリル酸が付加反応されて得られる構造を有する化合物である。
The reaction ratio of the polybasic acid anhydride to the compound having a hydroxyl group is not particularly limited, but the polybasic acid anhydride is preferably 0.1 to 1.0 mol per 1 mol of the hydroxyl group of the compound having a hydroxyl group. More preferably, it is 0.2 to 0.9 mol. When this ratio is less than 0.1 mol, the solubility in an alkali solution becomes insufficient, and the alkali developability of the photosensitive composition may be lowered. On the other hand, if this ratio exceeds 1.0 mol, unreacted polybasic acid anhydride will remain, and the unreacted polybasic acid anhydride may crystallize, or in many cases remain. Since the reaction between the hydroxyl group and the unreacted polybasic acid anhydride occurs during storage, the storage stability of the composition may be reduced.
Among the components described above, the component (A) is preferably a bisphenol-type epoxy (meth) acrylate having a carboxyl group because the resolution and the flexibility of the cured product are excellent. Epoxy (meth) acrylate is a compound having a structure obtained by addition reaction of (meth) acrylic acid to an epoxy compound.

2.(B)成分
(B)成分は、ウレタン(メタ)アクリレート化合物である。
(B)成分としては各種市販品も使用できるし、例えばポリオールと多価イソシアネートと水酸基含有(メタ)アクリレートとの反応物等が挙げられる。
(B)成分は、上記した中でも、硬化物の絶縁信頼性に優れるものとなるため、ポリカーボネートポリオール骨格を有するウレタン(メタ)アクリレートであることが好ましい。
2. (B) Component (B) A component is a urethane (meth) acrylate compound.
As the component (B), various commercially available products can be used, and examples thereof include a reaction product of a polyol, a polyvalent isocyanate, and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate.
Among the components described above, the component (B) is preferably urethane (meth) acrylate having a polycarbonate polyol skeleton because it has excellent insulation reliability of the cured product.

ポリカーボネートポリオール骨格を有するウレタン(メタ)アクリレートとしては各種市販品も使用できるし、例えばポリカーボネートポリオールと多価イソシアネートと水酸基含有(メタ)アクリレートとの反応物等も使用できる。
ポリカーボネートポリオールの例としては、アルキレン基、アルキル基、芳香族系炭化水素基、シクロパラフィン系炭化水素基等を有する炭酸エステルとアルキレン基、アルキル基、芳香族系炭化水素基、シクロパラフィン系炭化水素基等を有するポリオールを反応させることによって得られるポリカーボネートポリオールが挙げられる。
炭酸エステルの好ましい具体例は、ジメチルカーボネート,ジエチルカーボネート,ジフェニルカーボネート,エチレンカーボネート,プロピレンカーボネートおよびジシクロヘキシルカーボネート等である。
また、ポリオールの好ましい具体例は、1,6−ヘキサンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,5−ペンタンジオール、ポリオキシエチレンジオール、ポリオキシプロピレンジオール、ポリオキシブチレンジオール、ポリカプロラクトンジオール、トリメチルヘキサンジオール、および1,4−ブタンジオール等である。
これら、炭酸エステルおよびポリオールとして、1種、或いは分子量又は組成の異なる2種以上を併用しても良い。
好ましい多価イソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートおよび水添ジフェニルメタンジイソシアネート等がある。
好ましい水酸基含有(メタ)アクリレートとしては、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートおよびヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートがある。
Various commercially available products can be used as the urethane (meth) acrylate having a polycarbonate polyol skeleton, and for example, a reaction product of a polycarbonate polyol, a polyvalent isocyanate, and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate can be used.
Examples of the polycarbonate polyol include carbonate ester having an alkylene group, an alkyl group, an aromatic hydrocarbon group, a cycloparaffinic hydrocarbon group, an alkylene group, an alkyl group, an aromatic hydrocarbon group, and a cycloparaffinic hydrocarbon. The polycarbonate polyol obtained by making the polyol which has group etc. react is mentioned.
Preferred specific examples of the carbonic acid ester are dimethyl carbonate, diethyl carbonate, diphenyl carbonate, ethylene carbonate, propylene carbonate, dicyclohexyl carbonate and the like.
Preferred specific examples of the polyol include 1,6-hexanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,5-pentanediol, polyoxyethylenediol, and polyoxypropylene. Diol, polyoxybutylene diol, polycaprolactone diol, trimethylhexanediol, 1,4-butanediol, and the like.
These carbonate esters and polyols may be used alone or in combination of two or more having different molecular weights or compositions.
Preferred polyisocyanates include tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and hydrogenated diphenylmethane diisocyanate.
Preferred hydroxyl group-containing (meth) acrylates include hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxypropyl (meth) acrylate.

(B)成分としては、上記した中でも、硬化物の耐水性および絶縁信頼性に優れるものとなるため、カルボキシル基を有しないウレタン(メタ)アクリレートが好ましい。
好ましい(B)成分、すなわちカルボキシル基を有しないウレタン(メタ)アクリレートにおいて、質量平均分子量は、好ましくは2,000〜50,000であり、より好ましくは5,000〜20,000である。質量平均分子量が2,000未満であると、硬化物の柔軟性が不十分となる場合があり、一方、50,000を越えると解像度が低下するため好ましくない。
As the component (B), among the above, urethane (meth) acrylate having no carboxyl group is preferable because the cured product has excellent water resistance and insulation reliability.
In the preferred component (B), that is, urethane (meth) acrylate having no carboxyl group, the mass average molecular weight is preferably 2,000 to 50,000, more preferably 5,000 to 20,000. If the weight average molecular weight is less than 2,000, the cured product may have insufficient flexibility, while if it exceeds 50,000, the resolution is lowered, which is not preferable.

(A)成分、(B)成分の好ましい配合割合は、(A)成分と(B)成分の合計を100質量部として、(A)成分が20〜90質量部となる範囲である。20質量部未満の場合はアルカリ水溶液による現像性が十分ではなく、90質量部を越える場合は硬化物の柔軟性が十分でなく好ましくない。更に好ましい範囲は、40〜80質量部である。   A preferable blending ratio of the component (A) and the component (B) is a range in which the sum of the component (A) and the component (B) is 100 parts by mass, and the component (A) is 20 to 90 parts by mass. When the amount is less than 20 parts by mass, the developability with an alkaline aqueous solution is not sufficient, and when the amount exceeds 90 parts by mass, the flexibility of the cured product is not sufficient, which is not preferable. A more preferable range is 40 to 80 parts by mass.

3.(C)成分
(C)成分は、ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物である。
(C)成分が有するラジカル重合性基としてはラジカル重合性の炭素−炭素二重結合が好ましいものであり、アクリロイル基、メタクリロイル基、アリル基またはビニル基等が特に好ましいものとして挙げられる。
ラジカル重合性基を1個有する重合性化合物(C)の具体例としては、メチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートおよびヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の単官能(メタ)アクリレート;スチレン等のビニル基を有する化合物;並びにアリルフェノール等のアリル基を有する化合物等が挙げられる。
3. Component (C) The component (C) is a polymerizable compound other than (A) and (B) having a radical polymerizable group.
As the radically polymerizable group of the component (C), a radically polymerizable carbon-carbon double bond is preferable, and an acryloyl group, a methacryloyl group, an allyl group, a vinyl group, or the like is particularly preferable.
Specific examples of the polymerizable compound (C) having one radical polymerizable group include methyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate and hydroxypropyl ( And monofunctional (meth) acrylates such as meth) acrylate; compounds having a vinyl group such as styrene; and compounds having an allyl group such as allylphenol.

ラジカル重合性基を2個有する重合性化合物(C)の具体例としては、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートおよびポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等のジ(メタ)アクリレート;ジビニルベンゼン等のビニル化合物;並びにジアリルフタレート等のアリル化合物等が挙げられる。   Specific examples of the polymerizable compound (C) having two radical polymerizable groups include 1,3-butanediol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate and polypropylene glycol di Examples include di (meth) acrylates such as (meth) acrylate; vinyl compounds such as divinylbenzene; and allyl compounds such as diallyl phthalate.

ラジカル重合性基を3個以上有する重合性化合物(C)の具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスルトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスルトールヘキサ(メタ)アクリレートおよびトリアリルイソシアヌーレート等が挙げられる。   Specific examples of the polymerizable compound (C) having three or more radical polymerizable groups include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. And triallyl isocyanurate.

(C)成分としては、硬化物が高い絶縁信頼性を有するものとなるため、ラジカル重合性基を3個以上有する化合物を使用することが好ましい。(メタ)アクリロイル基を1分子中に3個以上有する化合物がより好ましい。   As the component (C), since the cured product has high insulation reliability, it is preferable to use a compound having three or more radical polymerizable groups. A compound having three or more (meth) acryloyl groups in one molecule is more preferable.

