JP2519278B2 - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

Info

Publication number
JP2519278B2
JP2519278B2 JP62317800A JP31780087A JP2519278B2 JP 2519278 B2 JP2519278 B2 JP 2519278B2 JP 62317800 A JP62317800 A JP 62317800A JP 31780087 A JP31780087 A JP 31780087A JP 2519278 B2 JP2519278 B2 JP 2519278B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
epoxy resin
semiconductor device
general formula
package
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62317800A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH01158755A (en
Inventor
達志 伊藤
富士夫 北村
新一 大泉
準一 安達
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP62317800A priority Critical patent/JP2519278B2/en
Publication of JPH01158755A publication Critical patent/JPH01158755A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2519278B2 publication Critical patent/JP2519278B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、表面実装時におけるパツケージクラツク
の発生の少ない半導体装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device in which package cracks are less likely to occur during surface mounting.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

トランジスタ,IC,LSI等の半導体素子は、外部環境の
保護の観点および素子のハンドリングを可能にする観点
から、プラスチツクパツケージ等により封止され半導体
装置化されている。この種のパツケージの代表例として
は、デユアルインラインパツケージ(DIP)がある。こ
のDIPは、ピン挿入型のものであり、実装基板に対して
ピンを挿入することにより半導体装置を取り付けるよう
になつている。
Semiconductor elements such as transistors, ICs, and LSIs are made into semiconductor devices by being sealed with a plastic package or the like from the viewpoints of protecting the external environment and enabling the handling of the elements. A representative example of this type of package is a dual in-line package (DIP). The DIP is of a pin insertion type, and attaches a semiconductor device by inserting a pin into a mounting board.

最近は、LSIチップ等の半導体装置の高集積化と高速
化が進んでおり、加えて電子装置を小形で高機能にする
要求から、実装の高密度化が進んでいる。このような観
点からDIPのようなピン挿入型のパツケージに代えて、
表面実装用パツケージが主流になつてきている。この種
のパツケージを用いた半導体装置においては、平面的に
ピンを取り出し、これを実装基板表面に直接半田等によ
つて固定するようになつている。このような表面実装型
半導体装置は、平面的にピンが取り出せるようになつて
おり、薄い,軽い,小さいという利点を備えており、し
たがつて実装基板に対する占有面積が小さくてすむとい
う利点を備えている他、基板に対する両面実装も可能で
あるという長所も有している。
Recently, high integration and high speed of semiconductor devices such as LSI chips have been advanced, and in addition, high density mounting has been advanced due to a demand for making electronic devices small and highly functional. From this point of view, instead of a pin insertion type package like DIP,
Surface mount packages are becoming mainstream. In a semiconductor device using this kind of package, pins are taken out in a plane and are fixed directly to the surface of the mounting board by soldering or the like. Such a surface-mount type semiconductor device has an advantage that pins can be taken out in a plane and has the advantages of being thin, light, and small, and therefore has the advantage of occupying a small area on the mounting board. In addition, it has the advantage that double-sided mounting on a substrate is also possible.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

ところが、上記のような表面実装前にパツケージ自体
が吸湿している場合には、半田実装時に水分の蒸気圧に
よつて、パツケージにクラツクが生じるという問題があ
る。すなわち、第1図に示すような表面実装型半導体装
置において、水分は矢印Aのように封止樹脂1を通つ
て、またリードフレーム2と樹脂1との隙間を通つてパ
ツケージ3内に侵入し、主としてリードフレーム2のダ
イボンドパツト4の裏面に滞溜する。そして、ベーパー
フエーズソルダリング等の半田表面実装を行う際に、上
記滞留水分が、上記半田実装における加熱により気化
し、その蒸気圧により、第2図に示すようにダイボンド
パット4の裏面の樹脂部分を下方に押しやり、そこに空
隙5をつくると同時にパツケージ3にクラツク6を生じ
させる。第1図および第2図において、7は半導体素
子,8はワイヤーボンデイングである。
However, when the package itself absorbs moisture before the surface mounting as described above, there is a problem that the package is cracked due to the vapor pressure of water during solder mounting. That is, in the surface mount type semiconductor device as shown in FIG. 1, moisture enters the package 3 through the sealing resin 1 and the gap between the lead frame 2 and the resin 1 as shown by arrow A. , Mainly on the back surface of the die bond pad 4 of the lead frame 2. Then, when solder surface mounting such as vapor phase soldering is performed, the accumulated water is vaporized by heating in the solder mounting, and the vapor pressure thereof causes a resin on the back surface of the die bond pad 4 as shown in FIG. The part is pushed downwards, creating a void 5 therein and at the same time creating a crack 6 in the package 3. 1 and 2, reference numeral 7 denotes a semiconductor element, and reference numeral 8 denotes a wire bonding.

