JP3476212B2 - Liquid crystal display - Google Patents

Liquid crystal display

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JP3476212B2
JP3476212B2 JP08583293A JP8583293A JP3476212B2 JP 3476212 B2 JP3476212 B2 JP 3476212B2 JP 08583293 A JP08583293 A JP 08583293A JP 8583293 A JP8583293 A JP 8583293A JP 3476212 B2 JP3476212 B2 JP 3476212B2
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弘喜 中村
陽一 増田
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、一対の基板間に液晶層
が保持されて成る液晶表示装置に係り、特に各表示画素
に選択的に駆動電圧を印加するためのスイッチ素子が設
けられて成るて液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device in which a liquid crystal layer is held between a pair of substrates, and more particularly, a switch element for selectively applying a drive voltage to each display pixel is provided. The present invention relates to a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】複数の表示画素がマトリクス状に配置さ
れ、各表示画素に選択的に映像信号電圧を印加するため
のスイッチ素子が設けられて成る液晶表示装置は、軽
量、低消費電力、更にクロストークのない良好な表示画
像を得ることができる。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device in which a plurality of display pixels are arranged in a matrix and a switch element for selectively applying a video signal voltage to each display pixel is provided is lightweight, has low power consumption, and A good display image without crosstalk can be obtained.

【0003】そして、近年では、各表示画素の微細ピッ
チ化に伴い液晶パネルと駆動回路との接続の煩わしさを
解消するべく、同一基板上に駆動回路が一体に形成され
た液晶表示装置が注目を集めている。
In recent years, attention has been paid to a liquid crystal display device in which a drive circuit is integrally formed on the same substrate in order to eliminate the inconvenience of connection between the liquid crystal panel and the drive circuit due to the finer pitch of each display pixel. Are gathering.

【0004】このような各表示画素の微細ピッチ化に対
処して、いかにして高い開口率を確保するかが液晶表示
装置に対する大きな技術課題となってきている。このよ
うな微細ピッチ化に対しても高い開口率の確保が可能な
液晶表示装置が、例えば「SID 90 DIGEST P.315-P.318;
New Technologies for Compact TFT LCDs with High-Ap
erture Ratio」に開示されている。
A major technical problem for a liquid crystal display device is how to secure a high aperture ratio in response to such a fine pitch of each display pixel. A liquid crystal display device capable of securing a high aperture ratio even with such a fine pitch is, for example, “SID 90 DIGEST P.315-P.318;
New Technologies for Compact TFT LCDs with High-Ap
erture Ratio ”.

【0005】以下に、等価回路図を示す図5、概略正面
図を示す図6を参照して簡単に説明する。この液晶表示
装置(901) は、一体的に駆動回路部が形成されたマトリ
クスアレイ基板(図示せず)と対向基板(図示せず)と
の間に液晶層(803) が保持されて成っている。
A brief description will be given below with reference to FIG. 5 showing an equivalent circuit diagram and FIG. 6 showing a schematic front view. This liquid crystal display device (901) comprises a liquid crystal layer (803) held between a matrix array substrate (not shown) integrally formed with a drive circuit section and a counter substrate (not shown). There is.

【0006】マトリクスアレイ基板は、絶縁基板(図示
せず)上に図6に示すように複数本の走査線(713a),(71
3b) と複数本の信号線(711) とがマトリクス状に配置さ
れており、各交点部分にスイッチ素子として薄膜トラン
ジスタ(以下、TFTと略称する。)(721a),(721b) を
介して画素電極(751a),(751b) が配置されている。
The matrix array substrate comprises a plurality of scanning lines (713a), (71) on an insulating substrate (not shown) as shown in FIG.
3b) and a plurality of signal lines (711) are arranged in a matrix, and pixel electrodes are formed at the respective intersections through thin film transistors (hereinafter abbreviated as TFT) (721a) and (721b) as switch elements. (751a) and (751b) are placed.

【0007】この液晶表示装置(901) は2本の走査線(7
13a),(713b) が1組として近接配置されている。また、
走査線(713a),(713b) を介することなく信号線(711) に
沿って隣合う画素電極(751a),(751b) に共通な補助容量
線(821) が設けられている。
This liquid crystal display device (901) has two scanning lines (7
13a) and (713b) are closely arranged as one set. Also,
A storage capacitor line (821) common to the pixel electrodes (751a) and (751b) adjacent to each other is provided along the signal line (711) without passing through the scanning lines (713a) and (713b).

【0008】このような構成を採用することにより、第
1に補助容量線(821) 数を従来の約半数に低減でき、第
2に近接配置された1単位の走査線(713a),(713b) に接
続される1単位のTFT(721a),(721b) と信号線(711)
との接続を共通化することによりコンタクトホール(73
0) 数も約半数に低減できる。
By adopting such a structure, firstly, the number of auxiliary capacitance lines (821) can be reduced to about half that of the conventional one, and secondly, the scanning lines (713a), (713b) of one unit closely arranged. ) Connected to 1 unit TFT (721a), (721b) and signal line (711)
The contact hole (73
0) The number can be reduced to about half.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、点順次駆
動、即ち映像信号を各信号線(711) に順次あるいは複数
本の信号線(711) から成るブロック毎に順次印加する液
晶表示装置(901) においては、各信号線(711) に印加さ
れる映像信号を例えば1水平走査期間といった所定期間
保持するために、各信号線(711) に接続される信号電位
保持容量(Cv)を形成する必要がある。
By the way, a dot-sequential drive, that is, a liquid crystal display device (901) for sequentially applying a video signal to each signal line (711) or for each block composed of a plurality of signal lines (711). In order to hold the video signal applied to each signal line (711) for a predetermined period such as one horizontal scanning period, it is necessary to form a signal potential holding capacitor (Cv) connected to each signal line (711). There is.

【0010】上述したような従来の液晶表示装置(901)
においては、表示領域内部に形成される画素電位保持容
量(Cv)は、信号線(711) と走査線(713a),(713b) との
交差部分と、信号線(711) と補助用量線(821) とのわず
かな交差部分でしかない。従って、このような液晶表示
装置(901) においては、表示領域周辺に十分な信号電位
保持容量(Cv)を形成する必要があった。
Conventional liquid crystal display device (901) as described above
In, the pixel potential holding capacitance (Cv) formed inside the display area is the intersection of the signal line (711) and the scanning lines (713a) and (713b), the signal line (711) and the auxiliary dose line (Cv). 821) Only a small intersection with it. Therefore, in such a liquid crystal display device (901), it is necessary to form a sufficient signal potential holding capacitance (Cv) around the display area.

【0011】しかしながら、表示領域周辺に十分な信号
電位保持容量(Cv)を形成するためには、信号電位保持
容量用の大きな電極面積が必要となり、装置の大型化を
招いてしまう。
However, in order to form a sufficient signal potential holding capacitor (Cv) around the display area, a large electrode area for the signal potential holding capacitor is required, which leads to an increase in size of the device.

【0012】このようなことは、液晶表示装置(901) の
高精細化に伴い一層顕著になる。即ち、画素ピッチが小
さくなるにつれて信号線(711) 間が狭くなるにもかかわ
らず、必要な信号電位保持容量(Cv)は従来と同程度で
ある。このため、信号線(711) に沿った方向に信号電位
保持容量用の各電極を形成せざるを得ず、一層装置の大
型化を招いてしまうためである。
[0012] Such a thing becomes more remarkable as the definition of the liquid crystal display device (901) becomes higher. That is, although the distance between the signal lines (711) becomes narrower as the pixel pitch becomes smaller, the required signal potential holding capacitance (Cv) is about the same as the conventional one. Therefore, each electrode for holding the signal potential is inevitably formed in the direction along the signal line (711), which further increases the size of the device.

【0013】また、液晶表示装置(901) の表示領域周辺
で一対の電極基板をシール剤によって封止する場合に
は、シール剤中に含まれるガラス製のファイバ等によっ
て、信号電位保持容量用の電極が破壊されることもあ
る。
When the pair of electrode substrates is sealed with a sealant around the display area of the liquid crystal display device (901), a glass fiber or the like contained in the sealant is used to store the signal potential holding capacitor. The electrodes may be destroyed.