(C)成分の好ましい配合割合は、(A)成分および(B)成分の合計100質量部に対して5〜50質量部、特に5〜20質量部となる範囲である。この割合が5質量部未満の場合は、硬化物の架橋密度が不十分となりはんだ耐熱性や絶縁信頼性が低下することがあり、50質量部を越える場合は硬化物の柔軟性が低下することがある。   (C) The preferable mixture ratio of a component is a range used as 5-50 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of (A) component and (B) component, especially 5-20 mass parts. If this ratio is less than 5 parts by mass, the cross-linking density of the cured product may be insufficient and solder heat resistance and insulation reliability may be reduced. If it exceeds 50 parts by mass, the flexibility of the cured product will be reduced. There is.

4.(D)成分
(D)成分は、リン原子を含むフィラーである。本発明においてフィラーとは感光性組成物中で溶解することなく分散される、常温(10〜30℃)で固体のものを意味する。成分(D)は組成物に難燃性を付与するための成分である。
難燃成分としてリン原子を含むフィラーのように組成物中の樹脂成分、有機溶剤等に相溶しない微粒子を用いる事により、樹脂[成分(A)、(B)、(C)]に由来する組成物または硬化物の物性、特に感光性や現像液に対する溶解性への悪影響を小さくでき、レジストとして用いたときに高い解像性を発現可能となる。さらにリン原子を含むことで無機水酸化物のようなフィラーと比較して低配合量で高い難燃性が得られる。
リン原子を含むフィラーの具体例としては、ホスフィン酸塩化合物、ジエチルホスフィン酸塩化合物、ジブチルホスフィン酸塩化合物、ジヒドロキシメチル酸塩化合物、ポリリン酸アンモニウム、ポリリン酸メラミン、リン酸グアニジン等が挙げられる。
4). (D) Component (D) A component is a filler containing a phosphorus atom. In the present invention, the filler means a solid that is dispersed without dissolving in the photosensitive composition at room temperature (10 to 30 ° C.). Component (D) is a component for imparting flame retardancy to the composition.
The resin [components (A), (B), (C)] is derived by using fine particles that are incompatible with the resin component in the composition, organic solvent, etc., such as a filler containing phosphorus atoms as a flame retardant component. The adverse effect on the physical properties of the composition or the cured product, in particular, the photosensitivity and the solubility in a developer can be reduced, and high resolution can be exhibited when used as a resist. Further, by containing a phosphorus atom, high flame retardancy can be obtained at a low blending amount as compared with a filler such as an inorganic hydroxide.
Specific examples of the filler containing a phosphorus atom include phosphinic acid salt compounds, diethyl phosphinic acid salt compounds, dibutyl phosphinic acid salt compounds, dihydroxymethyl acid salt compounds, ammonium polyphosphate, melamine polyphosphate, and guanidine phosphate.

(D)成分としては、感光性組成物が高い解像性を有し、硬化物が高い難燃性および絶縁信頼性を有するものとなるため、リンのオキソ酸の金属塩が好ましく、ホスフィン酸類の金属塩がより好ましい。本発明においてホスフィン酸類とは、ホスフィン酸およびホスフィン酸のリン原子に結合する水素原子の1個または2個がアルキル基、アリール基またはハロゲン原子により置換された化合物を合わせた化合物群を意味する。上記アルキル基およびアリール基は水酸基、アルコキシル基などの置換基を有していてもよい。
ホスフィン酸類の例としては、ホスフィン酸、フェニルホスフィン酸、ジフェニルホスフィン酸、メチルホスフィン酸、ジメチルホスフィン酸、エチルホスフィン酸、ジエチルホスフィン酸、ブチルホスフィン酸、ジブチルホスフィン酸、フェニルクロロホスフィン酸、ジヒドロキシメチルホスフィン酸などが挙げられる。
リンのオキソ酸の例としては、上記ホスフィン酸類のほか、ホスホン酸、ジホスホン酸、リン酸、ピロリン酸、メタリン酸、ペルオキソ一リン酸、ペルオキソ二リン酸、二リン酸、ジチオリン酸、フェニルホスホン酸、メチルホスホン酸、エチルホスホン酸、ヒドロキシメチルホスホン酸等が挙げられる。
また、金属塩を構成する元素としてはナトリウム等のアルカリ金属、マグネシウム等のアルカリ土類金属、周期表13族に属するアルミニウム等の金属元素、および周期表8族に属する鉄等の遷移金属元素などが挙げられ、金属塩としては特にアルミニウム塩が高い解像性を有する組成物、および高い難燃性、絶縁信頼性を有する硬化物となりやすいため好ましい。ホスフィン酸アルミニウム塩は最も好ましいものである。
Component (D) is preferably a metal salt of phosphorus oxoacid, since the photosensitive composition has high resolution and the cured product has high flame retardancy and insulation reliability. The metal salt is more preferable. In the present invention, phosphinic acid means a compound group in which phosphinic acid and a compound in which one or two hydrogen atoms bonded to the phosphorus atom of phosphinic acid are substituted with an alkyl group, an aryl group or a halogen atom are combined. The alkyl group and aryl group may have a substituent such as a hydroxyl group or an alkoxyl group.
Examples of phosphinic acids include phosphinic acid, phenylphosphinic acid, diphenylphosphinic acid, methylphosphinic acid, dimethylphosphinic acid, ethylphosphinic acid, diethylphosphinic acid, butylphosphinic acid, dibutylphosphinic acid, phenylchlorophosphinic acid, dihydroxymethylphosphine An acid etc. are mentioned.
Examples of oxo acids of phosphorus include the above phosphinic acids, phosphonic acid, diphosphonic acid, phosphoric acid, pyrophosphoric acid, metaphosphoric acid, peroxomonophosphoric acid, peroxodiphosphoric acid, diphosphoric acid, dithiophosphoric acid, phenylphosphonic acid Methylphosphonic acid, ethylphosphonic acid, hydroxymethylphosphonic acid and the like.
In addition, as elements constituting the metal salt, alkali metals such as sodium, alkaline earth metals such as magnesium, metal elements such as aluminum belonging to Group 13 of the periodic table, and transition metal elements such as iron belonging to Group 8 of the periodic table, etc. As the metal salt, an aluminum salt is particularly preferable because it easily becomes a composition having high resolution and a cured product having high flame retardancy and insulation reliability. Aluminum phosphinate is most preferred.

(D)成分としては、平均粒子径が0.5〜15μm、特に1〜5μmであるものが好ましい。平均粒子径が15μmを越えると柔軟性等を悪化させる場合がある。また、特に膜厚が50μm以下の薄膜の感光性ドライフィルムとして用いたときにフィルムの表面状態を悪化させる場合がある。一方、平均粒子径が0.5μm未満であるとリン原子を含むフィラーの嵩比重が小さくなることから、リン原子を含むフィラーを他の成分に分散させることが困難になる場合がある。   The component (D) preferably has an average particle size of 0.5 to 15 μm, particularly 1 to 5 μm. When the average particle diameter exceeds 15 μm, flexibility and the like may be deteriorated. In particular, when used as a thin photosensitive dry film having a thickness of 50 μm or less, the surface state of the film may be deteriorated. On the other hand, if the average particle size is less than 0.5 μm, the bulk specific gravity of the filler containing phosphorus atoms becomes small, so that it may be difficult to disperse the filler containing phosphorus atoms in other components.

(D)成分の配合量は、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100質量部を基準として1〜150質量部が好ましく、10〜100質量部がより好ましい。1質量部未満であると難燃性向上効果が不十分となる場合があり、一方、150質量部を越えると硬化物の柔軟性や絶縁信頼性等の物性を低下させることがある。   Component (D) is preferably blended in an amount of 1 to 150 parts by weight, more preferably 10 to 100 parts by weight based on a total of 100 parts by weight of component (A), component (B) and component (C). If the amount is less than 1 part by mass, the effect of improving flame retardancy may be insufficient. On the other hand, if it exceeds 150 parts by mass, physical properties such as flexibility and insulation reliability of the cured product may be lowered.

