JP4580338B2 - リソグラフィ装置、エキシマ・レーザ、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
を有するリソグラフィ装置が提供される。
放射線(例えばUV放射線またはEUV放射線)の投影ビームPBを提供するための照明システム(照明器)ILと、
パターン形成デバイス(例えばマスク)MAを支持するための支持構造であって、要素PLに対してパターン形成デバイスを正確に位置決めするための第1の位置決めアクチュエータPMに接続された第1の支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと、
基板(例えばレジスト被覆ウェハ)Wを保持するための基板テーブルであって、要素PLに対して基板を正確に位置決めするための第2の位置決めアクチュエータPWに接続された基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WTと、
投影ビームPBに与えられたパターンを、パターン形成デバイスMAによって基板Wのターゲット部分C(例えば1つまたは複数のダイを含む)に結像するための投影システム(例えば屈折投影レンズ)PLと
を有している。
ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTは本質的に静止して保たれ、投影ビームに与えられた全パターンがターゲット部分Cに一度に投影される(すなわち、ただ1回の静的露光)。次いで、異なるターゲット部分Cを露光することができるように、基板テーブルWTがXおよび/またはY方向に移動される。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズが、ただ1回の静的露光で結像されるターゲット部分Cのサイズを制限する。
走査モードでは、マスク・テーブルMTと基板テーブルWTが同期して走査され、その間に、投影ビームに与えられたパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち、ただ1回の動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの拡大(縮小)およびイメージ反転特性によって決定される。走査モードでは、露光領域の最大サイズが、ただ1回の動的露光におけるターゲット部分の(非走査方向での)幅を制限し、走査運動の長さが、ターゲット部分の(走査方向での)高さを決定する。
別のモードでは、マスク・テーブルMTは、プログラム可能パターン形成デバイスを保持して本質的に静止して保たれ、基板テーブルWTが移動または走査され、その間に、投影ビームに与えられたパターンがターゲット部分Cに投影される。このモードでは通常、パルス放射線源が採用され、プログラム可能パターン形成デバイスは、基板テーブルWTの毎回の移動後に、または走査中、連続する放射線パルスの合間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、上で言及したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどプログラム可能パターン形成デバイスを利用するマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
放射線ビームB(例えばUV放射線またはEUV放射線)を調整するように構成された照明システム(照明器)ILと、
パターン形成デバイス(例えばマスク)MAを支持するように構築された支持構造であって、いくつかのパラメータに従ってパターン形成デバイスを正確に位置決めするように構成された第1の位置決め手段PMに接続された支持構造(例えばマスク・テーブル)MTと、
放射線ビームBに与えられたパターンを、パターン形成デバイスMAによって基板Wのターゲット部分C(例えば1つまたは複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズ・システム)PSと
を有している。
と定義される強度のモーメントMIleftおよびMIrightによって表現することができ、MIleftがMIrightと異なるときに、スペクトルが非対称であると言うことができる。例えば、スペクトル強度分布I(λ)が非対称分布であって、等式(1)で定義される強度のモーメントが、不等式
または
を満たすときに、スペクトルが非対称であると言うことができる。
CDiso=A0+A1F+A2F2+A4F4, (2)
に従ってFの多項式としてモデル化することができ、ここで、係数A0は、最適焦点でのプリントCDを表す。さらに、座標Fは、F=f−fBFによって定義される絶対焦点座標fによって表現することができ、ここで座標fBFは、z軸に沿った最適焦点位置BFの絶対座標である。
CDiso(0,2;f)=A0+A2(f−fBF)2 (3)
によって与えられる。
ここで、「帯域幅」FBWは、スペクトル強度分布の帯域幅と等価な焦点範囲を表す。例えば、λ1およびλ2をE95帯域幅波長として、FBWは、FBW=AC(λ1−λ2)と定義することができる。重み付け関数W(f)は、放射線強度のスペクトル分布I(λ)に比例しており、また(λ−λc)の関数としてI(λ)を表現すること、およびレンズ性質df/dλ=ACに鑑みて(λ−λc)=f/ACでの等価の焦点座標fとしてλ−λcを書くことによって、I(λ)から得ることができる。
によって与えられることが明らかである。
によって表される大きさを有する焦点範囲901に等価な全帯域幅を規定し、スペクトルは、幅が
である左ブロック関数910と、帯域幅FBWの右ブロック関数920とによって近似される。対称強度分布に関して上述したように、この非対称スペクトル放射線強度分布は、(λ−λc)の関数としてI(λ)を表現すること、あるいはこの実施例ではI(λ)を表すブロック関数を表現することによって、さらにレンズ性質df/dλ=ACに鑑みて(λ−λc)=f/ACでの等価の焦点座標fとしてλ−λcを書くことによって、放射線強度のスペクトル分布I(λ)に比例する重み付け関数W(f)に変換することができる。ブロック関数910と920は等しい面積であるので、対応する焦点範囲での露光量は等しい。
