JP4598554B2 - Photodetector - Google Patents

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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

本発明は、測定光の分布を検出する光検出装置に関する。   The present invention relates to a light detection device that detects a distribution of measurement light.

従来から、サイトメトリーなどの細胞測定法や、レーザ顕微鏡(LSM)等を用いた光計測が行われている。このような計測分野では、多チャンネルのレーザ発光装置を励起光源として用いてスライドガラス上の測定対象物から発せられる蛍光を測定したり、測定光を分光させてその波長分布を測定したりすることが行われている。このような光測定においては、測定光を複数チャンネルで同時に測定可能とするために、複数の光検出チャンネルを有する光検出器が用いられる。また、医療分野においても、PET(Positron Emission Tomography)装置に代表されるように、高空間分解能を実現するために、複数の細分化されたアノードを有するマルチアノード型の光電子増倍管や、高解像度のシンチレータ等が用いられている。   Conventionally, cell measurement methods such as cytometry, and optical measurement using a laser microscope (LSM) or the like have been performed. In such a measurement field, a multi-channel laser light emitting device is used as an excitation light source to measure fluorescence emitted from an object to be measured on a slide glass, or to measure the wavelength distribution of the measurement light by spectroscopy. Has been done. In such optical measurement, a photodetector having a plurality of light detection channels is used in order to enable measurement light to be measured simultaneously in a plurality of channels. Also, in the medical field, as represented by a PET (Positron Emission Tomography) apparatus, in order to realize high spatial resolution, a multi-anode type photomultiplier tube having a plurality of subdivided anodes, A resolution scintillator or the like is used.

例えば、特許文献1に開示された光検出装置は、測定光を波長に応じて同一方向に分光して、分光された測定光を受光素子を用いて検出する。また、特許文献2に開示された分光測定装置では、マルチアノード型の光電子増倍管の受光面上の各チャンネルに対応する位置にフィルタ部材が設けられている。このような構成により、光電子増倍管の各チャンネルにおいて同時に分光測定が可能となる。特許文献3及び4には、複数の光源を複数の試料に同時に照射し、試料を透過する光を複数の受光素子で受光する測定装置が記載されている。
特開2004−144678号公報 特開平11−329339号公報 特開平11−37932号公報 実開平6−10856号公報 特開平2−61611号公報
For example, the light detection device disclosed in Patent Document 1 separates measurement light in the same direction according to the wavelength, and detects the dispersed measurement light using a light receiving element. Further, in the spectroscopic measurement apparatus disclosed in Patent Document 2, a filter member is provided at a position corresponding to each channel on the light receiving surface of a multi-anode type photomultiplier tube. With such a configuration, spectroscopic measurement can be simultaneously performed in each channel of the photomultiplier tube. Patent Documents 3 and 4 describe a measuring apparatus that simultaneously irradiates a plurality of samples with a plurality of light sources and receives light transmitted through the sample with a plurality of light receiving elements.
JP 2004-144678 A JP 11-329339 A JP 11-37932 A Japanese Utility Model Publication No. 6-10856 JP-A-2-61611

しかしながら、上記従来の検出装置においては、測定光を受光素子や光電子増倍管等の光検出器に受光させる際には、測定光どうしが平行な方向に導光されている。このような検出装置による光測定において、高分解能を実現するためには光検出チャンネルの多チャンネル化が必要となるが、光検出チャンネルを細分化すれば隣接チャンネル間のクロストークが発生する結果、高精度の測定が困難となる。   However, in the conventional detection apparatus, when the measurement light is received by a photodetector such as a light receiving element or a photomultiplier tube, the measurement lights are guided in parallel directions. In light measurement by such a detection device, it is necessary to increase the number of light detection channels in order to achieve high resolution, but if the light detection channel is subdivided, crosstalk between adjacent channels occurs. High-precision measurement becomes difficult.

そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、測定光の検出チャンネルを多チャンネル化した場合であっても、隣接チャンネル間のクロストークを十分に低減する光検出装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made in view of such problems, and provides a photodetection device that can sufficiently reduce crosstalk between adjacent channels even when the measurement light detection channels are multi-channeled. The purpose is to do.

上記課題を解決するため、本発明の光検出装置は、入射面に入射する測定光の分布を検出する光検出装置であって、複数の光検出チャンネルが少なくとも第1の方向に配列された第1の受光面を有する第1の光検出器と、複数の光検出チャンネルが少なくとも第1の方向に配列されており、第1の受光面と略平行に対面する第2の受光面を有する第2の光検出器と、入射面において少なくとも第1の方向に配列され、第1の方向に対して略垂直な第2の方向に測定光を導入する複数の光導入部と、第1の受光面と第2の受光面との間であって、複数の光導入部の第2の方向における延長線上に配置され、測定光を対応する別々の光検出チャンネルに向けて反射させる複数の光反射部とを備え、第1及び第2の光検出器は、それぞれ、第1及び第2の受光面に沿って、第1の方向及び第1の方向に対して略垂直な方向に2次元的に配列された複数の光検出チャンネルを有し、複数の光導入部は、入射面に沿って、第1の方向及び第1の方向に対して略垂直な第3の方向に2次元的に配列されており、複数の光反射部は、第1の方向に沿って交互に第1の受光面側及び第2の受光面側を向くように形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a photodetection device according to the present invention is a photodetection device that detects a distribution of measurement light incident on an incident surface, and includes a plurality of photodetection channels arranged in at least a first direction. A first photodetector having one light receiving surface and a plurality of light detection channels arranged in at least a first direction and having a second light receiving surface facing substantially parallel to the first light receiving surface. Two light detectors, a plurality of light introduction units arranged in at least a first direction on the incident surface and introducing measurement light in a second direction substantially perpendicular to the first direction, and a first light receiving A plurality of light reflections disposed between the surface and the second light receiving surface, on the extension line in the second direction of the plurality of light introducing portions and reflecting the measurement light toward the corresponding separate light detection channels and a section, first and second photodetectors, respectively, first and A plurality of light detection channels that are two-dimensionally arranged in a direction substantially perpendicular to the first direction and the first direction along the two light receiving surfaces; Are two-dimensionally arranged in a first direction and a third direction substantially perpendicular to the first direction, and the plurality of light reflecting portions are alternately arranged along the first direction. It is formed so as to face the first light receiving surface side and the second light receiving surface side.

このような光検出装置によれば、測定光が、光導入部を通過することにより一方向に配列された状態で配列方向に対して略垂直な方向に導かれ、導かれた測定光は、光反射部で反射されることにより、配列方向に交互に第1及び第2の光検出器の光検出チャンネルに入射される。このとき、測定光は、配列方向に対して垂直な方向に反射されて、各光検出チャンネルに入射される。従って、測定時の分解能を高めるために測定光の多チャンネル化を図った場合でも、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間の距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。その結果、測定光を複数チャンネルで同時に検出できるので、測定時間の短縮化が実現される。   According to such a light detection device, the measurement light is guided in a direction substantially perpendicular to the arrangement direction in a state of being arranged in one direction by passing through the light introducing portion, By being reflected by the light reflecting portion, the light is incident on the light detection channels of the first and second photodetectors alternately in the arrangement direction. At this time, the measurement light is reflected in a direction perpendicular to the arrangement direction and is incident on each light detection channel. Therefore, even if the measurement light is increased in number of channels in order to increase the resolution during measurement, the distance between the light detection channels on which each measurement light is incident is increased, thereby reducing crosstalk between the light detection channels. Is done. As a result, measurement light can be simultaneously detected by a plurality of channels, so that measurement time can be shortened.

さらに、測定光の2次元分布を測定する際に、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間の第1の方向における距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。 Furthermore, when measuring the two-dimensional distribution of the measurement light, the distance in the first direction between the light detection channels on which the respective measurement light enters is increased, so that crosstalk between the light detection channels is reduced.

また、複数の光導入部は、第3の方向に対して略垂直な第2の方向に測定光を導入するものであり、複数の光反射部は、第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、第1の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されていることも好ましい。かかる構成を備えれば、測定光の2次元分布を測定する際にそれぞれの測定光を異なる光検出チャンネルに導くことができる。また、入射面から受光面までの光路長がそれぞれの光検出器においてほぼ同一とされるので、光検出チャンネル間の測定感度の均一性を高めることができる。   Further, the plurality of light introducing portions introduce measurement light in a second direction substantially perpendicular to the third direction, and the plurality of light reflecting portions have an inclination angle of about 45 with respect to the second direction. It is also preferable that it is formed along the inclination direction of the inclined surface substantially parallel to the first direction. With such a configuration, when measuring a two-dimensional distribution of measurement light, each measurement light can be guided to different light detection channels. In addition, since the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same in each photodetector, the uniformity of measurement sensitivity between the photodetection channels can be improved.

また、複数の光反射部が形成されている傾斜面は、第3の方向における第1の受光面と第2の受光面との間の中心位置において一直線上に交差することも好ましい。かかる構成とすれば、入射面から受光面までの光路長が2つの光検出器間でもほぼ同一とされるので、全体の光検出チャンネル間の測定感度の均一性をより一層高めることができる。   In addition, it is also preferable that the inclined surface on which the plurality of light reflecting portions are formed intersects in a straight line at the center position between the first light receiving surface and the second light receiving surface in the third direction. With such a configuration, since the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same between the two photodetectors, it is possible to further improve the uniformity of measurement sensitivity between the entire light detection channels.