このような問題に対する解決策として、半導体素子を
パツケージで封止した後、得られた半導体装置全体を密
封し、表面実装の直前に開封して使用する方法や、表面
実装の直前に上記半導体装置を100℃で24時間乾燥さ
せ、その後半田実装を行うという方法が提案され、すで
に実施されている。しかしながら、このような前処理方
法によれば、製造工程が長くなる上、手間がかかるとい
う問題がある。
As a solution to such a problem, after sealing a semiconductor element with a package, the whole obtained semiconductor device is sealed and opened immediately before surface mounting, or the above semiconductor device is mounted immediately before surface mounting. A method has been proposed and already implemented in which the solder is dried at 100 ° C for 24 hours and then solder mounting is performed. However, according to such a pretreatment method, there is a problem that the manufacturing process becomes long and labor is required.

この発明はこのような事情に鑑みなされたもので、電
子機器への実装に際して前処理を要することなく、しか
も半田実装時の加熱に耐えうる半導体装置の提供をその
目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a semiconductor device which does not require pretreatment for mounting on an electronic device and can withstand heating during solder mounting.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記の目的を達成するため、この発明の半導体装置
は、少なくとも一部が下記の一般式(I)で表されるエ
ポキシ樹脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、少なくと
も一部が下記の一般式(II)で表されるフエノール樹脂
からなるフエノール樹脂硬化剤成分と、無機質充填剤を
主要成分とするエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子
を封止するという構成をとる。
In order to achieve the above-mentioned object, the semiconductor device of the present invention has an epoxy resin main component comprising at least a part of an epoxy resin represented by the following general formula (I) and at least a part of the following general formula (II ), A semiconductor resin is encapsulated with a phenol resin curing agent component composed of a phenol resin and an epoxy resin composition containing an inorganic filler as a main component.

なお、上記式(I),(II)において繰り返し数n
は、重量平均分子量Mw値から求めたものである。
In the above formulas (I) and (II), the number of repetitions n
Is determined from the weight average molecular weight Mw value.

〔作用〕[Action]

パツケージクラツクの発生を防止する方法としては、
封止樹脂に対する吸湿を抑制する、ダイボンドパッ
ト裏面および半導体素子の表面と封止樹脂との間の接着
力を高める、封止樹脂自体の強度を高めるの三つの方
法が考えられる。この発明は、上記の封止樹脂自体の
強度を高めることにより、パツケージクラツクの発生を
防止するものであり、上記一般式(I)で表される特殊
なエポキシ樹脂と、上記一般式(II)で表される特殊な
フエノール樹脂とを用いることにより、半田実装におけ
るような高温下での封止樹脂の強度を現状の樹脂に比較
して、約3〜4倍に向上させるようにするものである。
特に、封止に用いるエポキシ樹脂組成物の無機質充填剤
として、最大粒径50μm,平均粒径2〜15μmの破砕フイ
ラーと最大粒径100μm以下,平均粒径10〜25μmの球
状フイラーとを併用すると、上記のような高温下での樹
脂強度の向上効果が得られると同時にエポキシ樹脂組成
物自体に優れた流動性を付与させうるようになる。
As a method to prevent the occurrence of package cracks,
Three methods are conceivable: suppression of moisture absorption with respect to the sealing resin, enhancement of the adhesive force between the back surface of the die bond pad and the surface of the semiconductor element and the sealing resin, and enhancement of the strength of the sealing resin itself. This invention prevents the occurrence of package cracks by increasing the strength of the encapsulating resin itself. The special epoxy resin represented by the general formula (I) and the general formula (II By using a special phenol resin represented by), the strength of the encapsulating resin under high temperature such as solder mounting is improved about 3 to 4 times as compared with the current resin. Is.
In particular, as an inorganic filler of the epoxy resin composition used for sealing, if a crushed filler having a maximum particle diameter of 50 μm and an average particle diameter of 2 to 15 μm and a spherical filler having a maximum particle diameter of 100 μm or less and an average particle diameter of 10 to 25 μm are used together. In addition, the effect of improving the resin strength at high temperatures as described above can be obtained, and at the same time, the epoxy resin composition itself can be provided with excellent fluidity.