の大きさを有するオフセット900が導入されるだけでなく、線形項
も導入される。これら2つの寄与の存在は、図10に概略的に示されるように、シフトされ且つ傾けられたBossung曲線(910)をもたらす。さらに、焦点位置の変化に応じた限界寸法の変化がゼロである光軸に沿った焦点位置は、ここでは、最適焦点位置fBFからわずかに焦点をずらされた焦点ずれ位置Fisoに位置付けられる。
IL 照明システム、照明器
MA パターン形成デバイス
PM 第1の位置決めアクチュエータ
MT 支持構造、マスク・テーブル
W 基板
PW 第2の位置決めアクチュエータ
WT 基板テーブル、ウェハ・テーブル
C ターゲット部分
PL 投影システム
SO 放射線源
BD ビーム・デリバリ・システム
AM 調整デバイス
IN 積分器
CO 集光器
300、303、305、307 非対称スペクトル分布
302、304、306 対称スペクトル放射線分布
401、402、403、404 CDピッチ曲線
500 放射線強度のスペクトル分布
600、601 Bossung曲線
Claims (20)
- 放射線強度のスペクトル分布を有する電磁放射線のビームを提供するための放射線システムと、
前記放射線のビームの断面にパターンを与えるように働くパターン形成デバイスを支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
前記放射線のビームにパターンが形成された後に、該放射線のビームを前記基板のターゲット部分に投影するための投影システムと、
前記パターン内に第1のピッチおよび第2のピッチで配置されたフィーチャに関するデータであって、該フィーチャの対応する第1のプリント・サイズおよび第2のプリント・サイズを表すデータに基づいて、前記放射線強度のスペクトル分布の調節を提供するように構成および配置された制御装置と、を備え、
前記放射線強度のスペクトル分布が、中心波長に関して対称形状を有するスペクトル強度ピークを備え、前記調節が、前記中心波長に関する対称形状を非対称形状へ変更することを含むリソグラフィ装置。 - 前記放射線強度のスペクトル分布が、帯域幅を有するスペクトル強度ピークを備え、前記調節が該帯域幅を変更することを含む請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線強度のスペクトル分布が、それぞれ等しい第1および第2の帯域幅と、それぞれ等しい第1および第2の強度と、それぞれの第1および第2のピーク波長とを有する第1および第2のピーク・スペクトル強度分布の重ね合わせであり、前記調節が、前記第1のピーク波長と第2のピーク波長の差を変更することを含む請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記データが、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差を表している請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記データが、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差の目標値である目標差をさらに有している請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線強度のスペクトル分布の前記調節が、前記差を前記目標差に合致させるように構成されている請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記目標差が、補足のリソグラフィ装置のパターン形成デバイスを使用してプリントされた、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差である請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線制御装置が、前記放射線のビームの放射線源を制御する請求項1または請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線強度のスペクトル分布が、それぞれ第1および第2の帯域幅と、第1および第2のピーク波長と、第1および第2の強度とを有する第1および第2のピーク・スペクトル強度分布の重ね合わせであり、前記調節が、
前記第1のピーク波長と前記第2のピーク波長の差、および前記第1の帯域幅と前記第2の帯域幅の差、
前記第1のピーク波長と前記第2のピーク波長の差、および前記第1の強度と前記第2の強度の差、または
前記第1のピーク波長と前記第2のピーク波長の差、および前記第1の帯域幅と前記第2の帯域幅の差、および前記第1の強度と前記第2の強度の差
のうちの1つを変更することを含む請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1のピーク波長と前記第2のピーク波長の差が、0pmと1pmの間、および0pmと0.5pmの間からなる群から選択される請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線システムが、前記放射線のビームを提供するためのエキシマ・レーザであって、前記放射線強度のスペクトル分布の帯域幅を制御するように構成された帯域幅制御装置を有するエキシマ・レーザを有し、該帯域幅制御装置は、前記スペクトル分布の選択された帯域幅を表すユーザ供給信号に応答して、前記帯域幅を調節するように構成および配置されている請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記スペクトル分布の選択された帯域幅を表す前記信号が、前記制御装置によって提供される請求項2に記載のリソグラフィ装置。
