JP2869003B2 - Thin plate surface roughness measuring device and laminated state detecting device - Google Patents

Thin plate surface roughness measuring device and laminated state detecting device

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JP2869003B2
JP2869003B2 JP14689294A JP14689294A JP2869003B2 JP 2869003 B2 JP2869003 B2 JP 2869003B2 JP 14689294 A JP14689294 A JP 14689294A JP 14689294 A JP14689294 A JP 14689294A JP 2869003 B2 JP2869003 B2 JP 2869003B2
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measuring
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piece
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、薄鋼板の表面粗さ試験
の自動化を達成することができる薄板の表面粗さ測定技
術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for measuring the surface roughness of a thin steel sheet, which can achieve automation of a surface roughness test of the thin steel sheet.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、薄鋼板について、プレス成形性、
塗膜鮮映性等に及ぼす表面性状の影響が大きいことか
ら、特に自動車ユーザーを中心に、2次元表面粗さの工
程出荷試験ニーズが高かった。これに対し従来、表面粗
さ測定は手動で行われていたため、試験精度を上げるに
は熟練を要し、多くの労力と時間を必要としていた。こ
のため、最近、表面粗さ測定装置を自動化する試みも行
われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, press formability of thin steel sheets has been improved.
Because of the great influence of the surface properties on the coating film sharpness and the like, there is a high need for a two-dimensional surface roughness process shipping test, especially for automobile users. On the other hand, conventionally, since the surface roughness measurement was manually performed, skill was required to increase the test accuracy, and much labor and time were required. For this reason, recently, attempts have been made to automate the surface roughness measuring device.

【0003】[0003]

【発明が解決すべき課題】しかしながら、薄鋼板の2次
元表面粗さ測定を自動化する場合に、試験片サイズが異
なる場合、試験片の端面バリや反り等による形状誤差が
生じたり、試験片払出し、標準片測定等においても課題
が多く、実用化は難しいという問題があった。
However, when the measurement of the two-dimensional surface roughness of a thin steel plate is automated, if the size of the test piece is different, a shape error occurs due to a burr or warpage of the end face of the test piece, or the test piece is dispensed. In addition, there are many problems in measuring standard pieces, and there is a problem that practical use is difficult.

【0004】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、試験片サイズの相異や、試験片の端
面バリや反り等に拘らず、薄鋼板の表面粗さ試験の自動
化を達成することができる薄板の表面粗さ測定技術を提
供することを目的とする。
[0004] The present invention, wherein those solve such conventional problems, differences or specimen size, the end of the test piece
An object of the present invention is to provide a technique for measuring the surface roughness of a thin steel sheet, which can achieve automation of the surface roughness test of the thin steel sheet irrespective of surface burrs and warpage .

【0005】本発明は、薄板の表面粗さ測定装置におい
て、試験片を供給する試験片供給手段と、測定に用いる
ための標準片を収納する標準片収納手段と、試験片又は
前記標準片の表面を1次元又は2次元に走査して表面性
状を測定するための、試験片の傾きを補正する傾斜調整
機構を有し、予備走査を行い、試験片測定面の傾きを最
小自乗法によって求め、前記傾斜調整機構により試験片
の傾きを補正した上で、本走査を行う測定手段と、測定
終了後の試験片を払出す払出し手段と、前記試験片供給
手段から供給される試験片を把持し、該試験片を上記各
手段へ移動させるロボットハンドを有したロボットとを
備え、少なくとも前記試験片供給手段、標準片収納手段
及び測定手段、それぞれ前記ロボットハンドの旋回軌
道に沿って配設ることにより、前記目的を達成した
のである。
The present invention relates to an apparatus for measuring the surface roughness of a thin plate.
Te, a test strip supply means for supplying a test piece, and the standard piece housing means for housing a material measure for use in the measurement, the test piece or
Scan the surface of the standard piece in one or two dimensions
Tilt adjustment to correct the tilt of the test piece to measure the shape
It has a mechanism to perform pre-scanning and to minimize the inclination of the test specimen measurement surface.
The test piece is obtained by the small square method, and the tilt adjustment mechanism is used.
Slope on corrected for the, a measuring unit for performing the scanning, measurement
And dispensing means to dispensing the test piece after completion of the test piece supplied from the specimen supply section gripped, <br/> a robot having a robot hand for moving the specimen into the respective means , at least the test strip supply means, a material measure housing means and measuring means, the arrangement to isosamples along the pivot trajectory of each of the robot hand, is also <br/> had achieved the above object.