この発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、全部もしく
は一部が前記一般式(I)で表される特殊なエポキシ樹
脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、全部もしくは一部
が前記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂か
らなるフエノール樹脂硬化剤成分と無機質充填剤等とを
用いて得られるものであつて、通常、粉末状もしくはそ
れを打錠したタブレツト状になつている。
The epoxy resin composition used in the present invention comprises an epoxy resin main component consisting of a special epoxy resin represented by the general formula (I) in whole or in part and represented by the general formula (II) in whole or in part. It is obtained by using a phenol resin curing agent component composed of a special phenol resin described above and an inorganic filler, etc., and is usually in the form of a powder or a tablet formed by tableting.

上記エポキシ樹脂主剤成分の全部もしくは一部を構成
する前記一般式(I)の特殊なエポキシ樹脂はノボラツ
ク型エポキシ樹脂の主鎖のメチレン基にフエニルグリシ
ジルエーテルを結合させた構造のものである。このよう
な分子構造にすることにより、架橋点が増え、架橋密度
の高い構造物が得られるようになる。なお、上記特殊な
エポキシ樹脂のみでエポキシ樹脂主剤成分を構成しても
よいし、それ以外の通常用いられるエポキシ樹脂と併用
するようにしてもよい。通常用いられるエポキシ樹脂と
しては、クレゾールノボラツク型,フエノールノボラツ
ク型やビスフエノールA型等の各種のエポキシ樹脂があ
げられる。これらの樹脂の中でも、融点が室温を超えて
おり、室温下では固形状もしくは高粘度の溶液状を呈す
るものを用いることが高結果をもたらず、ノボラツク型
エポキシ樹脂としては、通常、エポキシ当量150〜250,
軟化点50〜130℃のものが用いられ、クレゾールノボラ
ツク型エポキシ樹脂としては、エポキシ当量180〜210,
軟化点60〜110℃のものが一般に用いられる。このよう
に両者を併用する場合には、上記一般式(I)で表され
る特殊なエポキシ樹脂と、上記通常のエポキシとは、前
者100重量部(以下「部」と略す)に対して後者0〜100
部の範囲内に設定することが好適である。
The special epoxy resin of the general formula (I) constituting all or a part of the above-mentioned epoxy resin main component has a structure in which phenyl glycidyl ether is bonded to a methylene group in the main chain of a novolak type epoxy resin. With such a molecular structure, the number of crosslinking points is increased and a structure having a high crosslinking density can be obtained. The epoxy resin main component may be composed of only the special epoxy resin described above, or may be used in combination with other commonly used epoxy resins. Examples of commonly used epoxy resins include various epoxy resins such as cresol novolak type, phenol novolak type, and bisphenol A type. Among these resins, the melting point is higher than room temperature, and it does not bring high results to use a solid or highly viscous solution at room temperature, and as a novolak type epoxy resin, an epoxy equivalent is usually used. 150-250,
Those having a softening point of 50 to 130 ° C. are used, and as the cresol novolak type epoxy resin, an epoxy equivalent of 180 to 210,
A softening point of 60 to 110 ° C is generally used. When both are used in this way, the special epoxy resin represented by the general formula (I) and the normal epoxy are the former 100 parts by weight (hereinafter abbreviated as "part") and the latter 100 parts by weight. 0-100
It is preferable to set it within the range of parts.

