JP2017120510A - 物品搬送設備 - Google Patents

物品搬送設備 Download PDF

Info

Publication number
JP2017120510A
JP2017120510A JP2015256532A JP2015256532A JP2017120510A JP 2017120510 A JP2017120510 A JP 2017120510A JP 2015256532 A JP2015256532 A JP 2015256532A JP 2015256532 A JP2015256532 A JP 2015256532A JP 2017120510 A JP2017120510 A JP 2017120510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
obstacle
detection
article
information
transport vehicle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015256532A
Other languages
English (en)
Inventor
知孝 衣川
Tomotaka Kinugawa
知孝 衣川
西川 直
Sunao Nishikawa
直 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP2015256532A priority Critical patent/JP2017120510A/ja
Priority to US15/388,237 priority patent/US9932175B2/en
Priority to SG10201610832YA priority patent/SG10201610832YA/en
Priority to KR1020160179188A priority patent/KR20170077823A/ko
Priority to TW105143192A priority patent/TWI702178B/zh
Priority to CN201611235199.1A priority patent/CN106927211A/zh
Publication of JP2017120510A publication Critical patent/JP2017120510A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G35/00Mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G35/06Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02Control of position or course in two dimensions
    • G05D1/021Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G05D1/0223Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory involving speed control of the vehicle
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/6776Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0235Containers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0266Control or detection relating to the load carrier(s)
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04Detection means
    • B65G2203/042Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

【課題】複数の物品搬送車のそれぞれに搭載された障害物検出センサの検出条件の設定を効率良く行う。
【解決手段】物品搬送設備100は、軌道に沿って走行して物品を搬送する複数台の物品搬送車Vを備え、各物品搬送車Vはその周辺に少なくとも1つ設定される検出領域に存在する障害物を検出する少なくとも1つの障害物検出センサ3を備える。それぞれの物品搬送車Vの搬送車制御部1は、ワイヤレス通信によって搬送設備制御装置Hから検出領域情報を受け取り、受け取った検出領域情報を障害物検出センサ3に伝達する。それぞれの障害物検出センサ3は、伝達された検出領域情報を、領域情報記憶部32に記憶させる。
【選択図】図5

