JP4526176B2 - IC test equipment - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、IC試験装置に関し、特に、被測定デバイスの出力のサイクルずれに、期待値パターンを書き替えることなく容易に対応することができるIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
IC(集積回路)が所定の機能通りに動作するか否かを確認するため、ATE等のIC試験装置によりファンクションテストが実施されている。ファンクションテストにおいては、被測定デバイスの入力端子にテストパターンを順次に印加して、出力端子に現れるパターンが期待値の通りであるか否かを比較チェックする。
【0003】
ここで、図5を参照して、従来のIC試験装置の基本構成例について説明する。従来のIC試験装置は、測定対象デバイス(DUT)4を試験するために、テストパターン発生部1、タイミング発生器3及び論理比較回路2を基本構成として備えている。
【0004】
テストパターン発生部1は、DUT4へ入力されるドライブパターン(入力信号データ群)S1と、そのドライブパターンS1が入力されたDUT4が所定の機能通りに動作した場合に出力されるべきデータとしての期待値パターン(出力信号データ群)S2とをそれぞれ発生する。
また、論理比較回路2は、ドライブパターンS1が入力されたICの出力データS4と、期待値パターンS2とを比較して、ICの良否を判定する。
【0005】
比較にあたっては、ドライブパターンS1中の同一信号にそれぞれ対応する出力値と期待値とを比較しなければならない。一方、ドライブパターンS1の信号がICに入力されてから、その信号に対応する出力データS4が出力されるまでにはタイムラグがある。
そこで、タイミング発生器3によって期待値パターンS2からストローブ信号S3を発生させ、そのストローブ信号S3によって規定されるタイミングで、論理比較回路2が出力データS4と期待値パターンS2とを比較している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、被測定デバイスであるICの出力データが、サイクルずれを起こすことがある。その場合、ドライブパターン中の同一信号に対応する出力値と期待値とが、それぞれ論理比較回路へ入力するサイクルがずれてしまう。その結果、ストローブで規定されたタイミングで比較をしても、正しい比較を行うことが困難となる。このため、従来は、出力データのサイクルずれに合わせて、期待値パターンを書き替えなければならなかった。
【0007】
なお、特開平9−5394号公報に記載のICテストシステムの比較回路においては、比較回路に入力される期待値信号のみを、期待値サイクルシフト回路によりサイクルシフトさせているが、ストローブ側の信号についてはサイクルシフトさせておらず、改善の余地がある。
【0008】
本発明は、上記の問題を解決すべくなされたものであり、被測定デバイスの出力データにサイクルずれが生じた場合においても、テストパターンを書き替えることなく容易に対応することができるIC試験装置の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的の達成を図るため、本発明IC試験装置によれば、ドライブパターン及び期待値パターンを発生するテストパターン発生部と、期待値パターンが入力され、ストローブ信号を出力するタイミング発生器と、ドライブパターンが入力されたICの出力データと期待値パターンとを、ストローブ信号によって規定されるタイミングで比較し、ICの良否を判定する論理比較回路とを備えたIC試験装置であって、
タイミング発生器及び論理比較回路へ入力される期待値パターンを、同一サイクル数ずつシフトさせるサイクルシフト部を設けた構成としてある。
【0010】
このように、本発明のIC試験装置によれば、サイクルシフト部を設けている。このため、被測定デバイスであるICの出力データがサイクルずれを起こした場合に、そのサイクルずれに合わせて、期待値パターンをサイクルシフトさせることができる。その結果、テストパターンを書き替えることなく、サイクルずれに容易に対応することができる。
【0011】
特に、論理比較回路へ入力される期待値パターンだけでなく、タイミング発生器へ入力される期待値パターンも、同一サイクル数だけシフトさせることにより、ストローブ信号も同一サイクル数だけシフトさせることができる。その結果、サイクルシフトした場合においても、正確なタイミングで出力データと期待値データとを比較することができる。
【0012】
また、発明によれば、サイクルシフト部が、複数段のフリップフロップと、フリップフロップを経由しない期待値パターン、又は、いずれかのフリップフロップの出力を選択的に出力するマルチプレクサとにより構成してある。このような構成とすれば、簡単な構成で、期待値パターンを所望のサイクルだけシフトさせることができる。
【0013】
なお、論理比較回路へ入力する期待値パターンと、タイミング発生器に入力する期待値パターンとを、個別のサイクルシフト部でそれぞれシフトさせる場合には、各サイクルシフト部で、同一段数のフリップフリップからの出力をマルチプレクサで選択するとよい。
【0014】