フエノール樹脂硬化剤成分の全部もしくは一部を構成
する上記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂
は、フエノールノボラツクの主鎖のメチレン基にフエノ
ールを結合させた構造のものであり、このような分子構
造によつて架橋点が増加し、それによつて架橋密度の高
い三次元構造体が得られるようになる。上記特殊なフエ
ノール樹脂は、それ自体でフエノール樹脂硬化剤成分を
構成してもよいし、通常用いられているその他のフエノ
ール樹脂と併用しても差支えはない。その他のフエノー
ル樹脂としては、フエノールノボラツク,クレゾールノ
ボラツク等があげられる。これらのノボラツク樹脂は、
軟化点が50〜110℃,水酸基当量が70〜150のものを用い
ることが望ましい。特に上記ノボラツク樹脂の中でも、
クレゾールノボラツクを用いることが好結果をもたら
す。上記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂
と、このような通常のフエノール樹脂を併用する場合に
おける両者の割合は、前者100部に対して後者0〜100部
の範囲内に設定することが効果の点で好ましい。
The special phenol resin represented by the above general formula (II), which constitutes all or part of the phenol resin curing agent component, has a structure in which a phenol is bonded to the methylene group of the main chain of the phenol novolak, Due to such a molecular structure, the number of cross-linking points increases, whereby a three-dimensional structure having a high cross-linking density can be obtained. The above-mentioned special phenol resin may constitute a phenol resin curing agent component by itself, or may be used in combination with other commonly used phenol resin. Examples of other phenol resins include phenol novolak and cresol novolak. These novolak resins are
It is desirable to use one having a softening point of 50 to 110 ° C and a hydroxyl equivalent of 70 to 150. Especially among the above Novorak resin,
The use of cresol novolak has been successful. The ratio of the special phenol resin represented by the general formula (II) and the case where such a normal phenol resin is used in combination is set in the range of 0 to 100 parts with respect to 100 parts of the former. Is preferable in terms of the effect.

上記エポキシ樹脂主剤成分およびフエノール樹脂硬化
剤成分とともに用いられる無機質充填剤としては、通常
シリカが用いられる。それ以外に、結晶性および溶融性
フイラーはもちろんのこと、酸化アルミニウム,酸化ベ
リリウム,炭化ケイ素,窒化ケイ素等の充填剤を使用す
ることができる。このような無機質充填剤としては、最
大粒径50μm以下,平均粒径2〜15μmの破砕フイラー
と、最大粒径100μm以下,平均粒径10〜25μmの球状
フイラーとを併用することが効果の点で好ましい。この
ように両者を併用することにより、従来の封止樹脂に比
較して、約4倍の強度を得ることができると同時に、エ
ポキシ樹脂組成物に対して優れた流動性を付与させるよ
うになる。
Silica is usually used as the inorganic filler used together with the epoxy resin main component and the phenol resin curing agent component. In addition to the crystalline and fusible fillers, fillers such as aluminum oxide, beryllium oxide, silicon carbide and silicon nitride may be used. As such an inorganic filler, it is effective to use a crushed filler having a maximum particle size of 50 μm or less and an average particle size of 2 to 15 μm and a spherical filler having a maximum particle size of 100 μm or less and an average particle size of 10 to 25 μm. Is preferred. By using both of them together in this manner, it is possible to obtain about four times the strength as compared with the conventional sealing resin, and at the same time, to impart excellent fluidity to the epoxy resin composition. .

なお、この発明に用いるエポキシ樹脂組成物には、必
要に応じて上記の成分以外に難燃化剤,カツプリング
剤,硬化促進剤,ワツクス等が用いられる。
In the epoxy resin composition used in the present invention, a flame retardant, a coupling agent, a curing accelerator, wax, etc. may be used, if necessary, in addition to the above components.

上記難燃化剤としては、ノボラツク型ブロム化エポキ
シもしくは、ビスAタイプエポキシ,三酸化アンチモン
および五酸化アンチモン等の化合物を適宜単独でもしく
は併せて使用することが行われる。
As the flame retardant, compounds such as novolak type brominated epoxy or bis A type epoxy, antimony trioxide and antimony pentoxide are appropriately used alone or in combination.