5.(E)成分
(E)成分は、光重合開始剤である。
(E)成分は、紫外線等の照射によりラジカル重合を開始させることが出来るものであり、具体的には、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインおよびベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−アセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−アセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−ターシャリーブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン等のアントラキノン類;チオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−アルキルチオチオキサントン、2,4−ジアルキルチオキサントン等のチオキサントン類;ベンゾフェノン、4−クロルベンゾフェノン、4,4'−ジクロルベンゾフェノン、4,4'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類等が挙げられる。
(E)成分の配合量は、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計を100質量部として、0.5〜10質量部、特に1〜5質量部が好ましい。0.5質量部未満では反応が十分開始されず、露光により得られる塗膜の機械的強度が弱くなり、現像工程において硬化塗膜が剥離したりパターンが蛇行することがある。一方、10質量部を越えると露光時に使われなかった光重合開始剤が多量に塗膜中に残り、硬化塗膜の耐熱性等の物性を低下させることがある。
5. (E) component (E) A component is a photoinitiator.
Component (E) is capable of initiating radical polymerization by irradiation with ultraviolet rays or the like. Specifically, benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether; Acetophenones such as acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-acetophenone, 2,2-diethoxy-2-acetophenone, 1,1-dichloroacetophenone; 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tertiarybutylanthraquinone, Anthraquinones such as 1-chloroanthraquinone and 2-amylanthraquinone; Thioxaxins such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-alkylthiothioxanthone and 2,4-dialkylthioxanthone Ton like; benzophenone, 4-chloro benzophenone, 4,4'-chloro benzophenone, 4,4'-bis-dimethylamino benzophenone benzophenone such as and the like.
(E) The compounding quantity of a component is 0.5-10 mass parts with the sum total of (A) component, (B) component, and (C) component being 100 mass parts, Especially 1-5 mass parts is preferable. If the amount is less than 0.5 parts by mass, the reaction does not start sufficiently, the mechanical strength of the coating film obtained by exposure becomes weak, and the cured coating film may peel off or the pattern may meander in the development step. On the other hand, when the amount exceeds 10 parts by mass, a large amount of the photopolymerization initiator that has not been used at the time of exposure may remain in the coating film, which may deteriorate physical properties such as heat resistance of the cured coating film.

本発明においては、上記の(E)成分と共に増感剤を併用するのが好ましい。
増感剤としては、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、トリエチルアミン、ジエチルチオキサントンおよびトリエタノールアミン等が挙げられる。増感剤は市販されており、例えば、新日曹化工社製の商品名「ニッソキュアEPA、EMA、IAMA」等、日本化薬社製の商品名「カヤキュアEPA、DETX、DMBI」等、大阪有機社製の商品名「DABA」等がある。
これら増感剤の配合量は、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計を100質量部として、0.5〜10質量部が好ましい。0.5質量部未満では紫外線等による硬化の反応速度が十分に向上しないことがあり、10質量部を越えると反応が速くなり感光性組成物の保存安定性を悪化させることがある。
In the present invention, it is preferable to use a sensitizer together with the component (E).
Examples of the sensitizer include N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, triethylamine, diethylthioxanthone, and triethanolamine. Sensitizers are commercially available. For example, trade names “Nissocure EPA, EMA, IAMA” manufactured by Nippon Steel Chemical Industries, Ltd., trade names “Kayacure EPA, DETX, DMBI” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., Osaka Organic There is a brand name “DABA” manufactured by the company.
The blending amount of these sensitizers is preferably 0.5 to 10 parts by mass, with the total of component (A), component (B) and component (C) being 100 parts by mass. If it is less than 0.5 part by mass, the reaction rate of curing by ultraviolet rays or the like may not be sufficiently improved, and if it exceeds 10 parts by mass, the reaction may be accelerated and the storage stability of the photosensitive composition may be deteriorated.

6.(F)成分
本発明の感光性組成物は、リン原子を含むフィラー(D)以外のリン化合物(F)が添加されたものであってもよい。当該化合物は、リン原子を含むフィラー(D)と異なり、組成物中に溶解して存在するリン化合物である。
(F)成分も難燃性向上を目的として配合され、難燃性付与を担う必須成分である(D)成分との相乗作用により、より効果的に組成物の難燃性を高める働きをする。
(F)成分の例としては、トリフェニルフォスフェート、トリクレジルフォスフェート、トリキシレニルフォスフェート、トリエチルフォスフェート、クレジルフェニルフォスフェート、キシリルジフェニルフォスフェート等のリン酸エステル類、レゾルシノールビス(ジフェニル)フォスフェート、ビスフェノールAビス(ジフェニル)フォスフェート、ビスフェノールAビス(ジクレジル)フォスフェート、レゾルシノールビス(ジ2,6キシレニル)フォスフェート等の縮合型リン酸エステル類、およびプロポキシフォスファゼン、フェノキシフォスファゼン、アミノフォスファゼン等のフォスファゼン化合物等が挙げられる。
6). (F) component The photosensitive composition of this invention may be added with a phosphorus compound (F) other than the filler (D) containing a phosphorus atom. The said compound is a phosphorus compound which melt | dissolves and exists in a composition unlike the filler (D) containing a phosphorus atom.
Component (F) is also formulated for the purpose of improving flame retardancy, and acts to enhance the flame retardancy of the composition more effectively by synergistic action with component (D), which is an essential component responsible for imparting flame retardancy. .
Examples of the component (F) include phosphoric esters such as triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, triethyl phosphate, cresyl phenyl phosphate, xylyl diphenyl phosphate, resorcinol bis Condensed diphosphates such as (diphenyl) phosphate, bisphenol A bis (diphenyl) phosphate, bisphenol A bis (dicresyl) phosphate, resorcinol bis (di2,6xylenyl) phosphate, and propoxyphosphazene, And phosphazene compounds such as phenoxyphosphazene and aminophosphazene.

特に好ましい(F)成分は、縮合型リン酸エステル類、フォスファゼン化合物である。   Particularly preferred components (F) are condensed phosphate esters and phosphazene compounds.

(F)成分を添加する場合の配合量は、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100質量部を基準として、1〜50質量部が好ましく、1〜30質量部であることがより好ましく、1〜25質量部であることが更に好ましい。1質量部未満であると添加による難燃性向上効果が不十分であり、一方、50質量部を越えると塗膜を露光現像によりパターン形成するときの解像性や硬化塗膜の絶縁信頼性等の物性を低下させることがある。
上記解像性や絶縁信頼性への悪影響を抑えるため、(F)成分の配合量は、(D)成分の配合量と同量以下であることが好ましく、2/3以下であることがより好ましく、1/2以下であることが更に好ましい。
The amount of component (F) to be added is preferably 1 to 50 parts by weight, and 1 to 30 parts by weight, based on a total of 100 parts by weight of component (A), component (B) and component (C). More preferably, it is 1 to 25 parts by mass. If the amount is less than 1 part by mass, the effect of improving flame retardancy by addition is insufficient. On the other hand, if the amount exceeds 50 parts by mass, the resolution and the insulation reliability of the cured coating film when the coating film is patterned by exposure and development. The physical properties such as may be reduced.
In order to suppress the adverse effect on the resolution and insulation reliability, the blending amount of the component (F) is preferably equal to or less than the blending amount of the component (D), more preferably 2/3 or less. Preferably, it is more preferably 1/2 or less.

7.(G)成分
本発明の感光性組成物は、加熱によりラジカルを発生する熱重合開始剤(G)が添加されたものであってもよい。
(G)成分としては、例えば、有機過酸化物、アゾビス構造を有する開始剤などが挙げられる。分解開始温度が高いために保存安定性がよい点と、分解した時に低分子量の揮発成分の発生が少ない点から、ジアルキルパーオキサイドが好ましく、具体的にはジクミルパーオキサイド、t−ブチルクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサンおよび2,5−ジメチル−2,5−(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン等が挙げられる。
また、(G)成分を添加する場合の配合量は、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100質量部を基準として0.5〜10質量部が好ましい。0.5質量部未満では添加効果が不十分となり、10質量部を越えると組成物の保存安定性が悪化しやすくなると共に開始剤の分解物の量が多く発生するために硬化物の耐熱性が損なわれる恐れがある。
7). (G) Component The photosensitive composition of this invention may be added with a thermal polymerization initiator (G) that generates radicals upon heating.
Examples of the component (G) include organic peroxides and initiators having an azobis structure. Dialkyl peroxides are preferred from the viewpoints of high storage stability due to a high decomposition start temperature and low generation of low molecular weight volatile components when decomposed, and specifically, dicumyl peroxide and t-butyl cumyl peroxide. Examples thereof include oxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane and 2,5-dimethyl-2,5- (t-butylperoxy) hexyne.
Moreover, the compounding quantity in the case of adding (G) component has preferable 0.5-10 mass parts on the basis of 100 mass parts in total of (A) component, (B) component, and (C) component. If the amount is less than 0.5 parts by mass, the effect of addition is insufficient, and if it exceeds 10 parts by mass, the storage stability of the composition tends to deteriorate and the amount of the decomposed product of the initiator is increased, resulting in the heat resistance of the cured product. May be damaged.

本発明の感光性組成物は、エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物という)を実質的に含まないものであることが好ましい。組成物がエポキシ化合物を含有すると組成物の保存安定性が悪くなる場合があり、使用が制限される。   The photosensitive composition of the present invention is preferably substantially free of an epoxy group-containing compound (hereinafter referred to as an epoxy compound). If the composition contains an epoxy compound, the storage stability of the composition may deteriorate, and the use is limited.