【0006】本発明は又、前記測定手段が、試験片を吸
引して受台面に吸着固定させる機能を有し、吸引を行っ
ても吸着が確認できない時は、吸引を行わないようにす
ることにより、同様に前記目的を達成したものである。
本発明は又、前記測定手段が、試験片裏面より小さい受
台面を有することにより、同様に前記目的を達成したも
のである。 本発明は又、前記測定手段が、触針式表面粗
さ測定を行うもので、前記標準片収納手段に、高さ倍率
確認用の2軸スケール校正用標準片と、触針摩耗度確認
用標準片を併置することにより、同様に前記目的を達成
したものである。本発明は更に、前記測定の結果、不良
と判定された試験片を積層して保管するための、積層す
る板面と所定傾斜角をなす光軸を有する光源と、試験片
積層方向に、積層高さ分、並設された複数個の遮光式光
電センサと、該光電センサの光路となる窓を両側面に有
し、天井と前面が開放されている運搬枠とを備えた保管
手段を、前記ロボットハンドの旋回軌道上に配設する
とにより、同様に前記目的を達成したものである。
According to the present invention, preferably, the measuring means absorbs the test piece.
It has a function to draw and fix it on the receiving table surface,
If suction is not confirmed, do not perform suction.
By doing so, the above-mentioned object is also achieved.
The present invention also relates to a measuring apparatus, wherein
By having a base surface, the above-mentioned object is also achieved.
It is. In the present invention, the measuring means may include a stylus type surface roughness.
The standard piece storage means has a height magnification.
Confirmation of two-axis scale calibration standard piece and stylus wear degree
Achieve the same purpose as above by juxtaposing standard pieces
It was done . The present invention further provides a stacking apparatus for stacking and storing test pieces determined to be defective as a result of the measurement .
A light source having an optical axis that forms a predetermined angle of inclination with a plate surface,
A plurality of light-shielded lights arranged side by side in the stacking direction by the stack height
An electric sensor and a window serving as an optical path of the photoelectric sensor are provided on both sides.
And, storage means and a carrier shell ceiling and the front is open, by this <br/> and be disposed on a pivot trajectory of the robot hand, is obtained by achieving the aforementioned object.

【0007】[0007]

【0008】[0008]

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】本発明は又、薄板の積層状態検出装置にお
いて、積層する板面と所定傾斜角をなす光軸を有する光
源と、薄板積層方向に、積層高さ分、並設された複数個
の遮光式光電センサと、該光電センサの光路となる窓を
両側面に有し、天井と前面が開放されている枠体とを備
えることにより、薄板の積層高さを正確に検出すること
ができるようにしたものである。
The present invention is also directed to an apparatus for detecting the state of lamination of thin plates.
Light having an optical axis forming a predetermined angle of inclination with the plate surface to be laminated
Sources and multiple sheets arranged side by side in the stacking direction by the stacking height
A light-shielding photoelectric sensor and a window serving as an optical path of the photoelectric sensor.
It has a ceiling and a frame with an open front, which is on both sides.
By obtaining, to accurately detect the stack height of the sheet
Is made possible .