上記カツプリング剤としては、グリシジルエーテルタ
イプ,アミンタイプ,チオシアンタイプ,ウレアタイプ
等のメトキシないしはエトキシシランが、適宜に単独で
もしくは併せて用いられる。その使用方法としては、充
填剤に対して、ドライブレンドしたり、もしくは予備加
熱反応させたり、さらには有機成分原料に対する予備混
合等自由である。
As the above-mentioned coupling agent, methoxy or ethoxysilane such as glycidyl ether type, amine type, thiocyan type and urea type may be used alone or in combination as appropriate. As a method of using the filler, it is possible to dry blend the filler, or carry out a preliminary heating reaction, and further preliminarily mix the organic component raw material.

上記硬化促進剤としては、アミン系,リン系,ホウ素
系等の硬化促進剤があげられ、単独でもしくは併せて使
用される。
Examples of the curing accelerator include amine-based, phosphorus-based, and boron-based curing accelerators, which may be used alone or in combination.

上記ワツクスとしては、高級脂肪酸,高級脂肪酸エス
テル,高級脂肪酸カルシウム等の化合物があげられ、単
独でもしくは併せて使用される。
Examples of the wax include compounds such as higher fatty acids, higher fatty acid esters, and higher fatty acid calcium, which may be used alone or in combination.

この発明に用いられるエポキシ樹脂組成物は、例えば
つぎのようにして製造することができる。すなわち、上
記の成分原料を適宜配合し予備混合した後、ミキシング
ロール機等の混練機にかけ加熱状態で混練して溶融混合
し、これを室温に冷却した後、公知の手段によつて粉砕
し、必要に応じて打錠するという一連の工程により製造
することができる。
The epoxy resin composition used in this invention can be produced, for example, as follows. That is, after appropriately mixing and premixing the above component raw materials, the mixture is kneaded in a heating state by a kneading machine such as a mixing roll machine to be melt mixed, cooled to room temperature, and then pulverized by a known means, It can be manufactured by a series of steps of tableting as necessary.

このようなエポキシ樹脂組成物を用いての半導体素子
の封止は、特に限定するものではなく、通常のトランス
フアー成形等の公知のモールド方法により行うことがで
きる。
The sealing of the semiconductor element using such an epoxy resin composition is not particularly limited, and can be performed by a known molding method such as normal transfer molding.

このようにして得られる半導体装置は、エポキシ樹脂
組成物中に含まれる上記一般式(I)で表される特殊な
エポキシ樹脂および、一般式(II)で表される特殊なフ
エノール樹脂の作用により、封止樹脂の強度、特に高温
時における強度が従来のもの3〜4倍と高くなつている
ため、半田実装に際しても、パツケージクラツク等を生
ずることがない。
The semiconductor device thus obtained is produced by the action of the special epoxy resin represented by the general formula (I) and the special phenol resin represented by the general formula (II) contained in the epoxy resin composition. Since the strength of the sealing resin, especially at high temperature, is 3 to 4 times as high as the conventional one, package cracks and the like do not occur during solder mounting.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

この発明の半導体装置は、上記のような特殊なエポキ
シ樹脂およびフエノール樹脂を含有する特殊なエポキシ
樹脂組成物を用いて半導体素子が樹脂封止されているた
め、半田実装におけるような過酷な条件下においてもパ
ツケージクラツクを生じることがない。特に、上記特殊
なエポキシ樹脂組成物による封止により、8ピン以上,
特に16ピン以上もしくはチツプの長辺が4mm以上の大形
の半導体装置において上記のような高信頼度が得られる
ようになるのであり、これが大きな特徴である。
In the semiconductor device of the present invention, since the semiconductor element is resin-sealed with the special epoxy resin composition containing the special epoxy resin and the phenol resin as described above, the semiconductor device is soldered under severe conditions. Also does not cause a package crack. In particular, by encapsulating with the above special epoxy resin composition, 8 pins or more,
In particular, in a large-sized semiconductor device having 16 pins or more or a chip long side of 4 mm or more, the above high reliability can be obtained, which is a major feature.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。 Next, examples will be described together with comparative examples.

