JP3558273B2 - Method for producing polyurethane foam and polishing sheet - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、均一な微細気泡を有するポリウレタン発泡体の製造方法に関する。本発明の微細気泡ポリウレタン発泡体は、樹脂、ガラスやレンズ、水晶、半導体等の製造用シリコン、電子基板、光学基板等を研磨するに好適な研磨材料として好適に使用可能である。また本発明は前述の製造方法により得られたポリウレタン発泡体を適宜裁断することにより得られる、研磨材料として好適な研磨シートにも関する。
【0002】
【従来の技術】
ポリウレタン発泡体を製造する技術としては、フロンや塩化メチレン等の低沸点の有機溶剤を発泡体形成原料組成物に添加・分散し、重合熱による気化により重合体を発泡させる方法、発泡体形成原料組成物に水を添加・分散し、イソシアネート基と水の反応により発生する炭酸ガスにより重合体を発泡させる方法が周知である。これらの方法で得られる発泡体は、気泡の径(セル径)が平均値で100μmが下限であり、より微細で均一な気泡を有する発泡体を得ることが困難である。
【0003】
微細な気泡を有するポリウレタン発泡体の製造方法としては、以下の方法が知られている。
(1)溶剤可溶性の微粒子をポリウレタン重合体に分散して所定形状に成形した後、成形品を微粒子は溶解するがポリウレタン重合体は溶解しない溶剤に浸漬して微粒子を溶解除去して多孔質ポリウレタン樹脂、即ち発泡体とする方法。
(2)微小中空発泡体をポリウレタン樹脂形成原料組成物に分散する方法。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記(1)の方法によれば、多量の溶剤を必要とし、また微粒子形成素材を含む溶剤を処理する必要があり、コスト的に高価である。しかも、得られた発泡体は連続気泡のみであり、剛性を求められる用途には使用できず、用途が制限される。また、溶出工程や溶剤を乾燥させる工程も必要であり、厚みの大きな成形品を作成するには長時間を要するという課題もある。
【0005】
一方、(2)の技術によれば、微小中空発泡体の分散に際して空気を気泡として巻き込むために、直径が500μm以上のエアボイドと称される微小中空発泡体の径よりも大きな径を有する空隙が発生する。半導体等の製造用シリコン、電子基板の製造に使用する研磨シートについては、形成される回路の高密度化に伴い、高精度の研磨が要求され、研磨精度の低下を招くエアボイドのない研磨シートが要求される。そのために微小中空発泡体を使用する場合には、エアボイド発生防止のために真空脱泡工程が欠かせず、また微小中空発泡体が高価であるために研磨シートに要求される発泡体とするためには多量の微小中空発泡体の使用が必要であり、材料コストが高く、しかも工程が複雑になって全体として製造コストの高いものとなってしまう。
【0006】
本発明の目的は、水等の化学反応性発泡剤やフロン等の気化膨張性発泡剤、溶剤可溶性物質等を使用することなく均一な微細気泡を有し、エアボイドも少なく、かつ製造コストも低いポリウレタン発泡体の製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ポリウレタンを製造する原料液であるイソシアネートプレポリマーを含む第1成分に界面活性剤及び樹脂バルーンを含ませ、これを非反応性気体の存在下に強く攪拌することによってこれらの液が微細な非反応性気体の気泡と樹脂バルーンを含む気泡・バルーン分散液となり、これに鎖延長剤を加えて混合し、重合反応を行わせるとエアボイドの少ない、特に研磨シートに好適な均一な微細気泡構造を有するポリウレタン発泡体が得られることを見いだし、本発明を完成した。
【0008】
本願発明は、イソシアネートプレポリマーを含む第1成分に、樹脂バルーンと、微細気泡ポリウレタン発泡体中に5〜50重量%になるように水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤(以下単に「界面活性剤」とする場合がある)とを添加し、該第1成分を非反応性気体と攪拌して前記非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡・樹脂バルーン分散液とし、前記気泡・樹脂バルーン分散液に分子量500以下の鎖延長剤を混合して硬化させることを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法に関するものである。
【0009】
樹脂バルーンの使用により、非反応性気体の分散により生じる微細気泡が安定化し、均一な発泡体が形成され、必要な可とう性を有しつつ発泡体シートの剛性が高くなるという研磨シートに特に好適な効果が得られる。また本発明の界面活性剤は、非反応性気体の分散により生じる気泡を微細化する作用を有する。さらに、界面活性剤は樹脂バルーンの凝集塊、いわゆるままこの発生を防止する作用も有する。即ち、これら樹脂バルーンと界面活性剤の併用により、研磨シートに特に好適に使用できるポリウレタン発泡体が得られる。
【0010】
本発明の特徴は、周囲の樹脂原料液が発泡状態となるために比重が小さくなり、樹脂バルーンが浮き上がって不均一な発泡体になることが抑制される点にも有る。
【0011】
ここに「非反応性気体」とは、イソシアネート基もしくは活性水素基と反応しない常温気体成分から構成されている気体をいう。ただし、空気のように少量の水分を含んでいてもよい。また、気体は積極的に液中に送り込んでもよく、また攪拌中に気体が自然に巻き込まれる状況のみであってもよい。また微細気泡とは、気泡の径が平均80μm以下のものをいう。本発明の方法によれば平均10μm程度のものまで製造可能である。気泡の径は、使用する界面活性剤の種類やその添加量、攪拌条件、使用する原料の粘度などの条件を適宜選択・調整することによって設定し、制御することが可能である。
【0012】
また樹脂バルーンは、気泡径とほぼ同じ平均20〜100μm程度の粒子径を有するものを使用する。樹脂バルーンの使用量は、ポリウレタン樹脂全量に対して、0.1〜1.0重量%であることが好適である。0.1未満の場合には添加効果が得られず、1を超える場合には発泡体密度が低下して好ましくない。
【0013】
得られる発泡体の密度は0.6〜0.9程度、発泡体の硬度(ASKER C)は85〜100であることが好ましい。特に研磨用の発泡体は、硬度が90〜95であることが好ましい。
【0014】
攪拌時間は、攪拌機の性能、ポリウレタン発泡体を形成する反応原液の粘度等により変動するが、少なくとも30秒、安定した気泡・樹脂バルーン分散液を作成するにはより好ましくは1分程度であり、流動性が確保される限り攪拌可能である。この攪拌時間は、通常のポリウレタン発泡体を製造する攪拌時間より長く必要である。気泡の径は添加する界面活性剤、樹脂バルーンの種類、添加量、攪拌時間等の製造条件により調整可能である。