但し、高度な保存安定性が要求されず、硬化物の耐熱性および耐薬品性をさらに向上させる必要がある場合には、必要に応じて感光性組成物にエポキシ化合物が添加されてもよい。この場合は、使用前に混合する二液型の組成物としての利用が推奨される。
エポキシ化合物の具体例としては、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、イソシアヌール酸骨格を有するエポキシ樹脂およびビスフェノールA型エポキシ樹脂等が挙げられる。
エポキシ化合物としては、2個以上のエポキシ基を有する化合物が好ましい。
エポキシ化合物を使用する場合には、通常のアミン系硬化剤、酸系硬化剤および酸無水物系硬化剤等を併用することが好ましい。
However, when high storage stability is not required and when it is necessary to further improve the heat resistance and chemical resistance of the cured product, an epoxy compound may be added to the photosensitive composition as necessary. In this case, the use as a two-component composition to be mixed before use is recommended.
Specific examples of the epoxy compound include a cresol novolac epoxy resin, a phenol novolac epoxy resin, an epoxy resin having an isocyanuric acid skeleton, and a bisphenol A type epoxy resin.
As the epoxy compound, a compound having two or more epoxy groups is preferable.
When using an epoxy compound, it is preferable to use a normal amine curing agent, acid curing agent, acid anhydride curing agent, and the like in combination.

8.感光性組成物
本発明の感光性組成物は、前記必須成分(A)〜(E)成分、および必要に応じて(F)、(G)成分、その他の成分を、常法に従い撹拌・混合することにより製造することができる。
8). Photosensitive Composition The photosensitive composition of the present invention is prepared by stirring and mixing the essential components (A) to (E) and, if necessary, the components (F) and (G) and other components according to a conventional method. Can be manufactured.

本発明の感光性組成物の使用方法としては、コーティング剤、接着剤またはレジスト等として使用する場合は、例えば、基材に組成物を塗布した後、活性エネルギー線を照射し、その後、加熱する方法等が挙げられる。   As a method of using the photosensitive composition of the present invention, when used as a coating agent, an adhesive, a resist, or the like, for example, after applying the composition to a substrate, it is irradiated with active energy rays and then heated. Methods and the like.

基材としてはポリカーボネート、ポリメチルメタクリレートおよびポリ塩化ビニル等の成形樹脂加工品(プラスチック)、金属、ガラス、セラミックス、コンクリート、自然の木材および合成木材等の木材、石材並びに紙等が挙げられる。   Examples of the base material include molded resin processed products (plastic) such as polycarbonate, polymethyl methacrylate and polyvinyl chloride, wood such as metal, glass, ceramics, concrete, natural wood and synthetic wood, stone materials and paper.

活性エネルギーとしては、電子線、紫外線および可視光線が挙げられる。可視光線および紫外線を照射する場合の光源としては、使用する光重合開始剤に応じて適宜選択すれば良く、高圧水銀ランプおよびメタルハライドランプ等を挙げることができる。活性エネルギー照射条件等は、使用する成分および目的に応じて適宜設定すれば良い。
前記加熱における、加熱方法および条件は常法に従えば良い。
Examples of the active energy include electron beams, ultraviolet rays, and visible rays. What is necessary is just to select suitably as a light source in the case of irradiating visible light and an ultraviolet-ray according to the photoinitiator to be used, and a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. can be mentioned. What is necessary is just to set active energy irradiation conditions etc. suitably according to the component to be used and the objective.
The heating method and conditions in the heating may be according to ordinary methods.

本発明の感光性組成物は種々の用途に使用可能である。具体的には、塗料等のコーティング剤、インキ、レジストおよび成形材等が挙げられ、レジストとして好ましく使用でき、特にソルダーレジストとしてより好ましく使用できる。
以下、本発明の組成物をレジストとして使用する場合について説明する。
The photosensitive composition of the present invention can be used for various applications. Specific examples include coating agents such as paints, inks, resists, molding materials, and the like, which can be preferably used as resists, and more preferably used as solder resists.
Hereinafter, the case where the composition of the present invention is used as a resist will be described.

本発明の感光性組成物をレジストとして用いる場合、レジストに通常配合される、無機充填剤、レベリング剤、消泡剤、顔料およびイオン捕捉剤等の添加剤が必要に応じて添加されてもよい。無機充填剤としては、タルク、クレー、無機水酸化物およびシリカ等が挙げられる。顔料としては、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーンおよびカーボンブラック等が挙げられる。これらの配合量は、組成物の解像性および保存安定性、硬化物の耐熱性、柔軟性および電気絶縁性などの性能を損なわない範囲で調整される。   When the photosensitive composition of the present invention is used as a resist, additives such as an inorganic filler, a leveling agent, an antifoaming agent, a pigment, and an ion scavenger that are usually blended in the resist may be added as necessary. . Examples of the inorganic filler include talc, clay, inorganic hydroxide and silica. Examples of the pigment include phthalocyanine blue, phthalocyanine green, and carbon black. These compounding amounts are adjusted within a range that does not impair performance such as resolution and storage stability of the composition, heat resistance, flexibility and electrical insulation of the cured product.

本発明の感光性組成物をレジストとして使用する場合、液状レジストの形態でもドライフィルムレジストの形態でも使用することができる。   When the photosensitive composition of the present invention is used as a resist, it can be used in the form of a liquid resist or a dry film resist.

液状レジストとして使用する場合には、必要に応じて本発明の感光性組成物に高沸点溶剤を添加すると良い。その場合に用いられる高沸点溶剤の例としては、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ブチルカルビトール、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテートおよびブチルカルビトールアセテート等が挙げられる。   When used as a liquid resist, a high boiling point solvent may be added to the photosensitive composition of the present invention as necessary. Examples of the high boiling point solvent used in that case include ethyl cellosolve, butyl cellosolve, butyl carbitol, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, ethyl carbitol acetate and butyl carbitol acetate.

本発明の感光性組成物を液状レジストとして使用する場合の使用方法としては、基材に組成物を塗布又は印刷し、加熱により塗膜を乾燥させ、これに紫外線などの活性エネルギー線を照射し、さらに加熱する方法等が挙げられる。   When using the photosensitive composition of the present invention as a liquid resist, the composition is applied or printed on a substrate, the coating film is dried by heating, and irradiated with active energy rays such as ultraviolet rays. Furthermore, the method of heating, etc. are mentioned.

基材に組成物を塗布する場合の塗布装置としては、スピンコーター、ロールコーターおよびカーテンコーター等が挙げられる。膜厚としては、目的に応じて適宜設定すれば良いが、1〜100μm、特に5〜50μmが好ましい。
基材としては、シリコン、アルミニウム、鉄、ニッケルおよび銅等の金属;ガラス;ポリエチレンテレフタレート、ポリイミドおよびポリカーボネート等のプラスチックなどの基材;並びにガラスエポキシ基板等の複合基材などが挙げられる。
Examples of the coating apparatus for applying the composition to the substrate include a spin coater, a roll coater, and a curtain coater. The film thickness may be appropriately set according to the purpose, but is preferably 1 to 100 μm, particularly preferably 5 to 50 μm.
Examples of the base material include metals such as silicon, aluminum, iron, nickel and copper; glass; base materials such as polyethylene terephthalate, polyimide and polycarbonate; and composite base materials such as a glass epoxy substrate.

レジストをプリント配線板上に形成する際には、銅表面を研磨後、銅箔表面に酸化皮膜が形成されない内に、レジストを形成すると、より高い密着性が得られるので好ましい。また、銅表面酸化処理や粗面処理を行ない凹凸を形成した後にレジストを形成すれば更に密着性が良くなる。   When forming a resist on a printed wiring board, it is preferable to form a resist after polishing the copper surface and without forming an oxide film on the copper foil surface, because higher adhesion can be obtained. Further, if the resist is formed after the unevenness is formed by performing the copper surface oxidation treatment or the rough surface treatment, the adhesion is further improved.

感光性組成物が溶剤を含む場合、組成物を塗布又は印刷した後、加熱により組成物中の溶剤を蒸発させる。この場合の加熱装置としては、オーブンおよびホットプレート等が挙げられる。加熱条件としては、使用する組成物の種類および目的に応じて適宜設定すれば良く、好ましい加熱温度としては、70℃〜120℃、好ましい加熱時間としては、5〜30分である。   When a photosensitive composition contains a solvent, after apply | coating or printing a composition, the solvent in a composition is evaporated by heating. In this case, examples of the heating device include an oven and a hot plate. What is necessary is just to set suitably as heating conditions according to the kind and objective of the composition to be used, as preferable heating temperature, 70 to 120 degreeC, and as preferable heating time, it is 5 to 30 minutes.