Description

本発明は、軌道に沿って走行し、物品を搬送する物品搬送車を複数台備えた物品搬送設備に関する。
特開2000−214928号公報(特許文献1)に記載されているように、半導体工場、FA自動化工場等において、軌道上を自動走行(自律走行)する物品搬送車により物品を搬送する物品搬送設備が実用化されている。このような設備において、一般的には物品搬送車は複数台、運用されており、物品搬送車同士が接触するおそれがある。また、物品搬送車が走行する軌道の近くに、人や物体が近づいてしまうおそれもある。このため、特許文献1では、物品搬送車に、他の物品搬送車、人、他の物体などの障害物を検出する障害物検出センサが備えられている。特許文献1では、物体を検出物体検出センサと、人を検出する人検出センサとが物品搬送車に搭載されている。そして、物体検出センサによる検出が過敏となる箇所では、物品搬送車は、物体検出センサを非作動とし、人検出センサのみを作動させて、人に対する安全生を確保した上で、障害物の誤検出を低減させている。
上記のように適切な検出条件を設定することで、物品搬送車の周辺に存在する障害物を適切な感度で検出することができる。しかし、物品搬送設備の稼働状況、例えば、工場等のレイアウト変更や、軌道の周辺の設置物の移動などによって、検出条件が適正ではなくなる場合もある。従って、検出条件は、柔軟に設定変更できることが好ましい。一般的にこのようなセンサは、調整装置やコンピュータなどとケーブルを介して接続できるように構成されている。検出条件の設定変更は、例えば各センサにそのようなケーブルを接続して実施することができる。但し、障害物を検出するセンサは、各物品搬送車に搭載されており、物品搬送設備が複数の物品搬送車を有していると、調整対象のセンサの総数も多くなるため、全てのセンサの検出条件の設定に多くの時間を要することになる。
特開2000−214928号公報
上記背景に鑑みて、複数の物品搬送車のそれぞれに搭載された障害物検出センサの検出条件の設定を効率良く行うことが望まれる。
1つの態様として、上記に鑑みた物品搬送設備は、
軌道に沿って走行し、物品を搬送する物品搬送作動を行って前記物品を搬送する物品搬送車を複数台備えた物品搬送設備であって、
ワイヤレス通信によって、前記物品搬送車のそれぞれに搬送指令を与えて、前記物品搬送車に前記物品搬送作動を行わせる搬送設備制御装置を備え、
前記物品搬送車のそれぞれは、
前記物品搬送車の周辺に少なくとも1つ設定される検出領域に存在する障害物を検出する少なくとも1つの障害物検出センサと、
前記搬送指令に基づいて、前記物品搬送作動を自律制御する搬送車制御部と、を備え、
前記障害物検出センサは、前記検出領域を示す検出領域情報を記憶する領域情報記憶部を備え、
前記搬送車制御部は、ワイヤレス通信によって前記搬送設備制御装置から前記検出領域情報を受け取り、受け取った前記検出領域情報を前記障害物検出センサに伝達し、
前記障害物検出センサは、伝達された前記検出領域情報を、前記領域情報記憶部に記憶させる。
この構成によれば、搬送設備制御装置は、複数の物品搬送車に対して、一括して新しい検出領域情報を送信することができる。それぞれの物品搬送車に備えられる障害物検出センサは、それぞれの物品搬送車の搬送車制御部から新しい検出領域情報を伝達され、領域情報記憶部に記憶させることができる。各物品搬送車における検出領域情報の更新は、並行して実施することができるから、物品搬送設備が複数の物品搬送車を有していても、検出条件の設定にそれほど多くの時間を要することはない。即ち、本構成によれば、複数の物品搬送車のそれぞれに搭載された障害物検出センサの検出条件の設定を効率良く行うことができる。
ここで、1つの前記障害物検出センサに、それぞれ異なる領域である複数の前記検出領域が設定され、前記障害物検出センサは、前記物品搬送作動の状態に応じて選択される前記検出領域を検出対象の領域として障害物を検出すると好適である。
物品搬送車が走行する軌道は、1本の直線とは限らず、複数の経路への分岐、複数の経路からの合流、曲線、曲がり角等を有する場合がある。従って、物品搬送車が存在する軌道上の位置に応じて、障害物の検出が必要な対象領域は異なる。また、物品搬送作動に、搬送元や搬送先における物品搬送車との間での物品の移載も含まれる場合には、移載時にも障害物検出センサにより障害物の存否を検出する必要がある。この移載時においても、その動作に応じて、障害物の検出が必要な対象領域が異なる場合がある。従って、障害物検出センサに、それぞれ異なる複数の検出領域が設定され、物品搬送作動の状態に応じて検出対象の検出領域が選択されると好適である。
ここで、前記障害物検出センサは、障害物を検出した場合に、障害物検出情報を出力し、前記搬送車制御部は、前記障害物検出情報に基づき、前記物品搬送車の走行速度を低下させる減速処理を少なくとも含む回避処理を実行するものであり、前記物品搬送車は、前記搬送車制御部による前記物品搬送車の制御状態を示す作動情報を視覚的に報知可能な表示部を備え、前記搬送車制御部は、前記回避処理を実行した場合、前記障害物検出センサが障害物を検出した際の前記検出領域を特定する情報を少なくとも含む回避処理情報を前記作動情報に含める、と好適である。
この構成によれば、障害物検出センサの検出結果に基づいて、搬送車制御部が回避処理を実行するので、障害物が実際に存在した場合に、物品搬送車や搬送中の物品が、障害物に接触するような事態を抑制することができる。また、回避処理が実行された場合に、回避処理情報が表示部を介して報知されることで、回避処理が実行されていることや、その理由を物品搬送設備の作業者(オペレータ)に適切に報知することができる。作業者は、例えば障害物の存在が確認できた場合には、当該障害物を取り除くことができる。また、作業者は、障害物の存在が確認できなかった場合には、障害物検出センサによる過敏な検出があったと判断して、例えば検出領域情報の変更などを検討することができる。
ここで、前記検出領域のそれぞれは、障害物の存在が前記物品搬送車の前記物品搬送作動に与える影響度に応じて分割された少なくとも2つの分割領域を含み、前記分割領域は、前記影響度が相対的に高い第1分割領域と、相対的に低い第2分割領域との少なくとも2つであり、前記搬送車制御部は、前記回避処理として、前記第2分割領域で障害物が検出された場合には、前記減速処理を実行し、前記第1分割領域で障害物が検出された場合には、前記物品搬送車を停車させる停車処理を実行し、前記障害物検出情報は、障害物を検出した前記分割領域を識別可能な検出位置情報を含み、前記回避処理情報は、前記検出位置情報を含む、と好適である。
回避処理に減速処理と停車処理とが設定されていることにより、相対的に物品搬送作動に与える影響度が軽微な場合には、例えば物品搬送車を停車させることなく、走行速度の減速に留めて物品搬送作動を継続することができる。つまり、障害物検出センサが過敏な検出を行う場合があるが、この場合にも物品搬送作動が継続される可能性が高くなり、物品搬送設備の稼働率の低下を抑制することができる。また、回避処理情報に検出位置情報が含まれることにより、搬送設備の作業者は、障害物検出センサが反応した障害物の存否や、存在した場合の影響を適切に判断することができる。これにより、作業者は、例えば物品搬送作動に影響すると判断される障害物の存在が確認できた場合には、当該障害物を取り除くことができる。また、作業者は、障害物の存在が確認できなかった場合や、障害物が存在しても物品搬送作動に影響しないと判断される場合には、障害物検出センサによる過敏な検出を抑制できるように、例えば検出領域情報の変更などを検討することができる。
また、前記表示部は、前記搬送車制御部が、前記回避処理の内、少なくとも前記停車処理を実行した場合に、前記回避処理情報を表示すると好適である。
減速処理中は、物品搬送車が走行や移載などの動作をしているため、作業者が表示部を確認しづらい可能性がある。また、減速処理中は、物品搬送車の低速で走行するなど、物品搬送作動の速度は低下しているが、物品搬送作動は継続しているため、回避処理の原因を特定する優先度は低い。一方、停車処理では、走行や移載などの物品搬送作動も中断しているため、回避処理の原因を特定する優先度は高い。従って、少なくとも停車処理が実行された場合に回避処理情報が表示部に表示されると、作業者が回避処理の原因を迅速に確認することができて好適である。
また、前記障害物検出センサは、障害物を検出した際の前記検出領域情報を、前記障害物検出情報と共に出力すると好適である。
この構成によれば、障害物検出情報と検出領域情報とが関連付けて出力されるので、表示部が利用する作動情報に含まれる回避処理情報に、適切に検出領域情報を付加することができる。
また、前記搬送車制御部は、ワイヤレス通信によって前記搬送設備制御装置から受け取った前記検出領域情報を記憶する本体側領域情報記憶部を備えると好適である。
この構成によれば、障害物検出センサからの障害物検出情報を受け取る搬送車制御部の側でも、当該障害物検出情報に対応する検出領域情報を特定することができる。従って、障害物検出センサが、障害物検出情報と共に検出領域情報を出力しない構成であったとしても、回避処理情報に、適切に検出領域情報を含ませることができる。
また、前記搬送車制御部が、ワイヤレス通信によって前記搬送設備制御装置から受け取った前記検出領域情報を記憶する本体側領域情報記憶部を備える場合、前記搬送車制御部は、前記物品搬送車の電源投入の際に、前記本体側領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報と、前記領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報とが一致しているか否かを確認し、一致していない場合には、前記本体側領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報を前記障害物検出センサに伝達すると好適である。
搬送車制御部から障害物検出センサへのデータの伝達中に障害が生じたり、障害物検出センサの領域情報記憶部にデータの欠損等が生じたりした場合には、障害物検出センサの領域情報記憶部に記憶されている領域情報が適正ではないことがある。本構成によれば、物品搬送車に電源が投入されて物品搬送作動を開始する前に、領域情報記憶部に記憶された検出領域情報が検証される。そして、当該検出領域情報が適正ではない場合には、本体側領域情報記憶部に記憶された検出領域情報が領域情報記憶部に記憶されることになる。これにより、物品搬送車は、適正な検出領域情報を利用して物品搬送作動を行うことができる。
