JP4154442B2

JP4154442B2 - Optical information recording medium

Info

Publication number: JP4154442B2
Application number: JP2007151847A
Authority: JP
Inventors: 康雄沢田; 康秀藤原
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-11-15
Filing date: 2007-06-07
Publication date: 2008-09-24
Anticipated expiration: 2020-11-15
Also published as: JP2007226965A

Description

本発明は、光情報記録媒体、より具体的には、ＣＤ−Ｒ(Compact Disk Recordable),ＣＤ−ＲＷ(Compact Disk Rewritable）メディア等の光情報記録媒体に関し、特に予めプリピットが設けられたＲＯＭ領域と案内溝が設けられた記録可能領域とを有する光情報記録媒体に関する。 The present invention relates to an optical information recording medium, and more specifically to an optical information recording medium such as a CD-R (Compact Disk Recordable) or CD-RW (Compact Disk Rewritable) medium, and more particularly to a ROM area in which prepits are provided in advance. And an optical information recording medium having a recordable area provided with a guide groove.

ＣＤ−Ｒと呼ばれる追記可能なコンパクトディスク（ＣＤ）は、オレンジブックと呼ばれる規格書で規定されている。通常のＣＤ−Ｒには、その全面にプリグルーブが配されている。このプリグルーブは蛇行（ウォブリング）していて、このウォブリングの周期の変動により、ＡＴＩＰ(Absolute time in pre-groove)と呼ばれる時間情報が記録されている。ＣＤ−Ｒは、内周側から、光量設定を行うＰＣＡ(power calibration Area)、追記時の位置を記録するＰＭＡ(Program memory Area)、目次情報（Table of contents)を記録するＬＩＡ(Lead-in Area)、データを記録する情報領域（Program Area)等の領域に区分され、ＣＤライターを用いてプリグルーブに沿ってピットを記録することにより情報が記録される。 A recordable compact disc (CD) called CD-R is defined in a standard called Orange Book. A normal CD-R has pregrooves on its entire surface. This pre-groove is meandering (wobbling), and time information called ATIP (Absolute time in pre-groove) is recorded by the fluctuation of the wobbling period. The CD-R has a power calibration area (PCA) for setting the light amount, a PMA (program memory area) for recording the position at the time of additional recording, and a LIA (Lead-in for recording table of contents) from the inner periphery side. Area) and an information area (Program Area) for recording data, and information is recorded by recording pits along the pregroove using a CD writer.

ＣＤ−Ｒは、情報を記録後に、記録された位置情報（ＡＴＩＰ時間）をＰＭＡに記録することにより追記できる。よって、追記後のＣＤ−Ｒは、情報領域の一部及びＰＭＡの一部にピットが形成される。また、ＣＤ−Ｒには、一部に予めプリピットが記録されたものもあり、ハイブリッドディスクと呼ばれていて、情報領域とＰＭＡの一部がプリピットで形成される。プリピットもプリグルーブと同様に蛇行している。 The CD-R can be additionally recorded by recording the recorded position information (ATIP time) in the PMA after recording the information. Therefore, in the post-recording CD-R, pits are formed in part of the information area and part of the PMA. Some CD-Rs have pre-pits recorded in advance, which are called hybrid discs, and an information area and a part of the PMA are formed by pre-pits. The pre-pits meander like the pre-grooves.

図９及び図１０は、ハイブリッドＣＤ−Ｒの作成方法の一例を説明するための図である。図９（Ａ）のレジスト形成工程では、円盤状のガラス板１０を用意し、このガラス板上に中間層１２を間に挟んで２層のフォトレジスト１１，１３を形成する。図９（Ｂ）の露光工程では、露光装置で回転させながらレーザ光ｌをフォトレジスト膜１１，１３に照射して、フォトレジスト膜１１、１３にらせん状の潜像ｉを形成する。そして図９（Ｃ）の現像工程において潜像部分を溶解させる。このとき得られる深いプリピット１と浅いグルーブ（ピット間溝）２は、上記の露光工程における露光光量の制御により作り分けられる。なお、図９（Ｃ）においてＩ₁は記録領域、Ｉ₂はＲＯＭ領域、Ｉは情報領域を示す。 9 and 10 are diagrams for explaining an example of a method for creating a hybrid CD-R. 9A, a disk-shaped glass plate 10 is prepared, and two layers of photoresists 11 and 13 are formed on the glass plate with an intermediate layer 12 interposed therebetween. In the exposure step shown in FIG. 9B, the photoresist film 11, 13 is irradiated with the laser beam 1 while being rotated by an exposure apparatus to form a helical latent image i on the photoresist film 11, 13. Then, the latent image portion is dissolved in the developing process of FIG. The deep prepit 1 and the shallow groove (pit-to-pit groove) 2 obtained at this time are created separately by controlling the amount of exposure light in the exposure process. In FIG. 9C, I ₁ represents a recording area, I ₂ represents a ROM area, and I represents an information area.