また、第1及び第2の光検出器は、マルチアノード型の光電子増倍管であることも好ましい。かかる光検出器を備えれば、複数チャンネルの測定光を高感度で同時に検出することができる。   The first and second photodetectors are preferably multi-anode type photomultiplier tubes. If such a photodetector is provided, it is possible to simultaneously detect the measurement light of a plurality of channels with high sensitivity.

或いは、本発明の光検出装置は、入射面に入射する測定光の分布を検出する光検出装置であって、複数の光検出チャンネルが第1の方向及び第1の方向に略垂直な第2の方向に2次元的に配列された第1の受光面を有する第1の光検出器と、複数の光検出チャンネルが第1の方向及び第2の方向に2次元的に配列されており、第1の受光面と略平行に対面する第2の受光面を有する第2の光検出器と、複数の光検出チャンネルが第1及び第2の受光面の垂線方向である第3の方向及び第2の方向に2次元的に配列された第3の受光面を有する第3の光検出器と、複数の光検出チャンネルが第3の方向及び第2の方向に2次元的に配列されており、第3の受光面と略平行に対面する第4の受光面を有する第4の光検出器と、入射面において第1の方向及び第3の方向に2次元的に配列され、第2の方向に測定光を導入する複数の光導入部と、第1〜第4の受光面によって囲まれる領域内において、複数の光導入部の第2の方向における延長線上に配置され、測定光を対応する別々の光検出チャンネルに向けて反射させる複数の光反射部とを備え、複数の光反射部は、第1及び第3の方向に沿って交互に異なる方向を向くように形成されていることを特徴とする。   Alternatively, the photodetection device of the present invention is a photodetection device that detects the distribution of measurement light incident on the incident surface, wherein the plurality of photodetection channels are substantially perpendicular to the first direction and the first direction. A first photodetector having a first light receiving surface that is two-dimensionally arranged in the direction, and a plurality of light detection channels are two-dimensionally arranged in the first direction and the second direction, A second photodetector having a second light-receiving surface facing substantially parallel to the first light-receiving surface; a third direction in which the plurality of light detection channels are perpendicular to the first and second light-receiving surfaces; A third photodetector having a third light receiving surface arranged two-dimensionally in the second direction, and a plurality of light detection channels arranged two-dimensionally in the third direction and the second direction. A fourth photodetector having a fourth light receiving surface facing substantially parallel to the third light receiving surface, and a first light incident surface. A plurality of light introductions in a region surrounded by the first to fourth light receiving surfaces and a plurality of light introduction parts that are two-dimensionally arranged in the direction and the third direction and introduce measurement light in the second direction A plurality of light reflecting portions arranged on an extension line in the second direction of the portion and reflecting the measurement light toward the corresponding different light detection channels, and the plurality of light reflecting portions include the first and third light reflecting portions. It is characterized by being formed so as to face different directions alternately along the direction.

このような光検出装置によれば、測定光が、光導入部を通過することにより2次元的に配列された状態で入射面に対して略垂直な方向に導かれ、導かれた測定光は、光反射部で反射されることにより、2つの配列方向において交互に、別々の光検出器の光検出チャンネルに入射される。このとき、測定光は、光検出器の受光面に垂直な方向に入射される。従って、測定時の分解能を高めるために測定光の多チャンネル化を図った場合でも、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間の距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。その結果、測定光を複数チャンネルで同時に検出できるので、測定時間の短縮化が実現される。   According to such a light detection device, the measurement light is guided in a direction substantially perpendicular to the incident surface in a state of being two-dimensionally arranged by passing through the light introducing portion, and the guided measurement light is By being reflected by the light reflecting portion, the light is alternately incident on the light detection channels of the separate light detectors in the two arrangement directions. At this time, the measurement light is incident in a direction perpendicular to the light receiving surface of the photodetector. Therefore, even if the measurement light is increased in number of channels in order to increase the resolution during measurement, the distance between the light detection channels on which each measurement light is incident is increased, thereby reducing crosstalk between the light detection channels. Is done. As a result, measurement light can be simultaneously detected by a plurality of channels, so that measurement time can be shortened.

また、複数の光反射部は、第3の方向に沿って交互に、第2の受光面に向けて測定光を反射させる光反射面と、第4の受光面に向けて測定光を反射させる光反射面とが形成された第1の光反射部材と、第3の方向に沿って交互に、第1の受光面に向けて測定光を反射させる光反射面と、第3の受光面に向けて測定光を反射させる光反射面とが形成された第2の光反射部材とを有し、第1の光反射部材と第2の光反射部材とが交互に第1の方向に配列されていることが好ましい。この場合、複数の光反射部を構成する光反射部材の共通化が容易となり製造効率の向上が図られるとともに、組立工数が削減される。   The plurality of light reflecting portions alternately reflect the measurement light toward the second light receiving surface and the measurement light toward the fourth light receiving surface along the third direction. The first light reflecting member formed with the light reflecting surface, the light reflecting surface that reflects the measurement light toward the first light receiving surface alternately along the third direction, and the third light receiving surface And a second light reflecting member formed with a light reflecting surface for reflecting the measurement light toward the measuring light, and the first light reflecting member and the second light reflecting member are alternately arranged in the first direction. It is preferable. In this case, it is easy to share the light reflecting members constituting the plurality of light reflecting portions, the manufacturing efficiency is improved, and the number of assembling steps is reduced.

複数の光反射部は、第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、第1の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されるとともに、第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、第3の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されていることが好ましい。かかる構成を備えれば、測定光の2次元分布を測定する際にそれぞれの測定光を異なる光検出チャンネルに導くことができる。また、入射面から受光面までの光路長がそれぞれの光検出器においてほぼ同一とされるので、光検出チャンネル間の測定感度の均一性を高めることができる。   The plurality of light reflecting portions have an inclination angle of about 45 degrees with respect to the second direction and are formed along an inclination direction of an inclined surface substantially parallel to the first direction, and with respect to the second direction. It is preferable that the inclination angle is approximately 45 degrees, and the inclination angle is formed along the inclination direction of the inclined surface substantially parallel to the third direction. With such a configuration, when measuring a two-dimensional distribution of measurement light, each measurement light can be guided to different light detection channels. In addition, since the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same in each photodetector, the uniformity of measurement sensitivity between the photodetection channels can be improved.

また、複数の光反射部が形成されている傾斜面は、第3の方向における第1の受光面と第2の受光面との間の中心位置において一直線上に交差するとともに、第1の方向における第3の受光面と第4の受光面との間の中心位置において一直線上に交差することも好ましい。この場合、かかる構成とすれば、入射面から受光面までの光路長が4つの光検出器間でほぼ同一とされるので、全体の光検出チャンネル間の測定感度の均一性をより一層高めることができる。   In addition, the inclined surface on which the plurality of light reflecting portions are formed intersects in a straight line at the center position between the first light receiving surface and the second light receiving surface in the third direction, and in the first direction. It is also preferable to intersect on a straight line at the center position between the third light receiving surface and the fourth light receiving surface. In this case, with this configuration, the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same among the four photodetectors, so that the uniformity of measurement sensitivity between the entire photodetection channels can be further improved. Can do.

また、第1〜第4の光検出器は、マルチアノード型の光電子増倍管であることも好ましい。かかる光検出器を備えれば、複数チャンネルの測定光を高感度で同時に検出することができる。   The first to fourth photodetectors are preferably multi-anode type photomultiplier tubes. If such a photodetector is provided, it is possible to simultaneously detect the measurement light of a plurality of channels with high sensitivity.

また、複数の光反射部を挟んで複数の光導入部に対向して設けられ、第2の方向に測定対象物を励起させるための励起光を照射する励起光源をさらに備え、複数の光反射部は、励起光の波長帯域の光を透過させるとともに、測定対象物から発せられる測定光の波長帯域の光を反射させるダイクロイックミラーを有することも好ましい。かかる構成を採れば、励起光源が光反射部を挟んで測定対象物の反対側に設けられているので、測定対象物から発せられる光の分布を測定する際に、励起光源が測定光の光路の障害になることを防止することができるとともに、励起光を導く複雑な導光手段が不要となる。   The light source further includes an excitation light source that is provided opposite to the plurality of light introduction portions with the plurality of light reflection portions interposed therebetween, and that emits excitation light for exciting the measurement object in the second direction. It is also preferable that the unit has a dichroic mirror that transmits light in the wavelength band of excitation light and reflects light in the wavelength band of measurement light emitted from the measurement object. With this configuration, since the excitation light source is provided on the opposite side of the measurement object with the light reflecting portion interposed therebetween, the excitation light source is used as the optical path of the measurement light when measuring the distribution of light emitted from the measurement object. In addition, it is possible to prevent a complicated light guiding means for guiding the excitation light.

本発明の光検出装置によれば、測定光の検出チャンネルを多チャンネル化した場合であっても、隣接チャンネル間のクロストークを十分に低減することができる。   According to the light detection apparatus of the present invention, even when the detection light detection channels are multi-channeled, crosstalk between adjacent channels can be sufficiently reduced.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る光検出装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a light detection device according to the invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態である光検出装置の斜視図、図2は、図1の光検出装置の分解斜視図である。この光検出装置1は、複数の測定光を分光して波長帯域ごとの分布を検出するための装置である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view of a light detection device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the light detection device of FIG. The light detection device 1 is a device for detecting a distribution for each wavelength band by splitting a plurality of measurement lights.

