JP2017021721A - Touch panel - Google Patents

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上野 豊
Yutaka Ueno
豊 上野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a touch panel capable of improving the accuracy in position detection while preventing occurrence of distortion in electric potential distribution.SOLUTION: A touch panel 10 includes: a lower circuit board 11; a transparent conductive film 12 which includes, in a part thereof, a detection area 18 for detecting an input position; a plurality of electrodes 15 for supplying a voltage which are formed extending parallel to four sides of a detection area 18 for detecting an input position; a transparent conductive film 13 which is formed on the lower circuit board 11 being electrically connected to the electrode 15 and being electrically separated from the transparent conductive film 12; and a point electrode 16 conducting across the transparent conductive films 12 and 13. The electrode 15 and the point electrode 16 have resistance values lower than resistance values of the transparent conductive films 12 and 13.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、タッチパネルに関する。   The present invention relates to a touch panel.

従来より、X方向及びY方向に沿ってそれぞれ1対の電極が下部基板上に形成された5線式のタッチパネルが知られている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, a 5-wire type touch panel in which a pair of electrodes is formed on a lower substrate along the X direction and the Y direction has been known (see, for example, Patent Document 1).

図1は、5線式のタッチパネルの下部基板の配線構造を示す図である。図1のタッチパネル5は、X方向に平行な一対の配線1A,1Bと、Y方向に平行な一対の配線2A,2Bと、電圧供給用の電極3A〜3Dとを備えている。電圧供給用の電極3A〜3Dは、配線1A,1B,2A,2Bの交点(即ち、タッチパネル5の4隅)に設けられている。   FIG. 1 is a diagram showing a wiring structure of a lower substrate of a 5-wire touch panel. The touch panel 5 in FIG. 1 includes a pair of wirings 1A and 1B parallel to the X direction, a pair of wirings 2A and 2B parallel to the Y direction, and electrodes 3A to 3D for voltage supply. The voltage supply electrodes 3A to 3D are provided at the intersections of the wirings 1A, 1B, 2A, and 2B (that is, the four corners of the touch panel 5).

このタッチパネル5において、X方向の入力位置を検出する場合には、例えば、電極3A,3Cに5Vの電圧を印加し、電極3B,3Dをグランドに接続し、X方向に沿った電位勾配を形成する。そして、図示しない上部基板に設けられた上部電極での電圧を検出することで、X方向の入力位置を検出する。Y方向の入力位置を検出する場合には、例えば、電極3A,3Bに5Vの電圧を印加し、電極3C,3Dをグランドに接続し、Y方向に沿った電位勾配を形成する。そして、上部電極で電圧を検出することで、Y方向の入力位置を検出する。   When detecting an input position in the X direction on the touch panel 5, for example, a voltage of 5V is applied to the electrodes 3A and 3C, the electrodes 3B and 3D are connected to the ground, and a potential gradient along the X direction is formed. To do. And the input position of a X direction is detected by detecting the voltage in the upper electrode provided in the upper board | substrate which is not shown in figure. When detecting the input position in the Y direction, for example, a voltage of 5 V is applied to the electrodes 3A and 3B, the electrodes 3C and 3D are connected to the ground, and a potential gradient along the Y direction is formed. And the input position of a Y direction is detected by detecting a voltage with an upper electrode.

特開2013−8242号公報JP2013-8242A

例えば、配線1A,1B,2A,2Bを低抵抗物質で形成すると、タッチパネル5の導電膜の抵抗値が配線1A,1B,2A,2Bの抵抗値よりも高いため、導電膜に流れるはずの電流が配線1A,1B,2A,2Bに流れてしまい、入力位置を検出することができない。このため、配線1A,1B,2A,2Bは、高抵抗物質で形成する必要がある。   For example, when the wirings 1A, 1B, 2A, and 2B are formed of a low resistance material, the resistance value of the conductive film of the touch panel 5 is higher than the resistance value of the wirings 1A, 1B, 2A, and 2B. Flows to the wirings 1A, 1B, 2A and 2B, and the input position cannot be detected. For this reason, it is necessary to form the wirings 1A, 1B, 2A, and 2B with a high resistance material.

そこで、例えば、配線1A,1B,2A,2Bを高抵抗物質で形成し、X方向の入力位置を検出することを想定する。上述したように、X方向の入力位置を検出する場合、電極3A,3Cに5Vの電圧が印加されるが、配線2Aが高抵抗物質で形成されているため、配線2Aの途中で電圧が降下してしまう。例えば、配線2Aの中央部では、約4Vの電圧になる。このため、X方向の電位分布が歪み、位置検出の精度が悪化する。同様に、Y方向の入力位置を検出する場合でも、配線1Aの途中で電圧が降下し、Y方向の電位分布が歪み、位置検出の精度が悪化する。   Therefore, for example, it is assumed that the wirings 1A, 1B, 2A, and 2B are formed of a high resistance material and the input position in the X direction is detected. As described above, when the input position in the X direction is detected, a voltage of 5 V is applied to the electrodes 3A and 3C, but the voltage drops in the middle of the wiring 2A because the wiring 2A is formed of a high resistance material. Resulting in. For example, the voltage is about 4 V at the center of the wiring 2A. For this reason, the potential distribution in the X direction is distorted, and the accuracy of position detection deteriorates. Similarly, even when the input position in the Y direction is detected, the voltage drops in the middle of the wiring 1A, the potential distribution in the Y direction is distorted, and the position detection accuracy deteriorates.

本発明は、上記課題に鑑み、電位分布の歪みの発生を回避し、位置検出の精度を向上させることができるタッチパネルを提供することを目的とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a touch panel that can avoid the occurrence of distortion of potential distribution and improve the accuracy of position detection.

上記目的を達成するため、明細書に開示されたタッチパネルは、基板と、その一部に入力位置を検出する検出領域が含まれる第1導電膜と、入力位置を検出する検出領域の4辺と平行に延設された電圧供給用の第1電極と、前記基板上に形成され、前記第1電極と電気的に接続され、前記第1導電膜から電気的に分離された第2導電膜と、前記第1導電膜と前記第2導電膜とを導通させる第2電極とを備え、前記第1電極及び前記第2電極は、前記第1導電膜及び前記第2導電膜の抵抗値よりも低い抵抗値を有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a touch panel disclosed in the specification includes a substrate, a first conductive film including a detection region for detecting an input position in a part thereof, and four sides of the detection region for detecting an input position. A first electrode for supplying a voltage extending in parallel; a second conductive film formed on the substrate; electrically connected to the first electrode; and electrically separated from the first conductive film; And a second electrode for conducting the first conductive film and the second conductive film, wherein the first electrode and the second electrode have a resistance value greater than a resistance value of the first conductive film and the second conductive film. It has a low resistance value.

