JP2519277B2 - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JP2519277B2
JP2519277B2 JP62316857A JP31685787A JP2519277B2 JP 2519277 B2 JP2519277 B2 JP 2519277B2 JP 62316857 A JP62316857 A JP 62316857A JP 31685787 A JP31685787 A JP 31685787A JP 2519277 B2 JP2519277 B2 JP 2519277B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、表面実装時におけるパツケージクラツク
の発生の少ない耐湿信頼性に優れた半導体装置に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device which is less likely to cause package cracks during surface mounting and has excellent moisture resistance reliability.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

トランジスタ,IC,LSI等の半導体素子は、外部環境の
保護の観点および素子のハンドリングを可能にする観点
から、プラスチツクパツケージ等により封止され半導体
装置化されている。この種のパツケージの代表例として
は、デユアルインラインパツケージ(DIP)がある。こ
のDIPは、ピン挿入型のものであり、実装基板に対して
ピンを挿入することにより半導体装置を取り付けるよう
になつている。
Semiconductor elements such as transistors, ICs, and LSIs are made into semiconductor devices by being sealed with a plastic package or the like from the viewpoints of protecting the external environment and enabling the handling of the elements. A representative example of this type of package is a dual in-line package (DIP). The DIP is of a pin insertion type, and attaches a semiconductor device by inserting a pin into a mounting board.

最近は、LSIチップ等の半導体装置の高集積化と高速
化が進んでおり、加えて電子装置を小形で高機能にする
要求から、実装の高密度化が進んでいる。このような観
点からDIPのようなピン挿入型のパツケージに代えて、
表面実装用パツケージが主流になつてきている。この種
のパツケージを用いた半導体装置においては、平面的に
ピンを取り出し、これを実装基板表面に直接半田等によ
つて固定するようになつている。このような表面実装型
半導体装置は、平面的にピンが取り出せるようになつて
おり、薄い,軽い,小さいという利点を備えており、し
たがつて実装基板に対する占有面積が小さくてすむとい
う利点を備えている他、基板に対する両面実装も可能で
あるという長所も有している。
Recently, high integration and high speed of semiconductor devices such as LSI chips have been advanced, and in addition, high density mounting has been advanced due to a demand for making electronic devices small and highly functional. From this point of view, instead of a pin insertion type package like DIP,
Surface mount packages are becoming mainstream. In a semiconductor device using this kind of package, pins are taken out in a plane and are fixed directly to the surface of the mounting board by soldering or the like. Such a surface-mount type semiconductor device has an advantage that pins can be taken out in a plane and has the advantages of being thin, light, and small, and therefore has the advantage of occupying a small area on the mounting board. In addition, it has the advantage that double-sided mounting on a substrate is also possible.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

ところが、上記のような表面実装用パツケージを用い
た半導体装置において表面実装前にパツケージ自体が吸
湿している場合には、半田実装時に水分の蒸気圧によつ
て、パツケージにクラツクが生じるという問題がある。
すなわち、第1図に示すような表面実装型半導体装置に
おいて、水分は矢印Aのように封止樹脂1を通つて、ま
たリードフレーム2と封止樹脂1との隙間を通つてパツ
ケージ3内に侵入し、主としてリードフレーム2のダイ
ボンドパツト4の裏面に滞留する。そして、ベーパーフ
エーズソルダリング等の半田表面実装を行う際に、上記
滞留水分が、上記半田実装における加熱により気化し、
その蒸気圧により、第2図に示すようにダイボンドパツ
ト4の裏面の樹脂部分を下方に押しやり、そこに空隙5
をつくると同時にパツケージ3にクラツク6を生じさせ
る。第1図および第2図において、7は半導体素子,8は
ワイヤーボンデイングである。
However, in a semiconductor device using a surface mounting package as described above, when the package itself absorbs moisture before surface mounting, there is a problem that cracking occurs in the package due to vapor pressure of water during solder mounting. is there.
That is, in the surface-mounted semiconductor device as shown in FIG. 1, moisture enters the package 3 through the sealing resin 1 as shown by an arrow A and the gap between the lead frame 2 and the sealing resin 1. It intrudes and stays mainly on the back surface of the die bond pad 4 of the lead frame 2. When the solder surface mounting such as vapor phase soldering is performed, the accumulated water is vaporized by heating in the solder mounting,
The vapor pressure pushes the resin portion on the back surface of the die bond pad 4 downward as shown in FIG.
And at the same time, a crack 6 is generated in the package 3. 1 and 2, reference numeral 7 denotes a semiconductor element, and reference numeral 8 denotes a wire bonding.