そして図９（Ｄ）の電鋳工程でスタンパ１４となる電鋳層を形成し、図１０（Ｅ）のガラス剥離工程でガラス板１０を剥離し、図１０（Ｆ）のレジスト除去・スタンパ化工程により残存しているフォトレジスト１１，１３を除去して、上層フォトレジスト１３の上面から下層フォトレジスト１１の下面までの深さを有する深いピット形成部１′と、上層フォトレジスト１３の上面から下層フォトレジスト１１の上面までの深さを有する浅いグルーブ形成部２′とを有するスタンパ１４を作成する。 Then, an electroformed layer to be the stamper 14 is formed in the electroforming process of FIG. 9D, the glass plate 10 is peeled in the glass peeling process of FIG. 10E, and the resist removal / stamper formation of FIG. The remaining photoresists 11 and 13 are removed by the process, and a deep pit formation portion 1 ′ having a depth from the upper surface of the upper photoresist 13 to the lower surface of the lower photoresist 11 and the upper surface of the upper photoresist 13 is removed. A stamper 14 having a shallow groove forming portion 2 'having a depth to the upper surface of the lower layer photoresist 11 is formed.

図１０（Ｇ）の成形工程では、得られたスタンパ１４を用いて成形を行い、成形板１５を多量に複製する。そして図１０（Ｈ）の記録剤塗布工程で、成形板１５の全面に記録剤１６を塗布し、さらに図１０（Ｉ）の反射層・保護層形成工程で反射層１７と保護層１８とを形成する。以上の工程により、露光装置により一部に情報が予め記録されたハイブリッドＣＤ−Ｒが作成される。 In the molding step of FIG. 10G, molding is performed using the obtained stamper 14, and the molded plate 15 is duplicated in large quantities. Then, the recording agent 16 is applied to the entire surface of the molding plate 15 in the recording agent application step of FIG. 10 (H), and the reflective layer 17 and the protective layer 18 are further formed in the reflective layer / protective layer forming step of FIG. 10 (I). Form. Through the above steps, a hybrid CD-R in which information is partially recorded in advance by the exposure apparatus is created.

次に、具体的な従来例について説明する。従来、プリピットで形成されたＲＯＭ領域は、プリグルーブで形成された記録可能領域に比べトラッキングエラー信号（push-pull信号）が小さくなるという問題があった。これを改善するために、例えば、特許文献１では、情報記録媒体のアドレスピットとアドレスピットの間にプリグルーブよりも広く浅いピット間溝を形成し、プリピット領域のトラッキングエラーを改善している。 Next, a specific conventional example will be described. Conventionally, a ROM area formed with prepits has a problem that a tracking error signal (push-pull signal) is smaller than a recordable area formed with pregrooves. In order to improve this, for example, in Patent Document 1, a groove between pits wider and shallower than the pre-groove is formed between the address pits of the information recording medium to improve the tracking error of the pre-pit area.

また特許文献２のものは、上記ハイブリッドディスクのプリピットとプリピットの間にプリグルーブと同じ深さと幅を持つピット間溝を形成し、プリピット領域とプリグルーブ領域の反射率の変動をなくしている。また、特許文献３では、記録再生可能領域と再生専用領域が混在したパーシャルＲＯＭで、プリグルーブが形成された記録再生可能領域とプリピットが形成された再生専用領域のトラッキングエラー信号が同等になるようなピット間溝をプリピットとプリピットの間に形成している。 In Patent Document 2, an inter-pit groove having the same depth and width as the pre-groove is formed between the pre-pits of the hybrid disc, thereby eliminating the variation in the reflectance of the pre-pit area and the pre-groove area. Further, in Patent Document 3, in a partial ROM in which a recordable / reproducible area and a reproduction-only area are mixed, the tracking error signal of the recording / reproductionable area where the pregroove is formed and the reproduction-only area where the prepit is formed are equal. A groove between the pits is formed between the prepits.

また特許文献４では、パーシャルＲＯＭで、プリピットが形成された再生専用領域のトラッキングエラー信号とＣＴＳ(cross track signal)信号を改善するため、プリピットとプリピットの間をプリピットよりも狭くλ/８ｎよりも浅いピット間溝を形成している。また、特許文献５では、プリピットをウォブリングした場合、プリグルーブに比べＷＣＮ（wobble C/N比）が低く、ウォブル量を増やすとジッタが増えてしまう問題があり、これを解決手段として上記プリピットとプリピットの間のグルーブを設けている。 In Patent Document 4, in order to improve the tracking error signal and the CTS (cross track signal) signal in the read-only area where the pre-pits are formed in the partial ROM, the space between the pre-pits is narrower than the pre-pits and less than λ / 8n. Shallow pit grooves are formed. Further, in Patent Document 5, when prepits are wobbled, there is a problem that WCN (wobble C / N ratio) is lower than that of pregrooves, and there is a problem that jitter increases when the wobble amount is increased. Grooves between prepits are provided.

図１１及び図１２は、上記のごとくのプリピットとプリピットとを連結するピット間溝を説明する図で、図１１（Ａ）はピット間溝を配さない従来のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）の断面（ＣＤ−Ｒの円周方向断面）の形状を概略的に示す図である。また図１２（Ａ）はピット間溝を配した従来のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）の断面（ＣＤ−Ｒの円周方向断面）の形状を概略的に示す図である。また、図１３は、図１２に示すごとくのプリピット１及びピット間溝２を形成したＲＯＭ領域を示す部分斜視図である。 FIG. 11 and FIG. 12 are diagrams for explaining the pit-to-pit groove for connecting the pre-pits as described above, and FIG. 11A schematically shows a conventional pit configuration in which no pit-to-pit groove is arranged. FIG. 11B is an enlarged plan view schematically showing the shape of the cross section (circumferential cross section of CD-R) of FIG. FIG. 12A is a partially enlarged plan view schematically showing a conventional pit configuration in which grooves between pits are arranged, and FIG. 12B is a cross section of FIG. 12A (a cross section in the circumferential direction of CD-R). It is a figure which shows the shape of () schematically. FIG. 13 is a partial perspective view showing the ROM area in which the pre-pit 1 and the inter-pit groove 2 are formed as shown in FIG.