光検出装置1は、図1及び図2に示すように、マルチアノード型の光電子増倍管(光検出器)2,3を備えている。光電子増倍管2,3は、それぞれ、四角柱状の側管4,5を有し、それぞれの側管4,5の端部側には、光透過性材料により形成された矩形の光入射板(受光面)6,7が気密に固定されている。光入射板6,7の内側には、光入射板6,7の面に沿って光電面が形成され、側管4,5の内部には、電子増倍部と、電子増倍部を介して光入射板6,7に対面するように設けられ、8行8列で2次元マトリクス状に配列されたアノードとが備えられている。さらに、光入射板6,7の外側には、それぞれ、光入射板6,7と略同一形状のバンドパスフィルタ8,9が、光入射板6,7を覆うように固定されている。バンドパスフィルタ8,9は、遮光性材料で平板状に形成された遮光部8a,9aと、側管4,5の内部にマトリクス状に配列されたアノードに対応する位置に4行4列でマトリクス状に等間隔で設けられ、特定の波長帯域の測定光を透過させるフィルタ部8b,9bとを有している。ここで、バンドパスフィルタ8,9に形成されたフィルタ部8b,9bの配列方向をX軸、Y軸とし、XY平面に垂直な方向をZ軸とすると、アノードは、側管4,5の内部のXY平面上において8行8列の2次元マトリクス状に配列されている。また、これらの計64個のアノードの1つおきの位置、すなわち、バンドパスフィルタ8,9のフィルタ部8b,9bに対応する位置に16チャンネルの光検出チャンネルが形成される。   As shown in FIGS. 1 and 2, the photodetecting device 1 includes multi-anode type photomultiplier tubes (photodetectors) 2 and 3. The photomultiplier tubes 2 and 3 have square columnar side tubes 4 and 5, respectively, and rectangular light incident plates formed of a light transmissive material on the side of the end portions of the side tubes 4 and 5, respectively. (Light receiving surfaces) 6, 7 are fixed in an airtight manner. Photoelectric surfaces are formed inside the light incident plates 6 and 7 along the surfaces of the light incident plates 6 and 7, and inside the side tubes 4 and 5, an electron multiplier and an electron multiplier are interposed. And anodes arranged in a two-dimensional matrix with 8 rows and 8 columns. Further, band pass filters 8 and 9 having substantially the same shape as the light incident plates 6 and 7 are fixed outside the light incident plates 6 and 7 so as to cover the light incident plates 6 and 7, respectively. The bandpass filters 8 and 9 are arranged in 4 rows and 4 columns at positions corresponding to the light shielding portions 8 a and 9 a formed in a flat plate shape with a light shielding material and the anodes arranged in a matrix in the side tubes 4 and 5. Filter units 8b and 9b that are provided at regular intervals in a matrix and transmit measurement light in a specific wavelength band. Here, assuming that the arrangement direction of the filter portions 8b and 9b formed in the bandpass filters 8 and 9 is the X axis and the Y axis, and the direction perpendicular to the XY plane is the Z axis, the anode is connected to the side tubes 4 and 5. They are arranged in a two-dimensional matrix of 8 rows and 8 columns on the internal XY plane. Further, 16 photodetecting channels are formed at every other position of these 64 anodes, that is, at positions corresponding to the filter portions 8b and 9b of the bandpass filters 8 and 9.

上述した光電子増倍管2,3は、光入射板6,7が略平行に対面するように対称な位置に設けられ、光入射板6,7の間には、直方体形状の反射板収容部10が固定されている。反射板収容部10の−Y方向側の端部には開口部15が形成され、開口部15の+Z方向側側面及び−Z方向側側面にはそれぞれ、矩形状に切り欠かれた切り欠き部11,12が形成されている。この切り欠き部11,12には、8枚の光反射板13が収容されている。   The photomultiplier tubes 2 and 3 described above are provided at symmetrical positions so that the light incident plates 6 and 7 face each other substantially in parallel. Between the light incident plates 6 and 7, a rectangular parallelepiped-shaped reflector housing portion. 10 is fixed. An opening 15 is formed at the −Y direction side end of the reflector housing part 10, and a notch that is cut out in a rectangular shape on the + Z direction side surface and the −Z direction side surface of the opening 15, respectively. 11 and 12 are formed. Eight light reflecting plates 13 are accommodated in the notches 11 and 12.

光反射板13は、斜辺とその他の2辺との成す角が約45度となるよう略直角三角形状に形成され、斜辺側の端面には、光反射性材料から成る4つの光反射部14が等間隔に形成されている(図3参照)。光反射板13は、斜辺以外の2辺がZ軸及びY軸に平行になるようにY方向側の一辺を重ねた状態で切り欠き部11,12に収容される。このとき、8枚の光反射板13は、斜辺の向きが互い違いになるように重ねられる結果、光反射部14は、X軸方向に沿って交互に光入射板6及び光入射板7を向くようにされるとともに、光反射部14のY軸及びZ軸に対する傾斜角がともに約45度とされる。また、光反射部14は、それぞれの光反射部14のZ軸方向における延長線上にフィルタ部8b,9bが位置するように配置される。   The light reflecting plate 13 is formed in a substantially right triangle shape so that the angle formed by the oblique side and the other two sides is about 45 degrees, and four light reflecting portions 14 made of a light reflective material are formed on the end surface on the oblique side. Are formed at equal intervals (see FIG. 3). The light reflecting plate 13 is accommodated in the notches 11 and 12 in a state where one side on the Y direction side is overlapped so that two sides other than the oblique side are parallel to the Z axis and the Y axis. At this time, as a result of the eight light reflecting plates 13 being overlapped so that the directions of the hypotenuses are staggered, the light reflecting portions 14 alternately face the light incident plate 6 and the light incident plate 7 along the X-axis direction. In addition, the inclination angle of the light reflecting portion 14 with respect to the Y axis and the Z axis is both about 45 degrees. The light reflecting portions 14 are arranged such that the filter portions 8b and 9b are positioned on the extended lines in the Z-axis direction of the respective light reflecting portions 14.

反射板収容部10の開口部15には、開口部15と略同一形状のバンドパスフィルタ16が嵌め合わされている。バンドパスフィルタ16は、遮光性を有する材料からなる遮光部16aと、光反射部14の−Y方向の延長線上において、X方向に8列、及びZ方向に4列で2次元的に配列されており、特定の波長帯域の測定光を透過させるフィルタ部16bとを有する。   A band-pass filter 16 having substantially the same shape as the opening 15 is fitted in the opening 15 of the reflector housing part 10. The band-pass filter 16 is two-dimensionally arranged in eight rows in the X direction and four rows in the Z direction on the light shielding portion 16a made of a light shielding material and an extension line of the light reflecting portion 14 in the -Y direction. And a filter unit 16b that transmits measurement light in a specific wavelength band.

さらに、開口部15には、バンドパスフィルタ16を挟んで、平板状の分光板(入射面)17が固定されている。分光板17の−X方向側の端面には、Z軸方向に等間隔に4つの光入力部18が形成されている。この光入力部18には、光ファイバ等が接続されることにより、同時に4つの測定光がパラレルに入力される。また、分光板17の内部には、それぞれの光入力部18からX方向に沿ってダイクロイックミラーアレイ19が設けられている。ダイクロイックミラーアレイ19は、光透過帯域の最短波長の異なる8個のダイクロイックミラー(光導入部)DM〜DMが、X方向に沿って最短波長が徐々に大きくなる順番で配列されたものであり、光入力部18からX方向に入射した測定光を異なる波長帯域ごとに分光してY方向に反射する。ダイクロイックミラーDM〜DMは、光反射部14の−Y軸方向の延長線上に位置するように設けられて、測定光をそれぞれの光反射部14に向けてY方向に導入する。 Further, a flat plate-shaped spectroscopic plate (incident surface) 17 is fixed to the opening 15 with the band-pass filter 16 interposed therebetween. Four light input portions 18 are formed at equal intervals in the Z-axis direction on the end surface of the spectroscopic plate 17 on the −X direction side. By connecting an optical fiber or the like to the optical input unit 18, four measurement lights are simultaneously input in parallel. A dichroic mirror array 19 is provided in the spectroscopic plate 17 along the X direction from each light input unit 18. The dichroic mirror array 19 is composed of eight dichroic mirrors (light introducing portions) DM 1 to DM 8 having different shortest wavelengths in the light transmission band, arranged in the order in which the shortest wavelengths gradually increase along the X direction. Yes, the measurement light incident in the X direction from the light input unit 18 is divided into different wavelength bands and reflected in the Y direction. The dichroic mirrors DM 1 to DM 8 are provided so as to be positioned on an extension line in the −Y-axis direction of the light reflecting portion 14, and introduce measurement light toward the respective light reflecting portions 14 in the Y direction.