このような問題に対する解決策として、半導体素子を
パツケージで封止した後、得られる半導体装置全体を密
封し、表面実装の直前に開封して使用する方法や、表面
実装の直前に上記半導体装置を100℃で24時間乾燥さ
せ、その後半田実装を行うという方法が提案され、すで
に実施されている。しかしながら、このような前処理方
法によれば、製造工程が長くなる上、手間がかかるとい
う問題がある。
As a solution to such a problem, after sealing a semiconductor element in a package, the obtained semiconductor device is hermetically sealed, and opened and used just before surface mounting. A method of drying at 100 ° C. for 24 hours and then performing solder mounting has been proposed and has already been implemented. However, according to such a pretreatment method, there is a problem that the manufacturing process becomes long and labor is required.

この発明はこのような事情に鑑みなされたもので、電
子機器への実装に際して前処理を要することなく、しか
も半田実装時の加熱に耐え耐湿信頼性に優れた半導体装
置の提供をその目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a semiconductor device that does not require pretreatment for mounting on an electronic device and can withstand heating during solder mounting and has excellent moisture resistance reliability. .

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記の目的を達成するため、この発明の半導体装置
は、少なくとも一部が下記の一般式(I)で表されるエ
ポキシ樹脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、少なくと
も一部が下記の一般式(II)で表されるフエノール樹脂
からなるフエノール樹脂硬化剤成分と、無機質充填剤を
主要成分とし、ハイドロタルサイト類化合物および水酸
化ビスマス・五酸化アンチモン化合物の少なくとも一方
を含有するエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封
止するという構成をとる。
In order to achieve the above-mentioned object, the semiconductor device of the present invention has an epoxy resin main component comprising at least a part of an epoxy resin represented by the following general formula (I) and at least a part of the following general formula (II ) A phenol resin curing agent component consisting of a phenol resin and an inorganic filler as main components, and an epoxy resin composition containing a hydrotalcite compound and at least one of a bismuth hydroxide / antimony pentoxide compound is used. The semiconductor element is sealed with the structure.

なお、上記式(I),(II)において繰り返し数n
は、重量平均分子量Mw値から求めたものである。
In the above formulas (I) and (II), the number of repetitions n
Is determined from the weight average molecular weight Mw value.

〔作用〕[Action]

パツケージクラツクの発生を防止する方法としては、
封止樹脂に対する吸湿を抑制する、ダイボンドパッ
トの裏面および半導体素子の表面と封止樹脂との間の接
着力を高める、封止樹脂自体の強度を高めるの三つの
方法が考えられる。この発明は、上記の封止樹脂自体
の強度を高めることにより、パツケージクラツクの発生
を防止するものであり、上記一般式(I)で表される特
殊なエポキシ樹脂と、上記一般式(II)で表される特殊
なフエノール樹脂とを用いることにより、半田実装にお
けるような高温下での封止樹脂の強度を現状の樹脂に比
較して、約3〜4倍に向上させるようにする。そして、
上記のような高強度封止樹脂中に含有されるイオン性不
純物による弊害(樹脂吸水時に不純物がイオン化し、そ
のイオンによりボンデイングタイや電極等が侵される)
を排除し耐湿性の低下を防止するため、ハイドロタルサ
イト類化合物および水酸化ビスマス・五酸化アンチモン
化合物の少なくとも一方をイオントラツプ剤として配合
し、これにより不純物イオンを捕捉させるものである。
As a method to prevent the occurrence of package cracks,
Three methods are conceivable: suppression of moisture absorption with respect to the sealing resin, enhancement of the adhesive force between the back surface of the die bond pad and the surface of the semiconductor element and the sealing resin, and enhancement of the strength of the sealing resin itself. This invention prevents the occurrence of package cracks by increasing the strength of the encapsulating resin itself. The special epoxy resin represented by the general formula (I) and the general formula (II By using a special phenol resin represented by (4), the strength of the sealing resin under high temperature such as solder mounting is improved about 3 to 4 times as compared with the current resin. And
Harmfulness due to ionic impurities contained in the high-strength sealing resin as described above (impurities are ionized when the resin absorbs water, and the ions cause damage to the bonding ties and electrodes)
In order to prevent the deterioration of moisture resistance by eliminating the above, at least one of a hydrotalcite compound and a bismuth hydroxide / antimony pentoxide compound is blended as an ion trapping agent to trap impurity ions.