【0014】本発明は、上述した技術課題に対処して成
されたものであって、表示領域の開口率を損なうことな
く十分な信号電位保持容量を備えた液晶表示装置を提供
することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above technical problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a sufficient signal potential holding capacitance without impairing the aperture ratio of the display region. I am trying.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】請求項1の液晶表示装置
は、ソース領域およびドレイン領域と,前記ソース領域
と前記ドレイン領域との間に挟まれる活性領域とを備え
た複数の薄膜トランジスタと、信号線駆動回路からの映
像信号をそれぞれの前記薄膜トランジスタの前記ドレイ
ン領域に供給する複数本の信号線と、前記信号線の両側
にそれぞれの前記薄膜トランジスタのソース領域に接続
されて配置される一対の画素電極と、前記一対の画素電
極間に配置される補助容量線と、前記補助容量線と前記
信号線との間に積層される信号保持用絶縁膜とを備えた
ことを特徴としている。
A liquid crystal display device according to claim 1, wherein a plurality of thin film transistors having a source region and a drain region, and an active region sandwiched between the source region and the drain region, and a signal are provided. A plurality of signal lines for supplying a video signal from a line driving circuit to the drain regions of the thin film transistors, and a pair of pixel electrodes arranged on both sides of the signal lines and connected to the source regions of the thin film transistors. And an auxiliary capacitance line arranged between the pair of pixel electrodes, and a signal holding insulating film laminated between the auxiliary capacitance line and the signal line.

【0016】請求項2に記載される発明は、請求項1記
載の液晶表示装置において、前記薄膜トランジスタは前
記ソース領域に電気的に接続されたソース延長領域を含
み、前記ソース延長領域の少なくとも一部表面上には第
1の画素容量用絶縁膜が配置され、前記ソース延長領域
は前記第1の画素容量用絶縁膜を介して前記補助容量線
に被覆されることを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the first aspect, the thin film transistor includes a source extension region electrically connected to the source region, and at least a part of the source extension region. A first pixel capacitance insulating film is disposed on the surface, and the source extension region is covered with the auxiliary capacitance line through the first pixel capacitance insulating film.

【0017】請求項3に記載される発明は、請求項2記
載の液晶表示装置において、前記ソース延長領域は上部
領域と側部領域とを含み、前記上部領域と前記補助容量
線との間および前記側部領域と前記補助容量線との間に
前記第1の画素容量用絶縁膜を介する画素電位保持容量
が形成されることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the second aspect, the source extension region includes an upper region and a side region, and between the upper region and the auxiliary capacitance line, and It is characterized in that a pixel potential holding capacitance is formed between the side region and the auxiliary capacitance line via the first pixel capacitance insulating film.

【0018】請求項4に記載される発明は、請求項1記
載の液晶表示装置において、前記補助容量線の少なくと
も一部表面上には第2の画素保持用絶縁膜が配置され、
前記画素電極と前記第2の画素保持用絶縁膜を介して重
複する領域を備えたことを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the first aspect, a second pixel holding insulating film is disposed on at least a part of the surface of the auxiliary capacitance line,
It is characterized in that a region overlapping with the pixel electrode via the second pixel holding insulating film is provided.

【0019】請求項5に記載される発明は、請求項1記
載の液晶表示装置において、それぞれの前記薄膜トラン
ジスタは、前記活性領域上に配置されるゲート絶縁膜、
前記ゲート絶縁膜を介して前記信号線とは略直交する走
査線に接続されたゲート電極を含み、前記補助容量線は
前記走査線と略平行な方向に延びていることを特徴とし
ている。
According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the first aspect, each of the thin film transistors is a gate insulating film disposed on the active region,
It is characterized in that it includes a gate electrode connected to a scanning line substantially orthogonal to the signal line through the gate insulating film, and the auxiliary capacitance line extends in a direction substantially parallel to the scanning line.

【0020】請求項6に記載される発明は、請求項1記
載の液晶表示装置において、それぞれの前記薄膜トラン
ジスタは、前記活性領域上に配置されるゲート絶縁膜、
前記ゲート絶縁膜を介して前記信号線とは略直交する走
査線に接続されたゲート電極を含み、前記走査線は2本
を1組として近接配置され、1組の前記走査線を介して
隣接する前記画素電極のそれぞれが配置されていること
を特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the first aspect, each of the thin film transistors has a gate insulating film disposed on the active region,
The gate electrode includes a gate electrode connected to a scanning line that is substantially orthogonal to the signal line through the gate insulating film, and two scanning lines are arranged in close proximity to each other and are adjacent to each other through one scanning line. It is characterized in that each of the pixel electrodes is arranged.

【0021】請求項7に記載される発明は、請求項6記
載の液晶表示装置において、1組の前記走査線を介して
隣接する前記画素電極のそれぞれに接続された一対の前
記薄膜トランジスタの前記ドレイン領域は前記信号線に
接続部を介して共通に接続されていることを特徴として
いる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the sixth aspect, the drains of the pair of thin film transistors are connected to the pixel electrodes adjacent to each other through one set of the scanning lines. The region is commonly connected to the signal line via a connecting portion.

【0022】更に、請求項8に記載される液晶表示装置
は、ソース領域およびドレイン領域と、前記ソース領域
と前記ドレイン領域との間に挟まれる活性領域とを備え
た複数の薄膜トランジスタと、信号線駆動回路からの映
像信号をそれぞれの前記薄膜トランジスタの前記ドレイ
ン領域に供給する複数本の信号線と、前記信号線の両側
にそれぞの前記薄膜トランジスタのソース領域に接続さ
れて配置される一対の画素電極と、前記ソース領域から
一対の前記画素電極間に延びるソース延長領域と、前記
ソース延長領域の表面に配置される画素容量用絶縁膜
と、前記画素容量用絶縁膜を介して前記ソース延長領域
を被覆する補助容量線と、前記補助容量線と前記信号線
との間に積層される信号保持用絶縁膜とを備えたことを
特徴としている。
Further, a liquid crystal display device according to claim 8 is a plurality of thin film transistors having a source region and a drain region, and an active region sandwiched between the source region and the drain region, and a signal line. A plurality of signal lines for supplying the video signal from the driving circuit to the drain region of each of the thin film transistors, and a pair of pixel electrodes arranged on both sides of the signal line so as to be connected to the source regions of the respective thin film transistors. A source extension region extending from the source region between the pair of pixel electrodes, a pixel capacitance insulating film disposed on a surface of the source extension region, and the source extension region via the pixel capacitance insulating film. It is characterized in that it is provided with an auxiliary capacitance line for covering and a signal holding insulating film laminated between the auxiliary capacitance line and the signal line.

【0023】[0023]

【作用】上述した如く、本発明の液晶表示装置によれ
ば、信号線の両側に配置される一対の画素電極の間に、
第1の信号保持用絶縁膜を介して信号線と補助容量線と
が配置されているため、表示領域内部に十分に大きな信
号保持容量(Cv)を形成することができる。
As described above, according to the liquid crystal display device of the present invention, between the pair of pixel electrodes arranged on both sides of the signal line,
Since the signal line and the auxiliary capacitance line are arranged via the first signal holding insulating film, a sufficiently large signal holding capacitance (Cv) can be formed inside the display region.

【0024】そして、信号線幅あるいは第1の信号保持
用絶縁膜の膜厚あるいは材料等を適宜選択することによ
り、表示領域外に信号電位保持容量(Cv)を形成する必
要なく、表示領域内部のみ信号電位保持容量(Cv)でを
形成することも可能となる。
By appropriately selecting the signal line width or the film thickness or material of the first signal holding insulating film, it is not necessary to form the signal potential holding capacitor (Cv) outside the display area, and It is also possible to form with only the signal potential holding capacitance (Cv).

【0025】これにより、信号電位保持容量(Cv)のシ
ール剤による破壊の問題あるいは装置の大型化の問題な
どを一挙に解決することができる。しかも、上述した如
く、一対の画素電極の間の表示に寄与しない領域を旨く
用いて信号電位保持容量(Cv)を形成しているため、従
来に比べて開口率が大きく低下することもない。
As a result, the problem of destruction of the signal potential holding capacity (Cv) by the sealant or the problem of increasing the size of the device can be solved at once. Moreover, as described above, since the signal potential holding capacitance (Cv) is formed by making good use of the region between the pair of pixel electrodes that does not contribute to the display, the aperture ratio is not significantly reduced as compared with the conventional case.

【0026】[0026]

【実施例】以下、本発明の一実施例を投射型ハイビジョ
ンTV用途に用いられ点順次駆動される液晶表示装置(5
01) を例にとり、図面を参照して詳細に説明する。この
液晶表示装置(501) は、図3,4に示すように一対の電
極基板(101),(301) 間にポリイミドから成る配向膜(27
1),(331) を介して液晶層(401) が保持されて構成され
ている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A liquid crystal display device (5) used in a projection type high-definition TV for dot-sequential driving according to an embodiment of the present invention
Taking 01) as an example, a detailed description will be given with reference to the drawings. This liquid crystal display device (501) includes an alignment film (27) made of polyimide between a pair of electrode substrates (101), (301) as shown in FIGS.
A liquid crystal layer (401) is held via 1) and (331).