本発明によれば、電位分布の歪みの発生を回避し、位置検出の精度を向上させることができる。   According to the present invention, it is possible to avoid the occurrence of distortion of the potential distribution and improve the accuracy of position detection.

5線式のタッチパネルの下部基板の配線構造を示す図である。It is a figure which shows the wiring structure of the lower board | substrate of a 5-wire type touch panel. (A)は、第1の実施の形態に係るタッチパネルの下部基板の構造を示す図である。(B)は、図2(A)のA−A線の断面図である。(C)は、タッチパネルの下部基板の部分拡大図である。(A) is a figure which shows the structure of the lower board | substrate of the touchscreen which concerns on 1st Embodiment. (B) is sectional drawing of the AA line of FIG. 2 (A). (C) is the elements on larger scale of the lower board | substrate of a touchscreen. タッチパネルの下部基板の構造の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the structure of the lower board | substrate of a touchscreen. 図2(A)のタッチパネルの下部基板側の構造の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the structure by the side of the lower board | substrate of the touchscreen of FIG. (A)は、第2の実施の形態に係るタッチパネルの下部基板の構造を示す図である。(B)は、図5(A)の領域39の拡大図である。(C)及び(D)は、点電極の変形例を示す図である。(A) is a figure which shows the structure of the lower board | substrate of the touchscreen which concerns on 2nd Embodiment. FIG. 5B is an enlarged view of a region 39 in FIG. (C) And (D) is a figure which shows the modification of a point electrode. (A)は、図5(A)のB−B線の断面図である。(B)は、図5(A)のC−C線の断面図である。(A) is sectional drawing of the BB line of FIG. 5 (A). (B) is sectional drawing of CC line of FIG. 5 (A). 図5(A)のタッチパネルの下部基板側の構造の製造方法を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the structure by the side of the lower board | substrate of the touchscreen of FIG.

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施の形態)
図2(A)は、第1の実施の形態に係るタッチパネルの下部基板の構造を示す図である。図2(B)は、図2(A)のA−A線の断面図である。(C)は、タッチパネルの下部基板の部分拡大図である。図2(A)では、特に、電極と導電膜との配置関係を示し、最上層として形成される絶縁層は省略されている。
(First embodiment)
FIG. 2A is a diagram illustrating the structure of the lower substrate of the touch panel according to the first embodiment. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. (C) is the elements on larger scale of the lower board | substrate of a touchscreen. FIG. 2A particularly shows the positional relationship between the electrode and the conductive film, and the insulating layer formed as the uppermost layer is omitted.

図2(A)において、タッチパネル10は、例えば5線式又は7線式のタッチパネルである。タッチパネル10は、ガラス等で構成される下部基板11と、下部基板11上に形成され、ITO(Indium Tin Oxide)で構成される透明導電膜12と、ウエットエッチングにより透明導電膜12から電気的に分離された透明導電膜13と、入力位置を検出するための電圧が印加される、X方向及びY方向のそれぞれに平行に延びる二対の電極15と、透明導電膜12及び透明導電膜13上に形成されると共に透明導電膜12及び透明導電膜13を電気的に接続する点電極16とを備えている。   In FIG. 2A, the touch panel 10 is, for example, a 5-wire or 7-wire touch panel. The touch panel 10 is electrically formed from the lower substrate 11 made of glass or the like, the transparent conductive film 12 formed on the lower substrate 11 and made of ITO (Indium Tin Oxide), and the transparent conductive film 12 by wet etching. The separated transparent conductive film 13, two pairs of electrodes 15 extending in parallel in the X direction and the Y direction, to which a voltage for detecting the input position is applied, and the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 And a point electrode 16 that electrically connects the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 to each other.

また、本実施形態によるタッチパネル10は、下部基板と向かい合うように配置される、図示しない上部基板を備える。上部基板の下部基板と向かい合う面にはITOによる透明導電膜が形成され、上部基板の透明導電膜の電位を検出するための電極が設けられる。上部基板の透明導電膜と透明導電膜12との間には、間隙が形成され、透明導電膜12に電圧が印加されている状態で上部基板の透明導電膜と透明導電膜12とが接触した際に、上部基板側の電極で電位を検出し、タッチパネル10の接触・操作位置を判別する。   In addition, the touch panel 10 according to the present embodiment includes an upper substrate (not shown) arranged to face the lower substrate. A transparent conductive film made of ITO is formed on the surface of the upper substrate facing the lower substrate, and an electrode for detecting the potential of the transparent conductive film of the upper substrate is provided. A gap is formed between the transparent conductive film of the upper substrate and the transparent conductive film 12, and the transparent conductive film of the upper substrate and the transparent conductive film 12 are in contact with each other in a state where a voltage is applied to the transparent conductive film 12. At this time, the potential is detected by the electrode on the upper substrate side, and the contact / operation position of the touch panel 10 is determined.

尚、4つの電極15を区別する必要がある場合には、電極15A〜15Dと表記する。電極15及び点電極16はそれぞれ第1電極及び第2電極として機能し、透明導電膜12及び透明導電膜13はそれぞれ第1導電膜及び第2導電膜として機能する。   In addition, when it is necessary to distinguish the four electrodes 15, it describes as electrodes 15A-15D. The electrode 15 and the point electrode 16 function as a first electrode and a second electrode, respectively, and the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 function as a first conductive film and a second conductive film, respectively.

また、図2(B)に示すように、下部基板11、透明導電膜12(検出領域18を除く)、透明導電膜13、電極15及び点電極16の露出している部分は、絶縁層17で覆われている。   As shown in FIG. 2B, the exposed portions of the lower substrate 11, the transparent conductive film 12 (excluding the detection region 18), the transparent conductive film 13, the electrode 15, and the point electrode 16 are the insulating layer 17. Covered with.