この発明に用いるエポキシ樹脂組成物は、全部もしく
は一部が前記一般式(I)で表される特殊なエポキシ樹
脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、全部もしくは一部
が前記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂か
らなるフエノール樹脂硬化剤成分と、無機質充填剤と、
ハイドロタルサイト類化合物および水酸化ビスマス・五
酸化アンチモンの少なくとも一方等とを用いて得られる
ものであつて、通常、粉末状もしくはそれを打錠したタ
ブレツト状になつている。
The epoxy resin composition used in the present invention comprises an epoxy resin main component consisting of a special epoxy resin represented by the general formula (I) in whole or in part and represented by the general formula (II) in whole or in part. A phenolic resin hardener component made of a special phenolic resin, and an inorganic filler,
It is obtained by using a hydrotalcite compound and at least one of bismuth hydroxide and antimony pentoxide, etc., and is usually in the form of powder or a tablet formed by compressing it.

上記エポキシ樹脂主剤成分の全部もしくは一部を構成
する前記一般式(I)の特殊なエポキシ樹脂はノボラツ
ク型エポキシ樹脂の主鎖のメチレン基にフエニルグリシ
ジルエーテルを結合させた構造のものである。このよう
な分子構造にすることにより、架橋点が増え、架橋密度
の高い構造物が得られるようになる。なお、上記特殊な
エポキシ樹脂のみでエポキシ樹脂主剤成分を構成しても
よいし、それ以外の通常用いられるエポキシ樹脂と併用
するようにしてもよい。通常用いられるエポキシ樹脂と
しては、クレゾールノボラツク型,フエノールノボラツ
ク型やビスフエノールA型等の各種のエポキシ樹脂があ
げられる。これらの樹脂の中でも、融点が室温を超えて
おり、室温下では固形状もしくは高粘度の溶液状を呈す
るものを用いることが好結果をもたらす。ノボラツク型
エポキシ樹脂としては、通常、エポキシ当量150〜250,
軟化点50〜130℃のものが用いられ、クレゾールノボラ
ツク型エポキシ樹脂としては、エポキシ当量180〜210,
軟化点60〜110℃のものが一般に用いられる。このよう
に両者を併用する場合には、上記一般式(I)で表され
る特殊なエポキシ樹脂と、上記通常のエポキシ樹脂と
は、前者100重量部(以下「部」と略す)に対して後者
0〜100部の範囲内に設定することが好適である。
The special epoxy resin of the general formula (I) constituting all or a part of the above-mentioned epoxy resin main component has a structure in which phenyl glycidyl ether is bonded to a methylene group in the main chain of a novolak type epoxy resin. With such a molecular structure, the number of crosslinking points is increased and a structure having a high crosslinking density can be obtained. The epoxy resin main component may be composed of only the special epoxy resin described above, or may be used in combination with other commonly used epoxy resins. Examples of commonly used epoxy resins include various epoxy resins such as cresol novolak type, phenol novolak type, and bisphenol A type. Among these resins, it is preferable to use a resin having a melting point exceeding room temperature and exhibiting a solid state or a highly viscous solution state at room temperature. As the novolak type epoxy resin, usually, epoxy equivalent 150 to 250,
Those having a softening point of 50 to 130 ° C. are used, and as the cresol novolak type epoxy resin, an epoxy equivalent of 180 to 210,
A softening point of 60 to 110 ° C is generally used. When both are used in this manner, the special epoxy resin represented by the general formula (I) and the ordinary epoxy resin are used in an amount of 100 parts by weight (hereinafter abbreviated as "part") with respect to the former. The latter is preferably set within the range of 0 to 100 parts.