- 放射線強度のスペクトル分布の帯域幅を制御するように構成された帯域幅制御装置を有するエキシマ・レーザであって、該帯域幅制御装置は、前記スペクトル分布の選択された帯域幅を表すユーザ供給信号に応答して、前記帯域幅を調節するように構成および配置され、
前記放射線強度のスペクトル分布が、中心波長に関して対称形状を有するスペクトル強度ピークを備え、前記調節が、前記中心波長に関する対称形状を非対称形状へ変更することを含むエキシマ・レーザ。 - 放射線強度のスペクトル分布を有する電磁放射線のビームを提供するステップと、
パターン形成デバイスを使用して、前記放射線のビームの断面にパターンをパターン形成するステップと、
前記パターンが形成された放射線のビームを基板のターゲット部分に投影するステップと、
前記パターン内に第1のピッチおよび第2のピッチで配置されたフィーチャに関するデータであって、該フィーチャの対応する第1のプリント・サイズおよび第2のプリント・サイズを表すデータに従って、前記放射線強度のスペクトル分布を調節するステップと、を含み、
前記放射線強度のスペクトル分布が、中心波長に関して対称な形状のスペクトル強度ピークを有し、前記調節が、該スペクトル強度ピークを、中心波長に関して非対称な形状のスペクトル強度ピークに変更することを含むデバイス製造方法。 - 前記放射線強度のスペクトル分布が、帯域幅を有するスペクトル強度ピークを備え、前記調節が、該帯域幅を変更することを含む請求項14に記載の方法。
- 前記データが、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差を表している請求項15に記載の方法。
- 前記データが、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差の目標値である目標差をさらに有している請求項16に記載の方法。
- 前記放射線強度のスペクトル分布の前記調節が、前記差を前記目標差に合致させることを含む請求項17に記載の方法。
- 前記目標差が、それぞれ第1のリソグラフィ装置および第2のリソグラフィ装置のパターン形成デバイスを使用してプリントされた、前記フィーチャの前記対応する第1のプリント・サイズと第2のプリント・サイズの差である請求項18に記載の方法。
- 前記調節が、基板上の1つのターゲット部分の1回の走査露光と、基板上の対応する複数のターゲット部分の複数回の走査露光とのうちの一方の際に提供される請求項14または請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/019,535 US20060139607A1 (en) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US11/036,190 US20060139610A1 (en) | 2004-12-23 | 2005-01-18 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006179937A JP2006179937A (ja) | 2006-07-06 |
JP4580338B2 true JP4580338B2 (ja) | 2010-11-10 |
Family
ID=36733663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005381198A Expired - Fee Related JP4580338B2 (ja) | 2004-12-23 | 2005-12-22 | リソグラフィ装置、エキシマ・レーザ、およびデバイス製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7817247B2 (ja) |
JP (1) | JP4580338B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-12-22 JP JP2005381198A patent/JP4580338B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-23 US US11/316,346 patent/US7817247B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-07-19 US US12/838,750 patent/US8089613B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
US9316924B2 (en) | 2016-04-19 |
US7817247B2 (en) | 2010-10-19 |
US20060170899A1 (en) | 2006-08-03 |
JP2006179937A (ja) | 2006-07-06 |
US8089613B2 (en) | 2012-01-03 |
US20100329290A1 (en) | 2010-12-30 |
US20120057144A1 (en) | 2012-03-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061129 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090925 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100827 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S802 | Written request for registration of partial abandonment of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R311802 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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