【0027】第1の電極基板(101) は、図1に示すよう
に、表示領域(281) と、この表示領域(281) 周辺に形成
される信号線駆動回路(291) 、走査線駆動回路(293) 、
対向電極駆動回路(295) とを備えている。尚、図示しな
いが、上述した信号線駆動回路(291) はシフトレジスタ
と、シフトレジスタの出力に基づいて入力される映像信
号をサンプリングし保持するサンプルホールド回路とに
よって構成され、また走査線駆動回路(293) は走査信号
を順次転送するシフトレジスタによって構成されてい
る。
As shown in FIG. 1, the first electrode substrate (101) includes a display area (281), a signal line driving circuit (291) formed around the display area (281), and a scanning line driving circuit. (293),
A counter electrode drive circuit (295). Although not shown, the signal line drive circuit (291) described above is composed of a shift register and a sample hold circuit for sampling and holding a video signal input based on the output of the shift register. Reference numeral (293) is composed of a shift register that sequentially transfers the scanning signal.

【0028】表示領域(281) には、信号線駆動回路(29
1) に接続され互いに略平行に所定の間隔を隔てて配置
される複数本の信号線Xi(i=1,2, …,m)(111)、走査線
駆動回路(293) に接続され2本を1組として近接配置さ
れ信号線(111) とは略直交し互いに略平行に配置される
複数本の走査線Yj(j=1,2, …,n)(113)が配置されてい
る。
In the display area (281), the signal line drive circuit (29
1) and a plurality of signal lines Xi (i = 1,2, ..., m) (111) which are connected substantially parallel to each other and are spaced apart by a predetermined distance, and which are connected to the scanning line driving circuit (293) 2 A plurality of scanning lines Yj (j = 1, 2, ..., N) (113), which are arranged close to each other as one set and are arranged substantially orthogonal to the signal line (111) and substantially parallel to each other, are arranged. .

【0029】そして、1組の走査線(113) の一方の走査
線(113a)と信号線(111) との交点部分に配置されるTF
T(121a)を介してITO(Indium-Tin-Oxide)から成る
第1の画素電極(151a)が、他方の走査線(113b)と信号線
(111) との交点部分に配置されるTFT(121b)を介して
ITOから成る第2の画素電極(151b)が配置されてい
る。
The TF arranged at the intersection of the scanning line (113a) of one set of scanning lines (113) and the signal line (111).
The first pixel electrode (151a) made of ITO (Indium-Tin-Oxide) is connected to the other scanning line (113b) and the signal line through the T (121a).
The second pixel electrode (151b) made of ITO is arranged via the TFT (121b) arranged at the intersection with (111).

【0030】また、1組の走査線(113a),(113b) を介す
ることなく信号線(111) に沿って隣接する第1,2の画
素電極(151a),(151b) 間には、第1,2の画素電極(151
a),(151b) に電気的に並列に接続される画素電位保持容
量(Cs)を形成するため、所定の電位に接続され、一体
に形成された補助容量線(211) が走査線(113) と略平行
に配置されている。
Further, between the first and second pixel electrodes (151a) and (151b) adjacent to each other along the signal line (111) without interposing a pair of scanning lines (113a) and (113b), 1, 2 pixel electrodes (151
In order to form a pixel potential holding capacitor (Cs) electrically connected in parallel to a) and (151b), the auxiliary capacitance line (211), which is connected to a predetermined potential and is integrally formed, is connected to the scanning line (113). ) Is arranged substantially parallel to.

【0031】第2の電極基板(301) は、図3に示すよう
に、透明な石英基板(303) 上に走査線(113a),(113b) と
略平行に延びるクロム(Cr)等の金属からなるストライ
プ状の遮光層(311) が1組の走査線(113a),(113b) およ
びTFT(121a),(121b) 上を遮光するように配置されて
いる。また、第2の電極基板(301) はITOから成る対
向電極(321) 、この上に配置される配向膜(331) を備え
て構成されている。
As shown in FIG. 3, the second electrode substrate (301) is made of a metal such as chromium (Cr) extending on the transparent quartz substrate (303) substantially parallel to the scanning lines (113a) and (113b). A striped light-shielding layer (311) is formed so as to shield the scanning lines (113a), (113b) and the TFTs (121a), (121b) from each other. The second electrode substrate (301) is provided with a counter electrode (321) made of ITO and an alignment film (331) arranged thereon.

【0032】そして、第1の電極基板(101) と第2の電
極基板(301) とは、スペーサ(図示せず)を介して所定
の間隔に制御され、表示領域(281) と駆動回路(291),(2
93),(295) との間に設けられたシール剤(図示せず)に
よって液晶層(401) を保持している。
The first electrode substrate (101) and the second electrode substrate (301) are controlled at a predetermined interval via a spacer (not shown), and the display area (281) and the driving circuit (301) are controlled. 291), (2
The liquid crystal layer (401) is held by a sealant (not shown) provided between the liquid crystal layers (93) and (295).

【0033】次に、この液晶表示装置(501) の第1の電
極基板(101) の概略正面図を示す図2、この図2におけ
るA−A’線およびB−B’線に沿って切断した液晶表
示装置(501) の概略断面図、C−C’線に沿って切断し
た概略断面図を参照して更に詳細に説明する。 (TFT部分)まず、この液晶表示装置(501) のTFT
(121a),(121b) 部分について詳細に説明する。
Next, FIG. 2 showing a schematic front view of the first electrode substrate (101) of the liquid crystal display device (501), cut along the line AA 'and the line BB' in FIG. The liquid crystal display device 501 will be described in more detail with reference to the schematic sectional view and the schematic sectional view taken along the line CC ′. (TFT part) First, the TFT of this liquid crystal display device (501)
The parts (121a) and (121b) will be described in detail.

【0034】この液晶表示装置(501) の第1の電極基板
(101) は、図3に示すように透明な石英基板(103) 上に
1300オングストロームの膜厚の島状の多結晶シリコン膜
(120) を備えている。
First electrode substrate of this liquid crystal display device (501)
(101) is on a transparent quartz substrate (103) as shown in FIG.
Island-shaped polycrystalline silicon film with a thickness of 1300 angstroms
It is equipped with (120).

【0035】各多結晶シリコン膜(120) は、1組の走査
線(113a),(113b) を介して隣接する第1の画素電極(151
a),第2の画素電極(151b)のそれぞれに接続される1組
のTFT(121a),(121b) を構成するため、図3に示すよ
うにソース領域(123a),(123b) ,ドレイン領域(125a),
(125b) ,ソース領域(123a),(123b) とドレイン領域(12
5a)(125b)とに挟まれる活性領域(127a),(127b) 、更に
ドレイン領域(125a),(125b) 間を接続するドレイン接続
領域(129) を備えている。
Each polycrystalline silicon film (120) has a first pixel electrode (151) adjacent to it via a pair of scanning lines (113a), (113b).
a) and a pair of TFTs (121a) and (121b) connected to the second pixel electrode (151b), respectively. Therefore, as shown in FIG. 3, source regions (123a) and (123b) and drains Area (125a),
(125b), source regions (123a), (123b) and drain region (12
5a) and (125b) are sandwiched between the active regions (127a) and (127b), and the drain regions (125a) and (125b) are connected to each other by a drain connection region (129).

【0036】この多結晶シリコン膜(120) の活性領域(1
27a),(127b) 上には、それぞれ多結晶シリコン膜(120)
が熱酸化されて成る1000オングストロームのゲート絶縁
膜(141a),(141b) が配置されている。そして、このゲー
ト絶縁膜(141) 上には走査線(113a),(113b) から延長さ
れたゲート電極(115a),(115b) が配置されている。この
ゲート電極(115a),(115b) は、走査線(113a),(113b) と
同様に不純物がドープされた1500オングストロームの膜
厚のポリシリコン(p−Si)と2500オングストローム
の膜厚のWSiX との2層構造から成っている。
The active region (1) of this polycrystalline silicon film (120)
27a) and (127b) on the polycrystalline silicon film (120), respectively.
The gate insulating films (141a) and (141b) having a thickness of 1000 angstroms are formed by thermal oxidation. The gate electrodes (115a) and (115b) extended from the scanning lines (113a) and (113b) are arranged on the gate insulating film (141). The gate electrodes (115a) and (115b) are made of polysilicon (p-Si) having a thickness of 1500 angstroms doped with impurities and WSi having a thickness of 2500 angstroms, similarly to the scanning lines (113a) and (113b). It consists of a two-layer structure with X.

【0037】この上に、第1の層間絶縁膜(161) 、信号
線(111) が順次配置されている。そして、多結晶シリコ
ン膜(120) のドレイン接続領域(129) と信号線(111) と
がコンタクトホール(130) を介して接続されている。
A first interlayer insulating film (161) and a signal line (111) are sequentially arranged on this. The drain connection region (129) of the polycrystalline silicon film (120) and the signal line (111) are connected via the contact hole (130).