物品搬送設備のさらなる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。
物品搬送設備の構成を模式的に示す図 天井搬送車の側面図 天井搬送車の斜視図 分岐部の拡大図 物品搬送設備及び天井搬送車のシステム構成を示す模式的ブロック図 天井搬送車による物品の移載を説明する図 天井搬送車の本体基板と障害物検出センサとの関係を示す模式的ブロック図 検出領域(第1検出領域)の一例を示す図 検出領域(第2検出領域)の一例を示す図 検出領域(第3検出領域)の一例を示す図 検出領域(第4検出領域)の一例を示す図 検出領域(第5検出領域)の一例を示す図 検出領域(第6検出領域)の一例を示す図 検出領域(第7検出領域)の一例を示す図 回避処理の一例を示すフローチャート 表示部の表示状態の一例を示す図 ベリファイ処理の一例を示す図
以下、物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。ここでは、図1及び図2に示すように、天井に設置された走行レール101(軌道)に吊下げ支持されて、その走行レール101によって形成された走行経路Lに沿って走行し、搬送元から搬送先へ物品を搬送する天井搬送車V(物品搬送車)を備えた物品搬送設備100を例として説明する。図1に示すように、走行経路Lは1本の連続した経路のみで形成されているのではなく、複数の経路が並列に接続されて形成されている。このため、走行経路Lには、経路が分岐する分岐部J1及び経路が合流する合流部J2を有している。走行経路Lは一方通行であり、天井搬送車Vは、走行方向Yに走行する。
図2は、天井搬送車Vの側面図(走行方向Yに直交する方向(後述する横方向X)から見た図)を示している。図2に示すように、天井搬送車Vは、天井から吊り下げられた走行レール101上を走行する走行車輪W1を備える走行部11と、走行部11から吊り下げ支持される本体部12とを備えている。図3は、天井搬送車Vの斜視図を示している。詳細は後述するが、図3に示すように、天井搬送車Vは、天井搬送車Vの周辺に少なくとも1つ設定される検出領域R(図8〜図14等参照)に存在する障害物を検出する障害物検出センサ3を備えている。図4は、走行経路Lが分岐する分岐部J1の拡大図を示している。以下、天井搬送車Vが走行する方向を走行方向Yとし、その走行方向Yに対して平面視で直交する方向(水平面上で走行方向Yに直交する方向)を横方向Xと称して説明する。
本実施形態では、半導体基板に対して、薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの種々の処理を行う複数の半導体処理装置(以下、処理装置102と称する)の間で、走行経路Lに沿って物品を搬送する物品搬送設備を例として説明する。また、本実施形態では、天井搬送車Vによって搬送される物品として、FOUP(Front Opening Unified Pod)と称される半導体基板を収容する容器90を例示する(図2参照)。容器90を各処理装置102の間で搬送するため、各処理装置102には、それぞれの処理装置102に隣接する状態で、床面上に支持台103(載置台)が設置されている。これらの支持台103は、天井搬送車Vによる容器90の搬送対象箇所(搬送元及び搬送先)である。
走行経路Lは、図1において中央部に示された、相対的に大きな環状の主経路Lpと、主経路Lpの外側に示された、相対的に小さな環状の副経路Lsとを含む。主経路Lpから副経路Lsへの分岐部分である分岐部J1には、図4に示すように、案内レールGが設けられている。また、図示及び詳細な説明は省略するが、副経路Lsから主経路Lpへの合流部分である合流部J2にも同様の案内レールGが設けられている。その他の分岐部分及び合流部分(例えば、図1の上部において主経路Lpに対して接続されている外部接続経路(入場経路Lin及び退場経路Lout)と主経路Lpとの分岐部分及び合流部分)についても同様である。
図2に示すように、天井搬送車Vは、走行経路Lに沿って走行する走行部11と、走行レール101の下方に位置するように走行部11に吊り下げ支持され且つ容器90を支持する支持機構24を備えた本体部12とを備えている。走行部11には、走行経路Lに沿って設置された走行レール101上を転がる走行車輪W1と、その走行車輪W1を回転させる走行用モータ22mとが備えられている。
図2等に示すように、走行部11には、走行経路Lの分岐部J1及び合流部J2に設けられた案内レールGに案内される案内ローラW2も備えられている。案内ローラW2は、走行部11の走行方向Yに沿った方向に見て左右方向(横方向X)に姿勢変更できるように構成されている。案内ローラW2の姿勢変更は、案内ローラソレノイド22s(図4、図5参照)によって行われる。案内ローラソレノイド22sは、案内ローラW2の位置を、走行方向Yに向かって右側(右方向XR側)の第1位置と左側(左方向XL側)の第2位置とに切換え、且つ案内ローラW2をその位置に保持する。案内ローラW2は、第1位置に位置するときには、走行方向Yに沿った方向に見て案内レールGの右側面に当接し、分岐しない側の案内レール(ここでは相対的に走行方向Yに向かって右側に延伸する案内レール(直進側案内レールGR))に沿って走行部11を案内する。また、案内ローラW2は、第2位置に位置するときには、走行方向Yに沿った方向に見て案内レールGの左側面に当接し、左側に延伸する案内レール(分岐側案内レールGL)に沿って走行部11を案内する。
図2に示すように、天井搬送車Vの本体部12は、支持機構24(支持部)と、昇降駆動部25と、スライド駆動部26と、回転駆動部27と、カバー体28とを備えている。支持機構24は、容器90を吊り下げ支持する機構である。昇降駆動部25は、支持機構24を走行部11に対して昇降移動させる駆動部である。スライド駆動部26は、支持機構24を走行部11に対して横方向Xにスライド移動させる駆動部である。回転駆動部27は、支持機構24を走行部11に対して不図示の縦軸心(垂直方向の軸心)周りに回転させる駆動部である。カバー体28は、図2に示すように、容器90を支持した支持機構24が、上昇設定位置まで上昇している状態で、容器90の上方側及び走行方向Yの前後両側を覆う部材である。尚、上昇設定位置とは、容器90等の物品を支持した状態で天井搬送車Vが走行レール101に沿って走行する際に、支持機構24が位置する上下方向(垂直方向)の位置として予め規定された位置である。
図2に示すように、容器90は、収容部91と、フランジ部93とを有している。フランジ部93は、容器90の上端部に設けられており、天井搬送車Vの支持機構24によって支持される部分である。収容部91は、フランジ部93よりも下方に位置しており、複数枚の半導体基板を収容する。尚、収容部91の前面には、基板出し入れ用の基板出入口が形成されている。容器90には、この基板出入口を閉じることが可能で、着脱可能な蓋体(図示せず)備えられている。天井搬送車Vは、支持機構24によってフランジ部93を吊り下げ支持した状態で容器90を搬送する。
図5のブロック図は、物品搬送設備100及び天井搬送車Vのシステム構成を模式的に示している。搬送設備制御装置Hは、物品搬送設備100の中核となるシステムコントローラである。搬送設備制御装置Hは、天井搬送車Vに対する上位コントローラであり、天井搬送車Vの作動を制御する。天井搬送車Vは、搬送設備制御装置Hと、ワイヤレス通信を行い、当該制御装置からの搬送指令に基づいて自律制御により作動(物品搬送作動)し、物品(容器90)を保持して搬送する。天井搬送車Vには、マイクロコンピュータ等によって構成され、物品搬送作動の中核となる搬送車制御部1が備えられている。搬送車制御部1は、搬送設備制御装置Hからの搬送指令に基づいて天井搬送車Vを自律制御により作動させる。
走行経路L上の天井搬送車Vの位置は、自律走行する天井搬送車V(搬送車制御部1)が把握している。例えば、図4に模式的に示すように、走行経路Lには、座標マーカMが配置されている。また、天井搬送車Vには座標マーカMを検出するセンサ(不図示)が搭載されている。1つの態様として、座標マーカMは二次元バーコードであり、例えば、走行レール101の上面に設置されている。この場合、座標マーカMを検出するセンサは、エリアセンサ等を利用した二次元バーコードリーダであり、走行レール101の上面に対向するように、走行部11に配置されていると好適である。また、別の態様として、座標マーカMは近距離ワイヤレス通信ICチップを利用したICタグとすることもでき、例えば走行レール101の下面に設置されると好適である。この場合、座標マーカMを検出するセンサは、ICタグリーダであり、走行レール101の下面に対応するように、走行部11に配置されていると好適である。搬送車制御部1は、このようなセンサによる座標マーカMの検出によって走行経路L上の位置を認識する。その位置は、作動情報の一種として搬送設備制御装置Hにも伝達されると好適である。
パラメータ記憶部21は、不揮発性のメモリ等の記憶媒体により構成され、例えば支持台103と天井搬送車Vとの間で容器90を移載し、異なる支持台103の間で容器90を搬送するための位置情報を含むパラメータ情報を記憶する。位置情報には、搬送用停止目標位置情報及び搬送用移動目標位置情報が含まれる。搬送用停止目標位置情報は、走行レール101(走行経路L)上において走行部11を停止させる目標位置(搬送用停止目標位置)を示す情報である。また、搬送用移動目標位置情報は、走行レール101(走行経路L)上で停止している状態で、走行部11に対して支持機構24を移動(昇降、回転、スライド;詳細は後述する)させる目標位置(搬送用移動目標位置)を示す情報である。
本体部12を構成する支持機構24には、一対の把持爪24a(図2参照)と、把持用モータ24m(図5参照)とが備えられている。図2に示すように、一対の把持爪24aのそれぞれは、側面から見て(X方向に見て)L字状に形成されている。把持用モータ24mは、その駆動力によって、水平方向に沿って、一対の把持爪24aを互いに接近又は離間させる。一対の把持爪24aを互いに接近させると、各把持爪24aの下端部にて容器90のフランジ部93を下方から支持することができる(支持状態)。一対の把持爪24aを互いに離間させると、フランジ部93に対する支持を解除することができる(支持解除状態)。