〔実施例1〜12,比較例1〜6〕 まず、実施例および比較例で使用した成分原料は下記
の通りである。
[Examples 1 to 12, Comparative Examples 1 to 6] First, the component raw materials used in Examples and Comparative Examples are as follows.

<主剤> A:一般式の成分(n=3;重量平均分子量より計算) B:一般式の成分(n=5;重量平均分子量より計算) C:エポキシクレゾールノボラツク(n=4;重量平均分子
量より計算) D:同上(n=7;重量平均分子量より計算) (重量平均分子量はGPC測定を行いポリスチレン換算で
計算した。) <硬化剤> E:一般式成分(n=3;重量平均分子量より計算) F:同上(n=5;重量平均分子量より計算) G:フエノールノボラツク(n=4;重量平均分子量より計
算) H:同上(n=7;重量平均分子量より計算) (重量平均分子量はGPC測定を行いポリスチレン換算で
計算した。) <充填剤> I:最大粒径=50μm 平均粒径=3μm (形状=破砕型) J:最大粒型=100μm 平均粒径=15μm (形状=球状) K:最大粒径=150μm 平均粒径=20μm (形状=破砕径) <難燃化剤> L:ノボラツク型Br化エポキシ M:三酸化ニアンチモン <硬化触媒> N:トリフエニルホスフイン O:ジメチルイミダゾール <離型剤> P:ポリエチレンwax Q:高級脂肪酸エステル系wax <添加剤> R:トリメトキシシラングリシジルエーテル 後記の第1表に示す原料を同表に示す割合で配合し、
ミキシングロール機にかけて100℃で10分間混練し、シ
ート状組成物を得た。ついで、得られたシート状組成物
を粉砕し、目的とする粉末のエポキシ樹脂組成物を得
た。
<Main agent> A: Component of general formula (n = 3; calculated from weight average molecular weight) B: Component of general formula (n = 5; calculated from weight average molecular weight) C: Epoxycresol novolac (n = 4; weight average) Calculated from molecular weight) D: Same as above (n = 7; calculated from weight average molecular weight) (Weight average molecular weight was calculated in terms of polystyrene by GPC measurement.) <Curing agent> E: General formula component (n = 3; weight average) F: same as above (n = 5; calculated from weight average molecular weight) G: phenol novolak (n = 4; calculated from weight average molecular weight) H: same as above (n = 7; calculated from weight average molecular weight) (weight The average molecular weight was measured by GPC and calculated in terms of polystyrene.) <Filler> I: maximum particle size = 50 μm average particle size = 3 μm (shape = crush type) J: maximum particle size = 100 μm average particle size = 15 μm (shape = Spherical) K: maximum particle size = 150 μm average particle size = 20 μm (shape = crushed diameter) <flame retardant > L: Novolac-type Br-epoxy M: Niantimony trioxide <Curing catalyst> N: Triphenylphosphine O: Dimethylimidazole <Release agent> P: Polyethylene wax Q: Higher fatty acid ester wax <Additives> R: Trimethoxysilane glycidyl ether The raw materials shown in Table 1 below are mixed in the proportions shown in the same table,
The mixture was kneaded with a mixing roll machine at 100 ° C. for 10 minutes to obtain a sheet composition. Then, the obtained sheet-shaped composition was pulverized to obtain a desired powdered epoxy resin composition.

以上の実施例および比較例で得られた粉末状のエポキ
シ樹脂組成物を用い、半導体素子をトランスフアー成形
でモールドすることにより、半導体装置を得た。この半
導体装置は、80ピンQFPのパツケージ(20×14mm,厚み2.
25mm)のものであり、7×7mmのチツプサイズを有する
ものである。
A semiconductor device was obtained by molding a semiconductor element by transfer molding using the powdery epoxy resin compositions obtained in the above Examples and Comparative Examples. This semiconductor device is an 80-pin QFP package (20 x 14 mm, thickness 2.
25 mm) and has a chip size of 7 × 7 mm.