【0038】また、この信号線(111) 上には第2の層間
絶縁膜(171) が配置され、この上にITOから成る画素
電極(151a),(151b) が配置されている。そして、各画素
電極(151a),(151b) と多結晶シリコン膜(120) のソース
領域(123a),(123b) とは、それぞれコンタクトホール(1
60) を介して電気的に接続されている。
A second interlayer insulating film (171) is arranged on the signal line (111), and pixel electrodes (151a) and (151b) made of ITO are arranged on the second interlayer insulating film (171). Then, the pixel electrodes (151a) and (151b) and the source regions (123a) and (123b) of the polycrystalline silicon film (120) are connected to the contact holes (1
60) electrically connected via.

【0039】このように、本実施例において、1組の走
査線(113a),(113b) を介して隣接する第1,第2の画素
電極(151a),(151b) にそれぞれ接続される1組のTFT
(121a),(121b) は、共通の多結晶シリコン膜(120) によ
り形成されており、しかも1組のTFT(121a),(121b)
はドレイン接続領域(129) を介して共通のコンタクトホ
ール(130) により信号線(111) に接続されている。
As described above, in the present embodiment, a pair of scanning lines (113a) and (113b) are connected to the adjacent first and second pixel electrodes (151a) and (151b), respectively. Set of TFTs
(121a) and (121b) are formed of a common polycrystalline silicon film (120), and a set of TFTs (121a) and (121b)
Are connected to the signal line (111) through a common contact hole (130) via the drain connection region (129).

【0040】このような構成とすることにより、表示領
域(281) 内に形成されるTFT(121a),(121b) と信号線
(111) との電気的接続を得るためのコンタクトホール(1
30)数をTFT(121a),(121b) 数の半数に低減すること
ができ、これにより開口率を向上させることができる。
With such a structure, the TFTs (121a) and (121b) formed in the display area (281) and the signal line are formed.
Contact hole (1) for electrical connection with (111)
The number of 30) can be reduced to half of the number of TFTs (121a) and (121b), and thus the aperture ratio can be improved.

【0041】また、この実施例では、図2に示すよう
に、多結晶シリコン膜(120) の活性領域(127a),(127b)
に比べて幅広の信号線(111) が第1の層間絶縁膜(161)
を介して活性領域(127a),(127b) を遮光するように活性
領域(127a),(127b) 上に配置されている。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the active regions (127a), (127b) of the polycrystalline silicon film (120).
The signal line (111) wider than that of the first is the first interlayer insulating film (161).
It is arranged on the active regions (127a) and (127b) so as to shield the active regions (127a) and (127b) from light through.

【0042】従って、液晶層(401) と第2の電極基板(3
01) との界面での反射光がTFT(121a),(121b) に照射
されることを防止する遮光層等をTFT(121a),(121b)
上に別途設ける必要がなく、TFT(121a),(121b) の光
リークを防止でき、良好な表示画像を得ることができ
る。 (画素電位保持容量部)上述した多結晶シリコン膜(12
0) は、各ソース領域(123a),(123b) から互いに相反す
る方向に各ソース領域(123a),(123b) に接続された画素
電極(151a),(151b) を取り囲むように延長されたソース
延長領域(131a),(131b) を備えている。
Therefore, the liquid crystal layer (401) and the second electrode substrate (3
(01) The TFT (121a), (121b) is provided with a light-shielding layer or the like which prevents the reflected light at the interface with (01) from being applied to the TFT (121a), (121b).
Since it is not necessary to separately provide it above, light leakage of the TFTs (121a) and (121b) can be prevented, and a good display image can be obtained. (Pixel potential holding capacitor section) The above-mentioned polycrystalline silicon film (12
(0) is extended so as to surround the pixel electrodes (151a) and (151b) connected to the source regions (123a) and (123b) in opposite directions from the source regions (123a) and (123b). Source extension regions (131a) and (131b) are provided.

【0043】この多結晶シリコン膜(120) のソース延長
領域(131a),(131b) の上部領域(135a),(135b) および側
部領域(137a),(137b) のそれぞれには、ゲート絶縁膜(1
41a),(141b) と同様に多結晶シリコン膜(120) が熱酸化
されて成る第1の画素容量用絶縁膜(143a),(143b) が配
置されている。
Gate insulating layers are provided in the upper regions (135a) and (135b) of the source extension regions (131a) and (131b) and the side regions (137a) and (137b) of the polycrystalline silicon film (120). Membrane (1
Similar to 41a) and (141b), first pixel capacitance insulating films (143a) and (143b) formed by thermally oxidizing the polycrystalline silicon film (120) are arranged.

【0044】そして、補助容量線(211) は、1組の走査
線(113a),(113b) を介するこなく信号線(111) 方向に隣
接配置される第1の画素電極(151a)と第2の画素電極(1
51b)との間に一体的に配線され、第1の画素容量用絶縁
膜(143a),(143b) を介してソース延長領域(131a),(131
b) を被覆するように、走査線(113) と略平行な方向に
ストライプ状に延長されて配置されている。
The auxiliary capacitance line (211) and the first pixel electrode (151a) adjacent to each other in the signal line (111) direction are provided without interposing a pair of scanning lines (113a) and (113b). 2 pixel electrodes (1
51b) and the source extension regions (131a), (131b) via the first pixel capacitance insulating films (143a), (143b).
It is arranged so as to cover b) by extending in a stripe shape in a direction substantially parallel to the scanning line (113).

【0045】また、この補助容量線(211) は、1組の走
査線(113a),(113b) を介するこなく信号線(111) 方向に
隣接配置される第1の画素電極(151a)と第2の画素電極
(151b)との間にそれぞれ延びソース延長領域(131a),(13
1b) を被覆する延長領域(213) を備えている。
Further, the auxiliary capacitance line (211) and the first pixel electrode (151a) which are adjacently arranged in the signal line (111) direction without interposing a pair of scanning lines (113a) and (113b). Second pixel electrode
Source extension regions (131a), (13a)
It has an extension region (213) covering 1b).

【0046】そして、この補助容量線(211) は、走査線
(113) およびゲート電極(115a),(115b) と同一材料から
成り、所定の電位に接続されてる。また、補助容量線(2
11) は、各画素電極(151a),(151b) と上述した第1,第
2の層間絶縁膜(161),(171) と同様に形成された第2,
第3の画素容量用絶縁膜(165) ,(175)を介して一部重複
する重複領域(221a),(221b) を備えている。
The auxiliary capacitance line (211) is a scanning line.
It is made of the same material as (113) and the gate electrodes (115a) and (115b), and is connected to a predetermined potential. In addition, the auxiliary capacitance line (2
11) is a second electrode formed in the same manner as each pixel electrode (151a), (151b) and the above-mentioned first and second interlayer insulating films (161), (171).
It has overlapping regions (221a) and (221b) which partially overlap with each other through the third pixel capacitance insulating films (165) and (175).

【0047】このように補助容量線(211) を構成するこ
とにより、走査線(113) 数に比べて補助容量線(211) 数
を約半数に低減することができ、これにより開口率を向
上させることができる。
By constructing the auxiliary capacitance lines (211) in this way, the number of auxiliary capacitance lines (211) can be reduced to about half the number of scanning lines (113), thereby improving the aperture ratio. Can be made.

【0048】また、各画素電極(151a),(151b) には、ソ
ース延長領域(131a),(131b) の上部領域(135a),(135b)
を一方の電極とし補助容量線(211) を他方の電極として
形成される第1の画素電位保持容量(Cst )の他に、ソ
ース延長領域(131a),(131b)の側部領域(137a),(137b)
を一方の電極とし補助容量線(211) を他方の電極として
形成される第2の画素電位保持容量(Css )が電気的に
並列に接続される。更に、各画素電極(151a),(151b) を
一方の電極とし補助容量線(211) の重複領域(221a),(22
1b) を他方の電極として形成される更なる第3の画素電
位保持容量(Csp )が各画素電極(151a),(151b) に電気
的に並列に接続される。
The pixel electrodes (151a) and (151b) have upper regions (135a) and (135b) above the source extension regions (131a) and (131b), respectively.
In addition to the first pixel potential holding capacitance (Cst) formed by using the auxiliary capacitance line (211) as the other electrode and the auxiliary capacitance line (211), side regions (137a) of the source extension regions (131a) and (131b) , (137b)
A second pixel potential holding capacitor (Css) formed by using as an electrode and the auxiliary capacitance line (211) as the other electrode is electrically connected in parallel. Further, the pixel electrodes (151a) and (151b) are used as one electrode, and the overlapping regions (221a) and (22) of the auxiliary capacitance line (211) are used.
A third pixel potential holding capacitor (Csp) formed by using 1b) as the other electrode is electrically connected in parallel to each pixel electrode (151a), (151b).