尚、把持用モータ24mは、各把持爪24aに対してそれぞれ設けられていても良いし、一対の把持爪24aを連動させる連動機構が備えられている場合には、当該連動機構を駆動する把持用モータ24mが1つ設けられていてもよい。ここでは、1つの把持用モータ24mによって一対の把持爪24aが連動するものとする。例えば、把持用モータ24mによって、一対の把持爪24aを互いに接近させることで一対の把持爪24aに容器90のフランジ部93を支持させることができる。或いは、把持爪24aが共通の支軸(不図示)によって軸支されており、把持用モータ24mによって、一対の把持爪24aの先端部が揺動して接近することでフランジ部93を支持させる構造であってもよい。
図2に示すように、支持機構24は、支持機構24と同じく本体部12を構成する昇降駆動部25により走行部11に対して昇降可能に支持されている。昇降駆動部25には、巻回体25aと、巻き取りベルト25bと、昇降用モータ25m(図5参照)とが備えられている。巻回体25aは、後述する回転部27aに支持されている。巻き取りベルト25bは、巻回体25aに巻回されており、先端部には支持機構24が連結支持されている。昇降用モータ25mは、巻回体25aを回転させるための動力を与える。昇降駆動部25は、昇降用モータ25mにて巻回体25aを正方向又は逆方向に回転させることによって、巻き取りベルト25bを巻き取る、或いは繰り出す。これによって、支持機構24及び支持機構24に支持された容器90が昇降移動される。
同じく本体部12を構成するスライド駆動部26には、中継部26a(図2参照)と、スライド用モータ26m(図5参照)とが備えられている。中継部26aは、走行部11に対して横方向Xに沿ってスライド移動可能なように、走行部11に支持されている。スライド用モータ26mは、中継部26aを横方向Xに沿ってスライド移動させるための動力を与える。スライド駆動部26は、スライド用モータ26mの駆動により中継部26aを横方向Xに沿ってスライド移動させることで、支持機構24及び昇降駆動部25を横方向Xに沿って移動させる。
同じく本体部12を構成する回転駆動部27には、回転部27a(図2参照)と、回転用モータ27m(図5参照)とが備えられている。回転部27aは、縦軸心周りに回転可能に、中継部26aに対して支持されている。回転用モータ27mは、回転部27aを縦軸心周りに回転させるための動力を与える。回転駆動部27は、回転用モータ27mの駆動により回転部27aを回転させることで、支持機構24及び昇降駆動部25を縦軸心周りに沿って回転させる。
搬送車制御部1は、上位コントローラである搬送設備制御装置Hからの搬送指令に基づいて、搬送制御を実行し、これによって天井搬送車Vは物品搬送作動を行う。搬送車制御部1は、搬送制御の実行に際して、天井搬送車Vに設けられている各種アクチュエータを駆動制御する。以下、搬送制御について説明する。搬送制御は、搬送元の支持台103から容器90を受け取り、搬送先の支持台103にその容器90を受け渡すことで、搬送元の支持台103から搬送先の支持台103に容器90を搬送する制御である。そして、この搬送制御の実行に伴う天井搬送車Vの作動が物品搬送作動である。搬送車制御部1は、搬送元の支持台103から搬送先の支持台103に容器90を搬送する搬送指令に応答して、受取走行処理、受取昇降処理、受渡走行処理、受渡昇降処理の順に処理を実行する。
受取走行処理では、搬送車制御部1は、搬送元として指定された支持台103についての搬送用停止目標位置情報に基づいて搬送制御を実行する。搬送用停止目標位置情報は、走行レール101(走行経路L)上で天井搬送車V(走行部11)を停止させる目標位置(搬送用停止目標位置)の情報である。搬送車制御部1は、走行用モータ22mを制御し、走行部11を搬送元の支持台103の搬送用停止目標位置まで走行させて、走行部11を当該搬送用停止目標位置に停止させる。
受取昇降処理では、搬送車制御部1は、搬送元の支持台103についての搬送用移動目標位置情報に基づいて搬送制御を実行する。搬送用移動目標位置情報は、搬送用停止目標位置で停止した天井搬送車Vが、本体部12と支持台103との間で容器90を移載する場合(容器90を受け取る或いは受け渡す場合)に、走行部11に対して支持機構24を移動(昇降、回転、スライド)させる目標位置(搬送用移動目標位置)の情報である。搬送車制御部1は、支持機構24を搬送用移動目標位置に移動させた後、把持爪24aを接近位置に移動させ、その後、支持機構24を走行用位置に移動させる。搬送車制御部1は、昇降用モータ25m、スライド用モータ26m、回転用モータ27m等を制御する。これにより、搬送元の支持台103に支持されていた容器90は、走行用位置に位置する支持機構24に吊り下げ支持される。
受渡走行処理では、搬送車制御部1は、搬送先として指定された支持台103についての搬送用停止目標位置情報に基づいて、走行部11を当該搬送用停止目標位置まで走行させる。搬送車制御部1は、走行用モータ22mを制御し、容器90を吊り下げた状態で走行部11を走行させ、当該搬送用停止目標位置にて停止させる。
受渡昇降処理では、搬送車制御部1は、搬送先の支持台103についての搬送用移動目標位置情報に基づいて、支持機構24を当該搬送用移動目標位置に移動させた後、把持爪24aを離間位置に移動させる。搬送車制御部1は、昇降用モータ25m、スライド用モータ26m、回転用モータ27m等を制御する。これにより、支持機構24に支持されていた容器90は、搬送先の支持台103に載置される。その後、搬送車制御部1は、昇降用モータ25m、スライド用モータ26m、回転用モータ27m等を制御して、支持機構24を走行用位置に移動させる。
ところで、図2に示すように、フランジ部93の上面(容器90の上面)には、下方に向かって円錐形状に凹んだ上面凹部98が形成されている。この上面凹部98は、下方ほど細い先細り形状に形成されており、上面凹部98の内側面が傾斜面となるように形成されている。上面凹部98は、支持機構24を図6に示すように下降移動させたときに、支持機構24に備えられている押圧部24cが上方から係合するように構成されている。例えば、受取昇降処理において、天井搬送車Vが支持機構24を下降移動させた際に、支持台103に載置支持されている容器90に対して支持機構24が水平方向にずれている場合がある。この場合でも、押圧部24cが上面凹部98の内面に接触して案内されることで、支持機構24の水平方向での位置が、容器90に対して適した位置に案内される。
また、図2に示すように、収容部91の底面(容器90の底面)には、上方に向かって凹んだ3つの溝状の底面凹部97が設けられている。この3つの底面凹部97は、底面基準位置を中心に底面凹部97の長手方向が放射状に延びるように形成されている。3つの底面凹部97のそれぞれは、上方ほど細い先細り形状に形成されており、底面凹部97の内側面が傾斜面となるように形成されている。底面凹部97は、図6に示すように、容器90が搬送先の支持台103に載置されるときに、支持台103に備えられている位置決め部材109が下方から係合する位置に備えられている。例えば、受渡昇降処理において、支持機構24が下降移動して容器90が支持台103に移載される際に、容器90が支持台103の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合がある。この場合でも、位置決め部材109が底面凹部97の内側面に接触して容器90が水平方向に移動されることで、容器90の水平方向での位置が支持台103の適正支持位置に修正される。
ところで、図1に示すように、物品搬送設備100には、複数台の天井搬送車Vが有り、これらは同時に自律制御によって物品搬送作動を行っている。このため、軌道上を先行する天井搬送車Vに後続の天井搬送車Vが追突するおそれがある。また、物品搬送設備100内に何らかの物体(人を含む)が進入したり、物品搬送設備100内の装置(物体の一種)の配置が変わったりした場合には、走行処理を実行中の天井搬送車Vや、昇降処理を実行中の天井搬送車Vが、それらの物体に接触するおそれがある。このような追突や接触を防ぐため、天井搬送車Vには、上述したような障害物検出センサ3が備えられている。
本実施形態では、3種類の障害物検出センサ3が備えられている形態を例示している。軌道上を先行する天井搬送車Vを検出する障害物検出センサ3は、追突防止センサ4である。追突防止センサ4から見て先行する天井搬送車Vは、障害物に相当する。追突防止センサ4は、例えばレーザーレーダー等を利用した距離センサであり、先行する天井搬送車Vと自車との距離を計測する。軌道上及び軌道の周辺に存在し、軌道上を走行する天井搬送車Vの走行の妨げとなる物体(障害物)を検出する障害物検出センサ3は、走行用障害物検出センサ5である。支持機構24や、支持機構24及び支持機構24に支持された容器90が昇降中に接触するおそれのある物体(障害物)を検出する障害物検出センサ3は、移載用障害物検出センサ6である。走行用障害物検出センサ5及び移載用障害物検出センサ6は、例えばスキャナ式レンジセンサ(測域センサ)であり、赤外線やレーザー等を走査して物体(障害物)を検出する。
図3に示すように、障害物検出センサ3(4,5,6)は、天井搬送車Vの外部に設置、或いは、開口から外部を向くように内壁側に設置されている。また、図5や図7に示すように、搬送車制御部1及びパラメータ記憶部21等は、天井搬送車Vの本体基板10に搭載されており、本体基板10と障害物検出センサ3とが信号線によって接続されている。
追突防止センサ4は、軌道の前方の所定距離内(検出領域内)に別の天井搬送車V(先行車)が存在することを検出すると、障害物検出情報(先行車検出情報)を出力する。障害物検出情報には、先行車との距離情報(所定の距離(規定車間距離)以上か否かの情報でもよい)を含むと好適である。搬送車制御部1は、障害物検出情報に基づいて、回避処理を実行する。例えば、搬送車制御部1は、先行車との車間距離が規定車間距離未満の場合に、天井搬送車Vの走行速度を低下させる減速処理を実行する。1つの態様として、先行車との車間距離が規定車間距離よりも短い停車車間距離未満の場合には、搬送車制御部1は、回避処理として天井搬送車Vを停車させる停車処理を実行してもよい。尚、停車処理は、走行処理(受取走行処理、受渡走行処理、及び単純な移動のための走行処理も含む)を実行中の天井搬送車Vの走行を停止させる停止処理と称してもよい。
先行車との車間距離が規定車間距離未満の状態が所定の時間(規定接近時間(規定回避時間))に達する前に、解消された場合には、搬送車制御部1は、天井搬送車Vによる物品搬送作動を通常の走行速度で再開させる。搬送車制御部1は、先行車との車間距離が規定車間距離未満の状態が規定接近時間以上継続した場合には、エラー処理を実行して、天井搬送車Vによる物品搬送作動を停止させる。