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【作用】本発明によれば、少なくとも試験片供給手段、
標準片収納手段、測定手段及び払出し手段をそれぞれロ
ボットハンドの旋回軌道に沿って配設したので、該ロボ
ットハンドにより、前記試験片供給手段から試験片を受
け取り、該試験片を前記測定手段へ移動させて測定を行
い、その後該試験片を払出し手段へ移動させる一連の作
業を行う場合、あるいは、前記標準片収納手段より標準
片を取り出して測定手段へ移動し、該標準片の測定を行
い、再び該標準片を前記標準片収納手段へ戻すという作
業を行う場合に、ロボットハンドの動きを小さくするこ
とができるため、これら一連の作業を効率良く行うこと
が可能となり、ひいては上記一連の作業を容易に自動
化、省力化することが可能となる。特に、前記測定手段
が、試験片の傾きを補正する傾斜調整機構を備えるよう
にしているので、試験片の状態によらず正確な測定が可
能である。 更に、測定の際、予備走査を行って試験片測
定面の傾きを最小自乗法によって求め、該試験片の傾き
を補正した上で本走査をするようにしているので、高精
度の測定が可能である。 又、前記測定手段が試験片を吸
引して受台面に吸着固定させる機能を有し、吸引を行っ
ても吸着が確認できない時は、吸引を行わないようにし
た場合には、試験片が反って曲がっていても、平らに固
定することができるだけでなく、針圧の振動に耐えられ
る十分な剛性がある試験片と測定台が密着しない状態で
吸引を続けた場合の、吸引空気流による試験片の震動を
防止することができる。 又、前記測定手段が、試験片裏
面より小さい受台面を有するようにした場合には、試験
片端部のバリの影響を受けることなく試験片を確実に受
台面に固定することができる。 又、前記測定手段を、触
針式表面粗さ測定を行うものとし、前記標準片収納手段
が、高さ倍率確認用の2軸スケール校正用標準片と、触
針摩耗度確認用標準片の2つを併置するようにした場合
には、定期的に該標準片の測定を行うことにより、常に
測定精度を一定に保つことができる。
According to the present invention, at least a test piece supply means,
Since the standard piece storing means, the measuring means and the payout means are respectively arranged along the turning trajectory of the robot hand, the robot hand receives the test piece from the test piece supply means and moves the test piece to the measuring means. When performing a series of operations to move the test piece to the dispensing means, or take out a standard piece from the standard piece storage means and move it to the measuring means, measure the standard piece, When the work of returning the standard piece to the standard piece storage means is performed again, the movement of the robot hand can be reduced, so that a series of these operations can be performed efficiently. Automation and labor saving can be easily achieved. In particular, the measuring means
Has a tilt adjustment mechanism to correct the tilt of the test piece.
Measurement enables accurate measurement regardless of the condition of the test piece.
Noh. In addition, during measurement, a preliminary scan is performed to measure the test piece.
Obtain the slope of the fixed surface by the least squares method, and calculate the slope of the test piece.
The main scanning is performed after correcting the
Degree measurement is possible. Further, the measuring means absorbs the test piece.
It has a function to draw and fix it on the receiving table surface,
Even if suction is not confirmed, do not perform suction.
If the test piece is bent and bent,
Be able to withstand vibration of stylus pressure
The test table with sufficient rigidity and the measuring table
When the suction is continued, the vibration of the specimen due to the suction air flow is
Can be prevented. Further, the measuring means is provided on the back of the test piece.
If you have a cradle surface smaller than
The test piece is securely received without being affected by burrs on one end.
It can be fixed on a table. Further, the measuring means is
Needle type surface roughness measurement shall be performed, and said standard piece storage means
Is a standard piece for biaxial scale calibration for height
When two of the standard pieces for checking the degree of needle wear are placed side by side
By regularly measuring the standard piece,
Measurement accuracy can be kept constant.

【0017】更に、前記測定の結果、不良と判定された
試験片を積層して保管するための保管手段を、前記ロボ
ットハンドの旋回軌道上に配設した場合には、不良試験
片の分別作業も効率良く行うことができ、前記払出し手
段とは別に、不良試験片を保管できるので、再試験が容
易となる。
Further , when the storage means for stacking and storing the test pieces determined to be defective as a result of the measurement is arranged on the swivel path of the robot hand, the work of separating the defective test pieces is performed. Can be performed efficiently, and the defective test piece can be stored separately from the payout means, so that the retest can be easily performed.

【0018】又、前記保管手段の、試験片を積層して保
管する部分、天井と前面が開放されている運搬枠とし
た場合には、取り外しが容易である。
[0018] Further, in the storage means, a storing portion of the test piece was laminated, when a carrier shell ceiling and the front is open, it is easy to remove.

【0019】又該運搬枠は両側面に窓を有し、その窓か
ら、積層する板面と所定傾斜角をなす光を照射し、遮光
式光電センサにより試験片の積層高さを検出するように
した場合には、試験片の積層高さを正確に検出すること
ができるだけでなく、測定の結果不良と判定された試験
片を前記ロボットハンドにより保管手段に収納する際、
積層した試験片上の適切な高さより該試験片を静かに落
下させることができ、試験片の損傷を防止することがで
きる。
The transport frame has windows on both sides, and irradiates light at a predetermined angle to the plate surface to be laminated from the windows, and detects the stacking height of the test pieces by a light-shielding photoelectric sensor. If this is set, the stacking height of the test piece must be accurately detected.
In addition to the above, when storing the test piece determined to be defective as a result of the measurement in the storage means by the robot hand,
The test piece can be gently dropped from an appropriate height above the stacked test pieces, and damage to the test piece can be prevented.

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【0022】[0022]

【0023】[0023]

【0024】[0024]

【0025】[0025]

【0026】[0026]

【0027】[0027]

【0028】[0028]

【実施例】以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0029】図1は、本発明に係わる一実施例の表面粗
さ測定装置全体の概略を示す平面構成図である。
FIG. 1 is a plan view schematically showing an entire surface roughness measuring apparatus according to one embodiment of the present invention.

【0030】なお、本装置は明神工機株式会社及び株式
会社日本技術センターによって製作されたものである。
This apparatus was manufactured by Myojin Koki Co., Ltd. and Japan Technology Center Co., Ltd.