ところで、期待値パターンをサイクルシフトさせた場合に、サイクルシフト部から出力される最初のシフトサイクル数分の期待値パターンは、テストパターン発生部から入力された期待値パターンではない。例えば、最初の数サイクル数分として、前回のIC試験時に使用した残存パターンの最後部分が最初に出力されることがある。その結果、論理比較回路において、期待値パターンと出力データとの正確な比較を行うことが困難となる。
【0015】
そこで、発明によれば、サイクルシフト部が、期待値パターンをサイクルシフトする際に、シフトしたサイクル数分の最初の出力をリセットする構成としてある。
このように最初の出力をリセットすれば、最初のシフトサイクル数分の期待値パターンは、無効パターンとなる。その結果、論理比較回路において、この最初の出力が比較対象とされなくなる。このため、本来の基体値パターンと出力データとの正確な比較を行うことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
[第一実施形態]
まず、第一実施形態として、図1を参照して、本発明のIC試験装置の基本構成例について説明する。第一実施形態のIC試験装置は、測定対象デバイス(DUT)としてのIC4を試験するために、テストパターン発生部1、タイミング発生器3及び論理比較回路2に加えて、サイクルシフト部5を設けている。
【0017】
テストパターン発生部1は、ドライブパターンS1と期待値パターンS2とをそれぞれ発生する。また、期待値パターンS2が入力されるタイミング発生器3は、ストローブ信号S3を出力する。そして、論理比較回路2では、ドライブパターンS1が入力されたIC4の出力データS4と期待値パターンS2とを、ストローブ信号S3によって規定されるタイミングで比較し、IC4の良否を判定する。
【0018】
さらに、図1に示すように、本実施形態では、テストパターン発生部1から、論理比較回路2とタイミング発生器3への信号経路上に、それぞれサイクルシフト部5を設けている。
ここで、図2に、各サイクルシフト部5の構成を示す。
なお、各サイクルシフト部5の回路構成は同一である。
【0019】
図2に示すように、サイクルシフト部5が、複数段のフリップフロップ51とマルチプレクサ52とにより構成されている。そして、マルチプレクサ52によって、フリップフロップ51を経由しない期待値パターン、又は、いずれかのフリップフロップ51の出力を選択的に出力する。
【0020】
そして、各サイクルシフト部5では、タイミング発生器3へ入力される期待値パターンS2と、論理比較回路2へ入力される期待値パターンS2とを、IC4の出力データS4のサイクルずれに合わせて、互いに同一サイクル数ずつシフトさせる。すなわち、各サイクルシフト部5において、同一段数のフリップフリップ51からの出力をマルチプレクサ52で選択するようにする。
【0021】
このようにすれば、論理比較回路2へ入力される期待値パターンS2だけでなく、タイミング発生器3へ入力される期待値パターンS2も、同一サイクル数だけシフトさせることができる。このため、ストローブ信号S3も同一サイクル数だけシフトさせることができる。その結果、期待値パターンS2をサイクルシフトさせた場合においても、正確なタイミングで出力データと期待値データとを比較することができる。その結果、テストパターンを書き替えることなく、サイクルずれに容易に対応することができる。
【0022】
さらに、本実施形態では、期待値パターンS2をサイクルシフトさせた場合に、各サイクルシフト部5において、シフトしたサイクル数分の最初の出力をリセットする。具体的には、各サイクルシフト部5において、シフトサイクル数分、各フリップフロップ5をそれぞれリセットする。
このように最初の出力をリセットすれば、最初のシフトサイクル数分の期待値パターンは無効パターンとなり、論理比較回路2において比較対象とされなくなる。その結果、サイクルシフトした場合においても、正確に比較を行うことができる。
【0023】
[第二実施形態]
次に、第二実施形態として、図3を参照して、本発明のIC試験装置の具体的構成例について説明する。
なお、図3では、図1に示したDUT4と、ドライブパターンS1及び出力データS4の信号経路との図示を省略する。
【0024】
第二実施形態においては、テストパターン発生部1は、「ExpH」と「ExpL」とにより構成されている。「ExpH」からは、期待値パターンExpHが出力され、「ExpL」からは期待値パターンExpLが出力される。また、ExpHからは、インバータを介して期待値パターンOpenHが生成され、ExpLからは、インバータを介して期待値パターンOpenLが生成される。
【0025】
そして、各期待値パターンExpH、ExpL、OpenH及びOpenLは、それぞれサイクルシフト部5を介して、論理比較回路2へ入力される。各サイクルシフト部5の構成は、図2に示した第一実施形態におけるサイクルシフト部5の構成と同一である。
【0026】
さらに、図1に示すように、期待値パターンOpenH及びOpenLは、サイクルシフト部5を介して、タイミング発生器3へ入力される。各タイミング発生器3では、期待値パターンを遅延信号(RATE)によって遅延させ、さらに、基準クロック信号(CLK)に同期させ、ストローブ信号S3として出力する。ストローブ信号S3は、論理比較回路2へ入力する。
【0027】
第二実施形態においても、第一実施形態と同様に、各サイクルシフト部5において、期待値パターンをDUTの出力データのサイクルずれに合わせて、互いに同一サイクル数ずつシフトさせる。これにより、ストローブ信号S3も期待値信号S2と同一サイクル数だけシフトさせることができる。その結果、テストパターンを書き替えることなく、サイクルずれに容易に対応することができる。