【0015】
本発明において、イソシアネートプレポリマーを含む第1成分に、前記界面活性剤及び樹脂バルーンを添加することにより、物理的特性に優れ、微細で均一な気泡(セル)を有するポリウレタン発泡体が得られる。
【0016】
イソシアネートプレポリマーの使用により、可とう性を有しつつ得られる発泡体の剛性が高く、しかも耐摩耗性が良好であり、研磨シートとして極めて好適な発泡体が得られる。
【0017】
イソシアネートプレポリマーは、分子量が800〜5000程度のものが加工性、物理的特性等が優れており、好適である。
【0018】
本発明において使用する前記界面活性剤は、水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤であり、このような界面活性剤の使用により、ポリウレタンの物理特性が損なわれることなく、また気泡が微細で均一性なポリウレタン発泡体が安定して得られる。
【0019】
前記界面活性剤は、合成される微細気泡ポリウレタン発泡体中に5〜50重量%になるように添加する。5重量%未満では気泡の微細な発泡体が得られず、50重量%を超えると微細気泡ポリウレタン発泡体の物理特性が低下する。
【0020】
本発明は、上述の製造方法により得られたポリウレタン発泡体を使用した研磨シートに関するものでもあり、シート表面に研磨屑や研磨剤を被研磨物と研磨シートの接触面から外方へ逃がす作用を有する条溝が設けられていることを特徴とする。シートは、ポリウレタン発泡体を目的とするシートの厚みと同じキャビティーを備えた金型に反応成分を流し込んで製造してもよく、また厚いブロック状の発泡体を製造してこれを所定厚みに裁断して製造してもよい。
【0021】
研磨シートは厚さが0.8mm〜2.0mmであり、通常は1.2mm程度の厚さのシートが使用される。
【0022】
条溝の形状は、特に限定されるものではないが、断面が矩形、三角形、U字型、半円状等が例示され、微粉末が通過する断面積を有したものでよい。条溝はシート面上に同心円状、格子状等にて配置される。条溝の深さはシートの厚み等にもよるが1〜2mm程度である。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明においては、ポリウレタンの分野において公知のイソシアネートプレポリマーを限定なく使用することができる。イソシアネートプレポリマーを使用すると、得られる微細気泡ポリウレタン発泡体の物理的特性が優れたものとなる。
【0024】
本発明において前記イソシアネートプレポリマーの原料として使用可能な有機ジイソシアネートとしては、具体的には下記の化合物が例示される。
【0025】
芳香族ジイソシアネート化合物
・4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、1,4−フェニレンジイソシアネート等
脂肪族ジイソシアネート化合物
・エチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)等の脂肪族ジイソシアネート類
・水素添加4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(HMDI、商品名ハイレン−W、ヒュルス社製)、1,4−シクロヘキサンジイソシアネート(CHDI)、イソフォロンジイソシアネート(IPDI)、水素添加m−キシリレンジイソシアネート(HXDI)、ノルボルナンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート類
・キシリレンジイソシアネートート(XDI)、テトラメチルキシリレンジイソシアネート(TMXDI)等
上記の化合物は単独使用してもよく、併用してもよい。
【0026】
上記のジイソシアネート化合物のほかに、3官能以上の多官能ポリイソシアネート化合物も使用可能である。多官能性のイソシアネート化合物としては、デスモジュール−N(バイエル社)や商品名デュラネート(旭化成工業製)として一連のジイソシアネートアダクト体化合物が市販されている。これらの3官能以上のポリイソシアネート化合物は、単独で使用するとプレポリマー合成に際してゲル化しやすいために、ジイソシアネート化合物に添加して使用することが好ましい。
【0027】
本発明において第1成分として使用するイソシアネートプレポリマーは、上記のイソシアネート化合物と後述するポリオール化合物との反応物でありイソシアネート化合物のイソシアネート基(NCO)とポリオール化合物の活性水素基(H* )の当量比NCO/H* が1.6〜2.6の範囲で加熱反応して製造されるNCO基末端のオリゴマーである当量比NCO/H * は1.8〜2.2の範囲であることが好ましい。市販品のイソシアネートプレポリマーの使用も好適である。
【0028】
イソシアネートプレポリマーの合成に使用するポリオール化合物は、少なくとも2以上の活性水素原子を有する有機化合物である。
【0029】
ポリオール化合物が有する活性水素基はイソシアネート基と反応する水素を含む官能基であり、水酸基、第1級もしくは第2級アミノ基、チオール基(SH)などが例示される。
【0030】
ポリオール化合物は、末端基定量法による分子量が500〜4000程度のオリゴマーであり、具体的には下記のものが例示される。
【0031】
1)ポリエーテルポリオール
ポリエーテルポリオールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン等の多価アルコールの1種又は2種以上にプロピレンオキサイドを付加して得られるポリオキシプロピレンポリオール類、エチレンオキサイドを付加して得られるポリオキシエチレンポリオール類、ブチレンオキサイド、スチレンオキサイド等を付加して得られるポリオール類、および、前記多価アルコールにテトラヒドロフランを開環重合により付加して得られるポリオキシテトラメチレンポリオール類が例示できる。上述の環状エーテルを2種以上使用した共重合体も使用可能である。
【0032】
2)ポリエステルポリオール
ポリエステルポリオールとしては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、シクロヘキサンジメタノール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトールあるいはその他の低分子量多価アルコールの1種又は2種以上とグルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、セバシン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、ダイマー酸、水添ダイマー酸あるいはその他の低分子ジカルボン酸やオリゴマー酸の1種又は2種以上との縮合重合体、プロピオラクトン、カプロラクトン、バレロラクトン等の環状エステル類の開環重合体等のポリオール類が例示できる。