図１２に示すように、プリピット１と他のプリピット１との間をピット間溝２でつなぐと、そのピット間溝２の影響で、プリピット１がトラック方向に、伸びた形状となってしまい、かつその伸び方が一様でなく、またプリピット１のトラック方向断面の傾斜角が小さくなってしまい、プリピットのジッタが悪くなるという不具合があった。 As shown in FIG. 12, when the pre-pit 1 and another pre-pit 1 are connected by the inter-pit groove 2, the pre-pit 1 becomes a shape extending in the track direction due to the influence of the inter-pit groove 2. In addition, there is a problem in that the elongation is not uniform, the inclination angle of the cross section in the track direction of the prepit 1 is reduced, and the jitter of the prepit is deteriorated.

また、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示すように、プリピットをウォブリングした場合、プリグルーブに比べてＷＣＮ（Wobble C/N比）が低く、ウォブル量を増やすとジッタが増えてしまうという問題があった。この解決手段としても、上記プリピットとプリピットの間のグルーブが有効である。
特開平５−６５７８号公報特開平５−１２６８０号公報特開平６−１３１７０１号公報特開平８−７３３９号公報特開平５−３６０８７号公報 Further, as shown in FIGS. 14A and 14B, when the prepit is wobbled, the WCN (Wobble C / N ratio) is lower than that of the pregroove, and the jitter increases as the wobble amount increases. There was a problem. As a means for solving this problem, the groove between the prepits is effective.
JP-A-5-6578 JP-A-5-12680 JP-A-6-131701 JP-A-8-7339 JP-A-5-36087

本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたものであり、ピットのジッタを悪化させることなくピット部のトラッキングエラー信号とＷＣＮを改善したＲＯＭ領域と記録可能領域とを有する光情報記録媒体を提供することを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an optical information recording medium having a pit tracking error signal, a ROM area with improved WCN and a recordable area without deteriorating pit jitter. It is intended to provide.

請求項１の発明は、予めプリピットが設けられたＲＯＭ領域を有する光情報記録媒体において、前記ＲＯＭ領域のプリピットの列のプリピット間に該プリピットよりも浅いピットが形成され、前記プリピット間のピットは、二つのプリピットの両方に連結していることを特徴としたものである。 According to the first aspect of the present invention, in an optical information recording medium having a ROM area in which pre-pits are provided in advance, pits shallower than the pre-pits are formed between pre-pits in a row of pre-pits in the ROM area, and the pits between the pre-pits are It is characterized by being connected to both of the two prepits .

請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ＲＯＭ領域のプリピット列のプリピット間に該プリピットよりも浅いピットが設けられ、該プリピット間に設けられたピットのウォブリング量が、前記プリピットのウォブリング量より大きいことを特徴としたものである。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, a pit shallower than the prepit is provided between the prepits of the prepit row in the ROM area, and the wobbling amount of the pit provided between the prepits is equal to the prepit. It is characterized by being larger than the wobbling amount.

請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記ＲＯＭ領域と、案内溝が設けられた記録可能なＲＡＭ領域とが形成されていることを特徴としたものである。 The invention of claim 3 is the invention of claim 1, said ROM area, it is obtained by said that the recordable RAM area guide groove is provided is formed.

本発明によれば、プリピットとプリピットの間をピット間溝またはピット間ピットで繋ぐことにより、トラッキングエラー信号、ＷＣＮ等を改善し、さらにピット間溝によるジッタの悪化を防ぐことができる。 According to the present invention, the tracking error signal, WCN, etc. can be improved by connecting the prepits and the prepits with interpit grooves or interpit pits, and further, deterioration of jitter due to interpit grooves can be prevented.

本発明の第１の実施形態の構成は、予めプリピットが設けられたＲＯＭ領域と、案内溝が設けられた記録可能領域とを有する光情報記録媒体において、基板に刻まれたプリピットと他のプリピットの間にグルーブ（ピット間溝）を形成し、さらに、プリピットとピット間溝の接合部の幅及び深さを、ピット間溝よりも狭くかつ浅くすることによって、ピット間溝とプリピットを分離し、プリピットがピット間溝の影響を受けないようにしたものである。 The configuration of the first embodiment of the present invention is that an optical information recording medium having a ROM area in which pre-pits are provided in advance and a recordable area in which guide grooves are provided, and a pre-pit and other pre-pits carved in a substrate. A groove (inter-pit groove) is formed between the pits, and the width and depth of the junction between the pre-pit and the inter-pit groove are made narrower and shallower than the inter-pit groove, thereby separating the inter-pit groove and the pre-pit. The prepit is not affected by the groove between the pits.