【0028】
[第三実施形態]
次に、図4を参照して、本発明の第三実施形態について説明する。
なお、第三実施形態におけるIC試験装置の構成は、サイクルシフト部5の配置以外は、図1に示した第一実施形態におけるIC試験装置の構成を同一であるので、その詳細な説明を省略する。
【0029】
図4に示すように、第三実施形態のIC試験装置においは、単一のサイクルシフト部5が設けられている。そして、この単一のサイクルシフト部5から出力された期待値データS2が、それぞれ論理比較回路2及びタイミング発生器3へ入力されている。
【0030】
このように、単一のサイクルシフト部5によって期待値パターンS2をサイクルシフトさせれば、タイミング発生器3及び論理比較回路2へ入力される期待値パターンS2を、確実に同一サイクル数ずつシフトさせることができる。
また、サイクルシフト部5を単一としたので、装置構成を簡単にすることができる。
【0031】
上述した実施の形態においては、本発明を特定の条件で構成した例について説明したが、本発明は、種々の変更を行うことができる。例えば、上述した実施の形態においては、サイクルシフトに三段のフリップフロップを設けた例について説明したが、本発明では、フリップフロップの段数、すなわち、シフトと可能な最大サイクル数はこれに限定されない。
【0032】
また、サイクルシフト部の構成は、フリップフロップとマルチプレクサに限定されず、例えば、フリップフロップの代わりに、直列入力並列出力型シフトレジスタを用いてもよい。
【0033】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、サイクルシフト部を設けている。このため、被測定デバイスであるICの出力データがサイクルずれを起こした場合に、そのサイクルずれに合わせて、期待値パターンをサイクルシフトさせることができる。その結果、テストパターンを書き替えることなく、サイクルずれに容易に対応することができる。
【0034】
特に、論理比較回路へ入力される期待値パターンだけでなく、タイミング発生器へ入力される期待値パターンも、同一サイクル数だけシフトさせることにより、ストローブ信号も同一サイクル数だけシフトさせることができる。その結果、サイクルシフトした場合においても、正確なタイミングで出力データと期待値データとを比較することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第一実施形態のIC試験装置の基本構成を説明するためのブロック図である。
【図2】サイクルシフト部の構成を説明するためのブロック図である。
【図3】第二実施形態のIC試験装置の要部構成を説明するための回路図である。
【図4】第三実施形態のIC試験装置の基本構成を説明するためのブロック図である。
【図5】従来のIC試験装置の構成を説明するためのブロック図である。
【符号の説明】
1 テストパターン発生部
2 論理比較回路
3 タイミング発生器
4 DUT
5 サイクルシフト部
51 フリップフロップ
52 マルチプレクサ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC test apparatus, and more particularly to an IC test apparatus that can easily cope with an output cycle shift of a device under measurement without rewriting an expected value pattern.
[0002]
[Prior art]
In order to confirm whether or not an IC (integrated circuit) operates according to a predetermined function, a function test is performed by an IC test apparatus such as ATE. In the function test, a test pattern is sequentially applied to the input terminal of the device under test, and a comparison check is performed to determine whether the pattern appearing at the output terminal is as expected.
[0003]
Here, a basic configuration example of a conventional IC test apparatus will be described with reference to FIG. A conventional IC test apparatus includes a test pattern generation unit 1, a timing generator 3, and a logic comparison circuit 2 as basic components in order to test a device under measurement (DUT) 4.