【0033】
3)アクリルポリオール
アクリル共重合体において、アクリル酸β−ヒドロキシエチル、アクリル酸β−ヒドロキシプロピル、アクリル酸3−ヒドロキシプロピル、アクリル酸β−ヒドロキシブチル、アクリル酸4−ヒドロキシブチル、アクリル酸β−ヒドロキシペンチル等のアクリル酸のヒドロキシアルキルエステル又はメタクリル酸の同様なヒドロキシアルキルエステル、さらにグリセリン、トリメチロールプロパン等の多価アルコールのアクリル酸モノエステル又はこれらと同様なメタクリル酸モノエステル、N−メチロールアクリルアミド又はN−メチロールメタクリルアミド等の水酸基を有するモノエチレン性不飽和モノマーを共重合モノマー等の1分子中に2以上の水酸基を有するアクリルポリールが使用できる。
【0034】
なお、アクリルポリオールとしては、テレケリックアクリルポリオールも使用可能である。かかるテレケリックアクリルポリオールは、アルコール化合物の存在下に、(メタ)アクリル酸エステルを含む不飽和単量体を有機スルホン酸化合物の存在下に、有機過酸化物含有開始剤により重合して得られる水酸基含有アクリル系重合体である。アルコール化合物としてはメタノール、エタノール等の脂肪族ないし脂環式アルコール類が好ましく、アルコール化合物として単官能のアルコールを使用すると得られる活性水素基含有アクリル系重合体は実質的に2官能となり、アルコール化合物としてジオールを使用すると活性水素基含有アクリル系重合体は実質的に4官能となる。
【0035】
4)その他のポリオール
その他、フェノールレジンポリオール、エポキシポリオール、ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール、ポリエステル−ポリエーテルポリオール、アクリロニトリルやスチレン等の重合体をビニル付加ないし分散せしめたポリマーポリオール、ウレア分散ポリオール、カーボネートポリオール等が本発明のポリオールとして使用することが可能である。
【0036】
また、上記に例示のポリオール化合物をp−アミノ安息香酸と縮合し、活性水素基を芳香族アミノ基としたポリオール化合物も使用可能である。
【0037】
本発明に使用する鎖延長剤は、分子量が500程度以下の化合物である。鎖延長剤としては、具体的にはエチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、トリメチロールプロパン等に代表される脂肪族系低分子グリコールやトリオール類、メチレンビス−o−クロルアニリン(MOCA)、ジシクロヘキシルメタン−4,4’−ジアミン等の芳香族ジアミン類、1,4−ビスヒドロキシエトキシベンゼン(キュアミンH(イハラケミカル社製))、m−キシリレンジオール(三菱ガス化学社製)等の芳香族系ジオール類等が挙げられる
【0038】
微細気泡を形成するために使用される非反応性気体としては、可燃性でないものが好ましく、具体的には窒素、酸素、炭酸ガス、ヘリウムやアルゴン等の希ガスやこれらの混合気体が例示され、乾燥して水分を除去した空気の使用がコスト的にも最も好ましい。
【0039】
本発明において使用するシリコン系ノニオン界面活性剤としては、上述の第1成分を非反応性の気体の存在下に攪拌した場合に、微細な気泡を安定的に形成するものは限定なく使用可能である。
【0040】
特に、前記イソシアネートプレポリマーとの相溶性が良い点でポリウレタンの技術分野において整泡剤として使用されている界面活性剤であって、上述のようにイソシアネート基と反応する水酸基等の活性水素基を有しないものが使用される。具体的には、シリコン整泡剤SH−190、SH−192(トーレダウコーニングシリコン(株)製)、L−5340(日本ユニカー(株))等が例示される。
【0041】
本発明において、非反応性気体を微細気泡状にして第1成分に分散させる攪拌装置としては、公知の攪拌装置は特に限定なく使用可能であり、具体的には、ホモジナイザー、ホーバルトミキサー、ディゾルバー、2軸遊星型ミキサー(プラネタリーミキサー)等が例示される。ただし、攪拌により強い温度上昇を起こす攪拌装置は、混合分散液の温度が上昇するために好ましくない。攪拌装置の攪拌翼の形状も特に限定されないが、ホイッパー型の攪拌翼の使用が微細気泡が得られ、好ましい。
【0042】
なお、本発明においては、気泡・樹脂バルーン分散液を作成する攪拌と、鎖延長剤を添加して混合する攪拌を行うが、後段の攪拌は、特に気泡を形成する攪拌でなくてもよく、大きな気泡を巻き込まない攪拌装置の使用が好ましい。このような攪拌装置としては、遊星型ミキサーが好適である。また、前段と後段の攪拌装置を同一の攪拌装置を使用しても支障はなく、必要に応じて攪拌翼の回転速度を調整する等の攪拌条件の調整を行って使用することも好適である。
【0043】
気泡・樹脂バルーン分散液を製造する条件は、微細な気泡が形成され、所定形状の硬化物が得られる限り特に限定されるものではないが、温度は、第1成分、鎖延長剤の融点以上であり、イソシアネート基と活性水素基の硬化反応が急速に進行しない温度以下であることが必要である。好ましくは0℃〜140℃、より好ましくは、10〜120℃である。なお、イソシアネート基と活性水素基の硬化反応は発熱反応であり、選択するイソシアネートプレポリマー鎖延長剤の種類、組合せ等により発熱の程度は異なる。反応熱による系の温度上昇が大きいと、気泡・樹脂バルーン分散液中の気泡が膨張するため好ましくなく、反応熱の小さな反応系を採用するか、もしくは反応熱の大きな反応系を使用した場合は、十分な温度調節を行うことが好ましい。
【0044】
本発明のポリウレタン発泡体の製造方法においては、気泡分散液を型に流し込んで流動しなくなるまで反応した発泡体を、加熱、ポストキュアーすることは、発泡体の物理的特性を向上する効果があり、極めて好適である。金型に気泡分散液を流し込んで直ちに加熱オーブン中に入れてポストキュアーを行う条件としてもよく、そのような条件下でも直ぐに反応成分に熱が伝達されないので、気泡径が大きくなることはない。硬化反応は、常圧で行うことが気泡形状が安定するために好ましい。
【0045】
本発明においては、ポリウレタン反応を促進する触媒を使用してもかまわない。ただし、微細気泡形成に十分な攪拌時間と所定形状の型に流し込む流動時間を確保する必要があり、触媒の種類、添加量はこれらを考慮して選択する。
【0046】
本発明の微細気泡ポリウレタン発泡体の製造は、容器に各成分を計量して投入し、攪拌するバッチ方式であっても、また攪拌装置に各成分と非反応性気体を連続して供給して攪拌し、気泡・樹脂バルーン分散液を送り出して成形品を製造する連続生産方式であってもよい。
【0047】
本発明においては、ポリウレタン形成原料に加えて他の成分を添加してもよい。具体的には、樹脂微粉末や無機物質の微粉末等の充填材、硬化反応速度を調整するための触媒又は遅延剤、色素や顔料等の着色剤等が例示される。