前記で得られた塗膜上に、特定パターンを形成したフォトマスク等を通じて活性エネルギー線を照射する。
組成物の硬化に使用する活性エネルギー線としては、電子線および紫外線等が挙げられ、安価な装置を使用できることから、紫外線を使用することが好ましい。
活性エネルギー線の照射条件としては、常法に従えば良い。照射条件としては、使用する感光性組成物の種類および目的に応じて適宜設定すれば良く、好ましくは10〜5,000mJ/cm2、より好ましくは50〜500mJ/cm2である。
The coating film obtained above is irradiated with active energy rays through a photomask or the like on which a specific pattern is formed.
Examples of the active energy ray used for curing the composition include an electron beam and ultraviolet rays, and it is preferable to use ultraviolet rays because an inexpensive apparatus can be used.
The irradiation conditions of active energy rays may be according to ordinary methods. Irradiation conditions may be appropriately set according to the type and purpose of the photosensitive composition to be used, and are preferably 10 to 5,000 mJ / cm 2 , more preferably 50 to 500 mJ / cm 2 .

前記活性エネルギー線の照射の後、未硬化部分をアルカリ現像する。
現像で使用する希アルカリ水溶液としては、使用する感光性組成物の種類および目的に応じて適宜選択すれば良い。例えば、0.5〜2%炭酸ソーダ水溶液等が挙げられる。
現像条件としては、使用する感光性組成物の種類および目的に応じて適宜設定すれば良く、現像温度としては、15〜50℃、特に20〜40℃が好ましく、現像時間としては、15〜180秒、特に30〜120秒が好ましい。
After irradiation with the active energy ray, the uncured part is alkali-developed.
What is necessary is just to select suitably as dilute alkaline aqueous solution used by image development according to the kind and objective of the photosensitive composition to be used. For example, 0.5-2% sodium carbonate aqueous solution and the like can be mentioned.
The development conditions may be appropriately set according to the type and purpose of the photosensitive composition to be used. The development temperature is preferably 15 to 50 ° C., particularly preferably 20 to 40 ° C., and the development time is 15 to 180. Seconds, particularly 30 to 120 seconds are preferred.

本発明の感光性組成物は、ソルダーレジストとして、特にアルカリ現像タイプの写真法ソルダーレジストとして好ましく使用できる。
この場合、活性エネルギー線を照射し、現像した後、更に諸物性向上のために、加熱又は活性エネルギー線照射により十分な硬化を行う事ができる。この加熱方法および条件としては、使用する組成物の種類および目的に応じて適宜設定すれば良く、加熱温度としては、100〜250℃、特に130〜230℃が好ましく、加熱時間としては、5分〜5時間、特に30分〜2時間が好ましい。活性エネルギー線の照射条件としては、常法に従えば良い。照射条件としては、使用する組成物の種類および目的に応じて適宜設定すれば良く、好ましくは10〜5,000mJ/cm2、より好ましくは500〜3,000mJ/cm2である。
The photosensitive composition of the present invention can be preferably used as a solder resist, particularly as an alkali development type photographic solder resist.
In this case, after irradiating and developing active energy rays, sufficient curing can be performed by heating or irradiation with active energy rays to further improve various properties. The heating method and conditions may be appropriately set according to the type and purpose of the composition to be used. The heating temperature is preferably 100 to 250 ° C, particularly preferably 130 to 230 ° C, and the heating time is 5 minutes. ~ 5 hours, especially 30 minutes to 2 hours are preferred. The irradiation conditions of active energy rays may be according to ordinary methods. Irradiation conditions may be appropriately set according to the type and purpose of the composition to be used, and are preferably 10 to 5,000 mJ / cm 2 , more preferably 500 to 3,000 mJ / cm 2 .

本発明の感光性組成物をドライフィルムの感光層として使用する場合、ドライフィルムの製造方法としては、ポリエチレンテレフタレート等の支持フィルムに、本発明の組成物を塗布し、溶剤を加熱乾燥により除去した後、ポリプロピレン等のポリオレフィンフィルムなどをカバーフィルムとして重ね合わせる方法等が挙げられる。組成物塗膜(レジスト層)の厚さとしては、1〜200μm、特に5〜50μmが好ましい。
この場合、使用する支持フィルムの塗工に適した溶剤を添加しても良い。組成物中の溶剤は、フィルム塗工後に該組成物が重合しない程度の加熱の温度と時間で揮発させる必要がある。そのための溶剤例としては、メチルエチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メタノールおよびエタノール等の比較的低沸点のものが挙げられる。
When the photosensitive composition of the present invention is used as a photosensitive layer of a dry film, the dry film is produced by applying the composition of the present invention to a support film such as polyethylene terephthalate and removing the solvent by heating and drying. Thereafter, a method of superimposing a polyolefin film such as polypropylene as a cover film may be used. The thickness of the composition coating film (resist layer) is preferably 1 to 200 μm, particularly preferably 5 to 50 μm.
In this case, you may add the solvent suitable for coating of the support film to be used. It is necessary to volatilize the solvent in the composition at a heating temperature and time such that the composition does not polymerize after film coating. Examples of the solvent for that purpose include those having a relatively low boiling point such as methyl ethyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, methanol and ethanol.

以下、実例および比較例を示し、本発明をより具体的に説明する。
以下の実例および比較例において、「部」とは質量部を意味し、「%」とは質量%を意味する。
Below by experimental examples and comparative examples illustrate the present invention more specifically.
In the following experimental examples and comparative examples, "parts" means parts by mass, means mass% and "%".

〇合成例1〔(A)成分の製造〕
温度計、攪拌機および冷却器を具備した4口フラスコに、ビスフェノールA型エポキシ樹脂〔油化シェルエポキ社製、商品名「エピコート828」〕を950g(5.0エポキシ当量)と溶剤であるトルエン450gを入れ、110℃に加熱して均一な溶液を得た。この溶液に重合禁止剤としてフェノチアジン0.50g、触媒としてテトラブチルアンモニウムブロマイド10gおよびアクリル酸360g(5.0カルボキシル当量)を加え、空気を吹き込みながら110℃で反応させてアクリロイル基および水酸基を含有する化合物(エポキシアクリレート)を製造した。酸価から計算されるアクリル酸消費率はほぼ100%になった。
上記生成物の溶液に、無水フタル酸220g(1.5モル)を加え、110℃に加熱し無水フタル酸が完全に溶解した後、さらに3時間反応させた。この溶液にブチルセルソルブ1040gを加えた後、減圧下でトルエンを300g除去することにより、カルボキシル基を有するエポキシアクリレート(a−1)を固形分60%の溶液として得た。
* Synthesis example 1 [production of component (A)]
In a four-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer and a cooler, 950 g (5.0 epoxy equivalent) of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., trade name “Epicoat 828”) and 450 g of toluene as a solvent were added. And heated to 110 ° C. to obtain a uniform solution. To this solution, 0.50 g of phenothiazine as a polymerization inhibitor, 10 g of tetrabutylammonium bromide and 360 g of acrylic acid (5.0 carboxyl equivalent) as a catalyst are added and reacted at 110 ° C. while blowing air to contain an acryloyl group and a hydroxyl group. A compound (epoxy acrylate) was prepared. The acrylic acid consumption rate calculated from the acid value was almost 100%.
To the solution of the above product, 220 g (1.5 mol) of phthalic anhydride was added and heated to 110 ° C. to completely dissolve the phthalic anhydride, and further reacted for 3 hours. After adding 1040 g of butyl cellosolve to this solution, 300 g of toluene was removed under reduced pressure to obtain an epoxy acrylate having a carboxyl group (a-1) as a solution having a solid content of 60%.

〇合成例2〔(B)成分の製造〕
温度計、攪拌機および冷却器を具備した4口フラスコに、トリレンジイソシアネート64gおよびジラウリル酸ジブチルスズ200ppmを入れ、70℃に維持しながら、ポリカーボネートジオール〔東亞合成社製、エチレンカーボネートと1,6−ヘキサンジオールの反応物であるカーボネートジオール〕390gを攪拌下で徐々に加え、1時間攪拌して反応させた。この溶液にジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを加え、更に2−ヒドロキシエチルアクリレート48gを攪拌下でかつ70℃に維持しながら徐々に加えて反応させ、赤外吸収スペクトルで反応生成物を分析し、−NCO基の特性吸収が消失するのが確認されるまで反応を継続した。
その結果、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート(b−1)をゴム状固形物として500g得た。
* Synthesis example 2 [production of component (B)]
A 4-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer and a condenser was charged with 64 g of tolylene diisocyanate and 200 ppm of dibutyltin dilaurate, and maintained at 70 ° C. while maintaining a polycarbonate diol [Toagosei Co., Ltd., ethylene carbonate and 1,6-hexane. 390 g of carbonate diol which is a reaction product of diol] was gradually added with stirring, and the mixture was stirred for 1 hour to be reacted. To this solution, 50 ppm of dibutyltin dilaurate was added, and 48 g of 2-hydroxyethyl acrylate was gradually added while stirring and maintained at 70 ° C., and the reaction product was analyzed by infrared absorption spectrum. The reaction was continued until it was confirmed that the characteristic absorption disappeared.
As a result, 500 g of urethane acrylate (b-1) having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group was obtained as a rubber-like solid.