このようにして得られた半導体装置について、測定試
験を行つた。その結果を下記の第2表に示す。
The semiconductor device thus obtained was subjected to a measurement test. The results are shown in Table 2 below.

第2表の結果から実施例品は、各特性、特に曲げ物性
が室温(RT)については、比較例と大差はないものの、
215℃のような高温においては、比較例よりも著しく優
れた結果が得られており、高温時におけるパツケージの
強度が大幅に向上しているおとがわかる。
From the results in Table 2, the example products are not so different from the comparative examples in each property, especially in bending property at room temperature (RT),
At a high temperature such as 215 ° C., the result is remarkably superior to that of the comparative example, and it can be seen that the strength of the package at a high temperature is significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図および第2図は、従来例の説明図である。 1 and 2 are explanatory views of a conventional example.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも一部が下記の一般式(I)で表
されるエポキシ樹脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、
少なくとも一部が下記の一般式(II)で表されるフエノ
ール樹脂からなるフエノール樹脂硬化剤成分と、無機質
充填剤を主要成分とするエポキシ樹脂組成物を用いて半
導体素子を封止してなる半導体装置。
An epoxy resin base component at least partially composed of an epoxy resin represented by the following general formula (I):
A semiconductor obtained by encapsulating a semiconductor element by using a phenol resin curing agent component at least a part of which is represented by the following general formula (II) and an epoxy resin composition containing an inorganic filler as a main component. apparatus.
JP62317800A 1987-12-15 1987-12-15 Semiconductor device Expired - Lifetime JP2519278B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62317800A JP2519278B2 (en) 1987-12-15 1987-12-15 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62317800A JP2519278B2 (en) 1987-12-15 1987-12-15 Semiconductor device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01158755A JPH01158755A (en) 1989-06-21
JP2519278B2 true JP2519278B2 (en) 1996-07-31

Family

ID=18092176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62317800A Expired - Lifetime JP2519278B2 (en) 1987-12-15 1987-12-15 Semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2519278B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2774522B2 (en) * 1988-09-16 1998-07-09 株式会社東芝 Epoxy resin composition and resin-encapsulated semiconductor device
JPH02173033A (en) * 1988-12-27 1990-07-04 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition for semiconductor sealing
JPH03195722A (en) * 1989-12-25 1991-08-27 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63226951A (en) * 1987-03-16 1988-09-21 Shin Etsu Chem Co Ltd Resin sealed semiconductor device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63226951A (en) * 1987-03-16 1988-09-21 Shin Etsu Chem Co Ltd Resin sealed semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01158755A (en) 1989-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2519280B2 (en) Semiconductor device
JP2519278B2 (en) Semiconductor device
JP2519277B2 (en) Semiconductor device
JP3259968B2 (en) Semiconductor device manufacturing method
JP2922672B2 (en) Semiconductor device manufacturing method
JPH03116952A (en) Semiconductor device
JPH03174745A (en) Semiconductor device
JP2587074B2 (en) Semiconductor device
JP2872828B2 (en) Semiconductor device
JP2579338B2 (en) Semiconductor device
JP3014857B2 (en) Semiconductor device
JP3259958B2 (en) Semiconductor device mounting method
JP2506220B2 (en) Semiconductor device
JP2965392B2 (en) Semiconductor device
JP2001085576A (en) Manufacture of epoxy resin composition for sealing semicondcutor, and epoxy resin composition for sealing the semiconductor and semiconductor device obtained thereby
JP2824026B2 (en) Semiconductor device
JP2519278C (en)
JP3239970B2 (en) Semiconductor device
JPH03201467A (en) Semiconductor device
JPH06204360A (en) Semiconductor device
JP3074155B2 (en) Semiconductor device
JP2938811B2 (en) Semiconductor device manufacturing method
JPH08245758A (en) Semiconductor device and resin composition for sealing semiconductor used therefor
JPH03201468A (en) Semiconductor device
JPH03165055A (en) Semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517

Year of fee payment: 12