【0048】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
(実施例1)
溶融して80℃に温度調整したアジプレンL−325(イソシアネート末端プレポリマー、NCO=9.25% ユニロイヤル社製)100gに界面活性剤としてシリコン整泡剤SH−192(トーレダウコーニングシリコン(株)製)20g、及び樹脂バルーンとしてエクスパンセル(EXPANCELL)551DE(日本フィライト社製)0.3gを添加し(第1成分)、泡立てミキサー(攪拌翼回転数=3500rpm)にて約5分間、クリーム状(メレンゲ状態)になるまで攪拌し、気泡・樹脂バルーン分散液1を得た。この気泡・樹脂バルーン分散液1に同じ泡立てミキサーを使用しつつ、120℃に溶融・保温したキュアミンMT(メチレンビス−o−クロルアニリン、イハラケミカル(株)製)(鎖延長剤)を26.6g投入し、約2分間混合した。混合液を流動性がある可使時間内にオープンモールドに注型して硬化させ、110℃±10℃に温度調節したオーブン中で6時間ポストキュアーを行って微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して13.6重量%、樹脂バルーンは0.2重量%であった。
【0049】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が0.75g/cm 、硬度(ASKER C)が94、平均セル径が50μmの均一な気泡を有するものであった。
【0050】
(実施例2)
イソシアネート末端プレポリマーとして、アジプレンL−315(NCO=9.25% ユニロイヤル社製)を使用した他は実施例1と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して13.6重量%、樹脂バルーンは0.2重量%であった。
【0051】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が0.75g/cm 、硬度(ASKER C)が95、平均セル径が40μmの均一な気泡を有するものであった。
【0052】
(実施例3)
イソシアネート末端プレポリマーとして、アジプレンLF−751D(NCO=9.25% ユニロイヤル社製)を使用した他は実施例1と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して13.6重量%、樹脂バルーンは0.2重量%であった。
【0053】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が0.75g/cm 、硬度(ASKER C)が97、平均セル径が40μmの均一な気泡を有するものであった。
【0054】
(実施例4)
エクスパンセル(EXPANCELL)551DE(日本フィライト社製)の添加量を0.9gに変更した以外は実施例1と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して13.6重量%、樹脂バルーンは0.6重量%であった。
【0055】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が0.60g/cm 、硬度(ASKER C)が94、平均セル径が50μmの均一な気泡を有するものであった。
【0056】
(実施例5)
シリコン整泡剤SH−192の添加量を15gに変更した以外は実施例1と同様にして微細気泡ポリウレタン発泡体を作成した。使用した界面活性剤は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して10.6重量%、樹脂バルーンは0.2重量%であった。

【0057】
得られた微細気泡ポリウレタン発泡体は、密度が0.75g/cm 、硬度(ASKER C)が94、平均セル径が50μmの均一な気泡を有するものであった。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing a polyurethane foam having uniform fine cells. The microcellular polyurethane foam of the present invention can be suitably used as a polishing material suitable for polishing resin, glass for manufacturing lenses such as lenses, quartz, semiconductors, electronic substrates, optical substrates, and the like. The present invention also relates to a polishing sheet suitable as a polishing material, which is obtained by appropriately cutting the polyurethane foam obtained by the above-mentioned production method.
[0002]
[Prior art]
Techniques for producing polyurethane foam include a method of adding and dispersing a low-boiling organic solvent such as chlorofluorocarbon and methylene chloride to a foam-forming raw material composition, foaming the polymer by vaporization by heat of polymerization, and a foam-forming raw material. A method of adding and dispersing water to a composition and foaming a polymer by carbon dioxide gas generated by a reaction between an isocyanate group and water is well known. The foam obtained by these methods has an average bubble diameter (cell diameter) of 100 μm as a lower limit, and it is difficult to obtain a foam having finer and uniform cells.