ウエットエッチングにより、透明導電膜12と透明導電膜13との間にコ字状の空隙14が形成されている。空隙14によって透明導電膜12と透明導電膜13とは絶縁されており、透明導電膜13から透明導電膜12に直接電流が流入しない構造になっている。また、透明導電膜12の中央に、入力位置を検出するための検出領域18が存在する。透明導電膜13は、ITO膜をウエットエッチングすることで形成され、透明導電膜12と同様にITOで構成される。ITOの抵抗値は、10−200Ωである。図2(A)では、透明導電膜13の形状は正方形であるが、この形状に限定されるものではなく、例えば、長方形、三角形又は円形等でもよい。   A U-shaped gap 14 is formed between the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 by wet etching. The transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 are insulated from each other by the gap 14, so that no current flows directly from the transparent conductive film 13 to the transparent conductive film 12. In addition, a detection region 18 for detecting an input position exists in the center of the transparent conductive film 12. The transparent conductive film 13 is formed by wet etching of the ITO film, and is made of ITO like the transparent conductive film 12. The resistance value of ITO is 10-200Ω. In FIG. 2A, the transparent conductive film 13 has a square shape, but is not limited to this shape, and may be, for example, a rectangle, a triangle, or a circle.

また、電極15A〜15Dは、下部基板11上に各々独立して配置されており、互いに電気的に接続されていない。電極15A〜15Dはまた、透明導電膜12にも電気的に接続されていない。従って、例えば電流が電極15Aから電極15Bに回り込んで、流れることはない。   The electrodes 15A to 15D are independently arranged on the lower substrate 11 and are not electrically connected to each other. The electrodes 15A to 15D are also not electrically connected to the transparent conductive film 12. Therefore, for example, current does not flow from the electrode 15A to the electrode 15B.

電極15及び点電極16は銀ペーストなどの低抵抗物質で構成され、電極15及び点電極16の抵抗値は10Ω未満である。このように、電極15は銀ペーストなどの低抵抗物質で構成されているため、電極15の中央部の電圧が電極15の端部の電圧よりも極端に低くなるような電圧降下が起きることはない。つまり、電圧降下は発生しても、現実に無視できる程度の微小な電圧降下にすぎない。従って、例えば、タッチパネルの入力位置を検出するための電圧(例えば、5V)が電極15Aに印加される場合、電極15Aの全体には均一に電圧が印加される。   The electrode 15 and the point electrode 16 are made of a low resistance material such as silver paste, and the resistance value of the electrode 15 and the point electrode 16 is less than 10Ω. Thus, since the electrode 15 is made of a low-resistance material such as silver paste, a voltage drop that causes the voltage at the center of the electrode 15 to be extremely lower than the voltage at the end of the electrode 15 does not occur. Absent. That is, even if a voltage drop occurs, it is only a minute voltage drop that can be ignored in reality. Therefore, for example, when a voltage (for example, 5 V) for detecting the input position of the touch panel is applied to the electrode 15A, the voltage is uniformly applied to the entire electrode 15A.

また、電極15に印加された電圧は、電極15の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜13を介して各点電極16に印加されるので、電流が電極15から各点電極16に回り込んで直接流れることはない。つまり、透明導電膜12から電気的に分離された透明導電膜13は、電流が電極15から点電極16に回り込んで流れることを制限している。   Further, since the voltage applied to the electrode 15 is applied to each point electrode 16 through the transparent conductive film 13 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 15, a current is applied from the electrode 15 to each point electrode 16. There is no direct flow around. That is, the transparent conductive film 13 that is electrically separated from the transparent conductive film 12 restricts current from flowing from the electrode 15 to the point electrode 16.

点電極16は、その一部が透明導電膜12と電気的に接続している。従って、電極15に電圧が印加された場合、透明導電膜13及び点電極16を介して、透明導電膜12に電圧が印加される。   A part of the point electrode 16 is electrically connected to the transparent conductive film 12. Therefore, when a voltage is applied to the electrode 15, a voltage is applied to the transparent conductive film 12 via the transparent conductive film 13 and the point electrode 16.

このように、電極15の全体には均一に電圧が印加され、電極15から点電極16への電流の回り込みが電極15の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜13により防がれている。合わせて、透明導電膜13と透明導電膜12が電気的に分離されているため、透明導電膜13から透明導電膜12に電流が回り込むことも防止される。このため、各点電極16に均一な電圧が印加され、検出領域18上の電位分布の歪みの発生を回避でき、タッチパネルの位置検出の精度を向上させることができる。   In this way, a voltage is uniformly applied to the entire electrode 15, and current wraparound from the electrode 15 to the point electrode 16 is prevented by the transparent conductive film 13 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 15. Yes. In addition, since the transparent conductive film 13 and the transparent conductive film 12 are electrically separated, it is possible to prevent current from flowing from the transparent conductive film 13 to the transparent conductive film 12. For this reason, a uniform voltage is applied to each point electrode 16, generation | occurrence | production of the distortion of the electric potential distribution on the detection area | region 18 can be avoided, and the precision of the position detection of a touch panel can be improved.

また、本実施の形態では、電極15と点電極16との間に透明導電膜13を接続することで、電極15からそれぞれの点電極16までの経路の抵抗値のばらつきを抑えている。   Further, in the present embodiment, the transparent conductive film 13 is connected between the electrode 15 and the point electrode 16, thereby suppressing variations in resistance values of paths from the electrode 15 to the respective point electrodes 16.

例えば、点電極16が電極15の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する材質で形成され、点電極16が透明導電膜を介さずに電気配線を介して電極15に接続する構成が考えられる。この場合、点電極16と電極15の接続に使用される電気配線の材料(銀ペースト)や各電気配線の長さの違いによる抵抗値のばらつきが生じやすい。その結果、各点電極16に均一な電圧が印加されず、検出領域上の電位分布の歪みが発生しやすい。   For example, a configuration in which the point electrode 16 is formed of a material having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 15 and the point electrode 16 is connected to the electrode 15 via electric wiring without passing through the transparent conductive film is conceivable. In this case, the resistance value variation is likely to occur due to the difference in the length of each electric wiring material (silver paste) used for connecting the point electrode 16 and the electrode 15. As a result, a uniform voltage is not applied to each point electrode 16 and the potential distribution on the detection region is likely to be distorted.