【0031】図1において、10は本実施例による表面
粗さ測定装置であり、周囲から埃等の飛び込みがないよ
うに全面アクリルカバーで覆われている。12は試験片
の移動を行うロボット、14は試験片を供給する試験片
投入部、16は測定部、18は測定器、20は振動を防
ぐ除震台である。又、22は測定の結果良(OK)と判
定された試験片を払出すOKストッカ、24は測定の結
果不良(NG)と判定された試験片を払出すNGストッ
カである。26は標準片収納部であり、ここに収納され
た標準片は定期的に測定される。又、28は本測定装置
の制御を行うマイクロコンピュータである。
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a surface roughness measuring apparatus according to the present embodiment, which is entirely covered with an acrylic cover so that dust and the like do not enter from the periphery. Reference numeral 12 denotes a robot that moves the test piece, 14 denotes a test piece input unit that supplies the test piece, 16 denotes a measuring unit, 18 denotes a measuring device, and 20 denotes a vibration isolation table that prevents vibration. Reference numeral 22 denotes an OK stocker for dispensing a test piece determined to be good (OK) as a result of the measurement, and reference numeral 24 denotes an NG stocker for dispensing a test piece determined to be poor (NG) as a result of the measurement. Reference numeral 26 denotes a standard piece storage unit, and the standard pieces stored therein are measured periodically. Reference numeral 28 denotes a microcomputer for controlling the measurement apparatus.

【0032】又図2は、本実施例による表面粗さ測定試
験の処理の流れを示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing the flow of the processing of the surface roughness measurement test according to this embodiment.

【0033】以下、このフローチャートを用いて測定試
験の処理について詳しく説明する。
Hereinafter, the processing of the measurement test will be described in detail with reference to this flowchart.

【0034】図2のステップ100において、これから
測定試験を行う試験片の登録を行う。ステップ102
で、マイクロコンピュータ28を操作して試験条件の設
定等を行い、ステップ104で試験片を試験片投入部1
4にセットする。
In step 100 of FIG. 2, a test piece to be subjected to a measurement test is registered. Step 102
Then, the microcomputer 28 operates the microcomputer 28 to set test conditions and the like.
Set to 4.

【0035】試験片投入部14は、図3に示すような構
成で、試験片30をサイズ決めガイド32の中へ水平に
積層してセットするようになっており、サイズ決めガイ
ド32は、サイズ決めハンドル34を回すことにより、
試験片の大きさに合せて位置を変えることができる。
The test piece loading section 14 has a configuration as shown in FIG. 3 and is configured to horizontally stack and set the test pieces 30 in a size determining guide 32. By turning the decision handle 34,
The position can be changed according to the size of the test piece.

【0036】以上の操作は人力で手動によって行われる
が、次のステップ106でマイクロコンピュータ28に
より試験開始を指示すると、ここから後はマイクロコン
ピュータ28の制御により自動的に処理が行われる。
The above operation is manually performed manually. When the microcomputer 28 instructs the start of the test in the next step 106, the processing is automatically performed thereafter by the control of the microcomputer 28.

【0037】ステップ108において、ロボット12に
より試験片を試験片投入部14から測定部16へ搬送す
る。具体的には、図3において、積層された試験片30
の一番上の1枚を、吸着盤36により吸着して持ち上
げ、持ち上げた該試験片30を、ロボット12が把持し
て搬送する。この時、2枚を一緒に持ち上げないように
マグネットフロータ38により一番上の1枚を磁力の反
発によって浮き上がらせるようにしている。又、試験片
の有無を光電センサ(図示せず)により確認している。
In step 108, the test piece is transported from the test piece loading section 14 to the measuring section 16 by the robot 12. Specifically, in FIG.
The uppermost sheet is sucked and lifted by the suction board 36, and the robot 12 grips and transports the lifted test piece 30. At this time, the top sheet is lifted by the repulsion of the magnetic force by the magnet floater 38 so as not to lift the two sheets together. Also, the presence or absence of the test piece is confirmed by a photoelectric sensor (not shown).

【0038】又、ロボット12は図4に示すように、ア
ーム12Aの先端にロボットハンド12Bを有してお
り、各部分は図に矢印で示すように自由に回動可能であ
る。ロボットハンド12Bを拡大したものが図2の右の
図であり、ハンド部にウレタンゴム12Cを圧入して、
試験片搬送、反転時に試験片が落下しないような構造に
なっている。
As shown in FIG. 4, the robot 12 has a robot hand 12B at the tip of an arm 12A, and each part can freely rotate as shown by an arrow in the figure. FIG. 2 is an enlarged view of the robot hand 12B. The urethane rubber 12C is press-fitted into the hand portion.
The structure is such that the test piece does not drop when transporting or reversing the test piece.