以上のように構成された光検出装置1における測定光の検出作用について、2つの光路を例にとって説明する。図2及び図4に示すように、光入力部18からX方向に入力された測定光は、ダイクロイックミラーDMによって分光されると同時に、Y方向に向けて反射される(矢印L1)。ダイクロイックミラーDMによって反射された測定光は、バンドパスフィルタ16のフィルタ部16bを透過した後、光反射板13の傾斜面S1に沿って形成された光反射部14に入射し、光反射部14においてバンドパスフィルタ9のフィルタ部9bに向けて−Z方向に反射される。その後、フィルタ部9bに入射された測定光は、フィルタ部9bに対面する光電子増倍管3の光検出チャンネルによって検出される。 The measurement light detection operation in the light detection apparatus 1 configured as described above will be described by taking two optical paths as an example. As shown in FIGS. 2 and 4, the measurement light input to the X-direction from the light input section 18 and, at the same time is split by the dichroic mirror DM 8, it is reflected toward the Y direction (arrow L1). Dichroic measurement light reflected by the dichroic mirror DM 8 is incident after passing through the filter unit 16b of the band-pass filter 16, the light reflecting portion 14 formed along the inclined surface S1 of the light reflection plate 13, the light reflecting portion 14, the light is reflected in the −Z direction toward the filter unit 9 b of the bandpass filter 9. Thereafter, the measurement light incident on the filter unit 9b is detected by the photodetection channel of the photomultiplier tube 3 facing the filter unit 9b.

一方、同一の光入力部18からX方向に入力され、ダイクロイックミラーDMによって分光された測定光は、バンドパスフィルタ16のフィルタ部16bを透過した後、光反射板13の傾斜面S2に沿って形成された光反射部14に入射する(矢印L2)。その後、測定光は、光反射部14においてバンドパスフィルタ8のフィルタ部8bに向けてZ方向に反射される。このようにして、フィルタ部8bに入射された測定光は、フィルタ部8bに対面する光電子増倍管2の光検出チャンネルによって検出される。 On the other hand, is input from the same light input portion 18 in the X direction, measuring light split by the dichroic mirror DM 7 is transmitted through the filter unit 16b of the band-pass filter 16, along the inclined surface S2 of the light reflection plate 13 Then, the light enters the light reflecting portion 14 formed (arrow L2). Thereafter, the measurement light is reflected in the Z direction toward the filter unit 8 b of the bandpass filter 8 by the light reflecting unit 14. Thus, the measurement light incident on the filter unit 8b is detected by the photodetection channel of the photomultiplier tube 2 facing the filter unit 8b.

ここで、図4を参照すると、光反射板13の傾斜面S1と傾斜面S2とは、光入射板6,7からの距離がほぼ等しい直線C1上において交差、つまり、光入射板6,7の中心位置において一直線上に交差している。このような光入射板6,7の配置により、4つの光入力部18に対応するダイクロイックミラーDM〜DMの位置から、光入射板6,7までの光路長が同一にされる。 Here, referring to FIG. 4, the inclined surface S1 and the inclined surface S2 of the light reflecting plate 13 intersect on a straight line C1 having substantially the same distance from the light incident plates 6 and 7, that is, the light incident plates 6 and 7. It intersects on a straight line at the center position. With the arrangement of the light incident plates 6 and 7, the optical path lengths from the positions of the dichroic mirrors DM 1 to DM 8 corresponding to the four light input units 18 to the light incident plates 6 and 7 are made the same.

以上説明した光検出装置1の作用効果について説明する。   The operational effects of the light detection device 1 described above will be described.

光検出装置1によれば、測定光が、分光板17のダイクロイックミラーアレイ19を通過することによりX方向に配列された状態でY方向に導かれ、導かれた測定光は、光反射部14で反射されることにより、X方向に交互に光電子増倍管2及び光電子増倍管3の光検出チャンネルに入射される。このとき、測定光は、配列方向に垂直(Z軸方向)に光検出チャンネルに入射される。従って、測定時の分解能を高めるために測定光の多チャンネル化を図った場合でも、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間の距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。その結果、測定光を複数チャンネルで同時に検出できるので、測定時間の短縮化が実現される。   According to the light detection device 1, the measurement light is guided in the Y direction in a state of being arranged in the X direction by passing through the dichroic mirror array 19 of the spectroscopic plate 17, and the guided measurement light is reflected by the light reflection unit 14. Are incident on the photodetection channels of the photomultiplier tube 2 and the photomultiplier tube 3 alternately in the X direction. At this time, the measurement light is incident on the light detection channel perpendicular to the arrangement direction (Z-axis direction). Therefore, even if the measurement light is increased in number of channels in order to increase the resolution during measurement, the distance between the light detection channels on which each measurement light is incident is increased, thereby reducing crosstalk between the light detection channels. Is done. As a result, measurement light can be simultaneously detected by a plurality of channels, so that measurement time can be shortened.

また、光電子増倍管2,3は、それぞれの光入射板6,7に沿って、X方向及びY方向に2次元的に配列された複数の光検出チャンネルを有しており、ダイクロイックミラーアレイ19は、分光板17に沿って、X方向及びZ方向に2次元的に配列されている。これにより、測定光の2次元分布を測定する際にも、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間のX方向の距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。   The photomultiplier tubes 2 and 3 have a plurality of photodetection channels arranged two-dimensionally in the X direction and the Y direction along the respective light incident plates 6 and 7, and have a dichroic mirror array. 19 are two-dimensionally arranged in the X direction and the Z direction along the spectral plate 17. As a result, when measuring the two-dimensional distribution of the measurement light, the distance in the X direction between the light detection channels on which the respective measurement lights are incident is increased, so that crosstalk between the light detection channels is reduced.

また、光反射部14は、Y軸に対する傾斜角が略45度であって、X軸と平行な傾斜面S1,S2の傾斜方向に沿って形成されているので、測定光の2次元分布を測定する際にそれぞれの測定光を異なる光検出チャンネルに導くことができる。また、分光板17から光入射板6,7までの光路長がそれぞれの光電子増倍管2,3においてほぼ同一とされるので、光検出チャンネル間の測定感度の均一性を高めることができる。さらに、傾斜面S1,S2は、光入射板6と光入射板7との間の中心位置において一直線上に交差しているので、分光板17から光入射板6,7までの光路長が2つの光電子増倍管の間でもほぼ同一とされるので、全体の光検出チャンネル間の測定感度の均一性をより一層高めることができる。   Further, since the light reflecting portion 14 has an inclination angle of about 45 degrees with respect to the Y axis and is formed along the inclination directions of the inclined surfaces S1 and S2 parallel to the X axis, the two-dimensional distribution of the measurement light can be obtained. In the measurement, each measurement light can be guided to a different light detection channel. Further, since the optical path lengths from the spectroscopic plate 17 to the light incident plates 6 and 7 are substantially the same in the respective photomultiplier tubes 2 and 3, the uniformity of measurement sensitivity between the photodetection channels can be improved. Furthermore, since the inclined surfaces S1 and S2 intersect on a straight line at the center position between the light incident plate 6 and the light incident plate 7, the optical path length from the spectroscopic plate 17 to the light incident plates 6 and 7 is 2. Since the two photomultiplier tubes are substantially the same, the uniformity of measurement sensitivity between the entire photodetection channels can be further enhanced.

[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図5は、本発明の第2実施形態である光検出装置の斜視図、図6は、図5の光検出装置の分解斜視図である。本実施形態にかかる光検出装置31は、光検出器である4つの光電子増倍管が放射状に設けられている点、光導入部の構成、光反射部の配置、及び励起光源が備えられている点が第1実施形態のものと異なる。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a perspective view of a photodetecting device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an exploded perspective view of the photodetecting device of FIG. The photodetector 31 according to the present embodiment is provided with four photomultiplier tubes, which are photodetectors, provided in a radial manner, the configuration of the light introducing unit, the arrangement of the light reflecting unit, and the excitation light source. This is different from the first embodiment.

すなわち、光検出装置31においては、4つのマルチアノード型の光電子増倍管32,33,34,35が設けられ、それぞれの側管36,37,38,39の端部側には光入射板40,41,42,43が気密に固定されている。また、光入射板40,41,42,43の外側には、それぞれ、4行4列でマトリクス状に配置されたフィルタ部44b,45b,46b,47bを有するバンドパスフィルタ44,45,46,47が固定されている。これらの光電子増倍管32〜35の構成は、第1実施形態において説明した光電子増倍管2,3の構成と同一である。光電子増倍管32〜35は、光入射板40と光入射板41、及び光入射板42と光入射板43がそれぞれ略平行に対面し、かつ光入射板40,41表面の垂線と、光入射板42,43表面の垂線とが直交するように、放射状に配置されている。ここで、光電子増倍管32,33の光検出チャンネルの配列方向をX方向、及びY方向とし、光電子増倍管34,35の光検出チャンネルの配列方向をY方向、及びZ方向とする。   That is, in the photodetecting device 31, four multi-anode type photomultiplier tubes 32, 33, 34, and 35 are provided, and light incident plates are provided at the end portions of the side tubes 36, 37, 38, and 39, respectively. 40, 41, 42 and 43 are fixed in an airtight manner. In addition, outside the light incident plates 40, 41, 42, 43, band-pass filters 44, 45, 46, having filter sections 44b, 45b, 46b, 47b arranged in a matrix of 4 rows and 4 columns, respectively. 47 is fixed. The configurations of these photomultiplier tubes 32 to 35 are the same as the configurations of the photomultiplier tubes 2 and 3 described in the first embodiment. In the photomultiplier tubes 32 to 35, the light incident plate 40 and the light incident plate 41, and the light incident plate 42 and the light incident plate 43 face each other substantially in parallel. It arrange | positions radially so that the perpendicular | vertical line of the entrance plates 42 and 43 surface may orthogonally cross. Here, the arrangement direction of the photodetection channels of the photomultiplier tubes 32 and 33 is defined as the X direction and the Y direction, and the arrangement direction of the photodetection channels of the photomultiplier tubes 34 and 35 is defined as the Y direction and the Z direction.