本実施の形態では、点電極16と電極15との間の配線として、電気配線よりも抵抗値のばらつきが少ない透明導電膜13を利用するので、各点電極16に均一な電圧が印加され、電位分布の歪みの発生を回避できる。   In the present embodiment, as the wiring between the point electrode 16 and the electrode 15, the transparent conductive film 13 having less variation in resistance value than the electric wiring is used, so that a uniform voltage is applied to each point electrode 16, Generation of potential distribution distortion can be avoided.

電極15及び点電極16の形状は、図2(A)で示す形状に限定されるものではない。例えば、透明導電膜13を形成する際に、透明導電膜13が透明導電膜12よりも電極15に近づくようにエッチングすれば、電極15の形状は長方形であってもよい。また、点電極16の形状も、円形、長方形又は多角形でもよい。例えば、図2(C)に示すように、点電極16の形状はT字形でもよい。   The shape of the electrode 15 and the point electrode 16 is not limited to the shape shown in FIG. For example, if the transparent conductive film 13 is etched so that the transparent conductive film 13 is closer to the electrode 15 than the transparent conductive film 12 when the transparent conductive film 13 is formed, the shape of the electrode 15 may be rectangular. The shape of the point electrode 16 may be circular, rectangular or polygonal. For example, as shown in FIG. 2C, the shape of the point electrode 16 may be T-shaped.

また、図2(A)では、透明導電膜12の外周をコ字状に除去することにより透明導電膜13を形成しているが、例えば、図3に示すように、透明導電膜12を長方形に形成し、且つ透明導電膜12の4辺にそれぞれ1つの長方形の透明導電膜13(13A−13D)が対向して形成されるようにしてもよい。図3は、タッチパネルの下部基板の構造の変形例を示す図である。図3のA−A線の断面は、図2(B)の断面と同様である。また、図3の透明導電膜12、13の配置例においても、電極15の形状は透明導電膜13に接続する限り、長方形でもよい。また、図3の点電極16の形状も、長方形でも、多角形でもよい。さらに、図3では、透明導電膜12の1辺に複数の点電極16が配置されているが、点電極16が透明導電膜12とこれに対向する透明導電膜13とを電気的に接続するかぎり、点電極16の個数は1個でもよい。この場合、均一な電流が透明導電膜13から透明導電膜12に流れるように、点電極16の代わりに、透明導電膜12の1辺に沿った細長い矩形の電極を使用するのが望ましい。   In FIG. 2A, the transparent conductive film 13 is formed by removing the outer periphery of the transparent conductive film 12 in a U shape. For example, as shown in FIG. And one rectangular transparent conductive film 13 (13A-13D) may be formed to face each of the four sides of the transparent conductive film 12. FIG. 3 is a diagram showing a modification of the structure of the lower substrate of the touch panel. The cross section taken along line AA in FIG. 3 is the same as the cross section in FIG. In the arrangement example of the transparent conductive films 12 and 13 in FIG. 3, the electrode 15 may have a rectangular shape as long as it is connected to the transparent conductive film 13. Also, the shape of the point electrode 16 in FIG. 3 may be rectangular or polygonal. Further, in FIG. 3, a plurality of point electrodes 16 are arranged on one side of the transparent conductive film 12, but the point electrodes 16 electrically connect the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 opposed thereto. As long as the number of point electrodes 16 is one, it may be one. In this case, it is desirable to use an elongated rectangular electrode along one side of the transparent conductive film 12 instead of the point electrode 16 so that a uniform current flows from the transparent conductive film 13 to the transparent conductive film 12.

尚、透明導電膜13の抵抗値は、断面積19A(即ち、図2(B)の透明導電膜13の高さ×図2(B)で不図示の奥行き方向の透明導電膜13の長さ)に反比例し、長さ19Bに比例するので(図2(B)参照)、透明導電膜12をエッチングした際の透明導電膜13のアスペクト比(即ち、平面視(図2(A))の透明導電膜13の縦横比)に応じて可変である。また、透明導電膜13の最適な大きさ又は形状は、透明導電膜13の面積抵抗及び下部基板11(即ち、パネルの外形)のアスペクト比から算出される。   The resistance value of the transparent conductive film 13 is the cross-sectional area 19A (that is, the height of the transparent conductive film 13 in FIG. 2B × the length of the transparent conductive film 13 in the depth direction not shown in FIG. 2B). ) And in proportion to the length 19B (see FIG. 2B), the aspect ratio of the transparent conductive film 13 when the transparent conductive film 12 is etched (that is, in plan view (FIG. 2A)). The aspect ratio of the transparent conductive film 13 is variable. The optimum size or shape of the transparent conductive film 13 is calculated from the area resistance of the transparent conductive film 13 and the aspect ratio of the lower substrate 11 (that is, the outer shape of the panel).

以下、タッチパネル10での入力位置を検出する方法を説明する。   Hereinafter, a method for detecting the input position on the touch panel 10 will be described.

タッチパネル10において、X方向の入力位置を検出する場合には、例えば、電極15Bに5Vの電圧を印加し、電極15Dをグランドに接続し、X方向に沿った電位勾配を透明導電膜12の検出領域18上に形成する。そして、不図示の上部基板に設けられた上部電極が電圧を検出することで、X方向の入力位置を検出する。Y方向の入力位置を検出する場合には、例えば、電極15Aに5Vの電圧を印加し、電極15Cをグランドに接続し、Y方向に沿った電位勾配を透明導電膜12の検出領域18上に形成する。そして、不図示の上部基板に設けられた上部電極が電圧を検出することで、Y方向の入力位置を検出する。   When detecting the input position in the X direction on the touch panel 10, for example, a voltage of 5V is applied to the electrode 15B, the electrode 15D is connected to the ground, and the potential gradient along the X direction is detected by the transparent conductive film 12. Formed on region 18. Then, the upper electrode provided on the upper substrate (not shown) detects the voltage, thereby detecting the input position in the X direction. When detecting the input position in the Y direction, for example, a voltage of 5 V is applied to the electrode 15A, the electrode 15C is connected to the ground, and a potential gradient along the Y direction is applied to the detection region 18 of the transparent conductive film 12. Form. Then, the upper electrode provided on the upper substrate (not shown) detects the voltage, thereby detecting the input position in the Y direction.

図4は、図2(A)のタッチパネル10の下部基板側の構造の製造方法を示すフローチャートである。   FIG. 4 is a flowchart showing a manufacturing method of the structure on the lower substrate side of the touch panel 10 of FIG.