【0049】従って、補助容量線(211) によって遮光さ
れる領域に比べて十分に大きな画素電位保持容量(Cs)
を各画素電極(151a),(151b) に電気的に並列に形成する
ことができ、これにより隣接する画素電極(151a),(151
b) の影響を防止することができる。
Therefore, the pixel potential holding capacitance (Cs) is sufficiently larger than the area shielded by the auxiliary capacitance line (211).
Can be electrically formed in parallel with each pixel electrode (151a), (151b), and thereby, the adjacent pixel electrodes (151a), (151b) can be formed.
The effect of b) can be prevented.

【0050】ところで、上述したように、ソース延長領
域(131a),(131b) を多結晶シリコン膜(120) により各ソ
ース領域(123a),(123b) と一体的に形成する場合、ソー
ス延長領域(131a),(131b) もソース領域(123a),(123b)
と同様に不純物を注入することにより低抵抗化する必要
がある。しかし、ソース延長領域(131a),(131b) 上には
補助容量線(211) が配置されるため、ソース領域(123
a),(123b) あるいはドレイン領域(125a),(125b) と同様
に低抵抗化を行うことが困難である。従って、この実施
例では、多結晶シリコン膜(120) を形成した後、不純物
を注入することによりまずソース延長領域(131a),(131
b) を形成する。そして、ゲート絶縁膜(141a),(141b)
および第1の画素容量用絶縁膜(143a),(143b) を上述し
た如く多結晶シリコン膜(120) の熱酸化により形成した
後、ゲート電極(115a),(115b) および補助容量線(211)
を配置し、ゲート電極(115a),(115b) および補助容量線
(211)をマスクとして再び不純物を注入し、ソース領域
(123a),(123b) 、ドレイン領域(125a),(125b) 、そして
各ソース領域(123a),(123b) とドレイン領域(125a),(12
5b) に挟まれる活性領域(127a),(127b) を形成した。
By the way, as described above, when the source extension regions (131a) and (131b) are integrally formed with the source regions (123a) and (123b) by the polycrystalline silicon film (120), the source extension regions are formed. (131a) and (131b) are also source regions (123a) and (123b)
Similarly to the above, it is necessary to reduce the resistance by implanting impurities. However, since the auxiliary capacitance line (211) is arranged on the source extension regions (131a) and (131b), the source region (123
Similar to a), (123b) or drain regions (125a), (125b), it is difficult to reduce the resistance. Therefore, in this embodiment, after the polycrystalline silicon film (120) is formed, impurities are first implanted to form the source extension regions (131a), (131a).
b) is formed. And the gate insulating film (141a), (141b)
And the first pixel capacitance insulating films (143a), (143b) are formed by thermal oxidation of the polycrystalline silicon film (120) as described above, and then the gate electrodes (115a), (115b) and the auxiliary capacitance lines (211) are formed. )
The gate electrodes (115a), (115b) and the auxiliary capacitance line.
Impurities are implanted again using (211) as a mask, and the source region
(123a), (123b), drain regions (125a), (125b), and source regions (123a), (123b) and drain regions (125a), (12
Active regions (127a) and (127b) sandwiched between 5b) were formed.

【0051】このソース延長領域(131a),(131b) を形成
する場合は、不純物の注入量としては 1×1017〜 5×10
18/cm3 程度が望ましい。第1の画素容量用絶縁膜(143
a),(143b) を形成する際にドープ量が多すぎると、その
膜厚がTFT(121a),(121b)の活性領域(127a),(127b)
上のゲート絶縁膜(141a),(141b) の膜厚より厚くなって
しまい、必要な画素電位保持容量(Cs)を得ることがで
きない。また、ドープ量が少なすぎると、今度は所望の
画素電位保持容量(Cs)の確保が困難となる。
When the source extension regions (131a) and (131b) are formed, the impurity implantation amount is 1 × 10 17 to 5 × 10 5.
18 / cm 3 is preferable. The first pixel capacitance insulating film (143
If the doping amount is too large when forming a) and (143b), the film thickness of the active regions (127a) and (127b) of the TFT (121a) and (121b)
It becomes thicker than the film thickness of the upper gate insulating films (141a) and (141b), and it is impossible to obtain a necessary pixel potential holding capacitance (Cs). If the doping amount is too small, it becomes difficult to secure the desired pixel potential holding capacity (Cs).

【0052】そこで、ゲート絶縁膜(141a),(141b) およ
び第1の画素容量用絶縁膜(143a),(143b) を、上述した
熱酸化に変えて同時にCVD法等の成膜で形成する方法
を用いて形成することにより、画素電位保持容量(Cs)
を形成すべき部分には十分な量の不純物を注入して低抵
抗化するだけでよくなり、素子間の特性のばらつきが抑
えられ、製造歩留りを向上させることができる。
Therefore, the gate insulating films (141a), (141b) and the first pixel capacitor insulating films (143a), (143b) are simultaneously formed by the CVD method or the like instead of the above-mentioned thermal oxidation. Pixel potential holding capacitor (Cs)
It suffices to inject a sufficient amount of impurities into the portion where the film is to be formed to reduce the resistance, variation in characteristics between elements can be suppressed, and the manufacturing yield can be improved.

【0053】また、本実施例の如く、ソース延長領域(1
31a),(131b) を被覆するように十分な幅を有する補助容
量線(211) を設けることは、補助容量線(211) への電圧
供給の速度低減にも寄与している。即ち、画素電位保持
容量(Cs)を大きくすることは、補助容量線(211) 自信
の配線容量を大きくすることを意味する。従って、画素
電位保持容量(Cs)を大きくするためには、補助容量線
(211) のシート抵抗の低減および配線抵抗の低減を行う
必要がある。このようなことは、ハイビジョン対応の場
合ように多数の画素電極(151) 数を必要とする場合、特
に重要である。
As in this embodiment, the source extension region (1
The provision of the auxiliary capacitance line (211) having a sufficient width so as to cover 31a) and (131b) also contributes to the speed reduction of the voltage supply to the auxiliary capacitance line (211). That is, increasing the pixel potential holding capacity (Cs) means increasing the wiring capacity of the auxiliary capacity line (211). Therefore, in order to increase the pixel potential holding capacity (Cs), the auxiliary capacity line
It is necessary to reduce the sheet resistance and wiring resistance in (211). This is especially important when a large number of pixel electrodes (151) are required as in the case of high definition.

【0054】そのために、この実施例ではリン(P)イ
オンがドープされて成る多結晶シリコンとWSiX の2
層構造の補助容量線(211) を用いて配線の低抵抗化も行
っている。
Therefore, in this embodiment, polycrystalline silicon doped with phosphorus (P) ions and WSi x 2 are used.
The resistance of the wiring is also reduced by using the layered auxiliary capacitance line (211).

【0055】尚、この実施例では、上述した理由から、
補助容量線(151) をゲート電極(115a),(115b) ,走査線
(113a),(113b) と同様に不純物がドープされた1500オン
グストロームの膜厚のポリシリコン(p−Si)と2500
オングストロームの膜厚のWSiX との2層構造とした
が、モリブデン(Mo)、モリブデン・タンタル(Mo
−Ta),タングステン(W),アルミニウム(Al)
等の遮光性金属で形成しても良い。
In this embodiment, for the above reason,
The auxiliary capacitance line (151) is connected to the gate electrodes (115a), (115b), the scanning line
Similar to (113a) and (113b), 1500 angstrom thick polysilicon (p-Si) doped with impurities and 2500
Although it has a two-layer structure with WSi X having an angstrom thickness, molybdenum (Mo), molybdenum tantalum (Mo
-Ta), tungsten (W), aluminum (Al)
It may be formed of a light-shielding metal such as.

【0056】また、この実施例において、補助容量線(2
11) を多結晶シリコンとWSiX の2層構造としたの
は、遮光性を確保するためでもある。補助容量線(211)
を遮光性を有する材料によって形成することにより、補
助容量線(211) が配置される領域には別途遮光層を設け
る必要がなくなるためである。従って、この実施例では
補助容量線(211) が設けられていない1組の走査線(113
a),(113b) およびTFT(121a),(121b) 上のみを遮光す
るように遮光層(311) を設けている。
Further, in this embodiment, the auxiliary capacitance line (2
The reason (11) has a two-layer structure of polycrystalline silicon and WSi x is also for securing the light shielding property. Auxiliary capacitance line (211)
This is because it is not necessary to separately provide a light-shielding layer in the region where the auxiliary capacitance line (211) is arranged by forming the material with a light-shielding material. Therefore, in this embodiment, a pair of scanning lines (113) in which the auxiliary capacitance line (211) is not provided is used.
A light-shielding layer (311) is provided so as to shield only a), (113b) and TFTs (121a), (121b).