[0003]
The following method is known as a method for producing a polyurethane foam having fine cells.
(1) After dispersing solvent-soluble fine particles in a polyurethane polymer and molding into a predetermined shape, the molded article is immersed in a solvent in which the fine particles dissolve but the polyurethane polymer does not dissolve, and the fine particles are dissolved and removed to remove the porous polyurethane. A method of forming a resin, that is, a foam.
(2) A method of dispersing a minute hollow foam in a raw material composition for forming a polyurethane resin.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the above method (1), a large amount of solvent is required, and a solvent containing a fine particle forming material needs to be treated, which is costly. Moreover, the obtained foam is only open cells, and cannot be used for applications requiring rigidity, and the applications are limited. In addition, an elution step and a step of drying the solvent are also required, and there is a problem that it takes a long time to produce a molded article having a large thickness.
[0005]
On the other hand, according to the technique (2), a void having a diameter larger than the diameter of a micro hollow foam called an air void having a diameter of 500 μm or more is formed in order to entrain air as bubbles when dispersing the micro hollow foam. appear. Silicon for manufacturing semiconductors and the like, and polishing sheets used for the production of electronic substrates are required to have high-precision polishing in accordance with the increase in the density of circuits to be formed. Required. Therefore, when using a micro hollow foam, a vacuum defoaming step is indispensable to prevent air voids, and because the micro hollow foam is expensive, it is required to be a foam required for an abrasive sheet. Requires the use of a large amount of fine hollow foams, which results in high material costs, complicated processes, and high production costs as a whole.
[0006]
An object of the present invention is to have uniform fine bubbles without using a chemically reactive foaming agent such as water or a vapor-expandable foaming agent such as chlorofluorocarbon, a solvent-soluble substance, etc., reduce air voids, and reduce manufacturing costs. An object of the present invention is to provide a method for producing a polyurethane foam.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The inventor of the present invention included a surfactant and a resin balloon in a first component containing an isocyanate prepolymer, which is a raw material liquid for producing polyurethane, and stirred these liquids vigorously in the presence of a non-reactive gas. It becomes a bubble / balloon dispersion containing fine non-reactive gas bubbles and resin balloons, and a chain extender is added and mixed with this to cause a polymerization reaction. It has been found that a polyurethane foam having a fine cell structure can be obtained, and the present invention has been completed.
[0008]
The present invention relates to a first component containing an isocyanate prepolymer, a resin balloon, and a silicon-based nonionic surfactant having no hydroxyl group so as to be 5 to 50% by weight in a microcellular polyurethane foam (hereinafter simply referred to as “surfactant”). ), And the first component is stirred with a non-reactive gas to disperse the non-reactive gas as fine bubbles to form a bubble / resin balloon dispersion. The present invention relates to a method for producing a microcellular polyurethane foam , comprising mixing a balloon dispersion with a chain extender having a molecular weight of 500 or less and curing the mixture.
[0009]
The use of a resin balloon stabilizes fine bubbles generated by the dispersion of non-reactive gas, forms a uniform foam, and increases the rigidity of the foam sheet while having the necessary flexibility. Suitable effects can be obtained. Further, the surfactant of the present invention has an action of miniaturizing bubbles generated by dispersion of a non-reactive gas. Further, the surfactant also has an action of preventing the occurrence of aggregates of resin balloons, so-called as-is. That is, by using these resin balloons and a surfactant in combination, a polyurethane foam which can be particularly suitably used for an abrasive sheet is obtained.
[0010]
A feature of the present invention is that the specific gravity is reduced because the surrounding resin raw material liquid is in a foaming state, so that the resin balloon is prevented from rising and becoming an uneven foam.
[0011]
Here, the “non-reactive gas” refers to a gas composed of a normal-temperature gas component that does not react with an isocyanate group or an active hydrogen group. However, it may contain a small amount of water like air. Further, the gas may be positively sent into the liquid, or the gas may naturally be entrained during the stirring. Further, the fine bubbles refer to those having an average diameter of 80 μm or less. According to the method of the present invention, it is possible to manufacture an article having an average of about 10 μm. The bubble diameter can be set and controlled by appropriately selecting and adjusting conditions such as the type and amount of surfactant used, the amount of stirring, and the viscosity of the raw material used.
[0012]
The resin balloon used has a particle diameter of about 20 to 100 μm on average, which is almost the same as the bubble diameter. The amount of the resin balloon used is preferably 0.1 to 1.0% by weight based on the total amount of the polyurethane resin. When it is less than 0.1, the effect of addition cannot be obtained, and when it exceeds 1, the density of the foam decreases, which is not preferable.
[0013]
The density of the obtained foam is preferably about 0.6 to 0.9, and the hardness (ASKER C) of the foam is preferably 85 to 100. In particular, the polishing foam preferably has a hardness of 90 to 95.
[0014]
The stirring time varies depending on the performance of the stirrer, the viscosity of the reaction solution for forming the polyurethane foam, and the like, but is preferably at least 30 seconds , and more preferably about 1 minute to create a stable bubble / resin balloon dispersion. Stirring is possible as long as fluidity is ensured. This stirring time needs to be longer than the stirring time for producing a usual polyurethane foam. The diameter of the bubbles can be adjusted by the production conditions such as the surfactant to be added, the type of the resin balloon, the amount added, and the stirring time.
[0015]
In the present invention, by adding the surfactant and the resin balloon to the first component containing the isocyanate prepolymer , a polyurethane foam having excellent physical properties and having fine and uniform cells (cells) can be obtained.