まず、スパッタリング又は真空蒸着により下部基板11上に透明導電膜12を形成する(ステップS1)。次に、フォトレジストを透明導電膜12上に形成し、フォトマスク上のパターンをフォトレジストに転写し(露光)、透明導電膜12上にレジストパターン20を形成する(ステップS2)。その後、ウエットエッチングにより透明導電膜12の一部(即ち、レジストパターン20でマスクされていない部分)を除去する(ステップS3)。このとき、透明導電膜12と電気的に分離されている透明導電膜13が作成される。次に、レジストパターン20を除去する(ステップS4)。   First, the transparent conductive film 12 is formed on the lower substrate 11 by sputtering or vacuum deposition (step S1). Next, a photoresist is formed on the transparent conductive film 12, the pattern on the photomask is transferred to the photoresist (exposure), and a resist pattern 20 is formed on the transparent conductive film 12 (step S2). Thereafter, a part of the transparent conductive film 12 (that is, a part not masked by the resist pattern 20) is removed by wet etching (step S3). At this time, a transparent conductive film 13 that is electrically separated from the transparent conductive film 12 is formed. Next, the resist pattern 20 is removed (step S4).

次に、スクリーン印刷により電極15を下部基板11及び透明導電膜13の一部の上に形成し、透明導電膜12及び透明導電膜13が導通するように、スクリーン印刷により点電極16を透明導電膜12及び透明導電膜13の一部の上に形成する(ステップS5)。最後に、下部基板11、透明導電膜12(検出領域18を除く)、透明導電膜13、電極15及び点電極16の上に絶縁層17を形成し(ステップS6)、本処理を終了する。以上の工程により、図2(A)のタッチパネル10の下部基板側の構造が製造される。   Next, the electrode 15 is formed on a part of the lower substrate 11 and the transparent conductive film 13 by screen printing, and the point electrode 16 is made transparent by screen printing so that the transparent conductive film 12 and the transparent conductive film 13 are conductive. It forms on a part of film | membrane 12 and the transparent conductive film 13 (step S5). Finally, the insulating layer 17 is formed on the lower substrate 11, the transparent conductive film 12 (excluding the detection region 18), the transparent conductive film 13, the electrode 15, and the point electrode 16 (step S6), and this process is finished. Through the above steps, the structure on the lower substrate side of the touch panel 10 of FIG.

以上説明したように、第1実施の形態によれば、電極15A〜15Dがそれぞれ低抵抗物質で構成され且つ電気的に独立して配置されているので、各電極15には均一に電圧が印加され、一の電極から他の電極(例えば、電極15Aから電極15B)への電流の回り込みを防いでいる。また、電極15は、電極15の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜13を介して点電極16に接続されているので、電極15から点電極16への電流の回り込みを透明導電膜13により防いでいる。よって、各点電極16に均一な電圧が印加され、透明導電膜12の検出領域18上の電位分布の歪みの発生を回避でき、位置検出の精度を向上させることができる。   As described above, according to the first embodiment, since the electrodes 15A to 15D are each made of a low-resistance material and are electrically arranged independently, a voltage is uniformly applied to each electrode 15. Thus, current wraparound from one electrode to another electrode (for example, electrode 15A to electrode 15B) is prevented. Further, since the electrode 15 is connected to the point electrode 16 through the transparent conductive film 13 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 15, current wraparound from the electrode 15 to the point electrode 16 is prevented. 13 to prevent. Therefore, a uniform voltage is applied to each point electrode 16, generation of potential distribution distortion on the detection region 18 of the transparent conductive film 12 can be avoided, and position detection accuracy can be improved.

(第2の実施の形態)
第2の実施の形態は、X方向及びY方向のそれぞれに平行に延びる二対の電極が、点電極よりも内側に配置される点及び当該二対の電極の全体が1つの透明導電膜上に配置される点で第1の実施の形態と異なる。
(Second Embodiment)
In the second embodiment, two pairs of electrodes extending in parallel with each other in the X direction and the Y direction are arranged on the inner side of the point electrodes, and the entire two pairs of electrodes are on one transparent conductive film. This is different from the first embodiment in that it is arranged in the first embodiment.

図5(A)は、第2の実施の形態に係るタッチパネルの下部基板の構造を示す図である。図5(B)は、図5(A)の領域39の拡大図である。図5(C)、(D)は、点電極の変形例を示す図である。図6(A)は、図5(A)のB−B線の断面図である。図6(B)は、図5(A)のC−C線の断面図である。図5(A)及び図5(B)では、特に、電極と導電膜との配置関係を示し、最上層として形成される絶縁層は省略されている。   FIG. 5A shows the structure of the lower substrate of the touch panel according to the second embodiment. FIG. 5B is an enlarged view of the region 39 in FIG. 5C and 5D are diagrams showing a modification of the point electrode. FIG. 6A is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 5A and 5B particularly show the positional relationship between the electrode and the conductive film, and the insulating layer formed as the uppermost layer is omitted.

図5(A)において、タッチパネル10Aは、例えば5線式又は7線式のタッチパネルである。タッチパネル10Aは、ガラス等で構成される下部基板31と、下部基板31上に形成され、ITO(Indium Tin Oxide)で構成される透明導電膜32と、レーザエッチングにより透明導電膜32から電気的に分離された透明導電膜33と、入力位置を検出するための電圧が印加されると共にX方向及びY方向のそれぞれに平行に延びる二対の電極35と、透明導電膜32及び透明導電膜33上に形成されると共に透明導電膜32及び透明導電膜33を電気的に接続する点電極36とを備えている。透明導電膜32は、下部基板31の全体を覆うように下部基板31に積層されている。また、第1の実施形態と同様に、本実施形態のタッチパネルでも、導電膜と上部電極とが設けられた図示しない上部基板が、下部基板と向かい合わせで配置される。   In FIG. 5A, the touch panel 10A is, for example, a 5-wire or 7-wire touch panel. The touch panel 10A is electrically formed from the lower substrate 31 made of glass or the like, the transparent conductive film 32 formed on the lower substrate 31 and made of ITO (Indium Tin Oxide), and the transparent conductive film 32 by laser etching. On the separated transparent conductive film 33, two pairs of electrodes 35 that are applied with a voltage for detecting the input position and extend in parallel in the X direction and the Y direction, and on the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 And a point electrode 36 that electrically connects the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33. The transparent conductive film 32 is laminated on the lower substrate 31 so as to cover the entire lower substrate 31. Similarly to the first embodiment, in the touch panel of the present embodiment, an upper substrate (not shown) provided with a conductive film and an upper electrode is disposed facing the lower substrate.