フエノール樹脂硬化剤成分の全部もしくは一部を構成
する上記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂
は、フエノールノボラツクの主鎖のメチレン基にフエノ
ールを結合させた構造のものであり、このような分子構
造によつて架橋点が増加し、それによつて架橋密度の高
い三次元構造体が得られるようになる。上記特殊なフエ
ノール樹脂は、それ自体でフエノール樹脂硬化剤成分を
構成してもよいし、通常用いられているその他のフエノ
ール樹脂と併用しても差支えはない。その他のフエノー
ル樹脂としては、フエノールノボラツク,クレゾールノ
ボラツク等があげられる。これらのノボラツク樹脂は、
軟化点が50〜110℃,水酸基当量が70〜150のものを用い
ることが望ましい。特に上記ノボラツク樹脂の中でも、
クレゾールノボラツクを用いることが好結果をもたら
す。上記一般式(II)で表される特殊なフエノール樹脂
と、このような通常のフエノール樹脂を併用する場合に
おける両者の割合は、前者100部に対して後者0〜100部
の範囲内に設定することが効果の点で好ましい。
The special phenol resin represented by the above general formula (II), which constitutes all or part of the phenol resin curing agent component, has a structure in which a phenol is bonded to the methylene group of the main chain of the phenol novolak, Due to such a molecular structure, the number of cross-linking points increases, whereby a three-dimensional structure having a high cross-linking density can be obtained. The above-mentioned special phenol resin may constitute a phenol resin curing agent component by itself, or may be used in combination with other commonly used phenol resin. Examples of other phenol resins include phenol novolak and cresol novolak. These novolak resins are
It is desirable to use one having a softening point of 50 to 110 ° C and a hydroxyl equivalent of 70 to 150. Especially among the above Novorak resin,
The use of cresol novolak has been successful. The ratio of the special phenol resin represented by the general formula (II) and the case where such a normal phenol resin is used in combination is set in the range of 0 to 100 parts with respect to 100 parts of the former. Is preferable in terms of the effect.

上記エポキシ樹脂主剤成分およびフエノール樹脂硬化
剤成分とともに用いられる無機質充填剤としては、結晶
性および溶融性フイラーはもちろんのこと、酸化アルミ
ニウム,酸化ベリリウム,炭化ケイ素,窒化ケイ素等が
あげられる。
Examples of the inorganic filler used together with the epoxy resin main component and the phenol resin curing agent component include crystalline and fusible fillers, as well as aluminum oxide, beryllium oxide, silicon carbide, silicon nitride, and the like.

上記ハイドロタルサイト類化合物は、エポキシ樹脂組
成物に由来し封止樹脂中で不純物イオンとして存在する
クロルイオンあるいはブロムイオン等のアニオンを有効
にトラツプする成分である。上記ハイドロタルサイト類
化合物は、例えば、下記の一般式で表される。
The hydrotalcite-based compound is a component that effectively traps anions such as chlorine ions or bromine ions that are derived from the epoxy resin composition and exist as impurity ions in the sealing resin. The hydrotalcite-based compound is represented by, for example, the following general formula.

MgxAly(OH)2x+3y-2z(CO3・mH2O また、上記水酸化ビスマス・五酸化アンチモンは、上
記ハイドロタルサイト類化合物がアニオンをトラツプす
るのに対し、ナトリウムイオン等のカチオンを有効にト
ラツプする成分である。この一例として東亜合成社製,A
HK−600[Bi(OH)・Sb2O5・4H2O]があげられる。
Mg x Al y (OH) 2x + 3y-2z (CO 3 ) z・ mH 2 O The above-mentioned bismuth hydroxide / antimony pentoxide is a component that effectively traps cations such as sodium ions, while the above-mentioned hydrotalcite compounds trap anions. As an example of this, Toa Gosei Co., Ltd., A
HK-600 [Bi (OH) 2 · Sb 2 O 5 · 4H 2 O] can be mentioned.