【0039】試験片が測定部16に搬送され、測定台の
上に置かれると、次のステップ110において、真空吸
着により試験片が測定台上に固定される。この時、測定
台は最小の試験片の大きさより小さく設計してあるた
め、試験片端部の、バリの影響を受けることがない。
When the test piece is conveyed to the measuring section 16 and placed on the measuring table, in the next step 110, the test piece is fixed on the measuring table by vacuum suction. At this time, since the measuring table is designed to be smaller than the minimum test piece size, the end of the test piece is not affected by burrs.

【0040】測定部16の構成を図5に示す。測定台4
0表面には真空吸着口42が5つずつ2列に並んでお
り、中央の孔が他より大きくなっている。このため試験
片が確実に吸着固定される。又近接スイッチ44により
試験片の有無を確認するようにしている。
FIG. 5 shows the configuration of the measuring section 16. Measuring table 4
The vacuum suction ports 42 are arranged in two rows of five on the surface 0, and the center hole is larger than the others. Therefore, the test piece is securely fixed by suction. Also, the presence or absence of the test piece is confirmed by the proximity switch 44.

【0041】前記試験片の真空吸着の様子を図6に断面
図で示す。本実施例の測定台は、剛性の小さい薄板を安
定して測定するために、真空吸着によって試験片を保持
する機能を有している。
FIG. 6 is a sectional view showing the state of vacuum suction of the test piece. The measuring table according to the present embodiment has a function of holding a test piece by vacuum suction in order to stably measure a thin plate having low rigidity.

【0042】測定台40の上に曲がった試験片30を置
くと、図6(A)あるいは(B)に示すような状態とな
る。この状態で粗さ測定を行うと、剛性の小さい試験片
では測定針圧による振動が測定精度に悪影響を及ぼす恐
れがある。そこで、測定台40に加工された真空吸着口
42から真空吸着をかけると、図6(C)に示すように
試験片30は測定台40に密着し、針圧による振動の影
響を免がれることができる。
When the bent test piece 30 is placed on the measuring table 40, a state shown in FIG. 6A or 6B is obtained. If the roughness measurement is performed in this state, the vibration due to the measurement needle pressure may adversely affect the measurement accuracy for a test piece having a small rigidity. Therefore, when vacuum suction is applied from the vacuum suction port 42 formed on the measurement table 40, the test piece 30 adheres to the measurement table 40 as shown in FIG. be able to.

【0043】なお、厚い試験片等で、真空吸着をかけて
も(C)のように測定台に密着しない場合は、試験片
に、針圧の振動に耐えられる十分な剛性があると考えら
れる。又、試験片と測定台が密着しない状態で真空吸引
を続けると、吸引による空気流が試験片を震動させるの
で、真空スイッチ(図示せず)により吸着確認を行い、
真空吸引を行っている時に吸着確認信号がONとならな
い場合には真空吸引をOFFするように制御を行ってい
る。
If a thick test piece does not adhere to the measuring table as shown in FIG. 4C even when vacuum suction is applied, it is considered that the test piece has sufficient rigidity to withstand the vibration of the needle pressure. . If vacuum suction is continued while the test piece and the measuring table are not in close contact with each other, the air flow caused by the suction causes the test piece to vibrate, and the suction is confirmed by a vacuum switch (not shown).
If the suction confirmation signal does not turn on during vacuum suction, control is performed so that vacuum suction is turned off.

【0044】又、測定台40は回転パルスステージ46
の上に乗っており、ステップ112において、この回転
パルスステージ46によって測定台40を回転し、測定
方向を変えることができる。
The measuring table 40 includes a rotary pulse stage 46.
In step 112, the measuring table 40 can be rotated by the rotating pulse stage 46 to change the measuring direction.

【0045】又、測定器18の先頭についている触針1
8Aにより、予備的な測定が行われ、データを最小自乗
法により処理する。試験片が傾いている場合には、ステ
ップ114において、傾斜ステージ48により傾斜補正
が行われる。
The stylus 1 at the head of the measuring instrument 18
At 8A, preliminary measurements are made and the data is processed by the least squares method. If the test piece is tilted, tilt correction is performed by the tilt stage 48 in step 114.

【0046】ステップ116において、粗さ測定が行わ
れる。これは、最初の条件設定に基づいて、縦方向、横
方向、対角線方向の3方向について、適当な組合せで行
われる。Y軸パルスステージ50により、同一方向を同
一ピッチにて複数回測定を行う。
In step 116, a roughness measurement is performed. This is performed in an appropriate combination in the three directions of the vertical direction, the horizontal direction, and the diagonal direction based on the initial condition setting. The measurement is performed a plurality of times in the same direction at the same pitch by the Y-axis pulse stage 50.