[0004]
The test pattern generator 1 expects data to be output when the drive pattern (input signal data group) S1 input to the DUT 4 and the DUT 4 to which the drive pattern S1 is input operate according to a predetermined function. A value pattern (output signal data group) S2 is generated.
The logic comparison circuit 2 compares the output data S4 of the IC to which the drive pattern S1 is input with the expected value pattern S2, and determines whether the IC is good or bad.
[0005]
In comparison, the output value corresponding to the same signal in the drive pattern S1 must be compared with the expected value. On the other hand, there is a time lag after the signal of the drive pattern S1 is input to the IC until the output data S4 corresponding to the signal is output.
Therefore, the strobe signal S3 is generated from the expected value pattern S2 by the timing generator 3, and the logic comparison circuit 2 compares the output data S4 and the expected value pattern S2 at the timing defined by the strobe signal S3.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the output data of the IC which is the device under measurement may cause a cycle shift. In this case, the cycle in which the output value and the expected value corresponding to the same signal in the drive pattern are input to the logic comparison circuit is shifted. As a result, even if the comparison is performed at the timing defined by the strobe, it is difficult to perform a correct comparison. For this reason, conventionally, the expected value pattern has to be rewritten in accordance with the cycle shift of the output data.
[0007]
In the comparison circuit of the IC test system described in JP-A-9-5394, only the expected value signal input to the comparison circuit is cycle-shifted by the expected value cycle shift circuit. There is room for improvement because the cycle is not shifted.
[0008]
The present invention has been made to solve the above-described problem, and even when a cycle shift occurs in output data of a device under measurement, an IC test apparatus that can easily cope with a test pattern without rewriting. The purpose is to provide
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this object, according to the IC test apparatus of the present invention , a test pattern generator that generates a drive pattern and an expected value pattern, a timing generator that receives the expected value pattern and outputs a strobe signal, An IC test apparatus including a logic comparison circuit that compares output data of an IC to which a drive pattern is input with an expected value pattern at a timing specified by a strobe signal and determines whether the IC is good or bad,
A cycle shift unit is provided for shifting the expected value pattern input to the timing generator and the logic comparison circuit by the same number of cycles.
[0010]
Thus, according to the IC test apparatus of the present invention, the cycle shift unit is provided. For this reason, when the output data of the IC which is the device under test causes a cycle shift, the expected value pattern can be cycle-shifted in accordance with the cycle shift. As a result, it is possible to easily cope with a cycle shift without rewriting the test pattern.
[0011]
In particular, by shifting not only the expected value pattern input to the logic comparison circuit but also the expected value pattern input to the timing generator by the same number of cycles, the strobe signal can also be shifted by the same number of cycles. As a result, even when the cycle shift is performed, the output data and the expected value data can be compared with accurate timing.
[0012]
According to the present invention, the cycle shift unit includes a plurality of flip-flops and an expected value pattern that does not pass through the flip-flops, or a multiplexer that selectively outputs the output of any flip-flop. is there. With such a configuration, the expected value pattern can be shifted by a desired cycle with a simple configuration.
[0013]
When the expected value pattern to be input to the logical comparison circuit and the expected value pattern to be input to the timing generator are shifted by the individual cycle shift units, each cycle shift unit starts from the flip flip of the same number of stages. These outputs may be selected by a multiplexer.
[0014]
By the way, when the expected value pattern is cycle-shifted, the expected value pattern for the first number of shift cycles output from the cycle shift unit is not the expected value pattern input from the test pattern generating unit. For example, as the first several cycles, the last part of the remaining pattern used at the previous IC test may be output first. As a result, it is difficult for the logical comparison circuit to accurately compare the expected value pattern with the output data.
[0015]
Therefore, according to the present invention, the cycle shift unit is configured to reset the first output for the number of cycles shifted when the expected value pattern is cycle shifted.
If the first output is reset in this way, the expected value pattern for the first number of shift cycles becomes an invalid pattern. As a result, in the logic comparison circuit, the first output is not compared. For this reason, an accurate comparison between the original base value pattern and the output data can be performed.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First embodiment]
First, as a first embodiment, a basic configuration example of an IC test apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. The IC test apparatus according to the first embodiment includes a cycle shift unit 5 in addition to the test pattern generation unit 1, the timing generator 3, and the logic comparison circuit 2 in order to test the IC 4 as a measurement target device (DUT). ing.