【0057】これにより、遮光層(311) の第1の電極基
板(101) に対する精度、また遮光層(311) の第1の電極
基板(111) に対する位置合わせ精度の自由度を十分に大
きくすることができ、生産性を向上させることも可能と
なる。
Thereby, the degree of freedom of the accuracy of the light shielding layer (311) with respect to the first electrode substrate (101) and the positioning accuracy of the light shielding layer (311) with respect to the first electrode substrate (111) are sufficiently increased. It is also possible to improve productivity.

【0058】この実施例では、各ソース延長領域(131
a),(131b) は、それぞれ第1の画素容量用絶縁膜(143)
を介して補助容量線(211) によって被覆されている。こ
のため、各ソース延長領域(131a),(131b) が、各ソース
領域(123a),(123b) に接続された画素電極(151a),(151
b) のみならず、隣接画素電極(151a),(151b) と一部重
複する重複領域(133a),(133b) を備えていても、隣接画
素電極(151a),(151b) の電位の影響を受けることが防止
できる。従って、画素電極(151a),(151b) に要求される
位置精度の自由度を大きくすることができる。 (信号電位保持容量部)次に、本実施例の特徴部分であ
る信号電位保持容量(Cv)について図面を参照して説明
する。
In this embodiment, each source extension region (131
a) and (131b) are respectively the first pixel capacitance insulating film (143)
Is covered by the auxiliary capacitance line (211). Therefore, the source extension regions (131a), (131b) are connected to the source regions (123a), (123b) by the pixel electrodes (151a), (151b).
b) In addition to the neighboring pixel electrodes (151a) and (151b), even if the overlapping regions (133a) and (133b) partially overlap, the influence of the potential of the neighboring pixel electrodes (151a) and (151b) Can be prevented. Therefore, the degree of freedom of the positional accuracy required for the pixel electrodes (151a) and (151b) can be increased. (Signal Potential Holding Capacitor Section) Next, the signal potential holding capacitor (Cv), which is a characteristic part of this embodiment, will be described with reference to the drawings.

【0059】この液晶表示装置(501) によれば、上述し
たように、信号線(111) の両側に隣接配置される一対の
第1の画素電極(151a)間および一対の第2の画素電極(1
51b)のそれぞれに延長される延長領域(213a),(213b) を
備えた補助容量線(211) が配置されている。そして、図
3,4に示すように、補助容量線(211) と信号線(111)
との間には第1の層間絶縁膜(161) が延長された第1の
信号保持用絶縁膜(163) が積層配置されている。
According to this liquid crystal display device (501), as described above, between the pair of first pixel electrodes (151a) arranged adjacent to both sides of the signal line (111) and between the pair of second pixel electrodes. (1
An auxiliary capacitance line (211) having extension regions (213a) and (213b) extended to each of 51b) is arranged. Then, as shown in FIGS. 3 and 4, the auxiliary capacitance line (211) and the signal line (111)
A first signal holding insulating film (163), which is an extension of the first interlayer insulating film (161), is laminated between and.

【0060】図6に示される従来の液晶表示装置(901)
においては、表示領域内に形成される信号電位保持容量
(Cv)は、信号線(711) と走査線(713a),(713b) 、信号
線(711) と補助容量線(821) の幅(L)間であるために
小さく、表示領域外部に十分に大きな信号電位保持容量
(Cv)を形成する必要があった。
A conventional liquid crystal display device (901) shown in FIG.
In, the signal potential holding capacitance (Cv) formed in the display area is the width of the signal line (711) and the scanning lines (713a) and (713b), and the width of the signal line (711) and the auxiliary capacitance line (821) ( It is necessary to form a sufficiently large signal potential holding capacitor (Cv) outside the display region because it is between L).

【0061】これに対して、この実施例の液晶表示装置
(501) によれば、延長領域(213a),(213b) を含む補助容
量線(211) を一方の電極とし、信号線(111) を他方の電
極とした大きな信号電位保持容量(Cv)を各表示領域(2
81) 内部に形成することができる。
On the other hand, the liquid crystal display device of this embodiment
According to (501), a large signal potential holding capacitance (Cv) with the auxiliary capacitance line (211) including the extension regions (213a) and (213b) as one electrode and the signal line (111) as the other electrode is provided. Each display area (2
81) Can be formed inside.

【0062】この信号電位保持容量(Cv)は、図2,4
に示すように、一対の第1の画素電極(151a)間および一
対の第2の画素電極(151b)間のそれぞれに延長された延
長領域(213a),(213b) を含む補助容量線(211) が信号線
(111) との重複領域(231) において十分に幅広く形成さ
れているため、信号線駆動回路部(291) 内に信号電位保
持容量(Cv)を配置する必要がなくなる程度に十分に大
きくできる。
This signal potential holding capacitance (Cv) is shown in FIGS.
As shown in FIG. 11, the auxiliary capacitance line (211) including extension regions (213a) and (213b) extended between the pair of first pixel electrodes (151a) and between the pair of second pixel electrodes (151b), respectively. ) Is the signal line
Since the region (231) overlapping with (111) is formed sufficiently wide, it can be made large enough to eliminate the need to dispose the signal potential holding capacitor (Cv) in the signal line drive circuit section (291).

【0063】しかも、この信号電位保持容量(Cv)は、
一対の第1の画素電極(151a)間および一対の第2の画素
電極(151b)間で形成されているため、開口率を損なうこ
ともない。
Moreover, this signal potential holding capacitance (Cv) is
Since it is formed between the pair of first pixel electrodes (151a) and between the pair of second pixel electrodes (151b), the aperture ratio is not impaired.

【0064】これにより、表示領域(281) の開口率を損
なうことなく、また別途表示領域(281) 外部に信号電位
保持容量(Cv)を形成する必要がなく、装置の小型化を
達成することができる。
As a result, the size of the device can be reduced without impairing the aperture ratio of the display area (281) and without the need to separately form a signal potential holding capacitor (Cv) outside the display area (281). You can

【0065】このようなことは、特に画素電極(151) ピ
ッチが小さくなるにつれて、一層有効に作用する。即
ち、表示領域(281) 外部に信号電位保持容量(Cv)を形
成しようとする場合、所望の容量の確保に必要な面積は
同じであるにもかかわらず、画素電極(151) ピッチが小
さくなるにつれて各信号線(111) 間隔は狭くなるため、
各信号線(111) に沿って長い信号電位保持容量部(Cv)
を形成しなければならないためである。
Such a thing works more effectively, especially as the pitch of the pixel electrodes 151 becomes smaller. That is, when the signal potential holding capacitance (Cv) is to be formed outside the display region (281), the pitch of the pixel electrodes (151) becomes small even though the area required to secure the desired capacitance is the same. As the space between each signal line (111) becomes narrower,
Long signal potential holding capacitor (Cv) along each signal line (111)
This is because it has to be formed.

【0066】また、この実施例によれば、信号電位保持
容量(Cv)が表示領域(281) 内部に形成されているた
め、信号線駆動回路(291) と表示領域(281) との間にシ
ール剤を配置しても、シール剤中に含有されるフィラー
などによって信号電位保持容量部が損傷を受けるといっ
たことがなく、これにより高い製造歩留りを確保するこ
とができる。
Further, according to this embodiment, since the signal potential holding capacitance (Cv) is formed inside the display region (281), the signal potential holding capacitor (Cv) is provided between the signal line drive circuit (291) and the display region (281). Even if the sealant is arranged, the signal potential holding capacitor portion is not damaged by the filler contained in the sealant, thereby ensuring a high manufacturing yield.

【0067】更に、図4に示す如く、信号線(111) およ
び信号線(111) の両側に隣接配置される一対の第1,第
2の画素電極(151a),(151b) の下方には、第1の層間絶
縁膜(161) ,第2の層間絶縁膜(171) を介して補助容量
線(211) の延長領域(213) が配置されている。
Further, as shown in FIG. 4, the signal line (111) and the pair of first and second pixel electrodes (151a) and (151b) adjacent to each other on both sides of the signal line (111) are disposed below the signal line (111). An extension region (213) of the auxiliary capacitance line (211) is arranged via the first interlayer insulating film (161) and the second interlayer insulating film (171).