走行用障害物検出センサ5は、天井搬送車Vの前方の所定領域内(検出領域内)に物体(障害物)が存在することを検出すると、障害物検出情報(走行障害物検出情報)を出力する。障害物検出情報には、障害物の位置情報(検出領域内において細分化された領域(後述する分割領域)を特定する情報でもよい)を含むと好適である。搬送車制御部1は、障害物検出情報に基づいて、回避処理を実行する。例えば、搬送車制御部1は、検出領域内に障害物が検出された場合に、天井搬送車Vの走行速度を低下させる減速処理を実行する。1つの態様として、検出領域内において天井搬送車Vの走行への影響度が相対的に高い位置(後述する第1分割領域)に障害物が存在すると検出された場合には、搬送車制御部1は、回避処理として天井搬送車Vを停車させる停車処理(停止処理)を実行してもよい。
検出領域内において障害物が検出されている状態が所定の時間(規定検出時間(規定回避時間))に達する前に、解消された場合には、搬送車制御部1は、天井搬送車Vによる物品搬送作動を通常の走行速度で再開させる。搬送車制御部1は、検出領域内において障害物が検出されている状態が規定検出時間以上継続した場合には、エラー処理を実行して、天井搬送車Vによる物品搬送作動を停止させる。
移載用障害物検出センサ6は、支持機構24及び支持機構24に支持された容器90、又は支持機構24を昇降させる範囲内の所定領域内(検出領域内)に物体(障害物)が存在することを検出すると、障害物検出情報(移載障害物検出情報)を出力する。以下、搬送車制御部1による回避処理、回避処理からの復帰、エラー処理等については、追突防止センサ4及び走行用障害物検出センサ5等についての上記説明と同様であるから、詳細な説明は省略する。尚、天井搬送車Vは、例えば受取昇降処理、受渡昇降処理を含む移載処理を実行する際には、走行しておらず搬送用停止目標位置で停車している。従って、移載用障害物検出センサ6の検出結果に基づく回避処理における停車処理(停止処理)は、動作中の走行用モータ22mを停止させることによる停車処理ではない。この停車処理では、把持用モータ24m、昇降用モータ25m、スライド用モータ26m、回転用モータ27m等を停止させて移載処理を停止することによって搬送制御を中断し、搬送用停止目標位置で天井搬送車Vを停車させる。減速処理についても同様である。
障害物検出センサ3の検出領域は、図5等に示すように、領域情報記憶部32に記憶されている。各障害物検出センサ3に対する検出領域(検出条件)を適切に設定することで、天井搬送車Vの周辺に存在する障害物を適切な感度で検出することができる。しかし、物品搬送設備100の稼働状況、例えば、工場等のレイアウト変更や、軌道の周辺の設置物の移動などによって、検出領域が適切ではなくなる可能性もある。従って、検出領域は、柔軟に設定変更できることが好ましい。一般的にこのようなセンサは、調整装置やコンピュータなどとケーブルを介して接続できるように構成されている。検出条件の設定変更は、例えば各障害物検出センサ3にそのようなケーブルを接続して実施することができる。但し、本実施形態のように、障害物検出センサ3が各天井搬送車Vに搭載されており、物品搬送設備100が複数の天井搬送車Vを有していると、検出領域(検出条件)の設定に多くの時間を要することになる。特に、物品搬送車が天井搬送車Vの場合には、高所に位置する天井搬送車Vに対する作業が必要となり、脚立や足場等を準備する必要もある。
そこで、本実施形態では、搬送車制御部1が、ワイヤレス通信によって搬送設備制御装置Hから更新用の検出領域情報を受け取る。そして、搬送車制御部1は、受け取った検出領域情報を障害物検出センサ3に伝達する。障害物検出センサ3は、搬送車制御部1から伝達された検出領域情報を、領域情報記憶部32に記憶させる。図7に示すように、搬送車制御部1と障害物検出センサ3のセンサ制御部31とは、シリアル通信信号線DXを介して接続されている。搬送車制御部1とセンサ制御部31とは、シリアル通信規格に準拠して双方向通信を行う。搬送車制御部1が受け取った検出領域情報は、シリアル通信信号線DXを介して障害物検出センサ3に伝達され、センサ制御部31は伝達された検出領域情報を領域情報記憶部32に記憶させる。
この構成によれば、搬送設備制御装置Hから、それぞれの天井搬送車Vに対しては、一括して新しい検出領域情報が送信される。そして、新しい検出領域情報を受け取った各天井搬送車Vの搬送車制御部1は、それぞれの天井搬送車Vに備えられる障害物検出センサ3に新しい検出領域情報を伝達する。各天井搬送車Vにおける検出領域情報の更新は、並行して実施することができるから、物品搬送設備100が多数の天井搬送車Vを有していても、検出領域情報の設定に要する時間を短縮することができる。
尚、図7に示すように、搬送設備制御装置Hからワイヤレス通信によって送信された更新用の検出領域情報は、まず、本体側領域情報記憶部2に格納される。この本体側領域情報記憶部2は、揮発性の記憶媒体(DRAM等の揮発性メモリなど)であってもよいし、不揮発性の記憶媒体(SRAMやフラッシュメモリ等の不揮発メモリなど)であってもよい。本体側領域情報記憶部2が不揮発性の記憶媒体である場合、パラメータ記憶部21が本体側領域情報記憶部2として機能してもよい。
ところで、本実施形態では、1つの障害物検出センサ3に対して複数の検出領域が設定されている。障害物検出センサ3は、天井搬送車Vの走行位置や停止位置(支持機構24を昇降させるために停止する位置)に応じて異なる検出領域を検出対象とすることができる。即ち、本実施形態では、1つの障害物検出センサ3に、それぞれ異なる領域である複数の検出領域が設定され、障害物検出センサ3は、物品搬送作動の状態に応じて選択される検出領域を検出対象の領域として障害物を検出する。
以下、走行用障害物検出センサ5を障害物検出センサ3の例として説明する。図8〜図14は、複数の検出領域Rを例示している。図8〜図10は、走行経路Lの前方を、走行方向Yに長い距離にわたって検出対象とする検出領域Rを示している。図8は、直進方向を検出対象とする標準的な検出領域R(第1検出領域R1)を示している。第1検出領域R1は、例えば、図4に示す「B001」や「B003」の座標マーカMを天井搬送車Vが検出した際に適用される検出領域Rである。つまり、走行経路Lが直線の場合には、第1検出領域R1が適用される。障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)が第1検出領域R1により障害物を探索する動作モードは、標準直進監視モードである。
図9は、図8に比べて横方向Xにおいて左方向を検出対象として拡張した検出領域R(第2検出領域R2)を示している。また、図10は、図9とは反対に、図8に比べて横方向Xにおいて右方向を検出対象として拡張した検出領域R(第3検出領域R3)を示している。第2検出領域R2及び第3検出領域R3は、走行経路Lは直線であるが、側方に処理装置102や支持台103が存在する場合など、側方にも注意する必要がある場所で適用される。標準直進監視モードに対し、障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)が第2検出領域R2により障害物を探索する動作モードは、左拡大直進監視モードであり、第3検出領域R3により障害物を探索する動作モードは、右拡大直進監視モードである。
図11及び図12は、走行経路Lがカーブしている場合に適用される検出領域Rを例示している。図11は、走行経路Lが右方向にカーブしている場合に適用される検出領域Rであり、右方向に広い領域を検出対象とする第4検出領域R4を示している。図12は、走行経路Lが左方向にカーブしている場合に適用される検出領域Rであり、左方向に広い領域を検出対象とする第5検出領域R5を示している。障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)が第4検出領域R4により障害物を探索する動作モードは、右カーブ監視モードであり、第5検出領域R5により障害物を探索する動作モードは、左カーブ監視モードである。
図13及び図14は、走行経路Lが分岐、又は合流する場合に適用される検出領域Rを例示している。図13は、走行経路Lが右方向への分岐路又は合流路を有している場所において、天井搬送車Vが右折する場合に適用される検出領域Rであり、第4検出領域R4よりもさらに右方向に広い領域を検出対象とする第6検出領域R6を示している。図14は、走行経路Lが左方向への分岐路又は合流路を有している場所において、天井搬送車Vが左折する場合に適用される検出領域Rであり、第5検出領域R5よりもさらに左方向に広い領域を検出対象とする第7検出領域R7を示している。障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)が第6検出領域R6により障害物を探索する動作モードは、右折監視モードであり、第7検出領域R7により障害物を探索する動作モードは、左折監視モードである。第5検出領域R5や第7検出領域R7は、例えば、図4に示す「B002」の座標マーカMを天井搬送車Vが検出した際に適用される。
図8〜図14に示すように、各検出領域Rは、複数の分割領域(Rw,Rn)を有している。つまり、検出領域Rのそれぞれは、障害物の存在が天井搬送車Vの物品搬送作動に与える影響度に応じて分割された少なくとも2つの分割領域(Rw,Rn)を含む。これらの分割領域(Rw,Rn)は、影響度が相対的に高い第1分割領域Rwと、相対的に低い第2分割領域Rn(Rc)との少なくとも2つである。図8〜図10に示すように、検出領域Rは、3つ以上の分割領域(Ra,Rb,Rc)を有していてもよい。本実施形態では、走行方向Yにおける検出範囲が長い第1検出領域R1、第2検出領域R2、第3検出領域R3は、第1分割領域Rwがさらに2つの分割領域(Ra,Rb)に分割されて、3つの分割領域(Ra,Rb,Rc)を有している。第1分割領域Rw内の2つの分割領域を区別する場合には、“Ra”を第1主分割領域、“Rb”を第1副分割領域と称する。尚、本実施形態では、“Rc”は第2分割領域Rnと等価である。