[0017]
The test pattern generator 1 generates a drive pattern S1 and an expected value pattern S2, respectively. The timing generator 3 to which the expected value pattern S2 is input outputs a strobe signal S3. Then, the logic comparison circuit 2 compares the output data S4 of the IC4 to which the drive pattern S1 is input with the expected value pattern S2 at the timing defined by the strobe signal S3, and determines whether the IC4 is good or bad.
[0018]
Further, as shown in FIG. 1, in this embodiment, cycle shift units 5 are provided on signal paths from the test pattern generation unit 1 to the logic comparison circuit 2 and the timing generator 3, respectively.
Here, FIG. 2 shows a configuration of each cycle shift unit 5.
The circuit configuration of each cycle shift unit 5 is the same.
[0019]
As shown in FIG. 2, the cycle shift unit 5 includes a plurality of stages of flip-flops 51 and a multiplexer 52. Then, the expected value pattern that does not pass through the flip-flop 51 or the output of one of the flip-flops 51 is selectively output by the multiplexer 52.
[0020]
In each cycle shift unit 5, the expected value pattern S2 input to the timing generator 3 and the expected value pattern S2 input to the logic comparison circuit 2 are matched with the cycle shift of the output data S4 of the IC4, Shift by the same number of cycles. That is, in each cycle shift unit 5, the multiplexer 52 selects the output from the flip flip 51 having the same number of stages.
[0021]
In this way, not only the expected value pattern S2 input to the logic comparison circuit 2 but also the expected value pattern S2 input to the timing generator 3 can be shifted by the same number of cycles. For this reason, the strobe signal S3 can also be shifted by the same number of cycles. As a result, even when the expected value pattern S2 is cycle-shifted, the output data and the expected value data can be compared with accurate timing. As a result, it is possible to easily cope with a cycle shift without rewriting the test pattern.
[0022]
Furthermore, in this embodiment, when the expected value pattern S2 is cycle-shifted, each cycle shift unit 5 resets the first output for the number of cycles shifted. Specifically, each cycle shift unit 5 resets each flip-flop 5 by the number of shift cycles.
If the first output is reset in this way, the expected value pattern for the first number of shift cycles becomes an invalid pattern and is not compared in the logic comparison circuit 2. As a result, even when the cycle shift is performed, the comparison can be performed accurately.
[0023]
[Second Embodiment]
Next, as a second embodiment, a specific configuration example of the IC test apparatus of the present invention will be described with reference to FIG.
In FIG. 3, illustration of the DUT 4 shown in FIG. 1 and the signal paths of the drive pattern S1 and the output data S4 is omitted.
[0024]
In the second embodiment, the test pattern generation unit 1 is configured by “ExpH” and “ExpL”. An expected value pattern ExpH is output from “ExpH”, and an expected value pattern ExpL is output from “ExpL”. In addition, an expected value pattern OpenH is generated from ExpH via an inverter, and an expected value pattern OpenL is generated from ExpL via an inverter.
[0025]
Each expected value pattern ExpH, ExpL, OpenH, and OpenL is input to the logic comparison circuit 2 via the cycle shift unit 5. The configuration of each cycle shift unit 5 is the same as the configuration of the cycle shift unit 5 in the first embodiment shown in FIG.
[0026]
Further, as shown in FIG. 1, the expected value patterns OpenH and OpenL are input to the timing generator 3 via the cycle shift unit 5. Each timing generator 3 delays the expected value pattern by the delay signal (RATE), and further synchronizes with the reference clock signal (CLK) and outputs it as the strobe signal S3. The strobe signal S3 is input to the logic comparison circuit 2.
[0027]
Also in the second embodiment, as in the first embodiment, each cycle shift unit 5 shifts the expected value pattern by the same number of cycles according to the cycle shift of the output data of the DUT. As a result, the strobe signal S3 can also be shifted by the same number of cycles as the expected value signal S2. As a result, it is possible to easily cope with a cycle shift without rewriting the test pattern.
[0028]
[Third embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The configuration of the IC test apparatus in the third embodiment is the same as the configuration of the IC test apparatus in the first embodiment shown in FIG. 1 except for the arrangement of the cycle shift unit 5, and thus detailed description thereof is omitted. To do.
[0029]
As shown in FIG. 4, the single cycle shift unit 5 is provided in the IC test apparatus of the third embodiment. The expected value data S2 output from the single cycle shift unit 5 is input to the logic comparison circuit 2 and the timing generator 3, respectively.