尚、4つの電極35を区別する必要がある場合には、電極35A〜35Dと表記する。電極35及び点電極36はそれぞれ第1電極及び第2電極として機能し、透明導電膜32及び透明導電膜33はそれぞれ第1導電膜及び第2導電膜として機能する。   In addition, when it is necessary to distinguish the four electrodes 35, they are described as electrodes 35A to 35D. The electrode 35 and the point electrode 36 function as a first electrode and a second electrode, respectively, and the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 function as a first conductive film and a second conductive film, respectively.

図6(A)および図6(B)に示すように、透明導電膜32、透明導電膜33、電極35及び点電極36は、絶縁層43で覆われている。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the transparent conductive film 32, the transparent conductive film 33, the electrode 35, and the point electrode 36 are covered with an insulating layer 43.

レーザエッチングにより透明導電膜32と透明導電膜33との間には空隙34が形成され、透明導電膜33は透明導電膜32から絶縁される。そのため、透明導電膜33から透明導電膜32に直接電流が流入しない構造になっている。また、透明導電膜32の中央に、入力位置を検出するための検出領域38が存在する。少なくとも検出領域38は絶縁層43によっては覆われていない。透明導電膜33はITOの一部をレーザエッチングで除去することにより形成される。ITOの抵抗値は、例えば、200−500Ωである。図5(A)、(B)では、透明導電膜33の形状は、長方形であるが、この形状に限定されるものではなく、例えば、正方形、三角形又は円形等でもよい。   A gap 34 is formed between the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 by laser etching, and the transparent conductive film 33 is insulated from the transparent conductive film 32. Therefore, the current does not flow directly from the transparent conductive film 33 to the transparent conductive film 32. In addition, a detection region 38 for detecting the input position exists in the center of the transparent conductive film 32. At least the detection region 38 is not covered with the insulating layer 43. The transparent conductive film 33 is formed by removing a part of ITO by laser etching. The resistance value of ITO is, for example, 200-500Ω. 5A and 5B, the transparent conductive film 33 has a rectangular shape, but is not limited to this shape, and may be, for example, a square, a triangle, or a circle.

透明導電膜33の抵抗値は、透明導電膜32をエッチングした際の透明導電膜33のアスペクト比(図5(A)の上面視での縦横比)に応じて可変である。また、透明導電膜33の最適な大きさ又は形状は、透明導電膜33の面積抵抗及び下部基板31(即ち、パネルの外形)のアスペクト比から算出される。   The resistance value of the transparent conductive film 33 is variable according to the aspect ratio of the transparent conductive film 33 when the transparent conductive film 32 is etched (the aspect ratio in the top view of FIG. 5A). The optimum size or shape of the transparent conductive film 33 is calculated from the area resistance of the transparent conductive film 33 and the aspect ratio of the lower substrate 31 (that is, the outer shape of the panel).

また、図5(A)及び図5(B)に示すように、電極35は、X方向あるいはY方向に延びる本体部42と、本体部42から外側にコの字状に延設された腕部41とを備えている。腕部41の一端は本体部42と電気的に接続されており、腕部41の他端は透明導電膜33に接続されている。腕部41の他端と本体部42との間には、透明導電膜32と透明導電膜33とを接続する点電極36が配置されている。点電極36の形状は、円形、正方形又は多角形でもよい。例えば、図5(C)に示すように、点電極36の形状は、T字形でもよい。図5(D)に示すように、点電極36の形状は、L字形でもよい。   Further, as shown in FIGS. 5A and 5B, the electrode 35 includes a main body portion 42 extending in the X direction or the Y direction, and an arm extending outwardly from the main body portion 42 in a U-shape. Part 41. One end of the arm portion 41 is electrically connected to the main body portion 42, and the other end of the arm portion 41 is connected to the transparent conductive film 33. A point electrode 36 that connects the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 is disposed between the other end of the arm part 41 and the main body part 42. The shape of the point electrode 36 may be circular, square, or polygonal. For example, as shown in FIG. 5C, the shape of the point electrode 36 may be T-shaped. As shown in FIG. 5D, the shape of the point electrode 36 may be L-shaped.

電極35及び点電極36は銀ペーストなどの低抵抗物質で構成され、電極35及び点電極36の抵抗値は10Ω未満である。このように、電極35は銀ペーストなどの低抵抗物質で構成されているため、本体部42の中央部の電圧が本体部42の端部の電圧よりも極端に低くなることはない。つまり、電極35に電圧降下が発生しても、現実に無視できる程度の微小な電圧降下にすぎない。従って、例えば、入力位置を検出するための電圧(例えば、5V)が電極35Aに印加される場合、電極35Aの全体には均一に電圧が印加される。   The electrode 35 and the point electrode 36 are made of a low resistance material such as silver paste, and the resistance value of the electrode 35 and the point electrode 36 is less than 10Ω. As described above, since the electrode 35 is made of a low resistance material such as silver paste, the voltage at the center of the main body 42 is not extremely lower than the voltage at the end of the main body 42. That is, even if a voltage drop occurs in the electrode 35, it is only a minute voltage drop that can be ignored in reality. Therefore, for example, when a voltage (for example, 5 V) for detecting the input position is applied to the electrode 35A, the voltage is uniformly applied to the entire electrode 35A.

また、図6(A)及び図6(B)に示すように、透明導電膜32上には絶縁層40が形成され、絶縁層40上に電極35の本体部42が形成されている。これにより、電極35の本体部42は透明導電膜32から絶縁されている。このように、電極35A〜35Dは、絶縁層40上に各々独立して配置されており、電気的に接続されていない。従って、例えば電流が電極35Aから電極35Bに回り込んで、流れることはない。   As shown in FIGS. 6A and 6B, an insulating layer 40 is formed on the transparent conductive film 32, and a main body 42 of the electrode 35 is formed on the insulating layer 40. Thereby, the main body 42 of the electrode 35 is insulated from the transparent conductive film 32. Thus, the electrodes 35A to 35D are arranged independently on the insulating layer 40 and are not electrically connected. Therefore, for example, current does not flow from the electrode 35A to the electrode 35B.