光入射板40,41,42,43で囲まれる領域には、直方体形状の反射板収容部48が固定されている。反射板収容部48の−Y方向側の端部には開口部49が形成され、開口部49の+Z方向側側面及び−Z方向側側面にはそれぞれ、矩形状に切り欠かれた切り欠き部50,51が形成されている。この切り欠き部50,51には、8枚の光反射板(光反射部材)54が収容されている。また、反射板収容部48の+X方向側側面及び−X方向側側面には、それぞれ、測定光を光電子増倍管34及び光電子増倍管35に向けて通過させるための開放部52,53が形成されている。   In a region surrounded by the light incident plates 40, 41, 42, 43, a rectangular parallelepiped reflector housing 48 is fixed. An opening 49 is formed at the end portion on the −Y direction side of the reflector housing portion 48, and a notch portion that is cut out in a rectangular shape on the + Z direction side surface and the −Z direction side surface of the opening portion 49, respectively. 50 and 51 are formed. Eight light reflecting plates (light reflecting members) 54 are accommodated in the notches 50 and 51. Further, on the + X direction side surface and the −X direction side surface of the reflector housing portion 48, open portions 52 and 53 for allowing measurement light to pass toward the photomultiplier tube 34 and the photomultiplier tube 35, respectively. Is formed.

図7に示すように、光反射板54a,54b,54c,54dは、それぞれ、光反射板54e,54f,54g,54hと同一形状を有している。光反射板54a〜54hは、斜辺とその他の2辺との成す角が約45度となるよう略直角三角形状に形成され、斜辺側の端面には、4つの光反射部55が斜面に沿って等間隔に形成されている。また、光反射板54a〜54hの隣接する光反射部55の間には、光反射板54表面の垂線との成す角が約45度であり、かつ底辺と平行な同一面上に、光反射部56が等間隔に形成されている。このとき、光反射板54a〜54d、または光反射板54e〜54hの順で、光反射部56と底辺との距離が徐々に小さくなるようにされている。光反射部55,56は、特定の波長帯域の光を反射するダイクロイックミラーによって形成されており、測定対象物を励起させる励起光(詳細は後述する)の波長帯域を透過させると共に、測定対象物から発せられる測定光の波長帯域を反射させる性質を有する。   As shown in FIG. 7, the light reflecting plates 54a, 54b, 54c, and 54d have the same shape as the light reflecting plates 54e, 54f, 54g, and 54h, respectively. The light reflecting plates 54a to 54h are formed in a substantially right triangle shape so that the angle formed between the oblique side and the other two sides is about 45 degrees, and the four light reflecting portions 55 extend along the inclined surface on the end surface on the oblique side. Are formed at regular intervals. Further, between the adjacent light reflecting portions 55 of the light reflecting plates 54a to 54h, the angle formed by the perpendicular to the surface of the light reflecting plate 54 is about 45 degrees, and the light is reflected on the same plane parallel to the base. The parts 56 are formed at equal intervals. At this time, the distance between the light reflecting portion 56 and the bottom is gradually reduced in the order of the light reflecting plates 54a to 54d or the light reflecting plates 54e to 54h. The light reflecting portions 55 and 56 are formed by dichroic mirrors that reflect light in a specific wavelength band, and transmit the wavelength band of excitation light (details will be described later) for exciting the measurement object, and also the measurement object. It has the property of reflecting the wavelength band of measurement light emitted from.

これらの光反射板54a〜54hは、斜辺以外の2辺がZ軸及びY軸に平行になるようにY方向側の底辺を重ねた状態で切り欠き部50,51に収容される。このとき、8枚の光反射板54a〜54hが、斜辺の向きが互い違いになるように、光反射板54a,54h,54b,54g,54c,54f,54d,54eの順で重ねられる。   These light reflecting plates 54a to 54h are accommodated in the cutout portions 50 and 51 in a state where the bottom sides on the Y direction side are overlapped so that two sides other than the oblique sides are parallel to the Z axis and the Y axis. At this time, the eight light reflecting plates 54a to 54h are stacked in the order of the light reflecting plates 54a, 54h, 54b, 54g, 54c, 54f, 54d, and 54e so that the directions of the hypotenuses are alternated.

また、それぞれの光反射板54a〜54hにおいては、光反射部55,56と底辺側の端面の間にY軸方向に貫通する貫通孔57が設けられるとともに、光反射部55,56において反射された測定光を、それぞれ、光入射板40〜43に向けて通過させるための複数の穴部58,59が設けられている。   Further, in each of the light reflecting plates 54a to 54h, a through hole 57 penetrating in the Y-axis direction is provided between the light reflecting portions 55 and 56 and the end face on the bottom side, and is reflected by the light reflecting portions 55 and 56. A plurality of holes 58 and 59 for passing the measured light toward the light incident plates 40 to 43 are provided.

上記の光反射板54の構成により、光反射部55,56が、X軸方向に沿って異なる光入射板40,42、及び光入射板41,43を交互に向くようにされるとともに、光反射部55のY軸及びZ軸に対する傾斜角がともに約45度、光反射部56のY軸及びX軸に対する傾斜角がともに約45度とされる。また、光反射部55は、それぞれの光反射部55のZ軸方向における延長線上にフィルタ部44b,45bが位置するように配置され、光反射部56は、それぞれの光反射部56のX軸方向における延長線上にフィルタ部46b,47bが位置するように配置される。   With the configuration of the light reflecting plate 54 described above, the light reflecting portions 55 and 56 are alternately directed to the different light incident plates 40 and 42 and the light incident plates 41 and 43 along the X-axis direction. The inclination angle of the reflection part 55 with respect to the Y axis and the Z axis is both about 45 degrees, and the inclination angle of the light reflection part 56 with respect to the Y axis and the X axis is both about 45 degrees. The light reflecting portions 55 are arranged so that the filter portions 44b and 45b are positioned on the extension lines in the Z-axis direction of the respective light reflecting portions 55. The light reflecting portions 56 are arranged on the X axis of each light reflecting portion 56. It arrange | positions so that the filter parts 46b and 47b may be located on the extended line in a direction.

図6に戻って、反射板収容部48の開口部49には、矩形状のレンズアレイ60が固定されている。レンズアレイ60は、測定対象物Aから発せられた測定光を集光して+Y方向に導くためのレンズ部材(光導入部)60aを有する。このレンズ部材60aは、X軸方向に8列、Z軸方向に8列で2次元マトリクス状に配置され、それぞれのレンズ部材60aの集光方向の延長線上に光反射部55,56が位置するようにされる。   Returning to FIG. 6, a rectangular lens array 60 is fixed to the opening 49 of the reflector housing portion 48. The lens array 60 includes a lens member (light introducing portion) 60a for collecting the measurement light emitted from the measurement object A and guiding it in the + Y direction. The lens members 60a are arranged in a two-dimensional matrix with eight rows in the X-axis direction and eight rows in the Z-axis direction, and the light reflecting portions 55 and 56 are positioned on the extension lines in the condensing direction of the lens members 60a. To be done.

さらに、レンズアレイ60の外側には、レンズ部材60aに対向する位置にチャンネル枠が設けられた矩形状のカバー部(入射面)61が設けられ、カバー部61の外側にはスライドガラス等を介して測定対象物Aが載置される。   Further, a rectangular cover part (incident surface) 61 having a channel frame provided at a position facing the lens member 60a is provided outside the lens array 60, and a slide glass or the like is provided outside the cover part 61. Then, the measuring object A is placed.

反射板収容部48を挟んでレンズアレイ60に対向する位置には、測定対象物Aを励起させるための励起光を照射するレーザモジュール(励起光源)62が設けられている。このレーザモジュール62の反射板収容部48側の端面には、マトリクス状に配置されたコリメートレンズ63が固定されている。それぞれのコリメートレンズ63は、レンズ部材60aのY軸方向の延長線上に配置され、レーザモジュール62から発生した励起光を略平行光として−Y方向に出射させるためのものである。レーザモジュール62のコリメートレンズ63から出射された励起光は、光反射板54の貫通孔57(図7参照)を通過した後に、光反射部55,56及びレンズ部材60aを透過して測定対象物Aに照射される。   A laser module (excitation light source) 62 for irradiating excitation light for exciting the measurement object A is provided at a position facing the lens array 60 with the reflector housing portion 48 interposed therebetween. A collimating lens 63 arranged in a matrix is fixed to the end surface of the laser module 62 on the reflecting plate housing portion 48 side. Each collimator lens 63 is disposed on an extension line in the Y-axis direction of the lens member 60a, and emits excitation light generated from the laser module 62 in the -Y direction as substantially parallel light. The excitation light emitted from the collimating lens 63 of the laser module 62 passes through the through hole 57 (see FIG. 7) of the light reflecting plate 54, and then passes through the light reflecting portions 55 and 56 and the lens member 60a to be measured. A is irradiated.