本発明の第２の実施形態の構成は、予めプリピットが設けられたＲＯＭ領域と、案内溝が設けられた記録可能領域とを有する光情報記録媒体において、基板に刻まれたプリピットとプリピットの間に浅いピット（ピット間ピット）をプリピットに連続して形成したものである。 The configuration of the second embodiment of the present invention is that an optical information recording medium having a ROM area in which pre-pits are provided in advance and a recordable area in which guide grooves are provided, between the pre-pits and the pre-pits inscribed on the substrate. A shallow pit (pit between pits) is formed continuously with the pre-pit.

（実施例１）
図１は、本発明による光情報記録媒体の実施形態を説明するための図で、図１（Ａ）はＣＤ−Ｒ表面のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のラインＢにおける円周方向断面を概略的に示す図で、図１（Ｃ）は図１（Ａ）のラインＣにおける半径方向断面を概略的に示す図である。ＲＯＭ領域には、３２００Å深さのプリピット１が設けられており、これらのプリピットとプリピットの間には、深さ１８００Åでプリピット１との接合部２ａでくびれているピット間溝２が形成されている。 (Example 1)
FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of an optical information recording medium according to the present invention. FIG. 1 (A) is a partially enlarged plan view schematically showing a pit configuration on the surface of a CD-R, and FIG. ) Is a diagram schematically showing a circumferential cross section along line B in FIG. 1A, and FIG. 1C is a diagram schematically showing a radial cross section along line C in FIG. 1A. The ROM area is provided with pre-pits 1 having a depth of 3200 mm. Between these pre-pits, an inter-pit groove 2 constricted at a junction 2a with a depth of 1800 mm and the pre-pit 1 is formed. Yes.

本実施例では、３２００Å深さのプリピット１と１８００Å深さの案内溝（図示せず）とを有する基板を作成し、同様にハイブリッドＣＤ−Ｒメディアを作成した。そしてピット間溝２におけるプリピット１とピット間溝２の接合部２ａの寸法を、当該接合部２ａを除くピット間溝２の他の部分（以下、“主要部”として説明する）より狭く（主要部の幅×１／２≦接合部の幅）、かつ浅く（主要部の深さ×１／２≦接合部の深さ）なるように形成して、プリピット１とピット間溝２の主要部とを分離した。図５の実施例１に示すように、本構成によりpush-pull信号を劣化させることなく、後述する従来技術による比較例２に比べジッタを約１０ｎｓｅｃ改善することができた。またピットを７０ｎｍウォブリングした場合のＷＣＮは後述する比較例２とほとんど同じレベルを保つことができた。 In this example, a substrate having a pre-pit 1 having a depth of 3200 mm and a guide groove (not shown) having a depth of 1800 mm was produced, and a hybrid CD-R media was similarly produced. The dimension of the joint portion 2a between the pre-pit 1 and the inter-pit groove 2 in the inter-pit groove 2 is narrower than the other part (hereinafter referred to as “main part”) excluding the joint part 2a (main part). Part width × 1/2 ≦ junction width) and shallow (main part depth × 1/2 ≦ junction depth), and main parts of prepit 1 and interpit groove 2 And separated. As shown in Example 1 of FIG. 5, this configuration can improve the jitter by about 10 nsec without degrading the push-pull signal as compared with Comparative Example 2 according to the prior art described later. In addition, the WCN when the pits were wobbled by 70 nm was able to maintain almost the same level as in Comparative Example 2 described later.

（実施例２）
本実施例は実施例１と同様に図１に示すごとくの構成を有するが、ピット間溝２におけるプリピット１との接合部２ａの幅を主要部の幅の１／２より小さくし、また接合部２ａの深さを主要部の深さの１／２より小さくして、ピット１とピット間溝２の主要部との分離を大きくした。本実施例の構成により、図５に示すように、ＷＣＮが低下した。 (Example 2)
This embodiment has the structure as shown in FIG. 1 as in the first embodiment, but the width of the joint portion 2a with the pre-pit 1 in the inter-pit groove 2 is made smaller than ½ of the width of the main portion, and the joining is performed. The depth of the portion 2a was made smaller than ½ of the depth of the main portion to increase the separation between the pit 1 and the main portion of the inter-pit groove 2. With the configuration of this example, the WCN decreased as shown in FIG.

（実施例３）
本実施例もまた実施例１及び２と同様に図１に示すごとくの構成を有するが、プリピット１のウォブリング量はそのままにして、ピット間溝のウォブリング量を１１０ｎｍに増大させた。本実施例の構成により、実施例２に比してジッタは同等で、ＷＣＮは２ｄＢ大きくすることができた。 (Example 3)
This example also has a configuration as shown in FIG. 1 as in Examples 1 and 2, but the wobbling amount of the prepit 1 is kept as it is and the wobbling amount of the interpit groove is increased to 110 nm. With the configuration of this example, the jitter was equivalent to that of Example 2, and the WCN could be increased by 2 dB.