【0068】このため、信号線(111) と各画素電極(151
a),(151b) とを近接して配置しても、信号線(111) と画
素電極(151a),(151b) との間に生じる横方向の電界を抑
えるようにシールド層としても作用している。これによ
り、横方向電界に起因する液晶のリバースチルト長及び
カップリング容量の低減が可能となり、良好な表示画像
を確保することもできる。そして、このような横方向電
界の低減により、信号線(111) の十分近傍まで各画素電
極(151a ),(151b)を配置させることができるため、従来
に比べて良好な表示画像を確保しながら液晶表示装置(5
01) の開口率を向上させることもできる。
Therefore, the signal line (111) and each pixel electrode (151
Even if a) and (151b) are arranged close to each other, they also act as a shield layer so as to suppress the horizontal electric field generated between the signal line (111) and the pixel electrodes (151a) and (151b). ing. This makes it possible to reduce the reverse tilt length of the liquid crystal and the coupling capacitance due to the lateral electric field, and it is possible to secure a good display image. By reducing the lateral electric field in this manner, the pixel electrodes (151a) and (151b) can be arranged sufficiently close to the signal line (111), so that a good display image can be secured as compared with the conventional one. While the liquid crystal display (5
The aperture ratio of 01) can also be improved.

【0069】また、本実施例ではTFT(121) としてダ
ブルゲート構造のものを用いたが、シングルゲート構造
のものを用いても良く、シングルゲート構造場合は画素
電位保持容量(Cs)の確保が容易になるとともに上記シ
ールド効果も向上することは言うまでもない。
Further, although the TFT (121) of the double gate structure is used in this embodiment, a single gate structure may be used. In the case of the single gate structure, the pixel potential holding capacitance (Cs) can be secured. It goes without saying that the shielding effect is improved and the shielding effect is improved.

【0070】本実施例においては、図3,4に示すよう
に、信号線(111) は第1の層間絶縁膜(161) 上に、各画
素電極(151a),(151b) は第2の層間絶縁膜(171) 上に層
分離して配置したが、これは信号線(111) と各画素電極
(151a),(151b) との間のショート不良の発生を防止する
というためであって、同じ層上に形成しても良いことは
いうまでもない。
In this embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the signal line (111) is on the first interlayer insulating film (161) and the pixel electrodes (151a) and (151b) are on the second interlayer insulating film (161). Layers were separated on the inter-layer insulation film (171), but this is the signal line (111) and each pixel electrode.
It is needless to say that this is for the purpose of preventing the occurrence of a short circuit defect between (151a) and (151b) and may be formed on the same layer.

【0071】以上詳述したように、この実施例の液晶示
装置(501) によれば、信号線(111)と補助容量線(211)
との重複領域(231) とで信号電位保持容量(Cv)が形成
されている。このように表示領域(281) 内に信号電位保
持容量(Cv)を開口率を低減させることなく旨く形成す
ることにより、従来では表示領域(281) と信号線駆動回
路(291) との間に形成されていた信号電位保持容量(C
v)を表示領域(281) 内部に形成することができるた
め、信号線駆動回路(291) 側に信号電位保持容量(Cv)
を形成する必要がなく、周辺回路部分の小面積化を達成
することができる。
As described in detail above, according to the liquid crystal display device (501) of this embodiment, the signal line (111) and the auxiliary capacitance line (211) are included.
A signal potential holding capacitor (Cv) is formed with the overlapping region (231) with the signal. In this way, by forming the signal potential holding capacitor (Cv) in the display area (281) well without reducing the aperture ratio, conventionally, between the display area (281) and the signal line driver circuit (291). The signal potential holding capacitance (C
v) can be formed inside the display area (281), so that the signal potential holding capacitance (Cv) is provided on the signal line driver circuit (291) side.
Therefore, the area of the peripheral circuit portion can be reduced.

【0072】また、この実施例によれば、ソース延長領
域(131a),(131b) が第1の画素容量用絶縁膜(143a),(14
3b) を介して補助容量線(281) によって被覆されてい
る。このため、ソース延長領域(131a),(131b) の上部領
域(135a),(135b) を一方の電極とし補助容量線(211) を
他方の電極として形成される第1の画素電位保持容量
(Cst )の他に、ソース延長領域(131a),(131b) の側壁
領域(137a),(137b) を一方の電極とし補助容量線(211)
を他方の電極として形成される第2の画素電位保持容量
(Css )が電気的に並列に接続される。従って、開口率
を低下させることなく十分に大きな画素電位保持容量
(Cs)を得ることができる。
Further, according to this embodiment, the source extension regions (131a) and (131b) are the first pixel capacitance insulating films (143a) and (14a).
It is covered by the auxiliary capacitance line (281) via 3b). Therefore, the first pixel potential holding capacitance (formed by using the upper regions (135a), (135b) of the source extension regions (131a), (131b) as one electrode and the auxiliary capacitance line (211) as the other electrode ( Cst) and the side wall regions (137a) and (137b) of the source extension regions (131a) and (131b) as one electrode, the auxiliary capacitance line (211)
A second pixel potential holding capacitor (Css) formed with the other electrode as the other electrode is electrically connected in parallel. Therefore, a sufficiently large pixel potential holding capacitance (Cs) can be obtained without lowering the aperture ratio.

【0073】そして、このようにして高い開口率と大き
な画素電位保持容量(Cs)を確保することにより、各画
素電極(151a),(151b) の不所望な電位変動が抑えられ、
良好な表示画像を得ることができる。
By thus securing a high aperture ratio and a large pixel potential holding capacitance (Cs), undesired potential fluctuations of the pixel electrodes (151a), (151b) can be suppressed,
A good display image can be obtained.

【0074】更に、本実施例において特徴的なことは、
各ソース延長領域(131a),(131b) がそれぞれ第1の画素
容量用絶縁膜(143) を介して補助容量線(211) によって
被覆されていることであり、これによりソース延長領域
(131a),(131b) が電気的に接続されない隣接する画素電
極と重複する重複領域を形成しても、隣接画素電極(151
a),(151b) の電位の影響を受けることが防止でき、隣接
する画素電極(151a),(151b) の影響の全くない優れた表
示画像を得ることができる。
Further, the characteristic feature of this embodiment is that
The source extension regions (131a) and (131b) are covered with the auxiliary capacitance line (211) through the first pixel capacitance insulating film (143), respectively, and the source extension regions (131) are thereby covered.
Even if (131a) and (131b) form an overlapping region that overlaps with an adjacent pixel electrode that is not electrically connected, the adjacent pixel electrode (151
It is possible to prevent the influence of the potentials of a) and (151b), and it is possible to obtain an excellent display image that is not influenced by the adjacent pixel electrodes (151a) and (151b).

【0075】上述した本実施例の液晶表示装置(501) に
よれば、画素ピッチを40μm角と微細に形成したにも関
わらず、40%という高開口率を確保すると共に、表示領
域(281) 内部に層間絶縁層膜厚が1μmで縦方向の画素
数が1035個の場合約7 pFといった十分な信号電位保持容
量(Cv)を形成することができた。
According to the above-described liquid crystal display device (501) of the present embodiment, a high aperture ratio of 40% is ensured and the display area (281) is formed despite the fine pixel pitch of 40 μm square. It was possible to form a sufficient signal potential holding capacitance (Cv) of about 7 pF when the interlayer insulating film thickness was 1 μm and the number of pixels in the vertical direction was 1035.

【0076】また、全体的な画素電位保持容量(Cs)の
容量値としては、例えば図6に示す従来例と本実施例と
同じ画素サイズで概略比較すると、本実施例は従来に比
べて約2倍の画素電位保持容量(Cs)を確保することが
できた。
The overall capacitance value of the pixel potential holding capacitance (Cs) is approximately the same as that of the conventional example shown in FIG. It was possible to secure double the pixel potential holding capacity (Cs).

【0077】ところで、本実施例では、遮光層(311) を
対向電極(211) 側に形成した場合を示したが、遮光層(3
11) と画素電極(151a),(151b) との位置合せを考慮し
て、TFT(121a),(121b) 上あるいは下に他の絶縁膜を
介して形成しても良い。
In the present embodiment, the case where the light shielding layer (311) is formed on the counter electrode (211) side is shown.
In consideration of alignment between the pixel electrodes (151a) and (151b) and the pixel electrodes (151a) and (151b), another insulating film may be formed above or below the TFTs (121a) and (121b).

【0078】また、信号線(111) への書込時間は、信号
電位保持容量(Cv)と信号電圧駆動回路(291) 内のアナ
ログスイッチのオン抵抗との積によって決定されるもの
で、信号電位保持容量(Cv)は大きければ大きいほど良
いというものでもない。信号電位保持容量(Cv)の値
は、アナログスイッチのオフ抵抗によるリーク特性と上
記書込特性を考慮して決定する必要がある。このため、
遮光層を絶縁膜を介してTFT(121a),(121b) の上に形
成する場合、遮光層を走査線(113) に沿って略ストライ
プ状に形成することにより、遮光層と信号線(111) によ
る不所望な容量の形成がなく、信号線(111) への書込時
間の設定が容易となる。
The writing time to the signal line (111) is determined by the product of the signal potential holding capacitance (Cv) and the on resistance of the analog switch in the signal voltage drive circuit (291). The larger the potential holding capacitance (Cv), the better. The value of the signal potential holding capacitance (Cv) needs to be determined in consideration of the leak characteristic due to the off resistance of the analog switch and the write characteristic. For this reason,
When the light shielding layer is formed on the TFTs (121a) and (121b) via the insulating film, the light shielding layer and the signal line (111) are formed by forming the light shielding layer in a substantially stripe shape along the scanning line (113). There is no undesired formation of capacitance due to), and it becomes easy to set the writing time to the signal line (111).