[0016]
By using the isocyanate prepolymer, a foam having high rigidity and good abrasion resistance while having flexibility can be obtained, and a foam extremely suitable as a polishing sheet can be obtained.
[0017]
The isocyanate prepolymer having a molecular weight of about 800 to 5,000 is preferable because of its excellent workability and physical properties.
[0018]
The surfactant used in the present invention is a silicon-based nonionic surfactant having no hydroxyl group. By using such a surfactant, the physical properties of the polyurethane are not impaired, and the bubbles are fine and uniform. Stable polyurethane foam is obtained.
[0019]
The surfactant is added in an amount of 5 to 50% by weight in the microcellular polyurethane foam to be synthesized. If it is less than 5% by weight, a foam having fine cells can not be obtained, and if it exceeds 50% by weight, the physical properties of the polyurethane foam having fine cells deteriorate .
[0020]
The present invention also relates to a polishing sheet using the polyurethane foam obtained by the above-described production method, and has an action of releasing abrasive dust and abrasives to the surface of the sheet from the contact surface between the object to be polished and the polishing sheet outward. Characterized in that a groove is provided. The sheet may be manufactured by pouring the reaction components into a mold having a cavity having the same thickness as the thickness of the sheet intended for the polyurethane foam, or a thick block-shaped foam may be manufactured to a predetermined thickness. It may be manufactured by cutting.
[0021]
The polishing sheet has a thickness of 0.8 mm to 2.0 mm, and usually a sheet having a thickness of about 1.2 mm is used.
[0022]
Although the shape of the groove is not particularly limited, the cross section is exemplified by a rectangle, a triangle, a U-shape, a semicircle, or the like, and may have a cross-sectional area through which the fine powder passes. The grooves are arranged on the sheet surface in a concentric shape, a lattice shape, or the like. The depth of the groove depends on the thickness of the sheet and the like, but is about 1 to 2 mm.
[0023]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In the present invention, an isocyanate prepolymer known in the field of polyurethane can be used without limitation. The use of isocyanate prepolymers results in excellent physical properties of the resulting microcellular polyurethane foam.
[0024]
Specific examples of the organic diisocyanate that can be used as a raw material of the isocyanate prepolymer in the present invention include the following compounds.
[0025]
Aromatic diisocyanate compounds. Aliphatic diisocyanate compounds such as 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, and 1,4-phenylene diisocyanate. Aliphatic diisocyanates such as ethylene diisocyanate, 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate (HDI) and hydrogenated 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (HMDI, trade name Hylen-W, Hüls) Co., Ltd.), 1,4-cyclohexane diisocyanate (CHDI), isophorone diisocyanate (IPDI), hydrogenated m-xylylene diisocyanate ( XDI), alicyclic diisocyanates, xylylene diisocyanate over preparative such norbornane diisocyanate (XDI), tetramethylxylylene diisocyanate (TMXDI), etc. The above compounds may be used alone or in combination.
[0026]
In addition to the above diisocyanate compounds, trifunctional or higher polyfunctional polyisocyanate compounds can also be used. As polyfunctional isocyanate compounds, a series of diisocyanate adduct compounds are commercially available as Desmodur-N (Bayer) or trade name duranate (manufactured by Asahi Kasei Kogyo). It is preferable to use these tri- or more functional polyisocyanate compounds by adding them to the diisocyanate compound, since they are apt to gel during the synthesis of the prepolymer when used alone.
[0027]
The isocyanate prepolymer used as the first component in the present invention is a reaction product of the above-described isocyanate compound and a polyol compound described below , and is formed of an isocyanate group (NCO) of the isocyanate compound and an active hydrogen group (H * ) of the polyol compound. It is an oligomer at the terminal of the NCO group which is produced by a heating reaction with an equivalent ratio NCO / H * in the range of 1.6 to 2.6. Equivalent ratio NCO / H * Is preferably in the range of 1.8 to 2.2 . The use of commercially available isocyanate prepolymers is also suitable.
[0028]
The polyol compound used for the synthesis of the isocyanate prepolymer is an organic compound having at least two or more active hydrogen atoms.
[0029]
The active hydrogen group contained in the polyol compound is a functional group containing hydrogen that reacts with an isocyanate group, and examples thereof include a hydroxyl group, a primary or secondary amino group, and a thiol group (SH).
[0030]
The polyol compound is an oligomer having a molecular weight of about 500 to 4000 as determined by a terminal group determination method, and specific examples thereof include the following.
[0031]
1) Polyether polyol Polyether polyol is obtained by adding propylene oxide to one or more polyhydric alcohols such as ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, glycerin, and trimethylolpropane. Oxypropylene polyols, polyoxyethylene polyols obtained by adding ethylene oxide, butylene oxide, polyols obtained by adding styrene oxide, and the like, and tetrahydrofuran is added to the polyhydric alcohol by ring-opening polymerization. The obtained polyoxytetramethylene polyols can be exemplified. Copolymers using two or more of the above-mentioned cyclic ethers can also be used.
[0032]
2) Polyester polyol As the polyester polyol, one or two of ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, pentanediol, hexanediol, cyclohexanedimethanol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol or other low molecular weight polyhydric alcohols are used. Condensation of the above with one or more of glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, sebacic acid, terephthalic acid, isophthalic acid, dimer acid, hydrogenated dimer acid or other low molecular dicarboxylic acids or oligomeric acids Examples include polyols such as polymers, ring-opening polymers of cyclic esters such as propiolactone, caprolactone, and valerolactone.
[0033]
3) Acrylic polyol In an acrylic copolymer, β-hydroxyethyl acrylate, β-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, β-hydroxybutyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, β-hydroxy acrylate Hydroxyalkyl esters of acrylic acid such as pentyl or similar hydroxyalkyl esters of methacrylic acid, further glycerin, acrylic acid monoesters of polyhydric alcohols such as trimethylolpropane or methacrylic acid monoesters similar thereto, N-methylolacrylamide or An acrylic polyl having two or more hydroxyl groups in one molecule such as a copolymerized monomer of a monoethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group such as N-methylol methacrylamide can be used.