このように3つの分割領域を有する場合には、障害物の検出に対して実行される回避処理も3種類設定されていてもよい。例えば、減速処理と停車処理とに加えて、徐行処理や減速後停車処理等が設定されていてもよい。徐行処理とは、減速処理よりもさらに低速で天井搬送車Vを走行させる処理であり、減速後停車処理とは、天井搬送車Vを所定時間低速で走行させた後、停車させる処理である。減速後停車処理における走行速度は、減速処理の走行速度以下である。また、低速での走行を継続する時間は、回避処理を開始してからエラー処理が実行されるまでの規定回避時間よりも短い時間である。例えば、3つの分割領域(Ra,Rb,Rc)が設定されている場合、搬送車制御部1は、以下のように回避処理を実行することができる。搬送車制御部1は、障害物が第2分割領域Rn(Rc)で検出された場合には、回避処理として減速処理を実行し、障害物が第1副分割領域Rbで検出された場合には、回避処理として減速後停車処理や徐行処理を実行し、障害物が第1主分割領域Raで検出された場合には、回避処理として停車処理を実行する。
図7に示すように、搬送車制御部1は、座標マーカM等の検出結果等に基づき天井搬送車Vの走行位置の情報(位置情報Sin)を障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)に伝達する。センサ制御部31は、位置情報Sinを引数として領域情報記憶部32から検出領域情報(例えば検出領域R1〜R7の情報)を読み出し、センサ部33による検出対象となる領域を設定する。設定された検出領域R内に障害物が存在した場合、障害物検出センサ3(走行用障害物検出センサ5)は、障害物検出情報Soutを搬送車制御部1に出力する。この際、障害物検出センサ3は、第1分割領域Rw及び第2分割領域Rnの何れにおいて障害物を検出したかについての情報も障害物検出情報Soutに付加して出力する。例えば、障害物検出情報は、障害物を検出した分割領域(Rw,Rn)を識別可能な検出位置情報を含むと好適である。
搬送車制御部1は、障害物検出情報Sout基づき、天井搬送車Vの走行速度を低下させる減速処理を少なくとも含む回避処理を実行する。本実施形態では、搬送車制御部1は、回避処理として、第2分割領域Rnで障害物が検出された場合には、減速処理を実行し、第1分割領域Rwで障害物が検出された場合には、天井搬送車Vを停車させる停車処理を実行する。図15のフローチャートに示すように、搬送車制御部1は、障害物検出情報Sout基づき、障害物が検出されたか否かを判定する(#1)。障害物が検出されている場合、搬送車制御部1は、障害物検出情報Sout基づき、障害物の検出位置が第1分割領域Rwであるか否かを判定する(#2)。障害物の検出位置が第1分割領域Rwであった場合には、搬送車制御部1は、回避処理(#10)として停車処理(#3)を実行する。障害物の検出位置が第1分割領域Rwではなかった場合には、搬送車制御部1は、回避処理(#10)として減速処理(#4)を実行する。
図3を参照して上述したように、天井搬送車Vは、搬送車制御部1による天井搬送車Vの制御状態を示す作動情報を視覚的に報知可能な表示部7を備えている。搬送車制御部1が回避処理を実行した場合、作動情報は、障害物検出センサ3が障害物を検出した際の検出領域Rを特定する情報を少なくとも含む回避処理情報を含む。回避処理情報は、さらに、障害物を検出した分割領域(Rw,Rn)を識別可能な検出位置情報を含むと好適である。搬送車制御部1は、回避処理の内、少なくとも停車処理を実行した場合に、回避処理情報を表示部7に表示させると好適である。当然ながら、作業者からの指示(例えば天井搬送車Vと通信可能な制御用携帯端末などを利用した指令の送信)に基づいて、減速処理を実行した場合にも、回避処理情報を手動により表示させてもよい。また、当然ながら、搬送車制御部1は、減速処理を実行した場合も含めて、回避処理情報を表示部7に表示させてもよい。
図16は、表示部7への表示の一例を示している。表示部7には、障害物検出センサ3の位置を原点とした距離スケールが表示されている。また、本実施形態のように障害物検出センサ3が複数種(4,5,6)存在する場合には、それぞれのセンサの種類を区別できるように、異なる背景が表示される。図16は、走行用障害物検出センサ5に対応して、検出対象である走行経路Lをイメージした背景が表示されている例を示している。移載用障害物検出センサ6の場合には、床面や支持台103をイメージした背景が表示され、追突防止センサ4の場合には、先行車(天井搬送車V)をイメージした背景が表示されると好適である。表示部7には、障害物を検出した際の検出領域R及び障害物の検出位置も表示される。作業者は、どのような検出条件の下で、どの位置で障害物が検出されたのかを判断することができる。
物品搬送設備100の稼働状況、例えば、工場等のレイアウト変更や、走行経路Lの周辺の設置物の移動などによって、障害物検出センサ3が障害物ではない物体、例えば壁面や走行経路Lの周辺の設置物等を障害物として検出する場合がある。表示部7に、障害物を検出した際の検出領域R及び障害物の検出位置も表示されることで、作業者は、障害物ではない物体が障害物として検出されたことを適切に判断することができる。そして、作業者は、検出領域情報の変更などの対処を迅速に行うことができる。また、本実施形態では、そのような検出領域情報の変更を短時間で行うことができるから、障害物検出センサ3が同一の場所で同じような誤検出を繰り返すようなことを低減させることができる。
尚、上記においては、障害物検出センサ3が、障害物を検出した際の検出領域情報を、障害物検出情報と共に出力する形態を例示したが、不揮発性の記憶媒体であるパラメータ記憶部21が本体側領域情報記憶部2として機能する場合には、必ずしも検出領域情報が障害物検出情報と共に出力されなくてもよい。上述したように、天井搬送車Vの位置情報Sinは、搬送車制御部1から障害物検出センサ3に出力され、障害物検出センサ3は位置情報Sinを引数として領域情報記憶部32から対応する検出領域情報を読み出してセンサ部33に設定する。同様に、搬送車制御部1は、位置情報Sin又は位置情報Sinの元となる座標マーカMの情報等を引数として、本体側領域情報記憶部2から検出領域情報を読み出すことが可能である。従って、このような場合には、必ずしも検出領域情報が障害物検出情報と共に出力されなくてもよい。
ところで、搬送車制御部1から障害物検出センサ3へのデータの伝達中に障害が生じたり、障害物検出センサ3の領域情報記憶部にデータの欠損等が生じたりした場合には、障害物検出センサ3の領域情報記憶部32に記憶されている領域情報が適正ではないことがある。上述したように、本体側領域情報記憶部2が不揮発性の記憶媒体である場合、搬送車制御部1は、天井搬送車Vの電源投入の際に、本体側領域情報記憶部2に記憶された検出領域情報と、領域情報記憶部32に記憶された検出領域情報とが一致しているか否かを確認すると好適である。そして、一致していない場合には、搬送車制御部1は、本体側領域情報記憶部2に記憶された検出領域情報を障害物検出センサ3に伝達すると好適である。
例えば、図17のフローチャートに示すように、電源投入後の初期化処理の1つとしてそのようなベリファイ処理が実行されると好適である。はじめに、搬送車制御部1は障害物検出センサ3から検出領域情報を読み出す(#21)。次に、読み出した検出領域情報と本体側領域情報記憶部2のデータ(本体側データ)とを比較する(#22)。2つのテータが不一致であった場合には(#23;yes)、障害物検出センサ3に本体側データを伝達する(#24)。これにより、天井搬送車Vに電源が投入されて物品搬送作動を開始する前に、領域情報記憶部32に記憶された検出領域情報が検証される。そして、当該検出領域情報が適正ではない場合には、本体側領域情報記憶部2に記憶された検出領域情報が領域情報記憶部32に記憶されることになる。これにより、天井搬送車Vは、適正な検出領域情報を利用して物品搬送作動を行うことができる。尚、このベリファイ処理は、搬送設備制御装置Hから提供された更新用の検出領域情報を障害物検出センサ3に伝達した直後にも実行されると好適である。
〔その他の実施形態〕
以下、その他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用されるものに限られず、矛盾が生じない限り、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。
(1)上記においては、物品搬送車として、天井搬送車Vを例示した。しかし、物品搬送車は、軌道上を走行するもの、つまり所定の走行経路Lに沿って走行するものであれば、天井搬送車Vに限定されるものではない。物品搬送車は、例えば、床面に設置されたレール上を走行する形態であってもよい。
(2)上記においては、1つの障害物検出センサ3に、それぞれ異なる領域である複数の検出領域Rが設定される形態を例示した。しかし、1つの障害物検出センサ3に、1つの検出領域Rが設定される形態であってもよい。当該検出領域Rの設定変更が可能であれば、その設定変更に係る課題は同様である。従って、それぞれの物品搬送車(天井搬送車V)の搬送車制御部1が、搬送設備制御装置Hから一括送信される検出領域情報を受け取り、その情報を伝達されたそれぞれの障害物検出センサ3が、その情報を領域情報記憶部32に記憶させると、複数台の物品搬送車に搭載される障害物検出センサ3の設定変更を効率的に行うことができる。
(3)上記においては、障害物検出センサ3が障害物を検出した場合に、搬送車制御部1が回避処理を実行すると共に、表示部7に回避処理情報を含む作動情報を表示する形態を例示した。しかし、障害物検出センサ3が障害物を検出した場合に、表示部7を用いた報知が行われることなく、回避処理のみが実行されてもよい。
(4)上記においては、搬送車制御部1が回避処理を実行した場合に回避処理情報を含む作動情報が表示部7に表示される形態を例示した。しかし、この形態に限らず、搬送車制御部1が回避処理を開始してから規定回避時間を経過してエラー処理が実行された場合に、回避処理情報及びエラー処理情報、又はエラー処理情報を含む作動情報が表示部7に表示される形態であってもよい。
1 :搬送車制御部
2 :本体側領域情報記憶部
3 :障害物検出センサ
4 :追突防止センサ(障害物検出センサ)
5 :走行用障害物検出センサ(障害物検出センサ)
6 :移載用障害物検出センサ(障害物検出センサ)
7 :表示部
32 :領域情報記憶部
90 :容器(物品)
100 :物品搬送設備
101 :走行レール(軌道)
H :搬送設備制御装置
L :走行経路(軌道)
R :検出領域
Rn :第2分割領域
Rw :第1分割領域
V :天井搬送車(物品搬送車)