[0030]
In this way, if the expected value pattern S2 is cycle-shifted by the single cycle shift unit 5, the expected value pattern S2 input to the timing generator 3 and the logic comparison circuit 2 is reliably shifted by the same number of cycles. be able to.
Moreover, since the cycle shift unit 5 is single, the apparatus configuration can be simplified.
[0031]
In the above-described embodiment, the example in which the present invention is configured under specific conditions has been described. However, the present invention can be variously modified. For example, in the above-described embodiment, an example in which three stages of flip-flops are provided for the cycle shift has been described. However, in the present invention, the number of flip-flop stages, that is, the maximum number of cycles that can be shifted is not limited to this. .
[0032]
Further, the configuration of the cycle shift unit is not limited to the flip-flop and the multiplexer. For example, a serial input / parallel output shift register may be used instead of the flip-flop.
[0033]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, the cycle shift unit is provided. For this reason, when the output data of the IC, which is the device under test, undergoes a cycle shift, the expected value pattern can be cycle shifted in accordance with the cycle shift. As a result, it is possible to easily cope with a cycle shift without rewriting the test pattern.
[0034]
In particular, by shifting not only the expected value pattern input to the logic comparison circuit but also the expected value pattern input to the timing generator by the same number of cycles, the strobe signal can also be shifted by the same number of cycles. As a result, even when the cycle shift is performed, the output data and the expected value data can be compared with accurate timing.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram for explaining a basic configuration of an IC test apparatus according to a first embodiment.
FIG. 2 is a block diagram for explaining a configuration of a cycle shift unit.
FIG. 3 is a circuit diagram for explaining a main configuration of an IC test apparatus according to a second embodiment.
FIG. 4 is a block diagram for explaining a basic configuration of an IC test apparatus according to a third embodiment.
FIG. 5 is a block diagram for explaining the configuration of a conventional IC test apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Test pattern generation part 2 Logic comparison circuit 3 Timing generator 4 DUT
5 cycle shift unit 51 flip-flop 52 multiplexer

Claims (3)

ドライブパターン及び期待値パターンを発生するテストパターン発生部と、
前記期待値パターンが入力され、ストローブ信号を出力するタイミング発生器と、
前記ドライブパターンが入力されたICの出力データと前記期待値パターンとを、前記ストローブ信号によって規定されるタイミングで比較し、前記ICの良否を判定する論理比較回路とを備えたIC試験装置であって、
前記タイミング発生器及び論理比較回路へ入力される前記期待値パターンを、同一サイクル数ずつシフトさせるサイクルシフト部を備え、
前記サイクルシフト部が、前記テストパターン発生部から前記論理比較回路及びタイミング発生器への信号経路上に設けられ、前記タイミング発生器及び論理比較回路へ入力される前の期待値パターンをシフトさせる
ことを特徴とするIC試験装置。
A test pattern generator for generating a drive pattern and an expected value pattern;
A timing generator that receives the expected value pattern and outputs a strobe signal;
An IC test apparatus comprising a logic comparison circuit that compares output data of an IC to which the drive pattern is input with the expected value pattern at a timing defined by the strobe signal and determines whether the IC is good or bad. And
A cycle shift unit for shifting the expected value pattern input to the timing generator and the logic comparison circuit by the same number of cycles ;
The cycle shift unit is provided on a signal path from the test pattern generation unit to the logic comparison circuit and the timing generator, and shifts an expected value pattern before being input to the timing generator and the logic comparison circuit. IC test equipment characterized by the above.
前記サイクルシフト部が、
複数段のフリップフロップと、
前記フリップフロップを経由しない期待値パターン、又は、いずれかの前記フリップフロップの出力を選択的に出力するマルチプレクサと
により構成してあることを特徴とする請求項1記載のIC試験装置。
The cycle shift unit is
A multi-stage flip-flop;
The IC test apparatus according to claim 1, comprising an expected value pattern that does not pass through the flip-flop, or a multiplexer that selectively outputs an output of any one of the flip-flops.
前記サイクルシフト部が、前記期待値パターンをサイクルシフトする際に、シフトしたサイクル数分の最初の出力をリセットする
ことを特徴とする請求項1又は2記載のIC試験装置。
The IC test apparatus according to claim 1, wherein the cycle shift unit resets initial outputs for the number of cycles shifted when the expected value pattern is cycle-shifted.
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