上記ハイドロタルサイト類化合物および水酸化ビスマ
ス・五酸化アンチモンの少なくとも一方の含有量は、エ
ポキシ樹脂組成物の有機成分に対して0.5〜15重量%
(以下「%」と略す)に設定することが好適である。す
なわち、含有量が15%を上回ると、封止樹脂の耐湿信頼
性以外の諸特性に悪影響が現れる傾向がみられるからで
ある。
The content of at least one of the above-mentioned hydrotalcite compounds and bismuth hydroxide / antimony pentoxide is 0.5 to 15% by weight with respect to the organic component of the epoxy resin composition.
It is preferable to set (hereinafter abbreviated as “%”). That is, when the content exceeds 15%, various characteristics other than the moisture resistance reliability of the sealing resin tend to be adversely affected.

なお、この発明に用いるエポキシ樹脂組成物には、必
要に応じて上記の成分以外に難燃化剤,カツプリング
剤,硬化促進剤,ワツクス等が用いられる。
In the epoxy resin composition used in the present invention, a flame retardant, a coupling agent, a curing accelerator, wax, etc. may be used, if necessary, in addition to the above components.

上記難燃化剤としては、ノボラツク型ブロム化エポキ
シもしくは、ビスAタイプエポキシ、三酸化アンチモン
および五酸化アンチモン等の化合物を適宜単独でもしく
は併せて使用することが行われる。
As the flame retardant, compounds such as novolak type brominated epoxy or bis A type epoxy, antimony trioxide and antimony pentoxide are appropriately used alone or in combination.

上記カツプリング剤としては、グリシジルエーテルタ
イプ,アミンタイプ,チオシアンタイプ,ウレアタイプ
等のメトキシないしはエトキシシランが、適宜に単独で
もしくは併せて用いられる。その使用方法としては、充
填剤に対して、ドライブレンドしたり、もしくは予備加
熱反応させたり、さらには有機成分原料に対する予備混
合等自由である。
As the above-mentioned coupling agent, methoxy or ethoxysilane such as glycidyl ether type, amine type, thiocyan type and urea type may be used alone or in combination as appropriate. As a method of using the filler, it is possible to dry blend the filler, or carry out a preliminary heating reaction, and further preliminarily mix the organic component raw material.

上記硬化促進剤としては、アミン系,リン系,ホウ素
系等の硬化促進剤があげられ、単独でもしくは併せて使
用される。
Examples of the curing accelerator include amine-based, phosphorus-based, and boron-based curing accelerators, which may be used alone or in combination.

上記ワツクスとしては、高級脂肪酸,高級脂肪酸エス
テル,高級脂肪酸カルシウム等の化合物があげられ、単
独でもしくは併せて使用される。
Examples of the wax include compounds such as higher fatty acids, higher fatty acid esters, and higher fatty acid calcium, which may be used alone or in combination.

この発明に用いられるエポキシ樹脂組成物は、例えば
つぎのようにして製造することができる。すなわち、上
記の成分原料を適宜配合し予備混合した後、ミキシング
ロール機等の混練機にかけ加熱状態で混練して溶融混合
し、これを室温に冷却した後、公知の手段によつて粉砕
し、必要に応じて打錠するという一連の工程により製造
することができる。
The epoxy resin composition used in this invention can be produced, for example, as follows. That is, after appropriately mixing and premixing the above component raw materials, the mixture is kneaded in a heating state by a kneading machine such as a mixing roll machine to be melt mixed, cooled to room temperature, and then pulverized by a known means, It can be manufactured by a series of steps of tableting as necessary.

このようなエポキシ樹脂組成物を用いての半導体素子
の封止は、特に限定するものではなく、通常のトランス
フアー成形等の公知のモールド方法により行うことがで
きる。
The sealing of the semiconductor element using such an epoxy resin composition is not particularly limited, and can be performed by a known molding method such as normal transfer molding.