（実施例４）
図２は、本発明による光情報記録媒体の他の実施形態を説明するための図で、図２（Ａ）はＣＤ−Ｒ表面のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のラインＢにおける円周方向断面を概略的に示す図で、図２（Ｃ）は図２（Ａ）のラインＣにおける半径方向断面を概略的に示す図である。本実施例のＲＯＭ領域には３２００Å深さのプリピット１が設けられ、これらプリピット１と他のプリピット１の間は、深さ１８００Åのピット間ピット３で連結されている。上記のごとくのプリピット構造と、１８００Åの案内溝（図示せず）とを有する基板を作成し、同様にハイブリッドＣＤ−Ｒメディアを作成した。図５に示すように、実施例１と同様、ジッタ、ＷＣＮ、push-pullとも仕様を満足した。また、ピット間ピット３とプリピット１との間に間隔を開けると、ＷＣＮが低下し、またプリピット信号の歪みも発生した。 Example 4
FIG. 2 is a diagram for explaining another embodiment of the optical information recording medium according to the present invention, and FIG. 2 (A) is a partially enlarged plan view schematically showing the pit structure on the surface of the CD-R. FIG. 2B is a diagram schematically showing a circumferential section along line B in FIG. 2A, and FIG. 2C is a diagram schematically showing a radial section along line C in FIG. is there. The ROM area of this embodiment is provided with pre-pits 1 having a depth of 3200 mm, and these pre-pits 1 and the other pre-pits 1 are connected by an inter-pit pit 3 having a depth of 1800 mm. A substrate having the pre-pit structure as described above and a guide groove (not shown) of 1800 mm was prepared, and a hybrid CD-R media was similarly prepared. As shown in FIG. 5, as in Example 1, the specifications of jitter, WCN, and push-pull satisfied the specifications. In addition, when an interval was formed between the pits 3 between the pits and the prepit 1, the WCN was lowered and the distortion of the prepit signal was also generated.

（実施例５）
本実施例は実施例４と同様に図２に示すごとくの構成を有するが、プリピット１のウォブリング量はそのままにして、ピット間ピット３のウォブリング量を１１０ｎｍに増大させた。本実施例の構成により、実施例４に比してジッタは同等で、ＷＣＮは２ｄＢ大きくすることができた。 (Example 5)
The present embodiment has a configuration as shown in FIG. 2 as in the fourth embodiment, but the wobbling amount of the pit 3 between pits is increased to 110 nm while keeping the wobbling amount of the prepit 1 as it is. With the configuration of this example, the jitter was equivalent to that of Example 4, and the WCN could be increased by 2 dB.

（比較例１）
図３は、従来の構成による光情報記録媒体の比較例を説明するための図で、図３（Ａ）はＣＤ−Ｒ表面のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のラインＢにおける円周方向断面を概略的に示す図で、図３（Ｃ）は図３（Ａ）のラインＣにおける半径方向断面を概略的に示す図である。従来の技術の手法で、約３２００Å深さのプリピット１と、１８００Å深さの案内溝を有する基板を作成し、フタロシアニン色素を塗布し、反射膜を付与して、ハイブリッドＣＤ−Ｒメディアを作成した。図５に示すように、この比較例１のメディアのジッタは２７ｎｓｅｃと低いがpush-pull信号が小さく、記録可能領域のpush-pull信号０.１３〜０.１８との差が大きすぎるため、トラッキングが発振してしまった。また、ピットを７０ｎｍウォブリングした場合のＷＣＮは３０ｄＢと必要とされる３３ｄＢを大きく下回った。 (Comparative Example 1)
FIG. 3 is a diagram for explaining a comparative example of an optical information recording medium having a conventional configuration. FIG. 3A is a partially enlarged plan view schematically showing a pit configuration on the surface of a CD-R. FIG. 3B is a diagram schematically showing a circumferential cross section along line B in FIG. 3A, and FIG. 3C is a diagram schematically showing a radial cross section along line C in FIG. . Using a conventional technique, a substrate having a prepit 1 with a depth of about 3200 mm and a guide groove with a depth of 1800 mm was created, a phthalocyanine dye was applied, a reflective film was applied, and a hybrid CD-R media was created. . As shown in FIG. 5, the jitter of the medium of Comparative Example 1 is as low as 27 nsec, but the push-pull signal is small, and the difference from the push-pull signal 0.13 to 0.18 in the recordable area is too large. Tracking has oscillated. In addition, when the pit was wobbled at 70 nm, the WCN was 30 dB, which was much lower than the required 33 dB.

（比較例２）
図４は、従来の構成による光情報記録媒体の他の比較例を説明するための図で、図４（Ａ）はＣＤ−Ｒ表面のピット構成を概略的に示す部分拡大平面図で、図４（Ｂ）は図４（Ａ）のラインＢにおける円周方向断面を概略的に示す図で、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のラインＣにおける半径方向断面を概略的に示す図である。本比較例は、３２００Å深さのプリピット１、及びそれらプリピット１間に形成した図示するごとくの形状の１８００Å深さのピット間溝２によるピット構成と、１８００Åの案内溝とを有する基板を作成し、同様にハイブリッドＣＤ−Ｒメディアを作成した。図５に示すように、比較例２のメディアのpush-pull信号は、記録可能領域と大差ないが、ジッタは４０ｎｓｅｃ以上あり、仕様（３５ｎｓｅｃ）を大きくオーバーしてしまった（ＷＣＮは３８ｄＢ）。 (Comparative Example 2)
FIG. 4 is a diagram for explaining another comparative example of the optical information recording medium having the conventional configuration, and FIG. 4A is a partially enlarged plan view schematically showing the pit configuration on the surface of the CD-R. 4 (B) is a diagram schematically showing a circumferential section along line B in FIG. 4 (A), and FIG. 4 (C) is a diagram schematically showing a radial section along line C in FIG. 4 (A). It is. In this comparative example, a substrate having a pit configuration by a pre-pit 1 having a depth of 3200 mm and an inter-pit groove 2 having a depth of 1800 mm formed between the pre-pits 1 as illustrated and a guide groove having a width of 1800 mm is formed. Similarly, a hybrid CD-R media was created. As shown in FIG. 5, the push-pull signal of the medium of Comparative Example 2 is not much different from the recordable area, but the jitter is 40 nsec or more and greatly exceeds the specification (35 nsec) (WCN is 38 dB).