Claims (8)

  1. 軌道に沿って走行し、物品を搬送する物品搬送作動を行って前記物品を搬送する物品搬送車を複数台備えた物品搬送設備であって、
    ワイヤレス通信によって、前記物品搬送車のそれぞれに搬送指令を与えて、前記物品搬送車に前記物品搬送作動を行わせる搬送設備制御装置を備え、
    前記物品搬送車のそれぞれは、
    前記物品搬送車の周辺に少なくとも1つ設定される検出領域に存在する障害物を検出する少なくとも1つの障害物検出センサと、
    前記搬送指令に基づいて、前記物品搬送作動を自律制御する搬送車制御部と、を備え、
    前記障害物検出センサは、前記検出領域を示す検出領域情報を記憶する領域情報記憶部を備え、
    前記搬送車制御部は、ワイヤレス通信によって前記搬送設備制御装置から前記検出領域情報を受け取り、受け取った前記検出領域情報を前記障害物検出センサに伝達し、
    前記障害物検出センサは、伝達された前記検出領域情報を、前記領域情報記憶部に記憶させる、物品搬送設備。
  2. 1つの前記障害物検出センサに、それぞれ異なる領域である複数の前記検出領域が設定され、
    前記障害物検出センサは、前記物品搬送作動の状態に応じて選択される前記検出領域を検出対象の領域として障害物を検出する請求項1に記載の物品搬送設備。
  3. 前記障害物検出センサは、障害物を検出した場合に、障害物検出情報を出力し、
    前記搬送車制御部は、前記障害物検出情報に基づき、前記物品搬送車の走行速度を低下させる減速処理を少なくとも含む回避処理を実行するものであり、
    前記物品搬送車は、前記搬送車制御部による前記物品搬送車の制御状態を示す作動情報を視覚的に報知可能な表示部を備え、
    前記搬送車制御部は、前記回避処理を実行した場合、前記障害物検出センサが障害物を検出した際の前記検出領域を特定する情報を少なくとも含む回避処理情報を前記作動情報に含める、請求項2に記載の物品搬送設備。
  4. 前記検出領域のそれぞれは、障害物の存在が前記物品搬送車の前記物品搬送作動に与える影響度に応じて分割された少なくとも2つの分割領域を含み、
    前記分割領域は、前記影響度が相対的に高い第1分割領域と、相対的に低い第2分割領域との少なくとも2つであり、
    前記搬送車制御部は、前記回避処理として、前記第2分割領域で障害物が検出された場合には、前記減速処理を実行し、前記第1分割領域で障害物が検出された場合には、前記物品搬送車を停車させる停車処理を実行し、
    前記障害物検出情報は、障害物を検出した前記分割領域を識別可能な検出位置情報を含み、
    前記回避処理情報は、前記検出位置情報を含む、請求項3に記載の物品搬送設備。
  5. 前記表示部は、前記搬送車制御部が、前記回避処理の内、少なくとも前記停車処理を実行した場合に、前記回避処理情報を表示する、請求項4に記載の物品搬送設備。
  6. 前記障害物検出センサは、障害物を検出した際の前記検出領域情報を、前記障害物検出情報と共に出力する、請求項3から5の何れか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 前記搬送車制御部は、ワイヤレス通信によって前記搬送設備制御装置から受け取った前記検出領域情報を記憶する本体側領域情報記憶部を備える、請求項1から6の何れか一項に記載の物品搬送設備。
  8. 前記搬送車制御部は、前記物品搬送車の電源投入の際に、前記本体側領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報と、前記領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報とが一致しているか否かを確認し、一致していない場合には、前記本体側領域情報記憶部に記憶された前記検出領域情報を前記障害物検出センサに伝達する、請求項7に記載の物品搬送設備。
JP2015256532A 2015-12-28 2015-12-28 物品搬送設備 Pending JP2017120510A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015256532A JP2017120510A (ja) 2015-12-28 2015-12-28 物品搬送設備
US15/388,237 US9932175B2 (en) 2015-12-28 2016-12-22 Article transport facility
SG10201610832YA SG10201610832YA (en) 2015-12-28 2016-12-23 Article transport facility
KR1020160179188A KR20170077823A (ko) 2015-12-28 2016-12-26 물품 반송 설비
TW105143192A TWI702178B (zh) 2015-12-28 2016-12-26 物品搬送設備
CN201611235199.1A CN106927211A (zh) 2015-12-28 2016-12-28 物品输送设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015256532A JP2017120510A (ja) 2015-12-28 2015-12-28 物品搬送設備