また、図6(B)に示すように、腕部41は、絶縁層40及び透明導電膜33上に形成されている。従って、腕部41も透明導電膜32からは絶縁されている。このため、電極35の本体部42に印加された電圧は、腕部41と、電極35の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜13とを介して点電極16に印加されるので、電流が電極35から各点電極36に回り込んで直接流れることはない。つまり、透明導電膜32から電気的に分離された透明導電膜33は、電流が電極35から各点電極36に回り込んで流れることを制限している。また、透明導電膜33と透明導電膜32も互いに絶縁されているので、電極35に電圧を印加しても透明導電膜33から透明導電膜32に直接電流が流れることもない。   Further, as shown in FIG. 6B, the arm part 41 is formed on the insulating layer 40 and the transparent conductive film 33. Accordingly, the arm portion 41 is also insulated from the transparent conductive film 32. For this reason, the voltage applied to the main body portion 42 of the electrode 35 is applied to the point electrode 16 via the arm portion 41 and the transparent conductive film 13 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 35. Current does not flow directly from the electrode 35 to each point electrode 36. That is, the transparent conductive film 33 electrically separated from the transparent conductive film 32 restricts the current from flowing from the electrode 35 to each point electrode 36. Further, since the transparent conductive film 33 and the transparent conductive film 32 are also insulated from each other, no current flows directly from the transparent conductive film 33 to the transparent conductive film 32 even when a voltage is applied to the electrode 35.

点電極36は、その一部が透明導電膜32と電気的に接続している。従って、電極35に電圧が印加された場合、透明導電膜33及び点電極36を介して、透明導電膜32に電圧が印加される。   A part of the point electrode 36 is electrically connected to the transparent conductive film 32. Therefore, when a voltage is applied to the electrode 35, the voltage is applied to the transparent conductive film 32 via the transparent conductive film 33 and the point electrode 36.

このように、電極35の全体には均一に電圧が印加され、電流の回り込みが電極35の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜33により防がれているので、各点電極36に均一な電圧が印加され、透明導電膜32の検出領域38上の電位分布の歪みの発生を回避でき、位置検出の精度を向上させることができる。   In this way, a voltage is uniformly applied to the entire electrode 35 and current wraparound is prevented by the transparent conductive film 33 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 35. A uniform voltage is applied, the occurrence of potential distribution distortion on the detection region 38 of the transparent conductive film 32 can be avoided, and the accuracy of position detection can be improved.

本実施の形態ではまた、電極35と点電極36との間に透明導電膜33を接続することで、電極35からそれぞれの点電極36までの経路の抵抗値のばらつきを抑えている。   In the present embodiment, the transparent conductive film 33 is connected between the electrode 35 and the point electrode 36 to suppress variations in resistance values of paths from the electrode 35 to the respective point electrodes 36.

例えば、点電極36が電極35の抵抗値よりも大きい抵抗値を有し、点電極36が透明導電膜を介さずに電気配線を介して電極35に接続する構成が考えられる。この場合、点電極36と電極35との接続に使用される電気配線の材料(銀ペースト)や電気配線の長さによる抵抗値のばらつきが生じやすい。その結果、各点電極36に均一な電圧が印加されず、電位分布の歪みが発生しやすい。   For example, a configuration is conceivable in which the point electrode 36 has a resistance value larger than the resistance value of the electrode 35 and the point electrode 36 is connected to the electrode 35 through electric wiring without passing through the transparent conductive film. In this case, variation in resistance value is likely to occur due to the electrical wiring material (silver paste) used for connection between the point electrode 36 and the electrode 35 and the length of the electrical wiring. As a result, a uniform voltage is not applied to each point electrode 36 and the potential distribution is likely to be distorted.

一方、下部基板31上に形成されるITOは抵抗分布が均一であると考えて差し支えなく、透明導電膜33の抵抗値も所望の値にすることが比較的容易であるため、抵抗値のバラつきを抑えることが可能である。本実施の形態では、点電極36と電極35と間の配線として、電気配線よりも抵抗値のばらつきが少ない透明導電膜33を利用するので、各点電極36に均一な電圧が印加され、透明導電膜32上の電位分布の歪みの発生を回避できる。   On the other hand, ITO formed on the lower substrate 31 can be considered to have a uniform resistance distribution, and the resistance value of the transparent conductive film 33 can be relatively easily set to a desired value. Can be suppressed. In the present embodiment, since the transparent conductive film 33 having less variation in resistance value than the electric wiring is used as the wiring between the point electrode 36 and the electrode 35, a uniform voltage is applied to each point electrode 36, and the transparent electrode 33 is transparent. Generation of distortion of the potential distribution on the conductive film 32 can be avoided.

図7は、図5(A)のタッチパネル10Aの下部基板側の構造の製造方法を示すフローチャートである。   FIG. 7 is a flowchart showing a manufacturing method of the structure on the lower substrate side of the touch panel 10A of FIG.

まず、スパッタリング又は真空蒸着により下部基板31上に透明導電膜32を形成する(ステップS11)。次に、フォトレジストを透明導電膜32上に形成し、フォトマスク上のパターンをフォトレジストに転写し(露光)、透明導電膜32上にレジストパターン44を形成する(ステップS12)。その後、レーザエッチングにより透明導電膜32の一部(即ち、レジストパターン44でマスクされていない部分)を除去する(ステップS13)。このとき、透明導電膜32から電気的に分離された透明導電膜33が形成される。次に、レジストパターン44を除去する(ステップS14)。   First, the transparent conductive film 32 is formed on the lower substrate 31 by sputtering or vacuum deposition (step S11). Next, a photoresist is formed on the transparent conductive film 32, the pattern on the photomask is transferred to the photoresist (exposure), and a resist pattern 44 is formed on the transparent conductive film 32 (step S12). Thereafter, a part of the transparent conductive film 32 (that is, a part not masked by the resist pattern 44) is removed by laser etching (step S13). At this time, a transparent conductive film 33 that is electrically separated from the transparent conductive film 32 is formed. Next, the resist pattern 44 is removed (step S14).