次に本発明の第３の実施の形態及びその具体的な実施例と比較例について説明する。本発明の第３の実施形態の構成は、ＲＯＭ領域のプリピットと他のプリピットとの間にピット間グルーブが形成された光記録情報媒体において、プリピットとピット間グルーブとの接合部を分離し、該接合部に高さ方向に突起する角状突起部が形成された状態とすることにより、トラック方向の断面形状の急峻度を大きくし、これにより、プリピット部のジッタを改善するようにしたものである。 Next, a third embodiment of the present invention and specific examples and comparative examples thereof will be described. In the configuration of the third embodiment of the present invention, in the optical recording information medium in which the groove between pits is formed between the prepits in the ROM area and other prepits, the joint between the prepits and the groove between pits is separated, By increasing the steepness of the cross-sectional shape in the track direction by forming a rectangular protrusion protruding in the height direction at the joint, thereby improving the jitter of the prepit portion It is.

上記の接合部の角状突起部は、原盤露光時におけるレーザ駆動パルスのコントロールによって形成することができる。すなわち、ピット照射パルスの立ち下がり〜ピット間グルーブ照射パルスの立ち上がりの間隔（Ｔｗ）及びピット照射パルスの立ち上がり〜ピット間グルーブ照射パルスの立ち下がりの間隔（Ｔｗ’）をコントロールすることにより。上記の接合部がフラットになったり突起が形成されたりする。通常、３Ｔ〜１１Ｔのピット、ピット間グルーブ切り替え時に同じＴｗで、かつＴｗ＝Ｔｗ’の条件で露光する。 The angular protrusions of the joint can be formed by controlling the laser driving pulse during exposure of the master. That is, by controlling the falling interval of the pit irradiation pulse to the rising interval of the inter-pit groove irradiation pulse (Tw) and the rising interval of the pit irradiation pulse to the falling interval of the inter-pit groove irradiation pulse (Tw '). The joint portion becomes flat or a protrusion is formed. Normally, exposure is performed under the condition of Tw = Tw ′ at the same Tw when switching the pits and grooves between 3T to 11T.

図６は、本発明の光情報記録媒体の第３の実施形態における基板のトラック方向の断面形状を概念的に示す図で、図中、１はプリピット、２はピット間グルーブ、５は角状突起部、Ｈｐはプリピット１の底部から角状突起部５の頂点までの高さ、Ｈｇはピット間グルーブ２の底部から角状突起部５の頂点までの高さ、Ｌｂｐはプリピット１の底部のトラック方向長さ、Ｌｂｇはピット間グルーブ２の底部のトラック方向長さである。 FIG. 6 is a diagram conceptually showing the cross-sectional shape of the substrate in the track direction in the third embodiment of the optical information recording medium of the present invention, in which 1 is a pre-pit, 2 is a groove between pits, and 5 is a square shape. The protrusion, Hp is the height from the bottom of the prepit 1 to the apex of the angular protrusion 5, Hg is the height from the bottom of the interpit groove 2 to the apex of the angular protrusion 5, and Lbp is the bottom of the prepit 1 The length in the track direction, Lbg, is the length in the track direction at the bottom of the groove 2 between the pits.

図７は、Ｔｗを変化させて作成した各種基板を用いた光情報記録媒体のＨｇ／Ｈｐに対するジッタの値を示すグラフである。Ｈｇ／Ｈｐが大きいほど、すなわち角状突起部５が大きい（高い）ほど、ジッタの値は良好となることがわかる。オレンジブックの規格である３５ｎｓ以下を満足するためには、Ｈｇ／Ｈｐ＞０.０８を満足することが必要である。 FIG. 7 is a graph showing the value of jitter with respect to Hg / Hp of an optical information recording medium using various substrates prepared by changing Tw. It can be seen that the greater the Hg / Hp, that is, the greater (higher) the angular protrusion 5, the better the jitter value. In order to satisfy the Orange Book standard of 35 ns or less, it is necessary to satisfy Hg / Hp> 0.08.