【0079】また、遮光層をTFT(121a),(121b) の上
に形成する場合、信号線(111) と画素電極(151a),(151
b) を同層で形成するのではなく、図示しないが信号線
(111)、絶縁膜、遮光層、絶縁膜、画素電極(151a),(151
b) という積層構造にすると、遮光層が信号線(111) と
画素電極(151a),(151b) とのシールド層として作用し、
より完全に信号線(111) と画素電極(151a),(151b) との
カップリング容量を低減することができる。
When the light shielding layer is formed on the TFTs (121a), (121b), the signal line (111) and the pixel electrodes (151a), (151
b) is not formed in the same layer, but is not shown
(111), insulating film, light shielding layer, insulating film, pixel electrode (151a), (151
In the laminated structure of b), the light shielding layer acts as a shield layer between the signal line (111) and the pixel electrodes (151a) and (151b),
It is possible to more completely reduce the coupling capacitance between the signal line (111) and the pixel electrodes (151a) and (151b).

【0080】[0080]

【発明の効果】以上詳述した如く、本発明の液晶表示装
置によれば、開口率を低下させることなく表示領域内部
に信号電位保持容量の一部または全部を形成することが
できるため装置、特に表示領域外の領域を小さくでき小
型化を達成することができる。
As described above in detail, according to the liquid crystal display device of the present invention, a part or all of the signal potential holding capacitor can be formed inside the display region without lowering the aperture ratio. In particular, the area outside the display area can be made small and miniaturization can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明の一実施例の液晶表示装置の等
価回路図である。
FIG. 1 is an equivalent circuit diagram of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、図1における液晶表示装置の概略正面
図である。
FIG. 2 is a schematic front view of the liquid crystal display device in FIG.

【図3】図3は、図面手前から図2における液晶表示装
置のA−A’線,B−B’線に沿って切断した概略断面
図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ and the line BB ′ of the liquid crystal display device in FIG. 2 from the front of the drawing.

【図4】図4は、図2における液晶表示装置のC−C’
線に沿って切断した概略断面図である。
4 is a sectional view taken along line CC ′ of the liquid crystal display device in FIG.
It is a schematic sectional drawing cut | disconnected along the line.

【図5】図5は、従来の液晶表示装置の等価回路図を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an equivalent circuit diagram of a conventional liquid crystal display device.

【図6】図6は、従来の液晶表示装置の概略正面図であ
る。
FIG. 6 is a schematic front view of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(111) …信号線 (113) …走査線 (121) …TFT (131) …ソース延長領域 (141) …ゲート絶縁膜 (143) …第1の画素容量用絶縁膜 (151) …画素電極 (161) …第1の層間絶縁膜 (163) …第1の信号保持用絶縁膜 (165) …第2の画素容量用絶縁膜 (171) …第2の層間絶縁膜 (175) …第2の信号保持用絶縁膜 (211) …補助容量線 (301) …第2の電極基板 (313) …遮光層 (111)… Signal line (113) ... scan line (121)… TFT (131)… Source extension area (141)… Gate insulating film (143) ... First insulating film for pixel capacitance (151)… Pixel electrode (161) ... First interlayer insulating film (163) ... First signal holding insulating film (165)… Second insulating film for pixel capacitance (171)… Second interlayer insulating film (175)… Second signal-holding insulating film (211)… Auxiliary capacitance line (301)… Second electrode substrate (313)… Shading layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1368 G02F 1/1343 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1368 G02F 1/1343

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ソース領域およびドレイン領域と、前記
ソース領域と前記ドレイン領域との間に挟まれる活性領
域とを備えた複数の薄膜トランジスタと、 信号線駆動回路からの映像信号をそれぞれの前記薄膜ト
ランジスタの前記ドレイン領域に供給する複数本の信号
線と、 前記信号線の両側にそれぞれの前記薄膜トランジスタの
ソース領域に接続されて配置される一対の画素電極と、前記ソース領域から一対の画素電極間に延びるソース領
域に電気的に接続されたソース延長領域と 前記一対の画素電極間に配置される補助容量線と、前記ソース延長領域の少なくとも一部表面上には第1の
画素容量用絶縁膜を介して前記補助容量線が設けられ、 前記補助容量線と前記信号線との間に積層される第1の
信号保持用絶縁膜とを備えたことを特徴とした液晶表示
装置。
1. A plurality of thin film transistors having a source region and a drain region, and an active region sandwiched between the source region and the drain region, and a video signal from a signal line driving circuit for each of the thin film transistors. A plurality of signal lines supplied to the drain region, a pair of pixel electrodes connected to the source regions of the thin film transistors on both sides of the signal line, and extending from the source region between the pair of pixel electrodes. Source territory
A source extension region electrically connected to the region, an auxiliary capacitance line disposed between the pair of pixel electrodes, and a first extension on at least a part of the surface of the source extension region.
A liquid crystal display, characterized in that the auxiliary capacitance line is provided via an insulating film for pixel capacitance, and a first signal holding insulating film laminated between the auxiliary capacitance line and the signal line. apparatus.
【請求項2】 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記ソース延長領域は上部領域と側部領域を含み、前記
上部領域と前記補助容量線との間および前記側部領域と
前記補助容量線との間に前記第1の画素容量用絶縁膜を
介する画素保持容量が形成されることを特徴とする液晶
表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1 , wherein
The source extension region includes an upper region and a side region, and the first pixel capacitance insulating film is interposed between the upper region and the auxiliary capacitance line and between the side region and the auxiliary capacitance line. A liquid crystal display device, wherein a pixel storage capacitor is formed.
【請求項3】 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記補助容量線の少なくとも一部表面上には第2の画素
保持用絶縁膜が配置され、前記画素電極と前記第2の画
素保持用絶縁膜を介して重複する領域を備えたことを特
徴とした液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1,
A second pixel holding insulating film is disposed on at least a part of the surface of the auxiliary capacitance line, and a region overlapping with the pixel electrode via the second pixel holding insulating film is provided. Liquid crystal display device.
【請求項4】 請求項1記載の液晶表示装置において、
それぞれの前記薄膜トランジスタは、前記活性領域上に
配置されるゲート絶縁膜、前記ゲート絶縁膜を介して前
記信号線とは略直交する走査線に接続されたゲート電極
を含み、前記補助容量線は前記走査線と略平行な方向に
延びていることを特徴とする液晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 1,
Each of the thin film transistors includes a gate insulating film arranged on the active region, a gate electrode connected to a scanning line substantially orthogonal to the signal line through the gate insulating film, and the auxiliary capacitance line is A liquid crystal display device, wherein the liquid crystal display device extends in a direction substantially parallel to a scanning line.
【請求項5】 請求項1記載の液晶表示装置において、
それぞれの前記薄膜トランジスタは、前記活性領域上に
配置されるゲート絶縁膜、前記ゲート絶縁膜を介して前
記信号線とは略直交する走査線に接続されたゲート電極
を含み、前記走査線は2本を1組として近接配置され、
1組の前記走査線を介して隣接する前記画素電極のそれ
ぞれが配置されていることを特徴とする液晶表示装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein
Each of the thin film transistors includes a gate insulating film disposed on the active region, and a gate electrode connected to a scanning line substantially orthogonal to the signal line through the gate insulating film, and two scanning lines are provided. Are placed close to each other,
A liquid crystal display device, wherein each of the pixel electrodes adjacent to each other through one set of the scanning lines is arranged.
【請求項6】 請求項5記載の液晶表示装置において、
1組の前記走査線を介して隣接する前記画素電極のそれ
ぞれに接続された一対の前記薄膜トランジスタの前記ド
レイン領域は前記信号線に接続部を介して共通に接続さ
れていることを特徴とした液晶表示装置。
6. The liquid crystal display device according to claim 5 ,
A liquid crystal characterized in that the drain regions of the pair of thin film transistors connected to each of the pixel electrodes adjacent to each other via a set of the scanning lines are commonly connected to the signal lines via a connecting portion. Display device.
【請求項7】 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記活性領域が多結晶シリコンであることを特徴とする
液晶表示装置。
7. The liquid crystal display device according to claim 1,
Characterized in that the active region is polycrystalline silicon
Liquid crystal display device.
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