〇合成例3〔(B)成分の製造〕
温度計、攪拌機および冷却器を具備した4口フラスコに、トリレンジイソシアネート72gおよびジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを入れ、70℃に維持しながら、ポリカーボネートジオール〔旭化成ケミカルズ社製、商品名「PCDL T6001」〕280gとジメチロールプロピオン酸12gを攪拌下で徐々に加え、1時間攪拌して反応させた。この溶液にジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを加え、更に2−ヒドロキシエチルアクリレート17gを攪拌下でかつ70℃に維持しながら徐々に加えて反応させ、赤外吸収スペクトルで反応生成物を分析し、−NCO基の特性吸収が消失するのが確認されるまで反応を継続した。
その結果、カルボキシル基を有するポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート(b−3)をゴム状固形物として380g得た。
* Synthesis example 3 [production of component (B)]
A 4-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer and a condenser was charged with 72 g of tolylene diisocyanate and 50 ppm of dibutyltin dilaurate, and maintained at 70 ° C., while maintaining a temperature of 70 ° C., 280 g of polycarbonate diol (trade name “PCDL T6001” manufactured by Asahi Kasei Chemicals) And 12 g of dimethylolpropionic acid were gradually added with stirring and reacted for 1 hour with stirring. To this solution, 50 ppm of dibutyltin dilaurate was added, and 17 g of 2-hydroxyethyl acrylate was gradually added while stirring and maintained at 70 ° C., and the reaction product was analyzed by infrared absorption spectrum. The reaction was continued until it was confirmed that the characteristic absorption disappeared.
As a result, 380 g of urethane acrylate (b-3) having a polycarbonate polyol skeleton having a carboxyl group was obtained as a rubber-like solid.

〇合成例4〔(B)成分の製造〕
温度計、攪拌機および冷却器を具備した4口フラスコに、ヘキサメチレンジイソシアネート33gおよびジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを入れ、70℃に維持しながら、ポリカーボネートジオール〔旭化成ケミカルズ社製、商品名「PCDL T5650J」〕100gを攪拌下で徐々に加え、30分攪拌して反応させた。この溶液にジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを加え、更に2−ヒドロキシエチルアクリレート24gを攪拌下でかつ70℃に維持しながら徐々に加えて反応させ、赤外吸収スペクトルで反応生成物を分析し、−NCO基の特性吸収が消失するのが確認されるまで反応を継続した。
その結果、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート(b−4)をゴム状固形物として156g得た。
* Synthesis example 4 [manufacture of (B) component]
A 4-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer and a condenser was charged with 33 g of hexamethylene diisocyanate and 50 ppm of dibutyltin dilaurate, and maintained at 70 ° C., while maintaining a polycarbonate diol (trade name “PCDL T5650J” manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation) 100 g Was gradually added with stirring, and the reaction was allowed to stir for 30 minutes. To this solution was added 50 ppm of dibutyltin dilaurate, and 24 g of 2-hydroxyethyl acrylate was gradually added while stirring and maintaining at 70 ° C., and the reaction product was analyzed by infrared absorption spectrum. The reaction was continued until it was confirmed that the characteristic absorption disappeared.
As a result, 156 g of urethane acrylate (b-4) having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group was obtained as a rubber-like solid.

〇合成例5〔(B)成分の製造〕
温度計、攪拌機および冷却器を具備した4口フラスコに、ヘキサメチレンジイソシアネート34gおよびジラウリル酸ジブチルスズを50ppm入れ、70℃に維持しながら、ポリエステルジオール〔東亞合成社製、商品名「PES−360」〕1000gとポリカーボネートジオール〔旭化成ケミカルズ社製、商品名「PCDL T5652」〕200gを攪拌下で徐々に加え、1時間攪拌して反応させた。この溶液にジラウリル酸ジブチルスズ50ppmを加え、更に2−ヒドロキシエチルアクリレート13gを攪拌下でかつ70℃に維持しながら徐々に加えて反応させ、赤外吸収スペクトルで反応生成物を分析し、−NCO基の特性吸収が消失するのが確認されるまで反応を継続した。
その結果、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート(b−5)をゴム状固形物として1246g得た。
* Synthesis example 5 [production of component (B)]
A 4-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer and a condenser was charged with 34 g of hexamethylene diisocyanate and 50 ppm of dibutyltin dilaurate and maintained at 70 ° C. while maintaining a polyester diol (trade name “PES-360” manufactured by Toagosei Co., Ltd.). 1000 g and 200 g of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, trade name “PCDL T5652”) were gradually added under stirring and reacted for 1 hour with stirring. To this solution, 50 ppm of dibutyltin dilaurate was added, and 13 g of 2-hydroxyethyl acrylate was gradually added while stirring and maintained at 70 ° C., and the reaction product was analyzed by infrared absorption spectrum. The reaction was continued until it was confirmed that the characteristic absorption disappeared.
As a result, 1246 g of urethane acrylate (b-5) having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group was obtained as a rubber-like solid.

〇実例1〜11、比較例1〜7
2,4−ジエチルチオキサントン(増感剤)1部およびメチルエチルケトン(溶剤)と、下記に示す(A)成分〜(J)成分をそれぞれ固形分比率で下記表1および表2に示す配合比率に従い使用し、これらを三本ロールで練ることにより、固形分65%の組成物を調製した。実験例1、3〜8、10および11が実施例であり、実験例2及び9は参考例である。
Experiment Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 7
Using 1 part of 2,4-diethylthioxanthone (sensitizer) and methyl ethyl ketone (solvent) and the components (A) to (J) shown below in solid content ratios according to the mixing ratios shown in Tables 1 and 2 below. These were kneaded with three rolls to prepare a composition having a solid content of 65%. Experimental examples 1, 3-8, 10 and 11 are examples, and experimental examples 2 and 9 are reference examples.

Figure 0005051217
Figure 0005051217

Figure 0005051217
Figure 0005051217

表1および表2における各成分の欄の数値は、質量部を意味する。又、各成分の略号の意味は、下記のとおりである。
(a−1):合成例1で得たカルボキシル基を有するエポキシアクリレート
(b−1):合成例2で得たカルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート〔質量平均分子量8000〕
(b−2):ポリエステルポリオール型ウレタンアクリレート〔新中村化学(株)製「U−200AX」、数平均分子量13000〕〕
(b−3):合成例3で得たカルボキシル基を有するポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート〔質量平均分子量10000〕
(b−4):合成例4で得たカルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート〔質量平均分子量1800〕
(b−5):合成例5で得たカルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレート〔質量平均分子量60000〕
(c−1):ジペンタエリスリトール〔ペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートからなる組成物(東亞合成社製、商品名「アロニックスM−400」〕
(c−2)ペンタエリスリトールジアクリレートモノステアレート〔東亞合成社製、商品名「アロニックスM−233」〕
(d−1):ジエチルホスフィン酸アルミニウム〔クラリアントジャパン社製、商品名「EXOLIT OP−930」、平均粒子径約5μm、P含有量23%〕
(d−2):ポリリン酸メラミン〔三和ケミカル社製、商品名「MPP−B」、平均粒子径12μm、P含有量13%〕
(d−3):ポリリン酸アンモニウム〔鈴祐化学社製、商品名「FCP−720」、平均粒子径20μm、P含有量13%〕
(e−1):光重合開始剤、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モリフォリノ−1−プロパノン〔チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名「イルガキュア907」〕
(f−1):芳香族縮合リン酸エステル〔大八化学社製、商品名「PX−200」、P含有量14%〕
(f−2):ポリフォスファゼン〔大塚化学社製、商品名「SPB−100」、P含有量13%〕
(g−1):熱重合触媒、ジクミルパーオキサイド〔日本油脂社製、商品名「パークミルD」〕
(h−1):ビスフェノールA型エポキシ樹脂〔油化シェルエポキシ社製、商品名「エピコート828」〕
(i−1):メラミン〔上記(h−1)エポキシ樹脂の硬化剤〕
(j−1):水酸化マグネシウム〔無機水酸化物系難燃剤、協和化学工業社製、商品名「キスマ5A」、平均粒子径1μm〕
The numerical values in the column of each component in Table 1 and Table 2 mean parts by mass. Moreover, the meaning of the symbol of each component is as follows.
(A-1): Epoxy acrylate having carboxyl group obtained in Synthesis Example 1 (b-1): Polyurethane polyol skeleton urethane acrylate having no carboxyl group obtained in Synthesis Example 2 [mass average molecular weight 8000]
(B-2): Polyester polyol type urethane acrylate [Shin Nakamura Chemical Co., Ltd. "U-200AX", number average molecular weight 13000]]
(B-3): Urethane acrylate of a polycarbonate polyol skeleton having a carboxyl group obtained in Synthesis Example 3 [mass average molecular weight 10,000]
(B-4): Polyurethane polyol skeleton urethane acrylate having no carboxyl group obtained in Synthesis Example 4 [mass average molecular weight 1800]
(B-5): Polyurethane polyol skeleton urethane acrylate having no carboxyl group obtained in Synthesis Example 5 [mass average molecular weight 60000]
(C-1): Dipentaerythritol [Composition comprising pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (trade name “Aronix M-400” manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
(C-2) Pentaerythritol diacrylate monostearate (trade name “Aronix M-233” manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
(D-1): Aluminum diethylphosphinate [manufactured by Clariant Japan, trade name “EXOLIT OP-930”, average particle size of about 5 μm, P content 23%]
(D-2): Melamine polyphosphate [manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd., trade name “MPP-B”, average particle size 12 μm, P content 13%]
(D-3): ammonium polyphosphate [manufactured by Suzuyu Chemical Co., Ltd., trade name “FCP-720”, average particle size 20 μm, P content 13%]
(E-1): Photopolymerization initiator, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone (trade name “Irgacure 907” manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
(F-1): Aromatic condensed phosphate ester [manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd., trade name “PX-200”, P content 14%]
(F-2): Polyphosphazene [manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., trade name “SPB-100”, P content 13%]
(G-1): Thermal polymerization catalyst, dicumyl peroxide [manufactured by NOF Corporation, trade name “Park Mill D”]
(H-1): Bisphenol A type epoxy resin (Oilized Shell Epoxy, trade name “Epicoat 828”)
(I-1): Melamine [(h-1) Curing agent for epoxy resin]
(J-1): Magnesium hydroxide [inorganic hydroxide flame retardant, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd., trade name “Kisuma 5A”, average particle size 1 μm]