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017120510A true JP2017120510A (ja) 2017-07-06

Family

ID=59087734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015256532A Pending JP2017120510A (ja) 2015-12-28 2015-12-28 物品搬送設備

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9932175B2 (ja)
JP (1) JP2017120510A (ja)
KR (1) KR20170077823A (ja)
CN (1) CN106927211A (ja)
SG (1) SG10201610832YA (ja)
TW (1) TWI702178B (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108909525A (zh) * 2018-05-28 2018-11-30 华中农业大学 用于牵引式山地轨道运输装置的无线限位控制系统及方法
JP2019049447A (ja) * 2017-09-08 2019-03-28 株式会社ダイフク 検査システム
JP2020143983A (ja) * 2019-03-06 2020-09-10 株式会社ダイフク 検査システム
KR20210064364A (ko) * 2018-10-29 2021-06-02 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 주행차, 천장 주행차 시스템, 및 장애물의 검출 방법
WO2022004494A1 (ja) * 2020-07-01 2022-01-06 株式会社豊田自動織機 産業車両
JP2022070842A (ja) * 2020-10-27 2022-05-13 サムス カンパニー リミテッド 物品搬送システムで搬送車両の駆動を制御するための装置及び方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10543988B2 (en) * 2016-04-29 2020-01-28 TricornTech Taiwan Real-time mobile carrier system for facility monitoring and control
JP6593316B2 (ja) * 2016-12-15 2019-10-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6963908B2 (ja) * 2017-05-09 2021-11-10 株式会社ダイフク 物品搬送車
CN111032535B (zh) * 2017-08-16 2022-02-25 村田机械株式会社 高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法
NO345059B1 (en) * 2018-06-12 2020-09-14 Autostore Tech As Safety device for a delivery vehicle
JP6844588B2 (ja) * 2018-06-26 2021-03-17 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP7305258B2 (ja) * 2018-07-18 2023-07-10 株式会社ディスコ 搬送システム
KR102158838B1 (ko) * 2019-03-05 2020-09-22 세메스 주식회사 반도체 제조 설비 및 그 동작을 제어하는 방법
TWI685459B (zh) * 2019-03-29 2020-02-21 鴻勁精密股份有限公司 搬盤單元及其應用之電子元件作業設備
KR102326017B1 (ko) * 2019-12-30 2021-11-15 세메스 주식회사 이송 장치 및 이송 방법
US20210247774A1 (en) * 2020-02-10 2021-08-12 Shuhei Hotta Transport system and transport method
TWI733593B (zh) * 2020-04-28 2021-07-11 盟立自動化股份有限公司 防碰撞的控制方法及軌道車控制系統
CN112319654B (zh) * 2020-10-27 2021-10-22 北京特种机械研究所 用于agv导航的机械导引头及使用其的导引装置
KR102459085B1 (ko) 2021-04-09 2022-10-26 주식회사 에스에프에이 반송 시스템을 위한 합류구간 제어장치 및 그 장치의 구동방법, 그리고 반송 시스템

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000235483A (ja) * 1999-02-16 2000-08-29 Nec Gumma Ltd 情報処理装置
JP2004094298A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Daifuku Co Ltd 自走車両利用の搬送装置
JP2004220580A (ja) * 2002-12-27 2004-08-05 Omron Corp プログラマブルコントローラ用ユニット及びメモリ自動復旧方法
JP2005352855A (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Mazda Motor Corp 生産ラインシステム
JP2006293662A (ja) * 2005-04-11 2006-10-26 Figla Co Ltd 作業ロボット
JP2006313462A (ja) * 2005-05-09 2006-11-16 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP2011165025A (ja) * 2010-02-12 2011-08-25 Murata Machinery Ltd 走行台車システム
US20120083964A1 (en) * 2010-10-05 2012-04-05 Google Inc. Zone driving
JP2014106949A (ja) * 2012-11-30 2014-06-09 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 自動搬送車および自動搬送車の表示制御方法
JP2015230527A (ja) * 2014-06-04 2015-12-21 北陽電機株式会社 レーザセンサ及び自動搬送装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214928A (ja) 1999-01-22 2000-08-04 Shinko Electric Co Ltd 無人搬送車
TW200711970A (en) * 2005-09-16 2007-04-01 Fortrend Taiwan Scient Corp Mask box transporting vehicle
US7920962B2 (en) * 2006-06-19 2011-04-05 Kiva Systems, Inc. System and method for coordinating movement of mobile drive units
JP4306723B2 (ja) * 2006-12-15 2009-08-05 村田機械株式会社 搬送台車システム
CN102710619B (zh) * 2012-05-21 2015-06-10 福州博远无线网络科技有限公司 实现pc端和web端资源包一键更新的方法
JP5928402B2 (ja) * 2013-04-19 2016-06-01 株式会社ダイフク 走行車制御システム
US9909898B2 (en) * 2013-04-26 2018-03-06 Mitsubishi Electric Corporation In-vehicle device, information distribution server, and facility information display method

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000235483A (ja) * 1999-02-16 2000-08-29 Nec Gumma Ltd 情報処理装置
JP2004094298A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Daifuku Co Ltd 自走車両利用の搬送装置
JP2004220580A (ja) * 2002-12-27 2004-08-05 Omron Corp プログラマブルコントローラ用ユニット及びメモリ自動復旧方法
JP2005352855A (ja) * 2004-06-11 2005-12-22 Mazda Motor Corp 生産ラインシステム
JP2006293662A (ja) * 2005-04-11 2006-10-26 Figla Co Ltd 作業ロボット
JP2006313462A (ja) * 2005-05-09 2006-11-16 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP2011165025A (ja) * 2010-02-12 2011-08-25 Murata Machinery Ltd 走行台車システム
US20120083964A1 (en) * 2010-10-05 2012-04-05 Google Inc. Zone driving
JP2014106949A (ja) * 2012-11-30 2014-06-09 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 自動搬送車および自動搬送車の表示制御方法
JP2015230527A (ja) * 2014-06-04 2015-12-21 北陽電機株式会社 レーザセンサ及び自動搬送装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI786169B (zh) * 2017-09-08 2022-12-11 日商大福股份有限公司 檢查系統
JP2019049447A (ja) * 2017-09-08 2019-03-28 株式会社ダイフク 検査システム
JP7006050B2 (ja) 2017-09-08 2022-01-24 株式会社ダイフク 検査システム
CN108909525B (zh) * 2018-05-28 2020-12-11 华中农业大学 用于牵引式山地轨道运输装置的无线限位控制系统及方法
CN108909525A (zh) * 2018-05-28 2018-11-30 华中农业大学 用于牵引式山地轨道运输装置的无线限位控制系统及方法
KR20210064364A (ko) * 2018-10-29 2021-06-02 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 주행차, 천장 주행차 시스템, 및 장애물의 검출 방법
JPWO2020090254A1 (ja) * 2018-10-29 2021-09-30 村田機械株式会社 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法
JP7040637B2 (ja) 2018-10-29 2022-03-23 村田機械株式会社 天井走行車、天井走行車システム、及び障害物の検出方法
KR102501698B1 (ko) * 2018-10-29 2023-02-17 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 주행차, 천장 주행차 시스템, 및 장애물의 검출 방법
JP2020143983A (ja) * 2019-03-06 2020-09-10 株式会社ダイフク 検査システム
JP7099367B2 (ja) 2019-03-06 2022-07-12 株式会社ダイフク 検査システム
WO2022004494A1 (ja) * 2020-07-01 2022-01-06 株式会社豊田自動織機 産業車両
JP2022070842A (ja) * 2020-10-27 2022-05-13 サムス カンパニー リミテッド 物品搬送システムで搬送車両の駆動を制御するための装置及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201726523A (zh) 2017-08-01
SG10201610832YA (en) 2017-07-28
KR20170077823A (ko) 2017-07-06
US20170183154A1 (en) 2017-06-29
CN106927211A (zh) 2017-07-07
TWI702178B (zh) 2020-08-21
US9932175B2 (en) 2018-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017120510A (ja) 物品搬送設備
JP7113343B2 (ja) 移動ロボット制御システム及び移動ロボット制御方法
KR102259125B1 (ko) 물품 반송 설비
CN107239073B (zh) 输送控制装置及输送台车的合流点通过方法
KR102408175B1 (ko) 물품 반송 설비
JP5729606B2 (ja) 物品処理設備
KR102466841B1 (ko) 물품 반송 설비
US11001259B2 (en) Transport system
TWI740999B (zh) 物品搬送設備
JP2018136844A (ja) 物品搬送車
KR102535709B1 (ko) 검사 시스템
JP2009237866A (ja) 搬送システム及び搬送車
KR102061188B1 (ko) 기판 검출 장치
JP2006079319A (ja) 搬送車の搬送制御装置
KR20210055618A (ko) 물품 반송 설비
JP5170190B2 (ja) 搬送車システム
JP4352925B2 (ja) 無人搬送車のセンサ制御装置及び無人搬送システム
JP2008174364A (ja) 搬送車システム
JP7151863B2 (ja) 走行車及び走行車システム
TWI834818B (zh) 搬運車系統及搬運車
JP6844580B2 (ja) 物品搬送設備
JP2010067146A (ja) 搬送システム
JP2006048333A (ja) 搬送システム
TW202301057A (zh) 有軌道台車系統
JPH0679253B2 (ja) 無人搬送車表示制御方式

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180925

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180926

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181120

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190129

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20190723