[0034]
In addition, a telechelic acrylic polyol can be used as the acrylic polyol. Such a telechelic acrylic polyol is obtained by polymerizing an unsaturated monomer containing a (meth) acrylic ester with an organic peroxide-containing initiator in the presence of an alcohol compound in the presence of an organic sulfonic acid compound. It is a hydroxyl group-containing acrylic polymer. As the alcohol compound, an aliphatic or alicyclic alcohol such as methanol or ethanol is preferable. When a monofunctional alcohol is used as the alcohol compound, the active hydrogen group-containing acrylic polymer obtained is substantially bifunctional, and the alcohol compound When a diol is used, the active hydrogen group-containing acrylic polymer becomes substantially tetrafunctional.
[0035]
4) Other polyols In addition, phenolic resin polyols, epoxy polyols, polybutadiene polyols, polyisoprene polyols, polyester-polyether polyols, polymer polyols obtained by vinyl addition or dispersion of polymers such as acrylonitrile and styrene, urea-dispersed polyols, carbonate polyols And the like can be used as the polyol of the present invention.
[0036]
Further, a polyol compound obtained by condensing the above exemplified polyol compound with p-aminobenzoic acid and having an active hydrogen group as an aromatic amino group can also be used.
[0037]
The chain extender used in the present invention is a compound having a molecular weight of about 500 or less. Specific examples of the chain extender include aliphatic low molecular weight glycols represented by ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, and trimethylolpropane, triols, and methylenebis-o-chloroaniline (MOCA). , Aromatic diamines such as dicyclohexylmethane-4,4'-diamine, 1,4-bishydroxyethoxybenzene (Cureamine H (manufactured by Ihara Chemical Co.)), m-xylylene diol (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company) and the like. aromatic diols, and the like.
[0038]
The non-reactive gas used to form the microbubbles is preferably a non-flammable gas, specifically, a rare gas such as nitrogen, oxygen, carbon dioxide, helium or argon, or a mixed gas thereof. The use of air from which water has been removed by drying is most preferable in terms of cost.
[0039]
As the silicon-based nonionic surfactant used in the present invention, those capable of stably forming fine bubbles when the above-mentioned first component is stirred in the presence of a non-reactive gas can be used without limitation. is there.
[0040]
In particular, a surfactant used as a foam stabilizer in the technical field of polyurethane in that the compatibility with the isocyanate prepolymer is good, and an active hydrogen group such as a hydroxyl group that reacts with an isocyanate group as described above. Those that do not have are used. Specific examples include silicone foam stabilizers SH-190 and SH-192 (manufactured by Toray Dow Corning Silicon Co., Ltd.) and L-5340 (Nihon Unicar Co., Ltd.).
[0041]
In the present invention, as a stirring device for dispersing the non-reactive gas into fine bubbles in the first component , a known stirring device can be used without particular limitation, and specifically, a homogenizer, a Hobart mixer, a dissolver, and the like. And a two-axis planetary mixer (planetary mixer). However, a stirrer that causes a strong temperature rise by stirring is not preferable because the temperature of the mixed dispersion increases. The shape of the stirring blade of the stirring device is not particularly limited, but the use of a whipper-type stirring blade is preferable because fine bubbles can be obtained.
[0042]
In the present invention, the stirring for preparing the bubble / resin balloon dispersion and the stirring for adding and mixing the chain extender are performed, but the stirring at the subsequent stage may not be the stirring for forming bubbles in particular. The use of a stirrer that does not entrap large bubbles is preferred. As such a stirring device, a planetary mixer is suitable. Further, there is no problem even if the same agitator is used for the former stage and the latter stage, and it is also preferable to adjust the stirring conditions such as adjusting the rotation speed of the stirring blade as necessary and use the same. .
[0043]
The conditions for producing the bubble / resin balloon dispersion are not particularly limited as long as fine bubbles are formed and a cured product of a predetermined shape is obtained, but the temperature is not lower than the melting point of the first component, the chain extender. The temperature must be lower than the temperature at which the curing reaction between the isocyanate group and the active hydrogen group does not proceed rapidly. Preferably it is 0 to 140 degreeC, More preferably, it is 10 to 120 degreeC. The curing reaction between the isocyanate group and the active hydrogen group is an exothermic reaction, and the degree of heat generation differs depending on the type and combination of the isocyanate prepolymer and the chain extender selected. If the temperature rise of the system due to the heat of reaction is large, the bubbles in the bubble / resin balloon dispersion expand, which is not preferable.If a reaction system with a small reaction heat is used or a reaction system with a large reaction heat is used, It is preferable to perform sufficient temperature control.
[0044]
In the method for producing a polyurethane foam of the present invention, heating and post-curing the foam that has reacted until the foam dispersion is poured into the mold and no longer flows has the effect of improving the physical properties of the foam. Is very suitable. The conditions in which the foam dispersion is poured into a mold and immediately placed in a heating oven to perform post-curing may be employed. Even under such conditions, heat is not immediately transmitted to the reaction components, so that the bubble diameter does not increase. The curing reaction is preferably performed at normal pressure because the bubble shape is stabilized.
[0045]
In the present invention, a catalyst that promotes the polyurethane reaction may be used. However, it is necessary to secure a sufficient stirring time for the formation of fine bubbles and a flow time for pouring into a mold having a predetermined shape, and the type and amount of the catalyst are selected in consideration of these.