【0047】測定後、ステップ118で一次判定を行
い、OKの場合にはステップ120へ進み、結果表示、
印刷、上位伝送を行い、ステップ122で真空吸着を解
除する。その後、ステップ124でロボットハンド12
Bにより再び試験片を保持して搬送し、OKストッカ2
2へ廃棄し、ステップ134へ進む。
After the measurement, a primary determination is made in step 118, and if OK, the process proceeds to step 120, where the result is displayed.
Printing and higher-order transmission are performed, and in step 122, the vacuum suction is released. Then, in step 124, the robot hand 12
B again holds and transports the test piece, and the OK stocker 2
2 and go to step 134.

【0048】一方、ステップ118の判定でNOの場合
は、ステップ126へ進み、結果表示、印刷の後、ステ
ップ128で真空吸着を解除する。ステップ130で、
ロボットハンド12Bにより試験片を保持して、NGス
トッカ24まで搬送し、再試験用に回収する。
On the other hand, if the determination in step 118 is NO, the process proceeds to step 126, and after displaying the result and printing, the vacuum suction is released in step 128. At step 130,
The test piece is held by the robot hand 12B, transported to the NG stocker 24, and collected for a retest.

【0049】NGストッカ24は、図7に示すようにカ
セット台52上に試験片を積層して保管するカセット5
4を設置しているので、取り外し、移動が容易な構成と
なっている。カセット54の両側面には窓が開いてお
り、遮光式光電センサ56により積層された試験片の高
さを検出し、適当な高さ(例えば10mm)まで、ロボッ
トハンド12Bで試験片を保持して、衝撃のないように
落下させるようにしている。この時、光電センサ56の
光軸が水平だと、試験片端部のバリのため、試験片の間
にできる隙間を光が突き抜けてしまい正しい高さの検出
ができなくなる恐れがあるため、図に示すように、光電
センサ56は少し傾けて(例えば10°)配設されてい
る。
The NG stocker 24 is, as shown in FIG. 7, a cassette 5 for stacking and storing test pieces on a cassette table 52.
4, the structure is easy to remove and move. Windows are opened on both sides of the cassette 54. The height of the stacked test pieces is detected by a light-shielding photoelectric sensor 56, and the test pieces are held by the robot hand 12B to an appropriate height (for example, 10 mm). And drop it without impact. At this time, if the optical axis of the photoelectric sensor 56 is horizontal, light may penetrate a gap formed between the test pieces due to burrs at the end of the test piece, and the correct height may not be detected. As shown, the photoelectric sensor 56 is disposed at a slight angle (for example, 10 °).

【0050】又、カセット54の底面は、奥の方が低く
なるように傾斜θを設けてあり、試験片がスライドして
確実に収納されるようになっている。本実施例ではθ=
15°としている。
Further, the bottom surface of the cassette 54 is provided with an inclination θ so that the depth is lower, so that the test piece is slidably accommodated. In this embodiment, θ =
15 °.

【0051】次にステップ132において、最初に登録
された試験片の測定が全て終了したかどうか判定し、未
だ試験片が残っていればステップ108へ戻り測定を続
ける。未だ試験片が残っているかどうかの確認は、試験
片投入部14の光電センサによって行われる。
Next, in step 132, it is determined whether or not the measurement of the first registered test piece has been completed. If any test piece remains, the process returns to step 108 to continue the measurement. Confirmation of whether or not the test piece still remains is performed by the photoelectric sensor of the test piece input unit 14.

【0052】全ての試験片について測定が終了したら、
ステップ134で、不良(NG)品があるかどうかチェ
ックし、もしあれば、ステップ102へ戻り、不良品に
ついて再び測定を行う。なお、NG品測定時はY軸パル
スステージ50を+1.0mm移動し、前回の測定と少し
場所を変えて測定を行う。
When the measurement is completed for all the test pieces,
At step 134, it is checked whether or not there is a defective (NG) product. If there is, the process returns to step 102, and the defective product is measured again. When measuring an NG product, the Y-axis pulse stage 50 is moved +1.0 mm, and the measurement is performed in a slightly different place from the previous measurement.

【0053】ステップ134の判定でNG品がなければ
ステップ136で試験終了とする。
If there is no NG product in the judgment at step 134, the test is terminated at step 136.