厚さ25μmのポリエチレンテレフタレート製フィルム(ベースフィルム)上に、上記感光性組成物を塗工し、100℃で10分間加熱して揮発性成分を蒸発させ、感光性組成物の被膜(厚さ約30μm)を形成した。その後、該被膜の上に厚さ25μmポリエチレン製フィルム(カバーフィルム)を貼り合わせてドライフィルムを作成した。   The photosensitive composition is coated on a polyethylene terephthalate film (base film) having a thickness of 25 μm and heated at 100 ° C. for 10 minutes to evaporate volatile components. 30 μm) was formed. Thereafter, a polyethylene film (cover film) having a thickness of 25 μm was bonded onto the coating to prepare a dry film.

ドライフィルムの評価にあたりカバーフィルムを剥がした。カバーフィルムを剥がしたドライフィルムを70℃に加温しながら、感光性組成物の被膜(以下、感光層ともいう。)が後述する基板に付着するように、ラミネーターを用いてラミネートした。このようにして得られた感光層つき基板は、基板の上に感光層が形成され、その上にベースフィルムが被覆されたものである。
この感光層つき基板について、解像度、保存安定性、難燃性、基板反り、耐屈曲性、はんだ耐熱および絶縁信頼性を、以下の方法に従い評価した。評価結果を表3および表4に示す。
The cover film was peeled off when evaluating the dry film. While the dry film from which the cover film was peeled off was heated to 70 ° C., it was laminated using a laminator so that the coating of the photosensitive composition (hereinafter also referred to as a photosensitive layer) was adhered to the substrate described later. The substrate with a photosensitive layer thus obtained is a substrate in which a photosensitive layer is formed on a substrate and a base film is coated thereon.
With respect to the substrate with the photosensitive layer, the resolution, storage stability, flame retardancy, substrate warpage, bending resistance, solder heat resistance and insulation reliability were evaluated according to the following methods. The evaluation results are shown in Table 3 and Table 4.

(解像度・保存安定性)
基板としてFR−4基板〔住友ベークライト社製、銅箔厚さ18μm〕を使用した。作成した感光層つき基板の感光層に、60μm、80μm、100μmおよび200μmのライン幅のパターンを持つフォトマスクを用いて250mJ/cm2の光量で露光した。上記フォトマスクはベースフィルム上に置かれ、感光層への露光は、フォトマスクおよびベースフィルムを通してなされた。露光後、ベースフィルムを剥がし、液温が30℃で濃度1%の炭酸ナトリウム水溶液を、1.5kg/cm2の圧力で60秒間スプレーし、感光層の未露光部を除去することによりアルカリ現像を行って試験片を得た。得られた試験片を顕微鏡で観察し、感光層硬化膜の状態について、次の3段階で評価した。
〇・・・異常なかった。
△・・・一部に異常(残渣、剥離、蛇行等)がみられた。
×・・・全面的に異常(残渣、剥離、蛇行等)がみられた。
保存安定性の評価は、ドライフィルムを15℃で1ヶ月保存した後に、上記と同様に感光層つき基板を作成し、露光、現像した試験片について解像度を評価したものである。
(Resolution and storage stability)
An FR-4 substrate (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., copper foil thickness: 18 μm) was used as the substrate. The photosensitive layer of the prepared substrate with a photosensitive layer was exposed with a light amount of 250 mJ / cm 2 using a photomask having a line width pattern of 60 μm, 80 μm, 100 μm and 200 μm. The photomask was placed on the base film, and exposure to the photosensitive layer was made through the photomask and the base film. After the exposure, the base film is peeled off, and a 1% concentration sodium carbonate aqueous solution is sprayed at a temperature of 30 ° C. for 60 seconds at a pressure of 1.5 kg / cm 2 , thereby removing the unexposed portion of the photosensitive layer for alkali development. A test piece was obtained. The obtained test piece was observed with a microscope, and the state of the photosensitive layer cured film was evaluated in the following three stages.
〇 ・ ・ ・ No abnormalities.
Δ: Some abnormalities (residue, peeling, meandering, etc.) were observed.
X: Abnormalities (residue, peeling, meandering, etc.) were observed on the entire surface.
The storage stability was evaluated by evaluating the resolution of a test piece prepared by exposing a substrate with a photosensitive layer in the same manner as described above after storing the dry film at 15 ° C. for 1 month.

(難燃性)
基板として25μm厚ポリイミドフィルム〔東レ・デュポン社製、商品名「カプトン」〕を使用した。感光層つき基板に1000mJ/cm2の光量で露光した。ついでベースフィルムを剥がし、160℃で30分間ポストキュアし試験片を得た。
上記試験片を用い、UL−94規格の薄手材料垂直燃焼試験方法に準じて難燃性を評価した。
(Flame retardance)
A 25 μm-thick polyimide film (manufactured by Toray DuPont, trade name “Kapton”) was used as the substrate. The substrate with the photosensitive layer was exposed with a light amount of 1000 mJ / cm 2 . Subsequently, the base film was peeled off and post-cured at 160 ° C. for 30 minutes to obtain a test piece.
Using the above test piece, flame retardancy was evaluated according to the thin material vertical combustion test method of UL-94 standard.

(基板反り)
基板として25μm厚ポリイミドフィルム〔東レ・デュポン社製、商品名「カプトン」〕を使用した。感光層つき基板に1000mJ/cm2の光量で露光した。ついでベースフィルムを剥がし、160℃で30分間ポストキュアし、100mm角にカットして試験片を得た。
試験片を水平な床の上において、各試験片の角の床からの高さをmm単位で測定し、その平均値を反りの大きさとして評価した。
×・・・完全にカールするため反りが測定できなかった。
(Board warpage)
A 25 μm-thick polyimide film (manufactured by Toray DuPont, trade name “Kapton”) was used as the substrate. The substrate with the photosensitive layer was exposed with a light amount of 1000 mJ / cm 2 . Next, the base film was peeled off, post-cured at 160 ° C. for 30 minutes, and cut into 100 mm squares to obtain test pieces.
The height of the test piece from the corner floor was measured in mm on a horizontal floor, and the average value was evaluated as the magnitude of warpage.
X: Warping could not be measured because the film curled completely.

(耐屈曲性)
基板として25μm厚ポリイミドフィルム〔東レ・デュポン社製、商品名「カプトン」〕を使用した。感光層つき基板に1000mJ/cm2の光量で露光した。ついでベースフィルムを剥がし、160℃で30分間ポストキュアし、100mm角にカットして試験片を得た。
試験片の感光層が外側になるように90°または180°に折り曲げ、感光層のクラック等の損傷を目視により観察し、次の3段階で評価した。
〇・・・感光層に異常はなかった。
△・・・感光層表面に異常(クラック等)があった。
×・・・感光層の下面までクラックが達していた。
(Flexibility)
A 25 μm-thick polyimide film (manufactured by Toray DuPont, trade name “Kapton”) was used as the substrate. The substrate with the photosensitive layer was exposed with a light amount of 1000 mJ / cm 2 . Next, the base film was peeled off, post-cured at 160 ° C. for 30 minutes, and cut into 100 mm squares to obtain test pieces.
The test piece was bent at 90 ° or 180 ° so that the photosensitive layer was on the outside, and the damage of the photosensitive layer such as cracks was visually observed and evaluated in the following three stages.
O: There was no abnormality in the photosensitive layer.
Δ: Abnormality (crack, etc.) on the surface of the photosensitive layer.
X: Cracks reached the lower surface of the photosensitive layer.