このようにして得られる半導体装置は、エポキシ樹脂
組成物中に含まれる上記一般式(I)で表される特殊な
エポキシ樹脂および、一般式(II)で表される特殊なフ
エノール樹脂の作用により、封止樹脂の強度、特に高温
時における強度が従来のものの3〜4倍と高くなつてい
るため、半田実装に際しても、パツケージクラツク等を
生ずることがない。さらに、ハイドロタルサイト類化合
物および水酸化ビスマス・五酸化アンチモンの少なくと
も一方が添加されているため、不純物イオンによる弊害
が生じず極めて優れた耐湿信頼性をも有している。
The semiconductor device thus obtained is produced by the action of the special epoxy resin represented by the general formula (I) and the special phenol resin represented by the general formula (II) contained in the epoxy resin composition. Since the strength of the sealing resin, especially at high temperature, is 3 to 4 times as high as that of the conventional one, package cracks and the like do not occur during solder mounting. Furthermore, since at least one of the hydrotalcite-based compound and bismuth hydroxide / antimony pentoxide is added, no harmful effects due to impurity ions occur and extremely excellent moisture resistance reliability is provided.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

この発明の半導体装置は、上記のような特殊なエポキ
シ樹脂、フエノール樹脂およびハイドロタルサイト類化
合物および水酸化ビスマス・五酸化アンチモンの少なく
とも一方を含有する特殊なエポキシ樹脂組成物を用いて
半導体素子が樹脂封止されているため、半田実装におけ
るような過酷な条件下においてもパツケージクラツクを
生じることがなく、また封止プラスチツクパツケージに
おいてアニオン,カチオンが上記トラツプ剤に補足され
るため、耐湿信頼性が極めて高い。特に、上記特殊なエ
ポキシ樹脂組成物による封止により、8ピン以上,特に
16ピン以上もしくはチツプの長辺が4mm以上の大形の半
導体装置において上記のような高信頼度が得られるよう
になるのであり、これが大きな特徴である。
A semiconductor device according to the present invention has a semiconductor element using a special epoxy resin composition containing at least one of the above-mentioned special epoxy resin, phenol resin, hydrotalcite compound and bismuth hydroxide / antimony pentoxide. Since it is resin-sealed, package cracking does not occur even under severe conditions such as solder mounting, and since the anions and cations are captured by the trapping agent in the sealing plastic package, the humidity resistance is high. Is extremely high. In particular, by encapsulating with the above special epoxy resin composition, more than 8 pins, especially
This is a major feature because the above high reliability can be obtained in a large-sized semiconductor device having 16 pins or more or a long side of a chip of 4 mm or more.

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。 Next, examples will be described together with comparative examples.

〔実施例1〜10、比較例1〜5〕 まず、実施例および比較例で使用した成分原料は下記
の通りである。
[Examples 1 to 10, Comparative Examples 1 to 5] First, component raw materials used in Examples and Comparative Examples are as follows.

≪主剤≫ A:一般式成分(n=3) B:エポキシクレゾールノボラツク(n=4) (nはGPCポリスチレン換算データの重量平均分子量よ
り計算した。) ≪硬化剤≫ C:一般式成分(n=3) D:フエノールノボラツク(n=4) (nはGPCポリスチレン換算データの重量平均分子量よ
り計算した。) ≪充填剤≫ E:最大粒径=150μm,平均粒径=20μm,破砕型SiO2 ≪難燃化剤≫ F:ノボラツク型Br化エポキシ G:3酸化2アンチモン ≪硬化触媒≫ H:トリフエニルホスフイン I:ジメチルイミダゾール ≪離型剤≫ J:ポリエチレン系wax ≪添加剤≫ K:トリメトキシシラングリシジルエーテル ≪イオントラツプ剤≫ L:ハイドロタルサイト類化合物 M:水酸化ビスマス・五酸化アンチモン化合物 後記の第1表に示す原料を同表に示す割合で配合し、
ミキシングロール機にかけて100℃で10分間混練し、シ
ート状組成物を得た。ついで、得られたシート状組成物
を粉砕し、目的とする粉末のエポキシ樹脂組成物を得
た。
<< Main agent >> A: General formula component (n = 3) B: Epoxycresol novolak (n = 4) (n was calculated from the weight average molecular weight of GPC polystyrene conversion data.) << Curing agent >> C: General formula component ( n = 3) D: phenol novolak (n = 4) (n was calculated from the weight average molecular weight of GPC polystyrene conversion data.) << Filler >> E: Maximum particle size = 150 μm, average particle size = 20 μm, crushed type SiO 2 << Flame Retardant >> F: Novolac type Br epoxy epoxy G: 3 antimony oxide 2 << Curing catalyst >> H: Triphenylphosphine I: Dimethylimidazole << Release agent >> J: Polyethylene wax << Additive >> K : Trimethoxysilane glycidyl ether << Ion trapping agent >> L: Hydrotalcite compound M: Bismuth hydroxide / antimony pentoxide compound The raw materials shown in Table 1 below are blended in the proportions shown in the same table,
The mixture was kneaded with a mixing roll machine at 100 ° C. for 10 minutes to obtain a sheet composition. Then, the obtained sheet-shaped composition was pulverized to obtain a desired powdered epoxy resin composition.