【0054】又、測定精度を一定に保つために、定期的
に標準片の測定が行われる。標準片は図8に示すような
標準片収納部26に上下2段に収納されており、上段の
標準片I 58は倍率確認用であり、下段の標準片II60
は触針摩耗チェック用である。又、光電センサにより、
標準片の有無を確認するようにしており、取出し口以外
は全面アクリルカバーで覆い、基準面での埃、ゴミ等の
付着を防止している。
In order to keep the measurement accuracy constant, the measurement of the standard piece is performed periodically. The standard pieces are stored in the upper and lower tiers in the standard piece storage section 26 as shown in FIG. 8, the upper standard piece I 58 is for checking the magnification, and the lower standard piece II 60
Is for checking stylus wear. Also, with the photoelectric sensor,
The presence or absence of the standard piece is checked, and the entire area other than the outlet is covered with an acrylic cover to prevent dust and dirt from adhering to the reference surface.

【0055】なお、本実施例に係る装置は、明神工機株
式会社及び株式会社日本技術センターによって製作され
たものである。
The apparatus according to the present embodiment is manufactured by Myojin Koki Co., Ltd. and Japan Technology Center Co., Ltd.

【0056】又、本発明は、上記実施例に限定されるも
のではなく、例えば、ロボットハンドによる試験片の把
持方法も、機械的力によるものの他、真空吸着でもよ
い。又、積層状態の検出対象も、試験片に限定されな
い。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, a method of holding a test piece by a robot hand may be vacuum suction, in addition to mechanical force. Also, the detection target of the lamination state is not limited to the test piece.
No.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の表面粗さ
測定技術によれば、表面粗さ測定の自動化を達成するこ
とができ、省力化、効率化及び測定精度の高度化、安定
化を図ることができるという優れた効果を有する。又、
本発明の積層状態検出技術によれば、薄板の積層高さを
正確に検出することができるという優れた効果を有す
る。
As described above, the surface roughness of the present invention is as follows.
According to the measurement technique , the surface roughness measurement can be automated, and there is an excellent effect that labor can be saved, efficiency can be improved, and measurement accuracy can be enhanced and stabilized. or,
According to the lamination state detection technology of the present invention, the lamination height of a thin plate is
Has an excellent effect of being able to detect accurately
You.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施例の表面粗さ測定装置全体の概略を示す
平面構成図
FIG. 1 is a plan view schematically showing the entire surface roughness measuring apparatus of the present embodiment.

【図2】本実施例による表面粗さ測定の処理の流れを示
すフローチャート
FIG. 2 is a flowchart illustrating a flow of a process of measuring surface roughness according to the present embodiment.

【図3】本実施例による試験片投入部の構成を示す斜
Oblique view <br/> view showing the FIG. 3 arrangement of a test piece insertion portion according to the embodiment

【図4】本実施例によるロボットを示す斜Oblique view showing the robot according to the embodiment [4]

【図5】本実施例による測定部を示す斜Oblique view showing the measuring unit according to FIG. 5 embodiment

【図6】同じく測定部の試験片吸着の様子を示す一部断
面を含む側面図
FIG. 6 is a side view including a partial cross section showing a state of adsorption of a test piece in the measurement unit.

【図7】本実施例による再試験片を保管するNGストッ
カを示す斜
[7] oblique view showing the storing NG stocker re specimens of this embodiment

【図8】本実施例による標準片収納部を示す斜Oblique view showing the standard piece housing part according to this embodiment [Fig. 8]

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…表面粗さ測定装置 12…ロボット 14…試験片投入部 16…測定部 18…測定器 20…除震台 22…OKストッカ 24…NGストッカ 26…標準片収納部 28…コンピュータ(CPU) DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Surface roughness measuring device 12 ... Robot 14 ... Test piece input part 16 ... Measuring part 18 ... Measuring instrument 20 ... Isolation table 22 ... OK stocker 24 ... NG stocker 26 ... Standard piece storage part 28 ... Computer (CPU)

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−38838(JP,A) 特開 昭53−105258(JP,A) 特開 平2−184701(JP,A) 特開 平2−249910(JP,A) 特開 昭53−105261(JP,A) 実開 昭60−76204(JP,U) 実開 昭48−91964(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 5/00 - 5/30 G01B 21/00 - 21/32 Continuation of front page (56) References JP-A-2-38838 (JP, A) JP-A-53-105258 (JP, A) JP-A-2-184701 (JP, A) JP-A-2-249910 (JP, A) JP-A-53-105261 (JP, A) JP-A-60-76204 (JP, U) JP-A-48-91964 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB G01B 5/00-5/30 G01B 21/00-21/32