図８は、Ｔｗを変化させて作成した各種基板を用いた光情報記録媒体の３Ｔピット、３ＴランドのＬｂｇ／Ｌｂｐに対するＷＣＮの値を示すグラフである。Ｌｂｐが大きいほどＷＣＮが大きいオレンジブックの規格の２６ｄＢ以上を満足するためには、Ｌｂｇ／Ｌｂｐ＞０.７５が必要である。このとき、３Ｔ〜１１Ｔのピットとピット間グルーブとの露光切り替え時には同じＴｗで、かつＴｗ＝Ｔｗ’の条件で原盤露光しているので、図６におけるＷは３Ｔ〜１１Ｔの各ピット〜ピット間グルーブにおいてほぼ等しい。 FIG. 8 is a graph showing WCN values with respect to Lbg / Lbp of 3T pits and 3T lands of an optical information recording medium using various substrates prepared by changing Tw. Lbg / Lbp> 0.75 is necessary to satisfy the Orange Book standard of 26 dB or more, which is larger as Lbp is larger. At this time, when the exposure is switched between the pits of 3T to 11T and the groove between the pits, the master is exposed under the condition of Tw and Tw = Tw ′, so that W in FIG. 6 is between each pit and pit of 3T to 11T. It is almost equal in the groove.

（実施例６）
基板の表面上に、ＴＯＣ（Table Of Contents）部から基板半径３５ｍｍ部の内側まで、深さ３１００Å、幅０.６μｍ、トラックピッチ１.６μｍのプリピットと、これらプリピットを繋ぐ深さ１７００Å、幅０.４μｍのピット間グルーブとを設けた。さらにその外側に、深さ１７００Å、幅０.７μｍ、トラックピッチ１.６μｍの案内溝を設けた。 (Example 6)
On the surface of the substrate, from the TOC (Table Of Contents) portion to the inside of the substrate radius of 35 mm, a prepit with a depth of 3100 mm, a width of 0.6 μm, a track pitch of 1.6 μm, and a depth of 1700 mm and a width of 0 connecting these prepits A 0.4 μm groove between pits was provided. Further, a guide groove having a depth of 1700 mm, a width of 0.7 μm, and a track pitch of 1.6 μm was provided outside thereof.

原盤露光時には、ＲＯＭ部プリピット照射パルスの立ち下がり〜ピット間グルーブ照射パルスの立ち上がりの間隔（Ｔｗ）を１５０ｎｓ、ＲＯＭ部プリピットの３Ｔ露光時間を４０３ｎｓ、４Ｔ〜１１Ｔの露光時間をＮ×２３１−２９０ｎｓ、ＲＯＭ部プリピット及びピット間グルーブのウォブル幅を７０ｎｍ（peak to peak）とした。 During master exposure, the interval (Tw) between the fall of the ROM part pre-pit irradiation pulse to the rise of the groove irradiation pulse between pits is 150 ns, the 3T exposure time of the ROM part pre-pit is 403 ns, and the exposure time of 4T to 11T is N × 231-290 ns. The wobble width of the ROM part prepits and grooves between pits was set to 70 nm (peak to peak).

そしてフタロシロシアニン色素からなる光吸収層を、エチルシクロヘキサンからなる混合溶媒を用いた塗布液としてスピンコートすることにより設けた。光吸収層を塗布した後、１００℃、３０分で熱処理を行い、その後スパッタ法によりＡｇを約１４００Åの厚さに設けてこれを反射層とした。そしてその上に紫外線硬化樹脂をスピナにより塗布し、紫外線で硬化させ約５μｍの保護層とし、さらにその上に紫外線硬化インクをスクリーン印刷法により塗布し、紫外線で硬化後約１０μｍの上部保護層とした。以上の加工によってＣＤ−Ｒ光情報記録媒体を得た。 And the light absorption layer which consists of a phthalosylocyanine pigment | dye was provided by spin-coating as a coating liquid using the mixed solvent which consists of ethylcyclohexane. After the light absorption layer was applied, heat treatment was performed at 100 ° C. for 30 minutes, and then Ag was provided to a thickness of about 1400 mm by a sputtering method to form a reflective layer. Then, an ultraviolet curable resin is applied thereon with a spinner and cured with ultraviolet rays to form a protective layer of about 5 μm. Further, an ultraviolet curable ink is applied thereon by screen printing, and after curing with ultraviolet rays, an upper protective layer of about 10 μm is formed. did. A CD-R optical information recording medium was obtained by the above processing.

上記の光情報記録媒体を７８０Åのピックアップを有する記録再生装置で該記録媒体のＲＯＭ部を再生したところ、ジッタは２９ｎｓ、ＷＣＮは２８ｄＢの結果が得られた。このとき、Ｈｇ／Ｈｐは０.３３、Ｌｂｇ／Ｌｂｐは０.７８であった。 When the above-described optical information recording medium was reproduced from the ROM portion of the recording medium using a recording / reproducing apparatus having a 780 mm pickup, the result was that the jitter was 29 ns and the WCN was 28 dB. At this time, Hg / Hp was 0.33 and Lbg / Lbp was 0.78.

（比較例３）
Ｔｗの値を８０ｎｓとした以外は、上記実施例６と同様の条件で原盤露光して光情報記録媒体を作成した。この光情報記録媒体のＲＯＭ部を７８０Åのピックアップを有する記録再生装置で再生したところ、ジッタは３８ｎｓ、ＷＣＮは３３.５ｄＢの結果が得られ、ＷＣＮはオレンジブックの規格を満たしたが、ジッタは同規格の３５ｎｓｗを満たさなかった。このとき、Ｈｇ／Ｈｐは０.０４、Ｌｂｇ／Ｌｂｐは０.９５であった。 (Comparative Example 3)
Except that the value of Tw was set to 80 ns, an optical information recording medium was prepared by exposing the master under the same conditions as in Example 6 above. When the ROM portion of this optical information recording medium was reproduced by a recording / reproducing apparatus having a 780 mm pickup, the jitter was 38 ns, the WCN was 33.5 dB, and the WCN satisfied the Orange Book standard. The 35 nsw of the same standard was not satisfied. At this time, Hg / Hp was 0.04 and Lbg / Lbp was 0.95.