以上のように構成された光検出装置31における測定光の検出作用について、2つの光路を例にとって説明する。図6及び図8(a)〜(b)に示すように、測定対象物Aの励起により発生した測定光は、レンズアレイ60のレンズ部材60aを透過することによりY方向に向けて導光される(矢印L3)。この測定光は、光反射板54bの傾斜面S3に沿って形成された光反射部55に入射し、光反射部55においてバンドパスフィルタ45のフィルタ部45bに向けて−Z方向に反射される。その後、フィルタ部45bに入射された測定光は、フィルタ部45bに対面する光電子増倍管33の光検出チャンネルによって検出される。   The measurement light detection action of the light detection device 31 configured as described above will be described by taking two optical paths as an example. As shown in FIGS. 6 and 8A to 8B, the measurement light generated by the excitation of the measurement object A is guided in the Y direction by passing through the lens member 60a of the lens array 60. (Arrow L3). The measurement light is incident on the light reflecting portion 55 formed along the inclined surface S3 of the light reflecting plate 54b, and is reflected in the −Z direction by the light reflecting portion 55 toward the filter portion 45b of the bandpass filter 45. . Thereafter, the measurement light incident on the filter unit 45b is detected by the photodetection channel of the photomultiplier tube 33 facing the filter unit 45b.

一方、−X方向に隣接するレンズ部材60aを透過した測定光は、光反射板54gの傾斜面S5に沿って形成された光反射部56に入射する(矢印L4)。その後、測定光は、光反射部56においてバンドパスフィルタ46のフィルタ部46bに向けてX方向に反射される。このようにして、フィルタ部46bに入射された測定光は、フィルタ部46bに対面する光電子増倍管34の光検出チャンネルによって検出される。   On the other hand, the measurement light transmitted through the lens member 60a adjacent in the −X direction is incident on the light reflecting portion 56 formed along the inclined surface S5 of the light reflecting plate 54g (arrow L4). Thereafter, the measurement light is reflected in the X direction toward the filter unit 46 b of the bandpass filter 46 by the light reflection unit 56. Thus, the measurement light incident on the filter unit 46b is detected by the photodetection channel of the photomultiplier tube 34 facing the filter unit 46b.

ここで、図8(a)を参照すると、光反射部55の形成されている傾斜面S3及び傾斜面S4は、光入射板40,41からの距離がほぼ等しい直線C2上において交差、つまり、光入射板40,41の中心位置において一直線上に交差している。同様に、図8(b)を参照すると、光反射部56の形成されている傾斜面S5及び傾斜面S6は、光入射板42,43からの距離がほぼ等しい直線C3上において交差、つまり、光入射板42,43の中心位置において一直線上に交差している。このような光入射部55,56の配置により、カバー部61から光入射板40,41,42,43までの光路長が、光入射チャンネルごとにほぼ同一にされる。   Here, referring to FIG. 8A, the inclined surface S3 and the inclined surface S4 on which the light reflecting portion 55 is formed intersect on a straight line C2 having substantially the same distance from the light incident plates 40 and 41, that is, The light incident plates 40 and 41 intersect at a central position on a straight line. Similarly, referring to FIG. 8B, the inclined surface S5 and the inclined surface S6 where the light reflecting portion 56 is formed intersect on a straight line C3 having substantially the same distance from the light incident plates 42 and 43, that is, The light incident plates 42 and 43 intersect at a central position on a straight line. With the arrangement of the light incident portions 55 and 56, the optical path length from the cover portion 61 to the light incident plates 40, 41, 42, and 43 is made substantially the same for each light incident channel.

以上説明した光検出装置31によれば、励起光により測定対象物Aから発生した測定光が、レンズアレイ60のレンズ部材60aを透過することによりXZ平面上で2次元的に配列された状態でY方向に導かれ、導かれた測定光は、光反射部55,56で反射されることにより、X軸方向及びZ軸方向において交互に、別々の光電子増倍管32,33,34,35の光検出チャンネルに入射される。このとき、測定光は、光電子増倍管32〜35の光入射板40〜43に垂直な方向に入射される。従って、測定時の分解能を高めるために測定光の多チャンネル化を図った場合でも、それぞれの測定光が入射する光検出チャンネル間の距離が大きくされるので、光検出チャンネル間のクロストークが低減される。その結果、測定光を複数チャンネルで同時に検出できるので、測定時間の短縮化が実現される。   According to the light detection device 31 described above, the measurement light generated from the measurement object A by the excitation light passes through the lens member 60a of the lens array 60 and is two-dimensionally arranged on the XZ plane. The guided measurement light is guided in the Y direction, and is reflected by the light reflecting portions 55 and 56, so that separate photomultiplier tubes 32, 33, 34 and 35 are alternately arranged in the X-axis direction and the Z-axis direction. To the light detection channel. At this time, the measurement light is incident in a direction perpendicular to the light incident plates 40 to 43 of the photomultiplier tubes 32 to 35. Therefore, even if the measurement light is increased in number of channels in order to increase the resolution during measurement, the distance between the light detection channels on which each measurement light is incident is increased, thereby reducing crosstalk between the light detection channels. Is done. As a result, measurement light can be simultaneously detected by a plurality of channels, so that measurement time can be shortened.

また、反射板収容部48には、光入射板41に向けて測定光を反射させる光反射部55と、光入射板43に向けて測定光を反射させる光反射部56とが、Z軸方向に沿って交互に形成された光反射板54a〜54dと、光入射板40に向けて測定光を反射させる光反射部55と、光入射板42に向けて測定光を反射させる光反射部56とが、Z軸方向に沿って交互に形成された光反射板54e〜54hとが収容されている。このとき、光反射板54a,54b,54c,54dと光反射板54h,54g,54f,54eとが交互にX軸方向に重ねられている。これにより、対になる光反射板の共通化が容易となり製造効率の向上が図られるとともに、組立工数が削減される。   In addition, the reflection plate housing 48 includes a light reflection portion 55 that reflects measurement light toward the light incident plate 41 and a light reflection portion 56 that reflects measurement light toward the light incidence plate 43 in the Z-axis direction. The light reflecting plates 54 a to 54 d formed alternately along the light incident plate 40, the light reflecting portion 55 that reflects the measuring light toward the light incident plate 40, and the light reflecting portion 56 that reflects the measuring light toward the light incident plate 42. And light reflecting plates 54e to 54h formed alternately along the Z-axis direction are accommodated. At this time, the light reflecting plates 54a, 54b, 54c, 54d and the light reflecting plates 54h, 54g, 54f, 54e are alternately stacked in the X-axis direction. As a result, it is easy to share a pair of light reflecting plates, and the manufacturing efficiency is improved, and the number of assembling steps is reduced.

また、光反射部55は、Y軸に対する傾斜角が約45度であって、X軸と略平行な傾斜面S3,S4の傾斜方向に沿って形成され、光反射部56は、Y軸に対する傾斜角が約45度であって、Z軸と略平行な傾斜面S5,S6の傾斜方向に沿って形成されているので、測定光の2次元分布を測定する際にそれぞれの測定光を異なる光検出チャンネルに導くことができる。また、入射面から受光面までの光路長がそれぞれの光検出器においてほぼ同一とされるので、光検出チャンネル間の測定感度の均一性を高めることができる。   The light reflecting portion 55 has an inclination angle of about 45 degrees with respect to the Y axis and is formed along the inclination direction of the inclined surfaces S3 and S4 substantially parallel to the X axis. The light reflecting portion 56 is formed with respect to the Y axis. Since the inclination angle is about 45 degrees and it is formed along the inclination direction of the inclined surfaces S5 and S6 substantially parallel to the Z axis, each measurement light is different when measuring the two-dimensional distribution of the measurement light. It can lead to the light detection channel. In addition, since the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same in each photodetector, the uniformity of measurement sensitivity between the photodetection channels can be improved.

また、光反射部55が形成されている傾斜面S3,S4は、光入射板40と光入射板41との間の中心位置において一直線上に交差するとともに、光反射部56が形成されている傾斜面S5,S6は、光入射板42と光入射板43との間の中心位置において一直線上に交差する。従って、入射面から受光面までの光路長が4つの光検出器間でほぼ同一とされるので、全体の光検出チャンネル間の測定感度の均一性をより一層高めることができる。   In addition, the inclined surfaces S3 and S4 on which the light reflecting portion 55 is formed intersect on a straight line at the center position between the light incident plate 40 and the light incident plate 41, and the light reflecting portion 56 is formed. The inclined surfaces S5 and S6 intersect on a straight line at the center position between the light incident plate 42 and the light incident plate 43. Accordingly, since the optical path length from the incident surface to the light receiving surface is substantially the same among the four photodetectors, it is possible to further improve the uniformity of measurement sensitivity between the entire light detection channels.

また、反射板収容部48を挟んでレンズアレイ60のレンズ部材60aに対向してレーザモジュール62が備えられているので、測定対象物から発せられる光の分布を測定する際に、励起光源が測定光の光路の障害になることを防止することができるとともに、励起光を導く複雑な導光手段が不要となる。   Further, since the laser module 62 is provided so as to face the lens member 60a of the lens array 60 with the reflector housing portion 48 interposed therebetween, the excitation light source is measured when measuring the distribution of light emitted from the measurement object. It is possible to prevent the optical path from being obstructed, and a complicated light guiding means for guiding the excitation light becomes unnecessary.

なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、光検出装置1においては励起光源を備えていても良い。図9は、本発明の変形例である光検出装置101の分解斜視図である。この光検出装置101は、反射板収容部10の底面に近接してレーザモジュール162が設けられ、レーザモジュール162の反射板収容部10側端面には、励起光を略平行光とするコリメートレンズ163が配置されている。また、反射板収容部10を挟んでレーザモジュール162の反対側には、レンズアレイ160及びカバー部161が固定され、カバー部161の外側表面には測定対象物Aが載置される。図10を参照して、この反射板収容部10に収容される光反射板113の構成は、貫通孔157を有する点以外は光反射板13の構成(図3参照)と同一である。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, the light detection apparatus 1 may include an excitation light source. FIG. 9 is an exploded perspective view of a photodetection device 101 which is a modification of the present invention. The light detection apparatus 101 is provided with a laser module 162 in the vicinity of the bottom surface of the reflector housing portion 10, and a collimator lens 163 that makes excitation light substantially parallel light on the end surface on the reflector housing portion 10 side of the laser module 162. Is arranged. In addition, the lens array 160 and the cover part 161 are fixed to the opposite side of the laser module 162 across the reflector housing part 10, and the measurement object A is placed on the outer surface of the cover part 161. Referring to FIG. 10, the configuration of light reflecting plate 113 accommodated in reflecting plate accommodating portion 10 is the same as the configuration of light reflecting plate 13 (see FIG. 3) except that it has a through hole 157.

また、光検出装置31においては励起光源を備えていなくてもよい。図11及び図12は、本発明の別の変形例である光検出装置201,301の分解斜視図である。この光検出装置201は、励起光源62を備えていない点以外は光検出装置31と基本的構成を同一としている。また、光検出装置301は、更に、カバー部61の代わりにレンズ部材60aに向けて測定光を入射させるための光ファイバアレイFが設けられている。図13を参照して、光検出装置201,301の反射板収容部48に収容される光反射板254の構成は、貫通孔57を有さない点以外は反射板54の構成(図7参照)と同一である。   Further, the light detection device 31 may not include an excitation light source. 11 and 12 are exploded perspective views of light detection devices 201 and 301 which are another modification of the present invention. The light detection device 201 has the same basic configuration as the light detection device 31 except that the excitation light source 62 is not provided. Further, the light detection device 301 is further provided with an optical fiber array F for allowing measurement light to enter the lens member 60 a instead of the cover portion 61. Referring to FIG. 13, the configuration of the light reflecting plate 254 accommodated in the reflecting plate accommodating portion 48 of the light detection devices 201 and 301 is the configuration of the reflecting plate 54 except that the through hole 57 is not provided (see FIG. 7). ).

また、第1実施形態の光検出装置1では光電子増倍管2,3における光入射板6,7の外側、及び反射板収容部10の開口部15のそれぞれにバンドパスフィルタ8,9,16を設けているが、バンドパスフィルタ8,9又は16のどちらか一方にフィルタ部を設けることとしてもよい。バンドパスフィルタ8,9がフィルタ部8b,9bを備える場合にはバンドパスフィルタ16を省略することも可能であり、また、バンドバスフィルタ16を備える場合にはバンドパスフィルタ8,9のフィルタ部を単に開口とすることも可能である。   In the photodetector 1 of the first embodiment, the band-pass filters 8, 9, 16 are respectively provided on the outer sides of the light incident plates 6, 7 in the photomultiplier tubes 2, 3 and on the opening 15 of the reflecting plate housing 10. However, it is good also as providing a filter part in any one of the band pass filters 8, 9 or 16. When the bandpass filters 8 and 9 include the filter units 8b and 9b, the bandpass filter 16 can be omitted. When the bandpass filter 16 includes the bandpass filter 16, the filter unit of the bandpass filters 8 and 9 can be omitted. It is also possible to simply make it an opening.

更に本発明に用いる光検出器としては複数の検出チャンネルを構成するものであればよく、マルチアノード型の光電子増倍管に限定されない。例えば各光検出チャンネルの位置に対応してCCD(Charge Coupled Device)、APD(Avalanche Photodiode)等の受光素子を配置したものであってもよい。   Furthermore, the photodetector used in the present invention is not limited to a multi-anode type photomultiplier tube as long as it constitutes a plurality of detection channels. For example, a light receiving element such as a charge coupled device (CCD) or an APD (Avalanche Photodiode) may be arranged corresponding to the position of each light detection channel.

また、図14には、本発明の応用例であるPET装置を示す。PET装置401においては、8つの光検出装置301が、同一平面上において入射面側を向かい合わせた状態で放射状に固定されている。それぞれの光検出装置301の光ファイバアレイFは、直方体形状の光ファイバ収容部402に収容されており、これらの光ファイバ収容部402の内側端面には、この内側側面と略同一形状のシンチレータ403が設けられている。また、これらの光検出装置301における光電子増倍管32〜35の外側端面には光電子増倍管32〜35から延びるケーブルを収容するケーブル収容部404が固定されている。このようなPET装置401においては、シンチレータ403の内側におかれた測定対象物から発せられる放射線が、蛍光に変換されて光ファイバアレイFを伝搬した後、それぞれの光検出装置301によって蛍光の2次元分布が検出される。その結果、測定対象物から発せられる放射線の3次元測定が実現される。この構成により、高空間分解能の実現と偶発同時計測におけるノイズ成分を可能なまで低く押さえることができる。   FIG. 14 shows a PET apparatus which is an application example of the present invention. In the PET device 401, eight light detection devices 301 are fixed radially in a state where the incident surface sides face each other on the same plane. The optical fiber array F of each photodetecting device 301 is accommodated in a rectangular parallelepiped-shaped optical fiber accommodating portion 402, and scintillators 403 having substantially the same shape as the inner side surface are provided on the inner end surfaces of these optical fiber accommodating portions 402. Is provided. In addition, a cable housing portion 404 that houses a cable extending from the photomultiplier tubes 32 to 35 is fixed to the outer end faces of the photomultiplier tubes 32 to 35 in these photodetectors 301. In such a PET apparatus 401, radiation emitted from the measurement object placed inside the scintillator 403 is converted into fluorescence and propagates through the optical fiber array F, and then the fluorescence of 2 is emitted by each light detection apparatus 301. A dimensional distribution is detected. As a result, three-dimensional measurement of radiation emitted from the measurement object is realized. With this configuration, it is possible to achieve a high spatial resolution and to suppress noise components in accidental simultaneous measurement as low as possible.

本発明の第1実施形態である光検出装置の斜視図である。1 is a perspective view of a photodetecting device according to a first embodiment of the present invention. 図1の光検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the photon detection apparatus of FIG. 図2の光反射板の分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the light reflecting plate of FIG. 2. 図1の光検出装置の主要部分を示す正面図である。It is a front view which shows the principal part of the photon detection apparatus of FIG. 本発明の第2実施形態である光検出装置の斜視図である。It is a perspective view of the photon detection apparatus which is 2nd Embodiment of this invention. 図5の光検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the photon detection apparatus of FIG. 図5の光反射板の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of the light reflecting plate in FIG. 5. (a)は、図5の光検出装置の主要部分を示す正面図、(b)は、図5の光検出装置の主要部分を示す側面図である。(A) is a front view which shows the principal part of the photodetector in FIG. 5, (b) is a side view which shows the principal part of the photodetector in FIG. 本発明の変形例である光検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the photon detection apparatus which is a modification of this invention. 図9の光反射板の分解斜視図である。FIG. 10 is an exploded perspective view of the light reflecting plate of FIG. 9. 本発明の別の変形例である光検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the photodetector which is another modification of this invention. 本発明の別の変形例である光検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the photodetector which is another modification of this invention. 図11及び図12の光反射板の分解斜視図である。FIG. 13 is an exploded perspective view of the light reflecting plate of FIGS. 11 and 12. 本発明の応用例であるPET装置の斜視図である。It is a perspective view of a PET apparatus which is an application example of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1,31,101,201,301…光検出装置、2,3,32〜35…光電子増倍管(光検出器)、6,7,40〜43…光入射板(受光面)、13,54a〜54h,113,254…光反射板(光反射部材)、14,55,56…光反射部、16…バンドパスフィルタ、17…分光板、19…ダイクロイックミラーアレイ(光導入部)、60,160…レンズアレイ(光導入部)、61,161…カバー部(入射面)、62,162…レーザモジュール(励起光源)、S1〜S6…傾斜面、A…測定対象物。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,31,101,201,301 ... Photodetector, 2, 3, 32-35 ... Photomultiplier tube (photodetector), 6, 7, 40-43 ... Light incident plate (light-receiving surface), 13, 54a to 54h, 113, 254 ... light reflecting plate (light reflecting member), 14, 55, 56 ... light reflecting portion, 16 ... band pass filter, 17 ... spectral plate, 19 ... dichroic mirror array (light introducing portion), 60 , 160... Lens array (light introducing portion), 61, 161. Cover portion (incident surface), 62, 162... Laser module (excitation light source), S1 to S6.