(はんだ耐熱)
基板としてFR−4基板〔住友ベークライト社製、銅箔厚さ18μm〕を使用した。感光層つき基板に1000mJ/cm2の光量で露光した。ついでベースフィルムを剥がし、160℃で30分間ポストキュアし試験片を得た。試験片を280℃の溶融はんだ浴に10秒間浸漬させることを1サイクルとして、5サイクル行なった後に硬化膜の状態を目視により観察し、次の3段階で評価した。
〇・・・感光層の剥れはなかった。
△・・・感光層の一部が剥れた。
×・・・感光層の大部分が剥れ又は完全剥離した。
(Solder heat resistance)
An FR-4 substrate (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., copper foil thickness: 18 μm) was used as the substrate. The substrate with the photosensitive layer was exposed with a light amount of 1000 mJ / cm 2 . Subsequently, the base film was peeled off and post-cured at 160 ° C. for 30 minutes to obtain a test piece. The test piece was immersed in a molten solder bath at 280 ° C. for 10 seconds as one cycle, and after 5 cycles, the state of the cured film was visually observed and evaluated in the following three stages.
O: The photosensitive layer did not peel off.
Δ: A part of the photosensitive layer was peeled off.
X: Most of the photosensitive layer was peeled off or completely peeled off.

(絶縁信頼性)
FR−4基板〔住友ベークライト社製、銅箔厚さ18μm〕から作成されたくし型テストパターン(線幅100μm、線間100μm)基板を用い、感光層つき基板に1000mJ/cm2の光量で露光した。ついでベースフィルムを剥がし、160℃で30分間ポストキュアし試験片を得た。得られた試験片に温度85℃、相対湿度85%の雰囲気中で直流50Vを印加した状態で250時間、500時間、1000時間放置後の絶縁抵抗値を測定した。
×・・・配線間が短絡し、抵抗値測定不可。
(Insulation reliability)
Using a comb type test pattern substrate (line width: 100 μm, line spacing: 100 μm) prepared from an FR-4 substrate (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., copper foil thickness: 18 μm), the substrate with the photosensitive layer was exposed with a light amount of 1000 mJ / cm 2 . . Subsequently, the base film was peeled off and post-cured at 160 ° C. for 30 minutes to obtain a test piece. The insulation resistance value was measured after leaving the test piece for 250 hours, 500 hours, and 1000 hours in a state where 50 V DC was applied in an atmosphere of 85 ° C. and 85% relative humidity.
× ・ ・ ・ The wiring is short-circuited and the resistance value cannot be measured.

Figure 0005051217
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Figure 0005051217
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表3によれば、実例1、3〜8では、解像度、保存安定性、難燃性、基板の反り、耐屈曲性及びはんだ耐熱のいずれの結果も良好であり、絶縁信頼性も、1000時間保存後にやや抵抗が低下することもあるが、実用上、何ら問題のない範囲であり、優れていることが分かる。また、カルボキシル基を有するポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレートを用いた実例9では、絶縁信頼性が少し低下する傾向にある。更に、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格のウレタンアクリレートを用いているものの、その質量平均分子量が小さい実例10では、基板反りおよび耐屈曲性がやや低下し、質量平均分子量が大きい実例11では、解像度が低下する傾向にある。


According to Table 3, the Experiment Example 1, 3-8, resolution, storage stability, flame retardancy, of the substrate warp, a better one of the results of the flex resistance and solder heat insulation reliability, Although the resistance may slightly decrease after storage for 1000 hours, it is found that the range is practically free from any problems. Also, in Experiment Example 9 using a urethane acrylate of the polycarbonate polyol skeleton having a carboxyl group, there is a tendency that the insulation reliability is lowered slightly. Furthermore, although using a urethane acrylate having no polycarbonate polyol backbone carboxyl group, in the weight-average molecular weight is less experimental example 10, the substrate warpage and bending resistance is slightly reduced, weight-average molecular weight is larger experimental example 11, the resolution tends to decrease.


一方、表4によれば、比較例1〜7では、複数の評価項目において劣っていることが分かる。特に、解像度は全ての比較例で劣っており、絶縁信頼性も比較例6を除いて大きく劣っており、比較例6の絶縁信頼性も優れているとはいえない。   On the other hand, according to Table 4, in Comparative Examples 1-7, it turns out that it is inferior in several evaluation items. In particular, the resolution is inferior in all the comparative examples, and the insulation reliability is greatly inferior except for Comparative Example 6, and it cannot be said that the insulation reliability of Comparative Example 6 is also excellent.

本発明の感光性組成物は、例えばフィルム支持体上に被膜形成されて、感光性ドライフィルムを提供するほか、レジスト、特にソルダーレジストなどの電子材料として好ましく使用でき、薄型のプリント配線板やFPC基板の加工にも使用可能である。
また、塗料等のコーティング剤、インキとしても使用することができる。
The photosensitive composition of the present invention can be preferably used as an electronic material such as a resist, particularly a solder resist, in addition to providing a photosensitive dry film by being coated on a film support, for example, and can be used as a thin printed wiring board or FPC. It can also be used for substrate processing.
Moreover, it can be used also as coating agents, such as a coating material, and ink.

Claims (11)

エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物(A)、カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有するウレタンアクリレート(B)、ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物(C)、リン原子を含むフィラー(D)および光重合開始剤(E)を含有し、
前記成分(A)および成分(B)の合計量100質量部を基準として、成分(A)を20〜90質量部、成分(B)を10〜80質量部、成分(C)を5〜50質量部含有する感光性組成物。
Compound (A) having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group, urethane acrylate (B) having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group, (A) and (A having a radical polymerizable group Containing a polymerizable compound (C) other than B), a filler (D) containing a phosphorus atom and a photopolymerization initiator (E) ;
20 to 90 parts by mass of component (A), 10 to 80 parts by mass of component (B), and 5 to 50 of component (C) based on 100 parts by mass of the total amount of component (A) and component (B). A photosensitive composition containing parts by mass .
成分(A)、成分(B)および成分(C)の合計量100質量部を基準として、成分(D)を1〜150質量部含有する請求項1に記載の感光性組成物。  The photosensitive composition of Claim 1 which contains 1-150 mass parts of components (D) on the basis of 100 mass parts of total amounts of a component (A), a component (B), and a component (C). エポキシ化合物に由来する骨格を有しカルボキシル基およびラジカル重合性基を備える化合物(A)は、エポキシ化合物に不飽和モノカルボン酸が付加反応され、生成した水酸基に多塩基酸無水物が付加反応されて得られる化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性組成物。In the compound (A) having a skeleton derived from an epoxy compound and having a carboxyl group and a radical polymerizable group, an unsaturated monocarboxylic acid is added to the epoxy compound, and a polybasic acid anhydride is added to the generated hydroxyl group. the photosensitive composition according to claim 1 or 2, characterized in that a compound obtained Te. カルボキシル基を有しないポリカーボネートポリオール骨格を有する化合物であるウレタンアクリレート(B)の質量平均分子量は、2,000〜50,000であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性組成物。The weight average molecular weight of the urethane acrylate (B) is a compound having a polycarbonate polyol skeleton having no carboxyl group, the photosensitive according to claim 1, characterized in that the 2,000-50,000 Sex composition. ラジカル重合性基を有する(A)および(B)以外の重合性化合物(C)は、(メタ)アクリロイル基を1分子中に3個以上有する化合物であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性組成物。Having a radical polymerizable group (A) and (B) other than the polymerizable compound (C), according to claim 1-4, characterized in that a compound having 3 or more in one molecule (meth) acryloyl groups The photosensitive composition in any one of. リン原子を含むフィラー(D)は、リンのオキソ酸の金属塩であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組成物。The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing a phosphorus atom is a metal salt of an oxo acid of phosphorus. リン原子を含むフィラー(D)は、ホスフィン酸類の金属塩であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組成物。The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing a phosphorus atom is a metal salt of a phosphinic acid. リン原子を含むフィラー(D)は、ホスフィン酸類のアルミニウム塩であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組成物。The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the filler (D) containing a phosphorus atom is an aluminum salt of a phosphinic acid. リン原子を含むフィラー(D)以外のリン化合物(F)をも含有する請求項1〜8のいずれかに記載の感光性組成物。The photosensitive composition in any one of Claims 1-8 which also contains phosphorus compounds (F) other than the filler (D) containing a phosphorus atom. 請求項1〜のいずれかに記載の感光性組成物を含有するソルダーレジスト。Solder resist containing a photosensitive composition according to any one of claims 1-9. 請求項1〜のいずれかに記載の感光性組成物を含有する被膜が支持フィルム上に形成された感光性ドライフィルム。Photosensitive dry film coating containing the photosensitive composition formed on a support film according to any one of claims 1-9.
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