（比較例４）
Ｔｗの値を２００ｎｓとした以外は、上記実施例６と同様の条件で原盤露光して光情報記録媒体を作成した。この光情報記録媒体のＲＯＭ部を７８０Åのピックアップを有する記録再生装置で再生したところ、ジッタは２８ｎｓ、ＷＣＮは２５.５ｄＢの結果が得られた。このとき、Ｈｇ／Ｈｐは０.５８、Ｌｂｇ／Ｌｂｐは０.６６であった。 (Comparative Example 4)
Except that the value of Tw was set to 200 ns, an optical information recording medium was prepared by performing master exposure under the same conditions as in Example 6 above. When the ROM portion of this optical information recording medium was reproduced by a recording / reproducing apparatus having a 780 mm pickup, jitter was 28 ns and WCN was 25.5 dB. At this time, Hg / Hp was 0.58 and Lbg / Lbp was 0.66.

本発明による光情報記録媒体の一実施形態の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of one Embodiment of the optical information recording medium by this invention. 本発明による光情報記録媒体の他の実施形態の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of other embodiment of the optical information recording medium by this invention. 従来の構成による光情報記録媒体の比較例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the comparative example of the optical information recording medium by the conventional structure. 従来の構成による光情報記録媒体の他の比較例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other comparative example of the optical information recording medium by the conventional structure. 本発明の実施例及び比較例において得られた性能を示す表である。It is a table | surface which shows the performance obtained in the Example and comparative example of this invention. 本発明による光情報記録媒体の他の実施形態のトラック方向の断面形状を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the cross-sectional shape of the track direction of other embodiment of the optical information recording medium by this invention. 図６の形態においてＴｗを変化させて作成した光情報記録媒体のＨｇ／Ｈｐに対するジッタの値を示したグラフである。7 is a graph showing a jitter value with respect to Hg / Hp of an optical information recording medium produced by changing Tw in the embodiment of FIG. 図６の形態においてＴｗを変化させて作成した光情報記録媒体のＬｂｇ／Ｌｂｐに対するＷＣＮの値を示したグラフである。7 is a graph showing the value of WCN with respect to Lbg / Lbp of an optical information recording medium created by changing Tw in the embodiment of FIG. ハイブリッドＣＤ−Ｒの作成方法の一例を工程に従って示す図である。It is a figure which shows an example of the production method of hybrid CD-R according to a process. ハイブリッドＣＤ−Ｒの作成方法の一例を工程に従って示す図で、図９に続く工程を示す図である。It is a figure which shows an example of the production method of hybrid CD-R according to a process, and is a figure which shows the process following FIG. プリピットの構成例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structural example of a prepit. プリピットを連結するピット間溝の構成例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structural example of the groove | channel between pits which connects a prepit. プリピットを連結するピット間溝の構成例を示す部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view which shows the structural example of the groove | channel between pits which connects a prepit. プリピットのウォブリング量とＷＣＮ（Wobble C/N比）との関係、及びウォブリング量とＷＣＮとの関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the wobbling amount of a prepit and WCN (Wobble C / N ratio), and the relationship between a wobbling amount and WCN.

Explanation of symbols

１…プリピット、１′…ピット形成部、２…ピット間溝、２′…グルーブ形成部、２ａ…接合部、３…ピット間ピット、４…ピット間溝、５…角状突起部、１０…ガラス基板、１１，１３…フォトレジスト膜、１２…中間層、１４…スタンパ（Ｎｉスタンパ）、１５…成形板、１６…記録剤、１７…反射層、１８…保護層、Ｉ…潜像、ｌ…レーザ光、Ｉ…情報領域、Ｉ１…記録領域、Ｉ２…ＲＯＭ領域。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Prepit, 1 '... Pit formation part, 2 ... Inter-pit groove, 2' ... Groove formation part, 2a ... Joint part, 3 ... Inter-pit pit, 4 ... Inter-pit groove, 5 ... Square protrusion part, 10 ... Glass substrate, 11, 13 ... Photoresist film, 12 ... Intermediate layer, 14 ... Stamper (Ni stamper), 15 ... Molded plate, 16 ... Recording agent, 17 ... Reflective layer, 18 ... Protective layer, I ... Latent image, l ... laser beam, I ... information area, I1 ... recording area, I2 ... ROM area.

Claims

In an optical information recording medium having a ROM area in which pre-pits are provided in advance, pits shallower than the pre-pits are formed between pre-pits in a row of pre-pits in the ROM area, and the pits between the pre-pits are in both of the two pre-pits. An optical information recording medium which is connected .

Shallower pit than the pre-pit is provided between a pre-pit in the prepit row of the ROM area, the wobbling of pits disposed between said prepits, according to claim 1, characterized in that the larger wobbling amount of the pre-pit of the optical information recording medium.

2. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the ROM area and a recordable RAM area provided with a guide groove are formed .