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】試験片を供給する試験片供給手段と、 測定に用いるための標準片を収納する標準片収納手段
と、試験片又は前記標準片の表面を1次元又は2次元に走査
して表面性状を測定するための、試験片の傾きを補正す
る傾斜調整機構を有し、予備走査を行い、試験片測定面
の傾きを最小自乗法によって求め、前記傾斜調整機構に
より試験片の傾きを補正した上で、本走査を行う 測定手
段と、測定終了後の 試験片を払出す払出し手段と、 前記試験片供給手段から供給される試験片を把持し、該
試験片を上記各手段へ移動させるロボットハンドを有し
たロボットとを備え、少なくとも 前記試験片供給手段、標準片収納手段及び測
定手段が、それぞれ前記ロボットハンドの旋回軌道に沿
って配設されていることを特徴とする薄板の表面粗さ測
定装置。
1. A test piece supply means for supplying a test piece, a standard piece storage means for storing a standard piece to be used for measurement, and a one-dimensional or two-dimensional scan of the surface of the test piece or the standard piece.
To correct the inclination of the test piece to measure the surface properties
It has a tilt adjustment mechanism, performs pre-scanning, and measures the test specimen
Is obtained by the least squares method, and the inclination adjustment mechanism
After correcting the inclination of the test piece, a measuring means for performing a main scan, a dispensing means for discharging the test piece after the measurement is completed , and a test piece supplied from the test piece supplying means is gripped, the a robot having a robot hand for moving the above means, at least the test strip supply means, that the material measure housing means and the measuring means are arranged respectively along the pivot trajectory of the robot hand Characteristic device for measuring surface roughness of thin plates.
【請求項2】請求項1において、前記測定手段が、試験
片を吸引して受台面に吸着固定させる機能を有し、吸引
を行っても吸着が確認できない時は、吸引を行わないよ
うにされていることを特徴とする薄板の表面粗さ測定装
置。
Wherein Oite to claim 1, wherein the measuring means, to suck the specimen have a function of adsorbing fixed to pedestal surface, suction
If suction is not confirmed even after performing, do not perform suction.
Surface roughness measuring apparatus of the sheet, characterized that you have been sea urchin.
【請求項3】請求項1又は2において、前記測定手段
が、試験片裏面より小さい受台面を有することを特徴と
する薄板の表面粗さ測定装置。
3. The method of claim 1 or 2, wherein the measuring means, the surface roughness measuring apparatus of the sheet characterized by having a smaller pedestal surface specimen backside.
【請求項4】請求項1乃至のいずれか一項において、
前記測定手段が、触針式表面粗さ測定を行うもので、前
記標準片収納手段に、高さ倍率確認用の2軸スケール校
正用標準片と、触針摩耗度確認用準片併置される
とを特徴とする薄板の表面粗さ測定装置。
4. A any one of claims 1 to 3,
Said measuring means, and performs a stylus-type surface roughness measurement, the standard piece housing means, and two-axis scale calibration standard piece of high magnification for confirmation, the stylus wear degree confirmation target Junkata collocated An apparatus for measuring the surface roughness of a thin plate.
【請求項5】請求項1乃至4のいずれか一項において、
更に、前記測定の結果、不良と判定された試験片を積層
して保管するための、積層する板面と所定傾斜角をなす
光軸 を有する光源と、試験片積層方向に、積層高さ分、
並設された複数個の遮光式光電センサと、該光電センサ
の光路となる窓を両側面に有し、天井と前面が開放され
ている運搬枠とを備えた保管手段、前記ロボットハン
ドの旋回軌道上に配設されていることを特徴とする薄板
の表面粗さ測定装置。
5. according to any one of claims 1 to 4,
Furthermore, as a result of the measurement, a test piece determined to be defective is laminated.
At a predetermined angle to the plate surface to be stacked for storage
A light source having an optical axis , in the test piece stacking direction, by the stacking height,
A plurality of light-shielding photoelectric sensors arranged in parallel, and the photoelectric sensors
Windows on both sides, the ceiling and front are open
And storage means comprising a carrier shell which is a surface roughness measuring apparatus of the sheet, characterized in that it is arranged on the turning trajectory of the robot hand.
【請求項6】積層する板面と所定傾斜角をなす光軸を有
する光源と、 薄板積層方向に、積層高さ分、並設された複数個の遮光
式光電センサと、 該光電センサの光路となる窓を両側面に有し、天井と前
面が開放されている枠体と、 を備えたことを特徴とする薄板の積層状態検出装置
6. An optical axis having an inclination angle with a plate surface to be laminated.
Light source and a plurality of light shields arranged side by side in the lamination direction
Type photoelectric sensor, and a window serving as an optical path of the photoelectric sensor on both sides, the ceiling and the front
Stacked state detecting device of the thin plate, characterized in that it and a frame body surface is open.
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