以上の実施例および比較例で得られた粉末状のエポキ
シ樹脂組成物を用い、半導体素子をトランスフアー成形
でモールドすることにより、半導体装置を得た。この半
導体装置は、80ピンQFPのパツケージ(20×14mm,厚み2.
25mm)のものであり、7×7mmのチツプサイズを有する
ものである。
A semiconductor device was obtained by molding a semiconductor element by transfer molding using the powdery epoxy resin compositions obtained in the above Examples and Comparative Examples. This semiconductor device is an 80-pin QFP package (20 x 14 mm, thickness 2.
25 mm) and has a chip size of 7 × 7 mm.

このようにして得られた半導体装置について、測定試
験を行つた。その結果を下記の第2表に示す。
The semiconductor device thus obtained was subjected to a measurement test. The results are shown in Table 2 below.

第2表の結果から実施例品は、各特性、特に曲げ物性
が室温(RT)については、比較例と大差はないものの、
215℃のような高温においては、比較例よりも著しく優
れた結果が得られており、高温時におけるパツケージの
強度が大幅に向上していることがわかる。さらに、実施
例品はPCBTテストにおいて陽極および陰極腐食の寿命が
両方そろつて著しく長くなつており、耐湿信頼性が比較
例品に比べて著しく向上していることがわかる。
From the results in Table 2, the example products are not so different from the comparative examples in each property, especially in bending property at room temperature (RT),
At a high temperature such as 215 ° C., the result is remarkably superior to that of the comparative example, and it can be seen that the strength of the package at a high temperature is significantly improved. In addition, in the PCBT test, the product of the example has a significantly long anode and cathodic corrosion life, and it can be seen that the moisture resistance reliability is significantly improved as compared with the product of the comparative example.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図および第2図は、従来例の説明図である。 1 and 2 are explanatory views of a conventional example.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大泉 新一 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 日 東電気工業株式会社内 (72)発明者 安達 準一 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 日 東電気工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shinichi Oizumi 1-2-2 Shimohozumi, Ibaraki City, Osaka Prefecture Nitto Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Junichi Adachi 1, Shimohozumi, Ibaraki City, Osaka Prefecture No. 1 and 2 Nitto Electric Industry Co., Ltd.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも一部が下記の一般式(I)で表
されるエポキシ樹脂からなるエポキシ樹脂主剤成分と、
少なくとも一部が下記の一般式(II)で表されるフエノ
ール樹脂からなるフエノール樹脂硬化剤成分と、無機質
充填剤を主要成分とし、ハイドロタルサイト類化合物お
よび水酸化ビスマス・五酸化アンチモン化合物の少なく
とも一方を含有するエポキシ樹脂組成物を用いて半導体
素子を封止してなる半導体装置。
An epoxy resin base component at least partially composed of an epoxy resin represented by the following general formula (I):
At least a part of a phenol resin curing agent component consisting of a phenol resin represented by the following general formula (II) and an inorganic filler as a main component, and at least a hydrotalcite compound and a bismuth hydroxide / antimony pentoxide compound. A semiconductor device obtained by encapsulating a semiconductor element with an epoxy resin composition containing one of them.
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