[0046]
The production of the microcellular polyurethane foam of the present invention is a batch method in which each component is weighed and charged into a container and stirred, or the components are continuously supplied with a non-reactive gas to a stirring device. A continuous production system in which a molded product is manufactured by stirring and sending out a bubble / resin balloon dispersion may be used.
[0047]
In the present invention, other components may be added in addition to the polyurethane-forming raw materials. Specific examples include fillers such as resin fine powder and inorganic fine powder, catalysts or retarders for adjusting the curing reaction rate, and coloring agents such as pigments and pigments.
[0048]
【Example】
Hereinafter, examples of the present invention will be described.
(Example 1)
As a surfactant, 100 g of adiprene L-325 (isocyanate-terminated prepolymer, NCO = 9.25% manufactured by Uniroyal Corporation) melted and adjusted to 80 ° C. as a surfactant, a silicone foam stabilizer SH-192 (Toray Dow Corning Silicon Co., Ltd.) )) And 0.3 g of EXPANCEL 551DE (manufactured by Nippon Philite Co., Ltd.) as a resin balloon (first component) , and the mixture was stirred for about 5 minutes by a whipping mixer (stirring blade rotation speed = 3500 rpm). The mixture was stirred until it became a cream (meringue state) to obtain a bubble / resin balloon dispersion 1. 26.6 g of Curamine MT (methylene bis-o-chloroaniline, manufactured by Ihara Chemical Co., Ltd.) (chain extender) melted and kept at 120 ° C. while using the same whipping mixer for the bubble / resin balloon dispersion 1. Charged and mixed for about 2 minutes. The mixture was cast into an open mold within a usable life having fluidity, cured, and post-cured in an oven controlled at 110 ° C. ± 10 ° C. for 6 hours to produce a microcellular polyurethane foam. The surfactant used was 13.6 % by weight based on the total amount of the first component and the chain extender , and the resin balloon was 0.2 % by weight.
[0049]
The resulting microcellular polyurethane foam had uniform cells having a density of 0.75 g / cm 3 , a hardness (ASKER C) of 94, and an average cell diameter of 50 μm.
[0050]
(Example 2)
A microcellular polyurethane foam was prepared in the same manner as in Example 1 except that adiprene L-315 (NCO = 9.25% manufactured by Uniroyal) was used as the isocyanate-terminated prepolymer. The surfactant used was 13.6 % by weight based on the total amount of the first component and the chain extender , and the resin balloon was 0.2 % by weight.
[0051]
The obtained microcellular polyurethane foam had uniform cells having a density of 0.75 g / cm 3 , a hardness (ASKER C) of 95, and an average cell diameter of 40 μm.
[0052]
(Example 3)
A microcellular polyurethane foam was prepared in the same manner as in Example 1 except that adiprene LF-751D (NCO = 9.25% manufactured by Uniroyal) was used as the isocyanate-terminated prepolymer. The surfactant used was 13.6 % by weight based on the total amount of the first component and the chain extender , and the resin balloon was 0.2 % by weight.
[0053]
The resulting microcellular polyurethane foam had uniform cells having a density of 0.75 g / cm 3 , a hardness (ASKER C) of 97, and an average cell diameter of 40 μm.
[0054]
(Example 4)
A microcellular polyurethane foam was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of EXPANCEL 551DE (manufactured by Nippon Philite) was changed to 0.9 g. The surfactant used was 13.6 % by weight based on the total amount of the first component and the chain extender , and the resin balloon was 0.6 % by weight.
[0055]
The resulting microcellular polyurethane foam had uniform cells with a density of 0.60 g / cm 3 , a hardness (ASKER C) of 94, and an average cell diameter of 50 μm.
[0056]
(Example 5)
A microcellular polyurethane foam was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the silicone foam stabilizer SH-192 was changed to 15 g. The surfactant used was 10.6 % by weight based on the total amount of the first component and the chain extender , and the resin balloon was 0.2 % by weight.

[0057]
The resulting microcellular polyurethane foam had uniform cells having a density of 0.75 g / cm 3 , a hardness (ASKER C) of 94, and an average cell diameter of 50 μm.

Claims (5)

イソシアネートプレポリマーを含む第1成分に、樹脂バルーンと、微細気泡ポリウレタン発泡体中に5〜50重量%になるように水酸基を有しないシリコン系ノニオン界面活性剤とを添加し、該第1成分を非反応性気体と攪拌して前記非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡・樹脂バルーン分散液とし、前記気泡・樹脂バルーン分散液に分子量500以下の鎖延長剤を混合して硬化させることを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法。 To a first component containing an isocyanate prepolymer, a resin balloon and a silicon-based nonionic surfactant having no hydroxyl group are added so as to be 5 to 50% by weight in the fine cell polyurethane foam, and the first component is added . Stirring with the non-reactive gas to disperse the non-reactive gas as fine bubbles to form a bubble / resin balloon dispersion , and mixing and curing a chain extender having a molecular weight of 500 or less with the bubble / resin balloon dispersion. A method for producing a microcellular polyurethane foam, comprising: 前記樹脂バルーンの添加量は、第1成分と鎖延長剤の合計量に対して0.1〜1.0重量%である請求項1記載の微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法。The method for producing a microcellular polyurethane foam according to claim 1, wherein the amount of the resin balloon added is 0.1 to 1.0% by weight based on the total amount of the first component and the chain extender . 請求項1又は2記載の製造方法により得られる微細気泡ポリウレタン発泡体。A microcellular polyurethane foam obtained by the production method according to claim 1. 請求項3記載の微細気泡ポリウレタン発泡体からなる研磨シート。A polishing sheet comprising the microcellular polyurethane foam according to claim 3. シート表面に条溝が設けられている請求項4記載の研磨シート。The polishing sheet according to claim 4, wherein a groove is provided on the sheet surface.
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