次に、絶縁層40を透明導電膜32及び透明導電膜33の一部の上に形成する(ステップS15)。このとき、ステップS15の右図に示すように、絶縁層40の一部が空隙34(図示右側の空隙34のみ)を跨ぐように、絶縁層40が透明導電膜32及び透明導電膜33上に形成される。   Next, the insulating layer 40 is formed on part of the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 (step S15). At this time, as shown in the right figure of step S15, the insulating layer 40 is placed on the transparent conductive film 32 and the transparent conductive film 33 so that a part of the insulating layer 40 straddles the gap 34 (only the gap 34 on the right side in the drawing). It is formed.

次に、スクリーン印刷により、電極35の本体部42を絶縁層40の上に、スクリーン印刷により電極35の腕部41を絶縁層40及び透明導電膜33の上に、透明導電膜32及び透明導電膜33が導通するように点電極36を透明導電膜32及び透明導電膜33の一部の上に、それぞれ形成する(ステップS16)。最後に、透明導電膜32、透明導電膜33、電極35、点電極36及び絶縁層40の露出している部分上に、絶縁層43を形成し(ステップS17)、本処理を終了する。以上の工程により、図5(A)のタッチパネル10Aの下部基板側の構造が形成される。   Next, the body portion 42 of the electrode 35 is formed on the insulating layer 40 by screen printing, and the arm portion 41 of the electrode 35 is formed on the insulating layer 40 and the transparent conductive film 33 by screen printing. A point electrode 36 is formed on each of the transparent conductive film 32 and a part of the transparent conductive film 33 so that the film 33 is conductive (step S16). Finally, the insulating layer 43 is formed on the exposed portions of the transparent conductive film 32, the transparent conductive film 33, the electrode 35, the point electrode 36, and the insulating layer 40 (step S17), and this process is finished. Through the above steps, the structure on the lower substrate side of the touch panel 10A in FIG. 5A is formed.

以上説明したように、第2の実施の形態によれば、電極35A〜35Dがそれぞれ低抵抗物質で構成され且つ電気的に独立して配置されているので、各電極35の全体には均一に電圧が印加され、一の電極から他の電極(例えば、電極35Aから電極35B)への電流の回り込みを防いでいる。また、電極35は、電極35の抵抗値よりも大きい抵抗値を有する透明導電膜33を介して各点電極36に接続されているので、電極35から各点電極36への電流の回り込みを透明導電膜33により防いでいる。よって、各点電極36に均一な電圧が印加され、透明導電膜32の検出領域38上の電位分布の歪みの発生を回避でき、位置検出の精度を向上させることができる。   As described above, according to the second embodiment, the electrodes 35A to 35D are each made of a low-resistance material and are electrically arranged independently. A voltage is applied to prevent current from flowing from one electrode to another (for example, electrode 35A to electrode 35B). In addition, since the electrode 35 is connected to each point electrode 36 via the transparent conductive film 33 having a resistance value larger than the resistance value of the electrode 35, current flowing from the electrode 35 to each point electrode 36 is transparent. This is prevented by the conductive film 33. Therefore, a uniform voltage is applied to each point electrode 36, the occurrence of distortion of the potential distribution on the detection region 38 of the transparent conductive film 32 can be avoided, and the accuracy of position detection can be improved.

尚、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented with various modifications within a range not departing from the gist thereof.

10,10A タッチパネル
11,31 下部基板
12,13,32,33 透明導電膜
14,34 空隙
15,35 電極
16,36 点電極
17,40,43 絶縁層
41 腕部
42 本体部
10, 10A Touch panel 11, 31 Lower substrate 12, 13, 32, 33 Transparent conductive film 14, 34 Gap 15, 35 Electrode 16, 36 Point electrode 17, 40, 43 Insulating layer 41 Arm 42 Main body

Claims (5)

基板と、
その一部に入力位置を検出する検出領域が含まれる第1導電膜と、
入力位置を検出する検出領域の4辺と平行に延設された電圧供給用の第1電極と、
前記基板上に形成され、前記第1電極と電気的に接続され、前記第1導電膜から電気的に分離された第2導電膜と、
前記第1導電膜と前記第2導電膜とを導通させる第2電極とを備え、
前記第1電極及び前記第2電極は、前記第1導電膜及び前記第2導電膜の抵抗値よりも低い抵抗値を有することを特徴とするタッチパネル。
A substrate,
A first conductive film including a detection region for detecting an input position in a part of the first conductive film;
A first electrode for voltage supply extending in parallel with the four sides of the detection region for detecting the input position;
A second conductive film formed on the substrate, electrically connected to the first electrode and electrically separated from the first conductive film;
A second electrode for conducting the first conductive film and the second conductive film;
The touch panel, wherein the first electrode and the second electrode have lower resistance values than the resistance values of the first conductive film and the second conductive film.
前記第1電極は前記基板及び前記第2導電膜の上に配置され、前記第2電極は、前記第1導電膜及び前記第2導電膜上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル。   The first electrode is disposed on the substrate and the second conductive film, and the second electrode is disposed on the first conductive film and the second conductive film. Touch panel as described in 1. 前記第1電極、前記第2導電膜、前記第2電極及び前記第1導電膜が、この順番に前記タッチパネルの外縁から中心に向けて配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のタッチパネル。   The said 1st electrode, the said 2nd electrically conductive film, the said 2nd electrode, and the said 1st electrically conductive film are arrange | positioned in this order toward the center from the outer edge of the said touch panel. The touch panel described. 絶縁層が前記第1導電膜と前記第1電極との間に形成され、
前記第1電極は、本体部と、当該本体部から前記タッチパネルの外縁側に延設された腕部とを備え、
前記腕部の一端は前記本体部と電気的に接続されており、前記腕部の他端は前記第2導電膜と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル。
An insulating layer is formed between the first conductive film and the first electrode;
The first electrode includes a main body part and an arm part extending from the main body part to the outer edge side of the touch panel,
The touch panel according to claim 1, wherein one end of the arm portion is electrically connected to the main body portion, and the other end of the arm portion is electrically connected to the second conductive film. .
前記第1導電膜及び前記第2導電膜はITO(Indium Tin Oxide)で構成され、前記第2導電膜はITOをエッチングすることにより形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のタッチパネル。   5. The touch panel according to claim 1, wherein the first conductive film and the second conductive film are made of ITO (Indium Tin Oxide), and the second conductive film is formed by etching ITO. .
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