Claims (10)

入射面に入射する測定光の分布を検出する光検出装置であって、
複数の光検出チャンネルが少なくとも第1の方向に配列された第1の受光面を有する第1の光検出器と、
複数の光検出チャンネルが少なくとも前記第1の方向に配列されており、前記第1の受光面と略平行に対面する第2の受光面を有する第2の光検出器と、
前記入射面において少なくとも前記第1の方向に配列され、前記第1の方向に対して略垂直な第2の方向に前記測定光を導入する複数の光導入部と、
前記第1の受光面と前記第2の受光面との間であって、前記複数の光導入部の前記第2の方向における延長線上に配置され、前記測定光を対応する別々の前記光検出チャンネルに向けて反射させる複数の光反射部とを備え、
前記第1及び第2の光検出器は、それぞれ、前記第1及び第2の受光面に沿って、前記第1の方向及び前記第1の方向に対して略垂直な方向に2次元的に配列された複数の光検出チャンネルを有し、
前記複数の光導入部は、前記入射面に沿って、前記第1の方向及び前記第1の方向に対して略垂直な第3の方向に2次元的に配列されており、
前記複数の光反射部は、前記第1の方向に沿って交互に前記第1の受光面側及び前記第2の受光面側を向くように形成されている、
ことを特徴とする光検出装置。
A light detection device for detecting a distribution of measurement light incident on an incident surface,
A first photodetector having a first light receiving surface in which a plurality of photodetector channels are arranged in at least a first direction;
A plurality of light detection channels arranged in at least the first direction and having a second light receiving surface facing substantially parallel to the first light receiving surface;
A plurality of light introduction sections arranged in at least the first direction on the incident surface and introducing the measurement light in a second direction substantially perpendicular to the first direction;
The separate light detections corresponding to the measurement light, which are arranged between the first light receiving surface and the second light receiving surface, on an extension line in the second direction of the plurality of light introducing portions. With a plurality of light reflecting parts that reflect toward the channel,
The first and second photodetectors are two-dimensionally along the first and second light receiving surfaces in a direction substantially perpendicular to the first direction and the first direction, respectively. Having a plurality of photodetection channels arranged;
The plurality of light introducing portions are two-dimensionally arranged along the incident surface in the first direction and a third direction substantially perpendicular to the first direction,
The plurality of light reflecting portions are formed to alternately face the first light receiving surface side and the second light receiving surface side along the first direction.
An optical detection device characterized by that.
前記複数の光導入部は、前記第3の方向に対して略垂直な前記第2の方向に前記測定光を導入するものであり、
前記複数の光反射部は、前記第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、前記第1の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されている、
ことを特徴とする請求項記載の光検出装置。
The plurality of light introducing portions introduce the measurement light in the second direction substantially perpendicular to the third direction,
The plurality of light reflecting portions have an inclination angle with respect to the second direction of approximately 45 degrees and are formed along an inclination direction of an inclined surface substantially parallel to the first direction.
The photodetection device according to claim 1 .
前記複数の光反射部が形成されている前記傾斜面は、前記第3の方向における前記第1の受光面と前記第2の受光面との間の中心位置において一直線上に交差する、
ことを特徴とする請求項記載の光検出装置。
The inclined surface on which the plurality of light reflecting portions are formed intersects in a straight line at a center position between the first light receiving surface and the second light receiving surface in the third direction.
The photodetection device according to claim 2 .
前記第1及び第2の光検出器は、マルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の光検出装置。 It said first and second photodetectors, the multi-anode type optical detection device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that a photomultiplier tube. 入射面に入射する測定光の分布を検出する光検出装置であって、
複数の光検出チャンネルが第1の方向及び前記第1の方向に略垂直な第2の方向に2次元的に配列された第1の受光面を有する第1の光検出器と、
複数の光検出チャンネルが前記第1の方向及び前記第2の方向に2次元的に配列されており、前記第1の受光面と略平行に対面する第2の受光面を有する第2の光検出器と、
複数の光検出チャンネルが前記第1及び第2の受光面の垂線方向である第3の方向及び前記第2の方向に2次元的に配列された第3の受光面を有する第3の光検出器と、
複数の光検出チャンネルが前記第3の方向及び前記第2の方向に2次元的に配列されており、前記第3の受光面と略平行に対面する第4の受光面を有する第4の光検出器と、
前記入射面において前記第1の方向及び前記第3の方向に2次元的に配列され、前記第2の方向に前記測定光を導入する複数の光導入部と、
前記第1〜第4の受光面によって囲まれる領域内において、前記複数の光導入部の前記第2の方向における延長線上に配置され、前記測定光を対応する別々の前記光検出チャンネルに向けて反射させる複数の光反射部とを備え、
前記複数の光反射部は、前記第1及び第3の方向に沿って交互に異なる方向を向くように形成されている、
ことを特徴とする光検出装置。
A light detection device for detecting a distribution of measurement light incident on an incident surface,
A first photodetector having a plurality of first light receiving surface of the light detection channels are two-dimensionally arranged in a substantially perpendicular second direction to the first direction and the first direction,
A plurality of light detection channels are two-dimensionally arranged in the first direction and the second direction, and have a second light receiving surface facing substantially parallel to the first light receiving surface. A detector;
A third light detection in which a plurality of light detection channels have a third direction that is a perpendicular direction of the first and second light receiving surfaces and a third light receiving surface that is two-dimensionally arranged in the second direction. And
A plurality of light detection channels are two-dimensionally arranged in the third direction and the second direction, and a fourth light having a fourth light receiving surface facing substantially parallel to the third light receiving surface. A detector;
A plurality of light introducing portions that are two-dimensionally arranged in the first direction and the third direction on the incident surface and introduce the measurement light in the second direction;
In the region surrounded by the first to fourth light receiving surfaces, the plurality of light introducing portions are arranged on extension lines in the second direction, and the measurement light is directed to the corresponding separate light detection channels. A plurality of light reflecting parts to be reflected,
The plurality of light reflecting portions are formed to alternately face different directions along the first and third directions.
An optical detection device characterized by that.
前記複数の光反射部は、
前記第3の方向に沿って交互に、前記第2の受光面に向けて前記測定光を反射させる光反射面と、前記第4の受光面に向けて前記測定光を反射させる光反射面とが形成された第1の光反射部材と、
前記第3の方向に沿って交互に、前記第1の受光面に向けて前記測定光を反射させる光反射面と、前記第3の受光面に向けて前記測定光を反射させる光反射面とが形成された第2の光反射部材とを有し、
前記第1の光反射部材と前記第2の光反射部材とが交互に前記第1の方向に配列されている、
ことを特徴とする請求項記載の光検出装置。
The plurality of light reflecting portions are:
Alternately along the third direction, a light reflecting surface that reflects the measurement light toward the second light receiving surface, and a light reflecting surface that reflects the measurement light toward the fourth light receiving surface A first light reflecting member formed with
Alternately along the third direction, a light reflecting surface that reflects the measuring light toward the first light receiving surface, and a light reflecting surface that reflects the measuring light toward the third light receiving surface. A second light reflecting member formed with
The first light reflecting member and the second light reflecting member are alternately arranged in the first direction.
The photodetection device according to claim 5 .
前記複数の光反射部は、前記第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、前記第1の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されるとともに、前記第2の方向に対する傾斜角が略45度であって、前記第3の方向に対して略平行な傾斜面の傾斜方向に沿って形成されている、
ことを特徴とする請求項5又は6記載の光検出装置。
The plurality of light reflecting portions have an inclination angle of about 45 degrees with respect to the second direction, and are formed along an inclination direction of an inclined surface substantially parallel to the first direction. An inclination angle with respect to the direction of 2 is approximately 45 degrees, and is formed along an inclination direction of an inclined surface substantially parallel to the third direction.
The photodetection device according to claim 5 or 6 .
前記複数の光反射部が形成されている前記傾斜面は、前記第3の方向における前記第1の受光面と前記第2の受光面との間の中心位置において一直線上に交差するとともに、前記第1の方向における前記第3の受光面と前記第4の受光面との間の中心位置において一直線上に交差する、
ことを特徴とする請求項記載の光検出装置。
The inclined surface on which the plurality of light reflecting portions are formed intersects on a straight line at a center position between the first light receiving surface and the second light receiving surface in the third direction, and Intersecting in a straight line at a central position between the third light receiving surface and the fourth light receiving surface in the first direction;
The photodetection device according to claim 7 .
前記第1〜第4の光検出器は、マルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする請求項5〜8のいずれか1項に記載の光検出装置。 The first to fourth optical detectors, optical detection device according to any one of claims 5-8, characterized in that the photomultiplier tube of the multi-anode type. 前記複数の光反射部を挟んで前記複数の光導入部に対向して設けられ、前記第2の方向に測定対象物を励起させるための励起光を照射する励起光源をさらに備え、
前記複数の光反射部は、前記励起光の波長帯域の光を透過させるとともに、前記測定対象物から発せられる測定光の波長帯域の光を反射させるダイクロイックミラーを有する、
ことを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の光検出装置。
An excitation light source that is provided opposite to the plurality of light introduction portions across the plurality of light reflection portions, and that emits excitation light for exciting the measurement object in the second direction;
The plurality of light reflecting portions have a dichroic mirror that transmits light in the wavelength band of the excitation light and reflects light in the wavelength band of measurement light emitted from the measurement object.
Light detecting device according to any of claims 1-9, characterized in that.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000111398A (en) * 1998-09-30 2000-04-18 Hamamatsu Photonics Kk Measuring apparatus for self-luminescence from flame
JP2004144678A (en) * 2002-10-25 2004-05-20 Arkray Inc Manufacturing method for optical unit, optical sensor, multichannel light detection system, and optical unit

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